JPS6177844A - Novel photopolymerizable laminate - Google Patents

Novel photopolymerizable laminate

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JPS6177844A
JPS6177844A JP19945284A JP19945284A JPS6177844A JP S6177844 A JPS6177844 A JP S6177844A JP 19945284 A JP19945284 A JP 19945284A JP 19945284 A JP19945284 A JP 19945284A JP S6177844 A JPS6177844 A JP S6177844A
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章彦 池田
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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Abstract

PURPOSE:To obtain an extremely precise printed circuit superior in mechanical strength and plating resistance by forming a photopolymerizable laminate composed of a specified polymerizable layer and a support and exposing it to light. CONSTITUTION:The printed circuit high in density and precision can be obtained by forming a photopolymerizable laminate composed of 5-95wt% binder made of a vinyl (co)polymer, 0.01-30wt% photopolymerization initiator, and 95-5wt% photopolymerizable unsatd. compd. essentially composed of one of photopolymer izable compds. having a mol.wt./number of contained double bonds ratio of <=1,000 represented by general formulae A, B or C in which n is an integer of >=0; m is an integer of 3-10; R1 is H or methyl; X is a 1-8C divalent aliphat ic group or the like; R2 is 1-6C alkyl or CH2-O-R4; R4 is phenyl, aryl, or 1-6C alkyl; Y is a 2-16C divalent hydrocarbon group; and Z is -(CH2)t-O.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、新規な光重合性積層体、さらに詳しくは、印
刷回路板の作成に適した光重合性積層体に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to novel photopolymerizable laminates, and more particularly to photopolymerizable laminates suitable for making printed circuit boards.

(従来の技術) 従来、印刷回路板作成用のレジストとして、支持層と光
重合性層からなる、いわゆるドライフィルムレジスト(
以下、DFRと称する)が用いられている。DFRは、
一般に支持フィルム上に光重合性組成物を積層し、多く
の場合、さらに該組成物上に保護用のフィルムを積層す
ることにより調製される。DFR’i用いてプリント回
路板を作成するには、保護フィルムを剥離しt後、銅張
積層板等の永久画像形成用基板上K DFRt−積層し
、マスクフィルム等を通して露光全行なう。次に、必要
に応じて支持フィルムを剥離し、現像液によシ赤露光部
分の光重合性組成物全溶解もしくは分散除去し、基板上
に硬化レジスト画像を形成せしめる。
(Prior Art) Conventionally, so-called dry film resists (composed of a support layer and a photopolymerizable layer) have been used as resists for producing printed circuit boards.
(hereinafter referred to as DFR) is used. DFR is
It is generally prepared by laminating a photopolymerizable composition on a support film and, in many cases, further laminating a protective film on the composition. To make a printed circuit board using DFR'i, the protective film is peeled off, the KDFR'i is laminated on a permanent image forming substrate such as a copper clad laminate, and the whole is exposed to light through a mask film or the like. Next, the support film is peeled off if necessary, and the photopolymerizable composition in the red exposed area is completely dissolved or dispersed in a developer to form a cured resist image on the substrate.

以下、回路を形成させるプロセスとしては、大きく二つ
の方法に分かれる。第一の方法は、硬化レジストによっ
て覆われていない銅面をエツチング除去した後、レジス
トをさらに除去するものであり、第二の方法は、同上の
銅面にハンダ等のメッキ処理を行なった後、レジストの
除去、さらに現われ念鋼面をエツチングするものである
Hereinafter, the process of forming a circuit can be roughly divided into two methods. The first method is to remove the copper surface that is not covered by the hardened resist by etching, and then further remove the resist.The second method is to perform plating treatment such as solder on the same copper surface, and then , the resist is removed, and the exposed steel surface is etched.

最近、DFR’i用いて炸裂される印刷回路板の中で、
スルーホールの内周面に付設した導電性回路形成物質層
、例えば、銅薄膜層によって恒久的画像形成用基板の一
方の面と他方の面とを電気的に接続した形成ものが増加
している。この種の印刷回路板の製造方法としては、銅
スルーホール法とハンダスルーホール法が一般的であっ
て、銅スルーホール法の中では、テンティング法が広く
採用されるようになってきている。このテンティング法
では、露光硬化し九配線画像の形成と同時K。
Recently, in printed circuit boards exploded using DFR'i,
Increasingly, one side of a permanent imaging substrate is electrically connected to the other by a conductive circuit-forming material layer, such as a copper thin film layer, attached to the inner circumferential surface of the through-hole. . The copper through-hole method and the solder through-hole method are common methods for manufacturing this type of printed circuit board, and among the copper through-hole methods, the tenting method is becoming widely adopted. . This tenting method involves simultaneous exposure and curing and formation of a nine-wire image.

スルーホールの両開口部を光硬化層で完全く閉塞し、配
線を形成させるために銅薄膜等をエツチングするに際し
ては、該光硬化層がスルーホールの内周面の導電層を保
護する几め、ヌル−ホールを通じて両面間が導通してい
る印刷回路を得ることができる。
When etching a thin copper film or the like to form wiring by completely closing both openings of the through hole with a photocured layer, it is necessary to ensure that the photocured layer protects the conductive layer on the inner peripheral surface of the through hole. , it is possible to obtain a printed circuit in which both surfaces are electrically connected through the null-hole.

前記のスルーホールの内周面の導電性回路形成物質層は
、回路設計の制約から限られ比重しか許されない。した
がって、前記テンティング法においては、スルーホール
の両側開口部をテント状に閉塞する露光し次光重合性層
は、極めて狭い巾の帯状部分によって支持されているこ
とになる。このテント状に支持され九露光した光重合性
層は、現像時およびエツチング時に、それぞれの処理液
をシャワー状に浴びる几め、しばしば露光し次光重合性
層の破れや恒久的画像形成用基板からの剥離を生じるこ
とがらる几め、テンティング法に用いられるDFHの光
重合性層は、露光後の機械的強度と恒久的画像形成用基
板との接着性や耐薬品性などが要求される。
The conductive circuit forming material layer on the inner circumferential surface of the through hole is limited in specific gravity due to circuit design constraints. Therefore, in the tenting method, the exposed photopolymerizable layer that closes the openings on both sides of the through hole in a tent-like manner is supported by a band-shaped portion having an extremely narrow width. The photopolymerizable layer supported in a tent-like manner and exposed to light is frequently exposed to light during development and etching by being showered with respective processing solutions, resulting in damage to the photopolymerizable layer and damage to the permanent image forming substrate. The photopolymerizable layer of DFH used in the tenting method is required to have mechanical strength after exposure, adhesion to the permanent image forming substrate, and chemical resistance. Ru.

ところで、現在広く用いられているDFHの光重合性層
は、+1)少なくとも1個のエチレン性基を有し、光重
合開始剤によって重合体を形成できる不飽和化合物(以
下、モノマーと称する) 、 (2)熱可塑性有機重合
体結合剤゛〈以下、バインダーと称する)、(31光重
合開始剤および(A)その他の添加剤から成っている(
I#公昭50−9177号公報、特公昭57−2169
7号公報)。
By the way, the photopolymerizable layer of DFH that is currently widely used consists of +1) an unsaturated compound (hereinafter referred to as a monomer) having at least one ethylenic group and capable of forming a polymer with a photopolymerization initiator; (2) Thermoplastic organic polymer binder (hereinafter referred to as binder), (31) consisting of a photopolymerization initiator and (A) other additives (
I# Publication No. 50-9177, Special Publication No. 57-2169
Publication No. 7).

前記モノマーとしては、エチレン性二重結合を2個以上
有するトリメチロールプロパントリアクリレートやペン
タエリトリトールトリアクリレートなどが挙げられてお
り、また分子鎖中にエーテル結合を有するポリエチレン
グリコールジアクリレートなども示されている。一方、
バインダーとしては、モノマーと相溶性のあるものが選
ばれており、例えばポリメタクリル酸メチル、メタクリ
ル酸エステル、アクリル酸エステル、アクリル酸、メタ
クリル酸、スチレン等の共重合体などが用いられている
Examples of the monomer include trimethylolpropane triacrylate and pentaerythritol triacrylate having two or more ethylenic double bonds, and polyethylene glycol diacrylate having an ether bond in the molecular chain. There is. on the other hand,
As the binder, a binder is selected that is compatible with the monomer, such as polymethyl methacrylate, methacrylic ester, acrylic ester, and copolymers of acrylic acid, methacrylic acid, styrene, and the like.

しかしながら、露光した光重合性層の機械的強度および
基板との接着性は、使用するモノマーおよびバインダー
の種類や量比に影響を受けるが、特にモノマーの影響が
大きく、前記のモノマーを用い次光重合性層の露光後の
機械的強度、耐薬品性および基板との接着性は、光重合
性層が薄い場合必ずしも十分でなく、特にテンティング
法に使用する場合には光重合性層を厚くする必要がある
However, the mechanical strength of the exposed photopolymerizable layer and its adhesion to the substrate are affected by the type and amount ratio of the monomers and binders used, and the influence of the monomers is particularly large. Mechanical strength, chemical resistance, and adhesion with the substrate after exposure of the polymerizable layer are not necessarily sufficient if the photopolymerizable layer is thin, and especially when used in the tenting method, the photopolymerizable layer must be thick. There is a need to.

一方、電子部品および素子を高密度(実装化して製品全
体を小型化し友−という要求は、ますます強くなってき
てシシ、それに伴って印刷回路板の回路の高密度化や細
線化が強く求められている。
On the other hand, the demand for electronic components and elements to be made more compact (by packaging them and making the entire product smaller) is becoming stronger and stronger. It is being

この高密度印刷回路形成の几めKは、使用するDFHの
解像力が高くなければならないが、光重合性層を厚くす
ると解像力は低下する。したがって、前記に示されてい
るような光重合性層から成るDFRt−テンティング法
に用いて画像形成を行う場合には、極めて精密でかつ高
密度の回路画像會得ることが困難である。
This method of forming a high-density printed circuit requires that the DFH used has high resolution, but the thicker the photopolymerizable layer, the lower the resolution. Therefore, when forming an image using the DFRt-tenting method comprising a photopolymerizable layer as described above, it is difficult to obtain an extremely precise and high-density circuit image.

一方、印刷回路を形成するために現在でも広く用いられ
ているハンダスルーホール法は、スルーホールの内周面
の導電性回路構成物質層、例えば銅薄膜層を保護する耐
エツチング金属、例えばハンダでレジストし、次いで恒
久的画像形成用基板表面の不要個所をエツチングするも
のである。このハンダスルーホール法九おいては、画像
形成されt硬化レジスト層で覆われた基板は、まず約処
理としてアルカリ洗浄による脱脂、界面活性剤水溶液洗
浄による脱脂、電解研磨などを受は比のち、無電屏銅メ
ッキを受け、さらに銅メッキおよびハンダメッキを受け
る。
On the other hand, the solder through-hole method, which is still widely used to form printed circuits, uses an etching-resistant metal, such as solder, to protect the conductive circuit material layer, such as a copper thin film layer, on the inner circumferential surface of the through-hole. The process involves resisting and then etching away unwanted areas on the surface of the permanent imaging substrate. In this solder through-hole method, the image-formed substrate covered with a hardened resist layer is first subjected to various treatments such as degreasing by alkaline cleaning, degreasing by surfactant aqueous solution cleaning, and electrolytic polishing. It undergoes electroless copper plating, then copper plating and solder plating.

高密度の印刷回路板においては、当然回路間隙は狭く設
計されるので、メッキ前処理や、メッキ時の、処理液や
メッキ液のレジストおよびレジストと基板間への滲み込
み、およびレジストの小さな浮きが大きな問題となり、
L7tがって、耐前処理薬品性、耐銅メッキ性訃よび耐
ハンダメッキ性に優れたDFRが要求される。−2次、
露光された光重合性層の耐銅メツキ性、耐ハンダメッキ
性シよび耐前処理薬品性も光重合性層のモノマーおよび
バインダーの種類に影4#を受け、特にモノマーの種類
および量が支配的な影響を及ぼす。モノマーとして、前
記に示されているトリメチロールプロパントリアクリレ
ート、ポリエチレングリコールジアクリレートのような
エステル結合ま九はエステル結合とエーテル結合のみを
有しているアクリル酸エステルま九はメタクリル酸エス
テルを用い次光重合性層は、特に耐銅メツキ性、耐ハン
ダメッキ性および耐前処理薬品性が不十分である。
In high-density printed circuit boards, the circuit gaps are naturally designed to be narrow, so during plating pre-treatment and plating, processing and plating solutions may seep into the resist and between the resist and the board, and small floats in the resist. became a big problem,
Therefore, a DFR with excellent pretreatment chemical resistance, copper plating resistance, and solder plating resistance is required. −Secondary,
The copper plating resistance, solder plating resistance, and pretreatment chemical resistance of the exposed photopolymerizable layer are also influenced by the type of monomer and binder in the photopolymerizable layer, and the type and amount of monomer are particularly important. influence. As monomers, ester bonds such as trimethylolpropane triacrylate and polyethylene glycol diacrylate shown above are used. The photopolymerizable layer has particularly poor copper plating resistance, solder plating resistance, and pretreatment chemical resistance.

ま九、DFRを用いた印刷回路板の改良された作成法と
して、支持層が光重合性層の現像液に溶解もしくは分散
するフィルムから成るDFRi用い、露光後に支持フィ
ルムを剥離することなく、現像処理で同時に除去する方
法が知られている(特開昭54−113752号)。こ
の方法では、支持フィルム全機械的に剥離する際に起シ
うる画像の部分的破壊が回避できることや、工程が短縮
され7tシ、連続自動プロセスが可能になる等の大きな
利点を有している。
Ninth, as an improved method for making printed circuit boards using DFR, using DFRi, the support layer consists of a film that is dissolved or dispersed in the developer of the photopolymerizable layer, and development can be performed without peeling off the support film after exposure. A method is known in which these substances are removed at the same time through treatment (Japanese Patent Application Laid-Open No. 113752/1983). This method has major advantages such as being able to avoid partial destruction of the image that can occur when the support film is completely mechanically peeled off, shortening the process by 7 tons, and enabling continuous automatic processing. .

(発明が解決しようとする問題点) 前記したように、トリメチロールプロバンドリアクリレ
ート、ポリエチレングリコールジアクリレートのような
エステル結合またはエステル結合とエーテル結合のみを
有しているアクリル酸エステルまたはメタクリル酸エス
テル金柑い次光重合性層は、%に耐銅メツキ性、耐ハン
ダメッキ性シよび耐約処理薬品性が不十分である。そし
て、前記印刷回路板の改良され九作成法Ki?いても、
光重合性層中の七ツマ−として、上記のモノマーを用い
、基板へのDFRの積層を過度に高い温度で張力を強く
かけて行なうと、積層され九〇FRの支持フィルムに微
細な亀裂が発生するこ七があシ好ましくない。
(Problems to be Solved by the Invention) As mentioned above, acrylic esters or methacrylic esters having only ester bonds or ester bonds and ether bonds, such as trimethylolprobandoliacrylate and polyethylene glycol diacrylate, The secondary photopolymerizable layer has insufficient copper plating resistance, solder plating resistance, and processing chemical resistance. And the improved method of making the printed circuit board Ki? Even if
If the above-mentioned monomer is used as the monomer in the photopolymerizable layer and the DFR is laminated to the substrate at an excessively high temperature and under strong tension, fine cracks may occur in the laminated support film of the 90FR. I don't like it when it occurs.

(問題点を解決するための手段) 以上のような背景を踏まえて、露光後に良好な機械的強
度と優れ友耐メッキ性にすぐれた銅スルーホール法、ハ
ンダスルーホール法、いずれの方法でも極めて精密な印
刷回路板の作製を可能ならしめる光重合性積層体の開発
に努めた結果、本発明の積層体を見出すに至つto 本発明は、光重合性層と支持層とからな〕、必要に応じ
て該光重合性層の他表面に保護層d(存在する光重合性
積層体において、該光重合性層や工(1)ビニル重合体
もしくはビニル共重合体〃)らなるパイ/グー 5〜9
5重量% (2)下記の一般式(A)または(B) ’!たは(C
)で示される分子量/含有二重結合数の値が1000以
下である光重合性化合物を主成分とする光重合可能な不
飽和化合物 95〜5重量− (3)光重合開始剤 0.01〜30重量%を含有して
成ることt−特徴とする光重合性積層体である。
(Means for solving the problem) Based on the above background, both the copper through-hole method and the solder through-hole method, which have good mechanical strength after exposure and excellent plating resistance, are extremely effective. As a result of our efforts to develop a photopolymerizable laminate that enables the production of precision printed circuit boards, we have discovered the laminate of the present invention.The present invention consists of a photopolymerizable layer and a support layer. If necessary, a protective layer d (in the existing photopolymerizable laminate, the photopolymerizable layer and (1) vinyl polymer or vinyl copolymer) may be added to the other surface of the photopolymerizable layer. Goo 5-9
5% by weight (2) The following general formula (A) or (B)'! Taha (C
) A photopolymerizable unsaturated compound whose main component is a photopolymerizable compound whose molecular weight/number of double bonds contained is 1000 or less 95 to 5 weight - (3) Photopolymerization initiator 0.01 to 30% by weight of the photopolymerizable laminate.

(C) 〔式中、nは0以上の整数、mFisないし10の整数
、Rsは水素またはメチル基、又は炭素数1ないし8の
2価の脂肪族炭化水素基ま17′cは(ここで% R3
は炭素a1ないし4のアルキル基、pは1ないし10の
整数、ql’はそれぞれ1ないし4の整数)、R3は炭
素数1ないし6のアルキル基ま友は C)I、−0−R
4(R,はフェニル基、アリル基、炭素数1ないし6の
アルキル基)、Yは炭素数2ないし16の二価の炭化水
素基、2はRs し10の整数、Xは1ないし3゛0の整数)、(ここで
、舅は炭素数3ないし10の三価の炭化水素基、Sは1
ないし5の整数)を表わす。〕次に、本発明の積層体く
ついて詳細に説明する。
(C) [where n is an integer of 0 or more, mFis or an integer of 10, Rs is hydrogen or a methyl group, or a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, or 17'c is (wherein %R3
is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, p is an integer of 1 to 10, ql' is an integer of 1 to 4, respectively), R3 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and C) I, -0-R
4 (R is a phenyl group, an allyl group, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms), Y is a divalent hydrocarbon group having 2 to 16 carbon atoms, 2 is an integer from Rs to 10, and X is 1 to 3. (an integer of 0), (wherein is a trivalent hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and S is 1
(an integer from 5 to 5). ] Next, the laminate of the present invention will be explained in detail.

バインダーとしては、ビニルモノマーの重合体もしくは
共重合体からなる熱可塑性高分子を用いるが、その中で
も、下記の構造式(ロ)で示される七ツマ−の重合体、
もしくはそれらからなる共重合体が好ましい。
As the binder, a thermoplastic polymer consisting of a polymer or copolymer of vinyl monomers is used, among which a heptad polymer represented by the following structural formula (b),
Or a copolymer consisting of them is preferred.

〔式中、vlは水素ま九はメチル基、■、はフェニル、
炭素数1ないし10のアルキル基、ビニル基)t−表わ
す。〕 さらに好ましくは、メタクリル酸メチル、アクリル酸メ
チル、アクリル酸ブチル、スチレン、ブタジェン等の重
合体もしくは共重合体で、/・αゲン化炭化水素に良好
な溶解性を有するものが好ましい。
[In the formula, vl is hydrogen, 9 is a methyl group, ■ is phenyl,
C1-C10 alkyl group, vinyl group) represented by t-. ] More preferably, a polymer or copolymer of methyl methacrylate, methyl acrylate, butyl acrylate, styrene, butadiene, etc., which has good solubility in alpha-genated hydrocarbons, is more preferable.

バインダーの分子量は、重量平均分子量で20.000
ないし500,000のものが好ましく、さらKはs 
o、o o oな1.nl、300.OOQのもOが好
ましい。分子量が過大であると、現像時間が長くなシ好
ましくない。ま九、分子量が小さすぎると、硬化レジス
トの機械的強度の低下をみるため好ましくない。
The molecular weight of the binder is 20.000 in weight average molecular weight.
Preferably, K is 500,000 to 500,000, and K is s
o, o o o 1. nl, 300. O of OOQ is preferable. If the molecular weight is too large, the development time will be long, which is undesirable. (9) If the molecular weight is too small, the mechanical strength of the cured resist will decrease, which is not preferable.

モノマーとしてFi、分子量を含有二重結合の数で除し
た値が1000以下であることが必要であるが、好まし
くは100以上700以下である。
It is necessary that the value obtained by dividing the molecular weight of Fi as a monomer by the number of double bonds contained is 1000 or less, and preferably 100 or more and 700 or less.

そして、前記し九構造式(A)、ω)ま几はC)で示さ
れるものから選ばれるが、複数の七ツマ−を組合わせる
ことも可能である。
In the above-mentioned structural formula (A), the ω) formula is selected from those shown in C), but it is also possible to combine a plurality of seven formulas.

構造式(ト)Kついて説明するならば、nの上限は、上
記のモノマーの二重結合当〕の分子量で自ら定まる。R
1は水素ま友はメチル基であるが、重合性の点から水素
の方が好ましい、Xとしては、等が好ましく、特に−〇
H,−が好ましい。R3としては、炭素数1ないし4の
アルキル基が好ましく、さらに−はメチル基、エチル基
が好ましl/に@yとしては、次の一群のものから選ば
れたものが好ましい。
Regarding structural formula (g)K, the upper limit of n is determined by the molecular weight of the above-mentioned monomer (equivalent to the double bond). R
1 is hydrogen and is a methyl group, but hydrogen is more preferable from the point of polymerizability. R3 is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, - is preferably a methyl group or an ethyl group, and l/ and @y are preferably selected from the following group.

(ただし、Uは4ないし8の整数全表わす。)この中で
も、ヘキサメチレン基、トリレン基がさらに好ましい。
(However, U represents all integers from 4 to 8.) Among these, hexamethylene group and tolylene group are more preferred.

2としては、÷cH惰o−を比は(−CHI −(j’
H−0+xのものが好ましく、ここで、tはR電 2ないし10の整数、Xは1ないし3oの整数であるが
、t、xO値もモノマーの分子量の限定から自ら制限が
ある。R1としては、ここではメチルが好ましい。
2, the ratio of ÷cH inaso- is (-CHI-(j'
H-0+x is preferable, where t is an integer of 2 to 10 and X is an integer of 1 to 3o, but the values of t and xO are also limited by limitations on the molecular weight of the monomer. As R1, methyl is preferred here.

構造式の)における馬としては、次の構造式g1〜E4
で示されるものが好ましい。
In the structural formula), the following structural formulas g1 to E4 are used.
Those shown are preferred.

(ここで、wf…聯激3ないし1oの三価の炭化水素基
、mFi5ないし10の整数を表わす。゛)この中でも
、Wlが構造式(龜)でYがへキサメチレフ基のもの、
鶴が下記の構造式(E、)で示され、Yがへキサメチレ
ンteはトリレン基であるものが%に好ましい。
(Here, wf...represents a trivalent hydrocarbon group of Rengeki 3 to 1o, mFi an integer of 5 to 10. Among these, those where Wl is a structural formula (龜) and Y is a hexamethylev group,
Preferably, crane is represented by the following structural formula (E,), and Y is hexamethylene and te is tolylene group.

構造式(A)、ω)、(C)の中で、モノマーとしては
、構造式(A)で示されるものが好ましく、nがOから
2ないし31でのものの混合物のものが好ましい。
Among Structural Formulas (A), ω), and (C), monomers represented by Structural Formula (A) are preferred, and a mixture of those in which n is O to 2 to 31 is preferred.

次に、これらのモノマーの製法の1例を簡単に述べる。Next, one example of a method for producing these monomers will be briefly described.

構造式囚で示されるモノマーのうちn=00ものは、下
記の構造式(F、)で示される原料モノマーと、構造式
(F、)で示されるジイソシアナートを反応させること
によシ得られる。
Among the monomers represented by the structural formula (F), n=00 can be obtained by reacting a raw material monomer represented by the structural formula (F,) below with a diisocyanate represented by the structural formula (F,). It will be done.

0CN−Y−NCO(F、 ) ここで、さらに下記の構造式(F、)で示されるジオー
ルを共存させると、nが1以上の構造式(A)で示され
る七ツマ−が生成するが、この時n=00ものも同時忙
生成する。
0CN-Y-NCO(F, ) Here, when a diol represented by the following structural formula (F,) is further coexisted, a heptadium represented by the structural formula (A) where n is 1 or more is generated. , at this time, n=00 is also generated simultaneously.

HOZ=H(FA) さらに構造式(B)で示されるモノマーは、構造式(F
l)で示されるモノマーと、下記の構造式(F、)で示
さ些るポリイソシアナートの反応生成物であシ、 W(−NCO)     (F4) ここで、構造式(Fl)で示されるジオールを共存させ
ると、構造式(C)で示されるモノマーも生成する。ジ
オール(Fs)t−原料として吊込る場合は、まず、ジ
オール(F、)とインシアナートを反応させて、インシ
アナートオリゴ−r −f形成させてから、モノマー(
r+)を加えることが好ましい。
HOZ=H(FA) Further, the monomer represented by the structural formula (B) has the structural formula (F
It is a reaction product of a monomer represented by l) and a polyisocyanate represented by the following structural formula (F,), W(-NCO) (F4), where it is represented by the structural formula (Fl). When a diol is present, a monomer represented by structural formula (C) is also produced. When diol (Fs) is used as a raw material, first, diol (F,) and incyanate are reacted to form incyanate oligo-r-f, and then monomer (
r+) is preferably added.

モノマー(Fl)の好ましい具体例としては、2−ヒド
ロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシブチルアク
リレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒ
ドロキシ−3−フェノキシアクリレート、ポリプロピレ
ングリコールモノアクリレート、ポリプロピレングリコ
ールモノメタクリレート、アクリロキシエチル−2−ヒ
ドロキシプロピル−フタレート、メタクリロキシエチル
−2−ヒドロキシプロピル−フタレート等が挙げられる
Preferred specific examples of the monomer (Fl) include 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxy acrylate, polypropylene glycol monoacrylate, polypropylene glycol monomethacrylate, acryloxy Examples include ethyl-2-hydroxypropyl-phthalate and methacryloxyethyl-2-hydroxypropyl-phthalate.

ジイソシアナー)(p、)の好ましい例としては、ヘキ
サメチレンジイソシアナート、トリレンジイソシアナー
)、4.4’−ジフェニルメタンジインシアナート、キ
シリレンジイソシアナート、インホロンジイソシアナー
ト、2,2.5−)リメチルヘキサメチレンジイソシア
ナート等がある。
Preferred examples of diisocyanate (p,) include hexamethylene diisocyanate, tolylene diisocyanate, 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, xylylene diisocyanate, inphorone diisocyanate, 2,2.5 -) Limethylhexamethylene diisocyanate, etc.

ジオール(Fl)の代表例としては、エチレングリコー
ル、プロピレングリコール、メタンジオール、ヘキサン
ジオール、さらに、下記の構造式(Fs)で示されるジ
オールがある。
Representative examples of diols (Fl) include ethylene glycol, propylene glycol, methanediol, hexanediol, and diols represented by the following structural formula (Fs).

ここで、R1は水素またはメチル、zlとしては、+C
H!−)tO−1+CH,−C’H−0+xが好ましい
Here, R1 is hydrogen or methyl, and zl is +C
H! -)tO-1+CH, -C'H-0+x are preferred.

(ただし、tおよびXは1ないし10の整数)ポリイソ
シアナー)’(Fa)の代表例は、ヘキサメチレンジイ
ソシアナート、インホロンジイソシアナート、トリレン
ジイソシアナートそれぞれの水アダクト、トリメチロー
ルプロパンアダクトがある。反応は溶媒中で行なうこと
が望ましく、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、
酢酸エチル、プロピオン酸ブチル等のエステル類、アセ
トン、メチルエチルケトン、メチルイノブチルケトン等
のケトンが好ましい。
(wherein, t and There is an adduct. The reaction is preferably carried out in a solvent, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene,
Preferred are esters such as ethyl acetate and butyl propionate, and ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl ibutyl ketone.

反応は無触媒下まtは触媒存在下いずれでも可能である
が、反応を速やかく行わせるため九は、触媒を用いるこ
とが望ましい。この触媒としては、例エバトリエチルア
ミン、トリエチレンジアミンのような第三級アミン、ス
タナスオクトエート、ジブチルチンジラウレートのよう
なスズ化合物が用いられる。
Although the reaction can be carried out either in the absence of a catalyst or in the presence of a catalyst, it is preferable to use a catalyst to speed up the reaction. Examples of catalysts used include tertiary amines such as evatriethylamine and triethylene diamine, and tin compounds such as stannath octoate and dibutyltin dilaurate.

ま友、反応は化合物(F、)や(Fs)の炭素−炭素二
重結合が重合しない条件で行うことが望ましく、そのた
めには反応温度FiaoC以下、好ましくは50C以下
である。また、活性光を遮断して反応を行うことが望ま
しい。
It is desirable that the reaction be carried out under conditions in which the carbon-carbon double bonds of compounds (F, ) and (Fs) do not polymerize, and for this purpose the reaction temperature is below FiaoC, preferably below 50C. Further, it is desirable to conduct the reaction while blocking active light.

さらに、反応はイソシアナート基1当量に対し活性水素
基1当量以上で反応させ、遊離のインシアナート基をな
くすことが好まし一〇 構造式(A)〜(C)から明らかなように、本発明で開
示された、いわゆるウレタン(メタ)アクリレートは、
イソシアナート七二級アルコールから生成しt型のウレ
タン化合物であることが必須である。
Further, it is preferable that the reaction is carried out using 1 equivalent or more of active hydrogen group per equivalent of isocyanate group to eliminate free incyanato groups.10 As is clear from structural formulas (A) to (C), the present invention The so-called urethane (meth)acrylate disclosed in
It is essential that it is a t-type urethane compound produced from isocyanate 7-secondary alcohol.

例えば特開昭47−13912号、同5〇−92124
、同54−153624号等に開示されているモノマー
のように、R,が水素である場合には、DFRによる画
像形成時に汎用される現像液、例えば1 、1 、1−
)リクロルエタン、トリクロロエチレン等や、硬化レジ
ストの剥離液である塩化メチレン等に著しく溶解しに<
<、未硬化レジストもしくは硬化レジストヲ剥離しても
微量のモノマーが基板上に残存し、後に続くメッキ、エ
ツチング等の工程が均一または完全には進まないという
問題点を有するのみでなく、汎用のバインダーに相溶性
が悪いことが多く、光重合性層が白化する現象もみられ
、透明性全生命とするフォトレジストとしては好ましく
ない。
For example, JP-A-47-13912, JP-A No. 50-92124
, No. 54-153624, etc., in which R is hydrogen, a developer commonly used during image formation by DFR, such as 1, 1, 1-
) Not significantly soluble in dichloroethane, trichlorethylene, etc., or methylene chloride, which is a stripper of hardened resist.
<Not only does it have the problem that even if the uncured resist or cured resist is peeled off, a small amount of monomer remains on the substrate, and subsequent processes such as plating and etching do not proceed uniformly or completely. They often have poor compatibility with the photopolymerizable layer, and whitening of the photopolymerizable layer is also observed, making them undesirable for photoresists that require transparency throughout their life.

本発明の光重合性層には、他の光重合性化合物を、好ま
しくはそれが主成分とならない量加えることができる。
Other photopolymerizable compounds can be added to the photopolymerizable layer of the present invention, preferably in amounts that do not constitute the main component.

その光重合性化合物としては、式(F・)ないしくF+
s)で示される七ツマ−である。
As the photopolymerizable compound, formula (F・) or F+
s).

式中、z、は水素、メチルま次はハロゲン、z。In the formula, z is hydrogen, methyl and halogen, and z.

はフェニル、ビニルフェニル、シアノ、ハロゲン、ピリ
ジル、イミダゾリルまtは−C−O−Z4(ここで、z
4は炭素数1ないし12のアルキル基、炭素数6ないし
10のシクロアルキル基、アリル基、ベンジル基、炭素
2ないし6のヒドロキシアルキル基、炭素数3ないし8
のジアルキルアミノアルキル基、炭素数1ないし6のハ
ロアルキル基、テトラヒドロフルフリル基、ハロフェニ
ル基、カルピトール基ま九は水素)であり、例えば、ス
チレン、ジビニルベンゼン、アクリロニトリル、メタク
リロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、およびア
クリル酸エチル、アクリル酸イングロビル、アクリル酸
ブチル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸ベンジ
ル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸ラウリ
ル、アクリル酸カルピトール、アクリル酸メトキシエチ
レングリコール、アクリル酸ジメチルアミノエチル、ア
クリル酸ジエチルアミノエチル、アクリル酸テトラヒド
ロフルフリル、アクリル酸2−クロロエチル、アクリル
酸2,3−ジブロモプロビル、アクリル酸トリブロモフ
ェニル、アクリル酸アリル等のアクリル酸エステル、も
しくは相当するメタクリル酸エステル1.ビニルピリジ
ン、ビニルイミダゾール等である。
is phenyl, vinylphenyl, cyano, halogen, pyridyl, imidazolyl or -C-O-Z4 (where z
4 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, an allyl group, a benzyl group, a hydroxyalkyl group having 2 to 6 carbon atoms, or a hydroxyalkyl group having 3 to 8 carbon atoms;
dialkylaminoalkyl group, C1-C6 haloalkyl group, tetrahydrofurfuryl group, halophenyl group, carpitol group (wherein nine is hydrogen), such as styrene, divinylbenzene, acrylonitrile, methacrylonitrile, α-chloroacrylonitrile , and ethyl acrylate, inglovir acrylate, butyl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, lauryl acrylate, carpitol acrylate, methoxyethylene glycol acrylate, dimethylaminoethyl acrylate, acrylic acid Acrylic esters such as diethylaminoethyl, tetrahydrofurfuryl acrylate, 2-chloroethyl acrylate, 2,3-dibromoprobyl acrylate, tribromophenyl acrylate, allyl acrylate, or corresponding methacrylic esters1. These include vinylpyridine and vinylimidazole.

式中、z、は炭素数2ないし1oの2価のアルキtは1
ないし20の!数、R6は水素またはメチル)であり、
モノマー(F、)の例としては、ベンタンジオール、ヘ
キサ/ジオール、エチレングリコール、テトラエチレン
グリコール、ノナエチレングリコール、ポリエチレング
リコール、ネオベンタンジオール、ポリプロピレングリ
コール等のジオールのジアクリレートやジメタクリレー
トが挙げられる。
In the formula, z is a divalent alkyl having 2 to 1 carbon atoms, and t is 1
Or 20! number, R6 is hydrogen or methyl),
Examples of monomers (F,) include diacrylates and dimethacrylates of diols such as bentanediol, hexa/diol, ethylene glycol, tetraethylene glycol, nonaethylene glycol, polyethylene glycol, neobentanediol, polypropylene glycol.

式中、z6は炭素数3ないし12の三価のアルキル基、
炭素数6ないし14の三価のフルコキシアルキル基また
は υ で、鳥はすでに定義されたものである。
In the formula, z6 is a trivalent alkyl group having 3 to 12 carbon atoms,
trivalent flukoxyalkyl group having 6 to 14 carbon atoms or υ, bird as previously defined;

モノマー(F8)の例としては、トリメチロールプロパ
ントリアクリレート、トリ(アクリロキシプロポキシ)
ヘキサン、トリ(アクリロキシプロポキシ)プロパ/、
トリ(ヒドロキシエチル)トリアジンアクリレート、お
よび相当するメタクリル酸エステルである。
Examples of monomers (F8) include trimethylolpropane triacrylate, tri(acryloxypropoxy)
Hexane, tri(acryloxypropoxy)prop/,
tri(hydroxyethyl)triazine acrylate and the corresponding methacrylic acid ester.

式中、Z?からzl!のうち少なくとも3が残りがヒド
ロキシ基であり、iは0ま几は1である。
During the ceremony, Z? From zl! At least 3 of them are hydroxy groups, and i is 0 and i is 1.

七ツマ−(F、)の例としては、ペンタエリスリトール
トリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリ
レート、ジペンタエリスリトールへキサアクリレート、
ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタ
エリスリトールテトラアクリレートおよびジペンタエリ
スリトールトリアクリレート等がある。
Examples of nanatsumer (F) include pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate,
Examples include dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, and dipentaerythritol triacrylate.

式中% ztsは炭素数1ないし8の二価のアルキル基
、しては、東亜合成化学工業株式会社Mwアロニツクス
”が挙げられる。
In the formula, %zts is a divalent alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and examples thereof include "Mw Aronix" manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.

式中、z14は炭素数1ないし10のアルキル基、炭素
数1ないし6のヒドロキシアルキル基ま友はである。
In the formula, z14 is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms or a hydroxyalkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

モノマー(Fu)の例としては、アクリルアミド、メチ
レンビスアクリルアミド、N−t−ブチルアクリルアミ
ド、N−t−オクチルアクリルアミド、N−メチロール
アクリルアミド、N−ブトキシメチルアクリルアミド、
および対応するメタクリルアミドが挙げられる。
Examples of the monomer (Fu) include acrylamide, methylenebisacrylamide, Nt-butylacrylamide, Nt-octylacrylamide, N-methylolacrylamide, N-butoxymethylacrylamide,
and the corresponding methacrylamide.

式中、R1は水素ま九はメチルである。In the formula, R1 is hydrogen and 9 are methyl.

式中、ztsは水素t7tは炭素数1ないし10のアル
キル基でありモノマー(Frs)の例としては、ケイと
酸、ケイヒ酸エチル、ケイと酸プロピル等がある。
In the formula, zts is hydrogen, t7t is an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, and examples of the monomer (Frs) include silicon and acid, ethyl cinnamate, and propyl silicon and acid.

:1 式中、21.は水素、フェニルま友は (FI4) (D例トしてハ、マレイミド、フェニルマ
レイミド、ジフェニルメタンビスマレイミド等があ(F
4) 式中s R1+zlはすでに定義されたものである。
:1 In the formula, 21. is hydrogen, and phenyl is hydrogen (FI4).
4) In the formula, s R1+zl is already defined.

(Fu) R,は水スま友はメチル、nは1ないし4の整数である
(Fu) R and water are methyl, and n is an integer from 1 to 4.

本発明に使用できる光重合開始剤または光増感剤として
は、例えばベンゾイン、ベンゾインアルキルエーテル、
アンスラキノンなどの多核キノン類、ベンゾフェノン、
クロルベンゾフェノ/、ミヒラーケトン、フレオノン、
チオ中サントン、ジアルキルチオキサントン、ハロゲン
化チオキサントン、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル
、ジメfj’安息香aエチル、ナフタレンスルホニルク
ロリド−アゾビスイソブチロニトリル、1−7ゾビスー
1−シクロヘキサンカルボニ) 、!J ”、2e ’
−ジクロルベンゾイルパーオキシド、ジフェニルジスル
フィド、ジペンゾチアゾール、1−(A−イングロビル
フェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1
−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプ
ロパン−1−オン;エリスロシンなどの色素と電子供与
物質、トリエチルアミン、p−アミノ安息香酸エステル
類、トリフェニルホスフィン、2−2−ジメトキシ−2
−7二二ルアセトフエノyなどが挙げられる。これらの
光重合開始剤または光増感剤は、それぞれ単独で用いて
もよいし、2種以上組合わせて用いてもより0これらの
必須成分の全光重合性層に対する重量分率は、バインダ
ーが5ないし95チであり、好ましく#i20ないし8
0%、さらに好ましくは30なりし70チである。全モ
ノマー量は95ないし5%であり、好ましくは80ない
し20%、さらに好ましくは70ないし50%でちる。
Examples of the photopolymerization initiator or photosensitizer that can be used in the present invention include benzoin, benzoin alkyl ether,
Polynuclear quinones such as anthraquinone, benzophenone,
Chlorbenzopheno/, Michler Ketone, Freonone,
thiosanthone, dialkylthioxanthone, halogenated thioxanthone, isoamyl dimethylaminobenzoate, dimethethyl benzoate, naphthalenesulfonyl chloride-azobisisobutyronitrile, 1-7zobis-1-cyclohexanecarboni),! J”, 2e’
-dichlorobenzoyl peroxide, diphenyl disulfide, dipenzothiazole, 1-(A-inglobylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropane-1
-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; dyes and electron-donating substances such as erythrosine, triethylamine, p-aminobenzoic acid esters, triphenylphosphine, 2-2-dimethoxy-2
-722-acetophenol and the like. These photopolymerization initiators or photosensitizers may be used alone or in combination of two or more. is 5 to 95, preferably #i20 to 8
0%, more preferably 30 to 70%. The total monomer content is 95 to 5%, preferably 80 to 20%, more preferably 70 to 50%.

かつ、このモノマーの91で最も含有量の多いモノマー
が構造式(A)、(n)ktは(C)で示されるモノマ
ーでなければならない。光重合開始剤の含量は0,01
ないし50チであり、好ましくは0.1ないし15チ、
さらに好ましくは1ないし10チである。
Furthermore, the monomer having the highest content of 91 among these monomers must be a monomer represented by the structural formula (A), and (n)kt must be a monomer represented by (C). The content of photoinitiator is 0.01
from 0.1 to 50 inches, preferably from 0.1 to 15 inches,
More preferably, it is 1 to 10 inches.

さらに、本発明の光重合性層には、必要に応じて染料、
安定剤、銅面密着剤、可塑剤などの添加剤を加えること
もできる。
Furthermore, the photopolymerizable layer of the present invention may optionally contain a dye,
Additives such as stabilizers, copper surface adhesives, plasticizers, etc. can also be added.

光重合性層の厚みは用途に応じて異なるが、印刷回路板
作製用(は5〜150μ、好ましくは5〜70μであシ
、薄いほど解像力は向上する。
The thickness of the photopolymerizable layer varies depending on the application, but for printed circuit board production (5 to 150 μm, preferably 5 to 70 μm); the thinner the layer, the better the resolution.

本発明の光重合性積層体に用いる支持層は、活性光に対
して透明であっても、ま几不透明であってもよいが、画
像形成工程の手間および露光時のゴミの付着防止などを
考慮すると活性光を透過する透明なものが望ましい。
The support layer used in the photopolymerizable laminate of the present invention may be transparent or completely opaque to actinic light, but it may be difficult to perform the image forming process and prevent dust from adhering during exposure. Taking this into consideration, a transparent material that transmits active light is desirable.

活性光を透過する支持層としては、ポリエチレンテレフ
タレートフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、ポ
リ塩化ビニルフィルム、塩化ヒニル共重合体フィルム、
ポリ塩化ビニリデンフィルム、塩化ビニリデン共重合体
フィルム、ポリメタクリル酸メチルフィルム、メタクリ
ル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、
ポリアクリロニトリルフィルム、スチレン共重合体フィ
ルム、ポリアミドフィルム、セルロース誘導体フィルム
などが誉げられる。
As the support layer that transmits active light, polyethylene terephthalate film, polyvinyl alcohol film, polyvinyl chloride film, hinyl chloride copolymer film,
Polyvinylidene chloride film, vinylidene chloride copolymer film, polymethyl methacrylate film, methyl methacrylate copolymer film, polystyrene film,
Examples include polyacrylonitrile film, styrene copolymer film, polyamide film, and cellulose derivative film.

なお、すでに述べたように、支持層を光重合性層から剥
離することなく、そのまま支持層と光重合性層の未露光
部を共に現像除去してレジスト画像を形成させる方法は
、プロセスの簡略化、画像の安定等、の利点を有してい
るが、本発明の光重合性層を適用すれば、過酷なラミネ
ート条件で本、支持フィルムに亀裂を生じさせることな
く使用することができる。この場合、支持体が光重合性
贋金溶解または分散でき・る溶媒疋、溶解ま几は分散す
る材料である必要がある。
As already mentioned, the method of forming a resist image by developing and removing the unexposed parts of the support layer and the photopolymerizable layer without peeling the support layer from the photopolymerizable layer simplifies the process. However, if the photopolymerizable layer of the present invention is applied, it can be used under severe lamination conditions without causing cracks in the book or support film. In this case, the support needs to be a material that can dissolve or disperse the photopolymerizable metal.

支持体としては、現像用液体が有機溶剤の場合は、その
溶解性の点でポリメタクリル酸メチルフィルム、メタク
リル酸メチル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム
、スチレン共重合体フィルムなどが特に好ましく、現像
用液体が水系の場合には、アミノ基、アンモニウム基、
水酸基、カルボキシル基およびこれらの塩を含む重合体
フィルム、例えばポリビニルアルコールフィルム、セル
ロース誘導体などが好ましい。
As the support, when the developing liquid is an organic solvent, polymethyl methacrylate film, methyl methacrylate copolymer film, polystyrene film, styrene copolymer film, etc. are particularly preferred from the viewpoint of solubility; When the liquid is aqueous, amino groups, ammonium groups,
Preferred are polymer films containing hydroxyl groups, carboxyl groups, and salts thereof, such as polyvinyl alcohol films, cellulose derivatives, and the like.

保換層は必須構成体ではないが、光重合性層から剥離し
やすい必要があり、その九め好ましくハポリエチレンフ
イルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、剥離剤
処理をし九ボリエチレンテレフタレート、剥離紙等があ
る。
Although the storage layer is not an essential constituent, it must be easy to peel off from the photopolymerizable layer, and it is preferably made of polyethylene film, polypropylene film, cellophane, polyethylene terephthalate treated with a release agent, release paper, etc. be.

本発明の光重合性層は、活性光線の照射により硬化する
が、ここで活性光線とは、可視光、紫外線、電子線を指
し、光源としては、太陽、アーク灯、水銀灯、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、殺菌灯、キセノン灯、螢光灯等があ
る。
The photopolymerizable layer of the present invention is cured by irradiation with active light, and the active light here refers to visible light, ultraviolet rays, and electron beams, and light sources include the sun, arc lamps, mercury lamps, high-pressure mercury lamps, and ultraviolet rays. There are high-pressure mercury lamps, germicidal lamps, xenon lamps, fluorescent lamps, etc.

(発明の効果) 本発明の光重合積層体は、特に印刷回路板形成用途に有
用であり、すでに述べ友テンティング法による銅スルー
ホール法およびメッキによるハンダスルーホール法の両
方の場合に、本光重合積層体を用い、従来公知の方法に
よって、極めて良好な成績でプリント配線板を作成する
ことができる。
(Effects of the Invention) The photopolymerized laminate of the present invention is particularly useful for forming printed circuit boards. A printed wiring board can be produced with extremely good results using a photopolymerized laminate by a conventionally known method.

テンティング法においては、硬化膜の高い機械的強度、
基板との接着性を反映して、現像時もしくはエツチング
時のスルーホール閉塞膜の破損が著しく少ない。ま九、
ハンダスルーホール法においては、メッキ時にメッキ液
等のレジストと基板の界面KBみ込むこともなく、良好
な耐メッキ性を示した。また、現像により未硬化の光重
合性層を完全に除去することができるため、エツチング
やメッキを極めて均一に行なうことができる。また、本
光重合性層は高い光感度を有し、露光時間の短縮化もも
たらす。
In the tenting method, high mechanical strength of the cured film,
Reflecting the adhesion to the substrate, there is significantly less damage to the through-hole closing film during development or etching. Maku,
In the solder through-hole method, good plating resistance was exhibited without penetrating the interface KB between the resist and the substrate, such as a plating solution, during plating. Further, since the uncured photopolymerizable layer can be completely removed by development, etching and plating can be performed extremely uniformly. Furthermore, the present photopolymerizable layer has high photosensitivity and shortens exposure time.

すなわち、本発明の光重合性積層体を用いることによシ
、高密度、高精密な印刷回路板の作製が容易であり、そ
の上印刷回路板炸裂工程の簡略化もできるという利点が
ある。
That is, by using the photopolymerizable laminate of the present invention, it is easy to produce a printed circuit board with high density and high precision, and furthermore, there is an advantage that the printed circuit board exploding process can be simplified.

また、本発明の光重合性積層体は、ソルダーレジストフ
ィルムとして使用することもでき、さらに、化粧板や印
刷版の作成、銘板、模様板等のエツチング工程等に応用
することもできる。
Furthermore, the photopolymerizable laminate of the present invention can be used as a solder resist film, and can also be applied to the production of decorative boards and printing plates, and the etching process of nameplates, pattern boards, etc.

(実施例) 次に、実施例によって本発明をさらに詳細に説明するが
、本発明は、これらの例に限定されるものではない。
(Examples) Next, the present invention will be explained in more detail with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

参考例1 滴下漏斗、温度計およびかきまぜ機t−備え九2を容の
四ツロフラスコに、化合物(F、)としてヘキサメチレ
ンジイソシアナー)148Pと、溶媒1として乾燥メチ
ルエチルケトン80?、および触媒としてジブチルスズ
ジラウレー)0.4pi加えかきまぜながら、化合物(
F+)として286fの2−ヒドロキシプロピルアクリ
レートと、溶媒2として651のメチルエチルケトンの
混合液を、内温か55Cf超えないように滴下し友。滴
下後も40Cで50時間かきまぜを続け、赤外吸収スペ
クトルで2270crII−1付近のインシアネート基
の特性吸収がほぼ消失し友ことを確認した。次に溶媒3
として50?のメチルエチルケトンを加え次。この反応
生成物1c−1とする。
Reference Example 1 In a 92-volume four-bottle flask equipped with a dropping funnel, a thermometer, and a stirrer, 148 % of hexamethylene diisocyaner (P) was added as the compound (F), and 80 % of dry methyl ethyl ketone was used as the solvent 1. , and dibutyltin dilauret as a catalyst), and while stirring, add the compound (
A mixture of 286f 2-hydroxypropyl acrylate (F+) and 651 methyl ethyl ketone (solvent 2) was added dropwise so that the internal temperature did not exceed 55Cf. After the dropwise addition, stirring was continued for 50 hours at 40C, and it was confirmed that the characteristic absorption of the incyanate group near 2270crII-1 almost disappeared in the infrared absorption spectrum. Next solvent 3
50? Next, add methyl ethyl ketone. This reaction product is referred to as 1c-1.

参考例2 参考例1と同じフラスコi’(2,4−)リレンジイソ
シアナート5sayとアセトン80tおよびジブチルス
ズジラウレート0.649f加え、かきまぜなから2−
ヒドロキシプロピルアクリレート3362と215fの
アセトンの混合溶液を滴下し、25時間かきまぜ続は友
。この間、内温か40Cを超えないように調節し友。反
応混合物を一部サンプリングして、等量のエタノールを
加え50Cで1時間放置し次サンプルをゲルパーミェー
ションクロマトグラフィーで分析し九ところ、トリレン
ジイソシアナートとエタノールの付加体は認められず、
トリレンジイノシアナートは反応で消費され九ことが確
認された。この反応混合物をC−2とする。
Reference Example 2 In the same flask as Reference Example 1, add 5say of (2,4-)lylene diisocyanate, 80t of acetone, and 0.649f of dibutyltin dilaurate, and stir.
Drop a mixed solution of hydroxypropyl acrylate 3362 and 215f in acetone and continue stirring for 25 hours. During this time, adjust the internal temperature so that it does not exceed 40C. A portion of the reaction mixture was sampled, an equal amount of ethanol was added, the mixture was left at 50C for 1 hour, and the sample was analyzed by gel permeation chromatography. No adduct of tolylene diisocyanate and ethanol was observed. ,
It was confirmed that tolylene diinocyanate was consumed in the reaction. This reaction mixture is designated as C-2.

参考例3 11容の三ツロフラスコに、プロピレングリコールジグ
リシジルエーテルジアクリレート(長瀬産業株式会社裂
デナコールアクリレー)DA−911:水酸基当量22
2 ) 97,7 rと前記C−2213011ジブチ
ルスズジラウレー)0.3?、アセトン751を加え、
磁気攪拌しながら30Cで4時間、さらに45Cで12
時間反応を続け、赤外吸収スペクトルによシ反応の終了
を確認し友。この生成物t−C−3とする。
Reference Example 3 In an 11-volume Mitsuro flask, propylene glycol diglycidyl ether diacrylate (Nagase Sangyo Co., Ltd. Hidenacol Acrylate) DA-911: hydroxyl equivalent 22
2) 97,7 r and the above C-2213011 dibutyltin dilaure) 0.3? , add acetone 751,
4 hours at 30C with magnetic stirring, then 12 hours at 45C.
Continue the reaction for some time and confirm the completion of the reaction by infrared absorption spectrum. This product is designated as t-C-3.

参考例4 参考例1で用いた四ツロフラスコに、化合物(F)溶媒
1として昨鈑エテルzoy2刀口え、ρ為さIぞながら
化合物(F、)として200?のポリエチレングリコー
ル(平均分子量200のもの)全2時間かけて滴下し九
。この間水浴の温度と滴下速度全調節することによシ、
内温が40Ct−超えないよう和した。さらに40Cで
1時間かきまぜたのち、化合物(F、)としてアクリル
酸2−ヒドロキシプロピル1549!f、内温か40C
1−超えないように滴下した。その後、40Cで48時
間かきまぜたのち、溶媒2として100?の酢酸エチル
を加え均一溶液とじ几。これをC−4とする。
Reference Example 4 In the Yotsuro flask used in Reference Example 1, compound (F) was added as solvent 1 and 200% ether was added as compound (F,). Polyethylene glycol (with an average molecular weight of 200) was added dropwise over a total of 2 hours. During this time, the temperature of the water bath and the dropping rate are fully adjusted.
The temperature was adjusted so that the internal temperature did not exceed 40 Ct. After further stirring at 40C for 1 hour, compound (F, ) was obtained as 2-hydroxypropyl acrylate 1549! f, internal temperature 40C
1 - Dropped so as not to exceed. After that, after stirring at 40C for 48 hours, 100℃ was used as solvent 2. Add ethyl acetate to make a homogeneous solution. This is designated as C-4.

参考例5〜13 参考例1と同様の装置および方法で徨々の七ツマ−〔反
応物(、C)〕k調裂した仕込みの原料の種類と量を第
1表に示す。なお、触媒としてはいずれの場合も、ジブ
チルスズジラウレートヲ用い友。ま九、各側の生成物を
それぞれC−4〜C−15とする。
Reference Examples 5 to 13 Table 1 shows the types and amounts of raw materials that were prepared using the same apparatus and method as in Reference Example 1 to prepare a seven-layer [reactant (, C)]. In all cases, dibutyltin dilaurate was used as the catalyst. 9. Let the products on each side be C-4 to C-15, respectively.

第1表の註釈 ※1)IPDI;インフオロンジインシアナート※2)
HPA  ;2−ヒドロキシグロビルアクリレート※3
)DNT  :HMDIアダクト(旭化成工業株式会社
製デュラネート24A−100) ※4)MEK  :メチルエチルケトン※5)B−,1
;2−ヒドロキシ−5−フェノキシプロピルアクリレー
ト〔東亜合成化学工業株式会社製 アロエックス(AR
ONIX)5700)※6)HMDI;ヘキサメチレン
ジイソシアナート※7)CHL  :HMDI  トリ
メチロールプロパンアダクト(日本ポリウレタン工業株
式会社製 コロネートHL、NGO含有量12.8%。
Notes to Table 1 *1) IPDI; influoron diincyanate *2)
HPA; 2-hydroxyglobyl acrylate *3
) DNT: HMDI adduct (Duranate 24A-100 manufactured by Asahi Kasei Corporation) *4) MEK: Methyl ethyl ketone *5) B-,1
; 2-Hydroxy-5-phenoxypropyl acrylate [Aroex (AR) manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.
ONIX) 5700) *6) HMDI; Hexamethylene diisocyanate *7) CHL: HMDI trimethylolpropane adduct (Coronate HL manufactured by Nippon Polyurethane Industries Co., Ltd., NGO content 12.8%.

75%酢酸エチル溶液) ※13)CL   ;)リレンジインシアナートトリメ
チロールプロパンアダクト(日本ポリウレタン工業株式
会社製コロネートL、NGO含有量13.2%、75%
酢酸エチル溶液) 余9)B−2;ポリプロピレングリコールモノメタクリ
レート(日本油脂製プレンマーp−1000゜平均分子
量370) ※10)TDI  :)リレンジイソシアナート※11
)MDI  ニジフェニルメタンジイソシアナート※1
2)TMHMDI: )リメチルへキサメチレンジイン
シアナート 参考例14 化合物(6)としてDNT (第1表※3 ) 96 
f。
75% ethyl acetate solution) *13) CL;) Lylene diincyanate trimethylolpropane adduct (Coronate L manufactured by Nippon Polyurethane Industries Co., Ltd., NGO content 13.2%, 75%
Ethyl acetate solution) 9) B-2; Polypropylene glycol monomethacrylate (NOF Premer p-1000° average molecular weight 370) *10) TDI:) lylene diisocyanate *11
) MDI Nidiphenylmethane diisocyanate *1
2) TMHMDI: ) Limethylhexamethylene diinocyanate Reference Example 14 DNT as compound (6) (Table 1 *3) 96
f.

溶媒1としてメチルエチルケトン80t、化合物(Fs
)として20fのポリエチレングリコール(平均分子量
200)、化合物(F、)としてアクリル酸2−ヒドロ
キシプロピル52t1溶媒2として52tのメチルエチ
ルケトン、反応容器として1を容のセパラブルフラスコ
を用いる以外は、参考例4と同様に反応させ、生成物C
−14を得た。
As solvent 1, 80t of methyl ethyl ketone, compound (Fs
), 20f polyethylene glycol (average molecular weight 200), compound (F, ), 2-hydroxypropyl acrylate, 52t, solvent 2, 52t methyl ethyl ketone, and reference example 4 except that a separable flask with a capacity of 1 was used as the reaction vessel. The product C is reacted in the same manner as
-14 was obtained.

参考例15 かきまぜ器、還流冷却器を備えた5を容のモノくラブル
フラスコに、イオン交換水2000Fを入れ、メチルセ
ルロース(信越化学製メトローズ5H−100)10p
、塩化ナトリウム5fを溶解し、75Cでかきまぜなか
らモノマーとしてメタクリル酸メチル480?とアクリ
ル酸ブチル20f1アゾビスインブチロニトリル2.5
f、  ドデシルメルカプタン12の均一混合物を投入
した。
Reference Example 15 Put 2000F of ion-exchanged water into a 5-inch capacity mono-rubber flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, and add 10p of methyl cellulose (Metrose 5H-100 manufactured by Shin-Etsu Chemical).
, dissolve 5f of sodium chloride and stir at 75C to form methyl methacrylate as a monomer. and butyl acrylate 20f1 azobisin butyronitrile 2.5
f. A homogeneous mixture of 12 dodecyl mercaptans was charged.

約1時間後に内温か上昇しはじめ90Ctで達した。8
0Cまで内温か下った時点で、水浴を800にあげ2時
間、さらに90Cで1時間かきまぜたのち、内容物を3
00メツシユの金プルイにあけ、十分量の水で洗浄した
。その結果、100〜400ミクロンの粒径のビーズ状
のポリマーが得られ乾燥した。このポリマーを8−15
とfる。
After about an hour, the internal temperature began to rise and reached 90 Ct. 8
When the internal temperature dropped to 0C, the water bath was raised to 800C for 2 hours, then stirred at 90C for 1 hour.
It was poured into a 0.00 mesh gold plate and washed with a sufficient amount of water. As a result, bead-shaped polymers with a particle size of 100 to 400 microns were obtained and dried. 8-15 of this polymer
And fru.

このB−15をゲルパーミェーションクロマトグラフィ
ーで分析したところ、重量平均分子量176.000で
あった。
When this B-15 was analyzed by gel permeation chromatography, it was found to have a weight average molecular weight of 176.000.

実施例1 かきまぜ器を備えた30ロー容のセパラブルフラスコに
バインダーとしてB−15499,モノマーとしてC−
1557と開始剤としてベンゾフェノン2fとミヒラー
スケトン0.2f、染料としてダイアレジンブルーP(
三菱化成工業株式会社製)、添加剤としてベンゾトリア
ゾール0.2?、I)−メト′キシフェノール50mg
、溶媒として酢酸エチル842を加え、15時間かきま
ぜた。
Example 1 B-15499 as a binder and C- as a monomer were placed in a 30-row separable flask equipped with a stirrer.
1557, benzophenone 2f and Michler's ketone 0.2f as initiators, and Diaresin Blue P (as dye).
(manufactured by Mitsubishi Chemical Industries, Ltd.), benzotriazole 0.2 as an additive. , I)-Meth'oxyphenol 50mg
, Ethyl acetate 842 was added as a solvent, and the mixture was stirred for 15 hours.

次に支持層としての20μのポリエチレンテレフタレー
トフィルム上にブレード・コーターを用いて、前記混合
物を塗布し、50分間風乾したのち、15分間60Cの
オープンで乾燥した。得られた光重合性層の厚みFi3
5μであった。次に、この感光層に保護層としての25
μのポリエチレンフィルムを加圧ロールで積層させたの
ち、前記ポリエチレンフィルムを剥離しながら、銅張り
、ガラスエポキシ積層板に80Cの加圧ロールで圧着し
た。この積層体にネガマスクフィルムを通して超高圧水
銀ランプ(オーク製作所フェニックス3000型)によ
り1c++f当り100 mJの照射量で露光を行なっ
た。次いで、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥
離し、スプレーノズルを用い1,1.1−トリクミルエ
タンを120秒[1させ、未露光部分を溶解除去せしめ
たところ、良好な画像(これをレジスト画像と称する)
を得た。40μの解偉力を示すことを確認した。次に5
0Cの塩化第2鉄溶液を2分間噴射し、露出銅面をエツ
チングしたが、画像の流れはみられなかった。
Next, the mixture was applied onto a 20μ polyethylene terephthalate film as a support layer using a blade coater, air-dried for 50 minutes, and then dried in the open at 60C for 15 minutes. Thickness Fi3 of the obtained photopolymerizable layer
It was 5μ. Next, this photosensitive layer is coated with 25% as a protective layer.
After laminating a μ polyethylene film using a pressure roll, the polyethylene film was peeled off and pressed onto a copper-clad glass epoxy laminate using an 80C pressure roll. This laminate was exposed to light through a negative mask film using an ultra-high pressure mercury lamp (Oak Seisakusho Phoenix 3000 model) at a dose of 100 mJ per 1 c++f. Next, the polyethylene terephthalate film was peeled off and 1,1,1-tricumylethane was applied for 120 seconds using a spray nozzle to dissolve and remove the unexposed areas, resulting in a good image (this is referred to as a resist image).
I got it. It was confirmed that it exhibited a dissolving power of 40μ. Next 5
A 0C ferric chloride solution was sprayed for 2 minutes to etch the exposed copper surface, but no image bleeding was observed.

、 実施例2 かきまぜ器と還流冷却器を備えた10tのセパラブルフ
ラスコに、バインダーとしてメタクリル樹脂(旭化成工
業株式会社製デルペツ)70H)1960 f、溶媒と
してメチルエチルケトン50001を入れ、70Cでか
きまぜて溶解したのち、モノマーとしてC−41880
?とジペンタエリスリトールペンタアクリレート(日本
化薬株式会社製DPHA)352f、開始剤としてベン
ゾフェノン802、ミヒラーズケトン81、染料として
ダイアレジンブルーP20f、ベンゾトリアゾール81
、p−メトキシフェノール1.31を加え、6時間かき
まぜたのち、この溶液を塗工機を用いて保護層としての
20μのポリエチレンフィルム上に塗布し、溶媒を乾燥
させることKより、40μの厚みの感光層を形成させた
のち、支持体となる15μの延伸ポリスチレンフィルム
でカバーしながらロール状に積層体を巻きとった。この
積層体をL−2と称する。次に、このロール状積層体を
2本用い、プリント基板用ラミネーターを用い、スルー
ホール基板(A,0龍径の孔が4.01t1間隔で10
64個穿孔された銅張りガラスエポキシ基板で、スルー
ホール部も銅メツキ処理したもの)の両面にポリエチレ
ンフィルムを剥離しながら、ポリスチレンに支持された
感光層を接着積層し、ラミネート基板を得た。この時ラ
ミネーターの加熱ロールは80CK設定した。このラミ
ネート基板に超高圧水銀灯を用いて120 mJ/Cr
/I量の照射を行ったのち、  1,1.1− )リク
ロルエタンを120秒間噴射させ、現像操作を行いスル
ーホール上の硬化膜の破れ数を数えたが、破れは見られ
なかった(この試験をテンティング−Iとする)。
, Example 2 In a 10 t separable flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, 1960 f of methacrylic resin (Delpetsu, manufactured by Asahi Kasei Corporation) 1960 f as a binder and methyl ethyl ketone 50001 as a solvent were stirred and dissolved at 70 C. Later, as a monomer, C-41880
? and dipentaerythritol pentaacrylate (DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) 352f, benzophenone 802 and Michler's ketone 81 as initiators, Diaresin blue P20f and benzotriazole 81 as dyes.
, 1.31 p-methoxyphenol was added, stirred for 6 hours, and then this solution was coated on a 20μ polyethylene film as a protective layer using a coating machine, and the solvent was dried to form a 40μ thick layer. After forming a photosensitive layer, the laminate was wound into a roll while being covered with a 15 μm stretched polystyrene film serving as a support. This laminate is called L-2. Next, using two of these roll-shaped laminates and using a printed circuit board laminator, a through-hole board (A, with 10 holes of 0 diameter at intervals of 4.01t1) was used.
A laminate substrate was obtained by adhesively laminating a photosensitive layer supported by polystyrene while peeling off a polyethylene film on both sides of a copper-plated glass epoxy substrate with 64 holes (the through-holes were also copper-plated). At this time, the heating roll of the laminator was set to 80CK. This laminated board was heated to 120 mJ/Cr using an ultra-high pressure mercury lamp.
/I amount of irradiation, 1,1.1-)lichloroethane was sprayed for 120 seconds, a development operation was performed, and the number of breaks in the cured film on the through holes was counted, but no breaks were observed (this The test will be referred to as Tenting-I).

次に、現像処理をした前記基板をsaCの塩化第二鉄溶
液を噴射し、2分間エツチング操作を行なったが、破れ
は認められなかった(この試験をテンティング−■とす
る)。次に、別のラミネート基板を用い、両面からラン
ドマスクを通し、前記条件で露光し、各スルーホールの
両面に4.6龍径の硬化膜を形成させ、テンティング■
、■と同様の試験を行なった。それぞれの試験をランド
I。
Next, saC ferric chloride solution was sprayed onto the developed substrate and an etching operation was performed for 2 minutes, but no tearing was observed (this test is referred to as tenting-■). Next, using another laminate substrate, it was exposed to light under the above conditions through a land mask from both sides to form a cured film with a diameter of 4.6 on both sides of each through hole, and the tenting
, A test similar to ■ was conducted. Rand I for each test.

ランド■とするが、いずれも孔の破れはみられなかった
Although land ■ was used, no holes were observed in either case.

実施例3 染料を用いない以外は、実施例1と同様の処方で感光性
組成物を調製し、38μ厚みのポリエチレンテレフタレ
ートフィルムに、塗工機を用イて120μの感光層を形
成させ、ポリエチレンフィルムでカバーしたものをロー
ル状に巻き取った。
Example 3 A photosensitive composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that no dye was used, and a 120μ photosensitive layer was formed on a 38μ thick polyethylene terephthalate film using a coating machine. The film covered material was wound up into a roll.

この積層体をポリエチレンフィルムを剥離しながら、合
板上にゴムロールでラミネーター、高圧水銀灯を用い4
00 mJ/dの露光を行なったのち、ポリエチレンテ
レフタレートフィルムを剥離したところ、合板上に強靭
な塗膜が形成された。この膜の鉛蓬硬度#i4Hであっ
た。さらにウェザ−O−メーターを用いて500時間露
光テストを行なったが、外観および表面硬度、合板への
密着性などの変化はなかった。
While peeling off the polyethylene film, place this laminate on a plywood board using a laminator with a rubber roll and a high-pressure mercury lamp.
When the polyethylene terephthalate film was peeled off after exposure at 0.00 mJ/d, a tough coating film was formed on the plywood. The lead hardness of this film was #i4H. Further, a 500 hour exposure test was conducted using a Weather O-meter, but there was no change in appearance, surface hardness, adhesion to plywood, etc.

実施例4〜17 実施例2と同様の装置を用い、同様の方法でドライフィ
ルムレジスト積層体を形成させた。用いた原料および量
、レジスト層の厚み、保護層、支持体を第2表Kまとめ
て示した。なお、6例について、モノマーとバインダー
を合わせ九重量の0.2%のベンゾトリアゾールおよび
0.05 %のp−メトキシフェノールを加えて、レジ
スト溶液を調整した。得られた積層体をそれぞれL−4
〜L−17と称する。
Examples 4 to 17 Using the same apparatus as in Example 2, dry film resist laminates were formed in the same manner. Table 2 K summarizes the raw materials and amounts used, the thickness of the resist layer, the protective layer, and the support. In addition, for 6 examples, resist solutions were prepared by adding 0.2% benzotriazole and 0.05% p-methoxyphenol based on the combined weight of monomer and binder. The obtained laminates were each L-4.
~ Referred to as L-17.

なお、実施例6,12.15,14.17にお ・いて
は、実施例2と異なり、支持層上に感光層を形成させた
後、保護層フィルムを積層してロール状積層体を形成さ
せた。また、これらの場合、実施例1のように、支持フ
ィルムを現像前に手で剥離した。また、テンティングお
よびランド試MO結果を第3表に示す。
In addition, in Examples 6, 12.15, and 14.17, unlike Example 2, after forming a photosensitive layer on the support layer, a protective layer film was laminated to form a rolled laminate. I let it happen. Also, in these cases, as in Example 1, the support film was peeled off by hand before development. Furthermore, the tenting and land test MO results are shown in Table 3.

(七ツマ−) M−1;東亜合成化学工業株式会社(以下、東亜合成と
略)製「アロニツクスM−305J(主成分:ペンタエ
リトリトールトリアク リ レー ト ) M−2:日本化薬株式会社製1’−D−130J(主成
分;ジペンタエリトリトールトリアクリ レー ト ) M−5;共栄社油脂化学工業株式会社(以下、共栄社油
脂と略)製「エポキシエステル 70PAJ(主成分;プロピレングリコールジグリシジ
ルエーテル・アクリル酸付加物) M−4;大阪有機化学工業株式会社(以下、大阪有機化
学と略)製「ビスコート3700J〔主成分、ビス(1
,5−ベンタンジオール)無水フタル酸−アクリル酸エ
ステル〕M−5:共栄社油脂裂[エポキシエステルB 
P −4PAJM−6;東亜合成部「アロニツクスa1
oOJ(多官能アクリル酸エステル) M−7;大阪有機化字表「ビスコート825J(無黄変
タイプウレタンアクリレート平均分子量135G)M−
8;共栄社油脂製1’−R−526J(ポリエステルタ
イプジアクリレート) M−9;東亜合成部「アロニツクスM−1200J(無
黄変型ウレタンアクリレート) M−10:昭和高分子株式会社製rsp−4o1o」(
特殊エポキシアクリレート) (バインダー) B−1;旭化成工業株式会社製 デルベット8ONB−
2:同社製        スタイロンP685 B−5;三菱レーヨン株式会社製 アクリベットB−4
;旭化成工業株式会社製 デルベラ)CR−IB−5=
同社製         デルペット70HB−6=同
社製        アサフレックスAFX−8IQ (開始剤) ニー1;2,4−ジイングロビルチオキサントンI−2
:4−(ジメチルアミノ)安息香酸イソプロピル ■−3:ペンゾ7二ノン I−4; 4,4’−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノ
ン エー5;フルオレイン 1−b;ジメチルベンジルケタール I−7;トリフェニルホスフィン I−8:4−クロルチオキサントン ■−9:4−(ジメチルアミノ)安息香酸エチルI −
10: 4−クロルベンゾフェノン(染 料) D−1:三菱化成工業株式会社製”Blue−P”D−
2:同社輿″Green−C” D−3;同社製”Blue−に″ D−4;同社製” Blue−G” (保護層)         (支持体)P 配向ポリ
プロピレン(20μ)S 配向ポリスチレン(15μ)
E ポリエチレン    (38μ)T  ポリエチレ
ンテレフタレート (20μ) 第3表 実施例1B 実施例1で得られ几感光層をラミネートし九銅張積層板
に、ポジマスクフィルムを通して100mJ/allの
照射量で露光を行り友。次いで1,1.1−トリクロル
エタンで現像を行い、次[40Cのニュートラクリーン
C(シラプレー・ファーイースト社製)K3分浸漬→水
洗→20チ過硫酸アンモニウム水溶液1分浸漬→水洗→
20チ硫酸アンモニウム水溶液2分浸漬→水洗の順に前
処理を行つ九のち、硫酸鋼メッキ液で第4表の注釈の条
件りで銅メッキを行ない、次に、同条件Fにし九がって
ハンダメッキを行なつ次。この結果、細線の流れはまつ
次〈見られなかつ次画像上にセロテープを貼〕、十分圧
着したのち、テープを剥離し次が、レジストの剥離は皆
無であった。また、前記前処理を行った別の基板を条件
EおよびFにし九がって鋼メッキ、さらにハンダメッキ
を行なつ九。
(Nanatsuma) M-1: "Aronix M-305J (main ingredient: pentaerythritol triacrylate)" manufactured by Toagosei Chemical Co., Ltd. (hereinafter referred to as Toagosei) M-2: Nippon Kayaku Co., Ltd. 1'-D-130J (Main component: dipentaerythritol triacrylate) M-5; Epoxy ester 70PAJ (Main component: Propylene glycol diglycidyl) manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo Co., Ltd. (hereinafter referred to as Kyoeisha Yushi) ether/acrylic acid adduct) M-4; “Viscoat 3700J [Main component, Bis(1
, 5-bentanediol) phthalic anhydride-acrylic ester] M-5: Kyoeisha Yushiki [Epoxy ester B
P-4PAJM-6; Toagosei Club “Aronix a1
oOJ (polyfunctional acrylic acid ester) M-7; Osaka organic chemical table "Viscoat 825J (non-yellowing type urethane acrylate average molecular weight 135G) M-
8: 1'-R-526J (polyester type diacrylate) manufactured by Kyoeisha Yushi M-9: Toagosei Department "Aronix M-1200J (non-yellowing type urethane acrylate) M-10: rsp-4o1o manufactured by Showa Kobunshi Co., Ltd." (
Special epoxy acrylate) (binder) B-1; Asahi Kasei Corporation Delvet 8ONB-
2: Styron P685 B-5 manufactured by the same company; Acryvet B-4 manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.
; manufactured by Asahi Kasei Corporation Delvera) CR-IB-5=
Delpet 70HB-6 manufactured by the same company = Asaflex AFX-8IQ manufactured by the same company (initiator) Knee 1; 2,4-diingrovirthioxanthone I-2
: 4-(dimethylamino)isopropyl benzoate ■-3: Penzo7dinone I-4; 4,4'-(dimethylamino)benzophenone A 5; Fluorein 1-b; Dimethylbenzyl ketal I-7; Triphenyl Phosphine I-8: 4-chlorothioxanthone ■-9: Ethyl 4-(dimethylamino)benzoate I-
10: 4-chlorobenzophenone (dye) D-1: "Blue-P" D- manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation
2: "Green-C" manufactured by the same company D-3; "Blue-" manufactured by the same company D-4; "Blue-G" manufactured by the same company (protective layer) (Support) P Oriented polypropylene (20μ) S Oriented polystyrene (15μ )
E Polyethylene (38 μ) T Polyethylene terephthalate (20 μ) Table 3 Example 1B The photosensitive layer obtained in Example 1 was laminated and exposed to light at a dose of 100 mJ/all through a positive mask film on a nine copper clad laminate. Friends. Next, development was performed with 1,1,1-trichloroethane, and then [40C Nutraclean C (manufactured by Silapray Far East) K immersion for 3 minutes → washing with water → immersion in aqueous solution of 20% ammonium sulfate for 1 minute → washing with water →
After performing pretreatment in the order of immersion in an aqueous ammonium 20 thiosulfate solution for 2 minutes and rinsing with water, copper plating was performed with a sulfuric acid steel plating solution under the conditions noted in Table 4, and then soldering was performed under the same conditions F. Next is plating. As a result, the flow of the thin line continued (I stuck cellophane tape on the image that could not be seen), and after applying sufficient pressure and peeling off the tape, there was no peeling of the resist at all. Further, another substrate subjected to the above pretreatment was subjected to steel plating and further solder plating under conditions E and F.

このものもセロテープ剥離試験では、レジストの剥離は
みられなかった。
In this case as well, no peeling of the resist was observed in the cellophane tape peeling test.

比較例1 以下の組成で調製し几溶液を用い、実施例1と同様な方
法で積層体を得九(光重合性層厚ミ40μ)。
Comparative Example 1 A laminate was prepared in the same manner as in Example 1 using a solution prepared with the following composition (photopolymerizable layer thickness: 40 μm).

B−14(参考例16で調製したもの)   200?
トリメチロールプロパントリアクリレート   220
 tべ/シフエノン           8tミヒラ
ーズケトン         0.8tベンゾトリアゾ
ール        0.8tp−メトキシフェノール
     0.13 ?ダイアレジンブルーp    
     29酢酸エチル           50
0?実施例2と同様の方法で、スルーホール基板にラミ
ネートシ、テンティング ランド試験を行なり光が、結
果は次のとおシで8つ7t−。
B-14 (prepared in Reference Example 16) 200?
Trimethylolpropane triacrylate 220
tbe/siphenon 8t Michler's ketone 0.8t benzotriazole 0.8t p-methoxyphenol 0.13? diamond resin blue p
29 Ethyl acetate 50
0? Using the same method as in Example 2, a through-hole board was laminated and a tenting land test was performed, and the results were as follows: 8 7t-.

テンティングI     8個 テンティング「   15個 ラ  /  ド     I        40  
個う  ン  ド     l         52
   個さらに、実施例18と同様のメッキ試験を行な
ったが、メッキし次画像の両側の硬化感光層が0.1〜
Q、5miの巾で剥離し几。
Tenting I 8 pieces Tenting 15 pieces La / Do I 40
Individual und l 52
Furthermore, a plating test similar to that in Example 18 was conducted, but the cured photosensitive layer on both sides of the image after plating was 0.1 to
Q: Peel off with a width of 5mm.

実施例19 トリメチロールプロパントリアクリレート220?のう
ち140tを同量のC−1に置き換え九以外は、比較例
1と同様に積層体を得7t、これt−L−19と称する
Example 19 Trimethylolpropane triacrylate 220? A laminate of 7 tons was obtained in the same manner as in Comparative Example 1, except that 140 tons of the sample was replaced with the same amount of C-1, and this is referred to as t-L-19.

実施例20〜35 実施例2および4ないし17および19で得られ几ドラ
イフィルムレジスト積層体を用い、実施例18と同様の
メッキ操作およびレジストの耐メッキ性の試験を行なっ
た。結果を第4表に示す。
Examples 20 to 35 Using the dry film resist laminates obtained in Examples 2 and 4 to 17 and 19, plating operations and resist plating resistance tests were conducted in the same manner as in Example 18. The results are shown in Table 4.

なお、表中のメッキ前処理、メッキ条件およびテープ剥
離試験の結果は、第4表の註釈に記され九とシシである
The results of the plating pretreatment, plating conditions, and tape peeling test in the table are listed in the annotations of Table 4 and are 9 and 10.

第  4  表 A−C−E B−C−E A−D−E 20L−2aab 21L−4baa 22L−5aab 23L−6bbb 24L−7aaa 25L−+1aba 24L−9aaa 27L−10aab 28L−11aab 29  L−12b  b  b 50L−13a  a  H 31L−14a  a  b 32  L−15a  b  b 33  L−16b  a  1) S4L−17aab 35L−18abb (注) くメッキ前処理条件〉 条件A;マクダミツド社製[Lsnj 5G%水溶液[
40C3分間浸漬後、15チ過 硫酸ア/モニクム水溶液に1分間、さ らに2チ希硫酸に2分間浸漬 条件B;ダイヤフロック社袈「オーカイト90」5チ水
溶液中で50Gで2分間、4A /dm’の電流密度で電解脱脂後、15%過硫酸アンモ
ニウム水溶液に1分、さ らに20%希硫酸VC2分間浸漬 くメッキ条件〉 条件C;ジャパンメタルフイニツシング社裂「硫酸銅コ
ンク」を19%硫酸で3.6倍に希釈したメッキ液中で
2.57L/dm’の電流密度で室温下、30分メッキ
を 行なう。
Table 4 A-C-E B-C-E A-D-E 20L-2aab 21L-4baa 22L-5aab 23L-6bbb 24L-7aaa 25L-+1aba 24L-9aaa 27L-10aab 28L-11aab 29 L-12b b b 50L-13a a H 31L-14a a b 32 L-15a b b 33 L-16b a 1) S4L-17aab 35L-18abb (Note) Plating pre-treatment conditions> Condition A: Manufactured by MacDamitsu [Lsnj 5G% aqueous solution [
After immersed in 40C for 3 minutes, immersed in 15% am/monicum persulfate aqueous solution for 1 minute, and further in 2% diluted sulfuric acid for 2 minutes Condition B: Diafloc company "Okite 90" in 5% aqueous solution at 50G for 2 minutes, 4A / dm After electrolytic degreasing at a current density of ', plating conditions were immersed in 15% ammonium persulfate aqueous solution for 1 minute and then 2 minutes in 20% diluted sulfuric acid VC> Condition C: Japan Metal Finishing Co., Ltd. "Copper sulfate conc" was immersed in 19% sulfuric acid. Plating is performed in a plating solution diluted 3.6 times at a current density of 2.57 L/dm' at room temperature for 30 minutes.

条件D;バーショー・封圧社製「ピロドンコ/り」の5
0チ水溶液中で55Cで50 分間2.5 A/dゴの電流密度でメッキを行なう。
Condition D: 5 of “Pyrodonko/Ri” manufactured by Bursho Hampou Co., Ltd.
Plating is carried out at a current density of 2.5 A/d for 50 minutes at 55C in a 0% aqueous solution.

条件E;マクダメツド社裏の)為ンダメツキ液(錫/鉛
=4/6)t−用い、2A/dイの電流密度で10分間
メッキを行なう。
Condition E: Plating was carried out for 10 minutes at a current density of 2 A/d using a blind plating solution (tin/lead = 4/6) produced by Makdamatsu Co., Ltd.

くテープ剥離試験評価) a;レジストはまつ几く剥離しない。(tape peel test evaluation) a; The resist does not peel off easily.

b;画像の両側に100μ以下の巾でI 1m以下の長
さの部分が処々剥離し次。
b: Parts with a width of 100μ or less and a length of 1m or less were peeled off here and there on both sides of the image.

比較例2 比較例1で調製した積層体を用い、実施例18と同様な
方法で耐メツキ試験を行なり九。メッキ条件とテープ剥
離試験の結果を次′に示す。
Comparative Example 2 Using the laminate prepared in Comparative Example 1, a plating resistance test was conducted in the same manner as in Example 18. The plating conditions and tape peel test results are shown below.

メッキ条件    テープ剥離試験結果A−C−E  
 画線の両側に100〜200μの巾で3〜5菖霞長さ
でレジストが剥離し几。
Plating conditions Tape peel test results A-C-E
The resist peels off on both sides of the image line in a width of 100-200μ and a length of 3-5 iris.

B−C−E   画線の両側VCl50〜2507!O
巾で4〜10■■長さでレジストが剥離し友。
B-C-E Both sides of the drawing line VCl50~2507! O
The resist peels off with a length of 4 to 10 cm.

A−D−E   画線の両側に5G〜180μの巾で3
〜5m+11長さでレジストが剥離し九。
A-D-E 3 with a width of 5G to 180μ on both sides of the drawing line
The resist peeled off at a length of ~5m+11.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 光重合性層と支持層とからなり、必要に応じて該光重合
性層の他表面に保護層が存在する光重合性積層体におい
て、該光重合性層が (1)ビニル重合体もしくはビニル共重合体からなるバ
インダー5〜95重量% (2)下記の一般式(A)または(B)または(C)で
示される分子量/含有二重結合数の値が1000以下で
ある光重合性化合物を主成分とする光重合可能な不飽和
化合物95〜5重量% (3)光重合開始剤0.01〜30重量% を含有して成ることを特徴とする光重合性積層体。 ▲数式、化学式、表等があります▼(A) ▲数式、化学式、表等があります▼(B) ▲数式、化学式、表等があります▼(C) 〔式中、nは0以上の整数、mは3ないし10の整数、
R_1は水素またはメチル基、Xは炭素数1ないし8の
2価の脂肪族炭化水素基または ▲数式、化学式、表等があります▼ (ここで、R_3は炭素数1ないし4のアルキル基、p
は1ないし10の整数、q、rはそれぞれ1ないし4の
整数)、R_2は炭素数1ないし6のアルキル基または
CH_2−O−R_4(ここで、R_4はフェニル基、
アリール基、または炭素数1ないし6のアルキル基)、
Yは炭素数2ないし16の二価の炭化水素基、Zは−(
CH_2)_t−O−、▲数式、化学式、表等がありま
す▼(ここで、tは2ないし10の整数、xは1ないし
30の整数)、▲数式、化学式、表等があります▼また
は ▲数式、化学式、表等があります▼ (ここで、Z_1は−(CH_2)_t−O−、▲数式
、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、表等が
あります▼、▲数式、化学式、表等があります▼または ▲数式、化学式、表等があります▼)、 Wは▲数式、化学式、表等があります▼で、W_1は▲
数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼、▲数式、化学式、
表等があります▼または ▲数式、化学式、表等があります▼ (ここで、W_2は炭素数3ないし10の三価の炭化水
素基、sは1ないし5の整数)を表わす。〕
[Claims] A photopolymerizable laminate comprising a photopolymerizable layer and a support layer, and optionally a protective layer on the other surface of the photopolymerizable layer, wherein the photopolymerizable layer has (1 ) 5 to 95% by weight of a binder consisting of a vinyl polymer or vinyl copolymer (2) The value of molecular weight/number of double bonds contained, represented by the following general formula (A), (B), or (C), is 1000 or less A photopolymerizable compound characterized by containing 95 to 5% by weight of a photopolymerizable unsaturated compound whose main component is a photopolymerizable compound that is (3) 0.01 to 30% by weight of a photopolymerization initiator. laminate. ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (A) ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (B) ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (C) [In the formula, n is an integer greater than or equal to 0, m is an integer from 3 to 10,
R_1 is hydrogen or a methyl group, X is a divalent aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, or ▲a mathematical formula, chemical formula, table, etc.
is an integer of 1 to 10, q and r are each an integer of 1 to 4), R_2 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or CH_2-O-R_4 (here, R_4 is a phenyl group,
aryl group or alkyl group having 1 to 6 carbon atoms),
Y is a divalent hydrocarbon group having 2 to 16 carbon atoms, Z is -(
CH_2)_t-O-, ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ (where t is an integer from 2 to 10, x is an integer from 1 to 30), ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼ or ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (Here, Z_1 is -(CH_2)_t-O-, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ Mathematical formulas, chemical formulas , there are tables, etc. ▼ or ▲ there are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼), W is ▲ there are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, and W_1 is ▲
There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼, ▲ Mathematical formulas, chemical formulas,
There are tables, etc. ▼ or ▲ There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc. ▼ (where W_2 is a trivalent hydrocarbon group having 3 to 10 carbon atoms, and s is an integer of 1 to 5). ]
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