JPH0538809A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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Publication number
JPH0538809A
JPH0538809A JP19775091A JP19775091A JPH0538809A JP H0538809 A JPH0538809 A JP H0538809A JP 19775091 A JP19775091 A JP 19775091A JP 19775091 A JP19775091 A JP 19775091A JP H0538809 A JPH0538809 A JP H0538809A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
piezoelectric substrate
jet head
nozzle
ink jet
Prior art date
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Pending
Application number
JP19775091A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kaoru Momose
薫 百瀬
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH0538809A publication Critical patent/JPH0538809A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14008Structure of acoustic ink jet print heads

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

PURPOSE:To carry out the driving by a low voltage for an ink jet head for which an ink mist stream is utilized. CONSTITUTION:The subject ink jet head is equipped with a piezoelectric substrate 1, a pair of electrodes 2 which are arranged on the front and rear surfaces of the piezoelectric substrate 1, a nozzle plate which is arranged in parallel with the piezoelectric substrate 1, and an ink which is held in a gap between the piezoelectric substrate 1 and the nozzle plate 4; and an acoustic lens 6 is provided between the piezoelectric substrate 1 and the nozzle plate 4 in order to discharge the ink 7 as an ink mist 8 from a nozzle 5 of the nozzle plate 4.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はノンインパクト記録装置
の記録ヘッドに関し、詳しくは、液体インクを選択的に
吐出させ、記録媒体上に記録を得るインクジェットヘッ
ドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording head for a non-impact recording apparatus, and more particularly to an ink jet head for selectively ejecting liquid ink to record on a recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェットヘッドを用いた記録装
置、特にオンデマンド方式のインクジェットヘッドを用
いた記録装置は、高速印字、低騒音、安いランニングコ
スト、高印字品質等の特徴をもち、有望な記録装置とし
て近年注目されている。
2. Description of the Related Art A recording device using an ink jet head, particularly a recording device using an on-demand type ink jet head, is a promising recording device because of its features such as high-speed printing, low noise, low running cost and high printing quality. Has been attracting attention in recent years.

【0003】現在、オンデマンド方式のインクジェット
ヘッドとしては、圧電体を使用してインクキャビティー
を変形させ、インクを各インクキャビティーに設けられ
たノズルから吐出させる方式や、ノズルと圧電体基板の
間にインクをみたし、圧電体の変形によりインクをノズ
ルから吐出させる方式や、インクキャビティー内のイン
クを発熱素子により気化させ、その圧力によりインクを
ノズルから吐出させる方式がある。
At present, as an on-demand type ink jet head, a piezoelectric body is used to deform an ink cavity and ink is ejected from a nozzle provided in each ink cavity, or a nozzle and a piezoelectric substrate are used. There is a method in which the ink is filled in the space and the ink is ejected from the nozzle by the deformation of the piezoelectric body, or a method in which the ink in the ink cavity is vaporized by the heating element and the pressure causes the ink to be ejected from the nozzle.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述したような印写装
置のインクジェットヘッドでは吐出するインク粒子の大
きさは一定であるため、写真や絵等の画像情報のように
濃度情報が含まれるデータを記録媒体上に表現するため
には、ディザ法等の面積階調法で表現する必要がある。
従って1つのデータを複数のインク粒子で表現しなくて
はならず、印字速度が遅くなると共に、階調性を向上さ
せると解像度がさがるという問題が生じる。
In the ink jet head of the printing apparatus as described above, the size of the ink particles to be ejected is constant, so that data including density information such as image information such as photographs and pictures is used. In order to express it on the recording medium, it is necessary to express it by an area gradation method such as a dither method.
Therefore, one data must be expressed by a plurality of ink particles, which causes a problem that the printing speed becomes slow and the resolution decreases when the gradation is improved.

【0005】我々はこのような従来のインクジェットヘ
ッドの欠点を解決するために、図7に示すようなインク
ミスト流を利用した新規なインクジェットヘッドを開発
した。この新規なインクジェットヘッドは、インクをミ
スト状にして吐出するため、ミスト量を制御する事によ
り階調表現が可能であるため、前記の問題をほぼ解決す
る事ができた。しかしこの方式においてはミストを吐出
させるための駆動電圧が比較的高いため駆動素子のコス
トアップが避けられない。そこで本発名のインクジェッ
トヘッドはこのような問題点を解決するもので、その目
的とするところは、インクミスト流利用したインクジェ
ットヘッドの駆動を低電圧化することにある。
In order to solve the drawbacks of the conventional ink jet head, we have developed a new ink jet head utilizing an ink mist flow as shown in FIG. Since this new ink jet head ejects the ink in the form of mist, gradation can be expressed by controlling the amount of mist, so that the above-mentioned problem can be almost solved. However, in this method, since the drive voltage for ejecting mist is relatively high, the cost of the drive element is inevitably increased. Therefore, the inkjet head of the present invention solves such a problem, and the purpose thereof is to reduce the driving voltage of the inkjet head using the ink mist flow.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明のインクジェット
ヘッドは、圧電体基板と、この圧電体基板の表面と裏面
に配された少なくとも1対の電極と、前記電極間にこの
圧電体基板の共振周波数に等しい周期で変化する電圧を
選択的に印加する駆動手段と、前記圧電体基板と平行に
配されたノズルプレートと、前記圧電体基板とノズルプ
レートのギャップに保持されたインクとを備え、前記イ
ンクをノズルプレートのノズルからインクミストとして
吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記圧電体基
板とインクの間に音響レンズを設けたことを特徴とす
る。
An ink jet head of the present invention comprises a piezoelectric substrate, at least one pair of electrodes arranged on the front and back surfaces of the piezoelectric substrate, and the resonance of the piezoelectric substrate between the electrodes. A driving unit that selectively applies a voltage that changes in a cycle equal to the frequency; a nozzle plate arranged in parallel with the piezoelectric substrate; and ink held in a gap between the piezoelectric substrate and the nozzle plate, In an inkjet head that ejects the ink as ink mist from nozzles of a nozzle plate, an acoustic lens is provided between the piezoelectric substrate and the ink.

【0007】[0007]

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0008】図1は本発明の一実施例のインクジェット
ヘッドを示した図である。1は圧電体基板、23は圧電
体基板1を駆動させるための電極である。圧電体基板と
しては圧電効果を持つ材料、PZT、PVDF、水晶、
ニオブ酸リチウム等を使用できる。本実施例において
は、圧電体基板1として1mm厚のPZTセラミクス
(株トーキン製 ネペックN21)を使用している。そ
してPZTセラミクスの両面に、スパッタリングにより
ニクロム(NiCr)−金(Au)の2層の金属層を形
成した後、フォトリソ工程により駆動電極2および共通
電極3をパターニングする事により形成した。それぞれ
の電極は駆動回路(図示せず)に接続されていて、電極
間に圧電体基板1の厚さdで決まる共振周波数と等しい
周波数を持つ電圧振幅を加えることにより、圧電体基板
を共振させ、インク7中に超音波9を発生させる。4は
ノズルプレートでインクミスト8を吐出させるノズル5
が形成されている。
FIG. 1 is a diagram showing an ink jet head according to an embodiment of the present invention. Reference numeral 1 is a piezoelectric substrate, and 23 is an electrode for driving the piezoelectric substrate 1. As the piezoelectric substrate, a material having a piezoelectric effect, PZT, PVDF, quartz,
Lithium niobate or the like can be used. In this embodiment, PZT ceramics (Nepec N21 manufactured by Tokin Co., Ltd.) having a thickness of 1 mm is used as the piezoelectric substrate 1. Then, two metal layers of nichrome (NiCr) -gold (Au) were formed on both surfaces of the PZT ceramics by sputtering, and then the drive electrode 2 and the common electrode 3 were patterned by a photolithography process. Each electrode is connected to a driving circuit (not shown), and a voltage amplitude having a frequency equal to the resonance frequency determined by the thickness d of the piezoelectric substrate 1 is applied between the electrodes to resonate the piezoelectric substrate. , Ultrasonic waves 9 are generated in the ink 7. 4 is a nozzle plate, which is a nozzle 5 for ejecting the ink mist 8.
Are formed.

【0009】インク7中の超音波はインク中を伝搬しノ
ズル5内のインク表面に表面波を発生させる。この表面
波が一定以上の振幅を越えて大きくなることによりイン
クミスト8としてノズル5から吐出するのである。イン
クミスト8の大きさは圧電体基板1に加えられる電圧振
幅の周波数と関係があり、周波数が高くなるほどインク
ミスト8の大きさが小さくなる。本実施例では、周波数
が約2.2MHzで、インクミストの大きさは3μm〜
10μmであったが、目的に応じて周波数をかえてイン
クミストの大きさを変化させることもできる。
The ultrasonic waves in the ink 7 propagate in the ink and generate a surface wave on the ink surface in the nozzle 5. When the surface wave becomes larger than a certain amplitude and becomes large, it is ejected from the nozzle 5 as the ink mist 8. The size of the ink mist 8 is related to the frequency of the voltage amplitude applied to the piezoelectric substrate 1, and the higher the frequency, the smaller the size of the ink mist 8. In this embodiment, the frequency is about 2.2 MHz, and the size of the ink mist is 3 μm-
Although it was 10 μm, the size of the ink mist can be changed by changing the frequency according to the purpose.

【0010】6は音響レンズで圧電体基板から発生した
超音波をノズル5に近傍集中するよう超音波を屈折させ
る働きを持っている。音響レンズは固体中の音速が液体
であるインク中の音速より速い為に、光学レンズと違い
図に示すような凹面レンズにより超音波を集中すること
ができる。これにより従来はノズル面積と同じ面積の圧
電体で発生する超音波エネルギーしか利用できなかった
ものが、ノズル面積に比べて大きな面積の圧電体で発生
する超音波エネルギーを使用でき、圧電体基板の駆動電
圧を大幅に低下することができた。音響レンズの材質と
しては、超音波の内部損失の少なくするために、機械的
品質係数Qの大きい材質を使用するのが望ましい。
An acoustic lens 6 has a function of refracting the ultrasonic wave generated from the piezoelectric substrate so that the ultrasonic wave is concentrated near the nozzle 5. Since the acoustic lens has a higher speed of sound in the solid than the speed of sound in the liquid ink, unlike the optical lens, the concave lens as shown in the figure can concentrate the ultrasonic waves. As a result, conventionally, only ultrasonic energy generated by the piezoelectric body having the same area as the nozzle area can be used, but ultrasonic energy generated by the piezoelectric body having a larger area than the nozzle area can be used, and the piezoelectric substrate The drive voltage could be drastically reduced. As the material of the acoustic lens, it is desirable to use a material having a large mechanical quality factor Q in order to reduce the internal loss of ultrasonic waves.

【0011】図2は記録時間を変化させる為の回路構成
を示す図である。発振回路により発生した2.2MHz
の基本信号はアンプ60により増幅される。そしてこの
駆動信号を、データ生成部によって作られシフトレジス
タ65・・・群に順に蓄えられた記録データと、書き込
み制御部のパルスとの論理積によって振動子62(圧電
体基板1、駆動電極2、共通電極3から構成される)を
スイッチングするような回路構成となっている。
FIG. 2 is a diagram showing a circuit configuration for changing the recording time. 2.2MHz generated by the oscillator
The basic signal of is amplified by the amplifier 60. The drive signal is logically ANDed with the recording data generated by the data generation unit and sequentially stored in the shift register 65 ... Group and the pulse of the write control unit to form the vibrator 62 (piezoelectric substrate 1, drive electrode 2). , The common electrode 3).

【0012】図3は本実施例のインクジェットヘッドを
用いて、記録時間と印写濃度の関係を測定した結果を示
す図である。記録時間の増加とともに印写濃度がなめら
かに変化している。さらに詳しい実験を行うことによ
り、実用しうる表現階調数は256階調以上あることが
わかった。従って本発明のインクジェットヘッドを用い
れば、記録時間を変化させることにより、印写ドットの
濃度を1ドット単位で変調可能である。このため解像度
を低下させることなく、画像情報の様な階調情報を含む
情報の記録が可能になる。
FIG. 3 is a diagram showing the results of measuring the relationship between recording time and print density using the ink jet head of this embodiment. The print density changes smoothly as the recording time increases. Through further detailed experiments, it was found that the number of expression gradations that can be practically used is 256 gradations or more. Therefore, by using the ink jet head of the present invention, it is possible to modulate the density of the printed dots in 1-dot units by changing the recording time. Therefore, it is possible to record information including gradation information such as image information without lowering the resolution.

【0013】図4、図5に本発明のインクジェットヘッ
ドの他の音響レンズの実施例の斜視図を示した。斜線部
はその断面形状である。
4 and 5 are perspective views showing other examples of the acoustic lens of the ink jet head of the present invention. The shaded portion is the cross-sectional shape.

【0014】図4(a)に示したものは、図1に示した
音響レンズと違い、断面形状に曲線部を持たない。この
形状では図1に比べて超音波の焦点の面積は大きくなり
音響レンズとしての効果は図1に比べて少ないが形成が
簡単になり、製造コストを低下できる。図4(b)は図
4(a)の効果をより図1に近づける為の工夫で、これ
は光学レンズのフレネルレンズとしてよく知られている
方法である。図5にあげたものは完全に非曲面で構成し
たタイプである。これらのものは一方向でのみ超音波の
集束が起こるタイプで、図4に示したタイプに比べて音
響レンズとしての効率はさらに悪くなるが、ノズルをラ
イン状に形成したラインヘッドの場合形成が図1、図4
に示したタイプ比べて形成が非常に簡単になるというメ
リットを持つ。
Unlike the acoustic lens shown in FIG. 1, the one shown in FIG. 4A does not have a curved portion in its cross-sectional shape. With this shape, the area of the focal point of ultrasonic waves is larger than that in FIG. 1, and the effect as an acoustic lens is less than that in FIG. FIG. 4B is a device for bringing the effect of FIG. 4A closer to that of FIG. 1, which is a method well known as a Fresnel lens of an optical lens. The type shown in FIG. 5 is a type that is completely non-curved. These are types in which ultrasonic waves are focused only in one direction, and the efficiency as an acoustic lens is worse than that of the type shown in FIG. 4, but in the case of a line head in which nozzles are formed in line, 1 and 4
It has the advantage of being much easier to form than the type shown in.

【0015】図6は本発明のインクジェットヘッドをラ
イン状ヘッドとして構成した時の実施例である。
FIG. 6 shows an embodiment in which the ink jet head of the present invention is constructed as a line head.

【0016】1mm厚のPZT基板を圧電体基板1とし
て使用し、そこにフォトリソ法を用いて駆動電極2、お
よび共通電極3をパターニングした。圧電体基板の中央
部にはインクを外部からノズル部へ供給するため孔また
はスリットである供給口10が形成されている。さらに
圧電体基板上に、音響レンズ6を接着し、その上にノズ
ルプレート4を接着することによりライン状のインクジ
ェットヘッドを作製した。音響レンズのタイプとしては
図5(a)のタイプのものを使用した。ノズルは図に示
す様に2本のラインl1、l2上に形成され、ぞれぞれ
のライン上のノズル間のピッチpに対してラインの違う
ノズル間のピッチdがp=2*dの関係をなすように形
成させており、l1、l2のノズルの印字タイミングを
記録紙上で記録像が同一ラインになるように調整するこ
とにより、記録紙上ではノズルピッチpの2倍の解像度
を得ることができ、記録の高解像度化が容易に行えるの
である。
A 1 mm-thick PZT substrate was used as the piezoelectric substrate 1, and the drive electrode 2 and the common electrode 3 were patterned thereon by the photolithography method. A supply port 10 that is a hole or a slit is formed in the center of the piezoelectric substrate to supply ink to the nozzle from the outside. Further, the acoustic lens 6 was adhered onto the piezoelectric substrate, and the nozzle plate 4 was adhered onto the acoustic lens 6, thereby producing a line-shaped inkjet head. As the acoustic lens type, the type shown in FIG. 5A was used. The nozzles are formed on two lines l1 and l2 as shown in the figure, and the pitch d between nozzles on different lines is p = 2 * d with respect to the pitch p between nozzles on each line. The nozzles of the nozzles l1 and l2 are formed so as to have a relationship, and the resolution is twice the nozzle pitch p on the recording paper by adjusting the printing timings of the nozzles of the l1 and l2 so that the recording images are on the same line on the recording paper. Therefore, high resolution recording can be easily achieved.

【0017】[0017]

【発明の効果】本発明によれば、圧電体基板とノズルプ
レートのギャップに保持されたインクをノズルからイン
クミストとして吐出するインクジェットヘッドにおい
て、圧電体基板とインクの間に音響レンズを設けたこと
により、従来に比べて広い面積の圧電体基板の振動を利
用できるため、圧電体基板を駆動する電圧を低下する事
ができると言う効果を有する。
According to the present invention, in the ink jet head for ejecting the ink held in the gap between the piezoelectric substrate and the nozzle plate as the ink mist from the nozzle, the acoustic lens is provided between the piezoelectric substrate and the ink. As a result, it is possible to utilize the vibration of the piezoelectric substrate having a larger area than that of the conventional one, and thus it is possible to reduce the voltage for driving the piezoelectric substrate.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明における実施例のインクジェットヘッド
の断面図を示した説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a cross-sectional view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例のインクジェットヘッドを駆動
する回路構成を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a circuit configuration for driving the inkjet head according to the embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施例のインクジェットヘッドの記録
時間と印写濃度の関係を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the relationship between the recording time and the print density of the inkjet head of the embodiment of the present invention.

【図4】本発明の実施例のインクジェットヘッドの音響
レンズの第2の実施例を示した図である。
FIG. 4 is a diagram showing a second embodiment of the acoustic lens of the inkjet head according to the embodiment of the present invention.

【図5】本発明の実施例のインクジェットヘッドの音響
レンズの第3の実施例を示した図である。
FIG. 5 is a diagram showing a third example of the acoustic lens of the inkjet head according to the example of the present invention.

【図6】本発明における他の実施例のインクジェットヘ
ッドの示した図である。
FIG. 6 is a diagram showing an inkjet head of another embodiment of the present invention.

【図7】従来のインクジェットヘッドを示す説明図であ
る。
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a conventional inkjet head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1・・・圧電体基板 2・・・駆動電極 3・・・共通電極 4・・・ノズルプレート 5・・・ノズル 6・・・音響レンズ 7・・・インク 8・・・インクミスト 9・・・超音波 10・・・供給口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Piezoelectric substrate 2 ... Drive electrode 3 ... Common electrode 4 ... Nozzle plate 5 ... Nozzle 6 ... Acoustic lens 7 ... Ink 8 ... Ink mist 9 ....・ Ultrasonic 10 ・ ・ ・ Supply port

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧電体基板と、この圧電体基板の表面と
裏面に配された少なくとも1対の電極と、前記電極間に
この圧電体基板の共振周波数に等しい周期で変化する電
圧を選択的に印加する駆動手段と、前記圧電体基板と平
行に配されたノズルプレートと、前記圧電体基板とノズ
ルプレートのギャップに保持されたインクとを備え、前
記インクをノズルプレートのノズルからインクミストと
して吐出するインクジェットヘッドにおいて、前記圧電
体基板とインクの間に音響レンズを設けたことを特徴と
するインクジェットヘッド。
1. A piezoelectric substrate, at least one pair of electrodes arranged on the front and back surfaces of the piezoelectric substrate, and a voltage between the electrodes that changes at a period equal to the resonance frequency of the piezoelectric substrate. Drive means for applying to the piezoelectric substrate, a nozzle plate arranged in parallel with the piezoelectric substrate, and ink held in the gap between the piezoelectric substrate and the nozzle plate, the ink as an ink mist from the nozzle of the nozzle plate. An inkjet head for discharging, comprising an acoustic lens provided between the piezoelectric substrate and ink.
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