JPH08166610A - Multiplex optical frequency com generator - Google Patents

Multiplex optical frequency com generator

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JPH08166610A
JPH08166610A JP6308823A JP30882394A JPH08166610A JP H08166610 A JPH08166610 A JP H08166610A JP 6308823 A JP6308823 A JP 6308823A JP 30882394 A JP30882394 A JP 30882394A JP H08166610 A JPH08166610 A JP H08166610A
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laser light
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frequency
incident
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元一 大津
Motonobu Korogi
元伸 興梠
Takanori Saito
崇記 斉藤
Deyuran Eritsuku
デュラン エリック
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Abstract

PURPOSE: To provide a multiplex optical frequency com generator widened in the generation width of side band waves. CONSTITUTION: The phases of laser beams varying in wavelength from each other made incident via an optical coupler 102 from plural laser beam sources 101A to 101D of an optical phase modulator 112 formed with an incident end reflection film 117 and an exit end reflection film 118 at a light incident end and a light exit end are modulated according to the modulation signals of a frequency (fm) from an oscillator 111, by which the side bands of the laser beams are generated at every frequency (fm) interval of the modulation signals on the low frequency side and the high frequency side around the frequency of the laser beams.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、周波数間隔一定の側帯
波をもつレーザ光を発生する光周波数コム発生器に関
し、特に、光位相変調器を用いた多重光周波数コム発生
器に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical frequency comb generator for generating a laser beam having a sideband with a constant frequency interval, and more particularly to a multiple optical frequency comb generator using an optical phase modulator. .

【0002】[0002]

【従来の技術】2つのレーザ光をヘテロダイン検波させ
てその差周波数を測定あるいは制御する場合、その帯域
は受光素子の帯域で制限され、おおむね数十GHz程度
であるので、光周波数コム発生器を用いて広帯域なヘテ
ロダイン検波系を構築するようにしている。光周波数コ
ム発生器は、入射したレーザ光の側帯波を等周波数間隔
毎に数百本発生させるもので、発生される側帯波の周波
数安定度はもとのレーザ光のそれとほぼ同等である。そ
こで、この側帯波と他のレーザ光をヘテレドダイン検波
させれば、数THzに亘る広帯域なヘテロダイン検波系
を構築することができる。
2. Description of the Related Art When heterodyne detection of two laser beams is performed to measure or control the difference frequency, the band is limited by the band of the light receiving element and is about several tens GHz, so an optical frequency comb generator is used. A wideband heterodyne detection system is constructed by using this. The optical frequency comb generator generates several hundred sidebands of the incident laser light at equal frequency intervals, and the frequency stability of the generated sidebands is almost the same as that of the original laser light. Therefore, if this sideband wave and another laser beam are subjected to heterodyne detection, a broadband heterodyne detection system over several THz can be constructed.

【0003】従来の光周波数コム発生器は、例えば図7
に示すように、2枚の反射鏡31,32を対向させて設
置してなる光共振器33と、マイクロ波の変調信号が注
入されるマイクロ波導波管34中にニオブ酸リチウム
(LiNbO3 )などの電気光学結晶基板35を設置し
てなるバルク型の光位相変調器36とを備え、上記光共
振器33内を往復するレーザ光の光路上に上記光位相変
調器36を設置した構造となっていた。
A conventional optical frequency comb generator is shown in FIG.
As shown in FIG. 2, lithium niobate (LiNbO 3 ) is provided in an optical resonator 33 in which two reflecting mirrors 31 and 32 are installed to face each other and a microwave waveguide 34 into which a modulation signal of microwaves is injected. And a bulk type optical phase modulator 36 having an electro-optic crystal substrate 35 installed therein, and the optical phase modulator 36 is installed on the optical path of laser light that reciprocates in the optical resonator 33. Was becoming.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の如き構
造の従来の光周波数コム発生器では、次のような問題点
があった。第1に、光共振器33内を往復するレーザ光
の光路上に光位相変調器36が設置されているために、
1往復当たり2回の入射損失と2回の出射損失があるの
で上記光共振器33のフィネスが低下し、側帯波の発生
効率が極めて低い。第2に、光共振器33を構成する2
枚の反射鏡31,32を正確に平行に保持するための保
持具が必要であり、光周波数コム発生器全体が大型化す
る。
However, the conventional optical frequency comb generator having the above structure has the following problems. First, since the optical phase modulator 36 is installed on the optical path of the laser light that reciprocates in the optical resonator 33,
Since there are two incident losses and two outgoing losses per round trip, the finesse of the optical resonator 33 is reduced and the sideband wave generation efficiency is extremely low. Secondly, the two that make up the optical resonator 33
A holder is required to hold the reflecting mirrors 31 and 32 in parallel with each other accurately, which increases the size of the entire optical frequency comb generator.

【0005】そこで、本件出願人は、特願平5−203
441号として、例えば図1に示すような構成とするこ
とにより、高効率、低コスト、無調整で良好な精度が得
られるようにした光周波数コム発生器を先に提案してい
る。
Therefore, the applicant of the present invention filed Japanese Patent Application No. 5-203.
As No. 441, an optical frequency comb generator has been previously proposed, which has high efficiency, low cost, and good accuracy without adjustment, for example, by having a configuration as shown in FIG.

【0006】図1は、特願平5−203441号に係る
光周波数コム発生器10を用いて構築したヘテロダイン
検波系を示すブロックである。このヘテロダイン検波系
は、ヘテロダイン検波用のレーザ光を出射する第1のレ
ーザ光源1と、被測定用のレーザ光を出射する第2のレ
ーザ光源1と、上記第1のレーザ光源1からのヘテロダ
イン検波用のレーザ光が入射される光周波数コム発生器
10と、上記光周波数コム発生器10で発生された光周
波数コムと上記第2のレーザ光源2からの被測定用のレ
ーザ光とを混合する光学系3と、この光学系3により混
合されたレーザ光を受光する光検出器4とからなり、ヘ
テロダイン検波出力として上記光周波数コムと被測定用
のレーザ光の差周波数成分を上記光検出器4から出力す
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a heterodyne detection system constructed using an optical frequency comb generator 10 according to Japanese Patent Application No. 5-203441. This heterodyne detection system includes a first laser light source 1 that emits a laser beam for heterodyne detection, a second laser light source 1 that emits a laser beam for measurement, and a heterodyne from the first laser light source 1. The optical frequency comb generator 10 on which the laser light for detection is incident, the optical frequency comb generated by the optical frequency comb generator 10 and the laser light for measurement from the second laser light source 2 are mixed. Optical system 3 and a photodetector 4 that receives the laser light mixed by the optical system 3, and detects the difference frequency component between the optical frequency comb and the laser light to be measured as the heterodyne detection output. Output from the container 4.

【0007】上記光周波数コム発生器10は、発振器1
1からの周波数fmの変調信号に応じて、入射されたレ
ーザ光の位相を変調する導波路型光位相変調器12を備
える。
The optical frequency comb generator 10 includes an oscillator 1
A waveguide type optical phase modulator 12 that modulates the phase of the incident laser light according to the modulation signal of frequency fm from 1 is provided.

【0008】上記導波路型光位相変調器12は、図2に
示すように、ニオブ酸リチウム(LiNbO3 )などの
電気光学結晶基板13からなる。この電気光学結晶基板
13には、光軸に沿って導波路14が形成されていると
ともに、上記光軸に沿って上記導波路14上と該導波路
14の両側に電極15,16が形成されている。また、
上記電気光学結晶基板13には、上記光軸に対して垂直
な光入射端と光出射端にクロム,金,アルミニウムある
いは誘電体多層膜などを蒸着することにより、入射端反
射膜17と出射端反射膜18が形成されている。
The waveguide type optical phase modulator 12 comprises an electro-optic crystal substrate 13 such as lithium niobate (LiNbO 3 ) as shown in FIG. On the electro-optic crystal substrate 13, a waveguide 14 is formed along the optical axis, and electrodes 15 and 16 are formed on the waveguide 14 and on both sides of the waveguide 14 along the optical axis. ing. Also,
On the electro-optic crystal substrate 13, chromium, gold, aluminum or a dielectric multilayer film is vapor-deposited on a light incident end and a light emitting end which are perpendicular to the optical axis. The reflective film 18 is formed.

【0009】このような構造の導波路型光位相変調器1
2において、上記入射端反射膜17と出射端反射膜18
は、該入射端反射膜17を介して入射端から導波路14
に入射されたレーザ光を該導波路14内部で共振させる
ファブリペロエタロンを構成している。
A waveguide type optical phase modulator 1 having such a structure
2, the incident end reflection film 17 and the emission end reflection film 18
Is the waveguide 14 from the incident end through the incident end reflection film 17.
A Fabry-Perot etalon that resonates the laser light incident on the inside of the waveguide 14 is configured.

【0010】そして、この導波路型光位相変調器12で
は、上記発振器11からの周波数fmの変調信号が上記
電極15,16に印加され、上記変調信号の応じた電界
が上記導波路14に印加されることにより、上記入射端
から上記導波路14に入射されたレーザ光の位相を上記
変調信号に応じて変調する。しかも、上記導波路型光位
相変調器12では、変調信号による電界を導波路14に
集中させて、極めて小さな変調所要電力で効率良くレー
ザ光の位相を変調することができる。
In the waveguide type optical phase modulator 12, the modulation signal of the frequency fm from the oscillator 11 is applied to the electrodes 15 and 16, and the electric field corresponding to the modulation signal is applied to the waveguide 14. By doing so, the phase of the laser light incident on the waveguide 14 from the incident end is modulated according to the modulation signal. Moreover, in the above-mentioned waveguide type optical phase modulator 12, the electric field due to the modulation signal can be concentrated in the waveguide 14 to efficiently modulate the phase of the laser light with an extremely small required power for modulation.

【0011】このような構成の光周波数コム発生器で
は、図3に示すような周波数fsのレーザ光を上記導波
路型光位相変調器12に入射することにより、図4に示
すように、上記レーザ光の周波数fsを中心に低周波側
と高周波側に上記変調信号の周波数fm間隔毎に側帯波
fs±nfmが発生する。
In the optical frequency comb generator having such a configuration, the laser light having the frequency fs as shown in FIG. 3 is made incident on the waveguide type optical phase modulator 12, so that as shown in FIG. Sideband waves fs ± nfm are generated at intervals of the frequency fm of the modulation signal on the low frequency side and the high frequency side centering on the frequency fs of the laser light.

【0012】そこで、本発明の目的は、このような構成
の光周波数コム発生器において、さらに側帯波の発生幅
を広げることにある。
Therefore, an object of the present invention is to further widen the width of generation of sidebands in the optical frequency comb generator having such a configuration.

【0013】また、本発明の他の目的は、複数の光周波
数コムを結合させることにより、1つの周波数基準を持
つだけで、全ての側帯波に周波数安定度を持たせること
ができる多重光周波数コム発生器を提供することにあ
る。
Another object of the present invention is to combine a plurality of optical frequency combs so that all sidebands can have frequency stability with only one frequency reference. To provide a comb generator.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、本発明に係る多重光周波数コム発生器は、互いに
波長の異なるレーザ光を出射する複数のレーザ光源と、
周波数fmの変調信号を発生する発振器と、上記複数の
レーザ光源から入射された互いに波長の異なるレーザ光
の位相を上記発振器からの変調信号に応じて変調する光
位相変調器と、上記光位相変調器の光入射端と光出射端
に形成され、入射されたレーザ光を上記光位相変調素子
内部で共振させる入射端反射膜と出射端反射膜と、上記
複数のレーザ光源から出射された波長の異なるレーザ光
を合波して上記入射端反射膜を介して上記光位相変調器
に入射させる光カップラとからなり、上記光位相変調器
において入射された各レーザ光の周波数を中心に低周波
側と高周波側に上記変調信号の周波数fm間隔毎に光の
側帯波を発生することを特徴とする。
In order to solve the above-mentioned problems, a multiple optical frequency comb generator according to the present invention comprises a plurality of laser light sources for emitting laser lights having different wavelengths,
An oscillator for generating a modulation signal of a frequency fm, an optical phase modulator for modulating the phases of laser lights having different wavelengths, which are incident from the plurality of laser light sources, according to a modulation signal from the oscillator, and the optical phase modulation Of the wavelengths emitted from the plurality of laser light sources, which are formed at the light incident end and the light emitting end of the container and resonate the incident laser light inside the optical phase modulator. An optical coupler that combines different laser lights and makes them incident on the optical phase modulator through the incident end reflection film, and has a low frequency side centered on the frequency of each laser light incident on the optical phase modulator. And a sideband wave of light is generated on the high frequency side at intervals of the frequency fm of the modulated signal.

【0015】また、本発明に係る多重光周波数コム発生
器は、上記光位相変調器が導波路型光位相変調器からな
ることを特徴とする。
The multiple optical frequency comb generator according to the present invention is characterized in that the optical phase modulator comprises a waveguide type optical phase modulator.

【0016】また、本発明に係る多重光周波数コム発生
器は、上記光カップラが光ファイバカップラからなるこ
とを特徴とする。
Further, the multiple optical frequency comb generator according to the present invention is characterized in that the optical coupler comprises an optical fiber coupler.

【0017】さらに、本発明に係る多重光周波数コム発
生器は、上記光位相変調器から上記出射端反射膜を介し
て出射される光周波数コムについて、2つのレーザ光源
から出射されたレーザ光に対する側帯波のヘデロダイン
成分を検出するヘデロダイン信号検出器を設け、上記ヘ
デロダイン信号検出器により検出されたヘデロダイン信
号を上記2つのレーザ光源の一方に負帰還することを特
徴とする。
Further, in the multiple optical frequency comb generator according to the present invention, with respect to the optical frequency comb emitted from the optical phase modulator through the emission end reflection film, the laser light emitted from two laser light sources is used. A hederodyne signal detector for detecting a hederodyne component of the sideband is provided, and the hederodyne signal detected by the hederodyne signal detector is negatively fed back to one of the two laser light sources.

【0018】[0018]

【作用】本発明に係る多重光周波数コム発生器では、入
射端反射膜と出射端反射膜が光入射端と光出射端に形成
された光位相変調器自身が光共振器として機能する。上
記光位相変調器は、複数のレーザ光源から光カップラを
介して入射された互いに波長の異なるレーザ光を位相変
調してすることにより、各レーザ光の周波数を中心に低
周波側と高周波側に上記変調信号の周波数fm間隔毎に
光の側帯波を発生する。また、導波路型光位相変調器
は、変調信号による電界を導波路に集中させることがで
きる。
In the multiple optical frequency comb generator according to the present invention, the optical phase modulator itself having the incident end reflection film and the emission end reflection film formed at the light incident end and the light emission end functions as an optical resonator. The optical phase modulator phase-modulates laser light having different wavelengths, which are incident from a plurality of laser light sources through an optical coupler, so that the frequency of each laser light is centered on a low frequency side and a high frequency side. Sidebands of light are generated at intervals of frequency fm of the modulated signal. Further, the waveguide type optical phase modulator can concentrate the electric field due to the modulation signal in the waveguide.

【0019】上記光位相変調器から上記出射端反射膜を
介して出射される光周波数コムについて、2つのレーザ
光源から出射されたレーザ光に対する側帯波のヘデロダ
イン成分を検出して、上記2つのレーザ光源の一方に負
帰還することにより、各をレーザ光の側帯波を結合させ
る。
With respect to the optical frequency comb emitted from the optical phase modulator via the emission end reflection film, the hederodyne component of the sideband for the laser light emitted from the two laser light sources is detected, and the two lasers are detected. By negatively feeding back one of the light sources, the sidebands of the laser light are coupled to each other.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明に係る多重光周波数コム発生器
の実施例について、図面を参照しながら詳細に説明す
る。
Embodiments of the multiplex optical frequency comb generator according to the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0021】本発明に係る多重光周波数コム発生器は、
例えば図5に示すように構成される。
The multiple optical frequency comb generator according to the present invention comprises:
For example, it is configured as shown in FIG.

【0022】この図5に示した多重光周波数コム発生器
100は、上述の図1に示したヘテロダイン検波系を構
築する導波路型光周波数コム発生器(WG-OFCG:Wavegauid
e Type Optical Frequency Comb Generator)に本発明を
適用したものであって、発振器111からの周波数fm
の変調信号に応じて、入射されたレーザ光の位相を変調
する導波路型光位相変調器112を備え、4個のレーザ
光源101A,101B,101C,101Dから光カ
ップラ102を介して互いに異なる波長λA ,λB ,λ
C ,λD のレーザ光が上記導波路型光位相変調器112
に入射されるようになっている。
The multiple optical frequency comb generator 100 shown in FIG. 5 is a waveguide type optical frequency comb generator (WG-OFCG: Wavegauid) for constructing the heterodyne detection system shown in FIG.
e Type Optical Frequency Comb Generator), in which the frequency fm from the oscillator 111 is
The waveguide type optical phase modulator 112 that modulates the phase of the incident laser light according to the modulated signal of 4 is provided, and the four laser light sources 101A, 101B, 101C and 101D have different wavelengths through the optical coupler 102. λ A , λ B , λ
The laser light of C and λ D is generated by the waveguide type optical phase modulator 112.
It is designed to be incident on.

【0023】この実施例の多重光周波数コム発生器10
0において、上記4個のレーザ光源101A,101
B,101C,101Dは、それぞれ発振周波数の異な
るレーザダイオードからなり、互いに異なる波長λA
1.50μm ,λB=1.52μm ,λC=1.54μm
,λD=1.56μm のレーザ光を出射するようになっ
ている。
Multiple optical frequency comb generator 10 of this embodiment
0, the four laser light sources 101A, 101
B, 101C and 101D are laser diodes each having a different oscillation frequency, and have different wavelengths λ A =
1.50 μm, λ B = 1.52 μm, λ C = 1.54 μm
, Λ D = 1.56 μm laser light is emitted.

【0024】また、上記光カップラ102は、例えば光
ファイバカップラからなり、上記4個のレーザ光源10
1A,101B,101C,101Dから出射された互
いに異なる波長λA ,λB ,λC ,λD のレーザ光を合
波して、上記導波路型光位相変調器112に入射するよ
うになっている。
The optical coupler 102 is composed of, for example, an optical fiber coupler, and the four laser light sources 10 are provided.
The laser lights of different wavelengths λ A , λ B , λ C , and λ D emitted from 1A, 101B, 101C, and 101D are combined and incident on the waveguide type optical phase modulator 112. There is.

【0025】さらに、上記発振器111は、例えば周波
数fm=13.012GHzで、パワーが2Wの変調信
号を上記増幅器113を介して上記導波路型光位相変調
器112に供給するようになっている。
Further, the oscillator 111 supplies a modulation signal having a frequency of fm = 13.012 GHz and a power of 2 W to the waveguide type optical phase modulator 112 via the amplifier 113.

【0026】さらに、上記導波路型光位相変調器112
は、ニオブ酸リチウム(LiNbO3 )などの電気光学
結晶基板からなる。この電気光学結晶基板には、光軸に
沿って導波路が形成されているとともに、上記光軸に沿
って上記導波路上と該導波路の両側に電極が形成されて
いる。また、上記電気光学結晶基板には、上記光軸に対
して垂直な光入射端と光出射端にクロム,金,アルミニ
ウムあるいは誘電体多層膜などを蒸着することにより、
入射端反射膜117と出射端反射膜118が形成されて
いる。
Further, the above-mentioned waveguide type optical phase modulator 112 is used.
Is an electro-optic crystal substrate such as lithium niobate (LiNbO 3 ). A waveguide is formed on the electro-optic crystal substrate along the optical axis, and electrodes are formed on the waveguide and on both sides of the waveguide along the optical axis. Further, on the electro-optic crystal substrate, chromium, gold, aluminum or a dielectric multilayer film is vapor-deposited on a light incident end and a light emitting end perpendicular to the optical axis,
An incident end reflection film 117 and an emission end reflection film 118 are formed.

【0027】このような構造の導波路型光位相変調器1
12において、上記入射端反射膜117と出射端反射膜
118は、該入射端反射膜117を介して入射端から導
波路に入射された各レーザ光を該導波路内部で共振させ
るファブリペロエタロンを構成している。
A waveguide type optical phase modulator 1 having such a structure
In FIG. 12, the incident end reflection film 117 and the emission end reflection film 118 are Fabry-Perot etalons that resonate each laser light incident on the waveguide from the incident end through the incidence end reflection film 117 inside the waveguide. I am configuring.

【0028】そして、この導波路型光位相変調器112
では、上記発振器111からの周波数fmの変調信号が
上記電極に印加され、上記変調信号の応じた電界が上記
導波路に印加されることにより、上記入射端から上記導
波路に入射された各レーザ光の位相を上記変調信号に応
じて変調する。しかも、上記導波路型光位相変調器11
2では、変調信号による電界を導波路に集中させて、極
めて小さな変調所要電力で効率良く各レーザ光の位相を
変調することができる。
This waveguide type optical phase modulator 112
Then, the modulation signal of the frequency fm from the oscillator 111 is applied to the electrode, and the electric field corresponding to the modulation signal is applied to the waveguide, so that each laser incident on the waveguide from the incident end. The phase of light is modulated according to the modulation signal. Moreover, the waveguide type optical phase modulator 11
In No. 2, the electric field generated by the modulation signal can be concentrated in the waveguide, and the phase of each laser beam can be efficiently modulated with extremely small required modulation power.

【0029】このような構成の多重光周波数コム発生器
では、波長がλのレーザ光を上記導波路型光位相変調器
112に入射することにより、上記レーザ光の周波数C
/λ(Cは光速)を中心に低周波側と高周波側に上記変
調信号の周波数fm間隔毎に側帯波C/λ±nfmが発
生する。
In the multiplex optical frequency comb generator having such a structure, the frequency C of the laser light is generated by making the laser light having the wavelength λ enter the waveguide type optical phase modulator 112.
A sideband C / λ ± nfm is generated at intervals of frequency fm of the modulated signal on the low frequency side and the high frequency side centering on / λ (C is the speed of light).

【0030】そして、このような構成の多重光周波数コ
ム発生器100では、そのFSRを1.86GHz、フ
ィネスを10とした場合に、上記4個のレーザ光源10
1A,101B,101C,101Dから互いに異なる
波長λA,λB,λC,λDのレーザ光を上記導波路型光位
相変調器112に入射して、該導波路型光位相変調器1
12からの出射光を光スペクトルアナライザ120で観
測したところ、上記変調信号を入力しない無変調状態す
なわち側帯波非発生状態では、図6のAに示すように、
上記波長λA ,λB ,λC ,λD に対応する4つの周波
数C/λA ,C/λB ,C/λC ,C/λD のレーザ光
であったのに対し、上記変調信号を入力した変調状態す
なわち側帯波発生状態では、図6のBに示すように、上
記波長λA ,λB ,λC ,λD に対応する4つの周波数
C/λA ,C/λB ,C/λC ,C/λD を中心周波数
とする側帯波を発生させ、約80nmの範囲に亘って側
帯波を発生させた光周波数コムを得ることができた。
In the multiplex optical frequency comb generator 100 having such a configuration, when the FSR is 1.86 GHz and the finesse is 10, the four laser light sources 10 described above are used.
Laser light having different wavelengths λ A , λ B , λ C , and λ D from 1A, 101B, 101C, and 101D enters the waveguide type optical phase modulator 112, and the waveguide type optical phase modulator 1
When the emitted light from 12 is observed by the optical spectrum analyzer 120, as shown in A of FIG. 6, in the non-modulation state in which the modulation signal is not input, that is, the sideband is not generated,
While the laser light has four frequencies C / λ A , C / λ B , C / λ C and C / λ D corresponding to the wavelengths λ A , λ B , λ C and λ D , the above modulation In a modulation state in which a signal is input, that is, a sideband generation state, as shown in FIG. 6B, four frequencies C / λ A , C / λ B corresponding to the wavelengths λ A , λ B , λ C , and λ D are set. , C / λ C , C / λ D were generated as sidebands, and an optical frequency comb in which sidebands were generated over a range of about 80 nm could be obtained.

【0031】ここで、上記図6のA及びBに示した各曲
線は、光ファイバの伝送ロスを示しており、伝送ロスが
最小となる範囲の大部分に側帯波が発生している。
Here, each curve shown in A and B of FIG. 6 shows the transmission loss of the optical fiber, and the sideband is generated in most of the range where the transmission loss is the minimum.

【0032】なお、Ti−LiNbO3 導波路面に偏波
保存ファイバを接続したファイバ結合型WG−OFCG
を作成し、周波数13.014GHz、位相変調指数3
πで駆動中の上記WG−OFCGに2台のレーザ光源か
ら発振波長1.538μm と1.562μm のレーザ光
を光ファイバカップラを介して入射させ、発生した側帯
波の包絡線を光スペクトルアナライザで観測したとこ
ろ、図7に示すように、40nm(=5THz)の広範
囲に亘る光周波数コムを得ることができた。
A fiber-coupled WG-OFCG in which a polarization-maintaining fiber is connected to the Ti-LiNbO 3 waveguide surface.
Frequency of 13.014 GHz, phase modulation index 3
The WG-OFCG, which is driven at π, is made to enter the laser light having the oscillation wavelengths of 1.538 μm and 1.562 μm from the two laser light sources through the optical fiber coupler, and the generated sideband envelope is measured by the optical spectrum analyzer. As a result of observation, an optical frequency comb over a wide range of 40 nm (= 5 THz) could be obtained as shown in FIG.

【0033】また、本発明に係る多重光周波数コム発生
器200は、例えば図8に示すように構成される。
The multiplex optical frequency comb generator 200 according to the present invention is constructed, for example, as shown in FIG.

【0034】この図8に示した多重光周波数コム発生器
200は、上述の図1に示したヘテロダイン検波系を構
築する導波路型光周波数コム発生器(WG-OFCG:Wavegauid
e Type Optical Frequency Comb Generator)に本発明を
適用したものであって、発振器211からの周波数fm
の変調信号に応じて、入射されたレーザ光の位相を変調
する導波路型光位相変調器212を備え、2個のレーザ
光源201A,201Bから光カップラ202を介して
互いに異なる波長λA ,λB のレーザ光が光カップラ2
02を介して上記導波路型光位相変調器212に入射さ
れるとともに、上記導波路型光位相変調器212の出射
光が光検出器221により検出されて、その検出出力が
上記レーザ光源201Bに負帰還されるようになってい
る。上記導波路型光位相変調器212には、入射端から
導波路に入射された各レーザ光を該導波路内部で共振さ
せるファブリペロエタロンを構成する入射端反射膜21
7と出射端反射膜218が設けられている。
The multiple optical frequency comb generator 200 shown in FIG. 8 is a waveguide type optical frequency comb generator (WG-OFCG: Wavegauid) for constructing the heterodyne detection system shown in FIG.
e Type Optical Frequency Comb Generator), in which the frequency fm from the oscillator 211 is applied.
Depending on the modulation signal, comprising a waveguide type optical phase modulator 212 to modulate the phase of the incident laser beam, the two laser light sources 201A, mutually different wavelengths through an optical coupler 202 from 201B lambda A, lambda B laser light is optical coupler 2
The light emitted from the waveguide type optical phase modulator 212 is detected by the photodetector 221 while being incident on the waveguide type optical phase modulator 212 via 02, and the detection output is to the laser light source 201B. Negative feedback is provided. The waveguide type optical phase modulator 212 includes an incident end reflection film 21 which constitutes a Fabry-Perot etalon for resonating each laser light incident on the waveguide from the incident end inside the waveguide.
7 and the exit end reflection film 218 are provided.

【0035】この実施例の多重光周波数コム発生器20
0において、上記光検出器221は、上記2個のレーザ
光源201A,201Bから出射された互いに異なる波
長λA ,λB のレーザ光を上記発振器211からの周波
数fmの変調信号に応じて上記導波路型光位相変調器2
12で位相変調した出射光について、上記波長λA ,λ
B に対応する2つの周波数C/λA ,C/λB を中心周
波数とする側帯波を発生させた2つの光周波数コム間の
ヘテロダイン信号を検出して、そのヘテロダイン信号を
上記レーザ光源201Bに負帰還するようになってい
る。
The multiple optical frequency comb generator 20 of this embodiment
At 0, the photodetector 221 guides the laser light emitted from the two laser light sources 201A and 201B and having different wavelengths λ A and λ B according to the modulation signal of the frequency fm from the oscillator 211. Waveguide type optical phase modulator 2
With respect to the outgoing light that has been phase-modulated by 12, the above wavelengths λ A and λ
A heterodyne signal between two optical frequency combs that generate sidebands having center frequencies of two frequencies C / λ A and C / λ B corresponding to B is detected, and the heterodyne signal is transmitted to the laser light source 201B. Negative feedback is provided.

【0036】ここで、上記導波路型光位相変調器212
の出射光として得られる周波数C/λA ,C/λB を中
心周波数とする側帯波を発生させた2つの光周波数コム
のスロープ部を図9に示すようにオーバーラップさせた
場合のヘテロダイン信号は、多数の側帯波ペアのヘテロ
ダイン信号の重ね合わせとなる。そして、側帯波ペアの
双方のパワーが白色ノイズレベル以上の範囲すなわち図
9に示す各領域A,B,Cの信号のみが有効となるが、
領域Bでは、ヘテロダイン信号の位相が隣同士でπずれ
ているため、全て打ち消し合う。従って、領域Aと領域
Cのヘテロダイン信号のみが検出されることになる。
Here, the above-mentioned waveguide type optical phase modulator 212
A heterodyne signal when the slopes of two optical frequency combs that generate sidebands with the center frequencies of C / λ A and C / λ B obtained as the output light of the two are overlapped as shown in FIG. Is the superposition of the heterodyne signals of many sideband pairs. Then, only the signals in the regions A, B, and C shown in FIG. 9 in which the powers of both sideband pairs are equal to or higher than the white noise level are valid,
In the region B, the phases of the heterodyne signals are deviated from each other by π, so that they all cancel each other. Therefore, only the heterodyne signals of the areas A and C are detected.

【0037】上記2個のレーザ光源201A,201B
から上記導波路型光位相変調器212に入射される各レ
ーザ光の周波数差C/λA −C/λB を0.44THz
(=3.6nm)としたときの、上記導波路型光位相変
調器212の出射光を光スペクトルアナライザ231で
観測したところ、上記変調信号を入力しない無変調状態
すなわち側帯波非発生状態では、図10のAに示すよう
に、上記波長λA ,λB に対応する2つの周波数C/λ
A ,C/λB のレーザ光であったのに対し、上記変調信
号を入力した変調状態すなわち側帯波発生状態では、図
10のBに示すように、上記波長λA,λBに対応する2
つの周波数C/λA ,C/λB を中心周波数とする側帯
波を発生させることができた。
The above-mentioned two laser light sources 201A and 201B
From the frequency difference C / λ A −C / λ B of each laser light incident on the waveguide type optical phase modulator 212 to 0.44 THz.
When the output light of the waveguide type optical phase modulator 212 when (= 3.6 nm) is observed by the optical spectrum analyzer 231, it is found that in the unmodulated state in which the modulated signal is not input, that is, the sideband wave is not generated. As shown in A of FIG. 10, two frequencies C / λ corresponding to the wavelengths λ A and λ B are set.
In contrast to the A and C / λ B laser beams, in the modulation state in which the modulation signal is input, that is, in the sideband generation state, as shown in FIG. 10B, the wavelengths correspond to the wavelengths λ A and λ B. Two
It was possible to generate sidebands having two frequencies C / λ A and C / λ B as center frequencies.

【0038】そして、それぞれの発振線幅が1MHzの
各レーザ光源1A,1Bからの各レーザ光に対する1つ
の側帯波ペアのヘテロダイン信号の線幅は2MHzであ
り、上記光検出器221では、上記導波路型光位相変調
器212の出射光から線幅が2MHzのヘテロダイン信
号が検出される。なお、上記導波路型光位相変調器21
2の出射光について、側帯波ペアの差周波数を40MH
zとしてヘテロダイン信号をRFスペクトルアナライザ
232で観測したところ、図11に示すように、重ね合
わせによる劣化を伴うことなく、線幅が2MHzのヘテ
ロダイン信号が観測された。
The line width of the heterodyne signal of one sideband wave pair for each laser beam from each laser light source 1A, 1B having an oscillation line width of 1 MHz is 2 MHz. A heterodyne signal having a line width of 2 MHz is detected from the light emitted from the waveguide type optical phase modulator 212. The above-mentioned waveguide type optical phase modulator 21
For the output light of 2, the difference frequency of the sideband pair is 40 MHz.
When the heterodyne signal as z was observed by the RF spectrum analyzer 232, as shown in FIG. 11, a heterodyne signal having a line width of 2 MHz was observed without deterioration due to superposition.

【0039】この実施例の多重光周波数コム発生器で
は、上記光検出器221で検出されたヘテロダイン信号
を上記レーザ光源201Bに負帰還させることにより、
2つの周波数コムは結合される。従って、上記レーザ光
源201Aの発振周波数を安定化することにより、1つ
の周波数基準を持つだけで、全ての側帯波に周波数安定
度を持たせることができる。
In the multiple optical frequency comb generator of this embodiment, the heterodyne signal detected by the photodetector 221 is negatively fed back to the laser light source 201B.
The two frequency combs are combined. Therefore, by stabilizing the oscillation frequency of the laser light source 201A, it is possible to impart frequency stability to all sidebands by only having one frequency reference.

【0040】[0040]

【発明の効果】本発明に係る多重光周波数コム発生器
は、入射端反射膜と出射端反射膜が光入射端と光出射端
に形成された光位相変調器自身が光共振器として機能す
る。上記光位相変調器は、複数のレーザ光源から光カッ
プラを介して入射された互いに波長の異なるレーザ光を
位相変調してすることにより、各レーザ光の周波数を中
心に低周波側と高周波側に上記変調信号の周波数fm間
隔毎に光の側帯波を発生するので、広範囲に亘る光周波
数コムを得ることができる。また、導波路型光位相変調
器は、変調信号による電界を導波路に集中させて、極め
て小さな変調所要電力で効率良く各レーザ光の位相を変
調することができる。
In the multiple optical frequency comb generator according to the present invention, the optical phase modulator itself in which the incident end reflection film and the emission end reflection film are formed at the light incident end and the light emission end functions as an optical resonator. . The optical phase modulator phase-modulates laser light having different wavelengths, which are incident from a plurality of laser light sources through an optical coupler, so that the frequency of each laser light is centered on a low frequency side and a high frequency side. Since the sidebands of light are generated at intervals of the frequency fm of the modulated signal, it is possible to obtain an optical frequency comb over a wide range. In addition, the waveguide type optical phase modulator can concentrate the electric field by the modulation signal in the waveguide and efficiently modulate the phase of each laser light with a very small required modulation power.

【0041】さらに、本発明に係る多重光周波数コム発
生器は、上記光位相変調器から上記出射端反射膜を介し
て出射される光周波数コムについて、2つのレーザ光源
から出射されたレーザ光に対する側帯波のヘデロダイン
成分を検出して、上記2つのレーザ光源の一方に負帰還
することにより、2つの周波数コムを結合させることが
できる。従って、一方のレーザ光源の発振周波数を安定
化することにより、1つの周波数基準を持つだけで、全
ての側帯波に周波数安定度を持たせることができる。
Further, the multiple optical frequency comb generator according to the present invention, with respect to the optical frequency comb emitted from the optical phase modulator through the emission end reflection film, with respect to the laser light emitted from two laser light sources. The two frequency combs can be coupled by detecting the hederodyne component of the sideband and performing negative feedback to one of the two laser light sources. Therefore, by stabilizing the oscillation frequency of one of the laser light sources, it is possible to impart frequency stability to all sidebands by only having one frequency reference.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る多重光周波数コム発生器が適用さ
れるヘテロダイン検波系を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a heterodyne detection system to which a multiple optical frequency comb generator according to the present invention is applied.

【図2】先に提案した光周波数コム発生器の構成を模式
的に示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view schematically showing the configuration of the previously proposed optical frequency comb generator.

【図3】上記光周波数コム発生器に入射されるレーザ光
のスペクトル図である。
FIG. 3 is a spectrum diagram of laser light incident on the optical frequency comb generator.

【図4】上記光周波数コム発生器により発生した光周波
数コムのスペクトル図である。
FIG. 4 is a spectrum diagram of an optical frequency comb generated by the optical frequency comb generator.

【図5】本発明に係る多重光周波数コム発生器の構成を
模式的に示すブロック図である。
FIG. 5 is a block diagram schematically showing a configuration of a multiplex optical frequency comb generator according to the present invention.

【図6】図5に示した多重光周波数コム発生器が出射し
たレーザ光について、側帯波非発生状態と側帯波発生状
態を光スペクトルアナライザで観測した結果を示す特性
線図である。
6 is a characteristic diagram showing a result of observing a sideband non-generation state and a sideband generation state with respect to the laser light emitted from the multiplex optical frequency comb generator shown in FIG. 5, using an optical spectrum analyzer.

【図7】本発明に係る他の多重光周波数コム発生器が出
射したレーザ光を光スペクトルアナライザで観測した側
帯波の包絡線を示す特性線図である。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing an envelope of a sideband wave obtained by observing laser light emitted from another multiplex optical frequency comb generator according to the present invention with an optical spectrum analyzer.

【図8】本発明に係る多重光周波数コム発生器の他の構
成を模式的に示すブロック図である。
FIG. 8 is a block diagram schematically showing another configuration of the multiplex optical frequency comb generator according to the present invention.

【図9】図8に示した多重光周波数コム発生器が出射し
たレーザ光の光周波数コムのヘテロダイン信号の検出を
説明するための側帯波の発生状態を模式的に示す図であ
る。
9 is a diagram schematically showing a sideband wave generation state for explaining detection of a heterodyne signal of an optical frequency comb of laser light emitted from the multiplex optical frequency comb generator shown in FIG.

【図10】図8に示した多重光周波数コム発生器が出射
したレーザ光について、側帯波非発生状態と側帯波発生
状態を光スペクトルアナライザで観測した結果を示す特
性線図である。
10 is a characteristic diagram showing a result of observing a sideband non-generation state and a sideband generation state of the laser light emitted from the multiplex optical frequency comb generator shown in FIG. 8 with an optical spectrum analyzer.

【図11】図8に示した多重光周波数コム発生器が出射
したレーザ光のヘテロダイン信号をRFスペクトルアナ
ライザで観測した結果を示す特性線図である。
11 is a characteristic diagram showing a result of observing a heterodyne signal of laser light emitted from the multiplex optical frequency comb generator shown in FIG. 8 with an RF spectrum analyzer.

【図12】従来の光周波数コム発生器の構成を模式的に
示す斜視図である。
FIG. 12 is a perspective view schematically showing a configuration of a conventional optical frequency comb generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100,200 多重光周波数コム発生器 101A〜101D,201A,201B レーザ光源 102,202 光ファイバカップラ 111,211 発振器 117,217 入射反射膜 118,228 出射反射膜 221 光検出器 100,200 Multiple optical frequency comb generator 101A-101D, 201A, 201B Laser light source 102,202 Optical fiber coupler 111,211 Oscillator 117,217 Incident reflection film 118,228 Emission reflection film 221 Photodetector

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G02F 1/035 H01S 3/131 3/133 H04J 14/00 14/02 (72)発明者 斉藤 崇記 神奈川県厚木市林381−1 コーポエメラ ルド201 (72)発明者 エリック デュラン 神奈川県川崎市高津区末長794−302─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI Technical indication location G02F 1/035 H01S 3/131 3/133 H04J 14/00 14/02 (72) Inventor Takashi Saito Description 381-1 Hayashi, Atsugi City, Kanagawa Prefecture Corpo Emerald 201 (72) Inventor Eric Duran 794-302 Suenaga, Takatsu-ku, Kawasaki City, Kanagawa Prefecture

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 互いに波長の異なるレーザ光を出射する
複数のレーザ光源と、 周波数fmの変調信号を発生する発振器と、 上記複数のレーザ光源から入射された互いに波長の異な
るレーザ光の位相を上記発振器からの変調信号に応じて
変調する光位相変調器と、 上記光位相変調器の光入射端と光出射端に形成され、入
射されたレーザ光を上記光位相変調素子内部で共振させ
る入射端反射膜と出射端反射膜と、 上記複数のレーザ光源から出射された波長の異なるレー
ザ光を合波して上記入射端反射膜を介して上記光位相変
調器に入射させる光カップラとからなり、 上記光位相変調器において入射された各レーザ光の周波
数を中心に低周波側と高周波側に上記変調信号の周波数
fm間隔毎に光の側帯波を発生することを特徴とする多
重光周波数コム発生器。
1. A plurality of laser light sources that emit laser lights having different wavelengths, an oscillator that generates a modulation signal of a frequency fm, and phases of laser lights having different wavelengths that are incident from the plurality of laser light sources. An optical phase modulator that modulates according to a modulation signal from an oscillator, and an incident end that is formed at a light incident end and a light emitting end of the optical phase modulator and resonates the incident laser light inside the optical phase modulator. A reflection film and an emission end reflection film, and an optical coupler that combines laser beams of different wavelengths emitted from the plurality of laser light sources and makes them incident on the optical phase modulator through the incidence end reflection film, Multiple optical frequencies, characterized in that sidebands of light are generated at low frequency side and high frequency side centered on the frequency of each laser beam incident on the optical phase modulator at intervals of frequency fm of the modulation signal. Beam generator.
【請求項2】 上記光位相変調器は導波路型光位相変調
器からなることを特徴とする請求項1記載の多重光周波
数コム発生器。
2. The multiplex optical frequency comb generator according to claim 1, wherein the optical phase modulator comprises a waveguide type optical phase modulator.
【請求項3】 上記光カップラは光ファイバカップラか
らなることを特徴とする請求項1記載の多重光周波数コ
ム発生器。
3. The multiple optical frequency comb generator according to claim 1, wherein the optical coupler comprises an optical fiber coupler.
【請求項4】 上記光位相変調器から上記出射端反射膜
を介して出射される光周波数コムについて、2つのレー
ザ光源から出射されたレーザ光に対する側帯波のヘデロ
ダイン成分を検出するヘデロダイン信号検出器を設け、 上記ヘデロダイン信号検出器により検出されたヘデロダ
イン信号を上記2つのレーザ光源の一方に負帰還するこ
とを特徴とする請求項1記載の多重光周波数コム発生
器。
4. A hederodyne signal detector for detecting a hederodyne component of a sideband of laser light emitted from two laser light sources for an optical frequency comb emitted from the optical phase modulator via the emission end reflection film. The multi-optical frequency comb generator according to claim 1, wherein the hederodyne signal detected by the hederodyne signal detector is negatively fed back to one of the two laser light sources.
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