JPH069911B2

JPH069911B2 - Electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet

Info

Publication number: JPH069911B2
Application number: JP62258317A
Authority: JP
Inventors: 勉大林
Original assignee: Hiraoka and Co Ltd
Current assignee: Hiraoka and Co Ltd
Priority date: 1987-03-25
Filing date: 1987-10-15
Publication date: 1994-02-09
Anticipated expiration: 2009-02-09
Also published as: JPS641530A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層
シートに関するものである。更に詳しく述べるならば、
本発明は、積層一体化された複数のアモルファス金属薄
膜からなる積層体を含み、電磁波に対しすぐれた電磁波
シールド効果を有する電磁波シールド性アモルファス金
属薄膜積層シートに関するものである。The present invention relates to an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet. More specifically,
The present invention relates to an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet having a laminated body composed of a plurality of amorphous metal thin films integrated and laminated and having an excellent electromagnetic wave shielding effect against electromagnetic waves.

[Conventional technology]

近年エレクトロニクス機器の発達および普及に伴い、こ
れらの機器および、磁気記録体などを、静電気、および
電磁波の悪影響から保護することが必要になり、この保
護材料として、シート材料、例えば、被覆用シート材料
および包装用シート材料の需要が大きくなってきてい
る。With the recent development and popularization of electronic devices, it is necessary to protect these devices and magnetic recording bodies from the adverse effects of static electricity and electromagnetic waves. As this protective material, a sheet material, for example, a covering sheet material. And the demand for packaging sheet materials is increasing.

従来エレクトロニクス機器を静電気の影響から保護する
ために、カーボン粉末、カーボン繊維、金属箔、又は金
属粉末を含有する導電性材料を含む導電性シートが用い
られている。しかし、このような従来の導電性シート
は、エレクトロニクス機器を電磁波の影響から保護する
目的には十分に効果があるとは云えないものである。例
えば、MRI（核磁気共鳴診断装置）などにおいては、外
部の電磁波によって強い障害を受けやすく、このためMR
Iは厚さ２cmの鉄板でシールドされている。このような
厚いシールド材料を用いると、装置の重量が極めて大き
なものとなり、かつ、その製作や加工に困難を生ずる。
更に、上記鉄板シールドの最も重大な欠点は、鉄板自身
が磁気を帯び易いという点にある。In order to protect electronic devices from the influence of static electricity, a conductive sheet containing carbon powder, carbon fiber, metal foil, or a conductive material containing metal powder has been used. However, such a conventional conductive sheet cannot be said to be sufficiently effective for the purpose of protecting electronic equipment from the influence of electromagnetic waves. For example, in MRI (Nuclear Magnetic Resonance Diagnostic Device), it is easy to be strongly damaged by external electromagnetic waves, and
I is shielded by a 2 cm thick iron plate. If such a thick shield material is used, the weight of the device becomes extremely large, and the manufacturing and processing thereof are difficult.
Further, the most serious drawback of the iron plate shield is that the iron plate itself is easily magnetized.

上記のような従来の電磁波シールド材料の欠点を解消す
るためにアモルファス金属の利用が試みられた。アモル
ファス金属は、すぐれた電磁波に対するシールド効果を
有し、かつ負荷を除くと、直ちにもとの状態に復帰し、
磁気を帯びることがないという利点を有している。Attempts have been made to use amorphous metal in order to overcome the above-mentioned drawbacks of conventional electromagnetic wave shielding materials. Amorphous metal has an excellent shielding effect against electromagnetic waves, and immediately returns to its original state when the load is removed,
It has the advantage that it is not magnetic.

しかしながら、アモルファス金属は、従来の電磁波シー
ルド材料（例えば鉄板）に対し、下記のような問題点を
有している。However, the amorphous metal has the following problems with respect to the conventional electromagnetic wave shield material (for example, iron plate).

（イ）一般にアモルファス金属材料の厚さは、100μｍ
以下（市販アモルファス金属薄膜の大部分は50μｍ以下
の厚さを有する）に限定され、これ以上の厚さを有する
アモルファス金属材料を得ることが困難である。(A) Generally, the thickness of amorphous metal material is 100 μm
It is limited to the following (most commercial amorphous metal thin films have a thickness of 50 μm or less), and it is difficult to obtain an amorphous metal material having a thickness of more than this.

（ロ）一般にアモルファス金属材料は、100mm以下の幅
（最も一般には20mm以下）で供給されており、これ以上
に広い幅を有するものを入手することが困難である。(B) Amorphous metal materials are generally supplied with a width of 100 mm or less (most commonly 20 mm or less), and it is difficult to obtain a material having a wider width than this.

（ハ）従って、広幅の、かつかなりの厚さ、例えば、10
0μｍより大きな厚さを有するアモルファス金属材料を
得ることは困難である。(C) Therefore, it is wide and has a considerable thickness, for example, 10
It is difficult to obtain an amorphous metallic material with a thickness greater than 0 μm.

[Problems to be Solved by the Invention]

本発明は、従来の厚さ、および、幅の小さなアモルファ
ス金属薄膜リボンを用いて、所望の幅と厚さを有する電
磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートを形成
しようとするものである。The present invention is intended to form an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet having a desired width and thickness by using a conventional amorphous metal thin film ribbon having a small thickness and a small width.

[Means for Solving the Problems]

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートは、積層一体化された複数のアモルファス金属薄膜
からなる１層、又は２層以上の積層体と、この積層体に
積層されており、かつ可撓性材料からなる２層以上の被
覆層とを含む積層シートであって、前記可撓性材料から
なる被覆層のうちの１層以上が補強用繊維布帛層であ
り、かつ他の１層以上が、可撓性・防水性重合体樹脂か
らなる基礎層と、この基礎層上に形成され、防汚・耐候
性合成樹脂からなり、かつ、前記積層シートの最外側面
を形成している表面層とを有する複合可撓性重合体層で
あることを特徴とするものである。The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention is a laminate composed of a plurality of amorphous metal thin films laminated and integrated, and a laminate of two or more layers, and is laminated on this laminate and is flexible. A laminated sheet comprising two or more coating layers made of a material, wherein at least one of the coating layers made of the flexible material is a reinforcing fiber cloth layer, and the other one or more layers are: A base layer made of a flexible / waterproof polymer resin, and a surface layer formed on the base layer, made of an antifouling / weatherproof synthetic resin, and forming an outermost surface of the laminated sheet. Is a composite flexible polymer layer having

[Work]

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートは、１層又は２層以上のアモルファス金属薄膜積層
体と、これに積層一体化された２層以上の可撓性材料被
覆層とを含むものである。The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet of the present invention includes one or more amorphous metal thin film laminates, and two or more flexible material coating layers laminated and integrated with the amorphous metal thin film laminate.

アモルファス金属薄膜積層体の各々は、積層一体化され
た複数のアモルファス金属薄膜からなるものである。Each of the amorphous metal thin film laminates is composed of a plurality of amorphous metal thin films laminated and integrated.

また、２層以上の可撓性材料被覆層のうちの１層以上
が、補強用繊維布帛層であり、また、他の１層以上が、
複合可撓性重合体層である。One or more of the two or more flexible material coating layers are reinforcing fiber cloth layers, and the other one or more layers are
It is a composite flexible polymer layer.

上記複合可撓性重合体層は、可撓性・防水性重合体樹脂
からなる基礎層と、この基礎層上に形成され、防汚・耐
候性合成樹脂からなる表面層とを有するものであって、
この表面層は、本発明の電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートの最外側面を形成している。The composite flexible polymer layer has a base layer made of a flexible / waterproof polymer resin and a surface layer formed on the base layer and made of an antifouling / weatherproof synthetic resin. hand,
This surface layer forms the outermost surface of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention.

また、可撓性材料被覆層が、３層以上であってそのうち
の１層以上が上記可撓性・防水性重合体樹脂よりなる層
であってもよく、これは、本発明の電磁波シールド性ア
モルファス金属薄膜積層シートの適宜の位置、例えば、
アモルファス金属薄膜積層体の間、又はその外側面上に
形成されていてもよく、或は補強用繊維布帛層に隣接し
て積層されていてもよく、又はこれに含浸積層されてい
てもよい。Further, the flexible material coating layer may be three or more layers, and one or more layers thereof may be a layer made of the above flexible / water-proof polymer resin, which has an electromagnetic wave shielding property of the present invention. Appropriate position of the amorphous metal thin film laminated sheet, for example,
It may be formed between the amorphous metal thin film laminates or on the outer surface thereof, or may be laminated adjacent to the reinforcing fiber cloth layer, or may be impregnated and laminated thereon.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートの積層構成の具体例を第１〜９図に例示する。Specific examples of the laminated constitution of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention are illustrated in FIGS.

第１図において、１層のアモルファス金属薄膜積層体１
上に、１層の補強用繊維布帛層２が積層され、その上に
１層の複合可撓性重合体層３が積層一体化されている。
この複合可撓性重合体層３の表面層は、前述のように防
汚・耐候性合成樹脂からなるものである。In FIG. 1, one layer of amorphous metal thin film laminate 1
One layer of the reinforcing fiber cloth layer 2 is laminated on the upper side, and one layer of the composite flexible polymer layer 3 is laminated and integrated thereon.
The surface layer of the composite flexible polymer layer 3 is made of an antifouling / weatherproof synthetic resin as described above.

第２図において、１層のアモルファス金属薄膜積層体１
の上面上、および下面上に、それぞれ複合可撓性重合体
層３および補強用繊維布帛層２が積層一体化されてい
る。In FIG. 2, one layer of amorphous metal thin film laminate 1
The composite flexible polymer layer 3 and the reinforcing fiber cloth layer 2 are laminated and integrated on the upper surface and the lower surface, respectively.

第３図において、１層のアモルファス金属薄膜積層体１
の上面上に、第１図と同様に１層の補強用繊維布帛層
２、および１層の複合可撓性重合体層３が積層され、か
つ前記アモルファス金属薄膜積層体１の下面に、１層の
可撓性・防水性重合体樹脂層４が積層一体化されてい
る。In FIG. 3, one layer of amorphous metal thin film laminate 1
As in FIG. 1, one reinforcing fiber fabric layer 2 and one composite flexible polymer layer 3 are laminated on the upper surface of 1 and the lower surface of the amorphous metal thin film laminate 1 is The flexible and waterproof polymer resin layer 4 is laminated and integrated.

第４図において、１層のアモルファス金属薄膜積層体１
の上面上に、１層の補強用繊維布帛層２が積層され、ア
モルファス金属薄膜積層体１の下面側には、１層の可撓
性・防水性重合体樹脂層４を介して、１層の複合可撓性
重合体層３が積層一体化されている。In FIG. 4, one-layer amorphous metal thin film laminate 1
One layer of the reinforcing fiber cloth layer 2 is laminated on the upper surface of the amorphous metal thin film laminate 1, and one layer of the amorphous metal thin film laminated body 1 is provided with one layer of the flexible / waterproof polymer resin layer 4 interposed therebetween. The composite flexible polymer layer 3 is laminated and integrated.

第５図において、１層のアモルファス金属薄膜積層体１
の上面上には、第１図と同様に、１層の補強用繊維布帛
層２および１層の複合可撓性重合体層３が積層され、ア
モルファス金属薄膜積層体１の下面上に、１層の補強用
繊維布帛層２がさらに積層一体化されている。In FIG. 5, one layer of amorphous metal thin film laminate 1
As in FIG. 1, one layer of the reinforcing fiber cloth layer 2 and one layer of the composite flexible polymer layer 3 are laminated on the upper surface of the amorphous metal thin film laminate 1 and The reinforcing fiber fabric layer 2 of the layer is further laminated and integrated.

第６図において、第５図と同一の積層構成体の下面上に
更に、複合可撓性重合体層３が積層一体化されている。
（実施例１）第７図において、２層のアモルファス金属薄膜積層体１
が１層の補強用繊維布帛層２を介して接着合体してお
り、この接着合体層の上面に１層の複合可撓性重合体層
３が積層され、またこの接着合体層の下面に、１層の可
撓性・防水性重合体樹脂層４が積層一体化されている。In FIG. 6, a composite flexible polymer layer 3 is further laminated and integrated on the lower surface of the same laminated structure as in FIG.
(Example 1) In FIG. 7, a two-layer amorphous metal thin film laminate 1
Is bonded and bonded via one reinforcing fiber fabric layer 2, one layer of the composite flexible polymer layer 3 is laminated on the upper surface of this bonded coalescent layer, and on the lower surface of this bonded coalescent layer, One layer of flexible / waterproof polymer resin layer 4 is laminated and integrated.

第８図において、２層のアモルファス金属薄膜積層体１
が、可撓性・防水性重合体樹脂層４を介して接着合体し
ており、この接着合体層の上面上に、複合可撓性重合体
３が積層され、また前記接着合体層の下面上に、補強用
繊維布帛層２が積層一体化されている。In FIG. 8, a two-layer amorphous metal thin film laminate 1
Are bonded together via a flexible / waterproof polymer resin layer 4, and the composite flexible polymer 3 is laminated on the upper surface of this bonded coalescence layer, and on the lower surface of the adhesive coalescence layer. In addition, the reinforcing fiber cloth layer 2 is integrally laminated.

第９図において、３層のアモルファス金属薄膜積層体１
が、２層の補強用繊維布帛層２を介して接着合体してお
り、この接着合体層の上下面上に２層の複合可撓性重合
体層３が積層一体化されている。In FIG. 9, a three-layer amorphous metal thin film laminate 1
However, two layers of the composite flexible polymer layer 3 are laminated and integrated on the upper and lower surfaces of the adhesive coalesced layer through the two layers of the reinforcing fiber cloth layer 2.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートは、第１〜９図の積層構成に限定されるものではな
い。The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention is not limited to the laminated constitution of FIGS.

最近アモルファス金属を、その特性に基いて、種々の用
途に使用することが試みられている。一般にアモルファ
ス金属薄膜は、幅2.54〜10.16cmのリボン状材料として
供給されており、その幅の拡大に関しては近い将来、幅
20.32cmの小幅シートが、供給されることが期待されて
いる程度である。また、供給されているアモルファス金
属薄膜は、一般に５〜50μｍの厚さを有するもので、極
く稀に100μｍ程度の厚さを有するものがあるに過ぎな
い。Recently, attempts have been made to use amorphous metals for various applications based on their properties. Amorphous metal thin films are generally supplied as ribbon-shaped materials with a width of 2.54 to 10.16 cm.
20.32 cm narrow sheet is expected to be supplied. Further, the supplied amorphous metal thin film generally has a thickness of 5 to 50 μm, and very rarely has a thickness of about 100 μm.

従来は、上述のようなリボン状、又は小（細）幅材料
は、カードケース、或は小物用包装収納材料としてのみ
使用可能であって、これを100〜300cmの広幅が要求され
る被覆シートなどに利用することは殆んど不可能と考え
られていた。Conventionally, the ribbon-shaped or small (narrow) width material as described above can be used only as a card case or a packaging material for small items, and a covering sheet requiring a wide width of 100 to 300 cm. It was thought to be almost impossible to use for such purposes.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいては、アモルファス金属薄膜は、その供給幅
のまゝ、または、必要に応じ、これを所望の幅に接合し
て使用される。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film is used until the supply width thereof, or if necessary, by bonding it to a desired width.

上述のエレクトロニクス機器の保護効果とは、電磁波シ
ールド手段により電磁波エネルギーを吸収したり、或は
反射したりして、エレクトロニクス機器に電磁波エネル
ギーの影響が及ばないようにする効果を云う。この電磁
波シールド手段による電磁波エネルギー減衰の程度は単
位デシベル（dB）で表され、電磁波シールド材料として
はこの数値が大きい程減衰効果が大きく、好ましいこと
になる。The above-mentioned effect of protecting the electronic device means an effect that the electromagnetic wave energy is absorbed or reflected by the electromagnetic wave shield means so that the electronic device is not affected by the electromagnetic wave energy. The degree of electromagnetic wave energy attenuation by the electromagnetic wave shield means is expressed in a unit decibel (dB), and as the electromagnetic wave shield material has a larger value, the attenuation effect is larger, which is preferable.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいて、その電磁波シールド効果は、それに含ま
れている金属薄膜のシールド効果にほぼ依存し、一般
に、30dB以上であることが好ましく、60dB以上であるこ
とが更に好ましく、90dB以上であることがより一層好ま
しい。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the electromagnetic wave shielding effect is substantially dependent on the shielding effect of the metal thin film contained therein, and is generally preferably 30 dB or more, and 60 dB or more. More preferably, it is even more preferably 90 dB or more.

本発明において有用なアモルファス金属薄膜としては、
一般には鉄を主成分とし、これにホウ素、珪素、炭素、
ニッケル、コバルト、および、モリブデンなどから選ば
れた１種以上を添加して得られるアモルファス合金から
選ばれることが好ましい。例えば、アライド社の商品名
METGLAS No.2605SC（Fe：80％，Ｂ：13.5％，Si：3.5
％，Ｃ：２％のアモルファス合金）、No.2605S−２（F
e：78％，Ｂ：13％，Si：９％のアモルファス合金）、N
o.2605−Co（Fe：87部、Ｂ：14部、Si：１部、Co：18部
のアモルファス合金）、No.2826−MB（Fe：40％，Ni：3
8％，Mo：４％，Ｂ：18％のアモルファス合金）などを
用いることができる。As the amorphous metal thin film useful in the present invention,
Generally, iron is the main component, and boron, silicon, carbon,
It is preferably selected from amorphous alloys obtained by adding one or more selected from nickel, cobalt, molybdenum and the like. For example, the product name of Allied
METGLAS No.2605SC (Fe: 80%, B: 13.5%, Si: 3.5
%, C: 2% amorphous alloy), No.2605S-2 (F
e: 78%, B: 13%, Si: 9% amorphous alloy), N
o.2605-Co (Fe: 87 parts, B: 14 parts, Si: 1 part, Co: 18 parts amorphous alloy), No. 2826-MB (Fe: 40%, Ni: 3)
8%, Mo: 4%, B: 18% amorphous alloy) or the like can be used.

また、上記の鉄を主成分とするアモルファス合金系の外
に、コバルトを主成分とするアモルファス合金系（例え
ばCO₉₀Zr₁₀，Co₇₈Si₁₀B₁₂，Co₅₆Cr₂₆C₁₈，Co₄₄Mo
₃₆C₂₀，Co₃₄Cr₂₈Mo₂₀C₁₈）、ニッケルを主成分とするア
モルファス合金系（例えばNi₉₀Zr₁₀，Ni₇₈Si₁₀B₁₂，Ni
₃₄Cr₂₄Mo₂₄C₁₈およびその他の金属を主成分とするアモ
ルファス合金系（例えばPd₈₀Si₂₀，Cu₈₀Zr₂₀，Nb₅₀N
i₅₀，Ti₅₀Cu₅₀）等も利用できる。In addition to the above-mentioned amorphous alloy system containing iron as a main component, an amorphous alloy system containing cobalt as a main component (for example, CO ₉₀ Zr ₁₀ , Co ₇₈ Si ₁₀ B ₁₂ , Co ₅₆ Cr ₂₆ C ₁₈ , Co ₄₄ Mo).
₃₆ C ₂₀ , Co ₃₄ Cr ₂₈ Mo ₂₀ C ₁₈ ), an amorphous alloy system containing nickel as a main component (for example, Ni ₉₀ Zr ₁₀ , Ni ₇₈ Si ₁₀ B ₁₂ , Ni
Amorphous alloys based on ₃₄ Cr ₂₄ Mo ₂₄ C ₁₈ and other metals (eg Pd ₈₀ Si ₂₀ , Cu ₈₀ Zr ₂₀ , Nb ₅₀ N)
i ₅₀ , Ti ₅₀ Cu ₅₀ ) etc. can also be used.

また、アモルファス金属薄膜は、その電磁波シールド性
に実質的な影響のない範囲内で、有孔薄膜であってもよ
い。Further, the amorphous metal thin film may be a perforated thin film as long as it does not substantially affect the electromagnetic wave shielding property.

これらのアモルファス金属薄膜は、前述のようにリボン
又は細幅シートの形状で供給されている場合が多いの
で、本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積
層シートに、これらを使用するとき、必要に応じて複数
のリボン状、又は、細幅シート状のアモルファス金属薄
膜を互に並列に配列して、広幅シート状体とするか、ま
たは、必要によりそれらの対向する側縁部を導電性接着
剤又は半田により接合して、所望の幅を有する広幅シー
ト状体とする。複数のリボンから広幅薄膜を作成すると
き、リボンは、得られる積層シートの長手軸方向に平行
に伸びるように配置されてもよいし、或は、これに直角
な方向に伸びるように配置されていてもよい。また、ア
モルファス金属薄膜は、アモルファス金属の粉末を利用
して形成してもよい。或は、アモルファス金属からなる
細線から編織物状、又は不織布状シートとして、これを
アモルファス金属薄膜として用いてもよい。Since these amorphous metal thin films are often supplied in the form of ribbons or narrow sheets as described above, when they are used in the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, if necessary. By arranging a plurality of ribbon-shaped or narrow sheet-shaped amorphous metal thin films in parallel with each other to form a wide sheet-shaped body, or if necessary, the side edges facing each other are made of a conductive adhesive or A wide sheet-like body having a desired width is joined by soldering. When forming a wide thin film from a plurality of ribbons, the ribbons may be arranged so as to extend parallel to the longitudinal axis direction of the resulting laminated sheet, or arranged so as to extend in a direction perpendicular thereto. May be. In addition, the amorphous metal thin film may be formed using amorphous metal powder. Alternatively, it may be used as a knitted woven fabric-like or non-woven fabric-like sheet from thin wires made of amorphous metal, and this sheet may be used as an amorphous metal thin film.

アモルファス金属薄膜は電界に対するシールド効果を有
するが、特に磁界に対しすぐれたシールド効果を有して
いる。Although the amorphous metal thin film has a shielding effect against an electric field, it has an excellent shielding effect especially against a magnetic field.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいてアモルファス金属薄膜は、アモルファス金
属薄膜単独から形成されたものであってもよいし、或
は、アモルファス金属薄膜からなる基体と、その片面又
は両面を被覆している導電性金属メッキ層とからなるも
のであってもよい。メッキ用導電性金属としては、例え
ば銅、ニッケル、コバルト、鉄、アルミニウム、金、
銀、錫、亜鉛およびこれらから選ばれた２種以上の合金
などを用いることができる。このようにして、アモルフ
ァス金属薄膜からなる基体の片面、又は両面上に導電性
金属をメッキすると、得られるメッキ層付きアモルファ
ス金属薄膜は前記磁界シールド性に、メッキ層による電
界シールド性が加算され、アモルファス金属薄膜全体と
して、低周波から高周波までの広範囲の電磁波に対し
て、すぐれたシールド効果を示すことができる。また、
導電性金属メッキ層は、アモルファス金属薄膜の半田接
合性を向上させ、アモルファス金属薄膜リボンから、広
幅薄膜の形成を容易にする効果もある。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the amorphous metal thin film may be formed of the amorphous metal thin film alone, or a substrate composed of the amorphous metal thin film and one or both surfaces thereof covered. It may be composed of a conductive metal plating layer. As the conductive metal for plating, for example, copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold,
It is possible to use silver, tin, zinc, or an alloy of two or more selected from these. In this manner, when a conductive metal is plated on one side or both sides of a substrate made of an amorphous metal thin film, the obtained plated layer-attached amorphous metal thin film has the magnetic field shielding property, and the electric field shielding property by the plating layer is added, The amorphous metal thin film as a whole can exhibit an excellent shielding effect against a wide range of electromagnetic waves from low frequencies to high frequencies. Also,
The conductive metal plating layer also has the effect of improving the solder bondability of the amorphous metal thin film and facilitating the formation of a wide thin film from the amorphous metal thin film ribbon.

また、アモルファス金属薄膜中に含まれる導電性金属メ
ッキ層は、0.1μｍ以上の厚さを有することが好まし
く、0.1〜５μｍ程度の厚さを有することがより好まし
い。またアモルファス金属薄膜又はその金属メッキ層表
面に、防錆剤その他の薄い保護層を形成してもよい。The conductive metal plating layer contained in the amorphous metal thin film preferably has a thickness of 0.1 μm or more, more preferably about 0.1 to 5 μm. Further, a thin protective layer such as a rust preventive agent may be formed on the surface of the amorphous metal thin film or the metal plating layer thereof.

アモルファス金属薄膜は前述のようにそれぞれ５〜50μ
ｍの厚さを有するものであるが、本発明に用いられるア
モルファス金属薄膜積層体は全体として50μｍ以上の厚
さを有することが好ましく、100〜5,000μｍの厚さを有
することがより好ましい。このために、本発明に用いら
れるアモルファス金属薄膜積層体においては好ましくは
２〜200枚のアモルファス金属薄膜が厚さ方向に積層一
体化されている。積層シートのシールド効果を強化し、
安定化させるためには、多数のアモルファス金属薄膜を
積層することが望ましい。すなわち、アモルファス金属
薄膜を広く大きな面積に接合して使用する場合、面積が
大きくなればなる程、シールド効果に不均一を生じ、効
果が低下し、或は不安定になるおそれがある。このよう
な問題点を解消し、安定したシールド効果を得るために
は、多数の薄膜を積層することが望ましい。As mentioned above, the amorphous metal thin film is 5-50μ
The thickness of the amorphous metal thin film laminate used in the present invention is preferably 50 μm or more as a whole, and more preferably 100 to 5,000 μm. Therefore, in the amorphous metal thin film laminate used in the present invention, preferably 2 to 200 amorphous metal thin films are laminated and integrated in the thickness direction. Strengthen the shielding effect of laminated sheets,
For stabilization, it is desirable to stack a large number of amorphous metal thin films. That is, when the amorphous metal thin film is bonded to a wide area and used, the larger the area, the more uneven the shielding effect, and the lower the effect or the more unstable. In order to solve such problems and obtain a stable shield effect, it is desirable to stack a large number of thin films.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ート中のアモルファス金属薄膜積層体は、１層以上のメ
ッキ層付きアモルファス金属薄膜と、１層以上のメッキ
層を有しないアモルファス金属薄膜とを含むものであっ
てもよい。このようにアモルファス金属薄膜の一部から
メッキ層を省略することにより製品コストを低下させな
がら、所要の電磁波シールド性を得ることができる。The amorphous metal thin film laminate in the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet of the present invention comprises an amorphous metal thin film with one or more plating layers and an amorphous metal thin film having no one or more plating layers. May be. Thus, by omitting the plating layer from a part of the amorphous metal thin film, it is possible to obtain the required electromagnetic wave shielding property while reducing the product cost.

多数のアモルファス金属薄膜を積層し接着する場合、接
着剤又は粘着剤による接着域が互に重複して得られる積
層体中に局部的に厚さの異なる部分が形成されないよう
に、接着剤又は粘着剤接着域が互に重複しないように、
積層体中にほゞ均一に分布させ、それによって厚さ、風
合の均一性を維持することが好ましい。When a large number of amorphous metal thin films are laminated and adhered, an adhesive agent or an adhesive agent is applied so that a part having a different thickness is not locally formed in the laminate obtained by overlapping the adhesive areas of the adhesive agent or the adhesive agent with each other. To prevent the adhesive areas from overlapping with each other,
It is preferable that the layer is distributed almost uniformly in the laminate to maintain the uniformity of thickness and texture.

接着剤又は粘着剤は、積層された複数のアモルファス金
属薄膜を電気的に互に連結させるために、導電性、又は
半導電性であることが好ましく、更にそれが防錆性を有
することができる。このような接着剤、又は粘着剤の種
類には格別の限定はなく使用目的に応じて、既存のもの
から、任意に選択して使用することができる。例えば、
使用環境に応じて耐寒性の高いもの或は耐熱性の高いも
のなどを選択して使用すればよい。The adhesive or tackifier is preferably electrically conductive or semi-conductive in order to electrically connect the plurality of laminated amorphous metal thin films to each other, and further, it can have rust preventive properties. . There is no particular limitation on the type of the adhesive or the pressure-sensitive adhesive, and any of the existing ones can be arbitrarily selected and used according to the purpose of use. For example,
Depending on the environment of use, one having high cold resistance or one having high heat resistance may be selected and used.

一般に、積層体中における複数のアモルファス金属薄膜
は互に接着剤又は粘着剤により接着又は粘着されていて
もよい。この接着又は粘着において、互に上下に隣接
し、重なり合うアモルファス金属薄膜の全面に接着剤又
は粘着剤が塗布固着されていてもよい。しかし、この場
合、積層体が折曲げられたとき、互に接着又は粘着され
たアモルファス金属薄膜間の相互変位の自由度が不十分
となる。この問題は、特に接着剤が用いられたときに顕
著である。このような問題点を解決するためには、複数
のアモルファス金属薄膜が互に接着又は粘着されていな
いことが好ましいが、この場合複数のアモルファス金属
薄膜の一体化が困難になる。Generally, the plurality of amorphous metal thin films in the laminate may be adhered or adhered to each other with an adhesive or a tackifier. In this adhesion or adhesion, an adhesive or a pressure-sensitive adhesive may be applied and fixed on the entire surfaces of the amorphous metal thin films which are vertically adjacent to each other and overlap each other. However, in this case, when the laminated body is bent, the degree of freedom of mutual displacement between the amorphous metal thin films adhered or adhered to each other becomes insufficient. This problem is particularly noticeable when an adhesive is used. In order to solve such a problem, it is preferable that the plurality of amorphous metal thin films are not adhered or adhered to each other, but in this case, it becomes difficult to integrate the plurality of amorphous metal thin films.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ート内において、各アモルファス金属薄膜がその上下に
隣接し重なり合っている層に部分的に接着又は粘着さ
れ、接着又は粘着部分以外の部分で、互に相対的変位が
可能であることが好ましい。このため各アモルファス金
属薄膜がその上下に隣接し重なり合っている層に対し、
１個以上の線状、又は点状に配置された接着剤又は粘着
剤の層により接着又は粘着されていることが好ましい。
例えば複数のアモルファス金属薄膜からなる積層体中に
おいて、その構成アモルファス金属薄膜は、１個以上の
線状又は点状に或は、これらの混合状態に分布させた接
着剤又は粘着剤の層により接着又は粘着されることが好
ましい。このような態様の接着又は粘着により複数のア
モルファス金属薄膜は、互に接着され一体化される。し
かしアモルファス金属薄膜の非接着部分は屈曲に応じて
互に相対的に変位することができ、これにより積層体屈
曲が容易になり、また屈曲に伴う積層体の破断が防止さ
れる。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, each amorphous metal thin film is partially adhered or adhered to the layers which are vertically adjacent to each other and overlap each other, and the parts other than the adhered or adhered parts are relatively relative to each other. It is preferable that the displacement is possible. For this reason, for each layer where each amorphous metal thin film is vertically adjacent and overlaps,
It is preferably adhered or adhered by one or more layers of adhesives or pressure-sensitive adhesives arranged in a linear or dot pattern.
For example, in a laminated body composed of a plurality of amorphous metal thin films, the constituent amorphous metal thin films are bonded by one or more linear or dot-shaped or a layer of an adhesive or a pressure-sensitive adhesive distributed in a mixed state thereof. Alternatively, it is preferably adhered. A plurality of amorphous metal thin films are adhered to each other and integrated by the adhesion or adhesion in this manner. However, the non-bonded portions of the amorphous metal thin film can be displaced relative to each other in response to bending, which facilitates bending of the laminate and prevents breakage of the laminate due to bending.

接着部分の形状は、１個以上の直線、曲線、又はこれら
の混合であってもよく、或は１個以上の点からなるもの
であってもよく、これらの接着部分の合計は、当該アモ
ルファス金属薄膜の接着面積に対し90％以下であること
が好ましく、１〜90％の範囲内にあることがより好まし
い。The shape of the adhesive portion may be one or more straight lines, curves, or a mixture thereof, or may consist of one or more points, and the total of these adhesive portions is the amorphous material. It is preferably 90% or less, more preferably in the range of 1 to 90% with respect to the adhesion area of the metal thin film.

アモルファス金属薄膜の積層体に含まれる点状、又は線
状の接着剤又は粘着剤の塗布域は、積層体に局部的に厚
さの不均一を生じないように、互に重複しないよう、ほ
ゞ均一に分布させることが好ましく、これによってほゞ
均一の充実度を有する積層体が得られる。The application areas of the dot-like or linear adhesives or pressure-sensitive adhesives contained in the laminate of the amorphous metal thin film should not overlap with each other so as not to cause local uneven thickness in the laminate. It is preferable to make the distribution almost uniform, whereby a laminate having a substantially uniform solidity can be obtained.

本発明に用いられるアモルファス金属薄膜積層体におい
て、複数のアモルファス金属薄膜が積層され、この積層
体が互に対向する２枚の可撓性重合体樹脂シート（フィ
ルム）の間にパックされ、一体化されていてもよい。ま
た、これらのパックされ一体化されたものを複数個重ね
合わせてもよい。In the amorphous metal thin film laminate used in the present invention, a plurality of amorphous metal thin films are laminated, and the laminate is packed between two flexible polymer resin sheets (films) facing each other and integrated. It may have been done. Also, a plurality of these packed and integrated pieces may be stacked.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートは、積層一体化された複数のアモルファス金属薄膜
からなる１層又は２層以上の積層体と、この積層体に積
層されており、かつ可撓性材料からなる２層以上の被覆
層とを含み、前記可撓性材料からなる被覆層のうちの１
層以上が補強用繊維布帛層であり、かつ他の１層以上
が、可撓性・防水性重合体樹脂基礎層と、防汚・耐候性
合成樹脂表面層とを有する複合可撓性重合体層である。The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention is one or two or more laminated bodies composed of a plurality of laminated and integrated amorphous metal thin films, and is laminated on this laminated body, and is a flexible material. One or more of the coating layers made of the flexible material, which includes two or more coating layers made of
A composite flexible polymer in which one or more layers are reinforcing fiber cloth layers, and another one or more layers have a flexible / waterproof polymer resin base layer and an antifouling / weatherproof synthetic resin surface layer. It is a layer.

上記補強用繊維布帛層は、複数のアモルファス金属薄膜
積層体の間に形成されていてもよく、また任意の間隔を
おいて形成されていてもよく、或は積層体の一つの最外
側面を形成するように配置されていてもよい。この可撓
性材料からなる被覆層が導電性又は半導電性であること
が望ましい。複数のアモルファス金属薄膜積層体の間に
導電性又は半導電性可撓性材料からなる被覆層が設けら
れると、複数のメッキされた又はメッキされていないア
モルファス金属薄膜積層体の全体が導電性となり好まし
い結果が得られる。特に、メッキしていないアモルファ
ス金属薄膜が用いられる場合、積層体間に導電性又は半
導電性可撓性材料被覆層を設けることにより、磁界シー
ルド性とともに電界シールド性も改善され、性能の良好
な電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シートが
得られる。The reinforcing fiber cloth layer may be formed between a plurality of amorphous metal thin film laminates, or may be formed at an arbitrary interval, or one outermost surface of the laminate may be formed. It may be arranged to form. It is desirable that the coating layer made of this flexible material be conductive or semiconductive. When a coating layer made of a conductive or semi-conductive flexible material is provided between a plurality of amorphous metal thin film laminates, the entire plated or unplated amorphous metal thin film laminate becomes conductive. Good results are obtained. In particular, when an unplated amorphous metal thin film is used, by providing a conductive or semi-conductive flexible material coating layer between the laminates, the magnetic field shielding property as well as the electric field shielding property is improved, and good performance is obtained. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is obtained.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいて、可撓性材料からなる被覆層は、当該積層
シートに、所望の柔軟性、圧縮弾性、および衝撃や押圧
に対する緩衝性、耐破断性などを与えることができる。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the coating layer made of a flexible material provides the laminated sheet with desired flexibility, compression elasticity, shock absorbing property, shock absorbing property, rupture resistance and the like. be able to.

すなわち、電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層
シートに屈曲などの外力が作用したとき、この可撓性材
料からなる被覆層が、変形することによってこの外力を
吸収し、アモルファス金属薄膜の伸びおよび圧縮を少な
くし、これによってアモルファス金属薄膜の裂断や折損
を防止し、かつ永久変形（折れ目の形成）を防止すると
いう緩衝作用を発揮する。このような電磁波シールド性
アモルファス金属薄膜積層シートは、核磁気共鳴診断装
置（MRI）などの磁気シールドシート、エレクトロニク
ス機器の被覆シート、包装収納用シート、床シート、壁
シート、或は建築用シート等として有用なものである。That is, when an external force such as bending acts on the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet, the covering layer made of this flexible material absorbs the external force by deforming, and the expansion and compression of the amorphous metal thin film is reduced. However, this exerts a buffering effect of preventing the amorphous metal thin film from breaking or breaking and preventing permanent deformation (crease formation). Such an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is a magnetic shield sheet for a nuclear magnetic resonance diagnostic apparatus (MRI), a covering sheet for electronic equipment, a packaging storage sheet, a floor sheet, a wall sheet, a construction sheet, etc. Is useful as

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいて、複合可撓性重合体層は、可撓性・防水性
重合体樹脂からなる基礎層と、この基礎層の上に形成さ
れ、防汚・耐候性合成樹脂からなり、かつ積層シートの
最外側面（最も外側の面）を形成している表面層とを含
んでなるものである。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the composite flexible polymer layer is formed on the base layer made of a flexible / waterproof polymer resin and the base layer to prevent stains / weathering. And a surface layer forming an outermost surface (outermost surface) of the laminated sheet.

本発明に用いられる防汚・耐候性合成樹脂としては、弗
素含有樹脂およびアクリル樹脂を用いることができる。
すなわち防汚・耐候性合成樹脂表面層は、基礎層上に、
弗素含有樹脂、又は、アクリル樹脂からなる表面層を塗
布、貼着することによって形成される。As the antifouling / weathering synthetic resin used in the present invention, a fluorine-containing resin and an acrylic resin can be used.
That is, the antifouling / weather-resistant synthetic resin surface layer, on the base layer,
It is formed by applying and sticking a surface layer made of a fluorine-containing resin or an acrylic resin.

一般に弗素含有樹脂は、難燃性かつ防汚・耐候性である
が、通常のプラスチック接着剤になじまないためそのま
までは、基礎層の表面に貼着することは困難である。Generally, a fluorine-containing resin is flame-retardant and has antifouling / weathering resistance, but it is difficult to stick it to the surface of the base layer as it is because it is not compatible with ordinary plastic adhesives.

そこで、弗素含有樹脂フィルムの表面をプライマー処
理、コロナ放電又は低温プラズマ処理等を施して、これ
をできるだけ接着容易化活性化することにより、例えば
ポリ塩化ビニル、ポリエポキシ、ポリアクリル、および
ポリエステル樹脂などの接着剤との親和性を増加せしめ
ている。通常上記の処理によって、弗素含有樹脂フィル
ムの表面部分について活性化が行われることとなる。こ
のために、例えば100〜200Ｖ，40〜100μＦ、短絡電流
１〜２Ａの条件でコロナ放電処理が行われる。かかる放
電処理により、弗素含有樹脂フィルムに所望の接着能が
与えられるが、本発明に用いられる弗素含有樹脂フィル
ムの表面処理はこれに限定されるものではなく、他の表
面処理等により同等以上の効果を奏するものであればよ
い。Therefore, by subjecting the surface of the fluorine-containing resin film to primer treatment, corona discharge, low-temperature plasma treatment, or the like to facilitate adhesion and activation of this, for example, polyvinyl chloride, polyepoxy, polyacryl, polyester resin, etc. It has increased affinity with other adhesives. Usually, the surface treatment of the fluorine-containing resin film is activated by the above treatment. For this reason, corona discharge treatment is performed under the conditions of, for example, 100 to 200 V, 40 to 100 μF, and a short circuit current of 1 to 2 A. By such an electric discharge treatment, a desired adhesive ability is given to the fluorine-containing resin film, but the surface treatment of the fluorine-containing resin film used in the present invention is not limited to this, and other surface treatments such as the same or more may be performed. Anything can be used as long as it has an effect.

弗素含有樹脂表面層を構成する樹脂としては、エチレン
の水素原子の１個以上が弗素原子と置換されている単量
体から合成される各種のポリフルオルエチレン、例え
ば、ポリテトラフルオルエチレン、又は一部塩素を含む
各種のポリフルオルクロルエチレン、例えばポリトリフ
ルオロクロルエチレン等があるが、このほかポリ弗化ビ
ニル、ポリ弗化ビニリデン、ポリジクロルジフルオルエ
チレン、その他も包含される。表面層の厚みは一般に0.
001mm〜0.5mm、好ましくは５〜50μｍ程度であるが、耐
候性、防汚性並びに耐久性の目的を達成するものであれ
ば、より厚く、又は、より薄くすることができ特に限定
はない。また、弗素含有樹脂表面層には、他の樹脂、例
えばMMA等が混合又は貼着複合される等混用されていて
も本発明の目的を達成するものであれば差支えない。本
発明に使用される弗素含有樹脂フィルムの市販品として
は、テドラーフィルム（デュポン社、商標）、アフレッ
クスフィルム（旭硝子社、商標）、KFCフィルム（呉羽
化学工業社、商標）等がある。As the resin constituting the fluorine-containing resin surface layer, various polyfluoroethylenes synthesized from monomers in which one or more hydrogen atoms of ethylene are replaced with fluorine atoms, for example, polytetrafluoroethylene, or There are various kinds of polyfluorochloroethylene containing a part of chlorine, such as polytrifluorochloroethylene, but also polyvinyl fluoride, polyvinylidene fluoride, polydichlorodifluoroethylene, and the like. The thickness of the surface layer is generally 0.
The thickness is 001 mm to 0.5 mm, preferably about 5 to 50 μm, but the thickness can be made thicker or thinner as long as the objects of weather resistance, antifouling property and durability are achieved, and there is no particular limitation. The fluorine-containing resin surface layer may be mixed with other resins, for example, MMA or the like, such as mixed or stuck and compounded, as long as the object of the present invention is achieved. Commercially available products of the fluorine-containing resin film used in the present invention include Tedlar film (trademark of DuPont), Aflex film (trademark of Asahi Glass Co., Ltd.) and KFC film (trademark of Kureha Chemical Industry Co., Ltd.).

本発明において、表面が実質的に平滑なフィルム状の弗
素含有樹脂が、基礎層の上面に貼着されるのが好ましい
が、弗素含有樹脂溶液、又はエマルジョン等を塗布する
方法もある。本発明に用いられる弗素含有樹脂フィルム
は、100kg／cm^２以上の引張り強度を有することが好ま
しい。In the present invention, it is preferable that the film-like fluorine-containing resin having a substantially smooth surface is attached to the upper surface of the base layer, but there is also a method of applying a fluorine-containing resin solution, emulsion or the like. The fluorine-containing resin film used in the present invention preferably has a tensile strength of 100 kg / cm ² or more.

本発明において防汚・耐候性合成樹脂表面層は、ポリア
クリル樹脂によって形成されてもよい。このために一般
にはアクリル樹脂フィルムを用いるが、アクリル樹脂の
溶液又は、エマルジョンを、基礎層の上に塗布し乾燥す
る方法を用いてもよい。In the present invention, the antifouling / weathering resistant synthetic resin surface layer may be formed of a polyacrylic resin. For this purpose, an acrylic resin film is generally used, but a method in which an acrylic resin solution or emulsion is applied on the base layer and dried may be used.

本発明に用いられるアクリル樹脂フィルムは、100kg／c
m^２以上の引張り強度を有することが好ましく、１〜50
ｇ／ｍ^２、好ましくは３〜30ｇ／ｍ^２の重量、又は３μ
ｍ以上（通常は３〜50μｍ）の、更に好ましくは４〜30
μｍの厚さを有するものであることが好ましい。The acrylic resin film used in the present invention is 100 kg / c
It is preferable to have a tensile strength of m ² or more, 1 to 50
g / ^{m 2,} the weight of preferably 3 to 30 g / ^{m 2,} or 3μ
m or more (usually 3 to 50 μm), more preferably 4 to 30
It preferably has a thickness of μm.

本発明に適用されるアクリル樹脂フィルムは、Ｔダイ法
又はインフレーション法、その他いずれの方法で製造さ
れたものでもよい。また、延伸フィルム、未延伸フィル
ムのいずれでもよいが、フィルムの伸度は100〜300％程
度のものが好ましい。また、前述のように厚みは通常３
〜50μｍ程度であるが、十分な耐候性および防汚性を達
成するならば、多少厚く又は薄くしてもよい。表面層上
単体で、または混合して使用するアクリル樹脂は、ポリ
アルキルメタクリレート系、例えばメチルメタクリレー
ト、エチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、
ブチルメタクリレート等を主材料とするもの、又は、ア
クリレート、酢酸ビニル、塩化ビニル、スチレン、アク
リロニトリル、メタクリロニトリル等のホモモノマー又
はコモノマーを成分とするホモポリマー又はコポリマー
を使用するとよい。かかるフィルムは基礎層の表面に接
着剤を用いて接着するか又はその他の方法により塗布、
貼着される。The acrylic resin film applied to the present invention may be manufactured by the T-die method, the inflation method, or any other method. Further, either a stretched film or an unstretched film may be used, but the elongation of the film is preferably about 100 to 300%. Also, as mentioned above, the thickness is usually 3
Although it is about 50 μm, it may be slightly thicker or thinner as long as sufficient weather resistance and antifouling property are achieved. Acrylic resin used alone or as a mixture on the surface layer is a polyalkylmethacrylate type, for example, methylmethacrylate, ethylmethacrylate, propylmethacrylate,
It is preferable to use those containing butyl methacrylate or the like as a main material, or homopolymers or copolymers containing homomonomers or comonomers such as acrylate, vinyl acetate, vinyl chloride, styrene, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like. Such a film is adhered to the surface of the base layer using an adhesive or is applied by another method,
It is attached.

本発明において、可撓性・防水性重合体樹脂基礎層上に
形成される防汚・耐候性合成樹脂表面層は、上述のよう
な弗素含有樹脂およびアクリル樹脂の他に、ポリ弗化ビ
ニリデン樹脂層とアクリル樹脂層との積層体、又はポリ
弗化ビニリデン樹脂層と、アクリル樹脂層と、ポリ塩化
ビニル樹脂層との積層体からなるものであってもよい。
これら積層体においては、ポリ弗化ビニリデン樹脂層の
厚さは２〜３μｍ、アクリル樹脂層の厚さは２〜４μｍ
および、ポリ塩化ビニル樹脂層の厚さは40〜45μｍであ
ることが好ましい。In the present invention, the antifouling / weather resistant synthetic resin surface layer formed on the flexible / waterproof polymer resin base layer is a polyvinylidene fluoride resin in addition to the above-mentioned fluorine-containing resin and acrylic resin. It may be a laminate of a layer and an acrylic resin layer, or a laminate of a polyvinylidene fluoride resin layer, an acrylic resin layer, and a polyvinyl chloride resin layer.
In these laminates, the polyvinylidene fluoride resin layer has a thickness of 2 to 3 μm, and the acrylic resin layer has a thickness of 2 to 4 μm.
The thickness of the polyvinyl chloride resin layer is preferably 40 to 45 μm.

本発明において可撓性・防水性重合体樹脂基礎層は、可
撓性・防水性重合体樹脂、例えば、天然ゴム、ネオプレ
ンゴム、クロロプレンゴム、シリコーンゴム、ハイパロ
ン、その他の合成ゴム、またはPVC樹脂、エチレン−酢
酸ビニルコポリマー（EVA）樹脂、アクリル樹脂、シリ
コーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン（PE）樹
脂、ポリプロピレン、（PP）樹脂、ポリエステル樹脂、
フッ素含有樹脂、その他の合成樹脂を用いることができ
る。このような材料は、また、良好な防水性を有し、得
られる積層シートに所望の防水性並びに難燃性や機械的
強度を与えることができる。可撓性・防水性重合体樹脂
層は、0.05mm以上の、より好ましくは0.05〜1.0mmの厚
さを有することが好ましく、また導電性物質を含んでい
ることが好ましい。また、可撓性材料被覆層が３層以上
であるとき、１層以上の上記可撓性・防水性重合体樹脂
よりなる層が、本発明の電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートの適宜の位置、例えばアモルファス
金属薄膜積層体の間、又はその外側面上に形成されてい
てもよく、或は補強用繊維布帛層に隣接して積層されて
いてもよく、又はこれに或は含浸積層されていてもよ
い。In the present invention, the flexible / waterproof polymer resin base layer is a flexible / waterproof polymer resin, for example, natural rubber, neoprene rubber, chloroprene rubber, silicone rubber, hypalon, other synthetic rubber, or PVC resin. , Ethylene-vinyl acetate copolymer (EVA) resin, acrylic resin, silicone resin, polyurethane resin, polyethylene (PE) resin, polypropylene, (PP) resin, polyester resin,
Fluorine-containing resin and other synthetic resins can be used. Such a material also has good waterproofness, and can impart desired waterproofness, flame retardancy, and mechanical strength to the resulting laminated sheet. The flexible / waterproof polymer resin layer preferably has a thickness of 0.05 mm or more, more preferably 0.05 to 1.0 mm, and preferably contains a conductive substance. When the number of flexible material coating layers is three or more, one or more layers made of the flexible and waterproof polymer resin described above are provided at appropriate positions in the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention. , For example between the amorphous metal thin film laminates, or on its outer surface, or it may be laminated adjacent to the reinforcing fiber fabric layer, or it may be impregnated or laminated. May be.

これらの可撓性・防水性重合体樹脂層は、上記の如きゴ
ム又は樹脂のフィルム、溶液、ペースト又はストレート
などを用い、公知の方法、例えば、トッピング、カレン
ダリング、コーティング、デイッピングなどの方法によ
って、アモルファス金属薄膜積層体の表面上に形成する
ことができる。これらのゴム又は樹脂中には、可塑剤、
安定剤、着色剤、紫外線吸収剤などや他の機能付与剤、
例えば防炎剤、難燃化剤などが含まれていてもよい。These flexible / waterproof polymer resin layers are formed by a known method, for example, a method such as topping, calendering, coating or dipping, using a film of rubber or resin, solution, paste or straight as described above. , Can be formed on the surface of the amorphous metal thin film laminate. These rubbers or resins include plasticizers,
Stabilizers, colorants, UV absorbers and other function-imparting agents,
For example, a flameproof agent, a flame retardant, etc. may be contained.

従来、金属箔の表面に対し、防錆、および腐食防止の目
的で１〜10μｍ程度の厚さの樹脂層を形成することが知
られているが、本発明の電磁波シールド性アモルファス
金属薄膜積層シートにおいては、可撓性・防水性重合体
樹脂層は一般に50μｍ以上の厚さに形成され、この厚さ
は、好ましくは50〜5000μｍであり、更に好ましくは10
0〜3000μｍであり、より一層好ましくは200〜2000μｍ
である。また、本発明に用いられる可撓性・防水性重合
体樹脂層は、上記の厚さを有していても使用上十分な可
撓性を示すことができる。Conventionally, it is known that a resin layer having a thickness of about 1 to 10 μm is formed on the surface of a metal foil for the purpose of preventing rust and corrosion, but the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention In general, the flexible and waterproof polymer resin layer is generally formed to have a thickness of 50 μm or more, and this thickness is preferably 50 to 5000 μm, more preferably 10 μm.
0 to 3000 μm, and more preferably 200 to 2000 μm
Is. Further, the flexible and waterproof polymer resin layer used in the present invention can exhibit sufficient flexibility in use even if it has the above thickness.

本発明において、可撓性・防水性重合体樹脂基礎層は、
それが防水性である限り多孔質、すなわち発泡層であっ
てもよい。このような発泡多孔質層は所望の可撓性を有
する限り硬質フォームであってもよいが、一般には軟質
フォームであることが好ましい。In the present invention, the flexible and waterproof polymer resin base layer,
It may be porous, ie a foam layer, as long as it is waterproof. Such a foamed porous layer may be a rigid foam as long as it has the desired flexibility, but it is generally preferred that it is a flexible foam.

発泡多孔質層の気孔率は、50〜99％（発泡倍率：２〜10
0倍であることが好ましく、80〜98％（発泡倍率：５〜5
0倍）であることがより好ましい。通常は発泡倍率20〜6
0倍のものが用いられる。また、発泡多孔質層の圧縮抵
抗は、25％圧縮において、10kg／cm^２以下であれば用途
によっては実用可能であるが、一般に0.5kg／cm^２以下
であることが好ましく、0.1kg／cm^２以下であることが
より好ましい。The porosity of the foamed porous layer is 50 to 99% (foaming ratio: 2 to 10).
It is preferably 0 times, and 80 to 98% (foaming ratio: 5 to 5
0 times) is more preferable. Normally foaming ratio 20-6
0 times that used. Further, the compression resistance of the foamed porous layer is 10 kg / cm ² or less at 25% compression, which may be practical depending on the application, but it is generally preferably 0.5 kg / cm ² or less, and 0.1 kg / cm ² or less. It is more preferably ² or less.

発泡多孔質層の厚さには、格別の制限はなく、電磁波シ
ールド性アモルファス金属薄膜積層シートの用途に応じ
て任意に設定することができるが、一般に、0.5〜100mm
の範囲内にあることが好ましく、１〜50mmの範囲内にあ
ることがより好ましい。The thickness of the foamed porous layer is not particularly limited and can be arbitrarily set according to the application of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet, but generally 0.5 to 100 mm.
Is preferably within the range of 1, and more preferably within the range of 1 to 50 mm.

発泡多孔質層は、アモルファス金属薄膜積層体に結着さ
れているが、発泡多孔質層を予じめシート状に作成して
おき、これを接着剤を用いて結着してもよく、或は、発
泡多孔質層の接着表面部分を熱溶融して、融着してもよ
い。また、発泡多孔質層は、アモルファス金属薄膜積層
体上で化学発泡させて形成してもよいし、或は、気泡を
含有する重合体塗料をアモルファス金属薄膜積層体上に
塗布し、これを固化する、所謂、機械発泡法により形成
してもよい。The foamed porous layer is bound to the amorphous metal thin film laminate, but the foamed porous layer may be previously formed into a sheet shape and bound with an adhesive, or For, the adhesive surface portion of the foamed porous layer may be heat-melted and fused. The foamed porous layer may be formed by chemically foaming on the amorphous metal thin film laminate, or a polymer coating containing bubbles may be applied on the amorphous metal thin film laminate and solidified. Alternatively, it may be formed by a so-called mechanical foaming method.

上述のような発泡多孔質層を含む被覆層は、アモルファ
ス金属薄膜積層体の両面に形成されてもよく、或は、そ
の片面のみに、或は中間に形成されてもよい。片面のみ
に形成された場合、アモルファス金属薄膜積層体の他の
片面に、或は任意の部分に、前述のような可撓性・防水
性重合体樹脂の非多孔質層を含む被覆層が結着されてい
てもよい。The coating layer including the foamed porous layer as described above may be formed on both sides of the amorphous metal thin film laminate, or may be formed on only one side or in the middle. When formed on only one side, the coating layer containing the non-porous layer of the flexible / water-proof polymer resin as described above is bonded to the other side of the amorphous metal thin film laminate or to any part thereof. It may be worn.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいて、アモルファス金属薄膜積層体に積層され
る可撓性材料からなる被覆層のうちの１層以上は、繊維
布帛よりなる補強層である。この補強用繊維布帛層は、
アモルファス金属薄膜の、引張り強度における方向性、
強度不均一性、低引裂強度性などをカバーするのに有効
である。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, at least one layer of the covering layer made of a flexible material laminated on the amorphous metal thin film laminated body is a reinforcing layer made of a fiber cloth. This reinforcing fiber cloth layer is
Direction of tensile strength of amorphous metal thin film,
It is effective for covering non-uniform strength and low tear strength.

補強用繊維布帛層は、天然繊維、例えば、木綿、麻な
ど、無機繊維、例えば、ガラス繊維、カーボン繊維、金
属繊維など、再生繊維、例えば、ビスコースレーヨン、
キュプラなど、半合成繊維、例えば、ジ−およびトリ−
アセテート繊維など、及び合成繊維、例えば、ポリアミ
ド（ナイロン６、ナイロン66等）繊維、ポリエステル
（ポリエチレンテレフタレート等）繊維、芳香族ポリア
ミド繊維、アクリル繊維、ポリ塩化ビニル繊維、ポリオ
レフィン繊維など、から選ばれる少なくとも１種からな
るものである。繊維布帛中の繊維は、短繊維紡績糸条、
長繊維糸条、スプリットヤーン、テープヤーンなどのい
ずれの形状のものであってもよく、また布帛は、織物、
編物、不織布又はこれらの複合布のいずれであってもよ
い。また補強用繊維布帛層を形成する布帛として、平行
に並べた経糸と緯糸とを交差するように重ね、これらを
からみ糸で押えて構成された織物が特に好ましい。ま
た、得られる電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積
層シートが特に柔軟であることを必要とする場合は、補
強用繊維布帛層が比較的目の粗い編織物で形成すること
が好ましく、また強度の高いことを必要とする場合は、
比較的密度の高い編織物をもって形成することが好まし
い。さらに、補強用繊維布帛層は導電性又は半導電性で
あることが好ましい。The reinforcing fiber cloth layer is made of natural fibers such as cotton and hemp, inorganic fibers such as glass fibers, carbon fibers and metal fibers, regenerated fibers such as viscose rayon,
Semi-synthetic fibers such as cupra, eg di- and tri-
At least acetate fibers and synthetic fibers such as polyamide (nylon 6, nylon 66, etc.) fibers, polyester (polyethylene terephthalate, etc.) fibers, aromatic polyamide fibers, acrylic fibers, polyvinyl chloride fibers, polyolefin fibers, etc. It consists of one kind. The fibers in the fiber cloth are short fiber spun yarn,
It may be in any shape such as long fiber yarn, split yarn, tape yarn, etc.
It may be a knitted fabric, a non-woven fabric, or a composite fabric of these. Further, as a fabric forming the reinforcing fiber fabric layer, a woven fabric constituted by stacking warp yarns and weft yarns arranged in parallel so as to intersect each other and pressing them with a twine yarn is particularly preferable. Further, when the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet needs to be particularly flexible, it is preferable that the reinforcing fiber cloth layer is formed of a knitted woven fabric having a relatively open mesh, and high strength. If you need
It is preferable to form the knitted fabric having a relatively high density. Furthermore, the reinforcing fiber fabric layer is preferably electrically conductive or semi-conductive.

この場合、布帛層を形成する繊維自体が導電性又は半導
電性であってもよく、また、これらの繊維を混用したも
のであってもよい。或は、非導電性布帛に導電性又は半
導電性加工剤を施したものでもよく、更に布帛が不織布
であって、導電性又は半導電性のバインダーが用いられ
ているものであってもよい。In this case, the fibers forming the fabric layer may be electrically conductive or semi-conductive, or may be a mixture of these fibers. Alternatively, a non-conductive cloth may be treated with a conductive or semi-conductive processing agent, and the cloth may be a non-woven fabric and a conductive or semi-conductive binder may be used. .

一般にアモルファス金属薄膜の引裂き強さは殆んど０に
等しい程低く、低い負荷で容易に裂断する。またこのよ
うなアモルファス金属薄膜は引張り強さにおいても比較
的弱く、かつ、強度のバラツキが大きい。例えば厚さ25
μｍのアモルファス金属薄膜の引張り強さをJIS−Ｌ−1
096(1979)、「一般織物試験方法」の６．12，引張り強
さ及び伸び率６．12．１（１）Ａ法（ストリップ法）に
準拠し、幅：３cm、把み間隔：20cm、引張りスピード：
200mm／分での条件で測定すると、その引張り強さは、6
5〜125kg／３cm、平均100kg／３cm程度の比較的弱いも
のであり、また測定値にバラツキが大きい、また、アモ
ルファス金属薄膜は、一般に幅の狭いリボン状で提供さ
れているので、これらを並列に配列してシート状にする
と、たとえ、これらをその対向している側縁部で半田に
より、或は接着剤で接合しても、このシートの横方向の
引張り強さは不十分であり、しかもそのバラツキが大き
いという問題がある。しかし、重包装用、重被覆用に使
用された電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ート、或は局部的に摩擦されたり、局部的に外力が作用
する用途に用いられる場合、本発明の電磁波シールド性
アモルファス金属薄膜積層シートは、繊維布帛からなる
可撓性補強層により補強されているため、十分な実用性
を有している。Generally, the tear strength of an amorphous metal thin film is as low as almost 0, and the film easily tears at a low load. Further, such an amorphous metal thin film is relatively weak in tensile strength and has a large variation in strength. Eg thickness 25
The tensile strength of μm amorphous metal thin film is JIS-L-1.
096 (1979), “General textile test method”, 6.12, Tensile strength and elongation 6.12.1 (1) Method A (strip method), width: 3 cm, gripping interval: 20 cm, Pulling speed:
When measured under the condition of 200 mm / min, its tensile strength is 6
5 to 125 kg / 3 cm, average of about 100 kg / 3 cm, which is relatively weak, and the measured values vary widely. Amorphous metal thin films are generally provided in the shape of narrow ribbons, so they are arranged in parallel. When arranged in a sheet form, even if these are joined by solder or adhesive at their opposite side edges, the transverse tensile strength of this sheet is insufficient, Moreover, there is a problem that the variation is large. However, in the case of heavy packaging, an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet used for heavy coating, or an application in which local friction or local external force acts, the electromagnetic wave shielding property of the present invention The amorphous metal thin film laminated sheet has sufficient practicability because it is reinforced by the flexible reinforcing layer made of fiber cloth.

この補強用繊維布帛層の引張り強さは、アモルファス金
属薄膜の引張り強さよりも高いことが好ましい。補強用
繊維布帛層の引張り強さは、積層体中のアモルファス金
属薄膜の引張り強さの最低値よりも高いことが好まし
い。このような補強用繊維布帛層は、アモルファス金属
薄膜の引張り強さを補強し、かつ、そのばらつきを少な
くすることができる。The tensile strength of the reinforcing fiber cloth layer is preferably higher than the tensile strength of the amorphous metal thin film. The tensile strength of the reinforcing fiber cloth layer is preferably higher than the minimum value of the tensile strength of the amorphous metal thin film in the laminate. Such a reinforcing fiber cloth layer can reinforce the tensile strength of the amorphous metal thin film and reduce its variation.

また、補強用繊維布帛層として破断伸度が５％以下のも
のを用いると、アモルファス金属薄膜積層体と補強用繊
維布帛層との伸長性の差が小さくなり、従って、両者の
Ｓ−Ｓ荷重曲線は近似し、このため、得られる電磁波シ
ールド性アモルファス金属薄膜積層シートは、比較的大
きな引張り強さを示すことができる。また破断伸度がア
モルファス金属薄膜のそれと等しいか、或は、５％以下
の繊維シートを補強用繊維布帛層としてアモルファス金
属薄膜積層体と合体すると、得られる電磁波シールド性
アモルファス金属薄膜積層シートの形成に当り、アモル
ファス金属薄膜リボンを並列に配置しただけでよく、半
田による、或は接着剤によるリボンの接合は必ずしも必
要ではない。このような接合目のない広幅アモルファス
金属薄膜は、継ぎ目が目立たず良好な外観を示す。Further, when a reinforcing fiber cloth layer having a breaking elongation of 5% or less is used, the difference in extensibility between the amorphous metal thin film laminate and the reinforcing fiber cloth layer becomes small. The curves are similar to each other, and thus the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet can exhibit a relatively large tensile strength. Further, when a breaking elongation equal to that of an amorphous metal thin film or 5% or less of a fiber sheet is combined with an amorphous metal thin film laminate as a reinforcing fiber cloth layer, the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet is formed. In this case, it is only necessary to arrange the amorphous metal thin film ribbons in parallel, and it is not always necessary to join the ribbons by solder or adhesive. Such a wide amorphous metal thin film having no joint has a good appearance with no visible seams.

このような補強用繊維布帛層を構成する繊維としては、
130kg／mm^２以上の引張り強さと５％以下の破断伸度を
有するものが好ましい。このような性能を有する繊維の
種類に格別な限定はないが下記のものが例示される。As the fibers constituting such a reinforcing fiber cloth layer,
Those having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a breaking elongation of 5% or less are preferable. There is no particular limitation on the type of fiber having such performance, but the following are exemplified.

引張り強さ破断伸度繊維（kg／mm²）（％）ガラス繊維 350〜600 ３〜４カーボン繊維 200〜300 1.5〜0.5 金属（スチール） 240 1.7 繊維芳香族アラミド 285 2.0〜5.0 繊維これらの高強度繊維布帛は、上記の効果を達成するのに
有効なものであるが、低伸度を有し、屈曲強度の低いも
のである。従って、電磁波シールド性アモルファス金属
薄膜積層シートの用途に耐屈曲性の高いことを要求され
る場合は、上記高強度繊維布帛に高伸度の、屈曲強度の
高い他の繊維、又はそれらからなる糸条又は布帛を混用
することが好ましい。このような高伸度繊維の種類に格
別の限定はないが、それらを例示すれば下記の通りであ
る。Tensile strength at break and elongation textiles (kg / mm ²⁾ (%) glass fiber 350-600 3-4 carbon fibers 200 to 300 1.5 to 0.5 metal (steel) 240 1.7 fibers aromatic aramid 285 2.0 to 5.0 fibers thereof The high-strength fiber cloth is effective in achieving the above effects, but has low elongation and low flexural strength. Therefore, when high flex resistance is required for the application of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet, the above-mentioned high-strength fiber cloth has high elongation and high flex strength, or a yarn made of them. It is preferable to mix a strip or a cloth. There is no particular limitation on the kind of the high elongation fiber, but examples thereof are as follows.

引張り強さ破断伸度繊維（kg／mm²）（％）ポリエステル繊維約115 約13 脂肪族ポリアミド約100 約19 （ナイロン）繊維上記の他に、ポリ塩化ビニル繊維、ポリアクリル繊維、
およびポリオレフィン繊維も使用することができる。Tensile strength Break elongation Fiber (kg / mm ² ) (%) Polyester fiber About 115 About 13 Aliphatic polyamide About 100 About 19 (Nylon) fiber In addition to the above, polyvinyl chloride fiber, polyacrylic fiber,
And polyolefin fibers can also be used.

また補強用布帛層の表面は、電磁波シールド性アモルフ
ァス金属薄膜積層シートの用途に応じて、必要な平滑
性、又は、滑り防止性、或は、所望の色彩、模様などの
有していてもよく、この補強用繊維布帛層の上に、上記
特性を付与する処理を施してもよいし、或は、被覆を施
してもよい。The surface of the reinforcing fabric layer may have required smoothness, anti-slip property, or desired color or pattern depending on the use of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet. The reinforcing fiber cloth layer may be subjected to a treatment for imparting the above characteristics, or may be covered.

補強用繊維布帛層として、130kg／mm^２以上の引張り強
さと、５％以下の切断伸度とを有する繊維を含む布帛を
用いることが好ましい。As the reinforcing fiber cloth layer, it is preferable to use a cloth containing fibers having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a cutting elongation of 5% or less.

また、アモルファス金属薄膜積層体の一面に、130kg／m
m^２以上の引張り強さと５％以下の切断伸度とを有する
高強度繊維を含んでなる補強用繊維布帛層を積層し、か
つ、その他の面に、130kg／mm^２より低い低い引張り強
さと、５％より高い切断伸度とを有する高伸度繊維を含
んでなる補強用繊維布帛層を積層してもよい。In addition, 130 kg / m on one surface of the amorphous metal thin film laminate
A reinforcing fiber cloth layer containing high-strength fibers having a tensile strength of m ² or more and a cutting elongation of 5% or less is laminated, and a low tensile strength lower than 130 kg / mm ^{2 is provided} on the other surface. A reinforcing fiber fabric layer comprising high elongation fibers having a cut elongation greater than 5% may be laminated.

また、補強用繊維布帛層が130kg／mm^２以上の引張り強
さと、５％以下の切断伸度とを有する高強度繊維と、13
0kg／mm^２より低い引張り強さと、５％より高い切断伸
度とを有する高伸度繊維との混用物を含んでなるもので
あってもよい。A high-strength fiber having a reinforcing fiber cloth layer having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a cut elongation of 5% or less;
It may comprise a mixture of high elongation fibers having a tensile strength lower than 0 kg / mm ² and a breaking elongation higher than 5%.

更に、補強用繊維布帛層が、130kg／mm^２以上の引張り
強さと、５％以下の切断伸度とを有する高強度繊維を含
む少なくとも１個の補強用繊維布帛層と、130kg／mm^２
より低い引張り強さと、５％より高い切断伸度とを有す
る高伸度繊維を含む少なくとも１個の補強用繊維布帛層
とを含むものであってもよい。Furthermore, the reinforcing fiber fabric layer comprises at least one reinforcing fiber fabric layer containing high-strength fibers having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a cut elongation of 5% or less, and 130 kg / mm ²
It may include at least one reinforcing fiber fabric layer comprising high elongation fibers having a lower tensile strength and a cut elongation greater than 5%.

更にまた、アモルファス金属薄膜積層体の片面又は両面
上に補強用繊維布帛層が積層されており、このようにし
て形成された基層の片面又は両面上に、他の可撓性材料
からなる被覆層が配置されていてもよい。Furthermore, a reinforcing fiber cloth layer is laminated on one side or both sides of the amorphous metal thin film laminate, and a coating layer made of another flexible material is formed on one side or both sides of the base layer thus formed. May be arranged.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいて、可撓性材料層はカーペットの上表部を構
成する繊維布帛層、例えばパイル布帛層であってもよ
く、或は、壁紙シートを構成する壁紙状シート層であっ
てもよい。前者の場合、得られる電磁波シールド性アモ
ルファス金属薄膜積層シートは、電磁波シールド性敷物
として有用であり、後者の場合、得られる電磁波シール
ド性アモルファス金属薄膜積層シートは電磁波シールド
性壁紙として有用である。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, the flexible material layer may be a fiber cloth layer forming the upper surface of the carpet, for example, a pile cloth layer, or a wallpaper forming a wallpaper sheet. It may be a sheet layer. In the former case, the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is useful as an electromagnetic wave shielding rug, and in the latter case, the obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet is useful as an electromagnetic wave shielding wallpaper.

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートにおいて、その最外表面層の少なくとも１つが、補
強用繊維布帛層、又は可撓性・防水性重合体樹脂層によ
り形成されていてもよい。In the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention, at least one of the outermost surface layers may be formed of a reinforcing fiber cloth layer or a flexible / waterproof polymer resin layer.

以下に本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜
積層シートを実施例により更に説明する。The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention will be further described below with reference to examples.

参考例１アモルファス合金（Fe：81％，Ｂ：13.5％，Si：3.5
％，Ｃ：２％、商標：METGLAS No.2605SC、アライド社
製、幅7.62cm、厚さ25μｍ）のリボン状体の全表面に、
厚さ１μｍの銅メッキを施した。このメッキ層付きアモ
ルファス金属薄膜リボンを13枚並列し、それぞれの側縁
端を半田接合して幅約１ｍの広幅薄膜を作成した。この
ようにして作成した３枚のメッキ層付きアモルファス金
属薄膜を積層し、上下に対向する薄膜の一つの全面に合
成ゴム系接着剤（商標：SC 12N、ソニーケミカル社製）
を塗布し、これらを接着した。得られたアモルファス金
属薄膜積層体は40dBの電磁波シールド性を有していた。Reference Example 1 Amorphous alloy (Fe: 81%, B: 13.5%, Si: 3.5
%, C: 2%, trademark: METGLAS No. 2605SC, manufactured by Allied, width of 7.62 cm, thickness of 25 μm) on the entire surface of the ribbon-shaped body,
Copper plating having a thickness of 1 μm was applied. Thirteen pieces of this amorphous metal thin film ribbon with a plated layer were arranged in parallel, and the side edges of the ribbons were soldered together to form a wide thin film having a width of about 1 m. Three amorphous metal thin films with a plating layer prepared in this way are laminated, and a synthetic rubber adhesive (trademark: SC 12N, manufactured by Sony Chemical Co., Ltd.)
Was applied and these were adhered. The obtained amorphous metal thin film laminate had an electromagnetic wave shielding property of 40 dB.

上記のアモルファス金属薄膜積層体の一面上に、発泡倍
率40倍（気孔率：97.5％）、厚さ５mmのポリウレタンフ
ォームを貼着して包材とした。この積層シートを用い
て、鋭角のコーナーを有する機器を包み込んだところ発
泡多孔質層は、機器の形状に応じて圧縮変形し、アモル
ファス金属薄膜が伸長したり折損することは全くなかっ
た。A polyurethane foam having a foaming ratio of 40 times (porosity: 97.5%) and a thickness of 5 mm was attached to one surface of the above-mentioned amorphous metal thin film laminate to obtain a packaging material. When this laminated sheet was used to wrap a device having sharp corners, the foamed porous layer was compressed and deformed in accordance with the shape of the device, and the amorphous metal thin film was neither elongated nor broken.

実施例１アモルファス合金（Fe：81％，Ｂ：13.5％，Si：3.5
％，Ｃ：２％、商標：METGLAS No.2605SC、アライド社
製、幅7.62cm、厚さ25μｍ）のリボン状体の全表面に、
厚さ１μｍの銅メッキを施した。このメッキ層付きアモ
ルファス金属薄膜リボンを13枚並列し、それぞれの側縁
端を半田接合して幅約１ｍの広幅シートを作成した。半
田接合部の引張り強さは40〜86kg／３cm、平均68.6kg／
３cmで半田接合部の引張り強さはかなり低いものであっ
た。Example 1 Amorphous alloy (Fe: 81%, B: 13.5%, Si: 3.5
%, C: 2%, trademark: METGLAS No. 2605SC, manufactured by Allied, width of 7.62 cm, thickness of 25 μm) on the entire surface of the ribbon-shaped body,
Copper plating having a thickness of 1 μm was applied. Thirteen pieces of the amorphous metal thin film ribbons with the plating layers were arranged side by side, and the side edges of the ribbons were soldered together to form a wide sheet having a width of about 1 m. Tensile strength of solder joint is 40-86kg / 3cm, average 68.6kg /
At 3 cm, the tensile strength of the solder joint was quite low.

この広幅アモルファス合金薄膜５枚を積層し、上下に対
向する薄膜の一面上に合成ゴム系接着剤（商標：SC 12
N、ソニーケミカル社製）を、直径３mmの円型スポット
状に１cm^２当り２個の密度で塗布し、これらを一体に接
着した。この接着剤の塗布面積率は14.13％であった。Five wide amorphous alloy thin films are stacked, and a synthetic rubber adhesive (trademark: SC 12
N, manufactured by Sony Chemical Co., Ltd.) was applied to a circular spot having a diameter of 3 mm at a density of 2 pieces per cm ² , and these were integrally bonded. The coating area ratio of this adhesive was 14.13%.

得られたアモルファス金属薄膜積層体は80dBの高電磁波
シールド効果を示した。The obtained amorphous metal thin film laminate exhibited a high electromagnetic wave shielding effect of 80 dB.

上記アモルファス金属薄膜積層体の一面の全面に、上記
接着剤を塗布し、これにガラス繊維布帛（商標：KS−26
71、カネボウ硝子繊維社製、厚さ：0.22mm、目付：210
ｇ／ｍ^２、平織、径密度：19本／25.4mm、緯密度：19本
／25.4mm、繊維引張り強さ：350kg／mm^２、繊維破断伸
度：３％、布帛引張り強さ、経緯両方向共に111.6kg／
３cm、布帛破断伸度、経緯両方向ともに3.0％）を貼着
し、他の一面も同様にして下記組織のポリエステルフィ
ラメント平織粗布を貼着し、基層シートを作成した。この平織布帛は、厚
さ：0.3mm、目付：40kg／ｍ^２、布帛引張り強さ、：
経、緯ともに25kg／３cm、布帛破断伸度：経緯両方向と
もに15％、繊維引張り強さ：110kg／mm^２、繊維破断伸
度13％であった。The above adhesive is applied to the entire surface of one surface of the amorphous metal thin film laminate, and a glass fiber cloth (trademark: KS-26)
71, made by Kanebo Glass Fiber Co., Ltd., thickness: 0.22 mm, basis weight: 210
g / m ² , plain weave, diameter density: 19 threads / 25.4 mm, weft density: 19 threads / 25.4 mm, fiber tensile strength: 350 kg / mm ² , fiber breaking elongation: 3%, fabric tensile strength, both directions Both 111.6kg /
3 cm, fabric breaking elongation, 3.0% in both the weft and latitudinal directions), and the other surface of the polyester filament plain weave woven fabric with the following structure in the same manner. Was attached to prepare a base layer sheet. This plain woven fabric has a thickness: 0.3 mm, a basis weight: 40 kg / m ² , a fabric tensile strength ,:
The warp and weft were both 25 kg / 3 cm, the fabric breaking elongation was 15% in both directions of the warp and weft, the fiber tensile strength was 110 kg / mm ² , and the fiber breaking elongation was 13%.

上記基層シートを下記組成の可撓性・防水性重合体樹脂
液に浸漬した。The above-mentioned base layer sheet was immersed in a flexible and waterproof polymer resin solution having the following composition.

ポリ塩化ビニル樹脂 80重量部ブチルベンジルフタレート 68 〃エポキシ化大豆油７重量部炭酸カルシウム 20 〃カドミウムバリウム系安定剤３〃顔料８〃トルエン（溶剤） 130 〃樹脂液含浸基層シートをニップローラーで絞り、樹脂液
の付着量を100％に調節し、乾燥機中で90℃で１分間乾
燥した。次に、この樹脂層を180℃で１分間熱処理して
ポリ塩化ビニルをゲル化固着した。Polyvinyl chloride resin 80 parts by weight Butylbenzyl phthalate 68 〃 Epoxidized soybean oil 7 parts by weight Calcium carbonate 20 〃 Cadmium barium stabilizer 3 〃 Face agent 8 〃 Toluene (solvent) 130 〃 Resin solution impregnated base sheet is squeezed with a nip roller The amount of the resin liquid adhered was adjusted to 100%, and the resin liquid was dried in a dryer at 90 ° C. for 1 minute. Next, this resin layer was heat-treated at 180 ° C. for 1 minute to gel and fix polyvinyl chloride.

得られた可撓性・防水性重合体樹脂基礎層の厚さは0.35
mmであった。The thickness of the obtained flexible / waterproof polymer resin base layer is 0.35.
It was mm.

この積層シートの一面上に防汚・耐候性合成樹脂フィル
ム（商標：KFCシート、呉羽化学工業社製、ポリ弗化ビ
ニリデン樹脂層（２〜３μｍ）／ポリアクリル樹脂層
（２〜４μｍ）／ポリ塩化ビニル樹脂層（4.5μｍ）の
積層シート）のポリ塩化ビニル樹脂層面を加熱貼着し、
他の一面にポリアクリル樹脂フィルム（三菱レイヨン社
製、25μｍ）を加熱貼着した。得られた電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シートは第６図に示されて
いる積層構成を有し、良好な、電磁波に対するシールド
性（80dB）と、すぐれた防水性、防汚性および耐候性と
を有し、また、熱融着接合の可能なものであった。この
ようなすぐれた熱融着接合性によって、従来考えられな
かったアモルファス金属薄膜をシート材料（例えば大型
テント用シート）に使用することを可能にし従来縫合出
来なかったアモルファス金属薄膜を使用した積層シート
の縫合を可能にし、その利用を簡易化し、かつ利用分野
を拡大することが出来るようになった。An antifouling / weather resistant synthetic resin film (trademark: KFC sheet, manufactured by Kureha Chemical Industry Co., Ltd., polyvinylidene fluoride resin layer (2 to 3 μm) / polyacrylic resin layer (2 to 4 μm) / poly The polyvinyl chloride resin layer surface of the vinyl chloride resin layer (4.5 μm laminated sheet) is heat-bonded,
A polyacrylic resin film (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd., 25 μm) was heat-bonded to the other surface. The obtained electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet has the laminated constitution shown in FIG. 6, and has a good electromagnetic wave shielding property (80 dB) and excellent waterproof property, antifouling property and weather resistance. And was capable of heat fusion bonding. Due to such excellent heat fusion bondability, it is possible to use an amorphous metal thin film that has not been considered in the past as a sheet material (for example, a sheet for a large tent), and a laminated sheet using an amorphous metal thin film that cannot be sewn in the past. It has become possible to sew, simplify its use, and expand the field of use.

この電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シート
の引張り強さを測定したところ、経：125.3kg／３cm、
緯：120.8kg／３cmであり、破断伸度は経：3.3％、緯：
3.6％であって実用上十分なものであり、引張り強さの
バラツキ値は経緯それぞれ３kg／３cm程度であり、アモ
ルファス金属単独薄膜の性能を上回る許りでなく、強さ
のバラツキも少なかった。このため、アモルファス金属
薄膜の引張り強さの最低値65kg／３cmを格別心配する必
要がなくなった。When the tensile strength of this electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet was measured, it was: 125.3 kg / 3 cm,
Weft: 120.8 kg / 3 cm, elongation at break: 3.3%, weft:
The value was 3.6%, which is sufficient for practical use, and the variation in tensile strength was about 3 kg / 3 cm for each of the history, and it was not acceptable to exceed the performance of the amorphous metal single thin film, and the variation in strength was small. Therefore, there is no need to worry about the minimum tensile strength of the amorphous metal thin film of 65 kg / 3 cm.

このような電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層
シートは複数のアモルファス金属薄膜からなる積層体を
含んでいるにも拘らず、実用上十分な強度と屈曲性を示
し、かつ、80dBの極めて高い電磁波シールド効果を示し
た。また、実用上十分な作業性、取り扱い容易性を有し
ていた。Such an electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet exhibits a practically sufficient strength and flexibility despite containing a laminated body composed of a plurality of amorphous metal thin films, and has an extremely high electromagnetic wave shielding effect of 80 dB. showed that. Moreover, it had practically sufficient workability and easy handling.

また、ポリエステル布を併用せず、前述と同様にして得
られた電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シー
トの耐屈曲性をJIS−Ｋ−6328、スコット法を適用し、
荷重：１kg、屈曲：1000回の処理を施し、処理前に対す
る処理後の強力保持率を測定したところ、ポリエステル
布併用のものが85％であったのに対し、併用しないもの
は30％であった。ポリエステル布を含む電磁波シールド
性アモルファス金属薄膜積層シートは、屈曲のある用途
に適し、ポリエステル布を含まない電磁波シールド性ア
モルファス金属薄膜積層シートは折り曲げの少ない用途
に用いればよい。In addition, the flex resistance of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet obtained in the same manner as described above without using polyester cloth was applied JIS-K-6328, Scott method,
The load was 1 kg and the bending was performed 1000 times, and the strength retention after treatment was measured before and after treatment. It was 85% when the polyester cloth was used together, but 30% when not used. It was The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet containing a polyester cloth is suitable for use with bending, and the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet not containing a polyester cloth may be used for applications with little bending.

実施例２実施例１と同様の操作を行った。但し、接着剤として、
導電性を有するドータイトFE−102（藤倉化成社製、Ag
−Cu含有電磁波シールド用アクリル系樹脂接着剤、体積
抵抗：10^-4Ω・cm）を使用した。更に、可撓性・防水性
重合体樹脂液に、10重量部のケチエンブラックを添加し
た。Example 2 The same operation as in Example 1 was performed. However, as an adhesive
Conductive Dauite FE-102 (Fujikura Kasei Co., Ag
A Cu-containing acrylic resin adhesive for electromagnetic wave shielding, volume resistance: 10 ⁻⁴ Ω · cm) was used. Furthermore, 10 parts by weight of kethien black was added to the flexible and waterproof polymer resin liquid.

得られた電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートの電磁波シールド性は93dBであった。The electromagnetic wave shielding property of the obtained amorphous metal thin film laminated sheet was 93 dB.

〔The invention's effect〕

本発明の電磁波シールド性アモルファス金属薄膜積層シ
ートは、複数のアモルファス金属薄膜からなる積層体を
含むものであるが、実用上十分な柔軟性、屈曲性、強
度、衝撃緩衝性、および作業性を有し、更に、すぐれた
電磁波シールド性を有しているので、電磁波シールド性
の被覆、又は、包装シート、敷物、或は壁紙シートなど
として有用なものである。また、本発明の電磁波シール
ド性アモルファス金属薄膜積層シートは上記用途におけ
る中間体製品又は完成製品のいづれに組み合わせて使用
することもできる。The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet of the present invention includes a laminate composed of a plurality of amorphous metal thin films, but has practically sufficient flexibility, flexibility, strength, shock buffering property, and workability, Further, since it has an excellent electromagnetic wave shielding property, it is useful as a coating having an electromagnetic wave shielding property, a packaging sheet, a rug, or a wallpaper sheet. Further, the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention can be used in combination with any of the intermediate products or finished products in the above applications.

[Brief description of drawings]

第１図〜第９図はそれぞれ、本発明の電磁波シールド性
アモルファス金属薄膜積層シートの積層構成の一例を示
す断面説明図である。〔符号の説明〕１…アモルファス金属薄膜積層体、２…補強用繊維布帛層、３…複合可撓性重合体層、４…可撓性・防水性重合体樹脂層。1 to 9 are cross-sectional explanatory views showing an example of the laminated constitution of the electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet of the present invention. [Explanation of Reference Signs] 1 ... Amorphous metal thin film laminate, 2 ... Reinforcing fiber cloth layer, 3 ... Composite flexible polymer layer, 4 ... Flexible / waterproof polymer resin layer.

Claims

[Claims]

1. A laminated body of one layer or two or more layers made of a plurality of amorphous metal thin films integrated and laminated, and two or more coating layers laminated on the laminated body and made of a flexible material. A laminated sheet containing the above, wherein at least one layer of the covering layer made of the flexible material is a reinforcing fiber cloth layer, and at least one other layer is a flexible and waterproof polymer resin. And a surface layer formed on the base layer, which is made of an antifouling / weather-resistant synthetic resin and which forms the outermost surface of the laminated sheet. An amorphous metal thin film laminated sheet having an electromagnetic wave shielding property.

2. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the plurality of laminated amorphous metal thin films are bonded and integrated with each other with an adhesive or a pressure sensitive adhesive.

3. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 2, wherein the adhesive or pressure-sensitive adhesive has conductivity or semiconductivity.

4. The adhesive or pressure-sensitive adhesive is distributed in one or more lines or in one or more dots on the bonding surface of the bonded amorphous metal thin film. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to item 2 or 3.

5. The total distribution area of the adhesive or pressure-sensitive adhesive is 1. with respect to the area of the adhesive surface of the amorphous metal thin film.
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 4, which is in the range of 0 to 90%.

6. The electromagnetic wave shielding amorphous metal according to claim 4, wherein the application areas of the adhesive or the pressure sensitive adhesive on the plurality of laminated amorphous metal thin films are formed at positions that do not overlap each other. Thin film laminated sheet.

7. The electromagnetic wave shield according to claim 1, wherein the amorphous metal thin film laminate is packed and integrated between two flexible polymer resin sheets facing each other. Amorphous metal thin film laminated sheet.

8. 1 in the amorphous metal thin film laminate
One or more amorphous metal thin films include this amorphous metal thin film and a plating layer formed on one or both surfaces of the amorphous metal thin film and made of one or more conductive metals.
An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1.

9. The amorphous metal thin film laminate includes one or more amorphous metal thin films with plated layers and one or more amorphous metal thin films having no plated layers.
An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1.

10. The conductive metal plating layer comprises at least one selected from copper, nickel, cobalt, iron, aluminum, gold, silver, tin, zinc, and alloys containing at least one selected from the above metals. 9. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 8, which comprises:

11. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the amorphous metal thin films include a plurality of amorphous metal thin film ribbons arranged in parallel to each other.

12. The amorphous metal thin film ribbons are joined together at their longitudinal edges by a conductive adhesive or solder to form a unitary thin film having a desired width. 11. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to item 11.

13. The amorphous metal thin film ribbon, wherein its long edge portions are bonded to each other by an adhesive or a pressure sensitive adhesive to form an integral thin film having a desired width. 6. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to the item.

14. The amorphous metal thin film comprises Fe, Co,
A main component composed of at least one member selected from Ni, Pd, Cu, Nd and Ti, and B, Si, C, Co, Ni, Cr, Zr, Nb, C
The electromagnetic wave shielding amorphous metal according to claim 1, comprising at least one member selected from u, Ti, and Mo, provided that it contains an additive component containing no metal contained in the main component. Thin film laminated sheet.

15. Each of the amorphous metal thin films comprises 5
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, which has a thickness of -100 μm.

16. The amorphous metal thin film laminate has 50 to 50.
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, having a total thickness of 5,000 μm.

17. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein a plurality of laminated thin films are adhered to each other in an adhesive region which does not overlap each other in the amorphous metal thin film laminated body.

18. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 8, wherein the conductive metal plating layer has a thickness of 0.1 μm or more.

19. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer is formed between a plurality of the amorphous metal thin film laminated bodies.

20. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the coating layer made of the flexible material is conductive or semiconductive.

21. The flexible / waterproof polymer resin base layer is laminated on the amorphous metal thin film laminate.
The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1.

22. The electromagnetic wave according to claim 1, wherein the antifouling / weathering resistant synthetic resin surface layer comprises at least one selected from fluorine-containing polymers and polyacrylic polymers. Shielding amorphous metal thin film laminated sheet.

23. The antifouling / weather resistant synthetic resin surface layer is formed by coating and adhering a film containing at least one selected from fluorine-containing polymers and polyacrylic polymers. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1.

24. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the composite flexible polymer layer has a thickness of 50 μm or more.

25. The reinforcing fiber cloth layer is glass fiber,
Claim 1 comprising at least one fiber selected from carbon fiber, metal fiber, polyester fiber, aliphatic polyamide fiber, aromatic polyamide fiber, polyvinyl chloride fiber, polyacrylic fiber and polyolefin fiber. 6. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to the item.

26. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer has a tensile strength higher than that of one or more of the amorphous metal thin films.

27. The reinforcing fiber fabric layer has a tensile strength higher than a minimum value of the tensile strength of one or more of the amorphous metal thin films in the laminate.
6. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to the item.

28. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer has a breaking elongation of 5% or less.

29. The electromagnetic wave shield according to claim 1, wherein the reinforcing fiber fabric layer comprises fibers having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a breaking elongation of 5% or less. Amorphous metal thin film laminated sheet.

30. The amorphous metal thin film laminate is laminated on one surface thereof with a reinforcing fiber fabric layer containing high strength fibers having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a breaking elongation of 5% or less. And in another aspect laminated by a reinforcing fiber fabric layer comprising high elongation fibers having a tensile strength lower than 130 kg / mm ² and a breaking elongation higher than 5%. 2. An electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to item 1 above.

31. The reinforcing fiber fabric layer comprises a high-strength fiber having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a breaking elongation of 5% or less, a tensile strength lower than 130 kg / mm ^2, and a tensile strength of 5% or less. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, comprising a mixture with a high strength fiber having a high breaking elongation.

32. One or more fiber layers containing high-strength fibers having a tensile strength of 130 kg / mm ² or more and a breaking elongation of 5% or less, and 130 kg / mm ² The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, comprising one or more fiber layers containing high-strength fibers having lower tensile strength and a breaking elongation higher than 5%.

33. A base layer is formed by the amorphous metal thin film laminate and a reinforcing fiber cloth layer laminated on one side or both sides thereof, and the composite flexible layer is formed on one side or both sides of the base layer. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein a polymer layer is arranged.

34. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminate sheet according to claim 1, wherein at least one layer of the flexible / waterproof polymer resin base layer is porous.

35. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet according to claim 1, wherein the reinforcing fiber cloth layer forms the other outermost surface of the laminated sheet.

36. The coating layer made of the flexible material is three or more layers, and one or more layers of the coating layer are made of the flexible / water-proof polymer resin. The electromagnetic wave shielding amorphous metal thin film laminated sheet described.