JPH0711430B2 - Encoder device - Google Patents

Encoder device

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JPH0711430B2
JPH0711430B2 JP60201617A JP20161785A JPH0711430B2 JP H0711430 B2 JPH0711430 B2 JP H0711430B2 JP 60201617 A JP60201617 A JP 60201617A JP 20161785 A JP20161785 A JP 20161785A JP H0711430 B2 JPH0711430 B2 JP H0711430B2
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magnetization
pattern
tracks
encoder device
respect
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博一 後藤
正和 久原
秀人 佐野
久範 林
毅 大里
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Canon Electronics Inc
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はエンコーダ装置、特に磁気抵抗効果素子(以下
MR素子という)を用いたエンコーダ装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an encoder device, particularly a magnetoresistive effect element (hereinafter
MR device) is used for the encoder device.

[従来の技術] 最近のプリンタ或いは磁気ディスク装置などのオフィス
用機器の普及は目ざましく、これに伴い回転制御、位置
検出などに用いられるロータリーエンコーダ装置の需要
が急増している。現在ロータリーエンコーダ装置は光学
式がほとんどを占めているが、分解能の向上、応答速度
の向上、ゴミや結露に対する信頼性向上、或いは低価格
化のために磁気式ロータリーエンコーダが増えつつあ
る。
[Prior Art] The spread of office equipment such as a printer or a magnetic disk device has been remarkable recently, and accordingly, the demand for a rotary encoder device used for rotation control, position detection and the like is rapidly increasing. Currently, most rotary encoder devices are optical encoders, but magnetic rotary encoders are increasing in order to improve resolution, response speed, reliability against dust and dew condensation, or cost reduction.

特に被検出体が停止している際、被検出体の絶対的な位
置を複数ビットのアドレスとして直接検出できる、いわ
ゆるアブソリュートタイプのエンコーダは製造が困難で
あるとされていたが、最近では第4図に示すようなロー
タリーエンコーダが提案されている。
In particular, it has been said that it is difficult to manufacture a so-called absolute type encoder that can directly detect the absolute position of the detected object as a multi-bit address when the detected object is stopped. A rotary encoder as shown is proposed.

第4図において符号1は回転制御をうけるモータで、こ
のモータ1の軸には円周面が磁性体で形成された磁気ド
ラム2が直結されている。磁気ドラム2に設けられた複
数のトラック3は磁化領域と、消去領域により所定のグ
レーコードのパターンを成しており、このパターンをド
ラム2に沿って配置されたMRセンサ4により検出し、こ
れにより得た電気信号によってモータ1の回転を検出す
る。
In FIG. 4, reference numeral 1 is a motor whose rotation is controlled, and a shaft of the motor 1 is directly connected to a magnetic drum 2 having a circumferential surface formed of a magnetic material. A plurality of tracks 3 provided on the magnetic drum 2 form a predetermined gray code pattern by a magnetized area and an erased area. This pattern is detected by an MR sensor 4 arranged along the drum 2, The rotation of the motor 1 is detected by the electric signal obtained by.

第5図(A)は第4図の磁気ドラム2に記録する4ビッ
トのグレーコードの一例を示しており、このグレーコー
ドを磁気ドラム2に記録すると、磁気ドラム2の表面の
展開図は第5図(B)のようになる。第5図(B)にお
ける斜線部分は或る周波数で繰り返し反転磁化されたパ
ターンが記録されている領域で、白地部分は未着磁(或
いは消去)状態の領域である。
FIG. 5 (A) shows an example of a 4-bit gray code recorded on the magnetic drum 2 of FIG. 4, and when this gray code is recorded on the magnetic drum 2, a developed view of the surface of the magnetic drum 2 shows It becomes like FIG. 5 (B). The shaded area in FIG. 5 (B) is an area in which a pattern repeatedly magnetized at a certain frequency is recorded, and the white background area is an unmagnetized (or erased) area.

一方、MRセンサ4の基板に設けられるMR素子5は、前記
の磁化パターンのピッチPの(n=整数)のピッチpで
折り返されたn本のMR素子から構成されている。第6図
のようなMR素子を第4図のトラック3にそれぞれ約0.1m
mのクリアランスを介して配置する。
On the other hand, the MR element 5 provided on the substrate of the MR sensor 4 is composed of n MR elements folded at a pitch p (n = an integer) of the pitch P of the magnetization pattern. MR elements such as those shown in Fig. 6 are each installed in track 3 of Fig. 4 by about 0.1 m.
Place through a clearance of m.

第6図のMR素子は複数条のMR素子をFe−Ni,Ni−Coなど
の磁気抵抗効果を有する合金と0.03μm〜0.1μmの厚
みに真空蒸着やスパッタなどのいわゆる薄膜形成法によ
り堆積させ、しかるのちにエッチングを行なって一体形
成したのものである。このパターンの形成時に各素子の
長手方向に一軸異方性を有するように薄膜形成及びエッ
チングを行なう。
The MR element shown in FIG. 6 is obtained by depositing a multi-row MR element with an alloy having a magnetoresistive effect such as Fe-Ni, Ni-Co to a thickness of 0.03 μm to 0.1 μm by a so-called thin film forming method such as vacuum deposition or sputtering. After that, it is integrally formed by etching. When forming this pattern, thin film formation and etching are performed so that each element has uniaxial anisotropy in the longitudinal direction.

以上のように構成されたMRセンサにより磁気ドラム2の
各トラックの磁界を検出すると、第7図に示すような検
出波形が得られる。第7図において符号71〜74は第6図
のMR素子5の各条がそれぞれ出力する波形で、これらの
合成出力は磁化領域において符号76のようになる。
When the magnetic field of each track of the magnetic drum 2 is detected by the MR sensor configured as described above, a detection waveform as shown in FIG. 7 is obtained. In FIG. 7, reference numerals 71 to 74 are waveforms output by the strips of the MR element 5 in FIG. 6, respectively.

この出力信号をコンパレータなどを用いた波形処理回路
を通して整形すれば、トラック3の磁化領域のどの部分
においてもONの出力、未着磁領域においてはOFFの出力
を得ることができ、それぞれのトラックの検出信号のO
N,OFFの組み合わせにより、グレーコードに対応した絶
対番地の検出が可能になる、磁化領域における磁化ピッ
チ、またMR素子のMRセンサのパターンの本数はモータ1
の回転数、必要とされる分解能、或いは磁化ドラムとMR
センサの距離などにより最適な値を定めることができ
る。
If this output signal is shaped through a waveform processing circuit using a comparator or the like, an ON output can be obtained in any part of the magnetized area of the track 3 and an OFF output can be obtained in the non-magnetized area. O of detection signal
The combination of N and OFF makes it possible to detect the absolute address corresponding to the gray code. The magnetizing pitch in the magnetizing area and the number of MR sensor patterns of the MR element are the motor 1
Rotation speed, required resolution, or magnetizing drum and MR
The optimum value can be determined by the distance of the sensor.

[発明が解決しようとする問題点] ところが、上述の従来例においては、第8図(A)に示
すように磁化領域7と未着磁領域8が設けられている。
従ってこれらの領域の境界において、磁化領域端部の磁
束の分布が符号11で示すように連続して磁化された部分
の磁束の分布10よりも大きく広がっている。従って第8
図(A)のトラック図の左から右に走査した場合、検出
波形は第8図(B)のようになる。この波形をコンパレ
ータなどを用いて所定のしきい値とそのtVとを比較する
ことにより波形整形を行なうと、第8図(C)に示すよ
うな検出出力が得られる。すなわち第8図に見るように
実際にMRセンサの前を境界9が通過する時点に対して検
出信号にΔTの検出誤差が生じている。この誤差は磁気
ドラムの回転方向が逆でも同様に生じる。従って、従来
構成では良好な検出精度を得るのが困難である。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-described conventional example, the magnetized region 7 and the non-magnetized region 8 are provided as shown in FIG. 8 (A).
Therefore, at the boundary between these regions, the distribution of the magnetic flux at the end of the magnetized region is wider than the distribution 10 of the magnetic flux at the continuously magnetized part as indicated by reference numeral 11. Therefore, the eighth
When scanning is performed from left to right in the track diagram of FIG. 8A, the detected waveform is as shown in FIG. 8B. When the waveform is shaped by comparing this waveform with a predetermined threshold value and its t V using a comparator or the like, a detection output as shown in FIG. 8C is obtained. That is, as shown in FIG. 8, there is a detection error of ΔT in the detection signal at the time when the boundary 9 actually passes in front of the MR sensor. This error also occurs when the rotating direction of the magnetic drum is reversed. Therefore, it is difficult to obtain good detection accuracy with the conventional configuration.

また第5図(B)に示すように、グレーコードを形成す
るためには隣接するトラックに未着磁領域と磁化領域を
並べなければならない場合もあり、このときの磁界の干
渉を避けるため各トラックの間隔を一定以上開けねばな
らず、磁気ドラムの小型化は困難であった。
Further, as shown in FIG. 5 (B), in order to form a gray code, it is sometimes necessary to arrange an unmagnetized region and a magnetized region in adjacent tracks, and in order to avoid interference of magnetic fields at this time, It was difficult to reduce the size of the magnetic drum because the tracks had to be separated by a certain distance.

[問題点を解決するための手段] 以上の問題を解決するため、本発明においては、磁気抵
抗効果素子を含む検出手段と、被検出体よりなるエンコ
ーダ装置であって、前記被検出体が、第1の磁化パター
ンと、該第1の磁化パターンとは磁化方向が異なる第2
の磁化パターンとを、前記検出手段と前記被検出体との
相対的な移動方向について配列してなるトラックを有
し、前記第2の磁化パターンの磁化方向を前記相対的な
移動方向に対し所定の角度傾斜させた構成を採用した。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, in the present invention, there is provided an encoder device including a detection unit including a magnetoresistive effect element and a detection target, wherein the detection target is: A first magnetization pattern and a second magnetization pattern having a magnetization direction different from that of the first magnetization pattern;
Of the second magnetization pattern is arranged in a predetermined direction with respect to the relative movement direction. We adopted a configuration with a tilted angle.

[作用] 以上のような構成によれば、第2の磁化パターンにより
検出手段に対し位相のずれた磁界の変化が印加されるの
で、この領域では、検出手段の出力が0となり、また、
第1、第2の磁化パターンの境界部では第1の磁化パタ
ーンより発生される磁束の広がりが小さくなり、立ち上
がり(下がり)の鋭い検出信号を得ることができる。
[Operation] According to the configuration as described above, the change of the magnetic field with a phase shift is applied to the detecting means by the second magnetization pattern, so that the output of the detecting means becomes 0 in this region, and
At the boundary between the first and second magnetization patterns, the spread of the magnetic flux generated by the first magnetization pattern becomes small, and a detection signal with a sharp rise (fall) can be obtained.

[実施例] 以下図面に示す実施例に基づき本発明を詳細に説明す
る。
[Examples] The present invention will be described in detail below based on examples shown in the drawings.

本発明によるエンコーダ装置の構成は、第4図に示した
従来例とほぼ同様の磁気ドラム2及びMRセンサ4から成
るものとする。但しトラック3には第1図(A),
(B)に示すような方法で磁化パターンを形成する。
It is assumed that the encoder device according to the present invention comprises a magnetic drum 2 and an MR sensor 4 which are almost the same as those of the conventional example shown in FIG. However, as shown in FIG.
A magnetization pattern is formed by the method shown in FIG.

第1図(A)は磁気ドラム2の2本のトラック3を示し
ている。まずトラック3に対して角度θのアジマス角度
をもって図示するような傾斜した磁化パターンを磁気ド
ラム2の全周にわたって形成する。傾斜角度θは次の式
により決定する。
FIG. 1A shows two tracks 3 of the magnetic drum 2. First, an inclined magnetization pattern as shown in the figure is formed over the entire circumference of the magnetic drum 2 with an azimuth angle of θ with respect to the track 3. The tilt angle θ is determined by the following formula.

ここでwはトラック3の幅、nはMR素子の条数、pはMR
素子のピッチである。このような磁化パターンの形成さ
れた領域をここではアジマス領域(13)と呼ぶ。
Here, w is the width of the track 3, n is the number of MR elements, and p is MR.
The element pitch. The region in which such a magnetization pattern is formed is called an azimuth region (13) here.

しかるのちに、各トラック上にアジマス領域13に重ねて
第1図(B)に示すように従来例の磁化領域7と同様の
所定のグレーコードに対応した磁化領域を形成する。こ
の磁化領域は従来の磁化領域7と区別するため、以下で
は信号領域14と呼ぶ。
Then, a magnetized region corresponding to a predetermined gray code similar to the magnetized region 7 of the conventional example is formed on each track so as to overlap the azimuth region 13 as shown in FIG. 1 (B). This magnetized region is hereinafter referred to as a signal region 14 in order to distinguish it from the conventional magnetized region 7.

以上のような構成によれば、第2図(A)に示すように
信号領域14とアジマス領域13の境界9において第8図の
従来例に比べて磁束15の広がりが小さくなり、境界領域
以外の信号領域14とほぼ同様の広がりとなる。従ってMR
素子から出力される信号は第2図(B)のようにほぼ境
界9の区分の通過に対応して立ち上がり、コンパレータ
などを用いて波形成形した出力は第2図(C)のように
境界9の位置に正確に対応した立ち上がりとなる。従っ
て従来のように検出誤差が生じることがない。またアジ
マス領域13においてはMRセンサに入力される磁界の位相
がずれているため、1本のMR素子の両端部で磁界がちょ
うど打ち消され、磁界の検出信号として出力されない。
According to the above configuration, as shown in FIG. 2 (A), the spread of the magnetic flux 15 becomes smaller at the boundary 9 between the signal area 14 and the azimuth area 13 than in the conventional example shown in FIG. The signal area 14 is substantially the same as the signal area 14. Therefore MR
The signal output from the element rises almost corresponding to the passage of the boundary 9 section as shown in FIG. 2 (B), and the waveform-shaped output using a comparator or the like shows the boundary 9 as shown in FIG. 2 (C). The rise corresponds to the position of. Therefore, a detection error does not occur unlike the conventional case. Further, in the azimuth region 13, the magnetic field input to the MR sensor is out of phase, so that the magnetic field is just canceled at both ends of one MR element and is not output as a magnetic field detection signal.

さらにアジマス領域の設置により境界9の部分の隣接ト
ラック方向への境界の広がりも従来より小さくなるの
で、隣接するトラック間の距離を近づけることができ、
従って装置全体の小型化が可能になる。
Furthermore, since the azimuth region is provided, the boundary at the boundary 9 in the direction of the adjacent track becomes smaller than before, so that the distance between the adjacent tracks can be reduced.
Therefore, the size of the entire device can be reduced.

以上の実施例では、アジマス領域の磁化方向を隣接する
トラック同士で同一としたが、第3図(A)に示すよう
に隣接するトラックの磁化方向を信号領域の磁化方向に
対して対称になるようにアジマス領域を形成し、しかる
のちに第3図(B)のように、上述と同様に信号領域14
を形成する構成とすれば、さらにトラック間の干渉を小
さくすることができる。従ってトラック間の距離をより
小さくでき、装置の小型化を達成できる。
In the above embodiment, the magnetization directions of the azimuth regions are the same between the adjacent tracks, but the magnetization directions of the adjacent tracks are symmetrical with respect to the magnetization direction of the signal region as shown in FIG. 3 (A). The azimuth area is formed as shown in FIG. 3B, and then the signal area 14 is formed as shown in FIG.
With such a structure, the interference between the tracks can be further reduced. Therefore, the distance between the tracks can be made smaller, and the size of the device can be reduced.

以上の実施例では、信号領域14の磁化方向をMRセンサの
移行方向に対し傾斜させずに形成しているが、信号領域
も磁気ドラムの回転軸に対し傾斜して設けてもよい。こ
のとき隣接するトラック同士で磁化方向を変化させれ
ば、信号領域における隣接するトラックとのクロストー
クを減少させ、トラック間隔をより小さくすることがで
きる。
In the above embodiment, the magnetization direction of the signal region 14 is formed without being inclined with respect to the transition direction of the MR sensor, but the signal region may be provided so as to be inclined with respect to the rotation axis of the magnetic drum. At this time, if the magnetization direction is changed between the adjacent tracks, crosstalk with the adjacent tracks in the signal area can be reduced and the track interval can be made smaller.

[効 果] 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、被検
出体が、第1の磁化パターンと、第1の磁化パターンと
は磁化方向が異なる第2の磁化パターンとを、検出手段
と被検出体との相対的な移動方向について配列してなる
トラックを有し、第2の磁化パターンの磁化方向を相対
的な移動方向に対し所定の角度傾斜させた構成を採用し
ており、第2の磁化パターンにより検出手段に対し位相
のずれた磁界の変化が印加されるので、この領域では、
検出手段の出力が0となり、また、第1、第2の磁化パ
ターンの境界部では第1の磁化パターンより発生される
磁束の広がりが小さくなり、立ち上がり(下がり)の鋭
い検出信号を得ることができ、簡単安価な構成により検
出精度を大きく向上できる、という優れた効果がある。
[Effect] As is apparent from the above description, according to the present invention, the detection target includes the first magnetization pattern and the second magnetization pattern having a magnetization direction different from that of the first magnetization pattern. A configuration is adopted in which tracks are arranged in the relative movement direction of the detection means and the detection target, and the magnetization direction of the second magnetization pattern is inclined at a predetermined angle with respect to the relative movement direction. Since the change of the magnetic field with a phase shift is applied to the detecting means by the second magnetization pattern, in this region,
The output of the detection means becomes 0, and the spread of the magnetic flux generated by the first magnetization pattern becomes small at the boundary between the first and second magnetization patterns, so that a detection signal with a sharp rise (fall) can be obtained. There is an excellent effect that the detection accuracy can be greatly improved by the simple and inexpensive configuration.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図〜第3図は本発明を説明するもので、第1図
(A),(B)は本発明における磁化パターンの構成を
示した説明図、第2図(A)〜(C)はエンコーダの磁
化パターンによる磁束の広がりとMR素子の出力信号及び
波形整形後の出力信号をそれぞれ示した説明図、第3図
(A),(B)は本発明による他の磁化パターンの構成
を示した説明図、第4図は従来のロータリーエンコーダ
の構成を示した斜視図、第5図(A),(B)はそれぞ
れ磁気ドラムに記録するグレーコード及びそれに対応し
た磁気記録パターンの説明図、第6図はMR素子の構成を
示した説明図、第7図はMR素子の出力を示した波形図、
出8図は従来装置における磁束の広がり、MR素子の出力
及び波形整形後の検出出力をそれぞれ示した説明図であ
る。 3……トラック、13……アジマス領域 14……信号領域
1 to 3 are for explaining the present invention, and FIGS. 1 (A) and 1 (B) are explanatory views showing the constitution of a magnetization pattern in the present invention, and FIGS. 2 (A) to 2 (C). Is an explanatory view showing the spread of magnetic flux due to the magnetization pattern of the encoder, the output signal of the MR element, and the output signal after waveform shaping, and FIGS. 3 (A) and 3 (B) show configurations of other magnetization patterns according to the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing the structure of a conventional rotary encoder, and FIGS. 5 (A) and 5 (B) are explanatory views of a gray code recorded on a magnetic drum and a magnetic recording pattern corresponding thereto. , FIG. 6 is an explanatory diagram showing the structure of the MR element, FIG. 7 is a waveform diagram showing the output of the MR element,
FIG. 8 is an explanatory diagram showing the spread of magnetic flux, the output of the MR element, and the detection output after waveform shaping in the conventional device. 3 …… Track, 13 …… Azimuth area 14 …… Signal area

フロントページの続き (72)発明者 佐野 秀人 埼玉県秩父市大字下影森1248番地 キヤノ ン電子株式会社内 (72)発明者 林 久範 埼玉県秩父市大字下影森1248番地 キヤノ ン電子株式会社内 (72)発明者 大里 毅 埼玉県秩父市大字下影森1248番地 キヤノ ン電子株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−189500(JP,A) 特開 昭58−158017(JP,A)(72) Inventor Hideto Sano, 1248 Shimokagemori, Chichibu, Saitama Prefecture, within Canon Electronics Co., Ltd. 72) Inventor Takeshi Osato 1248 Shimokagemori, Chichibu, Saitama Prefecture, within Canon Electronics Co., Ltd. (56) References JP-A-59-189500 (JP, A) JP-A-58-158017 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】磁気抵抗効果素子を含む検出手段と、被検
出体よりなるエンコーダ装置であって、 前記被検出体が、第1の磁化パターンと、該第1の磁化
パターンとは磁化方向が異なる第2の磁化パターンと
を、前記検出手段と前記被検出体との相対的な移動方向
について配列してなるトラックを有し、 前記第2の磁化パターンの磁化方向を前記相対的な移動
方向に対し所定の角度傾斜させたことを特徴とするエン
コーダ装置。
1. An encoder device comprising a detection means including a magnetoresistive effect element and an object to be detected, wherein the object to be detected has a first magnetization pattern, and the first magnetization pattern has a magnetization direction. And a track formed by arranging different second magnetization patterns in the relative movement direction of the detection means and the detection target, and the magnetization direction of the second magnetization pattern is the relative movement direction. An encoder device which is inclined at a predetermined angle with respect to.
【請求項2】前記検出手段は夫々前記トラックの幅方向
に延在するよう、配され直列接続された複数条の磁気抵
抗効果素子を含むことを特徴とする特許請求の範囲第1
項に記載のエンコーダ装置。
2. The detection means includes a plurality of magnetoresistive effect elements arranged and connected in series so as to extend in the width direction of the track.
The encoder device according to the item.
【請求項3】前記トラック幅をW,前記複数条の磁気抵抗
効果素子の配列ピッチ、配置条数を夫々p,nとしたと
き、前記第1の磁化パターンの磁化方向に対する前記第
2の磁化パターンの磁化方向の傾斜角θを とすることを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載の
エンコーダ装置。
3. The second magnetization with respect to the magnetization direction of the first magnetization pattern, wherein W is the track width, p is the arrangement pitch of the plurality of magnetoresistive effect elements, and p is the number of arrangements, respectively. The inclination angle θ of the magnetization direction of the pattern The encoder device according to claim 2, wherein:
【請求項4】前記被検出体は前記トラックを並列して複
数本有し、互いに隣接するトラックに於いて、隣接する
それぞれのトラックの第1の磁化パターンの磁化方向を
一致させると共に、隣接するそれぞれのトラック間で第
1の磁化パターンの磁化方向に対する前記第2の磁化パ
ターンの磁化方向の傾斜角が前記相対的な移動方向に関
して対称となっていることを特徴とする特許請求の範囲
第2項または第3項に記載のエンコーダ装置。
4. The object to be detected has a plurality of the tracks arranged in parallel, and in the tracks adjacent to each other, the magnetization directions of the first magnetization patterns of the tracks adjacent to each other are made to coincide with each other, and the tracks are adjacent to each other. The inclination angle of the magnetization direction of the second magnetization pattern with respect to the magnetization direction of the first magnetization pattern between the respective tracks is symmetrical with respect to the relative movement direction. Item 3. The encoder device according to item 3.
JP60201617A 1985-08-08 1985-09-13 Encoder device Expired - Lifetime JPH0711430B2 (en)

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JP60201617A JPH0711430B2 (en) 1985-09-13 1985-09-13 Encoder device
US06/893,215 US4785241A (en) 1985-08-08 1986-08-05 Encoder unit using magnetoresistance effect element

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JP60201617A JPH0711430B2 (en) 1985-09-13 1985-09-13 Encoder device

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JPS6262213A JPS6262213A (en) 1987-03-18
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