JPH0637343A - Solar cell device - Google Patents

Solar cell device

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JPH0637343A
JPH0637343A JP4209500A JP20950092A JPH0637343A JP H0637343 A JPH0637343 A JP H0637343A JP 4209500 A JP4209500 A JP 4209500A JP 20950092 A JP20950092 A JP 20950092A JP H0637343 A JPH0637343 A JP H0637343A
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solar cell
semiconductor region
cell device
receiving surface
light
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弘章 吉原
Yoshiki Maeyashiki
芳樹 前屋敷
Osamu Ichiki
修 一木
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SHIGEN SOGO SYST KK
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OOME KOSUMOSU DENKI KK
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    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy

Abstract

PURPOSE:To give a design property to a solar cell device constructed by juxtaposing a plurality of solar cell elements on a plane and thereby to increase a value added as a commodity. CONSTITUTION:Solar cell elements 30A of a group A having light-receiving surfaces 33A of a first color and solar cell elements 30B of a group B having light-receiving surfaces 33B of a second color are used in a plurality respectively, and a solar cell device 50 having a prescribed two-dimensional lithographic pattern is obtained by disposing the solar cell elements 30A and 30B belonging to the groups A and B respectively in the shape of a mosaic.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は単位の太陽電池素子(ソ
ーラ・セル・エレメント)を複数個、平面状に並べて構
成された太陽電池装置(ソーラ・セル・アセンブリ)に
関し、特に、本来的な機能としての光電変換機能を有す
るのみならず、意匠物品としても利用可能なようにする
ための改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solar cell device (solar cell assembly) constructed by arranging a plurality of solar cell elements (solar cell elements) in a plane, and particularly The present invention relates to an improvement for not only having a photoelectric conversion function as a function but also making it usable as a design article.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に太陽電池素子と呼ばれる光電変換
素子は、その光電変換原理共々、すでに極めて周知であ
り、種々具体的な構造例も多く公知となっている。そこ
で詳しい説明は省略し、図6に在来の太陽電池素子10に
おける比較的基本的な断面構造例を挙げ、簡単に説明す
る。
2. Description of the Related Art A photoelectric conversion element generally called a solar cell element has already been very well known in its photoelectric conversion principle, and many concrete examples of its structure are well known. Therefore, a detailed description is omitted, and a comparatively basic cross-sectional structure example of the conventional solar cell element 10 is given in FIG.

【0003】まず、一般に半導体ウエハないし半導体基
板である半導体領域11があり、その一方の主面側に、半
導体領域11との間でエネルギ障壁を形成する障壁形成層
12が設けられる。半導体領域11と障壁形成層12とによる
エネルギ障壁の形成の仕方には幾つかあって、p型また
はn型の半導体領域11に対し、逆導電型の半導体または
不純物導入で形成された薄層を障壁形成層12として設け
る最も一般的で古典的な構造の外、例えばSi基板11に対
してSnO2層をショットキ障壁形成層12として設けるか、
金属膜であっても概ね 100Å以下の膜厚であれば余り損
失もなく光を透過し得るので、半導体領域11に対し適当
な金属膜をショットキ障壁形成層12として設ける場合も
あり、さらには半導体領域11と障壁形成層12とがいわゆ
るヘテロ接合を構成するような場合もある。なお、障壁
形成層12はそれ自体、複数の積層構造から構成されるこ
ともあるが、本書添付の図面群中では、このような場合
をも含めて、障壁形成層12は単層で示す。漸次明らかに
なるように、本発明は、半導体領域11と障壁形成層12と
から成るこのような光電変換機能部(11,12)の光電変
換メカニズムや半導体領域11と障壁形成層12との物性関
係等については公知の所に従って良く、直接の限定を施
すものではないからである。
First, there is a semiconductor region 11 which is generally a semiconductor wafer or a semiconductor substrate, and a barrier forming layer for forming an energy barrier with the semiconductor region 11 on one main surface side thereof.
Twelve are provided. There are several methods of forming an energy barrier by the semiconductor region 11 and the barrier forming layer 12, and a semiconductor of opposite conductivity type or a thin layer formed by introducing an impurity is applied to the p-type or n-type semiconductor region 11. In addition to the most general classical structure provided as the barrier forming layer 12, for example, a SnO 2 layer is provided as the Schottky barrier forming layer 12 for the Si substrate 11, or
Even a metal film can transmit light with little loss as long as it has a film thickness of approximately 100 Å or less, so a suitable metal film may be provided as the Schottky barrier forming layer 12 for the semiconductor region 11, and further, a semiconductor film may be provided. In some cases, the region 11 and the barrier forming layer 12 form a so-called heterojunction. The barrier forming layer 12 itself may be composed of a plurality of laminated structures, but in the group of drawings attached to this specification, the barrier forming layer 12 is shown as a single layer including such a case. As will be clarified, the present invention provides a photoelectric conversion mechanism of such a photoelectric conversion function part (11, 12) including a semiconductor region 11 and a barrier forming layer 12, and physical properties of the semiconductor region 11 and the barrier forming layer 12. This is because the relationship and the like may be in accordance with a known place and is not directly limited.

【0004】障壁形成層12の表面には保護膜13が形成さ
れ、光電変換機能部(11,12)に対する光の入射は、通
常、この保護膜13を介して行われる。そのため、保護膜
13は入射光に対する反射防止膜として機能し得るように
作られることが多く、凝ったものでは単層構造の外、複
数の積層構造から成る場合もある。しかし、本発明にと
ってはこの点もまた、直接の関係はないので、本書添付
の図面群中においてもこれは単層膜で示している。こう
した保護膜ないし反射防止膜13を介し、外部から光電変
換機能部(11,12)に入射した光により生じた光電流
は、障壁形成層12の表面に例えば櫛型に設けられた第一
電極14と半導体領域11の裏面側に設けられた第二電極15
との間に接続された外部負荷回路(図示せず)に取り出
すことができる。
A protective film 13 is formed on the surface of the barrier forming layer 12, and light is normally incident on the photoelectric conversion function section (11, 12) through the protective film 13. Therefore, the protective film
13 is often made so as to function as an antireflection film against incident light, and in some cases, a fancy one may have a single layer structure or a plurality of laminated structures. However, since this point also has no direct relation to the present invention, it is shown as a single-layer film in the drawings attached to this specification. Photocurrent generated by light incident on the photoelectric conversion function section (11, 12) from the outside through the protective film or antireflection film 13 is applied to the surface of the barrier forming layer 12 by, for example, a comb-shaped first electrode. 14 and the second electrode 15 provided on the back side of the semiconductor region 11
Can be taken out to an external load circuit (not shown) connected between and.

【0005】しかるに、図6に示されているのは単一の
太陽電池素子10、すなわち単位の太陽電池素子10である
が、例えば卓上ないし携帯用計算機とか携帯用シェー
バ、携帯用ラジオ等々、各種事務用、日用家電製品に組
込まれるときには、このような単位の太陽電池素子10は
要求される電流容量や電圧に応じ、複数個が並列ないし
は直列、あるいはまた並直列に接続されて用いられる。
そのため、それら複数素子の幾何的な配置パタンの実際
は、例えば図7中に示されるようになる。
However, FIG. 6 shows a single solar cell element 10, that is, a unit solar cell element 10. However, for example, various types such as a tabletop or a portable computer, a portable shaver, a portable radio, etc. When incorporated into office or daily home appliances, a plurality of such solar cell elements 10 are used in parallel or series, or connected in parallel series according to the required current capacity and voltage.
Therefore, the actual geometric arrangement pattern of the plurality of elements is as shown in FIG. 7, for example.

【0006】図7は携帯用ないし卓上計算機20を示して
おり、その本体表面には極く一般的な配置に従い、使用
者が計算のために使用するキーボード部分21と、計算結
果を視覚表示するディスプレイ22が設けられている。図
7中では便宜のためにゴッシク体となっているが、ディ
スプレイ22における英数字表示は、通常、周知の7セグ
メント液晶素子等を用いてなされる。この計算機20を駆
動するための電源となる太陽電池素子10は、計算機本体
表面に開口した窓23にその受光面を露呈するように、図
示の場合、四つ、一次元アレイ状に並設されている。窓
23には透明プラスチック製等の覆い(図示せず)が嵌め
られるが、この覆いを介して人の目に見える部分は、図
中、細かなドット模様を付して示したように、各太陽電
池素子10の受光面を構成する保護膜ないし反射防止膜13
の表面と、隣接する太陽電池素子の間に設けられている
表面電極(先に述べた第一電極)14である。図7におい
て四つ設けられている太陽電池素子10は、この用途では
通常、互いに直列接続されるが、もっと大電力を要する
電子機器ではさらに多くの太陽電池素子10を用い、それ
らの幾つかづつを直列にしたものをさらに並列に接続す
る等して用いられることもある。また、暗い所での使用
も考えられたものでは、図示の太陽電池素子10の外に、
機器本体内に一次バテッリを内蔵するか、明るいときに
は太陽電池素子10の余剰電力により充電され得る二次バ
ッテリを内蔵するものもある。
FIG. 7 shows a portable or desk-top calculator 20. The keyboard portion 21 used by the user for calculation and the calculation result are visually displayed according to a very general arrangement on the main body surface. A display 22 is provided. Although a gothic type is shown in FIG. 7 for the sake of convenience, the alphanumeric display on the display 22 is usually made using a well-known 7-segment liquid crystal element or the like. The solar cell element 10 serving as a power source for driving the calculator 20 is arranged in a four-dimensional, one-dimensional array so as to expose its light receiving surface to the window 23 opened on the surface of the calculator main body. ing. window
A cover (not shown) made of transparent plastic or the like is fitted on the 23, and the part visible to the human through this cover is shown in each figure as a small dot pattern. Protective film or antireflection film 13 that constitutes the light-receiving surface of the battery element 10.
And the surface electrode (first electrode described above) 14 provided between the surface of the solar cell and the adjacent solar cell element. The four solar cell elements 10 provided in FIG. 7 are normally connected in series with each other in this application, but more solar cell elements 10 are used in electronic devices that require more power, and some of them are used. It may be used by connecting those connected in series in parallel. In addition, in consideration of use in a dark place, in addition to the illustrated solar cell element 10,
Some devices have a built-in primary battery or a built-in secondary battery that can be charged by surplus power of the solar cell element 10 when it is bright.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかるに、用いる太陽
電池素子10の個数の如何に係らず、少なくとも太陽電池
素子10を利用する上述したような各種の電子機器類で
は、必ず、当該機器本体にあって光の当たり易い面部分
に太陽電池素子10の受光面を露呈させる窓23を要する。
この点は原理的にも改変の余地がないが、その一方で、
光の当たり易い部分は、結局、使用者がその機器を操作
するためにもっとも良く見る面部分となる。図7に示し
た例で言えば、機器本体にあってキーボード21やディス
プレイ22の設けられていると同じ面に、太陽電池素子10
も設けられる。
However, regardless of the number of solar cell elements 10 to be used, at least the above-mentioned various electronic equipments using the solar cell elements 10 are always present in the main body of the equipment. A window 23 that exposes the light-receiving surface of the solar cell element 10 is required in the surface portion that is easily exposed to light.
This point has no room for modification in principle, but on the other hand,
The light-exposed portion is, after all, the surface portion that is best viewed by the user for operating the device. In the example shown in FIG. 7, the solar cell element 10 is provided on the same surface of the device body as the keyboard 21 and the display 22.
Is also provided.

【0008】ところが、通常の太陽電池素子10の受光面
を見ると分かるように、大方、どういったものも濃紺一
色であることが多く、光の当たり具合によっては濃い灰
色から黒に近いような色に見えることもあるが、いずれ
にしても一様に暗い視覚感しか与えない。
However, as can be seen by looking at the light receiving surface of the ordinary solar cell element 10, most of the things are mostly dark blue, and depending on how the light hits, it appears that dark gray is close to black. It may appear to be a color, but in any case, it gives only a uniformly dark visual feeling.

【0009】本発明者は、まずもってこの点が問題と考
えた。なぜなら、図7に示された計算機を始め、この種
の多くの太陽電池利用機器類は、市場に供される商品と
して捉えると、高性能であるとかコストパフォーマンス
に優れる等、機能的な要因のみが必ずしも市場競争力を
増すとは言えず、最近の市場傾向を見ると、むしろ優れ
たデザインを有することが大きな要素となってきてい
る。多少とも性能が劣っても、奇抜なデザインや洗練さ
れたデザインの商品の方が売れることもある。
The present inventor initially considered this to be a problem. This is because many solar cell-using devices of this kind, including the computer shown in FIG. 7, have only functional factors such as high performance and excellent cost performance when viewed as products offered on the market. However, it does not necessarily mean that the market competitiveness is increased, and looking at recent market trends, having a good design is becoming a major factor. Even if the performance is a little inferior, products with unusual or sophisticated designs may sell better.

【0010】このような観点からすると、これまでの太
陽電池装置は、それの用いられる商品の意匠にとって何
等の寄与もしていない。意匠感を損なうことの方が多い
とすら言える。図7に示される計算機を見ても、濃紺色
等、暗い色の受光面を持つ太陽電池素子10が無造作に、
しかもかなり大きな面積で機器本体の重要な意匠面であ
る操作面に四つも並んでいる。意匠的に見るとこれは如
何せん、未消化の感を否めない。にもかかわらず、これ
までには、こうした太陽電池装置自体の意匠感について
まで、深く検討された従来例はないといって良い。
From this point of view, the solar cell device up to now does not contribute to the design of the product in which it is used. It can be said that there are many cases in which the sense of design is impaired. Looking at the calculator shown in FIG. 7, the solar cell element 10 having a dark-colored light-receiving surface such as dark blue is randomly
Moreover, in a fairly large area, four are lined up on the operation surface, which is an important design surface of the device body. From a design standpoint, this is an undigested feeling. Nevertheless, it can be said that there is no conventional example in which the design feeling of the solar cell device itself has been deeply studied so far.

【0011】本発明者は、このような実情に鑑み、太陽
電池装置は一般に、これを利用する電子機器にあっても
目立つ部分に設けざるを得ないのであるから、それなら
ば、むしろ太陽電池装置自体に積極的に意匠性を持た
せ、機能部品であると同時に意匠物品でもある太陽電池
装置を提供できないかと考えた。換言すれば、このよう
な太陽電池装置の提供こそ、本発明の主たる目的であ
る。一方、本発明の主たる目的がそのようであるなら
ば、この主目的を達成し、この種の太陽電池装置に対
し、意匠的な意味で新たなる付加価値を与える以上は、
多少とも、その基本的な機能である光電変換機能は損な
われても構わないと考える。ただしもちろん、その程度
は僅かである程望ましく、さらには既存の太陽電池装置
に比しても何等性能的に劣らない装置であればそれに越
したことはない。本発明ではそのような構造的工夫の開
示をもまた、別な目的の一つとしている。
In view of such circumstances, the inventor of the present invention generally has to provide a solar cell device in a conspicuous portion even in an electronic device using the solar cell device. We wondered if it would be possible to provide a solar cell device that is not only a functional component but also a design article by giving the product its own design. In other words, the provision of such a solar cell device is the main object of the present invention. On the other hand, if the main purpose of the present invention is such, the above-mentioned main purpose is achieved, and for this type of solar cell device, a new added value is added in a design sense.
The photoelectric conversion function, which is its basic function, may be damaged to some extent. However, of course, the smaller the degree, the more desirable it is, and further, if the device is not inferior in performance to the existing solar cell device, it is better than that. In the present invention, disclosure of such a structural device is also another purpose.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明はまず、上記の主
目的を達成するため、所定の面積で所定の平面形状を有
する受光面と、この受光面に対向する裏面とを有する光
電変換機能部を持ち、受光面を介して光電変換機能部に
光が入射すると第一、第二の電極間に電位差を生ずる太
陽電池素子を複数個、平面的に互いに並設して成る太陽
電池装置において、受光面を見たときにその色彩が相違
する太陽電池素子をそれぞれの受光面色ごとに所定の数
づつ用意し、それぞれの受光面色の太陽電池素子を予定
の平面的配置パタンに従い、モザイク状に並設して成る
太陽電池装置を提案する。
In order to achieve the above main object, the present invention firstly has a photoelectric conversion function having a light receiving surface having a predetermined planar shape with a predetermined area and a back surface facing the light receiving surface. In a solar cell device having a plurality of solar cell elements, each of which has a plurality of solar cell elements and generates a potential difference between the first and second electrodes when light is incident on the photoelectric conversion function section through a light receiving surface. , Prepare a predetermined number of solar cell elements with different colors when looking at the light-receiving surface for each light-receiving surface color, and arrange the solar cell elements of each light-receiving surface color in a mosaic pattern according to the planned planar layout pattern. We propose a solar cell device that is installed in parallel.

【0013】さらに、個々の太陽電池素子の受光面側
に、図6,7に関し説明したような表面電極があると、
場合により意匠設計の支障となることもあるので、本発
明ではまた、このような表面電極を不要とし得る構成に
ついても提案する。すなわち、各太陽電池素子の半導体
領域に対して受光面側でエネルギ障壁を形成する障壁形
成層がさらに、半導体領域の少なくとも一側面部分に沿
って伸びる側面部分を有するように構成する。この側面
部分に連続し、半導体領域の裏面の一部にまで回り込ん
だ裏面部分をも有するように構成することもできる。そ
の上で、光電変換電流を外部に取出すための第一、第二
電極の中、第一電極は障壁形成層の上記側面部分か裏面
部分に設け、第二電極は半導体領域に対し、その裏面側
に設ける。第一電極を障壁形成層側面部分に対し設ける
場合には、この電極を半導体領域裏面側の絶縁膜上にま
で延在させても良い。
Further, when the surface electrode as described with reference to FIGS. 6 and 7 is provided on the light receiving surface side of each solar cell element,
In some cases, the design design may be hindered. Therefore, the present invention also proposes a configuration in which such a surface electrode may be unnecessary. That is, the barrier forming layer that forms an energy barrier on the light-receiving surface side of the semiconductor region of each solar cell element is further configured to have a side surface portion extending along at least one side surface portion of the semiconductor region. It is also possible to have a back surface portion which is continuous with the side surface portion and extends around even a part of the back surface of the semiconductor region. Then, of the first and second electrodes for extracting the photoelectric conversion current to the outside, the first electrode is provided on the side surface portion or the back surface portion of the barrier forming layer, and the second electrode is formed on the back surface of the semiconductor region. Provide on the side. When the first electrode is provided on the side surface of the barrier forming layer, this electrode may be extended to the insulating film on the back surface of the semiconductor region.

【0014】[0014]

【実施例】図1には、本発明に従って構成された一実施
例としての太陽電池装置50の平面的な概略構成が示され
ている。図示の場合、5行15列のマトリックス配置に
よる全部で七十五個の正方形の升目が描かれているが、
それら一つ一つの升目がそれぞれ、単位の太陽電池素子
ないしはその受光面を示している。この実施例の場合、
図中で細かなドット模様の付された受光面33A を有する
第一グループAに属する太陽電池素子30A と、白抜きの
升目で受光面33B が示されている第二グループBに属す
る太陽電池素子30B の二種類の太陽電池素子30A ,30B
が用いられているが、細かなドット模様は第一の色彩を
表し、白抜きの升目は第二の色彩を表している。図をそ
のまま見れば、ドット模様の付されている方の受光面33
A の色彩の方が、白抜きの受光面33B の色彩よりもその
明度において低いように、すなわち暗いように見え、事
実、そうであっても良いが、これに限らない。要は、第
一の色彩と第二の色彩が異なることをモノクロームの図
面中において分かり易く示すために、細かなドット模様
と白抜きとを用い、弁別的に示したのであって、白抜き
の受光面33B の方が本当は暗い色で、細かなドット模様
の付された受光面33A の方が明るい色であっても良い。
なお、符号33A ,33B は、上述のように各色彩を呈する
受光面を指すと共に、太陽電池素子30の表面を見たとき
に見える表面膜をも指す。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a schematic plan structure of a solar cell device 50 as an embodiment constructed according to the present invention. In the case shown, a total of 75 squares are drawn in a matrix arrangement of 5 rows and 15 columns.
Each of these squares represents a unit solar cell element or its light-receiving surface. In this example,
A solar cell element 30A belonging to the first group A having a light-receiving surface 33A with a fine dot pattern in the figure, and a solar cell element belonging to the second group B in which the light-receiving surface 33B is shown by white squares. Two types of solar cell elements 30A, 30B of 30B
, The fine dot pattern represents the first color, and the open squares represent the second color. Looking at the figure as it is, the light receiving surface 33 with the dot pattern
The color of A appears to be lower than the color of the white light-receiving surface 33B in its lightness, that is, darker, and in fact, it may be, but it is not limited thereto. In short, in order to clearly show in the monochrome drawing that the first color and the second color are different, a fine dot pattern and a white outline were used to distinguish them. The light-receiving surface 33B may have a really dark color, and the light-receiving surface 33A having a fine dot pattern may have a lighter color.
The reference numerals 33A and 33B refer to the light-receiving surface that exhibits each color as described above, and also refer to the surface film that is visible when the surface of the solar cell element 30 is viewed.

【0015】以下、特に色彩によるグループ分けを必要
とせず、どのグループに属するものについても適用でき
る説明の場合には、各符号において各グループA,Bに
属することを表す添字A, Bは省略し、例えば単に太陽電
池素子30等と記すが、図1の実施例の場合、5×15=
75個の太陽電池素子30の受光面33の全集合により構成
される太陽電池装置50の全矩形平面形状そのものが、い
わば「キャンバス」として所望のパタンの二次元描画領
域を構成しており、この長方形描画領域内に、所望のパ
タンとして、英文字「ETL」が各太陽電池素子30の受
光面33の色彩の相違を利用して描かれている。すなわ
ち、各太陽電池素子30のそれぞれの受光面33は、所望の
パタンを描くための最小描画面積単位である「画素」を
構成し、図示の場合には、第一グループAに属する第一
の色彩、例えば濃紺の受光面33A を有する全部で三十個
の太陽電池素子30A の中、まずは十三個の太陽電池素子
30Aを用いて、矩形キャンバスの左端側にそれらの正方
形の受光面ないし画素33A の集合で英文字「E」を描画
し、画素一列分をおいてその右隣には同様に九個の太陽
電池素子30A の受光面33A の群によって英文字「T」を
作り、さらに画素一列分をおいてその右隣には八個の太
陽電池素子30A の受光面33A の画素群により英文字
「L」を描いており、各文字を浮かし出すための背景領
域となる、矩形キャンバスの残りの領域を、第二グルー
プBに属する第二の色彩、例えば赤とか黄等の色彩を呈
する受光面33B を持つ太陽電池素子30B により埋めてい
る。
In the following description, in the case where the description is applicable to any group that does not particularly require color grouping, the subscripts A and B indicating that each code belongs to each group A and B are omitted. , For example, simply referred to as the solar cell element 30 and the like, in the case of the embodiment of FIG. 1, 5 × 15 =
The entire rectangular planar shape of the solar cell device 50 itself, which is composed of the total set of the light-receiving surfaces 33 of the 75 solar cell elements 30, constitutes a two-dimensional drawing area of a desired pattern as a so-called “canvas”. In the rectangular drawing area, the English character "ETL" is drawn as a desired pattern by utilizing the color difference of the light receiving surface 33 of each solar cell element 30. That is, each light receiving surface 33 of each solar cell element 30 constitutes a “pixel” which is a minimum drawing area unit for drawing a desired pattern, and in the illustrated case, is a first pixel belonging to the first group A. Of the thirty solar cell elements 30A having a color, for example, a dark blue light-receiving surface 33A, the first is thirteen solar cell elements.
30A is used to draw the letter "E" on the left side of the rectangular canvas with the square light-receiving surface or a set of pixels 33A, and a row of pixels is provided to the right of which nine solar cells are similarly arranged. The letter "T" is made by the group of the light-receiving surface 33A of the element 30A, and the column "L" is made by the group of the pixels of the light-receiving surface 33A of the eight solar cell elements 30A at the right next to the pixel row. The remaining area of the rectangular canvas, which is the background area for emphasizing each character, is drawn as a sun with a light receiving surface 33B of a second color belonging to the second group B, for example, red or yellow. It is filled with the battery element 30B.

【0016】このような実施例に明らかなように、本発
明では、太陽電池装置50を構成する個々の太陽電池素子
30の受光面33を、所定の面積と所定の色彩を有する単位
の画素として利用し、異なる色彩の受光面33A ,33B を
持つ太陽電池素子30A ,30Bをモザイク状に配置するこ
とにより、それらそれぞれの色の受光面33A ,33B の集
合により所望のパタンを描くことに特徴があるので、用
いる太陽電池素子30の総数、互いに異なる色彩の種類数
(上述したグループの数)、個々の太陽電池素子の受光
面の平面形状や面積、それら全ての太陽電池素子の受光
面群の集合により構成される「キャンバス」の大きさや
平面形状等については特に限定を設けるものではない。
必要に応じ、任意に変更できる。
As is apparent from such an embodiment, in the present invention, the individual solar cell elements constituting the solar cell device 50 are
By using the light receiving surface 33 of 30 as a pixel of a unit having a predetermined area and a predetermined color, and arranging solar cell elements 30A and 30B having light receiving surfaces 33A and 33B of different colors in a mosaic pattern, respectively. Since a desired pattern is drawn by a set of light receiving surfaces 33A and 33B of different colors, the total number of solar cell elements 30 to be used, the number of different kinds of colors (the number of groups described above), the individual solar cell elements There is no particular limitation on the planar shape and area of the light-receiving surface, the size, the planar shape, and the like of the “canvas” formed by the collection of the light-receiving surface groups of all the solar cell elements.
It can be changed as needed.

【0017】具体的に例えば、図7に示したようなこれ
までの太陽電池装置の使用例では、個々の太陽電池素子
10の受光面13の面積は概ね10mm角(10mm□)強程度であ
り、したがって、当該図7に示されている計算機20にお
いて太陽電池装置用の窓23の占める面積は、隣接する太
陽電池素子間に設けられている第一電極14の幅寸法を考
慮に入れても、おおよそ縦10mm、横40mm強の面積領域と
なる。そこで、図1に示されている本発明の実施例装置
において、各太陽電池素子30の受光面33の大きさを例え
ば 2mm角程度にすると、上記とほぼ同様の窓面積内に
「ETL」という所望のパタン表記を有し、しかも色彩
豊かな光入射面を有する太陽電池装置50を得ることがで
きるので、これを図7に示されている計算機20の太陽電
池装置に代えて組み込めば、それまではただ単に濃紺の
窓23があったに過ぎない場所、すなわち意匠的には全く
無意味であった領域を、「ETL」という英文字情報を
伝達するための意味ある領域として活用することができ
る。「ETL」というのが、例えば一般企業名であると
したならば、こうしたパタン表記を有する太陽電池装置
を持つ図7図示のような計算機20は、その商品としての
出所がETL社であることを消費者をして直感的に理解
させることができ、当該太陽電池素子50の見える窓23の
面積領域は、意匠的にも決して無駄な領域とはならな
い。
Specifically, for example, in the use example of the solar cell device so far shown in FIG. 7, the individual solar cell elements are
The area of the light receiving surface 13 of 10 is approximately 10 mm square (10 mm square), and therefore, the area occupied by the window 23 for the solar cell device in the computer 20 shown in FIG. Even if the width of the first electrode 14 provided therebetween is taken into consideration, the area is approximately 10 mm in length and 40 mm in width. Therefore, in the apparatus of the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, if the size of the light receiving surface 33 of each solar cell element 30 is set to, for example, about 2 mm square, the window area is called "ETL" in a window area similar to the above. Since it is possible to obtain a solar cell device 50 having a desired pattern notation and having a colorful light incident surface, if this is incorporated in place of the solar cell device of the computer 20 shown in FIG. Up until now, there was only a dark blue window 23, that is, an area that was completely meaningless in terms of design could be used as a meaningful area for transmitting English character information "ETL". it can. If "ETL" is a general company name, for example, the computer 20 as shown in FIG. 7 having a solar cell device having such a pattern notation indicates that the source of the product is ETL company. The area of the window 23 where the solar cell element 50 can be seen can be intuitively understood by the consumer and is never a useless area in terms of design.

【0018】逆に、これまでは種々の電子機器にあって
機器本体の片隅に追いやられがちであった太陽電池装置
も、本発明による太陽電池装置であれば、そのデザイン
性を積極的に利用し、もっと目立つ位置に設け直される
ことも十分考えられるし、意図的により大面積にされる
ことさえ考えられる。個々のデザイナにもよるが、大面
積にすることが意匠的に望ましいと判断されるか、単位
の画素数をもっと増して、より複雑なパタンの描画が意
図された場合には、それは結果として、基本的な光電変
換機能に鑑みると全体的な太陽電池装置としての受光面
積が増すことになるので、トータルでの出力電流容量や
出力電圧を増すことも容易になる。
On the contrary, the solar cell device, which has been apt to be pushed to one corner of the main body of various electronic devices up to now, is positively utilized by the solar cell device according to the present invention. However, it can be considered that it will be installed in a more conspicuous position, or it may be intentionally made larger. Depending on the individual designer, if it is judged that a large area is desirable for design, or if the number of pixels in a unit is increased and a more complicated pattern is intended to be drawn, it will result. In consideration of the basic photoelectric conversion function, the light receiving area of the entire solar cell device increases, so that it becomes easy to increase the total output current capacity and output voltage.

【0019】この考えを推し進めれば、極めて多くの単
位太陽電池素子数による大面積の描画領域を持つように
本発明の太陽電池装置50を構成し、さらには単位画素で
ある各受光面33に与えるべき色彩の種類数も増すこと
で、「発電壁画」のようなものも市場に提供することが
できる。また、単位画素の面積の大小により、種々の適
用範囲が広がる。例えば、この種の太陽電池装置を構成
する各太陽電池素子は、通常、一枚のウエハ上に多数個
が形成された後、個々の太陽電池素子に切り出される
が、面積を小さくする分には、既存の技術をしても 1mm
角以下の受光面を有する太陽電池素子をも十分な信頼性
を持って得ることができるので、全体の描画領域、すな
わち、太陽電池装置50としての全平面積はそれほど大き
くなくとも、相当複雑なパタンを描くことができる。そ
のため、各種卓上ないしは携帯用小型電子機器類におい
ても、その電源装置として本発明の太陽電池装置を用い
ることにより、かなり面白い絵表現や数字、文字表現が
可能となる。これに対し、単位画素の大面積化の方向で
考えれば、円形のウエハ一枚の上に大きな太陽電池素子
を一つだけ形成するとか、または複数個作った太陽電池
素子の集合を個々に切り出すことなくそれら全てをして
単位画素とすることで、相当大きな壁画状の描画パタン
を得ることもできる。これは、先に述べた発電壁画の
外、すでに一部実用化されている家庭用補助電源として
の太陽電池パネルとか、ソーラ・カー用の太陽電池パネ
ルとして、さらに意匠性を持たせた改良製品を提供する
ために応用可能である。
If this idea is promoted, the solar cell device 50 of the present invention is constructed so as to have a large-area drawing region with an extremely large number of unit solar cell elements, and further, each light-receiving surface 33 which is a unit pixel. By increasing the number of types of colors that should be given, it is possible to provide the market with things like "power generation murals". Moreover, various application ranges are widened depending on the size of the area of the unit pixel. For example, each solar cell element that constitutes this type of solar cell device is usually cut out into individual solar cell elements after a large number are formed on one wafer, but it is not enough to reduce the area. , 1mm even with existing technology
Since it is possible to obtain a solar cell element having a light-receiving surface of a corner or less with sufficient reliability, the entire drawing area, that is, the total area of the solar cell device 50 is not so large, but is considerably complicated. You can draw patterns. Therefore, by using the solar cell device of the present invention as a power supply device for various kinds of desktop or portable small electronic devices, it is possible to express considerably interesting pictorial expressions, numbers and characters. On the other hand, when considering the direction of increasing the area of the unit pixel, one large solar cell element is formed on one circular wafer, or a plurality of solar cell elements are individually cut out. It is also possible to obtain a considerably large mural-like drawing pattern by making all of them into unit pixels without using them. In addition to the power generation murals mentioned above, this is an improved product that has been further improved in design as a solar battery panel as a household auxiliary power source that has already been put into practical use, or as a solar car solar battery panel. Can be applied to provide.

【0020】単位画素の平面形状、つまりは各太陽電池
素子30の受光面33の平面形状も、図1に示されている正
方形に限らず、長方形等、他の矩形形状や三角形、六角
形等の多角形状を始め、上記において円形のウエハ全体
を一枚の画素として利用する場合と同様、個々の小さな
太陽電池素子の受光面の各々が円形をなしているような
場合も許される。円形画素の場合、隣接するもの同志の
間に隙間ができるが、たくさんの円形画素で何らかのパ
タンを描き、これを少し離れた所から見れば、やはり意
匠的に面白い感覚の描画パタンを得ることができる。さ
らに、隣接する太陽電池素子相互の境界面の作る線模様
の面白さを出すためには、個々の太陽電池素子の受光面
形状を、ジグソーパズルの個々の駒のような形状にして
も良い。隣接する太陽電池素子の受光面の色彩が異なれ
ば、特に文字とか数字等、知能的意味のある表現でなく
とも、一種の抽象画として、それだけで十分に視覚的、
意匠的価値のあるパタンが得られる。なお、図1の場合
には二次元描画領域を形成しているが、一次元描画領域
であっても本発明は適用することができる。一列に並ん
だ多数の太陽電池素子の受光面の色彩をそれぞれ所定の
パタンに従って変えるようにすれば、そうした色彩のパ
タンの変化のみによっても、十分意匠的に有意の価値を
持たせることができる。
The planar shape of the unit pixel, that is, the planar shape of the light receiving surface 33 of each solar cell element 30 is not limited to the square shown in FIG. 1, but other rectangular shapes such as rectangles, triangles, hexagons, etc. In the same manner as in the case of using the entire circular wafer as one pixel in the above, including the polygonal shape, the case where each of the light receiving surfaces of the individual small solar cell elements is circular is also allowed. In the case of circular pixels, there are gaps between neighboring objects, but if you draw some pattern with many circular pixels and see it from a little distance, you can still get a drawing pattern with an interesting design sense. it can. Furthermore, in order to make the line pattern of the boundary surface between the adjacent solar cell elements interesting, the light receiving surface shape of each solar cell element may be shaped like an individual piece of a jigsaw puzzle. If the color of the light receiving surface of the adjacent solar cell element is different, even if it is not an expression with intelligent meaning, such as letters or numbers, it is a kind of abstract image, which is enough visual,
A pattern with a design value can be obtained. Although a two-dimensional drawing area is formed in the case of FIG. 1, the present invention can be applied to a one-dimensional drawing area. By changing the colors of the light-receiving surfaces of a large number of solar cell elements arranged in a line in accordance with predetermined patterns, it is possible to provide a significant value in terms of design only by such a change in the color pattern.

【0021】図1をもう一度見てみると、これは概略図
ではあるが、図7の従来例における太陽電池装置に見ら
れたような、隣接する太陽電池素子間に設けられる表面
電極(第一電極14)に相当する電極が描かれていない。
これは、概略図であるが故に省略したのではなく、この
図1に示される実施例は、図2に示されるような断面構
造の太陽電池素子30を用いたからである。
Looking again at FIG. 1, this is a schematic diagram, but as seen in the solar cell device in the conventional example of FIG. 7, surface electrodes (first electrode) provided between adjacent solar cell elements are used. The electrode corresponding to electrode 14) is not drawn.
This is not omitted because it is a schematic view, and this is because the embodiment shown in FIG. 1 uses the solar cell element 30 having the sectional structure as shown in FIG.

【0022】図2には、同図(a) と(b) とに示されてい
るように、受光面上の表面膜構造に若干の相違のある二
つの太陽電池素子30,30が示されているが、主たる構成
部分は同様である。そこでまず、それらに共通する所か
ら説明すると、図示断面において中央に示されている単
位の太陽電池素子30は、一枚のウエハ中に同時に作り込
まれた複数の太陽電池素子の一つを示しており、そのた
め、その両側にも、隣の太陽電池素子の一部分が示され
ている。
As shown in FIGS. 2A and 2B, FIG. 2 shows two solar cell elements 30, 30 having a slight difference in surface film structure on the light receiving surface. However, the main components are the same. Therefore, first, to explain from a point common to them, the unit solar cell element 30 shown in the center in the illustrated cross section shows one of a plurality of solar cell elements simultaneously formed in one wafer. Therefore, a part of the adjacent solar cell element is also shown on both sides thereof.

【0023】この太陽電池素子30の光電変換機能部は半
導体領域31と障壁形成層32とで構成されるが、半導体領
域31はもともとは半導体ウエハないし半導体基板であっ
て良い。半導体領域31の両主面中、図中での上面側が受
光面側で、この受光面側にエネルギ障壁形成層32が形成
されている。すでに図6に即して説明したように、半導
体領域31と障壁形成層32とによる光電変換機能部(31+
32)が当該光電変換機能を営むためには、半導体領域31
と障壁形成層32がpn接合、ショットキ接合、ヘテロ接
合のいずれかを構成する必要がある。本発明に用いる太
陽電池素子はいずれのタイプのものでも構わないが、図
2に示しているものの場合には、後述する一作製例にも
呼応させて、半導体領域31はp型半導体、障壁形成層32
はn型、特に望ましくは導電率の高い高濃度n型 (n+)
の半導体となっている。
The photoelectric conversion function portion of the solar cell element 30 is composed of the semiconductor region 31 and the barrier forming layer 32, but the semiconductor region 31 may originally be a semiconductor wafer or a semiconductor substrate. In both main surfaces of the semiconductor region 31, the upper surface side in the figure is the light receiving surface side, and the energy barrier forming layer 32 is formed on this light receiving surface side. As already described with reference to FIG. 6, the photoelectric conversion function part (31+) including the semiconductor region 31 and the barrier forming layer 32 is formed.
In order for 32) to perform the photoelectric conversion function, the semiconductor region 31
The barrier forming layer 32 must form a pn junction, a Schottky junction, or a hetero junction. The solar cell element used in the present invention may be of any type, but in the case of the solar cell element shown in FIG. 2, the semiconductor region 31 is a p-type semiconductor and a barrier is formed in accordance with a manufacturing example described later. Layer 32
Is n-type, particularly preferably high-concentration n-type (n + ) having high conductivity
Has become a semiconductor.

【0024】図2の一断面において、隣接する太陽電池
素子30,30の間は、半導体領域31の裏面側から表面側
(すなわち受光面側)に向けて切られた溝、特にこの場
合はV字断面に切られた溝により分離され、その結果、
少なくとも図示断面内において個々の太陽電池素子30の
半導体領域31には対向する一対の側面部が生ずる。特に
図示構造の場合、V字断面溝を形成した結果として、こ
の一対の側面部は受光面側から裏面側に向けて互いに相
寄る直線テーパ状に傾斜するべくなっているが、受光面
側における障壁形成層32は、部分36で示すように、半導
体領域31のこの一対の側面部に沿っても伸び、さらには
半導体領域31の裏面側にまで回り込んだ部分37で終って
いる。
In one cross section of FIG. 2, a groove cut from the back surface side of the semiconductor region 31 toward the front surface side (that is, the light receiving surface side), particularly V in this case, is provided between the adjacent solar cell elements 30, 30. Separated by a groove cut into a cross section, so that
At least in the cross section shown in the drawing, a pair of side surface portions facing each other is formed in the semiconductor region 31 of each solar cell element 30. Particularly in the case of the structure shown in the drawing, as a result of forming the V-shaped cross-section groove, the pair of side surface portions are inclined toward the back surface side in a linear taper shape that is close to each other. As shown by the portion 36, the barrier forming layer 32 extends along the pair of side surface portions of the semiconductor region 31 and further ends at the portion 37 that extends to the back surface side of the semiconductor region 31.

【0025】障壁形成層32の側面部分36と、この側面部
分36に連続し、半導体領域31の裏面側にまで回り込んだ
裏面部分37の表面は、共に適当なる絶縁膜ないし保護膜
38により覆われ、また半導体領域31の露出した裏面も適
当なる保護膜ないし絶縁膜39により覆われているが、そ
れらには適当な個所に適当なる面積のコンタクト開口が
設けられ、これら開口を介し、障壁形成層32の裏面部分
37,37にはそれぞれ第一電極34,34が、また半導体領域
31の裏面には第二電極35が設けられている。
The side surface portion 36 of the barrier forming layer 32 and the surface of the back surface portion 37 which is continuous with the side surface portion 36 and extends to the back surface side of the semiconductor region 31 are both made of an appropriate insulating film or protective film.
38, and the exposed back surface of the semiconductor region 31 is also covered with an appropriate protective film or insulating film 39, which are provided with contact openings of appropriate areas at appropriate places, and through these openings. , The back surface of the barrier forming layer 32
37, 37 have the first electrodes 34, 34, respectively, and the semiconductor region
A second electrode 35 is provided on the back surface of 31.

【0026】ここまでの構成は図2(a),(b) のいずれの
太陽電池素子30,30においても同様であるが、両者の相
違は、受光面側の障壁形成層32の表面を覆う表面膜33の
構造ないしは配置パタンに認められる。まず図2(a) の
素子から説明すると、中央に示されている単位の太陽電
池素子30における表面膜33の厚みtも、その両側に一部
示されている単位太陽電池素子30,30の表面膜33,33の
厚みtも、共に同じ厚さとなっている。換言すれば、共
通ウエハないし共通半導体基板上に構成された全ての単
位太陽電池素子30の受光面を一様の厚さtで覆うよう
に、表面膜33が形成されている。この表面膜33は、ある
意味では図6に即し説明したこの種の太陽電池素子の基
本構造に認められる保護膜ないしは反射防止膜13と同様
に、太陽電池素子30の受光面を保護し、光の入射光率を
高めるために適当なる材料、構成の薄膜であって良い。
したがって、先に少し述べたように、単層構造に限ら
ず、複数積層構造であっても良い。しかし、本発明にと
ってより重要なことは、この表面膜33の厚みtが、当該
太陽電池素子30の受光面(すなわち表面膜33)を上から
見たときに、その色彩を決定する要素となっていること
である。
The structure up to this point is the same in any of the solar cell elements 30 and 30 shown in FIGS. 2A and 2B, but the difference between the two is that the surface of the barrier forming layer 32 on the light receiving surface side is covered. It is recognized in the structure or arrangement pattern of the surface film 33. First, the element of FIG. 2 (a) will be described. The thickness t of the surface film 33 in the unit solar cell element 30 shown in the center is also shown in the unit solar cell elements 30, 30 partially shown on both sides. The thicknesses t of the surface films 33, 33 are also the same. In other words, the surface film 33 is formed so as to cover the light receiving surfaces of all the unit solar cell elements 30 formed on the common wafer or the common semiconductor substrate with the uniform thickness t. In a sense, the surface film 33 protects the light receiving surface of the solar cell element 30 like the protective film or the antireflection film 13 found in the basic structure of this type of solar cell element described with reference to FIG. It may be a thin film of a material and a structure suitable for increasing the incident light rate of light.
Therefore, as described above, the structure is not limited to the single layer structure, and may be a multilayer structure. However, what is more important to the present invention is that the thickness t of the surface film 33 is an element that determines the color of the light receiving surface of the solar cell element 30 (that is, the surface film 33) when viewed from above. It is that.

【0027】これにつき説明するに、例えば半導体領域
31や障壁形成層32が通常、この種の太陽電池素子に適当
なる材料(例えばシリコン系、ガリウム砒素系等々)で
ある場合、シリコン窒化膜はその表面領域上に形成する
膜として製作上も物性的にも適当な膜の一つである。し
かるに、こうしたシリコン窒化膜は、図2に示されてい
る表面膜33として利用した場合、その厚みtの如何によ
り、当該シリコン窒化膜33を上から見たときに見える色
彩が異なり、かつ、かなりはっきりした色彩を呈する特
徴がある。これは公知の干渉光の生成原理によるが、実
際にもシリコン窒化膜の場合、厚みtの如何によって濃
紺、黄、赤、緑等、その色彩を大きく変化させる。具体
的な膜厚とその時に呈する色彩との関係は、後述の作製
例と共に述べるが、いずれにしてもこの特徴を利用する
ことで、図1に示した実施例を通じて説明したように、
本発明に従う太陽電池装置50を構築するために必要な受
光面色の異なる太陽電池素子30A ,30B を得ることがで
きる。例えば濃紺と赤の色彩の太陽電池素子群を要した
ならば、あるウエハに形成した太陽電池素子30A の障壁
形成層32の上には、濃紺に見える膜厚tのシリコン窒化
膜33A を形成し、他のウエハに形成した太陽電池素子30
B の障壁形成層32の上には、赤に見える膜厚tのシリコ
ン窒化膜33B を形成すれば良く、それらウエハから切り
出した個々の太陽電池素子30A ,30B をそれぞれの色ご
とに必要な数だけ用い、一つづつ、モザイク描画手法に
よって所定のパタンに従い二次元配置すれば、所望の意
匠的表現を有する太陽電池装置50を提供することができ
る。もちろん、必要な色彩の数がもっと増えるならば、
シリコン窒化膜の膜厚tをさらに種々変更した太陽電池
素子30A ,30B ,・・・・・・ を各ウエハごとに作製すれば良
い。
To explain this, for example, a semiconductor region
When the material 31 and the barrier forming layer 32 are usually made of a material suitable for this type of solar cell element (eg, silicon-based, gallium arsenide-based, etc.), the silicon nitride film is a film formed on the surface region of the silicon nitride film in terms of physical properties in manufacturing. It is also one of the suitable films. However, when such a silicon nitride film is used as the surface film 33 shown in FIG. 2, the color seen when the silicon nitride film 33 is viewed from above differs depending on the thickness t, and is considerably large. It has a distinctive color. This is based on a known principle of generating interference light, but in the case of a silicon nitride film, the color of navy blue, yellow, red, green, or the like is changed greatly depending on the thickness t. The relationship between the specific film thickness and the color to be exhibited at that time will be described together with the production example described later. In any case, by utilizing this feature, as described through the embodiment shown in FIG.
It is possible to obtain the solar cell elements 30A, 30B having different light-receiving surface colors necessary for constructing the solar cell device 50 according to the present invention. For example, if a solar cell element group of dark blue and red is required, a silicon nitride film 33A having a film thickness t that looks like dark blue is formed on the barrier forming layer 32 of the solar cell element 30A formed on a certain wafer. , Solar cell element 30 formed on another wafer
It is sufficient to form a silicon nitride film 33B having a film thickness t that appears red on the barrier forming layer 32 of B, and the required number of individual solar cell elements 30A, 30B cut out from these wafers for each color are obtained. If only two are used one by one and two-dimensionally arranged according to a predetermined pattern by the mosaic drawing method, the solar cell device 50 having a desired design expression can be provided. Of course, if you need more colors,
The solar cell elements 30A, 30B, ... With various changes in the thickness t of the silicon nitride film may be produced for each wafer.

【0028】上述の図2(a) に示される手法では、一枚
のウエハ上に同時に形成される複数の太陽電池素子30の
受光面は、全て同じ色彩になる。これに対し、一枚のウ
エハ上にあっても特定の箇所の太陽電池素子30の受光面
のみを他とは異なる色彩にしたい場合には、図2(b) に
示されるように、あらかじめ全ての太陽電池素子30の障
壁形成層32の上に一様に形成したシリコン酸化膜等の薄
膜33’をその太陽電池素子30の所で除去するか薄くし
(図示の場合は薄く残っている)、その上に改めてシリ
コン窒化膜33を所定の色彩を呈する厚みtに形成すれば
良い。このことはまた、他の太陽電池素子上の薄膜33’
を膜厚tの異なるシリコン窒化膜に置き換えてみると、
同一のウエハ上にて受光面色の異なる太陽電池素子を作
製し得る可能性をも示していることになる。このような
選択的な作製手法は、例えば必要とする特定の色彩の太
陽電池素子の数が少なくて良い場合や、一枚のウエハを
そのまま単位画素として比較的大きな二次元パタンを描
画するときにさらに特殊な意匠感を与える上で有効であ
る。すなわち、一枚のウエハをそのまま利用するか、あ
るいは太陽電池素子群の有効作製領域のみを残すように
周りを裁断して四角形状にした後、これを壁画等を構成
する極めて大きな「キャンバス」に対して用いる単位画
素とし、他数枚のそれらウエハまたは裁断したウエハ群
により二次元パタンをモザイク状に描画する場合、ウエ
ハという大きな単位画素自体に、小さな単位画素で例え
ば所定の線形模様等がすでに描き込まれた状態とするこ
とができるので、より複雑な描画が可能となる。
In the method shown in FIG. 2 (a) described above, the light receiving surfaces of the plurality of solar cell elements 30 simultaneously formed on one wafer have the same color. On the other hand, when it is desired to make only the light receiving surface of the solar cell element 30 at a specific location on one wafer different from the other colors, as shown in FIG. The thin film 33 'such as a silicon oxide film formed uniformly on the barrier forming layer 32 of the solar cell element 30 is removed or thinned at the solar cell element 30 (in the case shown, it remains thin) Then, the silicon nitride film 33 may be formed thereon again to the thickness t exhibiting a predetermined color. This also applies to the thin film 33 'on the other solar cell elements.
Is replaced with a silicon nitride film having a different film thickness t,
It also indicates the possibility of manufacturing solar cell elements having different light-receiving surface colors on the same wafer. Such a selective manufacturing method is used, for example, when the number of solar cell elements of a specific color required is small, or when a relatively large two-dimensional pattern is drawn with one wafer as a unit pixel. It is also effective in giving a special design feeling. That is, either a single wafer is used as it is, or the periphery is cut so as to leave only the effective manufacturing region of the solar cell element group and formed into a rectangular shape, which is then used as an extremely large “canvas” that constitutes a mural or the like. When a two-dimensional pattern is drawn in a mosaic pattern by using several other wafers or a group of cut wafers as a unit pixel to be used in contrast, a large unit pixel called a wafer already has a predetermined linear pattern or the like in a small unit pixel. Since it can be drawn, more complicated drawing is possible.

【0029】逆に、図2(b) における薄膜33’を、意図
的に形成されるか、あるいは太陽電池素子作製工程のい
ずれかにあって酸化環境により形成されてしまう酸化膜
等と考えれば、図2(a) に示されるような構造の場合に
も同様に、障壁形成層32の上に直接にではなく、こうし
た酸化膜の上に受光面に色彩を与えるためのシリコン窒
化膜33が形成されることもある。むしろ、図2(a),(b)
のいずれの場合にも、障壁形成層32の保護膜として、あ
るいは反射防止膜として適当なる単層または積層構造の
薄膜を形成した後、受光面に良好な色彩を与えるための
みの目的でシリコン窒化膜33をさらに積層形成するよう
にしても良い。
On the contrary, if the thin film 33 'in FIG. 2 (b) is considered to be an oxide film or the like which is intentionally formed or is formed by an oxidizing environment in any of the solar cell element manufacturing steps. Similarly, in the case of the structure shown in FIG. 2A, the silicon nitride film 33 for imparting color to the light-receiving surface is not formed directly on the barrier forming layer 32 but on the oxide film. It may be formed. Rather, Fig. 2 (a), (b)
In any of the above cases, after forming a thin film having a single layer or a laminated structure suitable as a protective film for the barrier forming layer 32 or as an antireflection film, silicon nitride is used only for the purpose of giving a good color to the light receiving surface. The film 33 may be further laminated.

【0030】また、確かに上記のように、はっきりとし
た所要の色彩を呈するにはシリコン窒化膜が有効ではあ
るが、その他、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸
化タンタル、酸化チタン等の薄膜もかなり明瞭な色調表
現が可能である。シリコン酸化膜であっても、それら程
には明確な色彩とはならないが、その膜厚の如何により
色彩が変化する現象が生ずるので、太陽電池素子の受光
面に色彩を与えるために所定の膜厚に形成される表面膜
33として、これらの薄膜を利用することもできる。これ
を推し述べれば、各単位画素に用いる太陽電池素子ごと
に、受光面色を与えるための薄膜33の材質が異なってい
ても良いことが分かるし、当然、それら互いに異なる材
質の薄膜33の膜厚が異なることもある。
Further, as described above, the silicon nitride film is effective for exhibiting a clear and desired color as described above, but other thin films such as tin oxide, indium oxide, zinc oxide, tantalum oxide, and titanium oxide are also available. Is also possible to express a fairly clear color tone. Even if it is a silicon oxide film, the color is not so clear, but a phenomenon occurs in which the color changes depending on the film thickness.Therefore, a predetermined film is provided to give color to the light receiving surface of the solar cell element. Thickly formed surface film
These thin films can also be used as 33. It is understood that the material of the thin film 33 for giving the light-receiving surface color may be different for each solar cell element used for each unit pixel, and naturally, the film thickness of the thin film 33 made of different materials from each other. May be different.

【0031】ところで、図2(a),(b) に示した断面構造
例の太陽電池素子30は、表面電極が見えないので、意匠
性に一層優れる外、本発明の太陽電池装置50を構築する
ためのアセンブリ作業(モザイク配置作業)の作業性に
優れ、また、本来の光電変換機能においても優れたもの
となる。すなわち、図6に示したような既存の構造に従
った場合には、障壁形成層32に対して形成すべき第一の
電極34は受光面側に位置する。したがって当該電極の占
める面積領域は光の入射に関して暗視野領域となり、受
光面と呼び得る実効面積領域は低下してしまう。これに
対し、図2に示した構造例のように、第一電極34が、高
濃度n+ 型側面部36を介し受光面側の障壁形成層32に電
気的に導通する裏面部分37に対して設けられていると、
受光面側の障壁形成層32の表面積は全て有効な受光面と
して利用できるので、光電変換効率はその分、確実に高
まることになる。もちろん、この機能のためには、図2
に示されているように、障壁形成層32の側面部36や裏面
部37は、それぞれ一対ある必要はなく、半導体領域31の
一方の側面部とそれに連続する裏面部の一部にのみ設け
られていれば良い。しかし、後述の作製例に認められる
ように、半導体領域両側面部に形成する方がむしろ手間
がない。
By the way, in the solar cell element 30 of the sectional structure example shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), the surface electrode is not visible, so that the solar cell device 50 of the present invention is constructed in addition to the excellent designability. The workability of the assembly work (mosaic arranging work) for this purpose is excellent, and the original photoelectric conversion function is also excellent. That is, according to the existing structure shown in FIG. 6, the first electrode 34 to be formed with respect to the barrier forming layer 32 is located on the light receiving surface side. Therefore, the area area occupied by the electrode becomes a dark field area with respect to the incidence of light, and the effective area area that can be called a light receiving surface is reduced. On the other hand, as in the structure example shown in FIG. 2, the first electrode 34 is not electrically connected to the back surface portion 37 through the high-concentration n + type side surface portion 36 to the barrier formation layer 32 on the light receiving surface side. Is provided,
Since the entire surface area of the barrier forming layer 32 on the light receiving surface side can be used as an effective light receiving surface, the photoelectric conversion efficiency is surely increased accordingly. Of course, for this function,
As shown in FIG. 6, the side surface portion 36 and the back surface portion 37 of the barrier forming layer 32 do not need to be paired, and are provided only on one side surface portion of the semiconductor region 31 and a part of the back surface portion continuous with the side surface portion. I'm good. However, as can be seen from the manufacturing example described later, it is rather troublesome to form the semiconductor regions on both side surfaces.

【0032】一方、本発明の太陽電池装置50を構築する
ため、隣接する太陽電池素子30との間のV字溝の中央で
分離することで(溝があるのでこの分離作業自体、容易
である)個々の太陽電池素子30を切り出した後、所定の
パタンに従ってそれぞれの色彩の受光面色の太陽電池素
子30を所定個数、一つづつ所定の位置にアセンブルして
行く場合にも、第一電極34と半導体領域31に接続する第
二電極35は同一平面内で互いに並設の関係にあるので、
物理的な支持基板(図示せず)としてプリント基板を用
い、当該プリント基板上に所定のパタンで形成した導電
パタン上の所定部分にそれら第一、第二電極34,35を通
常のソルダリング手法で固定して行くことができる。す
なわち、複数の太陽電池素子間の電気的な所定の接続配
線と、それら個々の太陽電池素子の物理的な固定、支持
とを同時に行え、自動化もし易いのである。これが例え
ば、図6に例示された素子構造のように、表面電極14を
有するような構造であると、他の太陽電池素子との間で
の接続配線作業には別途なリード線等を要し、極めて煩
雑になり、断線事故等も起き易くなる。
On the other hand, in order to construct the solar cell device 50 of the present invention, the solar cell device 50 is separated at the center of the V-shaped groove between the adjacent solar cell elements 30 (since there is a groove, this separation operation itself is easy. ) Even after the individual solar cell elements 30 are cut out and the solar cell elements 30 each having a predetermined number of light-receiving surface colors in accordance with a predetermined pattern are assembled into predetermined positions one by one, the first electrode 34 And the second electrode 35 connected to the semiconductor region 31 are in a juxtaposed relationship with each other in the same plane,
A printed circuit board is used as a physical support substrate (not shown), and the first and second electrodes 34 and 35 are usually soldered to a predetermined portion on a conductive pattern formed on the printed circuit board with a predetermined pattern. You can fix it with. That is, electrical predetermined connection wiring between a plurality of solar cell elements and physical fixing and supporting of these individual solar cell elements can be performed at the same time, and automation is easy. If this is a structure having the surface electrode 14 as in the element structure illustrated in FIG. 6, for example, a separate lead wire or the like is required for connection wiring work with another solar cell element. , Becomes extremely complicated, and disconnection accidents easily occur.

【0033】図3は、図2に示した断面構造の太陽電池
素子30を得る作製工程の具体例を示している。まず、同
図(a) に示すように、p型シリコンウエハ31の表裏両主
面に酸化シリコン膜41,41を形成し、裏面側のシリコン
酸化膜41の所定個所に、溝を形成するためのエッチング
用開口42,・・・・・を開ける。その後、ヒドラジンエッチン
グを施し、図3(b) に示すように、半導体領域31の裏面
から表面に抜ける溝43を形成する。これに際し、出発ウ
エハ裏面が(100)面であり、開口42の一辺が<11
0>方向であれば、エッチング処理により形成される溝
43は、図示のように、その側面が(111)面のV字溝
となる。
FIG. 3 shows a specific example of a manufacturing process for obtaining the solar cell element 30 having the sectional structure shown in FIG. First, as shown in FIG. 3A, in order to form the silicon oxide films 41, 41 on both front and back main surfaces of the p-type silicon wafer 31, and to form a groove at a predetermined position of the silicon oxide film 41 on the back surface side. Open the etching openings 42 ,. Then, hydrazine etching is performed to form a groove 43 extending from the back surface to the front surface of the semiconductor region 31, as shown in FIG. 3 (b). At this time, the back surface of the starting wafer is the (100) surface, and one side of the opening 42 is <11.
0> direction, grooves formed by etching
As shown in the figure, 43 has a V-shaped groove whose side surface is a (111) plane.

【0034】次に、図3(b) に示されているように、表
面、裏面の所定領域のシリコン酸化膜41,41を除去し、
ウエハ全体を立てた状態でn+ 不純物をデポジション
し、拡散させるか、表裏面で順次酸化膜41を除去しなが
ら各一回づつ、n+ 不純物をデポジションし、拡散させ
ることにより、図3(c) に示されているように、半導体
領域31の表面領域にn+ 障壁形成層32を形成すると共
に、当該障壁形成層32に連続して半導体領域31のV字溝
に沿うn+ 側面部分36と、この側面部分36にさらに連続
して半導体領域31の裏面側にまで回り込んだn+ 裏面部
分37を形成する。
Next, as shown in FIG. 3 (b), the silicon oxide films 41, 41 in predetermined regions on the front and back surfaces are removed,
By depositing and diffusing n + impurities with the entire wafer standing, or by depositing and diffusing n + impurities once while removing the oxide film 41 on the front and back surfaces, respectively, as shown in FIG. as shown (c), the to form the n + barrier layer 32 in the surface region of the semiconductor region 31, n + side in succession to the barrier-forming layer 32 along the V-groove of the semiconductor region 31 A portion 36 and an n + back surface portion 37 that is continuous with the side surface portion 36 and extends to the back surface side of the semiconductor region 31 are formed.

【0035】この工程を経ると、一般にn+ 不純物導入
用であった開口部分には新たにシリコン酸化膜が堆積す
るが、要すれば所定領域でこれを除去するか、あるいは
障壁形成層32の保護のため、薄く残した状態で、作製さ
れる太陽電池素子の受光面に所定の色彩を与えるため
に、所定の膜厚tのシリコン窒化膜33を障壁形成層32の
上に形成する。このとき、半導体領域31の側面側や裏面
側においての開口部分にも同じくシリコン窒化膜44が成
長し、一般には前の工程で残されていたシリコン酸化膜
41の上にも堆積するが、裏面側のシリコン酸化膜41に対
しては、簡単のため、その上に形成されることがあるシ
リコン窒化膜44は省略している。
After this step, a silicon oxide film is newly deposited in the opening for introducing the n + impurity, but if necessary, it is removed in a predetermined region or the barrier forming layer 32 is formed. For protection, a silicon nitride film 33 having a predetermined thickness t is formed on the barrier forming layer 32 in order to give a predetermined color to the light receiving surface of the solar cell element to be manufactured while leaving it thin. At this time, the silicon nitride film 44 also grows in the openings on the side surface side and the back surface side of the semiconductor region 31, and generally the silicon oxide film left in the previous step.
Although it is also deposited on 41, the silicon nitride film 44 that may be formed on the silicon oxide film 41 on the back surface side is omitted for simplicity.

【0036】ここで、障壁形成層32上に形成したシリコ
ン窒化膜33の厚みtと、得られる色彩との関係につき、
本発明者の実験結果を挙げておくと、膜厚tがほぼ 950
Åのとき青ないし紺となり、1500Å程度では黄、ほぼ18
00Åでは赤、そして約2000Åでは赤紫となった。先にも
述べたように、このような膜厚対色彩変化はシリコン酸
化膜でも同様に生じ、本発明に使用不能な訳ではない
が、はっきりした色彩を得られることや、取扱いの容易
なこと、素子本来の有すべき光電変換機能にとって悪影
響の少ないことなどから、表面膜33の材料としてシリコ
ン窒化膜は最適である。既述した他の材料でももちろ
ん、膜厚変化に対し色彩変化を呈する。ちなみにもう一
つ、酸化亜鉛についての実験例を挙げてみると、この材
料の場合、膜厚tがほぼ 900Åでは薄い青、ほぼ1200Å
では黄となり、1900Å程度にまで厚味をますと赤を呈し
た。
Here, the relationship between the thickness t of the silicon nitride film 33 formed on the barrier forming layer 32 and the obtained color is
According to the results of experiments conducted by the present inventor, the film thickness t is approximately 950.
At Å, it becomes blue or navy blue, and at about 1500 Å yellow, almost 18
It became red at 00Å and magenta at about 2000Å. As described above, such a change in film thickness vs. color also occurs in the silicon oxide film, and although it is not unusable in the present invention, a clear color can be obtained and it is easy to handle. The silicon nitride film is optimal as the material of the surface film 33 because it has little adverse effect on the photoelectric conversion function that the device should originally have. Of course, the other materials described above also exhibit a color change with respect to a change in film thickness. By the way, another example of zinc oxide is as follows. In the case of this material, when the film thickness t is about 900Å, it is light blue, about 1200Å
Became yellow, and when it became thicker up to about 1900Å, it became red.

【0037】いずれにしてもこのようにして、所要の膜
厚tの表面膜33を形成したならば、裏面側の各酸化膜4
4,41に対し、所定の位置に開口45,46を開け、第一電
極34と第二電極35を形成し、さらに前述のように、自動
ソルダリングを行うためには、各電極34,35の表面を半
田コーティングする。こうした一連の工程を経た後、な
お残存する絶縁膜が、図2(b) に示されている絶縁膜3
8,39となる。図示の場合には一対あるが、第一電極34
はもちろん、一方のみであっても良い。
In any case, if the surface film 33 having a required film thickness t is formed in this way, each oxide film 4 on the back surface side is formed.
Openings 45 and 46 are opened at predetermined positions with respect to 4 and 41 to form the first electrode 34 and the second electrode 35. Further, as described above, in order to perform automatic soldering, the electrodes 34 and 35 are formed. Solder coat the surface of. After such a series of steps, the remaining insulating film is the insulating film 3 shown in FIG. 2 (b).
8 and 39. Although there is a pair in the illustrated case, the first electrode 34
Of course, only one may be used.

【0038】なお、上述した図3(b) の工程において、
図中、中央に示されている太陽電池素子形成領域のみで
はなく、ウエハ全面のシリコン酸化膜を除去した後、後
続の工程を辿れば、図2(a) に示したように、全面に所
定膜厚tのシリコン窒化膜33を有する太陽電池素子30が
得られる。また、上述の工程では、特にエッチングスト
ッパを設けていないので、V字溝形成時には通常、当該
溝の底(図中では上から下にエッチングされていく格好
になるので上端部分となるが)は半導体領域の表面にま
で抜け、一種のスルーホール状となる。必要ならば、既
存の技術を利用し、エッチングストッパを設けることも
できるが、特に設けず、スルーホールとなっても、図面
紙面と直交する方向の溝の長さを適当な短さに留め、半
導体領域31の表面から見たとき、当該表面に開口する溝
が、例えばとびとびのミシン目状となるようにウエハ上
の太陽電池素子の形成用平面パタンを決定すれば、その
後の工程に十分耐えるだけのウエハ強度は確保すること
ができる。
In the process of FIG. 3 (b) described above,
In the figure, not only the solar cell element formation area shown in the center but also after removing the silicon oxide film on the entire surface of the wafer, the subsequent steps are followed, as shown in FIG. A solar cell element 30 having a silicon nitride film 33 having a film thickness t is obtained. In addition, since no etching stopper is provided in the above process, the bottom of the V-shaped groove (which is the upper end portion in the figure is usually etched from top to bottom) when forming the V-shaped groove. It penetrates to the surface of the semiconductor region, forming a kind of through hole. If necessary, the existing technology can be used to provide an etching stopper, but even if it is not provided and a through hole is formed, the length of the groove in the direction orthogonal to the drawing sheet is kept at an appropriate length. When viewed from the surface of the semiconductor region 31, if the plane pattern for forming the solar cell element on the wafer is determined so that the groove opened on the surface has, for example, a discontinuous perforation shape, it is sufficiently durable to the subsequent steps. Only the strength of the wafer can be secured.

【0039】図2または図3に示すような、V字溝を有
する断面構造を作製する上では、作製法に関する公知例
として、特公昭54-26475号公報を参考にすることもでき
る。当該公報では、V字溝は半導体領域の表面側から裏
面側に向けて形成されている点で図3の工程とは相違す
るが、手法自体に関しての種々の配慮は等しく適用する
ことができる。もちろん、他の公知既存の手法も利用可
能なものは利用して構わず、スルーホールないしは溝の
形状も、必ずしもV字形状に限らないし、図面紙面と直
交する方向においての半導体領域側面部に関しても同様
に、そうした溝が設けられていても良い。
In producing a cross-sectional structure having a V-shaped groove as shown in FIG. 2 or 3, Japanese Patent Publication No. 54-26475 can be referred to as a publicly known example concerning the production method. Although this publication differs from the process of FIG. 3 in that the V-shaped groove is formed from the front surface side to the back surface side of the semiconductor region, various considerations regarding the method itself can be equally applied. Of course, any other known existing method may be used, and the shape of the through hole or groove is not limited to the V shape, and the side surface portion of the semiconductor region in the direction orthogonal to the drawing sheet may be used. Similarly, such grooves may be provided.

【0040】さらに言うなら、障壁形成層32と、半導体
領域31の側面に沿う側面部分36や裏面部分37の材質は、
原理的には異なっていても良く、障壁形成層32に対し、
裏面側に設けた第一電極34に対し、高導電率で導通を取
ることができれば良い。しかし、半導体領域31の側面と
裏面に絶縁膜を施した後、その上に当該高導電率層をわ
ざわざ積層形成するのは手間であり、上述したように、
障壁形成層32と一遍に作ってしまう便宜性には適わな
い。
More specifically, the materials of the barrier forming layer 32 and the side surface portion 36 and the back surface portion 37 along the side surface of the semiconductor region 31 are
In principle, the barrier forming layer 32 may be different,
It suffices if the first electrode 34 provided on the back surface side can be conducted with high conductivity. However, after applying the insulating film to the side surface and the back surface of the semiconductor region 31, it is troublesome to purposely laminate the high-conductivity layer thereon, and as described above,
This is not suitable for the convenience of forming the barrier forming layer 32 at the same time.

【0041】もっとも、図2に示される素子に若干の改
変を施し、図4に示されるような断面構造の素子とすれ
ば、障壁形成層32の裏面部分37自体を不要とすることも
できる。図2に示される素子との相違部分についてのみ
説明し、他の部分は既述したところを援用するが、障壁
形成層32は側面部分36しか有しておらず、これに対して
直接に第一電極34が形成されている。ただ、望ましいこ
とに、この第一電極34は半導体領域31の裏面側絶縁膜39
の上にまで延在する部分を有しており、この延在部分が
第二電極35に対し、やはり平面的に互いに並設関係をな
している。したがって、この素子の持つ各種の効果は図
2に示した素子におけると何ら変わりないものとなり、
むしろ、本構造の素子の方が製作が簡単になる。
However, if the element shown in FIG. 2 is slightly modified to form an element having a sectional structure as shown in FIG. 4, the back surface portion 37 of the barrier forming layer 32 itself may be unnecessary. Only parts different from those of the device shown in FIG. 2 will be described, and the other parts will be referred to as already described. However, the barrier forming layer 32 has only the side surface part 36. One electrode 34 is formed. However, desirably, the first electrode 34 is formed on the back surface side insulating film 39 of the semiconductor region 31.
Has a portion extending to the upper side, and this extending portion also has a side-by-side relation with the second electrode 35 in a plan view. Therefore, the various effects of this element are the same as those of the element shown in FIG.
Rather, the device of this structure is easier to manufacture.

【0042】以上のように、図2あるいは図4に示した
構造を持つ太陽電池素子30は、本発明の太陽電池素子50
を構成する上で極めて望ましい構造を持つ。表面電極が
ないので隣接する太陽電池素子間を密接して配置すれ
ば、所定の二次元描画パタンを構成する単位画素も互い
に密着し、きめの細かなパタンを描くことができる。ま
た、受光面の全てを有効利用し、かつ、受光面に色彩を
呈するための着色法も、受光面表面膜の膜厚の如何や材
質の如何によりなしているので、損失の少ない濃紺以外
の色に着色した場合にも、極めて薄い膜のため、そこで
の入射光量の損失も問題にならない範囲に抑え込むこと
ができる。
As described above, the solar cell element 30 having the structure shown in FIG. 2 or 4 is the solar cell element 50 of the present invention.
It has a very desirable structure in constructing. Since there is no surface electrode, if the adjacent solar cell elements are arranged in close contact, the unit pixels forming a predetermined two-dimensional drawing pattern are also in close contact with each other and a fine pattern can be drawn. In addition, since the coloring method for effectively using all of the light-receiving surface and giving color to the light-receiving surface is also made depending on the film thickness of the light-receiving surface film and the material, it is possible to select other than dark blue with less loss. Even when colored, the film is extremely thin, so that the loss of the amount of incident light there can be suppressed within a range that does not pose a problem.

【0043】しかし、本発明の主目的を達成する上で
は、既述のように、多少とも、その光電変換機能は犠牲
になっても構わないので、図5に示されるような構造の
太陽電池素子30もまた、本発明に利用することができ
る。まず図5(a) 中、構造部分10は、同じ符号で示すよ
うに、図6に示されている既存の太陽電池素子10と同じ
構成である。したがって、各構成要素11〜15に関しての
説明は当該図6に関しての説明を援用するが、本発明に
利用する太陽電池素子30とするべく、構造部分10の表面
上には、厚さtの着色表面膜33''を設けている。この着
色表面膜33''は、先の実施例に挙げた表面膜33ように、
その膜厚tの変化により色彩を異ならせる絶縁膜であっ
ても良いが、この実施例では特に、意図的に所要の色に
着色した樹脂膜を考えている。表面膜33''がこのような
樹脂膜33''であれば、光電変換機能にとっては多少、性
能の低下を招くかも知れないが、それと引き換えに、如
何なる色彩も得ることができるという利点が生まれる。
However, in order to achieve the main object of the present invention, as described above, the photoelectric conversion function may be sacrificed to some extent, so that the solar cell having the structure shown in FIG. Element 30 can also be utilized in the present invention. First, in FIG. 5A, the structural portion 10 has the same structure as the existing solar cell element 10 shown in FIG. 6, as indicated by the same reference numeral. Therefore, the description of the constituent elements 11 to 15 is based on the description of FIG. 6, but in order to obtain the solar cell element 30 used in the present invention, the coloring of the thickness t is formed on the surface of the structural portion 10. A surface film 33 '' is provided. This colored surface film 33 '', like the surface film 33 mentioned in the previous embodiment,
It may be an insulating film having different colors depending on the change in the film thickness t, but in this embodiment, a resin film intentionally colored in a desired color is considered. If the surface film 33 '' is such a resin film 33 '', the performance may be slightly deteriorated for the photoelectric conversion function, but in exchange for that, there is an advantage that any color can be obtained. .

【0044】もっとも、着色樹脂膜33''中に、適当なる
蛍光性微粒子を混入すると、入射光の波長シフトが行わ
れ、光電変換には寄与していなかった波長領域の光をも
光電変換に寄与させることができるので、そのようにす
れば、図5のような構造による短所は軽減される。もち
ろん、図2に示されるような、表面電極を有さない構造
に対し、シリコン窒化膜等の表面膜33に代え、着色樹脂
膜33''を設ける構造も構築できるし、この際、上記のよ
うに蛍光性微粒子入りの着色樹脂膜33''を設けた場合に
は、その光電変換特性は、むしろ従来構造より高まるこ
とすら考えられる。
However, when suitable fluorescent fine particles are mixed in the colored resin film 33 '', the wavelength of incident light is shifted, and light in the wavelength region that has not contributed to photoelectric conversion is also converted to photoelectric conversion. By doing so, the disadvantages of the structure shown in FIG. 5 are alleviated. Of course, in contrast to the structure having no surface electrode as shown in FIG. 2, a structure in which a colored resin film 33 ″ is provided instead of the surface film 33 such as a silicon nitride film can be constructed. When the colored resin film 33 ″ containing the fluorescent fine particles is provided as described above, it is conceivable that the photoelectric conversion characteristics of the colored resin film 33 ″ are even higher than those of the conventional structure.

【0045】図5(b) は、図5(a) の簡単な改変とし
て、表面電極14の上を除く障壁形成層12の表面上にの
み、着色表面膜33''を設けた場合を示しているが、当該
障壁形成層32の表面上に図示のように直接に当該着色表
面膜33''を設ける場合には、これは先に図2,3に示し
たように、当該障壁形成層12の表面を保護する保護膜で
あることの方が望ましい。樹脂膜を用いる場合には、こ
の樹脂膜33''と障壁形成層12の表面との間に、酸化膜等
の保護膜や、望ましくは反射防止膜を挟んだ方が良い。
FIG. 5B shows, as a simple modification of FIG. 5A, a case where the colored surface film 33 ″ is provided only on the surface of the barrier forming layer 12 except on the surface electrode 14. However, when the colored surface film 33 '' is directly provided on the surface of the barrier forming layer 32 as shown in the drawing, this is as shown in FIGS. It is more desirable that it is a protective film that protects the surface of 12. When a resin film is used, it is better to sandwich a protective film such as an oxide film, or preferably an antireflection film, between the resin film 33 ″ and the surface of the barrier forming layer 12.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明によると、これまでは単なる電子
的機能部品でしかなかった太陽電池装置を、意匠物品と
しての付加価値を持たせて市場に提供できる。この効果
は実際上、かなり大きく、各種の太陽電池電源利用機器
のデザイン原理を大きく代え、相当に自由なるデザイン
設計を許容することになる。ある場合には、その機器で
最も目立つ部分が太陽電池装置部分ということになるや
も知れない。また、「発電壁画」として利用した場合に
は、これまでは到底、公の場所に濃紺一色の大面積の単
なるパネルを設置できるような状況にはなかったもの
が、逆に、描かれる絵の内容如何によっては人々に大い
に歓迎されるものとなり、生活環境を何等損なうことな
く、種々の場所で太陽エネルギの恩恵を受け得るように
なる可能性も生ずる。
According to the present invention, a solar cell device which has been a mere electronic functional component until now can be provided to the market with added value as a designed article. In practice, this effect is considerably large, and the design principle of various solar cell power source-using devices is largely changed, and a considerably free design design is allowed. In some cases, the most prominent part of the device may be the solar cell device part. Also, when used as a "power generation mural", it was never possible to install a large panel of dark blue in a public area in the public place until now. Depending on the content, it will be highly welcomed by people, and there is the possibility that they will be able to benefit from solar energy in various places without any damage to their living environment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に従って作製された太陽電池装置の一実
施例の概略的な平面構成図である。
FIG. 1 is a schematic plan configuration diagram of an embodiment of a solar cell device manufactured according to the present invention.

【図2】本発明の太陽電池装置に用いるに適当な太陽電
池素子の概略的な断面構成図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional configuration diagram of a solar cell element suitable for use in the solar cell device of the present invention.

【図3】図2の太陽電池素子を得るための作製工程の概
略的な説明図である。
FIG. 3 is a schematic explanatory diagram of a manufacturing process for obtaining the solar cell element of FIG.

【図4】本発明の太陽電池装置に用い得る他の太陽電池
素子の概略的な断面構成図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional configuration diagram of another solar cell element that can be used in the solar cell device of the present invention.

【図5】本発明の太陽電池装置に用い得るさらに他の太
陽電池素子の概略的な断面構成図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional configuration diagram of still another solar cell element that can be used in the solar cell device of the present invention.

【図6】在来の太陽電池素子の基本的な構造に関する説
明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram related to a basic structure of a conventional solar cell element.

【図7】従来の太陽電池装置使用例の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a usage example of a conventional solar cell device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10,30 太陽電池素子, 11,31 半導体領域, 12,32 エネルギ障壁形成層, 13 保護膜または反射防止膜, 14,34 第一電極, 15,35 第二電極, 33,33'' 表面膜, 36 障壁形成層に連続する側面部分, 37 側面部分に連続する裏面部分, 43 溝またはスルーホール. 10,30 Solar cell element, 11,31 Semiconductor region, 12,32 Energy barrier forming layer, 13 Protective film or antireflection film, 14,34 First electrode, 15,35 Second electrode, 33,33 '' Surface film , 36 side surface continuous with barrier forming layer, back surface continuous with 37 side surface, 43 groove or through hole.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前屋敷 芳樹 東京都青梅市藤橋3丁目3番12号 青梅コ スモス電機株式会社内 (72)発明者 一木 修 東京都中央区新川2−10−6 カヤヌマビ ル604 株式会社資源総合システム内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Yoshiki Mae Yashiki 3-3-12 Fujihashi, Ome, Tokyo Ome Cosmos Electric Co., Ltd. (72) Inventor Osamu Ichiki 2-10- Shinkawa, Chuo-ku, Tokyo 6 Kayanuma Building 604 Co., Ltd. in the integrated resource system

Claims (13)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の面積で所定の平面形状を有する受
光面と、該受光面に対向する裏面とを有する光電変換機
能部を持ち、該受光面を介して該光電変換機能部に光が
入射すると第一、第二の電極間に電位差を生ずる太陽電
池素子を複数個、平面的に互いに並設して成る太陽電池
装置であって;上記受光面を見たとき、その色彩が相違
する太陽電池素子をそれぞれの受光面色ごとに所定の数
づつ用意し;該それぞれの受光面色の太陽電池素子を予
定の平面的配置パタンに従い、モザイク状に並設したこ
と;を特徴とする太陽電池装置。
1. A photoelectric conversion function section having a light receiving surface having a predetermined planar shape with a predetermined area and a back surface facing the light receiving surface, and light is transmitted to the photoelectric conversion function section via the light receiving surface. A solar cell device comprising a plurality of solar cell elements that generate a potential difference between a first electrode and a second electrode when they are incident on each other, and the colors are different when the light receiving surface is viewed. A predetermined number of solar cell elements are prepared for each light-receiving surface color; the solar cell elements having the respective light-receiving surface colors are arranged side by side in a mosaic according to a predetermined planar arrangement pattern. .
【請求項2】 請求項1に記載の太陽電池装置であっ
て;上記太陽電池素子の上記受光面色の相違は、該受光
面上に形成された表面膜の着色の相違により得られてい
ること;を特徴とする太陽電池装置。
2. The solar cell device according to claim 1, wherein the difference in the color of the light-receiving surface of the solar cell element is obtained by the difference in the coloring of the surface film formed on the light-receiving surface. A solar cell device.
【請求項3】 請求項1に記載の太陽電池装置であっ
て;上記太陽電池素子の上記受光面色の相違は、該受光
面上に形成された表面膜の厚みの相違により得られてい
ること;を特徴とする太陽電池装置。
3. The solar cell device according to claim 1, wherein the difference in the color of the light receiving surface of the solar cell element is obtained by the difference in the thickness of the surface film formed on the light receiving surface. A solar cell device.
【請求項4】 請求項1または2に記載の太陽電池装置
であって;上記太陽電池素子の上記受光面色の相違は、
該受光面上に形成された表面膜の材質の相違により得ら
れていること;を特徴とする太陽電池装置。
4. The solar cell device according to claim 1 or 2, wherein the difference in the light-receiving surface color of the solar cell element is:
A solar cell device characterized by being obtained by a difference in material of a surface film formed on the light receiving surface.
【請求項5】 請求項3または4に記載の太陽電池装置
であって;上記表面膜は上記受光面の保護膜を兼ねてい
ること;を特徴とする太陽電池装置。
5. The solar cell device according to claim 3 or 4, wherein the surface film also serves as a protective film for the light-receiving surface.
【請求項6】 請求項3,4または5に記載の太陽電池
装置であって;上記表面膜は上記受光面での光反射低減
用の反射防止膜を兼ねていること;を特徴とする太陽電
池装置。
6. The solar cell device according to claim 3, 4 or 5, wherein the surface film also serves as an antireflection film for reducing light reflection on the light receiving surface. Battery device.
【請求項7】 請求項1,2,3,4,5または6に記
載の太陽電池装置であって;上記各太陽電池素子の上記
光電変換機能部は、半導体領域と、該半導体領域に対し
エネルギ障壁を形成する障壁形成層とから構成され、上
記受光面は該障壁形成層の設けられている側の面である
と共に;該障壁形成層はさらに、該半導体領域の少なく
とも一側面部分に沿って伸びる側面部分を有しており;
上記第一電極は、該障壁形成層の上記側面部分に対して
設けられる一方;上記第二電極は、上記半導体領域の裏
面側に設けられていること;を特徴とする太陽電池装
置。
7. The solar cell device according to claim 1, 2, 3, 4, 5 or 6, wherein the photoelectric conversion function section of each of the solar cell elements is a semiconductor region and a semiconductor region with respect to the semiconductor region. And a barrier forming layer forming an energy barrier, wherein the light receiving surface is a surface on the side where the barrier forming layer is provided; and the barrier forming layer further extends along at least one side surface portion of the semiconductor region. Has a lateral portion extending through;
The solar cell device, wherein the first electrode is provided on the side surface portion of the barrier forming layer; and the second electrode is provided on the back surface side of the semiconductor region.
【請求項8】 請求項7に記載の太陽電池装置であっ
て;上記障壁形成層の側面部分に対して設けられた第一
電極は、上記半導体領域の裏面上に設けられた絶縁膜の
上にまで延在し、該延在部分が上記第二電極と並設の関
係になっていること;を特徴とする太陽電池装置。
8. The solar cell device according to claim 7, wherein the first electrode provided on the side surface portion of the barrier forming layer is on an insulating film provided on the back surface of the semiconductor region. To the second electrode, and the extended portion is in a juxtaposed relationship with the second electrode.
【請求項9】 請求項7または8に記載の太陽電池装置
であって;上記障壁形成層は、該半導体領域の対向する
一対の側面部分に沿って伸びる一対の側面部分を有して
いること;を特徴とする太陽電池装置。
9. The solar cell device according to claim 7, wherein the barrier forming layer has a pair of side surface portions extending along a pair of side surface portions facing each other of the semiconductor region. A solar cell device.
【請求項10】 請求項9に記載の太陽電池装置であっ
て;上記障壁形成層の上記側面部分が形成されている上
記半導体領域の一対の側面部は、上記受光面側から上記
裏面側に向かうに従い、互いに相寄るようにテーパ付け
られていること;を特徴とする太陽電池装置。
10. The solar cell device according to claim 9, wherein the pair of side surface portions of the semiconductor region in which the side surface portion of the barrier forming layer is formed extends from the light receiving surface side to the back surface side. A solar cell device, which is tapered so as to approach each other as it goes.
【請求項11】 請求項1,2,3,4,5または6に
記載の太陽電池装置であって;上記各太陽電池素子の上
記光電変換機能部は、半導体領域と、該半導体領域に対
しエネルギ障壁を形成する障壁形成層とから構成され、
上記受光面は該障壁形成層の設けられている側の面であ
ると共に;該障壁形成層はさらに、該半導体領域の少な
くとも一側面部分に沿って伸びる側面部分と、該側面部
分に連続し、該半導体領域の裏面の一部にまで回り込ん
だ裏面部分も有しており;上記第一電極は、該障壁形成
層の上記裏面部分に対して設けられる一方;上記第二電
極は、該裏面側にあって該第一電極と並設の関係で上記
半導体領域に対し設けられていること;を特徴とする太
陽電池装置。
11. The solar cell device according to claim 1, 2, 3, 4, 5 or 6, wherein the photoelectric conversion function part of each solar cell element is a semiconductor region and a semiconductor region with respect to the semiconductor region. And a barrier forming layer that forms an energy barrier,
The light-receiving surface is a surface on the side where the barrier forming layer is provided; the barrier forming layer is further continuous with a side surface portion extending along at least one side surface portion of the semiconductor region, and the side surface portion. The semiconductor region also has a back surface portion that extends to part of the back surface; the first electrode is provided on the back surface portion of the barrier forming layer; and the second electrode is the back surface. Provided on the semiconductor region in a side-by-side relationship with the first electrode.
【請求項12】 請求項11に記載の太陽電池装置であ
って;上記障壁形成層は、該半導体領域の対向する一対
の側面部分に沿って伸びる一対の側面部分と、該各側面
部分に連続し、それぞれ該半導体領域の裏面の一部にま
で回り込んだ裏面部分とを有していること;を特徴とす
る太陽電池装置。
12. The solar cell device according to claim 11, wherein the barrier forming layer is continuous with a pair of side surface portions extending along a pair of opposing side surface portions of the semiconductor region. And a back surface part that extends around a part of the back surface of the semiconductor region, respectively.
【請求項13】 請求項12に記載の太陽電池装置であ
って;上記障壁形成層の上記側面部分が形成されている
上記半導体領域の一対の側面部は、上記受光面側から上
記裏面側に向かうに従い、互いに相寄るようにテーパ付
けられていること;を特徴とする太陽電池装置。
13. The solar cell device according to claim 12, wherein the pair of side surface portions of the semiconductor region in which the side surface portion of the barrier forming layer is formed extends from the light receiving surface side to the back surface side. A solar cell device, which is tapered so as to approach each other as it goes.
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