JPS5856912B2 - 2D magnetic scale device - Google Patents

2D magnetic scale device

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JPS5856912B2
JPS5856912B2 JP56051334A JP5133481A JPS5856912B2 JP S5856912 B2 JPS5856912 B2 JP S5856912B2 JP 56051334 A JP56051334 A JP 56051334A JP 5133481 A JP5133481 A JP 5133481A JP S5856912 B2 JPS5856912 B2 JP S5856912B2
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JP
Japan
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magnetic
axis
scale
magnetic scale
head
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JP56051334A
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孝 御子柴
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MAKOME KENKYUSHO KK
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/004Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、スケール板面上における任意の点XY座標を
読取りうる装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a device that can read the XY coordinates of any point on a scale plate surface.

この種の装置は、製図に、コンピュータ入力のための図
面や地図の読取りに、手書き図形を伝送するための図形
の読取りなどに有用であり、デジタイザという名称で各
社の製品がある。
This type of device is useful for drawing, reading drawings and maps for computer input, reading figures for transmitting handwritten figures, etc., and there are products from various companies called digitizers.

これら従来の製品は、一般的に次のようなものである。These conventional products are generally as follows.

スケール平面に多数の導線を一定の間隔で縦及び横すな
わちX、Y方向に並べ、Y方向の線には一定周波数Fx
の交流電圧をAψずつ位相をずらして加え、X方向の線
には異なる周波数FYの交流電圧をAθずつ位相をずら
して加える。
A large number of conductive wires are arranged vertically and horizontally at regular intervals on the scale plane, that is, in the X and Y directions, and the wires in the Y direction are set at a constant frequency Fx.
An AC voltage of a different frequency FY is applied to the line in the X direction with a phase shift of Aψ, and an AC voltage of a different frequency FY is applied with a phase shift of Aθ.

静電的又は電磁的誘導によりプローブで任意の位置にお
ける周波数FX、FY及び位相ψ、θを読み、これから
その位置のX座標及びY座標を見出す。
The frequency FX, FY and phase ψ, θ at an arbitrary position are read by a probe using electrostatic or electromagnetic induction, and from this the X and Y coordinates of that position are found.

しかし、かかる従来品には次のような欠点がある。However, such conventional products have the following drawbacks.

■ スケール板面に電線又は電極を埋込む必要があり、
構造が複雑である。
■ It is necessary to embed electric wires or electrodes on the scale plate surface.
The structure is complex.

■ スケール板に検出のためのケーブルを接続しなけれ
ばならない。
■ A detection cable must be connected to the scale plate.

■ 検出信号が非常にクリティカルで外部からの影響を
受は易く、動作が不安定である。
■ Detection signals are extremely critical and easily affected by external influences, resulting in unstable operation.

■ 分解能に比較して絶対精度が低い。■ Absolute accuracy is low compared to resolution.

本発明は、スケール板に磁気を用い磁気スケールを検出
する磁気センサヘッドにより、X、Y方向における磁気
センサヘッドの移動変位及びXY座標をデジタル的に測
定するようにして、上記の欠点を一掃したものである。
The present invention eliminates the above drawbacks by using a magnetic sensor head that uses magnetism in the scale plate to detect the magnetic scale, and digitally measures the displacement of the magnetic sensor head in the X and Y directions and the XY coordinates. It is something.

以下、図面を用いて本発明を具体的に説明する。Hereinafter, the present invention will be specifically explained using the drawings.

第1〜第4図は、本発明の原理を示す説明図である。1 to 4 are explanatory diagrams showing the principle of the present invention.

第1図において、1は平面状磁気シートに着磁された磁
気パターン、2はX方向磁気検出ヘッド(矢印は検出方
向を示す。
In FIG. 1, 1 is a magnetic pattern magnetized on a planar magnetic sheet, and 2 is an X-direction magnetic detection head (arrows indicate the detection direction).

)、3は同ヘッドの出力波形を示す。), 3 shows the output waveform of the same head.

1のような磁気パターンは、X方向においてN、S交番
磁界となるが、Y方向では磁界は変化しない。
A magnetic pattern like No. 1 has an N, S alternating magnetic field in the X direction, but the magnetic field does not change in the Y direction.

ゆえに、X方向磁気検出ヘッド2をX方向に移動させる
と、3に示すような波形の出力が得られるが、Y方向に
移動させた場合は、磁気検出ヘッドの向きを変えても3
のような出力は得られない。
Therefore, if the X-direction magnetic sensing head 2 is moved in the
I don't get any output like this.

したがって、1のような磁気パターンでは、X方向の長
さの計測は可能であるが、Y方向の長さの計測はできな
い。
Therefore, with a magnetic pattern like No. 1, the length in the X direction can be measured, but the length in the Y direction cannot be measured.

第2図において、1′は磁気シートに着磁された別の磁
気パターン、2′はY方向磁気検出ヘッド(矢印は検出
方向を示す。
In FIG. 2, 1' is another magnetic pattern magnetized on the magnetic sheet, and 2' is a Y-direction magnetic detection head (the arrow indicates the detection direction).

)、3′は同ヘッドの出力波形を示す。) and 3' indicate the output waveforms of the same head.

1′のような磁気パターンは、Y方向においてN、S交
番磁界となり、X方向では磁界が変化しない。
A magnetic pattern like 1' has an N, S alternating magnetic field in the Y direction, and the magnetic field does not change in the X direction.

ゆえに、Y方向磁気検出ヘッド2′をY方向に移動させ
ると、3′に示すような波形の出力が得られるが、X方
向に移動させても、このような出力は得られない。
Therefore, if the Y-direction magnetic detection head 2' is moved in the Y direction, an output with a waveform as shown in 3' can be obtained, but such an output cannot be obtained even if it is moved in the X direction.

したがって、1′のような磁気パターンでは、Y方向の
長さの計測が可能であり、X方向の長さの計測はできな
い。
Therefore, with a magnetic pattern like 1', the length in the Y direction can be measured, but the length in the X direction cannot be measured.

第3図において、1“は、1と1′の磁気パターンを重
ね合わせて得られる磁気パターンを示し、2゜2’、
3 、3’は第1及び第2図に示したのと同じものであ
る。
In FIG. 3, 1" indicates the magnetic pattern obtained by superimposing the magnetic patterns 1 and 1', and 2°2',
3 and 3' are the same as shown in FIGS. 1 and 2.

1“のような磁気パターンは、N極がX。Y方向に一定
のピッチλで配列された格子点に当たりS極がその対角
点に当たっており、1ピンチの幅をとってみると、Xと
Yの両方向においてN。
In a magnetic pattern like 1", the north pole is X. The south pole is the diagonal point of the lattice points arranged at a constant pitch λ in the Y direction. N in both Y directions.

Sの交番磁界となっている。It is an alternating magnetic field of S.

この磁気パターン(平面)上にそれぞれ検出領域幅がλ
に等しいX。
Each detection area width is λ on this magnetic pattern (plane).
X equal to

Y方向各磁気検出ヘッド2,2′を一体とした磁気検出
体をX方向に移動させると、X方向磁気検出ヘッド2に
は3のような出力が得られるが、Y方向磁気検出ヘッド
2′にはかかる出力は得られない。
Y-direction When the magnetic detecting body that integrates each magnetic detecting head 2, 2' is moved in the X direction, the X-direction magnetic detecting head 2 obtains an output like 3, but the Y-direction magnetic detecting head 2' cannot obtain such output.

逆に、上記磁気検出体をY方向に移動させると、Y方向
磁気検出ヘッド2′には3′のような出力が得られるが
、X方向磁気検出ヘッド2にはかかる出力は得られない
Conversely, when the magnetic detecting body is moved in the Y direction, the Y-direction magnetic detecting head 2' obtains an output such as 3', but the X-direction magnetic detecting head 2 does not obtain such an output.

しかし、上記磁気検出体を剰めに移動させた場合は、X
、Y方向各磁気検出ヘッド2,2′には独立して3,3
′のような出力が得られるため、X、Y方向各移動成分
を計測することができる。
However, if the magnetic detecting body is moved too much,
, 3 and 3 independently in each magnetic detection head 2 and 2' in the Y direction.
Since an output like ' is obtained, each moving component in the X and Y directions can be measured.

すなわち、第4図において、上記磁気検出体をA点より
B点に移動させた場合、X方向の移動量Ax及びY方向
の移動量JYを計測することができる。
That is, in FIG. 4, when the magnetic sensing body is moved from point A to point B, the amount of movement Ax in the X direction and the amount of movement JY in the Y direction can be measured.

したがって、第3図1“のような磁気パターンを磁気シ
ートに着磁した磁気スケール板上において、上記の如き
X、Y方向各磁気検出ヘッドを一体にした磁気検出体を
基準点より任意の点に移動させると、その点のXY座標
を読取ることができ、更に他の任意の点に移動させると
きその移動変位を測定することにより新しい点のXY座
標を読取ることができる。
Therefore, on a magnetic scale plate on which a magnetic sheet is magnetized with a magnetic pattern as shown in FIG. When the point is moved, the XY coordinates of that point can be read, and when the point is moved to any other point, the XY coordinates of the new point can be read by measuring the movement displacement.

これが本発明の原理である。第3図1“の磁気パターン
は、上述のようにX。
This is the principle of the invention. The magnetic pattern in FIG. 3 1'' has an X as described above.

Y方向に一定のピッチλをもって配列された格子点がN
極に、その対角点がS極に着磁された形になっているが
、実際の着磁パターンは第5図のようになる。
The lattice points arranged with a constant pitch λ in the Y direction are N
The pole and its diagonal point are magnetized as S poles, but the actual magnetization pattern is as shown in FIG.

このような磁気パターン上をX又はY方向磁気検出ヘッ
ド2又は2′が移動する場合、X又はY方向磁気検出ヘ
ッド2又は2′のY又はX方向の検出領域幅つまり検出
可能な長さを磁気パターン1“のピッチλに等しくして
おけば、検出方向に対して直角の方向において磁気検出
ヘッドの出力は変化しない。
When the X or Y direction magnetic detection head 2 or 2' moves on such a magnetic pattern, the detection area width in the Y or X direction of the X or Y direction magnetic detection head 2 or 2', that is, the detectable length. If the pitch is set equal to the pitch λ of the magnetic pattern 1'', the output of the magnetic detection head will not change in the direction perpendicular to the detection direction.

第6図において、2は、第1図と同様なX方向磁気検出
ヘッドであるが、本図では実際の構造に近づけて表示し
である。
In FIG. 6, reference numeral 2 denotes an X-direction magnetic detection head similar to that in FIG. 1, but in this figure, the head is shown close to the actual structure.

このX方向磁気検出ヘッド2が矢印方向すなわちX方向
に移動する場合、第6図a、bに示すように検出ヘッド
2が検出(移動)方向に対して直角の方向すなわちY方
向に移動しても、磁気検出ヘッド2の検出領域幅が磁気
パターン1“のピッチλに等しいと、磁気検出ヘッド2
の出力は変化しない。
When this X-direction magnetic detection head 2 moves in the direction of the arrow, that is, in the X direction, the detection head 2 moves in the direction perpendicular to the detection (movement) direction, that is, in the Y direction, as shown in FIGS. Also, if the detection area width of the magnetic detection head 2 is equal to the pitch λ of the magnetic pattern 1'', the magnetic detection head 2
The output of does not change.

このことは、Y方向磁気検出ヘッド2′についても同様
である。
This also applies to the Y-direction magnetic detection head 2'.

更に、各磁気検出ヘッドをそれぞれ1対以上設ける、す
なわちマルチヘッド化することにより、一様な不要磁界
に対して不感で、且つ磁気パターンの各磁極帯が間欠的
であっても誤動作しない磁気センサを構成することがで
きる。
Furthermore, by providing one or more pairs of each magnetic detection head, that is, by creating a multi-head structure, the magnetic sensor is insensitive to uniform unnecessary magnetic fields and does not malfunction even if each magnetic pole band of the magnetic pattern is intermittent. can be configured.

ただし、都合上本明細書では、1個のみの磁気検出ヘッ
ドより成るものも磁気センサと呼ぶこと゛とする。
However, for convenience, in this specification, a sensor consisting of only one magnetic detection head will also be referred to as a magnetic sensor.

第7図は、本発明に用いる磁気シートの一例を示す側面
図である。
FIG. 7 is a side view showing an example of a magnetic sheet used in the present invention.

図において、4は鉄板、5はその上に張り付けたバリュ
ームフエライト・ゴム磁石である。
In the figure, 4 is an iron plate, and 5 is a barium ferrite rubber magnet stuck thereon.

かかる磁気シートへの磁気パターン1“の着磁は、例え
ば次のようにして行なう。
Magnetization of the magnetic pattern 1'' onto the magnetic sheet is performed, for example, as follows.

まず、第8図に示すように、鉄のブロック6に基盤目な
いし格子状の溝7を刻む。
First, as shown in FIG. 8, grooves 7 in the shape of a base or lattice are cut into the iron block 6.

格子のピッチは、縦及び横方向すなわちX軸Y軸方向と
も等しく、例えば21nrILとする。
The pitch of the grating is equal in both the vertical and horizontal directions, that is, the X-axis and Y-axis directions, and is, for example, 21nrIL.

溝7の幅及び深さは、例えば共に0.8關とする。The width and depth of the groove 7 are both 0.8 degrees, for example.

次に、第9図に示すように、この格子状溝7に沿って鉄
のブロック6に導線8を巻き、着磁器を製作する。
Next, as shown in FIG. 9, a conductive wire 8 is wound around the iron block 6 along the lattice grooves 7 to produce a magnetizer.

そして、この着磁器の表面に第7図の如き磁気シートの
ゴム磁石5の面を合わせ、導線8に約40OAの電流を
瞬間的に流すと、電流の方向が第9図のようになり、■
■で示す如き磁界が発生して磁気パターン1“が得られ
る。
Then, when the surface of this magnetizer is aligned with the surface of the rubber magnet 5 of the magnetic sheet as shown in FIG. 7, and a current of about 40 OA is momentarily passed through the conductor 8, the direction of the current becomes as shown in FIG. 9. ■
A magnetic field as shown in (2) is generated and a magnetic pattern 1'' is obtained.

こうして着磁された磁気シートには、第10図に示すよ
うに、非磁性体である表面保護用ステンレス板9を張り
付けることができる。
As shown in FIG. 10, a surface protection stainless steel plate 9 made of a non-magnetic material can be attached to the thus magnetized magnetic sheet.

上記のようにして得られた磁気スケール板の磁気スケー
ルはX軸及びY軸を有するので、互いに直角をなす2個
の磁気センサをこれらのX軸及びY軸にそれぞれ平行に
固定して一体化し、この一体化された両磁気センサを、
X、Y両軸と平行関係を保持した状態で(一定の軸関係
を保って)自由に移動しうる手段を設けると共に、各磁
気センサに接続して検出された磁気スケールを計測する
手段を設けることにより、2次元磁気スケール装置を得
ることができる、これらの移動支持手段や計測手段は、
従来技術より容易に構成しうるので、詳細説明は省略す
る。
Since the magnetic scale of the magnetic scale plate obtained as described above has an X axis and a Y axis, two magnetic sensors that are perpendicular to each other are fixed and integrated in parallel to these X and Y axes, respectively. , this integrated magnetic sensor,
Provide a means that can freely move while maintaining a parallel relationship with both the X and Y axes (maintaining a constant axial relationship), and provide a means to connect to each magnetic sensor and measure the detected magnetic scale. These movable support means and measuring means, which can obtain a two-dimensional magnetic scale device, are
Since it can be configured more easily than the prior art, detailed explanation will be omitted.

更に、読取ったデータを表示する適当な手段を設けるこ
とは、いうまでもない。
Furthermore, it goes without saying that suitable means for displaying the read data should be provided.

以上の説明から明らかなように、本発明は、従来のもの
に比して次のような多くの長所を有する。
As is clear from the above description, the present invention has many advantages over conventional ones as follows.

(イ)磁気スケールの面は平板状のゴム磁石のみでよい
から、構造が簡単である。
(a) The surface of the magnetic scale requires only a flat rubber magnet, so the structure is simple.

(ロ)スケール板に検出用ケーブルを接続する必要がな
く、本体装置から切離して自由に移動させることができ
る。
(b) There is no need to connect the detection cable to the scale plate, and it can be separated from the main unit and moved freely.

(ハ)検出信号が大きく外部からの影響を受けにくい。(c) The detection signal is large and is less susceptible to external influences.

すなわち、動作が安定である。に)スケール面を非磁性
金属板で保護しうるので、悪環境下で使用することがで
きる。
In other words, the operation is stable. 2) Since the scale surface can be protected with a non-magnetic metal plate, it can be used in adverse environments.

(ホ)スケールの構造が簡単なため工程が少なく、短時
間及び低価格で製作しうるので、大量生産が可能である
(e) Since the structure of the scale is simple, there are few steps, and it can be manufactured in a short time and at low cost, so mass production is possible.

(ハ)スケール板は、製作上の利点から必要に応じてい
くらでも大きいものを製作することが可能である。
(c) The scale plate can be made as large as necessary due to manufacturing advantages.

(ト)検出時間が比較的短く、高速読取りが可能である
(g) Detection time is relatively short and high-speed reading is possible.

(至)従来のものより絶対精度が高い。(To) Higher absolute accuracy than conventional ones.

なお、本発明が上述の実施例に限らず種々の変形、変更
をしうるものであることは、いうまでもない。
It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified and changed in various ways.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1〜第4図は本発明の原理を示す説明図、第5図は第
3図の磁気パターンの実際の着磁パターン図、第6図は
磁気検出ヘッドの検出領域幅の説明図、第7図は磁気シ
ートの一例を示す側面図、第8〜第9図は磁気スケール
板への着磁方法の一例を示す説明図、第10図は磁気シ
ートの他の例を示す側面図である。 4.5 4,5,9・・・・・・磁気シート(磁気スケ
ール板)、λ・・・・・・ピッチ、2・・・・・・X軸
方向磁気センサ、2′・・・・・・Y軸方向磁気センサ
1 to 4 are explanatory diagrams showing the principle of the present invention, FIG. 5 is an actual magnetization pattern diagram of the magnetic pattern in FIG. 3, FIG. 6 is an explanatory diagram of the detection area width of the magnetic detection head, and FIG. FIG. 7 is a side view showing an example of a magnetic sheet, FIGS. 8 and 9 are explanatory views showing an example of a method of magnetizing a magnetic scale plate, and FIG. 10 is a side view showing another example of a magnetic sheet. . 4.5 4,5,9...Magnetic sheet (magnetic scale plate), λ...Pitch, 2...X-axis direction magnetic sensor, 2'... ...Y-axis direction magnetic sensor.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 X軸及びY軸を設定しつる平面状の磁気シートに、
X軸及びY軸方向に一定のピッチをもって配列される各
格子点をN極に、その対角点をS極に着磁した磁気スケ
ール板と、Y軸方向に上記ピッチと等しい検出領域幅を
もちX軸方向の磁気スケールを検出する磁気センサと、
X軸方向に上記ピッチと等しい検出領域幅をもちY軸方
向の磁気スケールを検出する磁気センサと、これら両磁
気センサを一体的に且つ上記磁気スケール板のX及びY
軸と一定の軸関係を保って移動しうるように支持する手
段と、上記各磁気センサに接続してX軸及びY軸方向の
磁気スケールを読取る手段とより成る2次元磁気スケー
ル装置。
1 Set the X-axis and Y-axis on a planar magnetic sheet,
A magnetic scale plate in which each grid point arranged at a constant pitch in the X- and Y-axis directions is magnetized as a north pole and its diagonal point as a south pole, and a detection area width in the Y-axis direction equal to the above pitch is used. a magnetic sensor that detects a magnetic scale in the X-axis direction;
A magnetic sensor that detects a magnetic scale in the Y-axis direction that has a detection area width equal to the pitch in the X-axis direction, and a magnetic sensor that detects a magnetic scale in the Y-axis direction, and
A two-dimensional magnetic scale device comprising means for supporting the scale so as to be movable while maintaining a constant axial relationship with the axis, and means for reading the magnetic scale in the X-axis and Y-axis directions by being connected to each of the magnetic sensors.
JP56051334A 1981-04-06 1981-04-06 2D magnetic scale device Expired JPS5856912B2 (en)

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