JPS61102106A - Levitating type conveyor - Google Patents

Levitating type conveyor

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Publication number
JPS61102106A
JPS61102106A JP59222703A JP22270384A JPS61102106A JP S61102106 A JPS61102106 A JP S61102106A JP 59222703 A JP59222703 A JP 59222703A JP 22270384 A JP22270384 A JP 22270384A JP S61102106 A JPS61102106 A JP S61102106A
Authority
JP
Japan
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guide rail
gap length
electromagnet
magnetic
excitation current
Prior art date
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Pending
Application number
JP59222703A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akihira Morishita
明平 森下
Teruo Azusawa
小豆沢 照男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP59222703A priority Critical patent/JPS61102106A/en
Publication of JPS61102106A publication Critical patent/JPS61102106A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/04Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/06Means to sense or control vehicle position or attitude with respect to railway
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L2200/00Type of vehicles
    • B60L2200/26Rail vehicles

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To stabilize the controlling performance of a magnetic levitation system by controlling an air gap length between an electromagnet and a guide rail always constant. CONSTITUTION:A conveying vehicle 22 levitates on a guide rail 22 by a magnetic attraction force produced between a magnetic supporting unit 23 placed on the vehicle 22 and a guide rail 21. A linear induction motor 25 is composed of a conductor plate 26 secured through a support plate 24 to the lower surface of the vehicle 22 and a stator 28 secured to a base. The unit 23 has electromagnetic coils 38, 39 and a permanent magnet 40. A controller controls so that the output of a gap sensor 51 for detecting an air gap length between a magnetic support 33 and the guide rail 21 becomes constant. Thus, the controlling performance of a magnetic levitation system can be stabilized.

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、小物類を搬送する浮上式搬送装置に係わり、
特に、磁気浮上系の制御の安定化を図れるようにした浮
上式搬送装置に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Technical Field of the Invention] The present invention relates to a floating conveyance device for conveying small articles.
In particular, the present invention relates to a levitation type conveyance device that can stabilize the control of a magnetic levitation system.

〔発明の技術的背景とその問題点〕[Technical background of the invention and its problems]

近年、オフィスオートメーシロン、ファクトリ−オート
メーションの一環として、建屋内の複数の地点間におい
て、伝票、書類、現金、資料等を搬送装置を用いて移動
させることが広く行われている。
2. Description of the Related Art In recent years, as part of office automation and factory automation, it has become common practice to move slips, documents, cash, materials, and the like between multiple locations within a building using conveyance devices.

このような用途に用いられる搬送装置は、搬送物を速や
かに、かつ静かに移動させ得るものであることが要求さ
れる。このため、この秤の搬送装置においてはガイドレ
ール上で搬送車を非接触に支持することが行われている
。搬送車を非接触で支持するには、空気や移気を用いる
のが一般的である。中でも搬送車を磁気的に支持する方
式は、ガイドレールに対する追従性や、騒音低減効果に
優れており、最も有望な支持手段であると言える。
Conveyance devices used for such applications are required to be able to move the conveyed object quickly and quietly. For this reason, in this scale transport device, the transport vehicle is supported on a guide rail in a non-contact manner. Air or transferred air is generally used to support the transport vehicle without contact. Among them, the method of magnetically supporting the conveyance vehicle has excellent followability to guide rails and noise reduction effect, and can be said to be the most promising support method.

ところで、従来の磁気的な浮上式搬送装置は例えば搬送
すべき物を搬送車に搭載したり搬送車の走行時の遠心力
負荷などにより、搬送車に外力が印加された場合に、!
磁石の励磁電流や磁1″′・・fTfc定常変位1生じ
′″″とがあ′tc    。
By the way, conventional magnetic levitation type conveyance devices can be used when an external force is applied to the conveyance vehicle, such as when an object to be conveyed is loaded onto the conveyance vehicle or due to a centrifugal force load when the conveyance vehicle is traveling.
The excitation current of the magnet and the magnet 1''...fTfc steady displacement 1 occur''tc.

この時、ギャップ長変位が大きすぎると磁気浮上系の線
形制御が困難になり、安定な磁気浮上状態が保てなくな
るという問題があった。
At this time, if the gap length displacement is too large, linear control of the magnetic levitation system becomes difficult, and a stable magnetic levitation state cannot be maintained.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明は、係る問題に鑑みなされたものであり、その目
的とするところは、磁気浮上系の安定制御を図れるよう
にした浮上式搬送装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a levitation type conveyance device that can achieve stable control of a magnetic levitation system.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明を説明するに当り、まず本装置における制御方式
がいかなる根拠に基づくものかを説明する。
In explaining the present invention, the basis for the control system in this device will first be explained.

第3図は、本装置における磁気支持部の代表的な構成を
示す図である。すなわち、図中1はガイドレールであυ
、このガイドレールの下面に対向する部分には空隙Pを
介して2つの電磁石2j3が対向配置されている。これ
ら2つの電磁石2,3は、継鉄4,5にそれぞれコイル
6.7を巻装して構成されたものである。そして、両継
鉄4,5の一端側は、永久磁石8によって磁気的に結合
されている。コイル6.7は励磁電流が流れた時に互い
に加算される向きの磁束を発生するように直列に接続さ
れ、さらに電源9に接続されたものとなっている。これ
ら電磁石2,3、永久磁石8および電源9は、ガイドレ
ール1上を走行する図示しない搬送車に取付けられてい
る。
FIG. 3 is a diagram showing a typical configuration of the magnetic support section in this device. In other words, 1 in the figure is the guide rail υ
, two electromagnets 2j3 are disposed opposite to each other with a gap P interposed therebetween in a portion facing the lower surface of the guide rail. These two electromagnets 2 and 3 are constructed by winding coils 6 and 7 around yokes 4 and 5, respectively. One end sides of both yokes 4 and 5 are magnetically coupled by a permanent magnet 8. The coils 6.7 are connected in series so as to generate magnetic fluxes that are added to each other when an excitation current flows, and are further connected to a power source 9. These electromagnets 2 and 3, permanent magnet 8, and power source 9 are attached to a transport vehicle (not shown) that runs on the guide rail 1.

このように構成された磁気支持部において、いまガイド
レール1、空隙P1継鉄4,5、永久磁石8からなる磁
気回路について考察する。
In the magnetic support section configured as described above, a magnetic circuit consisting of the guide rail 1, the air gap P1 yoke 4, 5, and the permanent magnet 8 will now be considered.

なお、簡単のために、この磁気回路における漏れ磁束は
無視することにする。この磁気回路の磁気抵抗Rmは、 で表わすことができる。ここにμ0は真空の透磁率、S
は磁気回路の断面積、2は空隙長、μ3は空隙部分以外
の非透磁率、tは空隙部分以外の磁気回路長である。
Note that, for the sake of simplicity, leakage magnetic flux in this magnetic circuit will be ignored. The magnetic resistance Rm of this magnetic circuit can be expressed as follows. Here, μ0 is the vacuum permeability, S
is the cross-sectional area of the magnetic circuit, 2 is the air gap length, μ3 is the non-permeability of the area other than the air gap, and t is the length of the magnetic circuit other than the air gap.

また、コイル6.7に励磁電流が流れていない時に空隙
Pに生じる磁界の強さを血、永久磁石8の長さを4m1
コイル6.7の総巻数をN、コイル6.7への励磁電流
をIとすると、この磁気回路に発生する全磁束Φは、 Φ= (N I +HTTI Am)/’Rm    
−−(2)となる。したがって、fイドレール1と各継
鉄4.5との間に働く前吸引力Fは、 で表わせる。ここで2で示す向きを重力方向として搬送
車の運動方程式を導くと、 となる。なお、ここにmは前記磁気支持部に加わる負荷
および肖該磁気支持部の全質量、gは重力加速度である
、Umは搬送車に印加される外力の大きさである。  
In addition, the strength of the magnetic field generated in the air gap P when no excitation current flows through the coil 6.7 is expressed as 4m1, and the length of the permanent magnet 8 is 4m1.
When the total number of turns of the coil 6.7 is N and the excitation current to the coil 6.7 is I, the total magnetic flux Φ generated in this magnetic circuit is Φ= (N I +HTTI Am)/'Rm
--(2). Therefore, the front suction force F acting between the fidrail 1 and each yoke 4.5 can be expressed as follows. Here, when the equation of motion of the transport vehicle is derived with the direction indicated by 2 as the direction of gravity, it becomes as follows. Here, m is the load applied to the magnetic support part and the total mass of the magnetic support part, g is the gravitational acceleration, and Um is the magnitude of the external force applied to the carrier.
.

一方、直列に接続されたコイル6.7が鎖交する磁束数
ΦNは、 Φ、= (NI+Hm4.)N/Rrtl−・・−(5
)であるから、コイル6.7の電圧方程式は、コイル6
.7の全抵抗をRとして、 ±=E−R0 t となる。
On the other hand, the number of magnetic fluxes ΦN interlinked with the coils 6.7 connected in series is Φ, = (NI+Hm4.)N/Rrtl-...-(5
), the voltage equation for coil 6.7 is
.. Letting the total resistance of 7 be R, ±=E-R0t.

ここでRmは、(1)式から明らかなように、空隙長工
の関数である。そこで、いま、■二〇の時に吸引力Fと
重力mFとが釣合う際σつギヤ、ツブ長を20前磁気抵
抗をRmoトして、上記(5) 、 (6)式傍で線形
化する。この場合、z 、 4i’、 I Iri、そ
れぞれの微小量をΔ2.Δ°z、Δiとして、z ” 
z o+Δ2 碧=0+Δ°2 I=O+Δi で表わせる。
Here, Rm is a function of the gap length, as is clear from equation (1). Therefore, when the attractive force F and the gravity mF are balanced at ■20, set the gear σ, the knob length by 20, and set the magnetic resistance Rmo, and linearize it using the above equations (5) and (6). do. In this case, the minute amounts of each of z, 4i', and Iri are set by Δ2. Δ°z, Δi, z”
It can be expressed as z o+Δ2 Aoi=0+Δ°2 I=O+Δi.

そこで、上記(5)式の吸引力Fを定常点(z。Therefore, the attraction force F in the above equation (5) is set at the steady point (z.

息、I)=(zo、O+0)の近傍で線形化すると、t となり、 とおくと、 となる。したがって、前記(+)式は次のようにまとめ
ることができる。
When linearized in the vicinity of breath, I) = (zo, O+0), it becomes t, and when , it becomes . Therefore, the above equation (+) can be summarized as follows.

同様に、前記(6)式を定常点(z、π、工)=(zo
、0.O)の近傍で線形化すると、となる。上記(7)
 、 (8)式は、次のような状態方程式にまとめるこ
とができる。
Similarly, the above equation (6) can be changed to the stationary point (z, π, engineering) = (zo
,0. When linearized in the vicinity of O), it becomes. Above (7)
, (8) can be summarized into the following state equation.

ただしs a21 * &23 r ass l a3
3 + b3J* d21 usそれぞれ、 である。ここで簡単のため上記(9)式を、交=Ax+
BE+DUm     −・・ntiと表わす。この(
9)式で表わす線形システムは、一般には不安定な系で
あるが、上記(9)式の状態ベクトル〔Δ2.Δ’Z 
IΔ1〕および加速度Δ“2より、印加電圧Eを種々の
方法で求め、系にフィードバック制御を施すことによっ
て安定化を図ることができる。例えばCを出力行列(こ
の場合単位行列)とし、印加電圧Eを、 E=−[Fl  、F’2 、F’3 )xCxx= 
−FCx                   ・・
・・・・ αυ(但し、F11F’= 、Flはフィー
ドパ、り定数)とすれば、01式は、 交=Ax−BFCx+DUm       −・・・−
α2となり、さらに、この01式をラプラス変換して×
を求めると、 x =L−’ ([ml−A十BPCI−’(x6+D
Um(s)))  = (13となる。なお、ここに1
は単位行列、xoはXの初期値である。
However, s a21 * &23 r ass l a3
3 + b3J* d21 us, respectively. Here, for simplicity, the above equation (9) is written as: intersection=Ax+
It is expressed as BE+DUm -...nti. this(
The linear system expressed by equation (9) is generally an unstable system, but the state vector [Δ2. Δ'Z
IΔ1] and acceleration Δ“2, the applied voltage E can be determined in various ways, and the system can be stabilized by feedback control. For example, if C is an output matrix (in this case, the unit matrix), the applied voltage E, E=-[Fl, F'2, F'3)xCxx=
-FCx...
.... αυ (where F11F'= , Fl is the feed constant), then formula 01 is: Cross=Ax-BFCx+DUm -...-
α2, and further, by Laplace transform of this 01 formula, ×
When calculating, x = L-'([ml-A+BPCI-'(x6+D
Um(s))) = (13. Note that here 1
is the identity matrix, and xo is the initial value of X.

上記03式において、Umをステ、デ上の外力とすれば
、Xの安定性は、状態推移行列Φ(8)すなわち、 Φ(a)= (sl−A+8FC)−’       
・・・・・・ α滲の行列式detlΦ(8)1の特性
根がSの複素平面上で全て左平面上に存在すれば保障さ
れる。(9)式の場合、Φ(8)の特性方程式d@tl
Φ(s) l = Oは、s”+(bstFs−ass
)s”+(−a*t+axs(bstF2−ass))
s+axsbslF1−an(bsxFs ass)=
O=” <15となる。したがって、F l 6 F 
B tFgの値を適宜決定することによりdetlΦ(
s) l = 0の特性根の複素平面上での配置を任意
に決定することができ、磁気浮上系の安定化を達成する
ことができる。
In the above equation 03, if Um is the external force on ST and D, the stability of X is the state transition matrix Φ(8), that is, Φ(a) = (sl-A+8FC)-'
. . . It is guaranteed if the characteristic roots of the determinant detlΦ(8)1 of α are all on the left plane on the complex plane of S. In the case of equation (9), the characteristic equation d@tl of Φ(8)
Φ(s) l = O is s"+(bstFs-ass
)s”+(-a*t+axs(bstF2-ass))
s+axsbslF1-an(bsxFs ass)=
O=”<15. Therefore, F l 6 F
By appropriately determining the value of B tFg, detlΦ(
s) The arrangement of the characteristic root of l = 0 on the complex plane can be arbitrarily determined, and stabilization of the magnetic levitation system can be achieved.

磁気支持部にこの様なフィードバック徂制御を施した場
合の磁気浮上系のブロック図を第4図に示す。すなわち
、制御対象11には、フィードパ、りゲイン補償器12
が付加されている。なお、同図中yはCxを表わす。
FIG. 4 shows a block diagram of a magnetic levitation system in which such feedback control is applied to the magnetic support section. That is, the controlled object 11 includes a feeder and a gain compensator 12.
is added. Note that y in the figure represents Cx.

このような磁気浮上系においては、ステップ状の外力T
Jmおよび印加電圧Eのバイアス雪圧eoの変化に伴い
、系の安定状態時の空隙長偏差Δ2および電流偏差Δ1
に以下に示すような定常偏差Δ2.およびΔ13が生じ
る。
In such a magnetic levitation system, a step-like external force T
With changes in bias snow pressure eo of Jm and applied voltage E, gap length deviation Δ2 and current deviation Δ1 when the system is in a stable state
The steady-state deviation Δ2. is as shown below. and Δ13 occur.

本発明は、上記αG、αη式で表わされる定常偏差のう
ち、空隙長定常偏差Δ2.を、ステップ状の外力Umの
有無に拘らず零にするように、磁気支持部にフィードバ
ック制御を施すようにしたことを特徴としている。
In the present invention, among the steady deviations expressed by the above αG and αη equations, the gap length steady deviation Δ2. The present invention is characterized in that feedback control is applied to the magnetic support portion so that Um becomes zero regardless of the presence or absence of the step-like external force Um.

すなわち、本発明は、少なくとも下面部分が強磁性体で
形成されたガイドレールと、このガイドレール上に上記
ガイドレールに沿って走行自在に配置された搬送車と、
前記ガイドレールの下面と空隙を介して対向するように
前記搬送車に取付けられた複数の電磁石と、これら電磁
石、前記ガイドレールおよび前記空隙で構成される磁気
回路中に配置されるとともに前記搬送車に取付けられ、
前記搬送車を浮上させるのに必要な起磁力を供給する永
久磁石と、前記搬送車に取付けられ前記磁気回路の変化
を検出するセンサと、このセンサの出力に基づいて前記
電磁石に流す励磁電流を制御する制御装置とを具備した
浮上式搬送装置において、前記制御装置は、前記搬送車
に印加された外力の有無に拘らず前記電磁石と前記ガイ
ドレールとの間の空隙長を一定にするように前記電磁石
に流す励磁電流を制御するものであることを特徴として
いる本発明は、このように空隙長定常偏差Δ2.を零に
制御するため、例えば次のような制御方法を採用したも
のとなっている。
That is, the present invention provides a guide rail in which at least a lower surface portion is formed of a ferromagnetic material, a carrier disposed on the guide rail so as to be able to run freely along the guide rail,
a plurality of electromagnets attached to the carrier so as to face the lower surface of the guide rail with a gap in between; installed in
A permanent magnet that supplies the magnetomotive force necessary to levitate the carrier; a sensor that is attached to the carrier and detects changes in the magnetic circuit; and an excitation current that is applied to the electromagnet based on the output of this sensor. In the floating conveyance device, the control device maintains a gap length between the electromagnet and the guide rail regardless of the presence or absence of an external force applied to the conveyance vehicle. The present invention, which is characterized in that it controls the excitation current flowing through the electromagnet, is configured such that the steady deviation of the gap length Δ2. In order to control to zero, for example, the following control method is adopted.

■外力Umを状態観測器によって観測し、この観測値U
rnに適当なゲインを持たせて磁気浮上系にフィードパ
、りする方法。
■External force Um is observed by a state observation device, and this observed value U
How to feed rn to the magnetic levitation system by giving it an appropriate gain.

■ギヤツブ長偏差Δz1速度偏差Δ°2および電流偏差
Δ1に全てが同時に零でない適当なゲインを持たせ、そ
れぞれの値をSの一次系を構成するフィルタを介して磁
気浮上系にフィードツマツクする方法。
■Gear gear length deviation Δz1, speed deviation Δ°2, and current deviation Δ1 all have appropriate gains that are not zero at the same time, and feed each value to the magnetic levitation system via the filter that constitutes the primary system of S. Method.

■空隙長差Δ2を積分補償器を用いて積分し、その出力
値に適当なゲインを持たせて磁気浮上系にフィードバッ
クする方法。
■A method of integrating the air gap length difference Δ2 using an integral compensator, giving the output value an appropriate gain, and feeding it back to the magnetic levitation system.

■上記■、■あるいは■の方法を併用する方法。■Method of combining methods of ■, ■, or ■ above.

等である。etc.

ここでは、−例として■の方法について説明する。Here, method (2) will be explained as an example.

上記■の方法を用いた磁気浮上系のプロ、yり図は第5
図に示される。すなわち、上記の方法は、前述したのと
略同様なフィードパ、りrイン補償器13に加え、さら
に状態観測器14を付加したものとなっている。この状
態観測器14は、例えば最小次元状態観測器であり、状
 ′態ベクトルXを、 x/ == [:Δ2.Δ’z Hj I 、Um ]
”    ’  ”・=・ αQとして、速度Δ゛2と
ステ、プ状の外力Umとを観測するものである。ここで
は、状態ベクトルが08式であるので、(7) 、 (
8)式は、次のような状態方程式にまとめることができ
る。
The professional magnetic levitation system using the above method (■), the y-line diagram is shown in 5th.
As shown in the figure. That is, in the above method, a state observer 14 is added in addition to the feedper and r-in compensator 13 that are substantially similar to those described above. This state observation device 14 is, for example, a minimum-dimensional state observation device, and the state vector X is expressed as x/ == [:Δ2. Δ'z Hj I, Um]
`` '''·=· As αQ, the velocity Δ゛2 and the step-shaped external force Um are observed. Here, since the state vector is equation 08, (7), (
Equation 8) can be summarized into the following state equation.

x’ = A’ x’+B’g           
−−−−・−(lI但し、 0式において、直接センサによシ検出される要素をΔ2
とΔiとすると、01式の表わす系の出力方程式は、 y′=C′x′               ・・・
・・・ (イ)但し、 となる。この時、Δ°2およびUIllを被観測要素と
した最小次元状態観測器は、以下の式で実現することが
できる。
x' = A'x' + B'g
−−−・−(lIHowever, in equation 0, the element directly detected by the sensor is Δ2
and Δi, the output equation of the system expressed by equation 01 is y'=C'x'...
... (a) However, . At this time, a minimum-dimensional state observer with Δ°2 and UIll as observed elements can be realized by the following equation.

但し、 なお、ここでαlltα21は、勾式で表わされる系が
安定となるように適宜決定することのできる定数である
。また、推定値Xは被観測要素へ Δ°2、外力Umの速度推定値Δ2および外力推定値仝 Unを含む〔Δ2.Δ2.Δl、UmlTなるベクトル
である。
However, αlltα21 here is a constant that can be appropriately determined so that the system expressed by the gradient equation is stable. In addition, the estimated value X includes Δ°2 to the observed element, the estimated speed value Δ2 of the external force Um, and the estimated external force value Un [Δ2. Δ2. The vectors are Δl and UmlT.

第5図において印加電圧EをフィードバックディンF/
]〜Flを用いて、 E=  CF’15F’21F’31F’4]X=  
F’X   ・−・1241とすれば、系の状態推移行
列Φて8)は、+1&(s)=(41−A’+B’F’
e(sl−K)−’含C’+B’F’f3C’)−’ 
  、=−@となる。また、この磁気浮上系の状態ベク
トルの初期値をXo′、(財)式の初期値を2゜BOと
すれば、この系の応答は、 X′(s)== v(s) (X 6 ’4’F’C(
s I A) −’ ZoBo )   ・・=・・(
24と表わすことができる。
In Fig. 5, the applied voltage E is fed back to F/
] ~ Using Fl, E= CF'15F'21F'31F'4]X=
If F'X ・-・1241, the state transition matrix Φ of the system 8) is +1&(s)=(41-A'+B'F'
e(sl-K)-'Contains C'+B'F'f3C')-'
, =-@. Furthermore, if the initial value of the state vector of this magnetic levitation system is Xo', and the initial value of the formula is 2°BO, then the response of this system is X'(s)==v(s) (X 6 '4'F'C (
s I A) −' ZoBo ) ・・・=・・(
24.

ここで、上記(ハ)、(ハ)式中のΦτ3)は、但し、 Δ(s): s3+(bsx Fs’ ass ) s
2+(−azt +a2s (bo Fz ’−a32
 ) ) a+azsbstFx’−azt(balF
3’ ass)     −QBJΔoB(s) = 
s”+α1111+αHd21       ””°1
翰で求めることができ、P141P34を除く要素は、
全てSを因数に持つ3の多項式で記述することができる
Here, Φτ3) in formulas (c) and (c) above is, however, Δ(s): s3+(bsx Fs' ass ) s
2+(-azt +a2s (bo Fz'-a32
) ) a+azsbstFx'-azt(balF
3' ass) -QBJΔoB(s) =
s”+α1111+αHd21 ””°1
The elements that can be found in Kanji, excluding P141 and P34, are:
All can be described as polynomials of 3 with S as a factor.

このため、PH(1=1〜3.j=1〜3)の各要素に
ついては、Φ′(S)の原点にある極を打消すことがで
きるので、F l/〜F4′およびα11.α21を適
宜決定することで、 Δ(lI)・Δ。B(s)=0 の全ての根を3平面上の左半面上に配列すればΔ2.Δ
′Z、Δ1は、これらの初期値に拘らず零に集束するこ
とが保障される。
Therefore, for each element of PH (1=1 to 3. By appropriately determining α21, Δ(lI)・Δ. If all the roots of B(s)=0 are arranged on the left half of the three planes, Δ2. Δ
'Z and Δ1 are guaranteed to converge to zero regardless of their initial values.

一方、PI3 、P34は、それぞれ P 14 = dxs s3+dH(αxt+batF
s’−as3)s2+(α21 dzt +(bst 
Fs ’−a33 )azt +b3t a23F’2
 i dzt s+(αHdzx (bst Fs’ 
ass )−bsla23α21F4’)b21 ・”
eAP34 ”α32αzts”+(as2dztα1
1 d21bsxF+’ dz+αo b31Fz’−
dzl(lxs bst F4’) s” + (α3
2 aH2α21 d21αob3+F+’−dzt 
bs+ Fz’(azx +dzxα2t))S+(シ
ztbstdzt2Ft’−azt bsx dz!α
zx F4 ’ )         −−01)と表
わすことができ、これらの要素は、前記外力Umにより
、系に定常偏差Δz/、およびΔ1′3が生じることを
示している。そこで、(1)式においてF4′を、 と決定してやると、開式の最後の項が零となり、P34
が因数3を持つので、他の要素P3j(i=1〜3、j
=1〜3)と同様に、Φ′(8)の原点にある極を保障
することを意味するので、前記外力の有無に拘らず、前
記空隙長定常偏差Δz8を零に近付ける手段は、現実に
存在する。
On the other hand, PI3 and P34 are respectively P 14 = dxs s3+dH(αxt+batF
s'-as3) s2+(α21 dzt +(bst
Fs'-a33) azt +b3t a23F'2
i dzt s+(αHdzx (bst Fs'
ass)-bsla23α21F4')b21・”
eAP34 “α32αzts”+(as2dztα1
1 d21bsxF+' dz+αo b31Fz'-
dzl(lxs bst F4') s” + (α3
2 aH2α21 d21αob3+F+'-dzt
bs+ Fz'(azx +dzxα2t))S+(ztbstdzt2Ft'-azt bsx dz!α
zx F4') --01), and these elements indicate that the external force Um causes steady deviations Δz/ and Δ1'3 in the system. Therefore, if F4' in equation (1) is determined as follows, the last term of the opening equation becomes zero, and P34
has a factor of 3, so other elements P3j (i=1 to 3, j
= 1 to 3), it means ensuring the pole at the origin of Φ'(8), so regardless of the presence or absence of the external force, there is no practical way to bring the steady gap length deviation Δz8 close to zero. exists in

なお、状態ベクトルの各要素を検出するには、例えば、 ■全ての要素を適当なセンサを用いて直接測定する方法
、 ■適当なギヤ、プセンサ、速度センサあるいは加速度セ
ンサ等のいずれか一つの出力信号を必要に応じて積分器
あるいは微分器を用いて部分ま庭は微分して、Δ2.Δ
1などを検出する方法、 ■状態ベクトルのうちの2g素を■または■の方法で検
出し、残りの一つを必要であれば前記外力Umと合わせ
て状態観測器で観測する方法などが挙げられる。
In addition, in order to detect each element of the state vector, for example, ①Measure all the elements directly using an appropriate sensor, ②The output of one of the appropriate gears, pressure sensors, speed sensors, acceleration sensors, etc. The signal is partially differentiated using an integrator or differentiator as necessary to obtain Δ2. Δ
1, etc., ■Detecting the 2g element of the state vector using method ■ or ■, and observing the remaining one with a state observation device, if necessary, together with the external force Um. It will be done.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、電磁石に要求される磁気力に相当する
部分を永久磁石で補償するようにしさらに上記電磁石に
流れる励磁電流を制御することによって、搬送車への外
力の印加の有無に拘らず、電磁石とガイドレールとの間
の空隙長を常に一定にするようにしているので、搬送車
の走行時や搬送対象物の搭載時においても、なんら空隙
長は変化せず、制御性の困難性を生じることはない。し
たがって、本発明によれば磁気浮上系の制御性能の安定
化を図ることができ   iる。
According to the present invention, by compensating for the part corresponding to the magnetic force required of the electromagnet with a permanent magnet and further controlling the excitation current flowing through the electromagnet, regardless of whether or not an external force is applied to the transport vehicle. Since the gap length between the electromagnet and the guide rail is always kept constant, the gap length does not change at all even when the transport vehicle is running or when the object to be transported is loaded, which makes controllability difficult. will not occur. Therefore, according to the present invention, it is possible to stabilize the control performance of the magnetic levitation system.

〔発明の実施例〕[Embodiments of the invention]

以下、第1図および第2図を参照し、本発明の一実施例
に係る浮上式搬送装置について説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A floating conveyance apparatus according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2.

第1図において21は、少なくとも下面部分が強磁性材
で形成されたガイドレールである。
In FIG. 1, reference numeral 21 denotes a guide rail whose bottom surface is made of a ferromagnetic material.

このガイドレール21上には、搬送車22がガイドレー
ル21に沿りて走行自在く配置されている。搬送車22
には、磁気支持装置23が搭載されており、この磁気支
持装置23とガイドレール21との間に生じる磁気的吸
引力によって、搬送車22はガイドレール21上に完全
に浮上し次状態に支持されている。
A transport vehicle 22 is disposed on the guide rail 21 so as to be able to freely run along the guide rail 21 . Transport vehicle 22
is equipped with a magnetic support device 23, and due to the magnetic attraction force generated between the magnetic support device 23 and the guide rail 21, the transport vehicle 22 is completely floated on the guide rail 21 and is supported in the next state. has been done.

搬送車22の下面には、支持板24を介してリニア誘導
電動機25の可動要素である導体板26が固定されてお
り、ガイドレール21に沿りたペース部分27には、上
記リニア誘導電動機25の固定子28が固定されている
。また、搬送車22の下面には、前記磁気支持装置23
に制御信号を与える制御装置29と、この制御装置29
や前記磁気支持装置23に電力を供給する電源30が搭
載されている。
A conductor plate 26, which is a movable element of a linear induction motor 25, is fixed to the lower surface of the carrier 22 via a support plate 24, and a pace portion 27 along the guide rail 21 is provided with a conductor plate 26, which is a movable element of a linear induction motor 25. A stator 28 is fixed. Further, the magnetic support device 23 is provided on the lower surface of the transport vehicle 22.
a control device 29 that gives a control signal to the control device 29;
A power source 30 that supplies power to the magnetic support device 23 and the magnetic support device 23 is mounted.

前記ガイドレール21は、アングル状部材j 1 a 
e 2 l bを平行に敷設して構成されている。
The guide rail 21 is an angular member j 1 a
It is constructed by laying e 2 l b in parallel.

搬送車22は、被搬送物の搬送を容易化するため、偏平
な容器22&で構成されている。そして、その下面には
、非常時等において搬送車22をガイドレール21上で
支持する車輪31が取付けられている。
The conveyance vehicle 22 is composed of a flat container 22 & in order to facilitate conveyance of objects to be conveyed. Wheels 31 are attached to the lower surface of the transport vehicle 22 to support the transport vehicle 22 on the guide rail 21 in an emergency or the like.

前記磁気支持装置23は、前記搬送車220四隅位置と
対向する位置に配置された4つの磁気支持部33と、こ
れら磁気支持部33を前記搬送車にそれぞれ固定するた
めの4つのL字状の取付は部材32とで構成されている
。さらに各磁気支持部33は、一端面が前記ガイドレー
ル21の下面に僅かの9隙を介して対向した2つの継鉄
34,35およびこれら継鉄34゜35に巻装されたコ
イル36.37からなる2つの電磁石38.39と、前
記継鉄34,35間に介装された永久磁石40とで構成
されているO また、制御装置29は第2図に示すように構成され【い
る。なお、この図において矢印は信号経路をまた棒線は
電力経路を示したものである。この制御装置29は、第
5図に示した方法例による制御を実現するものであり、
具体的には搬送車22に取付けられて磁気支持部33に
よって形成される磁気回路の変化を検出するセンサ部4
6と、とのセンサ部46からの信号に基づいてコイル3
6,37へ供給すべき電力を演算する演算回路47と、
この演算回路47からの信号に基づいて曲記コイル3g
、37に電力を供給するパワーアンプ48とで構成され
ている。センサ部46は、前記継鉄34または35に固
定されて各磁気支持部33とガイドレール21との間の
空隙長を検出するギャップセンサ5ノと、このギヤ、プ
センサ51からの信□ 号を前処理する変調回路52と
、前記コイル36.37の電流値を検出する電流検出器
53とで構成されている。演算回路42は、−万゛にお
いては、ギャップセンサ51からの信号な変調回路52
を介して導入し、減算器54によって1゜を減算した後
、この減算器54の出力を状゛態観測器56に導き、他
方においては電流検出器53からの信号を上記状態観測
器56に導くものであり、さらにこの状態観測器56か
ら出出されフィードパ、フグイン補償器57で所定のダ
インを持たせた信号と上記状態観測器56から出力され
フィードバックダイン補償器58゜59.60でそれぞ
れ所定、のゲインを持たせた信号とを加算器61により
加算し、その加算出力と偏差の目標値零とを減算器62
によって比較して、その偏差を前記/4ワーアンプ48
に出力するものとなっている。
The magnetic support device 23 includes four magnetic support parts 33 arranged at positions facing the four corners of the transport vehicle 220, and four L-shaped magnetic support parts 33 for fixing these magnetic support parts 33 to the transport vehicle, respectively. The attachment is made up of a member 32. Further, each magnetic support portion 33 includes two yokes 34 and 35 whose one end face faces the lower surface of the guide rail 21 with a slight gap between them, and coils 36 and 37 wound around these yokes 34 and 35. The control device 29 is constructed as shown in FIG. 2. In this figure, arrows indicate signal paths and bar lines indicate power paths. This control device 29 realizes control according to the method example shown in FIG.
Specifically, a sensor section 4 that is attached to the transport vehicle 22 and detects changes in the magnetic circuit formed by the magnetic support section 33
Coil 3 based on signals from sensor unit 46 of 6 and .
an arithmetic circuit 47 that calculates the power to be supplied to 6 and 37;
Based on the signal from this arithmetic circuit 47, the writing coil 3g
, 37. The sensor section 46 includes a gap sensor 5 which is fixed to the yoke 34 or 35 and detects the gap length between each magnetic support section 33 and the guide rail 21, and receives signals from the gear and sensor 51. It is composed of a modulation circuit 52 for preprocessing and a current detector 53 for detecting the current value of the coils 36 and 37. The arithmetic circuit 42 receives the signal from the gap sensor 51 from the modulation circuit 52 at -1000.
After subtracting 1° by a subtractor 54, the output of this subtracter 54 is led to a state observer 56, and on the other hand, the signal from the current detector 53 is passed to the state observer 56. Furthermore, the signal outputted from the state observation device 56 and given a predetermined dyne by the feeder and fuguin compensator 57, and the signal outputted from the state observation device 56 and given a predetermined dyne by the feedback dyne compensator 58, 59.60, respectively. A signal having a predetermined gain is added by an adder 61, and the added output and a target value of deviation of zero are added by a subtracter 62.
The deviation is compared by the /4 power amplifier 48.
It is intended to be output to.

なお、電源30は、゛比較的大電力を必要とする・母ワ
ーアンプ系統と、□小電力の演算回路系統とをそれぞれ
別個に電力を供給するため、2つの電源部j (7a 
v j (7bを備えたものとなっている。これら電源
部30* 、30bは、それぞれ他の磁気支持部33へ
も電力を供給しているこのように構成された本実施例に
係る浮上式搬送装置は、次のように動作する。
Note that the power supply 30 separately supplies power to the mother power amplifier system, which requires relatively large power, and the arithmetic circuit system, which requires small power, so it has two power supply units j (7a
v j (7b).These power supply units 30* and 30b each supply power to other magnetic support units 33. The transport device operates as follows.

すなわち、磁気支持部33において永久磁石40が作る
磁束は、継鉄34 、 J 5、空隙、ガイドレール2
1の強磁性体部分を通過して磁気回路を形成する。この
磁気回路は、搬送車22に外力が印加されていない定常
状態で、電磁石38.39による磁束を全く必要としな
いような磁気吸引力を持たせるように所定の空隙長z0
を保っている。
That is, the magnetic flux created by the permanent magnet 40 in the magnetic support part 33 is distributed between the yoke 34, J5, the air gap, and the guide rail 2.
1 to form a magnetic circuit. This magnetic circuit has a predetermined air gap length z0 so as to have a magnetic attraction force that does not require any magnetic flux from the electromagnets 38 and 39 in a steady state where no external force is applied to the carrier 22.
is maintained.

この状態で外力Umが印加されると、ギャップセンサ5
1はこれを検知して変調回路52を介して演算回路47
に検出信号を送出する。演算回路47は、減算器54に
よって上記信号から空隙長設定値2゜を減算し、空隙長
偏差信号Δ2として状態観測器5・6に出力する。一方
、電流偏差信号Δlは、電流検出器53の計測信号によ
って得られ、これも状態観測器56に入力される。状態
観測器56は、これらの信号に基づき、前述したに)式
、に)式を用いて状態ベクトルXの推定値△ Xを計算する。この計算結果はフィードバックゲイン補
償器57〜60によってそれぞれ所定のゲインを付与さ
れて、ノ母ワーアンプ48にフィードパ、りされる。か
くして、系は一定の空隙長を維持した状態で安定化する
When external force Um is applied in this state, gap sensor 5
1 detects this and sends it to the arithmetic circuit 47 via the modulation circuit 52.
A detection signal is sent to the The arithmetic circuit 47 subtracts the air gap length setting value 2° from the signal using the subtracter 54, and outputs the result to the state observers 5 and 6 as the air gap length deviation signal Δ2. On the other hand, the current deviation signal Δl is obtained from the measurement signal of the current detector 53, and is also input to the state observation device 56. Based on these signals, the state observer 56 calculates the estimated value ΔX of the state vector X using equations 1) and 2) described above. The calculation results are given predetermined gains by feedback gain compensators 57 to 60, respectively, and are fed to the power amplifier 48. The system is thus stabilized while maintaining a constant pore length.

このように本実施例によれば、外力Umの印加の有無に
拘らず、電磁石38p39とガイドレールとの間の空隙
長を常に一定となるように制御しているので、従来のよ
うに、空隙長偏差が大きくなりすぎて線形制御が困難に
なるという不具合を取除くことができる。したがって、
磁気浮上系の制御性能の安定化を図ることができる。
In this way, according to this embodiment, the gap length between the electromagnets 38p39 and the guide rail is controlled to be constant regardless of whether or not the external force Um is applied. It is possible to eliminate the problem that the length deviation becomes too large and linear control becomes difficult. therefore,
The control performance of the magnetic levitation system can be stabilized.

なお、本発明は、上述した実施例に限定されるものでは
ない。たとえば上記実施例では状態観測器56を用いて
外力Umを観測し、この観測値Umに適当なゲインを持
たせてノクワーアンプ48にフィードバックする方法を
採用しているが、前述した他の方法によって制御するよ
うにしてもよい。また、前述したように、ギャップセン
サ5ノおよび電流検出器530代わりに速度センサや、
加速度センサを用いるようにしても良い@ また本発明は、必要に応じて搬送区間の所定領域では励
磁電流が常に一定ないしは零になるような制御を行ない
、他の領域では上述した空隙長を一定に保つ制御を行な
わせるようにし、これによって省エネルイ化を図るよう
にしても良いO さらには、本発明は、アナログ式の制御を行なうものに
限定されず、デジタル式の制御要素を備えた装置を構成
することもできる。
Note that the present invention is not limited to the embodiments described above. For example, in the above embodiment, a method is adopted in which the external force Um is observed using the state observation device 56, and this observed value Um is given an appropriate gain and fed back to the knocker amplifier 48. You may also do so. Further, as described above, instead of the gap sensor 5 and the current detector 530, a speed sensor,
An acceleration sensor may also be used.@ Also, in the present invention, if necessary, the excitation current is controlled to be constant or zero in a predetermined region of the conveyance section, and the above-mentioned gap length is kept constant in other regions. Furthermore, the present invention is not limited to devices that perform analog control, but also devices that have digital control elements. can also be configured.

このように、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々
変形して実施することができる。
As described above, the present invention can be implemented with various modifications without departing from the gist thereof.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例に係る浮上式搬送装置の概略
構成を示す図であり、同図(a)は斜視図、同図(b)
は正面図、同図(C)は一部切欠した側面図、第2図は
同装置の制御装置およびその周辺の電気的構成を示すブ
ロック図、第3図は本発明の主蜀部分をなす磁気支持部
を示す図、第4図は同磁気支持部の安定化のための従来
の制御方法を示すブロック図、第5図は同磁気支持部の
本発明における制御方法を示すブロック図である。 1.21・・・ガイドレール、2 y 3 p 38 
t39・・・電磁石、4,5,34,35・・・継鉄、
67.36,37・・・コイル、8,40・・・永久磁
石、9.30・・・電源、11・・・制御対象、12 
、57〜60・・・フィードバックゲイン補償器、13
゜60・・・積分補償器、22・・・搬送車、23・・
・磁気支持装置、25・・・IJ ニア誘導電動機、3
1・・・車輪、33・・・磁気支持部、46・・・セン
サ部、47・・・演算回路、56・・・状態観測器。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第3図 第4r!!J
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a floating conveyance device according to an embodiment of the present invention, FIG. 1(a) is a perspective view, and FIG. 1(b) is a perspective view.
2 is a front view, FIG. 2 is a partially cutaway side view, FIG. 2 is a block diagram showing the electrical configuration of the control device and its surroundings, and FIG. 3 is the main part of the present invention. FIG. 4 is a block diagram showing a conventional control method for stabilizing the magnetic support portion; FIG. 5 is a block diagram showing a control method of the present invention for the magnetic support portion. . 1.21...Guide rail, 2 y 3 p 38
t39...electromagnet, 4,5,34,35...yoke,
67.36,37... Coil, 8,40... Permanent magnet, 9.30... Power supply, 11... Controlled object, 12
, 57-60... feedback gain compensator, 13
゜60... Integral compensator, 22... Transport vehicle, 23...
・Magnetic support device, 25...IJ Near induction motor, 3
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Wheel, 33... Magnetic support part, 46... Sensor part, 47... Arithmetic circuit, 56... State observation device. Applicant's agent Patent attorney Takehiko Suzue Figure 3, Figure 4r! ! J

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)少なくとも下面部分が強磁性体で形成されたガイ
ドレールと、このガイドレール上に上記ガイドレールに
沿って走行自在に配置された搬送車と、前記ガイドレー
ルの下面と空隙を介して対向するように前記搬送車に取
付けられた複数の電磁石と、これら電磁石、前記ガイド
レールおよび前記空隙で構成される磁気回路中に配置さ
れるとともに前記搬送車に取付けられ、前記搬送車を浮
上させるのに必要な起磁力を供給する永久磁石と、前記
搬送車に取付けられ前記磁気回路中の変化を検出するセ
ンサ部およびこのセンサ部の出力に基づいて前記電磁石
に流す励磁電流を制御する制御部を有する制御装置とを
具備した浮上式搬送装置において、前記制御装置は、前
記搬送車に印加された外力の有無に拘らず前記電磁石と
前記ガイドレールとの間の空隙長を一定にするように前
記電磁石に流す励磁電流を制御するものであることを特
徴とする浮上式搬送装置。
(1) A guide rail having at least a lower surface portion formed of a ferromagnetic material, a carrier disposed on the guide rail so as to be able to run freely along the guide rail, and facing the lower surface of the guide rail with a gap in between. a plurality of electromagnets attached to the carrier, and a magnet arranged in a magnetic circuit composed of the electromagnets, the guide rail, and the air gap, and attached to the carrier to levitate the carrier. a permanent magnet that supplies the magnetomotive force necessary for In the floating conveyance device, the control device controls the control device so as to keep the gap length between the electromagnet and the guide rail constant regardless of the presence or absence of an external force applied to the conveyance vehicle. A floating conveyance device that controls an excitation current flowing through an electromagnet.
(2)前記制御装置は、前記センサ部の出力値から前記
外力の大きさを観測する状態観測器とこの状態観測器で
観測された前記外力の大きさに所定のゲインを持たせて
前記励磁電流にフィードバックする手段とを備えてなる
ものであることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の浮上式搬送装置。
(2) The control device includes a state observation device that observes the magnitude of the external force from the output value of the sensor unit, and a predetermined gain for the magnitude of the external force observed by the state observation device to excite the external force. 2. The floating conveyance device according to claim 1, further comprising means for feeding back the current.
(3)前記制御装置は、前記電磁石と前記ガイドレール
との間の空隙長、前記搬送車の前記空隙長方向の速度お
よび前記電磁石の励磁電流の各偏差に全てが同時に零で
ない所定のゲインを持たせ、これらを一次伝達関数を有
するフィルタを介して前記励磁電流にフィードバックす
る手段を備えてなるものであることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載の浮上式搬送装置。
(3) The control device applies a predetermined gain to each deviation of the gap length between the electromagnet and the guide rail, the speed of the conveyance vehicle in the gap length direction, and the excitation current of the electromagnet, all of which are not zero at the same time. 2. The floating conveyance device according to claim 1, further comprising means for feeding back the excitation current to the excitation current through a filter having a linear transfer function.
(4)前記制御装置は、前記空隙長の偏差を所定のゲイ
ンを持たせて積分する積分補償器と、この積分補償器の
出力値を前記励磁電流にフィードバックする手段とを備
えてなるものであることを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載の浮上搬送装置。
(4) The control device includes an integral compensator that integrates the gap length deviation with a predetermined gain, and means for feeding back the output value of the integral compensator to the excitation current. The floating conveyance device according to claim 1, characterized in that:
(5)前記センサ部は、前記電磁石と前記ガイドレール
との間の空隙長、前記空隙長の変化速度、前記空隙長の
変化加速度および前記電磁石の励磁電流のうち、少なく
とも一つの検出値を得るものであることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の浮上式搬送装置。
(5) The sensor unit obtains a detected value of at least one of the gap length between the electromagnet and the guide rail, the speed of change in the gap length, the acceleration of change in the gap length, and the excitation current of the electromagnet. A floating conveyance device according to claim 1, wherein the floating conveyance device is a floating conveyance device.
JP59222703A 1984-10-23 1984-10-23 Levitating type conveyor Pending JPS61102106A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996003289A1 (en) * 1994-07-25 1996-02-08 Quaas Hans Rainer Electromagnetically borne hovering rig
CN100421985C (en) * 2004-05-28 2008-10-01 西南交通大学 Linear motor active suspension arrangement of rail vehicle
CN106828997A (en) * 2017-04-21 2017-06-13 山东新华医疗器械股份有限公司 A kind of bag making, filling and sealing machine

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