JPH08128872A - Differential pressure type flowmeter - Google Patents

Differential pressure type flowmeter

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Publication number
JPH08128872A
JPH08128872A JP26715794A JP26715794A JPH08128872A JP H08128872 A JPH08128872 A JP H08128872A JP 26715794 A JP26715794 A JP 26715794A JP 26715794 A JP26715794 A JP 26715794A JP H08128872 A JPH08128872 A JP H08128872A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
variable throttle
valve
throttle valve
magnetic fluid
Prior art date
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Pending
Application number
JP26715794A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motoyuki Nawa
基之 名和
Yukio Nagaoka
行夫 長岡
Kenzo Ochi
謙三 黄地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP26715794A priority Critical patent/JPH08128872A/en
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Abstract

PURPOSE: To reduce the driving force of the variable throttle valve of a variable throttle type differential pressure gauge without deteriorating the high seal property of the valve. CONSTITUTION: A differential pressure type flowmeter is provided with a variable throttle valve 8 which controls the flow rate of a fluid in a flow rate measuring pipe 6, a driving section 12 which drives the valve 8, a position sensor 18 which detects the position of the valve 8, pressure sensor 33 which measures the differential pressure across the valve 8, and flow rate calculating section 21 which calculates the flow rate of the fluid by using the signals of the sensors 18 and 33. The driving force of the driving section 12 is reduced by partitioning the inside and outside of the pipe 6 in which the valve 8 is moved with a magnetic fluid seal 22.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、差圧により流量の計測
を行う流量計に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow meter for measuring a flow rate by a differential pressure.

【0002】[0002]

【従来の技術】差圧により流量を計測する場合、その測
定範囲を広くするためには、可変絞りを利用するものが
知られている。従来のこの種のものについて、例えば特
開昭64−53119号公報を例にして説明する。
2. Description of the Related Art When measuring a flow rate by a differential pressure, it is known to use a variable throttle to widen the measuring range. A conventional one of this type will be described with reference to, for example, JP-A-64-53119.

【0003】図11において1は管路であり、2は可変
絞り、3はその回転軸である。4、5は圧力取出し口で
ある。
In FIG. 11, 1 is a pipe line, 2 is a variable diaphragm, and 3 is its rotation axis. Numerals 4 and 5 are pressure outlets.

【0004】上記構成において、流量が多い場合は軸3
を中心として絞り弁2の間隙a1,a2が大きくなる様
に、また、少ない場合には、a1,a2が小さくなる様
に回転し、絞り弁2の前後に設けられた圧力取出し口
4、5の差圧を基に流量を算出するものであった。
In the above structure, the shaft 3 is used when the flow rate is high.
Around the center of the throttle valve 2 so that the gaps a1, a2 of the throttle valve 2 become large, and when the gaps a1, a2 are small, the gaps a1, a2 become smaller, and the pressure outlets 4 and 5 provided before and after the throttle valve 2 The flow rate was calculated based on the differential pressure of.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
例の様に流路1内に絞り弁2の様な部材を配置し、しか
もそれを外部から駆動する場合には、その部分のシール
構造が必要とされていた。このような部分のシールにつ
いてはプッシュ等の固体材料を用いたシール方法が一般
的であるが、その場合には、シール性を高めようとする
とその摩擦力に打勝つための大きな駆動力が必要になる
という課題を有するものであった。本発明は上記課題を
解決するもので、可変絞り弁を利用した差圧式流量計に
おいて、高いシール性を保持しつつ、絞り弁の駆動力を
小さくすることを目的としている。
However, when a member such as the throttle valve 2 is arranged in the flow path 1 as in the above example and it is driven from the outside, the sealing structure of that portion is Was needed. For the sealing of such a part, a sealing method using a solid material such as push is generally used, but in that case, if an attempt is made to improve the sealing performance, a large driving force is required to overcome the frictional force. It had a problem of becoming. The present invention solves the above problems, and an object of the present invention is to reduce the driving force of a throttle valve while maintaining high sealing performance in a differential pressure type flow meter using a variable throttle valve.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、流量測定管内の流量を調整する可変絞り弁
と、前記弁の駆動部と、前記弁の位置センサと、前記弁
の前後の差圧を測定する圧力センサと、前記位置センサ
からの信号と圧力センサからの信号とを用いて流量を算
出する流量演算部とを備え、前記可変絞り弁の弁体が移
動する前記測定管内外の仕切りに磁性流体シール部を設
けた構成としたものである。
In order to achieve the above object, the present invention provides a variable throttle valve for adjusting the flow rate in a flow rate measuring pipe, a drive unit for the valve, a position sensor for the valve, and a valve for the valve. The measurement in which the pressure sensor for measuring the differential pressure between the front and rear and the flow rate calculation unit for calculating the flow rate using the signal from the position sensor and the signal from the pressure sensor are provided, and the valve body of the variable throttle valve moves. A magnetic fluid seal portion is provided on the partition inside and outside the tube.

【0007】また、磁性流体シール部は多段シール部よ
りなる構成としたものである。また、流量測定管内の流
量を調整する可変絞り弁と、前記弁の駆動部と、前記弁
の位置センサと、前記弁の前後の差圧を測定する圧力セ
ンサと、前記位置センサからの信号と圧力センサからの
信号とを用いて流量を算出する流量演算部とを備え、前
記可変絞り弁の弁体が移動する前記測定管内外の仕切り
に第一の磁性流体シール部を設け、前記測定管内下方部
に第二の磁性流体シール部を設けた構成としたものであ
る。
Further, the magnetic fluid seal portion is composed of a multi-stage seal portion. Also, a variable throttle valve that adjusts the flow rate in the flow rate measuring pipe, a drive unit of the valve, a position sensor of the valve, a pressure sensor that measures a differential pressure across the valve, and a signal from the position sensor. A flow rate calculation unit that calculates a flow rate using a signal from a pressure sensor, and a first magnetic fluid seal unit is provided in a partition inside and outside the measurement pipe in which the valve body of the variable throttle valve moves, The second magnetic fluid seal portion is provided in the lower portion.

【0008】また、流量測定管内の流量を調整する可変
絞り弁と、前記弁の駆動部と、前記弁の位置センサと、
前記弁の前後の差圧を測定する圧力センサと、前記位置
センサからの信号と圧力センサからの信号とを用いて流
量を算出する流量演算部とを備え、前記可変絞り弁の弁
体が移動する前記測定管内外の仕切りに第一の磁性流体
シール部を設け、前記測定管内下方部に第二の磁性流体
シール部を設け、前記測定管側方部に第三の磁性流体シ
ール部を設けた構成としたものである。
A variable throttle valve for adjusting the flow rate in the flow rate measuring pipe, a drive unit for the valve, a position sensor for the valve,
The variable throttle valve includes a pressure sensor that measures a differential pressure across the valve, and a flow rate calculation unit that calculates a flow rate using a signal from the position sensor and a signal from the pressure sensor. A first magnetic fluid seal part is provided on the partition inside and outside the measurement pipe, a second magnetic fluid seal part is provided on the lower part inside the measurement pipe, and a third magnetic fluid seal part is provided on the side part of the measurement pipe. It has a different structure.

【0009】[0009]

【作用】本発明は上記した構成により、測定流量の大小
に応じて可変絞り弁を駆動するに当たり、弁の移動部の
シールを磁性流体シール部で構成することにより、小さ
な駆動力で弁の開度調整が行えるものである。
According to the present invention, when the variable throttle valve is driven according to the magnitude of the measured flow rate, the seal of the moving portion of the valve is constituted by the magnetic fluid seal portion so that the valve can be opened with a small driving force. The degree can be adjusted.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の第1の実施例を図1〜図5を
参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0011】図1において、矩形断面の流量測定管6の
上部壁7には磁性体で構成された可変絞り弁8が配置さ
れている。可変絞り弁8の先端部8aはエッジ状に形成
されており、側方部8bは平板状に形成されている。可
変絞り弁8はラック9に取付けられており、モータ10
の軸11に取付けられたピニオン12により駆動される
構成となっている。モータ10、ラック9、およびピニ
オン12は全体として、可変絞り弁8の駆動部13を構
成している。モータ10は上部壁7に取付けられた支持
板14に固定されている。
In FIG. 1, a variable throttle valve 8 made of a magnetic material is arranged on an upper wall 7 of a flow rate measuring pipe 6 having a rectangular cross section. The tip portion 8a of the variable throttle valve 8 is formed in an edge shape, and the side portion 8b is formed in a flat plate shape. The variable throttle valve 8 is mounted on the rack 9 and is connected to the motor 10
It is configured to be driven by the pinion 12 attached to the shaft 11 of the. The motor 10, the rack 9, and the pinion 12 constitute a drive unit 13 of the variable throttle valve 8 as a whole. The motor 10 is fixed to a support plate 14 attached to the upper wall 7.

【0012】図2は図1のA−A’断面を示すものであ
る。支持板14にはラック9を保持するための保持具1
5が取付けられており、保持具15の保持部16がラッ
ク9の溝17にはまりこみ、ラック9を滑らかに移動可
能に保持している。
FIG. 2 shows a cross section taken along the line AA 'of FIG. A holder 1 for holding the rack 9 on the support plate 14.
5, the holding portion 16 of the holder 15 fits in the groove 17 of the rack 9 and holds the rack 9 so that it can be moved smoothly.

【0013】また、支持板14にはその先端部に位置セ
ンサ18を配置した支持部19が取付けられており、可
変絞り弁8の上部に取付けられた反射板20との距離k
を測定することにより可変絞り弁8の開度h(−k)が
検出される様に構成されている。位置センサ18からの
信号は流量演算部21へ送られる。
Further, a support portion 19 having a position sensor 18 arranged at the tip thereof is attached to the support plate 14, and a distance k from the reflection plate 20 attached to the upper part of the variable throttle valve 8 is set.
The opening degree h (-k) of the variable throttle valve 8 is detected by measuring. The signal from the position sensor 18 is sent to the flow rate calculation unit 21.

【0014】図1において流量測定管6の上部壁7には
磁性流体シール部22が形成されている。磁性流体シー
ル部22は図1の上下方向に磁化された永久磁石23
と、その上下に配置されたポールピース24、25、磁
性体で形成された可変絞り弁8、およびポールピース2
4、25と可変絞り弁8との間に配置された磁性流体2
6、27により構成されている。
In FIG. 1, a magnetic fluid seal portion 22 is formed on the upper wall 7 of the flow rate measuring pipe 6. The magnetic fluid seal portion 22 is a permanent magnet 23 magnetized vertically in FIG.
And pole pieces 24 and 25 arranged above and below the variable throttle valve 8 formed of a magnetic material, and the pole piece 2.
The magnetic fluid 2 arranged between the variable throttle valve 8 and the variable throttle valve 8
It is composed of 6, 27.

【0015】図3は図1のB−B’断面であり、磁性流
体26は可変絞り弁8の周囲を取囲むように楕円環状に
配置されている。
FIG. 3 is a sectional view taken along the line BB ′ in FIG. 1, in which the magnetic fluid 26 is arranged in an elliptic ring so as to surround the variable throttle valve 8.

【0016】図4は図1のC−C’断面を示したもので
ある。この図で示す様に流量測定管路6の断面は矩形状
に形成されており、同じく矩形状の可変絞り弁8が流体
通過面積を可変する様な構造となっている。流量測定管
6は上部壁7、下部壁28、側壁29、30により構成
されている。
FIG. 4 is a sectional view taken along the line CC 'in FIG. As shown in this figure, the cross section of the flow rate measuring pipe line 6 is formed in a rectangular shape, and the variable throttle valve 8 of the same rectangular shape has a structure in which the fluid passage area is variable. The flow rate measuring pipe 6 is composed of an upper wall 7, a lower wall 28, and side walls 29 and 30.

【0017】図1において可変絞り弁8の上流側圧力
(P1)は圧力取出し口31より、また下流側圧力(P
2)は圧力取出し口32より取出され、圧力センサ33
にてこれらの差圧が検出される。圧力センサからの信号
は流量演算部21に送られる。
In FIG. 1, the upstream pressure (P1) of the variable throttle valve 8 is from the pressure outlet 31 and the downstream pressure (P1).
2) is taken out from the pressure take-out port 32, and the pressure sensor 33
These differential pressures are detected at. The signal from the pressure sensor is sent to the flow rate calculation unit 21.

【0018】次に作動を述べる。図1に示す可変絞り弁
8の状態において、流量測定管6内を流体がaからbの
方向へ流れたとする。可変絞り弁8の前後の差圧(Δ
p)は圧力取出し口31、32により圧力センサ33に
て検出され、この信号は流量演算部21に送られる。ま
た、このとき可変絞り弁8の開度hは、可変絞り弁8の
上部に取付けられた反射板20に対する位置センサ18
からの反射により測定され、この信号も流量演算部21
に送られる。
Next, the operation will be described. In the state of the variable throttle valve 8 shown in FIG. 1, it is assumed that the fluid flows in the flow rate measuring pipe 6 in the direction from a to b. The differential pressure before and after the variable throttle valve 8 (Δ
p) is detected by the pressure sensor 33 through the pressure outlets 31 and 32, and this signal is sent to the flow rate calculation unit 21. At this time, the opening h of the variable throttle valve 8 is determined by the position sensor 18 with respect to the reflection plate 20 mounted on the variable throttle valve 8.
This signal is also measured by the reflection from the flow rate calculation unit 21.
Sent to

【0019】一方、流量演算部21には、予め図5に示
す様な可変絞り弁8の差圧(ΔP)−流量(Q)特性が
開度hをパラメータとして記憶されている。したがっ
て、例えば、位置センサ18からの信号として、開度h
−h1で、圧力センサからの信号がΔp=Δp1なる場
合には、流量演算部21では図6のグラフに示す様に流
量がQ1であることを出力する。
On the other hand, in the flow rate calculation unit 21, the differential pressure (ΔP) -flow rate (Q) characteristic of the variable throttle valve 8 as shown in FIG. 5 is stored in advance with the opening h as a parameter. Therefore, for example, as a signal from the position sensor 18, the opening h
When the signal from the pressure sensor is Δp = Δp1 at −h1, the flow rate calculation unit 21 outputs that the flow rate is Q1, as shown in the graph of FIG.

【0020】次にモータ11の回転によりピニオン12
が回転して、ラック9を下方に押下げたとする。このと
き開度hがh2に変化し、差圧ΔpがΔp2に変化した
とすると、図5により流量はQ2なる値を示すことにな
る。
Next, the pinion 12 is rotated by the rotation of the motor 11.
Is rotated and the rack 9 is pushed downward. At this time, if the opening degree h changes to h2 and the differential pressure Δp changes to Δp2, the flow rate shows a value of Q2 according to FIG.

【0021】この様に可変絞り弁8を設けることによ
り、小さな流量の時は差圧を大きくして測定することが
できるため、精度の良い流量値を得ることができる。
By providing the variable throttle valve 8 in this manner, the differential pressure can be increased and measured at a small flow rate, so that an accurate flow rate value can be obtained.

【0022】この様な測定において、可変絞り弁8のシ
ール構造は測定精度に影響を与えるため重要な課題とな
る。このシールを機構的なもので行おうとすると大きな
駆動力が必要となるものであった。本発明では、この部
分に磁性流体シールを用いてこの課題を解決している。
In such a measurement, the seal structure of the variable throttle valve 8 affects the measurement accuracy, which is an important issue. A large driving force was required to perform this seal mechanically. The present invention solves this problem by using a magnetic fluid seal in this portion.

【0023】すなわち図1において可変絞り弁8は磁性
体で作られているため、永久磁石23により発生される
磁力線はポールピース24、磁性流体26、可変絞り弁
8、磁性流体27、ポールピース25の経路を経て、永
久磁石23に戻る。この磁性流体シール構成は図3に示
すごとく可変絞り弁8の全周にわたっており流量測定管
6の内外の遮断を確実にしている。この様にシール方法
として磁性流体を用いるため小さな駆動力で確実なシー
ルがなされるものである。
That is, in FIG. 1, since the variable throttle valve 8 is made of a magnetic material, the magnetic lines of force generated by the permanent magnet 23 are the pole piece 24, the magnetic fluid 26, the variable throttle valve 8, the magnetic fluid 27, and the pole piece 25. Returning to the permanent magnet 23 via the path of. As shown in FIG. 3, this magnetic fluid seal structure extends over the entire circumference of the variable throttle valve 8 to ensure the shutoff of the inside and outside of the flow rate measuring pipe 6. Thus, since magnetic fluid is used as the sealing method, reliable sealing can be achieved with a small driving force.

【0024】次に第2の実施例について述べる。図6は
図1の磁性流体シール部20以外はすべて同一構成ゆ
え、同じ番号で示してある。
Next, a second embodiment will be described. 6 has the same configuration except for the magnetic fluid seal portion 20 of FIG.

【0025】この場合は多段磁性流体シール部34が上
部壁7の上に形成されている。永久磁石35の上下には
ポールピース36、37が配置されている。磁性流体3
8、39は磁性体で形成された可変絞り弁8とポールピ
ース36、37との間に配置されている。
In this case, the multi-stage magnetic fluid seal portion 34 is formed on the upper wall 7. Pole pieces 36 and 37 are arranged above and below the permanent magnet 35. Magnetic fluid 3
Reference numerals 8 and 39 are arranged between the variable throttle valve 8 made of a magnetic material and the pole pieces 36 and 37.

【0026】また、永久磁石40の上下にはポールピー
ス41、42が配置されている。磁性流体43、44は
磁性体で形成された可変絞り弁8とポールピース41、
42との間に配置されている。
Further, pole pieces 41 and 42 are arranged above and below the permanent magnet 40. The magnetic fluids 43 and 44 are the variable throttle valve 8 and the pole piece 41, which are made of a magnetic material.
42 and 42.

【0027】ポールピース36、37、41、42は、
先端が先細に形成され、磁力線の集中が行われるように
形成されている。
The pole pieces 36, 37, 41, 42 are
The tip is tapered so that the lines of magnetic force are concentrated.

【0028】次に作動を述べる。図6において可変絞り
弁8は磁性体で作られているため、永久磁石35により
発生される磁力線はポールピース36、磁性流体38、
可変絞り弁8、磁性流体39、ポールピース37の経路
を経て、永久磁石35に戻る。
Next, the operation will be described. In FIG. 6, since the variable throttle valve 8 is made of a magnetic material, the lines of magnetic force generated by the permanent magnet 35 are the pole piece 36, the magnetic fluid 38,
It returns to the permanent magnet 35 through the path of the variable throttle valve 8, the magnetic fluid 39, and the pole piece 37.

【0029】また、永久磁石40により発生される磁力
線はポールピース41、磁性流体43、可変絞り弁8、
磁性流体44、ポールピース42の経路を経て、永久磁
石40に戻る。
The lines of magnetic force generated by the permanent magnet 40 are the pole piece 41, the magnetic fluid 43, the variable throttle valve 8,
It returns to the permanent magnet 40 via the path of the magnetic fluid 44 and the pole piece 42.

【0030】上記2段の磁性流体シール構成により、一
段目の磁性流体38、39によるシールが破れても二段
目の磁性流体43、44によるシールが有効に作用する
ため、より信頼性の高いシール構造を提供する事ができ
るものである。
With the above two-stage magnetic fluid seal structure, even if the seal caused by the magnetic fluids 38 and 39 in the first stage is broken, the seal caused by the magnetic fluids 43 and 44 in the second stage can effectively operate, so that the reliability is higher. It is possible to provide a seal structure.

【0031】次に第3の実施例について述べる。図7は
流量測定管6の下部壁28に磁性流体シール部45(第
二の磁性流体シール部)を設けたものであり、この部分
以外は図1と同一構成ゆえ、同じ番号で示してある。
Next, a third embodiment will be described. In FIG. 7, a magnetic fluid seal portion 45 (second magnetic fluid seal portion) is provided on the lower wall 28 of the flow rate measuring pipe 6, and other portions are the same as those in FIG. .

【0032】永久磁石46の両側にはポールピース4
7、48が配置されている。磁性流体49は磁性体で形
成された可変絞り弁8とポールピース47、48との間
に配置されている。永久磁石46とポールピース47、
48により囲まれた部分は非磁性体領域50である。
The pole pieces 4 are provided on both sides of the permanent magnet 46.
7, 48 are arranged. The magnetic fluid 49 is arranged between the variable throttle valve 8 formed of a magnetic material and the pole pieces 47 and 48. Permanent magnet 46 and pole piece 47,
The portion surrounded by 48 is the nonmagnetic region 50.

【0033】図8は図7のD−D’断面である。次に作
動を述べる。
FIG. 8 is a cross section taken along the line DD 'of FIG. Next, the operation will be described.

【0034】図7は可変絞り弁8が流量測定管6内で最
下端まで下降した状態を示したものである。このとき、
永久磁石46により発生される磁力線はポールピース4
7、磁性流体49、可変絞り弁8、ポールピース48の
経路を経て、永久磁石46に戻る。図8に示すごとく、
この磁性流体49は、可変絞り弁8の先端部8aの長手
方向全域にわたり配置されているため、可変絞り弁8に
よる流れの遮断を効果的に行うことができる。なお、可
変絞り弁8が磁性流体49より上方にある場合、上記磁
気回路は磁性流体49を保持すべく作用する。
FIG. 7 shows a state in which the variable throttle valve 8 is lowered to the lowermost end in the flow rate measuring pipe 6. At this time,
The magnetic force lines generated by the permanent magnet 46 are the pole pieces 4
7, the magnetic fluid 49, the variable throttle valve 8, and the pole piece 48 to return to the permanent magnet 46. As shown in FIG.
Since the magnetic fluid 49 is arranged over the entire length of the tip portion 8a of the variable throttle valve 8 in the longitudinal direction, the flow can be effectively blocked by the variable throttle valve 8. When the variable throttle valve 8 is above the magnetic fluid 49, the magnetic circuit acts to hold the magnetic fluid 49.

【0035】流れの閉止を通常の機械的手段で行う場合
は、大きな閉止力を必要とするものであるが、この場合
には磁性流体により流体的に行われるものであるため、
小さな閉止力で機械的方法におけるよりも高い閉止性能
を得ることができる。
When the flow is closed by the usual mechanical means, a large closing force is required, but in this case, it is fluidized by the magnetic fluid.
With a smaller closing force, a higher closing performance can be obtained than with mechanical methods.

【0036】次に第4の実施例について述べる。図9は
流量測定管6の側部壁29、30に磁性流体シール部5
1(第三の磁性流体シール部)を設けたものであり、こ
の部分以外は図7とすべて同一構成ゆえ、同じ番号で示
してある。
Next, a fourth embodiment will be described. FIG. 9 shows the magnetic fluid seal portion 5 on the side walls 29 and 30 of the flow rate measuring pipe 6.
No. 1 (third magnetic fluid seal portion) is provided, and other portions than this portion have the same configuration as FIG.

【0037】永久磁石52の両側にはポールピース5
3、54が配置されている。磁性流体55は磁性体で形
成された可変絞り弁8とポールピース53、54との間
に配置されている。永久磁石52とポールピース53、
54により囲まれた部分は非磁性体領域56である。
The pole pieces 5 are provided on both sides of the permanent magnet 52.
3, 54 are arranged. The magnetic fluid 55 is arranged between the variable throttle valve 8 formed of a magnetic material and the pole pieces 53 and 54. Permanent magnet 52 and pole piece 53,
The portion surrounded by 54 is the nonmagnetic region 56.

【0038】図10は図9のE−E’断面である。次に
作動を述べる。
FIG. 10 is a cross section taken along the line EE 'of FIG. Next, the operation will be described.

【0039】図9は可変絞り弁8が流量測定管6内で最
下端まで下降した状態を示したものである。このとき、
永久磁石52により発生される磁力線はポールピース5
3、磁性流体55、可変絞り弁8、ポールピース54の
経路を経て、永久磁石52に戻る。
FIG. 9 shows a state in which the variable throttle valve 8 is lowered to the lowest end in the flow rate measuring pipe 6. At this time,
The magnetic force lines generated by the permanent magnet 52 are the pole pieces 5.
3, the magnetic fluid 55, the variable throttle valve 8, and the pole piece 54 are returned to the permanent magnet 52.

【0040】図10に示すごとく、この磁性流体55
は、可変絞り弁8の側方部8bの全周にわたり配置され
ているため、可変絞り弁8による流れの遮断に際し側方
の漏れ流れに対する閉止を効果的に行うことができる。
これにより可変絞り弁8のより一層高い閉止性能を得る
ことができる。
As shown in FIG. 10, this magnetic fluid 55
Are arranged over the entire circumference of the side portion 8b of the variable throttle valve 8, so that when the variable throttle valve 8 shuts off the flow, it is possible to effectively close the side leakage flow.
As a result, a higher closing performance of the variable throttle valve 8 can be obtained.

【0041】可変絞り弁8が磁性流体55より上方にあ
る場合、上記磁気回路は磁性流体54を保持すべく作用
する。
When the variable throttle valve 8 is above the magnetic fluid 55, the magnetic circuit acts to hold the magnetic fluid 54.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上のように本発明によれば次の効果が
得られる。 (1)可変絞り弁の流量測定管内外のシール部を磁性流
体シール構造としたため、可変絞り弁の駆動源を小さな
パワーのものとすることができる。 (2)磁性流体シール部を多段構造としたため、外部と
のシールの信頼性をより向上させることができる。 (3)測定管の可変絞り弁先端側に第2の磁性流体シー
ル部を設けることにより、可変絞り弁を閉止弁として使
用したときにも小さなパワーの駆動源で高い閉止性能を
得ることができる。 (4)測定管の可変絞り弁側方側に第3の磁性流体シー
ル部を設けることにより、可変絞り弁を閉止弁として使
用したときの閉止性能を更に向上させることができる。
As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained. (1) Since the seal portion inside and outside the flow rate measuring pipe of the variable throttle valve has a magnetic fluid seal structure, the drive source of the variable throttle valve can be of small power. (2) Since the magnetic fluid seal portion has a multi-stage structure, the reliability of the seal with the outside can be further improved. (3) By providing the second magnetic fluid seal portion on the tip side of the variable throttle valve of the measuring pipe, even when the variable throttle valve is used as a closing valve, high closing performance can be obtained with a drive source of small power. . (4) By providing the third magnetic fluid seal portion on the side of the variable throttle valve of the measuring pipe, it is possible to further improve the closing performance when the variable throttle valve is used as a closing valve.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例の差圧式流量計の構成を
示す断面図
FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of a differential pressure type flow meter according to a first embodiment of the present invention.

【図2】同流量計におけるA−A’断面図FIG. 2 is a sectional view taken along the line A-A ′ in the same flow meter.

【図3】同流量計におけるB−B’断面図FIG. 3 is a sectional view taken along the line B-B ′ in the same flow meter.

【図4】同流量計におけるC−C’断面図FIG. 4 is a sectional view taken along the line C-C ′ of the flow meter.

【図5】同流量計における特性図FIG. 5 is a characteristic diagram of the same flow meter.

【図6】本発明の第2の実施例の流量計の構成を示す断
面図
FIG. 6 is a sectional view showing the configuration of a flowmeter according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3の実施例の流量計の構成を示す断
面図
FIG. 7 is a sectional view showing the structure of a flow meter according to a third embodiment of the present invention.

【図8】同流量計におけるD−D’断面図FIG. 8 is a sectional view taken along the line D-D ′ of the flow meter.

【図9】本発明の第4の実施例の流量計の構成を示す断
面図
FIG. 9 is a sectional view showing the structure of a flowmeter according to a fourth embodiment of the present invention.

【図10】同流量計におけるE−E’断面図FIG. 10 is a sectional view taken along the line E-E ′ of the flow meter.

【図11】従来の流量計の構成を示す断面図FIG. 11 is a cross-sectional view showing the configuration of a conventional flowmeter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 流量測定管 8 可変絞り弁 12 駆動部 18 位置センサ 21 流量演算部 22 磁性流体シール部(第一の磁性流体シール部) 33 圧力センサ 34 多段シール部 45 第二の磁性流体シール部 51 第三の磁性流体シール部 6 Flow Rate Measuring Tube 8 Variable Throttle Valve 12 Drive Section 18 Position Sensor 21 Flow Rate Calculation Section 22 Magnetic Fluid Seal Section (First Magnetic Fluid Seal Section) 33 Pressure Sensor 34 Multi-Stage Seal Section 45 Second Magnetic Fluid Seal Section 51 Third Magnetic fluid seal part

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】流量測定管内の流量を調整する可変絞り弁
と、前記弁の駆動部と、前記弁の位置センサと、前記弁
の前後の差圧を測定する圧力センサと、前記位置センサ
からの信号と圧力センサからの信号とを用いて流量を算
出する流量演算部とを備え、前記可変絞り弁が移動する
前記測定管内外の仕切りに磁性流体シール部を設けた差
圧式流量計。
1. A variable throttle valve for adjusting a flow rate in a flow rate measuring pipe, a drive unit for the valve, a position sensor for the valve, a pressure sensor for measuring a differential pressure across the valve, and the position sensor. And a flow rate calculating section for calculating a flow rate using a signal from a pressure sensor, and a differential pressure type flow meter in which a magnetic fluid seal section is provided in a partition inside and outside the measuring pipe in which the variable throttle valve moves.
【請求項2】磁性流体シール部は多段シール部よりなる
請求項1記載の差圧式流量計。
2. The differential pressure type flow meter according to claim 1, wherein the magnetic fluid seal portion comprises a multi-stage seal portion.
【請求項3】流量測定管内の流量を調整する可変絞り弁
と、前記弁の駆動部と、前記弁の位置センサと、前記弁
の前後の差圧を測定する圧力センサと、前記位置センサ
からの信号と圧力センサからの信号とを用いて流量を算
出する流量演算部とを備え、前記可変絞り弁が移動する
前記可変絞り弁が移動する前記測定管内外の仕切りに第
一の磁性流体シール部を設け、前記測定管下方部に第二
の磁性流体シール部を設けた差圧式流量計。
3. A variable throttle valve for adjusting a flow rate in a flow rate measuring pipe, a drive unit for the valve, a position sensor for the valve, a pressure sensor for measuring a differential pressure across the valve, and the position sensor. And a flow rate calculation unit that calculates a flow rate using a signal from a pressure sensor, and the first magnetic fluid seal is provided on a partition inside and outside the measurement pipe in which the variable throttle valve moves in which the variable throttle valve moves. A differential pressure type flow meter in which a portion is provided and a second magnetic fluid seal portion is provided below the measuring tube.
【請求項4】流量測定管内の流量を調整する可変絞り弁
と、前記弁の駆動部と、前記弁の位置センサと、前記弁
の前後の差圧を測定する圧力センサと、前記位置センサ
からの信号と圧力センサからの信号とを用いて流量を算
出する流量演算部とを備え、前記可変絞り弁が移動する
前記可変絞り弁が移動する前記測定管内外の仕切りに第
一の磁性流体シール部を設け、前記測定管下方部に第二
の磁性流体シール部を設け、前記測定管側方部に第三の
磁性流体シール部を設けた差圧式流量計。
4. A variable throttle valve for adjusting a flow rate in a flow rate measuring pipe, a drive unit for the valve, a position sensor for the valve, a pressure sensor for measuring a differential pressure across the valve, and the position sensor. And a flow rate calculation unit that calculates a flow rate using a signal from a pressure sensor, and the first magnetic fluid seal is provided on a partition inside and outside the measurement pipe in which the variable throttle valve moves in which the variable throttle valve moves. A differential pressure type flow meter in which a portion is provided, a second magnetic fluid seal portion is provided at a lower portion of the measurement pipe, and a third magnetic fluid seal portion is provided at a side portion of the measurement pipe.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100755297B1 (en) * 2005-12-02 2007-09-05 주식회사 우일하이테크 Differential pressure flowmeter intereated with controlvalve
JP2009003954A (en) * 2001-02-02 2009-01-08 Fisher Controls Internatl Llc Controller with reporting function for managing gas transportation system
WO2010002999A3 (en) * 2008-07-01 2010-03-25 Daniel Measurement And Control, Inc. Orifice fitting with a drainage system

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