JPH0862401A - Manufacture of optical member having antireflective property - Google Patents
Manufacture of optical member having antireflective propertyInfo
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- JPH0862401A JPH0862401A JP6199571A JP19957194A JPH0862401A JP H0862401 A JPH0862401 A JP H0862401A JP 6199571 A JP6199571 A JP 6199571A JP 19957194 A JP19957194 A JP 19957194A JP H0862401 A JPH0862401 A JP H0862401A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、反射防止性を有する光
学部材の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing an optical member having antireflection property.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より光学基材上に反射防止膜を施す
ことはよく知られている。その例として、特公平４−９
２８１号公報には、酸化アンチモンなどの微粒子状金属
酸化物と有機材料とを含む液状組成物を高屈折率層の形
成材料に、そして有機ケイ素化合物を含む液状材料を低
屈折率層の形成材料にして、これらの形成材料をプラス
チック基材上に順次塗布硬化して反射防止膜を形成する
方法が開示されている。2. Description of the Related Art It has been well known that an antireflection film is formed on an optical substrate. As an example, Japanese Patent Publication No. 4-9
No. 281 discloses a liquid composition containing a particulate metal oxide such as antimony oxide and an organic material as a material for forming a high refractive index layer, and a liquid material containing an organic silicon compound as a material for forming a low refractive index layer. Then, a method of sequentially coating and curing these forming materials on a plastic substrate to form an antireflection film is disclosed.
【０００３】また特公平６−５３２４号公報には、Ｔｉ
Ｏ2 、ＳｉＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 などの金属酸化
物を用いて物理蒸着（ＰＶＤ）法によりプラスチック基
材上に単層または多層の反射防止膜を形成する方法が開
示されている。In Japanese Patent Publication No. 6-5324, Ti is
A method for forming a single-layer or multi-layer antireflection film on a plastic substrate by a physical vapor deposition (PVD) method using a metal oxide such as O 2 , SiO 2 , Al 2 O 3 , and ZrO 2 is disclosed. .
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特公平４
−９２８１号公報に開示されている反射防止膜の形成方
法では、最表層の低屈折率層が有機ケイ素化合物からな
るため耐擦傷性の向上には限界があった。またこの方法
は、高屈折率層用および低屈折率層用の液状のコーティ
ング組成物を予め調製する必要があり、これに通常２〜
３日要し、またコーティグ組成物の塗布硬化に通常２〜
３時間要するので、生産性に著しく劣るという欠点があ
る。また調製した液状のコーティング組成物は、低温で
保存しても経時的に劣化し、例えば調製後２ケ月経過し
たコーティング組成物を用いて形成された反射防止膜
は、調製直後のコーティング組成物を用いて形成された
反射防止膜に比べ、反射防止性、耐擦傷性、膜厚の均一
性において一段と劣るという欠点がある。[Problems to be Solved by the Invention] However, Japanese Patent Publication No. 4
In the method of forming an antireflection film disclosed in Japanese Patent No. 9281, there is a limit in improving scratch resistance because the outermost low refractive index layer is made of an organic silicon compound. In addition, this method requires that liquid coating compositions for the high refractive index layer and the low refractive index layer be prepared in advance, and usually 2 to
It takes 3 days, and usually 2 to 2 times for coating and curing the coating composition.
Since it takes 3 hours, there is a drawback that the productivity is extremely poor. The prepared liquid coating composition deteriorates with time even when stored at a low temperature. For example, an antireflection film formed using the coating composition two months after the preparation has a coating composition immediately after preparation. Compared with the antireflection film formed by using it, there is a drawback that it is further inferior in antireflection property, scratch resistance and film thickness uniformity.
【０００５】また特公平６−５３２４号公報に開示され
た反射防止膜の形成方法は、プラスチック基材と反射防
止膜との密着性、耐熱性が十分でないという欠点があ
る。The method of forming an antireflection film disclosed in Japanese Patent Publication No. 6-5324 has a drawback that the adhesion and heat resistance between the plastic substrate and the antireflection film are not sufficient.
【０００６】本発明は上述した課題を解決するためにな
されたもので、その目的は耐擦傷性、密着性および耐熱
性に優れた反射防止膜を有する光学部材を生産性良く製
造する方法を提供することにある。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a method for producing an optical member having an antireflection film excellent in scratch resistance, adhesion and heat resistance with high productivity. To do.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するためになされたものであり、有機金属化合物の種
類および／または有機金属化合物に対する酸素ガスの相
対的供給量を変化させるプラズマ重合法により、光学基
材上に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からな
る反射防止膜を形成する工程を含むことを特徴とする反
射防止性を有する光学部材の製造方法を要旨とする。The present invention has been made in order to achieve the above-mentioned object, and is a plasma plasma which changes the kind of the organometallic compound and / or the relative supply amount of oxygen gas to the organometallic compound. A method for producing an optical member having an antireflection property, which comprises a step of forming an antireflection film composed of an alternating laminated body of a high refractive index layer and a low refractive index layer on an optical substrate by a legal method. Use as a summary.
【０００８】以下本発明を詳説する。本発明の方法にお
いて反射防止膜が形成される光学基材としては、メチル
メタクリレート単独重合体、メチルメタクリレートと１
種以上の他のモノマーとの共重合体、ジエチレングリコ
ールビスアリルカーボネート単独重合体、ジエチレング
リコールビスアリルカーボネートと１種以上の他のモノ
マーとの共重合体、イオウ含有重合体、ハロゲン含有共
重合体、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリ塩化ビ
ニル、不飽和ポリエステル、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリウレタンなどのプラスチック製光学基材、ある
いは無機ガラス製光学基板などが挙げられる。The present invention will be described in detail below. The optical substrate on which the antireflection film is formed in the method of the present invention includes methyl methacrylate homopolymer, methyl methacrylate and 1
Copolymers with one or more other monomers, diethylene glycol bisallyl carbonate homopolymers, copolymers of diethylene glycol bisallyl carbonate with one or more other monomers, sulfur-containing polymers, halogen-containing copolymers, polycarbonates , Polystyrene, polyvinyl chloride, unsaturated polyester, polyethylene terephthalate, polyurethane and other plastic optical substrates, or inorganic glass optical substrates.
【０００９】本発明の方法において用いられる光学基材
は、上記プラスチック製または無機ガラス製の光学基板
上にハードコート層またはプライマー層とハードコート
層を設けた状態の光学基材も包含される。The optical substrate used in the method of the present invention also includes an optical substrate in which a hard coat layer or a primer layer and a hard coat layer are provided on the above plastic or inorganic glass optical substrate.
【００１０】本発明の方法によれば、上記光学基材上
に、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からなる反
射防止膜を形成するが、この反射防止膜の形成は、有機
金属化合物の種類および／または有機金属化合物に対す
る酸素ガスの相対的供給量を変化させるプラズマ重合法
により行なわれる。According to the method of the present invention, an antireflection film composed of an alternating laminated body of a high refractive index layer and a low refractive index layer is formed on the above-mentioned optical substrate. It is carried out by a plasma polymerization method in which the kind of the organometallic compound and / or the relative supply amount of oxygen gas to the organometallic compound is changed.
【００１１】このプラズマ重合法に用いられる有機金属
化合物としては、テトラメチルジシロキサン、メチルト
リメトキシシラン、テトラメトキシシラン、ジメチルジ
メトキシシラン、ジメチルジビニルシラン、ヘキサメチ
ルジシロキサン、ヘキサメチルシラザン、メチルトリエ
トキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、トリメチ
ルビニルシラン、ジメチルジエトキシシラン、テトラエ
トキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジエトキ
シジフェニルシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ト
リメチルメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、
テトラメチルシラン、メチルトリエトキシシラン、トリ
イソプロポキシビニルシラン、アリロキシトリメチルシ
ラン、アリルトリメチルシラン、アリルトリメトキシシ
ラン、アリルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロ
テトラシロキサン、フェニルシラン、フェニルトリエト
キシシラン、フェニルトリメチルシラン、アニリノトリ
メチルシラン、ヘキサエチルジシロキサン、アリルジメ
チルシラン、エトキシジメチルビニルシラン、メトキシ
ジメチルビニルシラン、テトラビニルシラン、トリアセ
トキシビニルシラン、テトラビニルシラン、トリメチル
シリルイソシアネート、ジブトキシジアセトキシシラ
ン、フェニルトリビニルシラン、Ｎ−メチル−Ｎ−トリ
メチルシリアアセトアミドなどの有機ケイ素化合物や、
アルミニウムトリ−Ｓ−ブトキシド、テトラエチルオル
ソチタネート、テトラ−ｎ−プロピルオルソチタネー
ト、チタニウムテトライソプロプキシド、チタニウムテ
トラ−ｎ−ブトキシド、ジルコニウム−ｔ−ブトキシ
ド、テトラキス（トリメチルシロキシ）チタニウム、ジ
ルコニウム２−メチル−２−ブトキシドなどの他の有機
金属化合物が挙げられる。Organometallic compounds used in this plasma polymerization method include tetramethyldisiloxane, methyltrimethoxysilane, tetramethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldivinylsilane, hexamethyldisiloxane, hexamethylsilazane and methyltriethoxy. Silane, methyltripropoxysilane, trimethylvinylsilane, dimethyldiethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, diethoxydiphenylsilane, diphenyldimethoxysilane, trimethylmethoxysilane, vinyltriethoxysilane,
Tetramethylsilane, methyltriethoxysilane, triisopropoxyvinylsilane, allyloxytrimethylsilane, allyltrimethylsilane, allyltrimethoxysilane, allyltriethoxysilane, octamethylcyclotetrasiloxane, phenylsilane, phenyltriethoxysilane, phenyltrimethylsilane , Anilinotrimethylsilane, hexaethyldisiloxane, allyldimethylsilane, ethoxydimethylvinylsilane, methoxydimethylvinylsilane, tetravinylsilane, triacetoxyvinylsilane, tetravinylsilane, trimethylsilylisocyanate, dibutoxydiacetoxysilane, phenyltrivinylsilane, N-methyl- Organosilicon compounds such as N-trimethylsyriacetamide,
Aluminum tri-S-butoxide, tetraethyl orthotitanate, tetra-n-propyl orthotitanate, titanium tetraisopropoxide, titanium tetra-n-butoxide, zirconium-t-butoxide, tetrakis (trimethylsiloxy) titanium, zirconium 2-methyl-. Other organometallic compounds such as 2-butoxide may be mentioned.
【００１２】これらの有機金属化合物は、プラズマ重合
法により成膜したときに固有の屈折率を与える。従っ
て、反射防止膜を構成する高屈折率層の形成には、高屈
折率を付与する有機金属化合物が選択され、低屈折率層
の形成には、低屈折率を与える有機金属化合物が選択さ
れる。These organometallic compounds give a unique refractive index when formed into a film by the plasma polymerization method. Therefore, an organometallic compound that gives a high refractive index is selected for forming the high refractive index layer that constitutes the antireflection film, and an organometallic compound that gives a low refractive index is selected for forming the low refractive index layer. It
【００１３】高屈折率層形成用材料および低屈折率層形
成用材料は有機金属化合物の混合物でも良く、この場
合、混合物を構成する各有機金属化合物の屈折率および
混合比によって形成された膜の屈折率が決定される。有
機金属化合物の混合物を用いることによって膜の屈折率
を任意に調整できるというメリットがある。The material for forming the high refractive index layer and the material for forming the low refractive index layer may be a mixture of organometallic compounds. In this case, the film formed by the refractive index and the mixing ratio of each organometallic compound constituting the mixture. The refractive index is determined. By using a mixture of organometallic compounds, there is an advantage that the refractive index of the film can be arbitrarily adjusted.
【００１４】プラズマ重合法によって形成される膜の屈
折率は、有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給
量を変化させることによって変動させることができ、例
えば有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量を
小さくすると（場合によっては酸素ガスを供給しなくて
もよい）、耐擦傷性は相対的に劣るが、高屈折率の膜が
形成され、一方有機金属化合物に対する酸素ガスの供給
量を多くすると、耐擦傷性に優れ、低屈折率の膜が形成
される。The refractive index of the film formed by the plasma polymerization method can be changed by changing the relative supply amount of oxygen gas to the organometallic compound. For example, the relative supply amount of oxygen gas to the organometallic compound is changed. When (the oxygen gas may not be supplied in some cases), the scratch resistance is relatively poor, but a film having a high refractive index is formed, while when the supply amount of the oxygen gas to the organometallic compound is increased. A film having excellent scratch resistance and a low refractive index is formed.
【００１５】有機金属化合物またはその混合物を必要に
応じて酸素ガスとともに供給して高屈折率層を形成し、
次いで有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量
を多くした状態で有機金属化合物またはその混合物と酸
素ガスを供給して低屈折率層を形成する、上記の方法に
おいて、両層の形成に用いる有機金属化合物は同一のも
のを用いれば、製造において複雑なコントロールを必要
とせず、製造上の好ましい態様の一つとなる。An organometallic compound or a mixture thereof is optionally supplied together with oxygen gas to form a high refractive index layer,
Then, the low-refractive index layer is formed by supplying the organometallic compound or a mixture thereof and oxygen gas in a state where the relative supply amount of the oxygen gas to the organometallic compound is increased, and the organic material used for forming both layers in the above method. If the same metal compound is used, complicated control is not required in the production, which is one of the preferable aspects in production.
【００１６】なお本発明の方法において、反射防止膜の
形成に先立ち、光学基材との密着性をさらに高めるた
め、アルカリ処理、グロー放電により励起されるプラズ
マ処理あるいはイオンによる処理などの予備処理を行う
ことができる。In the method of the present invention, prior to the formation of the antireflection film, a preliminary treatment such as an alkali treatment, a plasma treatment excited by glow discharge or a treatment with ions is carried out in order to further improve the adhesion to the optical substrate. It can be carried out.
【００１７】反射防止膜形成に際しての放電方式（直
流、低周波、高周波、マイクロ波等）、電極方式（内
部、外部、無電極）、投入電力波形制御（方形、三角波
等）はいずれでもよく、適時設定され特に限定はない。Any of discharge method (DC, low frequency, high frequency, microwave, etc.), electrode method (internal, external, electrodeless), and applied power waveform control (square, triangular wave, etc.) may be used for forming the antireflection film. The time is set appropriately and there is no particular limitation.
【００１８】有機金属化合物ガスは酸素ガスの混合系と
して真空槽内へ導入することも、別々に導入したのち真
空槽内にて混合することも可能である。さらに有機金属
化合物ガスはアルゴン、キセノン、ネオン、ヘリウム等
の不活性ガスをキャリアガスとして真空槽へ導入するこ
とも可能である。The organometallic compound gas can be introduced into the vacuum chamber as a mixed system of oxygen gas, or can be introduced separately and then mixed in the vacuum chamber. Further, as the organometallic compound gas, an inert gas such as argon, xenon, neon, or helium can be introduced into the vacuum chamber as a carrier gas.
【００１９】本発明の方法により得られる反射防止膜
は、高屈折率層と低屈折率層との交互積層体からなる。
高屈折率層と低屈折率層の２層体からなる場合は、光学
設計の理論上、低屈折率層が最表面層となる。２層体の
場合の好ましい膜厚はλ／４−λ／４である。３層体か
らなる場合は、光学基材上に低屈折率層、高屈折率層、
低屈折率層をこの順で設ける。３層体の場合の好ましい
膜厚はλ／４−λ／２−λ／４である。なお本発明にお
ける低屈折率層、高屈折率層とは、屈折率値で定められ
るものではなく、互いに接触した２つの層を比較して、
屈折率値の大きい方を高屈折率層、屈折率値の小さい方
を低屈折率層としている。The antireflection film obtained by the method of the present invention comprises an alternating laminated body of a high refractive index layer and a low refractive index layer.
In the case of a two-layer body of a high refractive index layer and a low refractive index layer, the low refractive index layer is the outermost surface layer in the theory of optical design. In the case of a two-layer body, the preferable film thickness is λ / 4-λ / 4. In the case of a three-layer body, a low refractive index layer, a high refractive index layer, and
The low refractive index layer is provided in this order. The preferable film thickness in the case of a three-layer body is λ / 4-λ / 2-λ / 4. The low refractive index layer and the high refractive index layer in the present invention are not defined by the refractive index value, and two layers that are in contact with each other are compared,
The one having a larger refractive index value is a high refractive index layer, and the one having a smaller refractive index value is a low refractive index layer.
【００２０】上述のように、本発明の方法において用い
られる光学基材は、プラスチック製または無機ガラス製
の光学基材上にハードコート層またはプライマー層とハ
ードコート層を設けた光学基材をも包含する。ここにハ
ードコート層とは、光学基材に耐擦傷性を付与するため
の層であり、このハードコート層の形成に先立ち設けら
れるプライマー層は、光学基板とハードコート層との間
の屈折率差を補償することにより、干渉縞の発生を防止
するためのものであり、プライマー層の屈折率は光学基
板接触部で光学基板の屈折率と一致または近似し、光学
基板側からハードコート層側に向けて連続的にまたは段
階的に変化し、ハードコート層接触部でハードコート層
と一致または近似している。As described above, the optical substrate used in the method of the present invention may be an optical substrate having a hard coat layer or a primer layer and a hard coat layer provided on a plastic or inorganic glass optical substrate. Include. The hard coat layer is a layer for imparting scratch resistance to the optical substrate, and the primer layer provided prior to the formation of the hard coat layer has a refractive index between the optical substrate and the hard coat layer. This is to prevent the occurrence of interference fringes by compensating for the difference, and the refractive index of the primer layer matches or approximates the refractive index of the optical substrate at the optical substrate contact portion, and the optical substrate side to the hard coat layer side Toward the hard coat layer and continuously or stepwise toward the surface of the hard coat layer.
【００２１】このハードコート層またはプライマー層と
ハードコート層の形成も、上記反射防止膜の形成に用い
たプラズマ重合法により行なうことができる。すなわ
ち、本発明の方法の一態様によれば、プライマー層、ハ
ードコート層、反射防止膜の形成を同一のプラズマ重合
装置内で真空を破らず実施できるという利点がある。The hard coat layer or the primer layer and the hard coat layer can also be formed by the plasma polymerization method used for forming the antireflection film. That is, according to one aspect of the method of the present invention, there is an advantage that the primer layer, the hard coat layer, and the antireflection film can be formed in the same plasma polymerization apparatus without breaking the vacuum.
【００２２】なお、プライマー層、ハードコート層の形
成に用いる有機金属化合物は、上記反射防止膜の形成に
用いた有機金属化合物の中から選択使用することができ
る。The organometallic compound used for forming the primer layer and hard coat layer can be selected from the organometallic compounds used for forming the antireflection film.
【００２３】本発明の方法において、光学基材上に直接
反射防止膜を設けた場合、反射防止膜上に撥水層などの
保護層を設けることができる。この保護層の形成方法と
しては、プラズマＣＶＤ法、ＰＶＤ法、保護液の塗布硬
化法などが挙げられる。In the method of the present invention, when the antireflection film is directly provided on the optical substrate, a protective layer such as a water repellent layer can be provided on the antireflection film. Examples of the method of forming the protective layer include a plasma CVD method, a PVD method, and a protective liquid coating and curing method.
【００２４】[0024]
【実施例】以下、実施例により本発明をさらに説明す
る。EXAMPLES The present invention will be further described below with reference to examples.
【００２５】［実施例１］図１に示したプラズマＣＶＤ
装置において、真空槽１内にある絶縁された基材ホルダ
２にジエチレングリコールビスアリルカーボネート、ベ
ンジルメタクリレートおよびジアリルテレフタレートの
三元共重合体よりなるレンズ基材３（屈折率１．５５）
をセットし、真空槽１内を排気バルブ４により０．００
１torrまで排気した。Example 1 Plasma CVD shown in FIG.
In the apparatus, a lens substrate 3 (refractive index 1.55) made of a terpolymer of diethylene glycol bisallyl carbonate, benzyl methacrylate and diallyl terephthalate is provided on an insulated substrate holder 2 in a vacuum chamber 1.
And set the inside of the vacuum chamber 1 by the exhaust valve 4 to 0.00
Exhausted to 1 torr.
【００２６】その後、１００℃に加熱された容器５から
フェニルジメチルシランガス０．０２５torrを、そして
５０℃に加熱された容器９からヘキサメチルジシロキサ
ンガス０．０１５torrを供給管６を通して導入した。そ
して、形成される層の屈折率が１．５８、膜厚がλ／４
となるように、真空槽１内の容量的に結合された電極
７，８に４００ワットの高周波電力（１３．５６MHz ）
を投入しＯ2 ガス流を５sccmにして３０秒間プラズマ重
合を行なって、高屈折率層を形成した。Thereafter, 0.025 torr of phenyldimethylsilane gas was introduced from the container 5 heated to 100 ° C., and 0.015 torr of hexamethyldisiloxane gas was introduced from the container 9 heated to 50 ° C. through the supply pipe 6. The layer formed has a refractive index of 1.58 and a film thickness of λ / 4.
To the electrodes 7 and 8 that are capacitively coupled in the vacuum chamber 1 so that 400 watts of high frequency power (13.56 MHz)
Was added and the O 2 gas flow was set to 5 sccm to carry out plasma polymerization for 30 seconds to form a high refractive index layer.
【００２７】次に、形成される層の屈折率が１．４４、
膜厚がλ／４となるように、フェニルジメチルシランガ
スの供給を停止し、かつ電極７，８に投入される高周波
電力を２４０ワットに、Ｏ2 ガス流を５０sccmに変更し
た以外は前記高屈折率層形成条件と同一にして低屈折率
層を形成した。このようにしてレンズ基材上に高屈折率
層、低屈折率層とからなる反射防止膜を有する光学部材
を得た。Next, the refractive index of the formed layer is 1.44,
High refraction except that the supply of phenyldimethylsilane gas was stopped and the high frequency power supplied to the electrodes 7 and 8 was changed to 240 watts and the O 2 gas flow was changed to 50 sccm so that the film thickness became λ / 4. A low refractive index layer was formed under the same conditions as those for forming the refractive index layer. Thus, an optical member having an antireflection film including a high refractive index layer and a low refractive index layer on the lens substrate was obtained.
【００２８】得られた反射防止膜付き光学部材の視感反
射率、耐擦傷性、密着性、耐熱性について下記の試験方
法により試験した。The resulting optical member with an antireflection film was tested for luminous reflectance, scratch resistance, adhesion and heat resistance by the following test methods.
【００２９】Ａ．視感反射率：日立製作所製Ｕ３４１０
型自記分光光度計を用い光学部材の片面視感反射率
（％）を測定した。A. Luminous reflectance: Hitachi U3410
The single-sided luminous reflectance (%) of the optical member was measured using a type self-recording spectrophotometer.
【００３０】Ｂ．耐擦傷性（スチールウールテスト） １cm2 当り５００ｇの荷重をかけた＃００００のスチー
ルウールでコート面を１０ストローク擦り、傷つき具合
を肉眼観察し、下記判定基準で耐擦傷性を評価した。 判定基準 ５：良好 ４：ＣＲ−３９（ジエチレングリコールビスアリルカー
ボネート単独重合体）レンズ素材より傷が少ない（ほぼ
良好） ３：ＣＲ−３９レンズ素材と同程度の傷がつく ２：傷が非常に多い １：反射防止膜が傷により剥離したB. Scratch resistance (steel wool test) The coated surface was rubbed with 10 strokes of # 0000 steel wool applied with a load of 500 g per 1 cm 2 , and the scratch condition was visually observed, and the scratch resistance was evaluated according to the following criteria. Criteria 5: Good 4: CR-39 (diethylene glycol bisallylcarbonate homopolymer) Less scratches than lens material (almost good) 3: Same scratch as CR-39 lens material 2: Very many scratches 1: The antireflection film was peeled off due to scratches
【００３１】Ｃ．密着性（クロスカットテスト） 反射防止膜に１mm間隔の基材に達する切断線を縦、横そ
れぞれ１１本、ナイフで入れて１mm2 の目数を１００個
つくり、その上にセロハンテープを貼りつけ、急激には
がし、下記判定基準例のように評価した。 判定基準例 100 ／100 ：剥離しない目の数が１００個を意味する 0 ／100 ：剥離しない目の数が０個（全ての目が剥離し
たこと）を意味するC. Adhesion (Cross-Cut Test) The anti-reflective film has 11 cutting lines that reach the base material at intervals of 1 mm, 11 each in the vertical and horizontal directions, and a knife is used to make 100 1 mm 2 meshes. Then, it was peeled off rapidly and evaluated according to the following criteria. Judgment standard example 100/100: The number of eyes not peeling means 100. 0/100: The number of eyes not peeling is 0 (all eyes are peeled).
【００３２】Ｄ．耐熱性 反射防止膜付き光学部材をオーブンに１００℃、３０分
間入れて加熱した後、クラック発生の有無を調べた。D. Heat resistance The optical member with an antireflection film was placed in an oven at 100 ° C. for 30 minutes and heated, and then the presence or absence of cracks was examined.
【００３３】実施例１の反射防止膜付き光学部材の試験
結果は表１にまとめて示した。表１より実施例１の反射
防止膜付き光学部材は視感反射率が１．８％であり反射
防止性に優れていた。また耐擦傷性（評価４）、密着性
（クロスカットテスト100 ／100 ）、耐熱性（クラック
発生なし）に優れていた。The test results of the optical member with the antireflection film of Example 1 are summarized in Table 1. From Table 1, the optical member with an antireflection film of Example 1 had a luminous reflectance of 1.8% and was excellent in antireflection property. It was also excellent in scratch resistance (evaluation 4), adhesion (crosscut test 100/100), and heat resistance (no cracking).
【００３４】また実施例１の反射防止膜付き光学部材の
接触角を常法により測定したところ、７８°であった。The contact angle of the optical member with an antireflection film of Example 1 was measured by a conventional method and found to be 78 °.
【００３５】［実施例２］図１に示したプラズマＣＶＤ
装置において、真空槽１内の絶縁された基材ホルダ２に
光学基材３として、実施例１で用いたと同一のジエチレ
ングリコールビスアリルカーボネート、ジアリルテレフ
タレートおよびベンジルメタクリレートの共重合体から
なるレンズ（屈折率１．５５）をセットし、真空槽１内
を排気バルブ４により０．００１torrまで排気した。次
に、形成される層の屈折率が前記レンズの屈折率と同程
度となるように、１００℃に加熱された容器５からフェ
ニルジメチルシランガス０．０１０torrを、そして５０
℃に加熱された容器９からヘキサメチルジシロキサンガ
ス０．０１５torrを供給管６を通し導入した後、容量的
に結合された真空槽１内の電極７，８に２４０ワットの
高周波電力（１３．５６MHz ）を投入し６０秒間プラズ
マ重合を行なった。Example 2 Plasma CVD shown in FIG.
In the apparatus, a lens (refractive index made of the same copolymer of diethylene glycol bisallyl carbonate, diallyl terephthalate and benzyl methacrylate as that used in Example 1 was used as the optical substrate 3 on the insulated substrate holder 2 in the vacuum chamber 1. 1.55) was set, and the inside of the vacuum chamber 1 was exhausted to 0.001 torr by the exhaust valve 4. Next, 0.010 torr of phenyldimethylsilane gas was added from the container 5 heated to 100 ° C., and then 50 so that the refractive index of the formed layer was about the same as the refractive index of the lens.
After introducing hexamethyldisiloxane gas 0.015 torr from the container 9 heated to 0 ° C. through the supply pipe 6, 240 watts of high frequency power (13. 56 MHz) was put in and plasma polymerization was performed for 60 seconds.
【００３６】次に、形成される層の屈折率が基材側から
上方に向って前記レンズの屈折率と同程度の屈折率か
ら、１．４７〜１．４３程度の屈折率まで連続的に減少
するように、フェニルジメチルシランガスの供給を停止
すると同時にＯ2 ガス流５sccmを導入し、Ｏ2 ガス流を
５sccmから５０sccmまで連続的に上昇させながら、２４
０ワットの高周波電力のもとで継続して５分間プラズマ
重合によりプライマー層の形成を行なった。Next, the refractive index of the layer to be formed is continuously increased from the base material side upward from the refractive index of the lens to the refractive index of 1.47 to 1.43. In order to decrease the flow rate, the supply of phenyldimethylsilane gas was stopped and at the same time, an O 2 gas flow of 5 sccm was introduced, and the O 2 gas flow was continuously raised from 5 sccm to 50 sccm while
The primer layer was formed by plasma polymerization continuously for 5 minutes under a high frequency power of 0 watt.
【００３７】その後、形成される層の屈折率が前記プラ
イマー層の表面の屈折率と同程度になるように、シラン
ガスの供給を続け、Ｏ2 ガス流を５０sccm一定に保持し
たまま２０分間プラズマ重合によりハードコート層の形
成を行った。Thereafter, the silane gas was continuously supplied so that the refractive index of the formed layer was about the same as the refractive index of the surface of the primer layer, and plasma polymerization was performed for 20 minutes while the O 2 gas flow was kept constant at 50 sccm. To form a hard coat layer.
【００３８】次に、形成される層の屈折率が１．５８、
膜厚がλ／４となるように、ヘキサメチルジシロキサン
ガスと高周波電力の供給を一定としたままＯ2 ガス流を
５sccmへ変更し、同時にフェニルジメチルシランガスを
放電真空度が０．０１８torrになるまで導入し３０秒間
かけて、高屈折率層の形成を行った。Next, the refractive index of the formed layer is 1.58,
The O 2 gas flow was changed to 5 sccm while the supply of hexamethyldisiloxane gas and high frequency power was kept constant so that the film thickness was λ / 4, and at the same time, the discharge vacuum degree of phenyldimethylsilane gas was 0.018 torr. And the high refractive index layer was formed over 30 seconds.
【００３９】次に、形成される層の屈折率が１．４５、
膜厚がλ／４となるように、フェニルジメチルシランガ
スの供給を停止すると同時にＯ2 ガス流を５０sccmまで
上昇させ６０秒間かけて、低屈折率層の膜形成を行っ
た。このように高屈折率層と低屈折率層を形成すること
によって反射防止膜を設けた。Next, the refractive index of the formed layer is 1.45,
The low-refractive index layer was formed by stopping the supply of phenyldimethylsilane gas and increasing the O 2 gas flow to 50 sccm for 60 seconds so that the film thickness became λ / 4. Thus, the antireflection film was provided by forming the high refractive index layer and the low refractive index layer.
【００４０】このようにして得られた、レンズ基材上に
プライマー層、ハードコート層、反射防止膜を順次有す
る光学部材の視感反射率、耐擦傷性、密着性、耐熱性を
実施例１と同様に試験した結果を表１に示す。The optical member having the primer layer, the hard coat layer and the antireflection film on the lens substrate, which were obtained in this order, had the luminous reflectance, scratch resistance, adhesion and heat resistance of Example 1. Table 1 shows the results of the same test.
【００４１】表１より、実施例２の反射防止膜付き光学
部材も反射防止性、耐擦傷性、密着性、耐熱性に優れて
いることが明らかである。From Table 1, it is clear that the optical member with an antireflection film of Example 2 is also excellent in antireflection property, scratch resistance, adhesion and heat resistance.
【００４２】また実施例２の反射防止膜付き光学部品の
接触角を常法により測定したところ８２°であった。The contact angle of the optical component with an antireflection film of Example 2 was 82 ° as measured by a conventional method.
【００４３】またプラスチックレンズ基材とハードコー
ト層との間に、プラスチックレンズ基材側からハードコ
ート層に向けて屈折率が連続的に減少するプライマー層
を設けているため、干渉縞が観察されないという効果も
有する。Since a primer layer whose refractive index continuously decreases from the plastic lens substrate side toward the hard coat layer is provided between the plastic lens substrate and the hard coat layer, interference fringes are not observed. It also has the effect.
【００４４】［比較例１］有機ケイ素化合物含有液状組
成物を用いてプラスチック基材上に反射防止膜を形成し
た。その詳細は以下のとおりである。Comparative Example 1 An antireflection film was formed on a plastic substrate using a liquid composition containing an organosilicon compound. The details are as follows.
【００４５】(i) 高屈折率層用液状組成物の調製 γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン加水分解
物の２−メトキシエタノール溶液を２．６ｇ取り、これ
を酢酸３．０ｇとともに２−メトキシエタノール中に添
加し攪拌した後、メタノール分散五酸化アンチモンゾル
（日産化学工業（株）製ＡＭＴ−１３０、粒子径２０〜
６０ｍμ、Ｓｂ2 Ｏ5 ３１．２％）を９．４ｇ添加し、
さらに滑剤としてフッ素系界面活性剤（住友スリーエム
（株）製フロラードＦＣ−１７０Ｃ）を１０％含有する
２−メトキシエタノール溶液０．６ｇ及び硬化剤として
のアルミニウムアセチルアセトネート０．１５ｇを添加
し、室温で４時間攪拌した。得られた混合物を２０℃に
保持して２日間熟成して、高屈折率層用液状組成物（各
液状組成物の全量は９２．０ｇである）を得た。(I) Preparation of Liquid Composition for High Refractive Index Layer 2.6 g of a solution of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane hydrolyzate in 2-methoxyethanol was taken, and this was mixed with 3.0 g of acetic acid in 2-methoxy. After adding to ethanol and stirring, methanol-dispersed antimony pentoxide sol (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., AMT-130, particle size 20-
60mμ, 9.4g of Sb 2 O 5 31.2%),
Furthermore, 0.6 g of a 2-methoxyethanol solution containing 10% of a fluorine-based surfactant (Florard FC-170C manufactured by Sumitomo 3M Limited) as a lubricant and 0.15 g of aluminum acetylacetonate as a curing agent were added, and the mixture was cooled to room temperature. It was stirred for 4 hours. The obtained mixture was kept at 20 ° C. and aged for 2 days to obtain a liquid composition for a high refractive index layer (the total amount of each liquid composition was 92.0 g).
【００４６】(ii)低屈折率層用液状組成物の調製 水分散コロイダルシリカ（触媒化成工業（株）ＳＩ−４
０、粒子径１６〜２０ｍμ、ＳｉＯ2 ４０〜４１％）を
２．１ｇ取り、これに、γ−グリシドキシプロピルトリ
メトキシシランとγ−メタクリロキシプロピルトリメト
キシシランとの同時加水分解物の２−メトキシエタノー
ル溶液を攪拌しながら２．８ｇ素早く添加し、さらに酢
酸０．５ｇ、２−メトキシエタノール２３．０ｇ、２−
プロパノール５．０ｇ、ｎ−ブタノール１８．０ｇの順
に添加、３０分攪拌し、次いで溶液を水冷しながらアル
ミニウムアセチルアセトネート０．１ｇ、フッ素系界面
活性剤（１０％ＦＣ−１７０Ｃ）０．０５ｇを添加し、
４時間攪拌を行ない、低屈折率層用液状組成物を得た。(Ii) Preparation of liquid composition for low refractive index layer Water-dispersed colloidal silica (Catalyst Chemical Industry Co., Ltd. SI-4)
0, particle size 16 to 20 mμ, SiO 2 40 to 41%) 2.1 g, and 2 g of a simultaneous hydrolyzate of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane 2.8 g of methoxyethanol solution was quickly added with stirring, and 0.5 g of acetic acid, 23.0 g of 2-methoxyethanol, 2-
5.0 g of propanol and 18.0 g of n-butanol were added in this order, stirred for 30 minutes, and then 0.1 g of aluminum acetylacetonate and 0.05 g of a fluorosurfactant (10% FC-170C) while cooling the solution with water. Add
The liquid composition for low refractive index layer was obtained by stirring for 4 hours.
【００４７】(iii) 反射防止膜の形成 実施例１で用いたと同一のレンズ基材上に、上記(i) で
調製された高屈折率層用液状組成物をスピンコート法
（１３００rpm ）により塗布した後、１２０℃で２０分
加熱硬化させて高屈折率層を形成させた。(Iii) Formation of Antireflection Film The same lens substrate as used in Example 1 was coated with the liquid composition for a high refractive index layer prepared in the above (i) by a spin coating method (1300 rpm). After that, it was heated and cured at 120 ° C. for 20 minutes to form a high refractive index layer.
【００４８】次いで高屈折率層上に、上記(ii)で調製し
た低屈折率層用液状組成物をスピンコート法（１５００
rpm ）により塗布した後、１２０℃で２時間加熱硬化さ
せて高屈折率層を形成させて、反射防止膜付き光学部材
を得た。Then, the liquid composition for the low refractive index layer prepared in (ii) above was spin-coated on the high refractive index layer (1500).
rpm) and then heat-cured at 120 ° C. for 2 hours to form a high refractive index layer to obtain an optical member with an antireflection film.
【００４９】比較例１によれば、コーティング液を用い
る方法は、コーティング液の調製に３日、反射防止膜の
形成に４時間以上かかり、生産性に劣ることが明らかと
なった。According to Comparative Example 1, it was revealed that the method using the coating liquid was inferior in productivity because the preparation of the coating liquid took 3 days and the formation of the antireflection film took 4 hours or more.
【００５０】得られた反射防止膜付き光学部材の視感反
射率、耐擦傷性、密着性、耐熱性について実施例１と同
様に試験した結果を表１に示す。Table 1 shows the results of the same tests as in Example 1 with respect to the luminous reflectance, scratch resistance, adhesion and heat resistance of the obtained optical member with an antireflection film.
【００５１】表１より、比較例１の反射防止膜付き光学
部材は、耐擦傷性が実施例１〜３のものよりも劣ってい
ることが明らかとなった。From Table 1, it is clear that the optical member with the antireflection film of Comparative Example 1 is inferior in scratch resistance to those of Examples 1 to 3.
【００５２】［比較例２］比較例１の上記(i) および(i
i)で得られたコーティング液を５℃で２ケ月保存した
後、比較例１と同様にして基材上に塗布硬化して反射防
止膜を形成したが、表１より明らかなように、耐擦傷
性、密着性が著しく劣っていた。[Comparative Example 2] (i) and (i) of Comparative Example 1
After the coating solution obtained in i) was stored at 5 ° C. for 2 months, it was coated and cured on a substrate in the same manner as in Comparative Example 1 to form an antireflection film. The scratch resistance and adhesion were extremely poor.
【００５３】[0053]
【表１】 [Table 1]
【００５４】[0054]
【発明の効果】本発明によれば、耐擦傷性、密着性およ
び耐熱性に優れた反射防止膜を有する光学部材を生産性
良く製造する方法が提供された。According to the present invention, there is provided a method for producing an optical member having an antireflection film having excellent scratch resistance, adhesion and heat resistance with high productivity.
【図１】本発明の反射防止膜付き光学部材の製造に用い
たプラズマＣＶＤ装置の概略図FIG. 1 is a schematic view of a plasma CVD apparatus used for manufacturing an optical member with an antireflection film of the present invention.
１ 真空槽 ２ 基材ホルダ ３ レンズ基材 ４ 排気バルブ ５ 有機ケイ素化合物充填容器 ６ 供給管 ７，８ 電極 ９ 有機ケイ素化合物充填容器 １０ 酸素ガスボンベ 1 Vacuum Tank 2 Base Material Holder 3 Lens Base Material 4 Exhaust Valve 5 Organosilicon Compound Filling Container 6 Supply Pipe 7, 8 Electrode 9 Organosilicon Compound Filling Container 10 Oxygen Gas Cylinder
Claims (6)
機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量を変化さ
せるプラズマ重合法により、光学基材上に、高屈折率層
と低屈折率層との交互積層体からなる反射防止膜を形成
する工程を含むことを特徴とする反射防止性を有する光
学部材の製造方法。1. A high refractive index layer and a low refractive index layer are alternately formed on an optical substrate by a plasma polymerization method in which the kind of the organometallic compound and / or the relative supply amount of oxygen gas to the organometallic compound is changed. A method for producing an optical member having antireflection properties, comprising the step of forming an antireflection film composed of a laminate.
はその混合物を、必要に応じて酸素を供給しながら、供
給し、プラズマ重合を行なって光学基材上に高屈折率層
を形成した後、低屈折率を付与する有機金属化合物また
はその混合物と酸素とを供給し、プラズマ重合を行なっ
て高屈折率層上に低屈折率層を形成する、請求項１に記
載の方法。2. An organometallic compound which imparts a high refractive index or a mixture thereof is supplied while oxygen is optionally supplied, and plasma polymerization is performed to form a high refractive index layer on the optical substrate. 2. The method according to claim 1, wherein an organometallic compound that imparts a low refractive index or a mixture thereof and oxygen are supplied and plasma polymerization is performed to form the low refractive index layer on the high refractive index layer.
ラズマ重合を行なって光学基材上に高屈折率層を形成し
た後、有機金属化合物に対する酸素ガスの相対的供給量
を多くした状態で有機金属化合物と酸素ガスを供給し、
プラズマ重合を行なって高屈折率層上に低屈折率層を形
成する、請求項１に記載の方法。3. An organometallic compound and oxygen gas are supplied, plasma polymerization is performed to form a high refractive index layer on the optical substrate, and then the relative supply amount of oxygen gas to the organometallic compound is increased. Supplying organometallic compound and oxygen gas,
The method according to claim 1, wherein the low refractive index layer is formed on the high refractive index layer by performing plasma polymerization.
物と低屈折率層の形成に用いる有機金属化合物が同一物
質である、請求項３に記載の方法。4. The method according to claim 3, wherein the organometallic compound used for forming the high refractive index layer and the organometallic compound used for forming the low refractive index layer are the same substance.
ガラス製の光学基板上にハードコート層またはプライマ
ー層とハードコート層を設けた光学基材からなる、請求
項１〜４のいずれか一項に記載の方法。5. The optical substrate according to claim 1, wherein the optical substrate comprises an optical substrate made of plastic or inorganic glass and provided with a hard coat layer or a primer layer and a hard coat layer. The method described in.
む、請求項１〜４のいずれか一項に記載の方法。6. The method according to claim 1, further comprising providing a protective layer on the antireflection film.
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|---|---|---|---|
| JP19957194A JP3325715B2 (en) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | Method for manufacturing optical member having antireflection property |
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| JPH0862401A true JPH0862401A (en) | 1996-03-08 |
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030071054A (en) * | 2002-02-27 | 2003-09-03 | 주식회사 림스텍 | Plasma coating method for plastic lenz |
| US6852474B2 (en) * | 2002-04-30 | 2005-02-08 | Brewer Science Inc. | Polymeric antireflective coatings deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition |
| US9110372B2 (en) | 2004-04-29 | 2015-08-18 | Brewer Science Inc. | Anti-reflective coatings using vinyl ether crosslinkers |
| US9188708B2 (en) | 2008-10-17 | 2015-11-17 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Film having low refractive index film and method for producing the same, anti-reflection film and method for producing the same, coating liquid set for low refractive index film, substrate having microparticle-laminated thin film and method for producing the same, and optical member |
| US9640396B2 (en) | 2009-01-07 | 2017-05-02 | Brewer Science Inc. | Spin-on spacer materials for double- and triple-patterning lithography |
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1994
- 1994-08-24 JP JP19957194A patent/JP3325715B2/en not_active Expired - Fee Related
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