JPH0816669B2 - グルコースセンサの製造方法 - Google Patents
グルコースセンサの製造方法Info
- Publication number
- JPH0816669B2 JPH0816669B2 JP5028345A JP2834593A JPH0816669B2 JP H0816669 B2 JPH0816669 B2 JP H0816669B2 JP 5028345 A JP5028345 A JP 5028345A JP 2834593 A JP2834593 A JP 2834593A JP H0816669 B2 JPH0816669 B2 JP H0816669B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glucose
- film
- wafer
- sensor
- glucose oxidase
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
- C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
- C12Q1/001—Enzyme electrodes
- C12Q1/002—Electrode membranes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Zoology (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Proteomics, Peptides & Aminoacids (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microbiology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Biotechnology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Genetics & Genomics (AREA)
- Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、グルコースセンサの製
造方法に関し、特に血糖値などを測定するセンサを大量
かつ均質に製造する方法に関する。
造方法に関し、特に血糖値などを測定するセンサを大量
かつ均質に製造する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のグルコースセンサは、例
えば特開昭５５−１６２０５１号公報に示されるよう
に、血液中のグルコース濃度（血糖値）を測定すること
を目的として用いられている。グルコースセンサは一般
的にグルコースオキシダーゼ固定化膜と各種トランスデ
ューサから構成されている。
えば特開昭５５−１６２０５１号公報に示されるよう
に、血液中のグルコース濃度（血糖値）を測定すること
を目的として用いられている。グルコースセンサは一般
的にグルコースオキシダーゼ固定化膜と各種トランスデ
ューサから構成されている。
【０００３】ここで使用される酵素グルコースオキシダ
ーゼは、溶液中のグルコースを酸素を使ってグルコン酸
と過酸化水素に変換する。従って各種トランスデューサ
として酸素電極を使用して酸素の減少量を測定する，あ
るいは過酸化水素電極を使用して過酸化水素の増加量を
測定する，あるいはｐＨ電極を使用してグルコン酸の増
加量を測定することにより溶液中のグルコース濃度を決
定することが可能である。
ーゼは、溶液中のグルコースを酸素を使ってグルコン酸
と過酸化水素に変換する。従って各種トランスデューサ
として酸素電極を使用して酸素の減少量を測定する，あ
るいは過酸化水素電極を使用して過酸化水素の増加量を
測定する，あるいはｐＨ電極を使用してグルコン酸の増
加量を測定することにより溶液中のグルコース濃度を決
定することが可能である。
【０００４】測定溶液中の溶存酸素濃度は大気飽和の場
合０．２５ｍＭ程度であるため、グルコースセンサの測
定可能上限は１００ｍｇ／ｄ１程度であった。しかし糖
尿病患者の血糖値は５００ｍｇ／ｄ１に達する場合があ
りこのセンサで測定することは不可能であった。
合０．２５ｍＭ程度であるため、グルコースセンサの測
定可能上限は１００ｍｇ／ｄ１程度であった。しかし糖
尿病患者の血糖値は５００ｍｇ／ｄ１に達する場合があ
りこのセンサで測定することは不可能であった。
【０００５】そこで例えば特開昭５５−１６２０５１号
公報、または１９８７年１０月、エレクトロケミカルソ
サイエティ・エクステンデド・アブストラクト，第８７
−２巻，２２７６頁（ＴＨＥ ＥＬＥＣＴＲＯＣＨＥＭ
ＩＣＡＬ ＳＯＣＩＥＴＹＥＸＴＥＮＤＥＤ ＡＢＳＴ
ＲＡＣＴＳ，ＶＯＬ．８７−２，ｐ．２２７６，ＯＣＴ
ＯＢＥＲ，１９８７），あるいは特開平０３−６５６４
５号公報に示されるように酸素の透過に比べてグルコー
スの透過を制限するグルコース制限透過膜を使用するこ
とにより、グルコースセンサの測定上限を拡大してい
る。
公報、または１９８７年１０月、エレクトロケミカルソ
サイエティ・エクステンデド・アブストラクト，第８７
−２巻，２２７６頁（ＴＨＥ ＥＬＥＣＴＲＯＣＨＥＭ
ＩＣＡＬ ＳＯＣＩＥＴＹＥＸＴＥＮＤＥＤ ＡＢＳＴ
ＲＡＣＴＳ，ＶＯＬ．８７−２，ｐ．２２７６，ＯＣＴ
ＯＢＥＲ，１９８７），あるいは特開平０３−６５６４
５号公報に示されるように酸素の透過に比べてグルコー
スの透過を制限するグルコース制限透過膜を使用するこ
とにより、グルコースセンサの測定上限を拡大してい
る。
【０００６】さらに詳しく従来技術を明らかにするため
に図を用いて具体的に説明する。
に図を用いて具体的に説明する。
【０００７】図５は特開昭５５−１６２０５１号公報に
開示されてある技術のグルコースセンサをわかりやすく
示す図である。電極支持体５１に白金カソード５２と銀
アノード５３が形成されている。ここにグルコースオキ
シダーゼ固定化膜５４，選択透過膜５５を順次重ね、中
心に孔が形成されている外膜５６で覆い固定する。この
センサを代用血管壁に設置し血液中のグルコースを測定
する。血液中のグルコース及び酸素は選択透過膜５５を
介してグルコースオキシダーゼ固定化膜５４に透過す
る。グルコースオキシダーゼによりグルコースは酸化さ
れるがこの際、酸素が消費されるため溶存酸素濃度が減
少する。この減少量を白金カソード５２と銀アノード５
３からなる酸素電極で測定することからグルコース濃度
を決定することができる。さらにグルコースは選択透過
膜５５の作用により透過が制限されるためグルコースセ
ンサの測定上限は５００ｍｇ／ｄ１まで拡大する。
開示されてある技術のグルコースセンサをわかりやすく
示す図である。電極支持体５１に白金カソード５２と銀
アノード５３が形成されている。ここにグルコースオキ
シダーゼ固定化膜５４，選択透過膜５５を順次重ね、中
心に孔が形成されている外膜５６で覆い固定する。この
センサを代用血管壁に設置し血液中のグルコースを測定
する。血液中のグルコース及び酸素は選択透過膜５５を
介してグルコースオキシダーゼ固定化膜５４に透過す
る。グルコースオキシダーゼによりグルコースは酸化さ
れるがこの際、酸素が消費されるため溶存酸素濃度が減
少する。この減少量を白金カソード５２と銀アノード５
３からなる酸素電極で測定することからグルコース濃度
を決定することができる。さらにグルコースは選択透過
膜５５の作用により透過が制限されるためグルコースセ
ンサの測定上限は５００ｍｇ／ｄ１まで拡大する。
【０００８】図６（Ａ）はエレクトロケミカルソサイエ
ティ・エクステンデド・アブストラクト，第８７−２
巻，２２７６頁のグルコースセンサの電極構造を示す
図，（Ｂ）はそのグルコースセンサの断面図である。図
６（Ａ）において、白金カソード６１と銀アノード６３
がエポキシ樹脂６２上に形成されており、前記センサと
同様に酸素電極として機能する。図６（Ｂ）において白
金カソード６１上にグルコースオキシダーゼ固定化膜６
４が形成されており、さらにその上にシリコーンゴム膜
６５が形成されている。血液中のグルコース濃度を測定
する場合、シリコーンゴム膜６５が制限透過膜として機
能し、グルコースの透過を制限することにより、センサ
の測定上限が拡大する。このセンサの場合、グルコース
オキシダーゼ固定化膜６４はグルコースオキシダーゼと
グルタルアルデヒドの混合溶液を滴下することにより、
シリコーンゴム膜６５はシリコーン溶液を滴下すること
によりそれぞれ形成されている。
ティ・エクステンデド・アブストラクト，第８７−２
巻，２２７６頁のグルコースセンサの電極構造を示す
図，（Ｂ）はそのグルコースセンサの断面図である。図
６（Ａ）において、白金カソード６１と銀アノード６３
がエポキシ樹脂６２上に形成されており、前記センサと
同様に酸素電極として機能する。図６（Ｂ）において白
金カソード６１上にグルコースオキシダーゼ固定化膜６
４が形成されており、さらにその上にシリコーンゴム膜
６５が形成されている。血液中のグルコース濃度を測定
する場合、シリコーンゴム膜６５が制限透過膜として機
能し、グルコースの透過を制限することにより、センサ
の測定上限が拡大する。このセンサの場合、グルコース
オキシダーゼ固定化膜６４はグルコースオキシダーゼと
グルタルアルデヒドの混合溶液を滴下することにより、
シリコーンゴム膜６５はシリコーン溶液を滴下すること
によりそれぞれ形成されている。
【０００９】図７は特開平０３−６５６４５号公報に開
示されてあるグルコースセンサの技術をわかりやすく示
す断面図である。サファイア基板７１上の２個の島状シ
リコンにソース７２，ドレイン７３，ゲート７４，酸化
シリコン膜７５，窒化シリコン膜７６が形成されており
イオン感受性電界効果型トランジスタ（ＩＳＦＥＴ）を
構成している。さらに２個のＩＳＦＥＴの間に金電極７
７が形成されている。一方のゲート７４上にグルコース
オキシダーゼ固定化膜７８が形成されており、他方のゲ
ート７４上にはアルブミン架橋膜７９が形成されてお
り、さらにその上を制限透過膜８０が覆っている。この
センサで血液中のグルコース濃度を測定する場合、制限
透過膜８０を透過したグルコースはグルコースオキシダ
ーゼ固定化膜７８中でグルコン酸に変換されＩＳＦＥＴ
表面に到達する。ＩＳＦＥＴはｐＨセンサとして機能す
るため、グルコン酸生成に伴うｐＨ変化を測定すること
によりグルコース濃度を決定することができる。制限透
過膜８０はグルコースの透過を制限するためセンサの測
定上限を拡大する。アルブミン架橋膜７９が形成された
ＩＳＦＥＴは参照用ＩＳＦＥＴとして機能しセンサ応答
のドリフト等を補正する。センサの製造方法はシリコン
オンサファイアウェハ上にフォトリソグラフィ技術によ
り微小なＩＳＦＥＴを多数形成し、引き続いてグルコー
スオキシダーゼ固定化膜７８及びアルブミン架橋膜７９
をフォトリソグラフィ技術により形成する。このＩＳＦ
ＥＴチップをウェハから切り出し、フレキシブル基板上
に実装した後、アルブミンとグルタルアルデヒドの混合
溶液を滴下することにより制限透過膜８０を形成する。
示されてあるグルコースセンサの技術をわかりやすく示
す断面図である。サファイア基板７１上の２個の島状シ
リコンにソース７２，ドレイン７３，ゲート７４，酸化
シリコン膜７５，窒化シリコン膜７６が形成されており
イオン感受性電界効果型トランジスタ（ＩＳＦＥＴ）を
構成している。さらに２個のＩＳＦＥＴの間に金電極７
７が形成されている。一方のゲート７４上にグルコース
オキシダーゼ固定化膜７８が形成されており、他方のゲ
ート７４上にはアルブミン架橋膜７９が形成されてお
り、さらにその上を制限透過膜８０が覆っている。この
センサで血液中のグルコース濃度を測定する場合、制限
透過膜８０を透過したグルコースはグルコースオキシダ
ーゼ固定化膜７８中でグルコン酸に変換されＩＳＦＥＴ
表面に到達する。ＩＳＦＥＴはｐＨセンサとして機能す
るため、グルコン酸生成に伴うｐＨ変化を測定すること
によりグルコース濃度を決定することができる。制限透
過膜８０はグルコースの透過を制限するためセンサの測
定上限を拡大する。アルブミン架橋膜７９が形成された
ＩＳＦＥＴは参照用ＩＳＦＥＴとして機能しセンサ応答
のドリフト等を補正する。センサの製造方法はシリコン
オンサファイアウェハ上にフォトリソグラフィ技術によ
り微小なＩＳＦＥＴを多数形成し、引き続いてグルコー
スオキシダーゼ固定化膜７８及びアルブミン架橋膜７９
をフォトリソグラフィ技術により形成する。このＩＳＦ
ＥＴチップをウェハから切り出し、フレキシブル基板上
に実装した後、アルブミンとグルタルアルデヒドの混合
溶液を滴下することにより制限透過膜８０を形成する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】グルコースセンサの製
作において制限透過膜の形成は、トランスデューサが大
きい場合は、図５に示すように予め製造された制限透過
膜をセンサ表面に直接装着することにより実現可能であ
った。しかしながらトランスデューサが微小化すると、
前記のように予め製造した制限透過膜を適用することが
困難となり、図６及び図７に示したようにトランスデュ
ーサ上に制限透過膜の原料溶液を塗布し乾燥することに
より１個づつ形成されていた。制限透過膜の膜厚あるい
は性状はグルコースセンサの応答に非常に影響するが、
塗布による形成法では均質な膜を得ることが困難である
ためセンサの良品率の向上が難しく、また１個づつ製作
するため多大な工数を必要とした。
作において制限透過膜の形成は、トランスデューサが大
きい場合は、図５に示すように予め製造された制限透過
膜をセンサ表面に直接装着することにより実現可能であ
った。しかしながらトランスデューサが微小化すると、
前記のように予め製造した制限透過膜を適用することが
困難となり、図６及び図７に示したようにトランスデュ
ーサ上に制限透過膜の原料溶液を塗布し乾燥することに
より１個づつ形成されていた。制限透過膜の膜厚あるい
は性状はグルコースセンサの応答に非常に影響するが、
塗布による形成法では均質な膜を得ることが困難である
ためセンサの良品率の向上が難しく、また１個づつ製作
するため多大な工数を必要とした。
【００１１】したがって、本発明の目的は、均質な制限
透過膜を有するグルコースセンサを大量に製造する方法
を提供することである。
透過膜を有するグルコースセンサを大量に製造する方法
を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、複数個
の電気化学センサが形成されたウェハに、グルコースオ
キシダーゼ固定化膜上にグルコース制限透過膜を有する
グルコースセンサを製造する方法において、電気化学セ
ンサが形成されたウェハ上にフォトレジストを塗布した
後、フォトリソグラフィ法により所定の部分のフォトレ
ジストを除く工程と、前記ウェハ表面にグルコースオキ
シダーゼと架橋剤を含むタンパク質溶液をスピン塗布し
た後、シリコーンを含有するタンパク質と架橋剤の混合
溶液であるシリコーン溶液をスピン塗布することにより
グルコースオキシダーゼ固定化膜及びシリコーン膜を形
成する工程と、前記ウェハを有機溶剤で処理することに
より前記フォトレジストを溶解し所定の部分以外に存在
するグルコースオキシダーゼ固定化膜及びシリコーン膜
をリフトオフする工程とを有して均質なシリコーン膜か
らなるグルコース制限透過膜をウェハ単位で形成するグ
ルコースセンサの製造方法にある。
の電気化学センサが形成されたウェハに、グルコースオ
キシダーゼ固定化膜上にグルコース制限透過膜を有する
グルコースセンサを製造する方法において、電気化学セ
ンサが形成されたウェハ上にフォトレジストを塗布した
後、フォトリソグラフィ法により所定の部分のフォトレ
ジストを除く工程と、前記ウェハ表面にグルコースオキ
シダーゼと架橋剤を含むタンパク質溶液をスピン塗布し
た後、シリコーンを含有するタンパク質と架橋剤の混合
溶液であるシリコーン溶液をスピン塗布することにより
グルコースオキシダーゼ固定化膜及びシリコーン膜を形
成する工程と、前記ウェハを有機溶剤で処理することに
より前記フォトレジストを溶解し所定の部分以外に存在
するグルコースオキシダーゼ固定化膜及びシリコーン膜
をリフトオフする工程とを有して均質なシリコーン膜か
らなるグルコース制限透過膜をウェハ単位で形成するグ
ルコースセンサの製造方法にある。
【００１３】本発明の他の特徴は、複数個の電気化学セ
ンサが形成されたウェハに、グルコースオキシダーゼ固
定化膜上にグルコース制限透過膜を有するグルコースセ
ンサを製造する方法において、電気化学センサが形成さ
れたウェハ上にフォトレジストを塗布した後、フォトリ
ソグラフィ法により所定の部分のフォトレジストを除く
工程と、前記ウェハ表面にグルコースオキシダーゼと架
橋剤を含むタンパク質溶液をスピン塗布することにより
グルコースオキシダーゼ固定化膜を形成する工程と、前
記ウェハを有機溶剤で処理することにより前記フォトレ
ジストを溶解し所定の部分以外に存在するグルコースオ
キシダーゼ固定化膜をリフトオフする工程と、前記ウェ
ハ上にラジカル変性シリコーン溶液をスピン塗布した
後、フォトリソグラフィ法により所定の部分にシリコー
ン膜を形成する工程とを有して均質なシリコーン膜から
なるグルコース制限透過膜をウェハ単位で形成するグル
コースセンサの製造方法にある。
ンサが形成されたウェハに、グルコースオキシダーゼ固
定化膜上にグルコース制限透過膜を有するグルコースセ
ンサを製造する方法において、電気化学センサが形成さ
れたウェハ上にフォトレジストを塗布した後、フォトリ
ソグラフィ法により所定の部分のフォトレジストを除く
工程と、前記ウェハ表面にグルコースオキシダーゼと架
橋剤を含むタンパク質溶液をスピン塗布することにより
グルコースオキシダーゼ固定化膜を形成する工程と、前
記ウェハを有機溶剤で処理することにより前記フォトレ
ジストを溶解し所定の部分以外に存在するグルコースオ
キシダーゼ固定化膜をリフトオフする工程と、前記ウェ
ハ上にラジカル変性シリコーン溶液をスピン塗布した
後、フォトリソグラフィ法により所定の部分にシリコー
ン膜を形成する工程とを有して均質なシリコーン膜から
なるグルコース制限透過膜をウェハ単位で形成するグル
コースセンサの製造方法にある。
【００１４】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１（Ａ）は、本発明の一実施例であるＩＳＦＥＴ
を用いたグルコースセンサの概略図であり、図１（Ｂ）
は図１（Ａ）のＡ−Ａ′部における断面図である。
る。図１（Ａ）は、本発明の一実施例であるＩＳＦＥＴ
を用いたグルコースセンサの概略図であり、図１（Ｂ）
は図１（Ａ）のＡ−Ａ′部における断面図である。
【００１５】図１（Ａ）、（Ｂ）において、サファイア
基板１上の２個の島状シリコンにソース２，ドレイン
３，ゲート４，酸化シリコン膜５，窒化シリコン膜６が
形成されておりイオン感受性電界効果型トランジスタ
（ＩＳＦＥＴ）を構成している。このゲート４の大きさ
は５０μｍ×４００μｍである。さらに２個のＩＳＦＥ
Ｔの間に金電極７が形成されている。一方のゲート４上
にグルコースオキシダーゼ固定化膜８が形成されてお
り、他方のゲート４上にはアルブミン架橋膜９が形成さ
れており、さらにその上を制限透過膜１０が覆ってい
る。グルコースオキシダーゼ固定化膜８の大きさは１０
０μｍ×５００μｍであり膜の厚さは１μｍである。ま
た制限透過膜の大きさは８００μｍ×５００μｍであり
膜の厚さは同じく１μｍである。このセンサチップは電
極パッド部１１をワイヤ１２でボンディングしフレキシ
ブル基板１３に実装されている。またこのボンディング
部は耐水性ワックス１４によりシーリングされている。
センサチップの大きさは１．７ｍｍ×４．７ｍｍであ
る。測定はこのセンサチップ先端部分をサンプル中に浸
して行なう。
基板１上の２個の島状シリコンにソース２，ドレイン
３，ゲート４，酸化シリコン膜５，窒化シリコン膜６が
形成されておりイオン感受性電界効果型トランジスタ
（ＩＳＦＥＴ）を構成している。このゲート４の大きさ
は５０μｍ×４００μｍである。さらに２個のＩＳＦＥ
Ｔの間に金電極７が形成されている。一方のゲート４上
にグルコースオキシダーゼ固定化膜８が形成されてお
り、他方のゲート４上にはアルブミン架橋膜９が形成さ
れており、さらにその上を制限透過膜１０が覆ってい
る。グルコースオキシダーゼ固定化膜８の大きさは１０
０μｍ×５００μｍであり膜の厚さは１μｍである。ま
た制限透過膜の大きさは８００μｍ×５００μｍであり
膜の厚さは同じく１μｍである。このセンサチップは電
極パッド部１１をワイヤ１２でボンディングしフレキシ
ブル基板１３に実装されている。またこのボンディング
部は耐水性ワックス１４によりシーリングされている。
センサチップの大きさは１．７ｍｍ×４．７ｍｍであ
る。測定はこのセンサチップ先端部分をサンプル中に浸
して行なう。
【００１６】図２は図１（Ａ）のＡ−Ａ′部における断
面図をもとに、グルコースオキシダーゼ固定化膜，アル
ブミン架橋膜および制限透過膜をフォトリソグラフィ法
による形成を示した図である。
面図をもとに、グルコースオキシダーゼ固定化膜，アル
ブミン架橋膜および制限透過膜をフォトリソグラフィ法
による形成を示した図である。
【００１７】図２（Ａ）に示すように、サファイアウェ
ハ２１上にＩＳＦＥＴ２２及び金電極２３を形成する。
次に図２（Ｂ）に示すように、ポジティブフォトレジス
ト２４をウェハ全面に塗布し、フォトマスクを介して紫
外線を照射し現像することにより、所定の部分のレジス
トを取り除く。次に、図２（Ｃ）に示すように、上記ウ
ェハ上に１５重量％アルブミン−１％グルタルアルデヒ
ド混合溶液２５を全面に塗布しゲル化させ、引き続いて
２５％シリコーンエマルジョン−１５重量％アルブミン
−１％グルタルアルデヒド混合溶液２６を全面に塗布し
ゲル化させる。次に図２（Ｄ）に示すように、上記ウェ
ハを有機溶媒中で超音波処理することによりポジティブ
フォトレジストを溶解させアルブミン架橋膜２５及び制
限透過膜２６を形成する。次に図２（Ｅ）に示すよう
に、アルブミン架橋膜２５及び制限透過膜２６が形成さ
れたウェハに図２（Ｂ）と同様にポジティブフォトレジ
スト２７を塗布し所定の部分を取り除く。次に図２
（Ｆ）に示すように、上記ウェハ上に６重量％グルコー
スオキシダーゼを含む１５重量％アルブミン−１％グル
タルアルデヒド混合液２８を塗布しゲル化させ、引き続
き２５％シリココーンエマルジョン−１５重量％アルブ
ミン１％グルタルアルデヒド混合液２９を塗布しゲル化
させる。次に図２（Ｇ）に示すように、上記ウェハ上に
図２（Ｄ）と同様にポジティブフォトレジストを溶解す
ることにより、グルコースオキシダーゼ固定化膜２８及
び制限透過膜２９を形成する。次に図２（Ｈ）に示すよ
うに、アルブミン架橋膜２５，グルコースオキシダーゼ
固定化膜２８，制限透過膜２６，２９が形成されたウェ
ハを切り分けて、さきに述べた図１（Ａ），（Ｂ）に相
当するチップを得る。
ハ２１上にＩＳＦＥＴ２２及び金電極２３を形成する。
次に図２（Ｂ）に示すように、ポジティブフォトレジス
ト２４をウェハ全面に塗布し、フォトマスクを介して紫
外線を照射し現像することにより、所定の部分のレジス
トを取り除く。次に、図２（Ｃ）に示すように、上記ウ
ェハ上に１５重量％アルブミン−１％グルタルアルデヒ
ド混合溶液２５を全面に塗布しゲル化させ、引き続いて
２５％シリコーンエマルジョン−１５重量％アルブミン
−１％グルタルアルデヒド混合溶液２６を全面に塗布し
ゲル化させる。次に図２（Ｄ）に示すように、上記ウェ
ハを有機溶媒中で超音波処理することによりポジティブ
フォトレジストを溶解させアルブミン架橋膜２５及び制
限透過膜２６を形成する。次に図２（Ｅ）に示すよう
に、アルブミン架橋膜２５及び制限透過膜２６が形成さ
れたウェハに図２（Ｂ）と同様にポジティブフォトレジ
スト２７を塗布し所定の部分を取り除く。次に図２
（Ｆ）に示すように、上記ウェハ上に６重量％グルコー
スオキシダーゼを含む１５重量％アルブミン−１％グル
タルアルデヒド混合液２８を塗布しゲル化させ、引き続
き２５％シリココーンエマルジョン−１５重量％アルブ
ミン１％グルタルアルデヒド混合液２９を塗布しゲル化
させる。次に図２（Ｇ）に示すように、上記ウェハ上に
図２（Ｄ）と同様にポジティブフォトレジストを溶解す
ることにより、グルコースオキシダーゼ固定化膜２８及
び制限透過膜２９を形成する。次に図２（Ｈ）に示すよ
うに、アルブミン架橋膜２５，グルコースオキシダーゼ
固定化膜２８，制限透過膜２６，２９が形成されたウェ
ハを切り分けて、さきに述べた図１（Ａ），（Ｂ）に相
当するチップを得る。
【００１８】従来技術では１個づつグルコースセンサを
製作していた場合の良品率が１０％以下であったのに対
し、本発明による方法では９０％以上の良品率を達成し
た。
製作していた場合の良品率が１０％以下であったのに対
し、本発明による方法では９０％以上の良品率を達成し
た。
【００１９】前記、２５％シリコーンエマルジョン−１
５重量％アルブミン−１％グルタルアルデヒド混合溶液
に代えて５０％アミノ変性シリコーン−５％グルタルア
ルデヒド溶液を用いることもできる。
５重量％アルブミン−１％グルタルアルデヒド混合溶液
に代えて５０％アミノ変性シリコーン−５％グルタルア
ルデヒド溶液を用いることもできる。
【００２０】図３は、本発明は他の実施例を示すプロセ
ス図であり、図２と同様に図１（Ａ）のＡ−Ａ′におけ
る断面図を示している。まず図３（Ａ）に示すように、
サファイアウェハ３１上にＩＳＦＥＴ３２及び金電極３
３を形成する。次に図３（Ｂ）に示すように、ポジティ
ブフォトレジスト３４をウェハ全面に塗布し、フォトマ
スクを介して紫外線を照射し現像することにより、所定
の部分のレジストを取り除く。次に図３（Ｃ）に示すよ
うに、上記ウェハ上に１５重量％アルブミン−１％グル
タルアルデヒド混合溶液３５を全面に塗布しゲル化す
る。次に図３（Ｄ）に示すように、上記ウェハを有機溶
媒中で超音波処理することによりポジティブフォトレジ
ストを溶解させアルブミン架橋膜３５を形成する。次に
図３（Ｅ）に示すように、アルブミン架橋膜３５が形成
されたウェハに図３（Ｂ）と同様にポジティブフォトレ
ジスト３６を塗布し所定の部分を取り除く。次に図３
（Ｆ）に示すように、上記ウェハ上に６重量％グルコー
ルオキシダーゼを含む１５重量％アルブミン−１％グル
タルアルデヒド混合液３７を塗布しゲル化する。次に図
３（Ｇ）に示すように、上記ウェハ上に図３（Ｄ）と同
様にポジティブフォトレジストを溶解することにより、
グルコースオキシダーゼ固定化膜３７を形成する。次に
図３（Ｈ）に示すように、ラジカル反応性シリコーンに
反応開始剤として１重量％リボフラビンリン酸及び光増
感剤として１％テトラメチルエチレンジアミンを含む溶
液３８をウェハ上にスピン塗布する。次に図３（Ｉ）に
示すように、フォトマスクを介して紫外線を照射し現像
することにより所定の部分に制限透過膜３９を形成す
る。次に図３（Ｊ）に示すように、アルブミン架橋膜３
５，グルコースオキシダーゼ固定化膜３７及び制限透過
膜３９が形成されたウェハを切り分けた図１（Ａ），
（Ｂ）に示すようなチップを得る。
ス図であり、図２と同様に図１（Ａ）のＡ−Ａ′におけ
る断面図を示している。まず図３（Ａ）に示すように、
サファイアウェハ３１上にＩＳＦＥＴ３２及び金電極３
３を形成する。次に図３（Ｂ）に示すように、ポジティ
ブフォトレジスト３４をウェハ全面に塗布し、フォトマ
スクを介して紫外線を照射し現像することにより、所定
の部分のレジストを取り除く。次に図３（Ｃ）に示すよ
うに、上記ウェハ上に１５重量％アルブミン−１％グル
タルアルデヒド混合溶液３５を全面に塗布しゲル化す
る。次に図３（Ｄ）に示すように、上記ウェハを有機溶
媒中で超音波処理することによりポジティブフォトレジ
ストを溶解させアルブミン架橋膜３５を形成する。次に
図３（Ｅ）に示すように、アルブミン架橋膜３５が形成
されたウェハに図３（Ｂ）と同様にポジティブフォトレ
ジスト３６を塗布し所定の部分を取り除く。次に図３
（Ｆ）に示すように、上記ウェハ上に６重量％グルコー
ルオキシダーゼを含む１５重量％アルブミン−１％グル
タルアルデヒド混合液３７を塗布しゲル化する。次に図
３（Ｇ）に示すように、上記ウェハ上に図３（Ｄ）と同
様にポジティブフォトレジストを溶解することにより、
グルコースオキシダーゼ固定化膜３７を形成する。次に
図３（Ｈ）に示すように、ラジカル反応性シリコーンに
反応開始剤として１重量％リボフラビンリン酸及び光増
感剤として１％テトラメチルエチレンジアミンを含む溶
液３８をウェハ上にスピン塗布する。次に図３（Ｉ）に
示すように、フォトマスクを介して紫外線を照射し現像
することにより所定の部分に制限透過膜３９を形成す
る。次に図３（Ｊ）に示すように、アルブミン架橋膜３
５，グルコースオキシダーゼ固定化膜３７及び制限透過
膜３９が形成されたウェハを切り分けた図１（Ａ），
（Ｂ）に示すようなチップを得る。
【００２１】この実施例の場合工程は増加するが、シリ
コーンの粘性を変えることにより制限透過膜の膜の厚さ
を制御することが比較的容易である。
コーンの粘性を変えることにより制限透過膜の膜の厚さ
を制御することが比較的容易である。
【００２２】図４（Ａ）は本発明の別の実施例であるア
ンペロメトリック電極を用いたグルコースセンサの概略
図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）のＢ−Ｂ′における
断面図である。
ンペロメトリック電極を用いたグルコースセンサの概略
図であり、図４（Ｂ）は図４（Ａ）のＢ−Ｂ′における
断面図である。
【００２３】シリコンウェハ４１上に金あるいは白金を
パターニングすることにより作用極４２及び対極４３を
形成する。また銀をパターニングし塩化鉄（ＦｅＣ
ｌ3 ）溶液で処理することにより参照極４４を形成す
る。その後グルコースオキシダーゼ固定化膜４５及び制
限透過膜４６をフォトリソグラフィを用いてパターニン
グを行い最後にチップ毎に切断しフレキシブル基板４７
に実装する。ＩＳＦＥＴの場合と同様に、２５％シリコ
ーンエマルジョン−１５重量％アルブミン−１％グルタ
ルアルデヒド混合溶液を用いる方法、５０％アミノ変性
シリコーン−５％グルタルアルデヒド溶液を用いる方
法、及びラジカル変性シリコーンを用いる方法のうちど
の方法でも制限透過膜４６を形成することができる。
パターニングすることにより作用極４２及び対極４３を
形成する。また銀をパターニングし塩化鉄（ＦｅＣ
ｌ3 ）溶液で処理することにより参照極４４を形成す
る。その後グルコースオキシダーゼ固定化膜４５及び制
限透過膜４６をフォトリソグラフィを用いてパターニン
グを行い最後にチップ毎に切断しフレキシブル基板４７
に実装する。ＩＳＦＥＴの場合と同様に、２５％シリコ
ーンエマルジョン−１５重量％アルブミン−１％グルタ
ルアルデヒド混合溶液を用いる方法、５０％アミノ変性
シリコーン−５％グルタルアルデヒド溶液を用いる方
法、及びラジカル変性シリコーンを用いる方法のうちど
の方法でも制限透過膜４６を形成することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるグル
コースセンサの製造方法は、制限透過膜をフォトリソグ
ラフィ技術を用いてパターニングするため、均質な制限
透過膜を有するグルコースセンサを大量に製造すること
が可能であるという効果がある。
コースセンサの製造方法は、制限透過膜をフォトリソグ
ラフィ技術を用いてパターニングするため、均質な制限
透過膜を有するグルコースセンサを大量に製造すること
が可能であるという効果がある。
【図１】本発明の実施例によるグルコースセンサを示す
概略図である。
概略図である。
【図２】本発明の一実施例の製造方法を工程順に示した
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の他の実施例の製造方法を工程順に示し
た断面図である。
た断面図である。
【図４】本発明の別の実施例によるグルコースを示す概
略図である。
略図である。
【図５】従来技術のグルコースセンサを示す説明図であ
る。
る。
【図６】他の従来技術のグルコースセンサを示す説明図
である。
である。
【図７】別の従来技術のグルコースセンサを示す説明図
である。
である。
１ サファイア基板 ２ ソース ３ ドレイン ４ ゲート ５ 酸化シリコン膜 ６ 窒化シリコン膜 ７ 金電極 ８ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ９ アルブミン架橋膜 １０ 制限透過膜 １１ 電極パット部 １２ ワイヤ １３ フレキシブル基板 １４ ワックス ２１ サファイアウェハ ２２ ＩＳＦＥＴ ２３ 金電極 ２４ ポジティブフォトレジスト ２５ アルブミン架橋膜 ２６ 制限透過膜 ２７ ポジティブフォトレジスト ２８ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ２９ 制限透過膜 ３１ サファイアウェハ ３２ ＩＳＦＥＴ ３３ 金電極 ３４ ポジティブフォトレジスト ３５ アルブミン架橋膜 ３６ ポジティブフォトレジスト ３７ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ３８ ラジカル反応性シリコーン ３９ 制限透過膜 ４１ シリコーンウェハ ４２ 作用極 ４３ 対極 ４４ 参照極 ４５ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ４６ 制限透過膜 ４７ フレキシブル基板 ５１ 電極支持体 ５２ 白金カソード ５３ 銀アノード ５４ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ５５ 制限透過膜 ５６ 外膜 ６１ 白金カソード ６２ エポキシ樹脂 ６３ 銀アノード ６４ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ６５ シリコーンゴム膜 ７１ サファイア基板 ７２ ソース ７３ ドレイン ７４ ゲート ７５ 酸化シリコン膜 ７６ 窒化シリコン膜 ７７ 金電極 ７８ グルコースオキシダーゼ固定化膜 ７９ アルブミン架橋膜 ８０ 制限透過膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｎ 27/327 Ｇ０１Ｎ 27/30 ３５３ Ｊ ３５３ Ｚ
Claims (6)
- 【請求項１】 複数個の電気化学センサが形成されたウ
ェハに、グルコースオキシダーゼ固定化膜上にグルコー
ス制限透過膜を有するグルコースセンサを製造する方法
において、 （イ）電気化学センサが形成されたウェハ上にフォトレ
ジストを塗布した後、フォトリソグラフィ法により所定
の部分のフォトレジストを除く工程と、 （ロ）前記ウェハ表面にグルコースオキシダーゼと架橋
剤を含むタンパク質溶液をスピン塗布した後、シリコー
ンを含有するタンパク質と架橋剤の混合溶液であるシリ
コーン溶液をスピン塗布することによりグルコースオキ
シダーゼ固定化膜及びシリコーン膜を形成する工程と、 （ハ）前記ウェハを有機溶剤で処理することにより前記
フォトレジストを溶解し所定の部分以外に存在するグル
コースオキシダーゼ固定化膜及びシリコーン膜をリフト
オフする工程と、 を有して均質なシリコーン膜からなるグルコース制限透
過膜をウェハ単位で形成することを特徴とするグルコー
スセンサの製造方法。 - 【請求項２】 前記電気化学センサがイオン感受性電界
効果型トランジスタである請求項１記載のグルコースセ
ンサの製造方法。 - 【請求項３】 前記電気化学センサがアンペロメトリッ
ク電極である請求項１記載のグルコースセンサの製造方
法。 - 【請求項４】 複数個の電気化学センサが形成されたウ
ェハに、グルコースオキシダーゼ固定化膜上にグルコー
ス制限透過膜を有するグルコースセンサを製造する方法
において、 （イ）電気化学センサが形成されたウェハ上にフォトレ
ジストを塗布した後、フォトリソグラフィ法により所定
の部分のフォトレジストを除く工程と、 （ロ）前記ウェハ表面にグルコースオキシダーゼと架橋
剤を含むタンパク質溶液をスピン塗布することによりグ
ルコースオキシダーゼ固定化膜を形成する工程と、 （ハ）前記ウェハを有機溶剤で処理することにより前記
フォトレジストを溶解し所定の部分以外に存在するグル
コースオキシダーゼ固定化膜をリフトオフする工程と、 （ニ）前記ウェハ上にラジカル変性シリコーン溶液をス
ピン塗布した後、フォトリソグラフィ法により所定の部
分にシリコーン膜を形成する工程と、 を有して均質なシリコーン膜からなるグルコース制限透
過膜をウェハ単位で形成することを特徴とするグルコー
スセンサの製造方法。 - 【請求項５】 前記電気化学センサがイオン感受性電界
効果型トランジスタである請求項４記載のグルコースセ
ンサの製造方法。 - 【請求項６】 前記電気化学センサがアンペロメトリッ
ク電極である請求項４記載のグルコースセンサの製造方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5028345A JPH0816669B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | グルコースセンサの製造方法 |
| US08/190,371 US5445920A (en) | 1993-02-18 | 1994-02-02 | Fabrication process of biosensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5028345A JPH0816669B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | グルコースセンサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06242068A JPH06242068A (ja) | 1994-09-02 |
| JPH0816669B2 true JPH0816669B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=12246019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5028345A Expired - Lifetime JPH0816669B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | グルコースセンサの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5445920A (ja) |
| JP (1) | JPH0816669B2 (ja) |
Families Citing this family (105)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5945774A (en) * | 1997-03-28 | 1999-08-31 | Industrial Technology Research Institute | Open package for crystal oscillator chips |
| DE19720892C2 (de) * | 1997-05-17 | 2002-08-08 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement |
| US6036924A (en) | 1997-12-04 | 2000-03-14 | Hewlett-Packard Company | Cassette of lancet cartridges for sampling blood |
| US6391005B1 (en) | 1998-03-30 | 2002-05-21 | Agilent Technologies, Inc. | Apparatus and method for penetration with shaft having a sensor for sensing penetration depth |
| US8974386B2 (en) | 1998-04-30 | 2015-03-10 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US6949816B2 (en) | 2003-04-21 | 2005-09-27 | Motorola, Inc. | Semiconductor component having first surface area for electrically coupling to a semiconductor chip and second surface area for electrically coupling to a substrate, and method of manufacturing same |
| US8480580B2 (en) | 1998-04-30 | 2013-07-09 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US8465425B2 (en) | 1998-04-30 | 2013-06-18 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US6175752B1 (en) | 1998-04-30 | 2001-01-16 | Therasense, Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US9066695B2 (en) | 1998-04-30 | 2015-06-30 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US8346337B2 (en) | 1998-04-30 | 2013-01-01 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US8688188B2 (en) | 1998-04-30 | 2014-04-01 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| US6436615B1 (en) * | 1999-06-25 | 2002-08-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Methods and materials for selective modification of photopatterned polymer films |
| US8641644B2 (en) | 2000-11-21 | 2014-02-04 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Blood testing apparatus having a rotatable cartridge with multiple lancing elements and testing means |
| US6560471B1 (en) | 2001-01-02 | 2003-05-06 | Therasense, Inc. | Analyte monitoring device and methods of use |
| WO2002078512A2 (en) | 2001-04-02 | 2002-10-10 | Therasense, Inc. | Blood glucose tracking apparatus and methods |
| EP1404235A4 (en) | 2001-06-12 | 2008-08-20 | Pelikan Technologies Inc | METHOD AND DEVICE FOR A LANZETTING DEVICE INTEGRATED ON A BLOOD CARTRIDGE CARTRIDGE |
| DE60234598D1 (de) | 2001-06-12 | 2010-01-14 | Pelikan Technologies Inc | Selbstoptimierende lanzettenvorrichtung mit adaptationsmittel für zeitliche schwankungen von hauteigenschaften |
| US7025774B2 (en) | 2001-06-12 | 2006-04-11 | Pelikan Technologies, Inc. | Tissue penetration device |
| ATE497731T1 (de) | 2001-06-12 | 2011-02-15 | Pelikan Technologies Inc | Gerät zur erhöhung der erfolgsrate im hinblick auf die durch einen fingerstich erhaltene blutausbeute |
| US7981056B2 (en) | 2002-04-19 | 2011-07-19 | Pelikan Technologies, Inc. | Methods and apparatus for lancet actuation |
| US9795747B2 (en) | 2010-06-02 | 2017-10-24 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Methods and apparatus for lancet actuation |
| US8337419B2 (en) | 2002-04-19 | 2012-12-25 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Tissue penetration device |
| WO2002100252A2 (en) | 2001-06-12 | 2002-12-19 | Pelikan Technologies, Inc. | Blood sampling apparatus and method |
| US9226699B2 (en) | 2002-04-19 | 2016-01-05 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Body fluid sampling module with a continuous compression tissue interface surface |
| WO2002100460A2 (en) | 2001-06-12 | 2002-12-19 | Pelikan Technologies, Inc. | Electric lancet actuator |
| US6952604B2 (en) | 2001-12-21 | 2005-10-04 | Becton, Dickinson And Company | Minimally-invasive system and method for monitoring analyte levels |
| US20030153026A1 (en) * | 2002-01-04 | 2003-08-14 | Javier Alarcon | Entrapped binding protein as biosensors |
| US6855556B2 (en) | 2002-01-04 | 2005-02-15 | Becton, Dickinson And Company | Binding protein as biosensors |
| US6670286B1 (en) | 2002-02-13 | 2003-12-30 | The Regents Of The University Of California | Photopolymerization-based fabrication of chemical sensing films |
| US9795334B2 (en) | 2002-04-19 | 2017-10-24 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US8579831B2 (en) | 2002-04-19 | 2013-11-12 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7717863B2 (en) | 2002-04-19 | 2010-05-18 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US8784335B2 (en) | 2002-04-19 | 2014-07-22 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Body fluid sampling device with a capacitive sensor |
| US7892185B2 (en) | 2002-04-19 | 2011-02-22 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for body fluid sampling and analyte sensing |
| US8221334B2 (en) | 2002-04-19 | 2012-07-17 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US8267870B2 (en) | 2002-04-19 | 2012-09-18 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for body fluid sampling with hybrid actuation |
| US7976476B2 (en) | 2002-04-19 | 2011-07-12 | Pelikan Technologies, Inc. | Device and method for variable speed lancet |
| US7229458B2 (en) | 2002-04-19 | 2007-06-12 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US8702624B2 (en) | 2006-09-29 | 2014-04-22 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Analyte measurement device with a single shot actuator |
| US7648468B2 (en) | 2002-04-19 | 2010-01-19 | Pelikon Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US8360992B2 (en) | 2002-04-19 | 2013-01-29 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7371247B2 (en) | 2002-04-19 | 2008-05-13 | Pelikan Technologies, Inc | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7901362B2 (en) | 2002-04-19 | 2011-03-08 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7291117B2 (en) | 2002-04-19 | 2007-11-06 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US9314194B2 (en) | 2002-04-19 | 2016-04-19 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Tissue penetration device |
| US7892183B2 (en) | 2002-04-19 | 2011-02-22 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for body fluid sampling and analyte sensing |
| US7547287B2 (en) | 2002-04-19 | 2009-06-16 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7175642B2 (en) | 2002-04-19 | 2007-02-13 | Pelikan Technologies, Inc. | Methods and apparatus for lancet actuation |
| US7491178B2 (en) | 2002-04-19 | 2009-02-17 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7909778B2 (en) | 2002-04-19 | 2011-03-22 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7674232B2 (en) | 2002-04-19 | 2010-03-09 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7297122B2 (en) | 2002-04-19 | 2007-11-20 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7331931B2 (en) | 2002-04-19 | 2008-02-19 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7708701B2 (en) | 2002-04-19 | 2010-05-04 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for a multi-use body fluid sampling device |
| US7232451B2 (en) | 2002-04-19 | 2007-06-19 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
| US7767068B2 (en) * | 2002-12-02 | 2010-08-03 | Epocal Inc. | Heterogeneous membrane electrodes |
| US7842234B2 (en) * | 2002-12-02 | 2010-11-30 | Epocal Inc. | Diagnostic devices incorporating fluidics and methods of manufacture |
| US7094330B2 (en) * | 2002-12-02 | 2006-08-22 | Epocal Inc. | Heterogeneous membrane electrodes |
| US8574895B2 (en) | 2002-12-30 | 2013-11-05 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus using optical techniques to measure analyte levels |
| US7811231B2 (en) | 2002-12-31 | 2010-10-12 | Abbott Diabetes Care Inc. | Continuous glucose monitoring system and methods of use |
| US7383071B1 (en) * | 2003-04-25 | 2008-06-03 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Microsensor system and method for measuring data |
| DE602004028463D1 (de) | 2003-05-30 | 2010-09-16 | Pelikan Technologies Inc | Verfahren und vorrichtung zur injektion von flüssigkeit |
| ES2490740T3 (es) | 2003-06-06 | 2014-09-04 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Aparato para toma de muestras de fluido sanguíneo y detección de analitos |
| US8066639B2 (en) | 2003-06-10 | 2011-11-29 | Abbott Diabetes Care Inc. | Glucose measuring device for use in personal area network |
| WO2006001797A1 (en) | 2004-06-14 | 2006-01-05 | Pelikan Technologies, Inc. | Low pain penetrating |
| WO2005033659A2 (en) | 2003-09-29 | 2005-04-14 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for an improved sample capture device |
| EP1680014A4 (en) | 2003-10-14 | 2009-01-21 | Pelikan Technologies Inc | METHOD AND APPARATUS PROVIDING A VARIABLE USER INTERFACE |
| EP1706026B1 (en) | 2003-12-31 | 2017-03-01 | Sanofi-Aventis Deutschland GmbH | Method and apparatus for improving fluidic flow and sample capture |
| US7822454B1 (en) | 2005-01-03 | 2010-10-26 | Pelikan Technologies, Inc. | Fluid sampling device with improved analyte detecting member configuration |
| WO2005089103A2 (en) | 2004-02-17 | 2005-09-29 | Therasense, Inc. | Method and system for providing data communication in continuous glucose monitoring and management system |
| KR101059562B1 (ko) * | 2004-02-20 | 2011-08-26 | 삼성전자주식회사 | 민감도가 향상된 바이오 ｆｅｔ |
| US7642076B2 (en) * | 2004-05-07 | 2010-01-05 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Process for immobilization of protein catalysts, product, and use |
| WO2006011062A2 (en) | 2004-05-20 | 2006-02-02 | Albatros Technologies Gmbh & Co. Kg | Printable hydrogel for biosensors |
| US9775553B2 (en) | 2004-06-03 | 2017-10-03 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for a fluid sampling device |
| WO2005120365A1 (en) | 2004-06-03 | 2005-12-22 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for a fluid sampling device |
| DE602005022704D1 (de) * | 2004-06-09 | 2010-09-16 | Dickinson And Co | Sensor für mehrere analyte |
| US8652831B2 (en) | 2004-12-30 | 2014-02-18 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for analyte measurement test time |
| US8112240B2 (en) | 2005-04-29 | 2012-02-07 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and apparatus for providing leak detection in data monitoring and management systems |
| US7766829B2 (en) | 2005-11-04 | 2010-08-03 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and system for providing basal profile modification in analyte monitoring and management systems |
| US8515518B2 (en) * | 2005-12-28 | 2013-08-20 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring |
| US8160670B2 (en) | 2005-12-28 | 2012-04-17 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring: stabilizer for subcutaneous glucose sensor with incorporated antiglycolytic agent |
| US8226891B2 (en) | 2006-03-31 | 2012-07-24 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring devices and methods therefor |
| US7620438B2 (en) | 2006-03-31 | 2009-11-17 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and system for powering an electronic device |
| WO2007143225A2 (en) | 2006-06-07 | 2007-12-13 | Abbott Diabetes Care, Inc. | Analyte monitoring system and method |
| US8732188B2 (en) | 2007-02-18 | 2014-05-20 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and system for providing contextual based medication dosage determination |
| US8930203B2 (en) | 2007-02-18 | 2015-01-06 | Abbott Diabetes Care Inc. | Multi-function analyte test device and methods therefor |
| US8123686B2 (en) | 2007-03-01 | 2012-02-28 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and apparatus for providing rolling data in communication systems |
| US7928850B2 (en) | 2007-05-08 | 2011-04-19 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring system and methods |
| US8456301B2 (en) | 2007-05-08 | 2013-06-04 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring system and methods |
| US8461985B2 (en) | 2007-05-08 | 2013-06-11 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring system and methods |
| US8665091B2 (en) | 2007-05-08 | 2014-03-04 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and device for determining elapsed sensor life |
| EP2265324B1 (en) | 2008-04-11 | 2015-01-28 | Sanofi-Aventis Deutschland GmbH | Integrated analyte measurement system |
| US8103456B2 (en) | 2009-01-29 | 2012-01-24 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and device for early signal attenuation detection using blood glucose measurements |
| US9375169B2 (en) | 2009-01-30 | 2016-06-28 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Cam drive for managing disposable penetrating member actions with a single motor and motor and control system |
| US9226701B2 (en) | 2009-04-28 | 2016-01-05 | Abbott Diabetes Care Inc. | Error detection in critical repeating data in a wireless sensor system |
| US9184490B2 (en) | 2009-05-29 | 2015-11-10 | Abbott Diabetes Care Inc. | Medical device antenna systems having external antenna configurations |
| WO2011026147A1 (en) | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte signal processing device and methods |
| US8993331B2 (en) | 2009-08-31 | 2015-03-31 | Abbott Diabetes Care Inc. | Analyte monitoring system and methods for managing power and noise |
| WO2011041469A1 (en) | 2009-09-29 | 2011-04-07 | Abbott Diabetes Care Inc. | Method and apparatus for providing notification function in analyte monitoring systems |
| US8965476B2 (en) | 2010-04-16 | 2015-02-24 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Tissue penetration device |
| JP6443802B2 (ja) | 2011-11-07 | 2018-12-26 | アボット ダイアベティス ケア インコーポレイテッドＡｂｂｏｔｔ Ｄｉａｂｅｔｅｓ Ｃａｒｅ Ｉｎｃ． | 分析物モニタリング装置および方法 |
| US9968306B2 (en) | 2012-09-17 | 2018-05-15 | Abbott Diabetes Care Inc. | Methods and apparatuses for providing adverse condition notification with enhanced wireless communication range in analyte monitoring systems |
| US20190257781A1 (en) * | 2016-10-19 | 2019-08-22 | Kikkoman Corporation | Glucose redox reaction and composition for glucose measurement using flavin compound (as amended) |
| CN109781989A (zh) * | 2017-11-10 | 2019-05-21 | 上海瀚联医疗技术股份有限公司 | 血糖测试的方法及生物传感器 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55162051A (en) * | 1979-06-04 | 1980-12-17 | Sakurai Koichi | Method and device for direct and continuous measurement of blood sugar level or the like |
| JPS6188135A (ja) * | 1984-10-05 | 1986-05-06 | Nec Corp | 半導体バイオセンサの製造方法 |
| JPS6254155A (ja) * | 1985-09-02 | 1987-03-09 | Nec Corp | 半導体バイオセンサ酵素固定化膜の形成方法 |
| JP2633281B2 (ja) * | 1988-02-10 | 1997-07-23 | 日本電気株式会社 | 電気化学センサ及びその製造方法 |
| US5063081A (en) * | 1988-11-14 | 1991-11-05 | I-Stat Corporation | Method of manufacturing a plurality of uniform microfabricated sensing devices having an immobilized ligand receptor |
| US5118404A (en) * | 1989-04-28 | 1992-06-02 | Nec Corporation | Enzyme electrode and a method of determining concentration of an analyte in a sample solution |
| JP2926771B2 (ja) * | 1989-08-04 | 1999-07-28 | 日本電気株式会社 | 酵素電極および濃度測定方法 |
-
1993
- 1993-02-18 JP JP5028345A patent/JPH0816669B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-02-02 US US08/190,371 patent/US5445920A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5445920A (en) | 1995-08-29 |
| JPH06242068A (ja) | 1994-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0816669B2 (ja) | グルコースセンサの製造方法 | |
| van der Schoot et al. | ISFET based enzyme sensors | |
| EP1901646B1 (en) | Photoformed silicone sensor membrane | |
| JPS61165656A (ja) | 固定化酵素薄膜の形成法 | |
| JP2770783B2 (ja) | バイオセンサ素子の製造方法 | |
| JPS6188135A (ja) | 半導体バイオセンサの製造方法 | |
| JPS6039547A (ja) | マルチ酵素センサ | |
| JPS6254155A (ja) | 半導体バイオセンサ酵素固定化膜の形成方法 | |
| JPS62235556A (ja) | 複合化酵素センサ− | |
| JPS61234349A (ja) | 半導体マルチバイオセンサの製造方法 | |
| JPS6366454A (ja) | 酵素センサ−およびその製造方法 | |
| JP2617745B2 (ja) | 細微狭小領域への生体触媒の固定化方法 | |
| JPH02240556A (ja) | 酸素電極 | |
| JPS63229358A (ja) | 固定化酵素膜及びその製法 | |
| JP2946913B2 (ja) | 固定化酵素膜およびタンパク質固定化膜の製造方法 | |
| JP3405405B2 (ja) | 制限透過膜及び制限透過膜の製造方法、並びに化学センサ及び化学センサの製造方法 | |
| JP2530690B2 (ja) | 小型酸素電極 | |
| Shiono et al. | Advances in enzymatically coupled field effect transistors | |
| JPH0843345A (ja) | 小型酸素電極 | |
| JPH0219758A (ja) | くし形修飾微小電極セルおよびその製造方法 | |
| JPS62172255A (ja) | 半導体酵素センサ | |
| JP2767614B2 (ja) | 小型酸素電極の製造方法 | |
| JPS63186139A (ja) | 酵素固定化膜の選択的失活方法 | |
| JPS61245051A (ja) | 半導体マルチバイオセンサの製造方法 | |
| JPS60244852A (ja) | 固定化酵素膜の固着強化法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960806 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080221 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090221 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100221 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110221 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110221 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120221 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130221 Year of fee payment: 17 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |