JPH07119588B2 - Surface inspection device for magnetic disk - Google Patents
Surface inspection device for magnetic diskInfo
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- JPH07119588B2 JPH07119588B2 JP1110733A JP11073389A JPH07119588B2 JP H07119588 B2 JPH07119588 B2 JP H07119588B2 JP 1110733 A JP1110733 A JP 1110733A JP 11073389 A JP11073389 A JP 11073389A JP H07119588 B2 JPH07119588 B2 JP H07119588B2
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Description
【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、磁気ディスクの表面性状を連続的に監視検
査する装置に係り、レーザー光を用いて所要角度で照射
し、ディスク表面での反射が表面粗度に応じて変化する
のを受光素子で把握して記憶することにより、相対値あ
るいは絶対値比較にてディスク表面の部分的な欠陥を検
出し、耐久テスト等の磁気ヘッドが接触した状態で検査
できる磁気ディスクの表面性状検査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for continuously monitoring and inspecting the surface properties of a magnetic disk, which is irradiated with a laser beam at a required angle, and the reflection on the disk surface causes surface roughness. It is possible to detect partial defects on the disk surface by relative value or absolute value comparison and to inspect them while the magnetic head is in contact with the endurance test, etc. The present invention relates to a surface property inspection device for magnetic disks.
背景技術 磁気ディスクは、今日の高度に発達したコンピューター
の外部記憶装置として多用されており、小型化、大容量
化、高速化の要求から、薄膜磁気ヘッドが開発されて微
小間隔での浮上が不可欠となり、磁気ディスクのより一
層の高性能化、すなわち、ディスク表面の成膜状態の無
欠陥性、耐摩耗性の向上が求められている。BACKGROUND ART Magnetic disks are widely used as external storage devices for today's highly developed computers. Due to the demand for miniaturization, large capacity, and high speed, thin-film magnetic heads have been developed and it is essential to levitate at minute intervals. Therefore, it is required to further improve the performance of the magnetic disk, that is, to improve the defect-free state of the film formed on the disk surface and the abrasion resistance.
磁気ディスクの検査には、一般的な磁気特性の検査測定
のほか、摩耗試験として摺動テスト、CSS（Contact Sta
rt Stop）テストなどがあり、磁気ディスクの表面性状
を検査するには光学顕微鏡や電子顕微鏡写真が用いら
れ、また、CSSテスト後の磁気ヘッドの付着物を検査す
るのに、EPMA等を用いて分析されていた。In addition to general magnetic property inspection and measurement, magnetic disk inspections include wear tests such as sliding tests and CSS (Contact Sta
rt Stop) test, etc., optical microscope and electron micrographs are used to inspect the surface properties of magnetic disks, and EPMA etc. are used to inspect the magnetic head deposits after the CSS test. Had been analyzed.
例えば、CSSテスト後に磁気ディスクと磁気ヘッドの表
面の変化を検査するには、前記の電子顕微鏡写真、EPMA
分析による付着物の調査が行われるが、解析に多大の工
程と時間を要し、磁気ディスク表面の欠陥箇所の特定が
困難であり、また、これは所要回数の磁気ヘッドの摺動
を完了した後の状態しか把握できず、経時変化を連続的
に捉えることができない問題があった。For example, to inspect changes in the surface of the magnetic disk and magnetic head after the CSS test, use the electron micrograph, EPMA described above.
Although the deposits are investigated by analysis, the analysis requires a lot of steps and time, and it is difficult to identify the defective portion on the surface of the magnetic disk, and this completes the sliding of the magnetic head the required number of times. There is a problem that only the later state can be grasped and the change with time cannot be continuously grasped.
そこで、CSSテスト時に磁気ヘッドとディスクとの間の
摺動ノイズをAE（Acoustic Emission）センサーにて検
出し、磁気ディスクの表面性状の変化を把握する試みも
なされている。Therefore, it has been attempted to detect the sliding noise between the magnetic head and the disk during the CSS test with an AE (Acoustic Emission) sensor to grasp the change in the surface properties of the magnetic disk.
AEセンサーの併用は、CSSテストにおける磁気ヘッド材
質と磁気ディスク表面膜材質の違いやテスト回数による
摺動状態変化などを把握するのには好適であるが、経時
変化を連続的に、また磁気ディスク表面の欠陥箇所の状
態変化を把握するには不適である。The combined use of the AE sensor is suitable for grasping the difference between the magnetic head material and the magnetic disk surface film material in the CSS test, and the sliding state change due to the number of times of testing, etc. It is not suitable for grasping the state change of the defective portion on the surface.
一般に、磁気ディスクとスライダー表面間の摺動状態と
表面欠陥の状態変化は必ずしも一致しないことが知られ
ており、特に、従来の検査方法や装置では、表面性状検
査とCSSテストなどを同時に実施することができないた
め、検査時に総合的に判断できず、磁気ディスク表面の
欠陥状態変化を把握することが困難であり、さらには検
査時にリアルタイムに欠陥箇所の表示ができない問題が
あった。Generally, it is known that the sliding state between the magnetic disk and the slider surface and the state change of the surface defect do not always match. Especially, in the conventional inspection method and device, the surface property inspection and CSS test are performed at the same time. Since it is not possible to make a comprehensive judgment at the time of the inspection, it is difficult to grasp the change in the defect state on the surface of the magnetic disk, and there is a problem that the defective portion cannot be displayed in real time at the time of the inspection.
発明の目的 この発明は、磁気ディスクの表面性状検査において、CS
Sテストまたは表面摩擦力測定テストの磁気ヘッドが接
触している際に、同時に表面性状検査を実施でき、例え
ば、磁気ディスク表面の所要トラックの所定箇所の摩耗
試験結果、摩擦力の測定結果、表面性状を同時に総合的
に連続的に評価でき、表面欠陥箇所の特定が容易にでき
る磁気ディスクの表面性状検査装置の提供を目的として
いる。The object of the present invention is to provide a CS
When the magnetic head of the S test or surface friction force measurement test is in contact, the surface texture can be inspected at the same time.For example, the abrasion test result of a predetermined portion of the required track on the magnetic disk surface, the friction force measurement result, the surface It is an object of the present invention to provide a magnetic disk surface texture inspection apparatus capable of simultaneously and comprehensively evaluating the texture comprehensively and easily identifying a surface defect portion.
発明の概要 この発明は、 磁気ヘッドスライダーを備えたCSSテスト装置あるいは
表面の摩擦力を測定する摩擦力測定テスト装置からなる
磁気ディスク回転駆動において、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定装
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ヘッドスライダーにAEセンサーを付設して磁気ディスク
上の各位置でのCSSテスト時のAEセンサーのノイズ値、
あるいは磁気ディスク上の各位置での摩擦力値と、上記
のレーザー光の乱反射状態値とを比較して異常値を検出
し、かつその位置を表示するための比較演算手段を有す
ることを特徴とする磁気ディスクの表面性状検査装置で
ある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a magnetic disk rotary drive comprising a CSS test apparatus equipped with a magnetic head slider or a friction force measurement test apparatus for measuring the friction force on the surface, and a track on the surface of the magnetic disk with which the magnetic head slider is in contact. A laser device for emitting a laser beam at a predetermined incident angle on the surface at a predetermined position, and one or more light receiving elements arranged above the disk surface for sensing the diffused reflection state of the laser beam of the predetermined device. , The storage means for storing the diffused reflection state of the laser light at each position, and the position detection means for identifying the position on the magnetic disk by the track position and the rotation angle in the radial direction of the magnetic disk are provided. Abnormal by comparing the value with the previously stored surface condition value, the average value of the surface condition values of multiple times until the last time, or the set value Value, deviation value is detected, and the AE sensor is attached to the magnetic head slider, and the noise value of the AE sensor during CSS test at each position on the magnetic disk,
Alternatively, it has a comparison calculation means for comparing the frictional force value at each position on the magnetic disk with the irregular reflection state value of the laser light to detect an abnormal value and displaying the position. This is an apparatus for inspecting the surface property of a magnetic disk.
発明の構成 この発明は、磁気ヘッドスライダーが当接したトラック
上の磁気ディスク面に、レーザー光を入射角５〜30゜の
角度で、該トラック上の測定点に照射すると、測定点の
表面粗度に応じて反射方向が変化し乱反射が起こるの
を、前記測定点直上近傍に配置された１個以上のフォト
セルなどの受光素子により、各受光素子に入射する反射
光量の変化として捉え、反射光量の変化より、磁気ディ
スク表面粗度の変化の割合を検出したり、あるいは急激
な反射光量の変化より、薄膜の剥離や脱落などの部分的
な欠陥の検出を行う装置において、磁気ヘッドが接触し
た状態で、磁気ディスクの表面性状を連続的に監視検査
できることを特徴とし、例えば、各測定点での受光素子
に入射する反射光量の変化と、CSSテスト時のAEセンサ
ーのノイズ値、あるいは摩擦力測定値と比較検討して、
磁気ディスクの表面性状を総合的にかつ相対的に判断で
きる検査装置である。Structure of the Invention According to the present invention, when a laser beam is applied to a magnetic disk surface on a track with which a magnetic head slider abuts at a measurement point on the track at an angle of incidence of 5 to 30 °, the surface roughness of the measurement point is reduced. The fact that the reflection direction changes depending on the degree and irregular reflection occurs is recognized as a change in the amount of reflected light incident on each light receiving element by one or more light receiving elements such as photocells arranged immediately above the measurement point. In a device that detects the rate of change in the surface roughness of the magnetic disk based on the change in the amount of light, or detects partial defects such as peeling or falling off of the thin film from the sudden change in the amount of reflected light, the magnetic head contacts In this state, the surface properties of the magnetic disk can be continuously monitored and inspected.For example, changes in the amount of reflected light incident on the light receiving element at each measurement point and noise from the AE sensor during CSS testing Or comparison consider the frictional force measurements,
It is an inspection device that can comprehensively and relatively judge the surface properties of a magnetic disk.
この発明において、レーザー装置は、磁気ヘッドスライ
ダーが接触している磁気ディスク表面のトラック上の測
定位置表面に、所定入射角度となるようにレーザー光を
発射できる構成が必要であり、例えば、レーザーの照射
部が所定角度傾斜して、レーザー装置が磁気ヘッドスラ
イダーと同期してスライダーの他方のレール面と接触す
るディスク摺動面上へ移動する構成、他方の摺動面上へ
同時に照射できるよう複数の照射部と受光素子を有する
構成など、種々の構成が利用できる。In the present invention, the laser device is required to have a configuration capable of emitting a laser beam at a predetermined incident angle on the measurement position surface on the track of the surface of the magnetic disk with which the magnetic head slider is in contact. The irradiation unit is tilted by a predetermined angle so that the laser device moves to the disk sliding surface in contact with the other rail surface of the slider in synchronization with the magnetic head slider. Various configurations can be used, such as a configuration having an irradiation unit and a light receiving element.
この発明において、受光素子は、測定位置のレーザー光
の乱反射状態を感知するものであり、測定位置の上方に
１個以上の受光素子を配置し、レーザー装置の移動に伴
い所要のトラックの測定点へ移動できるよう構成するの
もよい。In the present invention, the light receiving element senses the diffused reflection state of the laser light at the measurement position, one or more light receiving elements are arranged above the measurement position, and the measurement point of the required track is moved along with the movement of the laser device. It may be configured so that it can be moved to.
受光素子の配置は、測定位置のレーザー光の乱反射状態
が各受光素子に入射する反射光量の変化として定量的に
捕捉できる必要があり、レーザー装置のレーザー種や強
度、照射角度に応じて適宜する必要がある。The arrangement of the light receiving elements must be able to quantitatively capture the diffused reflection state of the laser light at the measurement position as a change in the amount of reflected light incident on each light receiving element. There is a need.
また、この発明において、各測定位置のレーザー光の乱
反射状態を記憶する記憶手段は、所要位置に配置された
ｎ個の受光素子（x1〜xn）のどの位置の素子に入射した
かを記憶するほか、このアナログデータをデジタル変換
して、ｎ個の受光素子のレーザー光の入射の有無及びそ
の強度を数値化して記憶するとよく、コンピューターの
内部メモリーあるいは外部記憶装置に記憶、蓄積すれば
よい。Further, in the present invention, the storage means for storing the diffused reflection state of the laser light at each measurement position indicates which element of the n light receiving elements (x 1 to x n ) arranged at the required position is incident. In addition to storage, this analog data may be converted into digital data and the presence or absence of laser light incident on the n light receiving elements and its intensity may be quantified and stored. If stored and stored in an internal memory of a computer or an external storage device. Good.
また、各測定位置の位置検出手段は、例えば、現在、磁
気ヘッドスライダーが接触している半径方向のトラック
位置の検出と、予め磁気ディスクの１回転を所要角度で
分割し、公知の回転角度検出器でその一定角度を検知し
カウントすることにより、トラック位置と回転角度で磁
気ディスク上の位置を特定でき、この信号をレーザー光
の乱反射状態の記憶に際して各測定位置の位置信号とし
て記憶手段に記憶させる。Further, the position detecting means of each measurement position detects, for example, a track position in the radial direction at which the magnetic head slider is currently in contact and one rotation of the magnetic disk is divided in advance by a required angle to detect a known rotation angle. By detecting and counting the fixed angle with a detector, the position on the magnetic disk can be specified by the track position and the rotation angle, and this signal is stored in the storage means as the position signal of each measurement position when storing the irregular reflection state of the laser light. Let
前記の磁気ディスクの回転角度検出器は、例えば、CSS
テストのための磁気ディスクの回転駆動制御装置、磁気
ヘッドフライダーの制御装置等と組み合せて、同一の制
御系内に取り入れることもできる。The magnetic disk rotation angle detector is, for example, CSS.
It can be incorporated into the same control system in combination with a magnetic disk rotation drive control device for control, a magnetic head flyer control device, and the like.
さらに、この発明において、比較演算手段は、今回記憶
された１測定位置あるいはあるトラック全周の乱反射状
態値を、記憶している前回記憶された当該状態値、ある
いは予め演算した前回までの複数回数の平均値または設
定した所要値と比較し、異常値あるいは偏差値として検
出し、記憶した各測定位置の位置信号とともに表示する
機能を有する。Further, in the present invention, the comparison calculation means stores the previously stored diffused reflection state value of one measurement position or the entire circumference of a certain track, the state value stored previously, or a plurality of times up to the previous time calculated in advance. It has a function of comparing with the average value of or the set required value, detecting it as an abnormal value or a deviation value, and displaying it together with the stored position signal of each measurement position.
図面に基づく発明の開示 第１図a,b図は磁気ディスクと磁気ヘッドスライダー及
びレーザー装置を示す上面説明図と磁気ディスクの縦断
説明図である。Disclosure of the Invention Based on the Drawings FIG. 1A and FIG. 1B are an explanatory top view showing a magnetic disk, a magnetic head slider, and a laser device, and a longitudinal explanatory view of the magnetic disk.
第２図はCSSテスト装置からなる磁気ディスク回転駆動
制御装置を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a magnetic disk rotation drive control device comprising a CSS test device.
第３図はこの発明の受光素子、記憶手段、比較演算手段
を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram showing the light receiving element, storage means, and comparison calculation means of the present invention.
ここでは、CSSテスト装置にAEセンサーを設けた磁気デ
ィスクの回転駆動制御装置に、レーザー装置を組合わせ
た磁気ディスクの表面性状検査装置の例を説明する。Here, an example of a magnetic disk surface texture inspection device in which a laser device is combined with a magnetic disk rotation drive control device provided with an AE sensor in a CSS test device will be described.
構成 磁気ディスク（１）はディスク駆動装置（２）にクラン
プされて回転駆動され、磁気ディスク（１）面にはスラ
イダー駆動制御装置（４）にディスク半径方向の移動を
制御された磁気ヘッドスライダー（３）が接触してい
る。Structure The magnetic disk (1) is clamped by a disk drive device (2) and is rotationally driven, and a slider drive control device (4) controls the magnetic head slider (4) on the surface of the magnetic disk (1) to move in the disk radial direction. 3) is in contact.
さらに、磁気ヘッドスライダー（３）にはAEセンサー
（５）が接続され、検知したスライダーとディスク間の
ノイズは、アンプ（６）で増幅されて記録装置（７）に
入力される。Further, an AE sensor (5) is connected to the magnetic head slider (3), and the detected noise between the slider and the disk is amplified by an amplifier (6) and input to a recording device (7).
また、ディスク駆動装置（２）には、CSSテストが実施
できるよう回転駆動を制御するCSS制御装置（８）が接
続され、付設する回転角度検出器（９）にて磁気ディス
ク（１）の回転角度が監視される。Further, the disk drive device (2) is connected to a CSS control device (8) that controls the rotation drive so that a CSS test can be performed, and the rotation angle detector (9) attached to the disk drive device (2) rotates the magnetic disk (1). The angle is monitored.
レーザー装置（10）は、測定位置表面にレーザー光が所
定入射角度となるようにレーザー照射部が所定角度傾斜
しており、装置全体が磁気ヘッドスライダー（３）と同
期して同一トラック上へ移動させるのもよい。In the laser device (10), the laser irradiation part is tilted by a predetermined angle so that the laser light has a predetermined incident angle on the measurement position surface, and the entire device moves on the same track in synchronization with the magnetic head slider (3). You can let me do it.
測定位置のレーザー光の乱反射状態を感知するため、レ
ーザー装置（10）からの支持アーム（図示せず）に、ｎ
個の受光素子（111〜11n）が所要位置に配置されてい
る。In order to detect the irregular reflection state of the laser light at the measurement position, a laser beam (10) is attached to a support arm (not shown) from the laser device (10).
The individual light receiving elements (11 1 to 11 n ) are arranged at required positions.
作用 第１図a,b図に示す如く、磁気ディスク（１）上の磁気
ヘッドスライダー（３）が接触しているトラック上の測
定位置表面に、所定入射角度で照射されたレーザー光
は、表面粗度に応じて乱反射を起こし、反射光が複数の
受光素子（111〜11n）に入射する。Action As shown in FIGS. 1a and 1b, the laser beam irradiated at the predetermined incident angle on the surface of the measurement position on the track where the magnetic head slider (3) on the magnetic disk (1) is in contact Diffuse reflection occurs depending on the roughness, and the reflected light enters a plurality of light receiving elements (11 1 to 11 n ).
第３図において、受光素子（111〜11n）での光感知の度
合いに応じた信号は、アンプ（12）で増幅されてA/D変
換器（13）でデジタル信号に変換され、記憶装置（14）
に最新の測定値として記憶され、同時にスライダー駆動
制御装置（４）と回転角度検出器（９）からの位置信号
も合わせて記憶される。In FIG. 3, a signal corresponding to the degree of light sensing by the light receiving elements (11 1 to 11 n ) is amplified by the amplifier (12), converted into a digital signal by the A / D converter (13), and stored. Equipment (14)
Is stored as the latest measured value, and at the same time, the position signals from the slider drive control device (4) and the rotation angle detector (9) are also stored together.
この測定を繰り返して、トラック全周の乱反射状態値を
記憶する。By repeating this measurement, the irregular reflection state value of the entire circumference of the track is stored.
記憶装置（14）内の測定データは、比較演算装置（15）
にて、最新の記憶された１測定位置あるいはあるトラッ
ク全周の乱反射状態値として、前回記憶された当該状態
値、あるいは予め演算した前回までの複数回数の乱反射
状態値の平均値、または別途設定した所望値と比較し、
異常値あるいは偏差値として検出し、記憶した各測定位
置の位置信号とともに表示装置（16）に出力する。The measurement data in the storage device (14) is compared with the comparison calculation device (15).
Is the latest stored one measurement position or the diffused reflection state value of the entire circumference of a certain track, the state value previously stored, or the average value of the diffused reflection state values calculated a plurality of times up to the previous time, or set separately. Compared with the desired value
It is detected as an abnormal value or a deviation value, and is output to the display device (16) together with the stored position signal of each measurement position.
また、比較演算装置（15）で、AEセンサー（５）の記録
装置（７）からのAEセンサーデータや、別途入力された
CSSテストデータと比較対照して測定位置の位置信号と
ともに表示装置（16）に出力する。In addition, in the comparison calculation device (15), the AE sensor data from the recording device (7) of the AE sensor (5) or separately input
The result is compared with the CSS test data and output to the display device (16) together with the position signal of the measurement position.
実 施 例 材質Al2O3−TiC系、IBM3380（商品名）タイプの磁気ヘ
ッドスライダー備えた磁気ディスクCSSテスト装置にお
いて、125prmにて回転する材質Al、寸法5 1/4インチの
磁気ディスク表面に、前記スライダーをばね荷重9.5gに
て接触させた前記ディスクのトラック上の所定測定位置
に、入射角度15゜、He−Neレーザー光を発射し、前記測
定位置のレーザー光の乱反射状態を、測定位置の磁気デ
ィスク表面直上に配置された１個のフォトセルにより受
光し、乱反射状態を関知した。Example material Material Al 2 O 3 -TiC system, magnetic disk CSS tester equipped with IBM3380 (trade name) type magnetic head slider. Material Al that rotates at 125prm, magnetic disk surface of size 5 1/4 inch , He-Ne laser light is emitted at an incident angle of 15 ° to a predetermined measurement position on the track of the disk which is brought into contact with the slider with a spring load of 9.5 g, and the diffused reflection state of the laser light at the measurement position is measured. The light was received by one photocell placed directly above the surface of the magnetic disk at the position, and the diffuse reflection state was detected.
光感知の度合いに応じたフォトセルの信号は、アンプと
A/D変換器を介して記憶装置に最新の測定値として記憶
した。The photocell signal, which depends on the degree of light
The latest measured value was stored in the storage device via the A / D converter.
同時に、磁気ディスクの１回転を分割角度0.35゜で1024
に分割した時の位置を検出する回転角度検出器とスライ
ダー駆動制御装置からの位置信号を合わせて記憶した。At the same time, one rotation of the magnetic disk is divided into 1024 with a division angle of 0.35 °.
The rotation angle detector for detecting the position when divided into and the position signal from the slider drive control device are stored together.
前記測定を繰り返して、トラック全周の乱反射状態値を
記憶した。The above measurement was repeated to store the diffused reflection state value of the entire circumference of the track.
記憶装置内の測定データは、比較演算装置にて、最新の
記憶された１測定位置とトラック全周の乱反射状態値と
して、前回記憶された当該状態値、前回までに記憶され
て演算された乱反射状態平均値と比較し、異常値あるい
は偏差値として検出し、記憶した各測定位置の位置信号
とともに表示装置に出力した。The measurement data in the storage device is stored in the comparison operation device as the latest stored one measurement position and the diffused reflection state value of the entire circumference of the track, the state value previously stored, and the diffused reflection stored and calculated up to the previous time. By comparing with the state average value, it was detected as an abnormal value or a deviation value, and output to the display device together with the stored position signal of each measurement position.
その結果、磁気ディスク表面の所要トラックの所定箇所
の摩耗試験において、同時に表面性状を総合的に連続的
に評価でき、摩耗試験後の薄膜の剥離や脱落のなどの部
分的な表面欠陥箇所の特定ができた。As a result, in a wear test of a predetermined part of a required track on the magnetic disk surface, the surface texture can be comprehensively and continuously evaluated at the same time, and a partial surface defect part such as peeling or falling of the thin film after the wear test can be identified. I was able to.
第１図a,b図は磁気ディスクと磁気ヘッドスライダー及
びレーザー装置を示す上面説明図と磁気ディスクの縦断
説明図である。 第２図はCSSテスト装置からなる磁気ディスク回転駆動
制御装置を示すブロック図である。 第３図はこの発明の受光素子、記憶手段、比較演算手段
を示すブロック図である。 １……磁気ディスク、２……ディスク駆動装置、３……
磁気ヘッドスライダー、４……スライダー駆動制御装
置、５……AEセンサー、６……アンプ、７……記録装
置、８……CSS制御装置、９……回転角度検出器、10…
…レーザー装置、11……受光素子、12……アンプ、13…
…A/D変換器、14……記憶装置、15……比較演算装置、1
6……表示装置。FIGS. 1a and 1b are an explanatory top view showing a magnetic disk, a magnetic head slider and a laser device, and a longitudinal sectional view of the magnetic disk. FIG. 2 is a block diagram showing a magnetic disk rotation drive control device comprising a CSS test device. FIG. 3 is a block diagram showing the light receiving element, storage means, and comparison calculation means of the present invention. 1 ... Magnetic disk, 2 ... Disk drive device, 3 ...
Magnetic head slider, 4 ... Slider drive control device, 5 ... AE sensor, 6 ... Amplifier, 7 ... Recording device, 8 ... CSS control device, 9 ... Rotation angle detector, 10 ...
… Laser device, 11 …… Light receiving element, 12 …… Amplifier, 13…
… A / D converter, 14 …… Storage device, 15 …… Comparison device, 1
6 ... Display device.
Claims (2)
装置からなる磁気ディスク回転駆動装置において、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定位
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ヘッドスライダーにAEセンサーを付設して磁気ディスク
上の各位置でのCSSテスト時のAEセンサーのノイズ値
と、上記のレーザー光の乱反射状態値とを比較して異常
値を検出し、かつその位置を表示するための比較演算手
段を有することを特徴とする磁気ディスクの表面性状検
査装置。1. A magnetic disk rotation drive device comprising a CSS test device equipped with a magnetic head slider, wherein a required incident angle is set on a surface of a predetermined position on a track of the surface of the magnetic disk with which the magnetic head slider is in contact. A laser device for emitting a laser beam, one or more light receiving elements arranged above the surface of the disk for sensing the irregular reflection state of the laser beam at the predetermined position, and a storage means for storing the irregular reflection state of the laser beam at each position. And a position detecting means for identifying the position on the magnetic disk by the track position in the radial direction of the magnetic disk and the rotation angle, and the irregular reflection state value stored this time is stored in the previously stored surface state value Detects abnormal values and deviation values by comparing the average value or set value of the surface condition value of the number of times, and also the AE sensor on the magnetic head slider For detecting abnormal values by comparing the noise value of the AE sensor at the time of CSS test at each position on the magnetic disk with the above diffused reflection state value of the laser light and displaying that position An apparatus for inspecting a surface property of a magnetic disk, characterized by having a comparison calculation means.
テスト装置からなる磁気ディスク回転駆動装置におい
て、 磁気ヘッドスライダーが接触している磁気ディスク表面
のトラック上の所定位置表面に、所要入射角度となるよ
うにレーザー光を発射するレーザー装置と、前記所定位
置のレーザー光の乱反射状態を感知するためディスク表
面上方に配置された１個以上の受光素子と、各位置のレ
ーザー光の乱反射状態を記憶する記憶手段と、磁気ディ
スク半径方向のトラック位置と回転角度とで磁気ディス
ク上の位置を特定する位置検出手段とを具備し、 今回記憶された乱反射状態値を前回記憶された表面状態
値、前回までの複数回数の表面状態値の平均値あるいは
設定値と比較して異常値、偏差値を検出し、また、磁気
ディスク上の各位置での摩擦力値と、上記のレーザー光
の乱反射状態値とを比較して異常値を検出し、かつその
位置を表示するための比較演算手段を有することを特徴
とする磁気ディスクの表面性状検査装置。2. A magnetic disk rotation driving device comprising a frictional force measurement test device equipped with a magnetic head slider, wherein a required incident angle is obtained on a surface of a predetermined position on a track of the surface of the magnetic disk with which the magnetic head slider is in contact. As described above, a laser device for emitting a laser beam, one or more light receiving elements arranged above the disk surface for sensing the irregular reflection state of the laser beam at the predetermined position, and the irregular reflection state of the laser beam at each position are stored. It is equipped with a storage means and a position detection means for identifying the position on the magnetic disk by the track position and the rotation angle in the radial direction of the magnetic disk, and the diffuse reflection state value stored this time is stored in the previously stored surface state value until the last time. Abnormalities and deviations are detected by comparing the average value or set value of the surface state value of multiple times of each, and each position on the magnetic disk Of the surface property of a magnetic disk, which has a comparison calculation means for comparing the frictional force value of the laser beam with the value of the irregular reflection state of the laser light to detect an abnormal value and displaying the position thereof. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110733A JPH07119588B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Surface inspection device for magnetic disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1110733A JPH07119588B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Surface inspection device for magnetic disk |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287205A JPH02287205A (en) | 1990-11-27 |
| JPH07119588B2 true JPH07119588B2 (en) | 1995-12-20 |
Family
ID=14543135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1110733A Expired - Lifetime JPH07119588B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Surface inspection device for magnetic disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07119588B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008514935A (en) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | Method and display device for outputting measured values |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5002611B2 (en) * | 2009-03-26 | 2012-08-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Method for detecting surface defects of patterned media |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6138408A (en) * | 1984-07-30 | 1986-02-24 | Toshiba Corp | Warning device for detecting state of surface |
| JPH0659249B2 (en) * | 1985-08-23 | 1994-08-10 | カシオ計算機株式会社 | Synthetic resin watch band |
| JPS62132282A (en) * | 1985-12-03 | 1987-06-15 | Fujitsu Ltd | Floating test method for floating type magnetic head |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP1110733A patent/JPH07119588B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008514935A (en) * | 2004-09-30 | 2008-05-08 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | Method and display device for outputting measured values |
| JP4856647B2 (en) * | 2004-09-30 | 2012-01-18 | インモビリーエンゲゼルシャフト・ヘルムート・フィッシャー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニイ・カーゲー | Method and display device for outputting measured values |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02287205A (en) | 1990-11-27 |
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