JPH09264758A - Straight line position detector - Google Patents

Straight line position detector

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JPH09264758A
JPH09264758A JP9775396A JP9775396A JPH09264758A JP H09264758 A JPH09264758 A JP H09264758A JP 9775396 A JP9775396 A JP 9775396A JP 9775396 A JP9775396 A JP 9775396A JP H09264758 A JPH09264758 A JP H09264758A
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magnetic core
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make it possible to easily manufacture by easily separating a coil assembly from a rod. SOLUTION: A magnetic core is an integral core 30 in which a plurality of pectinated tooth-like thin plates are laminated. Phases having primary coils 1a to 1d excited by a predetermined AC signal and secondary coils 2a to 2d magnetically coupled to the primary coils are provided at least at four positions of the pectinated tooth-like core part of the magnetic core. A magnetic scale part has a plurality of scales provided along the linearly displacing direction so that magnetoresistance on a magnetic circuit formed between the cores provided relatively linearly displaceably to the magnetic core upon the movement is periodically varied per the one pitch of the scale as one cycle. A position detecting circuit supplies predetermined AC signal to the coils 1a to 1d, and takes out the data for indicating the position of the scale from the coils 2a to 2d based on the relative positional relationship between the scale and the core.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗変化を利
用した直線位置検出装置に係り、特に磁気抵抗変化を出
力交流信号の電気的位相角の変化として検出する位相シ
フト方式の直線位置検出装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear position detecting device using a change in magnetic resistance, and more particularly to a phase shift type linear position detecting device for detecting a change in magnetic resistance as a change in an electrical phase angle of an output AC signal. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気抵抗変化を理由した直線位置検出装
置としては差動トランスが従来から良く知られている。
これは、直線位置を電圧レベルに変換するものであるた
め、外乱による影響を受けて誤差を生じ易いという欠点
がある。例えば、温度変化の影響を受けてコイルの抵抗
が変化し、これによって検出信号レベルが変動したり、
また、検出器からその検出信号を利用する回路までの信
号伝送路におけるレベル減衰量がその伝送距離によって
まちまちであり、さらに、ノイズによるレベル変動がそ
のまま検出誤差となって顕れてしまうなどといった欠点
を有している。そこで、本発明の出願人は、外乱等によ
る出力レベル変動に影響されることなく正確に直線位置
を検出することのできる位相シフト方式の直線位置検出
装置を先に提案している(例えば、実開昭57−135
917号公報G13、実開昭58−136718号公報
G22、又は実開昭59−175105号公報G4
3)。
2. Description of the Related Art A differential transformer has been well known as a linear position detecting device based on a change in magnetic resistance.
Since this converts the linear position into a voltage level, it has a drawback that an error is likely to occur due to the influence of disturbance. For example, the resistance of the coil changes under the influence of temperature change, which changes the detection signal level,
In addition, the level attenuation amount in the signal transmission path from the detector to the circuit that uses the detection signal varies depending on the transmission distance, and further, the level fluctuation due to noise becomes a detection error as it is. Have Therefore, the applicant of the present invention has previously proposed a phase shift type linear position detection device capable of accurately detecting a linear position without being affected by output level fluctuations due to disturbances (for example, actual Kaisho 57-135
No. 917 G13, No. 58-136718 G22, or No. 59-175105 G4.
3).

【0003】以下、この位相シフト方式の直線位置検出
装置の概略構成について図4を用いて説明する。この直
線位置検出装置は、位相シフト方式によってロッド6の
直線位置を検出するものであり、コイルアッセンブリ6
4と、このコイルアッセンブリ64内の円筒空間内に直
線移動可能に挿入されたロッド6とから構成される。コ
イルアッセンブリ64は、ロッド6の軸方向に所定間隔
で形成された4個の1次コイル1a,1c,1b,1d
と、これらにそれぞれ対応して設けられた2次コイル2
a,2c,2b,2dとから構成される。コイルアッセ
ンブリ64は、シリンダブロック67内に固定されてい
る。ロッド6は鉄等の磁性体で構成され、軸受け68,
69によって保持されている。このロッド6は、軸方向
に交互に設けられた所定幅のリング状の非磁性体部66
を外周上に有する。この磁性体部65と非磁性体部66
との繰り返しパターンによってロッド6の外周表面には
磁気目盛り部6Sが形成される。一つのコイルの軸方向
長さは「P/2」(Pは任意の値)であり、磁性体部6
5と非磁性体部66の交互配列における1ピッチ分の間
隔はその2倍である「P」である。この場合、磁性体部
65と非磁性体部66の長さは互いに等しく「P/2」
である。コイルアッセンブリ64は4つの相で動作する
ように構成されいる。図面上では、これらの相に便宜上
A,C,B,Dの符号を付して示してある。
A schematic configuration of this phase shift type linear position detecting device will be described below with reference to FIG. This linear position detecting device detects the linear position of the rod 6 by the phase shift method, and the coil assembly 6
4 and a rod 6 inserted in the cylindrical space in the coil assembly 64 so as to be linearly movable. The coil assembly 64 includes four primary coils 1a, 1c, 1b, 1d formed at predetermined intervals in the axial direction of the rod 6.
And the secondary coils 2 provided corresponding to these
a, 2c, 2b, 2d. The coil assembly 64 is fixed inside the cylinder block 67. The rod 6 is made of a magnetic material such as iron, and has a bearing 68,
It is held by 69. The rod 6 includes a ring-shaped non-magnetic material portion 66 having a predetermined width, which is alternately provided in the axial direction.
On the outer circumference. The magnetic body portion 65 and the non-magnetic body portion 66
The magnetic graduation portion 6S is formed on the outer peripheral surface of the rod 6 by the repeating pattern. The axial length of one coil is “P / 2” (P is an arbitrary value), and the magnetic body portion 6
The interval for one pitch in the alternate arrangement of the 5 and the non-magnetic material portion 66 is “P”, which is twice that. In this case, the magnetic material portion 65 and the non-magnetic material portion 66 have the same length “P / 2”.
It is. Coil assembly 64 is configured to operate in four phases. In the drawings, these phases are shown with reference numerals A, C, B, and D for convenience.

【0004】ロッド6とコイルアッセンブリ64との位
置関係は、ロッド6の磁性体部65の位置に応じてコイ
ルアッセンブリ64の各相A〜Dに生じるリラクタンス
が90度ずつずれるようになっている。例えば、A相を
コサイン(cos)相とすると、C相はマイナスコサイ
ン(−cos)相、B相はサイン(sin)相、D相は
マイナスサイン(−sin)相となるように構成されて
いる。図4では、各相A〜D毎に個別に1次コイル1
a,1c,1b,1d及び2次コイル2a,2c,2
b,2dがそれぞれ設けられている。各相A〜Dの2次
コイル2a,2c,2b,2dはそれぞれ対応する1次
コイル1a,1c,1b,1dの外側に巻かれている。
各1次コイル1a,1c,1b,1d及び2次コイル2
a,2c,2b,2dの軸方向長さは、前述のように
「P/2」である。図4では、A相のコイル1a,2a
とC相のコイル1c,2cとが隣合って設けられてお
り、B相のコイル1b,2bとD相のコイル1d,2d
とが隣合って設けられている。また、A相とB相又はC
相とD相のコイル間隔は「P(n±1/4)」(nは任
意の自然数)である。図4では、nが『2』であり、コ
イル間隔は7P/4である。
The positional relationship between the rod 6 and the coil assembly 64 is such that the reluctance generated in each phase A to D of the coil assembly 64 is deviated by 90 degrees depending on the position of the magnetic body portion 65 of the rod 6. For example, assuming that the A phase is a cosine phase, the C phase is a minus cosine phase, the B phase is a sine phase, and the D phase is a minus sine phase. There is. In FIG. 4, the primary coil 1 is individually provided for each of the phases A to D.
a, 1c, 1b, 1d and secondary coils 2a, 2c, 2
b and 2d are provided respectively. The secondary coils 2a, 2c, 2b and 2d of the phases A to D are wound around the corresponding primary coils 1a, 1c, 1b and 1d, respectively.
Each primary coil 1a, 1c, 1b, 1d and secondary coil 2
The axial length of a, 2c, 2b, 2d is "P / 2" as described above. In FIG. 4, A-phase coils 1a and 2a
And C-phase coils 1c and 2c are provided adjacent to each other, and B-phase coils 1b and 2b and D-phase coils 1d and 2d are provided.
And are placed next to each other. Also, A phase and B phase or C
The coil spacing between the phase and the D phase is “P (n ± 1/4)” (n is an arbitrary natural number). In FIG. 4, n is “2” and the coil interval is 7P / 4.

【0005】この構成によって、ロッド6が軸受け6
8,69を滑り移動することによって、ロッド6とコイ
ルアッセンブリ64との間の相対的な位置関係が変化
し、各相A〜Dにおける磁気回路のリラクタンスが
「P」を一周期として周期的に変化し、しかもそのリラ
クタンス変化の位相が各相A〜D毎に90度ずつずれる
ようになっている。すなわち、A相とC相とでリラクタ
ンス変化の位相が180度ずれ、B相とD相とでもリラ
クタンス変化の位相が180度ずれる。A相とC相の1
次コイル1a及び1cは正弦信号sinωtで互いに同
相に励磁され、2次コイル2a及び2cの出力は逆相で
加算されるように結線されている。同様に、B相とD相
の1次コイル1b及び1dは余弦信号cosωtで互い
に同相に励磁され、2次コイル2b及び2dの出力は逆
相で加算されるように結線されている。2次コイル2
a,2c,2b,2dの出力は最終的に加算され、出力
信号Yとして取り出される。
According to this structure, the rod 6 has the bearing 6
By sliding and moving 8, 69, the relative positional relationship between the rod 6 and the coil assembly 64 changes, and the reluctance of the magnetic circuit in each of the phases A to D periodically changes with "P" as one cycle. The phase of the reluctance change changes by 90 degrees for each of the phases A to D. That is, the reluctance change phase is shifted by 180 degrees between the A phase and the C phase, and the reluctance change phase is shifted by 180 degrees between the B phase and the D phase. Phase A and Phase 1
The secondary coils 1a and 1c are excited in phase with each other by the sine signal sinωt, and the outputs of the secondary coils 2a and 2c are connected so as to be added in antiphase. Similarly, the B-phase and D-phase primary coils 1b and 1d are excited in the same phase by the cosine signal cosωt, and the outputs of the secondary coils 2b and 2d are connected so as to be added in opposite phases. Secondary coil 2
The outputs of a, 2c, 2b and 2d are finally added and taken out as an output signal Y.

【0006】この出力信号Yは、ロッド6の磁性体部6
5とコイルアッセンブリ64との間の相対的な直線位置
に応じた位相角φだけ基準交流信号(sinωt,co
sωt)を位相シフトしたものとなる。その理由は、各
相A〜Dのリラクタンスが90度ずつずれており、かつ
一方の対(A,C)と他方の対(B,D)の励磁信号の
電気的位相が90度ずれているためである。従って、出
力信号YはY=Ksin(ωt+φ)となる。ここで、
Kは定数である。リラクタンス変化の位相φは磁性体部
65の直線位置に所定の比例係数(又は関数)に従って
比例しているので、出力信号Yにおける基準信号sin
ωt(又はcosωt)からの位相ずれφを測定するこ
とにより直線位置を検出することができる。但し、位相
ずれ量φが全角2πのとき、直線位置は前述の距離Pに
相当する。すなわち、出力信号Yにおける電気的位相ず
れ量φによれば、距離Pの範囲内でのアブソリュートな
直線位置が検出できるのである。この電気的位相ずれ量
φを測定することによって、距離Pの範囲内の直線位置
を高い分解能で精度よく割り出すことが可能となる。
This output signal Y is applied to the magnetic body portion 6 of the rod 6.
5 and the coil assembly 64, a reference AC signal (sinωt, co
sωt) is phase-shifted. The reason is that the reluctance of each phase A to D is deviated by 90 degrees, and the electrical phase of the excitation signal of one pair (A, C) and the other pair (B, D) is deviated by 90 degrees. This is because. Therefore, the output signal Y is Y = Ksin (ωt + φ). here,
K is a constant. Since the phase φ of the reluctance change is proportional to the linear position of the magnetic body portion 65 according to a predetermined proportional coefficient (or function), the reference signal sin in the output signal Y
The linear position can be detected by measuring the phase shift φ from ωt (or cosωt). However, when the phase shift amount φ is the full angle 2π, the linear position corresponds to the distance P described above. That is, the absolute linear position within the range of the distance P can be detected by the electrical phase shift amount φ in the output signal Y. By measuring this electrical phase shift amount φ, it becomes possible to accurately determine the linear position within the range of the distance P with high resolution.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】図4の直線位置検出装
置においては、コイルアッセンブリ64の配線等に不具
合が生じた場合にはロッド6からコイルアッセンブリ6
4を抜き取って補修を行えばよいのであるが、通常はロ
ッド6の両端部分は機械等に固定されているので、コイ
ルアッセンブリ64の配線等に不具合が生じたからとい
って、容易にコイルアッセンブリ64をロッド6から抜
き取ることはできず、メンテナンスの点で問題を有して
いた。そこで、本発明の出願人は、このような問題を解
決するために、図5のような直線位置検出装置を提案し
た(特開昭60−168017号公報)。この直線位置
検出装置は、コイルをコの字型コア(鉄板の積層体)3
a〜3dに巻回された1次コイル及び2次コイルでコイ
ルアッセンブリを構成し、それらをロッド6に側面に沿
って設けることによって、コイルアッセンブリを容易に
取り外すことができるようにした。すなわち、A相はコ
の字型コア3aに巻回された1次コイル1a1及び1a
2と2次コイル2a1及び2a2から成り、B相はコの
字型コア3bに巻回された1次コイル1b1及び1b2
と2次コイル2b1及び2b2から成り、C相はコの字
型コア3cに巻回された1次コイル1c1及び1c2と
2次コイル2c1及び2c2から成り、D相はコの字型
コア3dに巻回された1次コイル1d1及び1d2と2
次コイル2d1及び2d2から成る。この直線位置検出
装置の位置検出原理は図4のものと同じである。なお、
特開昭60−168017号公報には記載されていない
が、これらのコの字型コアは所定のシリンダブロック3
1に固定される。
In the linear position detecting device shown in FIG. 4, when the wiring of the coil assembly 64 or the like fails, the rod 6 to the coil assembly 6 are removed.
It suffices to remove 4 for repairing. However, since both ends of the rod 6 are normally fixed to a machine or the like, it is easy to say that the coil assembly 64 has a problem such as wiring. Could not be pulled out from the rod 6, and there was a problem in terms of maintenance. Therefore, the applicant of the present invention has proposed a linear position detecting device as shown in FIG. 5 in order to solve such a problem (Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-168017). In this linear position detecting device, a coil has a U-shaped core (a laminated body of iron plates) 3
The primary coil and the secondary coil wound around a to 3d constitute a coil assembly, and the coil assembly is provided along the side surface of the rod 6 so that the coil assembly can be easily removed. That is, the phase A is the primary coils 1a1 and 1a wound around the U-shaped core 3a.
2 and secondary coils 2a1 and 2a2, and phase B is a primary coil 1b1 and 1b2 wound around a U-shaped core 3b.
And the secondary coils 2b1 and 2b2, the C phase is composed of the primary coils 1c1 and 1c2 and the secondary coils 2c1 and 2c2 wound around the U-shaped core 3c, and the D phase is composed of the U-shaped core 3d. The wound primary coils 1d1 and 1d2 and 2
It consists of secondary coils 2d1 and 2d2. The position detecting principle of this linear position detecting device is the same as that of FIG. In addition,
Although not disclosed in JP-A-60-168017, these U-shaped cores have a predetermined cylinder block 3 size.
Fixed to 1.

【0008】ところが、図5の直線位置検出装置の場合
には、同じ形状のコの字型コア3a〜3dを4個製作し
なければならず、また、1次コイル及び2次コイルの設
けられたコの字型コア3a〜3dをシリンダブロック3
1の所定位置に正確に取り付けなければならず、その製
造や取り付け作業等に多大の時間を要し、コストの点で
も高くなるという問題を有していた。本発明は上述の点
に鑑みてなされたものであり、コイルアッセンブリとロ
ッドとを容易に分離することができ、容易かつコスト的
にも安価に製造することのできる直線位置検出装置を提
供することを目的とする。
However, in the case of the linear position detecting device of FIG. 5, four U-shaped cores 3a to 3d having the same shape must be manufactured, and a primary coil and a secondary coil are provided. The U-shaped cores 3a to 3d are attached to the cylinder block 3
1 must be accurately attached at a predetermined position, and it takes a lot of time to manufacture and attach the same, and there is a problem in that the cost becomes high. The present invention has been made in view of the above points, and provides a linear position detection device that can easily separate a coil assembly and a rod and can be manufactured easily and inexpensively. With the goal.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明に係る直線位置検
出装置は、櫛の歯状の薄板の複数枚が積層されることに
よって形成された磁性体コア部と、所定の交流信号によ
り励磁される1次コイルと、この1次コイルに磁気的に
結合される2次コイルとからなる相を前記櫛の歯状の鉄
心部分の少なくとも4箇所に有するコイル部と、前記磁
性体コア部に対して相対的に直線変位移動可能に設けら
れ、この直線変位移動に伴って前記磁性体コア部との間
で形成される磁気回路上の磁気抵抗が目盛りの1ピッチ
を1サイクルとして周期的に変化するように直線変位方
向に沿って設けられた複数の目盛りを有する磁気目盛り
部と、前記1次コイルに前記所定の交流信号を供給する
と共に前記磁気目盛り部と前記磁性体コア部との間の相
対的位置関係によって生じる前記磁気抵抗変化に基づ
き、前記磁気目盛り部の位置を示すデータを前記2次コ
イルから取り出す位置検出回路とを備えたものである。
磁性体コア部は櫛の歯状の薄鉄板の複数枚が積層された
ものである。従って、櫛の歯の一つ一つが鉄心となるの
で、そこに1次コイル及び2次コイルを巻回すだけで、
コイルアッセンブリを構成することができる。また、薄
鉄板の段階で櫛の歯同士の間隔を予め所定ピッチにして
おくだけでよいので、図5に示した従来のもののように
コイル巻回し後に各相間のピッチ調整を行わなくてもよ
いので、製造が簡単になり、コスト低減にもなる。
A linear position detecting device according to the present invention is excited by a predetermined AC signal and a magnetic core portion formed by laminating a plurality of comb-teeth-shaped thin plates. A primary coil and a secondary coil that is magnetically coupled to the primary coil at at least four positions in the toothed core portion of the comb; The magnetic resistance on the magnetic circuit formed between the magnetic core portion and the magnetic core portion is periodically changed with one pitch of the scale as one cycle. And a magnetic graduation portion having a plurality of graduations provided along the linear displacement direction, and supplying the predetermined AC signal to the primary coil and between the magnetic graduation portion and the magnetic core portion. Due to relative position Resulting Te based on said magnetoresistive change is obtained by a position detection circuit for taking out data indicating a position of the magnetic graduation section from the secondary coil.
The magnetic core portion is formed by laminating a plurality of comb-teeth-shaped thin iron plates. Therefore, since each tooth of the comb becomes an iron core, it is only necessary to wind the primary coil and the secondary coil around it.
A coil assembly can be constructed. Further, since it is only necessary to set the spacing between the teeth of the combs to a predetermined pitch in advance at the stage of the thin iron plate, it is not necessary to adjust the pitch between the phases after the coil winding as in the conventional one shown in FIG. Therefore, the manufacturing is simplified and the cost is reduced.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る直線位置検出
装置について図面を用いて説明する。図1は本発明に係
る直線位置検出装置の構成を示す図であり、図1(A)
はその断面構造を示す図であり、図1(B)は図1
(A)のX−X線における断面構造を示す図である。図
2は図1(B)のY−Y線における断面構造を示す図で
ある。この直線位置検出装置は誘導型の位相シフト型直
線位置センサからなるアブソリュート型の位置検出装置
である。この直線位置検出装置の位置検出原理は、図4
や図5に示した従来のものと同じである。本発明の直線
位置検出装置が図5のものと異なる点は、1次巻線及び
2次巻線の巻回されるコアが一体成形型のコアで構成さ
れている点である。すなわち、一体成形型コア30は、
櫛の歯状のコア鉄板が複数枚積層されて構成されてもの
であり、各櫛の歯部分の所定位置には1次コイル1a,
1c,1b,1d及び2次コイル2a,2c,2b,2
dがそれぞれ巻回されている。コイルアッセンブリ34
は、これらの一体成形型コア30と、1次コイル1a,
1c,1b,1d及び2次コイル2a,2c,2b,2
dとによって構成される。ロッド6の磁性体部65と非
磁性体部66の交互配列における軸方向ピッチを「P」
とすると、1次コイル1a,1c,1b,1d及び2次
コイル2a,2c,2b,2dの巻回される櫛の歯部分
すなわちA相〜D相のコア部分の軸方向ピッチは共に3
P/4である。また、一体成形型コア30は、A相−B
相間、B相−C相間、C相−D相間を櫛の歯の一部分
(コイルの巻き回されない鉄心部分)で分離するような
構成になっている。このように各相間を鉄心で分離する
ことによって、各相間に相分離用の鉄心が存在しないも
のに比べて、ロッド6と各A相〜D相のコア部分との磁
気的結合度を向上することができるという効果がある。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A linear position detecting device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a linear position detecting device according to the present invention, and FIG.
Is a view showing the cross-sectional structure thereof, and FIG.
It is a figure which shows the cross-section structure in the XX line of (A). FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure taken along line YY of FIG. This linear position detecting device is an absolute type position detecting device including an inductive phase shift type linear position sensor. The position detection principle of this linear position detection device is shown in FIG.
And the conventional one shown in FIG. The linear position detecting device of the present invention is different from that of FIG. 5 in that the core around which the primary winding and the secondary winding are wound is formed of an integrally molded core. That is, the integrally molded core 30 is
A plurality of comb-teeth-shaped core iron plates are laminated, and the primary coil 1a,
1c, 1b, 1d and secondary coils 2a, 2c, 2b, 2
Each d is wound. Coil assembly 34
Are the integrally molded core 30 and the primary coil 1a,
1c, 1b, 1d and secondary coils 2a, 2c, 2b, 2
and d. The axial pitch in the alternating arrangement of the magnetic material portions 65 and the non-magnetic material portions 66 of the rod 6 is "P".
Then, the axial pitches of the tooth portions of the comb around which the primary coils 1a, 1c, 1b, 1d and the secondary coils 2a, 2c, 2b, 2d are wound, that is, the core portions of the A phase to D phase are both 3.
It is P / 4. Further, the integrally-molded core 30 has a phase A-B
The phases, the B-phase and the C-phase, and the C-phase-D are separated by a part of the teeth of the comb (an iron core part where the coil is not wound). By separating the phases with the iron cores in this manner, the degree of magnetic coupling between the rod 6 and the core portions of the A-phase to the D-phases is improved as compared with the case where there is no iron core for phase separation between the phases. The effect is that you can.

【0011】ロッド6は従来のものと同じく鉄等の磁性
体で構成され、軸受け68,69によって保持されてい
る。すなわち、ロッド6は軸受け68,69内の円筒空
間内を貫通しているので、ロッド6から軸受け68,6
9を分離するためには、ロッド6の片側端部に移動させ
て抜き取る必要があるが、一体成形型コア30はこれら
軸受け68,69にネジ止めで固定されているだけなの
で、容易にロッド6から分離することができ、配線等に
不具合が生じた場合でも容易に補修することができると
いう効果がある。ロッド6は、軸方向に交互に設けられ
た所定幅のリング状の非磁性体部66を外周上に有す
る。この磁性体部65と非磁性体部66との繰り返しパ
ターンによってロッド6の外周表面には磁気目盛り部6
Sが形成される。この磁性体部65と非磁性体部66と
はコイルアッセンブリ64によって形成された磁気回路
に対して磁気抵抗の変化を与えるような構成になってい
ればどのような材質のもので構成してもよい。例えば、
非磁性体部66を非磁性体又は空気等で構成してもよ
い。また、鉄製のロッド6にレーザ焼き付けを行うこと
により、磁気的性質を変化させることにより、互いに透
磁率の異なる磁性体部65と非磁性体部66とを交互に
形成するようにしてもよい。ロッド6とコイルアッセン
ブリ64との位置関係は、ロッド6の磁性体部65の位
置に応じてコイルアッセンブリ64の各相A〜Dに生じ
るリラクタンスが90度ずつずれるようになっている。
例えば、A相をコサイン(cos)相とすると、C相は
マイナスコサイン(−cos)相、B相はサイン(si
n)相、D相はマイナスサイン(−sin)相となるよ
うに構成されている。
The rod 6 is made of a magnetic material such as iron as in the conventional one, and is held by bearings 68 and 69. That is, since the rod 6 penetrates the cylindrical space in the bearings 68, 69, the rod 6 is not supported by the bearings 68, 6.
In order to separate the rod 9, it is necessary to move it to one end of the rod 6 and pull it out. However, the integrally molded core 30 is simply fixed to these bearings 68 and 69 by screwing, so that the rod 6 can be easily pulled. Therefore, there is an effect that it can be easily repaired even when a problem occurs in wiring or the like. The rod 6 has ring-shaped non-magnetic material portions 66 of a predetermined width, which are alternately provided in the axial direction, on the outer circumference. Due to the repeating pattern of the magnetic material portion 65 and the non-magnetic material portion 66, the magnetic scale portion 6 is formed on the outer peripheral surface of the rod 6.
S is formed. The magnetic material portion 65 and the non-magnetic material portion 66 may be made of any material as long as the magnetic circuit formed by the coil assembly 64 is configured to change the magnetic resistance. Good. For example,
The non-magnetic material portion 66 may be made of non-magnetic material, air, or the like. Further, the magnetic properties may be changed by performing laser baking on the iron rod 6 to alternately form the magnetic material portions 65 and the non-magnetic material portions 66 having different magnetic permeability. The positional relationship between the rod 6 and the coil assembly 64 is such that the reluctance generated in each of the phases A to D of the coil assembly 64 deviates by 90 degrees depending on the position of the magnetic body portion 65 of the rod 6.
For example, if the A phase is a cosine (cos) phase, the C phase is a minus cosine (-cos) phase and the B phase is a sine (si).
The n) phase and the D phase are configured to be minus sign (-sin) phases.

【0012】この構成によって、ロッド6が軸受け6
8,69を滑り移動することによって、ロッド6とコイ
ルアッセンブリ64との間の相対的な位置関係が変化
し、各相A〜Dにおける磁気回路のリラクタンスが
「P」を一周期として周期的に変化し、しかもそのリラ
クタンス変化の位相が各相A〜D毎に90度ずつずれる
ようになっている。すなわち、A相とC相とでリラクタ
ンス変化の位相が180度ずれ、B相とD相とでもリラ
クタンス変化の位相が180度ずれる。A相とC相の1
次コイル1a及び1cは正弦信号sinωtで互いに同
相に励磁され、2次コイル2a及び2cの出力は逆相で
加算されるように結線されている。同様に、B相とD相
の1次コイル1b及び1dは余弦信号cosωtで互い
に同相に励磁され、2次コイル2b及び2dの出力は逆
相で加算されるように結線されている。2次コイル2
a,2c,2b,2dの出力は最終的に加算され、出力
信号Yとして図3の位置変換部に取り込まれる。
According to this structure, the rod 6 has the bearing 6
By sliding and moving 8, 69, the relative positional relationship between the rod 6 and the coil assembly 64 changes, and the reluctance of the magnetic circuit in each of the phases A to D periodically changes with "P" as one cycle. The phase of the reluctance change changes by 90 degrees for each of the phases A to D. That is, the reluctance change phase is shifted by 180 degrees between the A phase and the C phase, and the reluctance change phase is shifted by 180 degrees between the B phase and the D phase. Phase A and Phase 1
The secondary coils 1a and 1c are excited in phase with each other by the sine signal sinωt, and the outputs of the secondary coils 2a and 2c are connected so as to be added in antiphase. Similarly, the B-phase and D-phase primary coils 1b and 1d are excited in the same phase by the cosine signal cosωt, and the outputs of the secondary coils 2b and 2d are connected so as to be added in opposite phases. Secondary coil 2
The outputs of a, 2c, 2b, and 2d are finally added, and taken as an output signal Y into the position conversion unit of FIG.

【0013】この出力信号Yは、ロッド6の磁性体部6
5とコイルアッセンブリ64との間の相対的な直線位置
に応じた位相角φだけ基準交流信号(sinωt,co
sωt)を位相シフトしたものとなる。その理由は、従
来のものと同じであり、各相A〜Dのリラクタンスが9
0度ずつずれており、かつ一方の対(A,C)と他方の
対(B,D)の励磁信号の電気的位相が90度ずれてい
るためである。従って、出力信号YはY=Ksin(ω
t+φ)となる。ここで、Kは定数である。リラクタン
ス変化の位相φは磁性体部65の直線位置に所定の比例
係数(又は関数)に従って比例しているので、出力信号
Yにおける基準信号sinωt(又はcosωt)から
の位相ずれφを測定することにより直線位置を検出する
ことができる。但し、位相ずれ量φが全角2πのとき、
直線位置は前述の距離Pに相当する。すなわち、出力信
号Yにおける電気的位相ずれ量φによれば、距離Pの範
囲内でのアブソリュートな直線位置が検出できるのであ
る。この電気的位相ずれ量φを測定することによって、
距離Pの範囲内の直線位置を高い分解能で精度よく割り
出すことが可能となる。なお、ロッド6における磁気目
盛り部6Sは磁性体部65と非磁性体部66に限らず、
磁気抵抗変化を生ぜしめることのできるその他の材質を
用いてもよい。例えば、銅等のように導電率の高い材質
と鉄等のように導電率の低い材質(非導電体でもよい)
との組合せ(導電率の異なる材質)により磁気目盛り部
6Sを形成し、渦電流損に応じた磁気抵抗変化を生ぜし
めるようにしてもよい。その場合、鉄等のロッド6の表
面に銅メッキ等により良導電体のパターンを形成するよ
うにしてもよい。パターンの形状等は磁気抵抗の変化を
効率よく生ぜしめるものであれば、いかなる形状のもの
でもよい。
This output signal Y is applied to the magnetic body portion 6 of the rod 6.
5 and the coil assembly 64, a reference AC signal (sinωt, co
sωt) is phase-shifted. The reason is the same as the conventional one, and the reluctance of each phase A to D is 9
This is because they are deviated by 0 degree, and the electrical phases of the excitation signals of one pair (A, C) and the other pair (B, D) are deviated by 90 degrees. Therefore, the output signal Y is Y = Ksin (ω
t + φ). Here, K is a constant. Since the phase φ of the reluctance change is proportional to the linear position of the magnetic body portion 65 according to a predetermined proportional coefficient (or function), the phase shift φ from the reference signal sin ωt (or cos ωt) in the output signal Y is measured. The linear position can be detected. However, when the phase shift amount φ is full angle 2π,
The straight line position corresponds to the distance P described above. That is, the absolute linear position within the range of the distance P can be detected by the electrical phase shift amount φ in the output signal Y. By measuring this electrical phase shift amount φ,
It is possible to accurately determine the linear position within the range of the distance P with high resolution. The magnetic scale portion 6S of the rod 6 is not limited to the magnetic body portion 65 and the non-magnetic body portion 66,
Other materials capable of producing a change in magnetic resistance may be used. For example, a material with high conductivity such as copper and a material with low conductivity such as iron (non-conductive material is also acceptable)
The magnetic graduation portion 6S may be formed by a combination with the above (materials having different electric conductivity) to cause a change in magnetic resistance according to eddy current loss. In that case, a pattern of a good conductor may be formed on the surface of the rod 6 made of iron or the like by copper plating or the like. The shape of the pattern or the like may be any shape as long as it can efficiently cause a change in magnetic resistance.

【0014】図3は図1の誘導型の位相シフト型直線位
置検出装置に1次交流信号を供給し、その出力信号Yに
基づいて電気的位相ずれφを測定する位置変換装置の詳
細構成を示す図である。この位置変換装置部は、1次交
流信号sinωt又はcosωtを発生する基準信号発
生部と、合成出力信号Yの電気的位相ずれφを測定しロ
ッド6の位置を算出する位相差検出部とを備える。基準
信号発生部はクロック発振器9A、同期カウンタ9B、
ROM93a,93b、D/A変換器94a,94b及
びアンプ95a,95bからなり、位相差検出部はアン
プ96、ゼロクロス回路97及びラッチ回路98からな
る。クロック発振器9Aは高速の正確なクロック信号を
発生するものであり、このクロック信号に基づいて他の
回路は動作する。同期カウンタ9Bはクロック発振器9
Aのクロック信号をカウントし、そのカウント値をアド
レス信号としてROM93a及びラッチ回路98に出力
する。ROM93a及び93bは基準交流信号に対応し
た振幅データを記憶しており、同期カウンタ9Bからの
アドレス信号(カウント値)に応じて基準交流信号の振
幅データを発生する。ROM93aはsinωtの振幅
データを、ROM93bはcosωtの振幅データを記
憶している。従って、ROM93a及び93bは同期カ
ウンタ9Bから同じアドレス信号を入力することによっ
て、2種類の基準交流信号sinωt及びcosωtを
出力する。なお、同じ振幅データのROMを位相のそれ
ぞれ異なるアドレス信号で読み出しても同様に2種類の
基準交流信号を得ることもできる。
FIG. 3 shows a detailed configuration of a position conversion device for supplying a primary AC signal to the induction type phase shift type linear position detection device of FIG. 1 and measuring an electrical phase shift φ based on an output signal Y thereof. FIG. This position conversion device unit includes a reference signal generation unit that generates the primary AC signal sinωt or cosωt, and a phase difference detection unit that measures the electrical phase shift φ of the combined output signal Y and calculates the position of the rod 6. . The reference signal generator includes a clock oscillator 9A, a synchronous counter 9B,
ROM 93a, 93b, D / A converters 94a, 94b, and amplifiers 95a, 95b, and a phase difference detection unit includes an amplifier 96, a zero-cross circuit 97, and a latch circuit 98. The clock oscillator 9A generates a high-speed and accurate clock signal, and other circuits operate based on this clock signal. The synchronous counter 9B is a clock oscillator 9
The clock signal of A is counted, and the count value is output to the ROM 93a and the latch circuit 98 as an address signal. The ROMs 93a and 93b store amplitude data corresponding to the reference AC signal, and generate amplitude data of the reference AC signal according to the address signal (count value) from the synchronous counter 9B. The ROM 93a stores the amplitude data of sin ωt, and the ROM 93b stores the amplitude data of cos ωt. Therefore, the ROMs 93a and 93b output two types of reference AC signals sinωt and cosωt by inputting the same address signal from the synchronous counter 9B. Even if the ROM having the same amplitude data is read by the address signals having different phases, two kinds of reference AC signals can be similarly obtained.

【0015】D/A変換器94a及び94bはROM9
3a及び93bからのデジタルの振幅データをアナログ
信号に変換してアンプ95a及び95bに出力する。ア
ンプ95a及び95bはD/A変換器からのアナログ信
号を増幅し、それを基準交流信号sinωt及びcos
ωtとして1次コイル1a,1c及び1b,1dのそれ
ぞれに印加される。同期カウンタ9Bの分周数をMとす
ると、そのMカウント分が基準交流信号の最大位相角2
πラジアン(360度)に相当する。すなわち、同期カ
ウンタ9Bの1カウント値は2π/Mラジアンの位相角
を示している。
The D / A converters 94a and 94b are the ROM 9
The digital amplitude data from 3a and 93b is converted into an analog signal and output to the amplifiers 95a and 95b. The amplifiers 95a and 95b amplify the analog signal from the D / A converter and use it to amplify the reference AC signals sinωt and cos.
ωt is applied to each of the primary coils 1a, 1c and 1b, 1d. Assuming that the frequency division number of the synchronous counter 9B is M, that M count is the maximum phase angle 2 of the reference AC signal.
This corresponds to π radian (360 degrees). That is, one count value of the synchronization counter 9B indicates a phase angle of 2π / M radian.

【0016】アンプ96は2次コイル2a〜2dに誘起
された2次電圧の合成値Y=Ksin(ωt+φ)を増
幅して、ゼロクロス回路97に出力する。ゼロクロス回
路97は回転位置検出手段5の2次コイル2a〜2dに
誘起された相互誘導電圧(2次電圧)に基づいて負電圧
から正電圧へのゼロクロス点を検出し、検出信号をラッ
チ回路98に出力する。ラッチ回路98は基準交流信号
の立上りのクロック信号にてスタートした同期カウンタ
のカウント値をゼロクロス回路97の検出信号の出力時
点(ゼロクロス点)でラッチする。従って、ラッチ回路
98にラッチされた値はちょうど基準交流信号と相互誘
導電圧(合成2次出力)との間の位相差(位相ずれ量)
MPとなる。すなわち、2次コイル2a〜2dの合成出
力信号Y=sin(ωt+φ)は、ゼロクロス回路97
に与えられる。ゼロクロス回路97は合成出力信号Yの
電気位相角がゼロのタイミングに同期してパルスLをラ
ッチ回路98に出力する。パルスLはラッチ回路98の
ラッチパルスとして使用される。従って、ラッチ回路9
8がパルスLの立ち上がり応じて同期カウンタ9Bのカ
ウント値をラッチする。同期カウンタ9Bのカウント値
が一巡する期間と正弦波信号sinωtの1周期とを同
期させる。すると、ラッチ回路98には基準交流信号s
inωtと合成出力信号Y=sin(ωt+φ)との位
相差φに対応するカウント値がラッチされることとな
る。従って、ラッチされた値がデジタルの位置データM
Pとして出力される。尚、ラッチパルスLはタイミング
パルスとして適宜利用してもよい。
The amplifier 96 amplifies the combined value Y = Ksin (ωt + φ) of the secondary voltage induced in the secondary coils 2a to 2d and outputs it to the zero cross circuit 97. The zero-cross circuit 97 detects the zero-cross point from the negative voltage to the positive voltage based on the mutual induction voltage (secondary voltage) induced in the secondary coils 2a to 2d of the rotational position detecting means 5, and latches the detection signal. Output to. The latch circuit 98 latches the count value of the synchronous counter started by the rising clock signal of the reference AC signal at the output point (zero cross point) of the detection signal of the zero cross circuit 97. Therefore, the value latched by the latch circuit 98 is exactly the phase difference (phase shift amount) between the reference AC signal and the mutual induction voltage (combined secondary output).
It becomes MP. That is, the combined output signal Y = sin (ωt + φ) of the secondary coils 2 a to 2 d is the zero-cross circuit 97.
Given to. The zero cross circuit 97 outputs the pulse L to the latch circuit 98 in synchronization with the timing when the electric phase angle of the combined output signal Y is zero. The pulse L is used as a latch pulse for the latch circuit 98. Therefore, the latch circuit 9
8 latches the count value of the synchronous counter 9B in response to the rising of the pulse L. The period in which the count value of the synchronization counter 9B makes one cycle is synchronized with one cycle of the sine wave signal sinωt. Then, the reference AC signal s is sent to the latch circuit 98.
The count value corresponding to the phase difference φ between inωt and the combined output signal Y = sin (ωt + φ) will be latched. Therefore, the latched value is the digital position data M
Output as P. The latch pulse L may be appropriately used as a timing pulse.

【0017】なお、上述の実施の形態では、一体成形型
コア30からなるコイルアッセンブリ34を軸方向の片
側だけに設けた場合について説明したが、これをロッド
6の軸を線対称とした位置に同じ一体成形型コアからな
るコンルアッセンブリを設け、両者の信号の平均値を取
ることによって、ロッド6の軸ずれによる誤差を補償す
るようにしてもよい。さらに、一体成形型コアを3個以
上設けて、それらの平均値を採るようにしてもよい。ま
た、上述の実施の形態では、図1(B)に示すようにコ
イル形状が正方形の場合について説明したが、円形状や
長手方向がロッド6の軸方向に一致する長方形や楕円系
やこれ以外の形状でもよいことはいうまでもない。ロッ
ドの断面形状も円形以外でもよい。また、目盛り部分は
コイルアッセンブリに対向する面だけに設けてもよい。
また、図1では、各A〜D相間の距離が3P/4と等し
い場合について説明したが、A相及びD相は両側にある
ため、B相及びC相に比べて構造上アンバランスな位置
にあることになるので、実際にはB相−C相間の距離を
3P/4の90パーセント程度し、A相−B相間及びC
−D相間の距離を3P/4の110パーセント程度とし
たり、A相及びD相の1次コイル及び2次コイルの巻数
をB相及びC相のものと異ならせて各相のバランスを採
るようにしてもよい。なお、図2に示した一体成形型コ
ア30は、ロッド6に接する箇所の形状がほぼ直線であ
るが、これに限らず、接する面の形状がロッド6の外周
形状と一致するように加工してあってもよいことはいう
までもない。
In the above embodiment, the case where the coil assembly 34 including the integrally molded core 30 is provided only on one side in the axial direction has been described. However, this is provided at a position where the axis of the rod 6 is line symmetrical. An error due to the axial deviation of the rod 6 may be compensated by providing a conical assembly composed of the same integrally-molded core and taking the average value of the signals of both. Further, three or more integrally molded cores may be provided and the average value thereof may be taken. Further, in the above-described embodiment, the case where the coil shape is a square as shown in FIG. 1B has been described, but a circular shape, a rectangular shape whose longitudinal direction coincides with the axial direction of the rod 6, an elliptical system, or the like. Needless to say, the shape may be. The cross-sectional shape of the rod may be other than circular. Further, the scale portion may be provided only on the surface facing the coil assembly.
In addition, in FIG. 1, the case where the distance between the A and D phases is equal to 3P / 4 has been described. However, since the A phase and the D phase are on both sides, the structurally unbalanced position compared to the B phase and the C phase. Therefore, the distance between the B phase and the C phase is actually set to about 90% of 3P / 4, and the distance between the A phase and the B phase and C
-The distance between the D phases should be about 110% of 3P / 4, and the number of turns of the A and D phase primary and secondary coils should be different from that of the B and C phases to balance each phase. You may The shape of the integrally-molded core 30 shown in FIG. 2 is substantially straight at the portion in contact with the rod 6, but the shape is not limited to this, and it is processed so that the shape of the contact surface matches the outer peripheral shape of the rod 6. It goes without saying that it is okay.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明によれば、コイルアッセンブリと
ロッドとを容易に分離することができるので、メンテナ
ンスが容易となり、一体型成形コアを採用しているの
で、製作も容易でコストも安価にすることができる。
According to the present invention, since the coil assembly and the rod can be easily separated from each other, maintenance is facilitated, and since the integral molding core is adopted, the manufacturing is easy and the cost is low. can do.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明に係る直線位置検出装置の構成を示す
図であり、図1(A)は断面構造を示す図であり、図1
(B)は図1(A)のX−X線の断面構造を示す図であ
る。
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a linear position detecting device according to the present invention, and FIG. 1 (A) is a diagram showing a sectional structure.
FIG. 1B is a diagram showing a cross-sectional structure taken along line XX of FIG.

【図2】 図1(B)のY−Y線の断面構造を示す図で
ある。
FIG. 2 is a diagram showing a cross-sectional structure taken along line YY of FIG.

【図3】 図1の誘導型の位相シフト型直線位置検出装
置に1次交流信号を供給し、その出力信号Yに基づいて
電気的位相ずれφを測定する位置変換装置の詳細構成を
示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a detailed configuration of a position conversion device that supplies a primary AC signal to the induction type phase shift type linear position detection device of FIG. 1 and measures an electrical phase shift φ based on an output signal Y thereof. Is.

【図4】 従来の直線位置検出装置の概略構成を示す図
である。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional linear position detection device.

【図5】 従来の直線位置検出装置の概略構成を示す図
である。
FIG. 5 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional linear position detection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1a,1b,1c,1d…1次コイル、2a,2b,2
c,2d…2次コイル、30…一体成形型コア、34…
コイルアッセンブリ、6…ロッド、65…磁性体部、6
6…非磁性体部、6S…磁気目盛り部
1a, 1b, 1c, 1d ... Primary coil, 2a, 2b, 2
c, 2d ... secondary coil, 30 ... integrally molded core, 34 ...
Coil assembly, 6 ... Rod, 65 ... Magnetic body part, 6
6 ... Non-magnetic body part, 6S ... Magnetic scale part

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 櫛の歯状の薄板の複数枚が積層されるこ
とによって形成された磁性体コア部と、 所定の交流信号により励磁される1次コイルと、この1
次コイルに磁気的に結合される2次コイルとからなる相
を前記櫛の歯状の鉄心部分の少なくとも4箇所に有する
コイル部と、 前記磁性体コア部に対して相対的に直線変位移動可能に
設けられ、この直線変位移動に伴って前記磁性体コア部
との間で形成される磁気回路上の磁気抵抗が目盛りの1
ピッチを1サイクルとして周期的に変化するように直線
変位方向に沿って設けられた複数の目盛りを有する磁気
目盛り部と、 前記1次コイルに前記所定の交流信号を供給すると共に
前記磁気目盛り部と前記磁性体コア部との間の相対的位
置関係によって生じる前記磁気抵抗変化に基づき、前記
磁気目盛り部の位置を示すデータを前記2次コイルから
取り出す位置検出回路とを備えたことを特徴とする直線
位置検出装置。
1. A magnetic core portion formed by laminating a plurality of comb-teeth thin plates, a primary coil excited by a predetermined AC signal, and
A coil portion having a phase composed of a secondary coil magnetically coupled to a secondary coil in at least four positions of the tooth-shaped core portion of the comb, and linear displacement movement relative to the magnetic core portion. And a magnetic resistance on the magnetic circuit formed between the magnetic core portion and the magnetic core portion along with this linear displacement movement is 1
A magnetic graduation portion having a plurality of graduations provided along a linear displacement direction so as to periodically change with a pitch as one cycle; and a magnetic graduation portion for supplying the predetermined AC signal to the primary coil. A position detection circuit for extracting data indicating the position of the magnetic scale portion from the secondary coil based on the change in the magnetic resistance caused by the relative positional relationship with the magnetic core portion. Linear position detector.
【請求項2】 前記磁気目盛り部を挟んで前記直線移動
方向に対する線対称となる位置に前記磁性体コア部をそ
れぞれ設けたことを特徴とする請求項1に記載の直線位
置検出装置。
2. The linear position detecting device according to claim 1, wherein the magnetic core portions are provided at positions that are line-symmetric with respect to the linear movement direction with the magnetic scale portion interposed therebetween.
【請求項3】 前記磁性体コアは各相のコイル間を前記
櫛の歯状の鉄心で分離するように構成されていることを
特徴とする請求項1に記載の直線位置検出装置。
3. The linear position detecting device according to claim 1, wherein the magnetic core is configured to separate the coils of each phase by the tooth-shaped iron core of the comb.
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