JPH0979882A - Vibration type measuring device - Google Patents
Vibration type measuring deviceInfo
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- JPH0979882A JPH0979882A JP23722395A JP23722395A JPH0979882A JP H0979882 A JPH0979882 A JP H0979882A JP 23722395 A JP23722395 A JP 23722395A JP 23722395 A JP23722395 A JP 23722395A JP H0979882 A JPH0979882 A JP H0979882A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は振動式測定装置に係
り、特にセンサチューブに生ずるコリオリ力による歪を
高精度に検出するよう構成した振動式測定装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating measuring device, and more particularly to a vibrating measuring device configured to detect strain due to Coriolis force generated in a sensor tube with high accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】被測流体が流れる管路を振動させて流体
の物理量を測定する振動式測定装置として、例えばコリ
オリ式質量流量計又は振動式密度計がある。このコリオ
リ式質量流量計では、振動するセンサチューブの流入側
と流出側との流量に比例したコリオリ力による変位をピ
ックアップにより検出し、その位相差から質量流量を求
めようになっている。2. Description of the Related Art As a vibration type measuring device for measuring a physical quantity of a fluid by vibrating a pipe in which a fluid to be measured flows, there is, for example, a Coriolis mass flow meter or a vibration density meter. In this Coriolis mass flow meter, the displacement due to the Coriolis force proportional to the flow rates of the vibrating sensor tube on the inflow side and the outflow side is detected by a pickup, and the mass flow rate is obtained from the phase difference.
【０００３】また、振動式密度計では、センサチューブ
の固有振動数より流体の密度を測定するようになってい
る。このコリオリ式質量流量計と振動式密度計は、同一
構成であるので、以下コリオリ式質量流量計について説
明する。この種の従来の質量流量計の一例としては、特
開昭６３−３０７２１号公報により開示された流量計が
ある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過する際
の圧力損失を低減するため直線状に延在する一対のセン
サチューブを加振器により半径方向に振動させ、流量に
比例した一対のセンサチューブの相対変位をピックアッ
プにより検出するよう構成されている。Further, in the vibration type densitometer, the density of the fluid is measured from the natural frequency of the sensor tube. Since the Coriolis mass flowmeter and the vibration type density meter have the same configuration, the Coriolis mass flowmeter will be described below. An example of this type of conventional mass flowmeter is the flowmeter disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-30721. The mass flowmeter of this publication has a pair of sensor tubes proportional to the flow rate, in which a pair of linearly extending sensor tubes are vibrated in a radial direction by a vibrator in order to reduce pressure loss when a fluid to be measured passes. The relative displacement of the tube is configured to be detected by a pickup.
【０００４】このピックアップは、一方のセンサチュー
ブに取り付けられた環状のコイルと他方のセンサチュー
ブに取り付けられた棒状の磁石とが相対変位可能に嵌合
するように構成されたものであり、一対のセンサチュー
ブの変位をコイルと磁石との相対変位に伴ってコイルに
励起された電圧が検出信号として出力される。そして、
一対のセンサチューブを流れる流体の流量に応じた大き
さのコリオリ力による一対のセンサチューブの変位が流
入側ピックアップと流出側ピックアップで検出され、流
入側ピックアップの検出信号と流出側ピックアップの検
出信号との位相差より流量が求まる。This pickup is constructed such that an annular coil attached to one of the sensor tubes and a bar-shaped magnet attached to the other sensor tube are fitted so as to be relatively displaceable. The voltage excited in the coil due to the relative displacement of the sensor tube and the coil and the magnet is output as a detection signal. And
The displacement of the pair of sensor tubes due to the Coriolis force of a magnitude corresponding to the flow rate of the fluid flowing through the pair of sensor tubes is detected by the inflow-side pickup and the outflow-side pickup, and the inflow-side pickup detection signal and the outflow-side pickup detection signal are detected. The flow rate can be obtained from the phase difference of.
【０００５】このような構成とされた質量流量計におい
ては、上記のようなピックアップの小型化及び軽量化を
図るため、ピックアップの代わりに歪ゲージをセンサチ
ューブに取り付けてコリオリ力によってセンサチューブ
に生じた歪を検出し、この歪の大きさに基づいて流量を
演算する構成のものが開発されている。In the mass flowmeter having such a structure, in order to reduce the size and weight of the pickup as described above, a strain gauge is attached to the sensor tube instead of the pickup, and a strain gauge is generated in the sensor tube by Coriolis force. There has been developed a structure in which the strain is detected and the flow rate is calculated based on the magnitude of the strain.
【０００６】この種の質量流量計としては、例えば特開
平７−８３７１８号公報により開示されたものがある。
この公報の質量流量計では、直管状のセンサチューブの
流入側外周と流出側外周に抵抗体歪ゲージを貼着してコ
リオリ力により生じた歪を検出するようになっている。An example of this type of mass flowmeter is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-83718.
In the mass flowmeter of this publication, a resistor strain gauge is attached to the outer circumference of the inflow side and the outer circumference of the outflow side of a straight sensor tube to detect the strain caused by the Coriolis force.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように歪ゲージを使用してセンサチューブを流れる流体
の流量を計測する構成とされた質量流量計では、コリオ
リ力による歪がセンサチューブが振動することによって
生ずる歪に比べて非常に小さいので、コリオリ力の大き
さに応じた歪を計測するためにフェーズロックループ回
路（Phase-Lock Loop : ＰＬＬ）等のフィルタ回路が必
要であった。However, in the mass flowmeter configured to measure the flow rate of the fluid flowing through the sensor tube by using the strain gauge as described above, the strain due to the Coriolis force causes the sensor tube to vibrate. Since it is very small as compared with the distortion caused by this, a filter circuit such as a phase-lock loop circuit (Phase-Lock Loop: PLL) is required to measure the distortion according to the magnitude of the Coriolis force.
【０００８】さらに、直管状のセンサチューブの流入側
外周と流出側外周に歪ゲージを貼着する際に歪ゲージの
貼着位置が僅かにずれてしまってもセンサチューブの振
動による歪が極端に大きくなってしまう。そのため、上
記公報のものでは、歪ゲージを所定の貼着位置に正確に
貼着しないと、センサチューブの振動による歪がノイズ
となって検出されることになり、ＳＮ比（Signal-to-No
ise Ratio ）の関係よりコリオリ力による歪を検出する
ことができなくなるといった問題がある。Further, when the strain gauges are attached to the outer circumference of the inflow side and the outer circumference of the outflow side of the straight tube type sensor tube, even if the positions where the strain gauges are attached are slightly deviated, the strain due to the vibration of the sensor tube is extremely large. It gets bigger. Therefore, in the above publication, if the strain gauge is not accurately attached at a predetermined attachment position, the strain due to the vibration of the sensor tube will be detected as noise, and the SN ratio (Signal-to-No.
There is a problem that distortion due to Coriolis force cannot be detected due to the relationship of ise Ratio).
【０００９】また、歪ゲージをセンサチューブの外周に
取り付ける際は、歪ゲージの貼着位置がずれないように
神経を使うことになり、組立工程における作業効率が悪
いといった問題もある。そこで、本発明は上記問題を解
決した振動式測定装置を提供することを目的とする。Further, when the strain gauge is attached to the outer circumference of the sensor tube, a nerve is used so as not to shift the position where the strain gauge is attached, which causes a problem that work efficiency in the assembling process is poor. Therefore, an object of the present invention is to provide a vibration type measuring device which solves the above problems.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
の発明は、被測流体が流れるセンサチューブを加振器に
より加振し、該センサチューブのコリオリ力による歪を
歪検出センサにより検出する振動式測定装置において、
前記センサチューブは、前記加振器の加振方向と直交す
る方向に傾斜した流入側傾斜部と、該流入側傾斜部と逆
方向に傾斜した流出側傾斜部と、前記流入側傾斜部と前
記流出側傾斜部との間を連通する連通部とから形成され
たことを特徴とするものである。In order to solve the above problems, the present invention has the following features. Claim 1
The invention of, in a vibration type measuring device for exciting a sensor tube through which a fluid to be measured is vibrated by a vibrating device, and detecting a strain due to the Coriolis force of the sensor tube by a strain detection sensor,
The sensor tube includes an inflow-side inclined portion that is inclined in a direction orthogonal to a vibration direction of the vibration exciter, an outflow-side inclined portion that is inclined in a direction opposite to the inflow-side inclined portion, the inflow-side inclined portion, and the inflow-side inclined portion. It is characterized in that it is formed of a communication part that communicates with the outflow side inclined part.
【００１１】従って、上記請求項１によれば、センサチ
ューブが加振器の加振方向と直交する方向に傾斜した流
入側傾斜部と、流入側傾斜部と逆方向に傾斜した流出側
傾斜部と、流入側傾斜部と流出側傾斜部との間を連通す
る連通部とから形成されているので、センサチューブが
加振されると、流入側傾斜部及び流出側傾斜部にコリオ
リ力による捩じれ応力が作用し、コリオリ力に応じた歪
をより大きな値で検出できる。Therefore, according to the first aspect, the inflow side inclined portion in which the sensor tube is inclined in the direction orthogonal to the vibration direction of the vibration exciter and the outflow side inclined portion in the direction opposite to the inflow side inclined portion are provided. And a communication portion that communicates between the inflow-side inclined portion and the outflow-side inclined portion, so that when the sensor tube is vibrated, the inflow-side inclined portion and the outflow-side inclined portion are twisted by the Coriolis force. The stress acts, and the strain corresponding to the Coriolis force can be detected with a larger value.
【００１２】また、請求項２の発明は、前記加振器が前
記センサチューブの連通部の中間位置を加振するように
設けられたことを特徴とするものである。従って、上記
請求項２によれば、加振器がセンサチューブの連通部の
中間位置を加振するように設けられているので、センサ
チューブが加振されたときセンサチューブの振動の支点
となる部分から連通部に至るまでの間、すなわち流入側
傾斜部及び流出側傾斜部にコリオリ力による捩じれ応力
を均等に作用させることができる。Further, the invention of claim 2 is characterized in that the vibration exciter is provided so as to vibrate the intermediate position of the communicating portion of the sensor tube. Therefore, according to the second aspect, since the vibration exciter is provided so as to vibrate the intermediate position of the communicating portion of the sensor tube, it serves as a fulcrum of vibration of the sensor tube when the sensor tube is vibrated. The twist stress due to the Coriolis force can be uniformly applied to the inflow-side inclined portion and the outflow-side inclined portion from the portion to the communicating portion.
【００１３】また、請求項３の発明は、前記歪検出セン
サが前記センサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部
の夫々の外周に設けられたことを特徴とするものであ
る。従って、上記請求項３によれば、歪検出センサがセ
ンサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫々の外
周に設けられているので、コリオリ力による捩じれ応力
が作用する流入側傾斜部と流出側傾斜部の歪を検出で
き、歪検出センサの取付位置がずれてもコリオリ力によ
る歪を正確に計測することができる。Further, the invention of claim 3 is characterized in that the strain detecting sensor is provided on the outer circumference of each of the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion of the sensor tube. Therefore, according to the third aspect, since the strain detection sensor is provided on the outer circumference of each of the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion of the sensor tube, the strain detecting sensor is provided with the inflow side inclined portion on which the torsional stress due to the Coriolis force acts. The strain of the outflow side inclined portion can be detected, and the strain due to the Coriolis force can be accurately measured even if the mounting position of the strain detection sensor is deviated.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の一実施
例について説明する。尚、図１は振動式測定装置として
のコリオリ式質量流量計１を示す縦断面図、図２は質量
流量計１の横断面図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a vertical cross-sectional view showing a Coriolis mass flowmeter 1 as a vibration measuring device, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the mass flowmeter 1.
【００１５】質量流量計１は密閉された箱状のケーシン
グ２内に被測流体が通過するセンサチューブ３を挿通し
てなる。センサチューブ３は、上流側端部が流入管４に
連通され、下流側端部が流出管５に連通されている。セ
ンサチューブ３は、流入管４に連通されて流れ方向（Ｘ
方向）に延在する流入部３ａと、加振方向（Ｙ方向）と
直交する下方向に所定角度θ1 傾斜した流入側傾斜部３
ｂと、流入側傾斜部３ｂと逆の上方向に所定角度θ1 傾
斜した流出側傾斜部３ｃと、流入側傾斜部３ｂと流出側
傾斜部３ｃとの間を連通する連通部３ｄと、流出側傾斜
部３ｃの下流側端部に連通された流出部３ｅとを有す
る。また、連通部３ｄは加振方向（Ｙ方向）と直交する
上下方向に所定角度θ2 傾斜しており、本実施例ではθ
1 ＞θ2 となるように設定されている。尚、角度θ1 ，
θ 2 は、夫々Ｘ方向に延在する水平線を基準にした傾斜
角度を表している。The mass flowmeter 1 is a closed box-shaped casing.
Insert the sensor tube 3 through which the fluid to be measured passes
It becomes. The upstream end of the sensor tube 3 is connected to the inflow pipe 4.
The downstream end is communicated with the outflow pipe 5. C
The sensor tube 3 is communicated with the inflow pipe 4 so that the flow direction (X
Direction), and an exciting direction (Y direction)
A predetermined angle θ downward1Inclined inflow side slope 3
b and a predetermined angle θ in the upward direction opposite to the inflow side inclined portion 3b.1Inclination
Inclined outflow side slope 3c, inflow side slope 3b and outflow side
Communication part 3d that communicates with the inclined part 3c and the outflow side inclination
And an outflow portion 3e communicated with the downstream end of the portion 3c.
You. The communication portion 3d is orthogonal to the vibration direction (Y direction).
Vertical angle θ2It is inclined, and in this embodiment, θ
1> Θ2Is set to be Note that the angle θ1,
θ 2Is the inclination based on the horizontal line extending in the X direction.
It represents an angle.
【００１６】また、流入部３ａと流入側傾斜部３ｂとの
間は第１の曲部３ｆにより連通され、流入側傾斜部３ｂ
と連通部３ｄとの間が第２の曲部３ｇにより連通され、
連通部３ｄと流出側傾斜部３ｃとの間が第３の曲部３ｈ
により連通され、流出側傾斜部３ｃと流出部３ｅとの間
が第４の曲部３ｉにより連通されている。The inflow portion 3a and the inflow side inclined portion 3b are connected by a first curved portion 3f, and the inflow side inclined portion 3b is formed.
And the communication portion 3d are communicated with each other by the second curved portion 3g,
The third curved portion 3h is between the communication portion 3d and the outflow side inclined portion 3c.
And the outflow-side inclined portion 3c and the outflow portion 3e are connected by the fourth curved portion 3i.
【００１７】センサチューブ３は、上記流入側傾斜部３
ｂ，流出側傾斜部３ｃ，連通部３ｄは傾斜方向に延在す
る直管であり、振動方向（Ｙ方向）に対して法線方向と
なる上下方向にのみ傾斜している。従って、センサチュ
ーブ３は、上方から見ると一直線状にＸ方向に延在して
いる。The sensor tube 3 has the inflow side inclined portion 3 described above.
b, the outflow side inclined portion 3c, and the communication portion 3d are straight pipes extending in the inclination direction, and are inclined only in the vertical direction that is the normal direction to the vibration direction (Y direction). Therefore, the sensor tube 3 extends in a straight line in the X direction when viewed from above.
【００１８】従って、上記流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃ，連通部３ｄが上下方向（Ｚ方向）にのみ傾斜
するように形成されているため、ケーシング２は上下方
向（Ｚ方向）の高さ寸法に比べて加振方向（Ｙ方向）の
奥行き寸法が小さくなっている。そのため、質量流量計
１自体が薄型化されており、設置スペースの省スペース
化が図られている。Therefore, since the inflow side inclined portion 3b, the outflow side inclined portion 3c, and the communication portion 3d are formed so as to incline only in the vertical direction (Z direction), the casing 2 is placed in the vertical direction (Z direction). The depth dimension in the vibration direction (Y direction) is smaller than the height dimension. Therefore, the mass flowmeter 1 itself is thinned, and the installation space is saved.
【００１９】また、センサチューブ３の流入部３ａ及び
流出部３ｅは、ケーシング２に取り付けられたサポート
板６，７に貫通された状態で真空ろう付け等により固着
されており、このサポート板６，７により支持されてい
る。従って、センサチューブ３は、サポート板６，７に
固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 を支点として振動する
ことになり、センサチューブ３の振動部分はサポート板
６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 間の範囲とな
る。そして、センサチューブ３の第２の曲部３ｇ及び第
３の曲部３ｈは、振動部分の全長Ｌに対してサポート板
６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 から約１／４
の長さ位置に設けられている。The inflow portion 3a and the outflow portion 3e of the sensor tube 3 are fixed to each other by vacuum brazing or the like while penetrating the support plates 6 and 7 attached to the casing 2. Supported by 7. Therefore, the sensor tube 3 vibrates with the joints 3a 1 and 3e 1 fixed to the support plates 6 and 7 as fulcrums, and the vibrating portion of the sensor tube 3 is the joints fixed to the support plates 6 and 7. The range is between 3a 1 and 3e 1 . The second curved portion 3g and the third curved portion 3h of the sensor tube 3 are about 1/4 of the total length L of the vibrating portion from the joint portions 3a 1 and 3e 1 fixed to the support plates 6 and 7.
It is provided at the length position of.
【００２０】８は加振器で、励振信号が入力される励振
コイル８ａと磁石８ｂとを対向させた実質電磁ソレノイ
ドと同様な構成であり、センサチューブ３の中間位置に
設けられている。すなわち、加振器８は励振コイル８ａ
がセンサチューブ３の連通部３ｄの中間位置に対向する
ケーシング２の内壁２ａに取り付けられ、磁石８ｂが励
振コイル８ａ内に加振方向（Ｙ方向）に移動可能に挿入
されている。そして、磁石８ｂの端部は、ベルト状の結
合部材８ｃを介して連通部３ｄに結合されている。Reference numeral 8 denotes an exciter, which has a structure similar to that of a substantially electromagnetic solenoid in which an exciting coil 8a to which an exciting signal is input and a magnet 8b are opposed to each other, and is provided at an intermediate position of the sensor tube 3. That is, the exciter 8 has the excitation coil 8a.
Is attached to the inner wall 2a of the casing 2 facing the intermediate position of the communicating portion 3d of the sensor tube 3, and the magnet 8b is inserted into the exciting coil 8a so as to be movable in the exciting direction (Y direction). The end of the magnet 8b is connected to the communicating portion 3d via the belt-shaped connecting member 8c.
【００２１】９は上流側歪ゲージ（歪検出センサ）で、
センサチューブ３の流入側傾斜部３ｂの長手方向の略中
間の外周に貼着されている。１０は下流側歪ゲージ（歪
検出センサ）で、センサチューブ３の流出側傾斜部３ｃ
の長手方向の略中間の外周に貼着されている。Reference numeral 9 is an upstream side strain gauge (strain detection sensor),
The sensor tube 3 is attached to the outer periphery of the inflow side inclined portion 3b of the sensor tube 3 approximately in the middle in the longitudinal direction. Reference numeral 10 denotes a downstream side strain gauge (strain detection sensor), which is an outflow side inclined portion 3c of the sensor tube 3.
Is affixed to the outer periphery in the middle of the longitudinal direction.
【００２２】上流側歪ゲージ９及び下流側歪ゲージ１０
は、フィルム状に形成された抵抗体歪ゲージよりなり、
センサチューブ３が振動して歪が生ずると、抵抗値が変
化する特性を有する。そのため、上流側歪ゲージ９及び
下流側歪ゲージ１０は、加振器８により加振されて生じ
た捩じれ応力とセンサチューブ３を流れる流量に応じた
コリオリ力による捩じれ応力がセンサチューブ３の流入
側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用すると、その応
力の大きさに応じた電圧を検出信号として出力する。Upstream strain gauge 9 and downstream strain gauge 10
Consists of a resistor strain gauge formed in the shape of a film,
When the sensor tube 3 vibrates and is distorted, the resistance value changes. Therefore, in the upstream side strain gauge 9 and the downstream side strain gauge 10, the torsional stress generated by the vibrator 8 and the torsional stress due to the Coriolis force corresponding to the flow rate of the sensor tube 3 are applied to the inflow side of the sensor tube 3. When acting on the inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c, a voltage corresponding to the magnitude of the stress is output as a detection signal.
【００２３】さらに、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲー
ジ１０が取り付けられた流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜
部３ｃには、後述するようにコリオリ力に応じた捩じれ
応力が作用し、この捩じれ応力により歪を上流側歪ゲー
ジ９，下流側歪ゲージ１０で検出するため、捩じれ応力
により増大された歪を大きな値で検出することができ
る。Further, as will be described later, a torsional stress corresponding to Coriolis force acts on the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c to which the upstream side strain gauge 9 and the downstream side strain gauge 10 are attached. Since the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 detect the strain due to the torsional stress, the strain increased by the torsional stress can be detected with a large value.
【００２４】また、上記ケーシング２は、長方形状に形
成されたケーシング本体１１の両端開口が蓋部材１２，
１３により閉蓋された密閉構造になっており、ケーシン
グ２内の収納室１４に挿入された上記センサチューブ３
の表面の結露を防止するようになっている。さらに、密
閉された収納室１４には、乾燥した保護気体（例えば、
アルゴンガス等）が所定圧力に充填されている。In the casing 2, the casing main body 11 formed in a rectangular shape has a cover member 12 having openings at both ends.
The sensor tube 3 has a closed structure that is closed by 13, and is inserted into a storage chamber 14 in the casing 2.
It is designed to prevent condensation on the surface of. Furthermore, in the closed storage chamber 14, a dry protective gas (for example,
Argon gas or the like) is filled to a predetermined pressure.
【００２５】上記流入管４は、流入側端部に上流側配管
（図示せず）に連結されるフランジ４ａを有し、流入管
４の他端はケーシング２の蓋部材１２を貫通してケーシ
ング２の内部に延出してセンサチューブ３に接続されて
いる。流出管５は、上流側端部がセンサチューブ３に接
続固定され、下流側端部がケーシング２の蓋部材１３を
貫通して下流側（Ｘ方向）へ突出している。尚、流出管
５の下流側端部には、下流側配管（図示せず）に連結さ
れるフランジ５ａが設けられている。The inflow pipe 4 has a flange 4a connected to an upstream pipe (not shown) at the inflow end, and the other end of the inflow pipe 4 penetrates the lid member 12 of the casing 2 to form a casing. 2 extends inside and is connected to the sensor tube 3. The upstream end of the outflow pipe 5 is connected and fixed to the sensor tube 3, and the downstream end thereof penetrates the lid member 13 of the casing 2 and projects downstream (X direction). A flange 5a connected to a downstream pipe (not shown) is provided at the downstream end of the outflow pipe 5.
【００２６】流量計測時、上記構成になる質量流量計１
において、加振器８はセンサチューブ３の中間位置を水
平方向（Ｙ方向）に加振する。上流側配管（図示せず）
から供給された被測流体は、流入管４より振動するセン
サチューブ３内に流入する。そして、被測流体は、Ｓ字
状に曲げられたセンサチューブ３の流入部３ａ，流入側
傾斜部３ｂ，連通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃ，流出部３
ｅを通過して流出管５より下流側配管（図示せず）に流
出する。When measuring the flow rate, the mass flowmeter 1 having the above configuration
In, the vibrator 8 vibrates the intermediate position of the sensor tube 3 in the horizontal direction (Y direction). Upstream piping (not shown)
The fluid to be measured supplied from the inflow pipe 4 flows into the vibrating sensor tube 3. Then, the fluid to be measured has an inflow portion 3a, an inflow side inclined portion 3b, a communication portion 3d, an outflow side inclined portion 3c, and an outflow portion 3 of the sensor tube 3 bent in an S shape.
After passing through e, it flows out from the outflow pipe 5 to a downstream pipe (not shown).
【００２７】このように、振動するセンサチューブ３に
流体が流れると、その流量に応じた大きさのコリオリ力
が流入側傾斜部３ｂ及び流出側傾斜部３ｃに逆方向に発
生する。そのため、流入側傾斜部３ｂと流出側傾斜部３
ｃとでは、後述するように捩じれが発生し、この捩じれ
による歪がある時間遅れで発生する。よって、流入側傾
斜部３ｂと流出側傾斜部３ｃには、振動による変位に動
作遅れが生じ、これにより上流側歪ゲージ９の出力信号
と下流側歪ゲージ１０の出力信号とでは位相差があらわ
れる。As described above, when the fluid flows through the vibrating sensor tube 3, Coriolis force of a magnitude corresponding to the flow rate is generated in the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c in opposite directions. Therefore, the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3
With respect to c, twisting occurs as described later, and distortion due to this twisting occurs with a certain time delay. Therefore, the inflow-side inclined portion 3b and the outflow-side inclined portion 3c have a delay in displacement due to vibration, which causes a phase difference between the output signal of the upstream strain gauge 9 and the output signal of the downstream strain gauge 10. .
【００２８】この流入側と流出側との位相差が流量に比
例するため、流量計測制御回路（図示せず）は、上流側
歪ゲージ９の出力信号と下流側歪ゲージ１０の出力信号
との位相差に基づいて流量を演算する。図３は上記セン
サチューブ３の傾斜部分を説明するための図である。Since the phase difference between the inflow side and the outflow side is proportional to the flow rate, the flow rate measurement control circuit (not shown) causes the output signal of the upstream strain gauge 9 and the output signal of the downstream strain gauge 10 to differ. The flow rate is calculated based on the phase difference. FIG. 3 is a diagram for explaining an inclined portion of the sensor tube 3.
【００２９】センサチューブ３を制作する際、流入側傾
斜部３ｂ，連通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃの傾斜角度θ
1 ，θ2 は、夫々センサチューブ３の振動部分の全長Ｌ
0 （サポート板６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ
1 間の距離）に対し中心線から上下方向への傾斜量Ｌ1
が８％前後となるように設定することが望ましい。例え
ば、全長Ｌ0 に対する傾斜量Ｌ1 が１５％程度になると
センサチューブ３の振動が不安定になって計測精度が低
下してしまう。また、全長Ｌ0 に対する傾斜量Ｌ1 が３
％未満である場合には、センサチューブ３の振動による
捩じれが小さくなり過ぎて歪を検出できなくなる。When the sensor tube 3 is manufactured, the inclination angle θ of the inflow side inclined portion 3b, the communication portion 3d, and the outflow side inclined portion 3c.
1 and θ 2 are the total length L of the vibrating part of the sensor tube 3, respectively.
0 (joint parts 3a 1 and 3e fixed to support plates 6 and 7
Inclination amount L 1 of relative distance) between 1 to the vertical direction from the center line
It is desirable to set the value to be around 8%. For example, when the amount of inclination L 1 with respect to the total length L 0 becomes about 15%, the vibration of the sensor tube 3 becomes unstable and the measurement accuracy deteriorates. Further, the inclination amount L 1 with respect to the total length L 0 is 3
When it is less than%, the twist due to the vibration of the sensor tube 3 becomes too small and the strain cannot be detected.
【００３０】以上のようなことを考慮すると、全長Ｌ0
が２００ｍｍのとき流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３
ｃの傾斜角度θ1 はおよそ１９．６°、連通部３ｄの傾
斜角度θ2 はおよそ１７．７°となる。これにより、セ
ンサチューブ３の振動状態が安定すると共に、流量に応
じて発生する歪を検出することができる。Considering the above, the total length L 0
When the distance is 200 mm, the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3
The inclination angle θ 1 of c is about 19.6 °, and the inclination angle θ 2 of the communication portion 3d is about 17.7 °. As a result, the vibration state of the sensor tube 3 is stabilized, and the strain generated according to the flow rate can be detected.
【００３１】ここで、上記のような構成とされた質量流
量計１の流量計測動作について説明する。尚、図４はセ
ンサチューブ３のみを取り出した背面図、図５はセンサ
チューブ３の平面図であり、夫々センサチューブ３を裏
側（後側）から見た図となっている。The flow rate measuring operation of the mass flowmeter 1 having the above-mentioned configuration will be described. 4 is a rear view of the sensor tube 3 taken out, and FIG. 5 is a plan view of the sensor tube 3, showing the sensor tube 3 as viewed from the back side (rear side).
【００３２】センサチューブ３はサポート板６，７に固
着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 間の振動部分Ｌが上下方
向に傾斜する形状である。そして、加振器８はセンサチ
ューブ３の連通部３ｄの中間位置を傾斜方向と直交する
前後方向（Ｙ方向）に加振して振動させる。このように
振動部分Ｌの中間位置を加振されたセンサチューブ３
は、図５において破線で示すように連通部３ｄの中間位
置が最大振幅で前後方向（Ｙ方向）に振動し、サポート
板６，７に固着された接合部３ａ1 ，３ｅ1 の位置では
振幅ゼロとなる。The sensor tube 3 has a shape in which the vibrating portion L between the joint portions 3a 1 and 3e 1 fixed to the support plates 6 and 7 is inclined in the vertical direction. Then, the vibrator 8 vibrates by vibrating the intermediate position of the communication portion 3d of the sensor tube 3 in the front-back direction (Y direction) orthogonal to the tilt direction. The sensor tube 3 thus vibrated at the intermediate position of the vibrating portion L
5, the intermediate position of the communication part 3d vibrates in the front-back direction (Y direction) with the maximum amplitude as indicated by the broken line in FIG. 5, and the amplitude is increased at the positions of the joint parts 3a 1 and 3e 1 fixed to the support plates 6 and 7. It becomes zero.
【００３３】図６はセンサチューブ３の振動状態を説明
するための模式図である。流体が流れていない状態のセ
ンサチューブ３が加振器８により前後方向（Ｙ方向）に
加振された場合、センサチューブ３には加振器８による
加振力のみが作用することになる。そのため、センサチ
ューブ３は図６において実線で示すように前後方向（Ｙ
方向）に撓んだ状態となる。FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the vibration state of the sensor tube 3. When the sensor tube 3 in a state where no fluid is flowing is vibrated in the front-rear direction (Y direction) by the vibrating device 8, only the vibrating force of the vibrating device 8 acts on the sensor tube 3. Therefore, the sensor tube 3 moves in the front-back direction (Y
Direction).
【００３４】このように振動するセンサチューブ３に流
体が流れると、センサチューブ３の流入側には振動方向
のコリオリ力が発生し、センサチューブ３の流出側には
流入側と逆方向のコリオリ力が発生する。そのため、セ
ンサチューブ３は、流入側と流出側とで逆方向のコリオ
リ力が発生するため、図６において一点鎖線で示すよう
に変形する。尚、図６ではセンサチューブ３の動きを分
かりやすくするため、センサチューブ３の変形を実際よ
りも誇張して示してある。When the fluid flows through the vibrating sensor tube 3 as described above, a Coriolis force in the vibration direction is generated on the inflow side of the sensor tube 3, and a Coriolis force in the opposite direction to the inflow side is generated on the outflow side of the sensor tube 3. Occurs. Therefore, since the Coriolis force in the opposite direction is generated on the inflow side and the outflow side, the sensor tube 3 is deformed as shown by the one-dot chain line in FIG. Note that in FIG. 6, the deformation of the sensor tube 3 is exaggerated from the actual state in order to make the movement of the sensor tube 3 easy to understand.
【００３５】従って、流量計測時には、センサチューブ
３が上記のような加振器８による変位とコリオリ力によ
る変位とが合成された状態で振動することになる。そし
て、コリオリ力が流入側と流出側に生じると、コリオリ
力による捩じれ応力がサポート板６，７に固着された接
合部３ａ1 ，３ｅ1 間に延在する流入側傾斜部３ｂ，連
通部３ｄ，流出側傾斜部３ｃに均一に作用する。Therefore, at the time of measuring the flow rate, the sensor tube 3 vibrates in a state in which the displacement due to the vibration exciter 8 and the displacement due to the Coriolis force are combined. When the Coriolis force is generated on the inflow side and the outflow side, the torsional stress due to the Coriolis force causes the inflow side inclined portion 3b extending between the joint portions 3a 1 and 3e 1 fixed to the support plates 6 and 7, and the communication portion 3d. , Acts uniformly on the outflow side inclined portion 3c.
【００３６】図７はセンサチューブ３の振動による捩じ
れ応力を説明するため、図５中Ａ−Ａ線に沿う断面図で
ある。尚、図７（Ａ）はＡ−Ａ断面をＢ方向から見た断
面図で、図７（Ｂ）はＡ−Ａ断面をＣ方向から見た断面
図である。センサチューブ３の連通部３ｄが加振器８に
よりＹ方向に変位すると、連通部３ｄ及び流入側傾斜部
３ｂ，流出側傾斜部３ｃに捩じれ応力が作用し、連通部
３ｄの両端に設けられた第２の曲部３ｇ，第３の曲部３
ｈには最大のモーメントが作用する。FIG. 7 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 5 for explaining the torsional stress due to the vibration of the sensor tube 3. 7A is a cross-sectional view of the AA cross section viewed from the B direction, and FIG. 7B is a cross-sectional view of the AA cross section viewed from the C direction. When the communication portion 3d of the sensor tube 3 is displaced in the Y direction by the vibrator 8, a torsional stress acts on the communication portion 3d, the inflow side inclined portion 3b, and the outflow side inclined portion 3c, and the communication portion 3d is provided at both ends of the communication portion 3d. Second curved portion 3g, third curved portion 3
The maximum moment acts on h.
【００３７】そのため、上流側歪ゲージ９が貼着された
流入側傾斜部３ｂ付近にコリオリ力に応じた均一の捩じ
れ応力が作用し、且つ下流側歪ゲージ１０が貼着された
流出側傾斜部３ｃ付近にもコリオリ力に応じた均一の捩
じれ応力が作用する。図８はセンサチューブ３の流入側
傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに作用する捩じれ応力を
説明するため斜視図であり、図８（Ａ）は流出側傾斜部
３ｃの捩じれ動作を示す斜視図で、図８（Ｂ）は流入側
傾斜部３ｂの捩じれ動作を示す斜視図である。Therefore, a uniform twist stress corresponding to the Coriolis force acts near the inflow side inclined portion 3b to which the upstream strain gauge 9 is attached, and the outflow side inclined portion to which the downstream strain gauge 10 is attached. A uniform torsional stress corresponding to the Coriolis force also acts near 3c. FIG. 8 is a perspective view for explaining the twisting stress acting on the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c of the sensor tube 3, and FIG. 8A is a perspective view showing the twisting operation of the outflow side inclined portion 3c. 8B is a perspective view showing the twisting operation of the inflow side inclined portion 3b.
【００３８】すなわち、流出側傾斜部３ｃでは、上記捩
じれ応力Ｆによりｃ1 点がｃ2 点に変位することにな
り、このｃ1 点からｃ2 点に移動する捩じれ角βｃの大
きさに応じた均一の歪が流出側傾斜部３ｃの外周に作用
する。そのため、流出側傾斜部３ｃの外周に貼着された
下流側歪ゲージ１０は、捩じれ角βｃに応じた歪みを検
出して捩じれ角βｃに比例した電圧を検出信号して出力
する。That is, in the outflow side inclined portion 3c, the point c 1 is displaced to the point c 2 by the above-mentioned torsional stress F, and depending on the magnitude of the torsion angle βc moving from this point c 1 to the point c 2. The uniform strain acts on the outer circumference of the outflow side inclined portion 3c. Therefore, the downstream strain gauge 10 attached to the outer periphery of the outflow side inclined portion 3c detects a strain corresponding to the twist angle βc and outputs a voltage proportional to the twist angle βc as a detection signal.
【００３９】また、流入側傾斜部３ｂでは、上記捩じれ
応力Ｆによりｂ1 点がｂ2 点に変位することになり、こ
のｂ1 点からｂ2 点に移動する捩じれ角βｂの大きさに
応じた均一の歪が流入側傾斜部３ｂの外周に作用する。
そのため、流入側傾斜部３ｂの外周に貼着された上流側
歪ゲージ９は、捩じれ角βｂに応じた歪を検出して捩じ
れ角βｂに比例した電圧を検出信号して出力する。Further, in the inflow side inclined portion 3b, the point b 1 is displaced to the point b 2 by the above-mentioned torsional stress F, and depending on the magnitude of the torsion angle βb moving from this point b 1 to the point b 2. The uniform strain acts on the outer circumference of the inflow side inclined portion 3b.
Therefore, the upstream strain gauge 9 attached to the outer periphery of the inflow side inclined portion 3b detects a strain corresponding to the twist angle βb and outputs a voltage proportional to the twist angle βb as a detection signal.
【００４０】また、センサチューブ３内を流体が流れな
いときは、流入側傾斜部３ｂに作用する歪みと流出側傾
斜部３ｃに作用する歪みとがほぼ同じ値（大きさ）にな
るので、流入側と流出側との差がゼロになる。このよう
にコリオリ力に応じた捩じれ応力により発生した歪が流
入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃに貼着された上流側
歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０により検出されるた
め、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０は捩じれ応
力により増大された歪を検出することができる。そのた
め、上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０は、流量に
比例して生ずるコリオリ力を増大された歪として検出す
ることができ、従来のもの（直管状のセンサチューブに
歪ゲージを取り付けた構成のもの）よりも流量計測時の
歪の検出感度を高めることができる。When the fluid does not flow in the sensor tube 3, the strain acting on the inflow side inclined portion 3b and the strain acting on the outflow side inclined portion 3c become substantially the same value (size), so that the inflow The difference between the discharge side and the discharge side becomes zero. In this way, the strain generated by the torsional stress corresponding to the Coriolis force is detected by the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 attached to the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c. The strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 can detect the strain increased by the torsional stress. Therefore, the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 can detect the Coriolis force generated in proportion to the flow rate as the increased strain, and the conventional strain gauge (the strain gauge is attached to the straight tubular sensor tube is used. It is possible to improve the detection sensitivity of the strain at the time of measuring the flow rate, as compared with the one having the configuration).
【００４１】さらに、流入側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部
３ｃの外周全体に捩じれ応力が作用するため、上流側歪
ゲージ９，下流側歪ゲージ１０の取付位置がずれたとし
ても流量計測には影響せず、所定の取付位置に対するず
れがあっても歪の検出感度を確保することができる。そ
のため、従来必要とされたフェーズロックループ回路等
のフィルタ回路を無くして流量計測制御回路（図示せ
ず）の回路構成を簡略化することができる。Furthermore, since torsional stress acts on the entire outer circumferences of the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c, even if the mounting positions of the upstream side strain gauge 9 and the downstream side strain gauge 10 are deviated, the flow rate is not measured. Even if there is a deviation with respect to a predetermined mounting position without affecting, it is possible to secure the strain detection sensitivity. Therefore, the circuit configuration of the flow rate measurement control circuit (not shown) can be simplified by eliminating the filter circuit such as the phase-locked loop circuit which has been conventionally required.
【００４２】従って、組立工程において、上流側歪ゲー
ジ９，下流側歪ゲージ１０の取付位置に神経を使わずに
済み、作業効率が高められると共に、簡単な取付作業で
計測精度を高めることができる。尚、振動式密度計の場
合は上記実施例の質量流量計と同様な構成であるので、
その説明は省略する。振動式密度計の場合、センサチュ
ーブの固有振動数が流体の密度によって変化することを
利用して密度を測定するようになっている。Therefore, in the assembly process, it is not necessary to use nerves at the mounting positions of the upstream side strain gauge 9 and the downstream side strain gauge 10, the working efficiency is improved, and the measurement accuracy can be improved by a simple mounting work. . Incidentally, in the case of the vibration type density meter, since it has the same configuration as the mass flowmeter of the above-mentioned embodiment,
The description is omitted. In the case of the vibration type densitometer, the density is measured by utilizing the fact that the natural frequency of the sensor tube changes depending on the density of the fluid.
【００４３】また、上記実施例では、上流側歪ゲージ
９，下流側歪ゲージ１０が流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃの外周に貼着される構成としたが、これに限ら
ず、連通部３ｄにも捩じれ応力が作用するため、連通部
３ｄの外周に上流側歪ゲージ９，下流側歪ゲージ１０を
貼着する構成としても良いのは勿論である。Further, in the above embodiment, the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 are adhered to the outer circumferences of the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c, but the present invention is not limited to this. Since the torsion stress also acts on the communication portion 3d, it goes without saying that the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 may be attached to the outer periphery of the communication portion 3d.
【００４４】また、上記実施例では、上流側歪ゲージ
９，下流側歪ゲージ１０が流入側傾斜部３ｂ，流出側傾
斜部３ｃの外周に１個ずつの上流側歪ゲージ９，下流側
歪ゲージ１０を取り付けたが、複数の歪ゲージを各流入
側傾斜部３ｂ，流出側傾斜部３ｃの外周に設けるように
しても良い。Further, in the above embodiment, the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10 are provided one by one on the outer circumference of the inflow side inclined portion 3b and the outflow side inclined portion 3c, respectively. Although 10 is attached, a plurality of strain gauges may be provided on the outer circumference of each inflow side inclined portion 3b and outflow side inclined portion 3c.
【００４５】また、上記実施例では、上流側歪ゲージ
９，下流側歪ゲージ１０の一例として抵抗体歪ゲージを
挙げて説明したが、これに限らず、例えば半導体歪ゲー
ジや磁性体歪ゲージを使用しても良いのは勿論である。
また、上記実施例では、１本のセンサチューブ３で流量
計測を行う構成を一例として挙げたが、これに限らず、
例えば２本のセンサチューブを対向配置させる構成とし
ても良い。Further, in the above embodiment, the resistor strain gauge has been described as an example of the upstream strain gauge 9 and the downstream strain gauge 10. However, the present invention is not limited to this, and for example, a semiconductor strain gauge or a magnetic strain gauge may be used. Of course, it may be used.
Further, in the above-described embodiment, the configuration in which the flow rate is measured with one sensor tube 3 is given as an example, but the present invention is not limited to this.
For example, two sensor tubes may be arranged to face each other.
【００４６】[0046]
【発明の効果】上述の如く、上記請求項１によれば、セ
ンサチューブが加振器の加振方向と直交する方向に傾斜
した流入側傾斜部と、流入側傾斜部と逆方向に傾斜した
流出側傾斜部と、流入側傾斜部と流出側傾斜部との間を
連通する連通部とから形成されているので、センサチュ
ーブが加振されると、流入側傾斜部及び流出側傾斜部に
コリオリ力による捩じれ応力が作用し、コリオリ力に応
じた歪をより大きな値で検出できる。そのため、計測時
の歪の検出感度を高めることができ、計測精度を確保す
ることができると共に、従来必要とされたフェーズロッ
クループ回路等のフィルタ回路を無くして回路構成を簡
略化することができる。As described above, according to claim 1, the sensor tube is inclined in the direction orthogonal to the vibration direction of the vibration exciter, and is inclined in the direction opposite to the inflow side inclined part. Since the sensor tube is vibrated, the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion are connected to the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion. The torsional stress due to the Coriolis force acts, and the strain corresponding to the Coriolis force can be detected with a larger value. Therefore, it is possible to increase the detection sensitivity of distortion at the time of measurement, ensure the measurement accuracy, and simplify the circuit configuration by eliminating the filter circuit such as the phase-locked loop circuit conventionally required. .
【００４７】また、上記請求項２によれば、加振器がセ
ンサチューブの連通部の中間位置を加振するように設け
られているので、センサチューブが加振されたときセン
サチューブの振動の支点となる部分から連通部に至るま
での流入側傾斜部及び流出側傾斜部にコリオリ力による
捩じれ応力を均等に作用させることができる。そのた
め、流入側と流出側との位相差を安定して検出すること
ができ、計測精度をより高めることができる。Further, according to the above-mentioned claim 2, since the vibration exciter is provided so as to vibrate the intermediate position of the communicating portion of the sensor tube, the vibration of the sensor tube when the sensor tube is vibrated. Torsional stress due to Coriolis force can be uniformly applied to the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion from the fulcrum portion to the communication portion. Therefore, the phase difference between the inflow side and the outflow side can be stably detected, and the measurement accuracy can be further improved.
【００４８】また、上記請求項３によれば、歪検出セン
サがセンサチューブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫
々の外周に設けられているので、コリオリ力による捩じ
れ応力が作用する流入側傾斜部と流出側傾斜部の歪を検
出でき、歪検出センサの取付位置がずれてもコリオリ力
による歪を正確に計測することができる。Further, according to the third aspect, since the strain detection sensor is provided on the outer circumference of each of the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion of the sensor tube, the inflow side on which the torsional stress due to the Coriolis force acts. It is possible to detect the strain of the inclined portion and the outflow side inclined portion, and it is possible to accurately measure the strain due to the Coriolis force even if the mounting position of the strain detection sensor is deviated.
【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例のコリ
オリ式質量流量計を示す縦断面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing a Coriolis mass flowmeter as one embodiment of a vibration type measuring apparatus according to the present invention.
【図２】図１中II-II 線に沿う横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
【図３】センサチューブ３の傾斜部分を説明するための
図である。FIG. 3 is a diagram for explaining an inclined portion of a sensor tube 3.
【図４】センサチューブのみを取り出した背面図であ
る。FIG. 4 is a rear view showing only the sensor tube.
【図５】センサチューブの平面図である。FIG. 5 is a plan view of a sensor tube.
【図６】センサチューブ３の振動状態を説明するための
模式図である。FIG. 6 is a schematic diagram for explaining a vibration state of the sensor tube 3.
【図７】センサチューブの振動による捩じれ応力を説明
するため、図５中Ａ−Ａ線に沿う断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 5 for explaining the torsional stress due to the vibration of the sensor tube.
【図８】センサチューブの流入側傾斜部，流出側傾斜部
に作用する捩じれ応力を説明するため斜視図である。FIG. 8 is a perspective view for explaining a twisting stress acting on an inflow side inclined portion and an outflow side inclined portion of the sensor tube.
１ 質量流量計 ２ ケーシング ３ センサチューブ ３ａ 流入部 ３ｂ 流入側傾斜部 ３ｃ 流出側傾斜部 ３ｄ 連通部 ３ｅ 流出部 ４ 流入管 ５ 流出管 ６，７ サポート板 ８ 加振器 ９ 上流側歪ゲージ １０ 下流側歪ゲージ 1 Mass flowmeter 2 Casing 3 Sensor tube 3a Inflow part 3b Inflow side inclination part 3c Outflow side inclination part 3d Communication part 3e Outflow part 4 Inflow pipe 5 Outflow pipe 6,7 Support plate 8 Exciter 9 Upstream strain gauge 10 Downstream Side strain gauge
Claims (3)
器により加振し、該センサチューブのコリオリ力による
歪を歪検出センサにより検出する振動式測定装置におい
て、 前記センサチューブは、前記加振器の加振方向と直交す
る方向に傾斜した流入側傾斜部と、該流入側傾斜部と逆
方向に傾斜した流出側傾斜部と、前記流入側傾斜部と前
記流出側傾斜部との間を連通する連通部とから形成され
たことを特徴とする振動式測定装置。1. A vibrating measuring device in which a sensor tube through which a fluid to be measured flows is vibrated by a vibration exciter and a strain due to a Coriolis force of the sensor tube is detected by a strain detection sensor. Between the inflow side inclined portion inclined in the direction orthogonal to the vibration direction of the vessel, the outflow side inclined portion inclined in the direction opposite to the inflow side inclined portion, and the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion. A vibration-type measuring device, characterized in that it is formed from a communicating portion that communicates.
通部の中間位置を加振するように設けられたことを特徴
とする請求項１記載の振動式測定装置。2. The vibration type measuring apparatus according to claim 1, wherein the vibration exciter is provided so as to vibrate an intermediate position of a communication portion of the sensor tube.
ブの流入側傾斜部と流出側傾斜部の夫々の外周に設けら
れたことを特徴とする請求項１記載の振動式測定装置。3. The vibration measuring device according to claim 1, wherein the strain detection sensor is provided on the outer circumference of each of the inflow side inclined portion and the outflow side inclined portion of the sensor tube.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722395A JPH0979882A (en) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | Vibration type measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23722395A JPH0979882A (en) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | Vibration type measuring device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0979882A true JPH0979882A (en) | 1997-03-28 |
Family
ID=17012210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23722395A Pending JPH0979882A (en) | 1995-09-14 | 1995-09-14 | Vibration type measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0979882A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001018501A1 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Fmc Corporation | Coriolis mass flowmeter with improved accuracy and simplified instrumentation |
| US6684715B1 (en) | 2000-09-01 | 2004-02-03 | Fmc Technologies, Inc. | Coriolis mass flowmeter with improved accuracy and simplified instrumentation |
| EP2706327A1 (en) * | 2012-09-10 | 2014-03-12 | Krohne AG | Coriolis flow measuring device |
| JP2017514121A (en) * | 2014-04-07 | 2017-06-01 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | Improved vibratory flow meter and associated method |
-
1995
- 1995-09-14 JP JP23722395A patent/JPH0979882A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001018501A1 (en) * | 1999-09-03 | 2001-03-15 | Fmc Corporation | Coriolis mass flowmeter with improved accuracy and simplified instrumentation |
| US6684715B1 (en) | 2000-09-01 | 2004-02-03 | Fmc Technologies, Inc. | Coriolis mass flowmeter with improved accuracy and simplified instrumentation |
| EP2706327A1 (en) * | 2012-09-10 | 2014-03-12 | Krohne AG | Coriolis flow measuring device |
| US9429458B2 (en) | 2012-09-10 | 2016-08-30 | Krohne Ag | Flowmeter having electrical sensor elements connected in series and applied to an outer surface of a guide structure |
| JP2017514121A (en) * | 2014-04-07 | 2017-06-01 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | Improved vibratory flow meter and associated method |
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