JPH0760459B2 - Corner detector - Google Patents

Corner detector

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JPH0760459B2
JPH0760459B2 JP62171649A JP17164987A JPH0760459B2 JP H0760459 B2 JPH0760459 B2 JP H0760459B2 JP 62171649 A JP62171649 A JP 62171649A JP 17164987 A JP17164987 A JP 17164987A JP H0760459 B2 JPH0760459 B2 JP H0760459B2
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JP
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corner
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幸則 松本
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Sanyo Electric Co Ltd
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 イ)産業上の利用分野 本発明は矩形物体のコーナ部を検出するコーナ検出装置
に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a corner detecting device for detecting a corner portion of a rectangular object.

ロ)従来の技術 近年、回路基板上に配置された矩形のチップ部品の配置
状態を検出する検査装置が開発されつつある。このよう
な検査装置では回路基板上に光を照射するとともにその
基板面の映像をカメラ等で取り込み、矩形のチップ部品
のコーナ部を検出することで実際の部品位置を検出する
ようになつている。ところで、こうしたチップ部品のよ
うな矩形状物体コーナを検出する方法としてその代表的
なものに二値画像テンプレートマッチング法がある。こ
の方法は第19図に示すように原画像(入力画像)を2値
化し、予め持つている二値テンプレート画像と比較し、
最適マッチングのとれる点を選び出すものである。また
グレイスケールテンプレート画像を持ち、入力原画像と
のマッチングを行なうグレイスケールテンプレートマッ
チング法もある。
(B) Conventional Technology In recent years, an inspection device for detecting the arrangement state of rectangular chip components arranged on a circuit board is being developed. In such an inspection device, an actual component position is detected by irradiating the circuit substrate with light and capturing an image of the substrate surface with a camera or the like, and detecting a corner portion of a rectangular chip component. . By the way, as a typical method for detecting a rectangular object corner such as a chip part, there is a binary image template matching method. This method binarizes the original image (input image) as shown in FIG. 19 and compares it with the binary template image that it has in advance.
This is to select the points that can be optimally matched. There is also a grayscale template matching method that has a grayscale template image and performs matching with the input original image.

ハ)発明が解決しようとする問題点 上記の二値画像テンプレートマッチング法は、検出した
い物体のコーナー部と背景部との濃度差が大きく、二値
化が容易な画像においては有効であるが物体のコーナー
部と背景部との濃度差が小さい場合、コーナー検出は不
可能、或いは誤検出となる場合が多い。またグレイスケ
ールテンプレートマッチング法では、2値化レベルの決
定という問題はなくなるものの、グレイスケールテンプ
レート画像を得る方法が、実際のカメラ入力画像を参照
して作成する必要があり、作業が繁雑となる。またマッ
チングにかかる時間も二値画像テンプレートマッチング
法に比べ遥かに大く、上述した検査装置に用いた場合、
検査スピードが遅くなると云う問題が生じる。
C) Problems to be solved by the invention The binary image template matching method described above is effective in an image that is easily binarized because the difference in density between the corner portion and the background portion of the object to be detected is large, but When the density difference between the corner and the background is small, corner detection is often impossible or erroneous. Further, although the grayscale template matching method eliminates the problem of determining the binarization level, the method of obtaining the grayscale template image needs to be created by referring to the actual camera input image, which complicates the work. Moreover, the time required for matching is far longer than that of the binary image template matching method.
There is a problem that the inspection speed becomes slow.

更に、上記の何れの方法においても照度の揺らぎによる
入力画像の濃度むらが大きいとますますコーナー検出が
不正確となる。
Further, in any of the above methods, if the density unevenness of the input image due to the fluctuation of the illuminance is large, the corner detection becomes more inaccurate.

ニ)問題点を解決するための手段 本発明はこのような点に鑑みて為されたものであつて、
入力画像から複数の方向に関する輝度情報差分を検出し
て各方向に関するエッジ情報を検出し、エッジ画像情報
を得るエッジ検出手段と、上記各方向に関するエッジ画
像情報の夫々をデータシフト手段によりシフト処理した
後、これらエッジ画像情報の画像間積を求め、そのうち
所定値以上のものを入力画像上のコーナ部の候補点とし
て抽出するコーナ候補点抽出手段と、前記コーナ部の候
補点情報と予め登録されている入力画像の形状を示す情
報とを比較して前記コーナ部の候補点からコーナ点を抽
出する抽出手段と、を有している。
D) Means for solving the problems The present invention has been made in view of the above points,
Edge detection means for detecting edge information about each direction by detecting brightness information differences in a plurality of directions from the input image, and edge detection information for obtaining the edge image information, and each of the edge image information for each direction are shifted by the data shift means. After that, the inter-image product of these edge image information is obtained, and a corner candidate point extracting means for extracting a product having a predetermined value or more as a candidate point of the corner portion on the input image, and the candidate point information of the corner portion are registered in advance. And an extraction unit that extracts a corner point from the candidate points of the corner portion by comparing the information indicating the shape of the input image.

ホ)作用 各方向のエッジ情報を重ね合わせることによりコーナ部
の候補点を検出し、これ等の候補点の内からコーナ部を
抽出しているので、コーナ部の検出が正確にそして迅速
に行える。
(E) Action Candidate points for corners are detected by overlapping edge information in each direction, and corners are extracted from these candidate points, so corners can be detected accurately and quickly. .

ヘ)実 施 例 第1図は本発明コーナ検出装置の一実施例を示し、
(1)はプリント基板上からチップ部品の配置状況を示
す画像を取り込む画像取り込み部であつて具体的にはCC
Dカメラ等が利用される。(2)はこうして取り込まれ
た画像を記憶する画像メモリ、(3)は画像メモリ
(2)内の各画素の周囲における輝度の変化を夫々縦横
方向について計算してエッジ情報としての夫々の方向に
ついてのエッジ度を得るエッジ抽出手段であつて、例え
ば特願昭61−222586号に示すような縦横夫々の微分オペ
レータを各画素周囲部について適用してこうした縦横夫
々の方向についてのエッジ度は検出される。尚、上記オ
ペレータは第2図、第3図に示すような5×3,3×5或
いは其れ以上の異方性をもつた縦、横方向のオペレータ
を使用することが望ましい。(4)は第4図、第5図の
ような5×1及び1×5の縦方向、横方向の最大値オペ
レータの中心(図中斜線で示す)を各画素に重ねて該当
画素のエッジ度をこのオペレートでカバーされる周囲の
画素のエッジ度の内最大のものにする最大値フイルタ、
(5)は例えば第6図、第7図に示すような1×3及び
3×1の縦方向及び横方向の細線化オペレータの中心
(図中斜線で示す)を各画素に重ねて上記最大値フイル
ター処理後のエッジ情報に対し、該画素のエッジ度が細
線化オペレータでカバーされる周囲の画素のエッジ度よ
り大きいものだけを残し他のものをエッジ度0とする細
線化フイルタであつて、これによつてエッジ部の絞り込
みが行なわれる。(6)は細線化された縦横のエッジ情
報をシフトするシフト手段であって、該シフト手段によ
り縦横のエッジ情報を夫々目的のコーナ方向に所定量シ
フトすることにより、より有効なコーナ候補点を求める
ためのエッジ情報を得ることができ、例えば左上のコー
ナを検出する場合は横方向のエッジ情報を左方へシフト
し、縦方向のエッジ情報を上方へシフトする。(7)は
このようにシフトされた縦方向及び横方向のエッジ度を
各画素毎に重ね合わせる(掛け算する)演算手段であつ
て、この演算結果が各画素のコーナ度として算出され
る。(8)はこの演算手段(7)で算出されたコーナ度
の内所定のレベル(例えば最大のコーナ度の内の50%
の)以上のものを選び出すコーナ候補点抽出手段であつ
て、チップ部品の各4コーナについて、夫々候補点を抽
出する。(9)は抽出されたコーナ部の候補点の内最適
な4コーナを抽出する最適コーナ点抽出手段であり、予
め登録されているチップ部品の形状データとのマッチン
グを採ることで行なわれる。具体的にはマスターコーナ
の座標を(Xi、Yi)、コーナ部の候補点の座標を(xi、
yi)とすると(i=1、2、3、4)、回転及び平行移
動をしたときのコーナ部の候補点の座標 に関し、 残差 D=Σ(x′i−Xi)+Σ(y′i−Yi) … が最小になるように(xi、yi)の組を求めればよい。こ
れを求めるために上記式から x′i=axi−byi+e y′i=bxi+byi+f を求め、これを式代入し と云う最小条件から が求まり、これを式に代入することで と云う最小条件から これを式代入することで を得て、これが最小になる候補点(xi、yi)をコーナ点
とする。尚、上記計算式でΣはi=1から4まで行なう
ものとする。
F) Example FIG. 1 shows an example of the corner detecting device of the present invention.
(1) is an image capturing unit that captures an image showing the layout of chip components from the printed circuit board, specifically CC
D cameras are used. (2) is an image memory for storing the image thus captured, (3) is a method for calculating the change in luminance around each pixel in the image memory (2) in the vertical and horizontal directions, and for each direction as edge information. An edge extracting means for obtaining the edge degree of each of the vertical and horizontal directions as shown in Japanese Patent Application No. 61-222586, and the edge degree in each of the vertical and horizontal directions is detected. It It is desirable that the operator is a vertical or horizontal operator having anisotropy of 5 × 3, 3 × 5 or more as shown in FIGS. 2 and 3. (4) is the edge of the corresponding pixel by overlapping the center (indicated by diagonal lines in the figure) of the maximum value operator in the vertical and horizontal directions of 5 × 1 and 1 × 5 as shown in FIGS. 4 and 5 with each pixel. A maximum value filter that makes the degree the maximum of the edge degrees of the surrounding pixels covered by this operation,
(5) is the maximum when the centers (indicated by diagonal lines in the figure) of the 1 × 3 and 3 × 1 vertical and horizontal thinning operators as shown in FIGS. 6 and 7 are overlapped on each pixel. With respect to the edge information after the value filter processing, a thinning filter in which only the edge degree of the pixel is larger than the edge degree of the surrounding pixels covered by the thinning operator and the others are set to 0 Thus, the edge portion is narrowed down. (6) is a shift means for shifting the thinned vertical and horizontal edge information. By shifting the vertical and horizontal edge information by a predetermined amount by the shift means, a more effective corner candidate point is obtained. The edge information to be obtained can be obtained. For example, when detecting the upper left corner, the horizontal edge information is shifted to the left and the vertical edge information is shifted to the upper side. (7) is an arithmetic means for superposing (multiplying) the edge degrees in the vertical direction and the horizontal direction thus shifted for each pixel, and the operation result is calculated as the corner degree of each pixel. (8) is a predetermined level of the corner degree calculated by the calculating means (7) (for example, 50% of the maximum corner degree).
The above-mentioned) is a corner candidate point extracting means for selecting the above, and the candidate points are extracted for each of the four corners of the chip component. (9) is an optimum corner point extracting means for extracting the optimum four corners from the extracted candidate points of the corner portion, which is performed by matching with the shape data of the chip part registered in advance. Specifically, the coordinates of the master corner are (Xi, Yi) and the coordinates of the candidate points of the corner are (xi,
yi) (i = 1, 2, 3, 4), the coordinates of the candidate points of the corner when rotating and translating With respect to the above, the set of (xi, yi) may be obtained so that the residual D = Σ (x′i−Xi) + Σ (y′i−Yi). In order to obtain this, x′i = axi−byi + e y′i = bxi + byi + f is obtained from the above equation, and this is substituted into the equation. From the minimum condition Is obtained, and by substituting this into the expression, From the minimum condition By substituting this into an expression And the candidate point (xi, yi) that minimizes this is taken as the corner point. In the above calculation formula, Σ is performed from i = 1 to 4.

このようなコーナ検出装置において上方から照明をしな
がらプリント基板上から、例えば第8図のようなチップ
部品の画像を画像取り込み部(1)で取り込んで画像メ
モリ(2)に記憶されると、エッジ抽出手段(3)は各
コーナにウインド(W)を設け、各ウインドでの横方
向、縦方向の差分を各画素毎に計算する。こうして得た
左上方のコーナ部に対する横方向、縦方向の差分情報
(エッジ度)を第9図第10図に示す。尚、ここで黒、斜
線部、白の順でエッジ度が高いものとする。このとき他
の3コーナ部についても同様の差分を計算するが、以下
左上方のコーナ部についてのみの処理について述べる。
次にこうしたエッジ度情報は最大値フイルタ(4)部で
最大値オペレータを適用することでノイズ等で生じてい
たエッジ度の高いライン間の抜け(A)(A)…が補正
され、第11図、第12図のように連続したラインの横方向
及び縦方向のエッジ度情報が形成される。最大値フイル
タ(4)を通して処理されたエッジ度情報は続いて細線
化フイルタ(5)で細線化される。これは上述したよう
に細線化オペレータを用いて、周囲のエッジ度より高い
エッジ度の画素のみそのエッジ度を維持し、他のものは
エッジ度が零とされる。このような作業により横方向及
び縦方向のエッジ度情報は第13図、第14図のようにな
る。こうして得られた横縦のエッジ度情報はシフト手段
(6)で第15図、第16図のようにシフト処理される。こ
の場合、左上方のコーナに対する画像処理であるのでそ
のシフト方向は横方向エッジ度情報を左へシフトし、縦
方向エッジ度情報を上へシフトするが、右下方に対する
画像処理であれば横方向のエッジ度情報を右へシフト
し、縦方向のエッジ度情報を下方へシフトする。シフト
後横方向と縦方向のエッジ度はエッジ情報として演算手
段(7)で各画素毎に重ね合わされ(掛け算され)、そ
の内、所定の値以上のものがコーナ候補点抽出手段
(8)でコーナ部の候補点として第17図のように選び出
される。このようなコーナ部の候補点は前述と同様の動
作で第18図のように部品の各4コーナについて行なわ
れ、こうして抽出された候補点の内、最も適切な4コー
ナが最適コーナ点検出手段で選び出される。
In such a corner detecting device, when an image of a chip part as shown in FIG. 8 is captured by the image capturing section (1) from the printed circuit board while illuminating from above and stored in the image memory (2), The edge extracting means (3) is provided with a window (W) at each corner, and calculates the difference in the horizontal direction and the vertical direction in each window for each pixel. FIG. 10 shows the difference information (edge degree) in the horizontal and vertical directions with respect to the upper left corner obtained in this way. Here, it is assumed that the edge degree is higher in the order of black, a shaded portion, and white. At this time, similar differences are calculated for the other three corners, but only the processing for the upper left corner will be described below.
Next, with respect to such edge degree information, the maximum value operator (4) is applied to the maximum value operator to correct gaps (A), (A), ... Edge degree information in the horizontal and vertical directions of continuous lines is formed as shown in FIGS. The edge degree information processed through the maximum value filter (4) is subsequently thinned by a thinning filter (5). As described above, the thinning operator is used to maintain the edge degree only for the pixels having the edge degree higher than the surrounding edge degree, and the others have the edge degree of zero. By such an operation, the horizontal and vertical edge degree information becomes as shown in FIGS. 13 and 14. The horizontal and vertical edge degree information thus obtained is subjected to shift processing by the shift means (6) as shown in FIGS. 15 and 16. In this case, since the image processing is performed for the upper left corner, the shift direction is to shift the horizontal edge degree information to the left and the vertical direction edge degree information to the upper side. The edge degree information of is shifted to the right and the edge degree information in the vertical direction is shifted to the lower side. After the shift, the edge degree in the horizontal direction and the edge degree in the vertical direction are overlapped (multiplied) for each pixel by the calculating means (7) as edge information, and among them, those having a predetermined value or more are detected by the corner candidate point extracting means (8). It is selected as a candidate point for the corner section as shown in Fig. 17. Such candidate points of the corner portion are performed for each of the four corners of the part by the same operation as described above, and among the candidate points thus extracted, the most appropriate four corners are the optimum corner point detecting means. Is selected by.

尚本実施例においては部品の4コーナを検出する点につ
いて述べたがこれは例えば2コーナあるいは3コーナを
検出することにより部品の位置を確認することも可能で
ある。
In the present embodiment, the point of detecting four corners of the part has been described, but it is also possible to confirm the position of the part by detecting two corners or three corners.

ト)発明の効果 以上述べた如く本発明コーナ検出装置は入力画像から複
数の方向に関する輝度情報差分を検出して各方向に関す
るエッジ情報を検出し、エッジ画像情報を得るエッジ検
出手段と、上記各方向に関するエッジ画像情報の夫々を
データシフト手段によりシフト処理した後、これらエッ
ジ画像情報の画像間積を求め、そのうち所定値以上のも
のを入力画像上のコーナ部の候補点として抽出するコー
ナ候補点抽出手段と、前記コーナ部の候補点情報と予め
登録されている入力画像の形状を示す情報とを比較して
前記コーナ部の候補点からコーナ点を抽出する抽出手段
と、を有しているので、入力画像情報中にノイズが混入
しても、コーナ部の候補点が正確に検知された上で最も
適切なコーナ点の組み合わせが抽出され、部品の位置検
出の正確化が図れる。
G) Effect of the Invention As described above, the corner detecting device of the present invention detects the edge information regarding each direction by detecting the luminance information differences regarding a plurality of directions from the input image, and the edge detecting means for obtaining edge image information, After each edge image information regarding the direction is shifted by the data shift means, an inter-image product of these edge image information is obtained, and a corner candidate point which is a predetermined value or more is extracted as a candidate point of the corner portion on the input image. It has an extracting means and an extracting means for comparing the candidate point information of the corner portion with the information indicating the shape of the input image registered in advance and extracting the corner point from the candidate point of the corner portion. Therefore, even if noise is mixed in the input image information, the most suitable corner point combination is extracted after the candidate points of the corner part are accurately detected, and the position of the part is detected. Can be made more accurate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明コーナ検出装置のブロック図、第2図乃
至第7図は画像処理のオペレータを示す状態模式図、第
8図は取り込み画像上にウインドを設けたときの状態
図、第9図乃至第17図は本発明装置による画像処理工程
の状態模式図、第18図はコーナ候補点の分布を示す状態
模式図、第19図は原画像に2値テンプレート画像を重ね
たときの状態模式図である。 (1)……画像取り込み部、(2)……画像メモリ、
(3)……エッジ抽出手段、(4)……最大値フイル
タ、(5)……細線化フイルタ、(6)……演算手段、
(8)……コーナ候補点抽出手段、(9)……最適コー
ナ点抽出手段。
FIG. 1 is a block diagram of the corner detecting device of the present invention, FIGS. 2 to 7 are schematic state diagrams showing an operator of image processing, FIG. 8 is a state diagram when a window is provided on a captured image, and FIG. Figures 17 to 17 are schematic diagrams of the state of the image processing process by the apparatus of the present invention, FIG. 18 is a schematic diagram showing the distribution of corner candidate points, and FIG. 19 is the state when the binary template image is superimposed on the original image. It is a schematic diagram. (1) …… Image capture unit, (2) …… Image memory,
(3) ... edge extraction means, (4) ... maximum value filter, (5) ... thinning filter, (6) ... computing means,
(8) ... Corner candidate point extracting means, (9) ... Optimal corner point extracting means.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】入力画像から複数の方向に関する輝度情報
差分を検出して各方向に関するエッジ情報を検出し、エ
ッジ画像情報を得るエッジ検出手段と、上記各方向に関
するエッジ画像情報の夫々をデータシフト手段によりシ
フト処理した後、これらエッジ画像情報の画像間積を求
め、そのうち所定値以上のものを入力画像上のコーナ部
の候補点として抽出するコーナ候補点抽出手段と、前記
コーナ部の候補点情報と予め登録されている入力画像の
形状を示す情報とを比較して前記コーナ部の候補点から
コーナ点を抽出する抽出手段と、からなるコーナ検出装
置。
1. An edge detection unit for detecting edge information about each direction by detecting brightness information differences about a plurality of directions from an input image, and a data shift for each of the edge image information about each direction. After the shift processing by the means, the inter-image product of these edge image information is obtained, and a corner candidate point extracting means for extracting a product having a predetermined value or more as a candidate point of the corner portion on the input image, and a candidate point of the corner portion. A corner detecting device, comprising: an extracting unit that compares information and information indicating a shape of an input image registered in advance to extract a corner point from a candidate point of the corner portion.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5319151A (en) * 1988-12-29 1994-06-07 Casio Computer Co., Ltd. Data processing apparatus outputting waveform data in a certain interval
US5584034A (en) * 1990-06-29 1996-12-10 Casio Computer Co., Ltd. Apparatus for executing respective portions of a process by main and sub CPUS
US5200564A (en) * 1990-06-29 1993-04-06 Casio Computer Co., Ltd. Digital information processing apparatus with multiple CPUs
US20050063608A1 (en) * 2003-09-24 2005-03-24 Ian Clarke System and method for creating a panorama image from a plurality of source images

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5214112B2 (en) * 1973-02-22 1977-04-19
US4163212A (en) * 1977-09-08 1979-07-31 Excellon Industries Pattern recognition system
JPS58223880A (en) * 1982-06-23 1983-12-26 Fujitsu Ltd Contour extracting system of object
JPS60241386A (en) * 1984-05-16 1985-11-30 Hitachi Ltd Profile extraction circuit of visual device

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JPS6415878A (en) 1989-01-19

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