JPS5851892B2 - Method and apparatus for manufacturing optical glass products - Google Patents

Method and apparatus for manufacturing optical glass products

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JPS5851892B2
JPS5851892B2 JP54071093A JP7109379A JPS5851892B2 JP S5851892 B2 JPS5851892 B2 JP S5851892B2 JP 54071093 A JP54071093 A JP 54071093A JP 7109379 A JP7109379 A JP 7109379A JP S5851892 B2 JPS5851892 B2 JP S5851892B2
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hot zone
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optical
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アーナブ・サーカー
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Corning Glass Works
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Publication of JPS5851892B2 publication Critical patent/JPS5851892B2/en
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    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は引抜き素材から形成されうる光学的ガラス製品
であって光導波体フィラメントを引抜きうる光学的ガラ
ス製品を製造するための方法および装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing an optical glass article that can be formed from a pultruded stock and that is capable of drawing light waveguide filaments.

可視スペクトルまたは近可視スペクトルで動作する光通
信方式に使用するのに最も有望な媒体であるところの光
導波体(optical waveguides)は通
常、透明な芯をそれよりも小さい屈折率を有する透明な
外被材料で包囲してなる光フィラメントで構成されてい
る。
Optical waveguides, which are the most promising medium for use in optical communication systems operating in the visible or near-visible spectrum, typically combine a transparent core with a transparent outer layer having a smaller refractive index. It consists of an optical filament surrounded by a material.

ところで、光通信方式に用いられる伝送媒体には厳しい
光学的要件が課せられるがために、従来のガラス・ファ
イバ・オプティックスをそのような伝送媒体として用い
ることはできない。
However, because strict optical requirements are imposed on transmission media used in optical communication systems, conventional glass fiber optics cannot be used as such transmission media.

なぜなら、従来のガラス・ファイバ・オプティックスで
は散乱と不純物吸収との双方に基因する減衰が非常に大
きすぎるからである。
This is because traditional glass fiber optics have too much attenuation due to both scattering and impurity absorption.

従って、非常に高純度のガラスをフィラメント状に形成
するための独特の方法が開発されなければならなかった
Therefore, unique methods had to be developed to form very high purity glasses into filaments.

光導波体素材を形成するに当っては、ある種のガラス製
造方法、特に蒸着法が一般に用いられている。
Certain glass manufacturing methods, particularly vapor deposition methods, are commonly used to form optical waveguide materials.

このような方法の1つにおいては、原材料の蒸気が加熱
された基体チューブ内に送り込まれ、そこで反応して、
順次の層をなして沈積される材料を形成する。
In one such method, raw material vapor is pumped into a heated substrate tube where it reacts and
Forming materials that are deposited in successive layers.

そのようにして沈積されたガラスとチューブとの組合せ
がつぶされて引抜き素材を形成し、そしてその引抜き素
材は後で加熱されかつ弓抜かれて光導波体フィラメント
となされる。
The glass and tube combination so deposited is crushed to form a drawn blank which is subsequently heated and drawn into a light waveguide filament.

上述の基体チューブの長さに沿って均一な沈積を得るた
めに、順次沈積法(5erial depositio
nprocess )が用いられている。
In order to obtain uniform deposition along the length of the substrate tube described above, a sequential deposition method (5erial deposition method) was used.
nprocess) is used.

即ち、反応物がチューブの端部に供給されるが、沈積は
炎によって加熱されるそのチューブの狭い部分において
のみ生ずる。
That is, the reactants are fed to the end of the tube, but deposition occurs only in the narrow section of the tube that is heated by the flame.

炎はチューブに沿って上下動する。炎はチューブに沿っ
て上動するごとに反応物を、従ってガラス沈積領域をチ
ューブに沿って移動せしめる。
The flame moves up and down the tube. As the flame moves up the tube, it moves the reactants and thus the glass deposition area along the tube.

この場合、炎は、そのようなチューブに沿った上動を完
了すると今度はチューブに沿って下動して、それが再び
上動するときに生ずる次のガラス沈積工程に備える。
In this case, once the flame has completed its upward movement along such a tube, it now moves downward along the tube in preparation for the next glass deposition step which occurs when it moves upward again.

このような順次沈積法の限界の1つは、有効質量沈積速
度が比較的低いという点である。
One of the limitations of such sequential deposition methods is that the effective mass deposition rate is relatively low.

そのような沈積速度を大きくするための方法として、捕
集表面積を大きくするように基体チューブの内径を増大
せしめることが考えられるが、ガラスを沈積せしめるた
めの熱はチューブの外側から供給されるから、チューブ
の直径を大きくするとそのチューブの軸線における蒸気
温度が低くなってしまう。
One possible way to increase such a deposition rate is to increase the inner diameter of the substrate tube so as to increase the collection surface area, but this is because the heat to deposit the glass is supplied from the outside of the tube. , if the diameter of the tube is increased, the steam temperature at the axis of the tube will be lowered.

さらに、チューブを横切る方向における流れ輪郭が、そ
のチューブ内において軸線方向に最大流れが生ずるよう
なものとなる。
Additionally, the flow profile across the tube is such that maximum flow occurs axially within the tube.

従って、チューブの直径が大きくなるにともなって、反
応温度が最高となる即ちすす状反応生成物がチューブの
加熱領域上に一層容易に捕集されるそのチューブの壁近
傍の領域を流れる反応物蒸気の量が少なくなる。
Therefore, as the diameter of the tube increases, the reactant vapor flows through the region near the walls of the tube where the reaction temperature is highest, i.e., the soot-like reaction products are more easily collected on the heated region of the tube. The amount of

従って、基体チューブの直径を大きくすると、それにと
もなってその基体チューブ上に沈積するすすの割合は少
なくなる。
Therefore, as the diameter of the substrate tube increases, the proportion of soot deposited on the substrate tube decreases accordingly.

上述した種類の順次沈積法における有効質量沈積速度を
上昇せしめんがために、本発明によれば、細長い中空の
円筒状基体チューブ中にガラス形成用蒸気混合物を流動
せしめ、前記チューブとそれに導入された蒸気混合物を
熱源でもって加熱し、この場合その熱源を前記チューブ
に関して長手方向に移動せしめてそのチューブ内にホッ
トゾーンを確立せしめ、そのようにして確立されたホッ
トゾーン内に少なくとも一部分が下流に移行する粒状物
質の懸濁を生ぜしめ、その場合、その懸濁の少なくとも
一部分をして前記チューブの内表面上に休止せしめてそ
の内表面上に沈積を形成せしめることを含む光学的ガラ
ス製品の製造方法であって、前記光学的ガラス製品の特
性に悪影響を及ぼすことのないガス流を、前記チューブ
の前記ホットゾーンにおいてそのチューブの軸線方向領
域を通って流動せしめて前記蒸気混合物の流れを前記チ
ューブ内表面に隣接するようにしてチューブの長手方向
軸線から離間された環状のチャンネルに閉じ込め、而し
て前記蒸気混合物の反応の沈積効率を増大せしめること
を特徴とする光学的ガラス製品の製造方法が提供される
In order to increase the effective mass deposition rate in sequential deposition processes of the type described above, according to the invention, a glass-forming vapor mixture is flowed through an elongated hollow cylindrical substrate tube, and the glass-forming vapor mixture is flowed into said tube and introduced into it. heating the vapor mixture with a heat source, the heat source being moved longitudinally with respect to the tube to establish a hot zone within the tube, and at least a portion downstream within the so established hot zone. creating a suspension of migrating particulate material, with at least a portion of the suspension resting on the inner surface of said tube to form a deposit on said inner surface. The method of manufacturing comprises directing the flow of the vapor mixture by flowing a gas flow through the axial region of the tube in the hot zone of the tube, which does not adversely affect the properties of the optical glass article. A method for producing an optical glass article, characterized in that it is confined in an annular channel adjacent to the inner surface of the tube and spaced from the longitudinal axis of the tube, thereby increasing the deposition efficiency of the reaction of said vapor mixture. is provided.

また、本発明によれば、引抜かれて光フィラメントとな
されうる光学的ガラスプレフォームを中空の円筒状基体
チューブから製造するために、適当に支持された円筒状
の基体チューブの軸線方向部分を加熱してそのチューブ
内にホットゾーンを形成するための加熱手段と、その加
熱手段と前記基体チューブとの間に相対的な長手方向運
動を与えるための手段と、蒸気混合物の移動流を前記基
体チューブの一端に導入せしめるための手段とを有し、
この場合、前記蒸気混合物は前記ホットゾーン内におい
て反応して粒状材料の懸濁を形成することができ、その
懸濁は下流に移行し、そこでその懸濁の少なくとも一部
分が前記基体チューブの内表面上に休止するようになる
光学的ガラス製品の製造装置において、前記基体チュー
ブの前記ホットゾーンにおいてその基体チューブの軸線
方向の領域を通って流動せしめ、その場合、前記ガスが
前記蒸気混合物の流れを前記ホットゾーンにおける基体
チューブの内壁に隣接した環状のチャンネルに閉じ込め
、而して前記蒸気混合物の反応を前記基体チューブの壁
に隣接した環状の領域に実質的に閉じ込めるようにする
手段を具備していることを特徴とする光学的ガラス製品
を製造するための装置が提供される。
In accordance with the present invention, an axial portion of a suitably supported cylindrical substrate tube is heated to produce an optical glass preform from the hollow cylindrical substrate tube that can be drawn into an optical filament. heating means for forming a hot zone within the tube; means for imparting relative longitudinal motion between the heating means and the substrate tube; and means for directing the moving flow of the vapor mixture to the substrate tube. and a means for introducing it into one end of the
In this case, the vapor mixture may react within the hot zone to form a suspension of particulate material, which suspension is transferred downstream, where at least a portion of the suspension is transferred to the inner surface of the substrate tube. In an apparatus for producing optical glassware that is suspended above the hot zone of the substrate tube, the gas flows through an axial region of the substrate tube, wherein the gas directs the flow of the vapor mixture. means for confining the hot zone in an annular channel adjacent the inner wall of the substrate tube, thereby substantially confining the reaction of the vapor mixture to an annular region adjacent the wall of the substrate tube; An apparatus for manufacturing an optical glass product is provided.

上述した基体チューブの軸線方向領域を通ってガスの流
れを流動せしめるための手段は、前記円筒状基体の一端
に配置されかつ一端を前記ホットゾーンの近傍で終端せ
しめられたチューブ、好ましくはガス誘導バッフル・チ
ューブで構成されるのが有利である。
The means for directing the flow of gas through the axial region of the substrate tube described above comprises a tube, preferably a gas guide, located at one end of the cylindrical substrate and terminating at one end in the vicinity of the hot zone. Advantageously, it consists of a baffle tube.

基体チューブに対してチューブを長手方向に移動せしめ
るための手段は、加熱手段の運動に同期してチューブを
移動せしめる。
The means for longitudinally moving the tube relative to the substrate tube moves the tube synchronously with the movement of the heating means.

バッフル・チューブから出て来たガスの流れは、基体表
面に隣接した環状のチャンネルに蒸気混合物を閉じ込め
るホットゾーン内におけるガス状マンドレルを形成する
The gas flow exiting the baffle tube forms a gaseous mandrel within the hot zone that confines the vapor mixture in an annular channel adjacent the substrate surface.

以下図面を参照して本発明の実施例につき説明しよう。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図および第2図は、基体チューブ10を含む従来技
術の方式を示しており、その基体チューブ10の上流端
にはハンドル・チューブ8が、下流端には排気チューブ
12がそれぞれ固着されている。
1 and 2 show a prior art system including a base tube 10 having a handle tube 8 secured to its upstream end and an exhaust tube 12 secured to its downstream end. There is.

チューブ8および12は従来型のガラス回転旋盤(図示
せず)にチャック付けされており、その組合せ体が矢印
で示されているように回転される。
Tubes 8 and 12 are chucked onto a conventional glass rotary lathe (not shown) and the combination is rotated as indicated by the arrows.

ハンドル・チューブは基体チューブと同一の直径を有す
る廉価なガラス・チューブであるが、得られる光導波体
の一部分を形成するものではなく、省略されてもよい。
The handle tube is an inexpensive glass tube with the same diameter as the substrate tube, but it does not form part of the resulting light waveguide and may be omitted.

加熱手段16を矢印18aおよび18bによって概略的
に示されているように移動せしめることによってホット
ゾーン14(第2図)がチューブ10中を移動せしめら
れる。
Hot zone 14 (FIG. 2) is moved through tube 10 by moving heating means 16 as shown schematically by arrows 18a and 18b.

加熱手段16は、チューブ10を包囲した複数のバーナ
のような任意適当な熱源で構成されうる。
Heating means 16 may comprise any suitable heat source, such as a plurality of burners surrounding tube 10.

複数のガスおよび蒸気供給源に連結された入口チューブ
20を通じてチューブ10に反応物が導入される。
Reactants are introduced into the tube 10 through an inlet tube 20 that is connected to multiple gas and vapor sources.

第1図では、流量計がFという文字を囲んだ円で表わさ
れている。
In FIG. 1, the flow meter is represented by a circle surrounding the letter F.

酸素供給源22は流量計24によって入口チューブ20
に連結され、さらに流量計26.28および30によっ
て溜め32.34および36にそれぞれ連結されている
Oxygen source 22 is connected to inlet tube 20 by flow meter 24.
and further connected to reservoirs 32, 34 and 36 by flow meters 26, 28 and 30, respectively.

三フッ化ホウ素供給源38は流量計40によってチュー
ブ20に連結されている。
A boron trifluoride source 38 is connected to tube 20 by a flow meter 40.

溜め32,34および36は通常液体の反応物材料を含
んでおり、それらの反応物材料は、それらに酸素または
その他の適当なキャリア・ガスを泡だでながら送り込む
ことによりチューブ10内に導入される。
Reservoirs 32, 34, and 36 contain normally liquid reactant materials that are introduced into tube 10 by bubbling oxygen or other suitable carrier gas through them. Ru.

排出材料は排気チューブ12を通って排気される。Exhaust material is exhausted through exhaust tube 12.

図示されてはいないが、流量を計量するためおよび組成
についての他の必要な調節を行なうために混合弁と遮断
弁とよりなる機構が利用されうる。
Although not shown, a mixing valve and isolation valve mechanism may be utilized to meter the flow rate and make other necessary adjustments to the composition.

バーナ16は最初に、反応物の流れ方向と同じ方向の矢
印18bで示された方向にチューブ10に対して低い速
度で移動する。
Burner 16 initially moves at a low speed relative to tube 10 in the direction indicated by arrow 18b in the same direction as the reactant flow direction.

反応物が熱い帯域14で反応してすす即ち粒状酸化物材
料の粉末状懸濁を生じ、その懸濁は移動ガスによってチ
ューブ10の領域42まで下流に搬送される。
The reactants react in hot zone 14 to form a powdery suspension of soot or particulate oxide material, which suspension is conveyed downstream to region 42 of tube 10 by the moving gas.

一般に、蒸気流内に生成される反応生成物の20%と7
0%との間で所望のガラス組成を有するすすが生じ、そ
のすすが基体表面上に沈積される。
Generally, 20% and 7% of the reaction products produced in the vapor stream
0%, a soot having the desired glass composition is produced and the soot is deposited on the substrate surface.

ホットゾーン14から上流におけるチューブ10の領域
46には実質的にすすが形成されないことがわかる。
It can be seen that substantially no soot is formed in the region 46 of the tube 10 upstream from the hot zone 14.

バーナ16が矢印18bの方向に移動し続けると、ホッ
トゾーン14は下流に移動してすすの蓄積44の一部分
がそのホットゾーン内に延入し、それによって融合合体
せしめられて一体的な均質のガラス層48を形成する。
As burner 16 continues to move in the direction of arrow 18b, hot zone 14 moves downstream such that a portion of soot accumulation 44 extends into the hot zone and is thereby fused into a unitary homogeneous material. A glass layer 48 is formed.

温度、流量、反応物等のようなプロセス・パラメータは
プロシーディンゲス・オブ・ジ・アイ・イー・イー・イ
ー(Proceedings of the IEEE
)1280(1974)に掲載されたジエイ・ビー・マ
ツクチェスニイ(J 、 BoMacChesney
)ほかによる論文およびApplied 0ptics
15 (1976)におけるW、 G、 F ren
chほかによる論文に記載されている。
Process parameters such as temperature, flow rates, reactants, etc. are described in the Proceedings of the IEEE.
) 1280 (1974) by J. BoMacChesney.
) et al. and Applied Optics
W, G, Fren in 15 (1976)
It is described in the paper by ch et al.

また、ジョン・ウイリイ・アンド・サンズ・インコーホ
レイテッド(J ohn Wi ley andSon
s、Inc、) (1966)発行シー・エフ・ポウエ
ル(C,F、 Powell )ほか編集の「蒸着」(
VaporDeposition )という題名の教科
書をも参照する。
Also, John Wiley and Sons, Inc.
s, Inc.) (1966) Published by C.F. Powell et al.
Reference is also made to the textbook entitled VaporDeposition).

バーナ16が排気チューブ12に隣接したチューブ10
の端部に到達すると、炎の温度が低下し、そしてバーナ
16は矢印18aの方向にチューブ10の入口端に復帰
する。
Tube 10 with burner 16 adjacent to exhaust tube 12
, the temperature of the flame decreases and the burner 16 returns to the inlet end of the tube 10 in the direction of arrow 18a.

然る後、上述した態様でチューブ10内にガラス質材料
の付加的な層が沈積される。
Thereafter, additional layers of vitreous material are deposited within tube 10 in the manner described above.

光導波体フィラメントの外被および(または)基材料と
して作用するのに適した層が沈積されて後に、チューブ
10をつぶすために、このようにして形成されたガラス
素材の温度は高シリカ含有ガラスの場合には約2200
℃まで上昇される。
After a layer suitable to act as a jacket and/or base material for the optical waveguide filament has been deposited, the temperature of the glass blank thus formed is lowered to a high silica-containing glass in order to collapse the tube 10. Approximately 2200 in the case of
It is raised to ℃.

このことはホットゾーンの移動速度を低下せしめること
によって実現されうる。
This can be accomplished by slowing down the speed of movement of the hot zone.

次に、そのガラス素材は、所望の直径を有する光導波体
フィラメントを形成するように、公知の技術に従って引
抜かれうる。
The glass material can then be drawn according to known techniques to form a light waveguide filament with the desired diameter.

反応の観点からプロセスを最適にするために、高い温度
が利用される。
Elevated temperatures are used to optimize the process from a reaction point of view.

通常のシリカをベースとした系の場合には、基体壁の温
度は前記ホットゾーンに対応する位置において一般に約
1400’Cと1900°Cとの間に維持される。
In the case of conventional silica-based systems, the temperature of the substrate wall is generally maintained between about 1400'C and 1900C at the location corresponding to the hot zone.

指示温度はチューブ外表面に焦点を合わされた放射パイ
ロメータによって測定された温度である。
The indicated temperature is the temperature measured by a radiation pyrometer focused on the outer surface of the tube.

沈積速度を制限する要因の1つは、透明なガラス層を形
成するために沈積されたすすを焼結する速度である。
One of the factors limiting the deposition rate is the rate at which the deposited soot is sintered to form a transparent glass layer.

一定の組成のガラスが沈積されるためには、ホットゾー
ンの幅、そのホットゾーンのピーク温度およびバーナの
移動速度の最適組合せを用いて焼結されうるガラスの最
大層厚が存在している。
For a glass of a certain composition to be deposited, there is a maximum layer thickness of glass that can be sintered using an optimal combination of hot zone width, peak hot zone temperature, and burner travel speed.

焼結されたガラス層の厚さが異なるチューブ直径に対し
て最大値に維持されるならば、表面積が増大したことに
基因して、沈積速度は理論的にはチューブの内径に比例
して増大するはずである。
If the thickness of the sintered glass layer is kept at a maximum value for different tube diameters, the deposition rate theoretically increases proportionally to the inner diameter of the tube due to the increased surface area. It should be done.

しかしながら、反応物蒸気系の流れ力学およびすす粒子
力学の性質に基因して、基体チューブに沈積する生成さ
れたすすの割合はチューブ直径の増大にともなって減少
し、それによって沈積速度の実効的な低下が生ぜしめら
れる。
However, due to the flow dynamics and soot particle dynamics properties of the reactant vapor system, the fraction of produced soot that deposits on the substrate tube decreases with increasing tube diameter, thereby reducing the effective A decrease is caused.

本発明によれば、ホットゾーン内における基体チューブ
の壁に隣接した環状のチャンネルに閉じ込められる。
According to the invention, it is confined within the hot zone in an annular channel adjacent to the wall of the substrate tube.

この目的のために、第3図に示されているように、反応
物が導入される基体チューブ52の端部にガス供給チュ
ーブ50の一部分が延入する。
For this purpose, as shown in FIG. 3, a portion of the gas supply tube 50 extends into the end of the substrate tube 52 into which the reactants are introduced.

チューブ52内におけるチューブ52のその部分は熱源
56を移動せしめることによって生ぜしめられたホット
ゾーンの直前において終端する。
That portion of tube 52 within tube 52 terminates just before the hot zone created by moving heat source 56 .

チューブ50は、破線58によって表わされた手段によ
りバーナ56に機械的に結合され、そのチューブ50が
確実にホットゾーン54より上流の適切な距離に維持さ
れるようになされる。
Tube 50 is mechanically coupled to burner 56 by means represented by dashed line 58 to ensure that tube 50 is maintained at an appropriate distance upstream of hot zone 54.

あるいは、熱源とガス供給チューブとは固定され、回転
基体チューブ52が移動されるようになされてもよい。
Alternatively, the heat source and gas supply tube may be fixed and the rotating base tube 52 may be moved.

チューブ52の入口端は折りたたみ可能な部材60によ
ってチューブ50に連結されており、この部材60とチ
ューブ52との間には回転シール62が配置されている
The inlet end of the tube 52 is connected to the tube 50 by a collapsible member 60, with a rotary seal 62 disposed between the member 60 and the tube 52.

ホットゾーンとチューブ52の隣接領域の横断面図であ
るところの第4図に示されているように、チューブ50
から出て来たガスはチューブ50および52間において
矢印の方向に流動する反応物に対して効果的なマンドレ
ルまたは障壁を提供し、それによってこれらの反応物を
ホットゾーン54におけるチューブ52の壁に隣接した
環状チャンネルに閉じ込める。
As shown in FIG. 4, which is a cross-sectional view of the hot zone and the adjacent area of tube 52, tube 50
The gas emerging from the tubes 50 and 52 provides an effective mandrel or barrier for reactants flowing in the direction of the arrows, thereby forcing these reactants to the walls of tube 52 in hot zone 54. Confined to adjacent annular channel.

ホットゾーン54より下流のある距離のところで、チュ
ーブ50からのガスがホットゾーンに形成されたすすに
対する障壁として作用し続け、それによってすすがチュ
ーブ52の壁土に44′で示されているように沈積する
確率を高めることになる。
At some distance downstream of the hot zone 54, the gas from the tube 50 continues to act as a barrier to the soot formed in the hot zone, thereby causing the soot to deposit on the walls of the tube 52, as shown at 44'. This will increase the probability of doing so.

第5図における破線66はチューブ50から出て来たガ
スとホットゾーン54に流入した反応物蒸気との間の境
界を表わしている。
Dashed line 66 in FIG. 5 represents the boundary between the gas exiting tube 50 and the reactant vapors entering hot zone 54.

チューブ50によってホットゾーンに供給されるガスは
、結果的に得られる光導波体プレフォームに対して悪影
響を及ぼすことのない任意のガスでありうる。
The gas supplied to the hot zone by tube 50 can be any gas that does not have an adverse effect on the resulting optical waveguide preform.

そのようなガスとしては酸素が好ましい。Oxygen is preferred as such a gas.

なぜならば、酸素はその要件を満足するしかつ比較的廉
価であるからである。
This is because oxygen satisfies the requirements and is relatively inexpensive.

あるいは例えばアルゴン、ヘリウム、窒素等のような他
のガスを用いてもよい。
Alternatively, other gases such as argon, helium, nitrogen, etc. may also be used.

第4図に示されているように、チューブ50の端部は、
その上におけるすすの沈積を防止するのに十分なだけ大
きくなければならない距離Xだけホットゾーンから分離
されている。
As shown in FIG. 4, the end of the tube 50 is
It is separated from the hot zone by a distance X, which must be large enough to prevent soot deposition thereon.

その距離Xはバーナの幅およびホットゾーンの温度のよ
うなパラメータに依存して変化するであろう。
The distance X will vary depending on parameters such as the width of the burner and the temperature of the hot zone.

チューブ50および52の外径がそれぞれ20ミリメー
トルおよび38ミリメートルであり、かつそれらの壁厚
がそれぞれ1.6ミリメードルおよび2ミリメートルで
ある沈積系に対して次のような知見がなされた。
The following findings were made for a deposition system in which tubes 50 and 52 have outer diameters of 20 mm and 38 mm, respectively, and their wall thicknesses are 1.6 mm and 2 mm, respectively.

直径45ミリメートルの円の中にバーナ・フェース・オ
リフィスが配置された。
The burner face orifice was placed in a circle with a diameter of 45 mm.

この系において、距離Xが約13ミリメートルであれば
チューブ50上にすすが沈積することが認められた。
In this system, it was observed that soot would deposit on the tube 50 if the distance X was approximately 13 millimeters.

ガス供給またはバッフル・チューブ50中を流れるガス
と反応物蒸気流との混合はバッフル・チューブ50から
の長手方向の距離にともなって増大する。
The mixing of gas and reactant vapor streams flowing through the gas supply or baffle tubes 50 increases with longitudinal distance from the baffle tubes 50.

チューブ52の壁に近接した環状の領域に反応物蒸気を
制限することによる利益は、距離Xを約15センチメー
トルまでとした場合に得られうる。
Benefits of confining the reactant vapors to an annular region proximate the wall of tube 52 may be obtained when distance X is up to about 15 centimeters.

距離Xが25〜75ミリメートルの範囲内にある場合に
最良の結果が得られる。
Best results are obtained when distance X is in the range 25-75 millimeters.

チューブ50の寸法および形状は、ホットゾーンとそれ
のすぐ下流における領域に実質的に層状の流れが存在す
るようなものでなければならない。
The size and shape of tube 50 must be such that substantially laminar flow exists in the hot zone and the region immediately downstream thereof.

チューブ50によって乱流が生ぜしめられると、それが
すす粒子を拾い上げてそれを排気チューブまで下流に持
ち運ぶことになる。
The turbulence created by tube 50 will pick up soot particles and carry them downstream to the exhaust tube.

第1図および第2図に関連して上述した従来の沈積方法
においては、チューブ直径が予め定められた大きさ以上
に大きくなると、沈積効率が低下する。
In the conventional deposition methods described above in connection with FIGS. 1 and 2, deposition efficiency decreases as the tube diameter increases beyond a predetermined size.

一般に、チューブ直径の増大にともなう沈積速度の上昇
はチューブ直径を約30ミリメートルまで増大せしめる
ことによって実現されうる。
Generally, increasing the deposition rate with increasing tube diameter can be achieved by increasing the tube diameter to about 30 millimeters.

しかしながら、30ミリメートルより大きい直径を有す
るチューブの場合には、沈積効率が低下して、沈積速度
をさらに上昇せしめることは困難となる。
However, for tubes with diameters greater than 30 mm, the deposition efficiency decreases and it becomes difficult to further increase the deposition rate.

しかしながら、バッフル・チューブを用いれば、反応物
蒸気が基体チューブ52の内表面からの一定距離に制限
されるから、基体チューブの直径に関係なく最適沈積効
率が得られる。
However, the use of baffle tubes confines the reactant vapors to a fixed distance from the inner surface of the substrate tube 52, thereby providing optimal deposition efficiency regardless of the diameter of the substrate tube.

外側のチューブ52の最大寸法は、光導波体プレフォー
ムを形成するように内部の穴が閉塞されうる寸法チュー
ブのような観点によって制限される。
The maximum dimensions of the outer tube 52 are limited by the dimensions of the tube such that the internal holes can be plugged to form a light waveguide preform.

バッフル・チューブ50および基体チューブ52の壁厚
は通常比較的小さい値即ち数ミリメートルに維持される
The wall thicknesses of baffle tube 50 and base tube 52 are typically kept relatively small, ie, a few millimeters.

第3図および第4図に示されているような円筒状のバッ
フル・チューブは容易に製造できかつ不当に大きい乱流
を導入することなしに基体チューブのホットゾーンにガ
スの体またはマンドレルを供給する機能を十分に発揮す
るものであることが認められた。
Cylindrical baffle tubes, such as those shown in Figures 3 and 4, are easily manufactured and deliver a body or mandrel of gas to the hot zone of the substrate tube without introducing unduly large turbulence. It was recognized that the system fully demonstrates its functions.

この機能を発揮するためには第6図に示されているよう
な他の形状を用いることもできる。
Other shapes, such as those shown in FIG. 6, can also be used to perform this function.

チューブ70からのガス流の方向が矢印72で示されて
いる。
The direction of gas flow from tube 70 is indicated by arrow 72.

沈積速度および能率の改善を示すために、バッフル・チ
ューブ50を有する場合と有しない場合との双方の場合
に、他のすべてのプロセス・パラメータを変更すること
なしに、沈積装置が動作された。
To demonstrate the improvement in deposition rate and efficiency, the deposition apparatus was operated both with and without baffle tubes 50, without changing all other process parameters.

第1図に示された装置に類似した装置が反応物流を供給
するために用いられたが、1個の溜め32だけが用いら
れた。
A device similar to that shown in FIG. 1 was used to supply the reactant streams, but only one reservoir 32 was used.

約2.5g7分5iC4の流れを与えるように35℃に
維持されたS i CA’4を含んだ溜め32中に酸素
が流動せしめられる。
Oxygen is flowed into reservoir 32 containing S i CA'4 maintained at 35° C. to provide a flow of approximately 2.5 g 7 min 5 iC4.

BCl3の流速は92SCcrrLであり、流量計24
を通る酸素の流量は2.451mであった。
The flow rate of BCl3 is 92SCcrrL, and the flow rate is 24
The oxygen flow rate through was 2.451 m.

基体チューブは外径38ミ・□リメートル、壁厚2ミリ
メートルのホウケイ酸塩ガラスチューブであった。
The substrate tube was a borosilicate glass tube with an outer diameter of 38 mm and a wall thickness of 2 mm.

約14重量%B2O3および86重量%5102の組成
を有するホウケイ酸ガラスが沈積された。
A borosilicate glass having a composition of approximately 14% B2O3 and 86% 5102 by weight was deposited.

S i CA’4およびBCl3の流速から酸化物の産
出速度が計算されて0.85,9/分S t 02およ
び0.2’l/分B2O3となった。
From the flow rates of S i CA'4 and BCl3, the oxide production rate was calculated to be 0.85.9/min S t 02 and 0.2'l/min B2O3.

バッフル・チューブを用いない場合には、沈積速度は0
.251g/分S t 02であり、沈積効率は26.
2%であった。
If no baffle tube is used, the deposition rate is 0.
.. 251 g/min S t 02, and the deposition efficiency is 26.
It was 2%.

次に、上記の系統は20骨螢ミリメートルの外径と1.
6ミリメードルの壁厚を有する溶融シリカ・バッフルチ
ューブを付加することによって修正された。
Next, the above system has an outer diameter of 20 mm and a diameter of 1.
It was modified by adding a fused silica baffle tube with a wall thickness of 6 millimeters.

バッフル・チューブの端部はホットゾーンの中心から5
0ミリメートルの距離だけ離間された。
The end of the baffle tube is located 5 minutes from the center of the hot zone.
They were separated by a distance of 0 mm.

バッフル・チューブを用いることによって、沈積速度は
0.251,97分から0.451g/分に上昇し、効
率は26.2%から43.2%に上昇した。
By using baffle tubes, the deposition rate increased from 0.251.97 minutes to 0.451 g/min and the efficiency increased from 26.2% to 43.2%.

表Iはプロセス・パラメータを変化した場合の沈積速度
および効率に対する影響を示している。
Table I shows the effect on deposition rate and efficiency of varying process parameters.

この表の例1〜6の場合には、基体チューブは2ミリメ
ートルの壁厚を有する外径38ミリメートルのホウケイ
酸塩チューブで形成されたものであり、バッフル・チュ
ーブは1.6ミlJメートルの壁厚を有する外径20ミ
リメートルの溶融シリカ・チューブで形成されたもので
あった。
For Examples 1 to 6 of this table, the base tube is formed from a 38 mm outer diameter borosilicate tube with a wall thickness of 2 mm, and the baffle tube is formed from a 38 mm outer diameter borosilicate tube with a wall thickness of 2 mm. It was constructed of fused silica tubing with a wall thickness of 20 millimeters outside diameter.

これらの実験の過程において、複数のガラス層が上述の
態様で基体チューブ内に沈積された。
During the course of these experiments, multiple glass layers were deposited within the substrate tube in the manner described above.

10〜30の層が沈積されて後に、基体チューブが破壊
され、そして各層の厚さが顕微鏡下で測定された。
After 10-30 layers were deposited, the substrate tube was broken and the thickness of each layer was measured under a microscope.

その層厚から沈積速度が計算され、かつ100%酸化物
に変換されたと仮定して、g/分で表わされた沈積速度
をチューブに入るすすの全質量流れで割ったものとして
沈積効率が定義された。
The deposition rate is calculated from the layer thickness, and the deposition efficiency is the deposition rate in g/min divided by the total mass flow of soot entering the tube, assuming 100% oxide conversion. defined.

このようにして得られた結果のうち最良のものは、沈積
速度が0.691g/分で、効率が40.3%であった
The best results thus obtained were a deposition rate of 0.691 g/min and an efficiency of 40.3%.

本発明の方法によってグレイデッド・インテックス(g
raded 1ndex )型光導波体フィラメントを
製造する特定の実施例は次のごとくである。
Graded Intex (g
A specific example of manufacturing a raded 1ndex ) type optical waveguide filament is as follows.

外径が38ミリメートルで、壁厚が2ミリメートルの市
販品質のホウケイ酸塩ガラスよりなるチューブが、フッ
化水素酸、脱イオン水およびアルコールに順次浸漬され
て清浄化された。
A tube made of commercial quality borosilicate glass with an outside diameter of 38 millimeters and a wall thickness of 2 millimeters was cleaned by sequential immersion in hydrofluoric acid, deionized water, and alcohol.

この基体チューブは長さが約120センチメートルであ
って、それは長さ90センチメートル、外径65ミリメ
ートルの排気チューブに一端を、そしてその基体チュー
ブと同一の直径および壁厚を有する長さ60センチメー
トルのハンドル・チューブに他端をそれぞれ取付けられ
る。
The base tube is approximately 120 cm long, having one end to a 90 cm long, 65 mm outside diameter exhaust tube, and a 60 cm long exhaust tube having the same diameter and wall thickness as the base tube. Each other end is attached to a meter handle tube.

これらのチューブの組合せ体は、各チューブが回転可能
に支持されるようにして旋盤に挿入される。
The tube combination is inserted into a lathe with each tube rotatably supported.

ハンドル・チューブの自由端には回転シールが設けられ
ていて、その回転シールには、外径が20ミリメートル
、壁厚が1.6ミリメードルの溶融シリカ・バッフル・
チューブの180センチメートル長の部分が挿通される
The free end of the handle tube is provided with a rotating seal that includes a fused silica baffle with an outside diameter of 20 mm and a wall thickness of 1.6 mm.
A 180 cm long section of tubing is inserted.

バッフル・チューブは、それの長さに沿った異なる2つ
の点において、バーナと一緒に移動する支持体上に支持
される。
The baffle tube is supported at two different points along its length on supports that move with the burner.

バーナは25センチメートル/分の速度で基体チューブ
の100センチメートル長だけ移動する。
The burner moves through the 100 cm length of the base tube at a speed of 25 cm/min.

そのバーナは基体チユーブの外表面において1800℃
の沈積温度を与えるように調節される。
The burner is heated to 1800°C on the outer surface of the base tube.
is adjusted to give a deposition temperature of

バーナが移動している間にガラスの層が沈積されるわけ
であるが、バーナがその移動の終端に達すると、それは
100センチメートル/分の速度で出発点に復帰する。
A layer of glass is deposited while the burner is moving, but when the burner reaches the end of its travel it returns to its starting point at a speed of 100 cm/min.

酸素が2.551mの速度でバッフル・チューブに流入
する。
Oxygen flows into the baffle tube at a velocity of 2.551 m.

それぞれS iCl+、GeCA’4およびPOCl3
の入った3つの溜めが設けられ、これらの溜めは32℃
の温度に維持される。
SiCl+, GeCA'4 and POCl3, respectively
There are three reservoirs containing
maintained at a temperature of

酸素が第1および第3の溜め中をそれぞれ0.31pm
および0.561pmの速度で流動して、全沈積工程の
あいだに2.O91分SiC#、および0.175ji
/分POCl3が基体チューブに供給される。
Oxygen in the first and third reservoirs is 0.31 pm each.
and flowing at a rate of 0.561 pm during the entire deposition process. O91 min SiC#, and 0.175ji
/min POCl3 is supplied to the substrate tube.

酸素が第2の溜めに供給される速度はOA?pmから0
.713pmまで直線的に増大し、従って、バーナが5
0回通過するあいだにOとL5i/分のあいだの量だけ
Ge C14が基体チューブに供給される。
What is the rate at which oxygen is supplied to the second reservoir, OA? pm to 0
.. increases linearly to 713 pm, so the burner
Ge C14 is supplied to the substrate tube in an amount between O and L5i/min during 0 passes.

即ち、基体チューブに沿ったバーナの最初の通過時には
、基体チューブにはGe C14は供給されないが、そ
れの量は、バーナの最後の通過時に2.0g1分GeC
l4が基体チューブに供給されるまで、バーナの他の通
過時に直線的に増大される。
That is, during the first pass of the burner along the substrate tube, no GeC14 is supplied to the substrate tube, but the amount of it is 2.0 g 1 minute GeC during the last pass of the burner.
It is increased linearly on another pass through the burner until l4 is supplied to the base tube.

BC71?3は155(J7!の一定速度で基体チュー
ブに供給され、バイパス酸素は2.551mの速度でそ
の基体チューブに供給される。
BC71?3 is fed to the substrate tube at a constant speed of 155 (J7!) and bypass oxygen is fed to the substrate tube at a speed of 2.551 m.

3時間20分のあいだにバーナは基体チューブに沿って
50回通過するが、その時間のあいだに、バーナの移動
速度は2.5センチメートル/分まで低下し、温度は基
体チューブの外表面において約2200℃まで上昇する
During a period of 3 hours and 20 minutes, the burner passes along the substrate tube 50 times, during which time the burner travel speed decreases to 2.5 cm/min and the temperature decreases at the outer surface of the substrate tube. The temperature rises to about 2200°C.

これによって基体チューブがつぶされて中まで密の横断
面を有する光導波体プレフォームとなされる。
This collapses the base tube into a light waveguide preform with a dense cross section throughout.

このプレフォームの使用可能な長さは約84センチメー
トルである。
The usable length of this preform is approximately 84 centimeters.

沈積速度は約0.68,97分であり、平均沈積効率は
約39.5%である。
The deposition rate is about 0.68.97 minutes and the average deposition efficiency is about 39.5%.

次に、上述のごとくして得られたプレフォームまたは素
材は、それの材料が引抜きのために十分低い粘度を有す
るようになる温度(約2000℃)に加熱される。
The preform or blank obtained as described above is then heated to a temperature (approximately 2000° C.) such that the material has a sufficiently low viscosity for pultrusion.

この構造物が引抜かれて約110μmの外径を有する光
導波体フィラメントが約25キロメートル形威される。
This structure is drawn to form approximately 25 kilometers of optical waveguide filament having an outer diameter of approximately 110 μm.

以上本発明の特定の実施例につき説明したが、本発明は
それに限定されるものではなく、本発明の精神および特
許請求の範囲を逸脱することなしに種々の変形変更が可
能であり、それらの変形変更も本発明に属するものであ
ることを理解すべきである。
Although specific embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit of the present invention and the scope of the claims. It should be understood that modifications and variations are also part of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図はチューブ内にガラス層を沈積せしめるための装
置を示す概略図、第2図は第1図に示されたチューブの
一部分を示し処理に観察される状態を示す図、第3図は
本発明に従って沈積工程を実施するのに適した装置を示
す概略図、第4図および第5図は本発明の装置の横断面
図であって処理時に発生する状態を示す図、第6図は本
発明の装置において用いられうる変形されたバッフル・
チューブの端部を示す図であり、これらの図面において
、8はハンドル・チューブ、10は基体チューブ、12
は排気チューブ、14はホットゾーン、16はバーナ、
20は入口チューブ、22は酸素供給源、26〜30.
40は流量計、32〜36は溜め、44はすす蓄積、4
8はガラス層、50はガス供給チューブ(バッフル・チ
ューブ)、52は基体チューブ、56は熱源、56はバ
ーナ、54はホットゾーン、62は回転シールである。
FIG. 1 is a schematic diagram showing an apparatus for depositing a glass layer in a tube; FIG. 2 is a diagram showing a portion of the tube shown in FIG. 1 and showing the conditions observed during the process; FIG. 4 and 5 are cross-sectional views of the apparatus according to the invention, showing the conditions occurring during the process; FIG. Modified baffles that can be used in the device of the invention
Figures 1 and 2 are views showing the ends of the tubes, in which 8 is the handle tube, 10 is the base tube, 12 is the handle tube;
is the exhaust tube, 14 is the hot zone, 16 is the burner,
20 is an inlet tube, 22 is an oxygen supply source, 26-30.
40 is a flow meter, 32 to 36 are reservoirs, 44 is soot accumulation, 4
8 is a glass layer, 50 is a gas supply tube (baffle tube), 52 is a base tube, 56 is a heat source, 56 is a burner, 54 is a hot zone, and 62 is a rotary seal.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 細長い中空の円筒状基体チューブ中にガラス形成用
蒸気混合物を流動せしめ、前記チューブとそれに導入さ
れた蒸気混合物を熱源でもって加熱し、該熱源を前記チ
ューブに関して長手方向に移動せしめて該チューブ内に
ホットゾーンを確立せしめ、該ホットゾーン内に少なく
とも一部分が下流に移行する粒状物質の懸濁を生ぜしめ
、該懸濁の少なくとも一部分をして前記チューブの内表
面上に休止せしめて該内表面上に沈積を形成せしめるこ
とを含む光学的ガラス製品の製造方法において、前記光
学的ガラス製品の特性に悪影響を及ぼすことのないガス
流を、前記チューブの前記ホットゾーンにおいて該チュ
ーブの軸線方向領域を通って流動せしめて前記蒸気混合
物の流れを前記チューブ内表面に隣接するようにして該
チューブの長手方向軸線から離間された環状のチャンネ
ルに閉じ込め、而して前記蒸気混合物の反応の沈積効率
を増大せしめることを特徴とする光学的ガラス製品を製
造するための方法。 2、特許請求の範囲第1項記載の光学的製品を製造する
ための方法において、他のチューブを前記基体チューブ
内にそれと同軸関係をもって挿入することにより前記環
状のチャンネルを形成せしめ、該挿通されたチューブの
出口端を前記ホットゾーンの手前で終端せしめかつ該ホ
ットゾーンと同期して移動せしめ、前記ガスの流れを前
記ホットゾーンに隣接した前記挿入されたチューブの端
部から放出せしめる前記光学的ガラス製品を製造するた
めの方法。 3 特許請求の範囲第1項または第2項記載の光学的ガ
ラス製品を製造するための方法において、前記ガスの流
れとして酸素を用いる前記光学的ガラス製品を製造する
ための方法。 4 特許請求の範囲第1項乃至第3項のうちの1つに記
載された光学的ガラス製品を製造するための方法におい
て、前記基体チューブをそれの穴を閉塞せしめるのに十
分に高い温度に加熱して引抜き素材の形態としてガラス
製品を形成する前記光学的ガラス製品を製造するための
方法。 5 特許請求の範囲第4項記載の光学的ガラス製品を製
造するための方法において、前記引抜き素材をそれの材
料の引抜き温度に加熱し、該素材を引抜いて光導波体フ
ィラメントを形成する前記光学的ガラス製品を製造する
ための方法。 6 引抜かれて光フィラメントとなされうる光学的ガラ
スプレフォームを中空の円筒状基体チューブで製造する
ために、適当に支持された円筒状の基体チューブの軸線
方向部分を加熱してそのチューブ内にホットゾーンを形
成するための加熱手段と、該加熱手段と前記基体チュー
ブとの間に相対的な長手方向運動を与えるための手段と
、蒸気混合物の移動流を前記基体チューブの一端に導入
せしめるための手段とを有し、前記蒸気混合物が前記ホ
ットゾーン内において反応して粒状材料の懸濁を形成し
得、該懸濁は下流に移行し、そこで該懸濁の少なくとも
一部分が前記基体チューブの内表面上に休止するように
なされた光学的ガラス製品の製造装置において、前記基
体チューブの前記ホットゾーンにおいて該基体チューブ
の軸線方向の領域を通って流動せしめ、前記ガスが前記
蒸気混合物の流れを前記ホットゾーンにおける基体チュ
ーブの内壁に隣接した環状のチャンネルに閉じ込め、而
して前記蒸気混合物の反応を前記基体チューブの壁に隣
接した環状の領域に実質的に閉じ込めるようにする手段
50を具備していることを特徴とする光学的ガラス製品
を製造するための装置。 7 特許請求の範囲第6項記載の光学的ガラス製品を製
造するための装置において、前記ガス流を流動せしめる
ための手段が、前記円筒状基体チューブの前記一端に配
置されかつ一端を該基体チューブの前記ホットゾーンの
近傍で終端せしめられた他のチューブ50と、該チュー
ブを前記加熱手段56の運動に同期して前記基体チュー
ブ52に対して長手方向に移動せしめるための手段58
とよりなり、前記ガス流が前記チューブ50の前記一端
から放出されるようになされた前記光学的ガラス製品を
製造するための装置。 8 特許請求の範囲第7項記載の光学的ガラス製品を製
造するための装置において、前記ガス流として酸素が用
いられる前記光学的ガラス製品を製造するための装置。
Claims: 1. Flowing a glass-forming vapor mixture through an elongated hollow cylindrical substrate tube, heating the tube and the vapor mixture introduced therein with a heat source, the heat source extending longitudinally with respect to the tube. moving to establish a hot zone within the tube, creating a suspension of particulate material within the hot zone at least a portion of which migrates downstream, and causing at least a portion of the suspension to be deposited on an inner surface of the tube. A method of manufacturing an optical glass article comprising: allowing a deposit to form on the inner surface of the tube; The flow of the vapor mixture is caused to flow through the axial region of the tube to confine the flow of the vapor mixture in an annular channel adjacent to the inner surface of the tube and spaced from the longitudinal axis of the tube. A method for producing optical glass products characterized by increasing the deposition efficiency of the reaction. 2. A method for manufacturing an optical product according to claim 1, wherein the annular channel is formed by inserting another tube into the base tube in a coaxial relationship therewith, and the optical fiber, the outlet end of the inserted tube terminating in front of the hot zone and moving synchronously with the hot zone, causing the flow of gas to exit the end of the inserted tube adjacent the hot zone; Method for manufacturing glass products. 3. A method for manufacturing an optical glass product according to claim 1 or 2, using oxygen as the gas stream. 4. A method for manufacturing an optical glass product according to one of claims 1 to 3, in which the substrate tube is brought to a temperature sufficiently high to close the pores thereof. A method for producing an optical glass product as described above, comprising heating to form the glass product in the form of a drawn stock. 5. A method for manufacturing an optical glass product as claimed in claim 4, wherein the optical drawing material is heated to the drawing temperature of the material and the material is drawn to form a light waveguide filament. A method for manufacturing glass products. 6. To produce an optical glass preform in a hollow cylindrical substrate tube that can be drawn into an optical filament, an axial portion of a suitably supported cylindrical substrate tube is heated to create a hot ink within the tube. heating means for forming a zone; means for imparting relative longitudinal motion between the heating means and the substrate tube; and means for introducing a moving flow of the vapor mixture into one end of the substrate tube. and means for the vapor mixture to react within the hot zone to form a suspension of particulate material, the suspension being transferred downstream where at least a portion of the suspension is within the substrate tube. In an apparatus for producing optical glassware adapted to rest on a surface, the gas is caused to flow through an axial region of the substrate tube in the hot zone of the substrate tube, and the gas directs the flow of the vapor mixture into the hot zone of the substrate tube. means 50 for confining the hot zone in an annular channel adjacent to the inner wall of the substrate tube, thereby substantially confining the reaction of said vapor mixture to an annular region adjacent to the wall of said substrate tube; An apparatus for manufacturing optical glass products, characterized in that: 7. An apparatus for manufacturing optical glass products according to claim 6, wherein the means for causing the gas flow to flow is located at the one end of the cylindrical substrate tube and extends one end from the substrate tube. another tube 50 terminating in the vicinity of said hot zone and means 58 for moving said tube longitudinally relative to said base tube 52 synchronously with the movement of said heating means 56;
Apparatus for producing optical glassware, wherein the gas flow is emitted from the one end of the tube 50. 8. Apparatus for manufacturing optical glass products according to claim 7, wherein oxygen is used as the gas stream.
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