JPH09131690A - 6-shaft load detector - Google Patents
6-shaft load detectorInfo
- Publication number
- JPH09131690A JPH09131690A JP7291103A JP29110395A JPH09131690A JP H09131690 A JPH09131690 A JP H09131690A JP 7291103 A JP7291103 A JP 7291103A JP 29110395 A JP29110395 A JP 29110395A JP H09131690 A JPH09131690 A JP H09131690A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load
- actuator
- axis
- movable plate
- actuators
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Measurement Of Force In General (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ロボットアームの荷重
検出器に代表され、また工作機械の切削荷重の検出、重
量物の重心位置の割出し、玉掛け作業における重心位置
の表示装置等にも適用される６軸荷重検出装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is typified by a load detector of a robot arm, and is also applicable to detection of a cutting load of a machine tool, indexing of the position of the center of gravity of a heavy object, display of the position of the center of gravity in slinging work, and the like. The present invention relates to an applied 6-axis load detection device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５は、従来のこの種の６軸荷重検出装
置の一例を示す図である。この荷重検出装置の内部には
荷重検出部が内蔵されており、６軸荷重が作用すると予
め決められた弾性変形が発生するように形状、剛性が設
計されている。そして、前記荷重検出部の弾性変形発生
部分には歪ゲージが貼り付けられており、６軸荷重作用
時の弾性変形を検出できるようになっている。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a diagram showing an example of a conventional 6-axis load detecting device of this type. The load detection device has a built-in load detection unit, and its shape and rigidity are designed such that a predetermined elastic deformation occurs when a 6-axis load is applied. A strain gauge is attached to the elastic deformation occurrence portion of the load detection unit so that the elastic deformation when a six-axis load is applied can be detected.
【０００３】図５に示す荷重検出部は、３組の平行平板
型荷重検出部を組み合わせたものであり、平行平板ＰＦ
x ５０１の変形を利用して並進荷重Ｆx ，モーメント荷
重Ｍz を、平行平板ＰＦy ５０２により並進荷重Ｆy
を、平行平板ＰＦz ５０３により並進荷重Ｆz ，モーメ
ント荷重Ｍx ，Ｍy を検出する。すなわち、６軸荷重Ｆ
＝｛Ｆx ，Ｆy ，Ｆz ，Ｍx ，Ｍy ，Ｍz ｝T と荷重検
出部に生じる歪ε＝｛ε1 ，ε2 ，ε3 ，ε4 ，ε5 ，
ε6 ｝T との関係は次式（１）で表される。なお、ｘ，
ｙ，ｚはそれぞれ直交座標系の座標軸、Ｆはそれぞれ添
字で示される座標軸に沿った並進荷重、Ｍはそれぞれ添
字で示される座標軸まわりのモーメント荷重を表す。The load detector shown in FIG. 5 is a combination of three sets of parallel plate type load detectors.
Using the deformation of x 501, the translational load Fx and the moment load Mz are translated by the parallel plate PFy 502.
The parallel load PFz 503 detects the translational load Fz and the moment loads Mx and My. That is, 6-axis load F
= {Fx, Fy, Fz, Mx, My, Mz} T and the strain ε = {ε1, ε2, ε3, ε4, ε5, which occurs in the load detector,
The relationship with ε 6} T is expressed by the following equation (1). Note that x,
y and z are coordinate axes of the Cartesian coordinate system, F is a translational load along the coordinate axis indicated by the subscript, and M is a moment load about the coordinate axis indicated by the subscript.
【０００４】 ε＝Ｋ・Ｆ …（１） 式（１）において、Ｋは並進荷重Ｆと歪εとの関係を記
述する６×６の行列である。したがって、上式（１）の
両辺にＫの逆行列Ｋ-1を掛けることで次式（２）が得ら
れる。Ε = K · F (1) In the equation (1), K is a 6 × 6 matrix that describes the relationship between the translational load F and the strain ε. Therefore, the following expression (2) is obtained by multiplying both sides of the above expression (1) by the inverse matrix K −1 of K.
【０００５】 Ｆ＝Ｋ-1・ε …（２） すなわち、Ｋ-1が既知であれば、上記荷重検出部の弾性
変形発生部分に発生する歪を検出することで、当該６軸
荷重検出装置に作用する６軸荷重が検出可能になる。F = K −1 · ε (2) That is, if K −1 is known, the strain generated in the elastic deformation generation portion of the load detection unit is detected to detect the 6-axis load detection device. The 6-axis load acting on can be detected.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したよ
うな従来の６軸荷重の検出方法によれば、検出誤差を抑
えて検出精度を上げるためには、各軸力間の相互干渉を
抑える必要がある（例えば、任意の１軸に並進荷重が作
用した際に、残りの荷重軸の検出部に歪が生じないよう
にする）。すなわち、上記行列Ｋ-1が対角行列になるよ
うに上記荷重検出部の剛性を設計する必要がある。However, according to the conventional 6-axis load detection method as described above, in order to suppress the detection error and improve the detection accuracy, it is necessary to suppress the mutual interference between the respective axial forces. (For example, when a translational load is applied to any one axis, distortion is not generated in the detection section of the remaining load axis). That is, it is necessary to design the rigidity of the load detection unit so that the matrix K −1 becomes a diagonal matrix.
【０００７】しかしながら、実際には行列Ｋ-1が対角行
列になるように設計することは、各々の歪検出部におい
て発生する歪が互いに干渉するため困難であり、検出精
度を上げる上で限界があった。また行列Ｋ-1を求めて
も、作用する荷重と発生する歪との間に線形性が成立す
る範囲でしか上式（２）の関係が成立しないため、この
範囲をはずれた領域では誤差が大きくなるという技術上
の問題があった。本発明の目的は、６軸荷重を正確かつ
広範囲に亘って検出できる６軸荷重検出装置を提供する
ことにある。However, in practice, it is difficult to design the matrix K -1 so as to be a diagonal matrix because the distortions generated in the distortion detection units interfere with each other, and there is a limit in improving the detection accuracy. was there. Further, even if the matrix K −1 is obtained, the relationship of the above equation (2) is established only in the range where the linearity holds between the applied load and the generated strain. There was a technical problem of getting bigger. An object of the present invention is to provide a 6-axis load detection device capable of accurately detecting a 6-axis load over a wide range.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の６軸荷重検出装置は以下の如
く構成されている。 （１）本発明の６軸荷重検出装置は、複数のアクチュエ
ータの協動により所定の可動板の位置・姿勢を制御する
６軸荷重検出装置であり、前記各アクチュエータの一端
に結合される固定板と、前記各アクチュエータの他端に
結合され、前記固定板に対して６自由度の位置・姿勢の
変化が可能なように取付けられた可動板と、前記各アク
チュエータのストロークを検出する複数の変位検出手段
と、前記固定板に対する前記可動板の位置・姿勢を所定
の状態に保つため、前記各変位検出手段で検出されたス
トロークに基づき前記各アクチュエータのストロークを
制御する制御手段と、から構成されている。 （２）本発明の６軸荷重検出装置は上記（１）に記載の
装置であって、かつ前記各アクチュエータで発生する圧
縮荷重または引張り荷重を検出する複数の荷重検出手段
を備えている。In order to solve the above problems and achieve the object, the 6-axis load detecting device of the present invention is configured as follows. (1) The 6-axis load detection device of the present invention is a 6-axis load detection device that controls the position and orientation of a predetermined movable plate by the cooperation of a plurality of actuators, and is a fixed plate coupled to one end of each actuator. A movable plate coupled to the other end of each actuator so that the position and orientation of the fixed plate can be changed in six degrees of freedom, and a plurality of displacements for detecting strokes of each actuator. And a control means for controlling the stroke of each actuator based on the stroke detected by each displacement detection means in order to maintain the position / posture of the movable plate with respect to the fixed plate in a predetermined state. ing. (2) The 6-axis load detecting device of the present invention is the device according to (1) above, and further comprises a plurality of load detecting means for detecting a compressive load or a tensile load generated in each of the actuators.
【０００９】上記手段を講じた結果、それぞれ次のよう
な作用が生じる。 （１）本発明の６軸荷重検出装置によれば、固定板に対
する可動板の位置・姿勢を所定の状態に保つため、複数
の変位検出手段で検出された複数のアクチュエータのス
トロークに基づき前記各アクチュエータのストロークを
制御するので、検出部材の弾性変形を利用した従来の検
出方法では各軸間の相互干渉のため正確に検出できなか
った６軸荷重を、前記可動板の位置・姿勢制御を行ない
前記各軸力間の相互干渉の影響を抑えることで、より正
確に、かつより広範囲に亘って検出できる。したがっ
て、産業に大きく貢献する。 （２）本発明の６軸荷重検出装置によれば、各アクチュ
エータで発生する圧縮荷重または引張り荷重を検出する
ので、前記各アクチュエータにおける推力を検出でき、
荷重検出点における６軸荷重が検出可能になる。As a result of taking the above-mentioned means, the following actions will occur. (1) According to the 6-axis load detection device of the present invention, in order to maintain the position / posture of the movable plate with respect to the fixed plate in a predetermined state, each of the above-mentioned each is based on the strokes of the plurality of actuators detected by the plurality of displacement detection means. Since the stroke of the actuator is controlled, the 6-axis load, which cannot be accurately detected by the conventional detection method utilizing the elastic deformation of the detection member due to mutual interference between the axes, is used to control the position / posture of the movable plate. By suppressing the influence of mutual interference between the axial forces, it is possible to detect more accurately and in a wider range. Therefore, it greatly contributes to the industry. (2) According to the 6-axis load detection device of the present invention, since the compression load or the tensile load generated in each actuator is detected, the thrust force in each actuator can be detected,
The 6-axis load can be detected at the load detection point.
【００１０】[0010]
（第１の実施の形態）図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る６軸荷重検出装置の構成を示す図であり、この
６軸荷重検出装置はロボットの荷重検出器に適用されて
いる。(First Embodiment) FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a 6-axis load detecting device according to a first embodiment of the present invention. This 6-axis load detecting device is applied to a load detector of a robot. Has been done.
【００１１】図１において１００は当該ロボットのアー
ムの先端部であり、この先端部１００に当該６軸荷重検
出装置の固定板１が設置されている。さらに固定板１に
対向する可動板（エンドエフェクタ）２側の既知の位置
に当該ロボットのグリッパ１０１が設置されている。そ
して、グリッパ１０１に作用する６軸荷重を当該荷重検
出器で検出するようにしている。In FIG. 1, reference numeral 100 denotes a tip portion of an arm of the robot, and the fixing plate 1 of the 6-axis load detecting device is installed at the tip portion 100. Further, the gripper 101 of the robot is installed at a known position on the side of the movable plate (end effector) 2 facing the fixed plate 1. Then, the six-axis load acting on the gripper 101 is detected by the load detector.
【００１２】また、３１〜３６は各々直動アクチュエー
タであり、これら直動アクチュエータ３１〜３６には空
圧シリンダが使用されている。なお、各直動アクチュエ
ータ３１〜３６には、ストロークを検出する図示しない
変位計が内蔵されている。これら変位計には磁歪式スト
ロークセンサが使用されている。そして前記各変位計に
より各直動アクチュエータ３１〜３６のストロークが検
出される。Reference numerals 31 to 36 are linear actuators, and pneumatic cylinders are used for these linear actuators 31 to 36. It should be noted that each of the linear motion actuators 31 to 36 has a built-in displacement gauge (not shown) that detects a stroke. Magnetostrictive stroke sensors are used for these displacement gauges. Then, the strokes of the linear motion actuators 31 to 36 are detected by the displacement meters.
【００１３】前記変位計からの出力は、サーボアンプ４
に帰還信号Ｓ１としてフィードバックされる。一方サー
ボアンプ４には、コントローラ５からのストローク指令
値が指令値Ｓ２として入力される。この指令値Ｓ２と帰
還信号Ｓ１との偏差に基づきサーボ弁６のスプール開度
を制御することで、前記空圧シリンダのストロークが所
要の値に制御される。The output from the displacement meter is the servo amplifier 4
Is fed back as a feedback signal S1. On the other hand, the stroke command value from the controller 5 is input to the servo amplifier 4 as a command value S2. By controlling the spool opening of the servo valve 6 based on the deviation between the command value S2 and the feedback signal S1, the stroke of the pneumatic cylinder is controlled to a required value.
【００１４】またコントローラ５では、前記各空圧シリ
ンダの押し側並びに引き側に設けた各圧力計７１，７２
からの指示値と直動アクチュエータ３１〜３６の受圧面
積との積から荷重を求める。そしてコントローラ５は、
求めた押し側荷重と引き側荷重との差から、各直動アク
チュエータ３１〜３６で発生する圧縮あるいは引張り荷
重を検出する。なお、各直動アクチュエータ３１〜３６
と可動板２および固定板１とは、各々球面軸受８を介し
て接続されている。これにより、各直動アクチュエータ
３１〜３６には曲げ荷重を作用させず、引張り荷重およ
び圧縮荷重のみが作用するよう設計されている。Further, in the controller 5, the pressure gauges 71, 72 provided on the pushing side and the pulling side of the pneumatic cylinders, respectively.
The load is obtained from the product of the indicated value from and the pressure receiving area of the linear motion actuators 31 to 36. And the controller 5
The compression or tension load generated in each of the linear motion actuators 31 to 36 is detected from the obtained difference between the push-side load and the pull-side load. In addition, each linear motion actuator 31-36
The movable plate 2 and the fixed plate 1 are connected to each other via a spherical bearing 8. As a result, the linear motion actuators 31 to 36 are designed so that a bending load is not applied, and only a tensile load and a compression load are applied.
【００１５】なお図１では、便宜上、サーボアンプ４、
サーボ弁６、および圧力計７１，７２と直動アクチュエ
ータ３１とに係る接続状態のみが示されているが、他の
各直動アクチュエータ３２〜３６にも図１に示した直動
アクチュエータ３１に係る接続状態と同様、それぞれ図
示しない専属のサーボアンプ、サーボ弁、および圧力計
が接続されている。そして、複数のサーボアンプおよび
圧力計は各々コントローラ５に接続されている。In FIG. 1, for convenience, the servo amplifiers 4,
Only the connection state relating to the servo valve 6 and the pressure gauges 71, 72 and the linear motion actuator 31 is shown, but the other linear motion actuators 32 to 36 also relate to the linear motion actuator 31 shown in FIG. Similar to the connected state, a dedicated servo amplifier, a servo valve, and a pressure gauge, which are not shown, are connected to each other. Then, the plurality of servo amplifiers and the pressure gauge are each connected to the controller 5.
【００１６】本第１の実施の形態では上述したような構
成をなす荷重検出器において、複数の直動アクチュエー
タ３１〜３６の協調動作により可動板２を所定の位置・
姿勢に保持させる。これにより、予め決められた可動板
２上の所定の点に作用する６軸荷重、すなわち直行座標
系の座標軸に沿った並進３軸およびこれら座標軸まわり
の回転３軸の計６軸を、以下に示す方法で検出する。In the load detector having the above-described structure in the first embodiment, the movable plate 2 is moved to a predetermined position by the cooperative operation of the plurality of linear motion actuators 31 to 36.
Hold the posture. As a result, the 6-axis load acting on a predetermined point on the movable plate 2 determined in advance, that is, the 3 translational 3 axes along the coordinate axes of the orthogonal coordinate system and the 3 rotations around these coordinate axes, will be described below. Detect by the method shown.
【００１７】なお、可動板２上の所定の点（荷重検出
点）に作用する荷重（並進荷重およびモーメント荷重）
Ｆout を次式（３）で定義する。 Ｆout ＝｛Ｆx ，Ｆy ，Ｆz ，Ｍx ，Ｍy ，Ｍz ｝T …（３） ここで、Ｆx ，Ｆy ，Ｆz は、それぞれｘ軸，ｙ軸，ｚ
軸方向の並進荷重を表し、Ｍx ，Ｍy ，Ｍz は、それぞ
れｘ軸，ｙ軸，ｚ軸まわりのモーメント荷重を表してい
る。また、添字Ｔは転置を表している。A load (translational load and moment load) acting on a predetermined point (load detection point) on the movable plate 2
Fout is defined by the following equation (3). Fout = {Fx, Fy, Fz, Mx, My, Mz} T (3) where Fx, Fy, and Fz are the x-axis, the y-axis, and the z, respectively.
Axial translational loads are indicated, and Mx, My, and Mz are moment loads about the x-axis, y-axis, and z-axis, respectively. The subscript T represents transposition.
【００１８】また、各直動アクチュエータ３１〜３６で
発生する推力ベクトルＦinp を次式（４）で定義する。 Ｆinp ＝｛Ｆ1 ，Ｆ2 ，Ｆ3 ，Ｆ4 ，Ｆ5 ，Ｆ6 ｝T …（４） ここで、Ｆi （ｉ＝１、２、３、４、５、６）は、６個
のうちｉ番目の直動アクチュエータが発生する推力を表
している。例えば、Ｆi のｘ，ｙ，ｚ各座標軸成分をそ
れぞれＦxi，Ｆyi，Ｆzi、また同様にＭi のｘ，ｙ，ｚ
各座標軸成分をそれぞれＭxi，Ｍyi，Ｍziとすれば、以
下の関係を得ることになる。The thrust vector Finp generated in each of the linear motion actuators 31 to 36 is defined by the following equation (4). Finp = {F1, F2, F3, F4, F5, F6} T (4) where Fi (i = 1, 2, 3, 4, 5, 6) is the i-th linear motion of the six It represents the thrust generated by the actuator. For example, the x, y, and z coordinate axis components of Fi are Fxi, Fyi, and Fzi, respectively, and similarly, the x, y, and z of Mi are the same.
If the respective coordinate axis components are Mxi, Myi, and Mzi, the following relationships will be obtained.
【００１９】[0019]
【数１】 (Equation 1)
【００２０】[0020]
【数２】 (Equation 2)
【００２１】[0021]
【数３】 (Equation 3)
【００２２】[0022]
【数４】 (Equation 4)
【００２３】[0023]
【数５】 (Equation 5)
【００２４】[0024]
【数６】 ここで、Ｆxi，Ｆyi，Ｆziは、各直動アクチュエータ３
１〜３６の可動板２側の取付けピッチ円、各直動アクチ
ュエータ３１〜３６の固定板１側の取付けピッチ円、可
動板２と固定板１との間隔等から求められるパラレルメ
カニズムの幾何学形状により決定される。(Equation 6) Here, Fxi, Fyi, and Fzi are each linear motion actuator 3
1 to 36 mounting pitch circle on the movable plate 2 side, mounting pitch circle on the fixed plate 1 side of each linear motion actuator 31 to 36, geometrical shape of the parallel mechanism obtained from the distance between the movable plate 2 and the fixed plate 1, etc. Determined by
【００２５】前述したような点を考慮し、上記式（５）
〜（１０）を書き換えＦout とＦinp の関係を表すと、
次式（１１）のようになる。 Ｆout ＝ＪＦ×Ｆinp …（１１） 上式（１１）において、ＪＦはＦout とＦinp の関係を
記述した６×６の行列であり、固定板１上に設置される
基準座標系に対する荷重検出点の相対的な位置・姿勢の
関数で表される。ここで、固定板１上に設置される基準
座標系に対する荷重検出点の相対的な位置・姿勢は、一
定の拘束条件の下では直動アクチュエータ３１〜３６の
ストロークにより決まる。そのため上記式（１１）の変
化行列ＪＦは、直動アクチュエータ３１〜３６のストロ
ークの関数になる。Considering the above points, the above equation (5)
Rewriting ~ (10) and expressing the relationship between Fout and Finp,
It becomes like the following formula (11). Fout = JF × Finp (11) In the above equation (11), JF is a 6 × 6 matrix that describes the relationship between Fout and Finp, and is the load detection point for the reference coordinate system installed on the fixed plate 1. It is expressed as a function of relative position and orientation. Here, the relative position / posture of the load detection point with respect to the reference coordinate system installed on the fixed plate 1 is determined by the strokes of the linear motion actuators 31 to 36 under a fixed constraint condition. Therefore, the change matrix JF in the above equation (11) is a function of the stroke of the linear motion actuators 31 to 36.
【００２６】したがって、上記式（１１）において、変
化行列ＪＦと各直動アクチュエータ３１〜３６で発生す
る推力ベクトルＦinp が分かれば、荷重検出点における
６軸荷重が分かる。このためには、変換行列ＪＦが既知
の値になるよう、各直動アクチュエータ３１〜３６のス
トロークを制御でき、かつ各直動アクチュエータ３１〜
３６で発生する推力ベクトルＦinp を検出可能とする必
要がある。これらの問題は、上述したような構成をなす
６軸荷重検出装置により解決できる。Therefore, if the change matrix JF and the thrust vector Finp generated in each of the linear motion actuators 31 to 36 are known in the above equation (11), the 6-axis load at the load detection point can be known. For this purpose, the strokes of the linear motion actuators 31 to 36 can be controlled so that the conversion matrix JF has a known value, and the linear motion actuators 31 to 36 can be controlled.
It is necessary to be able to detect the thrust vector Finp generated at 36. These problems can be solved by the 6-axis load detection device having the above-mentioned configuration.
【００２７】上記６軸荷重検出装置において計測中に
は、可動板２が固定板１に対して一定の位置・姿勢を保
持するよう各空圧シリンダのストロークをフィードバッ
ク制御し、各直動アクチュエータ３１〜３６に作用する
荷重をコントローラ５が上述した圧力計７１，７２の指
示値から求める。そして上記式（１１）からグリッパ１
０１に作用する６軸荷重を検出することになる。During measurement in the above-mentioned 6-axis load detection device, the stroke of each pneumatic cylinder is feedback-controlled so that the movable plate 2 maintains a fixed position / posture with respect to the fixed plate 1, and each linear motion actuator 31. The controller 5 obtains the loads acting on .about.36 from the indicated values of the pressure gauges 71 and 72 described above. And from the above formula (11), the gripper 1
The six-axis load acting on 01 will be detected.
【００２８】（第２の実施の形態）図２は、本発明の第
２の実施の形態に係る６軸荷重検出装置の構成を示す図
であり、この６軸荷重検出装置は工作機械の荷重検出器
に適用されている。なお、図２において図１と同一な部
分には同一符号を付してある。(Second Embodiment) FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a 6-axis load detecting device according to a second embodiment of the present invention. This 6-axis load detecting device is a load of a machine tool. It is applied to detectors. In FIG. 2, the same parts as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals.
【００２９】図２において２００は当該工作機械のバイ
ト台であり、このバイト台２００に当該６軸荷重検出装
置の固定板１が設置されている。さらに固定板１に対向
する可動板２側の既知の位置に当該工作機械のチャック
２０１を介してバイト２０２が設置されている。そし
て、バイト２０２がワーク（被加工物）２０３から受け
る６軸荷重を当該荷重検出器で検出するようにしてい
る。In FIG. 2, reference numeral 200 denotes a bite stand of the machine tool, and the fixing plate 1 of the 6-axis load detecting device is installed on the bite stand 200. Further, a cutting tool 202 is installed at a known position on the movable plate 2 side facing the fixed plate 1 via a chuck 201 of the machine tool. Then, the six-axis load received by the cutting tool 202 from the work (workpiece) 203 is detected by the load detector.
【００３０】また、３１〜３６は各々直動アクチュエー
タであり、これら直動アクチュエータ３１〜３６には空
圧シリンダが使用されている。なお、各直動アクチュエ
ータ３１〜３６には、ストロークを検出する変位計が内
蔵されている。これら変位計には磁歪式ストロークセン
サが使用されている。そして前記各変位計により各直動
アクチュエータ３１〜３６のストロークが検出される。Further, 31 to 36 are linear actuators, and pneumatic cylinders are used for these linear actuators 31 to 36. Each linear actuator 31-36 has a built-in displacement gauge that detects a stroke. Magnetostrictive stroke sensors are used for these displacement gauges. Then, the strokes of the linear motion actuators 31 to 36 are detected by the displacement meters.
【００３１】前記変位計からの出力は、サーボアンプ４
に帰還信号Ｓ１としてフィードバックされる。一方サー
ボアンプ４には、コントローラ５からのストローク指令
値が指令値Ｓ２として入力される。この指令値Ｓ２と帰
還信号Ｓ１との偏差に基づきサーボ弁６のスプール開度
を制御することで、前記空圧シリンダのストロークが所
要の値に制御される。The output from the displacement meter is the servo amplifier 4
Is fed back as a feedback signal S1. On the other hand, the stroke command value from the controller 5 is input to the servo amplifier 4 as a command value S2. By controlling the spool opening of the servo valve 6 based on the deviation between the command value S2 and the feedback signal S1, the stroke of the pneumatic cylinder is controlled to a required value.
【００３２】また、本第２の実施の形態では、前記各空
圧シリンダのピストンロッドの先端に荷重計９が設置さ
れており、この荷重計９により、各直動アクチュエータ
３１〜３６に作用する圧縮あるいは引張り荷重を検出す
る。In the second embodiment, a load meter 9 is installed at the tip of the piston rod of each of the pneumatic cylinders, and the load meter 9 acts on each of the linear actuators 31 to 36. Detects compressive or tensile load.
【００３３】なお、第１の実施の形態同様、直動アクチ
ュエータ３１〜３６と可動板２および固定板１とは、各
々球面軸受８を介して接続されており、各直動アクチュ
エータ３１〜３６には曲げ荷重を作用させず、引張り荷
重および圧縮荷重のみが作用するよう設計されている。As in the first embodiment, the linear motion actuators 31 to 36 are connected to the movable plate 2 and the fixed plate 1 via spherical bearings 8, and the linear motion actuators 31 to 36 are connected to the linear motion actuators 31 to 36, respectively. Is designed to have no bending load and only tensile and compression loads.
【００３４】なお図２では、便宜上、サーボアンプ４お
よびサーボ弁６と直動アクチュエータ３１とに係る接続
状態のみが示されているが、他の各直動アクチュエータ
３２〜３６にも図２に示した直動アクチュエータ３１に
係る接続状態と同様、それぞれ図示しない専属のサーボ
アンプおよびサーボ弁が接続されている。そして、複数
のサーボアンプは各々コントローラ５に接続されてい
る。Note that, in FIG. 2, for convenience, only the connection state relating to the servo amplifier 4 and the servo valve 6 and the linear actuator 31 is shown, but the other linear actuators 32 to 36 are also shown in FIG. Similarly to the connected state related to the linear motion actuator 31, a dedicated servo amplifier and servo valve (not shown) are connected. The plurality of servo amplifiers are connected to the controller 5, respectively.
【００３５】上記６軸荷重検出装置において計測中に
は、可動板２が固定板１に対して一定の位置・姿勢を保
持するよう各シリンダのストロークをフィードバック制
御し、各直動アクチュエータ３１〜３６に作用する荷重
を求める。そしてその荷重と上記式（１１）とから、バ
イト２０２がワーク２０３から受ける６軸荷重を検出す
ることになる。During measurement in the 6-axis load detector, the stroke of each cylinder is feedback-controlled so that the movable plate 2 maintains a fixed position and posture with respect to the fixed plate 1, and each linear motion actuator 31-36. Find the load acting on. Then, the 6-axis load received by the cutting tool 202 from the work 203 is detected from the load and the above equation (11).
【００３６】（第３の実施の形態）図３は、本発明の第
３の実施の形態に係る６軸荷重検出装置の構成を示す図
であり、この６軸荷重検出装置は重量物の重量測定器に
適用されている。なお、図３において図１および図２と
同一な部分には同一符号を付してある。(Third Embodiment) FIG. 3 is a diagram showing the structure of a 6-axis load detecting device according to a third embodiment of the present invention. It is applied to measuring instruments. In FIG. 3, the same parts as those in FIGS. 1 and 2 are designated by the same reference numerals.
【００３７】本第３の実施の形態では、各直動アクチュ
エータ３１〜３６に発生力の大きな油圧シリンダを使用
していることを除けば、基本的な構成、６軸荷重の検出
原理は上記第１の実施の形態と同様である。In the third embodiment, the basic construction and the principle of detecting a 6-axis load are the same as those described above except that hydraulic cylinders having a large generated force are used for the linear motion actuators 31 to 36. This is similar to the first embodiment.
【００３８】すなわち、各直動アクチュエータ３１〜３
６のストロークを磁歪式ストロークセンサで検出し、こ
れをサーボアンプ４へフィードバックして、サーボ弁６
のスプール開度を制御する。これにより、固定板１に対
して可動板２が常に平行になるように各直動アクチュエ
ータ３１〜３６のストロークを制御する。そしてコント
ローラ５は、このときに各直動アクチュエータ３１〜３
６に作用する引張り、圧縮荷重を圧力計７１，７２の指
示値と直動アクチュエータ（油圧シリンダー）３１〜３
６の受圧面積との積から検出し、式（１１）から６軸荷
重を求める。That is, each of the linear motion actuators 31 to 3
The stroke of 6 is detected by the magnetostrictive stroke sensor, and this is fed back to the servo amplifier 4, and the servo valve 6
To control the spool opening. As a result, the strokes of the linear motion actuators 31 to 36 are controlled so that the movable plate 2 is always parallel to the fixed plate 1. At this time, the controller 5 causes each of the linear actuators 31 to 3 to move.
The tensile and compressive loads acting on 6 are indicated by the pressure gauges 71 and 72 and the linear actuators (hydraulic cylinders) 31 to 3
It is detected from the product of the pressure receiving area of 6 and the 6-axis load is obtained from the equation (11).
【００３９】なお、式（１１）から求められる６軸荷重
のうち、可動板２に載置されている非測定物３００の重
力方向（ｚ軸とする）の荷重に着目すれば、ｘｙ平面す
なわち水平面上における重心Ｇの座標｛ｘG ，ｙG ｝は
次式（１２）、（１３）により求められる。Of the 6-axis loads obtained from the equation (11), focusing on the load of the non-measuring object 300 placed on the movable plate 2 in the direction of gravity (z axis), the xy plane, that is, The coordinates {xG, yG} of the center of gravity G on the horizontal plane are obtained by the following equations (12) and (13).
【００４０】[0040]
【数７】 (Equation 7)
【００４１】[0041]
【数８】 (Equation 8)
【００４２】ここで、｛ｘi ，ｙi ｝（ｉ＝１、２、
３、４、５、６）は、各直動アクチュエータ３１〜３６
と可動板２との幾何学上の接点の座標（基準座標表記）
を表す。なお、上記では説明を簡単にするため、可動板
２を固定板１に対し水平に保った状態を仮定した。以上
により本第３の実施の形態では、重量物に作用する６軸
荷重だけでなく、その重心の座標も割り出すことが可能
になる。Here, {xi, yi} (i = 1, 2,
3, 4, 5, 6) are linear motion actuators 31 to 36.
Coordinates of the geometrical contact point between the and movable plate 2 (reference coordinate notation)
Represents In the above description, in order to simplify the explanation, it is assumed that the movable plate 2 is kept horizontal with respect to the fixed plate 1. As described above, in the third embodiment, not only the 6-axis load acting on the heavy object but also the coordinates of the center of gravity thereof can be determined.
【００４３】（第４の実施の形態）図４は、本発明の第
４の実施の形態に係る６軸荷重検出装置の構成を示す図
であり、この６軸荷重検出装置は玉掛け作業支援用の重
心位置指示器に適用されている。なお、図４において図
１〜図３と同一な部分には同一符号を付してある。(Fourth Embodiment) FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a 6-axis load detecting device according to a fourth embodiment of the present invention. This 6-axis load detecting device is for supporting slinging work. Is applied to the center of gravity position indicator of. In FIG. 4, the same parts as those in FIGS. 1 to 3 are designated by the same reference numerals.
【００４４】本第４の実施の形態では、固定板１は図示
しない巻き上げ機に、該巻き上げ機から吊り下げられた
ワイヤ４０１およびワイヤ結合部４０２を介して強固に
結合されている。なお、可動板２には円状の穴が開けら
れており、ワイヤ結合部４０２は可動板２に接触するこ
となく前記穴を貫通している。また可動板２は、柱４０
５，４０６を介して下部指示板４０３と強固に結合され
ており、さらに下部指示板４０３は図示しない吊り荷を
吊り下げるフック４０４と強固に結合されている。な
お、矢印Ａは重力の作用方向を表している。In the fourth embodiment, the fixed plate 1 is firmly connected to a hoisting machine (not shown) via a wire 401 and a wire connecting portion 402 suspended from the hoisting machine. It should be noted that the movable plate 2 is provided with a circular hole, and the wire connecting portion 402 penetrates the hole without contacting the movable plate 2. In addition, the movable plate 2 is a pillar 40.
The lower indicator plate 403 is firmly coupled via 5, 406, and the lower indicator plate 403 is further firmly coupled to a hook 404 for suspending a suspended load (not shown). The arrow A indicates the direction of gravity.
【００４５】ここで、固定板１はその表面１１がワイヤ
４０１の中心線に対して垂直になるよう取り付けられて
いる。そして、可動板２が固定板１に対して常に平行に
なるよう、各直動アクチュエータ３１〜３６のストロー
クを上記第３の実施の形態の場合と同様に制御する。こ
のとき、各直動アクチュエータ３１〜３６に発生する引
張り、圧縮荷重を各直動アクチュエータ３１〜３６の先
端に設置されている荷重計９で検出する。Here, the fixed plate 1 is attached so that its surface 11 is perpendicular to the center line of the wire 401. Then, the strokes of the linear motion actuators 31 to 36 are controlled in the same manner as in the case of the third embodiment so that the movable plate 2 is always parallel to the fixed plate 1. At this time, the tensile and compressive loads generated in the linear motion actuators 31 to 36 are detected by the load meter 9 installed at the tips of the linear motion actuators 31 to 36.
【００４６】また一方で、前記吊り荷の重心の座標を、
上記式（１１）〜（１３）に基づきコントローラ５で計
算する。その計算結果すなわち前記吊り荷の重心の座標
は重心位置指示器１０に表示され、作業者に伝達され
る。これにより作業者は、指示器１０に表示された指示
を参考にしながら、前記吊り荷の重心位置の真上に玉掛
けの中心が来るよう玉掛け作業を行なうことができる。On the other hand, the coordinates of the center of gravity of the suspended load are
The controller 5 calculates based on the above equations (11) to (13). The calculation result, that is, the coordinates of the center of gravity of the suspended load is displayed on the center-of-gravity position indicator 10 and transmitted to the operator. Thereby, the operator can perform the slinging work while referring to the instruction displayed on the indicator 10 so that the center of the sling is located right above the center of gravity of the suspended load.
【００４７】なお、本発明は上記各実施の形態に限定さ
れず、要旨を変更しない範囲で適宜変形して実施でき
る。 （変形例） (1) 上記各実施の形態においてアクチュエータユニット
に使用する直動アクチュエータは、荷重の大きさや使用
環境等に応じて、油圧シリンダ、空圧シリンダ、水圧シ
リンダ、電動モータ等を自由に選択し適用できる。ま
た、直動アクチュエータは、前記電動モータとボールネ
ジとの直結、あるいは減速機を介した前記電動モータと
ボールネジとの結合など構成を適切に選択できる。 (2) アクチュエータで発生する圧縮または引張り荷重を
検出する手段には、荷重計に限らず歪ゲージ等も適用で
きる。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and can be carried out by appropriately modifying it without departing from the scope of the invention. (Modifications) (1) In the linear actuators used in the actuator units in the above-described embodiments, hydraulic cylinders, pneumatic cylinders, hydraulic cylinders, electric motors, etc. can be freely selected according to the size of the load and the operating environment. Can be selected and applied. Further, the direct-acting actuator can appropriately select a configuration such as direct connection between the electric motor and the ball screw or connection between the electric motor and the ball screw via a speed reducer. (2) Not only a load meter but also a strain gauge can be applied to the means for detecting the compressive or tensile load generated by the actuator.
【００４８】（実施の形態のまとめ）上記各実施の形態
では、コントローラ５が固定板１に対する可動板２の位
置・姿勢を所定値に保つため、各直動アクチュエータ３
１〜３６の所要ストロークを計算し、各サーボアンプ４
に出力している。その一方、各アクチュエータユニット
には、直動アクチュエータ３１〜３６のストロークを検
出する変位計が備えられており、コントローラ５からの
ストローク指令信号Ｓ２をサーボアンプ４への指令値と
するとともに、前記変位計からの変位信号をサーボアン
プ４への帰還信号Ｓ１としたフィードバックループを構
成することで、６本の直動アクチュエータ３１〜３６の
ストロークを所定の値に制御することを可能としてい
る。(Summary of Embodiments) In each of the above-described embodiments, since the controller 5 maintains the position / posture of the movable plate 2 with respect to the fixed plate 1 at a predetermined value, each linear actuator 3
Calculate the required stroke of 1 to 36,
Is output to. On the other hand, each actuator unit is equipped with a displacement gauge for detecting the stroke of the linear motion actuators 31 to 36, and the stroke command signal S2 from the controller 5 is used as a command value to the servo amplifier 4 and the displacement is performed. By configuring a feedback loop in which the displacement signal from the meter is used as the feedback signal S1 to the servo amplifier 4, it is possible to control the strokes of the six linear motion actuators 31 to 36 to a predetermined value.
【００４９】また、直動アクチュエータ３１〜３６で発
生する圧縮、引張り荷重を検出するため、各アクチュエ
ータユニットには荷重計９が備えられており、これによ
り各直動アクチュエータ３１〜３６における推力が検出
可能になる。このような本発明の構成要素による作用に
より、荷重検出点における６軸荷重の検出が可能にな
る。Further, in order to detect the compressive and tensile loads generated in the linear motion actuators 31 to 36, each actuator unit is equipped with a load meter 9, which detects the thrust in each linear motion actuator 31 to 36. It will be possible. Due to the operation of the constituent elements of the present invention as described above, it is possible to detect a 6-axis load at a load detection point.
【００５０】また、固定板１に対する可動板２の位置・
姿勢を常に一定に保つため、作用する荷重が直動アクチ
ュエータ３１〜３６の推力以下の値である限り、上記式
（１１）の関係が常に成立する。したがって、作用する
荷重が大きくなっても検出誤差が増加することはない。The position of the movable plate 2 with respect to the fixed plate 1
Since the posture is always kept constant, the relation of the above formula (11) is always established as long as the applied load has a value equal to or less than the thrust of the linear motion actuators 31 to 36. Therefore, the detection error does not increase even if the applied load increases.
【００５１】[0051]
【発明の効果】本発明によれば、６軸荷重を正確かつ広
範囲に亘って検出できる６軸荷重検出装置を提供でき
る。According to the present invention, it is possible to provide a 6-axis load detecting device capable of accurately detecting a 6-axis load over a wide range.
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る６軸荷重検出
装置の構成を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a 6-axis load detection device according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る６軸荷重検出
装置の構成を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a 6-axis load detection device according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３の実施の形態に係る６軸荷重検出
装置の構成を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of a 6-axis load detection device according to a third embodiment of the present invention.
【図４】本発明の第４の実施の形態に係る６軸荷重検出
装置の構成を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a configuration of a 6-axis load detection device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図５】従来の６軸荷重検出器の一例を示す図。FIG. 5 is a diagram showing an example of a conventional 6-axis load detector.
１…固定板 ２…可動板 ３１〜３６…直動アクチュエータ ４…サーボアンプ ５…コントローラ ６…サーボ弁 ７１…圧力計 ７２…圧力計 ８…球面軸受 ９…荷重計 １０…重心位置指示器 １００…アームの先端部 １０１…グリッパ ２００…バイト台 ２０１…チャック ２０２…バイト ２０３…ワーク ３００…非測定物 ４０１…ワイヤ ４０２…ワイヤ結合部 ４０３…下部指示板 ４０４…フック ４０５…柱 ４０６…柱 Ｓ１…帰還信号 Ｓ２…指令値 ５０１…平行平板ＰＦx ５０２…平行平板ＰＦy ５０３…平行平板ＰＦｚ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Fixed plate 2 ... Movable plate 31-36 ... Linear actuator 4 ... Servo amplifier 5 ... Controller 6 ... Servo valve 71 ... Pressure gauge 72 ... Pressure gauge 8 ... Spherical bearing 9 ... Load gauge 10 ... Center of gravity position indicator 100 ... Tip of arm 101 ... Gripper 200 ... Tool holder 201 ... Chuck 202 ... Tool 203 ... Workpiece 300 ... Non-measuring object 401 ... Wire 402 ... Wire connecting part 403 ... Lower indicator plate 404 ... Hook 405 ... Pillar 406 ... Pillar S1 ... Return Signal S2 ... Command value 501 ... Parallel plate PFx 502 ... Parallel plate PFy 503 ... Parallel plate PFz
Claims (2)
可動板の位置・姿勢を制御する６軸荷重検出装置であ
り、 前記各アクチュエータの一端に結合される固定板と、 前記各アクチュエータの他端に結合され、前記固定板に
対して６自由度の位置・姿勢の変化が可能なように取付
けられた可動板と、 前記各アクチュエータのストロークを検出する複数の変
位検出手段と、 前記固定板に対する前記可動板の位置・姿勢を所定の状
態に保つため、前記各変位検出手段で検出されたストロ
ークに基づき前記各アクチュエータのストロークを制御
する制御手段と、 を具備したことを特徴とする６軸荷重検出装置。1. A six-axis load detection device for controlling the position and orientation of a predetermined movable plate by cooperation of a plurality of actuators, wherein a fixed plate coupled to one end of each actuator and the other end of each actuator. A movable plate attached to the fixed plate so that the position / posture can be changed in 6 degrees of freedom with respect to the fixed plate; a plurality of displacement detection means for detecting strokes of the actuators; In order to maintain the position / orientation of the movable plate in a predetermined state, control means for controlling the stroke of each actuator based on the stroke detected by each displacement detection means, and a six-axis load. Detection device.
または引張り荷重を検出する複数の荷重検出手段を備え
たことを特徴とする請求項１に記載の６軸荷重検出装
置。2. The six-axis load detecting device according to claim 1, further comprising a plurality of load detecting means for detecting a compressive load or a tensile load generated in each actuator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7291103A JPH09131690A (en) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 6-shaft load detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7291103A JPH09131690A (en) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 6-shaft load detector |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09131690A true JPH09131690A (en) | 1997-05-20 |
Family
ID=17764495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7291103A Withdrawn JPH09131690A (en) | 1995-11-09 | 1995-11-09 | 6-shaft load detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09131690A (en) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002512893A (en) * | 1998-04-27 | 2002-05-08 | コンストラクションズ メカニックス デ ヴォージュ ソシエテ アノニム | Hexapod pod compensation system |
| WO2010079660A1 (en) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 有限会社レプトリノ | Force sensor |
| CN102183331A (en) * | 2010-11-18 | 2011-09-14 | 东南大学 | Six-dimensional force sensor |
| CN102384341A (en) * | 2010-08-31 | 2012-03-21 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | Six-freedom degree motion platform |
| JP2014196924A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, component processing device, and moving body |
| JP2015087289A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | Sensor element, force detection device, robot, electronic component conveyance device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015087285A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component conveyance device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015087281A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component conveyance device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015166706A (en) * | 2014-03-04 | 2015-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015169545A (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device |
| WO2016098633A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | Ntn株式会社 | Link actuation device |
| US9696231B2 (en) | 2013-12-20 | 2017-07-04 | Fanuc Corporation | Machine tool having numeric control device |
| CN107775627A (en) * | 2017-10-31 | 2018-03-09 | 嘉兴复尔机器人有限公司 | A kind of six-degree-of-freedom parallel robot |
| JP2020006509A (en) * | 2019-10-08 | 2020-01-16 | Ntn株式会社 | Link operation device |
| KR102354643B1 (en) * | 2020-11-17 | 2022-01-24 | 경남대학교 산학협력단 | 6-axis hollow compliance device with force/moment sensing capability |
-
1995
- 1995-11-09 JP JP7291103A patent/JPH09131690A/en not_active Withdrawn
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002512893A (en) * | 1998-04-27 | 2002-05-08 | コンストラクションズ メカニックス デ ヴォージュ ソシエテ アノニム | Hexapod pod compensation system |
| JP4742377B2 (en) * | 1998-04-27 | 2011-08-10 | コンストラクションズ メカニックス デ ヴォージュ ソシエテ アノニム | Hexapod pod compensation system |
| WO2010079660A1 (en) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 有限会社レプトリノ | Force sensor |
| JP4519941B1 (en) * | 2009-01-06 | 2010-08-04 | 有限会社レプトリノ | Sensor |
| JP2010190883A (en) * | 2009-01-06 | 2010-09-02 | Leptrino Co Ltd | Sensor |
| CN102384341A (en) * | 2010-08-31 | 2012-03-21 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | Six-freedom degree motion platform |
| CN102183331A (en) * | 2010-11-18 | 2011-09-14 | 东南大学 | Six-dimensional force sensor |
| JP2014196924A (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, component processing device, and moving body |
| JP2015087289A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | Sensor element, force detection device, robot, electronic component conveyance device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015087285A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component conveyance device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015087281A (en) * | 2013-10-31 | 2015-05-07 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component conveyance device, electronic component inspection device, and component processing device |
| US9696231B2 (en) | 2013-12-20 | 2017-07-04 | Fanuc Corporation | Machine tool having numeric control device |
| JP2015166706A (en) * | 2014-03-04 | 2015-09-24 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device |
| JP2015169545A (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-28 | セイコーエプソン株式会社 | Force detection device, robot, electronic component transport device, electronic component inspection device, and component processing device |
| WO2016098633A1 (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | Ntn株式会社 | Link actuation device |
| JP2016112638A (en) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | Ntn株式会社 | Link operation device |
| CN107775627A (en) * | 2017-10-31 | 2018-03-09 | 嘉兴复尔机器人有限公司 | A kind of six-degree-of-freedom parallel robot |
| JP2020006509A (en) * | 2019-10-08 | 2020-01-16 | Ntn株式会社 | Link operation device |
| KR102354643B1 (en) * | 2020-11-17 | 2022-01-24 | 경남대학교 산학협력단 | 6-axis hollow compliance device with force/moment sensing capability |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7445260B2 (en) | Gripping type hand | |
| JPH09131690A (en) | 6-shaft load detector | |
| CA1330363C (en) | Robot system | |
| JP3473834B2 (en) | Robot control device | |
| JP5366018B2 (en) | Robot teaching procedure calibration apparatus and method | |
| US7040033B2 (en) | Six degrees of freedom precision measuring system | |
| US4595334A (en) | Robotic apparatus with improved positioning accuracy | |
| JP2015202534A (en) | Robot control device and robot system for robot moved according to input power | |
| KR101876676B1 (en) | 6-axis compliance device with force/torque sensing capability | |
| CN110497385A (en) | The device and method of accurate measurement six-degree-of-freedom parallel connection mechanism moving platform pose | |
| Mitsuishi et al. | Development of tele-operated micro-handling/machining system based on information transformation | |
| Garnier et al. | A metrological device for robot identification | |
| JP3073433B2 (en) | 6-axis load device | |
| KR102279329B1 (en) | Robot teaching system | |
| JPH06143171A (en) | Robot | |
| JP3007440B2 (en) | Offline teaching device for robots | |
| JP2810146B2 (en) | Loading test equipment | |
| Meggiolaro et al. | Achieving fine absolute positioning accuracy in large powerful manipulators | |
| Sharifnia et al. | Approximate analytical solution for vibration of a 3-PRP planar parallel robot with flexible moving platform | |
| KR101501529B1 (en) | Apparatus and method for sensing end-effector | |
| Choi et al. | Using a compliant wrist for a teleoperated robot | |
| Singh et al. | An experimental approach to improving the joint stiffness of industrial robots through dexterous posture identification | |
| Wang et al. | Static Calibration Structure Design of 6D Force Sensor | |
| JP7207886B2 (en) | Sensor, sensor control method, robot hand, robot hand control method, robot device, article control method using robot device, structure, control program, and recording medium | |
| JPH0762613B2 (en) | Object shape detection method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |