JPH09164674A - インクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 隣接するインクチャンネルにインク吐出の際
の変形の影響を与えないようにノズルを高密度に配置す
る。 【解決手段】 第１の基板と、第２の基板と、前記第１
と第２の基板の間を複数のインクチャンネルに分割する
ために配置され、その背面が当接している第１の圧電体
と第２の圧電体とからなる隔壁部と、前記各圧電体に電
圧を印加する電源とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、画像信号に応じて
インク滴を吐出して、紙等の記録媒体に記録するインク
ジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、第１の基板と第２の基板の間
に複数の圧電素子を並べ、前記第１と第２の基板と圧電
素子で囲まれたチャンネルを順にインクチャンネル、ダ
ミーチャンネルとしたインクジェット記録装置が知られ
ている。このようなインクジェット記録装置として、例
えば、特開平６−１４３５６４号公報に開示されたもの
のインクジェットヘッドを図１１に示す。このインクジ
ェットヘッド６０は、絶縁性支持基板６１，６２の間に
チャンネルに向かう方向に分極させた電極６６を有する
圧電素子細片６３が並べられ、この圧電素子細片６３に
よって区切られた空間を順にインクチャンネル６４、ダ
ミーチャンネル６５としている。各圧電素子細片６３の
両側の電極６６に電圧を印加し、分極と同じ方向に電界
を発生させ細片に伸縮モードによる変形を起こさせ、イ
ンクチャンネル６４からインクを吐出させる。また、ダ
ミーチャンネル６５は、インクチャンネル６４の側壁に
当たる圧電素子６３を変形させてインクを吐出させる際
に、隣接するインクチャンネル６４への圧電素子６３の
変形の影響を無くすために設けられている。よって、ダ
ミーチャンネル６５は、空隙となっているか、弾性部材
が充填されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記イ
ンクジェット記録装置では、圧電体細片によって区切ら
れた空間をインクチャンネル、ダミーチャンネル、イン
クチャンネルと順に繰り返しているので、インクチャン
ネル間のピッチが拡大するため、インクチャンネルに連
通されたノズル孔のピッチも拡大し、高解像度の印字を
行うためにノズルの高密度化を行なうことが非常に難し
かった。そこで、本発明においては、ノズルを高密度に
配置でき、隣接するインクチャンネルに変形の影響を与
えないようにすることを課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のインクジェット記録装置は、第１の基板
と、第２の基板と、前記第１と第２の基板の間を複数の
インクチャンネルに分割するために配置され、その背面
が当接している第１の圧電体と第２の圧電体とからなる
隔壁部と、前記各圧電体に電圧を印加する電源とを有
し、該電源から前記圧電体に電圧を印加し、前記インク
チャンネルの容積を変化させ、インクチャンネル内のイ
ンクに変位を生じさせることでインクを吐出させること
を特徴とする。

【０００５】このインクジェット記録装置によれば、隔
壁部は、第１の圧電体と第２の圧電体からなり、その背
面が当接しており、インクチャンネルとインクチャンネ
ルとの間にダミーチャンネルがないので、インクチャン
ネルに連通されたノズルのピッチを細かく高密度にする
ことができる。

【０００６】そして、前記第１基板又は第２基板の少な
くとも一方を圧電体で形成しても良い。この場合、イン
クチャンネルを構成する側面に加え、基板の一面をも変
形させることができるようになるので、作用面が大きく
なり、インクチャンネルの容積変化を大きくすることが
できる。また、作用面を大きくすることができるので、
低電圧による駆動が可能となる。さらに、１面変形させ
るか２面変形させるか、３面変形させるかによって、イ
ンクの吐出量を３段階に調節でき、階調表現が可能とな
る。

【０００７】また、前記インクチャンネルの容積を変形
させる圧電体は、所定の電圧を印加したときインクチャ
ンネルの体積変化が各変形箇所毎に異なるようにしても
良い。この場合、各作用面毎にインクの吐出量を変える
ことができ、各作用面ともＯＮ／ＯＦＦの制御しかしな
くても、その組み合わせで７通りの吐出量の変化を持た
せることができ、多階調の印字を行なう際には、特に有
効である。

【０００８】さらに、前記第１の圧電体と第２の圧電体
は、その分極方向が逆になるように背面の電極を介して
当接させるようにしても良い。この場合、圧電体の分極
方向が逆であるので、圧電体を変形させたとき、背面側
の圧電体を押圧する方向にはほとんど変形しないので、
隣接するインクチャンネルに影響を与えない点で特にす
ぐれている。

【０００９】さらにまた、前記第１の圧電体の背面電極
と第２の圧電体の背面電極とを共通電極にしても良い。
この場合、圧電体に電圧を印加する配線の数が減り、個
々の配線を太くすることができ、また、製造が簡単にな
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して本発
明の実施の形態を説明する。図１は、本発明の第１の実
施形態によるインクジェットヘッド１２を取り付けたイ
ンクジェット記録装置１の全体構成を概略的に示したも
のである。このインクジェット記録装置１は大別して、
コネクタ２ａを備えた電源部２と、駆動系３と、メカコ
ントローラ４と、メモリ５と、コントローラ６と、イン
ク供給部７と、スキャンキャリッジ８と、給紙部９と、
ケース１０と、操作パネル１１とから構成されている。
前記スキャンキャリッジ８は、通紙方向（矢符ａ方向）
に直交する方向（図１において図面の表裏方向）にスキ
ャン可能になっており、その内部にはブラック、シア
ン、マゼンタ、及びイエローの各色用に４つのインクジ
ェットヘッド１２が通紙方向に沿い、且つノズル孔１３
を下方に向けて配置されている。

【００１１】前記インクジェットヘッド１２は、図２に
示すように、上面には非圧電部材からなる天板１４を備
え、下面にも同様に非圧電部材からなる基板１５を備え
ている。この天板１４と基板１５とは、後述する隔壁部
２４を構成する圧電体２５と接着され、その固定部材と
して使用されるので、ヤング率が１．５×１０⁹Ｎ／ｍ²
以上の材質で絶縁性を有することが望ましく、この実施
形態では、非圧電部材であるアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）のプ
レートで構成されている。前記天板１４と基板１５の間
には、図３に示すように隔壁部２４によって、複数のイ
ンクチャンネル１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，…が分割形成
されている。これらのインクチャンネル１６は、図３に
示すように、天板１４の幅方向に所定のピッチで形成さ
れ、図２に示す天板１４の長手方向にそれぞれ平行に伸
びている。

【００１２】インクジェットヘッド１２の前面には、各
インクチャンネル１６と対応する位置にノズル孔１３が
形成されたノズルプレート１７が接着固定されている。
また、バックプレート１８が天板１４と基板１５の後端
部側面に接着固定されている。前記バックプレート１８
の後方にはインクマニホールド１９が設けられており、
図１に示すインク供給部７にインク供給路２０で接続さ
れている。前記バックプレート１８には、インクマニホ
ールド１９からインクチャンネル１６にインクを供給す
るためのインク供給口２１が設けられている。隔壁部２
４の圧電体２５を変形させるための電極と接続される配
線２２が基板１５にプリントされ、バックプレート１８
後方の外部に引き出されている。このようなインクチャ
ンネル１６を構成要素とするインクジェットヘッド１２
が各色毎に設けられ、それぞれ支持基板２３の上に固着
されて保持されている。

【００１３】前記隔壁部２４は、図３に示すように第１
の圧電体２５ａと第２の圧電体２５ｂとで構成される圧
電体２５と、各圧電体２５に変位を起こさせるための電
極２６とからなる。この圧電体２５は、チタン酸ジルコ
ン酸鉛（以下ＰＺＴと呼ぶ）からなり、該圧電体２５
は、分極方向が図３に矢印Ｄ₁，Ｄ₂で示す前記天板１４
及び基板１５と平行な方向になるように配置されてい
る。

【００１４】前記電極２６は、圧電体２５のインクチャ
ンネル１６に対向する面に設けられた表面電極２６ａ
と、第１の圧電体２５ａと第２の圧電体２５ｂとが背中
あわせになっている面に設けられた背面電極２６ｂとか
らなる。該電極２６に電圧を印加し、圧電体２５の背面
とインクチャンネル対向面との方向、即ち分極方向と同
じ方向に電界Ｅがかけられると、電界Ｅの方向と同じ方
向に圧電体２５がｄ３３モードで変位するようにされて
いる。この隔壁部２４の電極２６は、ワイヤーボンディ
ング等の方法で前記配線２２に接続されている。この接
続された配線２２を介してインクジェットヘッド１２外
に設けられたコントローラ６から画像信号に対応して電
圧が印加される。

【００１５】この隔壁部２４と前記天板１４と基板１５
との接着は、圧電体２５の変位を妨げない弾性接着を行
なう。この実施形態では、基板１５と圧電体２５とはコ
ニシ株式会社のＥ３０Ｈ接着剤で厚みが２５μｍ程度の
接着層２７を設けて接着した。尚、この接着剤の変わり
にセメダイン株式会社のニトリル系５４０（エラストマ
ー接着剤）を用いても良い。

【００１６】ここで、本実施形態においては、第１の圧
電体２５ａに図４中矢符Ｄ₁で示される分極方向と、第
２の圧電体２５ｂに図４中矢符Ｄ₂で示す分極方向は、
１８０度反転させて配列している。圧電体をこのように
配列することによって、第１の圧電体２５ａの背面電極
２６ｂと第２の圧電体２５ｂの背面電極２６ｂを共通に
する（例えば接地する）ことができる。このため、イン
クチャンネル１６側の表面電極２６ａのみをコントロー
ルすることによって、各々の圧電体２５の変位を制御で
きる。背面電極２６ｂを別々にすることは、電極間を絶
縁する必要が生じてそのスペースが必要となり、ノズル
孔１３の高密度化の障害となるので好ましくない。

【００１７】また、前記基板１５、天板１４、圧電体２
５及び電極２６、ノズルプレート１７等からなるインク
チャンネル１６内の表面でインクと直接接触する部分に
ついては、絶縁性のオーバーコート処理を施しておく。
これにより、電極２６の耐久性が向上するとともに、隔
壁部２４の圧電体２５にインクが浸透して低抵抗化し、
実効電圧がかからなくなり変形量が低下すると言った不
都合を防止する。このオーバーコート処理は、樹脂を塗
布またはスプレーするか、無機物をスパッタリングやＣ
ＶＤで付着させる。さらに、インクジェットヘッド１２
の剛性を増させるために、インクジェットヘッド１２の
両端部分において天板１４と基板１５とを確実に接着す
るようにしても良い。

【００１８】次に、図４を参照して、インクチャンネル
１６からインクを吐出する際の動作について述べる。こ
こでは説明の簡便化のため、マルチチャンネルの内の１
チャンネルの動作のみ図示した。電圧を印加する前の状
態の圧電体２５を実線４１で示す。第１の圧電体２５ａ
の分極方向は図中に矢印Ｄ₁で示す方向であり、第２の
圧電体２５ｂの分極方向は図中に矢印Ｄ₂で示す方向で
ある。各々の圧電体２５ａ、２５ｂの背面の電極２６ｂ
は接地されているので、それぞれインクチャンネル側の
電極２６ａに負の電圧を印加する。すると、第１の圧電
体２５ａは、矢印Ｅ₁方向に電界が形成され、図中に破
線４２ａで示す形に変形する。第２の圧電体２５ｂも矢
印Ｅ₂方向に電界が形成され、図中に破線４２ｂで示す
形に変形する。

【００１９】その結果、インクチャンネル１６の容積が
急激に減少し、インクチャンネル１６に充填されたイン
クが加圧され、前述のノズルプレート１７に設けられた
ノズル孔１３からインク滴が吐出される。本実施形態で
は、圧電体２５と天板１４及び圧電体２５と基板１５の
間は、前述した弾性を有する接着剤で接着層２７を形成
して接着されている。よって、圧電体２５の変形時にも
接着層２７が弾性変形を起こして圧電体２５の変形を大
きく規制することなく、又、圧電体２５と他の部材との
接着状態を保つので、インクがインクチャンネル１６外
に回り込むことがない。したがって、圧力のロスも少な
く効率良くインク滴を吐出することができる。さらに、
圧電体２５ａは、隣接するインクチャンネル１６の圧電
体２５ｂと背面で当接しており、圧電体２５ｂは、隣接
するインクチャンネル１６の圧電体２５ａと背面で当接
してその変形が規制されている。したがって、電圧を印
加したとき各圧電体２５は、隣接するインクチャンネル
に影響を与えることなく、それぞれ対面するインクチャ
ンネル側に変形する。

【００２０】次に、電圧の印加を終えると第１の圧電体
２５ａ、第２の圧電体２５ｂともに破線４２で示す状態
から元の実線４１で示す状態に戻る。このときインクチ
ャンネル１６内は容積の膨張による圧力の減少が起こ
り、インク供給口２１からこれに見合う量、即ち吐出し
た量のインクが補給される。以上のように電圧のＯＮ−
ＯＦＦを印字内容に応じた規定のパルス波の組み合わせ
で各インクチャンネル１６の圧電体２５に与えることに
より、マルチノズルによる印字が可能となる。

【００２１】次にインクジェットヘッド１２の製造方法
について、図５から図９を参照して説明する。第１の製
法として、各インクチャンネル１６毎に個別に接着して
いた天板１４と圧電体２５とを一体化して部品点数を減
らすことにより、組み立て性を向上させた部品を用いる
製法を示す。まず初めに、図５（ａ）に示すように、ア
ルミナ等からなる天板１４に、前述した接着剤を全面に
所定の厚み（２５μｍ）を持たせて塗布して接着層２７
を設け、その上に矢印Ｄ方向に分極方向をもつＰＺＴか
らなる圧電体２５を取り付け一体化させる。

【００２２】次に、天板１４と圧電対２５を一体化させ
た部品をダイサー等の切削加工手段を用いて、図５
（ｂ）に示すように圧電体２５及び天板１４との接着層
２７を含めて切削して、圧電体２５を個々に独立させ
る。続いて、各圧電体２５に電極２６を取り付ける。ま
ず、圧電体２５の後方約１／３の部分、即ち図６に示す
ようにバックプレート１８が取り付けられる側の圧電体
２５の後方部分３６と、天板１４部分についてマスキン
グを施す。そして、圧電体のマスキングを施していない
面にスパッタリングやメッキ法等によりＡｕまたは（Ｎ
ｉ，Ｃｒ）膜を付着させ、電極２６を形成する。その
後、圧電体２５の上面部３０にスパッタリング等で形成
された金属膜の部分を研磨または切削により取り除く。

【００２３】以上のようにして、図７にその正面図を示
すように、その両面に電極２６を設けた圧電体２５と、
天板１４とを一体化させた一体化部品３１を作成する。
この一体化部品３１を２つ準備して、一方を反転させ、
櫛歯状に突出している圧電体２５を互いに嵌め合わせ、
幅方向にずらせて圧電体２５に付着させた電極２６同士
を当接させる。この状態で電極２６からワイヤーボンデ
ィング等の方法で外部に配線し、圧電体２５の上面部３
０と天板１４とを前述した接着剤で接着層２７の幅を持
たせて接着する。このとき、同じもののうち一方を反転
させて嵌め合わせているので、隣合う圧電体同士は、そ
の分極方向が逆になる。尚、電極２６同士が当接してい
る面については、特に接着する必要はない。

【００２４】以上のようにして、図３に示す断面のイン
クチャンネル１６が形成され、これにノズルプレート１
７と、バックプレート１８及びインクマニホールド１９
を取り付けインクジェットヘッド１２ができる。第１の
製法のように天板１４と圧電体２５とを一体化させた部
品を作製することにより、圧電体２５を高精度に天板１
４と基板１５の間に位置決めして接着する必要がなくな
り、組み立てが非常に容易になる。

【００２５】次に第２の製法について述べる。まず、図
５（ａ）と同様にして、図８（ａ）に示すようにあらか
じめ矢印Ｄ方向に分極した圧電体２５と天板１４とを低
弾性の接着剤で接着して積層体３２を作成する。ここ
で、図５（ａ）に示す前述の方法と異なるところは天板
１４の長さがインクチャンネル１６の長さの１／２つま
り、圧電体２５の分極方向と直交する方向の長さの１／
２になっており、圧電体２５と天板１４との接着面積が
１／２になっているところである。続いて、前記製法と
同様に圧電体２５と低弾性の接着層２７とを一緒に切削
し、図８（ｂ）に示すように櫛歯状の部品３３に加工す
る。

【００２６】櫛歯状に加工された部品３３の圧電体２５
の側面にスパッタリング等の方法で（Ｃｕ／Ｎｉ）の膜
を作り電極２６を形成する。こうして得られた図８
（ｂ）に示す電極２６が付着された部品を２つ作成し、
一方を１８０度回転させて接合すれば、図８（ｃ）に示
すように対向する側壁の圧電体２５の分極方向が１８０
度反転した圧電体２５と天板１４の一体部品３４が得ら
れる。この図８（ｃ）に示す一体部品の電極２６にワイ
ヤーボンディング等の方法で結線し、この一体部品３４
の圧電体２５の底面に基板１５を接着すれば、図３に示
す断面のインクチャンネル１６が形成される。これにノ
ズルプレート１７と、バックプレート１８及びインクマ
ニホールド１９を取り付けインクジェットヘッド１２が
できる。この第２の方法により作成すると、基板１５を
後から取り付けるので、電極２６の結線が容易に行える
という効果を有する。

【００２７】本実施形態では、隣接するインクチャンネ
ル１６の隔壁部２４を構成する圧電体２５について、そ
の分極方向をインクチャンネル１６に向かう方向にし
て、隣接する圧電体２５の分極方向をそれぞれ逆向きに
して背面同士を合わせて配置し、有効にインクチャンネ
ル１６側に変位のエネルギーを集中させることで、ダミ
ーチャンネルを設けることなく、隣接するインクチャン
ネル１６に対して連動変位を影響のないレベル以下にす
ることが可能となった。

【００２８】更に、多階調印字等でより高精度な圧電体
２５の変位制御が必要な際には、複数のインクチャンネ
ル１６のうち奇数番目のインクチャンネル１６ａからイ
ンクを吐出するときは、隣接する偶数番目のインクチャ
ンネル１６ｂからの吐出を休止して、奇数番目のインク
チャンネル１６ａからの吐出終了後に偶数番目のインク
チャンネル１６ｂからの吐出を行なう。以上のように奇
数番目のインクチャンネル１６ａと偶数番目のインクチ
ャンネル１６ｂとを交互に吐出させれば、休止状態にあ
る隣のインクチャンネル１６の圧電体が駆動されないた
め、一種の隔壁がわりになり連動変位は完全に無視でき
るようになる。

【００２９】図９に第２の実施形態の構成を示す。この
第２の実施形態の前記第１の実施形態との違いは、天板
１４及び基板１５についても分極した圧電体２５を用い
て構成した点にある。これにより、第２の実施形態で
は、上下左右の４壁面をインク吐出の駆動源として用い
ることができ、インクチャンネルの容積変化量のさらな
る増大が図れる。よって、インクチャンネル内の容積量
の変化を多段階制御することが可能となる。

【００３０】したがって、この実施形態によると、多階
調印字に必要な高精度且つ再現性に影響を与えるインク
の吐出量を多段階に制御することが容易になる。一つの
インクチャンネル１６については４つの圧電体２５を有
する。この１インクチャンネル１６内の４個の圧電体２
５のＯＮ／ＯＦＦを組み合わせると、各圧電体２５の体
積変化量を意図的に変えることにより、容易にインクチ
ャンネル１６内の体積量の多段階制御を行え、２×２×
２×２で１６通りの体積変化量（変化なしを含む）を選
択することができる。

【００３１】続いて、多段階の体積変化の制御方法を説
明する。インクチャンネル１６の側壁を構成する４つの
圧電体Ｐ，Ｑ，Ｒ，Ｓは、電極２６に所定の電圧を印加
することにより、ｐ，ｑ，ｒ，ｓ（μｍ）変位するとす
る。また、各々の圧電体の作用面積をＴ₁、Ｔ₂，Ｔ₃，
Ｔ₄（μｍ²）とする。以上より、各圧電体Ｐ，Ｑ，Ｒ，
Ｓのインクチャンネル１６内での体積の変化量は、ｐＴ
₁、ｑＴ₂，ｒＴ₃，ｓＴ₄（μｍ³）となる。それぞれの
体積変化量の値を意図的に異なる値に調整しておく。

【００３２】体積変化量を異ならせる方法としては、ｐ
〜ｓの変位量を変更するか、又はＴ₁〜Ｔ₄の作用面積を
変更するか、又はそれらを組み合わせることが考えられ
る。変位量の変更は、電極に印加される電圧を変更する
か圧電体の組成を変更することによって対応する。作用
面積の変更は、チャンネル寸法の変更及び電極２６の面
積の変更によって調整可能となる。以上によって、吐出
なしを含めて１６段階の制御が可能となる。又仮に、１
つの圧電体で３通りの変位を実現すれば、理論上は３⁴
で８１段階の階調表現が可能となる。

【００３３】図１０に第３の実施形態を示す。この第３
の実施形態は、前記第２の実施形態と同様にインクチャ
ンネル１６の上下左右の４方向の壁面を圧電体２５で構
成したものである。第２の実施形態との違いは、天板１
４及び基板１５の隔壁部２４を接着した隔壁部左右の隔
壁近傍付近に、隔壁に沿って切り溝３５を入れた点にあ
る。この切り溝３５を設けることにより、上下の連続す
る天板１４や基板１５に電圧を印加して変位させたと
き、溝で区切られた所から先の連動変位が押えられ、且
つ電圧を印加した部分の変位量を増大させることができ
る。したがって、天板１４や基板１５を変位させたとし
ても、隣接するインクチャンネル１６部分への連動変位
を押えることができるので、隣接するインクチャンネル
１６をダミーチャンネルとする必要なく、インクジェッ
トヘッドを作成することができる。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のインクジ
ェット記録装置によると圧電体で側壁を構成したにもか
かわらず、従来例のごとく隣接チャンネルの連動変位を
防止するため、交互にダミーチャンネルを設ける必要が
なく、インクノズルの高密度化が可能になる。また、複
数の側面を圧電体で形成することにより、容易に多段階
の階調制御を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のインクジェットヘッドを用いたイン
クジェット記録装置の概略構成図である。

【図２】 第１の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの要部長手方向の側面断面図である。

【図３】 第１の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの幅方向即ち図２と直交する方向のの要部断面図で
ある。

【図４】 第１の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの幅方向の断面を用いた動作説明図である。

【図５】 第１の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの天板と圧電体の一体部品加工方法を示した図であ
り、（ａ）は、天板に圧電体を接着した図で、（ｂ）
は、圧電体を切削している図である。

【図６】 天板に短冊状に圧電体が取り付けられた第１
の実施形態におけるインクジェットヘッド構成部品の一
部を切り出した斜視図である。

【図７】 電極を有する短冊状に圧電体が天板に取り付
けられた第１の実施形態におけるインクジェットヘッド
構成部品の断面図である。

【図８】 第１の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの天板と圧電体の一体部品の第２の加工方法を示し
た図であり、（ａ）は、天板に圧電体を接着した図で、
（ｂ）は、圧電体を切削している図で、（ｃ）は、分極
方向が反転した圧電体が短冊状に取り付けられた天板一
体型の構成部品の斜視図である。

【図９】 第２の実施の形態におけるインクジェットヘ
ッドの幅方向の要部断面図である。

【図１０】 第３の実施の形態におけるインクジェット
ヘッドの一部のインクチャンネルを取り出した概略断面
図である。

【図１１】 従来のインクジェットヘッドの幅方向の要
部断面図である。

【符号の説明】

１…インクジェット記録装置、２…電源部、１２…イン
クジェットヘッド、１３…ノズル孔、１４…天板（第１
の基板）、１５…基板（第２の基板）、１６…インクチ
ャンネル、２４…隔壁部、２５…圧電体、２６…電極。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１の基板と、 第２の基板と、 前記第１と第２の基板の間を複数のインクチャンネルに
   分割するために配置され、その背面が当接している第１
   の圧電体と第２の圧電体とからなる隔壁部と、 前記各圧電体に電圧を印加する電源とを有し、 該電源から前記圧電体に電圧を印加し、前記インクチャ
   ンネルの容積を変化させ、インクチャンネル内のインク
   に変位を生じさせることでインクを吐出させることを特
   徴とするインクジェット記録装置。
2. 【請求項２】 前記第１の基板又は前記第２の基板の少
   なくとも一方は、電圧を印加することによって変形する
   圧電体からなることを特徴とする請求項１に記載のイン
   クジェット記録装置。
3. 【請求項３】 前記各圧電体は、変形させるべく電圧を
   印加したときインクチャンネルの容積変化が異なるよう
   に変形量が異なることを特徴とする請求項１又は２に記
   載のインクジェット記録装置。
4. 【請求項４】 前記第１の圧電体と第２の圧電体は、そ
   の分極方向が逆になるように背面の電極を介して当接し
   ている請求項１乃至３に記載のインクジェット記録装
   置。
5. 【請求項５】 前記第１の圧電体の背面の電極と第２の
   圧電体の背面の電極とが共通電極になっていることを特
   徴とする請求項４に記載のインクジェット記録装置。