JPS6050402A - 温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサ - Google Patents
温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサInfo
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- JPS6050402A JPS6050402A JP58158119A JP15811983A JPS6050402A JP S6050402 A JPS6050402 A JP S6050402A JP 58158119 A JP58158119 A JP 58158119A JP 15811983 A JP15811983 A JP 15811983A JP S6050402 A JPS6050402 A JP S6050402A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
- G01D5/35303—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using a reference fibre, e.g. interferometric devices
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発すＪは、音数、振動、圧力、電界、磁界などの高感
度な検出、測定に用いられるファプリーベロー型光ファ
イバ干渉剖の温度特性を補償して温度ドリフトを除去し
た光ファイバセンザに関する。− 音波、振動、圧力、温度、電界、磁界などの各種の物理
量を光フアイバ中の光路長の変化。
度な検出、測定に用いられるファプリーベロー型光ファ
イバ干渉剖の温度特性を補償して温度ドリフトを除去し
た光ファイバセンザに関する。− 音波、振動、圧力、温度、電界、磁界などの各種の物理
量を光フアイバ中の光路長の変化。
すなわち位相の変化に変換して外界の物理量を測定する
光フアイバ干渉センサは、電磁誘導雑音がないことや高
感度性などを特徴としている。
光フアイバ干渉センサは、電磁誘導雑音がないことや高
感度性などを特徴としている。
例えば干渉型光ファイバセンサの中でも２両端面に半透
膜をコーティングした一本の単一モートファイバを七ン
サ部とし、参照光用のファイバアームを必要としないフ
ァプリーペロー型光ファイバ干渉計は構成が簡単なこと
で実用上の利用価値が高く、たとえば音波センサなどへ
の応用がなされている。しかし、音波以外に温度変化に
対する感度も高いために（例えば２１５ラジアン／゛Ｃ
／メートル（センサ部長）が得られている。）、その設
置されている場所の温度変動によってセンサの出力が変
動しドリフトを、牛じるので、これを除去することが問
題になっている。
膜をコーティングした一本の単一モートファイバを七ン
サ部とし、参照光用のファイバアームを必要としないフ
ァプリーペロー型光ファイバ干渉計は構成が簡単なこと
で実用上の利用価値が高く、たとえば音波センサなどへ
の応用がなされている。しかし、音波以外に温度変化に
対する感度も高いために（例えば２１５ラジアン／゛Ｃ
／メートル（センサ部長）が得られている。）、その設
置されている場所の温度変動によってセンサの出力が変
動しドリフトを、牛じるので、これを除去することが問
題になっている。
従来試みられている方法によれば、ファプリーペロー型
ファイバ干渉計のセンサ部ファイノくに圧電素子を接着
して挿入する方法が考えられる。
ファイバ干渉計のセンサ部ファイノくに圧電素子を接着
して挿入する方法が考えられる。
第１図は従来の上記のような構成のセンサを示す図であ
って、レーザ光源１からの光は９両端面に半透膜２と６
をコーティングした単一モード光ファイバ４に結合用レ
ンズ５を介して導入される。ファイバ中を伝搬する光は
１両端面の間でくり返し反射干渉した後検出器６で電気
信号に変えられる。光ファイノ；４は円筒形圧電素子７
に接着された巻き付けられている。検串器６からの出力
は、基準電圧Ｅと比較して差動増幅器８で増幅された後
、光ファイバの温度変化にＪ：る低い周波数成分のドリ
フトだけを取り出すだめの低域フィルタ９および積分回
路１０を通って、光ファイバ４の巻かれた圧電素子７に
印加訟れる。なお１位相を変化させる範囲は。
って、レーザ光源１からの光は９両端面に半透膜２と６
をコーティングした単一モード光ファイバ４に結合用レ
ンズ５を介して導入される。ファイバ中を伝搬する光は
１両端面の間でくり返し反射干渉した後検出器６で電気
信号に変えられる。光ファイノ；４は円筒形圧電素子７
に接着された巻き付けられている。検串器６からの出力
は、基準電圧Ｅと比較して差動増幅器８で増幅された後
、光ファイバの温度変化にＪ：る低い周波数成分のドリ
フトだけを取り出すだめの低域フィルタ９および積分回
路１０を通って、光ファイバ４の巻かれた圧電素子７に
印加訟れる。なお１位相を変化させる範囲は。
−π／２〜π／２でよいため、積分回路１０の出力がこ
の可変範囲をこえた場合はリセノ（・回路１１でもとに
もどず。電圧を印加された圧電素子７は２円筒の半径が
増減し又光ファイバ４が伸縮することで、温度変化によ
る位相ノフ］・が補償され、温度変動によるドリフトの
影響が取り除かれる。なお測定結果をあられす信号出力
は端子１２から得られる。
の可変範囲をこえた場合はリセノ（・回路１１でもとに
もどず。電圧を印加された圧電素子７は２円筒の半径が
増減し又光ファイバ４が伸縮することで、温度変化によ
る位相ノフ］・が補償され、温度変動によるドリフトの
影響が取り除かれる。なお測定結果をあられす信号出力
は端子１２から得られる。
しかしこの方法は、光ファイバのセンサ約６に位相補償
用の圧電素子７を直接接触させる必要があるので、セン
サ部分が小径、軽量であるという光フアイバセンサの特
徴が損われることや、圧電素子７が電磁誘導雑音の影響
を受けるしたがって本発明の目的は、小径且つ軽量で電
磁誘導雑音がなく、高感度な測定が可能であるファプリ
ーペロー型光ファイバセンザの特徴を損うことなく、従
来欠点となっていた温度ドリフトを除去して、安定な測
定の出来る干渉型光ファイバセンサを提供することにあ
る。
用の圧電素子７を直接接触させる必要があるので、セン
サ部分が小径、軽量であるという光フアイバセンサの特
徴が損われることや、圧電素子７が電磁誘導雑音の影響
を受けるしたがって本発明の目的は、小径且つ軽量で電
磁誘導雑音がなく、高感度な測定が可能であるファプリ
ーペロー型光ファイバセンザの特徴を損うことなく、従
来欠点となっていた温度ドリフトを除去して、安定な測
定の出来る干渉型光ファイバセンサを提供することにあ
る。
すなわち本発明によれば、光源手段と、この光源手段か
らの光を受けて物理量を測定するファプリーペロー型干
渉センサ部を含む光フアイバ手段と、前記ファプリーペ
ロー型干渉センサ部の出力を検出して基準電圧と比較し
増幅して測定結果を示す信号出力を発する手段と、前記
信号出力を用いて得られる制御信号をフィードバックし
て温度変動によるドリフトを補償するようにしたファプ
リーベロー型ファイバセノザにおいて、前記光源手段を
外部からの電気信号により光の周波数が変化する周波数
可変光源手段を以って゛構成し、且つ前記光源手段から
の光を互いに別方向に２分し一方を前記光フアイバ手段
に送る光分岐手段と、この光分岐手段から送出さ１する
他の一方の光を検出し２得られた電気部からの電気信号
とすることを特徴とする温度ドリフト補償型ファプリー
ペロー型ファイバセンザが得られる。
らの光を受けて物理量を測定するファプリーペロー型干
渉センサ部を含む光フアイバ手段と、前記ファプリーペ
ロー型干渉センサ部の出力を検出して基準電圧と比較し
増幅して測定結果を示す信号出力を発する手段と、前記
信号出力を用いて得られる制御信号をフィードバックし
て温度変動によるドリフトを補償するようにしたファプ
リーベロー型ファイバセノザにおいて、前記光源手段を
外部からの電気信号により光の周波数が変化する周波数
可変光源手段を以って゛構成し、且つ前記光源手段から
の光を互いに別方向に２分し一方を前記光フアイバ手段
に送る光分岐手段と、この光分岐手段から送出さ１する
他の一方の光を検出し２得られた電気部からの電気信号
とすることを特徴とする温度ドリフト補償型ファプリー
ペロー型ファイバセンザが得られる。
次に本発明につき詳細に説明する。
第２図は本発明の一実施例の構成を示す図であって、第
１図におけると同じ構成要素には第１図の参照数字に２
０を加えて示しである。第２図において２周波数可変光
源手段とじ−Ｃはし−ザ光源２１と超音波光変調器４１
を組み合わせたものが用いられている。超音波光変調器
４１を通った光ビームは、ビームスブリック４２によっ
て分割され、一方のビームは検出器４６によって電気信
号に変換された後、差動増幅器２８に４かれ、光フアイ
バ干渉部２４に導入される光量に比例した基準電圧■を
与える。他方の光ビームは結合用レンズ２５を介して送
光用光ファイバ４４に導入され１両端面に半透膜２３ａ
。
１図におけると同じ構成要素には第１図の参照数字に２
０を加えて示しである。第２図において２周波数可変光
源手段とじ−Ｃはし−ザ光源２１と超音波光変調器４１
を組み合わせたものが用いられている。超音波光変調器
４１を通った光ビームは、ビームスブリック４２によっ
て分割され、一方のビームは検出器４６によって電気信
号に変換された後、差動増幅器２８に４かれ、光フアイ
バ干渉部２４に導入される光量に比例した基準電圧■を
与える。他方の光ビームは結合用レンズ２５を介して送
光用光ファイバ４４に導入され１両端面に半透膜２３ａ
。
２３ｂをコーティングした単一モード光ファイバ４５か
らなるファプリーペロー型光ファイバ干渉計部すなわち
センサ部４６まで伝送される。
らなるファプリーペロー型光ファイバ干渉計部すなわち
センサ部４６まで伝送される。
７アブリ一ペロー型干渉計部は反射形で用いられている
。このセンサ部に導入された光は半透膜２３ａ、２３ｂ
の間でくり返し反射干渉シフ、送光用光ファイバ４４の
方向に反射され、結合レンズ２５を経てビームスプリッ
タ４２で反射されて検出器２６に送られる。この時反射
される光量は半透膜２３ａと２３ｂの透過率と両半透膜
間の光路長に依存している。両半透膜の間を光が一往復
したときに生ずる位相差をφとずれば、φｄセンザ部４
６の外界の物理量の変化に対応して変化する。
。このセンサ部に導入された光は半透膜２３ａ、２３ｂ
の間でくり返し反射干渉シフ、送光用光ファイバ４４の
方向に反射され、結合レンズ２５を経てビームスプリッ
タ４２で反射されて検出器２６に送られる。この時反射
される光量は半透膜２３ａと２３ｂの透過率と両半透膜
間の光路長に依存している。両半透膜の間を光が一往復
したときに生ずる位相差をφとずれば、φｄセンザ部４
６の外界の物理量の変化に対応して変化する。
第３図は第２図のセンサにおける。φが変化し７て生じ
た位相シフトΔφに対する検出器２６で受光される反射
光強度の変化の様子を示す図である。この図から明らか
なように１反射光強度の変化を電気信号に変えて測定す
ることによって位相シフト量がめら１％る。位相シフト
と外界物理：１１１との間には、一定の関係があるから
。
た位相シフトΔφに対する検出器２６で受光される反射
光強度の変化の様子を示す図である。この図から明らか
なように１反射光強度の変化を電気信号に変えて測定す
ることによって位相シフト量がめら１％る。位相シフト
と外界物理：１１１との間には、一定の関係があるから
。
これから外界物理量が測定される。位相シフトを力える
外界物理量としては、音波、温度、圧力などがある。寸
だ、センサ部分を電歪物質や磁歪物質に接着すれば、電
界や磁界に対しても位相ソフトが生じ、電界寸たは磁界
センサの働きをする。
外界物理量としては、音波、温度、圧力などがある。寸
だ、センサ部分を電歪物質や磁歪物質に接着すれば、電
界や磁界に対しても位相ソフトが生じ、電界寸たは磁界
センサの働きをする。
次に第２図に戻って、検出器２６で変換された電気信号
は検出器４３の出力信号である基ｌ￥−電圧Ｖと差動増
幅器２８で比較増幅された後、光ファ・イバの温度変化
による低い周波数成分のドリフトだけを取り出すための
低域フィルタ２９および積分回路６０を通り、必要のと
きはりセット回路６１の助けを借りて制御信号Ｃとなる
。
は検出器４３の出力信号である基ｌ￥−電圧Ｖと差動増
幅器２８で比較増幅された後、光ファ・イバの温度変化
による低い周波数成分のドリフトだけを取り出すための
低域フィルタ２９および積分回路６０を通り、必要のと
きはりセット回路６１の助けを借りて制御信号Ｃとなる
。
電圧制御発振器４７はこの制御信号Ｃによって決まる光
周波数シフト信号ｆを超音波光変調器４１にフィードバ
ックされる。それによって。
周波数シフト信号ｆを超音波光変調器４１にフィードバ
ックされる。それによって。
温度変動によって生じたセンサ部での位相シフトが周波
数ソフトの結果生じる位相シフトによって補償され１反
射光強度がドリフトに対して一定に保たれて温度ドリフ
トが除去される。また、この周波数シフトは第５図の反
射光強度のカーブにおいて、センサの動作点を感度が最
大で直線性のよいＡ点近傍に安定に設定する働きをかね
ている。なおレーザ光源２１．超音波光変調器４１．お
よび電圧制御発振器４７は合わせて周波数可変光源部４
８を形成する。また測定結果をあられす信号出力は端子
４９から取り出される。
数ソフトの結果生じる位相シフトによって補償され１反
射光強度がドリフトに対して一定に保たれて温度ドリフ
トが除去される。また、この周波数シフトは第５図の反
射光強度のカーブにおいて、センサの動作点を感度が最
大で直線性のよいＡ点近傍に安定に設定する働きをかね
ている。なおレーザ光源２１．超音波光変調器４１．お
よび電圧制御発振器４７は合わせて周波数可変光源部４
８を形成する。また測定結果をあられす信号出力は端子
４９から取り出される。
第４図は上記の周波数可変光源部４８の他の例を示すも
のであって、注入電流制御による周波数可変半導体レー
ザ５１と、制御信号Ｃにより前記の注入電流を発生する
駆動回路５２とから構成されてい′る。
のであって、注入電流制御による周波数可変半導体レー
ザ５１と、制御信号Ｃにより前記の注入電流を発生する
駆動回路５２とから構成されてい′る。
第５図は周波数可変光源部４８の更に他の例を示すもの
であって、印加電圧制御による圧電素子６１を付した半
導体レーザ６２と、制御信号Ｃにより前記の印加電圧を
発生する駆動回路６３とから構成されている。これら２
つの例は公知のものであるからその動作についての説明
は省略する。
であって、印加電圧制御による圧電素子６１を付した半
導体レーザ６２と、制御信号Ｃにより前記の印加電圧を
発生する駆動回路６３とから構成されている。これら２
つの例は公知のものであるからその動作についての説明
は省略する。
以上の第２図をもとにした本発明の実施例は。
送光用光フアイバ４４ヲ用いた遠隔操作可能の反射型の
ファプリーベロー光フアイバセンサについて説明したも
のであるが、送光用光ファイバ４４を取外せば直接操作
の反射型のセンサが構成できる。また第２図において、
センサ部４６の半透膜２３ｂの右側に光ファイバを接続
してこ可能の透過型のファプリーペロー型光ファイノ（
センサ ｉ−−− を構成することができる。但し実用的には反射型の方が
取扱い易い。
ファプリーベロー光フアイバセンサについて説明したも
のであるが、送光用光ファイバ４４を取外せば直接操作
の反射型のセンサが構成できる。また第２図において、
センサ部４６の半透膜２３ｂの右側に光ファイバを接続
してこ可能の透過型のファプリーペロー型光ファイノ（
センサ ｉ−−− を構成することができる。但し実用的には反射型の方が
取扱い易い。
以上のことから２本発明によれば、光源手段の光周波数
をセンサ部干渉計からの出力によってフィードバック制
御することにより、温度変動に基づく出力信号のドリフ
トを取り除くことが出来、従来例のように圧電素子をセ
ンサ部ファイバに取り付ける必要がなくなるので、セン
サ部を小径、軽量に出来ると共に１電磁誘導鼾ｆ音の影
響や、熱その他のしよう乱の発生源をセンサ部から完全
に取り除くことが出来るので。
をセンサ部干渉計からの出力によってフィードバック制
御することにより、温度変動に基づく出力信号のドリフ
トを取り除くことが出来、従来例のように圧電素子をセ
ンサ部ファイバに取り付ける必要がなくなるので、セン
サ部を小径、軽量に出来ると共に１電磁誘導鼾ｆ音の影
響や、熱その他のしよう乱の発生源をセンサ部から完全
に取り除くことが出来るので。
その実用上の効果はきわめて顕著である。
第１図は従来のファブリペロ−光ファイ・くセンサの構
成を示す図、第２図は本発明の一実施例の構成を示す図
、第６図はファプリーペロー型光ファイバ干渉計部から
の反射光強度と位相シフトとの関係を示す図、第４図は
第２図におけるｈ１波数可変光源手段の構成の他の例を
示す図、第５１￥１は同じく更に他の例を示す図である
。 記号の説明＝２１はレーザ光源、２５ａと２３ｂは半透
膜、２５は結合用レンズ、２６は検出器。 ２８は差動増幅器、２９は低域フィルタ、 ３０は積分
回路、ろ１はリセット回路、４１け超音波光変調器、４
２はビームスプリッタ、４ろけ検出器、４４ｄ送光用光
フアイバ、４５け乍−モ−１−光ファイバ、４６はファ
プリーベロー型光ファイバ干渉泪部（センサ部）、４７
は電圧制御発振器、４８は周波数可変光源手段をそれぞ
れあられしている。 ４６ 午２図 手続補正１（自発） 昭和ｔと年７０月２０日 特許庁長官 若 杉 和夫 殿 １ 事件の表示 昭和５８年特許願第１５８，１１９号 ２ 発明の名称 温度ドリフト補償型ファプリーはロー型光ファイバセン
サ ６ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （４２３）日本電気株式会社 ４、代理人 〒１０５ 住 所 東京都港区西新橋１丁目４番１０号６、補正の
内容 （１）明細ｎ）の記載を次のとおり訂正する。 １）第４頁８行、目：“たパを「て」に変更する。 ２）第７頁６行目：゛２４″を「４６」に変更する。 ６）第９頁６行目二パされ”を「ず」に変更する。 ４）第１０頁６行目二″半導体レーザ″のあとに「ガス
レーザ」を挿入する。 （２）図面の第２図を添付したコピーに赤で記したよう
に削正する。 、・°］ １（、埋入（５８４１）ブ１理」、芦 １） 坦 （・
：））− 一４ば ｌ ］ ６ 第２図
成を示す図、第２図は本発明の一実施例の構成を示す図
、第６図はファプリーペロー型光ファイバ干渉計部から
の反射光強度と位相シフトとの関係を示す図、第４図は
第２図におけるｈ１波数可変光源手段の構成の他の例を
示す図、第５１￥１は同じく更に他の例を示す図である
。 記号の説明＝２１はレーザ光源、２５ａと２３ｂは半透
膜、２５は結合用レンズ、２６は検出器。 ２８は差動増幅器、２９は低域フィルタ、 ３０は積分
回路、ろ１はリセット回路、４１け超音波光変調器、４
２はビームスプリッタ、４ろけ検出器、４４ｄ送光用光
フアイバ、４５け乍−モ−１−光ファイバ、４６はファ
プリーベロー型光ファイバ干渉泪部（センサ部）、４７
は電圧制御発振器、４８は周波数可変光源手段をそれぞ
れあられしている。 ４６ 午２図 手続補正１（自発） 昭和ｔと年７０月２０日 特許庁長官 若 杉 和夫 殿 １ 事件の表示 昭和５８年特許願第１５８，１１９号 ２ 発明の名称 温度ドリフト補償型ファプリーはロー型光ファイバセン
サ ６ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （４２３）日本電気株式会社 ４、代理人 〒１０５ 住 所 東京都港区西新橋１丁目４番１０号６、補正の
内容 （１）明細ｎ）の記載を次のとおり訂正する。 １）第４頁８行、目：“たパを「て」に変更する。 ２）第７頁６行目：゛２４″を「４６」に変更する。 ６）第９頁６行目二パされ”を「ず」に変更する。 ４）第１０頁６行目二″半導体レーザ″のあとに「ガス
レーザ」を挿入する。 （２）図面の第２図を添付したコピーに赤で記したよう
に削正する。 、・°］ １（、埋入（５８４１）ブ１理」、芦 １） 坦 （・
：））− 一４ば ｌ ］ ６ 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、光源手段と、この光源手段からの光を受けて物理量
を測定するファプリーペロー型干渉センサ部を含む光フ
アイバ手段と、前記ファプリーペロー型干渉センサ部の
出力を検出して基準電圧と比較し増幅して測定結果を示
す信号出力を発する手段と、前記信号出力を用いて得ら
れる 二制御信号をフィードバンクして温度変動による
ドリフトを補償するようにしたファプリーペロー型ファ
イバセンサにおいて、前記光源手段を外部からの電気信
号により光の周波数が変化する周波数可変光源手段を以
って構成し、且つ前記光源手段からの光を互いに別方向
に２分し一方を前記光フアイバ手段に送る光分岐手段と
。 この光分岐手段から送出される他の一方の光を検出し得
られた電気信号を前記基準電圧とするとを特徴とする温
度ドリフト補償型ファプリーペロー型ファイバセンサ。 ２、前記第１項の装置であって、前記光フアイバ手段が
ファブリ−ぺ、ロー型センサ部と送光用光ファイバから
成っていることを特徴とする遠隔操作可能な温度ドリフ
ト補償型ファプリーペロー型光ファイバセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58158119A JPS6050402A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58158119A JPS6050402A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6050402A true JPS6050402A (ja) | 1985-03-20 |
Family
ID=15664711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58158119A Pending JPS6050402A (ja) | 1983-08-31 | 1983-08-31 | 温度ドリフト補償型ファブリーペロー型光ファイバセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6050402A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62217132A (ja) * | 1985-12-30 | 1987-09-24 | テクノロジ− ダイナミツクス インコ−ポレ−テツド | 光学式圧力検出システム |
| JPS63502376A (ja) * | 1986-01-28 | 1988-09-08 | ブリティシュ・テレコミュニケ−ションズ・パブリック・リミテッド・カンパニ | 放射ビ−ム特性の変動の削減 |
| JPH04221713A (ja) * | 1990-03-13 | 1992-08-12 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 光学装置 |
| FR2703147A1 (fr) * | 1993-03-27 | 1994-09-30 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Capteur de dilatation interférométrique. |
| JP2006266799A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Univ Of Fukui | 光ファイバセンサ装置 |
| CN100363714C (zh) * | 2005-01-07 | 2008-01-23 | 清华大学 | 基于激光回馈的光纤传感器 |
| US7836773B2 (en) | 2006-10-18 | 2010-11-23 | Fujikura Ltd. | Optical fiber thermometer and temperature-compensated optical fiber sensor |
| CN103983375A (zh) * | 2014-04-17 | 2014-08-13 | 上海电控研究所 | 自感温分波装置及系统 |
| CN108649922A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-12 | 南京国博电子有限公司 | 一种温度补偿型移相器 |
-
1983
- 1983-08-31 JP JP58158119A patent/JPS6050402A/ja active Pending
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| CN108649922A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-10-12 | 南京国博电子有限公司 | 一种温度补偿型移相器 |
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