JPH11273376A - Control circuit of voltage booster circuit and semiconductor memory device using the same - Google Patents

Control circuit of voltage booster circuit and semiconductor memory device using the same

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JPH11273376A
JPH11273376A JP7637398A JP7637398A JPH11273376A JP H11273376 A JPH11273376 A JP H11273376A JP 7637398 A JP7637398 A JP 7637398A JP 7637398 A JP7637398 A JP 7637398A JP H11273376 A JPH11273376 A JP H11273376A
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voltage
circuit
control circuit
circuits
booster
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Naoaki Sudo
直昭 須藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a control circuit of voltage booster circuit which enables reduction of current dissipation and improvement of data write operation rate in a semiconductor memory device. SOLUTION: The voltage booster circuits 1, 2 are connected in parallel to a load and operations of respective voltage booster circuits are controlled depending on outputs of corresponding comparing circuits 3, 4. Since different reference voltages Vref 1, 2 are applied respectively to these comparing circuits 3, 4, voltage boosting level and number of voltage booster circuits can be controlled automatically with a load condition of the voltage booster circuit. Therefore, the voltage can be impressed step by step in such a manner that a low voltage can be impressed in the former condition of write operation and a high voltage can be impressed in the latter condition thereof.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は昇圧回路の制御回路
及びそれを用いた半導体メモリ装置に関し、特にフラッ
シュメモリなどの不揮発性半導体メモリを負荷とする昇
圧回路の制御回路及びそれを用いた半導体メモリ装置に
関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control circuit for a booster circuit and a semiconductor memory device using the same, and more particularly to a control circuit for a booster circuit using a nonvolatile semiconductor memory such as a flash memory as a load and a semiconductor memory using the same. It concerns the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】フラッシュメモリなどの不揮発性半導体
メモリでは、高電圧をメモリセルに印加することにより
書込みを行う。書込み初期に、高い電圧をメモリセルに
印加した場合、メモリセルの絶縁膜に高電界が印加され
るので、メモリセルが劣化してしまい半導体メモリの寿
命が短くなるという問題がある。そこで、これを回避す
るために、書込み用の高電圧のレベルを下げると書込速
度が低下するという問題が生じる。これらの問題を解決
するため、書込み初期に低い電圧を、書込み後期に高い
電圧を、夫々メモリセルに印加する必要がある。
2. Description of the Related Art In a nonvolatile semiconductor memory such as a flash memory, writing is performed by applying a high voltage to a memory cell. When a high voltage is applied to the memory cell at the beginning of writing, a high electric field is applied to the insulating film of the memory cell, so that the memory cell is deteriorated and the life of the semiconductor memory is shortened. Therefore, in order to avoid this, if the level of the high voltage for writing is reduced, there arises a problem that the writing speed is reduced. In order to solve these problems, it is necessary to apply a low voltage to the memory cell at the early stage of writing and a high voltage at the latter stage of writing.

【0003】このような問題を解決するために、従来で
は特開平1−89100に示すような技術がある。従来
の技術を図5を用いて説明する。図5において、昇圧回
路50の出力をクランプ回路51によってクランプす
る。ここで、タイミング制御回路52により、トランジ
スタ53をオンオフ制御することによってクランプレベ
ルを変化させることができるので、書込み初期にこのト
ランジスタ53をオンにし、書込み後期にこのトランジ
スタ53をオフにすることにより、書込み初期に低い電
圧を、書込み後期に高い電圧を、夫々メモリセルに印加
することができる。
In order to solve such a problem, there is a technique as disclosed in JP-A-1-89100. A conventional technique will be described with reference to FIG. In FIG. 5, the output of the booster circuit 50 is clamped by the clamp circuit 51. Here, the clamp level can be changed by turning on and off the transistor 53 by the timing control circuit 52. Therefore, by turning on the transistor 53 at the beginning of writing and turning off the transistor 53 at the latter stage of writing, A low voltage can be applied to the memory cell at the beginning of writing and a high voltage can be applied to the memory cell at the end of writing.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの回路
では、クランプレベルの変化をタイミングで制御する方
式であるために、電圧を変化させる時間が固定となり、
メモリセルの書込速度がばらついた場合に、目的とする
効果が表れにくいという問題がある。また、常に全ての
昇圧回路が動作しているため、消費電流も大きくなると
いう問題がある。
However, in this circuit, since the change in the clamp level is controlled by timing, the time for changing the voltage is fixed,
When the writing speed of the memory cell varies, there is a problem that a desired effect is hardly exhibited. In addition, since all the boosting circuits are always operating, there is a problem that current consumption increases.

【0005】本発明の目的は、消費電流の削減及び書込
み速度の向上等を可能とした昇圧回路の制御回路及びそ
れを用いた半導体メモリ装置を提供することである。
An object of the present invention is to provide a control circuit of a booster circuit capable of reducing current consumption and improving a writing speed, and a semiconductor memory device using the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、複数の
昇圧回路の出力を互いに共通に接続して共通負荷を駆動
するようにした昇圧回路の制御回路であって、前記共通
負荷の負荷状態に応じて前記複数の昇圧回路の動作制御
を行うようにしたことを特徴とする制御回路がえられ
る。
According to the present invention, there is provided a control circuit for a booster circuit in which outputs of a plurality of booster circuits are commonly connected to each other to drive a common load. An operation control of the plurality of boosting circuits is performed according to a state, thereby obtaining a control circuit.

【0007】そして、前記昇圧回路の各々に対応して設
けられ、前記共通負荷への供給電圧と対応参照電圧とを
夫々比較する複数の比較手段と、これ等比較手段に対応
して設けられ、対応比較結果に応じて対応する前記昇圧
回路の動作制御をなす複数の制御手段とを有することを
特徴とする。
A plurality of comparing means provided for each of the boosting circuits for comparing a supply voltage to the common load with a corresponding reference voltage; and a plurality of comparing means provided for these comparing means, And a plurality of control means for controlling the operation of the booster circuit corresponding to the result of the comparison.

【0008】また、前記制御手段の各々は、対応比較結
果が参照電圧より小なる場合には対応昇圧回路を活性状
態に制御し、大なる場合には非活性状態に制御するよう
にしたことを特徴とし、更に、前記参照電圧は互いに異
なる複数の電圧値に設定されており、前記供給電圧値
は、これ等複数の電圧値が負荷状態に応じて段階的に切
換え制御されることを特徴とする。
Further, each of the control means controls the corresponding booster circuit to an active state when the corresponding comparison result is smaller than the reference voltage, and controls the corresponding booster circuit to an inactive state when the corresponding comparison result is larger than the reference voltage. The reference voltage is set to a plurality of different voltage values, and the supply voltage value is controlled such that the plurality of voltage values are switched stepwise according to a load state. I do.

【0009】また、前記共通負荷は、不揮発性の半導体
メモリであり、前記制御回路が、前記不揮発性の半導体
メモリと前記昇圧回路と共に1チップICとして構成さ
れたことを特徴とする半導体メモリ装置が得られる。
The semiconductor memory device is characterized in that the common load is a nonvolatile semiconductor memory and the control circuit is configured as a one-chip IC together with the nonvolatile semiconductor memory and the booster circuit. can get.

【0010】本発明の作用を述べる。複数台の昇圧回路
を負荷に対して並列に接続し、それぞれの昇圧回路の動
作を複数台の比較回路の出力に応じて制御する。これら
の比較回路には、異なる値の参照電圧を供給することに
より、昇圧回路の負荷状態によって昇圧レベルと昇圧回
路の動作台数を自動的に制御できるので、書込み初期に
低い高電圧、書込み後期に高い高電圧を段階的に印加で
きる。
The operation of the present invention will be described. A plurality of booster circuits are connected in parallel to the load, and the operation of each booster circuit is controlled according to the outputs of the plurality of comparison circuits. By supplying reference voltages of different values to these comparison circuits, the boosting level and the number of operating boosting circuits can be automatically controlled according to the load state of the boosting circuit. High high voltage can be applied stepwise.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照しつつ本発明
の実施例につき詳述する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明の実施例を示す構成図であ
る。電流能力Icp1 を有する昇圧回路1には、比較回路
3の出力CONT1 が接続され、この比較回路3には参
照電圧Vref1が供給されている。また、この比較回路3
の比較入力として、共通負荷(図示せず)への出力電圧
Vpumpが供給されている。これと同様の構成で、電流能
力Icp2 を有する昇圧回路2には、比較回路4の出力が
CONT2 接続され、この比較回路4には参照電圧Vre
f2が供給されている。また、この比較回路4の比較入力
として、出力Vpumpが供給されている。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. The output CONT1 of the comparison circuit 3 is connected to the booster circuit 1 having the current capability Icp1, and the comparison circuit 3 is supplied with the reference voltage Vref1. The comparison circuit 3
The output voltage Vpump to a common load (not shown) is supplied as a comparison input of the. In the same configuration, the output of the comparison circuit 4 is connected to the booster circuit 2 having the current capability Icp2 by CONT2.
f2 is supplied. An output Vpump is supplied as a comparison input of the comparison circuit 4.

【0013】昇圧回路1,2は互いに相補的な2相クロ
ックCLK1 ,2 (CLKi として示す)により駆動さ
れ、これ等両出力Vpumpは短絡されて、共通負荷として
のフラッシュメモリセルアレイ内の選択メモリセルへ供
給される。
The booster circuits 1 and 2 are driven by two-phase clocks CLK1 and 2 (denoted as CLKi) which are complementary to each other. Both outputs Vpump are short-circuited and a selected memory cell in a flash memory cell array as a common load is used. Supplied to

【0014】昇圧回路1,2は図2のような構成をとる
ものとする。すなわち、ゲートとソースとが共通接続さ
れたトランジスタ11〜15を、電源と共通負荷(Vpu
mp)との間に直列接続して設け、これ等各トランジスタ
の直列接続点に、容量素子16〜19の一端を夫々接続
し、これ等各容量素子の他端を、上述した2相クロック
CLK1 ,2 にて交互に駆動するようになっている。か
かる構成の昇圧回路は周知であるので、特にその動作に
ついては述べない。
The booster circuits 1 and 2 have a configuration as shown in FIG. That is, the transistors 11 to 15 whose gates and sources are commonly connected are connected to a power supply and a common load (Vpu
mp), and one end of each of the capacitance elements 16 to 19 is connected to the series connection point of these transistors, and the other end of each of these capacitance elements is connected to the above-described two-phase clock CLK1. , 2 to drive alternately. Since the booster circuit having such a configuration is well known, its operation is not particularly described.

【0015】これ等2相クロックCLK1 ,2 を供給制
御して昇圧回路の動作制御をなすための制御回路とし
て、3入力ナンドゲート20,21が設けられており、
ナンドゲート20はクロックCLK1 、イネーブル信号
CPEN及び比較回路3または4の比較出力CONTi
が供給されている。尚、この場合のCONTi の“i ”
は昇圧回路に対応する比較回路の出力を指しており、昇
圧回路1の場合には、比較回路3の出力CONT1 であ
る。
Three-input NAND gates 20, 21 are provided as a control circuit for controlling the supply of these two-phase clocks CLK1, 2 to control the operation of the booster circuit.
The NAND gate 20 outputs the clock CLK1, the enable signal CPEN, and the comparison output CONTi of the comparison circuit 3 or 4.
Is supplied. In this case, the CONi “i”
Denotes the output of the comparison circuit corresponding to the booster circuit, and in the case of the booster circuit 1, the output CONT1 of the comparison circuit 3.

【0016】ナンドゲート21はクロックCLK2 、イ
ネーブル信号CPEN及び比較回路3または4の比較出
力CONTi が供給されている。尚、この場合のCON
Tiも、昇圧回路1の場合には、比較回路3の出力CO
NT1 である。
The NAND gate 21 is supplied with the clock CLK2, the enable signal CPEN, and the comparison output CONTi of the comparison circuit 3 or 4. In this case, CON
Ti is also the output CO of the comparison circuit 3 in the case of the booster circuit 1.
NT1.

【0017】比較回路3,4は図3のような構成をとる
ものとする。比較回路3,4に入力される参照電圧Vre
f1,Vref2は互いに異なる値をとるものとする。これに
より、例えば、Vref1<Vref2とされ、比較回路3から
出力される信号CONT1 はVpumpが5Vより小の時ハ
イレベルを出力し、5V以上の時ローレベルを出力する
ように構成されている。また、比較回路4から出力され
る信号CONT2 はVpumpが7Vより小の時ハイレベル
を出力し、7V以上の時ローレベルを出力するように構
成されている。
The comparison circuits 3 and 4 have a configuration as shown in FIG. The reference voltage Vre input to the comparison circuits 3 and 4
f1 and Vref2 take different values from each other. Thus, for example, Vref1 <Vref2, and the signal CONT1 output from the comparison circuit 3 is configured to output a high level when Vpump is smaller than 5V and to output a low level when Vpump is 5V or more. The signal CONT2 output from the comparison circuit 4 is configured to output a high level when Vpump is smaller than 7V, and to output a low level when Vpump is 7V or more.

【0018】図3を参照すると、Vpumpを分圧すべく分
圧抵抗30,31が設けられており、この分圧出力は差
動対トランジスタ34,35の一方のゲート入力とな
り、他方のゲート入力に参照電圧Vrefiが供給されてい
る。この場合の“i ”は比較回路に対応する参照電圧を
示しており、比較回路3の場合には、Vref1である。
Referring to FIG. 3, voltage dividing resistors 30 and 31 are provided to divide Vpump. The divided voltage output becomes one gate input of the differential pair transistors 34 and 35 and is connected to the other gate input. A reference voltage Vrefi is supplied. “I” in this case indicates a reference voltage corresponding to the comparison circuit. In the case of the comparison circuit 3, it is Vref1.

【0019】トランジスタ32,33は差動対トランジ
スタ34,35のカレントミラー負荷回路を構成してお
り、このトランジスタ33のドレイン出力よりインバー
タ38を介して信号CONTi が導出される。尚、トラ
ンジスタ36は電流源として動作し、またトランジスタ
37は分圧抵抗の分圧動作のオンオフ制御を行うスイッ
チ素子であり、これ等トランジスタ36,37をイネー
ブル信号CPENにて制御可能である。
The transistors 32 and 33 form a current mirror load circuit of the differential pair transistors 34 and 35, and a signal CONTi is derived from the drain output of the transistor 33 via an inverter 38. Note that the transistor 36 operates as a current source, and the transistor 37 is a switch element for performing on / off control of the voltage dividing operation of the voltage dividing resistor. These transistors 36 and 37 can be controlled by the enable signal CPEN.

【0020】次に、本発明の実施例の動作を図4の波形
図を用いて説明する。高電圧発生回路駆動信号であるイ
ネーブル信号CPENがハイレベルになると、2台の昇
圧回路1,2は動作を開始し、昇圧レベルVpumpが上昇
していく。Vpumpが5Vより小の時には、CONT1 、
CONT2 は共にハイレベルなので、2台の昇圧回路
1,2は共に動作する。Vpumpが5Vになったとき、不
揮発性メモリセルに対して昇圧レベルを出力する。
Next, the operation of the embodiment of the present invention will be described with reference to the waveform diagram of FIG. When the enable signal CPEN, which is a high-voltage generation circuit drive signal, goes high, the two boosting circuits 1 and 2 start operating, and the boosting level Vpump increases. When Vpump is less than 5V, CONT1,
Since both CONT2 are at the high level, the two booster circuits 1 and 2 operate together. When Vpump becomes 5V, a boosted level is output to the nonvolatile memory cell.

【0021】不揮発性メモリでは、Iout で示すように
書込み当初に大きい負荷電流を必要とし、書込みが進む
につれ負荷電流が減少する。Iout がIcp2 より大きい
ときには、2台の昇圧回路が動作しないと5Vの出力レ
ベルを維持できない。この際には、信号CONT1 で昇
圧回路1の動作のみを制御することにより、5Vの出力
レベルを維持し、CONT2 はハイレベル固定となる。
Iout がIcp2 より小さくなると、昇圧回路2のみで出
力を維持できるので、CONT1 はローレベル固定とな
り、昇圧回路1の動作は停止し、CONT2 はハイレベ
ルのまま昇圧回路2を動作させることにより、Vpumpを
7Vまで昇圧させる。これ以降は、比較回路4およびC
ONT2 により昇圧回路2の動作を制御して7Vの出力
レベルを維持することになる。
The non-volatile memory requires a large load current at the beginning of writing as indicated by Iout, and the load current decreases as writing proceeds. When Iout is greater than Icp2, the output level of 5 V cannot be maintained unless the two booster circuits operate. At this time, by controlling only the operation of the booster circuit 1 by the signal CONT1, the output level of 5V is maintained, and the CONT2 is fixed at the high level.
When Iout becomes smaller than Icp2, the output can be maintained only by the booster circuit 2, so that CONT1 is fixed at the low level, the operation of the booster circuit 1 is stopped, and the booster circuit 2 is operated while the CONT2 remains at the high level. To 7V. Thereafter, the comparison circuit 4 and C
The operation of the booster circuit 2 is controlled by the ONT2 to maintain the output level of 7V.

【0022】尚、昇圧回路1,2を駆動するためのクロ
ックCLK1 ,2 は高周波数(例えば、nsオーダ)で
あり、制御信号CONT1 ,2 がオンオフする周波数
(5Vや7Vを維持するために活性、非活性状態の繰返
し周波数;図4参照)に比較して極めて大であるものと
する。また、上記数値例は単なる一例を示すものであ
り、また、昇圧回路の台数も2台に限定されず、3以上
であっても良い。
The clocks CLK1 and CLK2 for driving the booster circuits 1 and 2 have a high frequency (for example, on the order of ns) and are activated to maintain the frequency (5V or 7V) at which the control signals CONT1 and 2 are turned on and off. , Repetition frequency in an inactive state; see FIG. 4). The above numerical examples are merely examples, and the number of boosting circuits is not limited to two but may be three or more.

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば、負荷状態すなわち負荷
電流の変化により、昇圧回路の動作台数を自動的に制御
することができるので、全昇圧回路の消費電流を小さく
することができるという効果がある。また、負荷電流の
変化により出力電圧を段階的に切換えて出力することが
できるので、書込み当初のメモリセルにかかる高電圧を
低くし、書込み後半にメモリセルにかかる高電圧を高く
することができるので、メモリセルの劣化を防ぐことが
でき、さらに書込み速度を早くすることができるという
効果もある。
According to the present invention, the number of operating booster circuits can be automatically controlled according to the load condition, that is, a change in load current, so that the current consumption of all booster circuits can be reduced. There is. In addition, since the output voltage can be switched stepwise according to a change in load current and output, the high voltage applied to the memory cell at the beginning of writing can be reduced, and the high voltage applied to the memory cell in the latter half of writing can be increased. Therefore, there is also an effect that deterioration of the memory cell can be prevented, and the writing speed can be further increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例のブロック図である。FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】昇圧回路の例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a booster circuit.

【図3】比較回路の例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a comparison circuit.

【図4】本発明の動作を示す各部信号の波形例である。FIG. 4 is a waveform example of each part signal showing the operation of the present invention.

【図5】従来例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 昇圧回路 3,4 比較回路 11〜15 昇圧用トランジスタ 16〜19 昇圧用容量素子 20,21 制御用ナンドゲート 1, 2 booster circuit 3, 4 comparator circuit 11 to 15 booster transistor 16 to 19 booster capacitor element 20, 21 control NAND gate

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の昇圧回路の出力を互いに共通に接
続して共通負荷を駆動するようにした昇圧回路の制御回
路であって、前記共通負荷の負荷状態に応じて前記複数
の昇圧回路の動作制御を行うようにしたことを特徴とす
る制御回路。
1. A control circuit for a booster circuit, wherein outputs of a plurality of booster circuits are commonly connected to each other to drive a common load, wherein the control circuit controls the plurality of booster circuits in accordance with a load state of the common load. A control circuit characterized by performing operation control.
【請求項2】 前記昇圧回路の各々に対応して設けら
れ、前記共通負荷への供給電圧と対応参照電圧とを夫々
比較する複数の比較手段と、これ等比較手段に対応して
設けられ、対応比較結果に応じて対応する前記昇圧回路
の動作制御をなす複数の制御手段とを有することを特徴
とする請求項1記載の制御回路。
2. A plurality of comparing means provided corresponding to each of the boosting circuits, for comparing a supply voltage to the common load and a corresponding reference voltage, respectively, and provided corresponding to these comparing means, 2. The control circuit according to claim 1, further comprising a plurality of control means for controlling the operation of the booster circuit corresponding to the result of the comparison.
【請求項3】 前記制御手段の各々は、対応比較結果が
参照電圧より小なる場合には対応昇圧回路を活性状態に
制御し、大なる場合には非活性状態に制御するようにし
たことを特徴とする請求項2記載の制御回路。
3. The control means controls the corresponding booster circuit to an active state when the corresponding comparison result is smaller than the reference voltage, and controls the corresponding booster circuit to an inactive state when the corresponding comparison result is larger than the reference voltage. 3. The control circuit according to claim 2, wherein:
【請求項4】 前記参照電圧は互いに異なる複数の電圧
値に設定されており、前記供給電圧値は、これ等複数の
電圧値が負荷状態に応じて段階的に切換え制御されるこ
とを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の制御回路。
4. The method according to claim 1, wherein the reference voltage is set to a plurality of different voltage values, and the supply voltage value is controlled such that the plurality of voltage values are switched stepwise according to a load state. The control circuit according to claim 1.
【請求項5】 前記共通負荷は、不揮発性の半導体メモ
リであることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の
制御回路。
5. The control circuit according to claim 1, wherein said common load is a nonvolatile semiconductor memory.
【請求項6】 請求項5記載の制御回路が、前記不揮発
性の半導体メモリと前記昇圧回路と共に1チップICと
して構成されたことを特徴とする半導体メモリ装置。
6. The semiconductor memory device according to claim 5, wherein the control circuit is configured as a one-chip IC together with the nonvolatile semiconductor memory and the booster circuit.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6646494B2 (en) 2001-07-09 2003-11-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit device having boosting circuit
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