JPS60142581A - レ−ザ装置 - Google Patents
レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS60142581A JPS60142581A JP24675883A JP24675883A JPS60142581A JP S60142581 A JPS60142581 A JP S60142581A JP 24675883 A JP24675883 A JP 24675883A JP 24675883 A JP24675883 A JP 24675883A JP S60142581 A JPS60142581 A JP S60142581A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- mirror
- laser
- support
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）発明の属する分野の説明
本発明は、レーザ装置、特に光出力の安定化を図ったレ
ーザ装置に関する。
ーザ装置に関する。
（２）従来の技術の説明
従来、レーザ装置では光出力の安定化を図るため先兵振
器支持体に熱膨張係数のきわめて小さい部材が用いられ
ている。すなわち第１図に示すように、レーザ管１のカ
ソード２、アノード３間にレーザ電源を接続して、レー
ザ管１のカソード２．７ノ一ド３間を放電させ、共振器
支持体５．５’ 、５“とミラージンバル支持体６．６
’ 、６“とミラージンバル９．９′によシ支持された
ミラー４，４′よシなる光共振器によシレーザ光１０が
発振する。
器支持体に熱膨張係数のきわめて小さい部材が用いられ
ている。すなわち第１図に示すように、レーザ管１のカ
ソード２、アノード３間にレーザ電源を接続して、レー
ザ管１のカソード２．７ノ一ド３間を放電させ、共振器
支持体５．５’ 、５“とミラージンバル支持体６．６
’ 、６“とミラージンバル９．９′によシ支持された
ミラー４，４′よシなる光共振器によシレーザ光１０が
発振する。
しかし、共振器支持体５と共振器支持体５′。
５“の温度はレーザ管ｌのカソード２．アノード３間の
放電による熱とマグネットコイル８の熱や外気温度の変
化等により、不均一となるため、共振器支持体５と共振
器支持体５′、５“の長さが変化するため、レーザ光１
０の出力は共振器支持体５．５’ 、５“の温度が平衡
状態になるまで安定しない。また、外気温度の変化やレ
ーザ管１のカソード２．アノード３間の放電電流の変化
による発熱量の変化によっても前記のようにレーザ光１
０の出力が不安定となる。
放電による熱とマグネットコイル８の熱や外気温度の変
化等により、不均一となるため、共振器支持体５と共振
器支持体５′、５“の長さが変化するため、レーザ光１
０の出力は共振器支持体５．５’ 、５“の温度が平衡
状態になるまで安定しない。また、外気温度の変化やレ
ーザ管１のカソード２．アノード３間の放電電流の変化
による発熱量の変化によっても前記のようにレーザ光１
０の出力が不安定となる。
（３） 発明の目的
本発明の目的は、前記欠点を改善し、レーザ光出力の安
定なレーザ装置を提供することにある。
定なレーザ装置を提供することにある。
本発明は、共振器支持体の温度変化による長さの変化を
打ち消すため、温度補償ミラー支持体を用いることを特
徴とする。
打ち消すため、温度補償ミラー支持体を用いることを特
徴とする。
（４）発明の構成および作用の説明
第２図、第３図に示した実施例について本発明を具体的
に説明する。
に説明する。
レーザ管１のカソード２、アノード３の間にレーザ電源
を接続して、レーザ・＃１のカソード２、アノード３間
を放電させ、外気温の変化やレーザ管１のカソード２、
アノード３間の放電電流による温度変化による共振器支
持体５．５’。
を接続して、レーザ・＃１のカソード２、アノード３間
を放電させ、外気温の変化やレーザ管１のカソード２、
アノード３間の放電電流による温度変化による共振器支
持体５．５’。
５“の長さの便化を打ち消すように配置された温度補償
ミラー支持体１２，１３．１４とミラホルダ１１とミラ
ージンバル９．９′と共振器支持体５，５．５“、ミラ
ージンバル支持体６゜６′、６“とによシ支持されたミ
ラー４．４’。
ミラー支持体１２，１３．１４とミラホルダ１１とミラ
ージンバル９．９′と共振器支持体５，５．５“、ミラ
ージンバル支持体６゜６′、６“とによシ支持されたミ
ラー４．４’。
によりなる光共振器によシ、レーザ光１０が発振する。
そして、レーザ管１のカソード２、アノード３間の放電
電流による発熱や、外気温度変化に゛よって共振器支持
体５と、５．５“との間に温度差（△ｔ）が発生し、上
部に位置する共振器支持体５が５′、５“よシΔ（長く
なる。そこで温度補償ミラー支持体１２．１３にスーパ
ーインバーを使用し、温度補償ミラー支持体１４にステ
ンレスを使用し、ミラージンバル９′とミラーホルダ１
１との間隔（１）を調節すると、前記Δｌを打ち消す方
向に−Δｌ温度補償されミラー４．４′の傾きを変化さ
せないのでレーザ出力は安定となる。゛また、具体的に
前記ｌの決定について次に説明する。
電流による発熱や、外気温度変化に゛よって共振器支持
体５と、５．５“との間に温度差（△ｔ）が発生し、上
部に位置する共振器支持体５が５′、５“よシΔ（長く
なる。そこで温度補償ミラー支持体１２．１３にスーパ
ーインバーを使用し、温度補償ミラー支持体１４にステ
ンレスを使用し、ミラージンバル９′とミラーホルダ１
１との間隔（１）を調節すると、前記Δｌを打ち消す方
向に−Δｌ温度補償されミラー４．４′の傾きを変化さ
せないのでレーザ出力は安定となる。゛また、具体的に
前記ｌの決定について次に説明する。
第２図において共振器支持体５と５′、５“との間に温
贋差（Δｔ）が５℃発生し、温度補償ミラー支持体１２
，１３．１４の雰囲気が１０℃（ｔ ′−）上昇すると
して、ミラージンバル９′とミラーホルダ１１との間隔
（りをめる。
贋差（Δｔ）が５℃発生し、温度補償ミラー支持体１２
，１３．１４の雰囲気が１０℃（ｔ ′−）上昇すると
して、ミラージンバル９′とミラーホルダ１１との間隔
（りをめる。
いま、共振器支持体５と５′、５“の間の動作時の温度
差をΔｔ（５℃）、共振器支持体５゜５′、５“の常温
ｔでの長さをＬ（１，１メートル）、副産補償ミラーホ
ルダ１２，１３．１４の雰囲気温１腿の動作時の１品度
上昇をｔ’ （１０℃）、ミラージンバル９′とミラー
ホルダ１１の間隔をノ、共振器支持５．５’ 、５“（
スパーインバー）の膨張率をｅ、α（０，６Ｘ１０”
）、温度補償ミラー支持体１２．１３（スパーインバー
）の膨張率をα、０．６Ｘ１０−１）、温度補償ミラー
支持体１４（ステンレス鋼）の膨張率を４ｍ （１６４
ＸＩＯ−’ ）とすると、前記ｌは次式（１）％式％ また前記（）内数字を（１）式に代入するととなシ、ノ
を２醋に調節すればミラー４．４′の傾きは変化せず、
レーザ出力も安定となる。
差をΔｔ（５℃）、共振器支持体５゜５′、５“の常温
ｔでの長さをＬ（１，１メートル）、副産補償ミラーホ
ルダ１２，１３．１４の雰囲気温１腿の動作時の１品度
上昇をｔ’ （１０℃）、ミラージンバル９′とミラー
ホルダ１１の間隔をノ、共振器支持５．５’ 、５“（
スパーインバー）の膨張率をｅ、α（０，６Ｘ１０”
）、温度補償ミラー支持体１２．１３（スパーインバー
）の膨張率をα、０．６Ｘ１０−１）、温度補償ミラー
支持体１４（ステンレス鋼）の膨張率を４ｍ （１６４
ＸＩＯ−’ ）とすると、前記ｌは次式（１）％式％ また前記（）内数字を（１）式に代入するととなシ、ノ
を２醋に調節すればミラー４．４′の傾きは変化せず、
レーザ出力も安定となる。
以上のように、本発明によれは、レーザ管１のカソード
２、アノード３１１１の放電電流による発熱や、外気温
度変化があってもレーザ出力の安定なレーザ装置を得る
ことができる。
２、アノード３１１１の放電電流による発熱や、外気温
度変化があってもレーザ出力の安定なレーザ装置を得る
ことができる。
第１図は従来のレーザ装置を示す断面図、第２図は本発
明のレーザ装置ヶ示す断面図および第３図は第２図のＡ
−Ａ’矢視図である。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・カソード、３
・・・・・・アノード、４．４’・・・・・・ミラー、
５．５′、５“・・・・・・共振器支持体、６．６’、
６“・・・・・・ミラージンバル支持体、７・・・・・
・レーザ細管、８・・・用マグネットコイル、９，９′
・・・・・・ミラージンバル、１ｏ・・・・・・レーザ
光、１１・・・用ミ２−ホルダ、１２，１３゜１４・・
・・・・温度補償ミラー支持体。
明のレーザ装置ヶ示す断面図および第３図は第２図のＡ
−Ａ’矢視図である。 １・・・・・・レーザ管、２・・・・・・カソード、３
・・・・・・アノード、４．４’・・・・・・ミラー、
５．５′、５“・・・・・・共振器支持体、６．６’、
６“・・・・・・ミラージンバル支持体、７・・・・・
・レーザ細管、８・・・用マグネットコイル、９，９′
・・・・・・ミラージンバル、１ｏ・・・・・・レーザ
光、１１・・・用ミ２−ホルダ、１２，１３゜１４・・
・・・・温度補償ミラー支持体。
Claims (1)
- レーザ管と光共振器とからなるレーザ装置において、該
先兵振器支持体の温度変化による長さの変化を打ち消す
ため、該光共振器支持体に温度補償ミラー支持体を設け
たことを特徴とするレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24675883A JPS60142581A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24675883A JPS60142581A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | レ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60142581A true JPS60142581A (ja) | 1985-07-27 |
| JPH0131713B2 JPH0131713B2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=17153215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24675883A Granted JPS60142581A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60142581A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022054180A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5889885A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
-
1983
- 1983-12-29 JP JP24675883A patent/JPS60142581A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5889885A (ja) * | 1981-11-24 | 1983-05-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ−ザ発振器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022054180A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | ギガフォトン株式会社 | 狭帯域化ガスレーザ装置、及び電子デバイスの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0131713B2 (ja) | 1989-06-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |