JPH0921934A - Optical reception module - Google Patents

Optical reception module

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JPH0921934A
JPH0921934A JP7171719A JP17171995A JPH0921934A JP H0921934 A JPH0921934 A JP H0921934A JP 7171719 A JP7171719 A JP 7171719A JP 17171995 A JP17171995 A JP 17171995A JP H0921934 A JPH0921934 A JP H0921934A
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JP
Japan
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pitch
optical
fiber
array
light receiving
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Application number
JP7171719A
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Japanese (ja)
Inventor
Akihiko Hiroe
昭彦 廣江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To relax the accuracy of alignment of an optical fiber with a photodetector without lowering the performance of an optical reception module. SOLUTION: This module is constituted in such a way that a photodetector array 2 and a fiber array 1 are incorporated in supporting substrate 3, and a spacer 4 is aligned in the height of the fiber array 1 with that of a PD, and the fiber array 1 is formed by arranging optical fibers 1a, 1b,... at a pitch 250μm, and the photodetector array 2 is arranged in length longer that that between the optical fibers on both sides of the fiber array by arranging the PDs 2a, 2b,... at a pitch 100μm (light receiving area 60μm, gap 40μm), and one of outgoing light L is made incident on plural PDs, which selects a corresponding PD without performing accurate positioning in advance as a result.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光伝送モジュール
に関し、より詳細には、光通信、光情報処理及び光イン
ターコネクションなどに適用し得る光受信モジュールに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical transmission module, and more particularly to an optical receiving module applicable to optical communication, optical information processing, optical interconnection and the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明に係る従来技術を記載した公知文
献として、例示し得る「多チャンネルLD,PDアレイ
モジュールの試作」(守谷 薫 外3名、1992年電
子情報通信学会春季大会、C−269,P4−311)
に光モジュールが提案されている。この文献のものは、
光素子固定用部材の側面にPD(フォトダイオード)を
実装し、シリコンV溝上に固定されたファイバとレンズ
を介して配置され、調整固定用ブロックを用いて光軸を
調整した後に固定する構造を有するものである。
2. Description of the Related Art "Prototype of multi-channel LD, PD array module" which can be illustrated as a known document describing the prior art of the present invention (Kaoru Moriya, 3 members, 1992 IEICE Spring Conference, C- 269, P4-311)
An optical module is proposed in. The one in this document is
A structure in which a PD (photodiode) is mounted on the side surface of a member for fixing an optical element and is arranged via a fiber and a lens fixed on a silicon V groove and an optical axis is adjusted using an adjustment fixing block and then fixed I have.

【0003】図5は、前記文献に記載されている光モジ
ュール(PDアレイモジュール)を示す図で、図中、1
1はキャリア、12はレンズアレイ、13はテープファ
イバ、14はPDアレイ、15は調整固定用ブロック、
16はSiV溝ファイバ整列部材である。テープファイ
バ13は、シリコンの異方性エッチングにて等間隔に形
成されたV溝で精密に配列している。またレンズアレイ
12は、マイクロレンズをモノリシックに集積化したレ
ンズアレイを用いている。
FIG. 5 is a diagram showing an optical module (PD array module) described in the above document, in which 1
1 is a carrier, 12 is a lens array, 13 is a tape fiber, 14 is a PD array, 15 is a block for adjusting and fixing,
16 is a SiV groove fiber alignment member. The tape fibers 13 are precisely arranged in V grooves formed at equal intervals by anisotropic etching of silicon. As the lens array 12, a lens array in which microlenses are monolithically integrated is used.

【0004】図6は、従来の光ファイバと受光素子との
光結合の他の例(特開平5−37004号公報参照)を
示す図で、凹部20は、バッファ層21と光吸収層22
とギャップ層23とからなる受光部24が形成されてい
る半導体基板25の前記受光部24に対応する部分に光
ファイバ26の先端部を収容するように形成してある。
この凹部20によって、光ファイバと受光素子との光結
合が容易かつ正確になる。
FIG. 6 is a view showing another example of the conventional optical coupling between an optical fiber and a light receiving element (see Japanese Patent Laid-Open No. 5-37004), in which the recess 20 has a buffer layer 21 and a light absorbing layer 22.
And a gap layer 23 is formed so as to accommodate the tip of the optical fiber 26 in a portion of the semiconductor substrate 25 corresponding to the light receiving portion 24.
The recess 20 facilitates and facilitates optical coupling between the optical fiber and the light receiving element.

【0005】図7は、従来の光ファイバと受光素子と光
結合の更に他の例(特開平4−340509号公報参
照)に使用されるレンズ付裏面入射型受光素子を示す図
で、マイクロレンズ30は、受光素子Dの裏面側の入射
面に光吸収層31に信号光Lを集光するように設けてあ
り、かつ、このマイクロレンズ30は、電極32へ信号
光Lを垂直に入射しないようにしている。一般に、マイ
クロレンズを使用する裏面入射型受光素子は、表面側入
射型の受光素子に比べ、光結合位置ずれトレランスを拡
大させる。
FIG. 7 is a view showing a back-illuminated type light receiving element with a lens used in still another example of optical coupling between a conventional optical fiber and a light receiving element (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-340509). 30 is provided on the incident surface on the back side of the light receiving element D so as to collect the signal light L on the light absorption layer 31, and the microlens 30 does not vertically enter the signal light L on the electrode 32. I am trying. In general, a back-illuminated light-receiving element using a microlens has a larger tolerance for optical coupling position deviation than a front-side light-receiving element.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記従来例に示される
光結合において、光ファイバと受光素子とは、何らかの
形で機械的な位置合わせを行なった後、光ファイバから
の出射光を受光素子で受光しているが、光ファイバと受
光素子とは、いずれの例においても、一対一の関係であ
るため、位置決めに誤差が生じると、光のロスになるば
かりでなくクロストークの原因となるため、位置決めに
高い精度が要求されていた。そして、V溝ファイバ固定
部材を用いたり、受光素子基板の凹部により精度を確保
したり、マイクロレンズを形成して、位置決めの誤差対
策を講じた。
In the optical coupling shown in the above-mentioned conventional example, the optical fiber and the light receiving element are mechanically aligned with each other in some form, and then the light emitted from the optical fiber is received by the light receiving element. Although light is received, the optical fiber and the light receiving element have a one-to-one relationship in any of the examples. Therefore, if an error occurs in positioning, not only loss of light but also crosstalk will occur. However, high accuracy was required for positioning. Then, a V-groove fiber fixing member was used, accuracy was ensured by the concave portion of the light receiving element substrate, and a microlens was formed to take a positioning error countermeasure.

【0007】しかし、V溝ファイバ固定部材や、受光素
子基板に凹部やマイクロレンズを形成することは、プロ
セスの複雑化や、歩留まりの低下等によって、コストア
ップの要因となっている。本発明は、上述のごとき実情
に鑑みてなされたもので、光受信モジュールの性能の低
下を招かず、光ファイバと受光素子との位置合わせの精
度を緩和することを目的とする。
However, the formation of the concave portion and the microlens in the V-groove fiber fixing member and the light receiving element substrate causes a cost increase due to a complicated process and a reduced yield. The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to reduce the accuracy of alignment between an optical fiber and a light receiving element without degrading the performance of the optical receiving module.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、本発明のうち請求項1に記載の発明は、
少なくとも2本以上の光ファイバと、該光ファイバから
出射される光を受光する受光素子とを有する光受信モジ
ュールにおいて、前記受光素子間のピッチが、前記光フ
ァイバ間のピッチに比し小さくされ、一つの光ファイバ
から出射された光を複数の受光素子で受光する。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention as set forth in claim 1 is as follows.
In an optical receiving module having at least two optical fibers and a light receiving element for receiving light emitted from the optical fibers, a pitch between the light receiving elements is made smaller than a pitch between the optical fibers, The light emitted from one optical fiber is received by a plurality of light receiving elements.

【0009】また、本発明のうち請求項2に記載の発明
は、請求項1において、前記受光素子間のピッチが、前
記光ファイバ間のピッチの半分以下にされ、特定の光フ
ァイバからの出射光にのみ反応する受光素子が必ずある
ようにする。
According to a second aspect of the present invention, in the first aspect, the pitch between the light receiving elements is set to be equal to or less than half the pitch between the optical fibers, and the output from a specific optical fiber is reduced. Make sure there is a light-receiving element that responds only to the light emitted.

【0010】また、本発明のうち請求項3に記載の発明
は、請求項1または2において、前記受光素子が二列を
なし、千鳥格子状に配置され、受光素子間のピッチを小
さくすることなく、所望間隔内にある受光素子数が増え
るので、より有効に機能が果たせる。
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the light receiving elements are arranged in two rows and arranged in a zigzag pattern, and the pitch between the light receiving elements is reduced. Without increasing the number of light receiving elements within the desired interval, the function can be performed more effectively.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】図1(A),(B)は、本発明の
実施の形態の概略図で、図1(A)は光ファイバからの
出射光と受光素子の関係を示した図、図1(B)は、実
装形態の斜視図である。ファイバアレイ1は、光ファイ
バ1a,1b,…をピッチ250μmで形成してあり、
受光素子アレイ2は、受光素子(以下、PD(フォトダ
イオード)とする)2a,2b,…をピッチ100μm
(受光領域60μm、ギャップ40μm)で形成してあ
り、1つの光ファイバからの出射光は、複数のPDへ入
射するようになっている。
1 (A) and 1 (B) are schematic views of an embodiment of the present invention. FIG. 1 (A) is a diagram showing a relationship between light emitted from an optical fiber and a light receiving element. 1B is a perspective view of the mounting form. In the fiber array 1, the optical fibers 1a, 1b, ... Are formed with a pitch of 250 μm,
In the light receiving element array 2, the light receiving elements (hereinafter referred to as PDs (photodiodes)) 2a, 2b, ... Have a pitch of 100 μm.
(Light receiving region 60 μm, gap 40 μm), and the light emitted from one optical fiber enters a plurality of PDs.

【0012】次いで、各光ファイバへ順次光を入射し、
各PDの出力をモニタしながら各光ファイバに対応する
PDを決めていった。図1(A)では、光ファイバ1a
にはPD2a,2b,2c、光ファイバ1bにはPD2
d,2e,2f、光ファイバ1cにはPD2g,2h,
2i、が対応している。つまり、予め正確な位置決めは
行なわずに結果として対応するPDを選択した。
Then, light is sequentially incident on each optical fiber,
The PD corresponding to each optical fiber is determined while monitoring the output of each PD. In FIG. 1A, the optical fiber 1a
PD2a, 2b, 2c for the optical fiber 1b and PD2 for the optical fiber 1b
d, 2e, 2f, the optical fiber 1c has PDs 2g, 2h,
2i corresponds. That is, the corresponding PD is selected as a result without performing accurate positioning in advance.

【0013】具体的な実装は、支持基板3上に受光素子
アレイ2とファイバアレイ1を組み付け、スペーサ4
は、ファイバアレイ1とPDとの高さを合わせている。
なお、図1(B)では、説明のためファイバアレイ1と
受光素子アレイ2を離して描いてあるが実際には、もっ
と近接している。
For concrete mounting, the light receiving element array 2 and the fiber array 1 are assembled on the support substrate 3, and the spacer 4 is used.
Makes the heights of the fiber array 1 and PD match.
In FIG. 1 (B), the fiber array 1 and the light receiving element array 2 are illustrated as separated for the sake of explanation, but they are actually closer to each other.

【0014】上記のごとき構成によって、ファイバアレ
イ1と受光素子アレイ2とのアレイ長手方向の相対的な
位置関係を予め厳密に決めて配置する必要がなく、ファ
イバアレイ1と受光素子アレイ2との平行度が出ていれ
ば後は大雑把にアレイ長手方向の位置を合わせれば良い
ため、実装は大変容易になっている。但し、受光素子ア
レイ2の両端には幾つかの使わないPDが出る場合もあ
る。
With the above-described structure, it is not necessary to strictly determine the relative positional relationship between the fiber array 1 and the light receiving element array 2 in the array longitudinal direction in advance, and to arrange the fiber array 1 and the light receiving element array 2. If the parallelism is obtained, the position in the longitudinal direction of the array may be roughly adjusted after that, so that the mounting is very easy. However, some unused PDs may appear at both ends of the light receiving element array 2.

【0015】また、各PD間には光感度の無い部分(ギ
ャップ部)が、存在するように思われるが、実際には、
このギャップ部にも隣接するPDの空乏層が伸びてお
り、このギャップ部に入射する光も、殆どは、PDの発
生する信号に寄与している。但しこの時、ギャップ部の
大きさにあわせてPDに印加する逆バイアスの大きさを
調整しないと、空乏層が十分に伸びきらず応答速度の低
下を招く虞があり、注意が必要である。本実施の形態で
は、2E13[1/cm3]のエピ基板を用いて形成し
たpinPDを使用し、逆バイアスは5[V]とした。
Further, it seems that there is a portion (gap portion) having no photosensitivity between the PDs, but in reality,
The depletion layer of the adjacent PD also extends to this gap portion, and most of the light incident on this gap portion also contributes to the signal generated by the PD. However, at this time, if the magnitude of the reverse bias applied to the PD is not adjusted according to the size of the gap portion, the depletion layer may not be fully extended and the response speed may be lowered, so that caution is required. In this embodiment, the pin PD formed by using the epi substrate of 2E13 [1 / cm 3 ] is used, and the reverse bias is 5 [V].

【0016】図1の実施の形態では、PDのピッチは、
光ファイバのピッチの2.5分の1(100μm/25
0μm)としたが、理論上、光ファイバ一本に対してP
Dが2個以上対応する構成としないと(PDのピッチと
光ファイバのピッチの比が2分の1以下)、クロストー
クの大きいケースが発生し、うまく機能しないことが多
い。 なお、PDのピッチと光ファイバのピッチの比は
小さいほど良い。
In the embodiment of FIG. 1, the PD pitch is
1/2 of the pitch of the optical fiber (100 μm / 25
0 μm), but theoretically P for one optical fiber
Unless the configuration is such that two or more Ds are supported (the ratio of the PD pitch to the optical fiber pitch is one-half or less), a large amount of crosstalk occurs, which often does not work well. The smaller the ratio between the PD pitch and the optical fiber pitch, the better.

【0017】図2は、前記クロストークの発生した例を
説明するための図で、これは光ファイバのピッチ250
μmに対し、PDのピッチを200μmとした場合のフ
ァイバ出射光とPDの関係を示した。ファイバ光L1c
は、PD2cとPD2dとに入射し、反応するが、PD
2cはファイバ光L1bによっても、また、PD2dは
ファイバ光L1dによっても反応する。従って、ファイ
バ光L1cのみを特定するPDを決めることができな
い。
FIG. 2 is a diagram for explaining an example in which the crosstalk occurs, which is a pitch 250 of the optical fiber.
The relationship between the fiber output light and the PD when the PD pitch is 200 μm with respect to μm is shown. Fiber light L1c
Enters and reacts with PD2c and PD2d.
2c reacts with the fiber light L1b, and PD2d reacts with the fiber light L1d. Therefore, the PD that specifies only the fiber light L1c cannot be determined.

【0018】図3は、本願の他の発明の実施の形態を説
明するための図で、これは、前記図2に示したPD列を
アレイ長手方向に対し、上下に2分割し、上段列と下段
列とを半ピッチずらし、PDを千鳥格子状に設けてい
る。千鳥格子状にPDを設けたことで、PD間のピッチ
を小さくすることなく、所望長さ間にあるPDの数を増
やすことができ、各PD列のピッチが光ファイバのピッ
チに比べ1/2より大きい場合でも、ファイバ光を特定
できるPDを決めることができる。図3においては、前
記図2では特定できなかったファイバ光L1cに対し
て、PD2d’が対応するようになっている。
FIG. 3 is a view for explaining another embodiment of the invention of the present application, in which the PD row shown in FIG. 2 is vertically divided into two in the array longitudinal direction, and the upper row is shown. And the lower row are shifted by a half pitch, and the PDs are arranged in a staggered pattern. By providing the PDs in a zigzag pattern, the number of PDs in a desired length can be increased without reducing the pitch between the PDs, and the pitch of each PD row is 1 compared to the pitch of the optical fiber. Even if it is larger than / 2, the PD that can specify the fiber light can be determined. In FIG. 3, the PD 2d ′ corresponds to the fiber light L1c that could not be specified in FIG.

【0019】上記のような、千鳥状の配置が必要となる
のは、理論上では、隣接するファイバ光が完全に隙間無
く並んでいるとした場合で、PDのピッチと光ファイバ
のピッチの比が1/2より大きいときであるが、現実に
は、隣接するファイバ光が完全に隙間無く並んでいるこ
とはないので、若干ピッチ比の条件は緩くなる(ピッチ
比が1/2より大きくなる)。
The above-mentioned staggered arrangement is theoretically necessary when the adjacent fiber lights are lined up completely without a gap, and the ratio of the PD pitch to the optical fiber pitch is the same. Is larger than 1/2, but in reality, the adjacent fiber lights are not completely aligned without a gap, so the condition of the pitch ratio is slightly relaxed (the pitch ratio becomes larger than 1/2. ).

【0020】図4は、図1で示した実施の形態に前記千
鳥状配列を施した実施の形態の図で、上記千鳥状配列
は、図1で示したピッチ比が1/2以下の構成でも有効
であり、光ファイバとPDとの対応を個々のPDの出力
を見て決めていけば、よりクロストークの少ない構成を
実現できる。また、千鳥状配列のとき、上列側と下列側
のPD列に独立して初段アンプを接続すれば、寄生容量
を減少させて周波数特性を向上することが可能となる。
FIG. 4 is a diagram of an embodiment in which the staggered arrangement is applied to the embodiment shown in FIG. 1, and the staggered arrangement has a structure in which the pitch ratio shown in FIG. 1 is 1/2 or less. However, it is effective, and if the correspondence between the optical fiber and the PD is determined by observing the output of each PD, a configuration with less crosstalk can be realized. Further, in the staggered arrangement, if the first-stage amplifiers are independently connected to the PD rows on the upper row side and the lower row side, it is possible to reduce the parasitic capacitance and improve the frequency characteristic.

【0021】[0021]

【発明の効果】【The invention's effect】

請求項1に対応する効果:PDのピッチを光ファイバの
ピッチに比べ小さくしたことによって、1つの光ファイ
バに複数のPDを対応させることができるため、位置合
わせの後、結果として光ファイバに対応するPDを決め
ているので、従来のPDと光ファイバとの位置合わせの
要求精度に比べ、要求精度を大幅に緩和できた。 請求項2に対応する効果:請求項1に対応する効果に加
え、PDのピッチを光ファイバのピッチに比べ半分以下
としたことで、確実に光ファイバ1つにのみ対応するP
Dを決めることができ、クロストークの少ない構成を実
現できた。 請求項3に対応する効果:請求項1,2に対応する効果
に加え、PDをアレイ長手方向に対し、上下に分割し
て、PDを千鳥状に配置したことで、ピッチを小さくす
ることなく所望距離間のPDの数を多くでき、クロスト
ークを減少させることができた。特にPDのピッチをフ
ァイバのピッチの半分以下にできない場合でもクロスト
ークが回避できるので、この場合は特に有効である。ま
た、PD列が上側列と下側列に分割したので、上段列と
下段列にそれぞれ初段アンプに接続することもできるよ
うになるので、寄生容量を減少させ、応答速度を向上す
ることができる。
Effect corresponding to claim 1: Since the plurality of PDs can be associated with one optical fiber by making the pitch of the PD smaller than the pitch of the optical fiber, the result is that after alignment, the optical fiber is accommodated. Since the PD to be used is determined, the required accuracy can be greatly relaxed as compared with the conventional required accuracy of alignment between the PD and the optical fiber. Effect corresponding to claim 2: In addition to the effect corresponding to claim 1, by setting the PD pitch to be less than half the pitch of the optical fiber, it is possible to reliably correspond to only one optical fiber.
It was possible to determine D, and a configuration with less crosstalk was realized. Effect corresponding to claim 3: In addition to the effect corresponding to claims 1 and 2, the PDs are divided into upper and lower parts with respect to the longitudinal direction of the array, and the PDs are arranged in a staggered manner, so that the pitch is not reduced. It was possible to increase the number of PDs between desired distances and reduce crosstalk. In particular, since crosstalk can be avoided even when the PD pitch cannot be half the fiber pitch or less, this case is particularly effective. Further, since the PD row is divided into the upper row and the lower row, it is possible to connect the upper row and the lower row to the first-stage amplifiers respectively, so that the parasitic capacitance can be reduced and the response speed can be improved. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本発明の実施の形態の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】 クロストークの発生した例を説明するための
図である。
FIG. 2 is a diagram for explaining an example in which crosstalk occurs.

【図3】 本願の他の発明の実施の形態を説明するため
の図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining another embodiment of the present invention.

【図4】 図1で示したPDの配列を千鳥状配列にした
実施の形態の図である。
FIG. 4 is a diagram of an embodiment in which the PD array shown in FIG. 1 is arranged in a staggered array.

【図5】 光モジュール(PDアレイモジュール)の従
来例を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a conventional example of an optical module (PD array module).

【図6】 従来の光ファイバと受光素子との光結合の他
の例を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing another example of optical coupling between a conventional optical fiber and a light receiving element.

【図7】 従来の光ファイバと受光素子との光結合の更
に他の例に使用されるレンズ付裏面入射型受光素子を示
す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a back-illuminated type light receiving element with a lens used in still another example of optical coupling between a conventional optical fiber and a light receiving element.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ファイバアレイ、2…受光素子アレイ、3…支持基
板、4…スペーサ。
1 ... Fiber array, 2 ... Light receiving element array, 3 ... Support substrate, 4 ... Spacer.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも2本以上の光ファイバと、該
光ファイバから出射される光を受光する受光素子とを有
する光受信モジュールにおいて、前記受光素子間のピッ
チが、前記光ファイバ間のピッチに比し小さいことを特
徴とする光受信モジュール。
1. An optical receiving module having at least two optical fibers and a light receiving element for receiving light emitted from the optical fibers, wherein a pitch between the light receiving elements is equal to a pitch between the optical fibers. Optical receiving module characterized by being smaller than the conventional one.
【請求項2】 前記受光素子間のピッチが、前記光ファ
イバ間のピッチの半分以下であることを特徴とする請求
項1に記載の光受信モジュール。
2. The optical receiving module according to claim 1, wherein the pitch between the light receiving elements is half or less of the pitch between the optical fibers.
【請求項3】 前記受光素子が二列をなし、千鳥格子状
に配置されていることを特徴とする請求項1、または、
2に記載の光受信モジュール。
3. The light receiving elements are arranged in two rows and arranged in a staggered pattern, or
2. The optical receiver module according to item 2.
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