JPS61141442A - 光可溶化組成物 - Google Patents
光可溶化組成物Info
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- JPS61141442A JPS61141442A JP59264183A JP26418384A JPS61141442A JP S61141442 A JPS61141442 A JP S61141442A JP 59264183 A JP59264183 A JP 59264183A JP 26418384 A JP26418384 A JP 26418384A JP S61141442 A JPS61141442 A JP S61141442A
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- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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- G03F7/075—Silicon-containing compounds
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する売可溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
ω活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、及び
(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくと
も7個有する化合物、を含有する新規な売可溶化組成物
に関する。
ッドプロジェクタ−用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する売可溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
ω活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、及び
(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくと
も7個有する化合物、を含有する新規な売可溶化組成物
に関する。
「従来の技術J
活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノ/ジアジド化合
物が知られておシ、笑際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第一、フィロ、111
号、同第−17ご7,09−号、同′!n=、72コ、
り7コ号、同第、2.j”!9.//コ号、同第=、り
07.ぶご3号、同第3,04tに、710号、同第3
,0ダ6.・777号、同第、!、04t4.//!号
、同@3,0ダt、//r号、同第J、0ダイ、772
号、同第3.0ダイ、7.2θ号、同第3,0ダ4 、
/、2/号、同第j、04を乙、722号、同第3.
04tt、723号、同第3,0乙/、930号、同第
3,10.2.、!”09号、同第3,104゜17号
、同第3,63!、709号、同第3゜44t7 、4
t4tJ号の各明細書をはじめ、多数の刊行物に記され
ている。
る感光性物質としては、従来オルトキノ/ジアジド化合
物が知られておシ、笑際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第一、フィロ、111
号、同第−17ご7,09−号、同′!n=、72コ、
り7コ号、同第、2.j”!9.//コ号、同第=、り
07.ぶご3号、同第3,04tに、710号、同第3
,0ダ6.・777号、同第、!、04t4.//!号
、同@3,0ダt、//r号、同第J、0ダイ、772
号、同第3.0ダイ、7.2θ号、同第3,0ダ4 、
/、2/号、同第j、04を乙、722号、同第3.
04tt、723号、同第3,0乙/、930号、同第
3,10.2.、!”09号、同第3,104゜17号
、同第3,63!、709号、同第3゜44t7 、4
t4tJ号の各明細書をはじめ、多数の刊行物に記され
ている。
これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こして!員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものでおるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率が7を越えないということに由来するものである。
射により分解を起こして!員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものでおるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率が7を越えないということに由来するものである。
オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困雛であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭り♂−/ココ4tコ号、特開昭
!コー4tO/2j号、米国特許第@ 、307.77
3号などの明細書に記載された内容を挙げることができ
る。
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困雛であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭り♂−/ココ4tコ号、特開昭
!コー4tO/2j号、米国特許第@ 、307.77
3号などの明細書に記載された内容を挙げることができ
る。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その7つとして、例えば特公昭!≦−
−乙?を号の明細書に記載されてbるオルトニトロカル
ビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
′S−の反応を生起させ、それによ)露光域を可溶化す
る公知の原理が適用されている。
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その7つとして、例えば特公昭!≦−
−乙?を号の明細書に記載されてbるオルトニトロカル
ビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
′S−の反応を生起させ、それによ)露光域を可溶化す
る公知の原理が適用されている。
このような例として、例えば光分解によF:J酸を発生
する化合物と、アセタール又はO,N−アセメール化合
物との組合せ(特開昭at−rり003号)、オルトエ
ステル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭
!/−/λ0774を号)、主鎖に7セタール又はケタ
ール基を有するポリマーとの組合せ(!R開昭j3−7
3341コツ号)、エノールエーテル化合物との組合せ
(特開昭j!−/−?り3号)、N−アシルイミノ炭酸
化合物との組合せ(特開昭3!−72ぶ一34号)、及
び主鎖にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ
(特開昭!d−77341j号)を挙げることができる
。これらは原理的に量子収率が/を越える為、高い感光
性を示す可能性があるが、アセタール又はO,N−アセ
タール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケター
ル基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸によ
る第コの反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光
性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセター
ル化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、
更にN−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感
光性を示すが、経時での安定が悪く、長期に保存するこ
とができない。主鎖にオルトエステル基を有するポリマ
ーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像許
容性が狭いという欠点を有する。
する化合物と、アセタール又はO,N−アセメール化合
物との組合せ(特開昭at−rり003号)、オルトエ
ステル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭
!/−/λ0774を号)、主鎖に7セタール又はケタ
ール基を有するポリマーとの組合せ(!R開昭j3−7
3341コツ号)、エノールエーテル化合物との組合せ
(特開昭j!−/−?り3号)、N−アシルイミノ炭酸
化合物との組合せ(特開昭3!−72ぶ一34号)、及
び主鎖にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ
(特開昭!d−77341j号)を挙げることができる
。これらは原理的に量子収率が/を越える為、高い感光
性を示す可能性があるが、アセタール又はO,N−アセ
タール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケター
ル基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸によ
る第コの反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光
性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセター
ル化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、
更にN−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感
光性を示すが、経時での安定が悪く、長期に保存するこ
とができない。主鎖にオルトエステル基を有するポリマ
ーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像許
容性が狭いという欠点を有する。
「発明が解決しようとする問題点」
本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な光
可溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な光可溶化組成物
を提供することである。
可溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な光可溶化組成物
を提供することである。
本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長期に保存
が可能な新規な光可溶化組成物を提供することである。
が可能な新規な光可溶化組成物を提供することである。
本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る新規な光可溶化組成物を提供することである。
る新規な光可溶化組成物を提供することである。
「問題点を解決するための手段」
本発明者は、上記目的を達成すぺ〈鋭意検討を加えた結
果新規な光可溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達した。
果新規な光可溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達した。
即ち本発明は、次の(31(2)の光可溶化組成物であ
る。
る。
m (al活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物、及びら)分子中に下記一般式(Dで示される、酸に
より分解し得るシリルエーテル基を少なくとも7個有し
、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、エステ
ル基のうち少なくとも7個を有する化合物を含有するこ
とを特徴とする光可溶化組成物、 (2)(ω活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
、及び(b3分子中に下記一般式(I)で示される、酸
により分解し得るシリルエーテル基を少なぐとも7個有
し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基のうち少なくとも7個を有し、更に親水性基を少
なくとも/個有する化合物を含有することを特徴とする
光可溶化組成物。
物、及びら)分子中に下記一般式(Dで示される、酸に
より分解し得るシリルエーテル基を少なくとも7個有し
、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、エステ
ル基のうち少なくとも7個を有する化合物を含有するこ
とを特徴とする光可溶化組成物、 (2)(ω活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
、及び(b3分子中に下記一般式(I)で示される、酸
により分解し得るシリルエーテル基を少なぐとも7個有
し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基のうち少なくとも7個を有し、更に親水性基を少
なくとも/個有する化合物を含有することを特徴とする
光可溶化組成物。
本発明(2)の親水性基を有する化合物を含有した光可
溶化組成物は、特に親水性表面を持つ支持体に対して塗
布性が優れている。
溶化組成物は、特に親水性表面を持つ支持体に対して塗
布性が優れている。
なお本発明でいう親水性基としては、具体的には下記に
示されるものがある。
示されるものがある。
÷CH2CH20wn ・
÷−+CHz+20+FF+CHzCH2−0+−n(
CHCH2−0九れCH2CH2−0)、 。
CHCH2−0九れCH2CH2−0)、 。
(CH2CH2H2−0)n 。
H
式中、lは/〜ダの整数を示し、m、nti=以上の整
数、好ましくは−〜100(りIi数、更に好ましくけ
−〜、20の整数を示す。Rはアルキル基、又は置換も
しくは無置換のフェニル基を示す。特に好ましい親水性
基は+CH2CH2−0+。である。
数、好ましくは−〜100(りIi数、更に好ましくけ
−〜、20の整数を示す。Rはアルキル基、又は置換も
しくは無置換のフェニル基を示す。特に好ましい親水性
基は+CH2CH2−0+。である。
また本発明に用いられる(blの化合物としては好まし
くは、一般式(I)で示される酸により分解し得るシリ
ルエーテル基及びウレタン基、ウレイド基、アミド基、
エステル基のうち少なくとも7個を有する化合物または
更に親水性基を少々くとも/個有する化合物でちシ、下
記一般式(n)の繰返し単位によって化合物を表わすこ
とができる。
くは、一般式(I)で示される酸により分解し得るシリ
ルエーテル基及びウレタン基、ウレイド基、アミド基、
エステル基のうち少なくとも7個を有する化合物または
更に親水性基を少々くとも/個有する化合物でちシ、下
記一般式(n)の繰返し単位によって化合物を表わすこ
とができる。
I(2
+R10Si O+ (n)
式中、R】はウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基のうち少なくとも7個を有し、更に必要により親
水性基を少なくとも/個有する、コ価の脂肪族又は、芳
香族炭化水素を示す。R2、R3は同一でも相異してい
てもよく、それぞれ水素原子、アルキル基、アルケニル
基、置換もしくは無置換のアリール基又はアラルキル基
、又は−OR4を示す。好ましくは炭素数/〜弘のアル
キル基、又は−0R4を示す。R4は置換もしくは無置
換のアルキル基、アリール基、又はアラルキル基、好ま
しくは炭素数7〜2個のアルキル基、又は炭素数g〜/
jのアリール基を示す。
テル基のうち少なくとも7個を有し、更に必要により親
水性基を少なくとも/個有する、コ価の脂肪族又は、芳
香族炭化水素を示す。R2、R3は同一でも相異してい
てもよく、それぞれ水素原子、アルキル基、アルケニル
基、置換もしくは無置換のアリール基又はアラルキル基
、又は−OR4を示す。好ましくは炭素数/〜弘のアル
キル基、又は−0R4を示す。R4は置換もしくは無置
換のアルキル基、アリール基、又はアラルキル基、好ま
しくは炭素数7〜2個のアルキル基、又は炭素数g〜/
jのアリール基を示す。
更に本発明に用いられる化合物伽)は、一般式(It)
で示される繰返し単位を2種以上含有していてもよく、
また上記の一般式(n)及び下記の(m)で示される繰
返し単位をそれぞれ7種以上含有する化合物でもよい。
で示される繰返し単位を2種以上含有していてもよく、
また上記の一般式(n)及び下記の(m)で示される繰
返し単位をそれぞれ7種以上含有する化合物でもよい。
÷R508i 0+(In)
式中、R5はウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基は有しないが、必要により親水性基を少なくとも
/個有する、コ価の脂肪族、又は芳香族炭化水素を示す
。
テル基は有しないが、必要により親水性基を少なくとも
/個有する、コ価の脂肪族、又は芳香族炭化水素を示す
。
本発明のわ)における化合物の具体例としては次に示す
ものが含まれる。
ものが含まれる。
なおA/〜37は親水性基を含まない化合物を1扁31
−17は親水性基を含む化合物を示す。
−17は親水性基を含む化合物を示す。
1J!
:J乙
しれ3
なお具体例中のnは7以上の整数を示す。またX% Y
s zはモル比を示し、化合物例扁弘0、ダ/、弘3
でけx=j〜iooモル−1y = 0〜り!モルチ、
2=0〜り!モルーである。また化合物例&76〜コ一
、−7〜コt%!!、!?、Jり、4t!、及び4t4
tS−4t!ではx:j〜100モルチ、モル0〜りj
セル−を示す。
s zはモル比を示し、化合物例扁弘0、ダ/、弘3
でけx=j〜iooモル−1y = 0〜り!モルチ、
2=0〜り!モルーである。また化合物例&76〜コ一
、−7〜コt%!!、!?、Jり、4t!、及び4t4
tS−4t!ではx:j〜100モルチ、モル0〜りj
セル−を示す。
これらの酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも/個有する化合物と組合せて用いる、活性光線の照
射により酸を発生し得る化合物としては多くの公知化合
物及び混合物、例えば、ジアゾニウム、ホスホニウム、
スルホニウム、及ヒヨードニウムのBF4−、PF、′
″、s b F 6− +5iF6−、ct04−など
の塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノンジアジドスル
ホニルクロリド、及び有機金属/有機ハロゲン化合物組
合せ物が適当である。もちろん、米国特許第3,27り
、77r号及び西ドイツ国特許第コ、乙10.!ダコ号
の明細書中に記載された光分解により酸を発生させる化
合物も本発明の組成物として適する。更に適当な染料と
組合せて露光の際、未露光部と露光物の間に可視的コン
トラストを与えることを目的とした化合物、例えば特開
昭7フー7774(2号、同j7−/43コJ4を号の
明細書に記載された化合物も本発明の組成物として使用
することができる。
とも/個有する化合物と組合せて用いる、活性光線の照
射により酸を発生し得る化合物としては多くの公知化合
物及び混合物、例えば、ジアゾニウム、ホスホニウム、
スルホニウム、及ヒヨードニウムのBF4−、PF、′
″、s b F 6− +5iF6−、ct04−など
の塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノンジアジドスル
ホニルクロリド、及び有機金属/有機ハロゲン化合物組
合せ物が適当である。もちろん、米国特許第3,27り
、77r号及び西ドイツ国特許第コ、乙10.!ダコ号
の明細書中に記載された光分解により酸を発生させる化
合物も本発明の組成物として適する。更に適当な染料と
組合せて露光の際、未露光部と露光物の間に可視的コン
トラストを与えることを目的とした化合物、例えば特開
昭7フー7774(2号、同j7−/43コJ4を号の
明細書に記載された化合物も本発明の組成物として使用
することができる。
上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特にオ
ルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及びハロメチ
ル基が置換し九S−)リアジン誘導体、オキサジアゾー
ル誘導体が好ましい。というのは、例えばオルトキノン
ジアジドスルホニルクロリドの場合露光の際3つの数基
(即ち塩改、スルホン散、カルボン駿)が形成される為
、比較的大きい割合で前記シリルエーテル基を分解させ
ることができるからでらる・ これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物と
前記酸によυ分解し得るシリルエーテル基を少なくとも
/個有する化合物との割合は、重量比で0.00/:/
−コニ/であり、好ましくは0.0コニ/〜0.?:/
で使用される。
ルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及びハロメチ
ル基が置換し九S−)リアジン誘導体、オキサジアゾー
ル誘導体が好ましい。というのは、例えばオルトキノン
ジアジドスルホニルクロリドの場合露光の際3つの数基
(即ち塩改、スルホン散、カルボン駿)が形成される為
、比較的大きい割合で前記シリルエーテル基を分解させ
ることができるからでらる・ これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物と
前記酸によυ分解し得るシリルエーテル基を少なくとも
/個有する化合物との割合は、重量比で0.00/:/
−コニ/であり、好ましくは0.0コニ/〜0.?:/
で使用される。
本発明の光可溶性組成物は、上記活性光線の照射により
酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得るシリルエ
ーテル基を少なくとも/個有する化合物の組合せのみで
使用することができるが、アルカリ可溶性樹脂と混合し
て用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂には
、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的には、
フェノ−ル、jt A/A 7 ルア”ヒト樹脂、o−
クレゾールホルムアルデヒド樹脂、m−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭!117
−72!!06号公報に記されている様に上記のような
フェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノールホルムア
ルデヒド樹脂のような炭素数3〜tのアルキル基で置換
されたフェノールまたはクレゾールとホルムアルデヒド
との縮合物とを併用すると、一層好ましい。アルカリ可
溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物の全重量を基
準として約4tO〜約り0重量%、よシ好ましくは40
〜r0重量叫含有させられる。
酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得るシリルエ
ーテル基を少なくとも/個有する化合物の組合せのみで
使用することができるが、アルカリ可溶性樹脂と混合し
て用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂には
、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的には、
フェノ−ル、jt A/A 7 ルア”ヒト樹脂、o−
クレゾールホルムアルデヒド樹脂、m−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭!117
−72!!06号公報に記されている様に上記のような
フェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノールホルムア
ルデヒド樹脂のような炭素数3〜tのアルキル基で置換
されたフェノールまたはクレゾールとホルムアルデヒド
との縮合物とを併用すると、一層好ましい。アルカリ可
溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物の全重量を基
準として約4tO〜約り0重量%、よシ好ましくは40
〜r0重量叫含有させられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所謂増感剤)などを含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的KH、オイルイエロー#10/、
オイルイエロー@/ j O、オイルピンク#J /
J、オイルグリーンBG、オイルブルーBO8,オイル
ブルー#g03、オイルブラックBY、オイルブラック
BS1オイルブラックT−tθ!(以上、オリエント化
学工業株式会社製)クリスタルバイオレット(CIダコ
j!り、メチルバイオレット(CI4t2!!! )、
ローダミンB(CIダj/70B)、マラカイトグリー
ン(CIe、2ooo)、メチレンブルー(CIjJO
/l)などをあげることができる〇 本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、−一メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あシ、これらの溶媒を単独あるいは混合し、て使用する
・そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は
、−〜jO重量係である。このうち、本発明の組成の好
ましい濃度(固形分)は0./〜2J重量%である。ま
た、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印
刷版についていえば一般的に固形分としてθ、!〜j
、 09 / ffL2が好ましい。
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所謂増感剤)などを含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的KH、オイルイエロー#10/、
オイルイエロー@/ j O、オイルピンク#J /
J、オイルグリーンBG、オイルブルーBO8,オイル
ブルー#g03、オイルブラックBY、オイルブラック
BS1オイルブラックT−tθ!(以上、オリエント化
学工業株式会社製)クリスタルバイオレット(CIダコ
j!り、メチルバイオレット(CI4t2!!! )、
ローダミンB(CIダj/70B)、マラカイトグリー
ン(CIe、2ooo)、メチレンブルー(CIjJO
/l)などをあげることができる〇 本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、−一メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あシ、これらの溶媒を単独あるいは混合し、て使用する
・そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は
、−〜jO重量係である。このうち、本発明の組成の好
ましい濃度(固形分)は0./〜2J重量%である。ま
た、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印
刷版についていえば一般的に固形分としてθ、!〜j
、 09 / ffL2が好ましい。
塗布量が少くなるKつれ感光性は大になるが、感光膜の
物性は低1する。
物性は低1する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
また印刷用校正版、オーバーへッドブロジエクター用フ
ィルム第−原図用フイルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
ィルム第−原図用フイルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば鋼板、銅メツキ板、ガラス板上、に本発明の光可溶性
組成物を塗布して使用される。
ば鋼板、銅メツキ板、ガラス板上、に本発明の光可溶性
組成物を塗布して使用される。
本発明に用いられる活性光感の光源としては例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレ−ザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレ−ザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物にたいする現像液としては、珪
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水
溶液が適当であシ、それらの濃度が0.7〜10重量゛
チ、好ましくはQ、!〜!重it1になるように添加さ
れる。
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水
溶液が適当であシ、それらの濃度が0.7〜10重量゛
チ、好ましくはQ、!〜!重it1になるように添加さ
れる。
また、該アルカリ性水溶液には、心安に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
「実施例」
以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い◇ 合成例/(化合物例AIの原料合成) エチレングリコール/lに触媒量のピリジンを加え、こ
れK J l ” )リレン−ジインシアナート/3
りIを、攪拌しながら滴下ロートよシ約yQ分間かけて
添加した。添加後70°Cにて、更に1時間攪拌を続け
た。その後、反応溶液を氷−メタノール浴にて冷却し、
白色固体を析出せしめた。戸別後、約21の水で再結晶
し、白色結晶コ/4tfl(収率り0チ)を得た。NM
R及び元素分析により、この白色結晶が、ビス−(λ−
ヒドロキシエチル)、2.(t−)リレンジカルバメー
トることを確認した。
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い◇ 合成例/(化合物例AIの原料合成) エチレングリコール/lに触媒量のピリジンを加え、こ
れK J l ” )リレン−ジインシアナート/3
りIを、攪拌しながら滴下ロートよシ約yQ分間かけて
添加した。添加後70°Cにて、更に1時間攪拌を続け
た。その後、反応溶液を氷−メタノール浴にて冷却し、
白色固体を析出せしめた。戸別後、約21の水で再結晶
し、白色結晶コ/4tfl(収率り0チ)を得た。NM
R及び元素分析により、この白色結晶が、ビス−(λ−
ヒドロキシエチル)、2.(t−)リレンジカルバメー
トることを確認した。
合成例コ(化合物例Ji2Jの原料合成)七ノエタノー
ルアン/lに触媒量のトリエチルアミ/を加え、これに
−+ ” −)リレン−ジインシアナート/J9flを
攪拌しながら滴下ロートよシ約/時間かけて添加した。
ルアン/lに触媒量のトリエチルアミ/を加え、これに
−+ ” −)リレン−ジインシアナート/J9flを
攪拌しながら滴下ロートよシ約/時間かけて添加した。
添加後j0°Cにて更に7時間攪拌を続けた。生成した
白色固体を戸別し、約31の水で再結晶した。白色結晶
/!6g(収率66%)を得た・NMR及び元素分析に
より、この白色結晶が2.4t−トリレン−ビス−(コ
ーヒドロキシエチルカルパミト) と全確認した。
白色固体を戸別し、約31の水で再結晶した。白色結晶
/!6g(収率66%)を得た・NMR及び元素分析に
より、この白色結晶が2.4t−トリレン−ビス−(コ
ーヒドロキシエチルカルパミト) と全確認した。
合成例3(化合物例扁/の合成)
合成例/にて得たビス−(,2−ヒドロキシエチル)J
、g−トリレンジ力ルバメートコ?、♂y(O,700
mole)、ピリジン/7.4ti(0゜22omo1
e )を酢酸エナル/♂Qd中で室温下撹拌し、ジクロ
ロジメチルシラン/−0りg(0゜100mole)の
トルエン20−溶液を滴下ロートよシ添加した。添加に
約30分間を要した。添加後、!0°Cで1時間攪拌を
続けた。
、g−トリレンジ力ルバメートコ?、♂y(O,700
mole)、ピリジン/7.4ti(0゜22omo1
e )を酢酸エナル/♂Qd中で室温下撹拌し、ジクロ
ロジメチルシラン/−0りg(0゜100mole)の
トルエン20−溶液を滴下ロートよシ添加した。添加に
約30分間を要した。添加後、!0°Cで1時間攪拌を
続けた。
生成したピリジンのHα塩を戸別した後、反応溶液を!
−N a HCOs水溶液−〇〇−1更に飽和食塩水2
00@lで洗浄し、Na25o4にて乾燥させた。その
後反応溶液を@縮乾枯した結果、無色の樹脂31gを得
た。NMRiCよシ、その構造が化合物例AIであるこ
とを確認した。更にGPC(Gel Permeat
ion Chromatography ) Kよυ
分子量を測定したところ、ポリスチレン標準でダ、!O
0でらった。
−N a HCOs水溶液−〇〇−1更に飽和食塩水2
00@lで洗浄し、Na25o4にて乾燥させた。その
後反応溶液を@縮乾枯した結果、無色の樹脂31gを得
た。NMRiCよシ、その構造が化合物例AIであるこ
とを確認した。更にGPC(Gel Permeat
ion Chromatography ) Kよυ
分子量を測定したところ、ポリスチレン標準でダ、!O
0でらった。
合成例/と同様な方法により得たビス−(−2−ヒドロ
キシエチル)m−キシレンジカルパメーはエチレングリ
コール濃a後、水再結晶で行った。)/er、7II(
0,0≦00mole)、p −dP ’/ IJVン
グIJ=y−ルj 、!77 (0,54t05mg1
6)、ピリジン/7.ダy(Q、JJomole)の酢
酸エチル/10dの混合物を合成例3に示した方法で反
応、後処理゛した。無色の粘稠な液体24t9を得た。
キシエチル)m−キシレンジカルパメーはエチレングリ
コール濃a後、水再結晶で行った。)/er、7II(
0,0≦00mole)、p −dP ’/ IJVン
グIJ=y−ルj 、!77 (0,54t05mg1
6)、ピリジン/7.ダy(Q、JJomole)の酢
酸エチル/10dの混合物を合成例3に示した方法で反
応、後処理゛した。無色の粘稠な液体24t9を得た。
NMRにより、その構造が化合物倒産/7であることを
確認し、更にGPCにより分子量を測定したところ、ポ
リスチレン標準でx、to。
確認し、更にGPCにより分子量を測定したところ、ポ
リスチレン標準でx、to。
であった。
合成例−で得た一、4t−)リレン−ビス−(λ−ヒド
ロキシエチルカルバミド)?、りI(o、osoomo
le)、テトラエチレングリコ−に/J、A11(0,
0700m01e )、ピリジ7/7.4tli(0,
−コ0mole)の酢酸エチル/10−混合物を合成例
3に示した方法と同様に反応、後処理した。無色の粘稠
な液体コ、2gを得た。NMRにより、その構造が化合
物例l64tコでであることを確認し、更KGPCによ
り分子量を測定したところ、ポリスチレン標準で/、j
σ0であった。
ロキシエチルカルバミド)?、りI(o、osoomo
le)、テトラエチレングリコ−に/J、A11(0,
0700m01e )、ピリジ7/7.4tli(0,
−コ0mole)の酢酸エチル/10−混合物を合成例
3に示した方法と同様に反応、後処理した。無色の粘稠
な液体コ、2gを得た。NMRにより、その構造が化合
物例l64tコでであることを確認し、更KGPCによ
り分子量を測定したところ、ポリスチレン標準で/、j
σ0であった。
N、N−m−7二二レン ビス(−J−ヒドロキシプロ
ピロンアミド) oaoomole)、p−キシリレングリ:r−に/。
ピロンアミド) oaoomole)、p−キシリレングリ:r−に/。
1p(o、otoomole )、ピリジン/7、ダg
(o、saomole)の酢酸エチル/♂0−混合を合
成例3に示した方法と同様に反応、後処理した。無色の
粘稠な液体−0gを得た。NMRにより、その構造が化
合物例A33であることを確認し、更KGPCKより分
子量を測定したところ、ポリスチレン標準でコ、30Q
であった。
(o、saomole)の酢酸エチル/♂0−混合を合
成例3に示した方法と同様に反応、後処理した。無色の
粘稠な液体−0gを得た。NMRにより、その構造が化
合物例A33であることを確認し、更KGPCKより分
子量を測定したところ、ポリスチレン標準でコ、30Q
であった。
ビス−(−−ヒドロキシエチル)イン7タレ(o、10
omole)、ピリジン/7,4tfl(0゜、zaa
mole)のトルエン100−溶液にジクロロジzfル
シラ// ! 、 7 g (0、/ 00mole)
のトルエン、20d溶液を室温下、攪拌しながら滴下ロ
ートよυ約30分間かけて添加した。添加後!OOCに
て2時間攪拌を続けた。生成したピリジンのHαを戸別
後、合成例Jに示した方法と同様に後処理を行い、無色
の粘稠な液体22gを得た。NMRKよ)、その構造が
化合物例4J、(であることを確認し、更にGPCKよ
シ分子量を測定したところ、ポリスチレン標準でj 、
000であった。
omole)、ピリジン/7,4tfl(0゜、zaa
mole)のトルエン100−溶液にジクロロジzfル
シラ// ! 、 7 g (0、/ 00mole)
のトルエン、20d溶液を室温下、攪拌しながら滴下ロ
ートよυ約30分間かけて添加した。添加後!OOCに
て2時間攪拌を続けた。生成したピリジンのHαを戸別
後、合成例Jに示した方法と同様に後処理を行い、無色
の粘稠な液体22gを得た。NMRKよ)、その構造が
化合物例4J、(であることを確認し、更にGPCKよ
シ分子量を測定したところ、ポリスチレン標準でj 、
000であった。
実施例/
厚さ0.241mmのJ9アルミニウム板をtooCに
保った第3燐酸す) lラムの/Qチ水溶液に3分間浸
漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目室てした後アルミ
ン酸ナトリウムで約70秒間エツチングして、値数水素
ナトリウム3憾水溶液でデスマット処理を行った。この
アルミニウム板を一20%5に酸中で電流密度コ人/
d ff!2において一分間陽極酸化を行いアルミニウ
ム板を作成した。
保った第3燐酸す) lラムの/Qチ水溶液に3分間浸
漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目室てした後アルミ
ン酸ナトリウムで約70秒間エツチングして、値数水素
ナトリウム3憾水溶液でデスマット処理を行った。この
アルミニウム板を一20%5に酸中で電流密度コ人/
d ff!2において一分間陽極酸化を行いアルミニウ
ム板を作成した。
次に下記感光液(入〕の本発明の化合物の種類を変えて
乙種類の感光液(A)−/〜(A)−≦を調整し、この
感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に塗布し、
10oocで一分間乾燥して、それぞれの感光性平版印
刷版(A)−/〜(A)−4を作製した。このときの塗
布量は全て乾燥重量で/ 、 j ll / y1@
2であった。
乙種類の感光液(A)−/〜(A)−≦を調整し、この
感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に塗布し、
10oocで一分間乾燥して、それぞれの感光性平版印
刷版(A)−/〜(A)−4を作製した。このときの塗
布量は全て乾燥重量で/ 、 j ll / y1@
2であった。
また、感光液c人〕−/〜(A)−4に用いた本発明の
化合物は@/表に示す。
化合物は@/表に示す。
感光液(A)
次に比較例として下記の感光液(B)を感光液(A)と
同様に塗布し、感光性平版印刷版(B)を作成した。
同様に塗布し、感光性平版印刷版(B)を作成した。
感光液CB)
乾燥後の塗布重量は/、fg/、12であった口感光性
平版印刷版(A)−/〜(A)−4及び(B)の感光層
上に濃度差0.7jのグレースケールを密着させ、30
アンイアのカーボンアーク灯で70cIILの距離から
露光を行った。
平版印刷版(A)−/〜(A)−4及び(B)の感光層
上に濃度差0.7jのグレースケールを密着させ、30
アンイアのカーボンアーク灯で70cIILの距離から
露光を行った。
本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版[A]−/〜(A)−ご及びCB)をDP−4t
(商品名:富士写真フィルム■製)の2倍希釈水溶液で
コt ’Cにおいて10秒間浸漬現像し、濃度差θ、/
!のグレースクールで!段目が完全にクリアーとなる露
光時間を求めたところ@/表に示すとおυとなった。
印刷版[A]−/〜(A)−ご及びCB)をDP−4t
(商品名:富士写真フィルム■製)の2倍希釈水溶液で
コt ’Cにおいて10秒間浸漬現像し、濃度差θ、/
!のグレースクールで!段目が完全にクリアーとなる露
光時間を求めたところ@/表に示すとおυとなった。
なお第7表における本発明の化合物J/G、Q’コ、4
tyでは、x / y = 4to / t o (モ
ル比)のものを使用した。また第1表の本発明の化合物
の分子量はいずれもGPC,ポリスチレン標準で/。
tyでは、x / y = 4to / t o (モ
ル比)のものを使用した。また第1表の本発明の化合物
の分子量はいずれもGPC,ポリスチレン標準で/。
!00〜j 、000のものであった。
第1表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−/〜(A)−4はいずれもCB)よ
シ露光時間が少なく、感度が高い。
平版印刷版(A)−/〜(A)−4はいずれもCB)よ
シ露光時間が少なく、感度が高い。
実施側御
実施例/の感光液(A)−/、(A)−2、[A]−g
、(A)−夕、及び本発明の化合物を変えた(A)−7
〜(A)−/を用い、実施例/と同様にして感光性平版
印刷版(A)−/、(A)−2、rA)−ダ、(A)
’、及び(A)−7〜(A)−/を作製した。塗布量
は全て乾燥重量で/ 、 j fi / fF!2であ
った0感光液(A)−7〜(A)−/に用いた本発明の
化合物は第2表に示す0 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版(A)−/、(
A)−J、[A]−ダ、(A)−1、(A)−7〜(A
)−/及びCB)の感光層上に濃度差0./!のグレー
スクールを密着させ、3Qア/イアのカーボンアーク灯
で70CILの距離から30秒間露光を行った。露光さ
れた感光性平版印刷版(A)−/1(A)−J、〔人〕
−ダ、(A)−j、(A)−7〜(A)−/及び(B)
を実施例/と同じ現像液にて、λr ocで40秒間及
び3分間浸漬現偉した。濃度差O1/!のグレースケー
ルで60秒間及び3分間現像液における完全クリアーと
なる段数の差を求めたところ第−表に示すとおシとなっ
た。
、(A)−夕、及び本発明の化合物を変えた(A)−7
〜(A)−/を用い、実施例/と同様にして感光性平版
印刷版(A)−/、(A)−2、rA)−ダ、(A)
’、及び(A)−7〜(A)−/を作製した。塗布量
は全て乾燥重量で/ 、 j fi / fF!2であ
った0感光液(A)−7〜(A)−/に用いた本発明の
化合物は第2表に示す0 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版(A)−/、(
A)−J、[A]−ダ、(A)−1、(A)−7〜(A
)−/及びCB)の感光層上に濃度差0./!のグレー
スクールを密着させ、3Qア/イアのカーボンアーク灯
で70CILの距離から30秒間露光を行った。露光さ
れた感光性平版印刷版(A)−/1(A)−J、〔人〕
−ダ、(A)−j、(A)−7〜(A)−/及び(B)
を実施例/と同じ現像液にて、λr ocで40秒間及
び3分間浸漬現偉した。濃度差O1/!のグレースケー
ルで60秒間及び3分間現像液における完全クリアーと
なる段数の差を求めたところ第−表に示すとおシとなっ
た。
@コ表
々お第2表における本発明の化合物A3り、ダコ、ダグ
では、x / y = 4tO/ 4θ(モル比)のも
のを使用した。また第2表の本発明の化合物の分子量は
いずれもGPC,ポリスチレン標準で、/j00〜30
00のものであった。
では、x / y = 4tO/ 4θ(モル比)のも
のを使用した。また第2表の本発明の化合物の分子量は
いずれもGPC,ポリスチレン標準で、/j00〜30
00のものであった。
第−表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−/、(A)−コ、(A)−ダ、(A
)−1、及び(A)−7〜(A)−?はいずれも、クリ
ア一部のグレースケール段数変化が小さく、現像許容性
が大きく優れたものであった。
平版印刷版(A)−/、(A)−コ、(A)−ダ、(A
)−1、及び(A)−7〜(A)−?はいずれも、クリ
ア一部のグレースケール段数変化が小さく、現像許容性
が大きく優れたものであった。
実施例3
実施例/の感光液〔人〕−3、及び実施例/の感光液(
A)において、本発明の化合物のみを下記シリルエーテ
ル化合物(1)に置き換えた感光液(C)を用い、実施
例/と同様にして感光性平版印刷版(A) ’、及び
(C)を作製した。塗布量はいずれも乾燥重量で/ 、
j ji / rn 2であった〇シリルエーテル化
合物 分子量はGPC1ポリスチレン標準で一1000経時安
定性を見る為、感光性平版印刷版(A)−3、及び〔C
〕の作製直後、及ヒ温度4tj 0C。
A)において、本発明の化合物のみを下記シリルエーテ
ル化合物(1)に置き換えた感光液(C)を用い、実施
例/と同様にして感光性平版印刷版(A) ’、及び
(C)を作製した。塗布量はいずれも乾燥重量で/ 、
j ji / rn 2であった〇シリルエーテル化
合物 分子量はGPC1ポリスチレン標準で一1000経時安
定性を見る為、感光性平版印刷版(A)−3、及び〔C
〕の作製直後、及ヒ温度4tj 0C。
湿度77%の条件下、3日放置後における現像許容性を
、それぞれ実施例コに示した方法により、濃度NO,/
jのグレースケールで6C秒間及ヒ3分間現像での完全
にクリアーとなる段数差で求めたところ、第3表に示す
とおりとなった。
、それぞれ実施例コに示した方法により、濃度NO,/
jのグレースケールで6C秒間及ヒ3分間現像での完全
にクリアーとなる段数差で求めたところ、第3表に示す
とおりとなった。
なお第3表における本発明の化合物&/1では、X/>
l =j O/j O(モル比)のものを使用した。
l =j O/j O(モル比)のものを使用した。
また分子量はGPC1ポリスチレン標準で一2!00の
ものであった〇 第3表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−3は、作製直後と、温度ダjO(:
”1湿度7jチの条件下、3日放置後の現像許容性に差
がなく、経時安定性が優れたものである。
ものであった〇 第3表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−3は、作製直後と、温度ダjO(:
”1湿度7jチの条件下、3日放置後の現像許容性に差
がなく、経時安定性が優れたものである。
特許出願人 富士写真フィルム株式会社手続補正書
昭和10年r月λZ日
心
Claims (2)
- (1)(a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物、及び(b)分子中に下記一般式( I )で示される
、酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくとも1
個有し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、
エステル基のうち少なくとも1個を有する化合物を含有
することを特徴とする光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I ) - (2)(a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物、及び(b)分子中に下記一般式( I )で示される
、酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくとも1
個有し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、
エステル基のうち少なくとも1個を有し、更に親水性基
を少なくとも1個有する化合物を含有することを特徴と
する光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I )
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JP59264183A JPS61141442A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 光可溶化組成物 |
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-
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- 1985-12-13 DE DE19853544165 patent/DE3544165A1/de active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61166544A (ja) * | 1985-01-18 | 1986-07-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS61167946A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-07-29 | Fuji Photo Film Co Ltd | 着色光可溶化組成物 |
JPS61169836A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-07-31 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
JPS6225751A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-03 | Fuji Photo Film Co Ltd | 画像形成方法 |
JPS63236029A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光可溶化組成物 |
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