JPH0631901B2 - Radiation image conversion panel - Google Patents

Radiation image conversion panel

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JPH0631901B2
JPH0631901B2 JP60245811A JP24581185A JPH0631901B2 JP H0631901 B2 JPH0631901 B2 JP H0631901B2 JP 60245811 A JP60245811 A JP 60245811A JP 24581185 A JP24581185 A JP 24581185A JP H0631901 B2 JPH0631901 B2 JP H0631901B2
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stimulable phosphor
phosphor layer
image conversion
radiation image
conversion panel
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亜紀子 加野
中野  邦昭
幸二 網谷
文生 島田
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  • Conversion Of X-Rays Into Visible Images (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルに
関するものであり、さらに詳しくは鮮鋭性の高い放射線
画像を与える放射線画像変換パネルに関するものであ
る。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor, and more particularly to a radiation image conversion panel that gives a radiation image with high sharpness. It is a thing.

(発明の背景) X線画像のような放射線画像は病気診断用などに多く用
いられている。このX線画像を得るために、被写体を透
過したX線を蛍光体層(蛍光スクリーン)に照射し、こ
れにより可視光を生じさせてこの可視光を通常の写真を
とるときと同じように銀塩を使用したフィルムに照射し
て現像した、いわゆる放射線写真が利用されている。し
かし、近年銀塩を塗布したフィルムを使用しないで蛍光
体層から直接画像を取り出す方法が工夫されるようにな
った。
(Background of the Invention) Radiation images such as X-ray images are often used for disease diagnosis. In order to obtain this X-ray image, X-rays that have passed through the subject are irradiated onto the phosphor layer (fluorescent screen), thereby generating visible light, and this visible light is used in the same way as when taking a normal photograph. A so-called radiograph in which a film using salt is irradiated and developed is used. However, in recent years, a method of directly taking out an image from the phosphor layer without using a film coated with silver salt has been devised.

この方法としては被写体を透過した放射線を蛍光体に吸
収せしめ、しかる後この蛍光体を例えば光又は熱エネル
ギーで励起することによりこの蛍光体が上記吸収により
蓄積している放射線エネルギーを蛍光として放射せし
め、この蛍光を検出して画像化する方法がある。具体的
には、例えば米国特許3,859,527号及び特開昭55-12144
号には輝尽性蛍光体を用い可視光線又は赤外線を輝尽励
起光とした放射線画像変換方法が示されている。この方
法は支持体上に輝尽性蛍光体層を形成した放射線画像変
換パネルを使用するもので、この放射線画像変換パネル
の輝尽性蛍光体層に被写体を透過した放射線を当てて被
写体各部の放射線透過度に対応する放射線エネルギーを
蓄積させて潜像を形成し、しかる後にこの輝尽性蛍光体
層を輝尽励起光で走査することによって各部の蓄積され
た放射線エネルギーを放射させてこれを光に変換し、こ
の光の強弱による光信号により画像を得るものである。
この最終的な画像はハードコピーとして再生しても良い
し、CRT上に再生しても良い。
As this method, the radiation that has passed through the subject is absorbed by the phosphor, and then the phosphor is excited by, for example, light or thermal energy so that the radiation energy accumulated by the absorption by the phosphor is emitted as fluorescence. , There is a method of detecting this fluorescence and imaging. Specifically, for example, U.S. Pat. No. 3,859,527 and JP-A-55-12144.
Japanese Patent No. 3187242 discloses a radiation image conversion method using a stimulable phosphor and using visible light or infrared light as stimulated excitation light. This method uses a radiation image conversion panel in which a stimulable phosphor layer is formed on a support, and the radiation that has passed through the subject is applied to the stimulable phosphor layer of this radiation image conversion panel to apply the radiation to each part of the subject. A latent image is formed by accumulating the radiation energy corresponding to the radiation transmittance, and thereafter, the stimulable phosphor layer is scanned with stimulable excitation light to radiate the accumulated radiation energy of each part to generate a latent image. The light is converted into light and an image is obtained by an optical signal depending on the intensity of the light.
This final image may be played back as a hard copy or on a CRT.

この放射線画像変換方法に用いられる輝尽性蛍光体層を
有する放射線画像変換パネルは、前述の蛍光スクリーン
を用いる放射線写真法の場合と同様に放射線吸収率およ
び光変換率(両者を含めて以下「放射線感度」という)
が高いことは言うに及ばず画像の粒状性が良く、しかも
高鮮鋭性であることが要求される。
A radiation image conversion panel having a stimulable phosphor layer used in this radiation image conversion method has a radiation absorption rate and a light conversion rate (including both of them, as in the case of the radiographic method using the above-described fluorescent screen). Radiation sensitivity ")
Needless to say, the image has good graininess and high sharpness.

ところが、一般に輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変
換パネルは粒径1〜30μm程度の粒状の輝尽性蛍光体と
有機結着剤とを含む分散液を支持体あるいは保護層上に
塗布、乾燥して作成されるので、輝尽性蛍光体の充填密
度が低く(充填率50%)、放射線感度を充分高くするに
は輝尽性蛍光体層の層厚を厚くする必要があった(第6
図(a))。
However, in general, a radiation image conversion panel having a stimulable phosphor layer applies a dispersion containing a granular stimulable phosphor having a particle size of about 1 to 30 μm and an organic binder onto a support or a protective layer, Since it is produced by drying, the packing density of the stimulable phosphor is low (filling rate 50%), and it was necessary to increase the layer thickness of the stimulable phosphor layer in order to sufficiently increase the radiation sensitivity ( Sixth
(A)).

一方、これに対し前記放射線画像変換方法における画像
の鮮鋭性は、放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の
層厚が薄いほど高い傾向にあり、鮮鋭性の向上のために
は、輝尽性蛍光体層の薄層化が必要であった(第6図
(b))。
On the other hand, the sharpness of the image in the radiation image conversion method tends to be higher as the layer thickness of the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel is smaller. It was necessary to thin the fluorescent phosphor layer (Fig. 6).
(b)).

また、前記放射線画像変換方法における画像の粒状性
は、放射線量子数の場所的ゆらぎ(量子モトル)あるい
は放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の構造的乱れ
(構造モトル)等によって決定されるので、輝尽性蛍光
体層の層厚が薄くなると、輝尽性蛍光体層に吸収される
放射線量子数が減少して量子モトルが増加したり、構造
的乱れが顕在化して構造モトルが増加したりして画質の
低下を生ずる。よって画像の粒状性を向上させるために
は輝尽性蛍光体層の層厚は厚い必要があった。
Further, the graininess of the image in the radiation image conversion method is determined by the spatial fluctuation of the radiation quantum number (quantum mottle), the structural disorder of the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel (structural mottle), or the like. Therefore, as the layer thickness of the stimulable phosphor layer becomes thinner, the number of radiation quantum absorbed in the stimulable phosphor layer decreases and the quantum mottle increases, or structural disorder becomes apparent and the structure mottle increases. As a result, the image quality is degraded. Therefore, in order to improve the graininess of the image, the stimulable phosphor layer needs to be thick.

即ち、前述のように、従来の放射線画像変換パネルは放
射線に対する感度および画像の粒状性と、画像の鮮鋭性
とが輝尽性蛍光体層の層厚に対してまったく逆の傾向を
示すので、前記放射線画像変換パネルは放射線に対する
感度と粒状性と鮮鋭性間のある程度の相互犠牲によって
作成されてきた。
That is, as described above, in the conventional radiation image conversion panel, the sensitivity to radiation and the graininess of the image, and the sharpness of the image show the opposite tendency to the layer thickness of the stimulable phosphor layer. The radiation image conversion panels have been made at the trade-off between radiation sensitivity and some degree of graininess and sharpness.

ところで従来の放射線写真法における画像の鮮鋭性が蛍
光スクリーン中の蛍光体の瞬間発光(放射線照射時の発
光)の広がりによって決定されるのは周知の通りである
が、これに対し前述の輝尽性蛍光体を利用した放射線画
像変換方法における画像の鮮鋭性は放射線画像変換パネ
ル中の輝尽性蛍光体の輝尽発光の広がりによって決定さ
れるのではなく、すなわち放射線写真法におけるように
蛍光体の発光の広がりによって決定されるのではなく、
輝尽励起光の該パネル内での広がりに依存して決まる。
なぜならばこの放射線画像変換方法においては、放射線
画像変換パネルに蓄積された放射線画像情報は時系列化
されて取り出されるので、ある時間(ti)に照射された
輝尽励起光による輝尽発光は望ましくは全て採光されそ
の時間に輝尽励起光が照射された該パネル上のある画素
(xi,yi)からの出力として記録されるが、もし輝尽励起
光が該パネル内で散乱等により広がり、照射画素(xi,y
i)の外側に存在する輝尽性蛍光体をも励起してしまう
と、上記(xi,yi)なる画素からの出力としてその画素よ
りも広い領域からの出力が記録されてしまうからであ
る。従って、ある時間(ti)に照射された輝尽励起光によ
る輝尽発光が、その時間(ti)に輝尽励起光が真に照射さ
れていた該パネル上の画素(xi,yi)からの発光のみであ
れば、その発光がいかなる広がりを持つものであろうと
得られる画像の鮮鋭性には影響がないのである。
By the way, it is well known that the sharpness of an image in the conventional radiographic method is determined by the spread of the instantaneous light emission (light emission at the time of radiation irradiation) of the phosphor in the fluorescent screen. The sharpness of the image in the radiation image conversion method using a fluorescent substance is not determined by the spread of the stimulated emission of the stimulable phosphor in the radiation image conversion panel, that is, as in radiography, Rather than being determined by the spread of
It is determined depending on the spread of stimulated excitation light in the panel.
In this radiation image conversion method, since the radiation image information accumulated in the radiation image conversion panel is taken out in time series, it is desirable that the stimulated emission due to the stimulated excitation light irradiated at a certain time (ti). Is a pixel on the panel that is fully illuminated and is irradiated with stimulated excitation light at that time.
It is recorded as the output from (xi, yi), but if the stimulated excitation light spreads in the panel due to scattering, etc., the irradiation pixel (xi, yi
This is because if the stimulable phosphor existing outside i) is also excited, the output from a region wider than the pixel (xi, yi) is recorded as the output from the pixel (xi, yi). Therefore, stimulated emission by the stimulated excitation light irradiated at a certain time (ti), from the pixel (xi, yi) on the panel that was actually irradiated with the stimulated excitation light at that time (ti) If only the luminescence is emitted, the sharpness of the obtained image will not be affected regardless of the extent of the luminescence.

このような状況の中で、放射線画像の鮮鋭性を改善する
方法がいくつか考案されて来た。例えば特開昭55-14644
7号記載の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層中に
白色粉体を混入する方法、特開昭55-163500号記載の放
射線画像変換パネルを輝尽性蛍光体の輝尽励起波長領域
における平均反射率が前記輝尽性蛍光体の輝尽発光波長
領域における平均反射率よりも小さくなるように着色す
る方法等である。しかし、これらの方法は鮮鋭性を改良
すると必然的に感度が著しく低下してしまい、好ましい
方法とは言えない。
Under these circumstances, some methods have been devised to improve the sharpness of radiographic images. For example, JP-A-55-14644
No. 7, a method of mixing a white powder in the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel, the radiation image conversion panel described in JP-A-55-163500, the stimulable excitation wavelength region of the stimulable phosphor And the like so that the average reflectance in the above is smaller than the average reflectance in the stimulated emission wavelength region of the stimulable phosphor. However, these methods are not preferable methods because the sensitivity inevitably decreases remarkably when the sharpness is improved.

一方これに対し特開昭59−60300号には輝尽性蛍
光体材料のみからなる透明膜でできた放射線画像変換パ
ネルを使用する放射線画像読取装置が開示されている。
該装置に用いられる放射線画像変換パネルは輝尽性蛍光
体を結着剤中に分散した前記輝尽性蛍光体層と異なり輝
尽性蛍光体層が輝尽性蛍光体材料のみから成るため該蛍
光体層が透明膜となり、輝尽励起光の散乱が減少して画
像の鮮鋭性が向上すると言うものである。しかし、前記
パネルは輝尽性蛍光体層が透明であるため該蛍光体層に
入射した輝尽励起光は第7図に示されるように輝尽性蛍
光体層71と支持体との界面あるいは輝尽性蛍光体層71と
保護層との界面等、前記パネル構成層の界面で反射を繰
り返しながら拡散し、ハレーションを起すので、画像の
鮮鋭性の改善はあまり期待できなかった。
On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. 59-60300 discloses a radiographic image reading apparatus using a radiographic image conversion panel made of a transparent film composed only of a stimulable phosphor material.
The radiation image conversion panel used in the apparatus is different from the stimulable phosphor layer in which a stimulable phosphor is dispersed in a binder, and the stimulable phosphor layer is composed of only a stimulable phosphor material. It is said that the phosphor layer becomes a transparent film, scattering of stimulated excitation light is reduced, and image sharpness is improved. However, since the stimulable phosphor layer of the panel is transparent, the stimulable excitation light incident on the phosphor layer is, as shown in FIG. 7, an interface between the stimulable phosphor layer 71 and the support or Since it repeatedly diffuses at the interface of the panel constituent layers such as the interface between the photostimulable phosphor layer 71 and the protective layer to cause halation, improvement in image sharpness could not be expected so much.

(発明の目的) 本発明は輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルに
おける前述のような欠点及び特性間の相反性に鑑みてな
されたものであり、本発明の目的は放射線に対する感度
が向上すると共に鮮鋭性の高い画像を与える放射線画像
変換パネルを提供することにある。
(Object of the invention) The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks and reciprocity between characteristics in a radiation image conversion panel using a stimulable phosphor, and the object of the present invention is to have a sensitivity to radiation. An object of the present invention is to provide a radiation image conversion panel that improves and provides an image with high sharpness.

本発明の他の目的は、粒状性が向上すると共に、鮮鋭性
の高い画像を与える放射線画像変換パネルを提供するこ
とにある。
It is another object of the present invention to provide a radiation image conversion panel which improves the graininess and gives an image with high sharpness.

(発明の構成) 本発明者らは、輝尽性蛍光体層の気相堆積法による形成
について鋭意研究を重ねた結果、輝尽性蛍光体を微細結
晶化して前記輝尽性蛍光体層を不透明とすることによっ
て、従来の透明な輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変
換パネルと比較して高鮮鋭性を示すことを見い出し本発
明を完成するに至った。
(Structure of the Invention) As a result of intensive studies on the formation of a stimulable phosphor layer by a vapor deposition method, the present inventors have conducted fine crystallization of the stimulable phosphor layer to form the stimulable phosphor layer. The present invention has been completed by finding that the opaque film exhibits high sharpness as compared with a conventional radiation image conversion panel having a transparent photostimulable phosphor layer.

すなわち、前記本発明の目的は支持体上に少くとも一層
の輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パネルに於
て、前記輝尽性蛍光体層が輝尽性蛍光体を気相堆積した
層であり、且つ該層は輝尽励起光に対し不透明であるこ
とを特徴とする放射線画像変換パネルによって達成され
る。
That is, the object of the present invention is a radiation image conversion panel having at least one stimulable phosphor layer on a support, wherein the stimulable phosphor layer is a vapor-deposited stimulable phosphor. And a layer which is opaque to stimulated excitation light.

本発明に於て、輝尽励起光に対して不透明とは輝尽励起
光波長領域の光に対する輝尽性蛍光体層の平行光透過率
が60%以下の場合を言い、好ましくは前記平行光透過率
が45%以下の場合を言い、更に好ましくは前記平行光透
過率が30%以下の場合を言う。
In the present invention, opaque to stimulated excitation light refers to the case where the parallel light transmittance of the stimulable phosphor layer for light in the stimulated excitation light wavelength region is 60% or less, preferably the parallel light It means the case where the transmittance is 45% or less, more preferably the case where the parallel light transmittance is 30% or less.

なお、本発明で言う平行光透過率とは、拡散性の強い物
質の透過率を表わす場合に用いるものであり、次式で表
現される。
The parallel light transmittance referred to in the present invention is used to represent the transmittance of a substance having strong diffusivity, and is expressed by the following equation.

(ここで、Tはパーセントで表わした平行光透過率、Io
は試料に入射した平行照射光強度、Iは試料を透過した
光のうち前記照射光に対して平行な成分の透過光強度で
ある。) また、前記平行光透過率は第5図に概要示される装置に
よって測定される。
(Where T is the parallel light transmittance in percent, Io
Is the parallel irradiation light intensity incident on the sample, and I is the transmitted light intensity of the component parallel to the irradiation light of the light transmitted through the sample. ) Also, the parallel light transmittance is measured by the apparatus outlined in FIG.

同図に於て、51はハロゲンランプ、52はコンデンサレン
ズ、53はアパーチャー、54はプリズム、58は照射レンズ
であり、51から58によって照射光学系を形成する。ま
た、60は集光レンス、63はプリズム、65はアパーチャ
ー、66はミラー、67はバンドパスフィルタ、68は光電子
増倍管であり、これらによって測光光学系を形成する。
また、55はビームスプリッタ、56はレンズ、57はシャッ
タ、69はミラーであり、これらによって試料59の照明光
学系を形成する。更に61はビームスプリッタ、62はファ
インダースクリーンであり、これらによってファインダ
ーを形成する。
In the figure, 51 is a halogen lamp, 52 is a condenser lens, 53 is an aperture, 54 is a prism, and 58 is an irradiation lens, and 51 to 58 form an irradiation optical system. Further, 60 is a condenser lens, 63 is a prism, 65 is an aperture, 66 is a mirror, 67 is a bandpass filter, and 68 is a photomultiplier tube, which form a photometric optical system.
Further, 55 is a beam splitter, 56 is a lens, 57 is a shutter, and 69 is a mirror, and these form an illumination optical system of the sample 59. Further, 61 is a beam splitter, and 62 is a finder screen, which form a finder.

ハロゲンランプ51からの白色光はコンデンサレンズ52に
よって平行光とされた後、アパーチャー53によって照射
野を制限され、照射レンズにより試料59上に照射され
る。試料59を透過した光は集光レンズ60で集められ、ア
パーチャー65を通過させることにより、前記照射光に対
し平行な成分のみの平行透過光となる。該平行透過光は
次に目的とする波長域の光だけを透過するバンドパスフ
ィルタ67を通った後、光電子増倍管に入射して平行透過
光強度Iが求まる。平行照射光強度Ioは試料59を取りの
ぞくことによって測定できる。前記Io,Iにより平行光
透過率Tが求まる。なおアパーチャー53及び65はアパー
チャー・セッティングダイヤル64により連動して動く
が、アパーチャーのサイズは500μm×500μm程度が好
ましい。
The white light from the halogen lamp 51 is collimated by the condenser lens 52, the irradiation field is limited by the aperture 53, and the sample 59 is irradiated by the irradiation lens. The light transmitted through the sample 59 is collected by the condenser lens 60 and passed through the aperture 65 to become parallel transmitted light having only a component parallel to the irradiation light. The parallel transmitted light then passes through a bandpass filter 67 that transmits only light in the target wavelength range, and then enters the photomultiplier tube to obtain the parallel transmitted light intensity I. The parallel irradiation light intensity Io can be measured by removing the sample 59. The parallel light transmittance T is obtained from Io and I. The apertures 53 and 65 are interlocked with the aperture setting dial 64, but the size of the aperture is preferably about 500 μm × 500 μm.

本発明に於て気相堆積法とは、一般にPhysical Vapor D
eposition(PVD)及びChemical Vapor Deposition
(CVD)と言われる成膜技術であり例えば蒸着法、ス
パッタリング法、イオンプレーティング法等がある。
In the present invention, the vapor deposition method generally means Physical Vapor D
eposition (PVD) and Chemical Vapor Deposition
It is a film forming technique called (CVD) and includes, for example, a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method and the like.

本発明の放射線画像変換パネルの製造方法の実施態様と
しては、前記輝尽性蛍光体層の形成に際して蒸着法もし
くはスパッタリング法を用いることが好ましい。
As an embodiment of the method for producing a radiation image conversion panel of the present invention, it is preferable to use a vapor deposition method or a sputtering method when forming the stimulable phosphor layer.

更に蒸着法、或はスパッタリング法を適用する場合にパ
ネルの支持体、その下引層、或は保護層の結着剤を含有
した層への輝尽性蛍光体の貫入、或は前記いづれかの方
法で形成される輝尽性蛍光体層への下引層、或は保護層
の結着剤の侵入が起るが、輝尽性蛍光体と結着剤の前記
理由による混在層は実用上無視しうる、即ち前記いづれ
かの方法によっては前記混在層は生成しないものとして
以後簡略して記述する。
Further, when a vapor deposition method or a sputtering method is applied, penetration of the stimulable phosphor into the support containing layer of the panel, the subbing layer thereof, or the layer containing the binder of the protective layer, or any one of the above The binder of the undercoat layer or the protective layer penetrates into the stimulable phosphor layer formed by the method, but a mixed layer of the stimulable phosphor and the binder for the above reason is practically used. It will be simply described below as negligible, that is, the mixed layer is not generated by any of the above methods.

以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の放射線画像変換パネルに於て輝尽性蛍光体と
は、最初の光もしくは高エネルギー放射線が照射された
後に、光的、熱的、機械的、化学的または電気的等の刺
激(輝尽励起)により、最初の光もしくは高エネルギー
放射線の照射量に対応した輝尽発光を示す蛍光体を言う
が、実用的な面から好ましくは500nm以上の輝尽励起光
によって輝尽発光を示す蛍光体である。本発明の放射線
画像変換パネルに用いられる輝尽性蛍光体としては、例
えば特開昭48-80487号に記載されているBaSO4:Ax(但
しAはDy,Tb及びTmのうち少なくとも1種であり、xは
0.001≦x<1モル%である。)で表わされる蛍光体、
特開昭48-80488号記載のMgSO4:Ax(但しAはHo或いはD
yのうちいづれかであり、0.001≦x≦1モル%であ
る。)で表わされる蛍光体、特開昭48-80489号に記載さ
れているSrSO4:Ax(但しAはDy,Tb及びTmのうち少なく
とも1種であり、xは0.001≦x<1モル%である。)
で表わされている蛍光体、特開昭51-29889号に記載され
ているNa2SO4,CaSO4及びBaSO4等にMn,Dy及びTbのうち少
なくとも1種を添加した蛍光体、特開昭52-30487号に記
載されているBeO,LiF,MgSO4及びCaF2等の蛍光体、特開
昭53-39277号に記載されているLi2B4O7:Cu,Ag等の蛍光
体、特開昭54-47883号に記載されているLi2O・(B2O2)x:
Cu(但しxは2<x≦3)、及びLi2O・(B2O2)x:Cu,Ag
(但しxは2<x≦3)等の蛍光体、米国特許3,859,52
7号に記載されているSrS:Ce,Sm、SrS:Eu,Sm、La2O2S:E
u,Sm及び(Zn,Cd)S:Mn,X(但しXはハロゲン)で
表わされる蛍光体が挙げられる。また、特開昭55-12142
号に記載されているZnS:Cu,Pb蛍光体、一般式がBaO・xA
l2O3,Eu(但し0.8≦x≦10)で表わされるアルミン酸バ
リウム蛍光体、及び一般式がMIIO・xSiO2:A(但しMII
はMg,Ca,Sr,Zn,Cd又はBaでありAはCe,Tb,Eu,Tm,Pb,Tl,
Bi及びMnのうち少なくとも1種であり、xは0.5≦x<
2.5である。)で表わされるアルカリ土類金属珪酸塩系
蛍光体が挙げられる。また、一般式が (Ba1-x-yMgxCay)FX:eEu2+ (但しXはBr及びClの中の少なくとも1つであり、x,
y及びeはそれぞれ0<x+y≦0.6、xy≠0及び10-6
e≦5×10-2なる条件を満たす数である。)で表わされ
るアルカリ土類弗化ハロゲン化物蛍光体、特開昭55-121
44号に記載されている一般式が LnOX:xA (但しLnはLa,Y,Gd及びLuの少なくとも1つを、XはCl
及び/又はBrを、AはCe及び/又はTbを、xは0<x<
0.1を満足する数を表わす。)で表わされる蛍光体、特
開昭55-12145号に記載されている一般式が (Ba1-xMII x)FX:yA (但しMIIは、Mg,Ca,Sr,Zn及びCdのうちの少なくとも1
つを、XはCl,Br及びIのうちの少なくとも1つを、A
はEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb及びErのうちの少なくと
も1つを、x及びyは0≦x≦0.6及び0≦y≦0.2なる
条件を満たす数を表わす。)で表わされる蛍光体、特開
昭55-84389号に記載されている一般式がBaFX:xCe,yA
(但し、XはCl,Br及びIのうちの少なくとも1つ、A
はIn,Tl,Gd,Sm及びZrのうち少なくとも1つであり、x
及びyはそれぞれ0<x≦2×10-1及び0<y≦5×10
-2である。)で表わされる蛍光体、特開昭55-160078記
号に記載されている一般式が MIIFX・xA:yLn (但しMIIはMg,Ca,Ba,Sr,Zn及びCdのうちの少なくとも
1種、AはBeO,MgO,CaO,SrO,BaO,ZnO,Al2O3,Y2O3,La
2O3,In2O3,SiO2,TiO2,ZrO2,GeO2,SnO2,Nb2O5,Ta2O5及び
ThO2のうちの少なくとも1種、LnはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,
Ho,Nd,Yb,Er,Sm及びGdのうちの少なくとも1種であり、
XはCl,Br及びIのうちの少なくとも1種であり、x及
びyはそれぞれ5×10-5≦x≦0.5及び0<y≦0.2なる
条件を満たす数である。)で表わされる希土類元素付活
2価金属フルオロハライド蛍光体、一般式がZnS:A、C
dS:A、(Zn,Cd)S:A、ZnS:A、X及びCdS:A,X
(但しAはCu,Ag,Au又はMnであり、Xはハロゲンであ
る。)で表わされる蛍光体、特開昭57-148285号に記載
されている下記いずれかの一般式 xM3(PO4)2・NX2:yA M3(PO4)2・yA (式中、M及びNはそれぞれMg,Ca,Sr,Ba,Zn及びCdのう
ち少なくとも1種、XはF,Cl,Br及びIのうち少なく
とも1種、AはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,Er,Sb,Tl,
Mn及びSnのうち少なくとも1種を表わす。また、x及び
yは0<x≦6、0≦y≦1なる条件を満たす数であ
る。)で表わされる蛍光体、下記いずれかの一般式 nReX3・mAX′2:xEu nReX3・mAX′2:xEu,ySm (式中、ReはLa,Gd,Y,Luのうち少なくとも1種、Aはア
ルカリ土類金属、Ba,Sr,Caのうち少なくとも1種、X及
びX′はF、Cl,Brのうち少なくとも1種を表わす。ま
た、x及びyは、1×10-4<x<3×10-1、1×10-4
y<1×10-1なる条件を満たす数であり、n/mは1×10
-3<n/m<7×10-1なる条件を満たす。)で表わされ
る蛍光体、及び下記一般式 MIX・aMIIX′2・bMIIIX″3:cA (但し、MIはLi,Na,K,Rb及びCsから選ばれる少なくと
も1種のアルカリ金属であり、MIIはBe,Mg,Ca,Sr,Ba,Z
n,Cd,Cu及びNiから選ばれる少なくとも1種の二価金属
である。MIIIはSc,Y,La,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,Tb,D
y,Ho,Er,Tm,Yb,Lu,Al,Ga及びInから選ばれる少なくとも
1種の三価金属である。X,X′及びX″はF,Cl,Br
及びIから選ばれる少なくとも1種のハロゲンである。
AはEu,Tb,Ce,Tm,Dy,Pr,Ho,Nd,Yb,Er,Gd,Lu,Sm,Y,T
l,Na,Ag,Cu及びMgから選ばれる少なくとも1種の金属で
ある。
In the radiation image conversion panel of the present invention, the stimulable phosphor means a stimulus (luminance) such as optical, thermal, mechanical, chemical or electrical after the first irradiation of light or high energy radiation. Excitation excitation) refers to a phosphor that exhibits stimulated emission corresponding to the dose of the first light or high-energy radiation, but from a practical point of view, preferably fluorescence that exhibits stimulated emission by stimulated excitation light of 500 nm or more. It is the body. Examples of the stimulable phosphor used in the radiation image conversion panel of the present invention include BaSO 4 : Ax (where A is at least one of Dy, Tb and Tm) described in JP-A-48-80487. Yes, x is
0.001 ≦ x <1 mol%. ) Phosphor represented by
MgSO 4 : Ax described in JP-A-48-80488 (where A is Ho or D
Either of y and 0.001 ≦ x ≦ 1 mol%. ), SrSO 4 : Ax described in JP-A-48-80489 (wherein A is at least one of Dy, Tb and Tm, and x is 0.001 ≦ x <1 mol% is there.)
, A phosphor obtained by adding at least one of Mn, Dy and Tb to Na 2 SO 4 , CaSO 4 and BaSO 4 described in JP-A-51-29889, Phosphors such as BeO, LiF, MgSO 4 and CaF 2 described in JP-A-52-30487, Li 2 B 4 O 7 : Cu, Ag fluorescence described in JP-A-53-39277 Body, Li 2 O. (B 2 O 2 ) x described in JP-A-54-47883:
Cu (however, x is 2 <x ≦ 3), and Li 2 O · (B 2 O 2 ) x: Cu, Ag
(Where x is 2 <x ≦ 3) or the like, US Pat. No. 3,859,52
SrS: Ce, Sm, SrS: Eu, Sm, La 2 O 2 S: E described in No. 7
Examples include phosphors represented by u, Sm and (Zn, Cd) S: Mn, X (where X is a halogen). In addition, JP-A-55-12142
ZnS: Cu, Pb phosphor described in No. 6, general formula BaO.xA
l 2 O 3 , Eu (provided that 0.8 ≦ x ≦ 10), and a barium aluminate phosphor represented by the general formula M II O.xSiO 2 : A (provided that M II
Is Mg, Ca, Sr, Zn, Cd or Ba, and A is Ce, Tb, Eu, Tm, Pb, Tl,
At least one of Bi and Mn, and x is 0.5 ≦ x <
2.5. ) Alkaline earth metal silicate-based phosphors represented by Also, the general formula is (Ba 1-xy Mg x Ca y ) FX: eEu 2+ (where X is at least one of Br and Cl, and x,
y and e are 0 <x + y ≦ 0.6, xy ≠ 0 and 10 −6 ≦, respectively
It is a number that satisfies the condition of e ≦ 5 × 10 -2 . ) Alkaline earth fluorohalide phosphor represented by JP-A-55-121
The general formula described in No. 44 is LnOX: xA (where Ln is at least one of La, Y, Gd and Lu, and X is Cl.
And / or Br, A is Ce and / or Tb, and x is 0 <x <
Represents a number that satisfies 0.1. ), The general formula described in JP-A-55-12145 is (Ba 1-x M II x ) FX: yA (where M II is Mg, Ca, Sr, Zn or Cd). At least one of
X is at least one of Cl, Br and I, A
Is at least one of Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb and Er, and x and y are numbers satisfying the conditions 0 ≦ x ≦ 0.6 and 0 ≦ y ≦ 0.2 . ), The general formula described in JP-A-55-84389 has the formula BaFX: xCe, yA
(However, X is at least one of Cl, Br and I, A
Is at least one of In, Tl, Gd, Sm and Zr, and x
And y are 0 <x ≦ 2 × 10 −1 and 0 <y ≦ 5 × 10, respectively.
-2 . ), A phosphor represented by the formula: M II FX xA: yLn (where M II is at least one of Mg, Ca, Ba, Sr, Zn and Cd). Species, A is BeO, MgO, CaO, SrO, BaO, ZnO, Al 2 O 3 , Y 2 O 3 , La
2 O 3 , In 2 O 3 , SiO 2 , TiO 2 , ZrO 2 , GeO 2 , SnO 2 , Nb 2 O 5 , Ta 2 O 5 and
At least one of ThO 2 and Ln is Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr,
At least one of Ho, Nd, Yb, Er, Sm and Gd,
X is at least one of Cl, Br and I, and x and y are numbers satisfying the conditions of 5 × 10 −5 ≦ x ≦ 0.5 and 0 <y ≦ 0.2, respectively. ) A rare earth element-activated divalent metal fluorohalide phosphor having a general formula of ZnS: A, C
dS: A, (Zn, Cd) S: A, ZnS: A, X and CdS: A, X
(Wherein A is Cu, Ag, Au or Mn and X is a halogen), and one of the following general formula xM 3 (PO 4 ) described in JP-A-57-148285. ) 2・ NX 2 : yA M 3 (PO 4 ) 2・ yA (In the formula, M and N are at least one of Mg, Ca, Sr, Ba, Zn and Cd, and X is F, Cl, Br and At least one of I, A is Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Sb, Tl,
Represents at least one of Mn and Sn. Further, x and y are numbers satisfying the conditions of 0 <x ≦ 6 and 0 ≦ y ≦ 1. ), A phosphor represented by any of the following general formulas nReX 3 · mAX ′ 2 : xEu nReX 3 · mAX ′ 2 : xEu, ySm (wherein Re is at least one of La, Gd, Y and Lu, A represents an alkaline earth metal, at least one of Ba, Sr and Ca, X and X'represent at least one of F, Cl and Br, and x and y are 1 × 10 −4 <x. <3 × 10 -1 , 1 × 10 -4 <
It is a number satisfying the condition of y <1 × 10 -1 , and n / m is 1 × 10.
The condition of -3 <n / m <7 × 10 -1 is satisfied. Phosphor represented by), and the following general formula M I X · aM II X ' 2 · bM III X "3: cA ( where, M I is Li, Na, K, at least one selected from Rb and Cs Alkali metal, M II is Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Z
It is at least one divalent metal selected from n, Cd, Cu and Ni. M III is Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, D
It is at least one trivalent metal selected from y, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Al, Ga and In. X, X'and X "are F, Cl, Br
And at least one halogen selected from I.
A is Eu, Tb, Ce, Tm, Dy, Pr, Ho, Nd, Yb, Er, Gd, Lu, Sm, Y, T
It is at least one metal selected from l, Na, Ag, Cu and Mg.

またaは、0≦a<0.5の範囲の数値であり、bは0≦
b<05の範囲の数値であり、cは0<c≦02の範囲
の数値である。)で表わされるアルカリハライド蛍光体
等が挙げられる。特にアルカリハライド蛍光体は、蒸
着、スパッタリング等の方法で輝尽性蛍光体層を形成さ
せやすく好ましい。
Also, a is a numerical value in the range of 0 ≦ a <0.5, and b is 0 ≦ a <0.5.
The value is in the range of b <05, and the value of c is in the range of 0 <c ≦ 02. ) Alkali halide phosphors represented by). In particular, an alkali halide phosphor is preferable because it facilitates formation of a stimulable phosphor layer by a method such as vapor deposition and sputtering.

しかし、本発明の放射線画像変換パネルに用いられる輝
尽性蛍光体は、前述の蛍光体に限られるものではなく、
放射線を照射した後輝尽励起光を照射した場合に輝尽発
光を示す蛍光体であればいかなる蛍光体であってもよ
い。
However, the stimulable phosphor used in the radiation image conversion panel of the present invention is not limited to the above-mentioned phosphor,
Any phosphor may be used as long as it exhibits stimulated emission when it is irradiated with radiation and then stimulated by excitation light.

前記輝尽性蛍光体は支持体上に微細結晶化して気相堆積
されることによって、或は付加手段によって輝尽励起光
に対して不透明な輝尽性蛍光体層とされ、本発明の放射
線画像変換パネルが作成される。
The stimulable phosphor layer is made into a stimulable phosphor layer which is opaque to the stimulable excitation light by finely crystallizing it on a support and vapor-depositing it, or by an addition means. An image conversion panel is created.

本発明の放射線像変換パネルの輝尽性蛍光体層が前記微
細結晶を有する場合、第1図(a)の電子顕微鏡写真に示
すように微細な柱状結晶が前記輝尽性蛍光体の層厚方向
に発達する構造を有していることが好ましい。
When the stimulable phosphor layer of the radiation image storage panel of the present invention has the fine crystals, fine columnar crystals have a layer thickness of the stimulable phosphor as shown in the electron micrograph of FIG. 1 (a). It is preferable to have a structure that develops in the direction.

この場合、同図(b)に概要を示すように1つ1つの微細
柱状結晶a1,a2,a3,……の光誘導効果により、前記結晶
界面で輝尽励起光11あるいは輝尽発光12は全反射を繰返
しながら層厚方向に進行する。その結果、前記放射線画
像変換パネルに入射した輝尽励起光11は輝尽性蛍光体層
13中でハレーションを起して拡散することなく該蛍光体
層13の深部まで到達し、輝尽性蛍光体を励起するので前
記放射線画像変換パネルの放射線に対する感度及び粒状
性が向上すると同時に画像の鮮鋭性も向上する。また前
記放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層13の深部で発
生した輝尽発光12も散乱して拡散することなく、該蛍光
体層13の表面に到達するので、放射線に対する感度及び
粒状性が向上する。
In this case, as shown in the schematic diagram (b), the photostimulation effect of each of the fine columnar crystals a 1 , a 2 , a 3 , ... Light emission 12 proceeds in the layer thickness direction while repeating total reflection. As a result, the stimulable excitation light 11 incident on the radiation image conversion panel is the stimulable phosphor layer.
It reaches the deep part of the phosphor layer 13 without causing diffusion by halation in 13 and excites the stimulable phosphor, so that the sensitivity and the graininess to the radiation of the radiation image conversion panel are improved and at the same time the image Sharpness is also improved. Further, since the stimulated emission 12 generated in the deep portion of the stimulable phosphor layer 13 of the radiation image conversion panel also reaches the surface of the phosphor layer 13 without being scattered and diffused, sensitivity to radiation and granularity Is improved.

本発明の輝尽性蛍光体層が前記構造を有する場合、輝尽
性蛍光体の柱状結晶の光誘導効果により、前記輝尽性蛍
光体層は微視的には輝尽励起光に対する透明性が高くな
るが、巨視的には微細な柱状結晶の集合体であるので前
記微細柱状結晶粒子表面での輝尽励起光の乱反射により
不透明となる。
When the stimulable phosphor layer of the present invention has the structure, the stimulable phosphor layer is microscopically transparent to stimulable excitation light due to the light-inducing effect of columnar crystals of the stimulable phosphor. However, since it is an aggregate of fine columnar crystals macroscopically, it becomes opaque due to diffuse reflection of stimulated excitation light on the surface of the fine columnar crystal grains.

ただし、本発明の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体
層は不透明であれば良く、微細柱状結晶構造を有する必
要はかならずしもない。
However, the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel of the present invention has only to be opaque and does not necessarily have to have a fine columnar crystal structure.

本発明の放射線画像変換パネルは前記の輝尽性蛍光体の
少なくとも一種類を含む一つ若しくは二つ以上の輝尽性
蛍光体層から成る輝尽性蛍光体層群であってもよい。ま
た、それぞれの輝尽性蛍光体層に含まれる輝尽性蛍光体
は同一であってもよいが異っていてもよい。
The radiation image conversion panel of the present invention may be a stimulable phosphor layer group composed of one or more stimulable phosphor layers containing at least one kind of the stimulable phosphor described above. The stimulable phosphor contained in each stimulable phosphor layer may be the same or different.

次に、前記輝尽性蛍光体層が輝尽励起光に対して不透明
である本発明の放射線画像変換パネルの製造方法につい
て説明する。
Next, a method for manufacturing the radiation image conversion panel of the present invention, in which the stimulable phosphor layer is opaque to stimulable excitation light, will be described.

第1の方法として蒸着法がある。該方法に於ては、まず
支持体を蒸着装置内に設置した後装置内を排気して10-6
Torr程度の真空度とする。次いで、前記輝尽性蛍光体の
少なくとも一つを抵抗加熱法、エレクトロンビーム法等
の方法で加熱蒸発させて前記支持体表面に輝尽性蛍光体
を所望の厚さに堆積させる。
The first method is a vapor deposition method. In this method, first, the support is placed in the vapor deposition apparatus and then the apparatus is evacuated to 10 -6.
The degree of vacuum is about Torr. Then, at least one of the stimulable phosphors is heated and evaporated by a method such as a resistance heating method or an electron beam method to deposit the stimulable phosphor on the surface of the support to a desired thickness.

この結果、輝尽励起光に対して不透明な輝尽性蛍光体層
が形成されるが、前記蒸着工程では複数回に分けて輝尽
性蛍光体層を形成することも可能である。また、前記蒸
着工程では複数の抵抗加熱器あるいはエレクトロンビー
ムを用いて共蒸着を行うことも可能である。
As a result, a stimulable phosphor layer that is opaque to the stimulable excitation light is formed, but it is also possible to form the stimulable phosphor layer in a plurality of times in the vapor deposition step. Further, in the vapor deposition step, co-evaporation can be performed using a plurality of resistance heaters or electron beams.

蒸着終了後、必要に応じて前記輝尽性蛍光体層の支持体
側とは反対の側に保護層を設けることにより本発明の放
射線画像変換パネルが製造される。なお、保護層上に輝
尽性蛍光体層を形成した後、支持体を設ける手順をとっ
てもよい。
After completion of vapor deposition, a radiation image conversion panel of the present invention is manufactured by providing a protective layer on the side of the stimulable phosphor layer opposite to the support side, if necessary. In addition, after forming the stimulable phosphor layer on the protective layer, a procedure of providing a support may be adopted.

また、前記蒸着法に於ては、輝尽性蛍光体原料を複数の
抵抗加熱器あるいはエレクトロンビームを用いて共蒸着
し、支持体上で目的とする輝尽性蛍光体を合成すると同
時に輝尽性蛍光体層を形成することも可能である。
In the vapor deposition method, the stimulable phosphor material is co-evaporated by using a plurality of resistance heaters or electron beams to synthesize the target stimulable phosphor on the support and at the same time stimulate the stimulable phosphor. It is also possible to form a fluorescent layer.

さらに前記蒸着法に於ては、蒸着時、必要に応じて被蒸
着物(支持体あるいは保護層)を冷却あるいは加熱して
もよい。また、蒸着終了後輝尽性蛍光体層を加熱処理し
てもよい。また、前記蒸着法に於ては、必要に応じてO
2,H2等のガスを導入して反応性蒸着を行なってもよ
い。
Further, in the vapor deposition method, the object to be vapor-deposited (support or protective layer) may be cooled or heated during vapor deposition, if necessary. In addition, the stimulable phosphor layer may be heat-treated after completion of vapor deposition. In the vapor deposition method, if necessary, O
Reactive vapor deposition may be performed by introducing a gas such as 2 , H 2 or the like.

第2の方法としてスパッタリング法がある。該方法にお
いては、蒸着法と同様に支持体をスパッタリング装置内
に設置した後装置内を一旦排気して10-6Torr程度の真空
度とし、次いでスパッタリング用のガスとしてAr,Ne等
の不活性ガスをスパッタリング装置内に導入して10-3To
rr程度のガス圧とする。
The second method is a sputtering method. In the method, as in the vapor deposition method, after the support is placed in the sputtering apparatus, the apparatus is once evacuated to a vacuum degree of about 10 -6 Torr, and then an inert gas such as Ar or Ne is used as a gas for sputtering. Introduce gas into the sputtering system to reach 10 -3 To
The gas pressure should be about rr.

次に、前記輝尽性蛍光体をターゲットとして、スパッタ
リングすることにより、前記支持体表面に輝尽性蛍光体
層を所望の厚さに堆積させる。
Next, by using the stimulable phosphor as a target, sputtering is performed to deposit a stimulable phosphor layer on the surface of the support to a desired thickness.

前記スパッタリング工程では蒸着法と同様に複数回に分
けて輝尽性蛍光体層を形成することも可能であるし、ま
た、それぞれ異った輝尽性蛍光体からなる複数のターゲ
ットを用いて、同時あるいは順次、前記ターゲットをス
パッタリングして輝尽性蛍光体層を形成することも可能
である。
In the sputtering step, it is possible to form the stimulable phosphor layer by dividing it into a plurality of times in the same manner as the vapor deposition method, and by using a plurality of targets each made of different stimulable phosphors, It is also possible to simultaneously or sequentially sputter the target to form a stimulable phosphor layer.

スパッタリング終了後、蒸着法と同様に必要に応じて前
記輝尽性蛍光体層の支持体側とは反対の側に保護層を設
けることにより本発明の放射線画像変換パネルが製造さ
れる。なお、保護層上に輝尽性蛍光体層を形成した後、
支持体を設ける手順をとってもよい。
After the completion of sputtering, the radiation image conversion panel of the present invention is manufactured by providing a protective layer on the side of the stimulable phosphor layer opposite to the support side, if necessary, as in the vapor deposition method. After forming the stimulable phosphor layer on the protective layer,
You may take the procedure of providing a support body.

前記スパッタリング法に於ては、複数の輝尽性蛍光体原
料をターゲットとして用い、それを同時あるいは順次ス
パッタリングして、支持体上で目的とする輝尽性蛍光体
を合成すると同時に輝尽性蛍光体層を形成することも可
能である。また、前記スパッタリング法に於ては、必要
に応じてO2,H2等のガスを導入して反応性スパッタリ
ングを行ってもよい。
In the sputtering method, a plurality of stimulable phosphor raw materials are used as targets, and they are simultaneously or sequentially sputtered to synthesize a target stimulable phosphor on a support and at the same time stimulable phosphor. It is also possible to form a body layer. Further, in the above-mentioned sputtering method, if necessary, a gas such as O 2 or H 2 may be introduced to carry out reactive sputtering.

さらに前記スパッタリング法に於ては、スパッタリング
時必要に応じて被蒸着物(支持体あるいは保護層)を冷
却あるいは加熱してもよい。またスパッタリング終了後
輝尽性蛍光体層を加熱処理してもよい。
Furthermore, in the above-mentioned sputtering method, the material to be vapor-deposited (support or protective layer) may be cooled or heated during sputtering, if necessary. Further, the stimulable phosphor layer may be heat-treated after the completion of sputtering.

第3の方法としてCVD法がある。また、第4の方法と
してイオンプレーティング法がある。
The third method is the CVD method. A fourth method is an ion plating method.

前記本発明の製造方法に於て、輝尽性蛍光体層の堆積速
度は0.2μm/分〜300μm/分であることが好ましい。
堆積速度が0.2μm/分未満の場合には輝尽性蛍光体層
が透明となり易いばかりか本発明の放射線画像変換パネ
ルの生産性が低く好ましくない。
In the manufacturing method of the present invention, the deposition rate of the stimulable phosphor layer is preferably 0.2 μm / min to 300 μm / min.
When the deposition rate is less than 0.2 μm / min, not only the stimulable phosphor layer tends to be transparent, but also the productivity of the radiation image conversion panel of the present invention is low, which is not preferable.

また、堆積速度が300μm/分を越える場合に堆積速度
のコントロールが難しく好ましくない。
Further, when the deposition rate exceeds 300 μm / min, it is difficult to control the deposition rate, which is not preferable.

本発明の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の層厚
は目的とする放射線画像変換パネルの放射線に対する感
度、輝尽性蛍光体の種類等によって異なるが、30μm〜
1000μmの範囲から選ばれるのが好ましく、50μm〜80
0μmの範囲から選ばれるのがより好ましい。輝尽性蛍
光体層の層厚を30μm未満にした場合には放射線吸収率
が極端に低下して放射線感度が悪くなり、画像の粒状性
が劣化するばかりか、輝尽性蛍光体が透明となり易く、
輝尽励起光の輝尽性蛍光体層中での横方向への広がりが
著しく増大し、画像の鮮鋭性が劣化する傾向にあるので
好ましくない。
The layer thickness of the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel of the present invention varies depending on the sensitivity of the intended radiation image conversion panel to radiation, the type of stimulable phosphor, and the like, but is 30 μm to
It is preferably selected from the range of 1000 μm, 50 μm to 80
More preferably, it is selected from the range of 0 μm. When the thickness of the stimulable phosphor layer is less than 30 μm, the radiation absorptivity is extremely reduced, the radiation sensitivity is deteriorated, the graininess of the image is deteriorated, and the stimulable phosphor becomes transparent. Easy,
This is not preferable because the lateral spread of the stimulable excitation light in the stimulable phosphor layer remarkably increases and the sharpness of the image tends to deteriorate.

本発明の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層が微細
柱状結晶を有する場合には、該微細柱状結晶の大きさ
は、柱の直径が1μm〜300μm、好ましくは1μm〜1
50μmの範囲から選ばれる。微細柱状結晶が細すぎる場
合には、輝尽性蛍光体層の散乱性が強まり、輝尽励起光
が拡散して放射線画像変換パネルの画像の鮮鋭性が劣化
するので好ましくない。また、微細柱状結晶が太すぎる
場合には、輝尽性蛍光体層が透明となり易く、輝尽励起
光の輝尽性蛍光体層中での横方向への広がりが増大し、
画像鮮鋭性が劣化するので同様に好ましくない。
When the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel of the present invention has fine columnar crystals, the size of the fine columnar crystals is such that the column diameter is 1 μm to 300 μm, preferably 1 μm to 1
It is selected from the range of 50 μm. If the fine columnar crystals are too thin, the scattering property of the stimulable phosphor layer is enhanced, the stimulable excitation light is diffused, and the sharpness of the image of the radiation image conversion panel is deteriorated, which is not preferable. Further, if the fine columnar crystals are too thick, the stimulable phosphor layer is likely to be transparent, increasing the lateral spread of the stimulable excitation light in the stimulable phosphor layer,
Image sharpness is also deteriorated, which is also not preferable.

本発明に於て輝尽性蛍光体層を輝尽励起光に対して不透
明にするには前述のように輝尽性蛍光体の気相堆積時に
該蛍光体層が微細結晶の集合体となるようにコントロー
ルしてもよいし、輝尽性蛍光体層を輝尽励起光波長領域
の光を吸収するような色素、顔料等で着色してもよい。
また、前記輝尽性蛍光体層の輝尽励起光入射側とは反対
の面に前記輝尽励起光波長領域の光を吸収する吸収層を
設けてもよい。
In order to make the stimulable phosphor layer opaque to the stimulable excitation light in the present invention, the phosphor layer becomes an aggregate of fine crystals during vapor deposition of the stimulable phosphor as described above. In this way, the stimulable phosphor layer may be colored with a dye, a pigment or the like that absorbs light in the wavelength region of the stimulating excitation light.
Further, an absorption layer that absorbs light in the wavelength region of the stimulable excitation light may be provided on the surface of the stimulable phosphor layer opposite to the incident side of the stimulable excitation light.

更に前記方法は組合わせて用いてもよい。Further, the above methods may be used in combination.

第2図(a)は、本発明の放射線画像変換パネルの1例に
ついての輝尽性蛍光体層厚及び該層厚に対応する輝尽性
蛍光体の附着量と放射線に対する感度との関係、第2図
(b)は前記本発明の放射線画像変換パネル例の輝尽性蛍
光体層厚と該放射線画像変換パネルによって得られる画
像の鮮鋭性との関係を示している。
FIG. 2 (a) shows the relationship between the stimulable phosphor layer thickness and the amount of the stimulable phosphor deposited corresponding to the layer thickness and the sensitivity to radiation in one example of the radiation image conversion panel of the present invention, Fig. 2
(b) shows the relationship between the stimulable phosphor layer thickness of the radiation image conversion panel of the present invention and the sharpness of the image obtained by the radiation image conversion panel.

本発明の放射線画像変換パネルのように蛍光体を堆積さ
せた気相堆積型の輝尽性蛍光体層は、従来の蛍光体を結
合剤中に懸濁分散させた分散型の放射線画像変換パネル
と比較すると明かなように結着剤を含んでいないので輝
尽性蛍光体の附着量(充填率)が従来の放射線画像変換
パネルの約2倍あり、輝尽性蛍光体層単位厚さ当りの放
射線吸収率が向上し、従来の放射線画像変換パネルより
放射線に対して高感度となるばかりか、画像の粒状性が
向上する。
The vapor deposition type photostimulable phosphor layer in which a phosphor is deposited like the radiation image conversion panel of the present invention is a dispersion type radiation image conversion panel in which a conventional phosphor is suspended and dispersed in a binder. As apparent from the comparison with a binder, since the binder does not contain a stimulable phosphor, the adhering amount (filling rate) of the stimulable phosphor layer is about twice that of the conventional radiation image conversion panel. The radiation absorptivity is improved, the radiation sensitivity is higher than that of the conventional radiation image conversion panel, and the graininess of the image is improved.

また、本発明の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層
のように輝尽性蛍光体の微細結晶が輝尽性蛍光体層の層
厚方向に発達しており、該層の光誘導効果によって輝尽
励起光及び輝尽発光の指向性に優れている場合には従来
の分散型の放射線画像変換パネルより層厚を厚くするこ
とが可能である。
Further, like the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel of the present invention, fine crystals of the stimulable phosphor are developed in the layer thickness direction of the stimulable phosphor layer, and the light-inducing effect of the layer Thus, when the directivity of stimulated excitation light and stimulated emission is excellent, it is possible to make the layer thickness thicker than the conventional dispersion type radiation image conversion panel.

更に、本発明の放射線画像変換パネルの気相堆積型輝尽
性蛍光体層は前述のように不透明であるので前記輝尽励
起光の輝尽性蛍光体層中での横方向への広がりが減少
し、画像の鮮鋭性が著しく向上する。
Furthermore, since the vapor deposition type stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel of the present invention is opaque as described above, the lateral spread of the stimulable excitation light in the stimulable phosphor layer is And the sharpness of the image is significantly improved.

本発明の放射線画像変換パネルにおいて用いられる支持
体としては各種高分子材料、ガラス、金属等が用いら
れ、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィ
ルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミ
ドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィ
ルム、ポリカーボネイトフィルム等のプラスチックフィ
ルム、アルミニウム、鉄、銅、クロム等の金属シート、
或は該金属酸化物の被覆層を有する金属シートが好まし
い。
As the support used in the radiation image conversion panel of the present invention, various polymer materials, glass, metal and the like are used, and cellulose acetate film, polyester film, polyethylene terephthalate film, polyamide film, polyimide film, triacetate film, polycarbonate film, etc. Plastic film, metal sheet such as aluminum, iron, copper, chrome,
Alternatively, a metal sheet having a coating layer of the metal oxide is preferable.

これら支持体の表面は滑面であってもよいし、輝尽性蛍
光体層との接着性を向上させる目的でマット面としても
よいし反射層あるいは吸収層を設けてもよい。また、支
持体の表面は第3図(a)に示すような凹凸面31としても
よいし、(b)に示すように隔絶されたタイル状板33を敷
きつめた構造でもよい。第3図(a)の場合には輝尽性蛍
光体層が第3図(c)の断面図に示すような凹凸面31によ
って細分化されるので画像の鮮鋭性が一段と向上する。
第3図(b)の場合には輝尽性蛍光体層が支持体のタイル
状板33の輪郭を維持しながら堆積するので、結果的には
輝尽性蛍光体層は第3図(d)の断面図に示すように亀裂3
6によって隔絶された輝尽性蛍光体の柱状ブロック35か
ら成るため、画像の鮮鋭性が一段と向上する。
The surface of these supports may be a smooth surface, may be a matte surface for the purpose of improving the adhesiveness with the stimulable phosphor layer, and may be provided with a reflection layer or an absorption layer. Further, the surface of the support may be an uneven surface 31 as shown in FIG. 3 (a), or may be a structure in which tile-shaped plates 33 separated from each other are spread as shown in FIG. 3 (b). In the case of FIG. 3 (a), the stimulable phosphor layer is subdivided by the uneven surface 31 as shown in the sectional view of FIG. 3 (c), so that the sharpness of the image is further improved.
In the case of FIG. 3 (b), the stimulable phosphor layer is deposited while maintaining the contour of the tile plate 33 of the support, and as a result, the stimulable phosphor layer is formed as shown in FIG. ) Crack 3 as shown in the cross section
Since the columnar blocks 35 of the stimulable phosphor are separated by 6, the sharpness of the image is further improved.

さらに、これら支持体は、輝尽性蛍光体層との接着性を
向上させる目的で輝尽性蛍光体層が設けられる面に下引
層を設けてもよい。また、これら支持体の層厚は用いる
支持体の材質等によって異なるが、一般的には80μm〜
2000μmであり、取扱い上の点からさらに好ましくは80
μm〜1000μmである。
Further, these supports may be provided with an undercoat layer on the surface on which the stimulable phosphor layer is provided for the purpose of improving the adhesiveness with the stimulable phosphor layer. Further, the layer thickness of these supports varies depending on the material of the support used, etc., but is generally 80 μm
2000 μm, more preferably 80 from the viewpoint of handling
It is μm to 1000 μm.

本発明の放射線画像変換パネルにおいては、一般的に前
記輝尽性蛍光体層が露呈する面に、輝尽性蛍光体層を物
理的にあるいは化学的に保護するための保護層が設けら
れてもよい。この保護層は保護層用塗布液を輝尽性蛍光
体層上に直接塗布して形成してもよいし、あるいはあら
かじめ別途形成した保護層を輝尽性蛍光体層上に接着し
てもよい。保護層の材料としては酢酸セルロース、ニト
ロセルロース、ポリメチルメタクリレート、ポリビニル
ブチラール、ポリビニルホルマール、ポリカーボネー
ト、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
エチレン、塩化ビニリデン、ナイロン等の通常の保護層
用材料が用いられる。また、この保護層は蒸着法、スパ
ッタ法により、SiC,SiO2,SiN,Al2O3などの無機物質を積
層して形成してもよい。これらの保護層の層厚は一般に
は0.1μm〜100μm程度が好ましい。
In the radiation image conversion panel of the present invention, a protective layer for physically or chemically protecting the stimulable phosphor layer is generally provided on the surface on which the stimulable phosphor layer is exposed. Good. This protective layer may be formed by directly coating the protective layer coating solution on the stimulable phosphor layer, or a protective layer separately formed in advance may be adhered onto the stimulable phosphor layer. . As a material for the protective layer, a usual protective layer material such as cellulose acetate, nitrocellulose, polymethylmethacrylate, polyvinyl butyral, polyvinyl formal, polycarbonate, polyester, polyethylene terephthalate, polyethylene, vinylidene chloride, nylon is used. Further, this protective layer may be formed by laminating inorganic substances such as SiC, SiO 2 , SiN, and Al 2 O 3 by vapor deposition or sputtering. Generally, the thickness of these protective layers is preferably about 0.1 μm to 100 μm.

本発明の放射線画像変換パネルは第4図に概略的に示さ
れる放射線画像変換方法に用いられた場合、優れた鮮鋭
性、粒状性および感度を与える。すなわち、第4図にお
いて、41は放射線発生装置、42は被写体、43は本発明の
放射線画像変換パネル、44は輝尽励起光源、45は該放射
線画像変換パネルより放射された輝尽発光を検出する光
電変換装置、46は45で検出された信号を画像として再生
する装置、47は再生された画像を表示する装置、48は輝
尽励起光と輝尽発光とを分離し、輝尽発光のみを透過さ
せるフィルターである。なお、45以降は43からの光情報
を何らかの形で画像として再生できるものであればよ
く、上記に限定されるものではない。
The radiation image conversion panel of the present invention provides excellent sharpness, graininess and sensitivity when used in the radiation image conversion method schematically shown in FIG. That is, in FIG. 4, 41 is a radiation generator, 42 is a subject, 43 is a radiation image conversion panel of the present invention, 44 is a stimulated excitation light source, and 45 is stimulated emission emitted from the radiation image conversion panel. Photoelectric conversion device, 46 is a device for reproducing the signal detected by 45 as an image, 47 is a device for displaying the reproduced image, 48 is a separation of stimulated excitation light and stimulated emission, only stimulated emission It is a filter that transmits. It should be noted that after 45, it is sufficient if the optical information from 43 can be reproduced as an image in some form, and is not limited to the above.

第4図に示されるように、放射線発生装置41からの放射
線は被写体42を通して本発明の放射線画像変換パネル43
に入射する。この入射した放射線は放射線画像変換パネ
ル43の輝尽性蛍光体層に吸収され、そのエネルギーが蓄
積され、放射線透過像の蓄積像が形成される。次にこの
蓄積像を輝尽励起光源44からの輝尽励光で励起して輝尽
発光として放出せしめる。放射線画像変換パネル43は、
輝尽性蛍光体層が輝尽励起光に対して不透明であるので
輝尽励起光の該輝尽性蛍光体層中での指向性が高く、前
記輝尽励起光による走査の際に輝尽励起光が輝尽性蛍光
体層中で拡散するのが抑制される。
As shown in FIG. 4, the radiation from the radiation generator 41 passes through the subject 42 and the radiation image conversion panel 43 of the present invention.
Incident on. The incident radiation is absorbed by the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel 43, the energy is accumulated, and an accumulated image of a radiation transmission image is formed. Next, this accumulated image is excited by stimulated excitation light from the stimulated excitation light source 44 and emitted as stimulated emission. The radiation image conversion panel 43 is
Since the stimulable phosphor layer is opaque to the stimulable excitation light, the directivity of the stimulable excitation light in the stimulable phosphor layer is high, and the stimulable phosphor is stimulated during scanning by the stimulable excitation light. Diffusion of excitation light in the stimulable phosphor layer is suppressed.

放射される輝尽発光の強弱は蓄積された放射線エネルギ
ー量に比例するので、この光信号を例えば光電子増倍管
等の光電変換装置45で光電変換し、画像再生装置46によ
って画像として再生し、画像表示装置47によって表示す
ることにより、被写体の放射線透過像を観察することが
できる。
Since the intensity of stimulated emission emitted is proportional to the amount of accumulated radiation energy, this optical signal is photoelectrically converted by the photoelectric conversion device 45 such as a photomultiplier tube, and reproduced as an image by the image reproduction device 46. By displaying with the image display device 47, a radiation transmission image of the subject can be observed.

(実施例) 次に本発明を実施例によって説明する。(Example) Next, the present invention will be described with reference to an example.

実施例1 支持体として500μm厚の化学強化ガラスを蒸着器中に
設置し、該支持体を150℃に加熱した。次にエレクトロ
ンビーム蒸着用の水冷銅坩堝中にアルカリハライド輝尽
性蛍光体(RbBr:0.0006Tl)を入れ、所定の位置にセッ
トし、続いて蒸着器を排気して2×10-6Torrの真空度と
した。
Example 1 As a support, a chemically strengthened glass having a thickness of 500 μm was placed in an evaporator, and the support was heated to 150 ° C. Next, put an alkali halide stimulable phosphor (RbBr: 0.0006Tl) in a water-cooled copper crucible for electron beam vapor deposition, set it in a predetermined position, and then evacuate the vaporizer to obtain 2 × 10 -6 Torr. The degree of vacuum was set.

次にエレクトロンビームガンに電流を流し、エレクトロ
ンビーム法によってアルカリハライド輝尽性蛍光体を加
熱蒸発させ化学強化ガラス上に輝尽性蛍光体層の層厚が
300μmの厚さになるまで堆積させ、本発明の放射線画
像変換パネルAを得た。なお、蒸着速度は5μm/分で
あった。
Next, an electric current is applied to the electron beam gun, and the alkali halide stimulable phosphor is heated and evaporated by the electron beam method to form the stimulable phosphor layer on the chemically strengthened glass.
The radiation image conversion panel A of the present invention was obtained by depositing to a thickness of 300 μm. The vapor deposition rate was 5 μm / min.

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Aに管電圧80KVpのX線を10mR照射した後、He-Neレーザ
光(633nm)で輝尽励起し、輝尽性蛍光体層から放射さ
れる輝尽発光を光検出器(光電子増倍管)で光電変換
し、この信号を画像再生装置によって画像として再生
し、銀塩フィルム上に記録した。信号の大きさより放射
線画像変換パネルAのX線に対する感度を調べ、また得
られた画像より、画像の変調伝達関数(MTF)および粒状
性を調べ第1表に示す。
The thus obtained radiation image conversion panel A of the present invention was irradiated with 10 mR of X-ray with a tube voltage of 80 KVp, and then stimulated by He-Ne laser light (633 nm) to be radiated from the stimulable phosphor layer. The stimulated emission thus generated was photoelectrically converted by a photodetector (photomultiplier tube), and this signal was reproduced as an image by an image reproducing device and recorded on a silver salt film. The sensitivity of the radiation image conversion panel A to X-rays was examined from the signal intensity, and the modulation transfer function (MTF) and graininess of the image were examined from the obtained image.

第1表において、X線に対する感度は本発明の放射線画
像変換パネルAを100として相対値で示してある。ま
た、変調伝達関数(MTF)は、空間周波数が2サイクル/m
mの時の値であり、粒状性は(良い、普通、悪い)をそ
れぞれ(○,△,×)で示してある。
In Table 1, the sensitivity to X-rays is shown as a relative value with the radiation image conversion panel A of the present invention as 100. The modulation transfer function (MTF) has a spatial frequency of 2 cycles / m.
It is a value at the time of m, and granularity (good, normal, bad) is shown by (○, Δ, ×), respectively.

また、本発明の放射線画像変換パネルAの輝尽性蛍光体
層の平行光透過率を第5図に示す装置(阿部設計製ドラ
ムスキャンデンシトメータ モデル2605)で測定し、第
1表に併記する。なお用いた光の波長は630nmであっ
た。
Further, the parallel light transmittance of the stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel A of the present invention was measured by an apparatus (drum scan densitometer model 2605 manufactured by Abe Design Co., Ltd.) shown in FIG. 5, and is also shown in Table 1. To do. The wavelength of the light used was 630 nm.

実施例2 支持体として500μm厚の化学強化ガラスを高周波スパ
ッタリング装置中に設置し、該支持体を200℃に加熱し
た。次にスパッタリング・ターゲットとしてアルカリハ
ライド輝尽性蛍光体(0.95RbBr・0.05CsF:0.001Tl)を
スパッタリング装置内に設置し、続いて1×10-6Torrの
真空度まで排気した。スパッタリングガスとしてArガス
を導入しながらスパッタリングを行い、化学強化ガラス
上に輝尽性蛍光体層の層厚が300μmになるまで堆積さ
せ、本発明の放射線画像変換パネルBを得た。なお、ス
パッタリング速度は4μm/分であった。
Example 2 As a support, a chemically strengthened glass having a thickness of 500 μm was placed in a high frequency sputtering apparatus, and the support was heated to 200 ° C. Next, an alkali halide stimulable phosphor (0.95RbBr.0.05CsF: 0.001Tl) was placed as a sputtering target in the sputtering apparatus, and then the vacuum was evacuated to 1 × 10 -6 Torr. Sputtering was performed while introducing Ar gas as a sputtering gas, and the photostimulable phosphor layer was deposited on the chemically strengthened glass until the layer thickness became 300 μm, to obtain a radiation image conversion panel B of the present invention. The sputtering rate was 4 μm / min.

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Bは、実施例1と同様にして評価し、結果を第1表に併
記する。
The radiation image conversion panel B of the present invention thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are also shown in Table 1.

実施例3 実施例1に於て、支持体として化学強化ガラスを用いる
代わりに、陽極酸化法により表面を酸化させた500μm
厚のアルミニウムシートを封孔処理し、これに200℃以
上の熱処理を加えて酸化アルミニウム層に多数の亀裂を
発生させ、この亀裂によって隔絶されたタイル状板を敷
きつめた構造を有する支持体を用いる以外は実施例1と
同様にして本発明の放射線画像変換パネルCを得た。
Example 3 In Example 1, instead of using chemically strengthened glass as the support, the surface was oxidized by an anodic oxidation method to 500 μm.
Using a support having a structure in which a thick aluminum sheet is subjected to sealing treatment, heat treatment at 200 ° C. or more is applied thereto to generate a large number of cracks in the aluminum oxide layer, and tile-shaped plates separated by the cracks are spread. A radiation image conversion panel C of the present invention was obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Cは、実施例1と同様にして評価し、結果を第1表に併
記する。
The radiation image conversion panel C of the present invention thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are also shown in Table 1.

比較例1 アルカリハライド輝尽性蛍光体(RbBr:0.0006Tl)8重
量部とポリビニルブチラール樹脂1重量部とを溶剤(シ
クロヘキサノン)5重量部を用いて混合・分散し、輝尽
性蛍光体層用塗布液を調整した。次にこの塗布液を水平
に置いた300μm厚の支持体としての化学強化ガラス上
に均一に塗布し、自然乾燥させて300μm厚の輝尽性蛍
光体層を形成した。
Comparative Example 1 8 parts by weight of an alkali halide stimulable phosphor (RbBr: 0.0006Tl) and 1 part by weight of polyvinyl butyral resin were mixed and dispersed with 5 parts by weight of a solvent (cyclohexanone) to prepare a stimulable phosphor layer. The coating liquid was adjusted. Next, this coating solution was uniformly applied on a chemically strengthened glass as a support having a thickness of 300 μm placed horizontally, and naturally dried to form a stimulable phosphor layer having a thickness of 300 μm.

このようにして得られた比較の放射線画像変換パネルP
は実施例1と同様にして評価し、結果を第1表に併記す
る。
The comparative radiation image conversion panel P thus obtained
Is evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are also shown in Table 1.

第1表より明らかなように本発明の放射線画像変換パネ
ルA〜Cは、対応する輝尽性蛍光体層厚を有する比較の
放射線画像変換パネルPに比べてX線感度が約2倍高
く、しかも画像の粒状性が優れていた。これは本発明の
放射線画像変換パネルは気相堆積法により製造されてい
るため輝尽性蛍光体層中の輝尽性蛍光体の充填率が塗布
により製造した比較のパネルに比べて高くX線の吸収率
が良いためである。
As is clear from Table 1, the radiation image conversion panels A to C of the present invention have X-ray sensitivities about two times higher than those of the comparative radiation image conversion panel P having the corresponding stimulable phosphor layer thickness. Moreover, the graininess of the image was excellent. This is because the radiation image conversion panel of the present invention is manufactured by a vapor deposition method, so that the filling rate of the stimulable phosphor in the stimulable phosphor layer is higher than that of a comparative panel manufactured by coating. This is because the absorption rate of is good.

また、本発明の放射線画像変換パネルA〜Cは対応する
輝尽性蛍光体層厚を有する比較の放射線画像変換パネル
Pに比べてX線感度が高いにもかかわらず鮮鋭性の点で
も優れていた。
Further, the radiation image conversion panels A to C of the present invention are also superior in sharpness in comparison with the comparative radiation image conversion panel P having the corresponding stimulable phosphor layer thickness, although they have higher X-ray sensitivity. It was

これも本発明の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層
が微細柱状結晶の構造を有し、輝尽励起光の指向性が高
いために、輝尽励起光であるHe-Neレーザの輝尽性蛍光
体層中での散乱が減少するためである。
This also has a structure of fine columnar crystal stimulable phosphor layer of the radiation image conversion panel of the present invention, because the directivity of the stimulated excitation light is high, the luminescence of He-Ne laser which is the stimulated excitation light. This is because scattering in the exhaustive phosphor layer is reduced.

特に本発明の放射線画像変換パネルCは、支持体に工夫
を加えて、支持体の亀裂によって輝尽性蛍光体層中にも
亀裂を入れ、これによって輝尽性蛍光体層を細分化する
ことにより、輝尽性蛍光体層中での輝尽励起光の散乱を
一層抑制・減少することが可能となり、その結果画像の
鮮鋭性が一段と向上した。
Particularly, in the radiation image conversion panel C of the present invention, the support is devised so that cracks in the support also cause cracks in the stimulable phosphor layer, thereby subdividing the stimulable phosphor layer. As a result, it becomes possible to further suppress and reduce the scattering of the stimulable excitation light in the stimulable phosphor layer, and as a result, the sharpness of the image is further improved.

実施例4 実施例2に於て、輝尽性蛍光体層の層厚を60μmにした
こと以外は実施例2と同様にして本発明の放射線画像変
換パネルDを得た。
Example 4 A radiation image conversion panel D of the present invention was obtained in the same manner as in Example 2 except that the thickness of the stimulable phosphor layer was changed to 60 μm.

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Dは実施例1と同様にして評価し、結果を第2表に示
す。
The radiation image conversion panel D of the present invention thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 2.

実施例5 実施例4に於て、支持体の加熱温度を350℃とし、スパ
ッタリング速度を0.8μm/分としたこと以外は実施例
4と同様にして本発明の放射線画像変換パネルEを得
た。
Example 5 A radiation image conversion panel E of the present invention was obtained in the same manner as in Example 4 except that the heating temperature of the support was 350 ° C. and the sputtering rate was 0.8 μm / min. .

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Eは実施例1と同様にして評価し、結果を第2表に併記
する。
The radiation image conversion panel E of the present invention thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are also shown in Table 2.

実施例6 実施例4に於て、支持体の加熱温度を350℃とし、スパ
ッタリング速度を20μm/分としたこと以外は実施例4
と同様にして本発明の放射線画像変換パネルFを得た。
Example 6 Example 4 was repeated except that the heating temperature of the support was 350 ° C. and the sputtering rate was 20 μm / min.
A radiation image conversion panel F of the present invention was obtained in the same manner as in.

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Fは実施例1と同様にして評価し、結果を第2表に併記
する。
The radiation image conversion panel F of the present invention thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are also shown in Table 2.

比較例2 実施例4に於て、輝尽性蛍光体層の層厚を20μmにした
ことと、スパッタリング速度を0.05μm/分としたこと
以外は実施例5と同様にして比較の透明輝尽性蛍光体層
を有する放射線画像変換パネルQを得た。
Comparative Example 2 Comparative transparent sensitization in the same manner as in Example 5 except that the thickness of the stimulable phosphor layer was 20 μm and the sputtering rate was 0.05 μm / min. A radiation image conversion panel Q having a fluorescent layer was obtained.

このようにして得られた比較の放射線画像変換パネルQ
は実施例1と同様にして評価し、結果を第2表に併記す
る。
Comparative radiation image conversion panel Q obtained in this way
Is evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are also shown in Table 2.

第2表から明らかなように本発明の放射線画像変換パネ
ルDに比較して比較のパネルQは輝尽性蛍光体層厚が薄
いにもかかわらず画像の鮮鋭性は劣っていた。これは比
較のパネルQは輝尽性蛍光体層が透明であるので輝尽励
起光の横方向への広がりが大きくなるためである。
As is clear from Table 2, as compared with the radiation image conversion panel D of the present invention, the comparative panel Q was inferior in image sharpness although the stimulable phosphor layer thickness was thin. This is because the stimulable phosphor layer of the comparative panel Q is transparent, so that the lateral spread of the stimulable excitation light becomes large.

更に比較のパネルQは、スパッタリング速度を速めると
輝尽性蛍光体層の透明性が失われるため高速スパッタリ
ングが行なえず生産性が著しく悪い。
Further, in the comparative panel Q, when the sputtering rate is increased, the transparency of the stimulable phosphor layer is lost, so that high-speed sputtering cannot be performed and the productivity is remarkably poor.

なお、本発明の放射線画像変換パネルD,E,Fは平行
光透過率の向上にともない鮮鋭性が低下する傾向にあっ
た。
The radiation image conversion panels D, E, and F of the present invention tended to have lower sharpness as the parallel light transmittance improved.

実施例6 実施例1に於て、輝尽性蛍光体としてアルカリ土類弗化
ハロゲン化物蛍光体(BaFBr:0.002Eu)を用いる以外は
実施例1と同様にして本発明の放射線画像変換パネルG
を得た。
Example 6 A radiation image conversion panel G of the present invention was prepared in the same manner as in Example 1 except that an alkaline earth fluorohalide phosphor (BaFBr: 0.002Eu) was used as the stimulable phosphor.
Got

このようにして得られた本発明の放射線画像変換パネル
Gは、実施例1と同様にして評価し、結果を第3表に示
す。
The radiation image conversion panel G of the present invention thus obtained was evaluated in the same manner as in Example 1, and the results are shown in Table 3.

(発明の効果) 以上述べてきたように、本発明によれば、本発明の放射
線画像変換パネルは輝尽性蛍光体を気相堆積した輝尽性
蛍光体層であり、且つ該層は輝尽励起光に対し不透明で
あるので輝尽性蛍光体層中での輝尽励起光の横方向への
広がりが抑制され、輝尽励起光の広がりに起因する画像
の鮮鋭性の劣化が防止できる。
(Effect of the invention) As described above, according to the present invention, the radiation image conversion panel of the present invention is a stimulable phosphor layer in which a stimulable phosphor is vapor-deposited, and the layer is bright. Since it is opaque to the stimulated excitation light, the lateral spread of the stimulated excitation light in the stimulable phosphor layer is suppressed, and deterioration of the sharpness of the image due to the spread of the stimulated excitation light can be prevented. .

また、本発明の輝尽性蛍光体層が気相堆積の結果として
微細柱状結晶構造を有する場合には、輝尽性蛍光体層中
での輝尽励起光及び輝尽発光の指向性が向上し、輝尽性
蛍光体層内部からの輝尽発光が検出できるので感度が向
上すると同時に輝尽励起光の散乱が低減されるので画像
の鮮鋭性が向上する。
Further, when the stimulable phosphor layer of the present invention has a fine columnar crystal structure as a result of vapor deposition, the directivity of stimulated excitation light and stimulated emission in the stimulable phosphor layer is improved. Since the stimulated emission from the inside of the stimulable phosphor layer can be detected, the sensitivity is improved, and at the same time, the scattering of the stimulated excitation light is reduced and the sharpness of the image is improved.

また、本発明によれば輝尽性蛍光体層中に結着剤が含ま
れないため、輝尽性蛍光体の充填率が向上し、放射線に
対する感度が向上すると同時に放射線による量子モトル
と輝尽性蛍光体層の構造モトルが減少するので画像の粒
状性が向上する。
Further, according to the present invention, since the binder is not contained in the stimulable phosphor layer, the filling rate of the stimulable phosphor is improved, the sensitivity to radiation is improved, and at the same time the quantum mottle and the stimulus due to radiation are Since the structural mottle of the fluorescent phosphor layer is reduced, the graininess of the image is improved.

本発明は、その効果が極めて大きく、工業的に有用であ
る。
The present invention is extremely effective and industrially useful.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図(a)は本発明の輝尽性蛍光体層の結晶構造のクロ
スセクションの電子顕微鏡写真、同図(b)は該蛍光体層
に於る光誘導効果の説明図である。 第2図は本発明の放射線画像変換パネルの1例に於る輝
尽性蛍光体の層厚(付着量)と相対感度(同図(a))及
びMTF(同図(b))の関係を示す。なお、第6図(a)及
び(b)に従来の分散型輝尽性蛍光体層の第2図(a)及び
(b)に対応する特性を示す。 第3図は本発明に係る支持体の輝尽性蛍光体を堆積させ
る面(同図(a)及び(b))、及び堆積された後の状態をス
キマテックに表した断面図である。 第4図は本発明の放射線画像変換パネルを用いる放射線
画像変換方法の概要図である。 第5図は本発明に係る平行光透過率の測定に用いる装置
の概要図である。 第7図は透明輝尽性蛍光体層を有する放射線画像変換パ
ネルに於るハレーションを示す断面図である。 11……輝尽励起光、 12……輝尽発光、 13……輝尽性蛍光体層、 31及び32……支持体、 33……タイル状板 34及び35……輝尽性蛍光体層、 36……亀裂、 41……放射線発生装置、 42……被写体、 43……パネル 44……輝尽励起光源、 48……フィルタ。
FIG. 1 (a) is an electron micrograph of a cross section of the crystal structure of the stimulable phosphor layer of the present invention, and FIG. 1 (b) is an explanatory view of the light induction effect in the phosphor layer. FIG. 2 shows the relationship between the layer thickness (adhesion amount) of the stimulable phosphor and the relative sensitivity (FIG. (A)) and MTF (FIG. (B)) in one example of the radiation image conversion panel of the present invention. Indicates. Incidentally, FIGS. 6 (a) and 6 (b) show a conventional dispersion type stimulable phosphor layer as shown in FIGS.
The characteristics corresponding to (b) are shown. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the surface of the support according to the present invention on which the stimulable phosphor is deposited (FIGS. (A) and (b)) and the state after deposition. FIG. 4 is a schematic diagram of a radiation image conversion method using the radiation image conversion panel of the present invention. FIG. 5 is a schematic diagram of an apparatus used for measuring parallel light transmittance according to the present invention. FIG. 7 is a sectional view showing halation in a radiation image conversion panel having a transparent stimulable phosphor layer. 11 ... stimulated excitation light, 12 ... stimulated emission, 13 ... stimulable phosphor layer, 31 and 32 ... support, 33 ... tile plate 34 and 35 ... stimulable phosphor layer , 36 ... crack, 41 ... radiation generator, 42 ... subject, 43 ... panel 44 ... stimulated excitation light source, 48 ... filter.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 文生 東京都日野市さくら町1番地 小西六写真 工業株式会社内 審査官 田村 爾 (56)参考文献 特開 昭62−105097(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Fumio Shimada 1 Sakura-cho, Hino-shi, Tokyo Konishi Roku Photo Industrial Co., Ltd. Examiner Taji Tamura (56) References JP 62-105097 (JP, A)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】支持体上に少なくとも一層の輝尽性蛍光体
層を有する放射線画像変換パネルに於いて、 前記輝尽性蛍光体層は輝尽性蛍光体を気相堆積した層で
あり、 且つ該層は輝尽励起光に対し不透明であることを特徴と
する放射線画像変換パネル。
1. A radiation image conversion panel having at least one stimulable phosphor layer on a support, wherein the stimulable phosphor layer is a layer in which a stimulable phosphor is vapor-deposited, Moreover, the radiation image conversion panel, wherein the layer is opaque to stimulated excitation light.
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