JPH06162575A - Optical information recording medium and its information recording and reproducing method and recording and reproducing device - Google Patents

Optical information recording medium and its information recording and reproducing method and recording and reproducing device

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JPH06162575A
JPH06162575A JP5144641A JP14464193A JPH06162575A JP H06162575 A JPH06162575 A JP H06162575A JP 5144641 A JP5144641 A JP 5144641A JP 14464193 A JP14464193 A JP 14464193A JP H06162575 A JPH06162575 A JP H06162575A
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recording
thin film
light
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recording medium
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健一 西内
Nobuo Akahira
信夫 赤平
Eiji Ono
鋭二 大野
Noboru Yamada
昇 山田
Kenichi Osada
憲一 長田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide the recording medium and recorder which are less deteriorated in signal quality by a fluctuation in recording power and having high recording signal quality by forming recording thin-film layers exhibiting phase changes on a substrate having rugged grooves for suppressing the diffusion of heat generated by irradiation with a laser beam. CONSTITUTION:This optical information recording medium is provided with the recording thin-film layers 22, 23, 24, 25 which generate the optically detectable changes by the irradiation with the light beam on a substrate 21. The rugged guide grooves 27 of a width W narrower than the spot diameter of the above-mentioned light beam are formed on the surface of the substrate to be provided with the recording thin-film layers. The optical constants of the recording thin-film layers are changed by the irradiation with the laser beam. The detectable change is mainly by a change in the phase of the reflected light or transmitted light of incident light. The change in the phase is generated in the direction where the phase difference generated between the ruggedness of the substrate of the guide grooves is decreased.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光・熱等を用いて高速
に、かつ高密度に情報を記録再生する光学的情報記録媒
体および記録再生方法と記録再生装置に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical information recording medium, a recording / reproducing method and a recording / reproducing apparatus for recording / reproducing information at high speed and with high density using light, heat or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ光のように位相の揃った光ビーム
をレンズ系によって収束させると、直径がその光の波長
のオーダーの小さな光スポットを作ることができる。し
たがって小さい出力の光源からでも単位面積あたりのエ
ネルギー密度の高い光スポットを作ることが可能であ
る。この特徴を利用して物質の微少な領域を変化させる
ことが可能であり、またその微少領域の変化を読みだす
ことも可能である。これを情報の記録・再生に利用した
ものが光学的情報記録媒体である。以下、「光記録媒
体」あるいは単に「媒体」と記述する。
2. Description of the Related Art When a light beam having a uniform phase such as a laser beam is converged by a lens system, a light spot whose diameter is on the order of the wavelength of the light can be formed. Therefore, it is possible to form a light spot having a high energy density per unit area even from a light source having a small output. By utilizing this characteristic, it is possible to change a minute area of a substance, and it is also possible to read out the change of the minute area. An optical information recording medium uses this for recording / reproducing information. Hereinafter, the term "optical recording medium" or simply "medium" will be used.

【0003】光記録媒体の基本的な構造は、表面が平坦
な基板上にレーザスポットの光照射によって何らかの状
態が変化する記録薄膜層を設けたものである。この媒体
への、信号記録・再生は以下のような方法により行う。
記録媒体を例えばモーター等による回転手段や並進手段
により移動させ、この媒体の記録薄膜面上に集束したレ
ーザ光を照射する。記録薄膜はレーザ光を吸収し昇温す
る。レーザ光の出力をある閾値以上に大きくすると記録
薄膜の状態が変化して情報が記録される。この閾値は記
録薄膜自体の特性の他に、基材の熱的な特性あるいは媒
体の光スポットに対する相対速度等に依存する量であ
る。記録された情報は記録部に前記閾値よりも十分低い
出力のレーザ光スポットを照射し、その透過光強度、反
射光強度あるいはそれらの偏光方向等何らかの光学的特
性が記録部と未記録部で異なることを検出して再生す
る。
The basic structure of an optical recording medium is that a recording thin film layer whose state is changed by the irradiation of laser spot light is provided on a substrate having a flat surface. Signal recording / reproduction on this medium is performed by the following method.
The recording medium is moved by, for example, rotating means such as a motor or translation means, and the focused laser beam is irradiated onto the recording thin film surface of the medium. The recording thin film absorbs laser light and heats up. When the output of the laser light is increased above a certain threshold, the state of the recording thin film changes and information is recorded. This threshold value is an amount that depends on the thermal characteristics of the base material, the relative speed to the light spot of the medium, and the like, in addition to the characteristics of the recording thin film itself. The recorded information is irradiated with a laser beam spot whose output is sufficiently lower than the threshold value, and some optical characteristics such as transmitted light intensity, reflected light intensity or their polarization direction are different between the recorded part and the unrecorded part. It detects that and reproduces.

【0004】記録薄膜としてはBi、Teあるいはこれ
らを主成分とする金属薄膜、Teを含む化合物薄膜が知
られている。これらはレーザ光照射により薄膜が溶融あ
るいは蒸発し小孔を形成することを利用した形状変化型
の記録である。記録した部分からの信号再生は、小孔部
とその周辺部の間で生じる反射光量あるいは透過光量の
差を検出することにより行う。
As the recording thin film, Bi, Te, a metal thin film containing them as a main component, or a compound thin film containing Te is known. These are shape change-type recordings utilizing the fact that a thin film is melted or evaporated by laser light irradiation to form small holes. The signal reproduction from the recorded portion is performed by detecting the difference in the reflected light amount or the transmitted light amount generated between the small hole portion and its peripheral portion.

【0005】また、形状変化を伴わずに光学的な変化を
示すものに相変化型記録薄膜がある。相変化型記録薄膜
は、レーザ光の照射条件により相状態が変化し、その間
で複素屈折率が変化する。一般的に複素屈折率の屈折率
nと消衰係数kは同一方向に変化し、光記録媒体として
検討されているほとんどの物質は、相状態がアモルファ
ス状態から結晶状態に変化すると、2つの値は増大す
る。記録薄膜からの信号再生は、相状態の差として形成
された信号パターン上に、微弱な光を照射し、媒体から
の透過光量あるいは反射光量を測定することにより行
う。
Further, there is a phase change type recording thin film which shows an optical change without a shape change. In the phase-change recording thin film, the phase state changes depending on the irradiation condition of the laser beam, and the complex refractive index changes during that time. Generally, the refractive index n of a complex refractive index and the extinction coefficient k change in the same direction, and most substances considered as optical recording media have two values when the phase state changes from an amorphous state to a crystalline state. Will increase. The signal reproduction from the recording thin film is performed by irradiating a weak light onto the signal pattern formed as the phase difference and measuring the amount of transmitted light or the amount of reflected light from the medium.

【0006】光は波動であり振幅と位相によって記述さ
れる。記録媒体からの情報は、再生光学系の光検出器上
の透過光量あるいは反射光量の変化を検出することで行
われるが、その変化の原因としては膜自体の微少領域に
おける透過光振幅あるいは反射光振幅が変化する場合
(振幅変化記録)と、透過光あるいは反射光の位相が変
化する場合(位相変化記録)がある。相変化による複素
屈折率の変化は、前記振幅変化と位相変化の双方の変化
の合成として再生信号が得られている。この中で現在、
実用化されている相変化型の記録材料を用いた光ディス
クは、主として反射光の振幅変化を利用しており前者の
振幅変化記録に相当する。一方位相変化記録は、振幅変
化記録に比べ信号の記録密度を高める記録方式として提
案されている(特開平2−73537号公報)。
Light is a wave and is described by its amplitude and phase. Information from the recording medium is detected by detecting a change in the amount of transmitted light or reflected light on the photodetector of the reproduction optical system.The cause of the change is the transmitted light amplitude or reflected light in a minute area of the film itself. There are cases where the amplitude changes (amplitude change recording) and cases where the phase of transmitted light or reflected light changes (phase change recording). The reproduced signal is obtained as a change of the complex refractive index due to the phase change, which is a combination of the changes of both the amplitude change and the phase change. Currently in this
An optical disk using a phase-change recording material that has been put into practical use mainly uses the amplitude change of reflected light and corresponds to the former amplitude change recording. On the other hand, phase change recording has been proposed as a recording method for increasing the signal recording density as compared with amplitude change recording (Japanese Patent Laid-Open No. 2-73537).

【0007】相変化光ディスクは、回転している記録媒
体上に強度変調したレーザ光を照射することにより、記
録薄膜に局部的な相状態の差(記録マーク)を形成する
事で信号を記録し、その状態間で生じた差を反射率差と
して検出することで信号の再生を行う。なお、得られる
記録マークの大きさは、集光する光スポットの大きさ、
即ち波長オーダーとなる。例えば、波長780nm前後
のレーザ光をNA0.5程度のレンズ系を用いて絞る
と、半値の強度幅が約0.9μmのスポットに絞れる。
なお光スポットの強度は、一般的にはガウス分布あるい
はそれに近い形状の分布をしている。この様なスポット
を用いて強いパワーで記録を行うと約0.5〜1μm前
後の範囲が相変化をおこして記録状態となる。
The phase-change optical disk records a signal by irradiating a rotating recording medium with a laser beam whose intensity is modulated to form a local phase state difference (recording mark) on the recording thin film. The signal is reproduced by detecting the difference generated between the states as the reflectance difference. The size of the obtained recording mark is the size of the light spot to be condensed,
That is, the wavelength order is obtained. For example, when the laser light having a wavelength of about 780 nm is narrowed down by using a lens system having an NA of about 0.5, the half-value intensity width is narrowed down to a spot having a width of about 0.9 μm.
The intensity of the light spot generally has a Gaussian distribution or a distribution close to it. When recording is performed with a strong power using such a spot, a phase change occurs in a range of about 0.5 to 1 μm and the recording state is obtained.

【0008】図2は相変化記録薄膜を、振幅変化記録を
示す構造とした場合(a)と、位相変化記録を示す構造
とした場合(b)のそれぞれにおいて最大の信号変化が
得られる記録マークと光スポットの関係を示したもので
ある。振幅変化記録(a)示す構造では、基板1上の記
録薄膜2に形成された振幅変化記録マーク3は、主とし
て反射率が変化する。マーク3上を再生用の微弱な光I
0からなる光スポット4を走査した場合に、再生光学系
で得られる光検出器上の光量変化、即ち信号振幅が最大
となる条件、即ち記録マーク部の反射光I2と未記録状
態の反射光I1の差を最大にする条件は、相変化した記
録マーク3の大きさを、再生スポット4と同等以上とす
ることである。
FIG. 2 shows a recording mark that gives the maximum signal change when the phase change recording thin film has a structure showing amplitude change recording (a) and a structure showing phase change recording (b). And the light spot. In the structure shown in amplitude change recording (a), the amplitude change recording mark 3 formed on the recording thin film 2 on the substrate 1 mainly changes in reflectance. Weak light I for reproduction on mark 3
When the light spot 4 consisting of 0 is scanned, the light amount change on the photodetector obtained by the reproduction optical system, that is, the condition that the signal amplitude is maximum, that is, the reflected light I 2 of the recording mark portion and the reflection in the unrecorded state The condition for maximizing the difference of the light I 1 is that the size of the phase-changed recording mark 3 is equal to or larger than that of the reproduction spot 4.

【0009】一方、位相変化記録の場合においても
(b)のように、記録薄膜2そのものの状態変化は振幅
変化と同じであり、同様の光照射により記録マーク6を
形成する。理想的な位相変化記録を示す記録マークは、
入射した光量I0に対し、未記録状態の反射光I3と同じ
強度の反射光I4を反射し、光の位相がφだけ変化す
る。この位相変化による記録状態は、光スポットに対し
図1(c)に示すように平面部に凹凸ピット7を形成
し、その凹凸の段差により位相が変化したた場合と同様
に作用する。ここで位相変化記録による最大の信号振幅
を示す条件は、再生スポット4が記録マーク上を走査し
た場合に位相差による光の回折効果が最大となる条件で
ある。即ち光スポット4の中で、記録マーク6に入射す
る領域の光強度と周辺部に入射する光量が等しくなる場
合に、最も干渉の効果が大きくなり、光検出器への光量
が最小となる。ここでは記録マークからの反射光I4
未記録部からの反射光I3が干渉する事で打ち消し合う
条件で反射光量が最小となり、従って位相変化記録の最
大の信号振幅が得られる。
On the other hand, also in the case of phase change recording, the state change of the recording thin film 2 itself is the same as the amplitude change as shown in (b), and the recording mark 6 is formed by the same light irradiation. The recording mark that shows the ideal phase change recording is
The reflected light I 4 having the same intensity as the reflected light I 3 in the unrecorded state is reflected with respect to the incident light amount I 0 , and the phase of the light changes by φ. The recording state due to this phase change works in the same manner as when the unevenness pit 7 is formed on the plane portion with respect to the light spot as shown in FIG. 1C and the phase changes due to the unevenness of the unevenness. Here, the condition for showing the maximum signal amplitude by the phase change recording is a condition under which the light diffraction effect due to the phase difference becomes maximum when the reproduction spot 4 scans the recording mark. That is, in the light spot 4, when the light intensity of the region incident on the recording mark 6 is equal to the light amount incident on the peripheral portion, the effect of interference is greatest, and the light amount to the photodetector is minimum. In this case, the reflected light amount I 4 from the recording mark and the reflected light I 3 from the unrecorded portion interfere with each other and the reflected light amount is minimized under the condition of canceling each other, so that the maximum signal amplitude of the phase change recording is obtained.

【0010】このように2つの記録モードを最大振幅を
示す記録マークで比較すると位相変化記録マーク6は、
反射率変化記録マーク3よりも小さい形状で記録できる
ことから、位相変化記録が高密度の記録再生が可能であ
ることがわかる。また、位相変化記録が実現できれば、
コンパクトディスク等のような凹凸ピットを記録情報と
する再生専用の光ディスクと互換性のある記録媒体を提
供することが可能となる。
In this way, comparing the two recording modes with the recording mark showing the maximum amplitude, the phase change recording mark 6 is
Since the recording can be performed in a shape smaller than the reflectance change recording mark 3, it is understood that the phase change recording can perform high-density recording / reproduction. If phase change recording can be realized,
It is possible to provide a recording medium compatible with a read-only optical disc such as a compact disc which has concave and convex pits as recording information.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、位相変
化記録を示す相変化媒体は、光の熱を利用したヒートモ
ードの記録であるために、記録薄膜の光の照射部は、熱
拡散現象を伴う。即ち、光エネルギーを吸収した部分
は、温度上昇すると共に、同時に発生した熱は周囲の温
度の低い部分へ拡散していく。このため、照射部に形成
される記録マークは、照射する光の強度分布だけでな
く、投入するエネルギー量(照射パワー)に応じて、そ
の大きさが変化するという課題がある。従来の反射光変
化の場合は、マーク形状がスポット径(光の強度が1/
2となる大きさ)と同等で最大の信号振幅となる。ま
た、トラック方向に記録するマークのピッチは、記録密
度をできるだけ高めるという観点から、スポット径と同
等または同等以下の値としている。よって記録部からの
信号再生を安定に行うには、記録マークを一定範囲の大
きさとする必要がある。それには、記録時に照射する光
のエネルギー、即ち記録パワーを一定の範囲内に設定す
る必要がある。記録パワーに対するマーク形状の変化が
大きい場合は、このパワー範囲が小さくなり、記録用レ
ーザ光の変動やばらつき等を含めた記録装置の設計が著
しく困難となる。位相変化記録は、振幅変化記録よりも
同じ振幅を得るためのマーク形状が相対的に小さくでき
るため、高密度記録に適しているといえる。しかし、小
さな記録マークを形成するということは、記録パワー変
動に対しる許容幅、即ち記録パワーを一定許容範囲内に
保つことがより困難となるという課題がある。
However, since the phase change medium showing the phase change recording is the heat mode recording utilizing the heat of light, the light irradiation part of the recording thin film is accompanied by the thermal diffusion phenomenon. . That is, the temperature of the portion that has absorbed the light energy rises, and at the same time, the heat generated at the same time diffuses to the lower temperature portion. Therefore, there is a problem in that the size of the recording mark formed in the irradiation portion changes not only according to the intensity distribution of the irradiation light but also in accordance with the amount of energy (irradiation power) applied. In the case of the conventional change of reflected light, the mark shape has a spot diameter (light intensity is 1 /
the maximum signal amplitude equal to e 2 and composed magnitude). The pitch of marks recorded in the track direction is set to a value equal to or less than the spot diameter from the viewpoint of increasing the recording density as much as possible. Therefore, in order to stably reproduce the signal from the recording section, it is necessary to set the size of the recording mark within a certain range. For that purpose, it is necessary to set the energy of light irradiated during recording, that is, the recording power within a certain range. When the change in mark shape with respect to the recording power is large, this power range becomes small, and it becomes extremely difficult to design a recording device that includes fluctuations and variations in the recording laser light. Phase change recording can be said to be suitable for high density recording because the mark shape for obtaining the same amplitude can be made relatively smaller than amplitude change recording. However, forming a small recording mark has a problem that it becomes more difficult to maintain a permissible width with respect to recording power fluctuation, that is, the recording power within a certain permissible range.

【0012】本発明の目的は、微小な記録マークを安定
に形成する記録媒体、およびその記録方法、装置を提供
するものである。
An object of the present invention is to provide a recording medium for stably forming minute recording marks, and a recording method and apparatus therefor.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の光学情報記録媒体および記録再生方法は、基
板上にレンズを介して集光した光ビームを照射すること
によって光学的に情報を記録する記録薄膜層を設けた記
録媒体であって、前記基板は、表面に前記集光した光ビ
ームのスポット径よりも狭い幅の凹凸状のガイド溝を備
え、前記記録薄膜層は第1の強度の光ビームの照射によ
り第1の状態から第2状態に変化し、前記第1よりも低
い第2の強度の光ビームを照射した場合に、記録薄膜層
の前記第1の状態の領域と第2の状態の領域では、反射
光の位相が異なり、前記ガイド溝の凹部と凸部の間で生
じる位相差を減少させる方向に、前記第1状態から第2
状態へ位相が変化するという構成を備えたものである。
In order to solve the above-mentioned problems, an optical information recording medium and a recording / reproducing method of the present invention are arranged so that a substrate is irradiated with a light beam condensed through a lens to optically record information. Is a recording medium provided with a recording thin film layer for recording data, the substrate having an uneven guide groove having a width narrower than a spot diameter of the focused light beam on the surface, Area of the recording thin film layer in the first state when the light beam having the second intensity lower than the first state is changed by irradiating the light beam having the second intensity In the region of the second state, the phase of the reflected light is different, and in the direction of decreasing the phase difference generated between the concave portion and the convex portion of the guide groove, the second state is changed.
It has a configuration in which the phase changes to a state.

【0014】[0014]

【作用】本発明は上記した構成によって、ガイド溝を備
えた基板上に位相変化を示す記録薄膜層を形成すること
により、光ビーム照射により発生した熱の薄膜面方向の
拡散をガイド溝のエッジが抑制するため、記録パワーの
変動に対し記録マークの幅方向の形状を一定範囲とする
記録が可能となる。また、光ビーム照射によりガイド溝
の深さと同等でかつ逆の位相変化を示す記録を行うこと
により、平面部に記録した場合と同等の信号振幅を得る
ことができる。
According to the present invention, by forming the recording thin film layer exhibiting a phase change on the substrate having the guide groove by the above-mentioned structure, the heat generated by the light beam is diffused in the thin film surface direction to prevent the edge of the guide groove from diffusing. Therefore, it is possible to perform recording in which the shape of the recording mark in the width direction is within a certain range with respect to the fluctuation of the recording power. Further, by recording by the irradiation of the light beam, which shows the same phase change as the depth of the guide groove and the opposite phase change, it is possible to obtain the same signal amplitude as that in the case of recording on the flat surface portion.

【0015】この結果、位相変化記録媒体を用いて、記
録密度が高く、かつ記録時の環境及び装置の光学系の経
年変化などに対応する記録媒体および装置を得ることが
可能となる。
As a result, by using the phase change recording medium, it is possible to obtain a recording medium and a device which have a high recording density and can cope with the environment at the time of recording and the aging of the optical system of the device.

【0016】[0016]

【実施例】以下本発明の一実施例の光記録媒体およびそ
の記録方法について、図面を参照しながら説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An optical recording medium and a recording method therefor according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】初めに位相変化を示す記録媒体の構成例に
ついて説明する。図1にその記録媒体の構成と、薄膜構
成の断面図を示す。光記録媒体の一つである光ディスク
10を、モータ等の回転手段により回転させながら、光
学系11により光ビームを光ディスク上の記録薄膜層に
集光する。光学系は、半導体レーザなどのレーザ光源1
2と光ビームを集光するための対物レンズ13と、光デ
ィスクからの反射光を検出する光検出器14から構成さ
れている。光検出器14からの信号をもとに、光ビーム
15を光ディスク上の特定トラックを追従させる制御
と、光ディスクに記録されている信号の再生を行う。
First, a configuration example of a recording medium exhibiting a phase change will be described. FIG. 1 shows the structure of the recording medium and a cross-sectional view of the thin film structure. While rotating the optical disc 10, which is one of the optical recording media, by a rotating means such as a motor, the optical system 11 focuses the light beam on the recording thin film layer on the optical disc. The optical system is a laser light source 1 such as a semiconductor laser.
2 and the objective lens 13 for condensing the light beam, and the photodetector 14 for detecting the reflected light from the optical disk. Based on the signal from the photodetector 14, control for causing the light beam 15 to follow a specific track on the optical disc and reproduction of the signal recorded on the optical disc are performed.

【0018】光ビームを照射した部分の光ディスクの断
面構造を上図に示す。基板21の上に光学的に透明な誘
電体等の透明層22、記録層23、透明層24、反射層
25を設けた構成とする。さらにその上に透明な密着し
た保護層26を設ける。この他に図には示さないが保護
層26を施さない構成でもよい。この場合は保護層の代
わりに空気(屈折率1.0)を考えると光学的には同等
であり同じ効果が得られる。透明層22には基板21と
屈折率の異なる材質を用いる。
The cross-sectional structure of the optical disc irradiated with the light beam is shown in the above figure. The substrate 21 is provided with a transparent layer 22, such as an optically transparent dielectric material, a recording layer 23, a transparent layer 24, and a reflective layer 25. Further, a transparent and protective protective layer 26 is provided thereon. In addition to this, although not shown in the drawing, a structure in which the protective layer 26 is not provided may be used. In this case, considering air (refractive index 1.0) instead of the protective layer, they are optically equivalent and the same effect can be obtained. A material having a refractive index different from that of the substrate 21 is used for the transparent layer 22.

【0019】これらの記録層の厚さt2、透明層の厚さ
t1、t3および反射層の厚さt4を特定の値とするこ
とによって位相変化の大きい媒体を得ることができる。
なお、位相変化を示す薄膜構成、ここでは記録層23、
透明層22、24、反射層25を総合した層構成を記録
薄膜層と記述する。
By setting the thickness t2 of the recording layer, the thicknesses t1 and t3 of the transparent layer, and the thickness t4 of the reflective layer to specific values, a medium having a large phase change can be obtained.
It should be noted that a thin film structure showing a phase change, here, the recording layer 23,
A layer structure in which the transparent layers 22 and 24 and the reflective layer 25 are integrated is described as a recording thin film layer.

【0020】基板21としてはガラス・樹脂等の透明で
平滑な平板を用いる。基板の形状は、用途に応じて異な
り、光ディスクであれば円形平板、光カードであれば四
角平板、光テープであればテープ状となる。基板表面に
は、後で詳述するが位相変化記録の光学特性を生かしか
つ記録マークの形状を確保するための凹凸形状をしたガ
イド溝27が形成されている。保護層26としては樹脂
を溶剤に溶かして塗布・乾燥したものや樹脂板を接着剤
で接着したもの等が使える。
As the substrate 21, a transparent and smooth flat plate such as glass or resin is used. The shape of the substrate differs depending on the application, and is a circular flat plate for an optical disk, a square flat plate for an optical card, or a tape shape for an optical tape. As will be described in detail later, a guide groove 27 having an uneven shape is formed on the surface of the substrate to make the best use of the optical characteristics of phase change recording and to secure the shape of the recording mark. As the protective layer 26, a resin dissolved in a solvent and applied and dried, or a resin plate adhered with an adhesive can be used.

【0021】記録層23としてはアモルファス・結晶間
の相変化を生じる材料たとえばSbTe系、InTe
系、GeTeSn系、SbSe系、TeSeSb系、S
nTeSe系、InSe系、TeGeSnO系、TeG
eSnAu系、TeGeSnSb系、等のカルコゲン化
合物を用いる。Te−TeO2系、Te−TeO2−Au
系、Te−TeO2−Pd系等の酸化物系材料も使え
る。また、結晶・結晶間の相転移をするAgZn系、I
nSb系等の金属化合物も使える。これらの材料は、用
途に応じて一方向だけの相転移を行う場合、あるいは多
数回の可逆的変化を生じる場合など目的とする記録媒体
の用途に応じて組合せ、あるいは組成を選択することが
できる。
The recording layer 23 is made of a material that causes a phase change between amorphous and crystal, for example, SbTe system, InTe.
System, GeTeSn system, SbSe system, TeSeSb system, S
nTeSe system, InSe system, TeGeSnO system, TeG
A chalcogen compound such as eSnAu type or TeGeSnSb type is used. Te-TeO 2 system, Te-TeO 2 -Au
Oxide-based materials such as those based on Te-TeO 2 -Pd-based can also be used. In addition, AgZn-based materials having a crystal-crystal phase transition, I
A metal compound such as nSb type can also be used. These materials can be selected in combination or composition depending on the intended use of the recording medium, such as when a phase transition occurs in only one direction or when a reversible change occurs a number of times depending on the intended use. .

【0022】光学的に透明な透明層24としてはSiO
2、SiO、TiO2、MgO、GeO2等の酸化物、S
34、BN、AlN等の窒化物、ZnS、ZnTe、
PbS等の硫化物が使える。反射層としてはAu、A
l、Cu等の金属材料あるいは所定の波長の反射率の大
きな誘電体多層膜等が使える。
As the optically transparent transparent layer 24, SiO is used.
Oxides such as 2 , SiO, TiO 2 , MgO, and GeO 2 , S
i 3 N 4 , BN, nitride such as AlN, ZnS, ZnTe,
Sulfides such as PbS can be used. Au, A as the reflective layer
A metal material such as l or Cu, or a dielectric multilayer film having a large reflectance at a predetermined wavelength can be used.

【0023】各記録薄膜層の膜厚は、光学計算により求
めることができる。マトリックス法により、各層の複素
屈折率と膜厚に対する反射率および反射光の位相を計算
した(例えば、久保田広著「波動光学」岩波書店、19
71年第3章参照)。また、基板21と密着保護層26
は無限大の膜厚をもつものとして(基材−空気界面、密
着保護層−空気界面の効果を無視)、反射率は基板から
入射した光の基材中に出射してくる比率としてもとめ、
位相は基板21と透明層22の界面での位相を基準とし
て求めた。なお、位相は2πの周期で等価となる。
The film thickness of each recording thin film layer can be obtained by optical calculation. By the matrix method, the complex refractive index of each layer, the reflectance with respect to the film thickness, and the phase of the reflected light were calculated (for example, Hiro Kubota "Wave Optics" Iwanami Shoten, 19
71, see Chapter 3). In addition, the substrate 21 and the adhesion protection layer 26
Is an infinite film thickness (ignoring the effect of the base material-air interface, the adhesion protection layer-air interface), the reflectance is determined as the ratio of the light incident from the substrate to the base material,
The phase was determined based on the phase at the interface between the substrate 21 and the transparent layer 22. Note that the phases are equivalent at a period of 2π.

【0024】光学計算には、照射する光の波長を780
nmとし、この波長に対する各層の光学定数を定義し
た。各薄膜層は、それぞれの材料をガラス基板上にスパ
ッタリング法により形成し、初めに得られた薄膜膜厚を
測定し、の分光光度系によりその透過率、反射率を測定
すし、それらの値を元に光学定数を算出した。記録層2
3として相変化材料であるGe2Sb2Te5の組成を持
つゲルマニウム、アンチモンおよびテルルの3元化合物
を用い、スパッタリングにより形成したままの状態(ア
モルファス状態)の光学定数を測定したところ、複素屈
折率(n+ki)は(4.5+1.3i)であった。こ
れを300℃で5分間熱処理した結晶状態では(5.5
+3.4i)となった。このようにGe2Sb2Te
5は、アモルファスと結晶間の相変化を示し、この状態
はレーザ光の照射条件により可逆的な変化を示す。基板
1にはポリカーボネート樹脂(PC)、透明層2、4に
は硫化亜鉛(ZnS)、反射層5には金(Au)を用
い、複素屈折率はそれぞれ(1.58+0i)、(2.
10+0i)、(0.18+4.64i)とした。
For the optical calculation, the wavelength of the irradiation light is 780
nm, and the optical constant of each layer with respect to this wavelength was defined. Each thin film layer, each material is formed on the glass substrate by a sputtering method, the thin film thickness obtained at the beginning is measured, and its transmittance and reflectance are measured by a spectrophotometric system, and those values are calculated. The optical constant was calculated based on the original. Recording layer 2
As an optical constant in the as-formed state (amorphous state) by sputtering using a ternary compound of germanium, antimony and tellurium having a composition of Ge 2 Sb 2 Te 5 which is a phase change material as 3, The rate (n + ki) was (4.5 + 1.3i). In a crystalline state where this was heat treated at 300 ° C. for 5 minutes (5.5
It became + 3.4i). In this way Ge 2 Sb 2 Te
5 shows a phase change between amorphous and crystalline, and this state shows a reversible change depending on the irradiation condition of laser light. Polycarbonate resin (PC) is used for the substrate 1, zinc sulfide (ZnS) is used for the transparent layers 2 and 4, and gold (Au) is used for the reflective layer 5, and the complex refractive index is (1.58 + 0i), (2.
10 + 0i) and (0.18 + 4.64i).

【0025】各層の膜厚を変化させた光学計算を行い、
その結果から光記録媒体として位相変化が有効に作用す
るように、次の3点から最適な膜厚条件を決定した。
Optical calculation was performed by changing the film thickness of each layer,
From the results, the optimum film thickness conditions were determined from the following three points so that the phase change effectively acts as the optical recording medium.

【0026】1)記録層のアモルファス状態(記録部)
と結晶状態(未記録部:アモルファス状態以外の周辺
部)からの反射光の位相差が最大となる条件、即ち位相
差=(1±2s)πに近いこと(sは整数)。
1) Amorphous state of recording layer (recording portion)
And the condition that the phase difference of the reflected light from the crystalline state (unrecorded portion: peripheral portion other than the amorphous state) is maximum, that is, the phase difference is close to (1 ± 2s) π (s is an integer).

【0027】2)記録層の状態変化により生じる光学的
変化の中で、振幅変化が位相変化による記録密度向上の
効果を低減させないように、記録部と未記録部の反射率
が同等、または記録部の反射率が未記録部よりも大きい
こと。
2) In the optical change caused by the change in the state of the recording layer, the reflectance of the recorded portion is equal to that of the unrecorded portion so that the change in the amplitude does not reduce the effect of improving the recording density due to the change in the phase. The reflectance of the area is higher than that of the unrecorded area.

【0028】3)装置を構成した場合のサーボ動作の信
頼性、あるい得られる信号振幅が大きいという観点か
ら、状態の反射率ができるだけ高いこと。
3) The reflectance of the state is as high as possible from the viewpoint of the reliability of the servo operation when the device is constructed and the obtained signal amplitude is large.

【0029】各層の膜厚を変化させた計算結果は、記録
層23が40nm以下の場合に、大きな位相変化を示し
た。その中で、記録層23の厚さを15nm、反射層2
5の厚さを50nm、透明層22、24の膜厚をそれぞ
れ116nm、35nmとした時に、アモルファス状態
の反射率が6.8%、結晶状態の反射率が7.6%、位
相変化量が(−0.86)πとなった。以下、この膜厚
構成の位相変化記録層を用いて、本発明の実施例を詳細
に説明する。
The calculation results obtained by changing the film thickness of each layer show a large phase change when the recording layer 23 has a thickness of 40 nm or less. Among them, the thickness of the recording layer 23 is 15 nm,
When the thickness of 5 is 50 nm and the thicknesses of the transparent layers 22 and 24 are 116 nm and 35 nm, respectively, the reflectance in the amorphous state is 6.8%, the reflectance in the crystalline state is 7.6%, and the amount of phase change is It became (-0.86) π. Hereinafter, examples of the present invention will be described in detail using the phase change recording layer having this film thickness configuration.

【0030】本発明の目的とする記録時のパワー変動に
対する動作マージンを確保する方法として、特定の形状
のガイド溝27を備えた基板上に位相変化媒体を形成す
る。ガイド溝による記録マークの形状制限の効果を図3
のモデルを用いて説明する。
As a method of securing the operation margin against the power fluctuation at the time of recording which is the object of the present invention, the phase change medium is formed on the substrate having the guide groove 27 of a specific shape. The effect of limiting the shape of the recording mark by the guide groove is shown in FIG.
The model will be used for explanation.

【0031】(a)は表面が平面の基板31に記録薄膜
層32を形成した例であり、(b)は、表面に凹凸から
なるガイド溝27を設けた基板21に記録薄膜層32を
設けた構成である。それぞれの条件において照射する光
のパワーが低い場合の記録マークの形状を波線33、3
4で示し、記録パワーが高い場合に形成される記録マー
クの形状を実線35、36で示す。(a)のように平面
部に記録した場合は、記録パワーが高くなると薄膜の膜
面方向の熱拡散37により記録マークがトラック方向
と、トラックと垂直方向の両方に拡大する。このような
記録マーク形状の変化は、再生時の信号振幅の変化とな
り、この結果信号復調時のエラーとなる。これに対し
(b)のようにガイド溝上に信号を記録した場合は、記
録パワーが低い場合は平面に記録した場合と同等の記録
マーク36なるが、パワーが高い場合は、記録マークの
トラックと垂直方向のマークの拡大が抑制された形状の
記録マーク38が得られる。即ちトラッックと垂直方向
の熱拡散38は小さいことを意味する。これはガイド溝
により、熱拡散のための実質的な距離が拡大すること、
またエッジ部の記録薄膜層の膜厚が小さくなること等が
考えられる。この熱遮蔽効果により、記録パワーの変動
に対して、得られる記録マークの大きさ(面積)の差が
小さくなることから信号振幅の変動が小さくなり、光記
録装置からみた動作パワーマージンを拡大することが可
能となる。
(A) shows an example in which the recording thin film layer 32 is formed on the substrate 31 having a flat surface, and (b) shows the recording thin film layer 32 provided on the substrate 21 having the guide grooves 27 having irregularities on the surface. It has a different structure. Under the respective conditions, the shape of the recording mark when the power of the irradiation light is low is changed to the wavy lines 33, 3
4 and the shapes of the recording marks formed when the recording power is high are shown by solid lines 35 and 36. In the case of recording on the flat surface portion as shown in FIG. 7A, when the recording power becomes higher, the recording mark expands in both the track direction and the track vertical direction due to the thermal diffusion 37 in the film surface direction of the thin film. Such a change in the recording mark shape results in a change in the signal amplitude during reproduction, resulting in an error during signal demodulation. On the other hand, when a signal is recorded on the guide groove as shown in (b), the recording mark 36 is the same as when recording on a flat surface when the recording power is low, but when the power is high, the recording mark 36 becomes a track of the recording mark. A recording mark 38 having a shape in which the expansion of the mark in the vertical direction is suppressed can be obtained. That is, thermal diffusion 38 in the direction perpendicular to the track is small. This is because the guide groove increases the effective distance for heat diffusion,
Further, it is conceivable that the film thickness of the recording thin film layer at the edge portion is reduced. Due to this heat shielding effect, the difference in the size (area) of the obtained recording mark with respect to the change in the recording power becomes small, so that the fluctuation in the signal amplitude becomes small and the operating power margin seen from the optical recording device is expanded. It becomes possible.

【0032】なお、ガイド溝の形状は、記録薄膜層の位
相変化量に応じてその形状を一定に範囲とする必要があ
る。記録マークの大きさが同じであっても、平面上への
記録と、ガイド溝への記録では、再生時の信号振幅が異
なる。ガイド溝が存在する場合は、記録マークによる位
相変化の上に、さらにガイド溝の凹凸間の段差で生じる
位相差とが重畳された結果が再生信号となる。このた
め、記録マーク36上を光スポットが移動した場合の反
射光量は、トラック方向成分は主にガイド溝の凹部の間
で生じる位相差により、トラックと垂直方向はガイド溝
の凸部との間で生じる位相差により決定される。すなわ
ち、ガイド溝の凸部で生じる位相差は、記録薄膜の持つ
位相差の項を減少する方向に作用する場合が多い。この
ため本実施例では、ガイド溝凹凸により生じる位相差を
相殺する方向に、位相変化を示す記録マークを形成され
るように設定する。
The shape of the guide groove must be within a certain range according to the phase change amount of the recording thin film layer. Even if the size of the recording mark is the same, the signal amplitude at the time of reproduction differs between recording on the plane and recording on the guide groove. When the guide groove is present, the reproduction signal is the result of superimposing the phase change caused by the recording mark and the phase difference caused by the step between the irregularities of the guide groove. Therefore, the amount of reflected light when the light spot moves on the recording mark 36 is between the track and the convex portion of the guide groove in the vertical direction because the track direction component is mainly due to the phase difference generated between the concave portions of the guide groove. It is determined by the phase difference caused by. That is, the phase difference generated at the convex portion of the guide groove often acts in the direction of decreasing the phase difference term of the recording thin film. For this reason, in this embodiment, the recording mark indicating the phase change is formed in the direction in which the phase difference caused by the unevenness of the guide groove is offset.

【0033】なお本実施例に用いる相変化記録媒体の記
録モードは、結晶状態(周辺部)の上にアモルファス状
態のマークを形成する形態で説明するが、光学的に位相
差を与える変化であれば逆方向の記録モードであっても
よい。また結晶状態と他の結晶状態間の状態変化を利用
した記録であってもよい。また、基板の溝形状について
は、レーザ光側に凸の形状を用いるが、逆にレーザ光側
に凹であっても良い。さらに、凹凸溝の溝深さについて
はλ/4n(n:基板の屈折率)について述べるが、記
録装置のサーボ系の構成、あるいはサーボの許容量に応
じて、本発明と同等の効果を示す値であれば良い。
The recording mode of the phase-change recording medium used in this embodiment will be described in the form of forming a mark in an amorphous state on the crystalline state (peripheral portion). For example, the recording mode in the reverse direction may be used. Further, the recording may be performed by utilizing the state change between the crystalline state and another crystalline state. Further, regarding the groove shape of the substrate, a convex shape on the laser light side is used, but conversely, it may be concave on the laser light side. Further, regarding the groove depth of the concave and convex grooves, λ / 4n (n: refractive index of the substrate) will be described. The same effect as the present invention is shown depending on the configuration of the servo system of the recording device or the allowable amount of servo. Any value is fine.

【0034】本実施例では、位相変化媒体の書換えに関
しては詳述しないが、本発明は従来の振幅変化に用いて
いる相変化型記録材料を用い、その膜厚構成を変化させ
ることで位相変化を得るものであり、書換え後において
も同様の効果を得ることができる。
In this embodiment, rewriting of the phase change medium will not be described in detail, but the present invention uses the phase change recording material used for the conventional amplitude change, and changes the phase by changing the film thickness constitution. The same effect can be obtained even after rewriting.

【0035】また位相変化を示す記録薄膜の構造は、図
2に示した4層構造以外に図4(a)に示すように、記
録層23の両側に透明層22、24を設けた3層構造、
あるいは(b)のように基板21と記録層23の間に透
明層22を設けた2層構造であっても実現できる。例え
ば記録層3として、Te4923P28の組成の3元合金
薄膜を用い、この薄膜の複素屈折率を測定したところ、
アモルファス状態が(3.1+1.2i)、300゜Cで
5分間の熱処理後の結晶状態が(3.9+1.6i)で
あった。光学計算から膜厚構成を求めた結果、2層構造
としては、透明層24にZnS、記録層をTe4923P
28の組成の薄膜を用い、それぞれの膜厚を97nm、
20nmとした場合に位相変化量が約(−π/2)とな
った。また3層構造として同様の材料を用い、透明層2
2、記録層23、透明層24をそれぞれ76nm、30
nm、130nmとした場合に、位相変化量が約(−π
/2)となった。以上のような薄膜の構成においても、
同様の位相変化構造のディスクを得ることが可能であ
る。さらに、複素屈折率の虚数部、即ち減衰係数が小さ
く、かつ2つの状態間で屈折率変化の大きな記録層を適
用すれば、基板上に記録層のみを形成した単層構造にお
いても、位相変化記録を実現することができる。
In addition to the four-layer structure shown in FIG. 2, the structure of the recording thin film showing a phase change is a three-layer structure in which transparent layers 22 and 24 are provided on both sides of the recording layer 23 as shown in FIG. Construction,
Alternatively, as in (b), a two-layer structure in which the transparent layer 22 is provided between the substrate 21 and the recording layer 23 can also be realized. For example, when a ternary alloy thin film having a composition of Te 49 O 23P d 28 was used as the recording layer 3 and the complex refractive index of this thin film was measured,
The amorphous state was (3.1 + 1.2i), and the crystalline state after heat treatment at 300 ° C. for 5 minutes was (3.9 + 1.6i). As a result of obtaining the film thickness constitution from the optical calculation, as the two-layer structure, the transparent layer 24 is ZnS and the recording layer is Te 49 O 23P.
Using a thin film of composition d 28 , each film thickness is 97 nm,
When it was set to 20 nm, the amount of phase change was about (−π / 2). The same material is used for the three-layer structure, and the transparent layer 2
2, the recording layer 23 and the transparent layer 24 at 76 nm and 30 respectively
nm and 130 nm, the amount of phase change is about (-π
/ 2). Even in the above thin film structure,
It is possible to obtain a disk having a similar phase change structure. Furthermore, if a recording layer having a small imaginary part of the complex refractive index, that is, a small attenuation coefficient and a large refractive index change between the two states is applied, the phase change can be achieved even in a single-layer structure in which only the recording layer is formed on the substrate. Recording can be realized.

【0036】(実施例1)記録パワーの変化に対し、記
録マークの形状を制限するガイド溝の構成に付いて説明
する。図5はガイド溝の巾を一定として、溝深さdを変
化させた場合に光学系の光検出器上に入射する反射光量
を示す。平面部(d=0)からの反射光量を基準として
相対値で示している。溝が深くなるにつれ反射光量が低
下し、λ/4nにおいて極小となる変化を示す。さらに
λ/4n以上になると光量が増大し、λ/2nにおいて
溝部からの反射光の位相が一回転(λ=2π)に等しく
なり平面と同等の反射光量となる。図よりガイド溝の変
化、即ち位相変化記録において最大の反射光量変化を示
す条件は、平面部とλ/4n深さの位相記録マークを形
成した場合であるといえる。なお、図はガイド溝のエッ
ジ部の形状が垂直であると仮定した理想状態を示してお
り、基板の形成条件によりエッジ部が斜面となった場合
は、曲線は、深さdの大きい方向にシフトし、かつ反射
光量の極小値は0よりも大きくなる。
(Embodiment 1) The structure of the guide groove for limiting the shape of the recording mark with respect to the change in recording power will be described. FIG. 5 shows the amount of reflected light which is incident on the photodetector of the optical system when the groove depth d is changed with the width of the guide groove being constant. The amount of light reflected from the flat surface portion (d = 0) is used as a reference and shown as a relative value. The amount of reflected light decreases as the groove becomes deeper, and shows a minimum change at λ / 4n. Further, when it becomes λ / 4n or more, the amount of light increases, and at λ / 2n, the phase of the reflected light from the groove becomes equal to one rotation (λ = 2π), and the amount of reflected light becomes equivalent to that of a plane. From the figure, it can be said that the condition that the change of the guide groove, that is, the maximum change of the reflected light amount in the phase change recording is the case where the phase recording mark having the flat portion and the λ / 4n depth is formed. The figure shows an ideal state in which the shape of the edge portion of the guide groove is assumed to be vertical. When the edge portion is a slope due to the formation conditions of the substrate, the curve is in the direction of large depth d. It shifts and the minimum value of the reflected light amount becomes larger than zero.

【0037】図6はガイド溝の深さdを変えた基板上に
位相変化記録を行った場合の概念図を示す。前述のよう
に位相変化記録の記録状態は、形状変化により生じるも
のではないが、薄膜の反射率が変化せずに位相だけが変
化するということから、凹凸を形成する記録とみなすこ
とができる。図6(a)、(b)、(c)の順に、0、
λ/8n、λ/4nの深さのガイド溝の場合を示す。記
録薄膜で生じる位相変化量は、記録マーク部と未記録部
で最大の位相差を示す−πとした。なお、ここでλ/n
=2πであり、溝深さを示す場合はλで示し、位相差の
場合はπを基準に記述する。平面、ガイド溝60、61
上に記録により生じた記録マークによる位相の変化は、
図1で説明したように入射した光ビーム15に対し、凹
凸ピットを形成した場合と同様に作用する。このため図
6では、ガイド溝の60、61と記録マークの位相関係
の理解を容易にするため、位相を凹凸で表現した仮想マ
ーク62で用いる。相変化体媒体への記録、ここでは結
晶状態の上にアモルファスの記録マークを形成した状態
は、平面あるいはガイド溝61、62の上に−πの位相
差に相当するλ/4の凹凸ピットを形成した形状とな
る。この際の反射光量は、(b)の場合はそれぞれの構
造において位相変化による凹凸(仮想マーク)と、ガイ
ド溝の凹面60、61と、平面63の間で生じる位相3
つの成分の合成で表わされる。ここで溝深さλ/4nの
(c)の場合は、平面部に記録した(a)と同様に仮想
マーク62と基板の平面63が同一平面となり、未記録
部と記録マークの間で生じる反射光量差が最大となる。
この結果、従来の再生専用のピット信号と同等の位相変
化量が得られることがわかる。
FIG. 6 is a conceptual diagram when phase change recording is performed on a substrate in which the depth d of the guide groove is changed. As described above, the recording state of the phase change recording does not occur due to the shape change, but since only the phase changes without changing the reflectance of the thin film, it can be regarded as the recording in which the unevenness is formed. 6 (a), (b), and (c) in this order, 0,
The case of a guide groove having a depth of λ / 8n or λ / 4n is shown. The amount of phase change generated in the recording thin film was set to −π, which indicates the maximum phase difference between the recorded mark portion and the unrecorded portion. Where λ / n
= 2π, the groove depth is indicated by λ, and the phase difference is described by π. Flat surface, guide groove 60, 61
The phase change due to the recording mark caused by the recording above is
As described with reference to FIG. 1, the incident light beam 15 operates similarly to the case where the concave and convex pits are formed. Therefore, in FIG. 6, in order to facilitate understanding of the phase relationship between the guide grooves 60 and 61 and the recording mark, a virtual mark 62 in which the phase is expressed by unevenness is used. When recording on a phase-change medium, in this case the state where an amorphous recording mark is formed on a crystalline state, an uneven pit of λ / 4 corresponding to a phase difference of −π is formed on a flat surface or guide grooves 61 and 62. It becomes the formed shape. In the case of (b), the amount of reflected light at this time is the phase 3 generated between the unevenness (virtual mark) due to the phase change, the concave surfaces 60 and 61 of the guide groove, and the plane 63 in each structure.
It is represented by the composition of two components. Here, in the case of (c) with the groove depth λ / 4n, the virtual mark 62 and the flat surface 63 of the substrate become the same plane as in the case of (a) recorded on the flat surface portion, which occurs between the unrecorded portion and the recorded mark. The difference in the amount of reflected light becomes maximum.
As a result, it can be seen that the same amount of phase change as that of the conventional reproduction-only pit signal can be obtained.

【0038】例えば、前述の構成の位相変化媒体を深さ
λ/4nのガイド溝を有する基板に形成し、このガイド
溝に信号を記録した場合は、記録マークの位相変化量が
−0.86πであるため、仮想マークと平面の段差が+
0.14πとなり通常のガイド溝の深さが約1/7とな
る記録を行ったことになる。この場合においても信号振
幅としては充分なレベルが得られる。なお、この−0.
86πの位相変化を示す域録媒体に対しては、理想的に
は、0.86πの位相差を与えるガイド溝、即ち0.2
15λの深さのガイド溝を用ることで最大の振幅を得る
ことができる。
For example, when the phase change medium having the above-described structure is formed on a substrate having a guide groove having a depth of λ / 4n and a signal is recorded in this guide groove, the phase change amount of the recording mark is -0.86π. Therefore, the step between the virtual mark and the plane is +
The recording was performed with 0.14π, and the depth of the normal guide groove was about 1/7. Even in this case, a sufficient level can be obtained as the signal amplitude. Note that this −0.
For a recording medium showing a phase change of 86π, ideally a guide groove giving a phase difference of 0.86π, that is, 0.2
The maximum amplitude can be obtained by using the guide groove having a depth of 15λ.

【0039】以上のように位相変化媒体の位相変化を最
大に利用するには、記録薄膜層による位相変化量と、ガ
イド溝による位相差の絶対値を一致させ、かつその位相
の方向が逆極性であること。またいずれの位相差につい
ても、その絶対値はλ(位相変化量=2π)の整数倍の
値を加算した値としても同等の効果が得られる。
As described above, in order to make maximum use of the phase change of the phase change medium, the phase change amount due to the recording thin film layer and the absolute value of the phase difference due to the guide groove are made to coincide, and the direction of the phase has the opposite polarity. To be. Further, the same effect can be obtained even if the absolute value of any of the phase differences is a value obtained by adding a value that is an integral multiple of λ (phase change amount = 2π).

【0040】しかし図5で示したように、溝深さλ/4
nの未記録状態のガイド溝からは、従来のプッシュプル
のトラッキング方式では、照射した光に対し無反射条件
となるため制御信号が得られない。これを解決するた
め、図7では、データ領域71とサーボ領域72を分離
できるサンプルサーボ方式を採用する。連続的なガイド
溝73から構成される記録トラックの中央線上から両側
にpだけずれたサンプルピット74、75を、データ領
域に配置し、このサンプルピット74からの再生信号を
もとにトラッキング信号を得る方法である。トラッキン
グサーボに際しては、前方のサンプルピットと一対をな
す後方のサンプルピット74、75からの再生光量が一
定になるようなサーボを行い、データ領域の連続溝73
では、前述のサンプルピットからの制御信号をホールド
することでトラッキング制御を行う。このサンプルピッ
ト場合は、たとえピットの深さがλ/4nであったとし
ても、いずれかのピットからは信号が得られるため、安
定なトラッキングサーボ状態が得られる。位相変化の信
号はクロックピット76からのタイミング信号に応じ
て、レーザー光を変調することにより記録を行う。な
お、フォーカス信号についても同様に上記連続溝の領域
外で、主としてサーボを行うことが望ましい。
However, as shown in FIG. 5, the groove depth λ / 4
In the conventional push-pull tracking method, a control signal cannot be obtained from n unrecorded guide grooves in the conventional push-pull tracking method because the irradiated light is in a non-reflective condition. In order to solve this, in FIG. 7, a sample servo method that can separate the data area 71 and the servo area 72 is adopted. Sample pits 74 and 75, which are deviated by p on both sides from the center line of the recording track constituted by the continuous guide groove 73, are arranged in the data area, and the tracking signal is generated based on the reproduction signal from the sample pit 74. Is the way to get. At the time of tracking servo, servo is performed so that the amount of reproducing light from the rear sample pits 74 and 75 forming a pair with the front sample pit becomes constant, and the continuous groove 73 in the data area is formed.
Then, tracking control is performed by holding the control signal from the above-mentioned sample pit. In the case of this sample pit, even if the depth of the pit is λ / 4n, a signal can be obtained from any one of the pits, so that a stable tracking servo state can be obtained. The phase change signal is recorded by modulating the laser light according to the timing signal from the clock pit 76. Similarly, it is desirable that the focus signal is mainly servoed outside the region of the continuous groove.

【0041】次にガイド溝の溝幅W1の設定方法につい
て述べる。このマークを記録するガイド溝の溝幅W1を
段階的に変化させて記録パワーに対する信号の測定を行
った。前記層構成の薄膜を、線速度10m/sの線速度
で回転させ、780nmの半導体レーザ光を開口数NA
=0.5のレンズで記録層上に絞り込み、6MHzの信
号を記録する実験を行った。レーザ光のパワーをバイア
スレベルを5mWとし、ピークレベルのパワーを段階的
に変え、各パワーに対する信号品質(C/N)を測定し
た。この結果、溝の存在しない平面に記録した場合は、
ピークパワー15mWを最大とする変化を示したのに対
し、溝幅0.2〜0.8μmの範囲では、C/Nが記録
パワー変動±5%の範囲で±1dB以下範囲で変動の小
さい領域が存在した。特に0.3〜0.6μmの範囲に
おいては、ピークパワー±10%の増大に対し信号振幅
の変化が小さかった。また、信号振幅が一定値を示すパ
ワーは、溝幅が大きいほど高パワー側にシフトした。こ
の信号振幅変化が小さかったパワー領域の記録状態を透
過電子顕微鏡で観察した結果、ガイド溝のエッジにおい
てマークの幅が制限されていることが確認できた。これ
は溝のエッジ部における段差によって、記録マークの中
心からの熱の拡散が妨げられることを意味している。こ
の結果から溝幅を上記の条件に設定する基板を用いるこ
とにより、記録パワーの変動に対して一定の記録幅を持
つ記録が可能となる。即ち、位相変化記録のように小さ
いマークを形成する場合は、溝エッジによる断熱条件
を、最適に選択することにより、良好な記録条件を得る
ことが可能となる。
Next, a method of setting the groove width W1 of the guide groove will be described. The width W1 of the guide groove for recording this mark was changed stepwise to measure the signal with respect to the recording power. The thin film having the above-mentioned layer structure is rotated at a linear velocity of 10 m / s, and a semiconductor laser beam of 780 nm is irradiated with a numerical aperture NA.
An experiment for recording a 6 MHz signal was performed by focusing on the recording layer with a lens of 0.5. The power of the laser light was set to a bias level of 5 mW, the power of the peak level was changed stepwise, and the signal quality (C / N) for each power was measured. As a result, when recording on a plane without grooves,
The peak power of 15 mW was shown as the maximum change, whereas in the range of the groove width of 0.2 to 0.8 μm, the C / N was within the range of ± 5% of the recording power fluctuation and within the range of ± 1 dB or less. Existed. Particularly, in the range of 0.3 to 0.6 μm, the change of the signal amplitude was small with respect to the increase of the peak power ± 10%. In addition, the power at which the signal amplitude has a constant value shifted to the higher power side as the groove width increased. As a result of observing the recording state in the power region where the signal amplitude change was small with a transmission electron microscope, it was confirmed that the mark width was limited at the edge of the guide groove. This means that the step at the edge portion of the groove hinders the diffusion of heat from the center of the recording mark. From this result, by using a substrate whose groove width is set to the above condition, it becomes possible to perform recording with a constant recording width with respect to fluctuations in recording power. That is, in the case of forming a small mark such as phase change recording, it is possible to obtain good recording conditions by optimally selecting the heat insulation conditions for the groove edges.

【0042】ここで示した溝幅条件は波長780nm、
開口数=0.5により決定される光スポットの場合での
結果であり、光学系の設計により絞りが変わった場合
は、次式の関係となる。上記条件で得られた0.2〜
0.8μmの溝幅、即ちパワー変動±5%に対して、C
/Nの変化が±1dB以下となる溝幅W1は、波長を
λ、開口数NAとすると次式の関係となる。
The groove width condition shown here is a wavelength of 780 nm,
This is the result in the case of a light spot determined by the numerical aperture = 0.5, and when the diaphragm is changed by the design of the optical system, the relationship of the following equation is established. 0.2-obtained under the above conditions
For a groove width of 0.8 μm, that is, a power fluctuation of ± 5%, C
The groove width W1 at which the change in / N is ± 1 dB or less is expressed by the following equation, where λ is the wavelength and NA is the numerical aperture.

【0043】 0.13 ≦ W1×NA/λ ≦ 0.51 (式1) なお、本実施例と記録媒体の薄膜各層の膜厚構成、ある
いは構成する物質の熱伝導率が大きく異なる場合は上記
の溝幅だけでなく、必要に応じて溝の深さ、および溝エ
ッジ形状を含めた最適な値を選ぶ必要がある。
0.13 ≤ W1 × NA / λ ≤ 0.51 (Equation 1) In the case where the film thickness constitution of each thin film layer of the recording medium or the thermal conductivity of the constituent substances is greatly different from the above embodiment, It is necessary to select not only the groove width, but also the groove depth and the groove edge shape as required.

【0044】(実施例2)溝幅のエッジによる断熱効果
を得る方法としては、記録マークの周囲を溝エッジで囲
むと更に効果的である。従来の反射率変化を利用した相
変化媒体において、繰返し記録の耐久性を向上させる方
法として、連続溝からなるガイドトラックの代わりに、
カプセル状のピットを形成する方法が提案されている
(Jpn.J.Appl.Phys.Vol.31(1992)p.482)。カプセル状
のピットの中央にレーザ光を短時間パルス照射すること
により、記録時のトータルの照射エネルギーが従来方式
よりも小さくできることから、薄膜の記録寿命が向上す
ることが報告されている。本実施例では、同様の配置か
らなるピットカプセルを備えた基板上に、位相変化を示
す薄膜を形成する事により記録媒体を得る。図8は、実
施例1で示したガイド溝に対応した部分を、円形の凹凸
ピットを近接して設けるピットカプセルで構成したもの
である。なおトラッキング方式は前述のサンプルサーボ
方式を用い、ピットカプセル81は、クロックピット7
6から一定の間隔で形成し、かつ各ピットカプセルのト
ラック方向のピッチCpは、カプセルの直径W2の2倍
以下で近接して設ける。信号の記録時には、光ビームが
クロックピット76を検出したタイミングから一定の時
間間隔のレーザパルスを照射することにより、所定のピ
ットカプセルの中央に記録を行うものである。
(Embodiment 2) As a method of obtaining the heat insulating effect by the edge of the groove width, it is more effective to surround the periphery of the recording mark with the groove edge. In a conventional phase change medium utilizing the change in reflectance, as a method of improving the durability of repeated recording, instead of a guide track consisting of continuous grooves,
A method for forming capsule-shaped pits has been proposed (Jpn.J.Appl.Phys.Vol.31 (1992) p.482). It has been reported that by irradiating the center of the capsule-shaped pit with a laser beam for a short time, the total irradiation energy at the time of recording can be made smaller than that of the conventional method, so that the recording life of the thin film is improved. In this embodiment, a recording medium is obtained by forming a thin film exhibiting a phase change on a substrate provided with pit capsules having the same arrangement. FIG. 8 shows that the portion corresponding to the guide groove shown in Example 1 is formed by a pit capsule in which circular concave and convex pits are provided close to each other. The tracking system uses the sample servo system described above, and the pit capsule 81 is a clock pit 7.
6 are formed at regular intervals, and the pitch Cp of each pit capsule in the track direction is twice or less than the diameter W2 of the capsules and provided close to each other. At the time of recording a signal, the light beam irradiates a laser pulse at a constant time interval from the timing at which the clock pit 76 is detected, thereby recording at the center of a predetermined pit capsule.

【0045】このピットカプセル81に、前述の記録薄
膜層を形成し、その上にマークを形成した場合の位相か
ら見た記録状態の概念図を図9に示す。基板91の表面
には、深さdがλ/4nピットカプセル81を設けた。
記録薄膜層は結晶状態(未記録状態)の薄膜に記録光を
照射すると、アモルファス状態の記録マークが形成し、
その間で生じる位相差をーπとする。アモルファス状態
となった記録マークは、入射する光ビーム15に対し、
仮想マーク92で示すように、ピットカプセルによる段
差が消滅し平面部93と同等の高さとなったように作用
する。
FIG. 9 shows a conceptual view of a recording state when the recording thin film layer is formed on the pit capsule 81 and a mark is formed on the recording thin film layer as viewed from the phase. On the surface of the substrate 91, a pit / 4 pit capsule 81 having a depth d was provided.
When the recording thin film layer is irradiated with recording light on a thin film in a crystalline state (unrecorded state), an amorphous state recording mark is formed,
The phase difference generated between them is −π. The recording mark in the amorphous state, with respect to the incident light beam 15,
As indicated by the virtual mark 92, the step due to the pit capsule disappears, and the height becomes equivalent to that of the flat surface portion 93.

【0046】つぎに、実際にピットカプセル81を備え
た基板上に位相変化薄膜を形成し、信号を記録した実験
結果に付いて説明する。カプセルの直径を0.7μmと
し、0.8μmのピッチで配列したピットカプセル列を
設け、各カプセルに交互にアモルファスマークを形成す
る記録を行った。記録の光学系は前記連続溝と同じ条件
で、記録パルス幅を20nsとして、ピットカプセルに
交互にパルスを照射する記録を行った。この結果、C/
Nは18mWを中心として±15%以上の範囲でほぼ一
定の値を示し、ピットカプセルのエッジにより記録マー
クの断熱効果が有効に働いていることがわかった。ま
た、同様の検討を、従来の反射率変化を示す薄膜の測定
結果と比較すると、記録パワーに対するC/Nの変化は
同等であったが、信号振幅がC/Nの絶対値が6dB以
上と大きく上昇していることがわかった。即ち、ピット
カプセルは、従来の反射率変化を利用した記録の場合に
は、熱的なダメージを改善する効果はあるが、反対に信
号検出から見ると、ピットカプセルが反射率変化をの信
号振幅を減少させる方向に機能する。これに対し、位相
変化媒体を用いた場合は、信号振幅を大きく、かつ記録
パワーの動作マージンを大きく確保することが可能とな
る。さらに、薄膜の熱的なダメージを抑制する効果は、
反射率変化と同様に小さくする事が可能となる。
Next, the experimental results of recording a signal by actually forming a phase change thin film on the substrate having the pit capsule 81 will be described. Recording was performed by setting the diameter of the capsules to 0.7 μm, providing pit capsule rows arranged at a pitch of 0.8 μm, and forming amorphous marks alternately on each capsule. The recording optical system was recorded under the same conditions as the continuous groove, with a recording pulse width of 20 ns, and the pit capsules were alternately irradiated with pulses. As a result, C /
N showed a substantially constant value in the range of ± 15% or more centered on 18 mW, and it was found that the heat insulating effect of the recording mark was effectively exerted by the edge of the pit capsule. Further, comparing the same examination with the measurement result of the thin film showing the conventional reflectance change, although the change of C / N with respect to the recording power was equal, the absolute value of C / N of the signal amplitude was 6 dB or more. It turned out to be a big rise. That is, the pit capsule has the effect of improving the thermal damage in the case of the recording using the conventional reflectance change, but from the viewpoint of signal detection, on the contrary, the pit capsule shows the signal amplitude of the reflectance change. Function to decrease. On the other hand, when the phase change medium is used, it is possible to secure a large signal amplitude and a large recording power operation margin. Furthermore, the effect of suppressing thermal damage to the thin film is
It is possible to make it as small as the reflectance change.

【0047】以上のようにピットカプセルを用いた基板
を用いることにより、記録時のパワー変動に対する許容
幅を大幅に拡大することが可能となる。さらに、同方式
の従来反射率変化記録に比べ、信号品質の高い記録が可
能となる。
As described above, by using the substrate using the pit capsule, it is possible to greatly expand the permissible range with respect to the power fluctuation during recording. Further, it is possible to perform recording with higher signal quality than the conventional reflectance change recording of the same system.

【0048】なお、ここで示したピットカプセルを用い
たガイド溝の効果は、連続溝の熱遮断効果をさらに促進
するものであるが、再生時に得られる信号としては連続
溝に記録した場合と同様に扱うことができる。よって以
降の実施例では、説明を簡素化させるためガイド溝の表
現の中には、連続溝とカプセルピットの2つの概念を含
めて説明する。
Although the effect of the guide groove using the pit capsule shown here further promotes the heat-shielding effect of the continuous groove, the signal obtained during reproduction is the same as when recording in the continuous groove. Can be treated to. Therefore, in the following embodiments, in order to simplify the description, the description of the guide groove will be described including two concepts of a continuous groove and a capsule pit.

【0049】(実施例3)実施例2、3は、サンプルサ
ーボ方式のガイド溝を用いる方法であったが、ここでは
連続サーボ方式にガイド溝を用いて記録する方式につい
て説明する。
(Embodiment 3) In Embodiments 2 and 3, the method of using the guide groove of the sample servo system was used. Here, a method of recording using the guide groove in the continuous servo system will be described.

【0050】(表1)は溝深さに対する光量変化とサー
ボ動作の安定性を示す。なお、サーボ方式としてはフォ
ーカス制御には非点収差法あるいはナイフエッジ法を、
トラッキング制御には再生専用ディスクに用いられてい
る3スポット法を用いた場合の比較である。
Table 1 shows the change in the light quantity with respect to the groove depth and the stability of the servo operation. As the servo method, the astigmatism method or knife edge method is used for focus control.
This is a comparison when the three-spot method used for a read-only disc is used for tracking control.

【0051】[0051]

【表1】 [Table 1]

【0052】従来のサーボ方式では、(表1)から信号
振幅が大きくかつサーボ信号が得られるという2つを同
時に満足する条件が存在しないことがわかる。これを解
決する方法として以後の実施例は、深さλ/4n近傍の
ガイド溝を用いた記録媒体のフォーカス制御を可能にす
ることにより信号を記録再生する方法を示す。
In the conventional servo system, it can be seen from (Table 1) that there is no condition that simultaneously satisfies the two conditions of a large signal amplitude and a servo signal being obtained. As a method of solving this, the following embodiments show a method of recording / reproducing a signal by enabling focus control of a recording medium using a guide groove near a depth λ / 4n.

【0053】図10に本光学情報記録装置の光学系
(a)と光の変調波形と得られる記録マークの関係を示
す。光記録媒体100をモータ101により回転させた
状態で、光を照射する。半導体レーザ102からの光
は、ビーム分割用の回折格子103で、0次、±1次の
回折光となり、コリメータレンズ104で平行光とな
り、PBS105、λ/4板106、対物レンズ107
を透過し、記録媒体100の記録薄膜面に3つの光スポ
ットとなって集光される。記録薄膜からの反射光は、対
物レンズ107、λ/4板106を透過し、PBS10
5により反射され、円筒レンズ108により、複数の受
光面を有する光検出器109上に集光される。光検出器
109からの出力信号をもとに、信号を増幅し、再生信
号、フォーカスエラー信号、あるいはトラッキングエラ
ー信号を作成し、ボイスコイル107bによりサーボ動
作を行う。
FIG. 10 shows the relationship between the optical system (a) of the present optical information recording apparatus, the modulation waveform of light, and the obtained recording mark. Light is emitted while the optical recording medium 100 is rotated by the motor 101. The light from the semiconductor laser 102 becomes 0th order and ± 1st order diffracted light at the beam splitting diffraction grating 103 and becomes parallel light at the collimator lens 104, and the PBS 105, the λ / 4 plate 106, and the objective lens 107.
And is condensed into three light spots on the recording thin film surface of the recording medium 100. The reflected light from the recording thin film passes through the objective lens 107 and the λ / 4 plate 106, and the PBS 10
It is reflected by 5, and is condensed by a cylindrical lens 108 on a photodetector 109 having a plurality of light receiving surfaces. Based on the output signal from the photodetector 109, the signal is amplified to create a reproduction signal, a focus error signal, or a tracking error signal, and the voice coil 107b performs a servo operation.

【0054】図11は光記録部材上の光スポットの構成
を示す。凹凸状の連続溝から形成されたガイド溝110
に、回折光子の回折された光の0次光に対応した1のス
ポット111、±1次の回折光に対応した第2のサブス
ポット112、113の3つのスポット列が集光され
る。以後、第1次のスポット111をメインスポット、
第2、第3次のスポットをサブスポットとも呼ぶ。な
お、各スポットを結ぶ中心軸は、ガイド溝110の方向
に傾いた傾き、傾き量としてはメインスポット111と
サブスポット112、113はガイド溝の方向にトラッ
クピッチTpの1/4程度ずれた位置に配置する。サブ
スポット112、113からの反射光あるいは透過光を
検出することにより、光ビームのフォーカス制御とトラ
ッキング制御を行う。メインスポット111により記録
媒体に信号を記録し、さらに記録媒体からの反射光ある
いはあるいは透過光を検出することにより記録された情
報信号を再生する。
FIG. 11 shows the structure of a light spot on the optical recording member. A guide groove 110 formed from a continuous groove having irregularities
Then, three spot rows of the 1 spot 111 corresponding to the 0th order of the diffracted light of the diffracted photons and the 2nd sub-spots 112 and 113 corresponding to the ± 1st order diffracted lights are condensed. After that, the primary spot 111 is the main spot,
The secondary and tertiary spots are also called sub-spots. The center axis connecting the respective spots is tilted in the direction of the guide groove 110, and as the tilt amount, the main spot 111 and the sub-spots 112 and 113 are displaced by about 1/4 of the track pitch Tp in the guide groove direction. To place. Focusing control and tracking control of the light beam are performed by detecting reflected light or transmitted light from the sub-spots 112 and 113. A signal is recorded on the recording medium by the main spot 111, and the recorded information signal is reproduced by detecting reflected light or transmitted light from the recording medium.

【0055】図のようにガイド溝110の中央にメイン
スポット111が位置する場合には、ガイド溝からの反
射光は回折により光検出器上には入射しなくなる。しか
し、サブスポット112、113は、ガイド溝の中央か
ら一定の距離ずれた位置に照射される。このため、各サ
ブスポット112、113には一定の光量が光検出器に
入射する。このことを利用して本発明では制御信号を得
る。
When the main spot 111 is located at the center of the guide groove 110 as shown in the figure, the reflected light from the guide groove does not enter the photodetector due to diffraction. However, the sub-spots 112 and 113 are irradiated at a position displaced from the center of the guide groove by a certain distance. Therefore, a certain amount of light is incident on the photodetector at each of the sub-spots 112 and 113. Utilizing this fact, the present invention obtains a control signal.

【0056】本実施例の位相変化記録に用いている相変
化材料は、単一の光ビームの強度変調により記録が行わ
れる。図10(b)記録時のレーザ光の強度変化と得ら
れる記録マークを示す。なお、各パワーはメインスポッ
ト111の強度変化とする。メインスポットのパワー
を、再生時パワーPrから情報信号に対応してピークパ
ワーPpとバイアスパワーPbの間で変調した光を光デ
ィスク上のトラック110上の記録薄膜に照射すること
により行う。このような光が照射されると、照射部はピ
ークパワーの照射された部分3aはアモルファス状態
に、バイアスパワーの照射された部分3bは結晶状態に
変化する。これは以前の記録状態がいずれであっても、
関係なくそれぞれの状態となる。以上の特性から相変化
媒体によるオーバライトが行われる。
The phase change material used in the phase change recording of this embodiment is recorded by intensity modulation of a single light beam. FIG. 10B shows the change in laser light intensity during recording and the obtained recording mark. Note that each power is a change in the intensity of the main spot 111. The power of the main spot is obtained by irradiating the recording thin film on the track 110 on the optical disc with light modulated from the reproducing power Pr between the peak power Pp and the bias power Pb corresponding to the information signal. When such a light is irradiated, the irradiated portion changes the peak power irradiated portion 3a into an amorphous state and the bias power irradiated portion 3b into a crystalline state. This is whatever the previous recording status was,
It will be in each state regardless. Due to the above characteristics, the phase change medium is used for overwriting.

【0057】ここで問題となるのは、メインビーム11
1とサブビーム112、113は同一の半導体レーザか
ら出射されているため、メインビームの変化は同時にサ
ブビームのパワー変化となる点である。光記録装置は、
使用環境や光学系の変動、さらに光記録媒体の経時変化
等を考慮し、照射パワー変動に対して一定の許容巾を持
つことが必要である。このため、想定される最大のピー
クパワーによる記録がなされた場合に、サブビーム11
2、113により記録トラック、あるいは隣接トラック
の記録信号を消去しないことが必要である。ここでは、
回折格子により分離されたサブビームとメインビームと
の光量比が、次の条件を一定の範囲に設定しる。記録時
のアモルファス化を行うメインビームの最大ピークパワ
ーPp-maxと、結晶化を行う最小のバイアスパワーPb-min
とした場合、メインビームパワーP-mainと片方のサブビ
ームのパワーP-subの間には、 P-main/P-sub > Pp-max/Pb-min (式2) の関係が成立する値とする。以上の構成とすることで前
述のサブビームによる記録マークの消去は防止できる。
The problem here is that the main beam 11
Since 1 and the sub-beams 112 and 113 are emitted from the same semiconductor laser, the change in the main beam is a change in the power of the sub-beam at the same time. The optical recording device
It is necessary to have a certain allowable range with respect to fluctuations in irradiation power in consideration of changes in the operating environment and optical system, and changes over time in the optical recording medium. Therefore, when recording is performed with the maximum expected peak power, the sub-beam 11
It is necessary that the recording signal of the recording track or the adjacent track is not erased by 2 and 113. here,
The light quantity ratio between the sub beam and the main beam separated by the diffraction grating sets the following condition within a certain range. The maximum peak power Pp-max of the main beam that amorphizes during recording and the minimum bias power Pb-min that crystallizes.
Then, between the main beam power P-main and the power P-sub of one of the sub-beams, a value that satisfies the relationship of P-main / P-sub> Pp-max / Pb-min (Equation 2) To do. With the above configuration, it is possible to prevent the above-mentioned erasure of the recording mark by the sub beam.

【0058】図12は光検出器の構成を示し、(a)は
従来から用いられている3ビームサーボ用であり、
(b)は本発明の構成を示す。(a)に示すサーボ方式
は、メインスポット111からの反射光を検出器120
に受光し、その分布を一定とすることでフォーカス制御
を行い、サブスポット112、113からの反射光を光
検出器121、122により検出し、その強度差からト
ラッキング制御信号TEを得、制御を行っていた。しか
し、(表1)で示したように深さλ/4nのガイド溝を
用いた場合は、未記録の状態で、ガイド溝上に光ビーム
が照射された場合は、無反射条件となり反射光がディテ
クタ上に入射しなくなる。このため、メインビームによ
るフォーカスサーボが不可能となる。
FIG. 12 shows the structure of the photodetector. (A) is for a conventionally used three-beam servo,
(B) shows the configuration of the present invention. The servo system shown in (a) uses the detector 120 for detecting the reflected light from the main spot 111.
Focusing control is performed by receiving the light on the surface of the sub-spots 112 and 113, and the reflected light from the sub-spots 112 and 113 is detected by the photodetectors 121 and 122, and the tracking control signal TE is obtained from the intensity difference between them to perform control. I was going. However, as shown in (Table 1), when a guide groove having a depth of λ / 4n is used, in the unrecorded state, when a light beam is irradiated onto the guide groove, no reflection condition occurs and reflected light becomes It will not be incident on the detector. Therefore, focus servo by the main beam becomes impossible.

【0059】これを解決するため、図12(b)のよう
に、サブスポット112、113の反射光を4分割の検
出器124、125を用いて、その出力信号により光検
出器上の光の分布が一定になるようにする事でフォーカ
ス制御を行う。前述のように、サブスポットは、ガイド
溝のトラックピッチの1/4程度ずれた位置にあるた
め、メインビームがガイド溝の中央にある状態にでも一
定の光量が光検出器上に入射する。この結果、λ/4n
のガイド溝にサーボが可能となる。
In order to solve this, as shown in FIG. 12B, the reflected light of the sub-spots 112 and 113 is divided into four detectors 124 and 125, and the output signals of the detectors 124 and 125 are used to detect the light on the photo detector. Focus control is performed by making the distribution constant. As described above, the sub-spot is located at a position displaced by about 1/4 of the track pitch of the guide groove, so that a constant amount of light is incident on the photodetector even when the main beam is in the center of the guide groove. As a result, λ / 4n
Servo is possible in the guide groove of.

【0060】なお、ここでは2つの検出器124、12
5を同時に用いてフォーカス制御を行う例を示したが、
いずれか一方の検出器だけを用いてもよい。また、メイ
ンスポット用の光検出器123の受光面を1つとした
が、4分割とすれば従来の3ビームサーボを併用した制
御を行うことも可能である。また、フォーカス制御法と
してナイフエッジ法を適用する場合は、図10に示すレ
ンズ108を通常の球面レンズとし、光検出器109の
直前に反射光の一部を遮蔽する遮蔽板を設ければよい。
Here, the two detectors 124 and 12 are used.
Although an example of performing focus control by using 5 at the same time is shown,
Only one of the detectors may be used. Further, the light-receiving surface of the photodetector 123 for the main spot is one, but if the light-receiving surface is divided into four, it is possible to perform control using the conventional three-beam servo together. When the knife edge method is applied as the focus control method, the lens 108 shown in FIG. 10 may be an ordinary spherical lens, and a shield plate for shielding a part of the reflected light may be provided just before the photodetector 109. .

【0061】(実施例4)実施例3では、照射する3ス
ポットの中のサブスポットを用いてフォーカス制御を行
うことを示したが、ここでは図12(a)で示した従来
の光検出系系によりサーボ動作が可能な方法に関する。
(Embodiment 4) In Embodiment 3, the focus control is carried out by using the sub-spots of the three irradiation spots. Here, the conventional photodetection system shown in FIG. 12 (a) is used. The present invention relates to a method capable of servo operation depending on the system.

【0062】(表1)に示したようにλ/4nのガイド
溝を用いた場合は、未記録状態ではフォーカス制御が不
可能である。また、記録状態ではメインスポットからの
反射光は、光検出器上に入射する。このことを利用して
本実施例では、光記録媒体の形成時に疑似的な記録を行
うことで従来の光検出器でフォーカス制御を可能とす
る。
When the guide groove of λ / 4n is used as shown in (Table 1), focus control is impossible in the unrecorded state. Further, in the recording state, the reflected light from the main spot is incident on the photodetector. Utilizing this fact, in the present embodiment, focus control can be performed by the conventional photodetector by performing pseudo recording when forming the optical recording medium.

【0063】本発明の光記録媒体の製造工程を図13に
示す。ディスクそのものを形成するため工程としては、
表面にガイド溝を有する基板を射出成形等の方法で形成
する基板成形工程131、基板の基板上に記録薄膜層を
スパッタリング法などにより形成する成膜工程132、
薄膜層の上に樹脂などの保護層を形成する保護処理工程
133がある。この段階での記録薄膜は成膜されたまま
のアモルファス状態である。つぎに初期化A134によ
り、アモルファスからを結晶状態に変化させる処理を行
う。この状態が実施例1、2、3で示した未記録状であ
る。本発明においては、さらにこの状態の記録媒体にレ
ーザ光を照射する初期化B135を行う。初期化Bは、
照射するレーザ光の波長を、実際にデータ記録を行うレ
ーザ光と異なる値のものを用いる。ここでは、レーザー
光源にArレーザを用い、例えば図10に示した光学系
の半導体レーザ部を置き換え、かつArレーザの波長に
合わせた光学部品で構成することにより、光記録媒体上
に、フォーカス制御を行う。この場合は、ガイド溝の深
さは、前述の波長780nmの半導体レーザに適合させ
ているため、Arレーザの波長524nmでは、溝深さ
が1.5倍となる。即ち、780nmのλ/4nの深さ
の溝は、524nmでは3λ/8nに相当し、メインビ
ームにおいても充分な光量が検出器上に入射し、フォー
カス制御が可能となる。またトラッキング制御は、従来
と同等にサブビームの反射光を用いて行う。このような
工程により、フォーカス・トラッキング制御を行った状
態で、Arレーザー光をAO変調器、あるいはEO変調
器により所定の周波数の変調を行うことにより、光記録
媒体のガイド溝上に一定の濃淡パターンからなる記録マ
ークが形成される。一旦この状態が得られたならば、図
10に示す半導体レーザを搭載した光学系によりフォー
カス制御が可能となり、以後のデータの記録が可能とな
る。なお、初期化Bにおいて形成される記録マークは、
実使用状態のデータ信号とは識別可能な形態とする。こ
れには実データではないことを示す識別信号を記録媒体
上の特定の領域に設ける、あるいはパターンをデータパ
ターンと異なる形態とすることで未記録状態であること
を確認することが可能となる。
FIG. 13 shows the manufacturing process of the optical recording medium of the present invention. As a process for forming the disc itself,
A substrate forming step 131 for forming a substrate having a guide groove on the surface by a method such as injection molding, a film forming step 132 for forming a recording thin film layer on the substrate by a sputtering method or the like,
There is a protection processing step 133 for forming a protective layer such as resin on the thin film layer. The recording thin film at this stage is in an amorphous state as it is formed. Next, initialization A134 is performed to change the amorphous state to the crystalline state. This state is the unrecorded state shown in Examples 1, 2, and 3. In the present invention, initialization B135 of irradiating the recording medium in this state with laser light is further performed. Initialization B is
The wavelength of the laser light used for irradiation is different from that of the laser light for actually recording data. Here, an Ar laser is used as a laser light source, and for example, the semiconductor laser section of the optical system shown in FIG. 10 is replaced with an optical component adapted to the wavelength of the Ar laser, whereby focus control is performed on the optical recording medium. I do. In this case, since the depth of the guide groove is adapted to the above-mentioned semiconductor laser having a wavelength of 780 nm, the groove depth becomes 1.5 times at the wavelength of 524 nm of the Ar laser. That is, a groove having a depth of λ / 4n of 780 nm corresponds to 3λ / 8n at 524 nm, and a sufficient amount of light is incident on the detector even in the main beam, which enables focus control. The tracking control is performed using the reflected light of the sub beam as in the conventional case. By such a process, the Ar laser light is modulated at a predetermined frequency by the AO modulator or the EO modulator while the focus / tracking control is performed, so that a constant light and shade pattern is formed on the guide groove of the optical recording medium. A recording mark composed of is formed. Once this state is obtained, focus control can be performed by the optical system equipped with the semiconductor laser shown in FIG. 10, and subsequent data recording can be performed. The recording mark formed in the initialization B is
It should be in a form that can be distinguished from the data signal in the actual use state. To this end, it is possible to confirm the unrecorded state by providing an identification signal indicating that the data is not real data in a specific area on the recording medium or by making the pattern different from the data pattern.

【0064】なお、ここではサーボに3スポットを用い
た制御方式を用いたが、前述のように溝深さは524n
mでは3λ/8nと、プッシュプル法によっても充分な
トラッキングエラー信号を確保することができる。この
ように、初期化に用いるレーザ光の波長をディスク構成
に応じて選択するなどにより、単一のレーザスポットを
用いたフォーカシングあるいはトラッキングも可能であ
る。
Although the control method using three spots for servo was used here, the groove depth is 524n as described above.
In the case of m, 3λ / 8n, and a sufficient tracking error signal can be secured even by the push-pull method. In this way, focusing or tracking using a single laser spot is also possible by selecting the wavelength of the laser light used for initialization according to the disk configuration.

【0065】一方、ここまで記録モードは、記録媒体は
結晶とアモルファスマークを形成する場合のみについて
説明したが、光学的に位相差を与える変化であれば逆方
向の記録モード、あるいは結晶と結晶間の状態変化を利
用した記録であってもよい。また、溝形状については、
レーザ光側に凸の形状で示してきたが、逆にレーザ光側
に凹であっても良い。さらに、凹凸溝の溝深さについて
はλ/4nについてのみ説明したが、記録装置のサーボ
系の構成、あるいはサーボの許容量に応じて、本発明と
同等の効果を示す値であれば良い。
On the other hand, the recording mode has been described so far only when the recording medium forms crystals and amorphous marks. However, if the change gives an optical phase difference, the recording mode is in the opposite direction or between the crystals and the crystals. It may be a record using the state change of. Regarding the groove shape,
Although the convex shape is shown on the laser beam side, conversely, it may be concave on the laser beam side. Further, the groove depth of the concavo-convex groove has been described only for λ / 4n, but it may be any value having the same effect as that of the present invention depending on the configuration of the servo system of the recording apparatus or the allowable amount of servo.

【0066】本実施例では、位相変化媒体の書換えに関
しては詳述しなかったが、本発明は従来の相変化媒体を
用いてその膜厚構成を変化させただけであり、繰返し記
録、特にオーバライト特性に付いては同等の特性が得ら
れる。
Although the rewriting of the phase change medium was not described in detail in the present embodiment, the present invention only changes the film thickness constitution by using the conventional phase change medium, and the repeated recording, particularly the overwriting. The same characteristics can be obtained for the light characteristics.

【0067】(実施例5)ここでは、位相変化記録媒体
により得られた記録マークが、凹凸ピットを備えた再生
専用のディスクと同様に再生スポットに作用することを
利用し、図14に示すように同ーのディスク平面を分割
して、再生専用の領域と記録再生可能な領域を設け、そ
の双方からの情報を同じ光学系、信号処理回路を用いて
再生することが可能となる。これに用いる基板141
は、例えば内周側に凹凸のピットからなる再生専用領域
143を、外周側に連続の凹凸溝あるいはカプセルピッ
ト列からなる記録再生領域144を設ける。この基板1
41上に記録薄膜層142を形成することにより、光デ
ィスクを構成する。
(Embodiment 5) Here, as shown in FIG. 14, the fact that the recording mark obtained by the phase change recording medium acts on the reproduction spot as in the case of the reproduction-only disc having the concave and convex pits is used. It is possible to divide the same disk plane into a read-only area and a recordable / reproducible area, and to reproduce information from both areas using the same optical system and signal processing circuit. Substrate 141 used for this
For example, a read-only area 143 including concave and convex pits is provided on the inner peripheral side, and a recording and reproducing area 144 including continuous concave and convex grooves or capsule pit rows is provided on the outer peripheral side. This board 1
An optical disk is formed by forming the recording thin film layer 142 on 41.

【0068】図15(a)に再生専用領域の斜視断面
図、(b)に連続溝を用いた記録再生領域の斜視断面図
を示す。なお、再生専用ピット列152及び記録再生領
域の溝153の形態は、実施例1で示したサンプルサー
ボ方式、あるいは実施例3で示した連続溝方式のいずれ
の形態であってもよいが、双方の領域で同じ信号フォー
マットであることが重要である。例えば、記録再生領域
がサンプルフォーマットである場合は、再生専用領域も
サンプルフォーマット用のサンプルピットを備えた形態
とする。以上の構成とすることで、サーボ方式切り替え
ることなく、再生専用領域と記録再生領域に形成された
信号を再生することが可能となる。
FIG. 15A shows a perspective sectional view of the reproduction-only area, and FIG. 15B shows a perspective sectional view of the recording / reproducing area using the continuous groove. The reproduction-only pit array 152 and the groove 153 of the recording / reproducing area may be either the sample servo system shown in the first embodiment or the continuous groove system shown in the third embodiment. It is important that the same signal format is used in the area. For example, when the recording / reproducing area is the sample format, the reproduction-only area is also provided with sample pits for the sample format. With the above configuration, it is possible to reproduce the signals formed in the reproduction-only area and the recording / reproduction area without switching the servo system.

【0069】信号復調を簡素化するためには、再生専用
領域の信号振幅と、記録再生領域の記録マークからの信
号振幅が等しいことが望ましい。このためには、次の条
件を満たすことが重要である。
In order to simplify the signal demodulation, it is desirable that the signal amplitude in the reproduction-only area and the signal amplitude from the recording mark in the recording / reproducing area are equal. To this end, it is important to satisfy the following conditions.

【0070】1)位相変化を示す記録薄膜151が、再
生専用領域と記録再生領域の双方に同じ条件で形成され
ていること。即ち未記録状態の反射率が、再生専用の領
域の反射率と同じであること。
1) The recording thin film 151 showing the phase change is formed under the same condition in both the read-only area and the recording / reproducing area. That is, the reflectivity in the unrecorded state is the same as the reflectivity in the read-only area.

【0071】2)再生専用領域の凹凸ピットの深さd3
と、記録再生領域のガイド溝d4あるいはサンプルピッ
トの深さが同じであること。
2) Depth d3 of uneven pits in the reproduction-only area
And the depth of the guide groove d4 or the sample pit in the recording / reproducing area is the same.

【0072】3)再生専用領域の凹凸ピットの幅W3
と、記録再生領域のガイド溝W4あるいはサンプルピッ
トの幅が同じであること。
3) Width W3 of uneven pits in the reproduction-only area
And the width of the guide groove W4 or the sample pit in the recording / reproducing area is the same.

【0073】4)記録薄膜に記録マークを形成した場合
の位相変化量が、記録再生領域の溝深さあるいはサンプ
ルピットによる位相差と同等であり、かつその極性が逆
であること。
4) The amount of phase change when a recording mark is formed on the recording thin film is equal to the groove depth of the recording / reproducing area or the phase difference due to the sample pit, and its polarity is opposite.

【0074】5)記録薄膜の未記録状態と記録マークを
形成した状態の反射率が同等であること。
5) The reflectance of the unrecorded state of the recording thin film and that of the state where the recording mark is formed are equal.

【0075】以上の条件から、再生専用領域と記録再生
領域からの信号を同じの光学系、信号処理系を用いて再
生することが可能となり、簡単でかつ低コストの系によ
り、複数の機能を有する光ディスクとその再生装置を得
ることができる。
Under the above conditions, it is possible to reproduce the signals from the reproduction-only area and the recording / reproduction area by using the same optical system and signal processing system, and a plurality of functions can be realized by a simple and low-cost system. It is possible to obtain the optical disc and the reproducing apparatus thereof.

【0076】(実施例6)ここまでは熱遮断用のガイド
溝の凹凸のいずれか一方に記録する方法であったが、こ
こでは図16に示すようにガイド溝の凹部と凸部の両側
に記録する方法について説明する。このガイド溝の双方
に情報を記録・再生する場合は、隣接するトラックの記
録マークが再生トラックに影響を及ぼすという課題があ
る。例えばグルーブ上の情報を再生するためにトラック
161に光ビーム162を集光させた場合、再生信号に
はトラック161だけでなく隣接するランドトラック1
63、164の両方の信号を含んだものがクロストーク
として重畳される。このクロストーク量は、ガイド溝の
深さd5により異なる値を示す。
(Embodiment 6) Up to this point, recording was performed on either one of the concavo-convex portions of the heat-shielding guide groove, but here, as shown in FIG. 16, both sides of the concave and convex portions of the guide groove are recorded. The recording method will be described. When information is recorded / reproduced in both of the guide grooves, there is a problem that the recording marks of adjacent tracks affect the reproduction track. For example, when the light beam 162 is focused on the track 161 to reproduce the information on the groove, the reproduction signal includes not only the track 161 but also the adjacent land track 1.
What includes both signals 63 and 164 is superimposed as crosstalk. This crosstalk amount shows different values depending on the depth d5 of the guide groove.

【0077】クロストークの量を溝深さd5を変化させ
た基板上に位相変化媒体を設けた場合の実験結果を図1
7に示す。なお、測定条件としては、実施例1で用いた
光学系および記録条件と同等のものを用いた。記録に用
いた基板は、ランドピッチが1.6μmであり、双方の
溝に記録された信号の振幅が同等となるようにランド部
とグルーブ部の溝幅W5,W6を同じとした。結果は、
溝深さがλ/8n近傍で、記録信号が大きくかつクロス
トーク量が小さくなる傾向が見られた。これは用いた記
録薄膜の位相変化量が0.86πであることから、溝に
より生じる位相差の1/2近傍のの条件でクロストーク
が最低となることを示している。以上の結果は、連続溝
を有する基板上に位相変化記録薄膜を形成することによ
り、トラック密度の高い光ディスクを提供することが可
能となる。
FIG. 1 shows the experimental results when the phase change medium is provided on the substrate in which the crosstalk amount and the groove depth d5 are changed.
7 shows. The measurement conditions used were the same as the optical system and recording conditions used in Example 1. The substrate used for recording has a land pitch of 1.6 μm, and the groove widths W5 and W6 of the land portion and the groove portion are the same so that the amplitudes of the signals recorded in both grooves are equal. Result is,
There was a tendency that the recording signal was large and the crosstalk amount was small when the groove depth was near λ / 8n. This indicates that the amount of phase change of the recording thin film used is 0.86π, so that the crosstalk becomes the minimum under the condition of around 1/2 of the phase difference caused by the groove. The above result makes it possible to provide an optical disc having a high track density by forming a phase change recording thin film on a substrate having continuous grooves.

【0078】さらにトラックと垂直方向のマークの幅を
制限する方法として図18(b)に示すガイド溝が考え
られる。従来の深さd13の第1のガイド溝の凹部と凸
部の双方に深さd15の第2ガイド溝と、深さd14の
第3ガイド溝を設ける。第2、第3のガイド溝の深さ
は、上記のようにランドグルーブを形成する溝の深さの
約2倍となるように設定する。以上の構成のガイド溝を
設けることにより、第1のガイド溝の凹部内あるいは凸
部内を考えた場合の、トラックの垂直方向のスポットの
回折効果を良好に保つことができる。
A guide groove shown in FIG. 18B can be considered as a method of limiting the width of the mark in the direction perpendicular to the track. A second guide groove having a depth d15 and a third guide groove having a depth d14 are provided on both the concave portion and the convex portion of the first guide groove having the conventional depth d13. The depths of the second and third guide grooves are set to be about twice the depth of the groove forming the land groove as described above. By providing the guide groove having the above-described configuration, it is possible to maintain a good diffraction effect of the spot in the vertical direction of the track when considering the inside of the concave portion or the inside of the convex portion of the first guide groove.

【0079】なお、ランド・グルーブ記録を行う装置に
ついては詳述しないが、従来の記録再生装置に加えて、
ランドとグルーブのいずれに情報を記録するか、あるい
はいずれの情報を再生するかは、目的とするトラックに
応じてトラッキングの極性を反転する機能を設けること
で対応できる。
The land / groove recording device will not be described in detail, but in addition to the conventional recording / reproducing device,
Which of the land and the groove is used to record information or which information is to be reproduced can be handled by providing a function of reversing the tracking polarity according to the target track.

【0080】(実施例7)実施例6において示したラン
ドとグルーブの双方に信号を記録する方法は、図14で
示したように、同一平面を分割して再生専用領域と記録
再生領域を設ける方法に展開することができる。
(Embodiment 7) In the method of recording a signal on both the land and the groove shown in Embodiment 6, as shown in FIG. 14, the same plane is divided to provide a reproduction-only area and a recording / reproduction area. Can be deployed in a way.

【0081】再生専用領域143は、図18に示すよう
に予め同一条件の、クロストークを考慮した深さd10
の凸部凹部の溝巾W11、W12が等しいガイド溝を形
成し、さらにガイド溝の凸部凹部の双方に深さd11,
d12からなる凹凸ピットを形成することで得られる。
再生専用領域と同一平面上の異なる位置に形成された記
録再生領域144には、実施例6において用いたガイド
溝を備えた構成とする。基本的な構成をすべて、記録再
生領域のトラック方向に長い凹凸ピット形成する場合と
同じ形状の熱遮断用のガイド溝を設ける。即ち、それぞ
れの領域のランドとグルーブの段差d13、d10を等
しくする。凹凸ピット深さと熱遮断溝の深さd14,d
15、d11,d12、凹凸ピットの巾と熱遮断ガイド
溝の巾W11,W12,W14,W15をそれぞれ等し
くことが望ましい。さらに実施例5で示した条件
(1)、(4)、(5)を加えた媒体設計が必要であ
る。上記の条件とすることにより、実施例4に比較しさ
らにトラック密度を高めた複合型の光ディスクとその再
生装置を得ることができる。
As shown in FIG. 18, the reproduction-only area 143 has a depth d10 in consideration of crosstalk under the same conditions.
Guide grooves having the same groove widths W11 and W12 are formed, and the depth d11,
It is obtained by forming uneven pits made of d12.
The recording / reproducing area 144 formed at a different position on the same plane as the reproduction-only area is provided with the guide groove used in the sixth embodiment. In all of the basic configurations, a guide groove for heat insulation having the same shape as in the case of forming a long uneven pit in the track direction of the recording / reproducing area is provided. That is, the land and groove steps d13 and d10 in each region are made equal. Concavo-convex pit depth and heat shield groove depth d14, d
It is desirable that the widths of the concave and convex pits and the widths W11, W12, W14, and W15 of the heat shield guide grooves are equal to each other. Further, it is necessary to design the medium in which the conditions (1), (4) and (5) shown in the fifth embodiment are added. Under the above conditions, it is possible to obtain a composite type optical disc having a higher track density than that of the fourth embodiment and a reproducing apparatus therefor.

【0082】[0082]

【発明の効果】以上のように本発明はレーザ光照射によ
り発生した熱の拡散を抑制するための凹凸溝を形成した
基板状に位相変化を示す記録薄膜層を形成することによ
り、記録パワーの変動に対し信号品質の劣化の少なく、
かつ記録信号品質の高い記録部材および記録装置を提供
することが可能となる。
As described above, according to the present invention, by forming a recording thin film layer showing a phase change on a substrate having an uneven groove for suppressing diffusion of heat generated by laser light irradiation, Less deterioration of signal quality due to fluctuations,
In addition, it is possible to provide a recording member and a recording device having high recording signal quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光学情報記録装置の全体構成と光学記
録媒体の構成を示す断面図
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the overall configuration of an optical information recording device of the present invention and the configuration of an optical recording medium.

【図2】振幅変化記録と位相変化記録の信号再生の概念
FIG. 2 is a conceptual diagram of signal reproduction of amplitude change recording and phase change recording.

【図3】本発明のガイド溝による記録マークのマーク形
状制限効果の概念図
FIG. 3 is a conceptual diagram of a mark shape limiting effect of a recording mark by the guide groove of the present invention.

【図4】本発明の光学情報記録媒体の第2、第3の構成
例の断面図
FIG. 4 is a cross-sectional view of second and third configuration examples of the optical information recording medium of the present invention.

【図5】未記録状態の記録媒体から得られる反射光量の
ガイド溝深さ依存性を示す特性図
FIG. 5 is a characteristic diagram showing the guide groove depth dependence of the amount of reflected light obtained from an unrecorded recording medium.

【図6】深さの異なるガイド溝上に位相変化記録を行っ
た状態の概念図
FIG. 6 is a conceptual diagram of a state in which phase change recording is performed on guide grooves having different depths.

【図7】本発明の第1の実施例におけるガイド溝の構成
を示す平面図
FIG. 7 is a plan view showing the structure of the guide groove in the first embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第2の実施例におけるピットカプセル
の構成を示す平面図
FIG. 8 is a plan view showing the structure of a pit capsule according to the second embodiment of the present invention.

【図9】同実施例におけるピットカプセル上に位相変化
記録行をった状態の概念図
FIG. 9 is a conceptual diagram of a state in which a phase change recording line is formed on a pit capsule in the example.

【図10】本発明の第3の実施例における光学情報記録
装置を説明するための図
FIG. 10 is a diagram for explaining an optical information recording device in a third embodiment of the present invention.

【図11】同実施例における光記録媒体上の光スポット
の配置図
FIG. 11 is a layout view of light spots on the optical recording medium in the example.

【図12】同実施例における光学情報記録装置の光検出
器の構成図
FIG. 12 is a configuration diagram of a photodetector of the optical information recording apparatus in the example.

【図13】第4の実施例における初期化処理工程のフロ
ーチャート
FIG. 13 is a flowchart of an initialization processing step in the fourth embodiment.

【図14】本発明の第5の実施例における記録部材の構
成図
FIG. 14 is a configuration diagram of a recording member according to a fifth embodiment of the present invention.

【図15】同実施例における記録部材の詳細構成図FIG. 15 is a detailed configuration diagram of a recording member in the example.

【図16】本発明の第6の実施例における光学情報記録
部材の構成図
FIG. 16 is a configuration diagram of an optical information recording member according to a sixth embodiment of the present invention.

【図17】同実施例における隣接トラックからのクロス
トーク量のガイド溝深さ依存性を示す特性図
FIG. 17 is a characteristic diagram showing the guide groove depth dependency of the amount of crosstalk from adjacent tracks in the example.

【図18】本発明の第7の実施例における光学情報記録
部材の構成図
FIG. 18 is a configuration diagram of an optical information recording member according to a seventh embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

15 光ビーム 21 基材 22、24 透明層 23 記録薄膜層 25 反射層 26 保護層 27 ガイド溝 15 Light Beam 21 Base Material 22, 24 Transparent Layer 23 Recording Thin Film Layer 25 Reflective Layer 26 Protective Layer 27 Guide Groove

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山田 昇 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 長田 憲一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Noboru Yamada 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Kenichi Nagata 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】レンズを介して光ビームを基板上に形成さ
れた記録薄膜層に集光することによって光学的に情報を
記録する記録媒体であって、前記基板の表面は集光した
前記光ビームのスポット径よりも狭い幅の凹凸状のガイ
ド溝を備え、前記記録薄膜層は第1の強度の光ビームの
照射により第1の状態から第2状態に変化し、前記第1
よりも低い第2の強度の光ビームを照射した場合に、記
録薄膜層の前記第1の状態の領域と第2の状態の領域で
は、反射光の位相が異なり、前記ガイド溝の凹部と凸部
の間で生じる位相差を減少させる方向に、前記第1状態
から第2状態へ位相が変化する構成とすることを特徴と
する光学的情報記録媒体。
1. A recording medium for optically recording information by condensing a light beam onto a recording thin film layer formed on a substrate through a lens, wherein the surface of the substrate condenses the light. The recording thin film layer is provided with an uneven guide groove having a width narrower than the beam spot diameter, and the recording thin film layer is changed from the first state to the second state by irradiation with the light beam having the first intensity,
When a light beam having a second intensity lower than the above is irradiated, the phase of the reflected light is different between the region of the first state and the region of the second state of the recording thin film layer, and the concave portion and the convex portion of the guide groove are different. An optical information recording medium, characterized in that the phase is changed from the first state to the second state in a direction of reducing the phase difference generated between the parts.
【請求項2】レンズを介して光ビームを基板上に形成さ
れた記録薄膜層に集光することによって光学的に情報を
記録する記録媒体であって、前記基板の表面が、凹凸か
らなるガイド溝と、前記ガイド溝を中断した領域に前記
ガイド溝のトラック方向の中心線上に対し、両側にずれ
た凹凸ピットを備え、前記薄膜層は光ビームの照射によ
り光学定数が変化し、検知し得る変化が主として入射し
た光の反射光あるいは透過光の位相の変化によるもので
あり、 前記基板の凹凸の間で生じる位相差を減少させる方向に
前記位相の変化が生じる構成とすることを特徴とする光
学的情報記録媒体。
2. A recording medium for optically recording information by condensing a light beam on a recording thin film layer formed on a substrate through a lens, wherein the surface of the substrate is uneven. The groove and the region where the guide groove is interrupted are provided with uneven pits on both sides with respect to the center line in the track direction of the guide groove, and the thin film layer can be detected because the optical constant is changed by irradiation of a light beam. The change is mainly due to a change in the phase of the reflected light or the transmitted light of the incident light, and the phase change is generated in a direction to reduce the phase difference generated between the unevenness of the substrate. Optical information recording medium.
【請求項3】記録薄膜層による位相変化が、基板の凹凸
状のガイド溝により生じる位相差と同等の大きさであ
り、かつその変化の極性が反対の関係にあることを特徴
とする請求項1または2記載の光学的情報記録媒体。
3. The phase change due to the recording thin film layer is equal in magnitude to the phase difference caused by the concave-convex guide grooves of the substrate, and the polarities of the change are opposite to each other. 1. The optical information recording medium according to 1 or 2.
【請求項4】光ビームの波長をλ、基板の屈折率をn、
前記光ビームを記録薄膜層に集光するレンズの開口数を
NAとしたとき、凹凸状のガイド溝の深さDがλ/4n
と同等もしくは同等以下であることを特徴とする請求項
3記載の光学的情報記録媒体。
4. The wavelength of the light beam is λ, the refractive index of the substrate is n,
When the numerical aperture of the lens that focuses the light beam on the recording thin film layer is NA, the depth D of the uneven guide groove is λ / 4n.
The optical information recording medium according to claim 3, wherein the optical information recording medium is equivalent to or less than.
【請求項5】光ビームの波長をλ、記録薄膜層に前記光
ビームを集光するレンズの開口数をNAとしたとき、凹
凸状のガイド溝の溝幅Wが、 0.13 ≦ W×NA/λ ≦ 0.51 の関係にあることを特徴とする請求項1または2記載の
光学的情報記録媒体。
5. When the wavelength of the light beam is λ and the numerical aperture of a lens for focusing the light beam on the recording thin film layer is NA, the groove width W of the uneven guide groove is 0.13 ≦ W × The optical information recording medium according to claim 1 or 2, wherein the relationship NA / λ ≤ 0.51 is satisfied.
【請求項6】レンズを介して光ビームを基板上に形成さ
れた記録薄膜層に集光することによって光学的に情報を
記録する記録媒体であって、前記基板は、表面に前記集
光した光ビームのスポット径よりも狭い幅の凹凸状のガ
イド溝を備え、前記記録薄膜層は第1の強度の光ビーム
の照射により第1の状態から第2状態に変化し、前記第
1よりも低い第2の強度の光ビームを照射した場合に、
記録薄膜層の前記第1の状態の領域と第2の状態の領域
では、反射光の位相が異なり、前記ガイド溝の凹部と凸
部の間で生じる位相差を減少させる方向に、前記第1状
態から第2状態へ位相が変化し、前記記録薄膜層の記録
領域の未記録状態が、データ信号とは識別可能なパター
ンからなる記録マークを備えていることを特徴とする光
学情報記録媒体。
6. A recording medium for optically recording information by condensing a light beam onto a recording thin film layer formed on a substrate through a lens, wherein the substrate has the condensed light on its surface. An uneven guide groove having a width narrower than the spot diameter of the light beam is provided, and the recording thin film layer changes from the first state to the second state by irradiation with the light beam having the first intensity, When irradiated with a light beam of low second intensity,
The phase of the reflected light is different between the region in the first state and the region in the second state of the recording thin film layer, and the first phase is reduced in the direction in which the phase difference generated between the concave portion and the convex portion of the guide groove is reduced. An optical information recording medium, wherein a phase is changed from a state to a second state, and an unrecorded state of a recording area of the recording thin film layer is provided with a recording mark having a pattern distinguishable from a data signal.
【請求項7】レンズを介して光ビームを基板上に形成さ
れた記録薄膜層に集光することによって光学的に情報を
記録する記録媒体であって、前記基板の表面が、トラッ
ク上に一定の間隔で設けた円形状の凹凸からなるピット
カプセル列と、前記ピットカプセル列のトラック方向の
中心線上からずれた位置にサンプルピットを備え、記録
薄膜層は光ビームの照射により光学定数が変化し、検知
し得る変化が主として入射した光の反射光あるいは透過
光の位相の変化によるものであり、前記ピットカプセル
の凹凸の間で生じる位相差を減少させる方向に前記位相
の変化が生じる構成とすることを特徴とする光学的情報
記録媒体。
7. A recording medium for optically recording information by condensing a light beam on a recording thin film layer formed on a substrate through a lens, the surface of the substrate being fixed on a track. A pit capsule array consisting of circular irregularities provided at intervals of, and a sample pit at a position deviated from the center line of the pit capsule array in the track direction, the optical constant of the recording thin film layer is changed by irradiation of a light beam. The detectable change is mainly due to the change in the phase of the reflected light or the transmitted light of the incident light, and the change in the phase occurs in the direction of reducing the phase difference generated between the unevenness of the pit capsules. An optical information recording medium characterized by the above.
【請求項8】記録薄膜層による位相変化が、基板のピッ
トカプセルにより生じる位相差と同等の大きさであり、
かつその変化の極性が反対の関係にあることを特徴とす
る請求項7記載の光学的情報記録媒体。
8. The phase change due to the recording thin film layer is as large as the phase difference caused by the pit capsule of the substrate,
8. The optical information recording medium according to claim 7, wherein the polarities of the changes are in the opposite relationship.
【請求項9】光ビームの波長をλ、基板の屈折率をn、
記録薄膜層に光ビームを集光するレンズの開口数をNA
としたとき、凹凸状のピットカプセルの深さDがλ/4
nと同等もしくは同等以下であることを特徴とする請求
項7記載の光学的情報記録媒体。
9. The wavelength of the light beam is λ, the refractive index of the substrate is n,
The numerical aperture of the lens that focuses the light beam on the recording thin film layer is NA
And the depth D of the uneven pit capsule is λ / 4.
8. The optical information recording medium according to claim 7, which is equal to or less than n.
【請求項10】基板上に、光ビームの照射によって光学
的に検知し得る状態変化を生じる記録再生領域を備えた
光学的情報記録媒体であって、前記基板の記録薄膜層を
設ける面に凹部と凸部の幅が等しい第1のガイド溝を備
え、前記記録薄膜層は光ビームの照射により光学定数が
変化し、検知し得る変化が入射した光の反射光あるいは
透過光の位相の変化によるものであり、 前記ガイド溝の凹部と凸部の双方が情報記録領域である
ことを特徴とする特徴とする光学的情報記録媒体。
10. An optical information recording medium having a recording / reproducing area on the substrate for producing a state change that can be optically detected by irradiation of a light beam, wherein the surface of the substrate is provided with a recording thin film layer. And a first guide groove having the same width as the convex portion, the optical constant of the recording thin film layer is changed by irradiation of a light beam, and a detectable change is caused by a change in phase of reflected light or transmitted light of incident light. An optical information recording medium characterized in that both the concave portion and the convex portion of the guide groove are information recording areas.
【請求項11】凹凸溝により生じる位相差に対し、記録
薄膜層の状態変化により生じる位相の変化量が略2倍で
あることを特徴とする請求項10記載の光学的情報記録
媒体。
11. The optical information recording medium according to claim 10, wherein the amount of change in phase caused by a change in the state of the recording thin film layer is approximately twice the amount of phase difference caused by the uneven groove.
【請求項12】光ビームに対する基板の屈折率をnとし
た場合に凹凸溝の深さが約λ/8nであること特徴とす
る請求項11記載の光学的情報記録媒体。
12. The optical information recording medium according to claim 11, wherein the depth of the concave and convex grooves is about λ / 8n, where n is the refractive index of the substrate with respect to the light beam.
【請求項13】第1のガイド溝の凹部の中央に第2のガ
イド溝あるいはピットカプセル列を備え、 前記第1のガイド溝の凸部の中央に第3のガイド溝ある
いはピットカプセル列を備えたことを特徴とする請求項
10記載の光学的情報記録媒体。
13. A second guide groove or pit capsule row is provided in the center of the concave portion of the first guide groove, and a third guide groove or pit capsule row is provided in the center of the convex portion of the first guide groove. The optical information recording medium according to claim 10, characterized in that
【請求項14】第1のガイド溝深さが、第2および第3
のガイド溝、あるいはピットカプセルの約2倍であるこ
とを特徴とする請求項13記載の光学的情報記録媒体。
14. The depth of the first guide groove is set to the second and the third.
14. The optical information recording medium according to claim 13, which is about twice as large as the guide groove or the pit capsule.
【請求項15】照射する光ビームの波長をλ、基板の屈
折率をnとした場合に第1の凹凸溝の深さがλ/8nで
あること特徴とする請求項14記載の光学的情報記録媒
体。
15. The optical information according to claim 14, wherein the depth of the first concave-convex groove is λ / 8n, where λ is the wavelength of the illuminating light beam and n is the refractive index of the substrate. recoding media.
【請求項16】基板の同一平面上に、凹凸形状として予
め情報を形成した再生専用領域と、光ビームの照射によ
って光学的に検知し得る状態変化を生じる記録再生領域
を備えた光学的情報記録媒体であって、前記再生専用領
域および記録再生領域のいずれの表面にも同一の構成か
らなる記録薄膜層を形成し、前記記録薄膜層は光ビーム
の照射により光学定数が変化し、検知し得る変化が入射
した光の反射光あるいは透過光の位相の変化によるもの
であり、前記ガイド溝の凹凸の間で生じる位相差を減少
させる方向に、前記位相の変化を生じる構成とすること
を特徴とする光学的情報記録媒体。
16. An optical information recording comprising a read-only area in which information is formed in advance as a concavo-convex shape and a recording / reproducing area in which a state change optically detectable by irradiation of a light beam is provided on the same plane of a substrate. A recording thin film layer having the same structure is formed on both surfaces of the read-only area and the recording / reproducing area of the medium, and the recording thin film layer has a changeable optical constant upon irradiation with a light beam, which can be detected. The change is due to a change in the phase of the reflected light or the transmitted light of the incident light, and is characterized in that the phase is changed in a direction to reduce the phase difference generated between the unevenness of the guide groove. Optical information recording medium.
【請求項17】再生専用領域と記録再生領域のいずれに
も第1の凹凸形状からなるガイド溝を備え、前記ガイド
溝の凹部と凸部のトラッキング方向の幅が等しく、前記
再生専用領域では、凹部および凸部の双方に第2の凹凸
からなるピットを備え、再生専用領域および記録再生領
域のいずれの表面にも同一の構成からなる記録薄膜層を
形成し、前記記録薄膜層は光ビームの照射により光学定
数が変化し、検知し得る変化が主として入射した光の反
射光あるいは透過光の位相の変化によるものであること
を特徴とする光学的情報記録媒体。
17. A reproduction-only area and a recording / reproduction area are each provided with a guide groove having a first concavo-convex shape, and the recesses and projections of the guide groove have the same width in the tracking direction. A pit formed of the second unevenness is provided on both the concave portion and the convex portion, and a recording thin film layer having the same structure is formed on the surface of both the read-only area and the recording / reproducing area. An optical information recording medium characterized in that an optical constant is changed by irradiation, and a change which can be detected is mainly due to a change in phase of reflected light or transmitted light of incident light.
【請求項18】記録領域を構成する基板の表面は、再生
専用領域の凹凸と、同等の深さを有するガイド溝あるい
はカプセルピットを備えていることを特徴とする請求項
16または17記載の光学的情報記録媒体。
18. The optical system according to claim 16, wherein the surface of the substrate forming the recording area is provided with guide grooves or capsule pits having the same depth as the unevenness of the read-only area. Information recording medium.
【請求項19】記録領域を構成する基板の表面は、再生
専用領域の凹凸ピットとトラッキング方向の幅が同等で
あるガイド溝、あるいは直径が同等のカプセルピットを
備えていることを特徴とする請求項16または17記載
の光学的情報記録媒体。
19. The surface of a substrate forming a recording area is provided with a guide groove having a width in the tracking direction which is equal to that of the concave-convex pits in the reproduction-only area, or a capsule pit having the same diameter. Item 16. The optical information recording medium according to item 16 or 17.
【請求項20】記録薄膜層の状態変化に伴う位相変化
が、再生専用領域の凹凸ピットにより生じる位相差と同
等の大きさであり、かつその変化の極性が反対の関係に
あることを特徴とする請求項16または17記載の光学
的情報記録媒体。
20. The phase change caused by the change in the state of the recording thin film layer is as large as the phase difference caused by the concave and convex pits in the read-only area, and the polarities of the change are opposite to each other. The optical information recording medium according to claim 16 or 17.
【請求項21】記録層が光の照射条件によりアモルファ
ス状態と結晶状態の間を可逆的な変化を示す相変化媒体
から構成されることを特徴とする請求項1、2、6、
7、10、16または17項いずれか記載の光学的情報
記録媒体。
21. The recording layer is composed of a phase change medium exhibiting a reversible change between an amorphous state and a crystalline state depending on light irradiation conditions.
18. An optical information recording medium according to any one of items 7, 10, 16 and 17.
【請求項22】基板上に基板と屈折率が異なる第一の透
明層を設け、その上に記録薄膜層を設け、さらにその上
に第二の透明層を設け、その上に反射層を設けた構造の
光学的情報記録媒体であって、前記第一の透明層、記録
薄膜層、第二の透明層および反射層の膜厚を記録材料の
変化に際して入射した光の透過光あるいは反射光の位相
が変化するように選ぶことを特徴とする請求項21記載
の光学的情報記録媒体。
22. A first transparent layer having a refractive index different from that of the substrate is provided on a substrate, a recording thin film layer is provided thereon, a second transparent layer is provided thereon, and a reflective layer is provided thereon. An optical information recording medium having a different structure, wherein the thickness of the first transparent layer, the recording thin film layer, the second transparent layer and the reflective layer is set to the value of transmitted light or reflected light of incident light when the recording material is changed. 22. The optical information recording medium according to claim 21, wherein the optical information recording medium is selected so that the phase changes.
【請求項23】請求項8記載の光学的情報記録媒体の情
報記録再生方法であって、基材の記録薄膜層を設ける面
のピットからの反射光あるいは透過光を検出し、それら
の光量差をもとにトラッキング制御を行いながら情報の
記録再生を行うことを特徴とする光学的情報記録媒体の
情報記録再生方法。
23. An information recording / reproducing method for an optical information recording medium according to claim 8, wherein reflected light or transmitted light from pits on the surface of the base material on which the recording thin film layer is provided is detected, and their light amount difference is detected. An information recording / reproducing method for an optical information recording medium, characterized by performing information recording / reproducing while performing tracking control based on the above.
【請求項24】光ビームの照射によって光学的に検知し
得る変化を生じる記録薄膜層を備えた記録媒体上に情報
を記録する装置であって、前記記録媒体は基材の記録薄
膜層を設ける面が凹凸上のガイド溝を備え、前記記録薄
膜層は光ビームの照射により光学定数が変化し、検知し
得る変化が入射した光の反射光あるいは透過光の位相の
変化によるものであり、前記光ビームが少なくとも3つ
以上の複数のスポット列から構成し、前記スポット列の
中心を結ぶ線が前記ガイド溝に対し傾斜した配置であ
り、前記スポット列の中央に位置する第1のスポットか
らの反射光、あるいは透過光を検出することにより前記
記録薄膜層の情報信号を再生し、前記第1のスポットの
前後に位置する第2、第3のスポットからの透過光、あ
るいは反射光を検出することにより前記ガイド溝上を前
記第1のスポットが追従するようにトラッキング制御を
行うことを特徴とする光学的情報記録媒体の記録再生装
置。
24. An apparatus for recording information on a recording medium having a recording thin film layer which causes a change which can be optically detected by irradiation of a light beam, wherein the recording medium is provided with a recording thin film layer of a base material. The surface is provided with a guide groove on the unevenness, the recording thin film layer has an optical constant changed by irradiation of a light beam, the detectable change is due to a change in the phase of reflected light or transmitted light of the incident light, The light beam is composed of a plurality of spot rows of at least three or more, and the line connecting the centers of the spot rows is arranged so as to be inclined with respect to the guide groove. The information signal of the recording thin film layer is reproduced by detecting the reflected light or the transmitted light, and the transmitted light or the reflected light from the second and third spots located before and after the first spot is detected. Recording and reproducing apparatus of the optical information recording medium and performing tracking control such that the first spot the guide-grooves to follow the Rukoto.
【請求項25】第2、第3のスポットからの透過光ある
いは反射光を少なくとも2つ以上に分割された光検出器
により受光することによりフォーカス制御を行うことを
特徴とする請求項24記載の光学的情報記録媒体の記録
再生装置。
25. The focus control is performed by receiving transmitted light or reflected light from the second and third spots by a photodetector divided into at least two or more. Recording / reproducing apparatus for optical information recording medium.
【請求項26】凹凸上のガイド溝を備えた基板上に第1
の光ビームを照射することにより光学定数が変化し、検
知し得る変化が主として入射した光の反射光あるいは透
過光の位相の変化を利用して情報信号を記録する光記録
部材を初期化処理する方法であり、前記第1の光ビーム
とは波長の異なる第2の光ビームを備え、前記第2の光
ビームをガイド溝上を追従する制御を行いながら前記第
2の光ビームを所定の周波数で変調することにより前記
記録媒体上に一定間隔の記録マークを形成することを特
徴とする光学的情報記録方法。
26. A first substrate is provided on a substrate having an uneven guide groove.
The optical constant is changed by irradiating the optical beam, and the detectable change is the initialization process of the optical recording member that records the information signal mainly by using the change of the phase of the reflected light or the transmitted light of the incident light. A second light beam having a wavelength different from that of the first light beam, and controlling the second light beam to follow a guide groove on the second light beam at a predetermined frequency. An optical information recording method, wherein recording marks are formed at regular intervals on the recording medium by modulating.
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