JPH10186186A - Optical array module - Google Patents

Optical array module

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Publication number
JPH10186186A
JPH10186186A JP34216796A JP34216796A JPH10186186A JP H10186186 A JPH10186186 A JP H10186186A JP 34216796 A JP34216796 A JP 34216796A JP 34216796 A JP34216796 A JP 34216796A JP H10186186 A JPH10186186 A JP H10186186A
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JP
Japan
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optical
array
optical fiber
wiring
array module
Prior art date
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Pending
Application number
JP34216796A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Ushikubo
孝 牛窪
Naoyuki Mineo
尚之 峯尾
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH10186186A publication Critical patent/JPH10186186A/en
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/144Stacked arrangements of planar printed circuit boards

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical array module in which wirings can be properly performed even when the scale of the array is enlarged. SOLUTION: This module is constituted of a surface light emitting LD array 41, a substrate (carrier) 40 on which the surface light emitting LD array 41 is mounted, optical fibers 55 associated with the emitting of lights, a fiber fixing block 48 for fixing the optical fibers 55 and wiring substrates 51, 52. Then, the optical fibers 55 fixed to the optical fiber fixing block 48 and the surface light emitting LD array 41 are fixed by connecting intervals between metallic tubes 53 and LD electrodes 44 being on the surface light emitting surface 41 with means of connections by bumps 45 or the like.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光伝送用の光アレ
ーモジュールの構造に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a structure of an optical array module for optical transmission.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、この種のレーザ素子及びその光ア
レーモジュールとしては、 (1)「伊賀:電子情報通信学会論文誌 C−I,Vo
l.J75−C−I,No.5,pp.245−25
6,1992」 (2)「伊賀、小山:面発光レーザ(オーム社)pp.
241−249」 (3)「野口、川上:電子情報通信学会技術研究報告
SSE94−199,1995」に開示されるものがあ
った。
2. Description of the Related Art Conventionally, this type of laser device and its optical array module include: (1) "Iga: IEICE Transactions CI, Vo
l. J75-CI, No. 5, pp. 245-25
6,1992 "(2)" Iga, Koyama: Surface emitting laser (Ohm)
241-249 "(3)" Noguchi, Kawakami: IEICE Technical Report.
SSE94-199, 1995 ".

【0003】図5はかかる従来の面発光レーザの一例
を、図6は従来のレーザアレーの一例を、図7は従来の
光モジュールの一例を示す図である。図5に示すよう
に、面発光レーザは、SiO2 /TiO2 /SiO2
Au反射鏡1と、SiO2 /TiO2 マルチレイアー2
と、活性領域3(ActiveRegion)により、
レーザの共振器部を形成しており、レーザ光はウエハ面
に対して垂直に出射する。なお、10はAuZn電極、
11はp−Ga0.9 Al 0.1 As層、12はp−Ga
0.7 Al0.3 As層、13はp−GaAs層、14はn
−GaAs層、15はp−GaAs層、16はn−Ga
0.7 Al0.3 As層、17はn−GaAs層、18はn
−GaAs基板、19はAuGe電極、20は光出力で
ある。
FIG. 5 shows an example of such a conventional surface emitting laser.
FIG. 6 shows an example of a conventional laser array, and FIG.
It is a figure showing an example of an optical module. As shown in FIG.
The surface emitting laser is made of SiOTwo/ TiOTwo/ SiOTwo/
Au reflector 1 and SiOTwo/ TiOTwoMultilayer 2
And the active region 3 (ActiveRegion)
The laser cavity is formed, and the laser light is
Are emitted perpendicularly. 10 is an AuZn electrode,
11 is p-Ga0.9Al 0.1As layer, 12 is p-Ga
0.7Al0.3As layer, 13 is a p-GaAs layer, 14 is n
-GaAs layer, 15 is a p-GaAs layer, 16 is n-Ga
0.7Al0.3As layer, 17 is n-GaAs layer, 18 is n
-GaAs substrate, 19 is AuGe electrode, 20 is light output
is there.

【0004】レーザアレー(LDアレー)は、図5に示
すように、面発光レーザを複数個アレー状に配置した構
造であり、個々のレーザ光はウエハ面に対して垂直下側
に出射される。図6に示す面発光レーザは実験品のた
め、Au/Zn電極21は個々のレーザ領域を繋ぐよう
にウエハの全面に形成されているが、実際の素子では個
々のレーザ領域を個別に駆動する必要があるため、分離
した個別の電極が必要になる。
As shown in FIG. 5, a laser array (LD array) has a structure in which a plurality of surface emitting lasers are arranged in an array, and each laser beam is emitted vertically downward with respect to the wafer surface. Since the surface emitting laser shown in FIG. 6 is an experimental product, the Au / Zn electrode 21 is formed on the entire surface of the wafer so as to connect the individual laser regions. However, in an actual device, the individual laser regions are individually driven. Need, separate and separate electrodes are required.

【0005】なお、22はp−GaAs層、23はn−
GaAs層、24はp−Ga0.7 Al0.3 As層、25
はp−GaAs活性層、26はn−Ga0.7 Al0.3
s層、27はn−GaAs基板、28はAu/Si3
4 反射鏡、29はAu/Ge電極である。図6に示すL
Dアレーの出射光を光ファイバに導くには、LDアレー
に光ファイバを光学的に接続する必要がある。
Incidentally, 22 is a p-GaAs layer, and 23 is an n-
GaAs layer, 24 is p-Ga 0.7 Al 0.3 As layer, 25
Is a p-GaAs active layer, 26 is n-Ga 0.7 Al 0.3 A
s layer, 27 is an n-GaAs substrate, 28 is Au / Si 3 N
4 reflector, 29 is a Au / Ge electrode. L shown in FIG.
In order to guide the light emitted from the D array to the optical fiber, it is necessary to optically connect the optical fiber to the LD array.

【0006】図7は光ファイバの実装方法の一例であ
り、ここでは、液晶空間光スイッチの実装例が示されて
いるが、光ファイバの実装方法の場合も同様である。個
々の光ファイバは、LDアレーの個々のレーザ領域の発
光部に光結合する位置に光ファイバアレーの形で固定さ
れている。図7では、光ファイバに集光手段を接続した
アレー(出力コリメータアレー)となっているが、LD
アレーと光ファイバとの光接続の場合は、必ずしも集光
機能は必要でない。この光アレーモジュールは、個別の
LDに用いたモジュールに比べて小型化できる利点があ
る。
FIG. 7 shows an example of a method of mounting an optical fiber. Here, an example of mounting a liquid crystal space optical switch is shown, but the same applies to a method of mounting an optical fiber. Each optical fiber is fixed in the form of an optical fiber array at a position where it is optically coupled to a light emitting portion of each laser region of the LD array. In FIG. 7, an array (an output collimator array) in which light condensing means is connected to an optical fiber is used.
In the case of an optical connection between the array and the optical fiber, the light collecting function is not always necessary. This optical array module has an advantage that it can be reduced in size as compared with a module used for an individual LD.

【0007】なお、図7において、31はLCモジュレ
ータアレー、32はルーティングエレメント、33は入
力コリメータアレー、34は出力コリメータアレーであ
る。
In FIG. 7, 31 is an LC modulator array, 32 is a routing element, 33 is an input collimator array, and 34 is an output collimator array.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の構成の光モジュールには、以下のような欠点が
あった。 (1)従来の光モジュールでは、アレーの個々のレーザ
領域に接続する電極は、ウエハ表面に配線する必要があ
り、アレーの規模が5×5程度に小さい場合は問題は少
ないが、アレーの規模が大きくなると、素子の端まで個
々の配線を引き回すことが難しくなってくる。
However, the optical module having the above-mentioned conventional configuration has the following disadvantages. (1) In the conventional optical module, the electrodes connected to the individual laser regions of the array need to be wired on the wafer surface, and there is little problem when the size of the array is as small as about 5 × 5, but the size of the array is small. When it becomes large, it becomes difficult to route each wiring to the end of the element.

【0009】(2)上記(1)の配線の引き回しに多層
電極を用いる場合、各電極間の絶縁分離不良等により、
素子歩留まりが低下するという欠点があった。更に、素
子作製工程が複雑化するため、低価格化の障害となって
いた。 (3)アレー規模が増すにつれて電極密度が増すため、
電極間の高周波的カップリングが生じ、高周波アイソレ
ーションが不十分になる欠点があった。
(2) When a multi-layer electrode is used for the wiring of the above (1), due to poor insulation separation between the electrodes, etc.
There is a disadvantage that the element yield is reduced. Further, the device manufacturing process becomes complicated, which has been an obstacle to cost reduction. (3) Since the electrode density increases as the array scale increases,
There is a drawback that high-frequency coupling between the electrodes occurs and high-frequency isolation becomes insufficient.

【0010】(4)配線の引き回しに多層電極を用いる
場合、多層化した電極間の高周波的カップリングが生
じ、高周波アイソレーションが不十分になる欠点があっ
た。 (5)電極密度が増した場合も、多層電極を用いた場合
も、ストリップライン等の高周波線路が作り難くなる欠
点があった。 本発明は、上記問題点を除去し、アレーの規模が大きく
なっても、配線を適切に行うことができる光アレーモジ
ュールを提供することを目的とする。
(4) When a multi-layer electrode is used to route wiring, high-frequency coupling between the multi-layered electrodes occurs, and the high-frequency isolation becomes insufficient. (5) Both when the electrode density is increased and when a multi-layer electrode is used, there is a disadvantage that it is difficult to form a high-frequency line such as a strip line. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to eliminate the above problems and to provide an optical array module capable of appropriately performing wiring even when the size of the array becomes large.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔1〕光伝送用の光アレーモジュールにおいて、複数本
の光ファイバと、この光ファイバの表面に形成される導
電手段と、光素子と、この光素子上の任意の位置に任意
の数の配線基板が配置され、前記光ファイバと光素子と
が光結合し、前記導電手段と前記光素子表面の電極を接
続し、さらに前記導電手段と配線基板を接続するように
したものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides: [1] In an optical array module for optical transmission, a plurality of optical fibers and a conductive film formed on the surface of the optical fiber. Means, an optical element, and an arbitrary number of wiring boards are arranged at arbitrary positions on the optical element, the optical fiber and the optical element are optically coupled, and the conductive means and the electrode on the optical element surface are connected. Further, the conductive means is connected to a wiring board.

【0012】〔2〕上記〔1〕記載の光アレーモジュー
ルにおいて、前記導電手段は前記光ファイバ表面に同軸
的に形成した金属体である。 〔3〕上記〔1〕記載の光アレーモジュールにおいて、
前記導電手段は前記光ファイバ表面に形成した第1の金
属体と、この第1の金属体上に同軸的に形成される絶縁
物及びこの絶縁物上に同軸的に形成される第2の金属体
を用い、前記第1の金属体と絶縁物及び第2の金属体よ
り高周波線路を形成するようにしたものである。
[2] In the optical array module according to the above [1], the conductive means is a metal body formed coaxially on the surface of the optical fiber. [3] In the optical array module according to the above [1],
The conductive means includes a first metal body formed on the surface of the optical fiber, an insulator coaxially formed on the first metal body, and a second metal coaxially formed on the insulator. A high-frequency line is formed by using a first metal body, an insulator and a second metal body.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図面は本
発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎず、
従って、本発明を図示例に限定するものではない。更
に、以下の説明では光ファイバを16本用いた場合につ
いて説明するが、他の本数でも同様である。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. It should be noted that the drawings are only schematically shown to the extent that the present invention can be understood,
Therefore, the present invention is not limited to the illustrated example. Further, in the following description, a case where 16 optical fibers are used will be described, but the same applies to other numbers.

【0014】図1は本発明の第1実施例を示す光アレー
モジュールの模式図、図2は図1の任意の光ファイバの
光軸に沿って垂直に切断した光アレーモジュールの断面
図である。これらの図に示すように、この光アレーモジ
ュールは、面発光LDアレー41と、この面発光LDア
レー41を載せた基板(キャリア)40と、光の出射に
係わる光ファイバ55及び光ファイバ固定のための光フ
ァイバ固定ブロック48及び配線基板51,52より構
成される。
FIG. 1 is a schematic view of an optical array module showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical array module cut perpendicularly along the optical axis of an arbitrary optical fiber of FIG. . As shown in these figures, this optical array module comprises a surface emitting LD array 41, a substrate (carrier) 40 on which the surface emitting LD array 41 is mounted, and an optical fiber 55 and an optical fiber fixed for light emission. Optical fiber fixing block 48 and wiring boards 51 and 52 for this purpose.

【0015】基板40はセラミック等の絶縁物または半
導体または金属またはこれらの組み合わせ等の適当な材
料よりなる平板状の物である。面発光LDアレー41は
レーザ共振器部43が任意数並んでいる公知の構造の素
子であり、基板40上の適当な位置に半田付け等の手段
により固定されている。また、光ファイバ55は、その
先端から後述の配線基板と接続する部分までの間の保護
部分(ジャケット)を外した芯線部分よりなり、同部分
の光ファイバ表面に、蒸着またはメッキまたは金属を張
り付ける等の手段により、金属チューブ53が形成され
ている。
The substrate 40 is a flat plate made of an appropriate material such as an insulator such as ceramic, a semiconductor, a metal, or a combination thereof. The surface emitting LD array 41 is a device having a known structure in which an arbitrary number of laser resonators 43 are arranged, and is fixed to an appropriate position on the substrate 40 by means such as soldering. The optical fiber 55 has a core portion from which a protection portion (jacket) is removed from a tip to a portion to be connected to a wiring board described later, and a vapor deposition, plating, or metal is attached to the surface of the optical fiber. For example, the metal tube 53 is formed by means such as a metal tube.

【0016】また、光ファイバ固定ブロック48は、板
状の部分により面発光LDアレー41のレーザ共振器部
43に対応する部分に光ファイバ55を通す穴があり、
この部分で光ファイバ55を固定する構造である。光フ
ァイバ固定ブロック48の材質はシリコン(Si)、セ
ラミックまたは金属等の材質が好ましいが、他の材料で
も問題ない。光ファイバ固定ブロック48に固定した光
ファイバ55と面発光LDアレー41は、金属チューブ
53と面発光LDアレー41上のLD電極44間をバン
プ45による接続等の手段により接続し固定する。光フ
ァイバ固定ブロック48と基板スペーサ47により固定
する。
The optical fiber fixing block 48 has a hole through which an optical fiber 55 passes through a plate-like portion corresponding to the laser resonator 43 of the surface emitting LD array 41.
The optical fiber 55 is fixed at this portion. The material of the optical fiber fixing block 48 is preferably a material such as silicon (Si), ceramic or metal, but other materials do not matter. The optical fiber 55 fixed to the optical fiber fixing block 48 and the surface emitting LD array 41 are connected and fixed between the metal tube 53 and the LD electrode 44 on the surface emitting LD array 41 by means such as connection using bumps 45. It is fixed by the optical fiber fixing block 48 and the substrate spacer 47.

【0017】配線基板51,52は平板状であり、光フ
ァイバ55を形成した金属チューブ53と接続し、配線
基端まで配線を引き出す配線電極51A,52Aが表面
に形成されている。配線基板51,52の材質は、セラ
ミック等の材質が好ましいが、他の材料でも問題ない。
配線基板51,52と金属チューブ53間の接続は半田
付け等の手段により行う。
The wiring substrates 51 and 52 are plate-shaped, and have wiring electrodes 51A and 52A connected to the metal tube 53 on which the optical fiber 55 is formed and leading out the wiring to the wiring base end. The material of the wiring boards 51 and 52 is preferably a material such as ceramic, but other materials may be used.
The connection between the wiring boards 51 and 52 and the metal tube 53 is performed by means such as soldering.

【0018】上記の接続により、面発光LDアレー41
のLD電極44が金属ブロックを介して配線基板51,
52上の配線電極51A,52Aに接続され、配線電極
51A,52Aから面発光LDアレー41に電流が供給
できる構造になる。ここで、配線基板51,52上の配
線がお互いに接触しないような間隔になるように、配線
基板の枚数を適当な数にする。
With the above connection, the surface emitting LD array 41
Of the wiring board 51,
It is connected to the wiring electrodes 51A and 52A on the second electrode 52, so that a current can be supplied from the wiring electrodes 51A and 52A to the surface emitting LD array 41. Here, the number of wiring boards is set to an appropriate number so that the wirings on the wiring boards 51 and 52 do not contact each other.

【0019】面発光LDアレー41と光ファイバ55の
位置合わせは、面発光LDアレー41の任意のレーザ領
域を発光させ、その発光が光ファイバ伝搬後最大になる
ように位置調整する方法または、位置合わせマーク46
により光ファイバ55を固定した光ファイバ固定ブロッ
ク48との間で位置合わせを行う方法により行う。その
際、後者の方法はレーザ領域を発光させずに位置合わせ
調整ができる利点がある。
The alignment between the surface emitting LD array 41 and the optical fiber 55 is performed by causing an arbitrary laser region of the surface emitting LD array 41 to emit light and adjusting the position so that the emission becomes maximum after propagation through the optical fiber. Alignment mark 46
This is performed by a method of performing positioning between the optical fiber 55 and the optical fiber fixing block 48 to which the optical fiber 55 is fixed. In that case, the latter method has an advantage that the alignment can be adjusted without emitting the laser light.

【0020】このように構成したので、第1実施例によ
れば、次のような効果が期待できる。 (1)配線電極を配線基板(ウエハ)表面から引き出
し、複数の配線基板上の配線電極により行うために、L
Dアレーの規模が大きい場合、配線基板の端まで個々の
配線を引き回すことが難しいという問題を解消すること
ができる。
With such a configuration, according to the first embodiment, the following effects can be expected. (1) In order to pull out wiring electrodes from the surface of a wiring board (wafer) and to perform wiring electrodes on a plurality of wiring boards,
When the size of the D array is large, it is possible to solve the problem that it is difficult to route individual wiring to the end of the wiring board.

【0021】(2)従来例において、上記(1)の配線
の引き回しに多層電極を用いる場合に生じる各電極間の
絶縁分離不良等により、素子歩留まりが低下するという
欠点、及び素子作製工程が複雑化するため、低価格化の
障害となる欠点を解消することができる。 次に、本発明の第2実施例について説明する。
(2) In the conventional example, the defect that the element yield is lowered due to poor insulation separation between the electrodes and the like which occurs when the multilayer wiring is used for the wiring of the above (1), and the element manufacturing process is complicated. Therefore, it is possible to eliminate the disadvantages that hinder the cost reduction. Next, a second embodiment of the present invention will be described.

【0022】図3は本発明の第2の実施例を示す光アレ
ーモジュールの模式図、図4は図3の任意の光ファイバ
の光軸に沿って垂直に切断した光アレーモジュールの断
面図である。この光アレーモジュールは、面発光LDア
レー61と面発光LDアレー61を載せた基板60と、
光の出射に係わる光ファイバ76及び光ファイバ固定の
ための光ファイバ固定ブロック68及び配線基板71,
72とで構成される。基板60及び面発光LDアレー6
1は第1実施例と同様である。
FIG. 3 is a schematic view of an optical array module showing a second embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the optical array module cut perpendicularly along the optical axis of an arbitrary optical fiber of FIG. is there. This optical array module includes a surface emitting LD array 61 and a substrate 60 on which the surface emitting LD array 61 is mounted.
The optical fiber 76 relating to the light emission, the optical fiber fixing block 68 for fixing the optical fiber, and the wiring board 71,
72. Substrate 60 and surface emitting LD array 6
1 is the same as in the first embodiment.

【0023】光ファイバ76は、その先端から後述の配
線基板71,72と接続する部分までの間の保護部分
(ジャケット)を外した芯線部分よりなり、同部分の表
面に光ファイバ76を包み込むように、金属チューブ
(高周波ライン)73がある。更に、この金属チューブ
(高周波ライン)73を包み込むように、絶縁チューブ
74、更に金属チューブ(GND)75がある。
The optical fiber 76 comprises a core portion from which a protective portion (jacket) is removed from the tip to a portion connected to wiring boards 71 and 72 described later, and the optical fiber 76 is wrapped around the surface of the portion. There is a metal tube (high-frequency line) 73. Further, an insulating tube 74 and a metal tube (GND) 75 are provided so as to surround the metal tube (high-frequency line) 73.

【0024】この金属チューブ(高周波ラインとGN
D)73,75と絶縁チューブ74により、同軸ケーブ
ル状の高周波線路を形成し、内側の金属チューブ(高周
波ライン)73が高周波ラインとなり、外側の金属チュ
ーブ(GND)75が接地(GND)となる。金属チュ
ーブ(高周波ラインとGND)73,75は、光ファイ
バ76の表面に蒸着または、メッキまたは金属を張り付
ける等の手段による金属チューブが形成されている。絶
縁物は蒸着または塗布または張り付け等の手段により形
成されている。
This metal tube (high-frequency line and GN
D) The coaxial cable-shaped high-frequency line is formed by the 73 and 75 and the insulating tube 74, the inner metal tube (high-frequency line) 73 becomes a high-frequency line, and the outer metal tube (GND) 75 becomes a ground (GND). . The metal tubes (high-frequency lines and GND) 73 and 75 are formed on the surface of the optical fiber 76 by means of vapor deposition, plating, or attaching metal. The insulator is formed by means such as vapor deposition, application, or attachment.

【0025】また、光ファイバ固定ブロック68は、板
状の部分により、LDアレー61のレーザ共振器部63
に対応する部分に、光ファイバ76を通す穴があり、こ
の部分で金属チューブ(GND)75を固定する構造で
ある。金属チューブ(高周波ライン)73とLDアレー
61のLD電極64間及び金属チューブ(GND)75
と共通電極62間をバンプ65による接続等の手段によ
り接続し固定する。
The optical fiber fixing block 68 is formed by a plate-like portion so that the laser resonator section 63 of the LD array 61 can be formed.
There is a hole through which the optical fiber 76 passes through at a portion corresponding to, and a metal tube (GND) 75 is fixed at this portion. Between the metal tube (high-frequency line) 73 and the LD electrode 64 of the LD array 61 and the metal tube (GND) 75
And the common electrode 62 are connected and fixed by means such as connection using bumps 65.

【0026】配線基板71,72は平板状であり、金属
チューブ(高周波ライン)73と接続し、配線基板7
1,72端まで配線を引き出すストリップライン71
A,72A等の高周波線路が表面に形成されており、配
線基板71,72の裏面にはGNDパターン71B,7
2Bが形成されている。金属チューブ(GND)75は
その配線基板71,72の裏面のGNDパターン71
B,72Bに接続されている。配線基板71,72の材
質はセラミック等の材質が好ましいが、他の材料でも問
題ない。配線電極71A,72Aと金属チューブ73,
75間の接続は半田付け等の手段を用いる。
The wiring boards 71 and 72 are flat and connected to a metal tube (high-frequency line) 73.
Strip line 71 for drawing wiring to the ends of 1, 72
A, 72A and other high-frequency lines are formed on the surface, and GND patterns 71B, 7
2B is formed. The metal tube (GND) 75 is a GND pattern 71 on the back surface of the wiring boards 71 and 72.
B, 72B. The material of the wiring boards 71 and 72 is preferably a material such as ceramic, but other materials may be used. The wiring electrodes 71A, 72A and the metal tube 73,
The connection between 75 is performed by means such as soldering.

【0027】上記の接続により、LDアレー61の電極
62,64が金属チューブ(高周波ラインとGND)7
3,75と絶縁チューブ74により構成された同軸ケー
ブル状の高周波線路を介して、配線基板71,72の配
線電極(ストリップライン)71A,72Aに接続され
るため、配線基板上のストリップライン71A,72A
から、LDアレー61を高周波的に駆動できるようにな
る。ここで、配線基板71,72上のストリップライン
71A,72Aがお互いに接触せず、かつ、高周波アイ
ソレーションを十分に確保できる間隔になるように、配
線基板の枚数を適当な数にする。なお、66は位置合わ
せマークである。
With the above connection, the electrodes 62 and 64 of the LD array 61 are connected to the metal tubes (high-frequency line and GND) 7.
3 and 75 and the insulating tube 74 are connected to the wiring electrodes (strip lines) 71A and 72A of the wiring boards 71 and 72 via coaxial cable-shaped high-frequency lines. 72A
Therefore, the LD array 61 can be driven at a high frequency. Here, the number of wiring boards is set to an appropriate number so that the strip lines 71A and 72A on the wiring boards 71 and 72 do not contact with each other and have a sufficient interval to ensure high-frequency isolation. In addition, 66 is an alignment mark.

【0028】このように構成したので、第2実施例によ
れば、更に以下のような効果を期待することができる。 (1)配線電極をウエハ表面から引き出し複数の配線基
板上の配線電極(ストリップライン)により行うため
に、従来例のアイソレーション規模が増した場合の電極
密度の増加による電極間の高周波的カップリングと、そ
れによる高周波アイソレーションの悪化の欠点を解消す
ることができる。
With such a configuration, according to the second embodiment, the following effects can be further expected. (1) Since the wiring electrodes are pulled out from the wafer surface and are performed by the wiring electrodes (strip lines) on a plurality of wiring boards, high-frequency coupling between the electrodes due to an increase in electrode density when the isolation scale is increased in the conventional example. Thus, it is possible to eliminate the disadvantage that the high frequency isolation is deteriorated.

【0029】(2)従来例の多層電極を用いた場合の多
層化した電極間の高周波的カップリングと、それによる
高周波アイソレーションの悪化の欠点を解消することが
できる。 (3)従来例の電極密度が増した場合も、多層電極を用
いた場合も、ストリップライン等の高周波線路が作り難
くなる欠点を解消することができる。
(2) It is possible to eliminate the drawbacks of high-frequency coupling between multi-layered electrodes when a conventional multi-layer electrode is used, and the deterioration of high-frequency isolation caused by the high-frequency coupling. (3) Both in the case where the electrode density of the conventional example is increased and in the case where a multilayer electrode is used, it is possible to eliminate the disadvantage that it is difficult to form a high-frequency line such as a strip line.

【0030】以上の説明においては、レンズ系を持たな
い構造で説明したが、レンズを用いた場合または、光フ
ァイバにレンズ機能を持たせた構造の場合も同様であ
る。また、LD以外に、光変調素子、光スイッチ素子等
及びそれらの複合素子の場合も同様である。また、上記
実施例では、LDアレーについて述べたが、PDアレー
を設けて、光ファイバからの光を受光するようにするよ
うにしてもよい。
In the above description, a structure without a lens system has been described, but the same applies to a case where a lens is used or a structure in which an optical fiber has a lens function. The same applies to the case of an optical modulation element, an optical switch element, and the like and a composite element thereof in addition to the LD. In the above embodiment, the LD array is described. However, a PD array may be provided to receive light from an optical fiber.

【0031】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、それらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications are possible based on the spirit of the present invention, and they are not excluded from the scope of the present invention.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 (1)請求項1記載の発明によれば、アレーの規模が大
きくなっても、配線を適切に行うことができる光アレー
モジュールを提供することができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (1) According to the first aspect of the present invention, it is possible to provide an optical array module capable of appropriately performing wiring even if the size of the array becomes large.

【0033】したがって、アレーの規模が大きくなって
も、配線を適切に行うことができる光アレーモジュール
を提供することができる。 (2)請求項2記載の発明によれば、配線電極をウエハ
表面から引き出し複数の配線基板上の配線電極(ストリ
ップライン)により行うために、従来例のアイソレーシ
ョン規模が増した場合の電極密度の増加による電極間の
高周波的カップリングと、それによる高周波アイソレー
ションを確実に行うことができる。
Therefore, it is possible to provide an optical array module capable of appropriately performing wiring even if the size of the array is increased. (2) According to the second aspect of the present invention, since the wiring electrodes are pulled out from the wafer surface and are formed by the wiring electrodes (strip lines) on the plurality of wiring boards, the electrode density in the conventional example when the isolation scale is increased. , The high-frequency coupling between the electrodes due to the increase in the frequency and the high-frequency isolation due to the high-frequency coupling can be reliably performed.

【0034】したがって、配線電極をウエハ表面から引
き出し複数の配線基板上の配線電極(ストリップライ
ン)により行うために、従来例のアイソレーション規模
が増した場合の電極密度の増加による電極間の高周波的
カップリングと、それによる高周波アイソレーションを
確実に行うことができる。 (3)請求項3記載の発明によれば、多層電極を用いた
場合の多層化した電極間の高周波的カップリングと、そ
れによる高周波アイソレーションを確実に行うことがで
きる。
Therefore, since the wiring electrodes are pulled out from the wafer surface and are formed by the wiring electrodes (strip lines) on the plurality of wiring boards, the high frequency characteristics between the electrodes due to the increase in the electrode density when the isolation scale is increased in the conventional example. Coupling and the resulting high frequency isolation can be reliably performed. (3) According to the third aspect of the invention, when a multilayer electrode is used, high-frequency coupling between the multilayered electrodes and high-frequency isolation by the high-frequency coupling can be reliably performed.

【0035】したがって、多層電極を用いた場合の多層
化した電極間の高周波的カップリングと、それによる高
周波アイソレーションを確実に行うことができる。
Therefore, when a multi-layer electrode is used, high-frequency coupling between the multi-layered electrodes and high-frequency isolation due to the high-frequency coupling can be reliably performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す光アレーモジュール
の模式図である。
FIG. 1 is a schematic view of an optical array module showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の任意の光ファイバの光軸に沿って垂直に
切断した光アレーモジュールの断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of the optical array module cut perpendicularly along the optical axis of any optical fiber of FIG.

【図3】本発明の第2の実施例を示す光アレーモジュー
ルの模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram of an optical array module showing a second embodiment of the present invention.

【図4】図3の任意の光ファイバの光軸に沿って垂直に
切断した光アレーモジュールの断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the optical array module taken along a direction perpendicular to the optical axis of an arbitrary optical fiber of FIG. 3;

【図5】従来の面発光レーザの一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a conventional surface emitting laser.

【図6】従来のレーザアレーの一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing an example of a conventional laser array.

【図7】従来の光モジュールの一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a conventional optical module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

40,60 基板(キャリア) 41,61 面発光LDアレー 43,63 レーザ共振器部 44,64 LD電極 45,65 バンプ 46,66 位置合わせマーク 47 基板スペーサ 48,68 光ファイバ固定ブロック 51,52,71,72 配線基板 51A,52A 配線電極 53 金属チューブ 55,76 光ファイバ 62 共通電極 71A,72A ストリップライン(配線電極) 71B,72B GNDパターン 73 金属チューブ(高周波ライン) 74 絶縁チューブ 75 金属チューブ(GND) 40, 60 Substrate (carrier) 41, 61 Surface-emitting LD array 43, 63 Laser resonator 44, 64 LD electrode 45, 65 Bump 46, 66 Alignment mark 47 Substrate spacer 48, 68 Optical fiber fixing block 51, 52, 71, 72 Wiring board 51A, 52A Wiring electrode 53 Metal tube 55, 76 Optical fiber 62 Common electrode 71A, 72A Strip line (wiring electrode) 71B, 72B GND pattern 73 Metal tube (high frequency line) 74 Insulating tube 75 Metal tube (GND) )

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光伝送用の光アレーモジュールにおい
て、(a)複数本の光ファイバと、(b)該光ファイバ
の表面に形成される導電手段と、(c)光素子と、
(d)該光素子上の任意の位置に任意の数の配線基板が
配置され、前記光ファイバと光素子とが光結合し、前記
導電手段と前記光素子表面の電極を接続し、さらに前記
導電手段と配線基板を接続することを特徴とする光アレ
ーモジュール。
1. An optical array module for optical transmission, comprising: (a) a plurality of optical fibers; (b) conductive means formed on a surface of the optical fiber; (c) an optical element;
(D) an arbitrary number of wiring boards are arranged at arbitrary positions on the optical element, the optical fiber and the optical element are optically coupled, and the conductive means and the electrode on the optical element surface are connected; An optical array module, wherein the conductive means is connected to a wiring board.
【請求項2】 請求項1記載の光アレーモジュールにお
いて、前記導電手段は前記光ファイバ表面に同軸的に形
成した金属体であることを特徴とする光アレーモジュー
ル。
2. The optical array module according to claim 1, wherein said conductive means is a metal body formed coaxially on a surface of said optical fiber.
【請求項3】 請求項1記載の光アレーモジュールにお
いて、前記導電手段は前記光ファイバ表面に形成した第
1の金属体と該第1の金属体上に同軸的に形成される絶
縁物及び該絶縁物上に同軸的に形成される第2の金属体
を用い、前記第1の金属体と絶縁物及び第2の金属体よ
り高周波線路を形成することを特徴とする光アレーモジ
ュール。
3. The optical array module according to claim 1, wherein said conductive means includes a first metal member formed on a surface of said optical fiber, an insulator formed coaxially on said first metal member, and said first metal member. An optical array module comprising: a second metal body formed coaxially on an insulator; and a high-frequency line formed from the first metal body, the insulator, and the second metal body.
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