JPH08180623A - Magnetic disk device - Google Patents
Magnetic disk deviceInfo
- Publication number
- JPH08180623A JPH08180623A JP31986494A JP31986494A JPH08180623A JP H08180623 A JPH08180623 A JP H08180623A JP 31986494 A JP31986494 A JP 31986494A JP 31986494 A JP31986494 A JP 31986494A JP H08180623 A JPH08180623 A JP H08180623A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- magnetic disk
- head
- load arm
- disk device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク装置に係
り、特に、スライダをディスクの半径方向へ高精度に位
置決めするのに好適な磁気ディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk device, and more particularly to a magnetic disk device suitable for accurately positioning a slider in the radial direction of a disk.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、磁気ディスク装置は、データを
記憶する記録面をもつ複数枚の磁気ディスクを備えてお
り、これらのディスクに対して、情報の書き込みおよび
読み出しを行う複数個の磁気ヘッド（電磁変換素子）、
およびこれらヘッドを位置決めするためのボイスコイル
モータ等を備えている。2. Description of the Related Art Generally, a magnetic disk device is provided with a plurality of magnetic disks each having a recording surface for storing data, and a plurality of magnetic heads for writing and reading information to and from these disks ( Electromagnetic conversion element),
And a voice coil motor for positioning these heads.
【０００３】複数個の磁気ヘッドは、それぞれロードア
ームを介してキャリッジに取り付けられ、ボイスコイル
モータにより一体と成って駆動される。キャリッジは、
玉軸受を介して回転可能にベースへ取り付けられ、ボイ
スコイルモータにより回転駆動される。A plurality of magnetic heads are attached to a carriage via load arms, and are integrally driven by a voice coil motor. The carriage is
It is rotatably attached to the base via a ball bearing, and is rotationally driven by a voice coil motor.
【０００４】この場合のヘッド位置決めは、ディスクの
記録面に間欠的に位置決め情報を記憶させ、この位置決
め情報の間にデータ情報を記憶させている。ヘッドから
間欠的に得られる位置情報に基づきヘッドを位置決めす
る、いわゆるデータ面サーボ方式が一般的である。In the head positioning in this case, positioning information is intermittently stored on the recording surface of the disk, and data information is stored between the positioning information. A so-called data surface servo system, which positions the head based on position information obtained intermittently from the head, is common.
【０００５】ところが、玉軸受の持つころがり摩擦のた
めに、キャリッジは０．００００１ｒａｄ程度より小さ
い回転角を制御できず、ヘッドの微小位置決めを妨げる
要因になっている。特に、近年、記録密度の増大にとも
なって、情報トラックの間隔が狭くなるとともに、玉軸
受のころがり摩擦の対策は重要な課題になってきてい
る。However, due to the rolling friction of the ball bearings, the carriage cannot control a rotation angle smaller than about 0.00001 rad, which is a factor that hinders fine positioning of the head. Particularly, in recent years, as the recording density has increased, the distance between the information tracks has become narrower, and countermeasures against rolling friction of ball bearings have become an important issue.
【０００６】この課題の対策手段として、複数個の磁気
ヘッドを一体で長ストローク移動させるボイスコイルモ
ータに加えて、個々のヘッドを独立に微小位置決めする
ためのアクチュエータ（圧電素子）をキャリッジに搭載
し、ロードアームをキャリッジに対して相対的に微小移
動させてヘッドを微小変位させる方法や、ヘッドをスラ
イダに対して相対的に移動させるアクチュエータ（圧電
素子）をスライダに組み込む方式が提案されている。上
記従来技術は、例えば、特開平３−１８３０７０号、お
よび特開昭６２−２５０５７０号に開示されている。As a measure against this problem, in addition to a voice coil motor for integrally moving a plurality of magnetic heads for a long stroke, an actuator (piezoelectric element) for independently minutely positioning each head is mounted on a carriage. There have been proposed a method of slightly moving the load arm relative to the carriage to slightly displace the head, and a method of incorporating an actuator (piezoelectric element) for moving the head relative to the slider into the slider. The above-mentioned conventional techniques are disclosed, for example, in Japanese Patent Laid-Open Nos. 3-183070 and 62-250570.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、磁気デ
ィスク装置において、ヘッド位置決めを従来以上に高精
度に行う場合、ヘッドを微小駆動する圧電素子は、駆動
電圧に対する出力変位がヒステリシスをもつ非線形素子
であり、この非線形特性がヘッド位置決めの高精度化を
制約し、ヘッド位置決めに要するアクセス時間の高速化
を妨げるという点に考慮がなされていなかった。また、
圧電素子の歪は極めて小さいため、拡大機構を介してヘ
ッドを位置決めする必要があり、複雑な構造になってい
た。However, in the magnetic disk device, when head positioning is performed with higher accuracy than ever before, the piezoelectric element for minutely driving the head is a non-linear element whose output displacement with respect to the drive voltage has hysteresis. However, it has not been taken into consideration that this non-linear characteristic restricts the accuracy of head positioning from being high and prevents the access time required for head positioning from being speeded up. Also,
Since the distortion of the piezoelectric element is extremely small, it is necessary to position the head through the magnifying mechanism, resulting in a complicated structure.
【０００８】本発明の目的は、ヘッドの微小駆動を行う
機能を有し、高密度記録におけるヘッド位置決めを可能
にする、高精度な位置決め性能を有する機構により、よ
り実用的な磁気ディスク装置を提供することである。An object of the present invention is to provide a more practical magnetic disk device by a mechanism having a function of finely driving a head and enabling head positioning in high-density recording and having highly accurate positioning performance. It is to be.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】上記目的は、スライダを
トラック方向に駆動する微小変位アクチュエータを、ヘ
ッドを取り付けたスライダを弾性支持する個々のロード
アームに搭載することにより達成される。この微小変位
アクチュエータを静電形アクチュエータで構成すること
により、ロードアームの先端部分の狭い範囲にヘッドを
微動させる駆動手段が形成される。The above object is achieved by mounting a minute displacement actuator for driving the slider in the track direction on each load arm elastically supporting the slider on which the head is mounted. By configuring the micro displacement actuator by an electrostatic actuator, a driving means for finely moving the head is formed within a narrow range of the tip portion of the load arm.
【００１０】すなわち、本発明は、ヘッドを搭載するス
ライダと、前記スライダを支持するロードアームとを有
し、前記ヘッドによりディスクに情報を書き込みまたは
読み出しする磁気ディスク装置において、前記ロードア
ームに対する前記スライダの相対的移動を制御する微動
駆動手段を設けたことを特徴とするものである。That is, according to the present invention, in a magnetic disk device having a slider for mounting a head and a load arm for supporting the slider, and for writing or reading information to or from the disk by the head, the slider for the load arm is used. Is provided with fine movement drive means for controlling the relative movement of the.
【００１１】また、ヘッドを搭載するスライダと、前記
スライダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッド
によりディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁
気ディスク装置において、前記ロードアームに、前記ス
ライダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動する手段が
設けられていることを特徴とするものである。Further, in a magnetic disk device having a slider for mounting a head and a load arm for supporting the slider, wherein the head writes or reads information on a disk, the slider is mounted on the load arm. It is characterized in that a means for minutely driving in the radial direction is provided.
【００１２】また、回転支持される記録面を持つディス
クと、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読
み出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記デ
ィスク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、
前記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変
動に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持す
るロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて
前記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めする
ための駆動手段を有する磁気ディスク装置において、前
記ロードアームに対する前記スライダの相対的移動を制
御する微動駆動手段を設けたことを特徴とするものであ
る。Also, a disk having a recording surface which is rotatably supported, a head for writing or reading information on the recording surface of the disk, and a slider for mounting the head and maintaining a stable head posture on the disk. When,
A load arm that elastically supports the minute rotational movement of the slider and the movement of the slider to follow the out-of-plane variation of the disk; A magnetic disk device having a drive means for positioning on a track is characterized by comprising fine movement drive means for controlling relative movement of the slider with respect to the load arm.
【００１３】また、回転支持されたディスクの記録面上
で、情報を書き込みまたは読み出しを行うためのヘッド
を取り付けたスライダを弾性支持するロードアームを有
し、前記ヘッドを情報トラックに位置決めするための駆
動手段を搭載した磁気ディスク装置において、前記ロー
ドアームをシリコン板で製作し、前記ロードアームに、
前記スライダを弾性支持する梁を形成し、かつ前記ロー
ドアームに対する前記スライダの相対的移動を制御する
微動駆動手段を固着させて形成したことを特徴とするも
のである。Further, a load arm for elastically supporting a slider having a head for writing or reading information on the recording surface of the rotatably supported disk is provided for positioning the head on the information track. In a magnetic disk device equipped with a driving means, the load arm is made of a silicon plate, and the load arm is
A beam for elastically supporting the slider is formed, and a fine movement driving means for controlling relative movement of the slider with respect to the load arm is fixedly formed.
【００１４】また、上記目的を、回転支持される記録面
を持つディスクと、前記ディスクの記録面に情報を書き
込みまたは読み出しするためのヘッドと、前記ヘッドを
取付け前記ディスク上のヘッド姿勢を安定に保つための
スライダと、前記スライダの微小回転運動と、前記ディ
スクの面外変動に追従するためのスライダの運動とを平
行に配設した梁で弾性的に支持するロードアームと、前
記ロードアームを揺動回転させて前記ヘッドを前記記録
面の情報トラックに位置決めするための駆動手段を有
し、前記ヘッドを所定のトラックに位置決めして追従さ
せる位置決め手段を備えた磁気ディスク用ヘッド位置決
め装置において、前記位置決め手段は、前記ロードアー
ムに設けられ、前記スライダを前記ディスクの半径方向
へ微小駆動する手段であることを特徴とする磁気ディス
ク用ヘッド位置決め装置によっても達成することができ
る。Further, for the above-mentioned purpose, a disk having a recording surface which is rotatably supported, a head for writing or reading information on the recording surface of the disk, and a head posture on the disk to which the head is attached to stabilize the head posture. A slider for maintaining the load, a load arm for elastically supporting a minute rotational movement of the slider, and a load arm elastically supported by a beam arranged in parallel with the movement of the slider for following the out-of-plane variation of the disk, and the load arm. A head positioning device for a magnetic disk, comprising a driving means for oscillating and rotating to position the head on an information track of the recording surface, and a positioning means for positioning the head to follow a predetermined track. The positioning means is provided on the load arm and finely drives the slider in the radial direction of the disk. Can also be achieved by the head positioning device for a magnetic disk, characterized in that.
【００１５】[0015]
【作用】上記構成によれば、ヘッドを搭載したスライダ
を、ロードアームに対して微小移動させることができる
ので、ディスク面の所定位置に、ヘッドを高精度に位置
決めし、追従させることができる。例えば、スライダを
弾性支持するロードアームは、ロードアームの先端部分
に設けた梁構造で、さらにスライダを支持しており、梁
を撓ませることにより微動駆動手段である微小変位アク
チュエータの可動部分を、スライダと一体的にトラック
方向へ微動させ、ヘッドを高精度に位置決めすることが
できる。According to the above construction, the slider on which the head is mounted can be finely moved with respect to the load arm, so that the head can be accurately positioned and follow the predetermined position on the disk surface. For example, a load arm that elastically supports a slider has a beam structure provided at a tip end portion of the load arm, and further supports the slider, and by bending the beam, a movable portion of a minute displacement actuator that is a fine movement driving unit is The head can be positioned with high accuracy by finely moving in the track direction integrally with the slider.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照して説
明する。図１は、磁気ディスク装置の全体構成を示す図
である。ディスク６は磁気記録のためのディスク、スピ
ンドルモータ９９は、ディスク６を高速回転させるモー
タである。ヘッド７は、情報の書き込みおよび読み取り
を行う。微動駆動手段１５は、ヘッド７をディスク６の
半径方向へ、１〜１５μｍ程度、微小変位させる微動駆
動手段であり、静電アクチュエータを構成している。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing the overall configuration of a magnetic disk device. The disk 6 is a disk for magnetic recording, and the spindle motor 99 is a motor for rotating the disk 6 at high speed. The head 7 writes and reads information. The fine movement driving means 15 is a fine movement driving means for finely displacing the head 7 in the radial direction of the disk 6 by about 1 to 15 μm, and constitutes an electrostatic actuator.
【００１７】これら、ヘッド７、微動駆動手段１５は、
ロードアーム３に支持され、ピボット軸８回わりに、複
数のロードアーム３が、一体的に回転する構造であり、
ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１３は、ヘッド７を高速
に長ストローク回転移動させる。The head 7 and the fine movement driving means 15 are
A structure in which a plurality of load arms 3 are integrally rotated around the pivot shaft 8 supported by the load arm 3,
The voice coil motor (VCM) 13 moves the head 7 at high speed for long stroke rotation.
【００１８】また、制御回路１０１は、ボイスコイルモ
ータ１３を制御するＶＣＭ制御回路、制御回路１０３
は、微動駆動手段１５を制御する静電アクチュエータ制
御回路、増幅器５６は、静電アクチュエータ制御回路１
０３の出力を増幅する増幅器、スイッチ１０５は、ヘッ
ド選択信号１１２に応じて駆動すべき微動駆動手段１５
を選択する静電アクチュエータ選択スイッチ、スイッチ
１０６は、ヘッド７からの入出力信号を選択するヘッド
切換スイッチであり、そのほか、信号処理回路１０４、
メインコントローラ１００を備える。The control circuit 101 is a VCM control circuit for controlling the voice coil motor 13, and a control circuit 103.
Is an electrostatic actuator control circuit for controlling the fine movement driving means 15, and the amplifier 56 is an electrostatic actuator control circuit 1.
An amplifier for amplifying the output of 03, the switch 105, the fine movement driving means 15 to be driven according to the head selection signal 112
The switch 106 for selecting the electrostatic actuator is a head changeover switch for selecting an input / output signal from the head 7, and the signal processing circuit 104,
The main controller 100 is provided.
【００１９】磁気ディスク装置の動作中、ＶＣＭ制御回
路１０１は、メインコントローラ１００から与えられた
移動指令値１１０に基づき、情報位置にアクセスするシ
ークモードと、トラックに追従するフォローイングモー
ドを切り換え、さらに、ヘッド７からのヘッド位置情報
のフィードバックにより、ボイスコイルモータ１３およ
び微動駆動手段１５を駆動する。During operation of the magnetic disk device, the VCM control circuit 101 switches between the seek mode for accessing the information position and the following mode for following the track based on the movement command value 110 given from the main controller 100, and The voice coil motor 13 and the fine movement driving means 15 are driven by feedback of head position information from the head 7.
【００２０】シーク動作では、ヘッド選択信号１１２で
選択されたヘッド７が、ロードアーム３に対して振動し
ないように、微動駆動手段１５を電気的にロック状態に
し、ボイスコイルモータ１３でヘッド７を移動させる。
また、フォローイング動作では、このロックを解除し、
ボイスコイルモータ１３と微動駆動手段１５とが協動し
てヘッド位置決めを行う。In the seek operation, the fine movement driving means 15 is electrically locked so that the head 7 selected by the head selection signal 112 does not vibrate with respect to the load arm 3, and the head 7 is moved by the voice coil motor 13. To move.
Also, in the following action, unlock this lock,
The voice coil motor 13 and the fine movement driving means 15 cooperate to position the head.
【００２１】通常、磁気ディスク装置は、複数枚のディ
スクおよび多数のヘッドを備えているため、各ヘッドを
微小変位させる微動駆動手段１５を独立に駆動する増幅
器を、それぞれ設けることは価格上好ましくない。そこ
で、本実施例では、静電アクチュエータ選択スイッチ１
０５、およびヘッド切換スイッチ１０６を設けることに
より、単一増幅器５６で多数の微動駆動手段１５を駆動
し、コスト低減を図っている。Usually, the magnetic disk device is provided with a plurality of disks and a large number of heads, and therefore it is not preferable in terms of price to provide an amplifier for independently driving the fine movement driving means 15 for slightly displacing each head. . Therefore, in the present embodiment, the electrostatic actuator selection switch 1
05 and the head changeover switch 106, a large number of fine movement driving means 15 are driven by the single amplifier 56 to reduce the cost.
【００２２】また、メインコントローラ１００からの移
動指令値１１０が、微動駆動手段１５のストローク以下
の移動の場合は、微動駆動手段１５だけでシークさせる
ことが可能となり、非常に高速なシーク動作が実現でき
る。さらに、この場合、フォローイング動作を微動駆動
手段１５のみで実現することが可能である。Further, when the movement command value 110 from the main controller 100 is less than the stroke of the fine movement driving means 15, it is possible to seek only by the fine movement driving means 15, and a very high speed seek operation is realized. it can. Further, in this case, the following operation can be realized only by the fine movement driving means 15.
【００２３】つぎに、本発明の主要部分であるヘッド位
置決め手段１について、図面を用いて説明する。図２
は、図１におけるヘッド位置決め手段１と、ディスク６
の一部分を示す部分拡大図、また、図３は、図２のＢ−
Ｂ断面図である。Next, the head positioning means 1 which is the main part of the present invention will be described with reference to the drawings. Figure 2
Is the head positioning means 1 and the disk 6 in FIG.
FIG. 3 is a partially enlarged view showing a part of FIG.
It is B sectional drawing.
【００２４】図２および図３に示すように、記録面をも
つディスク６で、情報の書き込みまたは読み出しを行う
ヘッド７を取り付けたスライダ２は、ロードアーム３に
搭載されており、回転するディスク６上の記録面上を微
小空隙を保って浮上するようにロードアーム３で支持さ
れている。As shown in FIGS. 2 and 3, a disk 6 having a recording surface, a slider 2 to which a head 7 for writing or reading information is attached, is mounted on a load arm 3 and rotates a disk 6. It is supported by the load arm 3 so as to float above the upper recording surface with a minute gap.
【００２５】ヘッド位置決め手段１は、スライダ２、ロ
ードアーム３、ロードアーム３と一体的に運動するピボ
ット軸８、ピボット軸８を回転支持する玉軸受９、ピボ
ット軸８に対してロードアーム３の反対側に設けたコイ
ル１０を取り付けたスペーサ５から構成されており、ピ
ボット軸８は玉軸受９を介してベース４に固定されてい
る。The head positioning means 1 includes a slider 2, a load arm 3, a pivot shaft 8 that moves integrally with the load arm 3, a ball bearing 9 that rotatably supports the pivot shaft 8, and a pivot shaft 8 of the load arm 3 with respect to the pivot shaft 8. It is composed of a spacer 5 provided with a coil 10 provided on the opposite side, and a pivot shaft 8 is fixed to a base 4 via a ball bearing 9.
【００２６】また、コイル１０は、ベース４に固定され
たヨーク１１と磁石１２とでボイスコイルモータ１３を
成している。ロードアーム３は図２の紙面の垂直方向
に、ばね作用を有する押圧ばね３ａをもち、スライダ２
をディスク６に押圧し、スライダ２を浮上させている空
気膜圧とバランスさせることにより、ヘッド浮上量を安
定化している。The coil 10 comprises a yoke 11 fixed to the base 4 and a magnet 12 to form a voice coil motor 13. The load arm 3 has a pressing spring 3a having a spring action in the direction perpendicular to the plane of FIG.
Is pressed against the disk 6 and balanced with the air film pressure for floating the slider 2, thereby stabilizing the head flying height.
【００２７】また、ロードアーム３の先端部（Ａ部）に
は梁構造が設けられており、スライダ２の微小回転運動
を支持する回転ばね１４と、スライダ２をロードアーム
３に対して相対的に移動させる微動駆動手段１５を成し
ている。A beam structure is provided at the tip portion (A portion) of the load arm 3, and the rotary spring 14 supporting the minute rotational movement of the slider 2 and the slider 2 relative to the load arm 3. The fine movement drive means 15 for moving to.
【００２８】図４は、図２のＡ部の拡大図、図５および
図６は、図４のＣ−Ｃ断面図およびＤ−Ｄ断面図であ
る。図５と図６は、Ａ部の断面構造を明らかにするため
に、断面された部分の形状のみを示している。FIG. 4 is an enlarged view of portion A in FIG. 2, and FIGS. 5 and 6 are sectional views taken along lines CC and DD of FIG. 5 and 6 show only the shape of the cross-sectional portion in order to clarify the cross-sectional structure of the A portion.
【００２９】回転するディスク６上を安定浮上するスラ
イダ２は、ディスク６の面外振動に追従するために、デ
ィスク６の面外方向へ運動する自由度と、ピッチング運
動とローリング運動という回転自由度を持っている。図
４のＤ−Ｄ断面を示す一点鎖線方向の軸回りのスライダ
２の微小回転運動をピッチング運動と呼び、図４のＣ−
Ｃ断面を示す一点鎖線方向の軸回りの微小回転運動をロ
ーリング運動と呼ぶことにする。The slider 2, which floats stably on the rotating disk 6, follows the out-of-plane vibration of the disk 6, and therefore has a degree of freedom of movement in the out-of-plane direction of the disk 6 and rotational degrees of freedom such as pitching motion and rolling motion. have. The minute rotational movement of the slider 2 around the axis in the alternate long and short dash line direction showing the DD cross section of FIG. 4 is called a pitching movement, and C- of FIG.
A minute rotational movement around the axis of the alternate long and short dash line showing the C section will be called rolling movement.
【００３０】回転ばね１４にはスライダ２が取り付けら
れ、その反対側の面には微動駆動手段１５が形成されて
いる。回転ばね１４は、図８に示すように、スライダ２
を接着して取り付ける姿勢板１９、姿勢板１９を支持す
るピッチングばね１６、ピッチングばね１６を支える矩
形状の回転板１８、回転板１８を支持するローリングば
ね１７から構成されており、ローリングばね１７はロー
ドアーム３に支えられている。The slider 2 is attached to the rotary spring 14, and the fine movement driving means 15 is formed on the surface opposite to the slider 2. As shown in FIG. 8, the rotary spring 14 is used for the slider 2
Is composed of an attitude plate 19 to which is attached, a pitching spring 16 that supports the attitude plate 19, a rectangular rotary plate 18 that supports the pitching spring 16, and a rolling spring 17 that supports the rotary plate 18. It is supported by the load arm 3.
【００３１】図６に示すように、ピッチングばね１６を
斜めに変形させ、姿勢板１９を回転板１８（回転板１８
はロードアーム３と同一平面上にある）より下方に配設
して、姿勢板１９にスライダ２を取り付けている。ロー
ドアーム３はステンレスＳＵＳ３０４等の板材からでき
ており、図８に示す回転ばね１４の形状は、ロードアー
ム３をエッチング加工して梁構造を形成する。As shown in FIG. 6, the pitching spring 16 is obliquely deformed, and the attitude plate 19 is rotated by the rotary plate 18 (rotary plate 18).
Is on the same plane as the load arm 3) and the slider 2 is attached to the attitude plate 19. The load arm 3 is made of a plate material such as stainless SUS304, and the shape of the rotary spring 14 shown in FIG. 8 is obtained by etching the load arm 3 to form a beam structure.
【００３２】ピッチングばね１６はプレス加工して変形
させる。ロードアーム３は、回転するディスク６の面外
変動に追従させるために、スライダ２の浮上方向運動を
押圧ばね３ａで弾性支持し、ディスク６の記録面に対し
てスライダ２の姿勢をコントロールするために、スライ
ダ２の微小回転運動を、回転ばね１４で弾性支持するも
のであり、ディスク６の半径方向（トラック方向）に対
しては剛な構造をしている。また、スライダ２のピッチ
ング運動は、ピッチングばね１６が弾性的にねじれ、ス
ライダ２のローリング運動はローリングばね１７が弾性
的にねじれる。The pitching spring 16 is pressed and deformed. The load arm 3 elastically supports the movement of the slider 2 in the flying direction by a pressing spring 3a in order to follow the out-of-plane fluctuation of the rotating disk 6, and controls the attitude of the slider 2 with respect to the recording surface of the disk 6. In addition, the minute rotational movement of the slider 2 is elastically supported by the rotary spring 14, and has a rigid structure in the radial direction (track direction) of the disk 6. The pitching motion of the slider 2 causes the pitching spring 16 to elastically twist, and the rolling motion of the slider 2 causes the rolling spring 17 to elastically twist.
【００３３】微動駆動手段１５は、図４のハッチングで
示すように、可動電極２０と固定電極２１から成り、可
動電極２０は回転板１８およびローリングばね１７上に
形成しており、固定電極２１はロードアーム３に形成し
ている。可動電極２０の上端と下端に設けたくし歯２２
は、図７に示すように、固定電極２１に設けたくし歯２
３とギャップｇを保って噛み合っており、図７は、その
噛み合い状態の一部分の拡大図である。As shown by the hatching in FIG. 4, the fine movement driving means 15 comprises a movable electrode 20 and a fixed electrode 21. The movable electrode 20 is formed on the rotary plate 18 and the rolling spring 17, and the fixed electrode 21 is It is formed on the load arm 3. Comb teeth 22 provided on the upper and lower ends of the movable electrode 20.
Is the comb tooth 2 provided on the fixed electrode 21 as shown in FIG.
3 is meshed with the gap g maintained, and FIG. 7 is an enlarged view of a part of the meshed state.
【００３４】この微動駆動手段１５は、くし歯２２、２
３の噛み合い部分で静電力Ｆｅを発生する静電式のアク
チュエータであり、静電力は、Ｆｅ＝ｎεｈｖ2／（２
ｇ）で表わされる。ここに、ｎはくし歯の数、εは誘電
率、ｈはくし歯の厚さ、ｖは印加電圧、ｇは可動電極２
０と固定電極２１とのギャップ（図７参照）である。The fine movement driving means 15 is provided with comb teeth 22, 2
It is an electrostatic actuator that generates an electrostatic force Fe at the meshing part of 3, and the electrostatic force is Fe = nεhv 2 / (2
It is represented by g). Where n is the number of comb teeth, ε is the dielectric constant, h is the thickness of the comb teeth, v is the applied voltage, and g is the movable electrode 2.
It is a gap between 0 and the fixed electrode 21 (see FIG. 7).
【００３５】可動電極２０および固定電極２１は、ステ
ンレスの板材から成るロードアーム３にコーティングし
た絶縁膜２４の上に形成し、さらに、その表面を絶縁膜
２５でおおった積層構造をしている（図５、図６参
照）。可動電極２０および固定電極２１は銅メッキでメ
ッキ層を積層して厚さ２０〜６０μｍの膜を形成する。
あるいは、これらの電極２０、２１をニッケル材の電鋳
（エレクトロフォーミング）で形成し、表面に電気抵抗
の小さい材料（例えば、銅または金）をコーティングし
て電極を形成しても目的の機能を達成できる。The movable electrode 20 and the fixed electrode 21 are formed on the insulating film 24 coated on the load arm 3 made of a stainless steel plate material, and the surface thereof is covered with the insulating film 25 to form a laminated structure ( (See FIGS. 5 and 6). The movable electrode 20 and the fixed electrode 21 are formed by laminating plated layers by copper plating to form a film having a thickness of 20 to 60 μm.
Alternatively, even if these electrodes 20 and 21 are formed by electroforming of a nickel material and the surface is coated with a material having low electric resistance (for example, copper or gold) to form the electrodes, the desired function is obtained. Can be achieved.
【００３６】つぎに、ヘッド位置決め手段１の動作につ
いて、図２および図９を用いて説明する。ここで、図９
は、図１における制御回路と対応しており、さらに詳細
に説明するために、フォローイング動作に関係する部分
を表している。Next, the operation of the head positioning means 1 will be described with reference to FIGS. 2 and 9. Here, FIG.
1 corresponds to the control circuit in FIG. 1 and represents a portion related to the following operation for further detailed description.
【００３７】ディスク６の記録面同心円状に形成される
トラック５０は、トラック５０毎に、間欠的に書き込ま
れている位置情報（サーボ領域）５１と、サーボ領域５
１の間にデータ情報を記録するデータ領域５２を有して
いる。ヘッド７から得られる間欠的な位置情報に基づい
てヘッド位置決めを行う、いわゆる、データ面サーボ方
式を採っている。The tracks 50 formed concentrically on the recording surface of the disk 6 have position information (servo areas) 51 and servo areas 5 written intermittently for each track 50.
1 has a data area 52 for recording data information. A so-called data surface servo system is adopted in which head positioning is performed based on intermittent position information obtained from the head 7.
【００３８】図２に示すヘッド位置決め機構１は、図８
に示す２ステージサーボ系により駆動され、このサーボ
系の構成をブロック図で表わしている。図２の微動駆動
手段１５およびボイスコイルモータ１３は、それぞれ図
８のブロック５７および６０に対応する。The head positioning mechanism 1 shown in FIG.
Driven by a two-stage servo system shown in FIG. 1, the configuration of this servo system is shown in a block diagram. The fine movement drive means 15 and the voice coil motor 13 in FIG. 2 correspond to blocks 57 and 60 in FIG. 8, respectively.
【００３９】図８で、ボイスコイルモータ６０（１３）
と微動駆動手段５７（１５）によって生成された変位６
８、７３は、加算的に合成されてヘッド位置７５とな
る。これから、ディスク６の偏心等の影響によるトラッ
ク振れが差し引かれてオフトラック量が定まり、位置検
出部６１で電気信号に変換され、ヘッド位置決め誤差信
号７４となる。ヘッド位置決め誤差信号７４は目標トラ
ック量６２（通常０）にポジション感度５３を乗じた値
６３と比較され、偏差６４が微動駆動手段５７とボイス
コイルモータ６０各々の補償回路５４、５８に入力され
る。In FIG. 8, the voice coil motor 60 (13)
And displacement 6 generated by the fine movement drive means 57 (15)
Nos. 8 and 73 are additively combined to form the head position 75. From this, the track deviation due to the influence of the eccentricity of the disk 6 is subtracted to determine the off-track amount, which is converted into an electric signal by the position detection section 61 and becomes the head positioning error signal 74. The head positioning error signal 74 is compared with a value 63 obtained by multiplying the target track amount 62 (usually 0) by the position sensitivity 53, and the deviation 64 is input to the fine movement driving means 57 and the compensation circuits 54 and 58 of the voice coil motor 60, respectively. .
【００４０】微動駆動手段５７の補償回路５４では偏差
６４に積分演算を行い、微動駆動手段５７の操作信号６
５を算出する。操作信号６５は乗算器５５で２乗操作信
号６６に変換され、増幅器５６で増幅されて微動駆動手
段５７に印加され、微動駆動手段５７の変位６８が生じ
る。この２乗操作信号６６と微動駆動手段５７の変位６
８とは比例関係にある。In the compensation circuit 54 of the fine movement driving means 57, the deviation 64 is integrated, and the operation signal 6 of the fine movement driving means 57 is calculated.
Calculate 5. The operation signal 65 is converted into a square operation signal 66 by the multiplier 55, amplified by the amplifier 56 and applied to the fine movement drive means 57, so that the displacement 68 of the fine movement drive means 57 is generated. This squaring operation signal 66 and the displacement 6 of the fine movement drive means 57
8 is in a proportional relationship.
【００４１】一方、ボイスコイルモータ６０の補償回路
５８では、微動駆動手段５７の２乗操作信号６６に、増
幅器５５と微動駆動手段５６のゲイン５７を乗じた微動
駆動手段５７の推定変位信号６９を偏差６４に加算した
信号７０を入力し、ボイスコイルモータ６０の操作信号
７１を算出する。操作信号７１は、増幅器５９で増幅さ
れてボイスコイルモータ６０に印加され、ボイスコイル
モータ６０の変位７３が生じる。On the other hand, in the compensation circuit 58 of the voice coil motor 60, the estimated displacement signal 69 of the fine movement driving means 57 obtained by multiplying the square operation signal 66 of the fine movement driving means 57 by the gain 57 of the amplifier 55 and the fine movement driving means 56. The signal 70 added to the deviation 64 is input, and the operation signal 71 of the voice coil motor 60 is calculated. The operation signal 71 is amplified by the amplifier 59 and applied to the voice coil motor 60, so that the displacement 73 of the voice coil motor 60 occurs.
【００４２】ヘッド７をディスク６の目標トラックに追
従させるフォローイング動作は、大きな移動をボイスコ
イルモータ１３で駆動し、目標トラックにヘッドを追従
させるような微小位置決めを微動駆動手段１５で制御す
ることにより行う。ボイスコイルモータ１３による駆動
は、コイル１０に操作電流７２を供給することにより推
力を発生させ、ヘッド７をピボット軸８回りの回転によ
り移動させる。In the following operation for causing the head 7 to follow the target track of the disk 6, the voice coil motor 13 drives a large movement, and the fine movement driving means 15 controls the fine positioning so that the head follows the target track. By. Driving by the voice coil motor 13 generates thrust by supplying an operating current 72 to the coil 10, and moves the head 7 by rotation around the pivot shaft 8.
【００４３】一方、微動駆動手段１５は、可動電極２０
と固定電極２１との間に、駆動電圧ｖ2（図９の符号６
７）を印加することにより、くし歯２２、２３の部分に
静電力Ｆｅを発生させ、可動電極２０と回転板１８と姿
勢板１９とスライダ２を一体的にトラック方向（図４の
上方向または下方向）へ移動させる。On the other hand, the fine movement driving means 15 includes the movable electrode 20.
The drive voltage v 2 (reference numeral 6 in FIG. 9) between the fixed electrode 21 and the fixed electrode 21.
7) is applied to generate an electrostatic force Fe at the portions of the comb teeth 22 and 23, so that the movable electrode 20, the rotary plate 18, the attitude plate 19 and the slider 2 are integrally formed in the track direction (upward direction in FIG. 4 or (Downward).
【００４４】上述したように、ヘッド７はスライダ２に
取り付けられており、スライダ２と一体となって移動す
る。このとき、ピッチングばね１６はトラック方向に対
して剛であり、ローリングばね１７はトラック方向に対
して柔であるため、ローリングばね１７がたわむ。As described above, the head 7 is attached to the slider 2 and moves together with the slider 2. At this time, since the pitching spring 16 is rigid in the track direction and the rolling spring 17 is flexible in the track direction, the rolling spring 17 bends.
【００４５】また、印加する駆動電圧６６の大きさと極
性を変えることにより、静電力の大きさと方向をコント
ロールでき、スライダ２のトラック方向運動を制御す
る。このように、微動駆動手段１５は、固定電極２１を
形成したロードアーム３に対して、相対的にスライダ２
をトラック方向へ移動させ、ヘッド７の微小位置決めを
可能にしている。By changing the magnitude and polarity of the applied drive voltage 66, the magnitude and direction of the electrostatic force can be controlled and the movement of the slider 2 in the track direction can be controlled. As described above, the fine movement driving means 15 relatively moves the slider 2 with respect to the load arm 3 having the fixed electrode 21.
Is moved in the track direction to enable fine positioning of the head 7.
【００４６】本実施例によれば、比較的簡単な構造でヘ
ッド７のトラック方向の微小位置決めが可能になり、ヘ
ッドを狭小トラックに追従させることができるため、高
密度記録が実現できる効果がある。本実施例の応用とし
て、上述した静電式微動駆動手段１５は、例えば、電気
歪式や形状記憶材料を用いた熱式でも容易に実現できる
ことがわかる。According to this embodiment, the head 7 can be finely positioned in the track direction with a relatively simple structure, and the head can be made to follow narrow tracks, so that high density recording can be realized. . As an application of the present embodiment, it is understood that the electrostatic fine movement drive unit 15 described above can be easily realized by, for example, an electrostrictive system or a thermal system using a shape memory material.
【００４７】つぎに、図２のロードアーム３に負圧発生
形のスライダ２’を取り付けた場合について説明する。
負圧スライダ２’のディスク６と対向する面の形状を図
１０に、図１０のＨ−Ｈ断面を図１１に示す。Next, the case where the negative pressure generating slider 2'is attached to the load arm 3 of FIG. 2 will be described.
The shape of the surface of the negative pressure slider 2'facing the disk 6 is shown in FIG. 10, and the HH cross section of FIG. 10 is shown in FIG.
【００４８】ディスク６は、図１０の左から右方向へ回
転し、傾斜面３４で圧力を発生し、ポケット３３で負圧
を発生する。ディスク６が停止しているとき、スライダ
２’はディスク６面から僅かに離れており、ディスク６
が回転すると負圧の発生により、スライダ２’はディス
ク６面に近づき、安定浮上量（例えば、９０ｎｍ）にな
る。The disk 6 rotates from the left to the right in FIG. 10 to generate pressure on the inclined surface 34 and negative pressure on the pocket 33. When the disk 6 is stopped, the slider 2'is slightly separated from the surface of the disk 6 and
When is rotated, negative pressure is generated, and the slider 2'approaches the surface of the disk 6, and the flying height becomes stable (for example, 90 nm).
【００４９】このように、ディスク６の停止時にスライ
ダ２’がディスク６面から離れていることは、ディスク
６の回転開始時に生じるディスク６とスライダ２’との
摩擦力や粘着力を低減でき、スライダ２’を支持してい
る回転ばね１４の、ディスク６回転開始時における破損
を防止する効果がある。Thus, the fact that the slider 2'is separated from the surface of the disk 6 when the disk 6 is stopped can reduce the frictional force and the adhesive force between the disk 6 and the slider 2'which occur when the disk 6 starts rotating, The rotary spring 14 supporting the slider 2'is effectively prevented from being damaged when the disk 6 starts rotating.
【００５０】つぎに、本発明の第２の実施例を図１２に
より説明する。図１２は、上記実施例の図４に相当する
図であり、図４と異なるのは、微動駆動手段１５の可動
電極２０の支持方法である。可動電極２０を平行に配置
した４本のビーム２６で支持し、トラック方向の支持剛
性を上記実施例より小さく設計し、スライダ２をより小
さい静電力で制御できる構造である。Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 12 is a view corresponding to FIG. 4 of the above-mentioned embodiment, and what is different from FIG. 4 is a method of supporting the movable electrode 20 of the fine movement driving means 15. The movable electrode 20 is supported by four beams 26 arranged in parallel, the supporting rigidity in the track direction is designed to be smaller than that of the above embodiment, and the slider 2 can be controlled by a smaller electrostatic force.
【００５１】これらビーム２６はスライダ２のローリン
グ運動を支持している。また、平行な４本のビーム２６
で支持したことにより、スライダ２をトラック方向へ駆
動したとき生ずる傾きや上下振動を抑制する構造になっ
ている。このことは、くし歯２２と２３の安定な噛み合
いを維持し、安定な静電力の発生をもたらし、ヘッド位
置決めの制御を安定化する効果がある。These beams 26 support the rolling movement of the slider 2. In addition, four parallel beams 26
Since the slider 2 is supported by, the tilt and vertical vibration that occur when the slider 2 is driven in the track direction are suppressed. This has the effect of maintaining a stable meshing between the comb teeth 22 and 23, producing a stable electrostatic force, and stabilizing the control of the head positioning.
【００５２】つぎに、本発明の第３の実施例を説明す
る。図１３、図１４を用いて、スライダ２を「コ」の字
形をした４本の梁（コ梁２８、２９）で支持し、これら
コ梁にくし歯形状をもつ静電アクチュエータを形成し
て、スライダ２をトラック方向へ運動させるロードアー
ム３の実施例について説明する。Next, a third embodiment of the present invention will be described. 13 and 14, the slider 2 is supported by four U-shaped beams (U-beams 28 and 29), and electrostatic actuators having comb teeth are formed on these U-beams. An embodiment of the load arm 3 for moving the slider 2 in the track direction will be described.
【００５３】ロードアーム３はシリコン（Ｓｉ）基板か
ら成り、その先端部にエッチングで形成した姿勢板１９
と、姿勢板１９を支持する４本のコ梁２８、２９を設け
ている（図１４）。コ梁２８、２９の厚さはロードアー
ム３より薄く、ハーフエッチングで約半分に形成してい
る。コ梁２８、２９は、スライダ２のピッチング運動と
ローリング運動を支持するばかりでなく、ディスク６と
対抗するスライダ２の面のあらゆる回転方向に対して追
従する機能を有している。The load arm 3 is made of a silicon (Si) substrate, and has a posture plate 19 formed by etching at its tip.
Then, four co-beams 28 and 29 for supporting the posture plate 19 are provided (FIG. 14). The thickness of the co-beams 28 and 29 is thinner than that of the load arm 3, and is half-etched to be formed. The co-beams 28 and 29 not only support the pitching motion and the rolling motion of the slider 2, but also have a function of following all the rotational directions of the surface of the slider 2 which faces the disk 6.
【００５４】図１３は、姿勢板１９の下面にスライダ２
を接着し、コ梁２８、２９を形成した部分に駆動手段４
０を設けたロードアーム３の先端部分を示す。駆動手段
４０は、可動電極３０をコ梁２８と姿勢板１９の上面に
形成し、固定電極３１をロードアーム３の上面に形成し
た、くし歯形の静電アクチュエータである。可動電極３
０のくし歯３２ａおよび固定電極３１のくし歯３２ｂ
は、図１１に示す部分に設け、その噛み合い状態は図７
と同じである。In FIG. 13, the slider 2 is attached to the lower surface of the attitude plate 19.
And the driving means 4 is attached to the portion where the co-beams 28 and 29 are formed.
The tip part of the load arm 3 provided with 0 is shown. The driving means 40 is a comb-teeth-shaped electrostatic actuator in which the movable electrode 30 is formed on the upper surfaces of the beam 28 and the attitude plate 19, and the fixed electrode 31 is formed on the upper surface of the load arm 3. Movable electrode 3
0 comb tooth 32a and fixed electrode 31 comb tooth 32b
Is provided in the portion shown in FIG. 11, and the meshed state is shown in FIG.
Is the same as
【００５５】これらの可動電極３０と固定電極３１の製
作方法は、Ｓｉ基板のロードアーム３の上面を熱酸化に
より酸化膜を形成し、その上にイオンエッチングでそれ
ぞれの電極３０、３１のパターンを形成し、さらにＣＶ
Ｄ法（化学蒸着法）でポリシリコン膜を堆積させ、酸化
膜をマスクにして可動電極３０と固定電極３１を形成す
る。くし歯３２を形成した部分の酸化膜をフッ酸溶液で
除去する。このようにして形成した電極３０、３１パタ
ーンに導電性膜を付ける。In the method of manufacturing the movable electrode 30 and the fixed electrode 31, an oxide film is formed on the upper surface of the load arm 3 of the Si substrate by thermal oxidation, and the pattern of each electrode 30, 31 is formed on the oxide film by ion etching. Form and then CV
A polysilicon film is deposited by the D method (chemical vapor deposition method), and the movable electrode 30 and the fixed electrode 31 are formed using the oxide film as a mask. The oxide film in the portion where the comb teeth 32 are formed is removed with a hydrofluoric acid solution. A conductive film is attached to the electrodes 30 and 31 pattern thus formed.
【００５６】この静電アクチュエータの動作は、最初に
説明した実施例と同じであるので、ここでは省略する。
本実施例は、上述したように、半導体プロセスを応用し
た製作法でロードアーム３を製作できることから、精度
の高いロードアーム３を容易に作ることができる。Since the operation of this electrostatic actuator is the same as that of the first embodiment, it is omitted here.
In the present embodiment, as described above, since the load arm 3 can be manufactured by the manufacturing method applying the semiconductor process, the load arm 3 with high accuracy can be easily manufactured.
【００５７】図１５は、本発明の第４の実施例を示す部
分拡大図である。第１の実施例で示した微動駆動手段１
５の構成は、図４に示すように、ヘッド７を上下方向へ
直線的に変位させるものである。図１５に示す微動駆動
手段１５は、図４のものに極めて似ているが、図４の右
側の可動電極２０を除いた構成であり、ヘッド７を回転
させて微小位置決めをする構造である。FIG. 15 is a partially enlarged view showing the fourth embodiment of the present invention. Fine movement drive means 1 shown in the first embodiment
The configuration of 5 is for linearly displacing the head 7 in the vertical direction as shown in FIG. The fine movement drive means 15 shown in FIG. 15 is very similar to that of FIG. 4, except that the movable electrode 20 on the right side of FIG. 4 is removed, and the head 7 is rotated to perform fine positioning.
【００５８】微動駆動手段１５の発生する静電力によ
り、スライダ２に搭載されたヘッド７は、ロータリばね
１７と一体的に構成された可動電極２０部分を回転中心
として微小回転する。この微小回転により、ヘッド７の
精密位置決めを実現するものである。By the electrostatic force generated by the fine movement driving means 15, the head 7 mounted on the slider 2 makes a minute rotation about the movable electrode 20 portion integrally formed with the rotary spring 17 as the center of rotation. By this minute rotation, precise positioning of the head 7 is realized.
【００５９】このような回転駆動手段は、図４に示した
直線駆動手段より、ヘッド７の変位方向の支持剛性を小
さくでき、より小さい静電力でヘッド７の位置決めを可
能にする。これは、微動駆動手段１５に加える印加電圧
を下げられることから、書き込みおよび読み出し時の消
費電力を低減する効果がある。Such a rotary driving means can reduce the supporting rigidity in the displacement direction of the head 7 as compared with the linear driving means shown in FIG. 4, and can position the head 7 with a smaller electrostatic force. This has the effect of reducing the power consumption during writing and reading, because the applied voltage applied to the fine movement driving means 15 can be lowered.
【００６０】[0060]
【発明の効果】本発明によれば、実用的レベルの簡単な
構造で、ヘッドを高精度に位置決めすることができるの
で、高密度記録が実現できる効果がある。According to the present invention, since the head can be positioned with high precision by a simple structure of a practical level, there is an effect that high density recording can be realized.
【図１】本発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の全
体構成図である。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a magnetic disk device showing an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の一実施例を示す磁気ディスク装置の主
要部分の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a main part of a magnetic disk device showing an embodiment of the present invention.
【図３】図２のＢ−Ｂ断面図である。3 is a sectional view taken along line BB of FIG.
【図４】図２のＡ部の拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of part A in FIG.
【図５】図４のＣ−Ｃ断面図である。5 is a cross-sectional view taken along line CC of FIG.
【図６】図４のＤ−Ｄ断面図である。6 is a cross-sectional view taken along line DD of FIG.
【図７】図４のＦ部の拡大図である。FIG. 7 is an enlarged view of a portion F in FIG.
【図８】回転ばね１４の形状を示す図である。FIG. 8 is a view showing a shape of a rotary spring 14.
【図９】図１における制御回路と対応する詳細回路図で
ある。9 is a detailed circuit diagram corresponding to the control circuit in FIG.
【図１０】負圧スライダの形状を示す図である。FIG. 10 is a view showing the shape of a negative pressure slider.
【図１１】図１０のＨ−Ｈ断面図である。11 is a sectional view taken along line HH of FIG.
【図１２】本発明の第２の実施例を示す部分拡大図であ
る。FIG. 12 is a partially enlarged view showing a second embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第３の実施例を示す部分拡大図であ
る。FIG. 13 is a partially enlarged view showing a third embodiment of the present invention.
【図１４】図１３のコ梁２８、２９形状を現わす部分拡
大図である。14 is a partially enlarged view showing the shapes of the co-beams 28 and 29 in FIG.
【図１５】本発明の第４の実施例を示す部分拡大図であ
る。FIG. 15 is a partially enlarged view showing the fourth embodiment of the present invention.
１ ヘッド位置決め手段 ２ スライダ ２’ 負圧スライダ ３ ロードアーム ３ａ 押圧ばね ４ ベース ５ スペーサ ６ ディスク ７ ヘッド ８ ピボット軸 ９ 玉軸受 １０ コイル １１ ヨーク １２ 磁石 １３ ボイスコイルモータ １４ 回転ばね １５ 微動駆動手段 １６ ピッチングばね １７ ローリングばね １８ 回転板 １９ 姿勢板 ２０ 可動電極 ２１ 固定電極 ２２ くし歯 ２３ くし歯 ２４ 絶縁膜 ２５ 絶縁膜 ２６ ビーム ２８、２９ コ梁 ３０ 可動電極 ３１ 固定電極 ３２、３２ａ、３２ｂ くし歯 ３３ ポケット ３４ 傾斜面 ４０ 駆動手段 ５０ トラック ５１ 位置情報（サーボ領域） ５２ データ領域 ５３ ポジション感度 ５４ 補償回路 ５５ 乗算器 ５６ 増幅器 ５７ 微動駆動手段 ５８ 補償回路 ５９ 増幅器 ６０ ボイスコイルモータ ６１ 位置検出部 ６２ 目標トラック量 ６３ ポジション感度を乗じた値 ６４ 偏差 ６５ 操作信号 ６６ 操作信号 ６７ 駆動電圧 ６８ 変位 ６９ 推定変位信号 ７０ 信号 ７１ 操作信号 ７２ 操作電流 ７３ 変位 ７４ ヘッド位置決め誤差信号 ７５ ヘッド位置 ９９ スピンドルモータ １００ メインコントローラ １０１ ＶＣＭ制御回路 １０３ 静電アクチュエータ制御回路 １０４ 信号処理回路 １０５ 静電アクチュエータ選択スイッチ １０６ ヘッド切換スイッチ １１０ 移動指令値 １１２ ヘッド選択信号 ｇ ギャップ Ｆｅ 静電力 1 Head Positioning Means 2 Slider 2'Negative Pressure Slider 3 Load Arm 3a Pressing Spring 4 Base 5 Spacer 6 Disk 7 Head 8 Pivot Shaft 9 Ball Bearing 10 Coil 11 Yoke 12 Magnet 13 Voice Coil Motor 14 Rotating Spring 15 Fine Motion Driving Means 16 Pitching Spring 17 Rolling spring 18 Rotating plate 19 Posture plate 20 Movable electrode 21 Fixed electrode 22 Comb tooth 23 Comb tooth 24 Insulating film 25 Insulating film 26 Beam 28, 29 Co beam 30 Movable electrode 31 Fixed electrode 32, 32a, 32b Comb tooth 33 Pocket 34 inclined surface 40 driving means 50 track 51 position information (servo area) 52 data area 53 position sensitivity 54 compensation circuit 55 multiplier 56 amplifier 57 fine movement driving means 58 compensation circuit 59 amplifier 60 voice coil motor 61 position Output part 62 Target track amount 63 Value multiplied by position sensitivity 64 Deviation 65 Operation signal 66 Operation signal 67 Drive voltage 68 Displacement 69 Estimated displacement signal 70 Signal 71 Operation signal 72 Operation current 73 Displacement 74 Head positioning error signal 75 Head position 99 Spindle Motor 100 Main controller 101 VCM control circuit 103 Electrostatic actuator control circuit 104 Signal processing circuit 105 Electrostatic actuator selection switch 106 Head changeover switch 110 Movement command value 112 Head selection signal g Gap Fe Electrostatic force
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河野 敬 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 吉田 忍 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 原田 武 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takashi Kono 502 Jinritsucho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Hiritsu Seisakusho Co., Ltd.Mechanical Research Institute (72) Shinobu Yoshida 502 Jinritsucho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Hiritsu Seisakusho Mechanical Research Laboratory (72) Inventor Takeshi Harada 502 Jinrachicho, Tsuchiura City, Ibaraki Prefecture
Claims (19)
イダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッドによ
りディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁気デ
ィスク装置において、前記ロードアームに対する前記ス
ライダの相対的移動を制御する微動駆動手段を設けたこ
とを特徴とする磁気ディスク装置。1. A magnetic disk device having a slider for mounting a head and a load arm for supporting the slider, wherein the head writes or reads information to or from a disk, and the slider moves relative to the load arm. A magnetic disk drive comprising a fine movement drive means for controlling the magnetic disk drive.
イダを支持するロードアームとを有し、前記ヘッドによ
りディスクに情報を書き込みまたは読み出しする磁気デ
ィスク装置において、前記ロードアームに、前記スライ
ダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動する手段が設け
られていることを特徴とする磁気ディスク装置。2. A magnetic disk device having a slider for mounting a head and a load arm for supporting the slider, wherein the head writes and reads information to and from the disk. A magnetic disk device, characterized in that means for finely driving in the radial direction is provided.
と、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読み
出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記ディ
スク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、前
記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変動
に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持する
ロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて前
記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めするた
めの駆動手段を有する磁気ディスク装置において、前記
ロードアームに対する前記スライダの相対的移動を制御
する微動駆動手段を設けたことを特徴とする磁気ディス
ク装置。3. A disk having a recording surface that is rotatably supported, a head for writing or reading information on the recording surface of the disk, and a slider for mounting the head and maintaining a stable head posture on the disk. A load arm for elastically supporting a minute rotational movement of the slider and a movement of the slider for following an out-of-plane variation of the disk; and swinging and rotating the load arm to move the head to the recording surface. 2. A magnetic disk drive having a drive means for positioning to the information track, characterized in that fine drive means for controlling relative movement of the slider with respect to the load arm is provided.
いて、前記微動駆動手段を、前記ロードアームに形成し
たことを特徴とする磁気ディスク装置。4. The magnetic disk device according to claim 3, wherein the fine movement driving means is formed on the load arm.
スク装置において、前記微動駆動手段を、前記ロードア
ームの前記スライダを弾性支持する梁に形成したことを
特徴とする磁気ディスク装置。5. The magnetic disk device according to claim 1, 2 or 3, wherein the fine movement driving means is formed on a beam that elastically supports the slider of the load arm.
スク装置において、前記スライダの微小回転運動を弾性
支持する梁構造を前記ロードアームの先端部に設け、前
記梁により前記微動駆動手段の可動部を支持したことを
特徴とする磁気ディスク装置。6. The magnetic disk device according to claim 1, 2 or 3, wherein a beam structure for elastically supporting a minute rotational movement of the slider is provided at a tip end portion of the load arm, and the beam is used for the fine movement driving means. A magnetic disk drive characterized by supporting a movable part.
スク装置において、前記微動駆動手段は、静電方式、圧
電素子方式、あるいは形状記憶合金による熱式のいずれ
かの構造であることを特徴とする磁気ディスク装置。7. The magnetic disk drive according to claim 1, 2 or 3, wherein the fine movement driving means has any one of an electrostatic type, a piezoelectric element type, and a thermal type structure using a shape memory alloy. Characteristic magnetic disk device.
いて、前記微動駆動手段は、前記スライダの微小回転運
動を支持する梁を有するロードアームに対して、前記ス
ライダを前記ディスクの半径方向へ相対的に微小移動さ
せるものであることを特徴とする磁気ディスク装置。8. The magnetic disk drive according to claim 3, wherein the fine movement driving means relatively moves the slider in the radial direction of the disk with respect to a load arm having a beam that supports a minute rotational movement of the slider. A magnetic disk device characterized in that the magnetic disk device is moved minutely mechanically.
スク装置において、前記微動駆動手段を、静電アクチュ
エータで構成したことを特徴とする磁気ディスク装置。9. The magnetic disk device according to claim 1, 2 or 3, wherein the fine movement driving means is constituted by an electrostatic actuator.
ィスク装置において、前記スライダを負圧発生形スライ
ダにしたことを特徴とする磁気ディスク装置。10. The magnetic disk device according to claim 1, 2 or 3, wherein the slider is a negative pressure generating slider.
で、情報を書き込みまたは読み出しを行うためのヘッド
を取り付けたスライダを弾性支持するロードアームを有
し、前記ヘッドを情報トラックに位置決めするための駆
動手段を搭載した磁気ディスク装置において、前記ロー
ドアームをシリコン板で製作し、前記ロードアームに、
前記スライダを弾性支持する梁を形成し、かつ前記ロー
ドアームに対する前記スライダの相対的移動を制御する
微動駆動手段を固着させて形成したことを特徴とする磁
気ディスク装置。11. A load arm for elastically supporting a slider, to which a head for writing or reading information is attached, is provided on a recording surface of a rotatably supported disk for positioning the head on an information track. In a magnetic disk device equipped with a driving means, the load arm is made of a silicon plate, and the load arm is
A magnetic disk drive comprising: a beam that elastically supports the slider; and a fine movement drive unit that controls relative movement of the slider with respect to the load arm.
において、前記微動駆動手段を静電アクチュエータで構
成したことを特徴とする磁気ディスク装置。12. The magnetic disk device according to claim 11, wherein the fine movement driving means is composed of an electrostatic actuator.
において、前記微動駆動手段は、くし歯形状の可動電極
と、くし歯形状の固定電極とからなり、前記可動電極を
前記スライダを支持する梁に形成し、前記固定電極を前
記ロードアームに形成したことを特徴とする磁気ディス
ク装置。13. The magnetic disk drive according to claim 12, wherein the fine movement driving means includes a comb-teeth-shaped movable electrode and a comb-teeth-shaped fixed electrode, and the movable electrode supports the slider to support the slider. And the fixed electrode is formed on the load arm.
において、前記微動駆動手段を、半導体プロセスを用い
て形成したことを特徴とする磁気ディスク装置。14. The magnetic disk device according to claim 11, wherein the fine movement driving means is formed by using a semiconductor process.
と、前記ディスクの記録面に情報を書き込みまたは読み
出しするためのヘッドと、前記ヘッドを取付け前記ディ
スク上のヘッド姿勢を安定に保つためのスライダと、前
記スライダの微小回転運動と、前記ディスクの面外変動
に追従するためのスライダの運動とを弾性的に支持する
ロードアームと、前記ロードアームを揺動回転させて前
記ヘッドを前記記録面の情報トラックに位置決めするた
めの駆動手段を有し、前記ヘッドを所定のトラックに位
置決めして追従させる位置決め手段を備えた磁気ディス
ク装置において、前記ロードアームは前記スライダの運
動を弾性的に支持する平行に配設した梁を有し、前記梁
に前記スライダを前記ディスクの半径方向へ微小駆動す
る手段を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。15. A disk having a recording surface that is rotatably supported, a head for writing or reading information on the recording surface of the disk, and a slider for mounting the head and maintaining a stable head posture on the disk. A load arm for elastically supporting a minute rotational movement of the slider and a movement of the slider for following an out-of-plane variation of the disk; and swinging and rotating the load arm to move the head to the recording surface. In a magnetic disk device having a driving means for positioning the information track and positioning means for positioning and following the head to a predetermined track, the load arm elastically supports the movement of the slider. Having beams arranged in parallel, the beam having means for finely driving the slider in the radial direction of the disk Magnetic disk device characterized by.
において、前記微動駆動手段は、可動電極と固定電極と
がくし歯形状を有し、それぞれのくし歯が噛み合った構
造であり、前記ロードアームのスライダ支持部に平行に
配設した梁により、前記可動電極を支持した静電アクチ
ュエータからなることを特徴とする磁気ディスク装置。16. The magnetic disk drive according to claim 15, wherein the fine movement driving means has a structure in which the movable electrode and the fixed electrode have comb teeth shapes, and the respective comb teeth are meshed with each other. A magnetic disk device comprising an electrostatic actuator that supports the movable electrode by means of a beam arranged in parallel with a slider supporting portion.
において、前記静電アクチュエータの可動電極を、前記
スライダの微小回転運動を支持する梁に形成し、固定電
極を前記ロードアームに形成したことを特徴とする磁気
ディスク装置。17. The magnetic disk device according to claim 16, wherein the movable electrode of the electrostatic actuator is formed on a beam that supports a minute rotational movement of the slider, and the fixed electrode is formed on the load arm. Characteristic magnetic disk device.
において、前記可動電極を、前記スライダの微小回転運
動を支持する梁と一体的に形成したことを特徴とする磁
気ディスク装置。18. The magnetic disk device according to claim 16, wherein the movable electrode is formed integrally with a beam that supports a minute rotational movement of the slider.
において、前記微動駆動手段を、メッキ加工あるいは電
鋳（エレクトロフォーミング）を用いて形成したことを
特徴とする磁気ディスク装置。19. The magnetic disk device according to claim 15, wherein the fine movement driving means is formed by plating or electroforming.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31986494A JPH08180623A (en) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | Magnetic disk device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31986494A JPH08180623A (en) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | Magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08180623A true JPH08180623A (en) | 1996-07-12 |
Family
ID=18115091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31986494A Pending JPH08180623A (en) | 1994-12-22 | 1994-12-22 | Magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08180623A (en) |
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980083237A (en) * | 1997-05-13 | 1998-12-05 | 이우복 | Comb Electrostatic Micro Actuator |
| US6055132A (en) * | 1998-06-04 | 2000-04-25 | Internatinal Business Machines Corporation | Integrated lead suspension flexure for attaching a micro-actuator with a transducer slider |
| EP1058238A2 (en) * | 1999-06-02 | 2000-12-06 | SAMSUNG ELECTRONICS Co. Ltd. | Head suspension assembly of disk drive |
| US6178069B1 (en) * | 1997-05-23 | 2001-01-23 | Nec Corporation | Microactuator and method of manufacturing the same |
| US6191518B1 (en) | 1997-05-12 | 2001-02-20 | Nec Corporation | Microactuator and method of manufacturing the same |
| US6239947B1 (en) | 1998-05-11 | 2001-05-29 | International Business Machines Corporation | Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same |
| US6246552B1 (en) | 1996-10-31 | 2001-06-12 | Tdk Corporation | Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect |
| US6249402B1 (en) | 1998-03-12 | 2001-06-19 | Fujitsu Limited | Magnetic head slider |
| US6359752B1 (en) * | 1998-03-12 | 2002-03-19 | Fujitsu Limited | Magnetic head slider and method for forming lead wires used therein |
| US6381104B1 (en) | 1998-11-13 | 2002-04-30 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism, and write/read system |
| US6459548B1 (en) | 1999-06-03 | 2002-10-01 | Tdk Corporation | Head suspension assembly with flexible air-floating lead |
| US6515835B2 (en) | 2000-01-27 | 2003-02-04 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator actuator for precisely positioning thin-film magnetic head element and head gimbal assembly with the actuator |
| US6621661B1 (en) | 1998-11-13 | 2003-09-16 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism including a microactuator and a slider connected to a ground region of a suspension |
| US6680810B2 (en) | 1999-12-15 | 2004-01-20 | Tdk Corporation | Head suspension assembly with a precise positioning micro-cap actuator composed of a piezoelectric material |
| US6690551B2 (en) | 2000-08-24 | 2004-02-10 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly and manufacturing method of head gimbal assembly |
| US6700749B2 (en) | 2000-10-31 | 2004-03-02 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, manufacturing method of actuator and manufacturing method of head gimbal assembly |
| US6744603B1 (en) | 1998-11-13 | 2004-06-01 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism, and write/read system |
| US6775107B2 (en) | 2001-04-23 | 2004-08-10 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element |
| US6801377B2 (en) * | 2000-09-13 | 2004-10-05 | Tdk Corporation | Performance test method of head gimbal assembly with precise positioning actuator |
| US6831815B2 (en) * | 2001-04-23 | 2004-12-14 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head slider precise positioning actuator including a base section and a pair of movable arms |
| US6842311B2 (en) | 2001-03-23 | 2005-01-11 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element and head device with the actuator |
| US6891701B2 (en) | 2002-02-02 | 2005-05-10 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element and disk drive apparatus with the head gimbal assembly |
| US6934127B2 (en) | 2002-11-04 | 2005-08-23 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator and disk drive apparatus with the head gimbal assembly |
| US6989949B2 (en) | 2000-09-13 | 2006-01-24 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Performance test method of head gimgal assembly with precise positioning actuator |
| US7095591B2 (en) | 2001-02-20 | 2006-08-22 | Fujitsu Limited | Head slider having microactuator |
| US7099115B2 (en) | 2002-02-02 | 2006-08-29 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly |
| KR100595146B1 (en) * | 1998-12-05 | 2006-08-30 | 엘지전자 주식회사 | Near Field Optical Recording/Reproducing Apparatus |
| US7328446B2 (en) | 2001-09-04 | 2008-02-05 | International Business Machines Corporation | Apparatus for reducing sensitivity of an article to mechanical shock |
-
1994
- 1994-12-22 JP JP31986494A patent/JPH08180623A/en active Pending
Cited By (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6246552B1 (en) | 1996-10-31 | 2001-06-12 | Tdk Corporation | Read/write head including displacement generating means that elongates and contracts by inverse piezoelectric effect of electrostrictive effect |
| US7152300B1 (en) | 1997-05-12 | 2006-12-26 | Denso Corporation | Method of manufacturing a micromechanical structure |
| US6191518B1 (en) | 1997-05-12 | 2001-02-20 | Nec Corporation | Microactuator and method of manufacturing the same |
| KR19980083237A (en) * | 1997-05-13 | 1998-12-05 | 이우복 | Comb Electrostatic Micro Actuator |
| US6178069B1 (en) * | 1997-05-23 | 2001-01-23 | Nec Corporation | Microactuator and method of manufacturing the same |
| US6359752B1 (en) * | 1998-03-12 | 2002-03-19 | Fujitsu Limited | Magnetic head slider and method for forming lead wires used therein |
| US6249402B1 (en) | 1998-03-12 | 2001-06-19 | Fujitsu Limited | Magnetic head slider |
| US6239947B1 (en) | 1998-05-11 | 2001-05-29 | International Business Machines Corporation | Milliactuator with integrated sensor and drivers and method of manufacturing the same |
| US6055132A (en) * | 1998-06-04 | 2000-04-25 | Internatinal Business Machines Corporation | Integrated lead suspension flexure for attaching a micro-actuator with a transducer slider |
| US6744603B1 (en) | 1998-11-13 | 2004-06-01 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism, and write/read system |
| US7050266B2 (en) | 1998-11-13 | 2006-05-23 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism and write/read system having a flexible grounding member |
| US6621661B1 (en) | 1998-11-13 | 2003-09-16 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism including a microactuator and a slider connected to a ground region of a suspension |
| US6381104B1 (en) | 1998-11-13 | 2002-04-30 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism, and write/read system |
| US7161765B2 (en) | 1998-11-13 | 2007-01-09 | Tdk Corporation | Write/read head supporting mechanism, and write/read system |
| KR100595146B1 (en) * | 1998-12-05 | 2006-08-30 | 엘지전자 주식회사 | Near Field Optical Recording/Reproducing Apparatus |
| US6535360B1 (en) | 1999-06-02 | 2003-03-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Disk drive head suspension assembly with microactuator |
| EP1058238A3 (en) * | 1999-06-02 | 2002-01-16 | SAMSUNG ELECTRONICS Co. Ltd. | Head suspension assembly of disk drive |
| EP1058238A2 (en) * | 1999-06-02 | 2000-12-06 | SAMSUNG ELECTRONICS Co. Ltd. | Head suspension assembly of disk drive |
| US6459548B1 (en) | 1999-06-03 | 2002-10-01 | Tdk Corporation | Head suspension assembly with flexible air-floating lead |
| US6680810B2 (en) | 1999-12-15 | 2004-01-20 | Tdk Corporation | Head suspension assembly with a precise positioning micro-cap actuator composed of a piezoelectric material |
| US6515835B2 (en) | 2000-01-27 | 2003-02-04 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator actuator for precisely positioning thin-film magnetic head element and head gimbal assembly with the actuator |
| US6690551B2 (en) | 2000-08-24 | 2004-02-10 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly and manufacturing method of head gimbal assembly |
| US6956724B2 (en) | 2000-08-24 | 2005-10-18 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly and manufacturing method of head gimbal assembly |
| US6801377B2 (en) * | 2000-09-13 | 2004-10-05 | Tdk Corporation | Performance test method of head gimbal assembly with precise positioning actuator |
| US6989949B2 (en) | 2000-09-13 | 2006-01-24 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Performance test method of head gimgal assembly with precise positioning actuator |
| US6700749B2 (en) | 2000-10-31 | 2004-03-02 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, manufacturing method of actuator and manufacturing method of head gimbal assembly |
| CN100341049C (en) * | 2000-10-31 | 2007-10-03 | Tdk株式会社 | Method for manufacturing precise positioning actuator |
| US7095591B2 (en) | 2001-02-20 | 2006-08-22 | Fujitsu Limited | Head slider having microactuator |
| US7023668B2 (en) | 2001-03-23 | 2006-04-04 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element and head device with the actuator |
| US6842311B2 (en) | 2001-03-23 | 2005-01-11 | Tdk Corporation | Precise positioning actuator for head element and head device with the actuator |
| US6831815B2 (en) * | 2001-04-23 | 2004-12-14 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head slider precise positioning actuator including a base section and a pair of movable arms |
| US6775107B2 (en) | 2001-04-23 | 2004-08-10 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element |
| US7328446B2 (en) | 2001-09-04 | 2008-02-05 | International Business Machines Corporation | Apparatus for reducing sensitivity of an article to mechanical shock |
| US6891701B2 (en) | 2002-02-02 | 2005-05-10 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element and disk drive apparatus with the head gimbal assembly |
| US7099115B2 (en) | 2002-02-02 | 2006-08-29 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Head gimbal assembly with precise positioning actuator for head element, disk drive apparatus with the head gimbal assembly, and manufacturing method of the head gimbal assembly |
| US6934127B2 (en) | 2002-11-04 | 2005-08-23 | Sae Magnetics (H.K.) Ltd. | Precise positioning actuator for head element, head gimbal assembly with the actuator and disk drive apparatus with the head gimbal assembly |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH08180623A (en) | Magnetic disk device | |
| US6611399B1 (en) | Micro-actuated micro-suspension(MAMS) slider for both fly height and tracking position | |
| US6760196B1 (en) | Microactuator with offsetting hinges and method for high-resolution positioning of magnetic read/write head | |
| US6697211B2 (en) | Magnetic head drive device | |
| JP3653602B2 (en) | Magnetic disk unit | |
| EP1304683A2 (en) | Recording medium drive and head assembly therefor | |
| WO1998019304A1 (en) | Recording/reproducing head, recording/reproducing head positioning mechanism and recorder/reproducer | |
| JP2009076132A (en) | Microactuator, head gimbal assembly, and magnetic disk device | |
| US20010048574A1 (en) | Resonance four-piece suspension | |
| US6362938B1 (en) | Fine drive and positioning units and memory apparatus | |
| US7006332B2 (en) | Disk drive comprising suspension for magnetic head with positioning of slider to predetermined track through oscillation of voice coil motor | |
| US7265945B2 (en) | Head drive device including head support mechanism having support arm rotatable relative to base arm via rotation support part, and disk apparatus including the head drive device | |
| JPH1153854A (en) | Head support mechanism and magnetic disc device having provided with the same | |
| US7554772B2 (en) | Head gimbal assembly having an independent spacer therein and disk drive unit with the same | |
| JPH07201148A (en) | Magnetic disk device | |
| JP2001126422A (en) | Head positioning mechanism | |
| US6181524B1 (en) | Magnetic disk apparatus with slider and slider supporting mechanism including flexible section integrally formed from same material | |
| US7796363B2 (en) | PZT element, head gimbal assembly, and disk drive unit with same | |
| US7154702B2 (en) | Head actuator | |
| JP4080669B2 (en) | Head positioning mechanism | |
| JP3041052B2 (en) | Recording / reproducing head, recording / reproducing head positioning mechanism, and recording / reproducing device | |
| JP3764815B2 (en) | Storage device and micropositioning device | |
| JPH11260011A (en) | Head supporting mechanism | |
| JP2549775B2 (en) | Magnetic storage device | |
| JPH10177772A (en) | Magnetic head device and magnetic disk device |