JPH0693419B2 - Method for manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Method for manufacturing solid electrolytic capacitor

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JPH0693419B2
JPH0693419B2 JP23095289A JP23095289A JPH0693419B2 JP H0693419 B2 JPH0693419 B2 JP H0693419B2 JP 23095289 A JP23095289 A JP 23095289A JP 23095289 A JP23095289 A JP 23095289A JP H0693419 B2 JPH0693419 B2 JP H0693419B2
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solid electrolytic
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は、固体電解質を用いる固体電解コンデンサの
製造方法に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor using a solid electrolyte.

従来の技術 近年、電気機器等の回路のディジタル化に伴い、回路に
使われるコンデンサには、高周波域でのインピーダンス
が低く、小型かつ大容量であることが強く要求されるよ
うになってきた。
2. Description of the Related Art In recent years, with the digitization of circuits such as electric devices, it has been strongly demanded that capacitors used in the circuits have a low impedance in a high frequency range, a small size, and a large capacity.

従来、高周波コンデンサとして、プラスチックフィルム
コンデンサ、マイカコンデンサ、積層セラミックコンデ
ンサがある。しかし、これらのコンデンサは、形状が大
きくなり過ぎるため、大容量化が困難である。
Conventionally, as high frequency capacitors, there are plastic film capacitors, mica capacitors, and laminated ceramic capacitors. However, it is difficult to increase the capacity of these capacitors because they are too large in shape.

一方、大容量化に適したコンデンサとして、アルミニウ
ム乾式電解コンデンサ、アルミニウム固体電解コンデン
サやタンタル固体電解コンデンサが知られている。
On the other hand, as capacitors suitable for increasing the capacity, aluminum dry electrolytic capacitors, aluminum solid electrolytic capacitors, and tantalum solid electrolytic capacitors are known.

アルミニウム乾式電解コンデンサでは、エッチングを施
した陽、陰極アルミニウム箔を紙のセパレータを介して
巻き取り、液状の電解質を含浸させるようにしている。
しかし、アルミニウム乾式電解コンデンサには、電解質
の液漏れ、蒸発等に伴う特性劣化という大きな問題があ
る。この点を改善すべく、電解質として二酸化マンガン
を用いて固体化したのが、後2者のアルミニウムやタン
タル固体電解コンデンサである。
In an aluminum dry electrolytic capacitor, an etched positive and negative aluminum foil is wound around a paper separator so as to be impregnated with a liquid electrolyte.
However, the aluminum dry electrolytic capacitor has a serious problem of deterioration of characteristics due to electrolyte leakage and evaporation. In order to improve this point, the latter two types of aluminum and tantalum solid electrolytic capacitors were solidified by using manganese dioxide as an electrolyte.

この他、固体段階コンデンサとしては、二酸化マンガン
層の代わりに、7、7、8、8−テトラシアノキノジメ
タンコンプレックス塩(TCNQ塩)を固体電解質に使うも
の(特公昭56−10777号公報、特開昭58−17609号公
報)、さらには、ピロール、フランなどの複素環式化合
物モノマーと支持電解質を含ませた溶液を用い電解重合
することにより、支持電解質のアニオンをドーバントと
して含む導電性高分子層を固体電解質に使うもの(特開
昭60−37114号公報、特開昭60−244017号公報)があ
る。
In addition, as the solid stage capacitor, instead of the manganese dioxide layer, 7,7,8,8-tetracyanoquinodimethane complex salt (TCNQ salt) is used for the solid electrolyte (Japanese Patent Publication No. 56-10777). JP-A-58-17609), and further, by conducting electropolymerization using a solution containing a heterocyclic compound monomer such as pyrrole or furan and a supporting electrolyte, a high conductivity containing the anion of the supporting electrolyte as a dovant. There are those using a molecular layer for a solid electrolyte (Japanese Patent Laid-Open Nos. 60-37114 and 60-244017).

発明が解決しようとする課題 しかしながら、二酸化マンガン層を固体電解質とするコ
ンデンサでは、製造工程中の複数回の熱分解処理で誘電
体皮膜の損傷が起こる。二酸化マンガン層の比抵抗が高
く高周波での損失が相当に大きいといった問題がある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention However, in a capacitor using a manganese dioxide layer as a solid electrolyte, the dielectric film is damaged by a plurality of thermal decomposition treatments during the manufacturing process. There is a problem in that the resistivity of the manganese dioxide layer is high and the loss at high frequencies is considerably large.

TCNQ塩を固体電解質とするコンデンサでは、TCNQ塩を塗
布する際に比抵抗上昇が起こる、陽極金属箔との接着性
が弱いといった問題があり、実用性が薄い。
Capacitors that use TCNQ salt as a solid electrolyte are not practical because they have problems such as an increase in specific resistance when applying TCNQ salt and weak adhesion to the anode metal foil.

一方、電解重合よる導電性高分子層を固体電解質とする
コンデンサでは、誘電体皮膜上に電解重合層を形成する
こと自体に技術的な困難がある。通常の陽極(例えば、
白金、カーボン等)上に、複素環式化合物であるピロー
ル、チオフェン、これらの誘導体と適当な支持電解質と
の溶液を用い高導電性の電解重合膜を形成できることが
既に知られているが、絶縁物である誘電体皮膜が電流を
流さないために電解重合導電性高分子層を誘導体皮膜上
に形成することは原理的に困難なことだからである。
On the other hand, in a capacitor using a conductive polymer layer formed by electrolytic polymerization as a solid electrolyte, it is technically difficult to form an electrolytic polymerization layer on a dielectric film. Normal anode (for example,
It has already been known that a highly conductive electrolytic polymerized film can be formed on a platinum (carbon, etc.) by using a solution of a heterocyclic compound such as pyrrole, thiophene, or a derivative thereof and an appropriate supporting electrolyte. This is because it is theoretically difficult to form the electrolytically polymerized conductive polymer layer on the derivative film because the dielectric film, which is a material, does not pass an electric current.

誘電体皮膜(酸化皮膜)を形成する前に電解重合導電性
高分子層を先に形成し、その後、化成反応により誘電体
皮膜を後で形成することも可能ではあるが、この場合
は、電解重合高分子層の変質・劣化や同高分子層・金属
体間の剥離が起こるため、実際には十分な特性のコンデ
ンサが得られず、実用性が薄い。
It is possible to form the electropolymerized conductive polymer layer before forming the dielectric film (oxide film) and then form the dielectric film by a chemical conversion reaction. Since the polymerized polymer layer is deteriorated / deteriorated and the polymer layer / metal body is peeled off, a capacitor having sufficient characteristics cannot be obtained in practice and its practicality is low.

さらに、誘電体皮膜を有する金属体の表面の一部に設け
た導電性物質に外部から電圧印加用の電極を接触させ、
そこを開始点として電解重合高分子層を析出・成長させ
るようにすることが提案されている(特開昭62−165313
号公報)。
Further, an electrode for voltage application is externally contacted with a conductive substance provided on a part of the surface of the metal body having a dielectric film,
It has been proposed to use this as a starting point to deposit and grow an electrolytically polymerized polymer layer (JP-A-62-165313).
Issue).

また、誘電体皮膜を有する金属体の表面の一部を絶縁性
高分子膜で被膜後、全体を導電化させておき、これに外
部から陽極用金属製電極を接触させて電解重合高分子層
を析出・成長させることも提案されている(特開平1−
105523号公報)。
In addition, after coating a part of the surface of the metal body having the dielectric film with an insulating polymer film, the whole is made conductive, and a metal electrode for an anode is brought into contact with the outside to form an electrolytically polymerized polymer layer. It has also been proposed to precipitate and grow (Japanese Unexamined Patent Publication No.
105523 publication).

しかしながら、前者の方法には開始点以外の部分は絶縁
状態であるため、電解重合の成長が極めて遅いという問
題がある。一方、後者の方法にはコンデンサ用として実
質的に使用できる表面積が少なくなるという問題があ
る。加えて、両者の方法には、得られたコンデンサの漏
れ電流が多いという共通した問題がある。電解重合の際
に接触させる陽極用電極が誘電体皮膜を損傷させるから
である。
However, the former method has a problem that the electropolymerization growth is extremely slow because the portion other than the starting point is in an insulating state. On the other hand, the latter method has a problem that the surface area that can be practically used for the capacitor is reduced. In addition, both methods have a common problem that the obtained capacitor has a large leakage current. This is because the anode electrode brought into contact during electrolytic polymerization damages the dielectric film.

この発明は、上記の事情に鑑み、コンデンサ用表面積減
少を招来することなく、良好な膜質の固体電解質用の電
解重合高分子層形成が迅速に行え、しかも、漏れ電流も
少ない優れた電気的特性を有する固体電解コンデンサを
得ることのできる方法を提供することを課題とする。
In view of the above circumstances, the present invention can rapidly form an electropolymerized polymer layer for a solid electrolyte having a good film quality without reducing the surface area for a capacitor, and has excellent electrical characteristics with a small leakage current. An object of the present invention is to provide a method capable of obtaining a solid electrolytic capacitor having.

課題を解決するための手段 上記第1の課題を解決するため、請求項(1)〜(6)
記載の固体電解コンデンサの製造方法では、陽極酸化や
陽極化成等により表面に誘電体皮膜が形成され同皮膜上
に導電層が積層されてなる金属体(弁金属)を、複素環
式化合物モノマーと支持電解質を少なくとも含む電解液
中に配置し、電圧印加用の液体電極に前記導電層を接触
させて前記モノマーの電解重合反応を行うことにより、
固体電解質用の導電性電解重合高分子層を前記導電層上
に積層するようにしている。
Means for Solving the Problems In order to solve the first problem, the claims (1) to (6)
In the method for producing a solid electrolytic capacitor described above, a metal body (valve metal) formed by forming a dielectric film on the surface by anodic oxidation or anodization, and laminating a conductive layer on the film is used as a heterocyclic compound monomer. Placed in an electrolytic solution containing at least a supporting electrolyte, by contacting the conductive layer to a liquid electrode for voltage application to carry out an electrolytic polymerization reaction of the monomer,
A conductive electropolymerized polymer layer for a solid electrolyte is laminated on the conductive layer.

この発明における陽極酸化や陽極化成等により誘電体皮
膜(酸化皮膜)が表面に形成された金属体の金属には、
請求項(5)記載の発明のように、例えば、アルミニウ
ム、タンタル、チタンのうちの少なくともひとつが挙げ
られる。金属体は、より具体的には、アルミニウム箔、
タンタル箔、チタン箔、あるいは、これらの金属の合金
箔等である誘電体皮膜上に積層形成された導電層の導電
率は、それほど高いものである必要はなく、実質的な電
解重合膜の成長が可能となる導電率(通常、10-3S/cm以
上)であれば使用できる。具体的な導電層としては、金
属体表面の誘電体皮膜の化成性を考慮すれば、例えば、
請求項(6)記載の発明のように、二酸化マンガン等の
マンガン酸化物を含む層が好適である。
The metal of the metal body on the surface of which a dielectric film (oxide film) is formed by anodic oxidation or anodization in this invention is
As in the invention according to claim (5), for example, at least one of aluminum, tantalum, and titanium can be used. The metal body is, more specifically, an aluminum foil,
The conductivity of the conductive layer laminated on the dielectric film such as tantalum foil, titanium foil, or alloy foil of these metals does not need to be so high, and substantial growth of electrolytic polymerized film is possible. It can be used as long as it has a conductivity (normally 10 -3 S / cm or more). As a specific conductive layer, considering the chemical conversion of the dielectric film on the surface of the metal body, for example,
A layer containing a manganese oxide such as manganese dioxide is preferable as in the invention of claim (6).

この発明の電解重合に用いる電解液が含む複素環式化合
物モノマーとしては、例えば、請求項(4)記載の発明
のように、プロール、チオフェン、これらの誘導体(例
えば、N−メチルピロール)の少なくともひとつが挙げ
られるが、他に、フラン、セレノフェン等でもよく、そ
して、支持電解質としては、例えば、p−トルエンスル
フォン酸ナトリウム、テトラn−プチルアンモニウムp
−トルエンスルフォネート、テトラn−ブチルアンモニ
ウムパークロレイト等が挙げられる。もちろん、これら
に限らず、電解重合が可能で1S/cm程度以上の導電率を
有する電解重合膜が得られるようなものであればよい。
上記モノマーや支持電解質をそれぞれ単独で用いず、支
持電解質を複数種混合して用いたり、プロール、チオフ
ェンをそれぞれの誘導体と混合して用いるなど上記モノ
マーも複数種併用するようにしてもよい。
As the heterocyclic compound monomer contained in the electrolytic solution used in the electrolytic polymerization of the present invention, for example, at least proline, thiophene, or a derivative thereof (for example, N-methylpyrrole) can be used as in the invention of claim (4). Examples thereof include furan and selenophene, and examples of the supporting electrolyte include sodium p-toluenesulfonate and tetra-n-butylammonium p.
-Toluene sulfonate, tetra-n-butylammonium perchlorate and the like can be mentioned. Of course, the present invention is not limited to these, as long as electrolytic polymerization is possible and an electrolytic polymerization film having a conductivity of about 1 S / cm or more can be obtained.
The monomers and the supporting electrolytes may not be used alone, but a plurality of supporting electrolytes may be mixed and used, or a plurality of the above monomers may be used in combination, such as prol and thiophene mixed with respective derivatives.

また、電解液が、複素環式化合物モノマーや支持電解質
の他に、密着性を向上させるための添加剤や電解液の酸
化抑制剤等をも含んでいてもよい。勿論、含んでいなく
てもよい。
In addition to the heterocyclic compound monomer and the supporting electrolyte, the electrolytic solution may also contain an additive for improving adhesion, an oxidation inhibitor for the electrolytic solution, and the like. Of course, it may not be included.

この発明で用いられる液体電極としては、請求項(2)
記載の発明のように、電解重合が普通行われる室温付近
で溶融状態となる金属であることが好ましく、具体的に
は、請求項(3)記載の発明のように、室温付近で溶融
状態となる金属として、水銀、インジウム・ガリウム共
融物等が挙げられる。要は、電解重合の際、電解液に実
質的に溶解せず液体状態を維持していればよい。
The liquid electrode used in the present invention is claimed in claim (2).
As in the invention described above, a metal that is in a molten state near room temperature at which electrolytic polymerization is usually performed is preferable, and specifically, as in the invention described in claim (3), it is in a molten state near room temperature. Examples of such a metal include mercury and an indium-gallium eutectic. In short, it is sufficient that the liquid state is maintained without being substantially dissolved in the electrolytic solution during the electrolytic polymerization.

この発明は、勿論、上記例示の化合物や処理方式に限ら
ない。上記例示以外の代替え可能な他の化合物、処理方
式を用いてもよいことはいうまでもない。
Of course, the present invention is not limited to the above-exemplified compounds and treatment methods. It goes without saying that other compounds and treatment methods other than those exemplified above may be used.

作用 この発明の製造方法では、電解重合の際に接触させる電
極が液体であるため、極く薄く機械的衝撃に弱い誘電体
皮膜の損傷を来すようなことがない。そのため、漏れ電
流の少ないコンデンサが得られる。
Action In the production method of the present invention, since the electrode to be brought into contact during electrolytic polymerization is a liquid, the dielectric film, which is extremely thin and vulnerable to mechanical shock, is not damaged. Therefore, a capacitor with a small leakage current can be obtained.

得られたコンデンサでは、導電層の働きにより、良好な
膜質の電解重合導電性高分子層からなる固体電解質が備
わるため、周波数特性や損失特性の点でも優れている。
The obtained capacitor is also excellent in frequency characteristics and loss characteristics, because the conductive layer is provided with a solid electrolyte composed of an electropolymerized conductive polymer layer having a good film quality.

導電層の導電率は必ずしも高くなくてもよい。この発明
における電解重合導電性高分子層は、例えば、102S/cm
の高い導電率のものが容易に形成可能なために、導電層
の厚みを電解重合導電性高分子層の厚みに比べ十分に薄
くすることにより、固体電解質全体では高い導電率とな
るようにし損失係数を低く保持できるからである。
The conductivity of the conductive layer does not necessarily have to be high. The electropolymerized conductive polymer layer in this invention is, for example, 10 2 S / cm.
Since it is possible to easily form a material with high conductivity, the thickness of the conductive layer is made sufficiently thin compared to the thickness of the electropolymerized conductive polymer layer so that the solid electrolyte as a whole has high conductivity and loss. This is because the coefficient can be kept low.

液体電極に接触していた部分には電解重合導電性高分子
層が形成されない。この電解重合導電性高分子層未形成
部分から電解重合後に陽極リードを取り出すことが可能
なため、例えば、チップ化構成がとりやすいという利点
も生まれる。
The electropolymerized conductive polymer layer is not formed in the portion in contact with the liquid electrode. Since the anode lead can be taken out from the portion where the electropolymerized conductive polymer layer is not formed after the electropolymerization, there is an advantage that, for example, a chip structure can be easily obtained.

実施例 以下、この発明にかかる固体電解コンデンサの製造方法
の具体的実施例を説明する。
Examples Hereinafter, specific examples of the method for manufacturing a solid electrolytic capacitor according to the present invention will be described.

−実施例1− 第1図は、この発明にはかかる固体電解コンデンサの製
造方法における電解重合工程の様子をあらわす。
-Example 1- Fig. 1 shows a state of an electrolytic polymerization step in a method for producing a solid electrolytic capacitor according to the present invention.

まず、縦8mm×横10mmのアルミニウムエッチド箔1を3
%アジピン酸アンモニウム水溶液を用い、約70℃、印加
電圧35Vの条件で陽極酸化することにより、エッチド箔
1表面に誘電体皮膜2を形成してから、硝酸マンガン30
%水溶液に浸漬し、250℃で10分間加熱し熱分解処理を
行い、マンガン酸化物の導電層3を積層形成する。但
し、第1図にみるように、液体電極6に埋没する領域の
大部分は導電層3が形成されていない。これは、後で陽
極リードを接続するためである。
First, 3 pieces of aluminum etched foil 1 of length 8mm x width 10mm
% An aqueous solution of ammonium adipate to form a dielectric film 2 on the surface of the etched foil 1 by anodizing at about 70 ° C. and an applied voltage of 35 V.
% Aqueous solution and heated at 250 ° C. for 10 minutes for thermal decomposition to form a conductive layer 3 of manganese oxide. However, as shown in FIG. 1, the conductive layer 3 is not formed in most of the region buried in the liquid electrode 6. This is for connecting the anode lead later.

ついで、エッチド箔1を、ピロール(0.3mol/l)、p−
トルエンスルフォン酸ナトリウム(0.1mol/l)および水
からなる電解液5中に配置するとともに水銀液体電極6
に接触させる一方、電解液5中に陰極7を配置した。4
は電解液槽である。そうしておいて、両電極6、7間に
3Vの電圧を印加して電解重合を行い、ポリピロールにp
−トルエンスルフォン酸アニオンがドープされてなる電
解重合導電性高分子層8を積層形成した。この後、水洗
し乾燥してから陽極リードをカシメにより取り付け、高
分子層8の上にカーボンペーストと銀ペーストを塗布す
るとともに陰極リードを取り出し、さらにエポキシ樹脂
で外装して固体電解コンデンサを得た。製作個数は5個
である。
Then, the etched foil 1 is pyrrole (0.3mol / l), p-
It is placed in an electrolyte solution 5 consisting of sodium toluene sulfonate (0.1 mol / l) and water, and a mercury liquid electrode 6
The cathode 7 was placed in the electrolytic solution 5 while being brought into contact with. Four
Is an electrolytic solution tank. Then, between both electrodes 6,7
A voltage of 3V is applied to carry out electrolytic polymerization and p
-The electropolymerized conductive polymer layer 8 doped with the toluenesulfonic acid anion was laminated. Then, after washing with water and drying, the anode lead is attached by caulking, the carbon paste and the silver paste are applied on the polymer layer 8, the cathode lead is taken out, and further the exterior is covered with an epoxy resin to obtain a solid electrolytic capacitor. . Five pieces are manufactured.

得られた固体電解コンデンサを13Vで1時間エージング
した後、初期容量(120Hz)、損失(120Hz)、イ
ンピーダンス(1MHz)、および10Vの電圧印加開始か
ら2分後の漏れ電流を測定した。測定結果(5個の平均
値)を第1表に示す。
After aging the obtained solid electrolytic capacitor for 1 hour at 13 V, the initial capacity (120 Hz), loss (120 Hz), impedance (1 MHz), and leakage current 2 minutes after the start of voltage application of 10 V were measured. Table 1 shows the measurement results (average value of 5 samples).

−比較例1− 第2図にみるように、予め陽極リード9を取着しておく
とともに、液体電極の代わりに陽極用ステンレス製電極
10を当てるようにした他は、実施例1と同様にして固体
電解コンデンサを得た。各特性の測定結果を第1表に示
す。
-Comparative Example 1-As shown in FIG. 2, the anode lead 9 is attached in advance, and a stainless steel electrode for the anode is used instead of the liquid electrode.
A solid electrolytic capacitor was obtained in the same manner as in Example 1 except that 10 was applied. Table 1 shows the measurement results of each property.

−実施例2− 水、p−トルエンスルフォン酸ナトリウムの代わりにア
セトニトリル、テトラn−プチルアンモニウムp−トル
エンスルフォネートを用いるとともに、インジウム・ガ
リウム共融物を用いた以外、実施例1と同様にして固体
電解コンデンサを得た。各特性の測定結果を第1表に示
す。
-Example 2-Acetonitrile and tetra-n-butylammonium p-toluenesulfonate were used in place of water and sodium p-toluenesulfonate, and indium gallium eutectic was used in the same manner as in Example 1. A solid electrolytic capacitor was obtained. Table 1 shows the measurement results of each property.

なお、実施例2においてピロールを、ピロールおよびN
−メチルピロールを等モル含む混合物とした他は同様に
して、固体電解コンデンサを得たが、実施例2と同様の
結果となった。
In addition, in Example 2, pyrrole was used as pyrrole and N.
-A solid electrolytic capacitor was obtained in the same manner except that a mixture containing equimolar amount of -methylpyrrole was obtained, and the same results as in Example 2 were obtained.

−実施例3− ピロールに代えてチオフェンを用いるとともに電解液槽
4、全体をドライボックス中におさめて電解重合を行う
ようにした他は、実施例2と同様にして固体電解コンデ
ンサを得た。各特性の測定結果を第1表に示す。
-Example 3-A solid electrolytic capacitor was obtained in the same manner as in Example 2 except that thiophene was used in place of pyrrole, and the electrolytic solution tank 4 was entirely placed in a dry box to carry out electrolytic polymerization. Table 1 shows the measurement results of each property.

−実施例4− エンボス加工後、10%燐酸水溶液を用いて、90℃、35V
の条件で陽極化成し表面に誘電体皮膜を形成した縦8mm
×横10mmのタンタル箔を用いた他は、実施例1と同様に
して、固体電解コンデンサを得た。各特性の測定結果を
第1表に示す。
-Example 4-After embossing, using a 10% phosphoric acid aqueous solution, 90 ° C, 35V
8mm in length with anodized under the conditions of
A solid electrolytic capacitor was obtained in the same manner as in Example 1 except that a tantalum foil having a width of 10 mm was used. Table 1 shows the measurement results of each property.

−比較例2− 第2図にみるように、予め陽極リード9を取着しておく
とともに、液体電極の代わりに陽極用ステンレス製電極
10を接触させるようにした他は実施例4と同様にして固
体電解コンデンサを得た。各特性の測定結果を第1表に
示す。
-Comparative Example 2-As shown in Fig. 2, the anode lead 9 is attached in advance, and a stainless steel electrode for the anode is used instead of the liquid electrode.
A solid electrolytic capacitor was obtained in the same manner as in Example 4 except that 10 was contacted. Table 1 shows the measurement results of each property.

実施例1と比較例1、あるいは、実施例4と比較例2の
漏れ電流値を比べれば、液体電極が漏れ電流減少機能を
発揮していることがよく分かる。また、各実施例の容
量、損失(tanδ)、インピーダンのデータにみるよう
に、低損失で優れた周波数特性のコンデンサが得られて
いることもよく分かる。
Comparing the leakage current values of Example 1 and Comparative Example 1 or Example 4 and Comparative Example 2, it is clear that the liquid electrode exhibits the leakage current reducing function. Further, as can be seen from the data of the capacity, loss (tan δ) and impedance of each example, it is well understood that a capacitor with low loss and excellent frequency characteristics is obtained.

発明の効果 以上に述べたように、請求項(1)〜(6)記載の製造
方法では、電解重合導電性高分子層形成の際に液体電極
を接触させるようにするため、誘電体皮膜の損傷を招く
ことなく、漏れ電流の少ない優れた電気的特性の固体電
解コンデンサが得られるだけでなく、誘電体皮膜上に導
電層を予め形成しておいて良好な膜質の電解重合導電性
高分子層を迅速に形成するようにしており、実用性にも
優れる。
EFFECTS OF THE INVENTION As described above, in the manufacturing method according to claims (1) to (6), in order to bring the liquid electrode into contact during the formation of the electropolymerized conductive polymer layer, the dielectric film Not only can a solid electrolytic capacitor with excellent electrical characteristics with less leakage current be obtained without causing damage, but a conductive layer is pre-formed on the dielectric film to form a good electrolytic polymerized conductive polymer. The layer is formed quickly, and is also highly practical.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明にかかる製造方法の一例における電
解重合工程の様子をあらわす模式的説明図、第2図は、
従来方法における電解重合工程の様子をあらわす模式的
説明図である。 1……アルミニウムエッチド箔(金属体)、2……誘電
体皮膜、3……導電層、4……電解液槽、5……電解
液、6……液体電極、7……陰極、8……電解重合導電
性高分子層、9……陽極リード、10……陽極用ステンレ
ス製電極。
FIG. 1 is a schematic explanatory view showing a state of an electrolytic polymerization step in an example of the production method according to the present invention, and FIG.
It is a schematic explanatory view showing a state of an electrolytic polymerization step in a conventional method. 1 ... Aluminum etched foil (metal body), 2 ... Dielectric film, 3 ... Conductive layer, 4 ... Electrolyte bath, 5 ... Electrolyte, 6 ... Liquid electrode, 7 ... Cathode, 8 ...... Electropolymerized conductive polymer layer, 9 ...... Anode lead, 10 ...... Stainless steel electrode for anode.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】表面に誘電体被膜が形成され前記被膜上に
導電層が積層されてなる金属体を、少なくとも複素環式
化合物モノマーと支持電解質を含む電解液中に配置し、
電圧印加用の液体電極に前記導電層を接触させて前記モ
ノマーの電解重合反応を行なうことにより、固体電解質
用の導電性電解重合高分子層を前記導電層上に形成する
固体電解コンデンサの製造方法。
1. A metal body having a dielectric coating formed on the surface and a conductive layer laminated on the coating is placed in an electrolytic solution containing at least a heterocyclic compound monomer and a supporting electrolyte,
A method for producing a solid electrolytic capacitor in which a conductive electrolytically polymerized polymer layer for a solid electrolyte is formed on the conductive layer by bringing the conductive layer into contact with a liquid electrode for voltage application to carry out an electrolytic polymerization reaction of the monomer. .
【請求項2】液体電極が室温付近で溶融状態となる金属
からなる請求項1記載の固体電解コンデンサの製造方
法。
2. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the liquid electrode is made of a metal which is in a molten state near room temperature.
【請求項3】室温付近で溶融状態となる金属が、水銀及
びインジウム・ガリウム共融物の内のいずれか一方であ
る請求項1又は2記載の固体電解コンデンサの製造方
法。
3. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the metal that is in a molten state near room temperature is one of mercury and an indium-gallium eutectic.
【請求項4】複素環式化合物モノマーが、ピロール、チ
オフェン及びこれらの誘導体の内の少なくとも一つであ
る請求項1から3のいずれかに記載の固体電解コンデン
サの製造方法。
4. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the heterocyclic compound monomer is at least one of pyrrole, thiophene and derivatives thereof.
【請求項5】金属体の金属が、アルミニウム、タンタル
及びチタンの内の少なくとも一つである請求項1から4
のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方法。
5. The metal of the metal body is at least one of aluminum, tantalum and titanium.
5. A method for manufacturing a solid electrolytic capacitor as described in any one of 1.
【請求項6】導電層がマンガン酸化物を含む請求項1か
ら5のいずれかに記載の固体電解コンデンサの製造方
法。
6. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the conductive layer contains manganese oxide.
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