JPS61141442A - 光可溶化組成物 - Google Patents

光可溶化組成物

Info

Publication number
JPS61141442A
JPS61141442A JP59264183A JP26418384A JPS61141442A JP S61141442 A JPS61141442 A JP S61141442A JP 59264183 A JP59264183 A JP 59264183A JP 26418384 A JP26418384 A JP 26418384A JP S61141442 A JPS61141442 A JP S61141442A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
compound
group
acid
present
photosensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59264183A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH048782B2 (ja
Inventor
Toshiaki Aoso
利明 青合
Akihiko Kamiya
神谷 明彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP59264183A priority Critical patent/JPS61141442A/ja
Priority to US06/807,937 priority patent/US4786577A/en
Priority to DE19853544165 priority patent/DE3544165A1/de
Publication of JPS61141442A publication Critical patent/JPS61141442A/ja
Publication of JPH048782B2 publication Critical patent/JPH048782B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/075Silicon-containing compounds
    • G03F7/0757Macromolecular compounds containing Si-O, Si-C or Si-N bonds
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/1053Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
    • Y10S430/1055Radiation sensitive composition or product or process of making
    • Y10S430/114Initiator containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/1053Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
    • Y10S430/1055Radiation sensitive composition or product or process of making
    • Y10S430/114Initiator containing
    • Y10S430/12Nitrogen compound containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S430/00Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
    • Y10S430/1053Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
    • Y10S430/1055Radiation sensitive composition or product or process of making
    • Y10S430/114Initiator containing
    • Y10S430/126Halogen compound containing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、平版印刷版、多色印刷の校正刷、オーバーヘ
ッドプロジェクタ−用図面、IC回路、ホトマスクの製
造に適する売可溶化組成物に関する。更に詳しくは、(
ω活性光線の照射により、酸を発生し得る化合物、及び
(b)酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくと
も7個有する化合物、を含有する新規な売可溶化組成物
に関する。
「従来の技術J 活性光線により可溶化する、いわゆるポジチブに作用す
る感光性物質としては、従来オルトキノ/ジアジド化合
物が知られておシ、笑際平版印刷版、ホトレジスト等に
広く利用されてきた。このようなオルトキノンジアジド
化合物としては、例えば米国特許第一、フィロ、111
号、同第−17ご7,09−号、同′!n=、72コ、
り7コ号、同第、2.j”!9.//コ号、同第=、り
07.ぶご3号、同第3,04tに、710号、同第3
,0ダ6.・777号、同第、!、04t4.//!号
、同@3,0ダt、//r号、同第J、0ダイ、772
号、同第3.0ダイ、7.2θ号、同第3,0ダ4 、
 /、2/号、同第j、04を乙、722号、同第3.
04tt、723号、同第3,0乙/、930号、同第
3,10.2.、!”09号、同第3,104゜17号
、同第3,63!、709号、同第3゜44t7 、4
t4tJ号の各明細書をはじめ、多数の刊行物に記され
ている。
これらのオルトキノンジアジド化合物は、活性光線の照
射により分解を起こして!員環のカルボン酸を生じ、ア
ルカリ可溶性となることを利用したものでおるが、いず
れも感光性が不十分であるという欠点を有する。これは
、オルトキノンジアジド化合物の場合、本質的に量子収
率が7を越えないということに由来するものである。
オルトキノンジアジド化合物を含む感光性組成物の感光
性を高める方法については、今までいろいろと試みられ
てきたが、現像時の現像許容性を保持したまま感光性を
高めることは非常に困雛であった。例えば、このような
試みの例として、特公昭り♂−/ココ4tコ号、特開昭
!コー4tO/2j号、米国特許第@ 、307.77
3号などの明細書に記載された内容を挙げることができ
る。
また最近、オルトキノンジアジド化合物を用いずにポジ
チブに作用させる感光性組成物に関して、いくつかの提
案がされている。その7つとして、例えば特公昭!≦−
−乙?を号の明細書に記載されてbるオルトニトロカル
ビノールエステル基を有するポリマー化合物が挙げられ
る。しかし、この場合も、オルトキノンジアジドの場合
と同じ理由で感光性が十分とは言えない。また、これと
は別に接触作用により活性化される感光系を使用し、感
光性を高める方法として、光分解で生成する酸によって
′S−の反応を生起させ、それによ)露光域を可溶化す
る公知の原理が適用されている。
このような例として、例えば光分解によF:J酸を発生
する化合物と、アセタール又はO,N−アセメール化合
物との組合せ(特開昭at−rり003号)、オルトエ
ステル又はアミドアセタール化合物との組合せ(特開昭
!/−/λ0774を号)、主鎖に7セタール又はケタ
ール基を有するポリマーとの組合せ(!R開昭j3−7
3341コツ号)、エノールエーテル化合物との組合せ
(特開昭j!−/−?り3号)、N−アシルイミノ炭酸
化合物との組合せ(特開昭3!−72ぶ一34号)、及
び主鎖にオルトエステル基を有するポリマーとの組合せ
(特開昭!d−77341j号)を挙げることができる
。これらは原理的に量子収率が/を越える為、高い感光
性を示す可能性があるが、アセタール又はO,N−アセ
タール化合物の場合、及び主鎖にアセタール又はケター
ル基を有するポリマーの場合、光分解で生成する酸によ
る第コの反応の速度が遅い為、実際の使用に十分な感光
性を示さない。またオルトエステル又はアミドアセター
ル化合物の場合及び、エノールエーテル化合物の場合、
更にN−アシルイミノ炭酸化合物の場合は確かに高い感
光性を示すが、経時での安定が悪く、長期に保存するこ
とができない。主鎖にオルトエステル基を有するポリマ
ーの場合も、同じく高感度ではあるが、現像時の現像許
容性が狭いという欠点を有する。
「発明が解決しようとする問題点」 本研究の目的は、これらの問題点が解決された新規な光
可溶化組成物を提供することである。即ち高い感光性を
有し、現像時の現像許容性が広い新規な光可溶化組成物
を提供することである。
本研究の別の目的は、経時での安定性が優れ長期に保存
が可能な新規な光可溶化組成物を提供することである。
本研究の更に別の目的は、製造が簡便で容易に取得でき
る新規な光可溶化組成物を提供することである。
「問題点を解決するための手段」 本発明者は、上記目的を達成すぺ〈鋭意検討を加えた結
果新規な光可溶化組成物を用いることで前記目的が達成
されることを見い出し本発明に到達した。
即ち本発明は、次の(31(2)の光可溶化組成物であ
る。
m  (al活性光線の照射により酸を発生し得る化合
物、及びら)分子中に下記一般式(Dで示される、酸に
より分解し得るシリルエーテル基を少なくとも7個有し
、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、エステ
ル基のうち少なくとも7個を有する化合物を含有するこ
とを特徴とする光可溶化組成物、 (2)(ω活性光線の照射により酸を発生し得る化合物
、及び(b3分子中に下記一般式(I)で示される、酸
により分解し得るシリルエーテル基を少なぐとも7個有
し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基のうち少なくとも7個を有し、更に親水性基を少
なくとも/個有する化合物を含有することを特徴とする
光可溶化組成物。
本発明(2)の親水性基を有する化合物を含有した光可
溶化組成物は、特に親水性表面を持つ支持体に対して塗
布性が優れている。
なお本発明でいう親水性基としては、具体的には下記に
示されるものがある。
÷CH2CH20wn  ・ ÷−+CHz+20+FF+CHzCH2−0+−n(
CHCH2−0九れCH2CH2−0)、   。
(CH2CH2H2−0)n  。
H 式中、lは/〜ダの整数を示し、m、nti=以上の整
数、好ましくは−〜100(りIi数、更に好ましくけ
−〜、20の整数を示す。Rはアルキル基、又は置換も
しくは無置換のフェニル基を示す。特に好ましい親水性
基は+CH2CH2−0+。である。
また本発明に用いられる(blの化合物としては好まし
くは、一般式(I)で示される酸により分解し得るシリ
ルエーテル基及びウレタン基、ウレイド基、アミド基、
エステル基のうち少なくとも7個を有する化合物または
更に親水性基を少々くとも/個有する化合物でちシ、下
記一般式(n)の繰返し単位によって化合物を表わすこ
とができる。
I(2 +R10Si   O+   (n) 式中、R】はウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基のうち少なくとも7個を有し、更に必要により親
水性基を少なくとも/個有する、コ価の脂肪族又は、芳
香族炭化水素を示す。R2、R3は同一でも相異してい
てもよく、それぞれ水素原子、アルキル基、アルケニル
基、置換もしくは無置換のアリール基又はアラルキル基
、又は−OR4を示す。好ましくは炭素数/〜弘のアル
キル基、又は−0R4を示す。R4は置換もしくは無置
換のアルキル基、アリール基、又はアラルキル基、好ま
しくは炭素数7〜2個のアルキル基、又は炭素数g〜/
jのアリール基を示す。
更に本発明に用いられる化合物伽)は、一般式(It)
で示される繰返し単位を2種以上含有していてもよく、
また上記の一般式(n)及び下記の(m)で示される繰
返し単位をそれぞれ7種以上含有する化合物でもよい。
÷R508i   0+(In) 式中、R5はウレタン基、ウレイド基、アミド基、エス
テル基は有しないが、必要により親水性基を少なくとも
/個有する、コ価の脂肪族、又は芳香族炭化水素を示す
本発明のわ)における化合物の具体例としては次に示す
ものが含まれる。
なおA/〜37は親水性基を含まない化合物を1扁31
−17は親水性基を含む化合物を示す。
1J! :J乙 しれ3 なお具体例中のnは7以上の整数を示す。またX% Y
s  zはモル比を示し、化合物例扁弘0、ダ/、弘3
でけx=j〜iooモル−1y = 0〜り!モルチ、
2=0〜り!モルーである。また化合物例&76〜コ一
、−7〜コt%!!、!?、Jり、4t!、及び4t4
tS−4t!ではx:j〜100モルチ、モル0〜りj
セル−を示す。
これらの酸により分解し得るシリルエーテル基を少なく
とも/個有する化合物と組合せて用いる、活性光線の照
射により酸を発生し得る化合物としては多くの公知化合
物及び混合物、例えば、ジアゾニウム、ホスホニウム、
スルホニウム、及ヒヨードニウムのBF4−、PF、′
″、s b F 6− +5iF6−、ct04−など
の塩、有機ハロゲン化合物、オルトキノンジアジドスル
ホニルクロリド、及び有機金属/有機ハロゲン化合物組
合せ物が適当である。もちろん、米国特許第3,27り
、77r号及び西ドイツ国特許第コ、乙10.!ダコ号
の明細書中に記載された光分解により酸を発生させる化
合物も本発明の組成物として適する。更に適当な染料と
組合せて露光の際、未露光部と露光物の間に可視的コン
トラストを与えることを目的とした化合物、例えば特開
昭7フー7774(2号、同j7−/43コJ4を号の
明細書に記載された化合物も本発明の組成物として使用
することができる。
上記光分解により酸を発生させる化合物の中では特にオ
ルトキノンジアジドスルホニルクロリド、及びハロメチ
ル基が置換し九S−)リアジン誘導体、オキサジアゾー
ル誘導体が好ましい。というのは、例えばオルトキノン
ジアジドスルホニルクロリドの場合露光の際3つの数基
(即ち塩改、スルホン散、カルボン駿)が形成される為
、比較的大きい割合で前記シリルエーテル基を分解させ
ることができるからでらる・ これらの活性光線の照射により酸を発生し得る化合物と
前記酸によυ分解し得るシリルエーテル基を少なくとも
/個有する化合物との割合は、重量比で0.00/:/
−コニ/であり、好ましくは0.0コニ/〜0.?:/
で使用される。
本発明の光可溶性組成物は、上記活性光線の照射により
酸を発生し得る化合物と、酸により分解し得るシリルエ
ーテル基を少なくとも/個有する化合物の組合せのみで
使用することができるが、アルカリ可溶性樹脂と混合し
て用いた方が好ましい。好適なアルカリ可溶性樹脂には
、ノボラック型フェノール樹脂が含まれ、具体的には、
フェノ−ル、jt A/A 7 ルア”ヒト樹脂、o−
クレゾールホルムアルデヒド樹脂、m−クレゾールホル
ムアルデヒド樹脂などが含まれる。更に特開昭!117
−72!!06号公報に記されている様に上記のような
フェノール樹脂と共に、t−ブチルフェノールホルムア
ルデヒド樹脂のような炭素数3〜tのアルキル基で置換
されたフェノールまたはクレゾールとホルムアルデヒド
との縮合物とを併用すると、一層好ましい。アルカリ可
溶性樹脂は、感光性レジスト形成性組成物の全重量を基
準として約4tO〜約り0重量%、よシ好ましくは40
〜r0重量叫含有させられる。
本発明の光可溶性組成物には必要に応じて、更に染料、
顔料、可塑剤及び前記酸を発生し得る化合物の酸発生効
率を増大させる化合物(所謂増感剤)などを含有させる
ことができる。好適な染料としては油溶性染料及び塩基
性染料がある。具体的KH、オイルイエロー#10/、
オイルイエロー@/ j O、オイルピンク#J / 
J、オイルグリーンBG、オイルブルーBO8,オイル
ブルー#g03、オイルブラックBY、オイルブラック
BS1オイルブラックT−tθ!(以上、オリエント化
学工業株式会社製)クリスタルバイオレット(CIダコ
j!り、メチルバイオレット(CI4t2!!! )、
ローダミンB(CIダj/70B)、マラカイトグリー
ン(CIe、2ooo)、メチレンブルー(CIjJO
/l)などをあげることができる〇 本発明の光可溶性組成物は、上記各成分を溶解する溶媒
に溶かして支持体上に塗布する。ここで使用する溶媒と
しては、エチレンジクロライド、シクロヘキサノン、メ
チルエチルケトン、エチレングリコールモノメチルエー
テル、エチレングリコールモノエチルエーテル、−一メ
トキシエチルアセテート、トルエン、酢酸エチルなどが
あシ、これらの溶媒を単独あるいは混合し、て使用する
・そして上記成分中の濃度(添加物を含む全固形分)は
、−〜jO重量係である。このうち、本発明の組成の好
ましい濃度(固形分)は0./〜2J重量%である。ま
た、塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印
刷版についていえば一般的に固形分としてθ、!〜j 
、 09 / ffL2が好ましい。
塗布量が少くなるKつれ感光性は大になるが、感光膜の
物性は低1する。
本発明の光可溶性組成物を用いて平版印刷版を製造する
場合、その支持体としては、親水化処理したアルミニウ
ム板、たとえばシリケート処理アルミニウム板、陽極酸
化アルミニウム板、砂目立てしたアルミニウム板、シリ
ケート電着したアルミニウム板があり、その他亜鉛板、
ステンレス板、クローム処理鋼板、親水化処理したプラ
スチックフィルムや紙を上げることができる。
また印刷用校正版、オーバーへッドブロジエクター用フ
ィルム第−原図用フイルムの製造に適する支持体として
はポリエチレンテレフタレートフィルム、トリアセテー
トフィルム等の透明フィルムや、これらのプラスチック
フィルムの表面を化学的あるいは物理的にマット化した
ものをあげることが出来る。ホトマスク用フィルムの製
造に適する支持体としてはアルミニウム、アルミニウム
合金やクロムを蒸着させたポリエチレンテレフタレート
フィルムや着色層をもうけたポリエチレンテレフタレー
トフィルムをあげることが出来る。
またホトレジストとして上記以外の種々の支持体、例え
ば鋼板、銅メツキ板、ガラス板上、に本発明の光可溶性
組成物を塗布して使用される。
本発明に用いられる活性光感の光源としては例えば、水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカ
ルランプ、カーメンアーク灯などがある。また高密度エ
ネルギービーム(レーザービーム又は電子線)による走
査露光も本発明に使用することができる。このようなレ
ーザービームとしてはヘリウム・ネオンレーザ−、アル
ゴンレ−ザー、クリプトンイオンレーザ−、ヘリウム・
カドミウムレーザーなどが挙げられる。
本発明の光可溶性組成物にたいする現像液としては、珪
酸ナトリウム、珪酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、
第ニリン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニ
リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナトリウム、重炭酸ナト
リウム、アンモニア水などのような無機アルカリ剤の水
溶液が適当であシ、それらの濃度が0.7〜10重量゛
チ、好ましくはQ、!〜!重it1になるように添加さ
れる。
また、該アルカリ性水溶液には、心安に応じ界面活性剤
やアルコールなどのような有機溶媒を加えることもでき
る。
「実施例」 以下、本発明を合成例、実施例により更に詳細に説明す
るが、本発明の内容がこれにより限定されるものではな
い◇ 合成例/(化合物例AIの原料合成) エチレングリコール/lに触媒量のピリジンを加え、こ
れK J l ”  )リレン−ジインシアナート/3
りIを、攪拌しながら滴下ロートよシ約yQ分間かけて
添加した。添加後70°Cにて、更に1時間攪拌を続け
た。その後、反応溶液を氷−メタノール浴にて冷却し、
白色固体を析出せしめた。戸別後、約21の水で再結晶
し、白色結晶コ/4tfl(収率り0チ)を得た。NM
R及び元素分析により、この白色結晶が、ビス−(λ−
ヒドロキシエチル)、2.(t−)リレンジカルバメー
トることを確認した。
合成例コ(化合物例Ji2Jの原料合成)七ノエタノー
ルアン/lに触媒量のトリエチルアミ/を加え、これに
−+ ” −)リレン−ジインシアナート/J9flを
攪拌しながら滴下ロートよシ約/時間かけて添加した。
添加後j0°Cにて更に7時間攪拌を続けた。生成した
白色固体を戸別し、約31の水で再結晶した。白色結晶
/!6g(収率66%)を得た・NMR及び元素分析に
より、この白色結晶が2.4t−トリレン−ビス−(コ
ーヒドロキシエチルカルパミト) と全確認した。
合成例3(化合物例扁/の合成) 合成例/にて得たビス−(,2−ヒドロキシエチル)J
、g−トリレンジ力ルバメートコ?、♂y(O,700
mole)、ピリジン/7.4ti(0゜22omo1
e )を酢酸エナル/♂Qd中で室温下撹拌し、ジクロ
ロジメチルシラン/−0りg(0゜100mole)の
トルエン20−溶液を滴下ロートよシ添加した。添加に
約30分間を要した。添加後、!0°Cで1時間攪拌を
続けた。
生成したピリジンのHα塩を戸別した後、反応溶液を!
−N a HCOs水溶液−〇〇−1更に飽和食塩水2
00@lで洗浄し、Na25o4にて乾燥させた。その
後反応溶液を@縮乾枯した結果、無色の樹脂31gを得
た。NMRiCよシ、その構造が化合物例AIであるこ
とを確認した。更にGPC(Gel  Permeat
ion  Chromatography ) Kよυ
分子量を測定したところ、ポリスチレン標準でダ、!O
0でらった。
合成例/と同様な方法により得たビス−(−2−ヒドロ
キシエチル)m−キシレンジカルパメーはエチレングリ
コール濃a後、水再結晶で行った。)/er、7II(
0,0≦00mole)、p −dP ’/ IJVン
グIJ=y−ルj 、!77 (0,54t05mg1
6)、ピリジン/7.ダy(Q、JJomole)の酢
酸エチル/10dの混合物を合成例3に示した方法で反
応、後処理゛した。無色の粘稠な液体24t9を得た。
NMRにより、その構造が化合物倒産/7であることを
確認し、更にGPCにより分子量を測定したところ、ポ
リスチレン標準でx、to。
であった。
合成例−で得た一、4t−)リレン−ビス−(λ−ヒド
ロキシエチルカルバミド)?、りI(o、osoomo
le)、テトラエチレングリコ−に/J、A11(0,
0700m01e )、ピリジ7/7.4tli(0,
−コ0mole)の酢酸エチル/10−混合物を合成例
3に示した方法と同様に反応、後処理した。無色の粘稠
な液体コ、2gを得た。NMRにより、その構造が化合
物例l64tコでであることを確認し、更KGPCによ
り分子量を測定したところ、ポリスチレン標準で/、j
σ0であった。
N、N−m−7二二レン ビス(−J−ヒドロキシプロ
ピロンアミド) oaoomole)、p−キシリレングリ:r−に/。
1p(o、otoomole )、ピリジン/7、ダg
(o、saomole)の酢酸エチル/♂0−混合を合
成例3に示した方法と同様に反応、後処理した。無色の
粘稠な液体−0gを得た。NMRにより、その構造が化
合物例A33であることを確認し、更KGPCKより分
子量を測定したところ、ポリスチレン標準でコ、30Q
であった。
ビス−(−−ヒドロキシエチル)イン7タレ(o、10
omole)、ピリジン/7,4tfl(0゜、zaa
mole)のトルエン100−溶液にジクロロジzfル
シラ// ! 、 7 g (0、/ 00mole)
のトルエン、20d溶液を室温下、攪拌しながら滴下ロ
ートよυ約30分間かけて添加した。添加後!OOCに
て2時間攪拌を続けた。生成したピリジンのHαを戸別
後、合成例Jに示した方法と同様に後処理を行い、無色
の粘稠な液体22gを得た。NMRKよ)、その構造が
化合物例4J、(であることを確認し、更にGPCKよ
シ分子量を測定したところ、ポリスチレン標準でj 、
000であった。
実施例/ 厚さ0.241mmのJ9アルミニウム板をtooCに
保った第3燐酸す) lラムの/Qチ水溶液に3分間浸
漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目室てした後アルミ
ン酸ナトリウムで約70秒間エツチングして、値数水素
ナトリウム3憾水溶液でデスマット処理を行った。この
アルミニウム板を一20%5に酸中で電流密度コ人/ 
d ff!2において一分間陽極酸化を行いアルミニウ
ム板を作成した。
次に下記感光液(入〕の本発明の化合物の種類を変えて
乙種類の感光液(A)−/〜(A)−≦を調整し、この
感光液を陽極酸化されたアルミニウム板の上に塗布し、
10oocで一分間乾燥して、それぞれの感光性平版印
刷版(A)−/〜(A)−4を作製した。このときの塗
布量は全て乾燥重量で/ 、 j ll / y1@ 
2であった。
また、感光液c人〕−/〜(A)−4に用いた本発明の
化合物は@/表に示す。
感光液(A) 次に比較例として下記の感光液(B)を感光液(A)と
同様に塗布し、感光性平版印刷版(B)を作成した。
感光液CB) 乾燥後の塗布重量は/、fg/、12であった口感光性
平版印刷版(A)−/〜(A)−4及び(B)の感光層
上に濃度差0.7jのグレースケールを密着させ、30
アンイアのカーボンアーク灯で70cIILの距離から
露光を行った。
本発明の優れた感光性を示す為に露光された感光性平版
印刷版[A]−/〜(A)−ご及びCB)をDP−4t
(商品名:富士写真フィルム■製)の2倍希釈水溶液で
コt ’Cにおいて10秒間浸漬現像し、濃度差θ、/
!のグレースクールで!段目が完全にクリアーとなる露
光時間を求めたところ@/表に示すとおυとなった。
なお第7表における本発明の化合物J/G、Q’コ、4
tyでは、x / y = 4to / t o (モ
ル比)のものを使用した。また第1表の本発明の化合物
の分子量はいずれもGPC,ポリスチレン標準で/。
!00〜j 、000のものであった。
第1表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−/〜(A)−4はいずれもCB)よ
シ露光時間が少なく、感度が高い。
実施側御 実施例/の感光液(A)−/、(A)−2、[A]−g
、(A)−夕、及び本発明の化合物を変えた(A)−7
〜(A)−/を用い、実施例/と同様にして感光性平版
印刷版(A)−/、(A)−2、rA)−ダ、(A) 
 ’、及び(A)−7〜(A)−/を作製した。塗布量
は全て乾燥重量で/ 、 j fi / fF!2であ
った0感光液(A)−7〜(A)−/に用いた本発明の
化合物は第2表に示す0 現像許容性を見る為、感光性平版印刷版(A)−/、(
A)−J、[A]−ダ、(A)−1、(A)−7〜(A
)−/及びCB)の感光層上に濃度差0./!のグレー
スクールを密着させ、3Qア/イアのカーボンアーク灯
で70CILの距離から30秒間露光を行った。露光さ
れた感光性平版印刷版(A)−/1(A)−J、〔人〕
−ダ、(A)−j、(A)−7〜(A)−/及び(B)
を実施例/と同じ現像液にて、λr ocで40秒間及
び3分間浸漬現偉した。濃度差O1/!のグレースケー
ルで60秒間及び3分間現像液における完全クリアーと
なる段数の差を求めたところ第−表に示すとおシとなっ
た。
@コ表 々お第2表における本発明の化合物A3り、ダコ、ダグ
では、x / y = 4tO/ 4θ(モル比)のも
のを使用した。また第2表の本発明の化合物の分子量は
いずれもGPC,ポリスチレン標準で、/j00〜30
00のものであった。
第−表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−/、(A)−コ、(A)−ダ、(A
)−1、及び(A)−7〜(A)−?はいずれも、クリ
ア一部のグレースケール段数変化が小さく、現像許容性
が大きく優れたものであった。
実施例3 実施例/の感光液〔人〕−3、及び実施例/の感光液(
A)において、本発明の化合物のみを下記シリルエーテ
ル化合物(1)に置き換えた感光液(C)を用い、実施
例/と同様にして感光性平版印刷版(A)  ’、及び
(C)を作製した。塗布量はいずれも乾燥重量で/ 、
 j ji / rn 2であった〇シリルエーテル化
合物 分子量はGPC1ポリスチレン標準で一1000経時安
定性を見る為、感光性平版印刷版(A)−3、及び〔C
〕の作製直後、及ヒ温度4tj 0C。
湿度77%の条件下、3日放置後における現像許容性を
、それぞれ実施例コに示した方法により、濃度NO,/
jのグレースケールで6C秒間及ヒ3分間現像での完全
にクリアーとなる段数差で求めたところ、第3表に示す
とおりとなった。
なお第3表における本発明の化合物&/1では、X/>
l =j O/j O(モル比)のものを使用した。
また分子量はGPC1ポリスチレン標準で一2!00の
ものであった〇 第3表かられかるように本発明の化合物を用いた感光性
平版印刷版(A)−3は、作製直後と、温度ダjO(:
”1湿度7jチの条件下、3日放置後の現像許容性に差
がなく、経時安定性が優れたものである。
特許出願人  富士写真フィルム株式会社手続補正書 昭和10年r月λZ日 心

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)(a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
    物、及び(b)分子中に下記一般式( I )で示される
    、酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくとも1
    個有し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、
    エステル基のうち少なくとも1個を有する化合物を含有
    することを特徴とする光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I )
  2. (2)(a)活性光線の照射により酸を発生し得る化合
    物、及び(b)分子中に下記一般式( I )で示される
    、酸により分解し得るシリルエーテル基を少なくとも1
    個有し、なお且つウレタン基、ウレイド基、アミド基、
    エステル基のうち少なくとも1個を有し、更に親水性基
    を少なくとも1個有する化合物を含有することを特徴と
    する光可溶化組成物。 ▲数式、化学式、表等があります▼( I )
JP59264183A 1984-12-14 1984-12-14 光可溶化組成物 Granted JPS61141442A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59264183A JPS61141442A (ja) 1984-12-14 1984-12-14 光可溶化組成物
US06/807,937 US4786577A (en) 1984-12-14 1985-12-12 Photo-solubilizable composition admixture with radiation sensitive acid producing compound and silyl ether group containing compound with either urethane, ureido, amido, or ester group
DE19853544165 DE3544165A1 (de) 1984-12-14 1985-12-13 Photosolubilisierbare zusammensetzung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59264183A JPS61141442A (ja) 1984-12-14 1984-12-14 光可溶化組成物

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61141442A true JPS61141442A (ja) 1986-06-28
JPH048782B2 JPH048782B2 (ja) 1992-02-18

Family

ID=17399618

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59264183A Granted JPS61141442A (ja) 1984-12-14 1984-12-14 光可溶化組成物

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4786577A (ja)
JP (1) JPS61141442A (ja)
DE (1) DE3544165A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61166544A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS61167946A (ja) * 1985-01-22 1986-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 着色光可溶化組成物
JPS61169836A (ja) * 1985-01-22 1986-07-31 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS6225751A (ja) * 1985-07-26 1987-02-03 Fuji Photo Film Co Ltd 画像形成方法
JPS63236029A (ja) * 1987-03-25 1988-09-30 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3760030D1 (en) * 1986-02-07 1989-02-02 Nippon Telegraph & Telephone Photosensitive and high energy beam sensitive resin composition containing substituted polysiloxane
JPS62266537A (ja) * 1986-05-14 1987-11-19 Fuji Photo Film Co Ltd マイクロカプセル及びそれを使用した感光性記録材料
DE3716848A1 (de) * 1987-05-20 1988-12-01 Hoechst Ag Verfahren zur bebilderung lichtempfindlichen materials
DE3730787A1 (de) * 1987-09-13 1989-03-23 Hoechst Ag Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial
DE3730785A1 (de) * 1987-09-13 1989-03-23 Hoechst Ag Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial
DE3730783A1 (de) * 1987-09-13 1989-03-23 Hoechst Ag Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial
DE3927632A1 (de) * 1989-08-22 1991-02-28 Basf Ag Umsetzungsprodukt, verfahren zu dessen herstellung und damit erhaltenes strahlungsempfindliches material
DE3930087A1 (de) * 1989-09-09 1991-03-14 Hoechst Ag Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial
DE3930086A1 (de) * 1989-09-09 1991-03-21 Hoechst Ag Positiv arbeitendes strahlungsempfindliches gemisch und daraus hergestelltes strahlungsempfindliches aufzeichnungsmaterial
JP2599007B2 (ja) * 1989-11-13 1997-04-09 富士写真フイルム株式会社 ポジ型感光性組成物
US5368931A (en) * 1991-07-10 1994-11-29 Fuji Photo Film Co., Ltd. Lithographic printing plate precursor of direct image type
DE4228790C1 (de) * 1992-08-29 1993-11-25 Du Pont Deutschland Tonbares strahlungsempfindliches Gemisch und Verfahren zur Herstellung von Mehrfarbenbildern mittels solch eines Gemischs
DE19709934B4 (de) 1996-03-14 2008-04-17 Denso Corp., Kariya Kühlgerät zum Sieden und Kondensieren eines Kältemittels
TW457403B (en) * 1998-07-03 2001-10-01 Clariant Int Ltd Composition for forming a radiation absorbing coating containing blocked isocyanate compound and anti-reflective coating formed therefrom
US6210856B1 (en) 1999-01-27 2001-04-03 International Business Machines Corporation Resist composition and process of forming a patterned resist layer on a substrate

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1347759A (en) * 1971-06-17 1974-02-27 Howson Algraphy Ltd Light sensitive materials
US3779778A (en) * 1972-02-09 1973-12-18 Minnesota Mining & Mfg Photosolubilizable compositions and elements
FR2333650A1 (fr) * 1975-12-05 1977-07-01 Cellophane Sa Amelioration des procedes de reproduction ou d'enregistrement thermiques faisant usage de phenols
DE2641099A1 (de) * 1976-09-13 1978-03-16 Hoechst Ag Lichtempfindliche kopierschicht
DE2829511A1 (de) * 1978-07-05 1980-01-24 Hoechst Ag Strahlungsempfindliches gemisch und verfahren zur herstellung von reliefbildern
DE3144480A1 (de) * 1981-11-09 1983-05-19 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Lichtempfindliches gemisch und daraus hergestelltes lichtempfindliches kopiermaterial
DE3473359D1 (de) * 1983-06-29 1988-09-15 Fuji Photo Film Co Ltd Photosolubilizable composition

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61166544A (ja) * 1985-01-18 1986-07-28 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS61167946A (ja) * 1985-01-22 1986-07-29 Fuji Photo Film Co Ltd 着色光可溶化組成物
JPS61169836A (ja) * 1985-01-22 1986-07-31 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物
JPS6225751A (ja) * 1985-07-26 1987-02-03 Fuji Photo Film Co Ltd 画像形成方法
JPS63236029A (ja) * 1987-03-25 1988-09-30 Fuji Photo Film Co Ltd 光可溶化組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JPH048782B2 (ja) 1992-02-18
DE3544165C2 (ja) 1992-07-16
US4786577A (en) 1988-11-22
DE3544165A1 (de) 1986-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS61141442A (ja) 光可溶化組成物
US4752552A (en) Photosolubilizable composition
JP2525568B2 (ja) 光可溶化組成物
US3617288A (en) Propenone sensitizers for the photolysis of organic halogen compounds
US4371605A (en) Photopolymerizable compositions containing N-hydroxyamide and N-hydroxyimide sulfonates
JPS6037549A (ja) 光可溶化組成物
JPS61169837A (ja) 光可溶化組成物
JP3689225B2 (ja) 改良されたロイコ染料を含む貯蔵安定な光画像形成性ロイコ染料/光オキシダント組成物
US4339522A (en) Ultra-violet lithographic resist composition and process
JPS6240450A (ja) 光可溶化組成物
JPS60121446A (ja) 光可溶化組成物
JP2599007B2 (ja) ポジ型感光性組成物
US4622283A (en) Deep ultra-violet lithographic resist composition and process of using
JPS6010247A (ja) 光可溶化組成物
JPS603625A (ja) 光可溶化組成物
FR2503399A1 (fr) Composition photosensible procurant une image visible par exposition
US4326018A (en) Lithographic printing plate
JPS6238450A (ja) 光可溶化組成物
JPS61151643A (ja) 光可溶化組成物
JPS61167945A (ja) 光可溶化組成物
JPS6238452A (ja) 光可溶化組成物
JPS63236028A (ja) 光可溶化組成物
JPS6259949A (ja) 光可溶化組成物
JPS61166543A (ja) 光可溶化組成物
JPS63236029A (ja) 光可溶化組成物

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term