JPH0833858A - Polar fluid control nozzle device - Google Patents
Polar fluid control nozzle deviceInfo
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- JPH0833858A JPH0833858A JP6174402A JP17440294A JPH0833858A JP H0833858 A JPH0833858 A JP H0833858A JP 6174402 A JP6174402 A JP 6174402A JP 17440294 A JP17440294 A JP 17440294A JP H0833858 A JPH0833858 A JP H0833858A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、極性流体制御ノズル
装置に関するものである。さらに詳しくは、この発明
は、気体、液体、気液混相もしくはさらに固体粒子等を
含有した混相流からなる各種流体の噴出流体径を制御
し、ノズルの腐食、摩耗等の劣化や、吐出口部での液シ
ールや液ダレの防止性能等に優れた新しい流体噴出ノズ
ル装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polar fluid control nozzle device. More specifically, the present invention controls the ejection fluid diameter of various fluids consisting of a gas, a liquid, a gas-liquid mixed phase or a mixed phase flow containing solid particles and the like, to prevent deterioration of nozzle corrosion, wear, etc., and the discharge port. The present invention relates to a new fluid ejection nozzle device which is excellent in liquid sealing and liquid dripping prevention performance.
【０００２】[0002]
【従来の技術とその課題】従来より、各種の産業分野に
おいて様々な目的の流体噴射ノズル装置が使用されてい
る。そして、この場合の、流体としては、気体、液体、
気液混相、さらには固体粒子や繊維状固体を含有したも
の等の様々なものが対象となっている。これらの各種の
ノズル装置においては、加圧した液体を絞った径の吐出
口より噴出させるとの原理において共通している。2. Description of the Related Art Conventionally, fluid ejection nozzle devices for various purposes have been used in various industrial fields. And, in this case, as the fluid, gas, liquid,
Various objects such as gas-liquid mixed phase, and those containing solid particles or fibrous solids are targeted. These various nozzle devices have the same principle on the principle that the pressurized liquid is ejected from the ejection port having a narrowed diameter.
【０００３】これらの従来装置では、いずれの場合に
も、加圧された流体とノズル内面との接触は極めて厳し
い状態にあり、ノズル内面の摩耗、さらには流体の種類
によってはその腐食という問題が避けられず、また、粘
性流体の場合には、水頭差による吐出量のバラツキ、こ
れら流体によるノズル吐出口部での液ダレ現象が生じノ
ズル噴射流体径そのものの大きさの制御とともに、それ
らの改善が難しいという問題があった。In any of these conventional devices, in any case, the contact between the pressurized fluid and the inner surface of the nozzle is extremely severe, and there is a problem that the inner surface of the nozzle is abraded and, depending on the type of fluid, its corrosion. It is unavoidable, and in the case of viscous fluids, the discharge amount varies due to the head difference, and the liquid sagging phenomenon at the nozzle discharge port due to these fluids occurs. There was a problem that it was difficult.
【０００４】このため、ノズルの寿命の延長、ノズルの
噴出径の制御、さらには吐出量のバラツキ、液ダレの防
止性等の問題の解決は各種の産業利用にとっての焦眉の
課題となっていた。Therefore, the extension of the life of the nozzle, the control of the ejection diameter of the nozzle, the solution of the problems such as the variation of the discharge amount, the prevention of the liquid dripping, etc. have been a serious problem for various industrial applications. .
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、流体噴出ノズル装置であって、
ノズルの流体接触面の少くとも一部には、流体と同じ、
もしくは逆の極性を付与する手段が設けられていること
を特徴とする極性流体制御ノズル装置を提供する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is to solve the above problems by providing a fluid jet nozzle device,
At least part of the fluid contact surface of the nozzle is the same as the fluid,
Alternatively, a polar fluid control nozzle device is provided, which is provided with means for imparting opposite polarities.
【０００６】この発明は、また、上記の極性の付与を電
界または磁界ピンチ効果によるものとすることや、ノズ
ル吐出口部に極性が付与されていること等をその態様と
してもいる。The present invention also has an aspect in which the above-mentioned polarity is given by the electric field or magnetic field pinch effect, the nozzle discharge port is given a polarity, and the like.
【０００７】[0007]
【作用】この発明においては、ノズル装置の流体接触面
に極性を付与することにより、この接触面と流体とを非
接触とすることができ、また、ノズルからの流体の吐出
径を制御することも可能となる。しかも、たとえば、半
導体製造用のペースト等の粘性流体を対象とする場合に
は、従来のノズル装置では水頭差による吐出量のバラツ
キ、液ダレ現象が問題になるが、この発明においては、
吐出量のバラツキ、液のシール性、液ダレ性を防止する
ことが可能となる。In the present invention, by imparting polarity to the fluid contact surface of the nozzle device, the fluid can be brought into non-contact with this contact surface, and the discharge diameter of the fluid from the nozzle can be controlled. Will also be possible. Moreover, for example, when a viscous fluid such as a paste for semiconductor production is targeted, the conventional nozzle device causes a problem of variation in discharge amount due to a head difference, and a liquid sag phenomenon, but in the present invention,
It is possible to prevent variations in discharge amount, liquid sealing properties, and liquid dripping properties.
【０００８】また、この発明においては、スパイラルノ
ズルとして、この発明の発明者が開発した、コアンダス
パイラルノズルを用いる場合には、この発明の特徴は一
層顕著なものとなる。コアンダスパイラルノズルによる
スパイラル噴流は、いわゆるコアンダ効果の発現と、特
異なスパイラル流の生成として特徴づけられるものであ
り、従来広く利用されている乱流とは本質的に異なる流
体運動の現象を示すものである。このコアンダスパイラ
ル流は、流体の流れる軸方向流とその周囲との速度差、
および１度差が大きく、管軸の流れが速く外側の流れが
遅いという、いわゆるスティーパな速度分布を示す。ま
た、その乱れ度は、通常の乱流が０．２であるとする
と、０．０９と半分以下の値を示し、乱流とは本質的に
異なっている。そして、軸方向ベクトルと半径方向ベク
トルとの合成によって特有のスパイラル流を形成する。Further, in the present invention, when the Coanda spiral nozzle developed by the inventor of the present invention is used as the spiral nozzle, the feature of the present invention becomes more remarkable. The spiral jet generated by the Coanda spiral nozzle is characterized by the so-called Coanda effect and the generation of a unique spiral flow, and shows a fluid motion phenomenon that is essentially different from the turbulent flow widely used in the past. Is. This Coanda spiral flow is the difference in velocity between the axial flow of the fluid and its surroundings,
And a large difference of 1 degree, the flow of the tube axis is fast and the flow of the outer side is slow, showing a so-called steeper velocity distribution. Further, the degree of turbulence is 0.09, which is half or less when the normal turbulent flow is 0.2, which is essentially different from the turbulent flow. Then, a unique spiral flow is formed by combining the axial vector and the radial vector.
【０００９】コアンダスパイラル流によるノズル噴流の
形成は、基本的には図１によって模式的に示すことがで
きる。すなわち、たとえばこの図１に示すことができる
ように、環状コアンダスリット（１）から、分配室
（２）を介して供給された加圧流体（３）を傾斜面
（４）、もしくは湾曲面に沿って噴出させ、吐出口
（５）よりスパイラル流を吐出させ同時に加圧流体
（３）の噴出により生成する導入口（６）の強い負圧吸
引域から洗浄液からなる流体（７）を導入供給すること
を基本的態様としている。The formation of the nozzle jet by the Coanda spiral flow can be basically shown schematically in FIG. That is, for example, as shown in FIG. 1, the pressurized fluid (3) supplied from the annular Coanda slit (1) through the distribution chamber (2) is made into an inclined surface (4) or a curved surface. A fluid (7) consisting of a cleaning liquid is introduced and supplied from a strong negative pressure suction area of the inlet (6) which is generated by jetting along and discharging a spiral flow from the outlet (5) and simultaneously ejecting the pressurized fluid (3). The basic mode is to do.
【００１０】加圧流体（３）は、その種類や、スパイラ
ル流の態様に応じて適宜な圧力とすることができるが、
たとえば１〜１０ｋｇ／ｃｍ2 、あるいはそれ以上とす
ることができる。また、傾斜面（４）または湾曲面の傾
斜角（θ）は、５〜７０°程度までとすることができ
る。このノズルにおいて、この発明では、傾斜面（４）
もしくは湾曲面、さらには吐出口（５）の内壁面の全部
または一部に、好ましくは流体と同じ極性を付与するよ
うにする。このようにすることで、コアンダスパイラル
による軸中心流の形成としての流体運動の特徴と同じ極
性の付与との作用効果は相乗的なものとして発現される
ことになる。The pressurizing fluid (3) may have an appropriate pressure depending on its type and the mode of spiral flow.
For example, it can be 1 to 10 kg / cm 2 , or more. Moreover, the inclination angle (θ) of the inclined surface (4) or the curved surface can be up to about 5 to 70 °. In this nozzle, according to the present invention, the inclined surface (4)
Alternatively, the curved surface, and further, all or part of the inner wall surface of the discharge port (5) is preferably given the same polarity as the fluid. By doing so, the action and effect of imparting the same polarity as the characteristic of the fluid motion as the formation of the axial center flow by the Coanda spiral will be expressed as a synergistic effect.
【００１１】そこで以下、実施例を示し、さらに詳しく
この発明のノズル装置について説明する。Therefore, the nozzle device of the present invention will be described in more detail below with reference to examples.
【００１２】[0012]
【実施例】実施例１ 通常の加圧水ジェットノズルの内壁面にネオジウム磁石
（Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系磁石）を配置し、磁束密度８テスラ
によってノズル側にＮ極を配置して水ジェットを噴出さ
せた。なお、ノズル吐出口の内径を５ｍｍとした。ま
た、水は２ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で供給して噴射させた。 Example 1 A neodymium magnet (Nd-Fe-B system magnet) is arranged on the inner wall surface of a normal pressurized water jet nozzle, and an N pole is arranged on the nozzle side with a magnetic flux density of 8 Tesla to eject a water jet. It was The inner diameter of the nozzle discharge port was 5 mm. Further, water was supplied at a pressure of 2 kg / cm 2 and jetted.
【００１３】ネオジウム磁石によるピンチ効果で、水と
は同じ極性がノズル内壁面に付与されていることで、水
の噴流径は３ｍｍに縮少されていることが確認された。実施例２ 半導体装置製造のための負極の電荷を有する銀ペースト
吐出のためのペーストディスペンサノズル（ノズル吐出
口内径０．１ｍｍ）の吐出口に、同じ極性の電界極性を
付与し、銀ペーストとは同じ極性となるようにした。It was confirmed that the jetting diameter of water was reduced to 3 mm because the same polarity as that of water was applied to the inner wall surface of the nozzle by the pinch effect of the neodymium magnet. Example 2 The same electric field polarity was applied to the discharge port of a paste dispenser nozzle (nozzle discharge port inner diameter 0.1 mm) for discharging a silver paste having a negative electric charge for manufacturing a semiconductor device. It was made to have the same polarity.
【００１４】電界極性を付与しない場合には、３０ｍｍ
／ｓｅｃのスキャン速度で３００μｍ幅のラインが形成
されていたが、電界極性を付与することで、安定して幅
２００μｍのラインが形成可能とされた。また、その際
に、ペースト供給の終了時には、ノズルの極性を流体流
とは逆の極性とすることで、液ダレを防止した。実施例３ 図１に例示したコアンダスパイラルノズルを用いた。環
状コアンダスリット（１）の幅は０．１ｍｍ、傾斜面
（４）の傾斜角（θ）を３０°、吐出口（５）の内径を
２０ｍｍとした。外周面にコイルを配置し、直流１００
Ｖ１Ａの条件により通電して傾斜面（４）と吐出口
（５）の内壁面に電界極性を付与した。When no electric field polarity is applied, 30 mm
Although a line having a width of 300 μm was formed at a scan speed of / sec, it was possible to form a line having a width of 200 μm stably by applying electric field polarity. Further, at that time, at the end of the paste supply, the polarity of the nozzle was set to the opposite polarity to the fluid flow, thereby preventing liquid dripping. Example 3 The Coanda spiral nozzle illustrated in FIG. 1 was used. The width of the annular Coanda slit (1) was 0.1 mm, the inclination angle (θ) of the inclined surface (4) was 30 °, and the inner diameter of the discharge port (5) was 20 mm. A coil is placed on the outer peripheral surface, and DC 100
Electricity was applied under the condition of V1A to impart electric field polarity to the inclined surface (4) and the inner wall surface of the discharge port (5).
【００１５】この場合、環状コイルの断面形状は傾斜面
に対応するように台形とした。環状コアンダスリット
（１）より水系洗浄液を５ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で噴出さ
せ、導入口（６）よりこの洗浄液を吸引させた。ノズル
出口よりスパイラル噴流が吐出された。噴流の径は１３
〜１６ｍｍに制御され、噴流は安定していた。In this case, the sectional shape of the annular coil is trapezoidal so as to correspond to the inclined surface. An aqueous cleaning liquid was ejected from the annular Coanda slit (1) at a pressure of 5 kg / cm 2 , and this cleaning liquid was sucked from the inlet (6). A spiral jet was discharged from the nozzle outlet. Jet diameter is 13
It was controlled to ~ 16 mm and the jet was stable.
【００１６】[0016]
【発明の効果】この発明により、以上詳しく説明した通
り、ノズル噴出径の制御が可能となり、噴出流のバラツ
キ、液ダレ現象等の不都合を防止することが可能とな
る。As described in detail above, according to the present invention, it is possible to control the nozzle ejection diameter and prevent inconveniences such as jet flow variations and liquid dripping.
【図１】コアンダスパイラルノズルを例示した断面図で
ある。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating a Coanda spiral nozzle.
１ 環状コアンダスリット ２ 分配室 ３ 加圧流体 ４ 傾斜面 ５ 吐出面 ６ 導入口 ７ 流体 1 Annular Coanda slit 2 Distribution chamber 3 Pressurized fluid 4 Inclined surface 5 Discharge surface 6 Inlet port 7 Fluid
Claims (5)
流体接触面の少くとも一部には流体と同じ、もしくは逆
の極性を付与する手段が設けられていることを特徴とす
る極性流体制御ノズル装置。1. A fluid ejecting nozzle device, characterized in that at least a part of a fluid contact surface of the nozzle is provided with means for imparting the same or opposite polarity as the fluid. Nozzle device.
１のノズル装置。2. The nozzle device according to claim 1, wherein the polarity is imparted by an electric field.
いる請求項１のノズル装置。3. The nozzle device according to claim 1, wherein the magnetic field pinch effect imparts polarity.
る請求項１、２または３のノズル装置。4. The nozzle device according to claim 1, 2 or 3, wherein the nozzle discharge ports are provided with opposite polarities.
ある請求項１、２、３または４のノズル装置。5. The nozzle device according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein the nozzle device is a spiral flow jet nozzle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6174402A JPH0833858A (en) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | Polar fluid control nozzle device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6174402A JPH0833858A (en) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | Polar fluid control nozzle device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0833858A true JPH0833858A (en) | 1996-02-06 |
Family
ID=15977945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6174402A Pending JPH0833858A (en) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | Polar fluid control nozzle device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0833858A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100419299B1 (en) * | 2001-02-28 | 2004-02-19 | (주)케이.씨.텍 | Nozzle for injecting sublimable solid particles entrained in gas for cleaning a surface |
| KR100649445B1 (en) * | 2005-10-17 | 2006-11-27 | 삼성전기주식회사 | Wiring forming method and device |
| KR100749739B1 (en) * | 2006-02-10 | 2007-08-16 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for manufacturing semiconductor devices |
| JP2014175532A (en) * | 2013-03-11 | 2014-09-22 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
| CN105964433A (en) * | 2016-07-04 | 2016-09-28 | 江苏大学 | Mutual feedback jet flow spray nozzle and spraying method |
| JP2017064394A (en) * | 2016-09-14 | 2017-04-06 | Toto株式会社 | Water discharge device |
-
1994
- 1994-07-26 JP JP6174402A patent/JPH0833858A/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100419299B1 (en) * | 2001-02-28 | 2004-02-19 | (주)케이.씨.텍 | Nozzle for injecting sublimable solid particles entrained in gas for cleaning a surface |
| KR100649445B1 (en) * | 2005-10-17 | 2006-11-27 | 삼성전기주식회사 | Wiring forming method and device |
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