JPH11274887A - Surface acoustic wave converter - Google Patents

Surface acoustic wave converter

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JPH11274887A
JPH11274887A JP7820798A JP7820798A JPH11274887A JP H11274887 A JPH11274887 A JP H11274887A JP 7820798 A JP7820798 A JP 7820798A JP 7820798 A JP7820798 A JP 7820798A JP H11274887 A JPH11274887 A JP H11274887A
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JP
Japan
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surface acoustic
acoustic wave
notch
positive
electrode
Prior art date
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Pending
Application number
JP7820798A
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Japanese (ja)
Inventor
Seiichiro Takahashi
誠一郎 高橋
Masao Takeuchi
正男 竹内
Kazuhiko Yamanouchi
和彦 山之内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority to JP7820798A priority Critical patent/JPH11274887A/en
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently and stably excite surface acoustic wave without any notch in the frequency characteristic in a using band by specifying the length of crossing part of positive and negative electrodes, the length of their noncrossing part and the width of bus bars, which are respectively parts of interdigital electrodes, at a prescribed ratio. SOLUTION: When the length of crossing part of electrodes 1, 2 of an interdigital electrodes is set a1, the length of noncrossing part is set a2 and the widths of the bus bars 3 and 4 to be a3, the values of a1 to a3 are respectively varied to satisfy a prescribed relation to prevent the generation of a notch frequency. A notch exists not only in a specific frequency but exists with specific distribution by setting a specific frequency to be a peak. Then, the existence of the notch with respect to frequency characteristic causes the increase of an insertion loss not only in a specific frequency but extending the whole using band. Namely, the insertion loss can be reduced by preventing the notch.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、すだれ状電極を有
する弾性表面波変換器に関し、特に使用帯域に於いて効
率よく、安定して弾性表面波を励振及び受信することの
可能な弾性表面波変換器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave converter having interdigital electrodes, and more particularly to a surface acoustic wave capable of efficiently and stably exciting and receiving a surface acoustic wave in a band of use. Related to a converter.

【0002】[0002]

【従来技術】従来から用いられている、ニオブ酸リチュ
ウム等の圧電性又は電歪性を有する基板上に正負の電極
となるすだれ状電極がアルミニュウム薄膜等の金属薄膜
により形成された弾性表面波変換器について、電極構成
を図4A、図4Bに示す。図に示すように弾性表面波を
励振させる正負の電極指1及び2、バスバー3及び4、
電気信号を与える端子5及び6により構成されており、
正負の電極指1及び2の電極幅及び電極指対の配置され
る周期は電極のどの部分に於いても一定である。
2. Description of the Related Art Conventionally used surface acoustic wave converters in which interdigital electrodes serving as positive and negative electrodes are formed of a metal thin film such as an aluminum thin film on a piezoelectric or electrostrictive substrate such as lithium niobate. FIG. 4A and FIG. 4B show the electrode configuration of the vessel. As shown in the figure, positive and negative electrode fingers 1 and 2 for exciting surface acoustic waves, bus bars 3 and 4,
It is composed of terminals 5 and 6 for supplying an electric signal,
The electrode width of the positive and negative electrode fingers 1 and 2 and the period in which the electrode finger pairs are arranged are constant in any part of the electrodes.

【0003】また、弾性表面波変換器に帯域幅を持たせ
るため、あるいはコンボルバ等に用ることを目的として
弾性表面波変換器に方向性を持たせるために、図5に示
す電極構成の平面図のように電極指の幅及び電極指対の
配置される周期を徐々に変化させた分散型の構成をとる
場合もある。更に、図6に示す本願発明者が特開平9−
261001に於いて開示する弾性表面波変換器のよう
に、電極指の幅及び電極指対の配置される周期の変化の
方向が同一で中心周波数が異なる複数個の分散型すだれ
電極を一つの弾性表面波伝搬路上に配置する構成を取る
ことにより、広帯域化への対応を行う場合もある。
Further, in order to provide a surface acoustic wave converter with a bandwidth or to provide a directionality to a surface acoustic wave converter for use in a convolver or the like, a plane configuration of an electrode configuration shown in FIG. As shown in the figure, a dispersion type configuration in which the width of the electrode fingers and the cycle in which the electrode finger pairs are arranged is gradually changed may be employed. Further, the present inventor shown in FIG.
As in the surface acoustic wave transducer disclosed in No. 261001, a plurality of dispersed interdigital transducers having the same width of the electrode finger and the same direction of the change of the period in which the electrode finger pair is arranged and different center frequencies are used as one elastic wave electrode. By adopting a configuration in which the antenna is arranged on a surface acoustic wave propagation path, there is a case where a response to a wider band is performed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、広帯域
分散型すだれ状電極を有する弾性表面波変換器の実用可
能な比帯域は一般的に約20%までとされていた。即
ち、中心周波数が300MHzであれば、帯域は270
〜330MHz程度が実用上の限度とされていた。
However, a practical fractional bandwidth of a surface acoustic wave converter having a broadband interdigital transducer is generally limited to about 20%. That is, if the center frequency is 300 MHz, the band is 270
The practical limit was about 330 MHz.

【0005】例えば弾性表面波変換器の電極構成に於い
て電極幅及び電極対の配置される周期のみを中心周波数
300MHz、比帯域を約60%の広帯域に対応させた
弾性表面波変換器を用いたフィルターを構成した場合、
実際の周波数特性に於いてはスプリアス等にも起因する
と思われる通過しない周波数(以下ノッチと称する。)
が観察されたため、実用時に於いてはノッチを避ける形
で比帯域を決定せざるを得なかった
For example, in the electrode configuration of a surface acoustic wave converter, only the electrode width and the period in which the electrode pairs are arranged are used with a center frequency of 300 MHz and a specific band corresponding to a wide band of about 60%. If you configure the filter
In the actual frequency characteristic, a frequency that does not pass is considered to be caused by spurious or the like (hereinafter referred to as a notch).
Was observed, so in practical use the fractional band had to be determined in such a way as to avoid notches.

【0006】本発明は上述の問題に鑑み、使用帯域に於
いて周波数特性上ノッチを生じることなく、効率よく且
つ安定して弾性表面波を励振することの可能な弾性表面
波変換器を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and provides a surface acoustic wave converter capable of efficiently and stably exciting a surface acoustic wave without generating a notch in the frequency characteristic in a used band. The purpose is to:

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明に係る弾性表面波変換器は、圧電性又は電
歪性の基板上に、電極幅及び周期が一方向に向かって徐
々に変化する少なくとも一組の正及び負の電極が交互に
配置されたすだれ状電極と、正又は負の電極の何れか一
方と接続された正又は負のバスバーとを有する弾性表面
波変換器に於いて、すだれ状電極の一部であって正及び
負の電極の交差している部分の長さ、すだれ状電極の一
部であって正及び負の電極の交差していない部分の長
さ、及びバスバーの幅とが所定の比率を有するものとし
た。
In order to achieve the above-mentioned object, a surface acoustic wave converter according to the present invention comprises a piezoelectric or electrostrictive substrate having an electrode width and a period in one direction. A surface acoustic wave transducer having at least one set of gradually changing positive and negative electrodes interleaved interdigital electrodes and a positive or negative bus bar connected to either the positive or negative electrode. The length of the part of the interdigital transducer where the positive and negative electrodes intersect, and the length of the part of the interdigital transducer where the positive and negative electrodes do not intersect And the width of the bus bar has a predetermined ratio.

【0008】[0008]

【作用】以下に図を用いて本発明の作用について説明す
る。尚、従来技術に於いて示した構成要素と同一の構成
要素については同一の符号で示す。図1に本発明に係る
弾性表面波変換器に於ける電極構成を説明するための電
極の平面図を示す。
The operation of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same components as those shown in the prior art are denoted by the same reference numerals. FIG. 1 is a plan view of an electrode for describing an electrode configuration in a surface acoustic wave converter according to the present invention.

【0009】図1に示す分散型すだれ電極において、バ
スバー3及び4の長さをb3とし、電極指1及び2の交
差部分の長さをa1、当該交差部分であってバスバーの
長さ方向に連続するa1×b3で示される領域をA1と
する。次に電極指1及び2の、交差していない部分の長
さをa2、当該交差していない部分であってバスバーの
長さ方向に連続するa2×b3で示される二つの領域を
それぞれA2とし、バスバー3及び4の幅をa3とし、
バスバー3及び4上の領域をそれぞれA3とし、バスバ
ー3及び4の外部であって電極指1及び2と異なる側の
領域をA4とする。
In the interdigital electrode shown in FIG. 1, the length of the bus bars 3 and 4 is b3, the length of the intersection of the electrode fingers 1 and 2 is a1, and the intersection is the length of the bus bar. A continuous area indicated by a1 × b3 is defined as A1. Next, the lengths of the non-intersecting portions of the electrode fingers 1 and 2 are denoted by a2, and the two non-intersecting portions indicated by a2 × b3 continuous in the length direction of the bus bar are denoted by A2. , The width of the bus bars 3 and 4 is a3,
Areas on the busbars 3 and 4 are A3, respectively, and areas outside the busbars 3 and 4 on the side different from the electrode fingers 1 and 2 are A4.

【0010】従来技術に於いては、例えば特公平6−8
5492に示されるように弾性表面波変換器に於ける主
たる励振部分であるa1若しくはa1/(a1+2×a
2)についてのみ着目している。しかし、弾性表面波は
領域A1、A2、A3、A4においてそれぞれ存在し、
且つ各領域に於ける弾性表面波のエネルギー、速度、方
向はそれぞれ異なることから、電極構成上意図しない周
波数に於けるノッチはこれら各領域の弾性表面波の相互
作用等によって弾性表面波変換器自体が導波路としてふ
るまい、この導波路に於いては発生した表面波が弱ま
る、あるいは表面波どうしの相互作用により打ち消し合
う等の障害が生じ、主たる励振部分のみでは対応できな
いと考えられる。
[0010] In the prior art, for example, Japanese Patent Publication 6-8
As shown by 5492, a1 or a1 / (a1 + 2 × a) which is a main excitation part in the surface acoustic wave converter
We focus only on 2). However, the surface acoustic waves exist in the regions A1, A2, A3, and A4, respectively.
In addition, since the energy, velocity, and direction of the surface acoustic wave in each region are different from each other, the notch at an unintended frequency in the electrode configuration is caused by the interaction of the surface acoustic wave in each region, etc. Can act as a waveguide, and in this waveguide, the generated surface waves are weakened, or obstacles such as mutual cancellation by the interaction of the surface waves occur, and it is considered that only the main excitation portion cannot cope.

【0011】本発明は上記考えに基づき、a1、a2、
a3の値をそれぞれ変化させ、これらの値のノッチへの
影響を把握したうえで、各値について所定の関係を満足
させることによりノッチの発生を防止するものである。
尚、端子部分5、6についても弾性表面波のすそは存在
し、影響するものと考えられるが、これについては端子
部分の領域を小さくするあるいは幅を細くする等により
端子部分が存在する効果を最小限に抑えることが可能で
ある。
[0011] The present invention is based on the above idea, and
The value of a3 is changed, the influence of these values on the notch is grasped, and the notch is prevented by satisfying a predetermined relationship for each value.
It is considered that the hem of the surface acoustic wave also exists and influences the terminal portions 5 and 6, but the effect of the presence of the terminal portion by reducing the area of the terminal portion or narrowing the width is considered. It can be minimized.

【0012】上述の説明は、電極が分散型すだれ状電極
構造の場合について述べている。しかしながら、例えば
図4Aに示すような非分散型のすだれ状電極を用いた場
合についても、測定された周波数特性上で観察されるノ
ッチの大きさ又はノッチの周波数が、分散型すだれ状電
極構造の場合と異なる場合もあるが、a1、a2、a3
の各値の変化がノッチに対して及ぼす効果は、分散型す
だれ状電極構造の場合と同様の最適値又は最適範囲が存
在する。又、電極構造がダブルとなる場合あるいは浮き
電極を有する場合等についても上述の効果による、a
1、a2、a3の最適値又は最適領域が存在すると考え
られる。更に上述のような弾性表面波の励振特性及び弾
性表面波変換器自体の導波路特性は、基板の圧電特性又
は電歪特性にも依存し、用いる基板の圧電、電歪特性が
異なれば、使用帯域に於いてノッチを生じさせないため
の電極構造、即ちa1、a2、a3の好ましい値も変化
するが、各値の変化がノッチに及ぼす効果は基板が変化
した場合に於いても同様の最適値又は最適範囲が存在す
ると考えられる。
The above description refers to the case where the electrodes are of a distributed interdigitated electrode configuration. However, for example, even when a non-dispersive interdigital electrode as shown in FIG. 4A is used, the size of the notch or the frequency of the notch observed on the measured frequency characteristics is different from that of the dispersed interdigital electrode structure. Although it may be different from the case, a1, a2, a3
The effect of the change of each value on the notch has the same optimum value or optimum range as in the case of the distributed IDT structure. Also, when the electrode structure becomes double or when there is a floating electrode, etc.
It is considered that the optimal values or optimal regions of 1, a2, and a3 exist. Furthermore, the excitation characteristics of the surface acoustic wave and the waveguide characteristics of the surface acoustic wave converter itself also depend on the piezoelectric or electrostrictive characteristics of the substrate. The electrode structure for preventing the formation of a notch in the band, that is, the preferable values of a1, a2, and a3 also change, but the effect of the change of each value on the notch has the same optimum value even when the substrate changes. Alternatively, it is considered that an optimum range exists.

【0013】尚、ノッチは特定の周波数のみに於いて存
在するのではなく、特定の周波数をピークとして固有の
分布を有して存在している。そのため、周波数特性に対
してのノッチの存在は特定周波数のみならず、使用帯域
全体に渡る挿入損失の増加を生じさせることも考えられ
る。即ち、ノッチの防止により、挿入損失の小さい弾性
表面波変換素子を得ることも可能となる。
The notch does not exist only at a specific frequency, but has a specific distribution with a specific frequency as a peak. For this reason, it is conceivable that the presence of the notch in the frequency characteristic causes an increase in the insertion loss not only at the specific frequency but also over the entire use band. That is, the prevention of the notch makes it possible to obtain a surface acoustic wave conversion element having a small insertion loss.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例について、特にa2及
びa3の値を変化させた弾性表面波変換器一組を用い
て、弾性表面波フィルタを構成し、送、受信を行った場
合の挿入損失特性を示す図を用いてa2及びa3の効果
を説明する。尚、対になる電極の幅及び電極対の配置さ
れる周期は中心周波数300MHz、比帯域が約60%
となるように設定するために、電極指の幅及び電極指対
の配置される周期の変化の方向が同一で中心周波数が異
なる2個の分散型すだれ状電極を一つの弾性表面波伝搬
路上に配置し、圧電性基板としては、YカットZ伝搬の
ニオブ酸リチュウムを、電極1、11及び2、12及び
バスバー3、13及び4、14にはアルミニュウム薄膜
を用いた。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the following, embodiments of the present invention will be described, particularly when a surface acoustic wave filter is constructed using a set of surface acoustic wave converters having varied values of a2 and a3, and transmission and reception are performed. The effects of a2 and a3 will be described with reference to the figures showing the insertion loss characteristics. The width of the paired electrodes and the period in which the paired electrodes are arranged have a center frequency of 300 MHz and a fractional band of about 60%.
In order to set such that, two dispersed interdigital transducers having the same direction of change in the width of the electrode finger and the period in which the electrode finger pair is arranged and different center frequencies are arranged on one surface acoustic wave propagation path. As the piezoelectric substrate, Y-cut Z-propagated lithium niobate was used as the piezoelectric substrate, and aluminum thin films were used for the electrodes 1, 11 and 2, 12 and the bus bars 3, 13, 4, and 14.

【0015】更に、第一の実施例はa1の値は弾性表面
波変換器の使用帯域に於ける中心周波数の3倍(以下3
λと示す。)に固定して行っている。以下実施例につい
て説明する。尚、以下に述べる実施例に於ける周波数特
性に於いて290MHz近傍にノッチが生じているが、
これは特開平9−261001に述べられているように
2個の分散型すだれ状電極の電極間の相互作用によるも
ので本発明の効果に対しては何等関連性を有していな
い。
Further, in the first embodiment, the value of a1 is three times the center frequency (hereinafter 3) of the center frequency in the band used by the surface acoustic wave converter.
Shown as λ. ) Fixed. Hereinafter, embodiments will be described. In the frequency characteristics in the embodiments described below, a notch occurs near 290 MHz.
This is due to the interaction between the two interdigital electrodes as described in JP-A-9-261001 and has no relevance to the effect of the present invention.

【0016】本発明に於ける第一の実施例として、2個
の分散型すだれ状電極を用いた場合に於いて、a3の値
を12λと固定し、a2の値をλ、2λ、3λとした場
合のそれぞれの弾性表面波変換器に於ける周波数特性を
図2A、B、Cにそれぞれ示す。図2Aにおいては周波
数274MHzにノッチが観察され、また図2Bにおい
ては周波数248MHzにノッチが観察されるが、図2
Cにおいては低周波領域に於いて若干の減衰傾向が見ら
れるが使用帯域に於いて大きなノッチは観察されなかっ
た。即ち、a2の値を増加させることにより、ノッチを
低周波数側にずらすことが可能であることが分かる。
As a first embodiment of the present invention, when two dispersed interdigital electrodes are used, the value of a3 is fixed at 12λ, and the value of a2 is λ, 2λ, 3λ. FIG. 2A, FIG. 2C, and FIG. 2C show the frequency characteristics of the respective surface acoustic wave converters in the case of performing the above. In FIG. 2A, a notch is observed at a frequency of 274 MHz, and in FIG. 2B, a notch is observed at a frequency of 248 MHz.
In C, a slight attenuation tendency was observed in the low frequency region, but no large notch was observed in the used band. That is, it is understood that the notch can be shifted to the lower frequency side by increasing the value of a2.

【0017】このことから、本実施例のa3の値が12
λとなる場合に於いては、a2の値を3λ以上とするこ
とにより、広帯域に於いてノッチを生じない弾性表面波
変換器が得られることがわかる。但し、a2の値の増加
に伴うノッチの低周波側へのずれに応じより高周波側に
生じていた高次の横モードスプリアス等によるノッチが
使用帯域にはいることが懸念されること、更には、a2
の値の増加は相対的なa1の値の減少となり、その結果
弾性表面波変換器自体の大型化を招くことからも使用帯
域及び弾性表面波変換器の設計上の制約を考慮し、上述
の条件を満足する適当な値とすることが好ましい。
From this, the value of a3 in this embodiment is 12
In the case of λ, it can be seen that by setting the value of a2 to 3λ or more, a surface acoustic wave converter that does not generate a notch in a wide band can be obtained. However, there is a concern that a notch due to a higher-order transverse mode spurious or the like generated on the higher frequency side in accordance with the shift of the notch toward the lower frequency side due to the increase of the value of a2 may enter the used band. , A2
Increase in the value of a1 results in a relative decrease in the value of a1, resulting in an increase in the size of the surface acoustic wave converter itself. It is preferable to set an appropriate value that satisfies the condition.

【0018】次に、a2の値を2λと固定し、a3の値
を3λ、6λ、12λとした場合のそれぞれの弾性表面
波変換器に於ける周波数特性を図3A、B、Cにそれぞ
れ示す。図3Aにおいては使用帯域の最低周波数の近傍
である周波数225MHzにノッチが観察され、また図
3Bにおいては周波数236MHzにノッチが観察さ
れ、図3Cにおいては周波数248MHzにノッチが観
察された。即ち、a3の値を減少させることにより、ノ
ッチを低周波数側にずらすことが可能であることが分か
る。
Next, FIGS. 3A, 3B, and 3C show the frequency characteristics of the respective surface acoustic wave converters when the value of a2 is fixed at 2λ and the value of a3 is 3λ, 6λ, and 12λ. . In FIG. 3A, a notch was observed at a frequency of 225 MHz, which is near the lowest frequency of the used band, in FIG. 3B, a notch was observed at a frequency of 236 MHz, and in FIG. 3C, a notch was observed at a frequency of 248 MHz. That is, it is understood that the notch can be shifted to the lower frequency side by reducing the value of a3.

【0019】このことから、本実施例のa2の値が2λ
となる場合に於いては、a3の値を3λ以下とすること
により、広帯域に於いてノッチを生じない弾性表面波変
換器が得られることが分かる。但しa3の値の減少に伴
うノッチの低周波側へのずれに応じより高周波側に生じ
ていた高次の横モードスプリアス等によるノッチが使用
帯域にはいることが懸念されること、更には、a3の値
の減少はバスバーの直流抵抗成分を増加させることによ
りジュール熱の発生を招き、その結果入力電力に対する
励振効率が低下し、さらにはこれに起因したバスバーの
損耗の恐れもあることから、使用帯域及び弾性表面波変
換器の設計上の制約を考慮し、上述の条件を満足する適
当な値とすることが好ましい。
From this, the value of a2 in this embodiment is 2λ
In this case, it can be understood that by setting the value of a3 to 3λ or less, a surface acoustic wave converter that does not generate a notch in a wide band can be obtained. However, there is a concern that a notch due to a higher-order transverse mode spurious or the like generated on the higher frequency side in accordance with the shift of the notch toward the lower frequency side due to the decrease of the value of a3 may enter the used band. Since the decrease in the value of a3 causes the generation of Joule heat by increasing the DC resistance component of the bus bar, the excitation efficiency with respect to the input power is reduced, and the bus bar may be worn due to this. It is preferable to set an appropriate value that satisfies the above-described conditions in consideration of the band to be used and the design restrictions of the surface acoustic wave converter.

【0020】更に図2A〜C、図3A〜Cに示される周
波数特性に於いて、ノッチが中心周波数に近いほど使用
帯域の全域での挿入損失が増加し、図2Cに於いては使
用帯域全域において−20dB以下の挿入損失となって
いる。即ち、ノッチを使用帯域外とすることにより挿入
損失が低い弾性表面波変換器を得ることも可能となる。
Further, in the frequency characteristics shown in FIGS. 2A to 2C and 3A to 3C, as the notch is closer to the center frequency, the insertion loss in the entire use band increases, and in FIG. At -20 dB or less. That is, it is also possible to obtain a surface acoustic wave converter having a low insertion loss by setting the notch out of the used band.

【0021】尚、本実施例は比帯域60%とした場合に
ついてのa2及びa3の値の個別の効果について述べた
が、上述の効果は相互に関連している。また、例えば本
実施例に於ける弾性表面波変換器を比帯域70%として
用いた場合、a2の値の減少、a3の値の増加又はこれ
らの組合せにより使用帯域に於けるノッチの発生の防止
も可能であることはいうまでもない。更に、例えば弾性
表面波共振子の様な狭帯域向けの弾性表面波変換器に於
いても、本発明に係るa2、a3の値の最適化を図ると
いう方法により使用帯域に於けるノッチの発生及び挿入
損失の増大を防止できることはいうまでもない。
Although the present embodiment has described the individual effects of the values of a2 and a3 when the fractional band is set to 60%, the above effects are mutually related. Further, for example, when the surface acoustic wave converter in the present embodiment is used with a fractional band of 70%, the value of a2 is reduced, the value of a3 is increased, or a combination of the two prevents the occurrence of a notch in the used band. Needless to say, this is also possible. Further, in a surface acoustic wave converter for a narrow band such as a surface acoustic wave resonator, the notch generation in the used band is achieved by optimizing the values of a2 and a3 according to the present invention. Needless to say, an increase in insertion loss can be prevented.

【0022】本発明の第二の実施例として、第一の実施
例に於いて固定したa1の値を2λとした場合に於い
て、a2、a3を変化させた場合のノッチ周波数の変化
を下表1に示す。
As a second embodiment of the present invention, when the fixed value of a1 is 2λ in the first embodiment, the change of the notch frequency when a2 and a3 are changed is as follows. It is shown in Table 1.

【表1】 以上の表に示すように第二の実施例に於いても第一の実
施例と同様のa2、a3、とノッチの関係が確認され
た。更に挿入損失についても、ノッチが存在する場合に
対して、ノッチが存在しない場合に於いてもおよそ10
dBの改善がなされた。
[Table 1] As shown in the above table, the same relationship between a2, a3 and the notch was confirmed in the second embodiment as in the first embodiment. Further, the insertion loss is about 10% in the case where the notch exists, as compared with the case where the notch exists.
A dB improvement was made.

【0023】本発明の第三の実施例として、図4Aに示
すような非分散型のすだれ状電極に於いてa2、a3を
変化させた場合のノッチ周波数の変化を下表に示す。
尚、本実施例に於ける評価は第一及び第二の実施例とは
異なり、中心周波数265MHz、比帯域約0.5%の
狭帯域向けの弾性表面波変換器一組を用い、中心周波数
の挿入損失を測定することにより評価を行っている。
又、a1の値は2.5λに固定している。
As a third embodiment of the present invention, the following table shows changes in the notch frequency when a2 and a3 are changed in a non-dispersion type interdigital electrode as shown in FIG. 4A.
The evaluation in this embodiment is different from those of the first and second embodiments in that a set of surface acoustic wave converters for a narrow band having a center frequency of 265 MHz and a relative band of about 0.5% is used. The evaluation was performed by measuring the insertion loss.
The value of a1 is fixed at 2.5λ.

【表2】 以上の表に示すように第三の実施例における挿入損失の
比較結果に於いても第一の実施例と同様のa2、a3、
と挿入損失の改善の関係が確認され、15dBまでの改
善が確認された。
[Table 2] As shown in the above table, in the comparison results of the insertion loss in the third embodiment, the same a2, a3,
And the improvement of insertion loss was confirmed, and improvement up to 15 dB was confirmed.

【0024】尚、本発明に係る弾性表面波変換器は、図
2Cに示すような周波数特性を有することから、ある周
波数帯域内に於いて特定周波数のみを通過させないノッ
チフィルタ等を構成することも可能である。又、実施例
等により得られた関係から、例えばすでに使用されてい
る弾性表面波変換器に関して、a1、a2、a3、等の
値を用いた計算により逆にノッチの生じる周波数を知る
ことも可能である。
Since the surface acoustic wave converter according to the present invention has frequency characteristics as shown in FIG. 2C, it is also possible to configure a notch filter or the like that does not pass only a specific frequency within a certain frequency band. It is possible. In addition, from the relationship obtained by the embodiments and the like, it is also possible to know the frequency at which a notch is generated by calculation using the values of a1, a2, a3, etc., for a surface acoustic wave converter already used, for example. It is.

【0025】本発明に係る分散型すだれ状電極は、特開
平4−331505号に記載されているように、一方向
性を持たせることが可能である。即ち、すだれ状電極の
金属膜の音響インピーダンスをZm、電極ギャップの音
響インピーダンスをZgとしたとき、Zm/Zgを1よ
り小さくすれば、電極幅及び周期が徐々に小さくなる方
向に強く励振する方向性を持たせることができ、Zm/
Zgを1より大きくすれば、電極幅及び周期が徐々に大
きくなる方向に強く励振する方向性を持たせることがで
きる。又、Zm/Zg=1とするあるいは、すだれ状電
極にダブル電極構造を持たせる等により両方向性を持た
せることも可能である。
The dispersed IDT according to the present invention can be made unidirectional as described in JP-A-4-331505. That is, assuming that the acoustic impedance of the metal film of the interdigital transducer is Zm and the acoustic impedance of the electrode gap is Zg, if Zm / Zg is smaller than 1, a direction in which the electrode width and the period are strongly excited in a direction in which the electrode width and the period gradually decrease. Zm /
When Zg is set to be larger than 1, it is possible to provide a direction in which excitation is strongly performed in a direction in which the electrode width and the period gradually increase. It is also possible to set Zm / Zg = 1, or to make the interdigital electrodes have a double-electrode structure, etc., so as to have bidirectionality.

【0026】更に、特開平7−212184号に記載さ
れているように、電極間のギャップに浮き電極を設けて
一方向性を反転したり、特願平7−347942号で本
発明者らが提案したように電極間のギャップに溝を設け
たりすることにより方向性を制御することが可能であ
る。但し、この場合のa1、a2、a3の最適値は、上
述の値とは異なると考えられる。
Further, as described in JP-A-7-212184, a floating electrode is provided in the gap between the electrodes to reverse the unidirectionality. The directionality can be controlled by providing a groove in the gap between the electrodes as proposed. However, the optimum values of a1, a2, and a3 in this case are considered to be different from the above values.

【0027】[0027]

【効果】本発明によれば、すだれ状電極において、電極
指の交差部分の長さをa1、交差していない部分の長さ
をa2、バスバーの幅をa3としたとき、a1、a2、
a3の値をそれぞれ変化させ、所定の関係を満足させる
ことによりノッチ周波数の発生を防止することが可能と
なり、この結果使用帯域に於いても周波数特性上ノッチ
を生じることなく、効率よく且つ安定して弾性表面波を
励振することの可能な弾性表面波変換器を提供すること
ができる。
According to the present invention, in the interdigital transducer, when the length of the intersecting portion of the electrode fingers is a1, the length of the non-intersecting portion is a2, and the width of the bus bar is a3, a1, a2,
By changing the value of a3 to satisfy a predetermined relationship, it is possible to prevent the occurrence of a notch frequency. As a result, even in the used band, the notch does not occur in the frequency characteristics, and the efficiency and stability are improved. Thus, a surface acoustic wave converter capable of exciting a surface acoustic wave can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける電極構
成を説明するための電極の平面図。
FIG. 1 is a plan view of an electrode for describing an electrode configuration in a surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図2A】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける周波
数特性を示す図。
FIG. 2A is a view showing a frequency characteristic in the surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図2B】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける周波
数特性を示す図。
FIG. 2B is a diagram showing a frequency characteristic in the surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図2C】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける周波
数特性を示す図。
FIG. 2C is a view showing a frequency characteristic in the surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図3A】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける周波
数特性を示す図。
FIG. 3A is a view showing a frequency characteristic in the surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図3B】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける周波
数特性を示す図。
FIG. 3B is a view showing a frequency characteristic in the surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図3C】本発明に係る弾性表面波変換器に於ける周波
数特性を示す図。
FIG. 3C is a diagram showing a frequency characteristic in the surface acoustic wave converter according to the present invention.

【図4A】弾性表面波変換器の従来例における平面図。FIG. 4A is a plan view of a conventional surface acoustic wave converter.

【図4B】図4AにおけるY−Yの断面図。FIG. 4B is a sectional view taken along line YY in FIG. 4A.

【図5】弾性表面波変換器の従来例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a conventional example of a surface acoustic wave converter.

【図6】弾性表面波変換器の従来例を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a conventional example of a surface acoustic wave converter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、2、11、12 電極 3、4、13、14 バスバー 5、6 端子 1, 2, 11, 12 electrode 3, 4, 13, 14 bus bar 5, 6 terminal

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 竹内 正男 東京都町田市高ケ坂1810−1 (72)発明者 山之内 和彦 宮城県仙台市太白区松が丘37−13 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Masao Takeuchi 1810-1 Takagasaka, Machida-shi, Tokyo (72) Inventor Kazuhiko Yamanouchi 37-13 Matsugaoka, Taishiro-ku, Sendai, Miyagi Prefecture

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電性又は電歪性の基板上に、電極幅及
び周期が一方向に向かって徐々に変化する正及び負の電
極が交互に配置されたすだれ状電極と、前記正及び負の
電極とそれぞれ接続された正及び負のバスバーとを有す
る弾性表面波変換器に於いて、 前記すだれ状電極の一部であって正及び負の電極の交差
している部分の長さ、 前記すだれ状電極の一部であって正及び負の電極の交差
していない部分の長さ、及び前記バスバーの幅とが所定
の比率を有することを特徴とする弾性表面波変換器。
An interdigitated electrode in which positive and negative electrodes whose electrode width and period gradually change in one direction are alternately arranged on a piezoelectric or electrostrictive substrate; A surface acoustic wave transducer having positive and negative bus bars respectively connected to the electrodes, wherein the length of a part of the interdigital transducer and at which the positive and negative electrodes intersect, A surface acoustic wave converter, wherein a length of a part of the interdigital electrodes, where the positive and negative electrodes do not intersect, and a width of the bus bar have a predetermined ratio.
【請求項2】 圧電性又は電歪性の基板上に、電極幅及
び周期が一定である正及び負の電極が交互に配置された
すだれ状電極と、前記正及び負の電極とそれぞれ接続さ
れた正及び負のバスバーとを有する弾性表面波変換器に
於いて、 前記すだれ状電極の一部であって正及び負の電極の交差
している部分の長さ、 前記すだれ状電極の一部であって正及び負の電極の交差
していない部分の長さ、及び前記バスバーの幅とが所定
の比率を有することを特徴とする弾性表面波変換器。
2. An interdigital transducer in which positive and negative electrodes having a constant electrode width and period are alternately arranged on a piezoelectric or electrostrictive substrate, and connected to the positive and negative electrodes, respectively. A positive and a negative bus bar, wherein the length of a part of the interdigital electrode, at which the positive and negative electrodes intersect, a part of the interdigital electrode Wherein the length of the non-intersecting portion of the positive and negative electrodes and the width of the bus bar have a predetermined ratio.
【請求項3】 圧電性又は電歪性の基板上に、正及び負
の電極が交互に配置されたすだれ状電極と、前記正及び
は負の電極とそれぞれ接続された正及び負のバスバーと
を有する弾性表面波変換器に於いて、 前記すだれ状電極の一部であって正及び負の電極の交差
している部分の長さ、 前記すだれ状電極の一部であって正及び負の電極の交差
していない部分の長さ、及び前記バスバーの幅とが所定
の比率を有することを特徴とする弾性表面波変換器。
3. An interdigital transducer in which positive and negative electrodes are alternately arranged on a piezoelectric or electrostrictive substrate; and positive and negative bus bars connected to the positive and negative electrodes, respectively. In a surface acoustic wave transducer having: a length of a part of the interdigital electrode, at which a positive and a negative electrode intersect, a part of the interdigital electrode and a positive and a negative A surface acoustic wave converter, wherein a length of a portion of the electrode that does not intersect and a width of the bus bar have a predetermined ratio.
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