JPH066959B2 - Piezoelectric fan - Google Patents

Piezoelectric fan

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JPH066959B2
JPH066959B2 JP19681385A JP19681385A JPH066959B2 JP H066959 B2 JPH066959 B2 JP H066959B2 JP 19681385 A JP19681385 A JP 19681385A JP 19681385 A JP19681385 A JP 19681385A JP H066959 B2 JPH066959 B2 JP H066959B2
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piezoelectric
piezoelectric fan
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は圧電ファンに関し、特にたとえばバイモルフ
振動子のような屈曲型圧電振動子を用いた、圧電ファン
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric fan, and more particularly to a piezoelectric fan using a bending type piezoelectric vibrator such as a bimorph vibrator.

(従来技術) 従来の圧電ファンの一例が、たとえば特開昭59−22
4500号公報に開示されている。この公報に開示され
ている圧電ファンは、圧電体をはりあわせてその横効果
または縦効果により屈曲振動を生じさせ、片持ち梁構造
の先端部にプラスチックや金属などの弾性体プレートを
配置してその振動による変位を増幅させながら送風す
る。
(Prior Art) An example of a conventional piezoelectric fan is disclosed in, for example, JP-A-59-22.
It is disclosed in Japanese Patent No. 4500. The piezoelectric fan disclosed in this publication generates a bending vibration by laminating a piezoelectric body by its lateral effect or vertical effect, and disposes an elastic plate such as plastic or metal at the tip of the cantilever structure. The air is blown while amplifying the displacement caused by the vibration.

(発明が解決しようとする問題点) 従来の圧電ファンでは、片持ち梁の支持部を理想的に固
定している必要があるが、実際には、その支持部は通常
の場合ケースと一体となっていて、このケースにボルト
で締め付けたりあるいは接着剤で固定されている。この
ようなケースの質量は有限であり、したがって支持部と
それが取り付けられたケースもまた振動を生じる。この
ような振動は、圧電ファンを取りつけた機器に伝播して
悪影響を及ぼすだけでなく、その支持部が振動すること
により、弾性体プレート先端の振幅が減少して風量や風
速が減少する。したがって、従来の片持ち梁タイプの圧
電ファンは効率があまりよくなかった。
(Problems to be Solved by the Invention) In the conventional piezoelectric fan, it is necessary to ideally fix the support portion of the cantilever, but in reality, the support portion is normally integrated with the case. The case is bolted or fixed with an adhesive. The mass of such a case is finite, so that the support and the case to which it is attached also vibrate. Such vibration not only propagates to a device equipped with a piezoelectric fan and adversely affects it, but also vibrates the support part thereof, which reduces the amplitude of the tip of the elastic plate and reduces the air volume and speed. Therefore, the conventional cantilever type piezoelectric fan is not very efficient.

それゆえに、この発明の主たる目的は、より効率のよい
圧電ファンを提供することである。
Therefore, the main object of the present invention is to provide a more efficient piezoelectric fan.

(問題点を解決するための手段) この発明は、簡単に言えば、音叉型基体の少なくとも1
辺に基体対称屈曲モードで振動する圧電振動子を取りつ
け、その音叉型基体の2つの辺の先端に形成した弾性体
プレートを音叉型基体とともに基体対称屈曲モードで共
振させた、圧電ファンである。
(Means for Solving the Problems) Briefly, the present invention provides at least one of tuning fork type substrates.
This is a piezoelectric fan in which a piezoelectric vibrator vibrating in a base symmetrical bending mode is attached to a side, and an elastic plate formed at the tips of two sides of the tuning fork type base is caused to resonate in the base symmetrical bending mode together with the tuning fork type base.

(作用) 圧電振動子が駆動され、基本対称屈曲振動を生じる。こ
の圧電振動子の振動がそれが一体的に取りつけられた音
叉型基体のそれぞれの辺ならびにその音叉型基体の先端
に形成された弾性体プレートに伝播し、その弾性体プレ
ートが音叉型基体とともに基本対称屈曲振動で共振し、
弾性体プレートの自由端から送風される。
(Operation) The piezoelectric vibrator is driven to generate fundamental symmetrical bending vibration. The vibration of this piezoelectric oscillator propagates to each side of the tuning fork type base to which it is integrally attached and to the elastic plate formed at the tip of the tuning fork type base, and the elastic plate is basically Resonates with symmetrical bending vibration,
The air is blown from the free end of the elastic plate.

(発明の効果) この発明によれば、効率のよい圧電ファンが得られる。
すなわち、音叉型基体における基本対称屈曲振動では、
自由振動でノードがその折り曲げられたほぼ中点とな
り、したがって、その部分を支持するようにすれば、そ
の支持部からの振動の洩れなどが生じない。したがっ
て、質量が大きくかつ強固な支持部が不要となり、従来
の片持ち梁構造の圧電ファンに比べて、より一層小型か
つ軽量化が期待できる。また、音叉型期待の先端に形成
された弾性体プレートが、対称に振動するので、片持ち
梁構造の圧電ファンに比べて、風量および風速とも飛躍
的に増大する。さらに、振動のもれが生じないので、そ
れが取りつけられるたとえばコンピュータのような他の
機器への悪影響が生じない。
(Effect of the Invention) According to the present invention, an efficient piezoelectric fan can be obtained.
That is, in the basic symmetrical bending vibration in the tuning fork type base,
The free vibration causes the node to become a substantially midpoint of its bending, and therefore, by supporting that portion, leakage of vibration from the supporting portion does not occur. Therefore, a strong supporting portion having a large mass is not required, and it can be expected to be further smaller and lighter than the conventional piezoelectric fan having a cantilever structure. Further, since the elastic plate formed at the tip of the tuning fork type expects to vibrate symmetrically, both the air volume and the wind speed are dramatically increased as compared with the piezoelectric fan having the cantilever structure. Moreover, since the leakage of vibration does not occur, it does not adversely affect other equipment such as a computer to which it is attached.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行う以下の実施例の詳細な説明から
一層明らかとなろう。
The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.

(実施例) 第1図はこの発明の一実施例を示す図解図である。圧電
ファン10は、音叉型基体12を含む。この音叉型基体
12は、たとえばエリンバのような恒弾性材料からな
り、2つの辺12aおよび12bを有する。この音叉型
基体12の折り曲げられた中点12cあるいはその近傍
が、支持部14によって支持される。この支持部14が
たとえばケース(図示せず)に固着されている。
(Embodiment) FIG. 1 is an illustrative view showing one embodiment of the present invention. The piezoelectric fan 10 includes a tuning fork type base 12. The tuning fork type base body 12 is made of a constant elastic material such as elinvar and has two sides 12a and 12b. The bent center point 12c of the tuning fork type base body 12 or its vicinity is supported by the support portion 14. The support portion 14 is fixed to, for example, a case (not shown).

音叉型基体12の一辺12aには、その基体を挟んで一
対の圧電素子16aおよび18aが取りつけられる。こ
の圧電素子14aおよび16aは、たとえばジルコン酸
チタン酸鉛(PZT)などの圧電セラミックからなり、
それぞれの両主面には、たとえばAg,NiあるいはA
lなどからなる電極が、たとえば印刷,めっきもしくは
蒸着などの方法で形成される。このようにして、音叉型
基体の1辺12aと一対の圧電素子16aおよ18aと
によって、バイモルフ振動子が形成される。音叉型基体
12の他の1辺12bも一対の圧電素子16bおよび1
8bとともに、バイモルフ振動子を形成する。このよう
なバイモルフ振動子は、この実施例では、屈曲振動を生
じる。
A pair of piezoelectric elements 16a and 18a are attached to one side 12a of the tuning fork type base 12 with the base interposed therebetween. The piezoelectric elements 14a and 16a are made of a piezoelectric ceramic such as lead zirconate titanate (PZT),
For example, Ag, Ni or A may be provided on both main surfaces.
An electrode composed of 1 or the like is formed by a method such as printing, plating or vapor deposition. In this manner, the one side 12a of the tuning fork type base body and the pair of piezoelectric elements 16a and 18a form a bimorph oscillator. The other side 12b of the tuning fork type base body 12 also includes a pair of piezoelectric elements 16b and 1b.
A bimorph oscillator is formed together with 8b. Such a bimorph oscillator causes bending vibration in this embodiment.

音叉型基体12の2つの辺12aおよび12bのそれぞ
れの先端には、たとえばプラスチックやガラスエポキシ
板のような弾性を有する樹脂で形成される弾性体プレー
ト20aおよび20bが取り付けられる。そして、辺1
2aおよび12bと弾性体プレート20aおよび20b
とは、一体として基本対称屈曲モードで共振する。そし
て、これら弾性体プレート20aおよび20bのそれぞ
れの厚み、幅および長さなどの寸法を調整することによ
り、たわみ量やたわみ角度を変えることができ、これら
を制御して風速最大となる寸法、形状に設定される。
Elastic plates 20a and 20b made of a resin having elasticity such as plastic or glass epoxy plate are attached to the tips of the two sides 12a and 12b of the tuning fork type base 12, respectively. And side 1
2a and 12b and elastic plates 20a and 20b
And resonate as a unit in the fundamental symmetric bending mode. By adjusting the thickness, width, length, and other dimensions of each of the elastic plates 20a and 20b, it is possible to change the amount of deflection and the angle of deflection, and by controlling these, the size and shape that maximize the wind speed. Is set to.

バイモルフ振動子を構成する圧電素子16aおよび18
aならびに16bおよび18bは、それぞれ、第1図に
示す矢印方向に分極されている。圧電素子16aの電極
の一方と、圧電素子18aの電極の一方とが音叉型基体
12の1辺12aを介して電気的に接続される。同じよ
うに、圧電素子16bの電極の一方と圧電素子18bの
電極の一方とが、音叉型基体12の辺12bを介して電
気的に接続される。そして、これら圧電振動子16a,
18a,16bおよび18bのそれぞれの他方電極が、
駆動源22に接続される。
Piezoelectric elements 16a and 18 constituting a bimorph oscillator
Each of a, 16b and 18b is polarized in the arrow direction shown in FIG. One of the electrodes of the piezoelectric element 16a and one of the electrodes of the piezoelectric element 18a are electrically connected via one side 12a of the tuning fork type base 12. Similarly, one of the electrodes of the piezoelectric element 16b and one of the electrodes of the piezoelectric element 18b are electrically connected via the side 12b of the tuning fork type base 12. Then, these piezoelectric vibrators 16a,
The other electrode of each of 18a, 16b and 18b is
It is connected to the drive source 22.

両端自由な音片の基本対称屈曲モードのノード点は両端
から約0.224l(lはその音片の長さ)の位置にあ
るが、その音片を曲げていくとそのノード点は第2図に
示すように、次第に中点方向に移動することが知られて
いる。そして、このような音叉の基本振動では、そのノ
ードは第2図に示すように中点の極近傍でその中点を挟
んで2点で生じる。したがって、この2点を第1図に示
すような支持部14で支持すれば、先端における振幅は
従来の片持ち梁構造のものと同等となる。この発明は、
このような原理を利用するものである。
The node point of the fundamental symmetric bending mode of a phoneme with free ends is about 0.224 l (l is the length of the phoneme) from both ends, but when the phoneme is bent, the node point becomes the second point. As shown in the figure, it is known to gradually move toward the midpoint. Then, in such a basic vibration of the tuning fork, as shown in FIG. 2, the node occurs at two points near the midpoint and sandwiching the midpoint. Therefore, if these two points are supported by the supporting portion 14 as shown in FIG. 1, the amplitude at the tip becomes equivalent to that of the conventional cantilever structure. This invention
This principle is used.

駆動源22によって音叉型基体12のそれぞれ辺12a
および12bに形成されたバイモルフ振動子が弾性体プ
レート20aおよび20bとともに基本対称屈曲モード
で振動する。そうすると、これら弾性体プレート20a
および20bの先端は、この第1図で点線で示すように
大きな振幅を生じる。そして、その際に風ベクトルは、
第3図に示すようになる。すなわち、それぞれの弾性体
プレート20aおよび20bで発生される風のベクトル
前方が揃い、従来の片持ち梁構造のものに比べて、より
大きな風量および風速の風が発生されるのである。
Each side 12a of the tuning fork type base 12 is driven by the drive source 22.
The bimorph oscillators formed in and 12b vibrate in the fundamental symmetrical bending mode together with the elastic plates 20a and 20b. Then, these elastic plate 20a
The tips of 20 and 20b generate a large amplitude as shown by the dotted line in FIG. And at that time, the wind vector is
As shown in FIG. That is, the vector fronts of the winds generated by the respective elastic plates 20a and 20b are aligned, and a wind having a larger air volume and wind speed is generated as compared with the conventional cantilever structure.

次に発明者が行った実験の結果に基づいてこのことにつ
いてより詳しく説明する。
Next, this will be described in more detail based on the results of the experiment conducted by the inventor.

第4図は従来の片持ち梁構造の圧電ファンにおける風速
の分布を示し、第5図は第1図実施例における風速の分
布を示す。ただし、第4図に示す例では、片持ち支持部
を完全固定の場合として示している。もし、その固定が
完全でないならば、各点における風速はさらに減じられ
る。
FIG. 4 shows the wind velocity distribution in the conventional cantilever beam piezoelectric fan, and FIG. 5 shows the wind velocity distribution in the embodiment of FIG. However, in the example shown in FIG. 4, the cantilever support portion is shown as being completely fixed. If the fixation is not perfect, the wind speed at each point will be further reduced.

この第4図および第5図からわかるように、第1図実施
例のように、音叉型基体12と弾性体プレート20aお
よび20bとを用いた場合には、従来の片持ち梁構造の
圧電ファンに比べて、2倍以上の風速が得られる。これ
は、音叉型の圧電振動子には、対称に振動するモードが
生じ、その基本モードを用いているため、効率が良いか
らである。また、前述のようにノードが第1図の支持部
14のほぼ近傍に存在するため、この支持部14の固定
が完全でなくても、風速の減少は殆どなく、もしその支
持部を自由のものとしても、各点においては95%以上
の風速が得られた。
As can be seen from FIGS. 4 and 5, when the tuning fork type base 12 and the elastic plates 20a and 20b are used as in the embodiment of FIG. 1, a conventional cantilever structure piezoelectric fan is used. Compared with, the wind speed is more than double. This is because the tuning fork type piezoelectric vibrator has a mode in which it vibrates symmetrically and uses the fundamental mode, so that it is efficient. Further, as described above, since the node exists almost in the vicinity of the support portion 14 in FIG. 1, even if the support portion 14 is not completely fixed, there is almost no decrease in the wind speed, and if the support portion is free. As a matter of fact, a wind speed of 95% or more was obtained at each point.

さらに、音叉型基体12における振動のノードが安定
し、したがってそのQが高いため駆動効率すなわち印加
電圧に体する弾性体プレート20aおよび20bの振幅
およびそこから得られる風力が大きい。
Furthermore, the vibration node in the tuning fork type base 12 is stable, and therefore its Q is high, so that the driving efficiency, that is, the amplitude of the elastic plate 20a and 20b corresponding to the applied voltage and the wind force obtained therefrom are large.

また、一般に、この種の圧電ファンにおいては周波数の
温度特性あるいは経時変化よりも、風速および風量を重
視した材料を選ぶため、その共振周波数が安定しない。
そのため、従来圧電ファンの駆動源は、自励振または周
波数追尾型他励振の発振回路を用いている。この場合、
この実施例の音叉型圧電ファンのようにQが高くかつ安
定していると、その発振回路における発振が安定し、特
に自励振の発振回路を用いた場合にはその効果が大き
い。
Further, in general, in this type of piezoelectric fan, a material in which the wind speed and the air volume are more important than the temperature characteristic of the frequency or the change with time is selected, so that the resonance frequency is not stable.
Therefore, a conventional piezoelectric fan drive source uses an oscillation circuit of self-excitation or frequency tracking type other excitation. in this case,
If the Q is high and stable as in the tuning fork type piezoelectric fan of this embodiment, the oscillation in the oscillation circuit is stable, and the effect is great especially when the self-excited oscillation circuit is used.

第6図はこの発明の他の実施例を示す図解図である。こ
の実施例では、第1図の実施例が音叉型基体12とは異
なる材料の弾性体プレート20aおよび20bを用いた
のに対し、弾性体プレート20a′および20b′を、
音叉型基体12のそれぞれの辺12aおよび12bの延
長部として形成した。すなわち、第6図実施例では、弾
性体プレート20a′および20b′は、音叉型基体1
2と同じ材料で構成されている。
FIG. 6 is an illustrative view showing another embodiment of the present invention. In this embodiment, while the elastic plate 20a and 20b made of a material different from that of the tuning fork type base body 12 is used in the embodiment of FIG. 1, the elastic plate 20a 'and 20b' are
It was formed as an extension of each side 12a and 12b of the tuning fork type base 12. That is, in the embodiment of FIG. 6, the elastic plates 20a 'and 20b' are the tuning fork type base 1
It is composed of the same material as 2.

第7図はこの発明のさらに他の実施例を示す図解図であ
る。この実施例では、音叉型基体12の一方の辺12a
にのみバイモルフ振動子を構成する。すなわち、この第
7図実施例では、第1図における圧電素子16b,18
bが省略されている。このように、音叉型基体12の一
方の辺にのみ圧電素子を取り付けてバイモルフ振動子を
構成しても、先に説明したと同じ効果が得られる。ただ
し、印加電圧に対する振幅や風量は、振動源が1つしか
ないために、それに応じて当然減少する。
FIG. 7 is an illustrative view showing still another embodiment of the present invention. In this embodiment, one side 12a of the tuning fork type base 12 is
A bimorph oscillator is constructed only in. That is, in the embodiment shown in FIG. 7, the piezoelectric elements 16b and 18 shown in FIG.
b is omitted. As described above, even if the piezoelectric element is attached to only one side of the tuning fork type base 12, the bimorph oscillator is configured, the same effect as described above can be obtained. However, since there is only one vibration source, the amplitude and the air volume with respect to the applied voltage naturally decrease accordingly.

第8図〜第11図、それぞれ、この発明の異なる実施例
を示す図解図である。第8図および第9図の例は、それ
ぞれ、駆動源22の接続が第1図実施例とは異なる。
8 to 11 are illustrative views showing different embodiments of the present invention. The examples of FIGS. 8 and 9 differ from the example of FIG. 1 in the connection of the drive source 22, respectively.

第10図および第11図の例は、それぞれ、音叉型基体
12の折り曲げ構造が第1図実施例とは異なる。
The examples of FIGS. 10 and 11 are different from the example of FIG. 1 in the bending structure of the tuning fork type base 12, respectively.

なお、上述の各実施例においては、音叉基体12は1枚
の金属板を折り曲げて構成されているが、各辺12aお
よび12bと基部(折り曲げ部)を別体で構成するよう
にしてもよい。
Although the tuning fork base 12 is formed by bending a single metal plate in each of the above-described embodiments, the sides 12a and 12b and the base (folding part) may be formed separately. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの発明の一実施例を示す図解図である。 第2図は音叉型音片の場合のノード点の移行を説明する
図解図である。 第3図は第1図実施例の風向きベクトルを示す図解図で
ある。 第4図は従来の片持ち梁構造の圧電ファンにおける風速
の分布を示す図である。 第5図は第1図実施例における風速の分布を示す図であ
る。 第6図〜第11図は、それぞれ、この発明の異なる実施
例を示す図解図である。 図において、10は圧電ファン、12は音叉型基体、1
2a,12bは、辺14は支持部、16a,16b,1
8a,18bは圧電素子、20a,20bは弾性体プレ
ート、22は駆動源を示す。
FIG. 1 is an illustrative view showing one embodiment of the present invention. FIG. 2 is an illustrative view for explaining the transition of node points in the case of a tuning fork type tuning piece. FIG. 3 is an illustrative view showing the wind direction vector of the embodiment in FIG. FIG. 4 is a diagram showing a wind velocity distribution in a conventional piezoelectric fan having a cantilever structure. FIG. 5 is a diagram showing the distribution of wind speed in the embodiment of FIG. 6 to 11 are illustrative views showing different embodiments of the present invention. In the figure, 10 is a piezoelectric fan, 12 is a tuning fork type substrate, and 1
2a, 12b, the side 14 is a support portion, 16a, 16b, 1
Reference numerals 8a and 18b are piezoelectric elements, 20a and 20b are elastic plates, and 22 is a drive source.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】2つの辺の先端が同じ方向に並ぶように折
り曲げられた音叉型基体、 前記音叉型基体の少なくとも1辺に設けられ、基本対称
屈曲モードの振動を生じる圧電振動子、および 前記音叉型基体の前記2つの辺のそれぞれの先端から延
びて形成されかつ前記音叉型基体とともに基本対称屈曲
モードで共振する弾性体プレートを備える、圧電ファ
ン。
1. A tuning-fork type base body in which ends of two sides are bent in the same direction, a piezoelectric vibrator provided on at least one side of the tuning-fork type base body, and vibrating in a fundamental symmetrical bending mode, A piezoelectric fan, comprising an elastic plate extending from respective tips of the two sides of the tuning fork type base and resonating with the tuning fork type base in a fundamental symmetrical bending mode.
【請求項2】前記弾性体プレートは前記音叉型基体と同
じ材料で形成される、特許請求の範囲第1項記載の圧電
ファン。
2. The piezoelectric fan according to claim 1, wherein the elastic plate is made of the same material as the tuning fork type base body.
【請求項3】前記弾性体プレートは前記音叉型基体と異
なる材料で形成される、特許請求の範囲第1項記載の圧
電ファン。
3. The piezoelectric fan according to claim 1, wherein the elastic plate is made of a material different from that of the tuning fork type base.
【請求項4】前記音叉型基体の折り曲げられたほぼ中点
を支持するための支持部を備える、特許請求の範囲第1
項ないし第3項のいずれかに記載の圧電ファン。
4. A first support according to claim 1, further comprising a support portion for supporting a bent substantially middle point of the tuning fork type base body.
The piezoelectric fan according to any one of items 1 to 3.
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