JPH0858916A - Carrying-in/out device for stocker for clean room - Google Patents
Carrying-in/out device for stocker for clean roomInfo
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- JPH0858916A JPH0858916A JP21652194A JP21652194A JPH0858916A JP H0858916 A JPH0858916 A JP H0858916A JP 21652194 A JP21652194 A JP 21652194A JP 21652194 A JP21652194 A JP 21652194A JP H0858916 A JPH0858916 A JP H0858916A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、複数に区分された収容
室に保管用ガスを充満させながらウエーハ等の保管対象
物を保管するクリーンルーム用ストッカに対してウエー
ハを搬入および搬出するクリーンルーム用ストッカの搬
入搬出装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room stocker for carrying a wafer into and out of a clean room stocker for storing a storage object such as a wafer while filling a plurality of storage chambers with a storage gas. The present invention relates to a loading / unloading device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体製造工程においては、ウエーハへ
の塵埃の付着が歩留りを低下させる要因になることか
ら、ウエーハを保管する際には、内部空間を清浄度の高
い状態に維持可能なクリーンルーム用ストッカにウエー
ハを収容させるようになっている。2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing process, dust adherence to a wafer causes a reduction in yield. Therefore, when a wafer is stored, it can be used for a clean room where the internal space can be kept in a highly clean state. The stocker is designed to accommodate wafers.
【０００３】ところで、クリーンルーム用ストッカによ
るウエーハの保管期間は、通常、数時間〜数日間である
が、近年においては、半導体デバイスの高機能化および
高集積化に伴って、保管期間中におけるウエーハの自然
酸化による酸化膜の形成が無視できないものとなってい
る。従って、クリーンルーム用ストッカには、ウエーハ
に対して不活性な窒素ガスやドライエアー等の保管用ガ
スが供給されて充満されるようになっている。By the way, the storage period of a wafer in a clean room stocker is usually several hours to several days, but in recent years, as the functionality and integration of semiconductor devices have increased, the storage period of the wafer during the storage period has been increased. The formation of an oxide film by natural oxidation is not negligible. Therefore, the stocker for a clean room is supplied with a storage gas such as nitrogen gas or dry air, which is inert to the wafer, and is filled therewith.
【０００４】さらに、最近においては、図５に示すよう
に、クリーンルーム用ストッカ５１内を空間的に独立し
た複数の収容室５２に区分し、各収容室５２単位に保管
用ガスを供給可能にすることによって、安全性、メンテ
ナンス性、および保管用ガスの純度の維持性を向上させ
ることが提案されている（特開平５−４７０５号公
報）。Further, recently, as shown in FIG. 5, the interior of the clean room stocker 51 is divided into a plurality of spatially independent storage chambers 52, and a storage gas can be supplied to each storage chamber 52 unit. Therefore, it has been proposed to improve safety, maintainability, and maintainability of the storage gas purity (Japanese Patent Laid-Open No. 5705/1993).
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記の構成によれば、
大部屋式のストッカよりも大幅に供給時間を短縮するこ
とが可能になるが、搬入および搬出後におけるクリーン
ルーム用ストッカ５１の各収容室５２における保管用ガ
スの純度の低下が問題として残ることになる。According to the above configuration,
Although the supply time can be significantly shortened as compared with the large-room stocker, the purity of the storage gas in each storage chamber 52 of the clean room stocker 51 after loading and unloading remains a problem. .
【０００６】従って、本発明は、ウエーハと大気との接
触を防止できるように、ウエーハの搬入および搬出時に
おける収容室５２の保管用ガスの流失を防止することが
できるクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置を提供
することを目的としている。Therefore, according to the present invention, in order to prevent the contact between the wafer and the atmosphere, the loading / unloading device of the stocker for the clean room which can prevent the storage gas in the storage chamber 52 from flowing out when the wafer is loaded and unloaded. Is intended to provide.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、複数に区分された収容室に保管用ガスを充満させな
がら保管対象物を保管するクリーンルーム用ストッカに
対して保管対象物を搬入および搬出するものであり、下
記の特徴を有している。In order to solve the above-mentioned problems, a storage object is carried into a stocker for a clean room which stores the storage object while filling a storage gas into a plurality of compartments with a storage gas, and It is carried out and has the following features.
【０００８】即ち、各収容室に対応するクリーンルーム
用ストッカの壁面に接合して機密状態のロードロック室
を形成する筒体と、上記ロードロック室に保管用ガスを
供給するガス供給手段と、収容室および上記ロードロッ
ク室間において保管対象物を搬送する搬送手段とを有し
ていることを特徴としている。That is, a cylindrical body that is joined to a wall surface of a stocker for a clean room corresponding to each storage chamber to form a load lock chamber in a confidential state, a gas supply unit that supplies a storage gas to the load lock chamber, and a storage unit. And a transfer unit that transfers the object to be stored between the chamber and the load lock chamber.
【０００９】[0009]
【作用】上記の構成によれば、各収容室に対応するクリ
ーンルーム用ストッカの壁面に筒体を接合して機密状態
のロードロック室を形成し、ガス供給手段によりロード
ロック室を保管用ガスで充満させた後、収容室およびロ
ードロック室間における保管対象物の搬送を行うように
なっているため、収容室に対して保管対象物を搬入およ
び搬出する際に、収容室に充満する保管用ガスの濃度が
低下することがない。According to the above construction, the cylinder is joined to the wall surface of the stocker for clean room corresponding to each storage chamber to form the load-lock chamber in the airtight state, and the load-lock chamber is filled with the storage gas by the gas supply means. After filling, the storage object is transferred between the storage chamber and the load lock chamber, so when the storage target is loaded into or unloaded from the storage chamber The gas concentration does not decrease.
【００１０】[0010]
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図４を用いて
説明する。本実施例に係るクリーンルーム用ストッカの
搬入搬出装置は、図１に示すように、クリーンルーム用
ストッカ１の小部屋に対してウエーハ３（保管対象物）
を搬入および搬出するようになっている。クリーンルー
ム用ストッカ１は、ウエーハ３をウエーハカセットと共
に収容可能な複数の収容室２…を有しており、これらの
収容室２…は、空間的に独立するように隔壁により仕切
られている。そして、各収容室２には、ウエーハ３に対
して不活性な窒素ガスやアルゴンガス、乾燥空気等の保
管用ガスが図示しないガス配管を介して供給されるよう
になっている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the carry-in / carry-out device for a clean room stocker according to the present embodiment has a wafer 3 (object to be stored) with respect to a small room of the clean room stocker 1.
It is designed to carry in and out. The clean room stocker 1 has a plurality of storage chambers 2 ... In which a wafer 3 can be stored together with a wafer cassette, and these storage chambers 2 ... Are partitioned by partition walls so as to be spatially independent. Then, a storage gas such as an inert gas such as nitrogen gas, argon gas, or dry air for the wafer 3 is supplied to each of the storage chambers 2 through a gas pipe (not shown).
【００１１】上記の各収容室２の前面には、ウエーハ３
の搬入および搬出時に使用される搬入搬出口１ａが形成
されている。搬入搬出口１ａは、一端が回動自在に軸支
されたストッカ用扉４により開閉されるようになってお
り、ストッカ用扉４の背面には、搬入搬出口１ａの周縁
部に当接するように第１シール部材５が貼設されてい
る。そして、この第１シール部材５は、ストッカ用扉４
が搬入搬出口１ａを閉じたときに収容室２を密閉状態に
することによって、保管用ガスが外部に漏洩することを
防止するようになっている。一方、ストッカ用扉４の前
面には、把手部４ａが形成されており、把手部４ａは、
作業員がストッカ用扉４を開閉する際に使用されるよう
になっている。A wafer 3 is provided on the front surface of each accommodation chamber 2 described above.
The loading / unloading port 1a used for loading and unloading is formed. The carry-in / carry-out port 1a is configured to be opened and closed by a stocker door 4 whose one end is rotatably supported, so that the back surface of the stocker door 4 contacts the peripheral portion of the carry-in / carry-out port 1a. The first seal member 5 is attached to. The first seal member 5 is used for the stocker door 4
By closing the storage chamber 2 when the loading / unloading port 1a is closed, the storage gas is prevented from leaking to the outside. On the other hand, a handle portion 4a is formed on the front surface of the stocker door 4, and the handle portion 4a is
It is used when a worker opens and closes the stocker door 4.
【００１２】上記のクリーンルーム用ストッカ１の前方
には、各収容室２に対してウエーハ３を搬入および搬出
するクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置６（以
下、搬入搬出装置６と称する）が配置されている。搬入
搬出装置６は、前面および背面が開口された角柱形状の
筒体７を有しており、筒体７の開口寸法は、各収容室２
の前面側の寸法に略一致するように設定されている。In front of the above-mentioned clean room stocker 1, a clean room stocker carry-in / carry-out device 6 (hereinafter referred to as a carry-in / carry-out device 6) for carrying in and carrying out the wafer 3 to / from each accommodation chamber 2 is arranged. There is. The carry-in / carry-out device 6 has a prismatic cylindrical body 7 having an opening on the front surface and the rear surface.
Is set so as to substantially match the size of the front side of the.
【００１３】上記の筒体７の背面側の開口部周縁には、
第２シール部材８が設けられており、第２シール部材８
は、搬入搬出装置６がクリーンルーム用ストッカ１の壁
面に当接されたときに、クリーンルーム用ストッカ１の
壁面に密接するようになっている。一方、筒体７の前面
側には、一端が回動自在に軸支された搬入搬出装置用扉
９が設けられており、搬入搬出装置用扉９は、第３シー
ル部材１０を介して筒体７の前面側の開口部を閉じるよ
うになっている。これにより、搬入搬出装置６は、搬入
搬出装置用扉９を閉じた状態でクリーンルーム用ストッ
カ１の壁面に当接されることによって、機密状態のロー
ドロック室１１を形成するようになっていると共に、ス
トッカ用扉４が開かれたときに、ロードロック室１１と
収容室２とを一体化するようになっている。尚、ロード
ロック室１１は、収容室２よりも十分小さな容積となる
ように必要最小限の容積に設定されていることが望まし
い。At the periphery of the opening on the back side of the cylindrical body 7,
The second seal member 8 is provided, and the second seal member 8 is provided.
When the loading / unloading device 6 is brought into contact with the wall surface of the clean room stocker 1, it comes into close contact with the wall surface of the clean room stocker 1. On the other hand, on the front surface side of the cylindrical body 7, there is provided a loading / unloading device door 9 whose one end is rotatably supported, and the loading / unloading device door 9 is provided with a third sealing member 10 between which a cylinder is inserted. The front opening of the body 7 is closed. As a result, the loading / unloading device 6 comes into contact with the wall surface of the clean room stocker 1 with the loading / unloading device door 9 closed to form the load-lock chamber 11 in a confidential state. The load lock chamber 11 and the storage chamber 2 are integrated when the stocker door 4 is opened. The load lock chamber 11 is preferably set to a necessary minimum volume so that the load lock chamber 11 has a volume sufficiently smaller than that of the storage chamber 2.
【００１４】また、筒体７には、ガス供給孔７ａ（ガス
供給手段）およびガス排気孔７ｃが形成されている。ガ
ス供給孔７ａには、ガス配管３０（ガス供給手段）を介
して図示しないガス貯留タンク（ガス供給手段）が接続
されており、ガス貯留タンクは、搬入搬出装置６のロー
ドロック室１１に保管用ガスを供給するようになってい
る。Further, a gas supply hole 7a (gas supply means) and a gas exhaust hole 7c are formed in the cylindrical body 7. A gas storage tank (gas supply means) (not shown) is connected to the gas supply hole 7a via a gas pipe 30 (gas supply means), and the gas storage tank is stored in the load lock chamber 11 of the loading / unloading device 6. It is designed to supply gas for use.
【００１５】さらに、筒体７には、ストッカ用扉４を開
閉する扉開閉装置１２と、収容室２およびロードロック
室１１間でウエーハ３を搬送するウエーハ搬送装置１３
（搬送手段）とが設けられている。上記の扉開閉装置１
２は、筒体７の内壁面に固設されたアーム支持部材１４
と、アーム支持部材１４に一端が回動可能に軸支された
第１アーム部材１５と、第１アーム部材１５の他端に一
端が回動可能に軸支された第２アーム部材１６と、第２
アーム部材１６の他端に設けられ、ストッカ用扉４を保
持可能な保持部材１７とを有しており、グリップや電磁
石等を備えた保持部材１７によりストッカ用扉４を保持
した後、第１および第２アーム部材１５・１６を回動さ
せることによりストッカ用扉４を開閉させるようになっ
ている。Further, in the cylindrical body 7, a door opening / closing device 12 for opening / closing the stocker door 4 and a wafer transfer device 13 for transferring the wafer 3 between the storage chamber 2 and the load lock chamber 11 are provided.
(Conveying means) are provided. Door opening / closing device 1
2 is an arm support member 14 fixed to the inner wall surface of the cylindrical body 7.
A first arm member 15 whose one end is rotatably supported by the arm support member 14, and a second arm member 16 whose one end is rotatably supported by the other end of the first arm member 15. Second
The holding member 17 is provided at the other end of the arm member 16 and is capable of holding the stocker door 4. The holding member 17 having a grip, an electromagnet, or the like holds the stocker door 4 and then the first The stocker door 4 is opened and closed by rotating the second arm members 15 and 16.
【００１６】また、ウエーハ搬送装置１３は、筒体７の
内壁面の前面側および背面側にそれぞれ固設された第１
支持部材１８ａおよび第２支持部材１８ｂと、第１支持
部材１８ａおよび第２支持部材１８ｂに両端が回転自在
に軸支されたスクリュウシャフト１９と、スクリュウシ
ャフト１９を回転させる駆動モータ２０とを有してい
る。スクリュウシャフト１９には、ねじ部材２１が螺合
されており、ねじ部材２１は、スクリュウシャフト１９
の回転により第１支持部材１８ａおよび第２支持部材１
８ｂ間を移動するようになっている。Further, the wafer transfer device 13 is a first member fixed to the front surface side and the back surface side of the inner wall surface of the cylindrical body 7, respectively.
It has a support member 18a and a second support member 18b, a screw shaft 19 whose both ends are rotatably supported by the first support member 18a and the second support member 18b, and a drive motor 20 for rotating the screw shaft 19. ing. A screw member 21 is screwed onto the screw shaft 19, and the screw member 21 is attached to the screw shaft 19.
Rotation of the first support member 18a and the second support member 1
It is designed to move between 8b.
【００１７】上記のねじ部材２１には、スライドレール
２２が設けられており、スライドレール２２は、ねじ部
材２１が第２支持部材１８ｂ側に到達したときに、端部
が収容室２のウエーハ３の載置位置に到達する程度の長
さに設定されている。そして、このスライドレール２２
には、スライドブロック２３が移動自在に係合されてお
り、スライドブロック２３には、ウエーハ３をウエーハ
カセットと共に保持可能なカセット保持部２４が設けら
れている。The screw member 21 is provided with a slide rail 22. When the screw member 21 reaches the second support member 18b side, the end of the slide rail 22 is the wafer 3 of the accommodation chamber 2. The length is set to reach the mounting position of. And this slide rail 22
The slide block 23 is movably engaged with the slide block 23, and the slide block 23 is provided with a cassette holding portion 24 capable of holding the wafer 3 together with the wafer cassette.
【００１８】また、筒体７の背面側の外壁面には、図２
に示すように、係合孔部７ｂ・７ｂが左右一対に形成さ
れている。一方、クリーンルーム用ストッカ１の前面に
は、これらの係合孔部７ｂ・７ｂに嵌合する鍵形状の係
合凸部１ｂ・１ｂが各ストッカ用扉４の上方に形成され
ている。そして、係合孔部７ｂ・７ｂと係合凸部１ｂ・
１ｂとの係合は、スタッカロボット２５により行われる
ようになっている。The outer wall surface of the cylindrical body 7 on the rear side is shown in FIG.
As shown in, the engaging hole portions 7b, 7b are formed in a pair of left and right. On the other hand, on the front surface of the stocker 1 for clean room, key-shaped engagement protrusions 1b and 1b that fit into the engagement holes 7b and 7b are formed above the doors 4 for stockers. Then, the engaging hole portions 7b, 7b and the engaging convex portion 1b,
The engagement with 1b is performed by the stacker robot 25.
【００１９】上記のスタッカロボット２５は、クリーン
ルーム用ストッカ１の前方に敷設された走行レール２６
上を走行可能な走行部２７と、走行部２７に縦設された
ポスト部２８と、ポスト部２８に上下動可能に設けら
れ、搬入搬出装置６をクリーンルーム用ストッカ１方向
に進退移動させる昇降部２９とを有している。The stacker robot 25 is a traveling rail 26 laid in front of the clean room stocker 1.
A traveling unit 27 that can travel above, a post unit 28 that is vertically provided on the traveling unit 27, and an elevating unit that is vertically movable on the post unit 28 and that moves the loading / unloading device 6 forward and backward toward the stocker 1 for clean room. And 29.
【００２０】上記の構成において、搬入搬出装置６の動
作について説明する。クリーンルーム用ストッカ１の所
定の収容室２が指定されると、スタッカロボット２５が
走行レール２６を走行してクリーンルーム用ストッカ１
に対する左右方法の位置決めが行われることになる。こ
の後、昇降部２９が昇降してクリーンルーム用ストッカ
１に対する上下方向の位置決めが行われると、搬入搬出
装置６がクリーンルーム用ストッカ１方向に移動され、
所定の収容室２に対応する係合凸部１ｂ・１ｂと搬入搬
出装置６の係合孔部７ｂ・７ｂとが係合されることにな
る。The operation of the carry-in / carry-out device 6 having the above structure will be described. When the predetermined accommodation room 2 of the clean room stocker 1 is designated, the stacker robot 25 travels on the traveling rail 26 and moves to the clean room stocker 1
A left-right method of positioning will be performed. After that, when the elevating part 29 moves up and down to perform vertical positioning with respect to the clean room stocker 1, the carry-in / carry-out device 6 is moved toward the clean room stocker 1.
The engagement protrusions 1b and 1b corresponding to the predetermined accommodation chamber 2 and the engagement hole portions 7b and 7b of the loading / unloading device 6 are engaged with each other.
【００２１】次に、図１に示すように、搬入搬出装置６
がクリーンルーム用ストッカ１の壁面に押圧されること
によって、第２シール部材８がクリーンルーム用ストッ
カ１の壁面に密接し、機密状態のロードロック室１１が
形成されることになる。そして、第２シール部材８や第
３シール部材１０からロードロック室１１の空気を排気
させながら、図示しないガス貯留タンクからロードロッ
ク室１１に窒素ガス等の保管用ガスが供給されることに
なる。Next, as shown in FIG. 1, the loading / unloading device 6
Is pressed against the wall surface of the stocker 1 for clean room, the second seal member 8 comes into close contact with the wall surface of the stocker 1 for clean room, and the load-lock chamber 11 in a confidential state is formed. Then, while exhausting the air in the load lock chamber 11 from the second seal member 8 and the third seal member 10, a storage gas such as nitrogen gas is supplied from the gas storage tank (not shown) to the load lock chamber 11. .
【００２２】次に、ロードロック室１１が保管用ガスで
充満されると、扉開閉装置１２が作動することになり、
保持部材１７が第１アーム部材１５および第２アーム部
材１６により移動されることによって、保持部材１７に
保持されたストッカ用扉４が実線で示す位置から２点鎖
線で示す位置まで回動されることになる。この際、ロー
ドロック室１１は、保管用ガスが充満しているため、ロ
ードロック室１１が収容室２に連通しても、収容室２に
充満する保管用ガスの濃度を低下させることはない。Next, when the load lock chamber 11 is filled with the storage gas, the door opening / closing device 12 is activated.
By moving the holding member 17 by the first arm member 15 and the second arm member 16, the stocker door 4 held by the holding member 17 is rotated from the position shown by the solid line to the position shown by the chain double-dashed line. It will be. At this time, since the storage gas is filled in the load lock chamber 11, even if the load lock chamber 11 communicates with the storage chamber 2, the concentration of the storage gas filled in the storage chamber 2 is not reduced. .
【００２３】上記のストッカ用扉４の回動により搬入搬
出口１ａが開かれると、ウエーハ搬送装置１３が作動す
ることになる。即ち、ねじ部材２１がスクリュウシャフ
ト１９の回転により第２支持部材１８ｂ方向に移動され
ることによって、ねじ部材２１に設けられてたスライド
レール２２が搬入搬出口１ａを介して収容室２に移動さ
れることになる。そして、スライドレール２２の端部が
収容室２のウエーハ３の載置位置に到達すると、カセッ
ト保持部２４がスライドブロック２３と共にスライドレ
ール２２を移動し、収容室２のウエーハ３を保持した
後、このウエーハ３をロードロック室１１に移動させる
ことになる。When the carry-in / carry-out port 1a is opened by the rotation of the stocker door 4, the wafer transfer device 13 is activated. That is, when the screw member 21 is moved in the direction of the second support member 18b by the rotation of the screw shaft 19, the slide rail 22 provided on the screw member 21 is moved to the accommodation chamber 2 via the loading / unloading port 1a. Will be. Then, when the end portion of the slide rail 22 reaches the mounting position of the wafer 3 in the storage chamber 2, the cassette holding unit 24 moves the slide rail 22 together with the slide block 23 and holds the wafer 3 in the storage chamber 2, This wafer 3 is moved to the load lock chamber 11.
【００２４】この後、扉開閉装置１２が再び作動するこ
とになり、保持部材１７が第１アーム部材１５および第
２アーム部材１６により移動されることによって、保持
部材１７に保持されたストッカ用扉４が２点鎖線で示す
位置から実線で示す位置まで回動され、搬入搬出口１ａ
がストッカ用扉４により閉じられることになる。そし
て、搬入搬出装置用扉９が回動されて搬入搬出装置６の
前面側の開口部が開かれ、ロードロック室１１のウエー
ハ３が取り出されることになる。After that, the door opening / closing device 12 is activated again, and the holding member 17 is moved by the first arm member 15 and the second arm member 16, so that the stocker door is held by the holding member 17. 4 is rotated from the position shown by the chain double-dashed line to the position shown by the solid line, and the loading / unloading port 1a
Will be closed by the stocker door 4. Then, the loading / unloading device door 9 is rotated to open the front opening of the loading / unloading device 6, and the wafer 3 in the load lock chamber 11 is taken out.
【００２５】このように、本実施例の搬入搬出装置６
は、複数に区分された収容室２に保管用ガスを充満させ
ながら保管対象物（ウエーハ３）を保管するクリーンル
ーム用ストッカ１に対して保管対象物を搬入および搬出
するものであり、各収容室２に対応するクリーンルーム
用ストッカ１の壁面に接合して機密状態のロードロック
室１１を形成する筒体７と、ロードロック室１１に保管
用ガスを供給するガス供給手段（ガス供給孔７ａ、ガス
配管３０、ガス貯留タンク）と、収容室２およびロード
ロック室１１間における保管対象物の搬送に使用される
搬送手段（ウエーハ搬送装置１３）とを有している。As described above, the loading / unloading device 6 of this embodiment
Is a unit for loading and unloading the storage object into and from the clean room stocker 1 for storing the storage object (wafer 3) while filling the storage gas into the plurality of divided storage chambers 2. No. 2 corresponding to No. 2, a cylinder body 7 that is joined to the wall surface of the clean room stocker 1 to form a load-lock chamber 11 in a confidential state, and gas supply means (gas supply hole 7a, gas) for supplying storage gas to the load-lock chamber 11. It has a pipe 30 and a gas storage tank), and a transfer means (wafer transfer device 13) used to transfer the storage object between the storage chamber 2 and the load lock chamber 11.
【００２６】これにより、各収容室２に対応するクリー
ンルーム用ストッカ１の壁面に筒体７を接合して機密状
態のロードロック室１１を形成し、ガス供給手段により
ロードロック室１１を保管用ガスで充満させた後、収容
室２およびロードロック室１１間における保管対象物の
搬送を行うようになっているため、収容室２に対して保
管対象物を搬入および搬出する際に、収容室２に充満す
る保管用ガスの濃度が低下することがない。従って、収
容室２の保管用ガスが常に所定の濃度に充満された状態
になっているため、収容室２への保管用ガスの供給が不
要となり、搬入および搬出後における保管用ガスの供給
時間の削減により生産性を一層向上させることが可能に
なっている。As a result, the cylindrical body 7 is joined to the wall surface of the stocker 1 for clean room corresponding to each storage chamber 2 to form the load-lock chamber 11 in a confidential state, and the load-lock chamber 11 is stored by the gas supply means. Since the storage target object is conveyed between the storage chamber 2 and the load lock chamber 11 after the storage target object 2 is filled with the storage chamber 2, when the storage target object is carried in and out of the storage chamber 2, The concentration of the storage gas that fills up with will not decrease. Therefore, since the storage gas in the storage chamber 2 is always filled with a predetermined concentration, it is not necessary to supply the storage gas to the storage chamber 2, and the storage gas supply time after loading and unloading is eliminated. It has become possible to further improve productivity by reducing.
【００２７】尚、本実施例においては、搬入搬出装置６
の移動、ストッカ用扉４の開閉操作およびウエーハ３の
搬送操作が、スタッカロボット２５、扉開閉装置１２お
よびウエーハ搬送装置１３によりそれぞれ自動で行われ
るようになっているが、これに限定されることはない。
即ち、図３に示すように、筒体７にグローブ３１（搬送
手段）を機密状態に設けたものあっても良く、図４に示
すように、作業員が搬入搬出装置６をクリーンルーム用
ストッカ１の所定の位置に移動させ、係合孔部７ｂ・７
ｂと係合凸部１ｂ・１ｂとを係合させることによって、
搬入搬出装置６をクリーンルーム用ストッカ１に取り付
けた後、図３に示すように、グローブ３１を介して開閉
操作および搬送操作を行うようになっていても良い。In this embodiment, the loading / unloading device 6
The stacker robot 25, the door opening / closing device 12, and the wafer transfer device 13 automatically perform the movement of the stacker, the opening / closing operation of the stocker door 4, and the transfer operation of the wafer 3, respectively, but the present invention is not limited to this. There is no.
That is, as shown in FIG. 3, the cylinder 7 may be provided with the gloves 31 (conveying means) in a confidential state, and as shown in FIG. 4, the worker loads the carry-in / carry-out device 6 into the clean room stocker 1. To a predetermined position of the engaging hole 7b
By engaging b with the engaging protrusions 1b and 1b,
After the loading / unloading device 6 is attached to the clean room stocker 1, as shown in FIG. 3, the opening / closing operation and the carrying operation may be performed via the globe 31.
【００２８】[0028]
【発明の効果】本発明は、以上のように、各収容室に対
応するクリーンルーム用ストッカの壁面に接合して機密
状態のロードロック室を形成する筒体と、上記ロードロ
ック室に保管用ガスを供給するガス供給手段と、収容室
および上記ロードロック室間において保管対象物を搬送
する搬送手段とを有している構成であるから、収容室に
対して保管対象物を搬入および搬出する際に、収容室に
充満する保管用ガスの濃度を低下させることがない高性
能なストッカとすることができるという効果を奏する。As described above, according to the present invention, the cylindrical body which is joined to the wall surface of the stocker for clean room corresponding to each storage chamber to form the load lock chamber in the airtight state, and the storage gas in the load lock chamber are provided. When the storage object is carried in and out of the storage chamber, the gas supply means for supplying the storage object and the transfer means for transferring the storage object between the storage chamber and the load lock chamber are included. In addition, it is possible to obtain a high-performance stocker that does not reduce the concentration of the storage gas filled in the storage chamber.
【図１】クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の動
作状態を示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram showing an operating state of a carry-in / carry-out device of a clean room stocker.
【図２】クリーンルーム用ストッカに取り付けられたク
リーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view of a carry-in / carry-out device of a clean room stocker attached to the clean room stocker.
【図３】グローブが備えられたクリーンルーム用ストッ
カの搬入搬出装置の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a carry-in / carry-out device of a clean room stocker provided with gloves.
【図４】クリーンルーム用ストッカに取り付けられたク
リーンルーム用ストッカの搬入搬出装置の斜視図であ
る。FIG. 4 is a perspective view of a carry-in / carry-out device of the clean room stocker attached to the clean room stocker.
【図５】クリーンルーム用ストッカの斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a clean room stocker.
１ クリーンルーム用ストッカ ２ 収容室 ３ ウエーハ ４ ストッカ用扉 ５ 第１シール部材 ６ クリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置 ７ 筒体 ８ 第２シール部材 ９ 搬入搬出装置用扉 １０ 第３シール部材 １１ ロードロック室 １２ 扉開閉装置 １３ ウエーハ搬送装置 ３１ グローブ 1 Clean Room Stocker 2 Storage Room 3 Wafer 4 Stocker Door 5 First Seal Member 6 Clean Room Stocker Carry-in / carry-out Device 7 Cylindrical Body 8 Second Seal Member 9 Carry-in / Carry-out Device Door 10 Third Seal Member 11 Load Lock Room 12 Door opening / closing device 13 Wafer transfer device 31 Gloves
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 幹 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Miki Tanaka 100, Takegahana Town, Ise City, Mie Prefecture Shinko Electric Co., Ltd. Ise Factory
Claims (1)
充満させながら保管対象物を保管するクリーンルーム用
ストッカに対して保管対象物を搬入および搬出するもの
であり、 上記各収容室に対応するクリーンルーム用ストッカの壁
面に接合して機密状態のロードロック室を形成する筒体
と、 上記ロードロック室に保管用ガスを供給するガス供給手
段と、 上記収容室および上記ロードロック室間において保管対
象物を搬送する搬送手段とを有していることを特徴とす
るクリーンルーム用ストッカの搬入搬出装置。1. A storage object is loaded into and unloaded from a stocker for a clean room in which a storage gas is stored in a plurality of compartments filled with storage gas. A cylindrical body that is bonded to the wall surface of the clean room stocker to form a load lock chamber in a confidential state, a gas supply unit that supplies a storage gas to the load lock chamber, and a storage unit between the storage chamber and the load lock chamber. A loading / unloading device for a clean room stocker, comprising: a transporting unit that transports an object.
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Applications Claiming Priority (1)
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| JP (1) | JP3671439B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010509785A (en) * | 2006-11-15 | 2010-03-25 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | Removable compartment for workpiece stocker |
| US10643878B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-05-05 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Removable compartments for workpiece stocker |
| US10930536B2 (en) | 2006-06-09 | 2021-02-23 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Workpiece stocker with circular configuration |
-
1994
- 1994-08-17 JP JP21652194A patent/JP3671439B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2010509785A (en) * | 2006-11-15 | 2010-03-25 | ダイナミック マイクロシステムズ セミコンダクター イクイップメント ゲーエムベーハー | Removable compartment for workpiece stocker |
| US10643878B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-05-05 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Removable compartments for workpiece stocker |
| US10672633B2 (en) | 2006-11-15 | 2020-06-02 | DYNAMIC MICRO SYSTEMS SEMICONDUCTOR EQUIPMENT, GmbH | Removable compartments for workpiece stocker |
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