JPS59156588A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS59156588A JPS59156588A JP58030228A JP3022883A JPS59156588A JP S59156588 A JPS59156588 A JP S59156588A JP 58030228 A JP58030228 A JP 58030228A JP 3022883 A JP3022883 A JP 3022883A JP S59156588 A JPS59156588 A JP S59156588A
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- JP
- Japan
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- laser
- housing
- air
- dust
- reflecting mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ加工装置に関する。
一般に、レーザ加工装置は、レーザ発振器から発振され
たレーザビームを反射鏡によって適宜光路変更せしめた
後、これを集束レンズによって集束して被加工物の加工
点に照射して、切断、穴あけ、溶接、焼入れ等の加工を
行うものであるが、レーザビームの光路に塵芥が浮遊し
ていると、レーザビームが散乱して加工効率が落ち、こ
の塵芥が燃焼して有毒ガスが発生したりすることがある
。
たレーザビームを反射鏡によって適宜光路変更せしめた
後、これを集束レンズによって集束して被加工物の加工
点に照射して、切断、穴あけ、溶接、焼入れ等の加工を
行うものであるが、レーザビームの光路に塵芥が浮遊し
ていると、レーザビームが散乱して加工効率が落ち、こ
の塵芥が燃焼して有毒ガスが発生したりすることがある
。
また、一般に、レーザビームが反射鏡に反射するとき、
そのエネルギの一部は反射鏡に吸収されて、レーザビー
ムが集束されたときのエネルギ密度は低下する。従って
、この反射鏡の反射率を高率に保つことは、加工時のレ
ーザビームのエネル ・ギ密度を高める上で重要な
要素となっており、この反射率が下がると、加工の効率
は著しく低下してしまう。また、この影響は反射鏡を設
置する数が多い程、大きくなるものである。
そのエネルギの一部は反射鏡に吸収されて、レーザビー
ムが集束されたときのエネルギ密度は低下する。従って
、この反射鏡の反射率を高率に保つことは、加工時のレ
ーザビームのエネル ・ギ密度を高める上で重要な
要素となっており、この反射率が下がると、加工の効率
は著しく低下してしまう。また、この影響は反射鏡を設
置する数が多い程、大きくなるものである。
而して、従来公知のレーザ加工装置に於ては、光路に微
小な塵芥が浮遊するため、レーザビームが散乱して加工
効率が下がり、この塵芥が燃焼して有毒ガスが発生した
りすることもあり、更に、これが反射鏡の表面に付着し
て表面が汚濁し、反射鏡の反射率が低下するという問題
点があった。
小な塵芥が浮遊するため、レーザビームが散乱して加工
効率が下がり、この塵芥が燃焼して有毒ガスが発生した
りすることもあり、更に、これが反射鏡の表面に付着し
て表面が汚濁し、反射鏡の反射率が低下するという問題
点があった。
特に、塵芥が加工中に付着した場合には、反射鏡はレー
ザビームのエネルギによって高温に加熱されているから
、この塵芥は瞬間的に酸化又は炭化等して表面にこびり
付き、容易に拭い去ることはできない場合もあり、装置
の保守管理上の大きな問題となっていた。また、これを
拭い去るには装置の運転を停止しなければな・らず、稼
働率の低下の一因ともなっていた。
ザビームのエネルギによって高温に加熱されているから
、この塵芥は瞬間的に酸化又は炭化等して表面にこびり
付き、容易に拭い去ることはできない場合もあり、装置
の保守管理上の大きな問題となっていた。また、これを
拭い去るには装置の運転を停止しなければな・らず、稼
働率の低下の一因ともなっていた。
このような塵芥の浮遊を防ぎ、塵芥の付着による反射鏡
の汚濁を防ぐため、レーザ発振器、反射鏡及び集束レン
ズをハウジング内に納め、これらを外部と遮断するよう
構成されたレーザ加工装置は公知のものであるが、この
ハウジングを密封してしまうと、加工中にハウジング内
の温度が所定値以上に上昇して反射鏡や集束レンズの破
損事故等が起こったり、レーザ発振器の発振効率の低下
を招くため、このハウジングは密封せず開放しておかな
ければならず、ハウジング内に微小な塵芥の侵入を防ぐ
ととは非常に困難であった。
の汚濁を防ぐため、レーザ発振器、反射鏡及び集束レン
ズをハウジング内に納め、これらを外部と遮断するよう
構成されたレーザ加工装置は公知のものであるが、この
ハウジングを密封してしまうと、加工中にハウジング内
の温度が所定値以上に上昇して反射鏡や集束レンズの破
損事故等が起こったり、レーザ発振器の発振効率の低下
を招くため、このハウジングは密封せず開放しておかな
ければならず、ハウジング内に微小な塵芥の侵入を防ぐ
ととは非常に困難であった。
また、このハウジング内の空気は、加工中は高温に加熱
されて膨張し、加工休止中は温度が下がり収縮するため
、ハウジング内にハウジング外の空気を吸い込む傾向が
あり、外部空気と共に微小な塵芥がハウジング内に吸い
込まれる場合が多い。
されて膨張し、加工休止中は温度が下がり収縮するため
、ハウジング内にハウジング外の空気を吸い込む傾向が
あり、外部空気と共に微小な塵芥がハウジング内に吸い
込まれる場合が多い。
従って、このような考慮を払っても尚、塵芥の付着によ
る反射鏡の“汚濁を防ぐことは非常に困難であった。
る反射鏡の“汚濁を防ぐことは非常に困難であった。
本発明は叙上の観点にたってなされたものであり、本発
明の目的とするところは、レーザビームの光路に於ける
塵芥の浮遊を防いでレーザビームの散乱を防止すると共
に、反射鏡の表面に微小な塵芥が付着することを防ぎ、
反射鏡の表面を常に清浄に保って反射鏡の反射率を高め
、加工効率の高いレーザ加工装置を提供することにある
。
明の目的とするところは、レーザビームの光路に於ける
塵芥の浮遊を防いでレーザビームの散乱を防止すると共
に、反射鏡の表面に微小な塵芥が付着することを防ぎ、
反射鏡の表面を常に清浄に保って反射鏡の反射率を高め
、加工効率の高いレーザ加工装置を提供することにある
。
而して、本発明の要旨とするところは、レーザ発振器、
反射鏡及び集束レンズを収納したハウジングと、ハウジ
ング内に無塵空気を供給する空気供給装置を設け、上記
ハウジング内に無塵空気を流通させることにある。
反射鏡及び集束レンズを収納したハウジングと、ハウジ
ング内に無塵空気を供給する空気供給装置を設け、上記
ハウジング内に無塵空気を流通させることにある。
以下、図面に基づいて本発明の構成の詳細を説明する。
図面は本発明に係るレーザ加工装置の一実施例を示す説
明図である。
明図である。
第１図中、■、２はレーザ発振器、３．３′、４．５は
反射鏡、６〜９は反射鏡固定部材、１０は集束レンズ、
１１．１２はハウジング、１２ａは空気排出口、１３は
被加工物、１４は空気供給装置、１５〜１７はフィルタ
、１８は集塵装置、１９はモータ、２０はファン、２１
はケーシングである。
反射鏡、６〜９は反射鏡固定部材、１０は集束レンズ、
１１．１２はハウジング、１２ａは空気排出口、１３は
被加工物、１４は空気供給装置、１５〜１７はフィルタ
、１８は集塵装置、１９はモータ、２０はファン、２１
はケーシングである。
レーザ発振器工、２には、Ｃ０２レーザやＨｅ−Ｎｅレ
ーザ等の気体レーザ、ルビーレーザ、ＹＡＧレーザ、ガ
ラスレーザ等の固体レーザ、その他を用いる。
ーザ等の気体レーザ、ルビーレーザ、ＹＡＧレーザ、ガ
ラスレーザ等の固体レーザ、その他を用いる。
レーザ発振器１．２はハウジング５内に取り付けられ、
レーザガス或いはレーザロッドが図示しない放電電極に
よる放電、その他の手段によって励起されてレーザビー
ムを発生ずる。
レーザガス或いはレーザロッドが図示しない放電電極に
よる放電、その他の手段によって励起されてレーザビー
ムを発生ずる。
本実施例に於ては、２個のレーザ発振器を設けたものを
示しであるが、設置するレーザ発振器の数は任意に設定
することができる。
示しであるが、設置するレーザ発振器の数は任意に設定
することができる。
反射鏡３．３／、４．５は総てハウジング１１内に各々
反射鏡固定部材６〜９によって取り付けられている。
反射鏡固定部材６〜９によって取り付けられている。
反射鏡３は全反射鏡であり、レーザ発振器１から発振さ
れたレーザビームを反射鏡４の方向に反射する。また、
反射鏡３′は半透明鐘であり、レーザ発振器２から発振
されたレーザビームを反射して光路変更せしめると共に
、反射鏡３によって反射されたレーザビームを透過する
。
れたレーザビームを反射鏡４の方向に反射する。また、
反射鏡３′は半透明鐘であり、レーザ発振器２から発振
されたレーザビームを反射して光路変更せしめると共に
、反射鏡３によって反射されたレーザビームを透過する
。
従って、レーザ発振器１とレーザ発振器２から発振され
たレーザビームは反射鏡３１に反射或いは透過した後、
一本のビームとなる。
たレーザビームは反射鏡３１に反射或いは透過した後、
一本のビームとなる。
反射鏡４．５は全反射鏡であり、反射鏡３′に反射或い
は透過して一本化されたレーザビームを反射して、光路
変更せしめる。
は透過して一本化されたレーザビームを反射して、光路
変更せしめる。
集束レンズ１０は反射１１５に反射したレーザビームを
集束して被加工物１３の加工点に集める。
集束して被加工物１３の加工点に集める。
被加工物１３は図示しないクロステーブルに取り付けら
れ、同一平面上で二次元的に移動する。
れ、同一平面上で二次元的に移動する。
ハウジング１２には、集束レンズ１０が適宜の取付部材
によ、って取り付けられ、集束レンズ１０の近傍部分に
は空気排出口１２ａが設けられており、空気供給装置１
４から供給された空気はここから排出される。
によ、って取り付けられ、集束レンズ１０の近傍部分に
は空気排出口１２ａが設けられており、空気供給装置１
４から供給された空気はここから排出される。
ハウジング１２はハウジング１１の一端部に摺動自在に
取り付けられ、被加工物１３との対向方向に移動制御可
能に構成され、図示しない制御装置の指令によって加工
中のレーザビームの被加工物１３の厚さ方向の焦点位置
が制御される。
取り付けられ、被加工物１３との対向方向に移動制御可
能に構成され、図示しない制御装置の指令によって加工
中のレーザビームの被加工物１３の厚さ方向の焦点位置
が制御される。
尚、レーザビームの照射点に吹き付けられる加工用ガス
の供給手段は省略しである。
の供給手段は省略しである。
フィルタ１５．１６．１７、集塵装置１８、モータ１９
、ファン２０の各要素及びこれらの要率を納めたケーシ
ング２１より空気供給袋′ｌ１１４が構成される。
、ファン２０の各要素及びこれらの要率を納めたケーシ
ング２１より空気供給袋′ｌ１１４が構成される。
この空気供給装置１４のケーシング２１は二車に分たれ
ており、その第１室２１ａ内には、集塵装置１８が取り
付けられ、この集塵装置１Ｂはケーシング２１の後部に
設けた空気取入口２１ｃより取り入れた外部空気の中に
混入した塵芥を取り除く。又、その第２室２１ｂ内には
、モータ１９及びモータ１９の駆動軸に取り付けられた
ファン２０が取り付けられ、集塵袋装置１８を通過した
空気をハウジング１１に強制的に送り込む。
ており、その第１室２１ａ内には、集塵装置１８が取り
付けられ、この集塵装置１Ｂはケーシング２１の後部に
設けた空気取入口２１ｃより取り入れた外部空気の中に
混入した塵芥を取り除く。又、その第２室２１ｂ内には
、モータ１９及びモータ１９の駆動軸に取り付けられた
ファン２０が取り付けられ、集塵袋装置１８を通過した
空気をハウジング１１に強制的に送り込む。
フィルタ１５及び１６は集塵装置１８の前後部に取り付
けられ、フィルタ１７はハウジング１１の一端部に取り
付けられている。
けられ、フィルタ１７はハウジング１１の一端部に取り
付けられている。
レーザ発振器１及び２から発振されたレーザビームは反
射鏡３．３′、４．５“に反射して集束レンズ６によっ
て集束され、被加工物１３の加工点に照射されて加工が
行われる。
射鏡３．３′、４．５“に反射して集束レンズ６によっ
て集束され、被加工物１３の加工点に照射されて加工が
行われる。
このとき、空気取入口２１ｃより取り入れられた、外部
空気はフィルタ１５を通り、集塵装置１８を通過して混
入している塵芥が取り除かれた後、更にフィルタ１６及
び１７を通過してハウジング１１内に導かれ、ハウジン
グ１１内を通って、ハウジング１２の空気排出口１２ａ
より排出される。
空気はフィルタ１５を通り、集塵装置１８を通過して混
入している塵芥が取り除かれた後、更にフィルタ１６及
び１７を通過してハウジング１１内に導かれ、ハウジン
グ１１内を通って、ハウジング１２の空気排出口１２ａ
より排出される。
この無塵空気はハウジング１１内を流通することによっ
て、反射鏡３．３′、４．５の表面に塵芥が付着するこ
とを防ぎ、反射鏡の表面を常に清浄に保つと共に、ハウ
ジング内の圧力を外部より僅かに高く保って塵芥Ｑ侵入
を防ぐ。
て、反射鏡３．３′、４．５の表面に塵芥が付着するこ
とを防ぎ、反射鏡の表面を常に清浄に保つと共に、ハウ
ジング内の圧力を外部より僅かに高く保って塵芥Ｑ侵入
を防ぐ。
更に、取り入れられた外部空気はノ＼ウジング１１内の
空気より低温であるから、ノ＼ウジングｌｌ内の反射鏡
３．３１２４．５は流通する無塵空気によって冷却され
、温度上昇が抑えられる。
空気より低温であるから、ノ＼ウジングｌｌ内の反射鏡
３．３１２４．５は流通する無塵空気によって冷却され
、温度上昇が抑えられる。
本発明は銃士の如く構成されるから、本発明によるとき
は、反射鏡及び集束レンズが取付けられたハウジング内
に無塵空気が流通せしめられるから、レーザビームの光
路に塵芥が浮遊せず、レーザビームの散乱が防止される
と共に、反射鏡の表面に塵芥が付着せず、反射鏡の表面
が常に清浄に保たれ、反射鏡の反耐率を高率に保つこと
ができ、加工効率の高いレーザ加工装置を提供すことと
ができる。
は、反射鏡及び集束レンズが取付けられたハウジング内
に無塵空気が流通せしめられるから、レーザビームの光
路に塵芥が浮遊せず、レーザビームの散乱が防止される
と共に、反射鏡の表面に塵芥が付着せず、反射鏡の表面
が常に清浄に保たれ、反射鏡の反耐率を高率に保つこと
ができ、加工効率の高いレーザ加工装置を提供すことと
ができる。
尚、本発明の構成は銃士の実施例に限定されるものでは
なく、実施例に於ては、空気供給装置は外部空気を強制
的にハウジング内に送り込むためにモータ及びファンを
用いたものを示したが、これはコンプレッサ等を用いて
もよく、集塵装置及びフィルタの取付位置は本発明の目
的の範囲内で自由に設計変更できるものであり、本発明
はそれらの一切を包摂するものである。
なく、実施例に於ては、空気供給装置は外部空気を強制
的にハウジング内に送り込むためにモータ及びファンを
用いたものを示したが、これはコンプレッサ等を用いて
もよく、集塵装置及びフィルタの取付位置は本発明の目
的の範囲内で自由に設計変更できるものであり、本発明
はそれらの一切を包摂するものである。
図面は本発明に係るレーザ加工装置の一実施例を示す説
明図である。 １．２・・−・・・−−−−・−−−−−一・−・・・
−レーザ発振器３．３′、４．５−−−−−−−−一反
射鏡１０−−−−−−・−−一−・・・−−一−−−・
・−・−・・集束レンズ１１．１２−−−−−−−−・
・−・・−−−−−−−−・・−ハウジング１４−・−
・・〜・−−−−−−−・−−−一−−−−−−−−−
−空気供給装置１５．１６．１７−−−−・−・−−−
−−−−−・・フィルタ１８−こ−・・−・・−・−・
−・−−−−−一・・・−集塵装置１９− ・・−・−
・−・−・・−・−−−−−−−−・−・−・モータ２
０−−−−−−−−・−・・・・−・−・−−−−−−
・・・・・・ファン特許出願人 株式会社 井上ジャパ
ックス研究所代理人（７５２４）最上正太部
明図である。 １．２・・−・・・−−−−・−−−−−一・−・・・
−レーザ発振器３．３′、４．５−−−−−−−−一反
射鏡１０−−−−−−・−−一−・・・−−一−−−・
・−・−・・集束レンズ１１．１２−−−−−−−−・
・−・・−−−−−−−−・・−ハウジング１４−・−
・・〜・−−−−−−−・−−−一−−−−−−−−−
−空気供給装置１５．１６．１７−−−−・−・−−−
−−−−−・・フィルタ１８−こ−・・−・・−・−・
−・−−−−−一・・・−集塵装置１９− ・・−・−
・−・−・・−・−−−−−−−−・−・−・モータ２
０−−−−−−−−・−・・・・−・−・−−−−−−
・・・・・・ファン特許出願人 株式会社 井上ジャパ
ックス研究所代理人（７５２４）最上正太部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ゛（１）レーザ発振器から発振されたレーザビームを反
射鏡によって光路変更せしめ、これを集束レンズによっ
て集束して、被加工物に照射し加工するレーザ加工装置
に於て、上記レーザ発振器、反射鏡及び集束レンズを収
納したハウジングと、上記ハウジング内に無塵空気を供
給する空気供給装置とを具備することを特徴とする上記
のレーザ加工装置。 （２）前記レーザ発振器が、ガスレーザ放電管である特
許請求の範囲第１項記載のレーザ加工装置。 （３）前記空気供給装置が、ファンと該ファンを回転駆
動するモータ、及び、フィルタと集塵装置を備えて成る
特許請求の範囲第１項記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58030228A JPS59156588A (ja) | 1983-02-26 | 1983-02-26 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58030228A JPS59156588A (ja) | 1983-02-26 | 1983-02-26 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59156588A true JPS59156588A (ja) | 1984-09-05 |
Family
ID=12297851
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58030228A Pending JPS59156588A (ja) | 1983-02-26 | 1983-02-26 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59156588A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6084204A (en) * | 1997-04-21 | 2000-07-04 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Leadframe manufacturing apparatus using laser beams |
| US6331693B1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-12-18 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
-
1983
- 1983-02-26 JP JP58030228A patent/JPS59156588A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6084204A (en) * | 1997-04-21 | 2000-07-04 | Samsung Aerospace Industries, Ltd. | Leadframe manufacturing apparatus using laser beams |
| US6331693B1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-12-18 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
| US6495797B2 (en) * | 1999-06-28 | 2002-12-17 | Cincinnati Incorporated | Beam delivery system |
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