JPH10207052A - Positive photosensitive composition - Google Patents

Positive photosensitive composition

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JPH10207052A
JPH10207052A JP9012828A JP1282897A JPH10207052A JP H10207052 A JPH10207052 A JP H10207052A JP 9012828 A JP9012828 A JP 9012828A JP 1282897 A JP1282897 A JP 1282897A JP H10207052 A JPH10207052 A JP H10207052A
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aryl group
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浩一 川村
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the positive photosensitive composition safe to white light and wide in development latitude and capable of forming a high-contrast image without lowering sensitivity and restraining image blurring due to printing. SOLUTION: This positive photosensitive composition contains a copolymer comprising structural units derived from an additionally polymerizable monomer having a fluoroaliphatic group substituted by fluorine for hydrogen, monomers each represented by the structures of formulae [1]-[4], and monomers represented by the structures of formulae [5]-[8], and these components amounting to >90weight% of the total copolymer components, and in formulae [1]-[8], A is an H or halogen atom or the like; W is an O atom or a -NR3 - group; R1 is an alkylene or arylene group; each of R2 and R3 is an alkyl group or the like; each of R4 -R6 is an alkyl or aryl group; each of Y and Z is an arylene group; X is a bonding group; U is a cyano or aryl group or the like; each of (l) and (m) is 0 or 1; and (n) is 1, 2, or 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は平版印刷版、IC回
路やホトマスク製造に適するポジ型感光性組成物に関
し、とくに高感度で硬調な画像形成性を与え、焼きぼ
け、白灯安全性および現像許容性に優れるポジ型感光性
組成物に関するものである。さらに詳しくは、従来公知
の方法で高感度化したポジ型感光性組成物に、特定の化
合物を添加して、感度を低下させることなく、硬調な画
像形成性を示し、かつ、焼きぼけ、白灯安全性、および
現像許容性を広くしたポジ型感光性組成物に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a positive photosensitive composition suitable for the production of a lithographic printing plate, an IC circuit or a photomask. The present invention relates to a positive photosensitive composition having excellent acceptability. More specifically, a specific compound is added to a positive-type photosensitive composition that has been made highly sensitive by a conventionally known method, without deteriorating the sensitivity, showing a high-contrast image-forming property, and showing burn-out and whiteness. The present invention relates to a positive-type photosensitive composition having widened lamp safety and development tolerance.

【0002】[0002]

【従来の技術】o−キノンジアジド化合物を含有してな
る感光性組成物は、非常に優れたポジ型感光性組成物と
して平版印刷版の製造やフォトレジストの用途に工業的
に広く用いられてきた。従来o−キノンジアジド系のポ
ジ型感光性組成物の感度を高める技術については種々の
提案がなされてきたが、感度を低下させることなく、硬
調な画像形成性を示し、かつ、焼きぼけ抑制性、白灯安
全性、および現像許容性の面で、満足できる技術は得ら
れてない。例えば、o−キノンジアジド化合物の量を少
なくすると,当然感度は上昇するが、それに伴って画像
は軟調になり、焼きぼけ抑制性、白灯安全性および現像
許容性が劣化するという問題を有していた。またo−キ
ノンジアジド化合物にアルカリ溶解性の大きいバインダ
ーを組み合わせると、前記と同様感度は上昇するが、そ
れに伴って画像は軟調になり、焼きぼけ抑制性、白灯安
全性および現像許容性が劣化するという問題を有してい
た。
2. Description of the Related Art Photosensitive compositions containing an o-quinonediazide compound have been widely used industrially in the production of lithographic printing plates and in photoresist applications as very excellent positive photosensitive compositions. . Conventionally, various proposals have been made for techniques for increasing the sensitivity of an o-quinonediazide-based positive photosensitive composition, without deteriorating the sensitivity, showing a high-contrast image-forming property, and, at the same time, preventing burn-out. No satisfactory technology has been obtained in terms of white light safety and development tolerance. For example, when the amount of the o-quinonediazide compound is reduced, the sensitivity naturally rises, but the image becomes softer with the decrease, and there is a problem that the burn-out suppressing property, the safety of white light and the development tolerance are deteriorated. Was. When an o-quinonediazide compound is combined with a binder having a large alkali solubility, the sensitivity is increased as described above, but the image becomes softer, and the burn-out suppressing property, white light safety, and development acceptability are deteriorated. Had the problem that

【0003】一方、o−キノンジアジド化合物よりも高
感度を示す系として、米国特許第4491628号、欧
州特許第249139号などに記載されているようなア
ルカリ可溶性基を酸分解基で保護した化学増幅系の感光
物が提案され広く用いられている。しかしこのものにお
いても、硬調な画像形成性を持ち、かつ現像許容性も広
い満足すべきものが得られていないのが実状である。こ
こで、画像が軟調であるとはステップウエッジを通して
露光し現像したときに画像が残存し始める段数と完全に
膜が残存している段数との差が大きいことを意味する。
また逆に画像が硬調であるとは画像が残存し始める段数
と完全に膜が残存している段数との差が小さいことを意
味する。焼きぼけとはキノンジアジドの分解により生じ
た窒素ガスによりリスフィルムが浮き上がり完全な密着
露光ができなくなるために生じるものであり、一般的に
クリアー感度を同一にしたとき、画像が硬調であるほど
焼きぼけを解消しやすい。
On the other hand, as a system exhibiting higher sensitivity than an o-quinonediazide compound, a chemical amplification system in which an alkali-soluble group is protected with an acid-decomposable group as described in US Pat. No. 4,491,628, European Patent 249,139 and the like. Has been proposed and widely used. However, even in this case, a satisfactory image having high image forming properties and wide development tolerance has not been obtained. Here, that the image is soft means that there is a large difference between the number of steps at which the image starts to remain when exposed and developed through the step wedge and the number of steps at which the film completely remains.
Conversely, a high contrast image means that the difference between the number of steps at which the image starts to remain and the number of steps at which the film completely remains is small. Burning is caused by the fact that nitrogen gas generated by the decomposition of quinonediazide raises the lith film and makes perfect contact exposure impossible.In general, when the clear sensitivity is the same, the harder the image, the more blur Is easy to resolve.

【0004】白灯安全性とは印刷版を蛍光灯などの白灯
下に曝したときに画像の感度の安定性を示すものであ
り、画像が硬調なものほど白灯安全性が良い。これはキ
ノンジアジドが白灯により一部分解することに関係して
おり、画像が硬調なものはキノンジアジドが弱い白灯に
より少量分解しても画像が溶出することがないため白灯
下に曝さなかったのと同じような画像となるためであ
る。なおステップウエッジとは一段ごとに濃度が例えば
0.15ずつ変化する短冊形のフィルムであり、露光量
と露光後現像した後の感光層残膜量との関係を得る際に
用いられる。またクリアー感度とは露光現像後に画像が
でき始めるときの感度を意味する。また、現像許容性と
は現像液の濃度が変化したときに、露光し現像した後の
画像感度が変動する程度を指す特性であり、感度の変動
が小さいものほど現像許容性が良いという。
[0004] White light safety indicates the stability of image sensitivity when a printing plate is exposed to white light such as a fluorescent light, and the higher the image contrast, the better the white light safety. This is related to the fact that quinonediazide is partially decomposed by white light. This is because the image becomes similar to the above. The step wedge is a strip-shaped film in which the density changes, for example, by 0.15 at each step, and is used to obtain the relationship between the exposure amount and the remaining amount of the photosensitive layer after development after exposure. The clear sensitivity means the sensitivity at which an image starts to be formed after exposure and development. Further, the development tolerance is a characteristic indicating the degree to which the image sensitivity after exposure and development changes when the concentration of the developer changes, and the smaller the sensitivity variation, the better the development tolerance.

【0005】従来から、o−キノンジアジド化合物を含
む感光性組成物に非感光性の化合物を添加して、感度を
上昇させる技術が提案されているが、いずれもそれぞれ
に欠点を有しているのが現状である。例えば、特開昭5
2−80022号公報には環状酸無水物を添加して感度
を上昇させる方法が提案されている。しかしこの方法
は、感度上昇の効果は認められるが、十分な感度上昇が
得られる程度に酸無水物を添加すると画像が軟調とな
り、白灯安全性、現像許容性が大きく劣化する。また特
開昭55-73045号公報には感度を上昇させるためヒドロキ
シベンゾフェノンとホルムアルデヒドとの縮合生成物の
添加が提案されている。この場合も先の特開昭52-80022
号公報と同様、感度上昇の効果は認められるが、十分な
感度上昇が得られる程度に添加すると同様に画像が軟調
となり、白灯安全性、現像許容性が劣化する。
Heretofore, techniques have been proposed to increase the sensitivity by adding a non-photosensitive compound to a photosensitive composition containing an o-quinonediazide compound, but each of them has a drawback. Is the current situation. For example, JP
Japanese Patent Publication No. 2-80022 proposes a method of increasing the sensitivity by adding a cyclic acid anhydride. However, in this method, although the effect of increasing the sensitivity is recognized, if an acid anhydride is added to such an extent that a sufficient increase in sensitivity can be obtained, the image becomes soft, and the safety of white light and the development tolerance are greatly deteriorated. JP-A-55-73045 proposes the addition of a condensation product of hydroxybenzophenone and formaldehyde in order to increase the sensitivity. In this case also,
The effect of increasing the sensitivity is recognized, as in the case of Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-209, but if added to such an extent that a sufficient increase in sensitivity can be obtained, the image becomes similarly soft, and the safety of white light and the development tolerance deteriorate.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】これらの問題点を解決
するために界面活性剤を添加する方法がいくつか提示さ
れてきた。例えば特開昭59−121044号公報には
高感度化したポジ型感光性組成物に両性界面活性剤およ
び有機ホウ素系活性剤を添加することにより現像許容性
を広くする方法が示されている。また特開昭62−25
1740号公報には高感度化したポジ型感光性組成物に
非イオン性界面活性剤を添加することにより現像許容性
を広くする方法が示されている。しかしながら、いずれ
の方法もある程度の現像許容性改善の効果はあったが十
分なものではなく、十分な効果を得ようとすると感度低
下を招いた。また焼きぼけ抑制性、白灯安全性に関して
は効果が得られなかった。また、特開昭62−2261
43、特開平3−172849、特開平8−15858
号公報には界面活性剤としてフルオロ脂肪族基、および
ポリオキシアルキレン基又はアニオン性基を有するフッ
素系ポリマーが記載されている。しかし、これらのポリ
マーを用いても焼きぼけ抑制性、白灯安全性に関しては
効果がなかった。本発明は、従来の技術の上記問題点を
解決し、感度を低下させることなく、硬調な画像形成性
を示し、かつ、焼きぼけ抑制性、白灯安全性、および現
像許容性のすべてで満足できるポジ型感光性組成物を提
供しようとするものである。
Some methods for adding a surfactant have been proposed to solve these problems. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 59-121044 discloses a method of broadening the development tolerance by adding an amphoteric surfactant and an organoboron-based surfactant to a positive-working photosensitive composition having increased sensitivity. Also, JP-A-62-25
No. 1740 discloses a method of broadening the development tolerance by adding a nonionic surfactant to a positive-working photosensitive composition having increased sensitivity. However, although all of the methods had some effect of improving development tolerance, they were not sufficient, and if a sufficient effect was to be obtained, the sensitivity was lowered. In addition, no effects were obtained with respect to burn-out suppression and white light safety. In addition, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-2261
43, JP-A-3-172849, JP-A-8-15858
Japanese Patent Application Publication No. JP-A-2002-176131 describes a fluoropolymer having a fluoroaliphatic group, a polyoxyalkylene group or an anionic group as a surfactant. However, even when these polymers were used, there was no effect with respect to burnout suppression and white light safety. The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, shows a high contrast image forming property without lowering the sensitivity, and satisfies all of burn-out suppressing properties, white light safety, and development tolerance. An object of the present invention is to provide a positive photosensitive composition that can be used.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意研究
を進めた結果、ポジ型感光性組成物に特定の含フッ素ポ
リマーを添加することにより、上記目的が達成されるこ
とを見いだした。すなわち本発明は含フッ素ポリマーと
してフッ素原子を有する構成成分(1)と酸性水素原子
を有する構成成分(2)と親油性を示す構成成分(3)
とを重量で90%超える範囲で有する共重合体を感光性
組成物に添加すると感度を低下させることなく、硬調な
画像形成性を示し、かつ、焼きぼけ抑制性、白灯安全
性、および現像許容性を広くしたポジ型感光性組成物が
得られることを見いだした。またこの手段は、従来公知
の手段で高感度化したポジ型感光性組成物の硬調化に特
に有効であり、本発明による含フッ素ポリマーを添加す
ることで軟調であった画像が硬調化し、焼きぼけ抑制
性、白灯安全性、および現像許容性が改善されることを
見いだした。
Means for Solving the Problems As a result of diligent studies, the present inventors have found that the above object can be achieved by adding a specific fluorine-containing polymer to a positive photosensitive composition. . That is, the present invention relates to a component (1) having a fluorine atom as a fluorine-containing polymer, a component (2) having an acidic hydrogen atom, and a component (3) exhibiting lipophilicity.
Is added to the photosensitive composition in an amount of more than 90% by weight to the photosensitive composition. It has been found that a positive photosensitive composition having a wide tolerance is obtained. This means is particularly effective for increasing the contrast of a positive photosensitive composition which has been made highly sensitive by a conventionally known means. It has been found that blur control, white light safety, and development tolerance are improved.

【0008】すなわち、本発明の目的は下記のポジ型感
光性組成物によって達せられる。少なくとも下記(1)
で示される構成成分、(2)で示される構成成分および
(3)で示される構成成分を共重合成分として有し、か
つ(1)、(2)および(3)の成分の合計重量は全成
分重量の90%を超える範囲にある高分子化合物を含有
することを特徴とするポジ型感光性組成物。 (1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ
脂肪族基を有する付加重合可能なモノマー (2)下記の構造〔1〕乃至〔4〕で示されるモノマー
That is, the object of the present invention is achieved by the following positive photosensitive composition. At least the following (1)
, A component represented by (2) and a component represented by (3) as copolymerization components, and the total weight of the components (1), (2) and (3) is all A positive photosensitive composition comprising a polymer compound in a range exceeding 90% of the component weight. (1) A monomer capable of addition polymerization having a fluoroaliphatic group in which a hydrogen atom is substituted by a fluorine atom (2) A monomer represented by the following structures [1] to [4]

【0009】[0009]

【化3】 Embedded image

【0010】式中、Aは水素原子、ハロゲン原子または
アルキル基を表す。Wは酸素、または−NR3−であ
り、R3は水素原子、アルキル基、アリール基を表す。
1は置換基を有していてもよいアルキレン基、アリー
レン基、R2は水素原子、アルキル基、アリール基を表
す。R4はアルキル基、アリール基を表す。Y,Zは同
一であっても異なっていても良いアリーレン基を表す。
Xは連結基であり、炭素、窒素、酸素、硫黄、ハロゲ
ン、水素原子から選ばれる原子からなる2価の有機基を
表す。m,lは0から1の整数を、nは1から3の整数
を表す。 (3)下記の構造〔5〕乃至〔8〕で示されるモノマー
In the formula, A represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. W is oxygen or —NR 3 —, and R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group.
R 1 represents an alkylene group or an arylene group which may have a substituent, and R 2 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group. R 4 represents an alkyl group or an aryl group. Y and Z represent an arylene group which may be the same or different.
X is a linking group, and represents a divalent organic group consisting of atoms selected from carbon, nitrogen, oxygen, sulfur, halogen, and hydrogen atoms. m and l represent an integer of 0 to 1, and n represents an integer of 1 to 3. (3) Monomers represented by the following structures [5] to [8]

【0011】[0011]

【化4】 Embedded image

【0012】Wは酸素、または−NR3−であり、R3
水素原子、アルキル基、アリール基を表す。R5は置換
基を有していても良いアルキル基、置換基を有していて
も良いアリール基、R6はアルキル基、アリール基を表
す。Uはシアノ基、アリール基、アルコキシ基、アリー
ルオキシ基、アシルオキシメチル基、窒素原子を含むヘ
テロ環、もしくは−CH2 OCOR6 (R6 は上記と同
義)をあらわす。Aは前記〔1〕〜〔4〕と同義。
W is oxygen or -NR 3- , and R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group. R 5 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, and R 6 represents an alkyl group or an aryl group. U represents a cyano group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxymethyl group, a hetero ring containing a nitrogen atom, or —CH 2 OCOR 6 (R 6 is as defined above). A has the same meaning as in the above [1] to [4].

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下本発明の特徴をなす各成分
(1)、(2)、(3)のビニル単量体についてさらに
詳しく説明する。成分(1)の水素原子がフッ素原子で
置換されているフルオロ脂肪族基とは、通常飽和されか
つ一般に1価、2価の脂肪族基である。これは直鎖、分
岐鎖、または環式のものを含む。フルオロ脂肪族基は本
発明の目的において十分な効果を発揮するためには、3
〜20、好ましくは6〜12の炭素原子を有し、かつ4
0重量%以上の好ましくは50重量%以上の、炭素原子
に結合したフッ素を有するものである。好適なフルオロ
脂肪族基は、Cn2n+1−(nは1以上好ましくは3以
上の整数)のように実質上完全にまたは十分にフッ素化
されたパーフルオロ脂肪族基(以下、Rf基とも略す)
である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The vinyl monomers of the components (1), (2) and (3) which characterize the present invention will be described in more detail below. The fluoroaliphatic group in which the hydrogen atom of the component (1) is substituted by a fluorine atom is usually a saturated and generally monovalent or divalent aliphatic group. This includes straight, branched or cyclic. The fluoroaliphatic group is required to have a sufficient effect for the purpose of the present invention.
-20, preferably 6-12 carbon atoms, and 4
It has at least 0% by weight, preferably at least 50% by weight, of fluorine bonded to a carbon atom. Suitable fluoro-aliphatic groups, C n F 2n + 1 - (n is 1 or more preferably an integer of 3 or more) substantially completely or fully fluorinated perfluoro aliphatic group such as (hereinafter, Rf Also abbreviated as a group)
It is.

【0014】成分(1)の炭素原子上の水素原子がフッ
素化されているフルオロ脂肪族基を有する付加重合可能
なモノマーにおける付加重合性モノマー部としてはラジ
カル重合可能な不飽和基を持つビニル単量体が用いられ
る。これらのビニル単量体のうち好ましいものとしては
アクリレート、メタクリレート、アクリルアミド、メタ
クリルアミド、スチレン系、ビニル系である。フルオロ
脂肪族基が結合したアクリレート,メタクリレートの具
体例としては、例えば、Rf−R′−OOC−C
(R″)=CH2(ここでR′は、例えば、単結合、ア
ルキレン、スルホンアミドアルキレン、またはカルボン
アミドアルキレンであり、R″は水素原子、メチル基、
ハロゲン原子、またはパーフルオロ脂肪族基)で表され
る化合物が挙げられる。
The addition-polymerizable monomer part of the addition-polymerizable monomer having a fluoroaliphatic group in which a hydrogen atom on a carbon atom of the component (1) is fluorinated is a vinyl monomer having a radically polymerizable unsaturated group. A dimer is used. Among these vinyl monomers, preferred are acrylate, methacrylate, acrylamide, methacrylamide, styrene and vinyl. Specific examples of acrylates and methacrylates to which a fluoroaliphatic group is bonded include, for example, Rf-R'-OOC-C
(R ″) = CH 2 (where R ′ is, for example, a single bond, alkylene, sulfonamidoalkylene, or carbonamidoalkylene, and R ″ is a hydrogen atom, a methyl group,
A halogen atom or a perfluoroaliphatic group).

【0015】これらの具体例としては例えば米国特許第
2803615号、同第2642416号、同第282
6564号、同第3102103号、同第328290
5号、及び同第3304278号、特開平6−2562
89号、特開昭62−1116号、特開昭62−487
72号、特開昭63−77574号、特開昭62−36
657号に記載のもの及び日本化学会誌1985(No.
10)1884〜1888頁記載のものを挙げることが
できる。また、これらのフルオロ脂肪族基が結合したモ
ノマーのほかにも、Reports Res. Lab. Asahi Glass C
o., Ltd. 34巻1984年、27-34 頁記載のフルオロ脂肪族
基が結合したマクロマーも用いることができる。またフ
ルオロ脂肪族基結合モノマーとしては、下記構造式の様
なパーフルオロアルキル基の長さの異なる混合物であっ
ても用いることができる。
As specific examples of the above, for example, US Pat. Nos. 2,803,615, 2,642,416, and 282
No. 6564, No. 3102103, No. 328290
No. 5, No. 3,304,278, JP-A-6-2562.
No. 89, JP-A-62-1116, JP-A-62-487
No. 72, JP-A-63-77574, JP-A-62-36
657 and the Chemical Society of Japan 1985 (No.
10) Those described on pages 1884-1888. In addition to these fluoroaliphatic group-bonded monomers, Reports Res. Lab. Asahi Glass C
o., Ltd., vol. 34, 1984, pp. 27-34, a macromer to which a fluoroaliphatic group is bonded can also be used. Further, as the fluoroaliphatic group-bonding monomer, a mixture having different lengths of perfluoroalkyl groups as shown in the following structural formula can be used.

【0016】[0016]

【化5】 Embedded image

【0017】本発明で用いられる含フッ素共重合ポリマ
ー中に用いられるこれらのフルオロ脂肪族基含有ビニル
単量体の量は、該共重合ポリマーの重量に基づいて3〜
70重量%であり、好ましくは7〜40重量%の範囲で
ある。成分(2)として用いられるモノマーは、下記構
造〔1〕−〔4〕で示される。
The amount of these fluoroaliphatic group-containing vinyl monomers used in the fluorine-containing copolymer used in the present invention is 3 to 3 based on the weight of the copolymer.
70% by weight, preferably in the range of 7-40% by weight. The monomer used as the component (2) is represented by the following structures [1] to [4].

【0018】[0018]

【化6】 Embedded image

【0019】式中、Aは水素原子、ハロゲン原子または
アルキル基を表す。Wは酸素、または−NR3−であ
り、R3は水素原子、アルキル基、アリール基を表す。
1は置換基を有していてもよいアルキレン基、アリー
レン基、R2は水素原子、アルキル基、アリール基を表
す。R4はアルキル基、アリール基を表す。Y,Zは同
一であっても良くまた異なっていても良く、アリーレン
基を表す。Xは連結基であり、炭素、窒素、酸素、硫
黄、ハロゲン、水素原子から選ばれる原子からなる2価
の有機基を表す。m,lは0から1の整数を、nは1か
ら3の整数を表す。構造〔1〕〜〔4〕で示されるモノ
マーの好ましい範囲としては、Aは水素原子、ハロゲン
原子または炭素数1〜4のアルキル基であり、R3は水
素原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20
のアリール基を表す。R1は置換基を有していてもよい
炭素数1〜12のアルキレン基、炭素数6〜20のアリ
ーレン基、R2は水素原子、炭素数1〜20のアルキル
基、炭素数6〜20のアリール基を表す。R4は炭素数
1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基を
表す。Y,Zは炭素数6〜20のアリーレン基を表す。
In the formula, A represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. W is oxygen or —NR 3 —, and R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group.
R 1 represents an alkylene group or an arylene group which may have a substituent, and R 2 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group. R 4 represents an alkyl group or an aryl group. Y and Z may be the same or different, and represent an arylene group. X is a linking group, and represents a divalent organic group consisting of atoms selected from carbon, nitrogen, oxygen, sulfur, halogen, and hydrogen atoms. m and l represent an integer of 0 to 1, and n represents an integer of 1 to 3. As a preferred range of the monomers represented by the structures [1] to [4], A is a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 3 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms. Group, 6-20 carbon atoms
Represents an aryl group. R 1 is an alkylene group having 1 to 12 carbon atoms which may have a substituent, an arylene group having 6 to 20 carbon atoms, R 2 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and 6 to 20 carbon atoms. Represents an aryl group. R 4 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or an aryl group having 6 to 20 carbon atoms. Y and Z each represent an arylene group having 6 to 20 carbon atoms.

【0020】前記一般式〔1〕、および〔2〕におい
て、Aのより好ましいものとしては水素原子、またはメ
チル基である。Y,R1もしくはR2で表されるより好ま
しいアルキル基としてはメチル、エチル、イソプロピル
などの炭素数1〜20のアルキル基があり、Y,R1
しくはR2で表されるより好ましいアリール基としては
フェニル、ナフチルなどの炭素数6〜18のアリール基
がある。Y,もしくはR1で表されるアリーレン基、ア
ルキレン基は置換基を有していても良く、置換基として
はフッ素、クロロ、ブロモなどのハロゲン原子、メトキ
シ、エトキシ、などのアルコキシ基、フェノキシなどの
アリールオキシ基、シアノ基、アセトアミドなどのアミ
ド基、エトキシカルボニル基のようなアルコキシカルボ
ニル基などのほか炭素数1〜20のアルキル基、炭素数
6〜18のアリール基などを挙げることができる。成分
(2)の好ましい具体的化合物を以下に示す。
In the general formulas [1] and [2], A is more preferably a hydrogen atom or a methyl group. More preferred alkyl groups represented by Y, R 1 or R 2 include alkyl groups having 1 to 20 carbon atoms such as methyl, ethyl and isopropyl, and more preferred aryl groups represented by Y, R 1 or R 2 Examples thereof include aryl groups having 6 to 18 carbon atoms such as phenyl and naphthyl. The arylene group or alkylene group represented by Y or R 1 may have a substituent, and examples of the substituent include halogen atoms such as fluorine, chloro, and bromo; alkoxy groups such as methoxy and ethoxy; and phenoxy. And an amide group such as an acetamide, an alkoxycarbonyl group such as an ethoxycarbonyl group, an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and an aryl group having 6 to 18 carbon atoms. Preferred specific compounds of the component (2) are shown below.

【0021】[0021]

【化7】 Embedded image

【0022】[0022]

【化8】 Embedded image

【0023】本発明で用いられる含フッ素共重合ポリマ
ー中に用いられるこれらの酸性基を有するビニル単量体
の量は、該共重合ポリマーの重量にもとずいて5〜70
重量%であり、好ましくは10〜50重量%の範囲であ
る。
The amount of these acidic group-containing vinyl monomers used in the fluorine-containing copolymer used in the present invention is 5 to 70% based on the weight of the copolymer.
%, Preferably in the range of 10 to 50% by weight.

【0024】成分(3)として用いられるモノマーは、
下記構造〔5〕−〔8〕で示される。
The monomer used as the component (3) is
It is shown by the following structures [5]-[8].

【0025】[0025]

【化9】 Embedded image

【0026】Wは、酸素、または−NR3−であり、R3
は水素原子、アルキル基及びアリール基を表す。R5
置換基を有していても良いアルキル基及び置換基を有し
ていても良いアリール基、R6はアルキル基及びアリー
ル基を表す。Uはシアノ基、アリール基、アルコキシ
基、アリールオキシ基、アシルオキシメチル基、窒素原
子を含むヘテロ環、をあらわす。Aは前記〔1〕〜
〔4〕と同義のものをあらわす。構造〔5〕〜〔8〕で
示されるモノマーの好ましい範囲としては、Wは酸素、
または−NR3−であり、R3は水素原子、炭素数1〜2
0のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基を表す。
5は置換基を有していても良い炭素数1〜8のアルキ
ル基及び置換基を有していても良いアリール基、R6
炭素数1〜20のアルキル基、炭素数6〜20のアリー
ル基を表す。Uはシアノ基、アリール基、アルコキシ
基、アリールオキシ基、アシルオキシメチル基、窒素原
子を含むヘテロ環、もしくは−CH2 OCOR6 (R6
は前記と同義)をあらわす。
[0026] W is oxygen or -NR, 3 - a is, R 3
Represents a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group. R 5 represents an alkyl group which may have a substituent and an aryl group which may have a substituent, and R 6 represents an alkyl group and an aryl group. U represents a cyano group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxymethyl group, or a hetero ring containing a nitrogen atom. A is the above [1]-
Represents the same thing as [4]. As a preferable range of the monomers represented by the structures [5] to [8], W is oxygen,
Or —NR 3 —, wherein R 3 is a hydrogen atom, having 1 to 2 carbon atoms.
0 represents an alkyl group and an aryl group having 6 to 20 carbon atoms.
R 5 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms which may have a substituent and an aryl group which may have a substituent, R 6 is an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, and 6 to 20 carbon atoms. Represents an aryl group. U is a cyano group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, an acyloxymethyl group, a heterocycle containing a nitrogen atom, or —CH 2 OCOR 6 (R 6
Is as defined above).

【0027】R5が置換基を有していても良いアルキル
基のとき、その置換基としてはフッ素、クロロ、ブロモ
などのハロゲン原子、水酸基、メトキシ、エトキシ、な
どのアルコキシ基、フェノキシなどのアリールオキシ
基、シアノ基、アセトアミドなどのアミド基、エトキシ
カルボニル基のようなアルコキシカルボニル基などを挙
げることができる。R5が置換基を有していても良いア
リール基のときその置換基としては上記の他、メチル基
をあげることができる。
When R 5 is an alkyl group which may have a substituent, examples of the substituent include a halogen atom such as fluorine, chloro and bromo, a hydroxyl group, an alkoxy group such as methoxy and ethoxy, and an aryl group such as phenoxy. Examples include an oxy group, a cyano group, an amide group such as acetamide, and an alkoxycarbonyl group such as an ethoxycarbonyl group. When R 5 is an aryl group which may have a substituent, examples of the substituent include a methyl group in addition to the above.

【0028】成分(3)の好ましい具体的化合物を以下
に示す。例えばメチル(メタ)アクリレート、エチル
(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレー
ト、ブチル(メタ)アクリレート、アミル(メタ)アク
リレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、
オクチル(メタ)アクリレート、2−クロロエチル(メ
タ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−
ヒドロキシルプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒド
ロキシブチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコ
ールモノ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−
フェノキシプロピル(メタ)アクリレート、グリシジル
(メタ)アクリレート、ジエチルアミノエチル(メタ)
アクリレート、フルフリル(メタ)アクリレート、テト
ラヒドロフリル(メタ)アクリレート、フェニル(メ
タ)アクリレート、ヒドロキシフェニル(メタ)アクリ
レート、クレジル(メタ)アクリレート、ナフチル(メ
タ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、メ
トキシベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アク
リル酸エステル類;(メタ)アクリルアミド、N−エチ
ル(メタ)アクリルアミド、N−プロピル(メタ)アク
リルアミド、N−ブチル(メタ)アクリルアミド、N−
ヘキシル(メタ)アクリルアミド、N−オクチル(メ
タ)アクリルアミド、N−シクロヘキシル(メタ)アク
リルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、
N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N−ベ
ンジル(メタ)アクリルアミド、N−フェニル(メタ)
アクリルアミド、N−ニトロフェニル(メタ)アクリル
アミド、N−トリル(メタ)アクリルアミド、N−ヒド
ロキシフェニル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメ
チル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジエチル(メ
タ)アクリルアミド、N,N−ジシクロヘキシル(メ
タ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド類;N
−メチルマレイミド、N−エチルマレイミド、N−プロ
ピルマレイミド、N−ブチルマレイミド、、N−ペンチ
ルマレイミド、N−n−ヘキシルマレイミド、N−ラウ
リルマレイミド、N−ステアリルマレイミド、N−シク
ロヘキシルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−
クロロフェニルマレイミド、N−トリルマレイミド、N
−ヒドロキシマレイミド、N−ベンジルマレイミド等の
N−置換マレイミド類;酢酸アリル、カプロン酸アリ
ル、ステアリン酸アリル、アリルオキシエタノール等の
アリル化合物;エチルビニルエーテル、プロピルビニル
エーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエー
テル、メトキシエチルビニルエーテル、エトキシエチル
ビニルエーテル、2−クロロエチルビニルエーテル、ヒ
ドロキシエチルビニルエーテル、ベンジルビニルエーテ
ル、テトラヒドロフルフリルビニルエーテル、フェニル
ビニルエーテル、トリルビニルエーテル、ジエチルアミ
ノエチルビニルエーテル等のヒニルエーテル類;ビニル
アセテート、ビニルブチレート、ビニルカプロエート、
ビニルクロルアセテート、ビニルメトキシアセテート、
ビニルフェニルアセテート、ビニルアセトアセテート、
安息香酸ビニル、クロル安息香酸ビニル等のビニルエス
テル類;スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレ
ン、ジメチルスチレン、クロルメチルスチレン、エトキ
シメチルスチレン、ヒドロキシスチレン、クロルスチレ
ン、プロムスチレン等のスチレン類;N−ビニルピロリ
ドン、N−ビニルピリジン、アクリロニトリル等が挙げ
られる。これらの成分(3)のうち特に好ましいのは、
構造〔5〕および〔7〕で示されるモノマーである。
Preferred specific compounds of the component (3) are shown below. For example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, amyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate,
Octyl (meth) acrylate, 2-chloroethyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-
Hydroxylpropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, diethylene glycol mono (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-
Phenoxypropyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, diethylaminoethyl (meth)
Acrylate, furfuryl (meth) acrylate, tetrahydrofuryl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, hydroxyphenyl (meth) acrylate, cresyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, methoxybenzyl (meth) ) (Meth) acrylic esters such as acrylates; (meth) acrylamide, N-ethyl (meth) acrylamide, N-propyl (meth) acrylamide, N-butyl (meth) acrylamide, N-
Hexyl (meth) acrylamide, N-octyl (meth) acrylamide, N-cyclohexyl (meth) acrylamide, N-methylol (meth) acrylamide,
N-hydroxyethyl (meth) acrylamide, N-benzyl (meth) acrylamide, N-phenyl (meth)
Acrylamide, N-nitrophenyl (meth) acrylamide, N-tolyl (meth) acrylamide, N-hydroxyphenyl (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N, N-diethyl (meth) acrylamide, N, (Meth) acrylamides such as N-dicyclohexyl (meth) acrylamide; N
-Methylmaleimide, N-ethylmaleimide, N-propylmaleimide, N-butylmaleimide, N-pentylmaleimide, Nn-hexylmaleimide, N-laurylmaleimide, N-stearylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-phenyl Maleimide, N-
Chlorophenylmaleimide, N-tolylmaleimide, N
N-substituted maleimides such as -hydroxymaleimide and N-benzylmaleimide; allyl compounds such as allyl acetate, allyl caproate, allyl stearate and allyloxyethanol; ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, octyl vinyl ether and methoxyethyl vinyl ether , Ethoxyethyl vinyl ether, 2-chloroethyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, benzyl vinyl ether, tetrahydrofurfuryl vinyl ether, phenyl vinyl ether, tolyl vinyl ether, trinyl ethers such as diethylaminoethyl vinyl ether; vinyl acetate, vinyl butyrate, vinyl caproate;
Vinyl chloroacetate, vinyl methoxyacetate,
Vinylphenyl acetate, vinyl acetoacetate,
Vinyl esters such as vinyl benzoate and vinyl chlorobenzoate; styrenes such as styrene, α-methylstyrene, methylstyrene, dimethylstyrene, chloromethylstyrene, ethoxymethylstyrene, hydroxystyrene, chlorostyrene and bromostyrene; Vinylpyrrolidone, N-vinylpyridine, acrylonitrile and the like. Particularly preferred of these components (3) are
It is a monomer represented by the structure [5] or [7].

【0029】また場合により用いられるその他の付加重
合不飽和化合物としては、PolymerHandbook 2nd ed.,
J.Brandrup, Wiley Interscience (1975) Chapter 2 Pa
ge 1〜483記載のものを用いることが出来る。本発明の
含フッ素共重合ポリマー中に用いられるこれらのビニル
単量体の量は、該共重合ポリマーの重量の5〜80重量
%であり、好ましくは10〜70重量%の範囲である。
本発明の含フッ素ポリマーは、公知慣用の方法で製造す
ることができる。例えばフルオロ脂肪族基を有する(メ
タ)アクリレート、脂肪族基若しくは芳香族基を有する
(メタ)アクリレート及び酸性水素原子が窒素原子に結
合した酸性基含有ビニル単量体とを、有機溶媒中、汎用
のラジカル重合開始剤を添加し、熱重合させることによ
り製造できる。もしくは場合によりその他の付加重合性
不飽和化合物とを、添加して上記と同じ方法にて製造す
ることができる。
Other addition-polymerized unsaturated compounds optionally used include Polymer Handbook 2nd ed.,
J. Brandrup, Wiley Interscience (1975) Chapter 2 Pa
ge 1 to 483 can be used. The amount of these vinyl monomers used in the fluorinated copolymer of the present invention is 5 to 80% by weight, preferably 10 to 70% by weight, based on the weight of the copolymer.
The fluoropolymer of the present invention can be produced by a known and commonly used method. For example, a (meth) acrylate having a fluoroaliphatic group, a (meth) acrylate having an aliphatic group or an aromatic group, and an acidic group-containing vinyl monomer having an acidic hydrogen atom bonded to a nitrogen atom are commonly used in an organic solvent. Can be produced by adding a radical polymerization initiator of the formula (1) and thermally polymerizing. Alternatively, if necessary, another addition-polymerizable unsaturated compound can be added to produce the compound in the same manner as described above.

【0030】以下、本発明による含フッ素ポリマーの具
体的な構造の例を示す。なお、式中の数字は書くモノマ
ー成分のモル比率を示す。
Hereinafter, specific examples of the structure of the fluoropolymer according to the present invention will be described. The numbers in the formulas indicate the molar ratios of the monomer components to be written.

【0031】[0031]

【化10】 Embedded image

【0032】[0032]

【化11】 Embedded image

【0033】[0033]

【化12】 Embedded image

【0034】本発明で用いる含フッ素系ポリマーの分子
量の範囲は、平均分子量として3000〜200、00
0までのものであり、好ましくは6、000〜100、
000までのものを用いることができる。次に本発明の
ポジ型感光組成物を調整するに際して必要となる他の成
分について説明する。
The molecular weight of the fluorine-containing polymer used in the present invention ranges from 3,000 to 200,000 as an average molecular weight.
0, preferably 6,000-100,
Up to 000 can be used. Next, other components required for preparing the positive photosensitive composition of the present invention will be described.

【0035】本発明で用いる含フッ素系ポリマーの分子
量の範囲は平均分子量として3000〜200,000
までのものであり、好ましくは6,000〜100,0
00までのものを用いることができる。また本発明で用
いるフッ素系ポリマーの添加量は、溶媒を除く全組成分
に対して、0.001〜10重量%の範囲であり、より
好ましくは0.01〜5重量%の範囲である。次に本発
明によるポジ型感光性組成物を調製するに際して必要と
なる他の成分について説明する。
The molecular weight of the fluorine-containing polymer used in the present invention ranges from 3,000 to 200,000 as an average molecular weight.
And preferably from 6,000 to 100,0
Up to 00 can be used. The amount of the fluorine-based polymer used in the present invention is in the range of 0.001 to 10% by weight, more preferably 0.01 to 5% by weight, based on the total composition excluding the solvent. Next, other components required for preparing the positive photosensitive composition according to the present invention will be described.

【0036】ポジ型感光性組成物としては、露光の前後
で現像液に対する溶解性または膨潤性が変化するものな
らば使用できるが、代表的なものとしては、o−キノン
ジアジド化合物が挙げられる。例えば、アルカリ可溶性
樹脂とo−キノンジアジド化合物とを含有するポジ型感
光性組成物の場合、o−キノンジアジド化合物は、少な
くとも1つのo−キノンジアジド基を有する化合物で、
活性光線によりアルカリ水溶液に対する溶解性を増すも
のが好ましい。
As the positive type photosensitive composition, any one can be used as long as its solubility or swelling property in a developing solution changes before and after exposure, and a typical example thereof is an o-quinonediazide compound. For example, in the case of a positive photosensitive composition containing an alkali-soluble resin and an o-quinonediazide compound, the o-quinonediazide compound is a compound having at least one o-quinonediazide group,
Those which increase the solubility in an alkaline aqueous solution by actinic rays are preferred.

【0037】このようなものとしては、種々の構造のも
のが知られており、例えば、J.KOSAR著「Light-Sensiti
ve Systems」(John Wiley & Sons, Inc, 1965年発行)P.
336〜P.352に詳細に記載されている。
As such a structure, various structures are known. For example, “Light-Sensiti” by J. KOSAR
ve Systems "(John Wiley & Sons, Inc, 1965) P.
336-page 352.

【0038】ポジ型感光性組成物としては、特に種々の
ヒドロキシル化合物とo−ベンゾキノンジアジドあるい
はo−ナフトキノンジアジドのスルホン酸エステルが好
適である。
As the positive photosensitive composition, sulfonic acid esters of various hydroxyl compounds and o-benzoquinonediazide or o-naphthoquinonediazide are particularly preferable.

【0039】上記のようなo−キノンジアジド化合物と
しては、例えば、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド
−5−スルホニルクロライドとフェノール・ホルムアル
デヒド樹脂またはクレゾール・ホルムアルデヒド樹脂と
のエステル;米国特許第3,635,709号明細書に
記載されている1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−
5−スルホニルクロライドとピロガロール・アセトン樹
脂とのエステル;特公昭63−13,528号公報に記
載されている1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5
−スルホニルクロライドとレゾルシン−ベンズアルデヒ
ド樹脂とのエステル;特公昭62−44,257号公報
に記載されている1,2−ナフトキノン−2−ジアジド
−5−スルホニルクロライドとレゾルシン−ピロガロー
ル・アセトン共縮合樹脂とのエステル;特公昭56−4
5,127号公報に記載されている末端にヒドロキシル
基を有するポリエステルに1,2−ナフトキノン−2−
ジアジド−5−スルホニルクロライドをエステル化させ
たもの;特公昭50−24,641号公報に記載されて
いるN−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルアミド
のホモポリマーまたは他の共重合しうるモノマーとの共
重合体に1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−ス
ルホニルクロライドをエステル化させたもの;特公昭5
4−29,922号公報に記載されている1,2−ナフ
トキノン−2−ジアジド−5−スルホニルクロライドと
ビスフェノール・ホルムアルデヒド樹脂とのエステル;
特公昭52−36,043号公報に記載されているp−
ヒドロキシスチレンのホモポリマーまたは他の共重合し
うるモノマーとの共重合体に1,2−ナフトキノン−2
−ジアジド−5−スルホニルクロライドをエステル化さ
せたもの;1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−
スルホニルクロライドとポリヒドロキシベンゾフェノン
とのエステルがある。
Examples of the o-quinonediazide compound as described above include, for example, an ester of 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5-sulfonyl chloride with a phenol-formaldehyde resin or a cresol-formaldehyde resin; US Pat. No. 3,635. , 709, 1,2-naphthoquinone-2-diazide-
Ester of 5-sulfonyl chloride and pyrogallol acetone resin; 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5 described in JP-B-63-13528.
Esters of sulfonyl chloride and resorcin-benzaldehyde resin; 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5-sulfonyl chloride and resorcin-pyrogallol-acetone co-condensation resin described in JP-B-62-44,257. Of ester;
1,127-naphthoquinone-2-polyester having a hydroxyl group at the terminal described in US Pat.
Diazide-5-sulfonyl chloride esterified with a homopolymer of N- (4-hydroxyphenyl) methacrylamide or another copolymerizable monomer described in JP-B-50-24641 Copolymer obtained by esterifying 1,2-naphthoquinone-2-diazido-5-sulfonyl chloride;
4-29,922 ester of 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5-sulfonyl chloride with bisphenol-formaldehyde resin;
P- described in JP-B-52-36,043
Hydroxystyrene homopolymers or copolymers with other copolymerizable monomers have 1,2-naphthoquinone-2
-Diazide-5-sulfonyl chloride esterified; 1,2-naphthoquinone-2-diazide-5
There are esters of sulfonyl chloride with polyhydroxybenzophenone.

【0040】その他、本発明に使用できる公知のo−キ
ノンジアジド化合物としては、特開昭63−80,25
4号、特開昭58−5,737号、特開昭57−11
1,530号、特開昭57−111,531号、特開昭
57−114,138号、特開昭57−142,635
号、特開昭51−36,129号、特公昭62−3,4
11号、特公昭62−51,459号、特公昭51−4
83号などの各明細書中に記載されているものなどを上
げることができる。前記のo−キノンジアジド化合物の
含有量は、感光性組成物の全固形分に対して、通常5〜
60重量%で、より好ましくは10〜40重量%であ
る。
Other known o-quinonediazide compounds that can be used in the present invention include JP-A-63-80,2525.
4, JP-A-58-5,737, JP-A-57-11
No. 1,530, JP-A-57-111,531, JP-A-57-114,138, JP-A-57-142,635
No., JP-A-51-36,129, JP-B-62-3,4
No. 11, JP-B-62-51,459, JP-B-51-4
No. 83 and the like described in each specification can be mentioned. The content of the o-quinonediazide compound is usually 5 to 5% based on the total solid content of the photosensitive composition.
It is 60% by weight, more preferably 10 to 40% by weight.

【0041】o−キノンジアジド以外の感光性組成物と
してはアルカリ可溶性基を酸分解基(酸により分解され
る性質をもつ基)で保護した化合物と光酸発生剤(放射
線の商社により酸を生じる化合物)との組み合わせから
なる化学増幅系の感光組成物を用いることができる。化
学増幅系で用いられる光酸発生剤としては、公知のもの
を用いることができる。
The photosensitive composition other than o-quinonediazide includes a compound in which an alkali-soluble group is protected by an acid-decomposable group (a group having the property of being decomposed by an acid) and a photoacid generator (a compound which generates an acid by a trading company of radiation). ), A chemically amplified photosensitive composition comprising a combination of the above. Known photoacid generators can be used in the chemical amplification system.

【0042】たとえば S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.E
ng.,18,387(1974)、T.S.Bal etal,Polymer,21,423(198
0)等に記載のジアゾニウム塩、米国特許第4,069,055
号、同4,069,056号、特開平3-140,140号等に記載のアン
モニウム塩、D.C.Necker etal,Macromolecules,17,2468
(1984)、C.S.Wen etal,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASI
A,p478 Tokyo,Oct(1988)、米国特許第4,069,055号、同
4,069,056号等に記載のホスホニウム塩、J.V.Crivello
etal,Macromorecules,10(6),1307(1977)、Chem.&Eng.Ne
ws,Nov.28,p31(1988)、欧州特許第104,143号、米国特許
第339,049号、同第410,201号、特開平2-150,848号、特
開平2-296,514号等に記載のヨードニウム塩、J.V.Crive
llo etal,Polymer J.17,73(1985)、J.V.Crivello eta
l.J.Org.Chem.,43,3055(1978)、W.R.Watt etal,J.Polym
er Sci.,Polymer Chem.Ed.,22,1789(1984)、J.V.Crivel
lo etal,Polymer Bull.,14,279(1985)、J.V.Crivello e
tal,Macromorecules,14(5),1141(1981)、J.V.Crivello
etal,J.PolymerSci.,Polymer Chem.Ed.,17,2877(197
9)、欧州特許第370,693 号、米国特許3,902,114 号,欧
州特許第233,567号、同297,443号、同297,442号、米国
特許第4,933,377号、同410,201号、同339,049号、同4,7
60,013号、同4,734,444号、同2,833,827号、獨国特許第
2,904,626号、同3,604,580号、同3,604,581号等に記載
のスルホ ニウム塩、J.V.Crivello etal,Macromorecule
s,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello etal,J.PolymerSc
i.,Polymer Chem.Ed., 17,1047(1979)等に記載のセレノ
ニウム塩、C.S.Wenetal,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASI
A,p478 Tokyo,Oct(1988)等 に記載のアルソニウム塩等
のオニウム塩、米国特許第3,905,815号、特公昭46-4605
号、特開昭48-36281号、特開昭55-32070号、特開昭60-2
39736号、特開昭61-169835号、特開昭61-169837号、特
開昭62-58241号、特開昭62-212401号、特開昭63-70243
号、特開昭63-298339号等に記載の有機ハロゲン化合
物、K.Meier etal,J.Rad.Curing,13(4),26(1986)、T.P.
Gill etal,Inorg.Chem.,19,3007(1980) 、D.Astruc,Ac
c.Chem.Res.,19(12),377(1896)、特開平2-161445号等に
記載の有機金属/有機ハロゲン化物、S.Hayase etal,
J.Polymer Sci.,25,753(1987)、E.Reichmanis etal,J.Ph
olymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,23,1(1985)、Q.Q.Zhu et
al,J.Photochem.,36,85,39,317(1987)、B.Amit etal,Tet
rahedron Lett.,(24)2205(1973)、D.H.R.Barton etal,J.
Chem Soc.,3571(1965)、P.M.Collins etal,J.Chem.SoC.,
Perkin I,1695(1975)、M.Rudinstein etal,Tetrahedron
Lett.,(17),1445(1975)、J.W.Walker etalJ.Am.Chem.So
c.,110,7170(1988)、S.C.Busman etal,J.Imaging Techno
l.,11(4),191(1985)、H.M.Houlihan etal,Macormolecule
s,21,2001(1988)、P.M.Collins etal,J.Chem.Soc.,Chem.
Commun.,532(1972)、S.Hayase etal,Macromolecules,18,
1799(1985)、E.Reichmanis etal,J.Electrochem.Soc.,So
lid State Sci.Technol.,130(6)、F.M.Houlihan etal,Ma
cromolcules,21,2001(1988)、 欧州特許 第0290,750号、
同046,083号、同156,535号、同271,851号、同0,388,343
号、 米国特許第3,901,710号、同4,181,531号、特開昭60
-198538号、特開昭53-133022号等に記載の0−ニトロベ
ンジル型保護基を有する光酸発生剤、M.TUNOOKチ etal,
Polymer Preprints Japan,35(8)、G.Berner etal,J.Rad.
Curing,13(4)、W.J.Mijs etal,Coating Technol.,55(69
7),45(1983),Akzo、H.Adachi etal,Polymer Preprints,
Japan,37(3)、欧州特許第0199,672号、同84515号、同19
9,672号、同044,115号、同0101,122号、米国特許第4,61
8,564号、同4,371,605号、同4,431,774号、特開昭64-18
143 号、特開平2-245756号、特願平3-140109号等に記載
のイミノスルフォネ−ト等に代表される光分解してスル
ホン酸を発生する化合物、特開昭61-166544号等に記載
のジスルホン化合物を挙げることができる。
For example, SISchlesinger, Photogr.Sci.E
ng., 18,387 (1974), TSBal etal, Polymer, 21,423 (198
0) etc., U.S. Pat.No.4,069,055
No. 4,069,056, ammonium salts described in JP-A-3-140,140, etc., DCNecker et al., Macromolecules, 17,2468
(1984), CSwen et al, Teh, Proc.Conf.Rad.Curing ASI
A, p478 Tokyo, Oct (1988), U.S. Pat.No. 4,069,055,
4,069,056, etc., phosphonium salts, JVCrivello
etal, Macromorecules, 10 (6), 1307 (1977), Chem. & Eng.Ne
ws, Nov. 28, p31 (1988), European Patent No. 104,143, U.S. Patent No. 339,049, No. 410,201, JP-A-2-150,848, JP-A-2-296,514, etc.
llo etal, Polymer J. 17, 73 (1985), JVCrivello eta
lJOrg.Chem., 43, 3055 (1978), WRWatt et al., J. Polym
er Sci., Polymer Chem. Ed., 22, 1789 (1984), JVCrivel
lo etal, Polymer Bull., 14,279 (1985), JVCrivello e
tal, Macromorecules, 14 (5), 1141 (1981), JVCrivello
etal, J. Polymer Sci., Polymer Chem. Ed., 17, 2877 (197
9), EP 370,693, U.S. Patent 3,902,114, EP 233,567, 297,443, 297,442, U.S. Pat.
No. 60,013, 4,734,444, 2,833,827, Dokoku Patent No.
2,904,626, 3,604,580, 3,604,581, etc., sulfonium salts, JVCrivello etal, Macromorecule
s, 10 (6), 1307 (1977), JVCrivello etal, J. PolymerSc
Selenonium salts described in i., Polymer Chem.Ed., 17, 1047 (1979), etc., CSWenetal, Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASI
A, p478 Tokyo, Oct (1988), etc., onium salts such as arsonium salts, U.S. Pat.No. 3,905,815, JP-B-46-4605
No., JP-A-48-36281, JP-A-55-32070, JP-A-60-2
39736, JP-A-61-169835, JP-A-61-169837, JP-A-62-58241, JP-A-62-212401, JP-A-63-70243
No., organic halogen compounds described in JP-A-63-298339, K. Meier et al., J. Rad.Curing, 13 (4), 26 (1986), TP
Gill et al., Inorg.Chem., 19, 3007 (1980), D. Astruc, Ac
c. Chem. Res., 19 (12), 377 (1896), organometallics / organic halides described in JP-A-2-14145, etc., S. Hayase et al.
J. Polymer Sci., 25, 753 (1987), E. Reichmanis et al., J. Ph
olymer Sci., Polymer Chem. Ed., 23, 1 (1985), QQZhu et.
al, J. Photochem., 36, 85, 39, 317 (1987), B. Amit et al, Tet
rahedron Lett., (24) 2205 (1973), DHR Barton et al., J.
Chem Soc., 3571 (1965), PM Collins et al., J. Chem. SoC.,
Perkin I, 1695 (1975), M. Rudinstein et al, Tetrahedron
Lett., (17), 1445 (1975), JWWalker etal J. Am. Chem. So
c., 110,7170 (1988), SCBusman et al, J.Imaging Techno
l., 11 (4), 191 (1985), HM Houlihan et al, Macormolecule
s, 21, 2001 (1988), PM Collins et al., J. Chem. Soc., Chem.
Commun., 532 (1972), S. Hayase et al, Macromolecules, 18,
1799 (1985), E. Reichmanis et al., J. Electrochem. Soc., So
lid State Sci.Technol., 130 (6), FMHoulihan etal, Ma
cromolcules, 21, 2001 (1988), European Patent No. 0290,750,
046,083, 156,535, 271,851, 0,388,343
No. 3,901,710, 4,181,531, U.S. Pat.
-198538, JP-A-53-133022 and the like, a photoacid generator having a 0-nitrobenzyl-type protecting group, M. TUNOOK etal,
Polymer Preprints Japan, 35 (8), G. Berner et al., J. Rad.
Curing, 13 (4), WJMijs et al, Coating Technol., 55 (69
7), 45 (1983), Akzo, H. Adachi et al, Polymer Preprints,
Japan, 37 (3), European Patent Nos. 0199,672, 84515, 19
No. 9,672, No. 044,115, No. 0101,122, U.S. Pat.
No. 8,564, 4,371,605, 4,431,774, JP-A-64-18
No. 143, JP-A-2-245756, compounds capable of generating sulfonic acid by photodecomposition represented by iminosulfonate and the like described in Japanese Patent Application No. 3-140109 and the like, described in JP-A-61-166544 and the like. The disulfone compound of the above can be mentioned.

【0043】上記活性光線または放射線の照射により分
解して酸を発生する化合物の中で、特に有効に用いられ
るものについて以下に説明する。 (1)トリハロメチル基が置換した下記一般式(PAG
1)で表されるオキサゾール誘導体または一般式(PA
G2)で表されるS−トリアジン誘導体。
Among the compounds capable of decomposing upon irradiation with actinic rays or radiation to generate an acid, those which are particularly effectively used are described below. (1) The following general formula (PAG) substituted with a trihalomethyl group
The oxazole derivative represented by 1) or the general formula (PA)
An S-triazine derivative represented by G2).

【0044】[0044]

【化13】 Embedded image

【0045】式中、R1は置換もしくは未置換のアリー
ル基、アルケニル基、R2は置換もしくは未置換のアリ
ール基、アルケニル基、アルキル基、−CY3をしめ
す。Yは塩素原子または臭素原子を示す。具体的には以
下の化合物を挙げることができるがこれらに限定される
ものではない。
In the formula, R 1 represents a substituted or unsubstituted aryl group or alkenyl group, and R 2 represents a substituted or unsubstituted aryl group, alkenyl group, alkyl group or —CY 3 . Y represents a chlorine atom or a bromine atom. Specific examples include the following compounds, but the present invention is not limited thereto.

【0046】[0046]

【化14】 Embedded image

【0047】[0047]

【化15】 Embedded image

【0048】(2)下記の一般式(PAG3)で表され
るヨードニウム塩、または一般式(PAG4)で表され
るスルホニウム塩、もしくはジアソニウム塩。
(2) An iodonium salt represented by the following general formula (PAG3), a sulfonium salt represented by the following general formula (PAG4), or a diazonium salt.

【0049】[0049]

【化16】 Embedded image

【0050】ここで式Ar1、Ar2は各々独立に置換も
しくは未置換のアリール基を示す。好ましい置換基とし
ては、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル
基、アリール基、アルコキシ基、ニトロ基、カルボキシ
ル基、アルコキシカルボニル基、ヒドロキシ基、メルカ
プト基およびハロゲン原子が挙げられる。
Here, the formulas Ar 1 and Ar 2 each independently represent a substituted or unsubstituted aryl group. Preferred substituents include an alkyl group, a haloalkyl group, a cycloalkyl group, an aryl group, an alkoxy group, a nitro group, a carboxyl group, an alkoxycarbonyl group, a hydroxy group, a mercapto group, and a halogen atom.

【0051】R3、R4、R5は各々独立に、置換もしく
は未置換のアルキル基、アリール基を示す。好ましくは
炭素数6〜14のアリール基、炭素数1〜8のアルキル
基およびそれらの置換誘導体である。好ましい置換基と
しては、アリール基に対しては炭素数1〜8のアルコキ
シ基、炭素数1〜8のアルキル基、ニトロ基、カルボキ
シル基、ヒドロキシ基およびハロゲン原子であり、アル
キル基に対しては炭素数1〜8のアルコキシ基、カルボ
キシル基、アルコキシカルボニル基である。
R 3 , R 4 and R 5 each independently represent a substituted or unsubstituted alkyl group or aryl group. Preferred are an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, and substituted derivatives thereof. Preferred substituents are an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, a nitro group, a carboxyl group, a hydroxy group and a halogen atom for the aryl group, and a substituent for the alkyl group. An alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a carboxyl group, and an alkoxycarbonyl group.

【0052】Z-は対アニオンを示し、例えば BF4 -、As
F6 -、PF6 -、SbF6 -、SiF6 2-、ClO4 -、CF3SO3 -等のパーフ
ルオロアルカンスルホン酸アニオン、ペンタフルオロベ
ンゼンスルホン酸アニオン、ナフタレン−1−スルホン
酸アニオン等の結合多核芳香族スルホン酸アニオン、ア
ントラキノンスルホン酸アニオン、スルホン酸基含有染
料等を挙げることができるがこれらに限定されるもので
はない。
[0052] Z - represents a counter anion, for example BF 4 -, As
F 6 -, PF 6 -, SbF 6 -, SiF 6 2-, ClO 4 -, CF 3 SO 3 - perfluoroalkane sulfonate anion such as, pentafluorobenzenesulfonic acid anions, naphthalene-1-sulfonic acid anion But not limited thereto, such as a polynuclear aromatic sulfonic acid anion, an anthraquinone sulfonic acid anion, and a sulfonic acid group-containing dye.

【0053】またR3、R4、R5のうちの2つおよびA
1、Ar2はそれぞれの単結合または置換基を介して結
合してもよい。
Also, two of R 3 , R 4 and R 5 and A
r 1 and Ar 2 may be bonded via a single bond or a substituent.

【0054】具体例としては以下に示す化合物が挙げら
れるが、これらに限定されるものではない。
Specific examples include the following compounds, but are not limited thereto.

【0055】[0055]

【化17】 Embedded image

【0056】[0056]

【化18】 Embedded image

【0057】一般式(PAG3)、(PAG4)で示さ
れる上記オニウム塩は公知であり、たとえばJ. W. Knap
czyk etal, J. Am. Chem. Soc., 91, 145(1969)、A. L.
Maycok etal, J. Org. Chem., 35, 2532, (1970)、B.
Goethas etal, Bull. Soc.Chem. Belg., 73, 546, (19
64)、H. M. Leicester, J. Ame. Chem. Soc., 51, 3587
(1929)、J. V. Crivello etal, J. Polym. Chem. Ed.,
18, 2677(1980)、米国特許第2,807,648号およ
び同4,247,473号、特開昭53−101,33
1号等に記載の方法により合成することができる。
The above onium salts represented by the general formulas (PAG3) and (PAG4) are known, for example, JW Knap
czyk etal, J. Am. Chem. Soc., 91, 145 (1969), AL
Maycok et al., J. Org.Chem., 35, 2532, (1970), B.
Goethas etal, Bull.Soc.Chem.Belg., 73, 546, (19
64), HM Leicester, J. Ame. Chem. Soc., 51, 3587.
(1929), JV Crivello et al, J. Polym. Chem. Ed.,
18, 2677 (1980), U.S. Pat. Nos. 2,807,648 and 4,247,473, JP-A-53-101,33.
It can be synthesized by the method described in No. 1 or the like.

【0058】(3)下記一般式(PAG5)で表される
ジスルホン誘導体または一般式(PAG6)で表される
イミノスルホネート誘導体。
(3) Disulfone derivatives represented by the following formula (PAG5) or iminosulfonate derivatives represented by the following formula (PAG6).

【0059】[0059]

【化19】 Embedded image

【0060】式中Ar3、Ar4は各々独立に置換もしく
は未置換のアリール基を示す。R6は置換もしくは未置
換のアルキル基、アリール基を示す。Aは置換もしくは
未置換のアルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基
を示す。具体例としては以下に示す化合物が挙げられる
が、これらに限定されるものではない。
In the formula, Ar 3 and Ar 4 each independently represent a substituted or unsubstituted aryl group. R 6 represents a substituted or unsubstituted alkyl group or aryl group. A represents a substituted or unsubstituted alkylene group, alkenylene group, or arylene group. Specific examples include the following compounds, but are not limited thereto.

【0061】[0061]

【化20】 Embedded image

【0062】[0062]

【化21】 Embedded image

【0063】これらの活性光線または放射線の照射によ
り分解して酸を発生する化合物の添加量は、感光性組成
物の全重量(塗布溶媒を除く)を基準として通常0.0
01〜40重量%の範囲で用いられ、好ましくは0.0
1〜20重量%、更に好ましくは0.1〜5重量%の範
囲で使用される。これらの光酸発生剤の含有量は、感光
性組成物の全固形分に対して通常0.1〜30重量%よ
り好ましくは1〜10重量%である。
The amount of the compound which decomposes upon irradiation with actinic rays or radiation to generate an acid is usually 0.0
It is used in the range of 0.01 to 40% by weight, preferably 0.0
It is used in an amount of 1 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight. The content of these photoacid generators is generally 0.1 to 30% by weight, preferably 1 to 10% by weight, based on the total solids of the photosensitive composition.

【0064】またアルカリ可溶基を酸分解基で保護した
化合物としては−C−O−C−または−C−O−Si−
結合を有する化合物であり以下の例をあげることができ
る。 a)少なくとも1つのオルトカルボン酸エステルおよび
/またはカルボン酸アミドアセタール群を含み、その化
合物が重合性を有することができ、上記の群が主鎖中の
架橋要素として、または側方置換基として生じ得る様な
化合物、 b)主鎖中に反復アセタールおよび/またはケタール群
を含むオリゴマー性または重合体化合物、 c)少なくとも一種のエノールエステルまたはN−アシ
ルアミノカーボネート群を含む化合物、 d)β−ケトエステルまたはβ−ケトアミドの環状アセ
タールまたはケタール、
Compounds having an alkali-soluble group protected by an acid-decomposable group include -CO-C- or -CO-Si-.
It is a compound having a bond, and the following examples can be given. a) comprising at least one group of orthocarboxylic acid esters and / or carboxylic acid amide acetals, wherein the compounds can be polymerizable, said groups occurring as crosslinking elements in the main chain or as lateral substituents B) an oligomeric or polymeric compound containing a repeating acetal and / or ketal group in the main chain; c) a compound containing at least one enol ester or N-acylaminocarbonate group; d) a β-keto ester Or a cyclic acetal or ketal of β-keto amide,

【0065】e)シリルエーテル群を含む化合物、 f)シリルエノールエーテル群を含む化合物、 g)アルデヒドまたはケトン成分が、現像剤に対して、
0.1〜100g/リットルの溶解性を有するモノアセ
タールまたはモノケタール、 h)第三級アルコール系のエーテル、および i)第三級アリル位またはベンジル位アルコールのカル
ボン酸エステルおよび炭酸エステル。
E) a compound containing a silyl ether group, f) a compound containing a silyl enol ether group, g) an aldehyde or ketone component
Monoacetals or monoketals having a solubility of 0.1-100 g / l, h) ethers of tertiary alcohols, and i) carboxylic esters and carbonates of tertiary allylic or benzylic alcohols.

【0066】照射感応性混合物の成分として酸により開
裂し得る種類(a)の化合物は、ドイツ特許公開第2,
610,842号および同第2,928,636号に記
載されている。種類(b)の化合物を含む混合物は、ド
イツ特許第2,306,248号および同第2,71
8,254号に記載されている。種類(c)の化合物
は、ヨーロッパ特許公開第0,006,626号および
同第0,006,627号に記載されている。種類
(d)の化合物は、ヨーロッパ特許公開第0,202,
196号に記載されており、種類(e)として使用する
化合物は、ドイツ特許公開第3,544,165号およ
び同第3,601,264号に記載されている。種類
(f)の化合物は、ドイツ特許公開第3,730,78
5号および同第3,730,783号に記載されてお
り、種類(g)の化合物は、ドイツ特許公開第3,73
0,783号に記載されている。種類(h)の化合物
は、例えば米国特許第4,603,101号に記載され
ており、種類(i)の化合物は、例えば米国特許第4,
491,628号およびJ. M. Frechetらの論文(J. Im
aging Sci.30,59−64(1986))にも記載されている。こ
れらの酸分解性基で保護された化合物の含有量は感光性
組成物の全固形分に対して通常1〜60重量%でより好
ましくは5〜40重量%である。
Compounds of the type (a) which can be cleaved by acids as components of the radiation-sensitive mixture are described in German Offenlegungsschrift 2,
610,842 and 2,928,636. Mixtures containing compounds of type (b) are described in German Patents 2,306,248 and 2,71
No. 8,254. Compounds of class (c) are described in EP-A-0,006,626 and EP-A-0,006,627. Compounds of class (d) are described in EP-A-0,202,
The compounds which are described in DE 196 and used as class (e) are described in DE-A 3,544,165 and DE 3,601,264. Compounds of class (f) are described in German Offenlegungsschrift 3,730,78
No. 5,730,783, and compounds of type (g) are described in German Offenlegungsschrift 3,734.
No. 0,783. Compounds of type (h) are described, for example, in US Pat. No. 4,603,101, and compounds of type (i) are described, for example, in US Pat.
491,628 and a paper by JM Frechet et al. (J. Im.
aging Sci. 30 , 59-64 (1986)). The content of the compound protected by the acid-decomposable group is usually 1 to 60% by weight, more preferably 5 to 40% by weight, based on the total solid content of the photosensitive composition.

【0067】水不溶でアルカリ性水溶液に可溶の合成樹
脂(以下、アルカリ可溶性樹脂という)としては、例え
ばフェノール・ホルムアルデヒド樹脂、クレゾール・ホ
ルムアルデヒド樹脂、フェノール・クレゾール・ホルム
アルデヒド共縮合樹脂、フェノール変性キシレン樹脂、
ポリヒドロキシスチレン、ポリハロゲン化ヒドロキシス
チレン、N−(4−ヒドロキシフェニル)メタクリルア
ミドの共重合体、ハイドロキノンモノメタクリレート共
重合体の他、特開平7−28244号公報記載のスルホ
ニルイミド系ポリマー、特開平7−36184号公報記
載のカルボキシル基含有ポリマーなどが挙げられる。そ
の他特開昭51−34711号公報に開示されているよ
うなフェノール性水酸基を含有するアクリル系樹脂、特
開平2−866号に記載のスルホンアミド基を有するア
クリル系樹脂や、ウレタン系の樹脂、等種々のアルカリ
可溶性の高分子化合物も用いることができる。これらの
アルカリ可溶性高分子化合物は、重量平均分子量が50
0〜20,000で数平均分子量が200〜60,00
0のものが好ましい。
Examples of the water-insoluble synthetic resin soluble in an alkaline aqueous solution (hereinafter referred to as an alkali-soluble resin) include phenol-formaldehyde resin, cresol-formaldehyde resin, phenol-cresol-formaldehyde co-condensation resin, phenol-modified xylene resin,
In addition to polyhydroxystyrene, polyhalogenated hydroxystyrene, a copolymer of N- (4-hydroxyphenyl) methacrylamide, a copolymer of hydroquinone monomethacrylate, a sulfonylimide polymer described in JP-A-7-28244, And carboxyl group-containing polymers described in JP-A-7-36184. Other acrylic resins containing a phenolic hydroxyl group as disclosed in JP-A-51-34711, acrylic resins having a sulfonamide group described in JP-A-2-866, and urethane-based resins. Various alkali-soluble polymer compounds can also be used. These alkali-soluble polymer compounds have a weight average molecular weight of 50.
0 to 20,000 and number average molecular weight of 200 to 60,00
0 is preferred.

【0068】かかるアルカリ可溶性の高分子化合物は1
種類あるいは2種類以上を組合せて使用してもよく、全
組成物の80重量%以下の添加量で用いられる。更に、
米国特許第4,123,279号明細書に記載されてい
るように、t−ブチルフェノールホルムアルデヒド樹
脂、オクチルフェノールホルムアルデヒド樹脂のよう
な、炭素数3〜8のアルキル基を置換基として有するフ
ェノールとホルムアルデヒドとの縮合物を併用すること
は画像の感脂性を向上させる上で好ましい。かかるアル
カリ可溶性樹脂は、通常、組成物全重量の90重量%以
下の添加量で用いられる。
The alkali-soluble high molecular compound is
They may be used alone or in combination of two or more, and are used in an amount of 80% by weight or less of the total composition. Furthermore,
As described in U.S. Pat. No. 4,123,279, a phenol having a C3-8 alkyl group as a substituent, such as t-butylphenol formaldehyde resin or octylphenol formaldehyde resin, and formaldehyde are used. It is preferable to use a condensate in combination in order to improve the oil sensitivity of the image. Such an alkali-soluble resin is generally used in an amount of 90% by weight or less based on the total weight of the composition.

【0069】感光性組成物中には、更に必要に応じて、
感度を高めるための環状酸無水物、露光後直ちに可視像
を得るための焼き出し剤、画像着色剤としての染料、そ
の他のフィラーなどを加えることができる。
In the photosensitive composition, if necessary,
A cyclic acid anhydride for increasing sensitivity, a printing-out agent for obtaining a visible image immediately after exposure, a dye as an image coloring agent, and other fillers can be added.

【0070】本発明における感光性組成物中には、感度
を高めるために環状酸無水物類、フェノール類、有機酸
類を添加することが好ましい。環状酸無水物としては米
国特許第4,115,128号明細書に記載されている
ように無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキ
サヒドロ無水フタル酸、3,6−エンドオキシ−Δ4
テトラヒドロ無水フタル酸、テトラクロル無水フタル
酸、無水マレイン酸、クロル無水マレイン酸、α−フェ
ニル無水マレイン酸、無水コハク酸、無水ピロメリット
酸等がある。フェノール類としては、ビスフェノール
A、p−ニトロフェノール、p−エトキシフェノール、
2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン、4−ヒド
ロキシベンゾフェノン、2,4,4′−トリヒドロキシ
ベンゾフェノン、4,4,4″−トリヒドロキシ−トリ
フェニルメタン、4,4′,3″,4″−テトラヒドロ
キシ−3,5,3′,5′−テトラメチルトリフェニル
メタンなどが挙げられる。
It is preferable to add cyclic acid anhydrides, phenols, and organic acids to the photosensitive composition of the present invention in order to increase sensitivity. The cyclic acid anhydride U.S. Pat phthalic anhydride as described in 4,115,128 Pat, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, 3,6-oxy - [delta 4 -
Examples include tetrahydrophthalic anhydride, tetrachlorophthalic anhydride, maleic anhydride, chloromaleic anhydride, α-phenylmaleic anhydride, succinic anhydride, and pyromellitic anhydride. As phenols, bisphenol A, p-nitrophenol, p-ethoxyphenol,
2,3,4-trihydroxybenzophenone, 4-hydroxybenzophenone, 2,4,4'-trihydroxybenzophenone, 4,4,4 "-trihydroxy-triphenylmethane, 4,4 ', 3", 4 " -Tetrahydroxy-3,5,3 ', 5'-tetramethyltriphenylmethane and the like.

【0071】有機酸類としては、特開昭60−8894
2号公報、特開平2−96755号公報などに記載され
ている、スルホン酸類、スルフィン酸類、アルキル硫酸
類、ホスホン酸類、ホスフィン酸類、リン酸エステル
類、カルボン酸類などがあり、具体的には、p−トルエ
ンスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸、p−トル
エンスルフィン酸、エチル硫酸、フェニルホスホン酸、
フェニルホスフィン酸、リン酸フェニル、リン酸ジフェ
ニル、安息香酸、イソフタル酸、アジピン酸、p−トル
イル酸、3,4−ジメトキシ安息香酸、フタル酸、テレ
フタル酸、1,4−シクロヘキセン−2,2−ジカルボ
ン酸、エルカ酸、ラウリン酸、n−ウンデカン酸、アス
コルビン酸などが挙げられる。上記の環状酸無水物類、
フェノール類、有機酸類の感光性組成物中に占める割合
は、0.05〜15重量%が好ましく、より好ましく
は、0.1〜5重量%である。
As the organic acids, JP-A-60-8894
2, sulfonic acids, sulfinic acids, alkyl sulfates, phosphonic acids, phosphinic acids, phosphoric esters, carboxylic acids, and the like described in JP-A No. 2-96755 and JP-A-2-96755. p-toluenesulfonic acid, dodecylbenzenesulfonic acid, p-toluenesulfinic acid, ethyl sulfate, phenylphosphonic acid,
Phenylphosphinic acid, phenyl phosphate, diphenyl phosphate, benzoic acid, isophthalic acid, adipic acid, p-toluic acid, 3,4-dimethoxybenzoic acid, phthalic acid, terephthalic acid, 1,4-cyclohexene-2,2- Examples thereof include dicarboxylic acid, erucic acid, lauric acid, n-undecanoic acid, and ascorbic acid. The above cyclic acid anhydrides,
The proportion of phenols and organic acids in the photosensitive composition is preferably from 0.05 to 15% by weight, more preferably from 0.1 to 5% by weight.

【0072】露光後、直ちに可視像を得るための焼き出
し剤としては、露光によって酸を放出する感光性化合物
と、酸と塩を形成して色調を変える有機染料との組み合
わせを挙げることができる。
Examples of the printing-out agent for obtaining a visible image immediately after exposure include a combination of a photosensitive compound which releases an acid upon exposure and an organic dye which forms a salt with an acid and changes color. it can.

【0073】露光によって酸を放出する感光性化合物と
しては、例えば、特開昭50−36,209号公報に記
載されているo−ナフトキノンジアジド−4−スルホン
酸ハロゲニド;特開昭53−36,223号公報に記載
されているトリハロメチル−2−ビロンやトリハロメチ
ル−s−トリアジン;特開昭55−62,444号公報
に記載されている種々のo−ナフトキノンジアジド化合
物;特開昭55−77,742号公報に記載されている
2−トリハロメチル−5−アリール−1,3,4−オキ
サジアゾール化合物;ジアゾニウム塩などを挙げること
ができる。これらの化合物は、単独または混合して使用
することができ、その添加量は、組成物全重量に対し、
0.3〜15重量%の範囲が好ましい。
Examples of the photosensitive compound that releases an acid upon exposure include, for example, o-naphthoquinonediazide-4-sulfonic acid halogenide described in JP-A-50-36209; No. 223, trihalomethyl-2-pyrone and trihalomethyl-s-triazine; various o-naphthoquinonediazide compounds described in JP-A-55-62,444; 77,742, 2-trihalomethyl-5-aryl-1,3,4-oxadiazole compounds; diazonium salts and the like. These compounds can be used alone or as a mixture, and the amount added is based on the total weight of the composition.
A range from 0.3 to 15% by weight is preferred.

【0074】本発明における、感光性組成物中には、光
分解して酸性物質を発生する化合物の光分解生成物と相
互作用することによってその色調を変える有機染料が少
なくとも一種類以上用いられる。このような有機染料と
しては、ジフェニルメタン系、トリアリールメタン系、
チアジン系、オキサジン系、フェナジン系、キサンテン
系、アントラキノン系、イミノナフトキノン系、アゾメ
チン系の色素を用いることができる。具体的には次のよ
うなものである。ブリリアントグリーン、エオシン、エ
チルバイオレット、エリスロシンB、メチルグリーン、
クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、フェノ
ールフタレイン、1,3−ジフェニルトリアジン、アリ
ザリンレッドS、チモールフタレイン、メチルバイオレ
ット2B、キナルジンレッド、ローズベンガル、チモー
ルスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレ
ンジ、オレンジIV、ジフェニルチオカルバゾン、2,7
−ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッド、コンゴ
ーレッド、ベンゾプルプリン4B、α−ナフチルレッ
ド、ナイルブルー2B、ナイルブルーA、フエナセタリ
ン、メチルバイオレット、マラカイトグリーン、パラフ
クシン、オイルブルー#603〔オリエント化学工業
(株)製〕、オイルピンク#312〔オリエント化学工
業(株)製〕、オイルレッド5B〔オリエント化学工業
(株)製〕、オイルスカーレット#308〔オリエント
化学工業(株)製〕、オイルレッドOG〔オリエント化
学工業(株)製〕、オイルレッドRR〔オリエント化学
工業(株)製〕、オイルグリーン#502〔オリエント
化学工業(株)製〕、スピロンレッドBEHスペシャル
〔保土谷化学工業(株)製〕、ビクトリアピュアーブル
ーBOH〔保土谷化学工業(株)製〕、パテントピュア
−ブルー〔住友三国化学工業(株)製〕、スーダンブル
ーII〔BASF社製〕、m−クレゾールパープル、クレ
ゾールレッド、ローダミンB、ローダミン6G、ファー
ストアッシドバイオレットR、スルホローダミンB、オ
ーラミン、4−p−ジエチルアミノフェニルイミノナフ
トキノン、2−カルボキシアニリノ−4−p−ジエチル
アミノフェニルイミノナフトキノン、2−カルボステア
リルアミノ−4−p−ジヒドロオキシエチル−アミノ−
フェニルイミノナフトキノン、p−メトキシベンゾイル
−p′−ジエチルアミノ−o′−メチルフェニルイミノ
アセトアニリド、シアノ−p−ジエチルアミノフェニル
イミノアセトアニリド、1−フェニル−3−メチル−4
−p−ジエチルアミノフェニルイミノ−5−ピラゾロ
ン、1−β−ナフチル−4−p−ジエチルアミノフェニ
ルイミノ−5−ピラゾロン等。
In the photosensitive composition of the present invention, at least one kind of an organic dye which changes its color tone by interacting with a photolysis product of a compound which generates an acidic substance by photolysis is used. Such organic dyes include diphenylmethane, triarylmethane,
Thiazine-based, oxazine-based, phenazine-based, xanthene-based, anthraquinone-based, iminonaphthoquinone-based, and azomethine-based dyes can be used. Specifically, it is as follows. Brilliant Green, Eosin, Ethyl Violet, Erythrosin B, Methyl Green,
Crystal violet, basic fuchsin, phenolphthalein, 1,3-diphenyltriazine, alizarin red S, thymolphthalein, methyl violet 2B, quinaldine red, rose bengal, thymol sulfophthalein, xylenol blue, methyl orange, orange IV, Diphenylthiocarbazone, 2,7
-Dichlorofluorescein, paramethyl red, Congo red, benzopurpurine 4B, α-naphthyl red, Nile blue 2B, Nile blue A, phenacetaline, methyl violet, malachite green, parafuchsin, oil blue # 603 [Orient Chemical Industry Co., Ltd. Oil Pink # 312 [Orient Chemical Industry Co., Ltd.], Oil Red 5B [Orient Chemical Industry Co., Ltd.], Oil Scarlet # 308 [Orient Chemical Industry Co., Ltd.], Oil Red OG [Orient Chemical Co., Ltd.] Industrial Co., Ltd.), Oil Red RR (Orient Chemical Co., Ltd.), Oil Green # 502 (Orient Chemical Co., Ltd.), Spiron Red BEH Special (Hodogaya Chemical Co., Ltd.), Victoria Pure Blue BOH [Hodogaya Chemical Sangyo Co., Ltd.], Patent Pure-Blue [Sumitomo Sangoku Chemical Co., Ltd.], Sudan Blue II [BASF], m-cresol purple, cresol red, rhodamine B, rhodamine 6G, first acid violet R , Sulforhodamine B, auramine, 4-p-diethylaminophenyliminonaphthoquinone, 2-carboxyanilino-4-p-diethylaminophenyliminonaphthoquinone, 2-carbostearylamino-4-p-dihydrooxyethyl-amino-
Phenyliminonaphthoquinone, p-methoxybenzoyl-p'-diethylamino-o'-methylphenyliminoacetanilide, cyano-p-diethylaminophenyliminoacetanilide, 1-phenyl-3-methyl-4
-P-diethylaminophenylimino-5-pyrazolone, 1-β-naphthyl-4-p-diethylaminophenylimino-5-pyrazolone and the like.

【0075】特に好ましい有機染料は、トリアリールメ
タン系染料である。トリアリールメタン系染料では、特
開昭62−2932471号公報、特願平4−1128
44号明細書に示されているような対アニオンとしてス
ルホン酸化合物を有するものが特に有用である。これら
の染料は単独又は混合して使用することができ、添加量
は感光性組成物の総重量に対して0.3〜15重量%が
好ましい。また必要に応じて他の染料、顔料と併用で
き、その使用量は染料及び顔料の総重量に対して70重
量%以下、より好ましくは50重量%以下である。
Particularly preferred organic dyes are triarylmethane dyes. Triarylmethane dyes are disclosed in JP-A-62-293471 and Japanese Patent Application No. 4-1128.
Those having a sulfonic acid compound as a counter anion as shown in JP-A-44-44 are particularly useful. These dyes can be used alone or as a mixture, and the addition amount is preferably 0.3 to 15% by weight based on the total weight of the photosensitive composition. Further, if necessary, it can be used in combination with other dyes and pigments, and its use amount is 70% by weight or less, more preferably 50% by weight or less based on the total weight of the dyes and pigments.

【0076】その他本発明の組成物中には、画像のイン
キ着肉性を向上させるための、疎水基を有する各種樹
脂、例えばオクチルフェノール・ホルムアルデヒド樹
脂、t−ブチルフェノール・ホルムアルデヒド樹脂、t
−ブチルフェノール・ベンズアルデヒド樹脂、ロジン変
性ノボラック樹脂、及びこれら変性ノボラック樹脂のo
−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル等;塗膜の
可撓性を改良するための可塑剤、例えばフタル酸ジブチ
ル、フタル酸ジオクチル、ブチルグリコレート、リン酸
トリクレジル、アジピン酸ジオクチル等、種々の目的に
応じて各種添加剤を加えることができる。これらの添加
量は組成物全重量に対して、0.01〜30重量%の範
囲が好ましい。
In the composition of the present invention, various resins having a hydrophobic group, such as octylphenol / formaldehyde resin, t-butylphenol / formaldehyde resin, t
-Butylphenol-benzaldehyde resin, rosin-modified novolak resin, and o of these modified novolak resins
-Naphthoquinonediazide sulfonic acid ester and the like; depending on various purposes, such as a plasticizer for improving the flexibility of the coating film, such as dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, butyl glycolate, tricresyl phosphate, and dioctyl adipate. Various additives can be added. The amount of these additives is preferably in the range of 0.01 to 30% by weight based on the total weight of the composition.

【0077】更にこれらの組成物中には、皮膜の耐摩耗
性を更に向上させるための公知の樹脂を添加できる。こ
れらの樹脂としては、例えばポリビニルアセタール樹
脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、塩化ビニル樹
脂、ナイロン、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂等があ
り、単独または混合して使用することができる。添加量
は組成物全重量に対して、2〜40重量%の範囲が好ま
しい。
Further, a known resin for further improving the abrasion resistance of the film can be added to these compositions. These resins include, for example, a polyvinyl acetal resin, a polyurethane resin, an epoxy resin, a vinyl chloride resin, a nylon, a polyester resin, an acrylic resin, and the like, and can be used alone or in combination. The addition amount is preferably in the range of 2 to 40% by weight based on the total weight of the composition.

【0078】また、本発明における感光性組成物中に
は、現像のラチチュードを広げるために、特開昭62−
251740号公報や、特開平4−68355号公報に
記載されているような非イオン性界面活性剤、特開昭5
9−121044号公報、特開平4−13149号公報
に記載されているような両性界面活性剤を添加すること
ができる。非イオン性界面活性剤の具体例としては、ソ
ルビタントリステアレート、ソルビタンモノパルミテー
ト、ソルビタントリオレート、ステアリン酸モノグリセ
リド、ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート、ポ
リオキシエチレンノニルフェニルエーテルなどが挙げら
れ、両性界面活性剤の具体例としては、アルキルジ(ア
ミノエチル)グリシン、アルキルポリアミノエチルグリ
シン塩酸塩、アモーゲンK(商品名、第一工業(株)
製、N−テトラデシル−N,N−ベタイン型)、2−ア
ルキル−N−カルボキシエチル−N−ヒドロキシエチル
イミダゾリニウムベタイン、レボン15(商品名、三洋
化成(株)製、アルキルイミダゾリン系)などが挙げら
れる。上記非イオン性界面活性剤、両性界面活性剤の感
光性組成物中に占める割合は0.05〜15重量%が好
ましく、より好ましくは、0.1〜5重量%である。
Further, in the photosensitive composition of the present invention, in order to widen the latitude of development, Japanese Patent Application Laid-Open No.
Non-ionic surfactants described in JP-A-251740 and JP-A-4-68355;
An amphoteric surfactant as described in JP-A-9-121044 and JP-A-4-13149 can be added. Specific examples of the nonionic surfactant include sorbitan tristearate, sorbitan monopalmitate, sorbitan triolate, monoglyceride stearate, polyoxyethylene sorbitan monooleate, polyoxyethylene nonyl phenyl ether, and the like. Specific examples of the activator include alkyl di (aminoethyl) glycine, alkyl polyaminoethyl glycine hydrochloride, Amogen K (trade name, Daiichi Kogyo Co., Ltd.)
N-tetradecyl-N, N-betaine type), 2-alkyl-N-carboxyethyl-N-hydroxyethylimidazolinium betaine, Levon 15 (trade name, Sanyo Chemical Co., Ltd., alkylimidazoline) Is mentioned. The proportion of the nonionic surfactant and amphoteric surfactant in the photosensitive composition is preferably 0.05 to 15% by weight, more preferably 0.1 to 5% by weight.

【0079】塗布面質の向上;本発明における感光性組
成物中には、塗布面質を向上するための界面活性剤、例
えば、特開昭62−170950号公報に記載されてい
るようなフッ素系界面活性剤を添加することができる。
好ましい添加量は、全感光性組成物の0.001〜1.
0重量%であり、更に好ましくは0.005〜0.5重
量%である。
Improvement of coated surface quality: In the photosensitive composition of the present invention, a surfactant for improving the coated surface quality, for example, fluorine as described in JP-A-62-170950. A system surfactant can be added.
The preferable addition amount is 0.001 to 1.
0% by weight, and more preferably 0.005 to 0.5% by weight.

【0080】また、本発明における感光性組成物中に
は、以下の黄色系染料を添加することができる。 e)一般式〔I〕、〔II〕あるいは〔III〕で表わさ
れ、417nmの吸光度が436nmの吸光度の70%
以上である黄色系染料
The following yellow dyes can be added to the photosensitive composition of the present invention. e) represented by the general formula [I], [II] or [III], wherein the absorbance at 417 nm is 70% of the absorbance at 436 nm
Yellow dye

【0081】[0081]

【化22】 Embedded image

【0082】式〔I〕中、R1及びR2はそれぞれ独立に
水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、アリール基又
はアルケニル基を示す。またR1 とR2 は環を形成して
もよい。R3 、R4 、R5 はそれぞれ独立に水素原子、
炭素数1〜10のアルキル基を示す。G1 、G2 はそれ
ぞれ独立にアルコキシカルボニル基、アリールオキシカ
ルボニル基、アシル基、アリールカルボニル基、アルキ
ルチオ基、アリールチオ基、アルキルスルホニル基、ア
リールスルホニル基又はフルオロアルキルスルホニル基
を示す。またG1 とG2 は環を形成してもよい。さらに
1 、R2 、R 3 、R4 、R5 、G1 、G2 のうち1つ
以上に1つ以上のスルホン酸基、カルボキシル基、スル
ホンアミド基、イミド基、N−スルホニルアミド基、フ
ェノール性水酸基、スルホンイミド基、又はその金属
塩、無機又は有機アンモニウム塩を有する。YはO、
S、NR(Rは水素原子もしくはアルキル基又はアリー
ル基)、Se、−C(CH3 2 −、−CH=CH−よ
り選ばれる2価原子団を示し、n1 は0、1を示す。
In the formula [I], R1And RTwoAre independently
A hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or
Represents an alkenyl group. Also R1And RTwoForms a ring
Is also good. RThree, RFour, RFiveAre each independently a hydrogen atom,
It represents an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms. G1, GTwoIs it
Each independently an alkoxycarbonyl group, an aryloxyca
Rubonyl group, acyl group, arylcarbonyl group, alkyl
Luthio, arylthio, alkylsulfonyl, a
Reelsulfonyl group or fluoroalkylsulfonyl group
Is shown. G1And GTwoMay form a ring. further
R1, RTwo, R Three, RFour, RFive, G1, GTwoOne of
One or more sulfonic acid groups, carboxyl groups,
Honamide group, imide group, N-sulfonylamido group,
Enol hydroxyl group, sulfonimide group or its metal
Has salts, inorganic or organic ammonium salts. Y is O,
S, NR (R is a hydrogen atom or an alkyl group or aryl
), Se, -C (CHThree)Two-, -CH = CH-
Represents a divalent atomic group selected, n1Indicates 0 or 1.

【0083】[0083]

【化23】 Embedded image

【0084】〔式中、R6及びR7はそれぞれ独立に水素
原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換
アリール基、ヘテロ環基、置換ヘテロ環基、アリル基又
は置換アリル基を表わし、また、R6とR7とは共にそれ
が結合している炭素原子と共に環を形成しても良い。n
2は、0、1又は2を表わす。G3 及びG4 はそれぞれ
独立に、水素原子、シアノ基、アルコキシカルボニル
基、置換アルコキシカルボニル基、アリールオキシカル
ボニル基、置換アリールオキシカルボニル基、アシル
基、置換アシル基、アリールカルボニル基、置換アリー
ルカルボニル基、アルキルチオ基、アリールチオ基、ア
ルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、フルオロ
アルキルスルホニル基を表わす。ただし、G 3 とG4
同時に水素原子となることはない。また、G3とG4とは
それが結合している炭素原子と共に非金属原子から成る
環を形成しても良い。〕 さらにR6、R7、G3、G4のうち1つ以上に1つ以上の
スルホン酸基、カルボキシル基、スルホンアミド基、イ
ミド基、N−スルホニルアミド基、フェノール性水酸
基、スルホンイミド基、又はその金属塩、無機又は有機
アンモニウム塩を有する。
[Wherein, R6And R7Are each independently hydrogen
Atom, alkyl group, substituted alkyl group, aryl group, substituted
Aryl group, heterocyclic group, substituted heterocyclic group, allyl group or
Represents a substituted allyl group;6And R7Together with it
May form a ring with the carbon atom to which it is attached. n
TwoRepresents 0, 1 or 2. GThreeAnd GFourAre each
Independently, hydrogen atom, cyano group, alkoxycarbonyl
Group, substituted alkoxycarbonyl group, aryloxycal
Bonyl group, substituted aryloxycarbonyl group, acyl
Group, substituted acyl group, arylcarbonyl group, substituted aryl
Carbonyl group, alkylthio group, arylthio group,
Rukylsulfonyl group, arylsulfonyl group, fluoro
Represents an alkylsulfonyl group. Where G ThreeAnd GFourBut
They do not become hydrogen atoms at the same time. GThreeAnd GFourWhat is
Consists of non-metallic atoms together with the carbon atoms to which they are attached
A ring may be formed. ] Furthermore, R6, R7, GThree, GFourOne or more of one or more
Sulfonic acid group, carboxyl group, sulfonamide group,
Mido group, N-sulfonylamido group, phenolic hydroxyl
Group, sulfonimide group, or its metal salt, inorganic or organic
Has an ammonium salt.

【0085】[0085]

【化24】 Embedded image

【0086】R8、R9、R10、R11、R12、R13はそれ
ぞれ同じでも異なっていてもよく水素原子、アルキル
基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール基、ア
ルコキシル基、ヒドロキシル基、アシル基、シアノ基、
アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル
基、ニトロ基、カルボキシル基、クロル基、ブロモ基を
表わす。
R 8 , R 9 , R 10 , R 11 , R 12 , and R 13 may be the same or different and may be a hydrogen atom, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aryl group, a substituted aryl group, an alkoxyl group, Group, acyl group, cyano group,
It represents an alkoxycarbonyl group, an aryloxycarbonyl group, a nitro group, a carboxyl group, a chloro group, or a bromo group.

【0087】本発明のフッ素系界面活性剤を含んだ感光
性組成物から平版印刷版用感光材料を得る場合には、ま
ずそれが適当な支持体上に設けられる。本発明のフッ素
系界面活性剤を含んだ感光性組成物は、下記の有機溶剤
の単独あるいは混合したものに溶解または分散され、支
持体に塗布され乾燥される。
When a lithographic printing plate photosensitive material is obtained from the photosensitive composition containing a fluorine-containing surfactant of the present invention, it is first provided on a suitable support. The photosensitive composition containing the fluorinated surfactant of the present invention is dissolved or dispersed in the following organic solvents alone or as a mixture, applied to a support, and dried.

【0088】有機溶剤としては、公知慣用のものがいず
れも使用できるが、沸点40℃〜200℃、特に60℃
〜160℃の範囲のものが、乾燥の際における有利さか
ら選択される。勿論、本発明の界面活性剤が溶解するも
のを選択するのが良い。
As the organic solvent, any known organic solvents can be used.
Those in the range of -160 ° C are selected from the advantages in drying. Of course, it is better to select one in which the surfactant of the present invention dissolves.

【0089】有機溶剤としては、例えばメチルアルコー
ル、エチルアルコール、n−またはイソ−プロピルアル
コール、n−またはイソ−ブチルアルコール、ジアセト
ンアルコール等のアルコール類、アセトン、メチルエチ
ルケトン、メチルプロピルケトン、メチルブチルケト
ン、メチルアミルケトン、メチルヘキシルケトン、ジエ
チルケトン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、
メチルシクロヘキサノン、アセチルアセトン等のケトン
類、ベンゼン、トルエン、キシレン、シクロヘキサン、
メトキシベンゼン等の炭化水素類、エチルアセテート、
n−またはイソ−プロピルアセテート、n−またはイソ
−ブチルアセテート、エチルブチルアセテート、ヘキシ
ルアセテート等の酢酸エステル類、メチレンジクロライ
ド、エチレンジクロライド、モノクロルベンゼン等のハ
ロゲン化物、イソプロピルエーテル、n−ブチルエーテ
ル、ジオキサン、ジメチルジオキサン、テトラヒドロフ
ラン等のエーテル類、エチレングリコール、メチルセロ
ソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソル
ブ、ジエチルセロソルブ、セロソルブアセテート、ブチ
ルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、メトキシ
メトキシエタノール、ジエチレングリコールモノメチル
エーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジ
エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレン
グリコールジエチルエーテル、プロピレングリコール、
プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレン
グリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレン
グリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール
モノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコール
モノブチルエーテル、3−メチル−3−メトキシブタノ
ール等の多価アルコールとその誘導体、ジメチルスルホ
キシド、N,N−ジメチルホルムアミド等の特殊溶剤な
どが単独あるいは混合して好適に使用される。そして、
塗布する組成物中の固形分の濃度は、2〜50重量%と
するのが適当である。
Examples of the organic solvent include alcohols such as methyl alcohol, ethyl alcohol, n- or iso-propyl alcohol, n- or iso-butyl alcohol, diacetone alcohol, acetone, methyl ethyl ketone, methyl propyl ketone, and methyl butyl ketone. , Methyl amyl ketone, methyl hexyl ketone, diethyl ketone, diisobutyl ketone, cyclohexanone,
Ketones such as methylcyclohexanone and acetylacetone, benzene, toluene, xylene, cyclohexane,
Hydrocarbons such as methoxybenzene, ethyl acetate,
acetates such as n- or iso-propyl acetate, n- or iso-butyl acetate, ethyl butyl acetate, hexyl acetate, methylene dichloride, ethylene dichloride, halides such as monochlorobenzene, isopropyl ether, n-butyl ether, dioxane, Ethers such as dimethyldioxane and tetrahydrofuran, ethylene glycol, methyl cellosolve, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve, diethyl cellosolve, cellosolve acetate, butyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, methoxymethoxyethanol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol Dieci Ether, propylene glycol,
Polyhydric alcohols such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, 3-methyl-3-methoxybutanol and derivatives thereof, dimethyl sulfoxide, N , N-dimethylformamide and the like are preferably used alone or in combination. And
The concentration of the solid content in the composition to be applied is suitably 2 to 50% by weight.

【0090】本発明の組成物の塗布方法としては、例え
ばロールコーティング、ディップコーティング、エアナ
イフコーティング、グラビアコーティング、グラビアオ
フセットコーティング、ホッパーコーティング、ブレー
ドコーティング、ワイヤドクターコーティング、スプレ
ーコーティング等の方法が用いられ、乾燥後の重量にし
て0.3〜4.0g/m2が好ましい。塗布量が小さくな
るにつれて画像を得るための露光量は小さくて済むが、
膜強度は低下する。塗布量が大きくなるにつれ、露光量
を必要とするが感光膜は強くなり、例えば、印刷版とし
て用いた場合、印刷可能枚数の高い(高耐刷の)印刷版
が得られる。
As a method for applying the composition of the present invention, for example, methods such as roll coating, dip coating, air knife coating, gravure coating, gravure offset coating, hopper coating, blade coating, wire doctor coating, spray coating and the like are used. The weight after drying is preferably 0.3 to 4.0 g / m 2 . As the coating amount decreases, the exposure amount for obtaining an image may be small,
The film strength decreases. As the coating amount increases, the exposure amount is required but the photosensitive film becomes strong. For example, when used as a printing plate, a printing plate having a high printable number (high printing durability) can be obtained.

【0091】支持体上に塗布された感光性組成物の乾燥
は、通常加熱された空気によって行われる。加熱は30
℃〜200℃特に、40℃〜140℃の範囲が好適であ
る。乾燥の温度は乾燥中一定に保たれる方法だけでなく
段階的に上昇させる方法も実施し得る。
The drying of the photosensitive composition applied on the support is usually performed with heated air. Heating is 30
C. to 200.degree. C., particularly preferably 40 to 140.degree. In addition to a method in which the drying temperature is kept constant during the drying, a method in which the temperature is gradually increased may be performed.

【0092】また、乾燥風は除湿することによって好結
果が得られる場合もある。加熱された空気は、塗布面に
対し0.1m/秒〜30m/秒、特に0.5m/秒〜2
0m/秒の割合で供給するのが好適である。
In some cases, good results can be obtained by dehumidifying the dry air. The heated air is applied at a rate of 0.1 m / sec to 30 m / sec, particularly 0.5 m / sec to 2
It is preferable to supply at a rate of 0 m / sec.

【0093】マット層;上記のようにして設けられた感
光層の表面には、真空焼き枠を用いた密着露光の際の真
空引きの時間を短縮し、且つ焼きボケを防ぐため、マッ
ト層を設けることが好ましい。具体的には、特開昭50
−125805号、特公昭57−6582号、同61−
28986号の各公報に記載されているようなマット層
を設ける方法、特公昭62−62337号公報に記載さ
れているような固体粉末を熱融着させる方法などが挙げ
られる。
Matt layer: A mat layer is provided on the surface of the photosensitive layer provided as described above in order to reduce the time required for evacuation during contact exposure using a vacuum printing frame and to prevent printing blur. Preferably, it is provided. More specifically,
-125805, JP-B-57-6582, 61-
A method of providing a mat layer as described in each of JP-A-28986 and a method of heat-fusing a solid powder as described in JP-B-62-62337.

【0094】感光性平版印刷版等に使用される支持体
は、寸度的に安定な板状物であり、これ迄印刷版の支持
体として使用されたものが含まれ、好適に使用すること
ができる。かかる支持体としては、紙、プラスチックス
(例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン
など)がラミネートされた紙、例えばアルミニウム(ア
ルミニウム合金も含む)、亜鉛、鉄、銅などのような金
属の板、例えば二酢酸セルロース、三酢酸セルロース、
プロピオン酸セルロース、酪酸セルロース、酪酸酢酸セ
ルロース、硝酸セルロース、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポ
リカーボネート、ポリビニルアセタールなどのようなプ
ラスチックスのフイルム、上記のような金属がラミネー
トもしくは蒸着された紙もしくはプラスチックフィルム
などが含まれるが、特にアルミニウム板が好ましい。ア
ルミニウム板には純アルミニウム板及びアルミニウム合
金板が含まれる。アルミニウム合金としては種々のもの
が使用でき、例えばけい素、銅、マンガン、マグネシウ
ム、クロム、亜鉛、鉛、ビスマス、ニッケルなどの金属
とアルミニウムの合金が用いられる。これらの組成物
は、いくらかの鉄およびチタンに加えてその他無視し得
る程度の量の不純物をも含むものである。
The support used for the photosensitive lithographic printing plate or the like is a dimensionally stable plate-like material, and includes those which have been used as the support of the printing plate. Can be. Examples of such a support include paper, paper laminated with plastics (eg, polyethylene, polypropylene, polystyrene, etc.), eg, a metal plate such as aluminum (including aluminum alloy), zinc, iron, copper, etc., eg, diacetate. Cellulose, cellulose triacetate,
Films of plastics such as cellulose propionate, cellulose butyrate, cellulose acetate butyrate, cellulose nitrate, polyethylene terephthalate, polyethylene, polystyrene, polypropylene, polycarbonate, polyvinyl acetal, etc .; paper or plastic on which the above metal is laminated or vapor-deposited Although a film is included, an aluminum plate is particularly preferable. The aluminum plate includes a pure aluminum plate and an aluminum alloy plate. Various aluminum alloys can be used, and for example, an alloy of aluminum with a metal such as silicon, copper, manganese, magnesium, chromium, zinc, lead, bismuth, or nickel is used. These compositions also contain some negligible amount of impurities in addition to some iron and titanium.

【0095】支持体は、必要に応じて表面処理される。
例えば感光性平版印刷版の場合には、支持体の表面に、
親水化処理が施される。また金属、特にアルミニウムの
表面を有する支持体の場合には、砂目立て処理、珪酸ソ
ーダ、弗化ジルコニウム酸カリウム、燐酸塩等の水溶液
への浸漬処理、あるいは陽極酸化処理などの表面処理が
なされていることが好ましい。また、米国特許第2,7
14,066号明細書に記載されているように、砂目立
てしたのち珪酸ナトリウム水溶液に浸漬処理したアルミ
ニウム板、米国特許第3,181,461号明細書に記
載されているようにアルミニウム板を陽極酸化処理を行
った後にアルカリ金属珪酸塩の水溶液に浸漬処理したも
のも好適に使用される。上記陽極酸化処理は、例えば、
燐酸、クロム酸、硫酸、硼酸等の無機酸、若しくは蓚
酸、スルファミン酸等の有機酸またはこれらの塩の水溶
液又は非水溶液の単独又は二種以上を組み合わせた電解
液中でアルミニウム板を陽極として電流を流すことによ
り実施される。
The support is subjected to a surface treatment as required.
For example, in the case of a photosensitive lithographic printing plate, on the surface of the support,
A hydrophilic treatment is performed. In the case of a support having a surface of a metal, particularly aluminum, a surface treatment such as graining, immersion in an aqueous solution of sodium silicate, potassium fluorozirconate, phosphate, or anodizing is performed. Is preferred. Also, U.S. Pat.
As described in US Pat. No. 14,066, an aluminum plate grained and then immersed in an aqueous solution of sodium silicate, and an aluminum plate as described in US Pat. No. 3,181,461 is anodized. Those that have been immersed in an aqueous solution of an alkali metal silicate after the oxidation treatment are also suitably used. The anodizing treatment, for example,
In an electrolytic solution in which an inorganic acid such as phosphoric acid, chromic acid, sulfuric acid, boric acid, or an organic acid such as oxalic acid or sulfamic acid or an aqueous solution or a non-aqueous solution of these salts is used singly or in combination of two or more, a current is supplied to an aluminum plate as an anode. Is carried out by flowing.

【0096】また、米国特許第3,658,662号明
細書に記載されているようなシリケート電着も有効であ
る。これらの親水化処理は、支持体の表面を親水性とす
る為に施される以外に、その上に設けられる感光性組成
物との有害な反応を防ぐ為や、感光層との密着性を向上
させる為に施されるものである。アルミニウム板を砂目
立てするに先立って、必要に応じて表面の圧延油を除去
すること及び清浄なアルミニウム面を表出させるために
その表面の前処理を施しても良い。前者のためには、ト
リクレン等の溶剤、界面活性剤等が用いられている。又
後者のためには水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等の
アルカリ・エッチング剤を用いる方法が広く行われてい
る。
Also, silicate electrodeposition as described in US Pat. No. 3,658,662 is effective. These hydrophilic treatments are performed not only to make the surface of the support hydrophilic, but also to prevent harmful reactions with the photosensitive composition provided thereon and to improve the adhesion with the photosensitive layer. It is done to improve. Prior to graining the aluminum plate, if necessary, the surface may be subjected to a pretreatment to remove rolling oil on the surface and to expose a clean aluminum surface. For the former, solvents such as trichlene, surfactants and the like are used. For the latter, a method using an alkali etching agent such as sodium hydroxide or potassium hydroxide is widely used.

【0097】砂目立て方法としては、機械的、化学的お
よび電気化学的な方法のいずれの方法も有効である。機
械的方法としては、ボール研磨法、ブラスト研磨法、軽
石のような研磨剤の水分散スラリーをナイロンブラシで
擦りつけるブラシ研磨法などがあり、化学的方法として
は、特開昭54−31187号公報に記載されているよ
うな鉱酸のアルミニウム塩の飽和水溶液に浸漬する方法
が適しており、電気化学的方法としては塩酸、硝酸また
はこれらの組合せのような酸性電解液中で交流電解する
方法が好ましい。このような粗面化方法の内、特に特開
昭55−137993号公報に記載されているような機
械的粗面化と電気化学的粗面化を組合せた粗面化方法
は、感脂性画像の支持体への接着力が強いので好まし
い。上記の如き方法による砂目立ては、アルミニウム板
の表面の中心線表面粗さ(Ha)が0.3〜1.0μと
なるような範囲で施されることが好ましい。このように
して砂目立てされたアルミニウム板は必要に応じて水洗
および化学的にエッチングされる。
As the graining method, any of mechanical, chemical and electrochemical methods is effective. Examples of the mechanical method include a ball polishing method, a blast polishing method, and a brush polishing method in which an aqueous dispersion slurry of an abrasive such as pumice is rubbed with a nylon brush, and the chemical method is disclosed in JP-A-54-31187. A method of immersing in a saturated aqueous solution of an aluminum salt of a mineral acid as described in the official gazette is suitable, and as an electrochemical method, a method of alternating current electrolysis in an acidic electrolyte such as hydrochloric acid, nitric acid or a combination thereof is used. Is preferred. Among such surface roughening methods, particularly, a surface roughening method combining mechanical surface roughening and electrochemical surface roughening as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-137993, Is preferred because of its strong adhesion to the support. The graining by the above-described method is preferably performed in a range where the center line surface roughness (Ha) of the surface of the aluminum plate is 0.3 to 1.0 μ. The aluminum plate thus grained is washed with water and chemically etched as required.

【0098】エッチング処理液は、通常アルミニウムを
溶解する塩基あるいは酸の水溶液より選ばれる。この場
合、エッチングされた表面に、エッチング液成分から誘
導されるアルミニウムと異なる被膜が形成されないもの
でなければならない。好ましいエッチング剤を例示すれ
ば、塩基性物質としては水酸化ナトリウム、水酸化カリ
ウム、リン酸三ナトリウム、リン酸二ナトリウム、リン
酸三カリウム、リン酸二カリウム等;酸性物質としては
硫酸、過硫酸、リン酸、塩酸及びその塩等であるが、ア
ルミニウムよりイオン化傾向の低い金属例えば亜鉛、ク
ロム、コバルト、ニッケル、銅等の塩はエッチング表面
に不必要な被膜を形成するから好ましくない。これ等の
エッチング剤は、使用濃度、温度の設定において、使用
するアルミニウムあるいは合金の溶解速度が浸漬時間1
分あたり0.3グラムから40g/m2になる様に行なわ
れるのが最も好ましいが、これを上回るあるいは下回る
ものであっても差支えない。
The etching solution is usually selected from aqueous solutions of bases or acids which dissolve aluminum. In this case, a film different from aluminum derived from the etchant component must not be formed on the etched surface. Preferred examples of the etching agent include sodium hydroxide, potassium hydroxide, trisodium phosphate, disodium phosphate, tripotassium phosphate, and dipotassium phosphate as basic substances; and sulfuric acid and persulfuric acid as acidic substances. , Phosphoric acid, hydrochloric acid, and salts thereof. Metals having a lower ionization tendency than aluminum, such as salts of zinc, chromium, cobalt, nickel, and copper, are not preferable because they form unnecessary films on the etched surface. When the concentration of the etchant and the temperature of the etchant are set, the dissolution rate of the aluminum or alloy to be used is determined by the immersion time.
Most preferably, it is carried out at a rate of from 0.3 g to 40 g / m 2 per minute, but it may be higher or lower.

【0099】エッチングは上記エッチング液にアルミニ
ウム板を浸漬したり、該アルミニウム板にエッチング液
を塗布すること等により行われ、エッチング量が0.5
〜10g/m2の範囲となるように処理されることが好ま
しい。上記エッチング剤としては、そのエッチング速度
が早いという特長から塩基の水溶液を使用することが望
ましい。この場合、スマットが生成するので、通常デス
マット処理される。デスマット処理に使用される酸は、
硝酸、硫酸、りん酸、クロム酸、ふっ酸、ほうふつ化水
素酸等が用いられる。エッチング処理されたアルミニウ
ム板は、必要により水洗及び陽極酸化される。陽極酸化
は、この分野で従来より行なわれている方法で行なうこ
とができる。具体的には、硫酸、りん酸、クロム酸、蓚
酸、スルファミン酸、ベンゼンスルホン酸等あるいはそ
れらの二種類以上を組み合せた水溶液又は非水溶液中で
アルミニウムに直流または交流の電流を流すと、アルミ
ニウム支持体表面に陽極酸化被膜を形成させることがで
きる。
The etching is performed by immersing the aluminum plate in the above-mentioned etching solution or by applying the etching solution to the aluminum plate.
The treatment is preferably performed so as to be in the range of 10 to 10 g / m 2 . As the etching agent, it is desirable to use an aqueous solution of a base because of its high etching rate. In this case, since a smut is generated, a normal desmutting process is performed. The acid used for desmut treatment is
Nitric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, chromic acid, hydrofluoric acid, hydrofluoric acid and the like are used. The etched aluminum plate is optionally washed with water and anodized. The anodic oxidation can be performed by a method conventionally used in this field. Specifically, when a direct current or an alternating current is applied to aluminum in an aqueous solution or a non-aqueous solution of sulfuric acid, phosphoric acid, chromic acid, oxalic acid, sulfamic acid, benzenesulfonic acid or the like or a combination of two or more thereof, the aluminum support An anodized film can be formed on the body surface.

【0100】陽極酸化の処理条件は使用される電解液に
よって種々変化するので一般には決定され得ないが一般
的には電解液の濃度が1〜80重量%、液温5〜70
℃、電流密度0.5〜60アンペア/dm2、電圧1〜10
0V、電解時間30秒〜50分の範囲が適当である。こ
れらの陽極酸化処理の内でも、とくに英国特許第1,4
12,768号明細書に記載されている硫酸中で高電流
密度で陽極酸化する方法および米国特許第3,511,
661号明細書に記載されている燐酸を電解浴として陽
極酸化する方法が好ましい。上記のように粗面化され、
さらに陽極酸化されたアルミニウム板は、必要に応じて
親水化処理しても良く、その好ましい例としては米国特
許第2,714,066号及び同第3,181,461
号に開示されているようなアルカリ金属シリケート、例
えば珪酸ナトリウム水溶液または特公昭36−2206
3号公報に開示されている弗化ジルコニウム酸カリウム
および米国特許第4,153,461号明細書に開示さ
れているようなポリビニルホスホン酸で処理する方法が
ある。
The anodizing treatment conditions cannot be generally determined because they vary depending on the electrolytic solution used, but generally the concentration of the electrolytic solution is 1 to 80% by weight and the liquid temperature is 5 to 70%.
° C, current density 0.5-60 amps / dm 2 , voltage 1-10
0V and an electrolysis time of 30 seconds to 50 minutes are appropriate. Among these anodizing treatments, in particular, British Patent No. 1,4
Anodizing at high current density in sulfuric acid as described in U.S. Pat.
The method of anodizing phosphoric acid as an electrolytic bath described in US Pat. No. 661 is preferable. Roughened as above,
Further, the anodized aluminum plate may be subjected to a hydrophilization treatment as necessary. Preferred examples thereof include U.S. Pat. Nos. 2,714,066 and 3,181,461.
Alkali metal silicates such as those disclosed in US Pat.
There is a method of treating with potassium fluoride zirconate disclosed in Japanese Patent No. 3 and polyvinyl phosphonic acid as disclosed in US Pat. No. 4,153,461.

【0101】有機下塗層;本発明の感光性平版印刷版に
は感光層を塗設する前に有機下塗層を設けることが非画
像部の感光層残りを減らす上で好ましい。かかる有機下
塗層に用いられる有機化合物としては例えば、カルボキ
シメチルセルロース、デキストリン、アラビアガム、2
−アミノエチルホスホン酸などのアミノ基を有するホス
ホン酸類、置換基を有してもよいフェニルホスホン酸、
ナフチルホスホン酸、アルキルホスホン酸、グリセロホ
スホン酸、メチレンジホスホン酸およびエチレンジホス
ホン酸などの有機ホスホン酸、置換基を有してもよいフ
ェニルリン酸、ナフチルリン酸、アルキルリン酸および
グリセロリン酸などの有機リン酸、置換基を有してもよ
いフェニルホスフィン酸、ナフチルホスフィン酸、アル
キルホスフィン酸およびグリセロホスフィン酸などの有
機ホスフィン酸、グリシンやβ−アラニンなどのアミノ
酸類、およびトリエタノールアミンの塩酸塩などのヒド
ロキシル基を有するアミンの塩酸塩などから選ばれる
が、二種以上混合して用いてもよい。
Organic Undercoat Layer: It is preferable to provide an organic undercoat layer before coating the photosensitive layer on the photosensitive lithographic printing plate of the present invention in order to reduce the remaining photosensitive layer in the non-image area. Examples of the organic compound used in the organic undercoat layer include carboxymethyl cellulose, dextrin, gum arabic,
-Phosphonic acids having an amino group such as -aminoethylphosphonic acid, phenylphosphonic acid which may have a substituent,
Organic phosphonic acids such as naphthylphosphonic acid, alkylphosphonic acid, glycerophosphonic acid, methylenediphosphonic acid and ethylenediphosphonic acid; phenylphosphoric acid which may have a substituent; naphthylphosphoric acid; Organic phosphoric acid, optionally substituted phenylphosphinic acid, naphthylphosphinic acid, organic phosphinic acid such as alkylphosphinic acid and glycerophosphinic acid, amino acids such as glycine and β-alanine, and hydrochloride of triethanolamine And the like, but may be used in combination of two or more.

【0102】その他ポリ(p−ビニル安息香酸)など下
記一般式〔IV〕で示される構造単位を分子中に有する高
分子化合物群の中から選ばれる少なくとも1種の化合物
を用いることができる。
In addition, at least one compound selected from a group of high molecular compounds having a structural unit represented by the following general formula [IV] in the molecule, such as poly (p-vinylbenzoic acid), can be used.

【0103】[0103]

【化25】 Embedded image

【0104】前記一般式〔IV〕において、R1は水素原
子、ハロゲン原子またはアルキル基を表すが、好ましく
は、水素原子、塩素原子、または炭素数1〜4個のアル
キル基を表す。特に好ましくは水素原子またはメチル基
を表す。R2とR3は各々独立して、水素原子、水酸基、
ハロゲン原子、アルキル基、置換アルキル基、芳香族
基、置換芳香族基、−R4、−COOR5、−CONHR
6、−COR7もしくは−CNを表すか、またはR2とR3
が結合して環を形成しても良い。ここでR4〜R7は各々
アルキル基または芳香族基を表す。より好ましいR2
3は、各々独立して、水素原子、水酸基、塩素原子、
炭素数1〜4個のアルキル基、フェニル基、−R4、−
COOR5、−CONHR6、−COR7、−CNであ
り、ここでR4〜R7は炭素数1〜4個のアルキル基また
はフェニル基である。特に好ましいR2とR3は、各々独
立して、水素原子、水酸基、メチル基またはメトキシ基
である。
In the general formula [IV], R 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group, preferably a hydrogen atom, a chlorine atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. Particularly preferably, it represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group,
Halogen atom, an alkyl group, a substituted alkyl group, an aromatic group, substituted aromatic group, -R 4, -COOR 5, -CONHR
6 , -COR 7 or -CN, or R 2 and R 3
May combine to form a ring. Here, R 4 to R 7 each represent an alkyl group or an aromatic group. More preferably, R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom, a hydroxyl group, a chlorine atom,
Alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a phenyl group, -R 4, -
COOR 5, -CONHR 6, -COR 7 , a -CN, wherein R 4 to R 7 is a 1-4 alkyl group or a phenyl group having a carbon number. Particularly preferred R 2 and R 3 are each independently a hydrogen atom, a hydroxyl group, a methyl group or a methoxy group.

【0105】Xは水素原子、金属原子、NR8910
11を表し、ここで、R8〜R11は、各々独立して、水素
原子、アルキル基、置換アルキル基、芳香族基、置換芳
香族基を表すか、またはR8とR9が結合して環を形成し
ても良い。より好ましいXは、水素原子、一価の金属原
子、NR891011であり、ここで、R8〜R11は、
各々独立して、水素原子、炭素数1〜4個のアルキル基
またはフェニル基である。特に好ましいXは、水素原
子、ナトリウム、カリウムまたはNR8910 11を表
し、ここで、R8〜R11は、各々独立して、水素原子、
メチル基、エチル基を表す。nは1〜3の整数を表す
が、好ましくは1または2を表し、より好ましくは1を
表す。
X represents a hydrogen atom, a metal atom, NR8R9RTenR
11Where R8~ R11Is each independently hydrogen
Atom, alkyl, substituted alkyl, aromatic, substituted
Represents an aromatic group, or R8And R9Combine to form a ring
May be. X is more preferably a hydrogen atom, a monovalent metal atom.
Child, NR8R9RTenR11Where R8~ R11Is
Each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms
Or a phenyl group. Particularly preferred X is a hydrogen atom
Child, sodium, potassium or NR8R9RTenR 11The table
And where R8~ R11Is independently a hydrogen atom,
Represents a methyl group or an ethyl group. n represents an integer of 1 to 3
Preferably represents 1 or 2, more preferably 1
Represent.

【0106】この有機下塗層は次のような方法で設ける
ことが出来る。即ち、水またはメタノール、エタノー
ル、メチルエチルケトンなどの有機溶剤もしくはそれら
の混合溶剤に上記の有機化合物を溶解させた溶液をアル
ミニウム板上に塗布、乾燥して設ける方法と、水または
メタノール、エタノール、メチルエチルケトンなどの有
機溶剤もしくはそれらの混合溶剤に上記の有機化合物を
溶解させた溶液に、アルミニウム板を浸漬して上記有機
化合物を吸着させ、しかる後、水などによって洗浄、乾
燥して有機下塗層を設ける方法である。前者の方法で
は、上記の有機化合物の0.005〜10重量%の濃度
の溶液を種々の方法で塗布できる。例えば、バーコータ
ー塗布、回転塗布、スプレー塗布、カーテン塗布などい
ずれの方法を用いてもよい。また、後者の方法では、溶
液の濃度は0.01〜20重量%、好ましくは0.05
〜5重量%であり、浸漬温度は20〜90℃、好ましく
は25〜50℃であり、浸漬時間は0.1秒〜20分、
好ましくは2秒〜1分である。
This organic undercoat layer can be provided by the following method. That is, a method in which a solution obtained by dissolving the above organic compound in water or an organic solvent such as methanol, ethanol, or methyl ethyl ketone or a mixed solvent thereof is coated on an aluminum plate and dried, and a method in which water or methanol, ethanol, methyl ethyl ketone, or the like is used. An aluminum plate is immersed in a solution in which the above organic compound is dissolved in an organic solvent or a mixed solvent thereof to adsorb the organic compound, and thereafter, washed with water or the like and dried to form an organic undercoat layer. Is the way. In the former method, a solution of the above organic compound having a concentration of 0.005 to 10% by weight can be applied by various methods. For example, any method such as bar coater coating, spin coating, spray coating, and curtain coating may be used. In the latter method, the concentration of the solution is 0.01 to 20% by weight, preferably 0.05 to 20% by weight.
-5% by weight, the immersion temperature is 20-90 ° C., preferably 25-50 ° C., and the immersion time is 0.1 second-20 minutes,
Preferably it is 2 seconds to 1 minute.

【0107】これに用いる溶液は、アンモニア、トリエ
チルアミン、水酸化カリウムなどの塩基性物質や、塩
酸、リン酸などの酸性物質によりpHを調節し、pH1
〜12の範囲で使用することもできる。また、感光性平
版印刷版の調子再現性改良のために黄色染料を添加する
こともできる。有機下塗層の乾燥後の被覆量は、2〜2
00mg/m2が適当であり、好ましくは5〜100mg/m2
である。上記の被覆量が2mg/m2より少ないと十分な耐
刷性能が得られない。また、200mg/m2より大きくて
も同様である。
The pH of the solution used is adjusted by a basic substance such as ammonia, triethylamine or potassium hydroxide or an acidic substance such as hydrochloric acid or phosphoric acid.
It can also be used in the range of ~ 12. Further, a yellow dye can be added for improving the tone reproducibility of the photosensitive lithographic printing plate. The coating amount of the organic undercoat layer after drying is 2 to 2
00 mg / m 2 is suitable, preferably 5 to 100 mg / m 2
It is. If the coating amount is less than 2 mg / m 2 , sufficient printing durability cannot be obtained. The same is true even if it is larger than 200 mg / m 2 .

【0108】バックコート;支持体の裏面には、必要に
応じてバックコートが設けられる。かかるバックコート
としては特開平5−45885号公報記載の有機高分子
化合物および特開平6−35174号公報記載の有機ま
たは無機金属化合物を加水分解および重縮合させて得ら
れる金属酸化物からなる被覆層が好ましく用いられる。
これらの被覆層のうち、Si(OCH3)4、Si(OC25)
4、Si(OC37)4、Si(OC49)4、などの珪素のア
ルコキシ化合物が安価で入手し易く、それから得られる
金属酸化物の被覆層が耐現像液特性に優れており特に好
ましい。
Back coat: A back coat is provided on the back surface of the support, if necessary. As such a back coat, a coating layer comprising a metal oxide obtained by hydrolyzing and polycondensing an organic polymer compound described in JP-A-5-45885 and an organic or inorganic metal compound described in JP-A-6-35174. Is preferably used.
Among these coating layers, Si (OCH 3 ) 4 and Si (OC 2 H 5 )
4 , Si (OC 3 H 7 ) 4 , Si (OC 4 H 9 ) 4 , etc., silicon alkoxy compounds are easily available at a low cost, and the metal oxide coating layer obtained therefrom has excellent developing solution resistance. And particularly preferred.

【0109】[0109]

【実施例】以下本発明を合成例および実施例に基づいて
更に説明する。ただし本発明はこれらの実施例によって
限定されるものではない。 合成例1 2−(パーフルオロオクチル)エチルアクリレート4
6.6g、N−(4−スルファモイルフェニル)メタク
リルアミド28.8g、2−エチルヘキシルメタアクリ
レート17.6gおよびジメチルアセトアミド180g
を500mlの3口フラスコに取り窒素気流下攪拌しなが
ら65℃に保った。2,2′−アゾビス(2,4−ジメ
チルバレロニトリル)を3.73g加え攪拌を続けた。
4時間後68℃まで昇温し1時間保った。反応終了後、
室温にまで冷却し、反応液を400ml中の水中に注い
だ。折出した固体をろ取し、乾燥した。収率30.1
g、GPCによりこの固体は重量平均分子量2.8万の
高分子化合物であった。 合成例2〜4 合成例1と同様の方法にして第1表に示したポリマーを
合成した。また比較例の化合物(ポリマー)も同様の方
法にて合成した。
The present invention will be further described below with reference to Synthesis Examples and Examples. However, the present invention is not limited by these examples. Synthesis Example 1 2- (perfluorooctyl) ethyl acrylate 4
6.6 g, 28.8 g of N- (4-sulfamoylphenyl) methacrylamide, 17.6 g of 2-ethylhexyl methacrylate and 180 g of dimethylacetamide
Was placed in a 500 ml three-necked flask and kept at 65 ° C. while stirring under a nitrogen stream. 3.73 g of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added and stirring was continued.
After 4 hours, the temperature was raised to 68 ° C. and maintained for 1 hour. After the reaction,
After cooling to room temperature, the reaction was poured into 400 ml of water. The precipitated solid was collected by filtration and dried. Yield 30.1
g, by GPC, this solid was a high molecular compound having a weight average molecular weight of 28,000. Synthesis Examples 2 to 4 The polymers shown in Table 1 were synthesized in the same manner as in Synthesis Example 1. Further, the compound (polymer) of Comparative Example was synthesized in the same manner.

【0110】[0110]

【表1】 [Table 1]

【0111】〔実施例1〜4、比較例1〜3〕 (下記実施例におけるパーセントは、特に断らない限
り、すべて重量%である。)厚さ0.24mmのJIS
A 1050アルミニウム板を、平均粒径約2.1μの
パミストンと水の懸濁液をアルミニウム表面に供給しな
がら、以下に示す回転ナイロンブラシにより、ブラシグ
レイニング処理した。第1ブラシは毛長100mm、毛径
0.95mm、植毛密度70本/cm2であり、第2ブラシは
毛長80mm、毛径0.295mm、植毛密度670本/cm2
であった。ブラシロールの回転はいずれも250rpmで
あった。ブラシグレイニングにひき続きよく水洗した
後、10%水酸化ナトリウムに60℃で25秒間浸漬し
てエッチングし、さらに流水で水洗後20%硝酸で中和
洗浄、水洗した。これらを、VA=12.7Vの条件下
で正弦波の交番波形電流を用いて、1%硝酸水溶液中で
160クローン/dm2の陽極時電気量で電解粗面化処理を
行った。その表面粗さを測定したところ、0.79μ
(Ra表示)であった。引き続いて、1%水酸化ナトリ
ウム水溶液に40℃、30秒間浸漬後、30%の硫酸水
溶液中に浸漬し、60℃で40秒間デスマット処理した
後、20%硫酸水溶液中、電流密度2A/dm2において
1.6g/m2の酸化皮膜重量になるように直流で陽極酸
化し、基板を調整した。
[Examples 1 to 4, Comparative Examples 1 to 3] (All percentages in the following examples are% by weight unless otherwise specified.) JIS having a thickness of 0.24 mm
A 1050 aluminum plate was brush-grained with a rotating nylon brush shown below, while supplying a suspension of water and pamistone having an average particle size of about 2.1 μm to the aluminum surface. The first brush has a bristle length of 100 mm, a bristle diameter of 0.95 mm, and a flocking density of 70 tresses / cm 2 , and the second brush has a bristle length of 80 mm, a bristle diameter of 0.295 mm, and a flocking density of 670 tresses / cm 2.
Met. The rotation of each of the brush rolls was 250 rpm. After washing well with brush graining, the film was immersed in 10% sodium hydroxide at 60 ° C. for 25 seconds for etching, washed with running water, washed with 20% nitric acid and washed with water. These were subjected to electrolytic surface roughening treatment in a 1% aqueous nitric acid solution at an anode electricity of 160 clones / dm 2 using a sine wave alternating current under the condition of V A = 12.7 V. When its surface roughness was measured, it was found to be 0.79 μm.
( Ra display). Subsequently, after immersion in a 1% aqueous sodium hydroxide solution at 40 ° C. for 30 seconds, immersion in a 30% aqueous sulfuric acid solution and desmut treatment at 60 ° C. for 40 seconds, a current density of 2 A / dm 2 in a 20% aqueous sulfuric acid solution Was anodized with a direct current so as to have an oxide film weight of 1.6 g / m 2 to prepare a substrate.

【0112】このように処理された基板の表面に下記組
成の下塗り液(A)を塗布し80℃、30秒間乾燥し
た。乾燥後の被覆量は10/m2であった。 下塗り液(A) β−アラニン 0.10 g メタノール 40 g 純 水 60 g このようにして基板(I)を作製した。次にこの基板
(I)上に次の第2表に示す感光液をロッドコーティン
グで12ml/m2塗設し、100℃で1分間乾燥してポジ
型感光性平版印刷版を得た。乾燥後の塗布量は1.15
g/m2であった。さらに真空密着時間を短縮させるた
め、特公昭61−28986号公報記載のようにしてマ
ット層を形成させた。
An undercoating solution (A) having the following composition was applied to the surface of the substrate thus treated, and dried at 80 ° C. for 30 seconds. The coating amount after drying was 10 / m 2 . Undercoat solution (A) β-alanine 0.10 g methanol 40 g pure water 60 g Thus, substrate (I) was produced. Next, the photosensitive solution shown in the following Table 2 was applied on the substrate (I) by rod coating at 12 ml / m 2 and dried at 100 ° C. for 1 minute to obtain a positive photosensitive lithographic printing plate. Application amount after drying is 1.15
g / m 2 . In order to further shorten the vacuum adhesion time, a mat layer was formed as described in JP-B-61-28986.

【0113】[0113]

【表2】 [Table 2]

【0114】このようにして作製した感光性平版印刷版
を以下の方法で評価した。感度は、富士写真フィルム
(株)製ステップウエッジ(各段の濃度差が0.15)
を通して、1mの距離から3kWのメタルハライドラン
プにより1分間露光を行ったのち、富士写真フィルム
(株)製PSプロッセッサー900Uを用いて、30℃
12秒間、SiO2/K2Oのモル比が1.16、SiO
2濃度が1.4%の水溶液で現像し、クリアー段数(組
成物が溶出した段の番号)で表わした。段数が高い程感
度が高いことを示す。階調は、上述の感度評価したサン
プルのクリアー段数とベタ段(組成物の溶出がない段の
番号)の差を表わした。この値が低い程硬調であること
を示す。現像許容性は、上述の現像液を基準にして、p
Hを上下に0.2増減させた液を用いた以外は上述の感
度と同一な露光、現像を行い、pHによるベタ段数の変
化を表わした。この値が小さい程現像許容性は良好であ
ることを示す。これらの結果を第4表に示す。
The photosensitive lithographic printing plate thus produced was evaluated by the following method. Sensitivity: Step wedge manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. (density difference between each step is 0.15)
Through a 3 kW metal halide lamp from a distance of 1 m for 1 minute, and using a PS processor 900U manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. at 30 ° C.
For 12 seconds, the molar ratio of SiO 2 / K 2 O is 1.16,
2 Developed with an aqueous solution having a concentration of 1.4%, and expressed by the number of clear stages (the number of the stage where the composition eluted). The higher the number of stages, the higher the sensitivity. The gradation represents the difference between the number of clear stages and the solid stage (the number of stages where the composition was not eluted) of the sample for which the sensitivity was evaluated. A lower value indicates a higher contrast. The development tolerance is p based on the developer described above.
Exposure and development were performed in the same manner as in the above sensitivity except that a liquid in which H was increased or decreased by 0.2 was used, and the change in the number of solid plates due to pH was shown. The smaller this value is, the better the development tolerance is. Table 4 shows the results.

【0115】[0115]

【表3】 [Table 3]

【0116】[0116]

【表4】 [Table 4]

【0117】第4表からも分かるように、実施例1〜4
は、感度を低下させることなく、硬調化し、かつ現像許
容性も良好である。 〔実施例5〜7、比較例4〕厚さ0.24mmのJIS
A1050アルミニウム板の表面をナイロンブラシと4
00メッシュのパミストンの水懸濁液を用い砂目立てし
た後、よく水で洗浄した。10%水酸化ナトリウムに7
0℃で60秒間浸漬してエッチングした後、流水で水洗
後20%HNO3で中和洗浄、水洗した。これをVA=1
2.7Vの条件下で正弦波の交番波形電流を用いて1%
硝酸水溶液中で160クローン/dm2の陽極時電気量で電
解粗面化処理を行った。その表面粗さを測定したところ
0.6μm(Ra表示)であった。ひきつづいて30%
のH2SO4水溶液中に浸漬し55℃で2分間デスマット
した後、20%H2SO4水溶液中で電流密度14A/d
m2、陽極酸化皮膜量が2.5g/m2相当になるように陽
極酸化し、水洗して基板[A]を作成した。基板[A]
を珪酸ナトリウム2.5wt%水溶液で30℃、20秒
処理し、水洗して基板[B]を作成した。
As can be seen from Table 4, Examples 1 to 4
Has a high contrast without deteriorating the sensitivity, and has good development tolerance. [Examples 5 to 7, Comparative Example 4] JIS having a thickness of 0.24 mm
Surface of A1050 aluminum plate with nylon brush and 4
After graining using an aqueous suspension of 00 mesh pumistone, it was thoroughly washed with water. 7 in 10% sodium hydroxide
After etching by immersion at 0 ° C. for 60 seconds, the substrate was washed with running water, neutralized with 20% HNO 3 , and washed with water. This is V A = 1
1% using a sinusoidal alternating current under the condition of 2.7V
The electrolytic surface roughening treatment was performed in a nitric acid aqueous solution at an anode electricity of 160 clones / dm 2 . The measured surface roughness was 0.6 μm ( Ra display). Continue to 30%
After desmutting 2 minutes immersed 55 ° C. in aqueous H 2 SO 4, 20% H 2 SO 4 current in an aqueous solution density of 14A / d
The substrate [A] was prepared by anodic oxidation in m 2 and an anodized film amount equivalent to 2.5 g / m 2 and washing with water. Substrate [A]
Was treated with a 2.5 wt% aqueous solution of sodium silicate at 30 ° C. for 20 seconds and washed with water to form a substrate [B].

【0118】このようにして処理した基板[B]の表面
に下記組成の下塗り液(I)を塗布し70℃、10秒間
乾燥した。乾燥後の被覆量は、15mg/m2であった。 (I)ポリビニル安息香酸(Mw 42000) 0.3 g メタノール 100 g 水 1 g 次にこの基板上に実施例1〜4と同一の感光層及びマッ
ト層を設けた。
The undercoat liquid (I) having the following composition was applied to the surface of the substrate [B] treated in this manner, and dried at 70 ° C. for 10 seconds. The coating amount after drying was 15 mg / m 2 . (I) Polyvinyl benzoic acid (Mw 42000) 0.3 g Methanol 100 g Water 1 g Next, the same photosensitive layer and mat layer as in Examples 1 to 4 were provided on this substrate.

【0119】このようにして作成した感光性平版印刷版
を以下の方法で評価した。感度は富士写真フィルム
(株)製ステップウエッジ(各段の濃度差が0.15)
を通して1mの距離から3kWのメタルハライドランプ
により30秒間露光を行ったのち、富士写真フィルム
(株)製PSプロッセッサー900Uを用いて、30℃
12秒間、下記第5表に示す現像液a(pH約13.
0)を用い現像し、クリアーの段数で表わした。この段
数が高い程感度が高いことを示す。階調は、上述の感度
評価したサンプルのクリアー段数とベタ段数の差を表わ
した。この値が低い程硬調であることを示す。現像許容
性は上述の現像液を基準にして、pHを上下に0.2増
減させた液を用いた以外は、上述の感度と同一な露光現
像を行いpHによるベタ段数の変化を表わした。この値
が小さい程現像許容性は良好であることを示す。
The photosensitive lithographic printing plate thus prepared was evaluated by the following method. Sensitivity is a step wedge manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. (density difference of each step is 0.15)
Through a 3 kW metal halide lamp from a distance of 1 m for 30 seconds, and then using a PS processor 900U manufactured by Fuji Photo Film Co., Ltd. at 30 ° C.
For 12 seconds, the developer a shown in Table 5 below (pH about 13.
0) and developed, and expressed by the number of clear steps. The higher the number of stages, the higher the sensitivity. The gradation represents the difference between the number of clear steps and the number of solid steps of the sample for which the sensitivity was evaluated. A lower value indicates a higher contrast. The development tolerance was expressed by the same exposure and development as described above except that a solution whose pH was increased or decreased by 0.2 with respect to the above-described developer was used, and the change in the number of solid steps due to the pH was shown. The smaller this value is, the better the development tolerance is.

【0120】[0120]

【表5】 [Table 5]

【0121】これらの結果を第6表に示す。The results are shown in Table 6.

【0122】[0122]

【表6】 [Table 6]

【0123】第8表からも分かるように、支持体及び現
像液を変えても実施例5〜7は感度を低下させることな
く硬調化しかつ現像許容性も良好である。
As can be seen from Table 8, even when the support and the developing solution were changed, Examples 5 to 7 exhibited a high contrast without lowering the sensitivity and had a good development tolerance.

【0124】[0124]

【発明の効果】本発明のポジ型感光性組成物は、特定の
含フッ素ポリマーを含有することにより、その感度が低
下することなく、硬調な画像形成性を示し、かつ、焼き
ぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべ
きものとなった。
The positive photosensitive composition of the present invention, by containing a specific fluorine-containing polymer, exhibits a high contrast image forming property without lowering its sensitivity, and also has burn-in and white light. A wide range of safety and development tolerances were satisfactory.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも下記(1)で示される構成成
分、(2)で示される構成成分および(3)で示される
構成成分を共重合成分として有し、かつ(1)、(2)
および(3)の成分の合計重量は全成分重量の90%を
超える範囲にある高分子化合物を含有することを特徴と
するポジ型感光性組成物。 (1)水素原子がフッ素原子で置換されているフルオロ
脂肪族基を有する付加重合可能なモノマー (2)下記の構造〔1〕乃至〔4〕で示されるモノマー 【化1】 式中、Aは水素原子、ハロゲン原子またはアルキル基を
表す。Wは酸素、または−NR3−であり、R3は水素原
子、アルキル基、アリール基を表す。R1は置換基を有
していてもよいアルキレン基、アリーレン基、R2は水
素原子、アルキル基、アリール基を表す。R4はアルキ
ル基、アリール基を表す。Y,Zは同一であっても異な
っていても良いアリーレン基を表す。Xは連結基であ
り、炭素、窒素、酸素、硫黄、ハロゲン、水素原子から
選ばれる原子からなる2価の有機基を表す。m,lは0
から1の整数を、nは1から3の整数を表す。 (3)下記の構造〔5〕乃至〔8〕で示されるモノマー 【化2】 Wは酸素、または−NR3−であり、R3は水素原子、ア
ルキル基、アリール基を表す。R5は置換基を有してい
ても良いアルキル基、置換基を有していても良いアリー
ル基、R6はアルキル基、アリール基を表す。Uはシア
ノ基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、
アシルオキシメチル基、窒素原子を含むヘテロ環、もし
くは−CH2 OCOR6 (R6 は上記と同義)をあらわ
す。Aは前記〔1〕〜〔4〕と同義。
1. A composition comprising at least a component represented by (1), a component represented by (2) and a component represented by (3) as a copolymer component, and (1), (2)
And (3) a positive photosensitive composition comprising a polymer compound having a total weight of more than 90% of the total weight of the components. (1) an addition-polymerizable monomer having a fluoroaliphatic group in which a hydrogen atom is substituted by a fluorine atom (2) a monomer represented by the following structures [1] to [4]: In the formula, A represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group. W is oxygen or —NR 3 —, and R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group. R 1 represents an alkylene group or an arylene group which may have a substituent, and R 2 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group. R 4 represents an alkyl group or an aryl group. Y and Z represent an arylene group which may be the same or different. X is a linking group, and represents a divalent organic group consisting of atoms selected from carbon, nitrogen, oxygen, sulfur, halogen, and hydrogen atoms. m and l are 0
And n represents an integer of 1 to 3. (3) Monomers represented by the following structures [5] to [8]: W is oxygen or —NR 3 —, and R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group, or an aryl group. R 5 represents an alkyl group which may have a substituent, an aryl group which may have a substituent, and R 6 represents an alkyl group or an aryl group. U is a cyano group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group,
Represents an acyloxymethyl group, a heterocyclic ring containing a nitrogen atom, or —CH 2 OCOR 6 (R 6 is as defined above). A has the same meaning as in the above [1] to [4].
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