JPS61261895A - Semiconductor memory device - Google Patents

Semiconductor memory device

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JPS61261895A
JPS61261895A JP60104315A JP10431585A JPS61261895A JP S61261895 A JPS61261895 A JP S61261895A JP 60104315 A JP60104315 A JP 60104315A JP 10431585 A JP10431585 A JP 10431585A JP S61261895 A JPS61261895 A JP S61261895A
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JP
Japan
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signal
output
circuit
memory cells
test
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JP60104315A
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Japanese (ja)
Inventor
Toru Kimura
亨 木村
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Publication date
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  • Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To execute a highly speedy test by changing over and outputting a signal to measure whether or not outputs of plural memory cells are coincident to written data and the signal selected from plural reading signals. CONSTITUTION:When a change-over signal phi1 is L and is in operation usually, an AND circuit 110 is opened through an inverter 109, an OR circuit 108, the reading output of plural memory cells from a memory array 101 is selected and outputted through the circuit 110. On the other hand, when the signal phi1 is H and the test action is executed, a gate 110 is opened through an OR circuit 107. Deciding results L and H outputted by an exclusive OR circuit 106 in accordance with respective the coincidence and the dissidence of the reading output of plural memory cells in which the same writing signal phi2 is written and the signal phi2 are outputted through circuits 108 and 110, and by the simultaneous processing of plural memory cells, the highly speedy test of the memory cell array can be executed without providing the output data pin, the output pad, etc.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体記憶装置に関する。[Detailed description of the invention] [Technical field of invention] The present invention relates to a semiconductor memory device.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

近年半導体記憶装置はますます人容争化し、それに伴い
試験時間がますます長くなってきている。
In recent years, semiconductor memory devices have become increasingly labor intensive, and testing times have accordingly become longer and longer.

例えばIMbitダイナミックRAMの動作試験の場合
、リードサイクルとライトサイクルを10回繰り返すI
ONパターンを用いた単純な試験方法では、1ザイクル
の時間を500 n5ecとすると、1回の試験時間は
約5秒となり、256KbitダイナミツクRAMの4
倍、64KbitダイナミックRAMの16倍もの時間
がかかることになる。
For example, in the case of an IMbit dynamic RAM operation test, read cycles and write cycles are repeated 10 times.
In a simple test method using an ON pattern, if the time for one cycle is 500 n5ec, the time for one test is approximately 5 seconds, and the
This means that it takes 16 times as long as a 64Kbit dynamic RAM.

したがっていかにして効率良く試験時間を短縮するかが
重要な課題となっている。
Therefore, how to efficiently shorten test time has become an important issue.

試験の高速化を図るため従来法のような方法が採用され
ている。第1に高速な特殊モードを用いる方法がある。
Conventional methods are used to speed up testing. The first method is to use a high-speed special mode.

例えばページモード、ニブルモード、スタティックコラ
ムモード等の高速特殊モードであり、動作時間を通常モ
ードの2/3から1/2に短縮することができる。しか
しこのような特殊モードの試験は、必要以上に厳しい試
験となる恐れがあり、開発段階の半導体記憶装置には適
していイ【いという問題があった。またこのにうな特殊
モードの試験では、タイミングパラメータ測定等の試験
がおこなえないという問題があった。
For example, it is a high-speed special mode such as page mode, nibble mode, static column mode, etc., and the operating time can be reduced from 2/3 to 1/2 of the normal mode. However, such a special mode test may be unnecessarily severe, making it unsuitable for semiconductor memory devices in the development stage. In addition, this special mode test had a problem in that tests such as timing parameter measurements could not be performed.

第2に半導体記憶装置の全てのメモリセルではなくて一
部のメモリセルをテストする部分動作試験がある。しか
しながらこの試験では試験をした以外のメモリセルが不
良であっても検出することができないため、使用範囲が
限定されるという問題があった。
Second, there is a partial operation test that tests not all memory cells but some memory cells of a semiconductor memory device. However, in this test, even if memory cells other than those tested are defective, it cannot be detected, so there is a problem that the range of use is limited.

第3に試験時だ【プ多ビットを並列出力して動作時間の
短縮を図った方法がある。しかし、製品段階ではテスト
用に多数のピンを確保することができないため、ウェー
ハ段階でしか試験することができないという問題があっ
た。またウェーハ段階で試験をする場合でもデス1〜用
に出力パッドを設ける必要があるという問題があった。
Third, during testing, there is a method that outputs multiple bits in parallel to reduce operating time. However, since it is not possible to secure a large number of pins for testing at the product stage, there is a problem in that testing can only be performed at the wafer stage. Further, even when testing is performed at the wafer stage, there is a problem in that it is necessary to provide output pads for devices 1 to 1.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、製品段階
でも高速試験することが可能な半導体記憶装置を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in consideration of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a semiconductor memory device that can be tested at high speed even at the product stage.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

上記目的を達成するために本発明による半導体記憶装置
は、通常動作時には、選択手段により複数のメモリセル
からの出力信号を選択して出力手段から出力し、試験時
にはこれらメモリセルからの出力信号が書込データ信号
であるか否かを判定する判定信号を同じ出力手段から出
力するようにしたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, the semiconductor memory device according to the present invention selects output signals from a plurality of memory cells by the selection means and outputs them from the output means during normal operation, and outputs the output signals from these memory cells during testing. The present invention is characterized in that a determination signal for determining whether or not the signal is a write data signal is outputted from the same output means.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

本発明の一実施例による半導体記憶装置を第1図に示す
。メモリアレイ101は多数のメモリセルを有している
。このメモリアレイ101には4本のデータ線111が
接続されており、これらデータ線111はマルチプレク
サ102に接続されている。マルチプレクサ102は、
これら4本のデータ線111から、アドレス信号Add
により指定されたデータ線の信号を出力する。この出力
信号は切換回路103に入力される。一方データ線11
1にはそれぞれデス1〜用データ線112が接続され、
これらテスト用データ線112は、多入力排他的論理和
回路106に接続されている。
FIG. 1 shows a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention. Memory array 101 has a large number of memory cells. Four data lines 111 are connected to this memory array 101, and these data lines 111 are connected to a multiplexer 102. The multiplexer 102 is
From these four data lines 111, the address signal Add
Outputs the data line signal specified by . This output signal is input to the switching circuit 103. On the other hand, data line 11
1 are connected to data lines 112 for des 1 to 1, respectively,
These test data lines 112 are connected to a multi-input exclusive OR circuit 106.

この排他的論理和回路106には、メモリセルへの書込
データ信号φ2も入力している。排他的論理和回路10
6の出力信号は切換回路103に入力される。
A write data signal φ2 to the memory cell is also input to this exclusive OR circuit 106. Exclusive OR circuit 10
The output signal of 6 is input to the switching circuit 103.

切換回路103は、切換信号φ1により、マルチプレク
サ102からの信号と排他的論理和回路106からの信
号を切換えて出力する。この切換回路は、第1図に示す
ようにオアゲー1〜107゜108、インバータ109
、アンドゲート110とで構成されている。マルチプレ
クサ102からの出力信号ど切換信号φ1がオアゲート
107に入力される。オアゲー1〜108にはインバー
タ109により反転された切換信号φ1と、排他的論理
和回路106からの出力信号とが入力される。
The switching circuit 103 switches and outputs the signal from the multiplexer 102 and the signal from the exclusive OR circuit 106 in response to the switching signal φ1. As shown in FIG.
, and an AND gate 110. The output signal φ1 from the multiplexer 102 is input to the OR gate 107. The switching signal φ1 inverted by the inverter 109 and the output signal from the exclusive OR circuit 106 are input to the OR games 1 to 108.

オアゲート107とオアゲート108の出力信号はアン
ドゲート110に入力され、アンドゲート110から切
換えられた信号が出力される。この信号は出力バッファ
104で増幅され、出力パッド105を介して出力デー
タピン(図示せず)から出力される。
The output signals of OR gate 107 and OR gate 108 are input to AND gate 110, and a switched signal is output from AND gate 110. This signal is amplified by output buffer 104 and output from an output data pin (not shown) via output pad 105.

次に動作について説明する。通常動作の場合は、まずメ
モリアレイ101中′のメモリセルに所定のデータを書
込む。この書込みデータは4本のデータ線111から4
ビット同時に読出され、マルチプレクサ102に入力す
る。これら4ビツトの読出しデータのいずれかを出力す
るかはアドレスAddにより指定される。マルチプレク
サ102から出力された信号は切換回路103中のオア
ゲート107に入力される。通常動作時には切換信号φ
1は「0」であるので、マルチプレクサ102からの出
力信号がアンドゲート110に出力される。一方オアゲ
−1−108には切換信号φ1を反転した信号、すなわ
ち「1」が入力されるので、オアゲート108からの信
号は、排他的論理和回路106からの出力にかかわらず
常に「1」となる。したがってアンドゲート110から
は、マルチプレクサ102により選択された続出データ
信号が出力される。
Next, the operation will be explained. In the case of normal operation, predetermined data is first written into memory cells in memory array 101. This write data is transmitted from four data lines 111 to 4.
The bits are read simultaneously and input to multiplexer 102. Which of these 4-bit read data is to be output is specified by the address Add. The signal output from multiplexer 102 is input to OR gate 107 in switching circuit 103. Switching signal φ during normal operation
Since 1 is "0", the output signal from multiplexer 102 is output to AND gate 110. On the other hand, since a signal obtained by inverting the switching signal φ1, that is, "1" is input to the OR gate 1-108, the signal from the OR gate 108 is always "1" regardless of the output from the exclusive OR circuit 106. Become. Therefore, AND gate 110 outputs successive data signals selected by multiplexer 102.

テス1へ動作の場合には、まず切換信号φ1を「1」と
し、メモリアレイ101中の試験を行なう4ビツトのメ
モリセルに同一の書込データ、例えば「1」を書込む。
In the case of operation to test 1, first, the switching signal φ1 is set to "1", and the same write data, for example "1", is written into the 4-bit memory cell to be tested in the memory array 101.

メモリアレイ101からの4ビツトの読出しデータは排
他的論理和回路106に入力される。また排他的論理和
回路106には、信号φ2として書込データ「1」が入
力されている。これら4ビツトの読出データおよび信号
φ2が全て同じであれば、排他的論理和回路106は「
0」を出力し、ひとつの読出データでも異なれば「1」
が出力され、その異なる読出データを出力したメモリセ
ルが不良であることが判定できる。たとえ、読出した4
つのメモリセル全てが不良で「0」なる続出データを出
力したとしても、書込データ信号φ2として正しい書込
データ「1」が入力されているので、全てのメモリセル
が不良であることを検出できる。
4-bit read data from memory array 101 is input to exclusive OR circuit 106. Furthermore, write data "1" is input to the exclusive OR circuit 106 as the signal φ2. If these 4-bit read data and signal φ2 are all the same, the exclusive OR circuit 106
0" is output, and if even one read data is different, it is output as "1".
is output, and it can be determined that the memory cell that outputs the different read data is defective. Even if I read out 4
Even if one memory cell is defective and outputs a series of "0" data, it is detected that all memory cells are defective because the correct write data "1" is input as the write data signal φ2. can.

排他的論理和回路106からの出力信号は、切換回路1
03のオアゲーh 108に入力される。
The output signal from the exclusive OR circuit 106 is sent to the switching circuit 1
03's or game h 108 is inputted.

切換信号φ1は「1」であるから、オアゲート108に
は反転された「0」なる信号が入力される。したがって
オアゲート108からは、排他的論理和回路106から
の出力信号がそのまま出力される。一方オアゲート10
7には切換信号φ1である「1」なる信号が入力される
ため、マルチプレクサ102からの出力にかかわらず常
に「1」となる。したがってアントゲ−r−110から
は、排他的論理和回路106からの判定信号が出力され
る。
Since the switching signal φ1 is "1", an inverted signal "0" is input to the OR gate 108. Therefore, the output signal from the exclusive OR circuit 106 is outputted from the OR gate 108 as it is. On the other hand, or gate 10
Since the signal “1” which is the switching signal φ1 is input to the switch 7, the signal is always “1” regardless of the output from the multiplexer 102. Therefore, the judgment signal from the exclusive OR circuit 106 is output from the Antogame R-110.

このように切換信号φ1にJこり通常動作モードと試験
動作モードを切換えることにJ:す、通常動作時のメモ
リセルからの読出データ信号も、排他的論理和回路10
6からの判定信号も、共通の出力バッファ104、出力
パッド105を介して出力データピンに出力されること
になる。
In this way, by using the switching signal φ1 to switch between the normal operation mode and the test operation mode, the read data signal from the memory cell during normal operation is also transferred to the exclusive OR circuit 10.
The determination signal from 6 is also output to the output data pin via the common output buffer 104 and output pad 105.

このように本実施例によれば、出力パッド、出力データ
ピンを新たに設けることなく、従来の試験時間の1/4
でテストすることができるので、テストコストの増大を
招くことなく試験の高速化が可能である。
In this way, according to this embodiment, the test time can be reduced to 1/4 of the conventional test time without newly providing an output pad or output data pin.
Since the test can be performed using the following methods, it is possible to speed up the test without increasing the test cost.

上記実施例ではデータ線111、テスト用データ線11
2を4本としたが、4本以上にしてもよい。例えば第2
図に示すようにデータ線111、テスト用データ線11
2を2°本(n=1.2゜3、・・・)とすれば、試験
時間を従来の1/2°に短縮することができる。なおデ
ータ線111を2°本とした場合、マルチプレクサ10
2へのアドレス信号Addは2 本のデータ線111か
ら1本を選択する信号とする。
In the above embodiment, the data line 111 and the test data line 11
2 is set to four, but the number may be four or more. For example, the second
As shown in the figure, a data line 111, a test data line 11
If 2 is set to 2° (n=1.2°3, . . . ), the test time can be shortened to 1/2 of the conventional time. Note that when the data line 111 is 2°, the multiplexer 10
The address signal Add to 2 is a signal for selecting one of the two data lines 111.

また上記実施例ではメモリセルに「1」を書込んだが、
rOJを書込むようにしてもよい。また全てのメモリセ
ルに同一のデータを書込むのではなく、特定のパターン
を書込むようにしてもよい。
Furthermore, in the above embodiment, "1" was written to the memory cell, but
rOJ may also be written. Further, instead of writing the same data to all memory cells, a specific pattern may be written.

その場合、排他的論理和回路106に入力する信号が全
て同じ信号になるように、排他的論理和回路106の入
力端に特定のパターンに応じてインバータを設けるよう
にする。なお、この特定のパターンは、メモリセルのテ
ストに適した最悪パターンであることが望ましい。さら
にメモリセルに書込む特定のパターンとして多種類のパ
ターンを切換えるようにしてもよい。その場合切換えら
れたパターンに応じてメモリセルの良、不良を判定する
回路を切換えるようにする。
In that case, an inverter is provided at the input end of the exclusive OR circuit 106 according to a specific pattern so that all the signals input to the exclusive OR circuit 106 are the same signal. Note that this specific pattern is preferably the worst pattern suitable for testing memory cells. Furthermore, various types of patterns may be switched as the specific pattern to be written into the memory cell. In this case, the circuit for determining whether the memory cell is good or bad is changed according to the changed pattern.

さらに上記実施例ではデータ線とテスト用データ線は同
じ本数であったが、必ずしも同じではなくともよい。
Further, in the above embodiment, the number of data lines and the test data lines are the same, but they do not necessarily have to be the same.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上の通り本発明によれば出力データピンや出力パッド
等の出力手段を新たに設けることなく、高速でテストす
ることができる。したがってつ工−ハ段階だけではなく
製品段階でも高速テストをすることが可能であるという
利点がある。またテスト用に出力手段を設ける必要がな
いので、設計上おJ:び製造上効率がよく、テストコス
トの低減が図れる。
As described above, according to the present invention, high-speed testing can be performed without newly providing output means such as output data pins and output pads. Therefore, there is an advantage that high-speed testing can be performed not only at the manufacturing stage but also at the product stage. Further, since there is no need to provide an output means for testing, efficiency in design and manufacturing is improved, and testing costs can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の一実施例による半導体記憶装置の回路
図、 第2図は本発明の他の実施例による半導体記憶装置の回
路図である。 101・・・メモリアレイ、102・・・マルチプレク
サ、103・・・切換回路、104・・・出力バッフ7
.105・・・出力パッド、106・・・排他的論理和
回路、111・・・データ線、112・・・テスト用デ
ータ線。
FIG. 1 is a circuit diagram of a semiconductor memory device according to one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a circuit diagram of a semiconductor memory device according to another embodiment of the present invention. 101...Memory array, 102...Multiplexer, 103...Switching circuit, 104...Output buffer 7
.. 105... Output pad, 106... Exclusive OR circuit, 111... Data line, 112... Test data line.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、複数のメモリセルを有するメモリアレイと、 このメモリアレイの複数のメモリセルから読出された複
数の出力信号から所望の出力信号を選択する選択手段と
、 前記複数の出力信号が前記メモリセルに書込んだデータ
信号であるか否かを判定して判定信号を出力する判定手
段と、 この判定手段からの判定信号と前記選択手段からの所望
の出力信号とを切換えて出力する切換手段と、 この切換手段から出力される信号を出力する共通の出力
手段と を備えたことを特徴とする半導体記憶装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記メ
モリセルに同一データを書込み、前記判定手段は、前記
複数の出力信号が同一であるか否かを判定することを特
徴とする半導体記憶装置。 3、特許請求の範囲第2項記載の装置において、前記判
定手段は、前記データ信号を入力し、前記複数の出力信
号が同一であり、かつ前記データ信号と一致するか否か
を判定することを特徴とする半導体記憶装置。
[Claims] 1. A memory array having a plurality of memory cells; a selection means for selecting a desired output signal from a plurality of output signals read from the plurality of memory cells of the memory array; and the plurality of outputs. a determining means for determining whether a signal is a data signal written in the memory cell and outputting a determining signal; and switching between the determining signal from the determining means and a desired output signal from the selecting means. What is claimed is: 1. A semiconductor memory device comprising: switching means for outputting a signal; and common output means for outputting a signal output from the switching means. 2. A semiconductor memory device according to claim 1, wherein the same data is written in the memory cells, and the determining means determines whether or not the plurality of output signals are the same. Device. 3. In the apparatus according to claim 2, the determining means receives the data signal and determines whether the plurality of output signals are the same and match the data signal. A semiconductor memory device characterized by:
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