JPH1144574A - Laser output-measuring apparatus - Google Patents
Laser output-measuring apparatusInfo
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- JPH1144574A JPH1144574A JP21590497A JP21590497A JPH1144574A JP H1144574 A JPH1144574 A JP H1144574A JP 21590497 A JP21590497 A JP 21590497A JP 21590497 A JP21590497 A JP 21590497A JP H1144574 A JPH1144574 A JP H1144574A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー出力測定
装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser power measuring device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、半導体レーザーや固体レーザー
（Nd:YAG、Yb:YAG、Nd:YVO4 等）などのレーザー出力を
測定するこの種の測定装置は既に知られており、半導体
検出器（フォトダイオード）を用いたものも多く使用さ
れてる。Conventionally, a semiconductor laser or a solid laser (Nd: YAG, Yb: YAG , Nd: YVO 4 , etc.) This kind of measuring device for measuring the laser output, such as are already known, semiconductor detector ( Photodiodes) are also widely used.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のこの種
の測定装置には、未だ次のような種々の問題点が存在す
る。 レーザービームの広がりが大きい半導体レーザーで
は、広がったレーザー光を全て集めて測定器に入れるた
めに、測定器を被測定レーザーに随分近づけなければな
らなず、測定結果が信頼性に欠ける。 高出力の半導体レーザー装置では、冷却器が取り付
けられているのが一般的であり、測定器をその半導体レ
ーザー装置に近づけられない場合には、通常は大きな凸
レンズを用いて広がったレーザー光を集める方法がとら
れており、したがって、その測定には専門的な知識が必
要であり、レーザーへの安全性の観点からも問題があ
る。 従来のレーザー出力検出器は、検出器内部へ正確に
レーザー光を入れなければならず、そのための微調整が
必要であり、したがって、専門的知識を要し、調整時に
保護眼鏡の着用などを要する。 半導体検出器（フォトダイオード）は、赤外線領域
の計測では外部温度によって感度が変わることが知られ
ており、殊に被測定レーザーのパワーが大きい場合の計
測には、センサー自体が熱を持つため、温度補償しない
とレーザー出力検出器が正確な値を表示しない。 従来の半導体検出器（フォトダイオード）では、経
年変化に対する校正をポテンショメータ等のハードウェ
アで行っているため、信頼性の面、小型化の面で問題が
ある。 半導体検出器（フォトダイオード）は、レーザー波
長によって感度が変わることが知られており、波長補償
をしないとレーザー出力検出器が正常な値を表示しな
い。 本発明は、これらの問題点を解決しようとするものであ
る。However, this kind of conventional measuring apparatus still has various problems as follows. In a semiconductor laser having a large spread of a laser beam, in order to collect all the spread laser light into a measuring device, the measuring device must be brought very close to the laser to be measured, and the measurement result lacks reliability. A high-power semiconductor laser device is generally equipped with a cooler, and if the measuring device cannot be brought close to the semiconductor laser device, a large convex lens is used to collect the spread laser light. A method is used, and therefore its measurement requires specialized knowledge and is problematic from the viewpoint of laser safety. Conventional laser power detectors must accurately enter the laser beam inside the detector, which requires fine adjustment, and therefore requires specialized knowledge and requires the wearing of safety glasses when adjusting. . It is known that the sensitivity of semiconductor detectors (photodiodes) varies depending on the external temperature when measuring in the infrared region. Particularly, when the power of the laser to be measured is large, the sensor itself has heat. Without temperature compensation, the laser power detector will not display accurate values. In a conventional semiconductor detector (photodiode), calibration with respect to aging is performed by hardware such as a potentiometer, so there is a problem in terms of reliability and miniaturization. It is known that the sensitivity of a semiconductor detector (photodiode) changes depending on the laser wavelength, and unless the wavelength is compensated, the laser output detector does not display a normal value. The present invention seeks to solve these problems.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、ＹＡ
Ｇレーザー等のレーザー光の広がりが小さい平行なレー
ザー用のものであり、レーザー出力検出器の前面に被測
定レーザーからのレーザー光を筒内通過させる筒体を連
ね、該筒体の先端部にそのレーザー光を散乱させる散乱
体を、末端部に部分透過体を設けたことを特徴とする。
この発明は、前記課題の微調整を不要としたことにあ
る。つまり、筒体の先端部に散乱体を設けてその散乱光
を測定するため、散乱体のどの部分にレーザーが当たっ
ても精度にばらつきのない安定した測定が可能である。
また、筒体はその長さを長くとることによって、レーザ
ー出力検出器に入射する光量の減衰と均一化を図ること
ができる。更に、筒体末端部の部分透過体（着色ガラス
フィルター）は、レーザー出力検出器に入射する光量を
調整するためのものであり、レーザー出力の測定範囲を
広げることができる。According to the first aspect of the present invention, a YA is provided.
It is for parallel lasers with a small spread of laser light such as G laser, and a cylinder that allows laser light from the laser to be measured to pass through the cylinder in front of the laser output detector. The scatterer that scatters the laser light is characterized in that a partial transmissive member is provided at the end.
An object of the present invention is to make fine adjustment of the above-mentioned problem unnecessary. That is, since the scatterer is provided at the tip of the cylindrical body and the scattered light is measured, even if the laser hits any part of the scatterer, stable measurement without variation in accuracy can be performed.
Further, by increasing the length of the cylindrical body, the amount of light incident on the laser output detector can be attenuated and made uniform. Furthermore, the partially transmitting body (colored glass filter) at the end of the cylinder is for adjusting the amount of light incident on the laser output detector, and can extend the measurement range of the laser output.
【０００５】請求項２の発明は、レーザー光の広がりが
大きい半導体レーザー用であり、レーザー出力検出器の
前面に被測定レーザーからのレーザー光を通過させる筒
体を連ね、該筒体の先端部にそのレーザー光を散乱させ
る散乱体を、末端部に部分透過体を設け、また、その筒
体の先端に閉板を回転自在に装着するとともに、該閉板
に導光ガラスを貫通させて装備させたことを特徴とす
る。この発明は、半導体レーザーに見られるようなビー
ム発散角の大きいレーザー光の測定のためのものであ
り、前記課題及びの問題点を解決とようとするもの
である。つまり、導光ガラスの先端をレーザー装置に近
づけ、レーザー光を導光ガラス内部に入れることによっ
て、そのレーザー光を該導光ガラスの末端へ的確に導く
ことができ、レーザー出力検出器をレーザー装置に近づ
けたことと実質的に同等の結果を得ることができる。こ
れにより測定器を被測定レーザーに随分近づける必要が
なく、大きな凸レンズも不要であり、安全性も高くなる
とともに、測定も容易になる。また、閉板を回転自在に
することによって、被測定レーザーと導光ガラスの間の
調整を容易にしており、測定をより容易にしている。A second aspect of the present invention is for a semiconductor laser having a large spread of laser light, wherein a front side of a laser output detector is connected to a cylindrical body through which laser light from a laser to be measured passes. A scatterer that scatters the laser light is provided with a partially transmitting body at the end, and a closing plate is rotatably mounted on the tip of the cylindrical body, and light guide glass is penetrated through the closing plate. It is characterized by having made it. The present invention is for measuring a laser beam having a large beam divergence angle as seen in a semiconductor laser, and aims to solve the above problems and problems. In other words, by bringing the tip of the light guide glass close to the laser device and putting the laser light inside the light guide glass, the laser light can be accurately guided to the end of the light guide glass. Can be obtained. This eliminates the necessity of bringing the measuring instrument very close to the laser to be measured, eliminating the need for a large convex lens, increasing safety, and facilitating measurement. Further, by making the closing plate freely rotatable, adjustment between the laser to be measured and the light guide glass is facilitated, and the measurement is further facilitated.
【０００６】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
のレーザー出力測定装置にあって、上記レーザー出力検
出器の内部に温度測定器を組み込み、また、上記レーザ
ー出力検出器の外部にそのレーザー出力検出器からのレ
ーザー出力アナログ検出信号及びその温度測定器からの
温度出力アナログ検出信号をそれぞれデジタル検出信号
に変換するＡ／Ｄ変換器を設け、該Ａ／Ｄ変換器からの
レーザー出力デジタル検出信号及び温度出力デジタル検
出信号を入力してレーザー出力デジタル検出信号を温度
出力デジタル検出信号により予め組み込まれた温度校正
データで解析補償する温度補償解析装置を設け、更に、
そのレーザー出力デジタル検出信号を異なった波長のレ
ーザーに対して予め組み込まれた波長校正データで解析
補償する波長補償装置を設けて成る。この発明は、前記
課題及びの問題点を解決しようとするものである。
つまり、請求項１又は請求項２のレーザー出力測定装置
にあって、温度測定器をレーザー出力検出器の内部に組
み込み、予め組み込まれた温度校正データで温度補償を
することによって、種々の温度環境でもレーザー出力を
高い精度で測定することができる。異なったレーザー波
長の計測に対しては、波長補償装置に被測定レーザーの
波長或いはレーザーの種類を入力することによって、予
め組み込まれた波長校正データで波長補償をする。[0006] The invention of claim 3 is claim 1 or claim 2.
In the laser output measuring device, a temperature measuring device is incorporated inside the laser output detector, and a laser output analog detection signal from the laser output detector and the temperature measuring device are provided outside the laser output detector. A / D converter for converting each of the temperature output analog detection signals from the A / D converter into a digital detection signal is provided, and the laser output digital detection signal and the temperature output digital detection signal from the A / D converter are input, and the laser output digital detection is performed. A temperature compensation analyzer is provided for analyzing and compensating the signal with temperature calibration data incorporated in advance by a temperature output digital detection signal,
A wavelength compensating device is provided for analyzing and compensating the laser output digital detection signal with wavelength calibration data pre-installed for lasers of different wavelengths. The present invention seeks to solve the above problems and problems.
In other words, in the laser output measuring device according to claim 1 or 2, the temperature measuring device is incorporated in the laser output detector, and the temperature is compensated by the temperature calibration data incorporated in advance, so that various temperature environments can be obtained. However, the laser output can be measured with high accuracy. For measurement of different laser wavelengths, the wavelength compensation is performed by inputting the wavelength of the laser to be measured or the type of laser into the wavelength compensating device, and using the wavelength calibration data incorporated in advance.
【０００７】請求項４の発明は、請求項１、請求項２又
は請求項３記載のレーザー出力測定装置にあって、上記
レーザー出力検出器の内部に、外部から基準となる信号
の最大値及び最小値を入力し、自動的にレーザー出力デ
ジタル検出信号の最大値及び最小値に調整する装置を設
けて成る。この発明は、前記課題の問題点を解決しよ
うとするものである。つまり、レーザー出力検出器の経
年変化等に対する補正を可能にし、計測の高い精度の可
能にする。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the laser output measuring device according to the first, second or third aspect, wherein the maximum value of a reference signal from the outside and the maximum value are set inside the laser output detector. A device for inputting the minimum value and automatically adjusting the maximum value and the minimum value of the laser output digital detection signal is provided. The present invention is intended to solve the above problems. In other words, it is possible to correct the aging of the laser output detector or the like, and to achieve high measurement accuracy.
【０００８】[0008]
その1.図１は、請求項１の発明に係るレーザー出力測定
装置の実施の形態を示している。図示のものは、レーザ
ー出力検出器１の前面に、被測定レーザーからのレーザ
ー光を筒内通過させる筒体２を螺着して連ね、該筒体の
先端部にそのレーザー光を散乱透過させる散乱体３を、
末端部に部分透過体４を設けている。筒体２は、例え
ば、アルミニウムにより漏斗状（乃至単なる筒状）に形
成して、内壁を黒アルマイト処理して光を吸収する黒色
にしたものがよい。また、散乱体３は、スリガラス或い
は乳白色のガラス等の板体がよく、部分透過体４は、黒
色或いは着色ガラスの板体（ガラスフィルタ）がよい。
筒体２の先端部の散乱体３は、筒体２の先端部内側に設
けた凹段部５と該凹段部の直前に嵌めたＯリング６とに
より、その他適宜固定手段により周縁部において挟持固
定する。また、筒体２の末端部の部分透過体４は、筒体
２の末端面に周縁部にて接着、その他の適宜固定手段に
より固定する。レーザー出力検出器１は、金属ケース７
の内部に、プリント配線基板８に固定したセンサー９を
上記末端部の部分透過体４に対面させて配備させ、その
プリント配線基板８の背後にセンサー９と電気的に結線
したアンプ等の所要内蔵回路10を内装し、また、金属ケ
ース７の背面には、その内蔵回路等と外部回路とを電気
的に連ねるコネクタ11を設ける。1. FIG. 1 shows an embodiment of a laser output measuring apparatus according to the first aspect of the present invention. In the drawing, a cylinder 2 that allows laser light from a laser to be measured to pass through the cylinder is screwed and connected to the front surface of the laser output detector 1, and the laser light is scattered and transmitted to the tip of the cylinder. The scatterer 3
A partially transparent body 4 is provided at the end. The tubular body 2 is preferably formed in a funnel shape (or simply a tubular shape) of aluminum, for example, and the inner wall is made black by alumite treatment to absorb light. The scatterer 3 is preferably a plate made of ground glass or milky white glass, and the partial transmissive member 4 is preferably a plate (glass filter) made of black or colored glass.
The scatterer 3 at the distal end of the cylindrical body 2 has a concave step portion 5 provided inside the distal end portion of the cylindrical body 2 and an O-ring 6 fitted immediately before the concave step portion. Hold and fix. The partially transparent body 4 at the end of the cylindrical body 2 is adhered to the end surface of the cylindrical body 2 at the peripheral edge, and is fixed by other appropriate fixing means. The laser output detector 1 has a metal case 7
The sensor 9 fixed to the printed wiring board 8 is disposed facing the partial transmissive body 4 at the above-mentioned end portion, and a required built-in amplifier and the like electrically connected to the sensor 9 behind the printed wiring board 8. A circuit 10 is provided inside, and a connector 11 for electrically connecting a built-in circuit or the like to an external circuit is provided on the rear surface of the metal case 7.
【０００９】如上の構成であるから、筒体２の直前に置
かれた被測定レーザーからのレーザー光は、まず、散乱
体３で散乱され、筒体２を通り、部分透過体４で光量減
衰されてセンサー９に至り、該センサーでそのレーザー
光がアナログ検出信号に変換され、内蔵回路10で所要の
処理の後、コネクタ11から外部へレーザー出力検出信号
として出力される。この場合、筒体２の先端が広く開口
するので、被測定レーザーを容易に筒体２内へ入れるこ
とができ、しかも、このレーザー光が散乱体３で散乱さ
れるから、少々方向的に不具合があっても均一化して的
確にセンサー９へと送ることができ、前記乃至の問
題点を解決できる。また、波長1.07ミクロンメートルよ
りも波長の短い固体レーザー（Nd:YAG、Yb:YAG、Nd:YVO
4 等）のレーザー出力の測定には特に威力を発揮する。With the above configuration, the laser beam from the laser to be measured placed immediately before the cylinder 2 is first scattered by the scatterer 3, passes through the cylinder 2, and is attenuated by the partial transmission body 4. Then, the laser light is converted into an analog detection signal by the sensor, and after a necessary process is performed by the built-in circuit 10, the laser light is output from the connector 11 to the outside as a laser output detection signal. In this case, since the tip of the cylindrical body 2 is widely opened, the laser beam to be measured can be easily introduced into the cylindrical body 2, and since the laser light is scattered by the scatterer 3, there is a slight problem in the direction. Even if there is, it can be uniformly sent to the sensor 9 accurately, and the above-mentioned problems can be solved. In addition, solid-state lasers with wavelengths shorter than 1.07 μm (Nd: YAG, Yb: YAG, Nd: YVO
It is especially effective for measuring the laser output of 4 ).
【００１０】その2.図２乃至図４は、請求項２の発明に
係るレーザー出力測定装置の実施の形態を示している。
図示のものは、図１のものにおいて、その筒体２の先端
に閉板12を回転自在に装着するとともに、該閉板に直方
体の導光ガラス13を貫通させて装備させ、また、筒体２
の先端部に回転調整した閉板12を締結するねじ14を貫通
螺装させる。導光ガラス13の先端面、末端面及び側面は
全て光学研磨する。その先端面と末端面を除き周面には
レーザー光の全反射鏡処理を施してもよい。なお、導光
ガラス13は、直方体に限るものではなく、図５に示す台
形状、図６に示す円形棒状等のものであってもよい。FIG. 2 to FIG. 4 show an embodiment of a laser output measuring apparatus according to the second aspect of the present invention.
In the drawing shown in FIG. 1, a closing plate 12 is rotatably mounted at the tip of the cylindrical body 2 and a rectangular parallelepiped light guide glass 13 is penetrated through the closing plate. 2
A screw 14 for fastening the rotation-adjusted closing plate 12 is threaded through the tip of the. The front end face, the end face, and the side face of the light guide glass 13 are all optically polished. Except for the front end surface and the end surface, the peripheral surface may be subjected to a laser beam total reflection mirror treatment. The light guide glass 13 is not limited to a rectangular parallelepiped, but may have a trapezoidal shape shown in FIG. 5 or a circular rod shape shown in FIG.
【００１１】この場合、導光ガラス13の先端を、図３に
示すように、冷却器（例えばペルチエ冷却器）15の付い
た半導体レーザーアレイ16に近づけ、該半導体レーザー
アレイ中の広い横幅を有する半導体レーザーから出射さ
れる広がりのあるレーザー光を全て導光ガラス13に受光
させる。この際、導光ガラス13は、閉板12を適宜に回転
させて向きを調整する。このレーザー光は、導光ガラス
13を経て筒体２内へと送られ、以下、図１の場合と同様
にして測定される。この場合、レーザー光が導光ガラス
13により的確に案内されるので、従来の測定器を半導体
レーザー装置に近づけられない場合にも、導光ガラス13
の先端を半導体レーザー出射面から数ミリ以内に近づけ
ることが可能であり、半導体レーザー光を導光ガラス13
内部に入れてレーザー出力検出器１に導くことができ
る。したがって、凸レンズを要せず、前記の問題点を
解決でき、勿論、前記及びの問題点も解決でき、特
に、半導体レーザーのレーザー出力の測定に威力を発揮
する。In this case, as shown in FIG. 3, the tip of the light guide glass 13 is brought close to a semiconductor laser array 16 provided with a cooler (for example, a Peltier cooler) 15 and has a wide width in the semiconductor laser array. The light guide glass 13 receives all of the widespread laser light emitted from the semiconductor laser. At this time, the direction of the light guide glass 13 is adjusted by appropriately rotating the closing plate 12. This laser light is light guide glass
It is sent to the inside of the cylinder 2 through 13 and is measured in the same manner as in the case of FIG. In this case, the laser light is
13 guides the light guide glass even when the conventional measuring device cannot be approached by the semiconductor laser device.
Of the semiconductor laser can be brought within a few millimeters from the emitting surface of the semiconductor laser.
It can be introduced inside and guided to the laser output detector 1. Therefore, the above-mentioned problems can be solved without the need for a convex lens, and of course, the above-mentioned problems can also be solved, which is particularly effective in measuring the laser output of a semiconductor laser.
【００１２】その3.図７は、請求項３の発明に係るレー
ザー出力測定装置の実施の形態を示している。請求項３
の発明は、図１、図２のレーザー出力測定装置にあっ
て、上記レーザー出力検出器１の内部に温度測定器17を
組み込み、レーザー出力検出器１の外部にそのレーザー
出力検出器からのレーザー出力アナログ検出信号及びそ
の温度測定器からの温度出力アナログ検出信号をそれぞ
れデジタル検出信号に変換するＡ／Ｄ変換器18を設け、
該Ａ／Ｄ変換器からのレーザー出力デジタル検出信号及
び温度出力デジタル検出信号を入力してレーザー出力デ
ジタル検出信号を温度出力デジタル検出信号により予め
組み込まれた温度校正データで解析補償する温度補償解
析装置19を設ける。また、そのレーザー出力デジタル検
出信号を異なったレーザー波長の計測に対して波長補償
する波長補償装置20を設ける。FIG. 7 shows an embodiment of a laser output measuring apparatus according to the third aspect of the present invention. Claim 3
The invention of the laser output measuring apparatus shown in FIGS. 1 and 2 incorporates a temperature measuring device 17 inside the laser output detector 1 and a laser from the laser output detector outside the laser output detector 1. An A / D converter 18 for converting the output analog detection signal and the temperature output analog detection signal from the temperature measuring device into digital detection signals, respectively;
A temperature compensation analyzer which receives a laser output digital detection signal and a temperature output digital detection signal from the A / D converter and analyzes and compensates the laser output digital detection signal with temperature calibration data pre-installed by the temperature output digital detection signal. 19 will be provided. Further, a wavelength compensating device 20 is provided for compensating the laser output digital detection signal for the measurement of a different laser wavelength.
【００１３】これにより、レーザー出力検出器１のセン
サー９が半導体（フォトダイオード）であり、赤外線領
域の計測において外部温度によって、或いは、被測定レ
ーザーのパワーが大きいためにセンサー自体が熱を持つ
ことによって、感度が変わることがあっても、これに相
応した温度補償ができて、正確な測定値を得ることがで
き、また、波長の異なったレーザーに対しても波長補償
することができ、前記及びの問題点を解決できる。Accordingly, the sensor 9 of the laser output detector 1 is a semiconductor (photodiode), and the sensor itself has heat due to the external temperature in the measurement in the infrared region or due to the large power of the laser to be measured. Due to this, even if the sensitivity changes, the temperature can be compensated correspondingly, accurate measurement values can be obtained, and the wavelength can be compensated for lasers with different wavelengths. And can be solved.
【００１４】その4.図８は、請求項４の発明に係るレー
ザー出力測定装置の実施の形態を示している。図示のも
のは、図１、図２のレーザー出力測定装置にあって、上
記レーザー出力検出器１の内部に、外部からの基準とな
る信号に基づき最大値−最小値を自動調整する装置21を
設ける。FIG. 8 shows an embodiment of a laser output measuring apparatus according to the fourth aspect of the present invention. The device shown in the figure is the laser output measuring device shown in FIGS. 1 and 2, and a device 21 for automatically adjusting the maximum value-minimum value based on an external reference signal is provided inside the laser output detector 1. Provide.
【００１５】これにより、レーザー出力検出器１の経年
変化等に対する補正を、外部から基準となる信号を入力
することで、レーザー出力測定装置内部のソフトウェア
によって自動的に行うことができ、最大値−最小値、高
い精度の計測が可能となり、前記の問題点を解決でき
る。Thus, the correction for the aging of the laser output detector 1 or the like can be automatically performed by software inside the laser output measuring device by inputting a reference signal from the outside, and the maximum value- Measurement with a minimum value and high accuracy becomes possible, and the above problem can be solved.
【００１６】[0016]
【発明の効果】請求項１の発明によれば、凸レンズを用
いることも被測定レーザーに随分近づけけることもなし
に、広がったレーザー光を全て導入でき、かつ、散乱体
により少々方向的に不具合があっても全てを的確にレー
ザー出力検出器へ導くことができ、したがって、出力変
動を抑制することができて、高精度の信頼性の高い測定
ができ、また、レーザー光の入射位置の影響受けにくい
ので、微調整も不要であり、測定値の再現性も高いもの
とすることができ、専門的な知識ががなくとも、安全に
測定できる。According to the first aspect of the present invention, it is possible to introduce all of the spread laser light without using a convex lens and without making the measured laser very close to the laser to be measured. Can accurately guide everything to the laser output detector, thus suppressing output fluctuations, enabling highly accurate and highly reliable measurement, and the effect of the incident position of laser light. Since it is hard to receive, fine adjustment is not required, the reproducibility of the measured value can be made high, and the measurement can be performed safely without special knowledge.
【００１７】請求項２の発明によれば、従来の測定器を
半導体レーザー装置に近づけられない場合にも、導光ガ
ラスの先端を半導体レーザー出射面へ近づけることがで
きて、半導体レーザー光を導光ガラス内部に入れてレー
ザー出力検出器に的確に導くことができ、凸レンズを要
せず、また、閉板の回転で導光ガラスの方向を簡単かつ
容易に調整でき、しかも、散乱体により出力変動を抑制
することができて、高精度で信頼性の高い測定ができ、
専門的な知識ががなくとも、安全に測定できる。更に、
導光ガラスは電気絶縁体であることから、不用意にレー
ザー装置に接触した場合でも電気的にショートする心配
がない。According to the second aspect of the present invention, even when the conventional measuring instrument cannot be brought close to the semiconductor laser device, the tip of the light guide glass can be brought close to the semiconductor laser emission surface, and the semiconductor laser light can be guided. It can be placed inside the light glass and guided to the laser output detector accurately, without the need for a convex lens, and the direction of the light guide glass can be easily and easily adjusted by rotating the closed plate, and output by the scatterer Fluctuation can be suppressed, and highly accurate and reliable measurement can be performed.
It can be safely measured without specialized knowledge. Furthermore,
Since the light guide glass is an electrical insulator, there is no fear of electrical short-circuiting even when carelessly contacting the laser device.
【００１８】請求項３の発明によれば、レーザー出力検
出器が半導体検出器であり、外部温度や自己の発熱によ
り感度が変わることがあってもこれを温度補償でき、ま
た、レーザー波長の変動に対しても波長補償することが
できて、使用温度環境の影響を受けずに高い精度でレー
ザー出力を検出することができる。According to the third aspect of the present invention, the laser output detector is a semiconductor detector, and the sensitivity can be compensated for even if the sensitivity changes due to external temperature or self-generated heat. Can be wavelength-compensated, and the laser output can be detected with high accuracy without being affected by the operating temperature environment.
【００１９】請求項４の発明によれば、レーザー出力検
出器の経年変化等による変動を外部からの基準となる信
号で自動的に補正でき、直線性を向上させることができ
て、高い精度の計測ができる。According to the fourth aspect of the invention, fluctuations due to aging of the laser output detector and the like can be automatically corrected by a signal serving as an external reference, linearity can be improved, and high accuracy can be achieved. Can measure.
【図１】 請求項１の発明に係るレーザー出力測定装置
の実施の形態を示す構成要領縦断側面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional side view showing a configuration of an embodiment of a laser power measuring apparatus according to the present invention.
【図２】 請求項２の発明に係るレーザー出力測定装置
の実施の形態を示す構成要領縦断側面図である。FIG. 2 is a vertical sectional side view showing a configuration of a laser power measuring apparatus according to an embodiment of the present invention;
【図３】 同実施の形態における冷却器付き半導体レー
ザーアレイを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a semiconductor laser array with a cooler in the embodiment.
【図４】 同実施の形態における導光ガラスを示す斜視
図である。FIG. 4 is a perspective view showing the light guide glass in the embodiment.
【図５】 請求項２の発明に係るレーザー出力測定装置
における他の導光ガラスを示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing another light guide glass in the laser output measuring device according to the invention of claim 2;
【図６】 請求項２の発明に係るレーザー出力測定装置
における更に他の導光ガラスを示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing still another light guide glass in the laser output measuring device according to the second aspect of the present invention.
【図７】 請求項３の発明に係るレーザー出力測定装置
の実施の形態を示す構成要領説明図である。FIG. 7 is an explanatory view showing a configuration of a laser power measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図８】 請求項４の発明に係るレーザー出力測定装置
の実施の形態を示す構成要領説明図である。FIG. 8 is an explanatory view showing the configuration of a laser power measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
１…レーザー出力検出器 ２…筒体 ３…散乱体 ４…部分透過体 ５…凹段部 ６…Ｏリング ７…金属ケース ８…プリント配線基
板 ９…センサー 10…内蔵回路 11…コネクタ 12…閉板 13…導光ガラス 14…ねじ 15…冷却器 16…半導体レーザー
アレイ 17…温度測定器 18…Ａ／Ｄ変換器 19…温度補償解析装置 20…波長補償装置 21…自動的に最大値−最小値を調整する装置DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser output detector 2 ... Cylindrical body 3 ... Scattering body 4 ... Partially transmitting body 5 ... Concave step part 6 ... O-ring 7 ... Metal case 8 ... Printed wiring board 9 ... Sensor 10 ... Built-in circuit 11 ... Connector 12 ... Closed Plate 13 Light guide glass 14 Screw 15 Cooler 16 Semiconductor laser array 17 Temperature measuring device 18 A / D converter 19 Temperature compensation analyzer 20 Wavelength compensator 21 Automatically maximum-minimum Device for adjusting values
Claims (4)
ザーからのレーザー光を筒内通過させる筒体を連ね、該
筒体の先端部にそのレーザー光を散乱させる散乱体を、
末端部に部分透過体を設けたことを特徴とするレーザー
出力測定装置。1. A cylindrical body for passing laser light from a laser to be measured in a cylinder on the front surface of a laser output detector, and a scatterer for scattering the laser light at a tip end of the cylindrical body.
A laser output measuring device characterized in that a partially transmitting body is provided at an end.
ザーからのレーザー光を通過させる筒体を連ね、該筒体
の先端部にそのレーザー光を散乱させる散乱体を、末端
部に部分透過体を設け、また、その筒体の先端に閉板を
回転自在に装着するとともに、該閉板に導光ガラスを貫
通させて装備させたことを特徴とするレーザー出力測定
装置。2. A cylindrical body for passing laser light from a laser to be measured is connected to a front surface of a laser output detector, and a scatterer for scattering the laser light is provided at a tip of the cylindrical body, and a partially transmitting body is provided at an end. A laser output measuring device, wherein a closing plate is rotatably mounted on the tip of the cylindrical body, and the closed plate is provided with a light guide glass penetrating therethrough.
定器を組み込み、上記レーザー出力検出器の外部にその
レーザー出力検出器からのレーザー出力アナログ検出信
号及びその温度測定器からの温度出力アナログ検出信号
をそれぞれデジタル検出信号に変換するＡ／Ｄ変換器を
設け、該Ａ／Ｄ変換器からのレーザー出力デジタル検出
信号及び温度出力デジタル検出信号を入力してレーザー
出力デジタル検出信号を温度出力デジタル検出信号によ
り予め組み込まれた温度校正データで解析補償する温度
補償解析装置を設け、更に、そのレーザー出力デジタル
検出信号を異なった波長のレーザーに対して予め組み込
まれた波長校正データで解析補償する波長補償装置を設
けた請求項１又は請求項２記載のレーザー出力測定装
置。3. A temperature measuring device is incorporated inside the laser output detector, and a laser output analog detection signal from the laser output detector and a temperature output analog detection from the temperature measuring device are provided outside the laser output detector. An A / D converter for converting each signal into a digital detection signal is provided, and a laser output digital detection signal and a temperature output digital detection signal from the A / D converter are input, and the laser output digital detection signal is detected as a temperature output digital detection. A temperature compensation analyzer that analyzes and compensates with the temperature calibration data pre-installed by the signal is provided, and the laser output digital detection signal is analyzed and compensated by the wavelength calibration data pre-installed for lasers of different wavelengths. 3. The laser output measuring device according to claim 1, further comprising a device.
から基準となる信号の最大値及び最小値を入力し、自動
的にレーザー出力デジタル検出信号の最大値及び最小値
に調整する装置を設けた請求項１、請求項２又は請求項
３記載のレーザー出力測定装置。4. A device for inputting the maximum value and minimum value of a reference signal from the outside from the outside of the laser output detector and automatically adjusting the maximum value and the minimum value of the laser output digital detection signal is provided. The laser output measuring device according to claim 1, 2 or 3.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21590497A JPH1144574A (en) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | Laser output-measuring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21590497A JPH1144574A (en) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | Laser output-measuring apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1144574A true JPH1144574A (en) | 1999-02-16 |
Family
ID=16680189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21590497A Pending JPH1144574A (en) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | Laser output-measuring apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1144574A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102706446A (en) * | 2012-05-18 | 2012-10-03 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | Large-angle used sampling attenuation device of array detector |
| JP2019531466A (en) * | 2016-08-05 | 2019-10-31 | プライムス・ゲーエムベーハー・メステヒニク・フュア・ディ・プロダクチオン・ミット・レーザーシュトラールング | Beam power measurement by beam expansion |
-
1997
- 1997-07-24 JP JP21590497A patent/JPH1144574A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102706446A (en) * | 2012-05-18 | 2012-10-03 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | Large-angle used sampling attenuation device of array detector |
| JP2019531466A (en) * | 2016-08-05 | 2019-10-31 | プライムス・ゲーエムベーハー・メステヒニク・フュア・ディ・プロダクチオン・ミット・レーザーシュトラールング | Beam power measurement by beam expansion |
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