JPH11231222A - 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法 - Google Patents
走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法Info
- Publication number
- JPH11231222A JPH11231222A JP2934198A JP2934198A JPH11231222A JP H11231222 A JPH11231222 A JP H11231222A JP 2934198 A JP2934198 A JP 2934198A JP 2934198 A JP2934198 A JP 2934198A JP H11231222 A JPH11231222 A JP H11231222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- microscope
- detection
- lens
- scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 放射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも
二次元で偏向する走査ユニット３４を有する走査ヘッド
Ｓに結合するための配置。 【解決手段】 放射、好ましくはレーザ放射が、顕微鏡
Ｍの対物レンズ４を通じて対象物５に焦点合せされ、少
なくとも一つの可視光線ファイバ１４を通じて走査ヘッ
ドＳが結合され、走査ヘッドにおけるファイバ端部にお
いて、ファイバ端部で発散して出る放射をコリメートす
るためのコリメート・レンズ１６が配置されており、放
射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次元で偏向
する走査ユニット３４を有する走査ヘッドＳに結合する
ための配置、走査ユニット付顕微鏡、および操作方法。
二次元で偏向する走査ユニット３４を有する走査ヘッド
Ｓに結合するための配置。 【解決手段】 放射、好ましくはレーザ放射が、顕微鏡
Ｍの対物レンズ４を通じて対象物５に焦点合せされ、少
なくとも一つの可視光線ファイバ１４を通じて走査ヘッ
ドＳが結合され、走査ヘッドにおけるファイバ端部にお
いて、ファイバ端部で発散して出る放射をコリメートす
るためのコリメート・レンズ１６が配置されており、放
射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次元で偏向
する走査ユニット３４を有する走査ヘッドＳに結合する
ための配置、走査ユニット付顕微鏡、および操作方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査ユニット付き
顕微鏡における放射を走査ヘッドに結合するための配置
およびその操作方法に関する。
顕微鏡における放射を走査ヘッドに結合するための配置
およびその操作方法に関する。
【０００２】
【発明の実施の態様】本発明は、放射、好ましくはレー
ザ放射が、顕微鏡の対物レンズを通じて対象物に焦点合
せされ、少なくとも一つの可視光線ファイバを通じて走
査ヘッドが結合され、走査ヘッドにおけるファイバ端部
において、ファイバ端部で発散して出る放射をコリメー
トするためのコリメート・レンズが、そのファイバ端部
までの距離を変えるために移動できるように配置されて
おり、放射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次
元で偏向する走査ユニットを有する走査ヘッドに結合す
るための配置である。
ザ放射が、顕微鏡の対物レンズを通じて対象物に焦点合
せされ、少なくとも一つの可視光線ファイバを通じて走
査ヘッドが結合され、走査ヘッドにおけるファイバ端部
において、ファイバ端部で発散して出る放射をコリメー
トするためのコリメート・レンズが、そのファイバ端部
までの距離を変えるために移動できるように配置されて
おり、放射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次
元で偏向する走査ユニットを有する走査ヘッドに結合す
るための配置である。
【０００３】放射の走査ヘッドへの結合が、さまざまな
波長および／または波長領域のために、複数のファイバ
を通じて行われ、そのつどさまざまなコリメート・レン
ズがファイバ出口に取り付けられている配置。
波長および／または波長領域のために、複数のファイバ
を通じて行われ、そのつどさまざまなコリメート・レン
ズがファイバ出口に取り付けられている配置。
【０００４】一つのファイバを通じた複数の波長の結合
された放射、および／またはさまざまな色収差のため
に、コリメート・レンズの波長に応じた移動ができるよ
うに操作するための方法。
された放射、および／またはさまざまな色収差のため
に、コリメート・レンズの波長に応じた移動ができるよ
うに操作するための方法。
【０００５】一つの波長のために、コリメート・レンズ
の移動によって、焦点位置の調整が二次元偏向に垂直な
方向に行われるように操作するための方法。
の移動によって、焦点位置の調整が二次元偏向に垂直な
方向に行われるように操作するための方法。
【０００６】放射、好ましくはレーザ放射が顕微鏡の対
物レンズを通じて対象物に焦点合せされ、少なくとも一
つの可視光線ファイバを通じて走査ヘッドが結合され、
ＵＶレーザと可視光線ファイバ入口との間にＡＯＴＦが
配置されている、放射、好ましくはレーザ放射を少なく
とも二次元で偏向する走査ユニットを有する走査ヘッド
に結合するための配置。
物レンズを通じて対象物に焦点合せされ、少なくとも一
つの可視光線ファイバを通じて走査ヘッドが結合され、
ＵＶレーザと可視光線ファイバ入口との間にＡＯＴＦが
配置されている、放射、好ましくはレーザ放射を少なく
とも二次元で偏向する走査ユニットを有する走査ヘッド
に結合するための配置。
【０００７】ＡＯＴＦの方向操作によって、ＵＶ放射が
可視光線ファイバ入口に向けられ、あるいはそのそばを
通過するように向けられるように操作するための方法。
可視光線ファイバ入口に向けられ、あるいはそのそばを
通過するように向けられるように操作するための方法。
【０００８】結合された放射の一部が放射分割器を通じ
て第１検出エレメントに向けられ、この第１検出エレメ
ントによって走査ヘッドに結合されたレーザ放射を監視
するための配置。
て第１検出エレメントに向けられ、この第１検出エレメ
ントによって走査ヘッドに結合されたレーザ放射を監視
するための配置。
【０００９】レーザ放射を波長に応じて監視するため
に、光線経路において検出エレメントに交換可能なフィ
ルタが準備されている配置。
に、光線経路において検出エレメントに交換可能なフィ
ルタが準備されている配置。
【００１０】検出信号が、レーザ出力、レーザ強度、ま
たは結合された放射の他のパラメータを調節するための
調整信号となっている配置。
たは結合された放射の他のパラメータを調節するための
調整信号となっている配置。
【００１１】第１検出エレメントの検出信号と同時に、
少なくとも第２検出エレメントの検出信号が受け取ら
れ、この信号は、走査された対象物から出る放射を結像
するために結像光線経路に存在するように操作するため
の方法。
少なくとも第２検出エレメントの検出信号が受け取ら
れ、この信号は、走査された対象物から出る放射を結像
するために結像光線経路に存在するように操作するため
の方法。
【００１２】第２検出エレメントによって把握される信
号と第１検出エレメントによって把握される信号とが、
妨害信号および信号変動を抑制するために数学的に、好
ましくは除算または減算によって互いに結ばれるように
走査するための方法。
号と第１検出エレメントによって把握される信号とが、
妨害信号および信号変動を抑制するために数学的に、好
ましくは除算または減算によって互いに結ばれるように
走査するための方法。
【００１３】走査された対象物から出る放射を把握する
ために検出ユニットが準備され、この検出ユニットは複
数の共焦点検出チャネルを有し、これらのチャネルに
は、調節可能な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面
に接続する平面に配置され、顕微鏡の対物レンズによっ
て作られる画像を写すために共焦点絞りの面に検出チャ
ネルに共通のレンズを準備し、この共通レンズは好まし
くは一つの光学部材からなり、単一レンズからなること
が有利である、走査ユニットを有する顕微鏡。
ために検出ユニットが準備され、この検出ユニットは複
数の共焦点検出チャネルを有し、これらのチャネルに
は、調節可能な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面
に接続する平面に配置され、顕微鏡の対物レンズによっ
て作られる画像を写すために共焦点絞りの面に検出チャ
ネルに共通のレンズを準備し、この共通レンズは好まし
くは一つの光学部材からなり、単一レンズからなること
が有利である、走査ユニットを有する顕微鏡。
【００１４】走査された対象物から出る放射を把握する
ために検出ユニットが準備され、この放射は複数の共焦
点検出チャネルの中でビーム・スプリッタを通じて分配
され、少なくとも一つのビーム・スプリッタがビーム・
スプリッタ交換装置として形成され、これらのチャネル
には、光軸の方向あるいは光軸に対して垂直に移動可能
な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面に接続する平
面に配置されている、走査ユニットを有する顕微鏡。
ために検出ユニットが準備され、この放射は複数の共焦
点検出チャネルの中でビーム・スプリッタを通じて分配
され、少なくとも一つのビーム・スプリッタがビーム・
スプリッタ交換装置として形成され、これらのチャネル
には、光軸の方向あるいは光軸に対して垂直に移動可能
な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面に接続する平
面に配置されている、走査ユニットを有する顕微鏡。
【００１５】制御手段によって、少なくとも一つの開口
絞りの光軸に垂直の移動が、少なくとも一つのビーム・
スプリッタ交換装置の位置に応じて行われるように操作
するための方法。
絞りの光軸に垂直の移動が、少なくとも一つのビーム・
スプリッタ交換装置の位置に応じて行われるように操作
するための方法。
【００１６】開口絞りの移動が、特定の波長への調節の
ため、かつ／または顕微鏡および／または走査ユニット
の結像された要素の色収差を補償するために行われるよ
うに操作するための方法。
ため、かつ／または顕微鏡および／または走査ユニット
の結像された要素の色収差を補償するために行われるよ
うに操作するための方法。
【００１７】制御手段による特に顕微鏡対物レンズの結
像された要素を交換する場合に、開口絞りの移動が、そ
の都度結像された要素のために記憶された位置に行われ
るように操作される方法。
像された要素を交換する場合に、開口絞りの移動が、そ
の都度結像された要素のために記憶された位置に行われ
るように操作される方法。
【００１８】走査された対象物から出る放射を把握する
ために検出ユニットが準備され、この検出ユニットは複
数の共焦点検出チャネルを有し、これらのチャネルに
は、調節可能な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面
に接続する平面に配置され、少なくとも一つの共焦点絞
りに、少なくとも一つの検出エレメントに放射を伝達す
るための可視光線ファイバが直接準備されている、走査
ユニットを有する顕微鏡。
ために検出ユニットが準備され、この検出ユニットは複
数の共焦点検出チャネルを有し、これらのチャネルに
は、調節可能な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面
に接続する平面に配置され、少なくとも一つの共焦点絞
りに、少なくとも一つの検出エレメントに放射を伝達す
るための可視光線ファイバが直接準備されている、走査
ユニットを有する顕微鏡。
【００１９】
【実施例】図１には、顕微鏡ユニットＭと走査ヘッドＳ
が概略的に示され、これらは、図２によれば中間画像Ｚ
の上に共通の光学的交点を有する。
が概略的に示され、これらは、図２によれば中間画像Ｚ
の上に共通の光学的交点を有する。
【００２０】走査ヘッドＳは、直立した顕微鏡のフォト
チューブにも、また有利に反転した顕微鏡の側面出口に
も置くことができる。
チューブにも、また有利に反転した顕微鏡の側面出口に
も置くことができる。
【００２１】図１には、照明走査と透視走査との間で旋
回式ミラー１４によって切替え可能な顕微鏡の光線経路
が示されており、光源１、照明レンズ２、ビーム・スプ
リッタ３、対物レンズ４、供試体５、集光器６、光源
７、受信装置８、第１鏡胴レンズ９、第２鏡胴レンズ１
０と接眼レンズ１１とを有する監視光線経路、ならびに
走査光線を結合するためのビーム・スプリッタも示され
ている。
回式ミラー１４によって切替え可能な顕微鏡の光線経路
が示されており、光源１、照明レンズ２、ビーム・スプ
リッタ３、対物レンズ４、供試体５、集光器６、光源
７、受信装置８、第１鏡胴レンズ９、第２鏡胴レンズ１
０と接眼レンズ１１とを有する監視光線経路、ならびに
走査光線を結合するためのビーム・スプリッタも示され
ている。
【００２２】レーザ・モジュール１３.１、１３.２はレ
ーザを受け入れ、これは可視光線ファイバ１４.１、１
４.２を通じて走査ヘッドＳのレーザ結合ユニットに連
結されている。
ーザを受け入れ、これは可視光線ファイバ１４.１、１
４.２を通じて走査ヘッドＳのレーザ結合ユニットに連
結されている。
【００２３】可視光線ファイバ１４.１、１４.２の結合
は、さらに近くに寄せられる移動式のコリメート・レン
ズ１６、ならびに光線方向変換エレメント１７.１、１
７.２によって行われる。
は、さらに近くに寄せられる移動式のコリメート・レン
ズ１６、ならびに光線方向変換エレメント１７.１、１
７.２によって行われる。
【００２４】部分通過式ミラー１８によって、監視光線
経路は、図示されていない回転可能なフィルタ・ホィー
ル、線路フィルタ２１、ならびに中性フィルタ２０の上
に準備されることが有利な、モニター・ダイオード１９
の方向に絞り込まれる。
経路は、図示されていない回転可能なフィルタ・ホィー
ル、線路フィルタ２１、ならびに中性フィルタ２０の上
に準備されることが有利な、モニター・ダイオード１９
の方向に絞り込まれる。
【００２５】固有の走査ユニットは、走査対物レンズ２
２、スキャナ２３、主ビーム・スプリッタ２４、および
検出チャネル２６.１〜２６.４のための共通の結像レン
ズ２５からなる。
２、スキャナ２３、主ビーム・スプリッタ２４、および
検出チャネル２６.１〜２６.４のための共通の結像レン
ズ２５からなる。
【００２６】結像レンズ２５の背後にある方向変換プリ
ズム２７は、対象物５から来る光線を、二色性ビーム・
スプリッタ２８の方向に、結像レンズ２５の収斂性光線
経路で反映し、この後に、光軸の方向およびこれに直角
方向とに設定可能でかつ直径を変えることのできるピン
ホール２９、それぞれに独立した検出チャネルならびに
放射フィルタ３０、および受信エレメント３１（ＰＭ
Ｔ）が配置されている。
ズム２７は、対象物５から来る光線を、二色性ビーム・
スプリッタ２８の方向に、結像レンズ２５の収斂性光線
経路で反映し、この後に、光軸の方向およびこれに直角
方向とに設定可能でかつ直径を変えることのできるピン
ホール２９、それぞれに独立した検出チャネルならびに
放射フィルタ３０、および受信エレメント３１（ＰＭ
Ｔ）が配置されている。
【００２７】図５に概略的に示すように、ビーム・スプ
リッタ２７、２８が、複数の位置を有する分割器ホィー
ルとして、ステッピング・モータによって動力で切替え
可能に形成される。
リッタ２７、２８が、複数の位置を有する分割器ホィー
ルとして、ステッピング・モータによって動力で切替え
可能に形成される。
【００２８】ガラスファイバ１４.１、好ましくはシン
グル・モード・ガラスファイバにおけるＵＶ光線の結合
が、光線偏向器としてＡＯＴＦによって行われる、すな
わち、光線がファイバ入口に向かない場合には、光線は
ファイバ入口のＡＯＴＦによって、例えば図示されてい
ない光トラップに向けられる。
グル・モード・ガラスファイバにおけるＵＶ光線の結合
が、光線偏向器としてＡＯＴＦによって行われる、すな
わち、光線がファイバ入口に向かない場合には、光線は
ファイバ入口のＡＯＴＦによって、例えば図示されてい
ない光トラップに向けられる。
【００２９】レーザ光線を結合するための結合レンズ３
３は、結合のための図示されていないレンズ系を有し、
このレンズ系の焦点距離は、レーザの光線断面と最適結
合に必要な開口数とによって決定される。
３は、結合のための図示されていないレンズ系を有し、
このレンズ系の焦点距離は、レーザの光線断面と最適結
合に必要な開口数とによって決定される。
【００３０】レーザ・モジュール１３.２には、単一波
長レーザおよび多重波長レーザが準備され、これらはＡ
ＯＴＦを通じて単一または複数のファイバに個別または
共通に結合される。
長レーザおよび多重波長レーザが準備され、これらはＡ
ＯＴＦを通じて単一または複数のファイバに個別または
共通に結合される。
【００３１】さらに、結合は複数のファイバによっても
同時に行うことができ、この放射は適合レンズを通過し
た後に顕微鏡側で色混合器によって混合される。
同時に行うことができ、この放射は適合レンズを通過し
た後に顕微鏡側で色混合器によって混合される。
【００３２】ファイバ入口における様々なレーザの放射
の混合も可能であり、概略的に図示された交換可能かつ
切替え可能に形成されたビーム・スプリッタ・ミラー３
９によって行うことができる。
の混合も可能であり、概略的に図示された交換可能かつ
切替え可能に形成されたビーム・スプリッタ・ミラー３
９によって行うことができる。
【００３３】図２と図３においてファイバ１４.１、１
４.２のファイバ端から発散して走査ユニットＳに出て
行くレーザ放射は、コリメート・レンズ１６によってコ
リメートされ、無限光線になる。
４.２のファイバ端から発散して走査ユニットＳに出て
行くレーザ放射は、コリメート・レンズ１６によってコ
リメートされ、無限光線になる。
【００３４】これが、中央方向操作ユニット３４を通じ
て、方向操作可能な制御ユニット３７による光軸に沿っ
た移動によって焦点合せ機能を有する、単一のレンズに
よって行われることは有利であり、このレンズの可視光
線ファイバ１４.１、１４.２までの距離は、本発明では
走査ユニットにおいて変更可能である。
て、方向操作可能な制御ユニット３７による光軸に沿っ
た移動によって焦点合せ機能を有する、単一のレンズに
よって行われることは有利であり、このレンズの可視光
線ファイバ１４.１、１４.２までの距離は、本発明では
走査ユニットにおいて変更可能である。
【００３５】図３ａと図３ｂに、コリメート・レンズ１
６の移動効果を概略的に示す。
６の移動効果を概略的に示す。
【００３６】図３ａでは、二つの異なる波長λ1、λ2に
ついての光線の経路を示す。
ついての光線の経路を示す。
【００３７】このために、多色光源が、固定された結像
レンズ４の焦点面に、スペクトル範囲の平均波長につい
てのみ形成されるので、ファイバ端とコリメート・レン
ズからの距離は方向操作ユニット３７によって変えられ
る。図示された両波長については、両波長のために同じ
焦点位置を保証するためには、レンズ位置Ｓ1、Ｓ2とい
う結果になる。
レンズ４の焦点面に、スペクトル範囲の平均波長につい
てのみ形成されるので、ファイバ端とコリメート・レン
ズからの距離は方向操作ユニット３７によって変えられ
る。図示された両波長については、両波長のために同じ
焦点位置を保証するためには、レンズ位置Ｓ1、Ｓ2とい
う結果になる。
【００３８】これによって、蛍光顕微鏡の場合に、蛍光
放射が無限に設定された対物レンズ４の焦点に生じ、励
起放射が同じ平面に焦点を結ぶことは有利である。
放射が無限に設定された対物レンズ４の焦点に生じ、励
起放射が同じ平面に焦点を結ぶことは有利である。
【００３９】複数のファイバとファイバ・コリメータ
も、さまざまな励起波長のためのさまざまな色補正のた
めに適用できる。さらにこれによって、はめ込んだレン
ズ、特に顕微鏡の対物レンズの色修正を行うことができ
る。
も、さまざまな励起波長のためのさまざまな色補正のた
めに適用できる。さらにこれによって、はめ込んだレン
ズ、特に顕微鏡の対物レンズの色修正を行うことができ
る。
【００４０】さまざまな波長のための複数の結合ファイ
バおよびコリメート・レンズによって、さまざまな色補
正を独立して行うことができる。
バおよびコリメート・レンズによって、さまざまな色補
正を独立して行うことができる。
【００４１】レンズ１６の移動による可変コリメーショ
ンは、移動式コリメート・レンズ１６によって焦点がプ
レパラートにおいてｚ方向に移動されて光学断面が次々
に検出される、ｚ走査の実現のためにも適用することが
できる。これは図３ｂに波長λについて図示され、この
場合、設定位置Ｓ1、Ｓ2は焦点位置Ｆ1、Ｆ2に対応す
る。
ンは、移動式コリメート・レンズ１６によって焦点がプ
レパラートにおいてｚ方向に移動されて光学断面が次々
に検出される、ｚ走査の実現のためにも適用することが
できる。これは図３ｂに波長λについて図示され、この
場合、設定位置Ｓ1、Ｓ2は焦点位置Ｆ1、Ｆ2に対応す
る。
【００４２】図２では、図３に図示されていない焦点合
せレンズの前方に置かれたモニター・ダイオード１９が
使用され、特に特定のレーザ線における出力を切り離し
て管理し、場合によっては方向操作ユニット３４の調整
信号を使用して安定化するために、走査ユニットの中に
結合されたレーザ放射の永続的監視のために、制御ユニ
ット３６によって制御される直線または範囲選定式のフ
ィルタ・ホィールすなわちフィルタ移動装置２１と共に
作動する。
せレンズの前方に置かれたモニター・ダイオード１９が
使用され、特に特定のレーザ線における出力を切り離し
て管理し、場合によっては方向操作ユニット３４の調整
信号を使用して安定化するために、走査ユニットの中に
結合されたレーザ放射の永続的監視のために、制御ユニ
ット３６によって制御される直線または範囲選定式のフ
ィルタ・ホィールすなわちフィルタ移動装置２１と共に
作動する。
【００４３】モニター・ダイオード１９による検出は、
機械光学的伝達システムに基づいてレーザ・ノイズおよ
び変動を把握する。
機械光学的伝達システムに基づいてレーザ・ノイズおよ
び変動を把握する。
【００４４】この場合、検出された瞬間的レーザ出力か
ら、収差信号を引き出すことができ、この信号は、走査
モジュールに放射されたレーザ出力を安定化することを
目的として、レーザまたはレーザに切り換えられた一つ
の強度変調器（ＡＳＯＭ、ＡＯＴＦ、ＥＯＭ、シャッ
タ）に、オンラインで直接反応する。
ら、収差信号を引き出すことができ、この信号は、走査
モジュールに放射されたレーザ出力を安定化することを
目的として、レーザまたはレーザに切り換えられた一つ
の強度変調器（ＡＳＯＭ、ＡＯＴＦ、ＥＯＭ、シャッ
タ）に、オンラインで直接反応する。
【００４５】そこで、フィルタ・ユニット２１の方向操
作によって、強度の波長安定性とレーザ出力の管理が行
われる。
作によって、強度の波長安定性とレーザ出力の管理が行
われる。
【００４６】検出部３１（ＰＭＴ）およびその都度の中
央方向操作ユニットとの接続によって、検出信号とダイ
オード１９のモニター信号との信号商または信号減算を
形成することによって、ノイズの減少が可能で、この方
法で画像中における強度の変動を減少するために、検出
チャネルの該当するセンサー信号は、ピクセル画像情報
としてピクセル式にモニター・ダイオードの信号に規格
化される、例えば割り算される。
央方向操作ユニットとの接続によって、検出信号とダイ
オード１９のモニター信号との信号商または信号減算を
形成することによって、ノイズの減少が可能で、この方
法で画像中における強度の変動を減少するために、検出
チャネルの該当するセンサー信号は、ピクセル画像情報
としてピクセル式にモニター・ダイオードの信号に規格
化される、例えば割り算される。
【００４７】図１には、さまざまな方法で調整可能なピ
ンホール２９を検出チャネル２６.１〜２６.４の中に概
略的に示す。これらのピンホールは、特に光軸に垂直
に、すなわち光軸の方向に移動可能に配置され、また周
知の方法で、例えばはさみ式機構またはキャットアイ式
機構によって直径を変えることができる。ピンホールの
直径の調整は、この直径を、さまざまな監視波長におけ
るエアリーの円盤の直径に適合できるようにする。
ンホール２９を検出チャネル２６.１〜２６.４の中に概
略的に示す。これらのピンホールは、特に光軸に垂直
に、すなわち光軸の方向に移動可能に配置され、また周
知の方法で、例えばはさみ式機構またはキャットアイ式
機構によって直径を変えることができる。ピンホールの
直径の調整は、この直径を、さまざまな監視波長におけ
るエアリーの円盤の直径に適合できるようにする。
【００４８】図４と図５には、個別のピンホールの調整
または移動のための方向操作手段３８が概略的に示さ
れ、これらのピンホールは中央方向操作ユニット３４へ
のデータ線を有する。
または移動のための方向操作手段３８が概略的に示さ
れ、これらのピンホールは中央方向操作ユニット３４へ
のデータ線を有する。
【００４９】図４に、光軸方向におけるピンホールの方
向操作可能な移動可能性を概略的に示す。この移動可能
性は、光学的欠陥、特に長さ方向の色収差の補償のため
に有利である。この欠陥は、走査対物レンズ２２におい
て生じる可能性があるが、例えば検出チャネルに共通の
結像レンズ２５においても生じる可能性がある。
向操作可能な移動可能性を概略的に示す。この移動可能
性は、光学的欠陥、特に長さ方向の色収差の補償のため
に有利である。この欠陥は、走査対物レンズ２２におい
て生じる可能性があるが、例えば検出チャネルに共通の
結像レンズ２５においても生じる可能性がある。
【００５０】さまざまな波長λ1、λ2について、長さ方
向の色収差によって、各ピンホール位置Ｐ1、Ｐ2に対応
する各焦点位置が生じる。例えば顕微鏡の対物レンズの
結像レンズを交換するとき、はめ込んだレンズの周知の
長さ方向の色誤差の場合に、方向操作ユニット３４と制
御移動手段３８とによって、光軸に沿ったピンホールの
自動的な移動が行われる。適用された励起波長への正確
な調節を行うことができる。
向の色収差によって、各ピンホール位置Ｐ1、Ｐ2に対応
する各焦点位置が生じる。例えば顕微鏡の対物レンズの
結像レンズを交換するとき、はめ込んだレンズの周知の
長さ方向の色誤差の場合に、方向操作ユニット３４と制
御移動手段３８とによって、光軸に沿ったピンホールの
自動的な移動が行われる。適用された励起波長への正確
な調節を行うことができる。
【００５１】一つの光学部材からなることが有利なすべ
ての検出チャネルのための共通結像レンズ２５を通じ
て、走査対物レンズ２２によって作られる無限に合せた
画像がピンホール平面に形成される。共通結像レンズ２
５は、周知の解決方法よりも改善された透過係数を生ぜ
しめる。それでもやはり、結像レンズと個別の検出チャ
ネルにおける個々の調整可能ピンホールとの協働で、正
確な調整を行うことができる。
ての検出チャネルのための共通結像レンズ２５を通じ
て、走査対物レンズ２２によって作られる無限に合せた
画像がピンホール平面に形成される。共通結像レンズ２
５は、周知の解決方法よりも改善された透過係数を生ぜ
しめる。それでもやはり、結像レンズと個別の検出チャ
ネルにおける個々の調整可能ピンホールとの協働で、正
確な調整を行うことができる。
【００５２】光線経路には、さまざまな二色性ビーム・
スプリッタ２８を適用される波長に応じて、これらの波
長を遮断して検出光線経路に導くために、はめ込むこと
ができる。したがってさまざまな光線経路に、（図示さ
れていない）分割器回転部すなわち分割器ホィール、特
にホィール軸が光軸に対して４５度に傾斜している分割
器ホィールが、さまざまなできるだけ小さな分割器を旋
回させるために準備されているので、分割器は常に反射
面の中でのみ移動される。
スプリッタ２８を適用される波長に応じて、これらの波
長を遮断して検出光線経路に導くために、はめ込むこと
ができる。したがってさまざまな光線経路に、（図示さ
れていない）分割器回転部すなわち分割器ホィール、特
にホィール軸が光軸に対して４５度に傾斜している分割
器ホィールが、さまざまなできるだけ小さな分割器を旋
回させるために準備されているので、分割器は常に反射
面の中でのみ移動される。
【００５３】分割器ホィールに取り付けられた分割器２
８は正確に同じように調整されることはできず、または
これらの調整内の変動、または標準くさび許容誤差が種
々の光線偏向角を引き起こす可能性があるので、図５に
おける図示にしたがって、その都度のピンホールの移動
が、制御ユニット３８により光線偏向に応じて光軸に垂
直に行われる。
８は正確に同じように調整されることはできず、または
これらの調整内の変動、または標準くさび許容誤差が種
々の光線偏向角を引き起こす可能性があるので、図５に
おける図示にしたがって、その都度のピンホールの移動
が、制御ユニット３８により光線偏向に応じて光軸に垂
直に行われる。
【００５４】ここでは、図示されていない制御ユニット
３６によって駆動される分離器ホィールの上にある分割
器２８.１、２８.２の二つの異なる位置が、概略的に示
されており、これらは、ピンホール２９の平面を光軸に
垂直に移動する焦点位置に作用する。
３６によって駆動される分離器ホィールの上にある分割
器２８.１、２８.２の二つの異なる位置が、概略的に示
されており、これらは、ピンホール２９の平面を光軸に
垂直に移動する焦点位置に作用する。
【００５５】これに関して、方向操作ユニット３４によ
って制御ユニット３６、３８により、ピンホール２９の
位置と分割器２８のための分割器ホィール位置との結合
が行われ、すなわち種々の分割器回転部のすべての分割
器構成について、最適のピンホール位置が記憶機構から
取り出され、呼出し可能である。
って制御ユニット３６、３８により、ピンホール２９の
位置と分割器２８のための分割器ホィール位置との結合
が行われ、すなわち種々の分割器回転部のすべての分割
器構成について、最適のピンホール位置が記憶機構から
取り出され、呼出し可能である。
【００５６】これは、一つの特定の分割器ホィールの位
置のみではなく、複数の分割器ホィールの位置にも関す
るもので、常にその都度の最適なピンホール位置が自動
的に調節される。
置のみではなく、複数の分割器ホィールの位置にも関す
るもので、常にその都度の最適なピンホール位置が自動
的に調節される。
【００５７】図６には、検出チャネルのピンホールを通
じて放射を外部センサ３１に導くために、可視光線ファ
イバ４０をピンホール２９に、すなわちピンホールの後
のＰＭＴの出口にどのように取り付けることができるか
を概略的に示す。
じて放射を外部センサ３１に導くために、可視光線ファ
イバ４０をピンホール２９に、すなわちピンホールの後
のＰＭＴの出口にどのように取り付けることができるか
を概略的に示す。
【００５８】これは、可視光線ファイバ３８を使用し
て、追加の結合レンズなしに、ピンホールの後に密に取
り付けることが有利である。
て、追加の結合レンズなしに、ピンホールの後に密に取
り付けることが有利である。
【００５９】ピンホールの開口は調整可能であるから、
さまざまな内径を有するファイバの交換は容易になり、
ピンホールの大きさは内径に適合される。
さまざまな内径を有するファイバの交換は容易になり、
ピンホールの大きさは内径に適合される。
Ｍ 顕微鏡 Ｓ 走査ヘッド １ 光源 ２ 照明レンズ ３ ビーム・スプリッタ ４ 対物レンズ ５ 供試体 ６ 集光器 ７ 光源 ８ 受信装置 ９ 第１鏡胴レンズ １０ 第２鏡胴レンズ １１ 接眼レンズ １２ ビーム・スプリッタ １３．１、１３．２ レーザ・モジュール １４ 可視光線ファイバ １５ 旋回式ミラー １６ コリメート・レンズ １７ 光線方向変換エレメント １８ 部分通過式ミラー １９ モニター・ダイオード ２０ 中性フィルタ ２１ 線路フィルタ ２２ 走査対物レンズ ２３ スキャナ ２４ 主ビーム・スプリッタ ２５ 結像レンズ ２６．１〜２６．４ 検出チャネル ２７ 方向変換プリズム ２８，２８．１、２８．２ 二色性ビーム・スプリッタ ２９ 調整可能ピンホール（開口絞り） ３０ 放射フィルタ ３１ ＰＭＴ ３２ ＡＯＴＦ ３３ 結合レンズ ３４ 中央方向操作ユニット ３５、３６、３７、３８ ダイオード１９、フィルタ交
換器２１、コリメーティング・レンズ１６、調整可能ピ
ンホール２９のための局所方向操作ユニット ３９ ビーム・スプリッタ ４０ 可視光線ファイバ Ｓ１、Ｓ２、Ｆ１、Ｆ２ 焦点位置 Ｐ１、Ｐ２ ピンホール位置
換器２１、コリメーティング・レンズ１６、調整可能ピ
ンホール２９のための局所方向操作ユニット ３９ ビーム・スプリッタ ４０ 可視光線ファイバ Ｓ１、Ｓ２、Ｆ１、Ｆ２ 焦点位置 Ｐ１、Ｐ２ ピンホール位置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年３月２４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】 顕微鏡ユニットと走査ヘッドの概略図
【図２】 顕微鏡ユニットと走査ヘッドの概略図
【図３ａ】 二つの異なる波長についての光線の経路を
示す図
示す図
【図３ｂ】 一つの波長についての光線の経路を示す図
【図４】 ピンホールの移動可能性の概略図
【図５】 ピンホールの方向操作手段の概略図
【図６】 放射を出口に導くための構成概略図
【符号の説明】 Ｍ 顕微鏡 Ｓ 走査ヘッド １ 光源 ２ 照明レンズ ３ ビーム・スプリッタ ４ 対物レンズ ５ 供試体 ６ 集光器 ７ 光源 ８ 受信装置 ９ 第１鏡胴レンズ １０ 第２鏡胴レンズ １１ 接眼レンズ １２ ビーム・スプリッタ １３．１、１３．２ レーザ・モジュール １４ 可視光線ファイバ １５ 旋回式ミラー １６ コリメート・レンズ １７ 光線方向変換エレメント １８ 部分通過式ミラー １９ モニター・ダイオード ２０ 中性フィルタ ２１ 線路フィルタ ２２ 走査対物レンズ ２３ スキャナ ２４ 主ビーム・スプリッタ ２５ 結像レンズ ２６．１〜２６．４ 検出チャネル ２７ 方向変換プリズム ２８，２８．１、２８．２ 二色性ビーム・スプリッタ ２９ 調整可能ピンホール（開口絞り） ３０ 放射フィルタ ３１ ＰＭＴ ３２ ＡＯＴＦ ３３ 結合レンズ ３４ 中央方向操作ユニット ３５、３６、３７、３８ ダイオード１９、フィルタ交
換器２１、コリメーティング・レンズ１６、調整可能ピ
ンホール２９のための局所方向操作ユニット ３９ ビーム・スプリッタ ４０ 可視光線ファイバ Ｓ１、Ｓ２、Ｆ１、Ｆ２ 焦点位置 Ｐ１、Ｐ２ ピンホール位置
換器２１、コリメーティング・レンズ１６、調整可能ピ
ンホール２９のための局所方向操作ユニット ３９ ビーム・スプリッタ ４０ 可視光線ファイバ Ｓ１、Ｓ２、Ｆ１、Ｆ２ 焦点位置 Ｐ１、Ｐ２ ピンホール位置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウルリッヒ シモン Ｄ−07743 イエナ ルーテル ストラッ セ 86 (72)発明者 ハルトムート ハインツ Ｄ−07749 イエナ ブラントストレーム ストラッセ 45 (72)発明者 ベルンハルト グレブラー Ｄ−07747 イエナ ジュディス・アウエ ル ストラッセ 17
Claims (19)
- 【請求項１】 放射、好ましくはレーザ放射が、顕微鏡
の対物レンズを通じて対象物に焦点合せされ、 少なくとも一つの可視光線ファイバを通じて走査ヘッド
が結合され、 走査ヘッドにおけるファイバ端部において、ファイバ端
部で発散して出る放射をコリメートするためのコリメー
ト・レンズが配置されており、 放射、好ましくはレーザ放射を、少なくとも二次元で偏
向する走査ユニットを有する走査ヘッドに結合するため
の配置。 - 【請求項２】 コリメート・レンズが、そのファイバ端
部までの距離を変えるために移動するように形成されて
いる、請求項１に記載の配置。 - 【請求項３】 さまざまな波長および／または波長領域
のために、結合が複数のファイバを通じて行われ、その
つどさまざまなコリメート・レンズがファイバ出口に取
り付けられている、請求項２に記載の配置。 【請求項３】 一つのファイバを通じた複数の波長の結
合された放射、および／またはさまざまな色収差のため
に、コリメート・レンズの波長に応じた移動がなされ
る、請求項２に記載の配置を操作するための方法。 - 【請求項４】 一つの波長のために、コリメート・レン
ズの移動によって、焦点位置の調整が二次元偏向に垂直
な方向に行われる、請求項２に記載の配置を操作するた
めの方法。 - 【請求項５】 放射、好ましくはレーザ放射が顕微鏡の
対物レンズを通じて対象物に焦点合せされ、 少なくとも一つの可視光線ファイバを通じて走査ヘッド
が結合され、ＵＶレーザと可視光線ファイバ入口との間
にＡＯＴＦが配置されている、 放射、好ましくはレーザ放射を少なくとも二次元で偏向
する走査ユニットを有する走査ヘッドに結合するための
配置。 - 【請求項６】 ＡＯＴＦの方向操作によって、ＵＶ放射
が可視光線ファイバ入口に向けられ、あるいはそのそば
を通過するように向けられる、請求項５に記載の配置を
操作するための方法。 - 【請求項７】 結合された放射の一部が放射分割器を通
じて第１検出エレメントに向けられ、この第１検出エレ
メントによって走査ヘッドに結合されたレーザ放射を監
視するための配置。 - 【請求項８】 レーザ放射を波長に応じて監視するため
に、光線経路において検出エレメントに交換可能なフィ
ルタが準備されている、請求項７に記載の配置。 - 【請求項９】 検出信号が、レーザ出力、レーザ強度、
または結合された放射の他のパラメータを調節するため
の調整信号である、請求項７または８に記載の配置。 - 【請求項１０】 第１検出エレメントの検出信号と同時
に、少なくとも第２検出エレメントの検出信号が受け取
られ、この信号は、走査された対象物から出る放射を結
像するために結像光線経路に存在する、請求項７から９
の少なくとも一項に記載の配置を操作するための方法。 - 【請求項１１】 第２検出エレメントによって把握され
る信号と第１検出エレメントによって把握される信号と
が、妨害信号および信号変動を抑制するために数学的
に、好ましくは除算または減算によって互いに結ばれ
る、請求項１０に記載の配置を走査するための方法。 - 【請求項１２】 走査された対象物から出る放射を把握
するために検出ユニットが準備され、 この検出ユニットは複数の共焦点検出チャネルを有し、 これらのチャネルには、調節可能な共焦点絞りが顕微鏡
の対物レンズの焦面に接続する平面に配置され、 顕微鏡の対物レンズによって作られる画像を写すために
共焦点絞りの面に検出チャネルに共通のレンズを準備
し、 この共通レンズは好ましくは一つの光学部材からなり、
単一レンズからなることが有利である、 走査ユニットを有する顕微鏡。 - 【請求項１３】 走査された対象物から出る放射を把握
するために検出ユニットが準備され、 この放射は複数の共焦点検出チャネルの中でビーム・ス
プリッタを通じて分配され、 これらのチャネルには、光軸の方向に移動可能な共焦点
絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面に接続する平面に配置
されている、 走査ユニットを有する顕微鏡。 - 【請求項１４】 走査された対象物から出る放射を把握
するために検出ユニットが準備され、 この放射は複数の共焦点検出チャネルの中でビーム・ス
プリッタを通じて分配され、 これらのチャネルには、光軸に対して垂直に移動可能な
共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦面に接続する平面
に配置されている、 走査ユニットを有する顕微鏡。 - 【請求項１５】 少なくとも一つのビーム・スプリッタ
がビーム・スプリッタ交換装置として形成された、請求
項１４に記載の走査ユニットを有する顕微鏡。 - 【請求項１６】 制御手段によって、少なくとも一つの
開口絞りの光軸に垂直の移動が、少なくとも一つのビー
ム・スプリッタ交換装置の位置に応じて行われる、請求
項１５に記載の配置を操作するための方法。 - 【請求項１７】 開口絞りの移動が、特定の波長への調
節のため、かつ／または顕微鏡および／または走査ユニ
ットの結像された要素の色収差を補償するために行われ
る、請求項１３に記載の配置を操作するための方法。 - 【請求項１８】 制御手段による特に顕微鏡対物レンズ
の結像された要素を交換する場合に、開口絞りの移動
が、その都度結像された要素のために記憶された位置に
行われる、請求項１７に記載の方法。 - 【請求項１９】 走査された対象物から出る放射を把握
するために検出ユニットが準備され、この検出ユニット
は複数の共焦点検出チャネルを有し、これらのチャネル
には、調節可能な共焦点絞りが顕微鏡の対物レンズの焦
面に接続する平面に配置され、少なくとも一つの共焦点
絞りに、少なくとも一つの検出エレメントに放射を伝達
するための可視光線ファイバが直接準備されている、走
査ユニットを有する顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2934198A JPH11231222A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2934198A JPH11231222A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008310860A Division JP2009080502A (ja) | 2008-12-05 | 2008-12-05 | 走査ユニット付き顕微鏡における放射を走査ヘッドに結合するための配置およびその操作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11231222A true JPH11231222A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12273541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2934198A Pending JPH11231222A (ja) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11231222A (ja) |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001147376A (ja) * | 1999-09-15 | 2001-05-29 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | レーザー走査型顕微鏡およびその参照補正方法 |
| JP2001154101A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-06-08 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 顕微鏡内で数個の波長を用いて照射するための配列 |
| JP2005010296A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Olympus Corp | 蛍光顕微鏡 |
| JP2005025054A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Olympus Corp | レーザ変調装置および方法 |
| JP2005189290A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Olympus Corp | 走査型レーザー顕微鏡 |
| US6924490B2 (en) | 2002-01-10 | 2005-08-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope system |
| US7009171B2 (en) | 2002-08-28 | 2006-03-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser scanning microscope system and scanning unit applied to the system |
| US7015485B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser scanning microscope, semiconductor laser light source unit, scanning unit for a laser scanning microscope, and method of connecting semiconductor light source to scanning microscope |
| JP2006079000A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Olympus Corp | 光走査型観察装置 |
| JP2006112903A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Olympus Corp | 紫外光光源ユニット及びこれを用いた干渉計並びに干渉計の調整方法 |
| US7187493B2 (en) | 2000-10-31 | 2007-03-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser microscope |
| JP2007101910A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
| US7215468B2 (en) | 2003-07-29 | 2007-05-08 | Olympus Corporation | Confocal microscope |
| JP2010519579A (ja) * | 2007-02-21 | 2010-06-03 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 共焦点レーザ顕微鏡 |
| JP2010286799A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-12-24 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
| JP4613396B2 (ja) * | 2000-06-28 | 2011-01-19 | 株式会社ニコン | 走査型共焦点顕微鏡及びその遮光板の位置調整方法 |
| JP4774186B2 (ja) * | 2000-08-18 | 2011-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 偏光を削減する小スポット分光測定器具 |
| JP2012133368A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | 共焦点レーザ走査顕微鏡のピンホール |
| JP2019002937A (ja) * | 2013-02-22 | 2019-01-10 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 光計測において照明を提供するためのシステム |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP2934198A patent/JPH11231222A/ja active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001147376A (ja) * | 1999-09-15 | 2001-05-29 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | レーザー走査型顕微鏡およびその参照補正方法 |
| JP2001154101A (ja) * | 1999-10-26 | 2001-06-08 | Carl Zeiss Jena Gmbh | 顕微鏡内で数個の波長を用いて照射するための配列 |
| JP4613396B2 (ja) * | 2000-06-28 | 2011-01-19 | 株式会社ニコン | 走査型共焦点顕微鏡及びその遮光板の位置調整方法 |
| JP4774186B2 (ja) * | 2000-08-18 | 2011-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 偏光を削減する小スポット分光測定器具 |
| US7187493B2 (en) | 2000-10-31 | 2007-03-06 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser microscope |
| US6924490B2 (en) | 2002-01-10 | 2005-08-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope system |
| US7015485B2 (en) | 2002-06-24 | 2006-03-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser scanning microscope, semiconductor laser light source unit, scanning unit for a laser scanning microscope, and method of connecting semiconductor light source to scanning microscope |
| US7009171B2 (en) | 2002-08-28 | 2006-03-07 | Olympus Optical Co., Ltd. | Laser scanning microscope system and scanning unit applied to the system |
| JP2005010296A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Olympus Corp | 蛍光顕微鏡 |
| JP4615834B2 (ja) * | 2003-07-04 | 2011-01-19 | オリンパス株式会社 | レーザ変調装置および方法 |
| JP2005025054A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Olympus Corp | レーザ変調装置および方法 |
| US7215468B2 (en) | 2003-07-29 | 2007-05-08 | Olympus Corporation | Confocal microscope |
| JP2005189290A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Olympus Corp | 走査型レーザー顕微鏡 |
| JP4573524B2 (ja) * | 2003-12-24 | 2010-11-04 | オリンパス株式会社 | 走査型レーザー顕微鏡 |
| JP2006079000A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Olympus Corp | 光走査型観察装置 |
| JP2006112903A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Olympus Corp | 紫外光光源ユニット及びこれを用いた干渉計並びに干渉計の調整方法 |
| JP2007101910A (ja) * | 2005-10-05 | 2007-04-19 | Yokogawa Electric Corp | 共焦点顕微鏡 |
| JP2010519579A (ja) * | 2007-02-21 | 2010-06-03 | カール ツァイス マイクロイメージング ゲーエムベーハー | 共焦点レーザ顕微鏡 |
| JP2010286799A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-12-24 | Nikon Corp | 走査型顕微鏡 |
| JP2012133368A (ja) * | 2010-12-22 | 2012-07-12 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | 共焦点レーザ走査顕微鏡のピンホール |
| JP2019002937A (ja) * | 2013-02-22 | 2019-01-10 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 光計測において照明を提供するためのシステム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6167173A (en) | Laser scanning microscope | |
| JPH11231222A (ja) | 走査ユニット付顕微鏡、そのための配置および操作方法 | |
| US7212338B2 (en) | Arrangement for illumination and/or detection in a microscope | |
| US6909542B2 (en) | Laser microscope | |
| US6229635B1 (en) | Light sensing device | |
| US6459484B1 (en) | Scanning optical apparatus | |
| DE19758744C2 (de) | Laser-Scanning-Mikroskop | |
| US7580171B2 (en) | Device for confocal illumination of a specimen | |
| JP2019117387A (ja) | 高解像度スキャニング顕微鏡法 | |
| US7889428B2 (en) | External laser light introducing device | |
| US7239384B2 (en) | Laser-scanning fluoroscopy apparatus | |
| US6631226B1 (en) | Laser scanning microscope | |
| JP2000199855A (ja) | 走査型光学顕微鏡装置 | |
| US10520713B2 (en) | System for confocal illumination of a sample | |
| US11029506B2 (en) | Scanning microscope with multiplexed light sources | |
| US7235777B2 (en) | Light scanning microscope and use | |
| JP2007506955A (ja) | エバネッセント波照明を備えた走査顕微鏡 | |
| US6924490B2 (en) | Microscope system | |
| US6278555B1 (en) | Laser scanning microscope | |
| JP2009080502A (ja) | 走査ユニット付き顕微鏡における放射を走査ヘッドに結合するための配置およびその操作方法 | |
| CN111751340B (zh) | 光束复用共聚焦成像装置及成像方法 | |
| JP2003270543A (ja) | 共焦点用光スキャナ | |
| JP2005181891A (ja) | レーザ顕微鏡 | |
| US20220137385A1 (en) | Microscope and method for microscopic examination of large samples | |
| JP4225850B2 (ja) | レーザ顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050106 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080212 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20080507 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080610 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080804 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080807 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090331 |