JPH05288900A - Deflecting electromagnet device for parting direction of beam - Google Patents

Deflecting electromagnet device for parting direction of beam

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JPH05288900A
JPH05288900A JP9415992A JP9415992A JPH05288900A JP H05288900 A JPH05288900 A JP H05288900A JP 9415992 A JP9415992 A JP 9415992A JP 9415992 A JP9415992 A JP 9415992A JP H05288900 A JPH05288900 A JP H05288900A
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JP
Japan
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magnetic pole
electromagnet
magnet
orbit
exit
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JP9415992A
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Japanese (ja)
Inventor
Shintaro Fukumoto
信太郎 福本
Masataka Mizobata
正隆 溝端
Yuichi Yamamoto
雄一 山本
Teruji Matsuzaki
輝治 松崎
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00
    • H05H7/04Magnet systems, e.g. undulators, wigglers; Energisation thereof

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  • Optics & Photonics (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To make a deflecting electromagnet device for parting a beam be small in size and light in weight and to reduce an exciting power. CONSTITUTION:An electromagnet 18 having a track 12 in one direction of deflection, an electromagnet 19 including a track in a different direction of deflection from the one of the electromagnet 18, a jack 20 moving these electromagnets 18 and 19, and a vessel 21 having an incidence port 7 and emission ports 8 to 10 of a beam and keeping the tracks vacuum, are provided. For switching the direction of deflection, the electromagnet having the direction of deflection needed is moved to the emission port needed. The area of a magnetic pole of the electromagnet is reduced, an electromagnet device is made small in size and light in weight accordingly and power-saving is attained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、例えば実験核物理学
あるいは医療分野で用いられる、荷電粒子ビームの方向
を振り分ける偏向用電磁石装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deflecting electromagnet device for diverting the direction of a charged particle beam, which is used in, for example, experimental nuclear physics or medical field.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来技術の説明の都合上、まず図13の
ビーム振り分け説明図により、例えば実験用ビーム照射
システムの中でビームの振り分け用偏向電磁石装置が、
どのように使用されているかについて説明する。図に於
いて、4は電磁石であり、荷電粒子ビーム(以後、ビー
ムと言う)の入射口7(以後、入射口と言う)と右出射
口8、直進出射口9、左出射口10を備えている。11
〜14は説明のために示すビーム軌道であり、11は入
射口7を通る入射ビーム軌道、12は右出射口8を通る
右出射ビーム軌道、13は直進出射口9を通る直進ビー
ム軌道、14は左出射口10を通る左出射ビーム軌道を
示す。16はビームの照射対象を示し、17は照射シス
テムの中で用いられている、他の偏向装置やビームしぼ
りあるいは拡散装置等(以後、他の装置と言う)であ
る。なお、図には示さないがビーム軌道11〜14は全
て眞空のダクトの内部を通っている。
2. Description of the Related Art For convenience of explanation of the prior art, first, referring to a beam distribution explanatory view of FIG. 13, for example, a deflection electromagnet device for beam distribution in an experimental beam irradiation system is described.
Explain how it is used. In the figure, 4 is an electromagnet, which comprises an entrance 7 (hereinafter referred to as an entrance) for a charged particle beam (hereinafter referred to as a beam), a right exit 8, a straight exit 9, and a left exit 10. ing. 11
˜14 are beam trajectories shown for explanation, 11 is an incident beam orbit passing through the entrance 7, 12 is a right exiting beam orbit passing through the right exit 8, 13 is a straight beam going through the straight exit 9, 14 Indicates a left output beam trajectory passing through the left output port 10. Reference numeral 16 denotes a beam irradiation target, and 17 is another deflecting device, a beam squeezing device, a diffusing device or the like (hereinafter referred to as another device) used in the irradiation system. Although not shown in the figure, all the beam trajectories 11 to 14 pass through the inside of a pure duct.

【0003】図13の照射システムを用いて行われる実
験等においては、照射対象16に一方向からビームを照
射するだけでは不都合で、照射方向を切替えて照射する
必要がある場合がある。照射対象16自体の向きを変え
る事で見かけの照射方向を変える事は可能であるが、照
射対象16を動かす事が出来ない場合もある。このよう
な場合に電磁石4によってビームの方向を右、左又は直
進に振り分けを行い、他の装置17を用いて任意の異な
る方向から照射対象16にビームが到達するようにシス
テムを構成しておけば、必要な時に容易にいずれかの方
向からビームを照射することが出来る。振り分け電磁石
装置はこのように使用されるものである。
In an experiment conducted using the irradiation system shown in FIG. 13, it is inconvenient to irradiate the irradiation target 16 with a beam from one direction, and it may be necessary to switch the irradiation direction. Although it is possible to change the apparent irradiation direction by changing the direction of the irradiation target 16 itself, there are cases where the irradiation target 16 cannot be moved. In such a case, the system may be configured so that the direction of the beam is distributed to the right, left, or straight by the electromagnet 4, and the beam reaches the irradiation target 16 from any different direction by using another device 17. For example, the beam can be easily emitted from either direction when needed. The sorting electromagnet device is used in this way.

【0004】次に図10〜12に従来の荷電粒子ビーム
(以後、ビームと言う)の方向を振り分ける偏向電磁石
装置の一例を示す。図10〜12に示すものは筑波大学
粒子線医科学センター発行の「医療用加速器設計報告
書」(1988年7月発行)に示されたものと類似のも
のである。図10は上面図、図11は正面図、図12は
内部構造を示すための分解図である。図に於て4、7〜
14は図13と同様であるので説明を省略する。
Next, FIGS. 10 to 12 show an example of a conventional deflection electromagnet device for diverting the direction of a charged particle beam (hereinafter referred to as a beam). 10 to 12 are similar to those shown in the "Medical Accelerator Design Report" (issued in July 1988) issued by the University of Tsukuba Particle Beam Medical Science Center. 10 is a top view, FIG. 11 is a front view, and FIG. 12 is an exploded view showing the internal structure. In the figure 4, 7 ~
Since 14 is the same as that in FIG. 13, its explanation is omitted.

【0005】前述した電磁石4は、以下により構成され
ている。即ち、小さい間隙をはさんで対向して配置され
た2個の磁極1と、磁極1の周囲に巻回された励磁コイ
ル2(以後コイルと言う)と、2個の磁極1を互に磁気
的に結合する継鉄3と、2つの磁極1の間隙5(以後、
磁極間隙と言う)に設置され内部を眞空に保たれてビー
ムが通る眞空ダクト6と、眞空ダクト6に設けられ他の
装置17のビーム軌道と接続するための前述の入射口7
及び右出射口8、直進出射口9、左出射口10とにより
構成されている。
The above-mentioned electromagnet 4 is composed of the following. That is, two magnetic poles 1 arranged to face each other across a small gap, an exciting coil 2 (hereinafter referred to as a coil) wound around the magnetic pole 1, and two magnetic poles 1 are magnetically connected to each other. And the gap 5 between the two magnetic poles 1 (hereinafter,
(Referred to as the magnetic pole gap) and a hollow duct 6 through which the beam is passed while keeping the inside of the vacuum duct, and the above-mentioned entrance 7 for connecting to the beam trajectory of another device 17 provided in the vacuum duct 6
And a right exit 8, a straight exit 9, and a left exit 10.

【0006】15は説明のため1つの磁極1、磁極間隙
5、もう一つの磁極1、継鉄3を通って再び最初に記し
た磁極1に戻る磁路を示すものである。なお図12で
は、継鉄3を2個に分離されたものを示しているが製造
上の都合により、一体化されているものや、もっと多く
の部分に分割されているのもある。
Reference numeral 15 denotes a magnetic path for returning to the first described magnetic pole 1 through one magnetic pole 1, magnetic pole gap 5, another magnetic pole 1, and yoke 3 for the sake of explanation. Although FIG. 12 shows the yoke 3 separated into two pieces, it may be integrated or may be divided into more parts for the convenience of manufacturing.

【0007】次に図10〜12にもとづき、動作につい
て説明する。コイル2に直流電流を流すことにより、磁
路15に沿って磁力線が誘起され、磁極間隙5に磁場が
発生する。電流の方向を逆向きにすれば磁場の向きも逆
転する。この磁場は眞空ダクト6の内部にも一様に発生
するので、眞空ダクト6の中へ入射口7から入射ビーム
11が入射すると、入射されたビームは偏向し、磁場の
強さが適度であれば、磁場の向きに応じて右出射口8又
は左出射口10のいずれかから、右出射ビーム軌道12
又は左出射ビーム軌道14に沿って出射される。コイル
2に電流を流さなければ磁場は発生せず、入射ビーム1
1は偏向せずに直進し、直進出射口9から直進ビーム軌
道13に沿って出射される。
Next, the operation will be described with reference to FIGS. By passing a direct current through the coil 2, magnetic lines of force are induced along the magnetic path 15 and a magnetic field is generated in the magnetic pole gap 5. If the direction of the electric current is reversed, the direction of the magnetic field is also reversed. Since this magnetic field is uniformly generated inside the air duct 6, when the incident beam 11 enters the air duct 6 from the entrance 7, the incident beam is deflected and the strength of the magnetic field is moderate. For example, depending on the direction of the magnetic field, either the right exit port 8 or the left exit port 10 may be moved to the right exit beam trajectory 12
Alternatively, the light is emitted along the left emission beam trajectory 14. If no current is passed through the coil 2, no magnetic field is generated and the incident beam 1
1 travels straight without being deflected, and is emitted from the straight exit port 9 along the straight beam trajectory 13.

【0008】以上のようにコイル2への電流の有無、又
は電流の向きによって、図13のビーム照射システムに
於て、ビームを右出射ビーム軌道12、直進ビーム軌道
13、左出射ビーム軌道14のいずれかへ振り分けるこ
とが出来る。なお、ここでの説明では荷電粒子の電荷の
極性は一種類として説明している。
As described above, depending on the presence / absence of the current to the coil 2 or the direction of the current, in the beam irradiation system of FIG. 13, the beam is divided into the right exit beam trajectory 12, the straight exit beam trajectory 13, and the left exit beam trajectory 14. You can sort to either. In addition, the polarity of the charge of the charged particles is described as one kind in the description here.

【0009】図10に於ける磁極1の大きさは、入射ビ
ーム軌道11と右出射ビーム軌道12と左出射ビーム軌
道14を含む大きさである事が必要である。直進ビーム
軌道13の直進出射口9の付近の磁極は不必要である
が、電磁石製造技術上は、磁極の中央が欠け落ちたもの
とする事が困難であるために、一般にはこれらの全ての
軌道を含む広い面積の磁極が用いられる。継鉄3の部分
の磁束密度を過大にしないためには、継鉄3の断面積は
磁極1の面積に応じて広くする必要があるため、磁極1
の面積が大きいと、継鉄3も大きくなり、電磁石4の大
きさ及び重量は大きいものとなる。更にコイル2は広い
磁極1を囲む大きさとする必要があるため、磁極1の面
積が大きければコイル2が消費する電力消費も大きくな
る。
The size of the magnetic pole 1 in FIG. 10 needs to be a size including the incident beam orbit 11, the right outgoing beam orbit 12 and the left outgoing beam orbit 14. Although the magnetic poles in the vicinity of the straight beam exit 9 of the straight beam trajectory 13 are unnecessary, it is difficult to make the center of the magnetic poles chipped off in the electromagnet manufacturing technology, and therefore all of these are generally used. A large area magnetic pole including the orbit is used. In order to prevent the magnetic flux density of the yoke 3 from becoming excessive, it is necessary to make the cross-sectional area of the yoke 3 wide according to the area of the magnetic pole 1.
If the area is large, the yoke 3 also becomes large, and the size and weight of the electromagnet 4 become large. Further, since the coil 2 needs to have a size that surrounds the wide magnetic pole 1, the larger the area of the magnetic pole 1, the greater the power consumption of the coil 2.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】従来のビーム方向振り
分け用偏向電磁石装置は以上のように構成されているの
で、ある時刻に使用するビーム軌道は、常に1本のみで
あるにかかわらず、磁極の面積は全ての軌道を含むよう
に構成されているため、磁極面積は大きいものとなり、
これに応じて継鉄断面も大きくなり、コイルも大きくな
って、寸法・重量とも巨大なものとなり電磁石製作費
用、輸送費用、据付工事費用、更には電源装置や消費電
力費用も多額であると言う問題があった。
Since the conventional deflecting electromagnet device for beam direction distribution is constructed as described above, the beam orbit used at a certain time is always one, but the magnetic pole of the magnetic pole is always used. Since the area is configured to include all trajectories, the magnetic pole area will be large,
According to this, the yoke section becomes larger, the coil becomes larger, and the size and weight become huge, and the electromagnet manufacturing cost, transportation cost, installation work cost, power supply device and power consumption cost are also large. There was a problem.

【0011】この発明は上記のような問題点を解決する
ためになされたものであり、電磁石寸法と重量及びコイ
ル消費電力のいずれもが軽減されたビーム振分け用偏向
電磁石装置を得ようとするものである。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to obtain a beam deflecting electromagnet device in which all of the electromagnet size and weight and the coil power consumption are reduced. Is.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明に係るビーム方
向振り分け用偏向電磁石装置は、第1の発明として、電
磁石の移動機構を備え、偏向方向の切換え時には電磁石
の必要な出射口が所定の位置へ来るように移動させるこ
とが出来るものであり、又、この移動時にも全てのビー
ム軌道を眞空に保ち得る容器を備えたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a deflection electromagnet device for beam direction distribution, which comprises a moving mechanism for an electromagnet, and when the deflection direction is switched, a necessary exit port of the electromagnet is at a predetermined position. It can be moved so as to come to the air, and is equipped with a container that can keep all the beam trajectories clean even during this movement.

【0013】又、第2の発明として、電磁石の磁極を、
電磁石の継鉄の表面で移動させるようにしたものであ
る。
As a second invention, the magnetic poles of the electromagnet are
It is designed to move on the surface of the yoke of the electromagnet.

【0014】[0014]

【作用】上記のように構成された第1の発明によるビー
ム方向振り分け用偏向電磁石装置では、電磁石が移動し
て使用すべき出射口を所定の位置へ移動出来るので、1
つの磁極は1つのビーム軌道を含むのみとすることが出
来、磁極面積を小さくする事が出来る。これによって電
磁石が小形、軽量化される。又、使用する軌道に対応し
たコイルのみ励磁すればよいので、コイル励磁電力が低
減出来る。
In the beam deflecting deflecting electromagnet device according to the first aspect of the present invention constructed as described above, the electromagnet can be moved to move the emission port to be used to a predetermined position.
One magnetic pole can include only one beam trajectory, and the magnetic pole area can be reduced. This reduces the size and weight of the electromagnet. Further, since only the coil corresponding to the orbit to be used need be excited, the coil exciting power can be reduced.

【0015】第2の発明では、必要な軌道の方向へ磁極
が移動出来るので、磁極は全ての軌道を重累した形に合
せた小面積のものとする事が出来る。これによって電磁
石が小形、軽量化され、コイルも小形となりコイル励磁
電力も低減出来る。
In the second aspect of the invention, since the magnetic poles can be moved in the required orbital direction, the magnetic poles can be of a small area in conformity with the form in which all orbits are accumulated. This reduces the size and weight of the electromagnet, reduces the size of the coil, and reduces the coil excitation power.

【0016】[0016]

【実施例】【Example】

実施例1.以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1は本発明の実施例1に於けるビーム方向振り
分け用偏向電磁石装置の側面断面図、図2は同じく上面
図、図3は実施例1に用いられている電磁石の構造を説
明するための部分分解図である。図1〜3に於て、5〜
14は従来例と同様であるので説明は省略する。磁極
1、コイル2、継鉄3及びそれらにより構成された電磁
石4は従来よりも小形になっている。18は右磁石であ
り2コの対向する磁極1、2コのコイル2及び継鉄3か
ら構成される、19は左磁石でありその構成は右磁石1
8と同一であるが磁極1の曲りの方向が右磁石18とは
対称に左方向へ曲っている。20は上下に移動可能なジ
ャッキであり、ジャッキ20の上には左磁石19、更に
その上に右磁石18を積載している。21はジャッキ2
0、右磁石18、左磁石19を収納する眞空容器であ
る。眞空容器21には入射口7、右出射口8、直進出射
口9、左出射口10が同一高さに設けられている。
Example 1. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view of a deflecting electromagnet device for beam direction distribution according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a top view of the same, and FIG. 3 is a view for explaining a structure of an electromagnet used in the first embodiment. It is a partially exploded view. 5 to 5 in FIGS.
Since 14 is the same as the conventional example, description thereof will be omitted. The magnetic pole 1, the coil 2, the yoke 3, and the electromagnet 4 composed of them are smaller than conventional ones. Reference numeral 18 is a right magnet, which is composed of two opposing magnetic poles 1, 2 coils 2 and yoke 3, and 19 is a left magnet, the configuration of which is the right magnet 1.
Although the same as No. 8, the bending direction of the magnetic pole 1 is bent leftward symmetrically with the right magnet 18. Reference numeral 20 denotes a jack movable up and down. A left magnet 19 is mounted on the jack 20, and a right magnet 18 is mounted thereon. 21 is jack 2
0, a right magnet 18, and a left magnet 19 are empty containers. The empty container 21 is provided with an entrance 7, a right exit 8, a straight exit 9, and a left exit 10 at the same height.

【0017】実施例1の右磁石18及び左磁石19の構
造について図3により説明する。図3は右磁石18の構
造を示す。右磁石18は右曲りの偏向のためにのみ使用
されるので、右磁石18の磁極1の巾は、1つの粒子軌
道、即ち入射ビーム軌道11から右出射ビーム軌道12
へ至る1本の軌道に対して、安定な磁界を与えるのに必
要な最小の巾となっている。左磁石19についても曲り
の方向が逆である以外は同様であり、右磁石18の磁極
1の面積と、左磁石19の磁極の1の面積を合せても、
従来の電磁石4の磁極1の面積より、ほぼ直進ビーム軌
道を包む程度の面積が小さい。磁極1の面積が小さいの
で継鉄3の断面積も小さくてすみ、コイルも小形となっ
て、右磁石18の重量と左磁石19の重量を合わせて
も、従来の電磁石4の重量より小さい。
The structures of the right magnet 18 and the left magnet 19 of the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 3 shows the structure of the right magnet 18. Since the right magnet 18 is used only for deflection of the right bend, the width of the magnetic pole 1 of the right magnet 18 is such that the width of one particle trajectory is from the incident beam trajectory 11 to the right exit beam trajectory 12.
It is the minimum width necessary to give a stable magnetic field to one orbit leading to. The same applies to the left magnet 19 except that the bending direction is opposite. Even if the area of the magnetic pole 1 of the right magnet 18 and the area of 1 of the magnetic pole of the left magnet 19 are matched,
The area of the magnetic pole 1 of the conventional electromagnet 4 is smaller than the area of the straight magnetic beam trajectory. Since the area of the magnetic pole 1 is small, the cross-sectional area of the yoke 3 can be small, and the coil is also small, and the weight of the right magnet 18 and the weight of the left magnet 19 are smaller than the weight of the conventional electromagnet 4.

【0018】ジャッキ20を上下させることにより右磁
石18、左磁石19が共に上下する。右磁石18と左磁
石19とは、それぞれの入射軌道11が互いに平行で、
かつジャッキ20の上下移動方向に沿って上下に重なる
ように配置されているので、ジャッキ20の高さを適当
にすることにより、入射口7の高さに右磁石18又は左
磁石19のいずれの入射ビーム軌道11の位置をも合わ
せる事が出来る。
By moving the jack 20 up and down, both the right magnet 18 and the left magnet 19 move up and down. The right magnet 18 and the left magnet 19 have their incident trajectories 11 parallel to each other,
In addition, the jacks 20 are arranged so as to vertically overlap with each other along the vertical movement direction of the jack 20. Therefore, by adjusting the height of the jack 20 to an appropriate level, the height of the entrance 7 can be controlled by either the right magnet 18 or the left magnet 19. The position of the incident beam trajectory 11 can also be adjusted.

【0019】右磁石18の入射ビーム軌道11の位置を
入射口7に合わせた時には右出射口8の位置に、右出射
ビーム軌道12が合っているので、この時、右磁石18
のコイル2に電流を所定の方向に流せば入射口7、右出
射口8を通じて粒子を右方向へ振り、一方、左磁石19
の入射ビーム軌道11の位置を入射口7に合せた時には
左出射口10の位置に出射ビーム軌道14が合っている
ので、この時、左磁石19のコイル2に電流を所定の方
向に流せば、入射口7、左出射口10を通じて粒子を左
方向へ振ることが出来る。
When the position of the incident beam orbit 11 of the right magnet 18 is aligned with the entrance 7, the right outgoing beam orbit 12 is aligned with the position of the right exit 8, so that the right magnet 18 is at this time.
When a current is applied to the coil 2 of the device in a predetermined direction, the particles are swung to the right through the entrance 7 and the right exit 8, while the left magnet 19
When the position of the incident beam orbit 11 is aligned with the entrance 7, the outgoing beam orbit 14 is aligned with the position of the left exit 10. Therefore, at this time, if a current is applied to the coil 2 of the left magnet 19 in a predetermined direction. Particles can be swung to the left through the entrance port 7 and the left exit port 10.

【0020】粒子を直進出射口9から出射させる場合に
は、偏向の必要がないから、右磁石18、左磁石19の
いずれのコイル2にも電流を通じる必要はないが、磁石
の位置は粒子の通過の障害にならないよう、右磁石18
か左磁石19のいずれかの磁極間隙5を入射口7及び直
進出射口9の高さに合せておく。以上のようにして、ジ
ャッキ20の上下位置を調節するとともに、コイル2へ
の電流を制御することにより、粒子の振り分けを行うこ
とが出来る。
When the particles are emitted from the straight emission port 9, it is not necessary to pass the current through the coils 2 of the right magnet 18 and the left magnet 19 because there is no need for deflection. Right magnet 18 so as not to obstruct the passage of
Either the magnetic pole gap 5 of the left magnet 19 is set to the height of the entrance 7 and the straight exit 9. As described above, the particles can be distributed by adjusting the vertical position of the jack 20 and controlling the current to the coil 2.

【0021】ジャッキ20を動かしても容器21の中は
常に眞空に保たれているので、軌道の振り分け方向の切
替え操作に際して、眞空が破れることはない。
Even if the jack 20 is moved, the inside of the container 21 is always kept empty, so that the empty space is not broken during the switching operation of the distribution direction of the track.

【0022】以上のように右磁石18、左磁石19の磁
界は、それぞれ右曲り専用、左曲り専用として用いられ
ているので、磁極1の巾は、それぞれ右曲り軌道、左曲
り軌道に必要な最小の巾にすることが出来、磁極1の面
積は小さくてすむ。
As described above, the magnetic fields of the right magnet 18 and the left magnet 19 are used only for right bending and left bending, respectively. Therefore, the width of the magnetic pole 1 is required for the right bending trajectory and the left bending trajectory, respectively. The width can be minimized, and the area of the magnetic pole 1 can be small.

【0023】実施例2.図4、図5は本発明の実施例2
によるビーム方向振り分け用偏向電磁石装置を示す図
で、図4は上面図、図5は側面図である。図に於て、2
2は右磁石18の磁極間隙5に挿入された右出射ビーム
軌道12を含む容器(以下、右曲りダクトと呼ぶ)、2
3は左磁石19の磁極間隙5に挿入された左出射ビーム
軌道14と直進出射ビーム軌道13とを含む容器(以
下、左曲りダクトと呼ぶ)、24は右曲りダクト22と
右出射口8を結ぶフレキシブルな金属製ベローズにより
製作された容器(以下、右出射ベローズと言う)であ
る。
Example 2. 4 and 5 show Embodiment 2 of the present invention.
FIG. 4 is a view showing a deflecting electromagnet device for beam direction distribution according to FIG. 4, FIG. 4 is a top view, and FIG. In the figure, 2
Reference numeral 2 denotes a container (hereinafter, referred to as a right bent duct) including the right outgoing beam orbit 12 inserted in the magnetic pole gap 5 of the right magnet 18.
3 is a container (hereinafter, referred to as a left bent duct) including a left outgoing beam orbit 14 and a straight outgoing beam orbit 13 inserted in the magnetic pole gap 5 of the left magnet 19, and 24 is a right bent duct 22 and a right outgoing port 8. It is a container made of a flexible metal bellows to be connected (hereinafter referred to as a right emitting bellows).

【0024】25は左曲りダクト23の直進ビーム軌道
に対応する部分と直進出射口9を結ぶ上記と同じくベロ
ーズ製の容器(以下、直進出射ベローズと言う)、26
は左曲りダクト23の左出射ビーム軌道に対応する部分
と左出射口を結ぶ上記と同じくベローズ製の容器(以
下、左出射ベローズと言う)、27は右曲りダクト22
の入射ビーム軌道11対応する部分と、左曲りダクト2
3入射ビーム軌道11に対応する部分との両方を入射口
7に結ぶ上記との同じくベローズ製の容器(以下、入射
ベローズと言う)である。なお図4、図5では入射口
7、及び右出射口8、直進出射口9、左出射口10を支
えるべき物が記載されていないが、これらは粒子軌道上
の他の機器(図示しない)に接続されていて動かないよ
うになっている
Reference numeral 25 denotes a bellows-like container (hereinafter referred to as a straight-moving bellows) which connects the straight-moving beam orbit of the left-turning duct 23 and the straight-moving emitting port 9 to each other.
Is a container made of bellows similar to the above connecting the part corresponding to the left outgoing beam trajectory of the left bent duct 23 and the left outgoing port (hereinafter referred to as left outgoing bellows), and 27 is the right bent duct 22.
Corresponding to the incident beam trajectory 11 of the left curved duct 2
A container made of the same bellows as described above (hereinafter referred to as an entrance bellows) is connected to both the part corresponding to the three-incidence beam trajectory 11 and the entrance port 7. 4 and 5, objects that should support the entrance 7, the right exit 8, the straight exit 9, and the left exit 10 are not shown, but these are other devices (not shown) on the particle orbit. Is connected to and is stuck

【0025】図5はジャッキ20が上昇して、左磁石1
9の入射ビーム軌道11が入射口7と、又同じく左出射
ビーム軌道14が左出射口10と、それぞれ相対する位
置にある状態を示し、この時には、直進ビーム軌道13
も直進出射口9と相対する位置になっていて、入射ビー
ム軌道11と直進ビーム軌道13及び左出射ビーム軌道
14が用いられる位置になっている。右出射ベローズ2
4、直進出射ベローズ25、左出射ベローズ26及び入
射ベローズ27は全て自在に折れ曲ったり伸縮したり出
来、右磁石18、左磁石19が上下に移動しても内部は
常に眞空に保たれている。又上記ベローズ24、25、
26、27はそれぞれ粒子軌道として、用いられる位置
に来たときには、中だるみして曲ったりしないよう適当
な支え具(図示していない)によって直線状に保たれ、
粒子の進行に支障がない構造となっている。
In FIG. 5, the jack 20 is lifted and the left magnet 1
9 shows a state in which the incident beam orbit 11 and the left exit beam orbit 14 of the beam 9 and the left exit beam 10 and 14 respectively face each other.
Is also a position facing the straight-ahead exit port 9, and is a position where the incident beam orbit 11, the straight-ahead beam orbit 13 and the left exit beam orbit 14 are used. Right emitting bellows 2
4. The straight-moving output bellows 25, the left-side output bellows 26, and the input-side bellows 27 can be freely bent or expanded / contracted, and the inside is always kept empty even if the right magnet 18 and the left magnet 19 move up and down. .. Also, the bellows 24, 25,
Particles 26 and 27 are respectively held as linear orbits by a proper supporting member (not shown) so as not to bend due to slackening when they come to a position to be used,
It has a structure that does not hinder the progress of particles.

【0026】実施例1及び実施例2の図1〜5に於て
は、右磁石18及び左磁石19を上下に重ねて配置し、
これら磁石の移動には上下に移動するジャッキ20を用
いているが、上下の配置はどちらの磁石が上でもよい。
又、両磁石を横に並べ、移動には水平移動用の台車等を
用いてもよい。又偏向角度の異なる3種類以上の磁石を
用いてもよい。実施例2の左曲りダクト23には直進ビ
ーム軌道13を含めているが右曲りダクト22に直進ビ
ーム軌道を含めてもよい。
1 to 5 of the first and second embodiments, the right magnet 18 and the left magnet 19 are arranged one above the other,
The jacks 20 that move up and down are used to move these magnets, but either magnet may be placed on the top and bottom.
Alternatively, both magnets may be arranged side by side and a carriage for horizontal movement may be used for movement. Also, three or more types of magnets having different deflection angles may be used. Although the straight beam trajectory 13 is included in the left-turning duct 23 of the second embodiment, the straight beam trajectory may be included in the right-turning duct 22.

【0027】実施例3.図6、図7は本発明の実施例3
を示す図であり、図6は上面図、図7は側面図であり、
いずれも部分的に断面を示している。図に於て28は左
へ曲る軌道のみを有する磁石である。29は磁石28を
支える回転軸受で、その回転の軸中心は入射ビーム軌道
11と一致し、かつ、磁石28が安定して回転し得るよ
うな位置に設けられている。30は磁石28を回転駆動
する駆動装置でその回転の中心軸をつらぬいて直進軌道
ダクト31が設けられ、その出口に直進出射口9が設け
られている。上記の回転軸受29や駆動装置30は磁極
間隙5の磁界を乱さないように材料及び配置が考慮され
ている。32は説明のため、磁石28が図6の実線に示
す状態から約180°回転して裏がえしの位置にある場
合を示している。容器21を貫通する駆動装置30は、
回転軸受29の部分で気密を保つ構造となっている。
Example 3. 6 and 7 show Embodiment 3 of the present invention.
FIG. 6 is a top view, FIG. 7 is a side view,
Each of them shows a partial cross section. In the figure, 28 is a magnet having only a left-turning orbit. Reference numeral 29 denotes a rotary bearing that supports the magnet 28. The axis of rotation of the magnet 29 coincides with the incident beam orbit 11 and is provided at a position where the magnet 28 can rotate stably. Reference numeral 30 denotes a drive device for rotationally driving the magnet 28, which is provided with a straight advancing orbit duct 31 by penetrating the central axis of its rotation, and a straight advancing exit 9 being provided at the outlet thereof. The materials and arrangement of the rotary bearing 29 and the driving device 30 are considered so as not to disturb the magnetic field of the magnetic pole gap 5. For the sake of explanation, reference numeral 32 shows the case where the magnet 28 is rotated by about 180 ° from the state shown by the solid line in FIG. The drive device 30 penetrating the container 21 is
The rotary bearing 29 has a structure that maintains airtightness.

【0028】磁石28は、1本の軌道を有するのみであ
るので、従来の電磁石4よりも小形、軽量化される。又
コイル2の消費電力も少い。ビームを右方向へ振り向け
るには、磁石28を駆動して裏返し位置32へ移動し、
その出射ビーム軌道を右出射口に合わせることにより、
右出射ビーム軌道12として用いることが可能となる。
コイル2に流す電流の方向は、偏向方向が右か左かに関
係なく常に同一方向である。ビームを直進させる場合は
磁石28の位置に関係なく、コイル2に電流を流さない
ようにするだけでよい。本実施例では容器21には2ヵ
所の出射口のみを設けているが、例えば磁石28が90
°回転する位置毎に出射口を設ける等としてもよく、用
いるべき磁石の数は偏向方向の数に関係なく1基でよ
い。
Since the magnet 28 has only one orbit, it is smaller and lighter than the conventional electromagnet 4. Also, the power consumption of the coil 2 is small. To turn the beam to the right, drive the magnet 28 to the flip position 32,
By aligning the exit beam trajectory with the right exit,
It can be used as the right emission beam trajectory 12.
The current flowing through the coil 2 is always in the same direction regardless of whether the deflection direction is right or left. When the beam travels straight, regardless of the position of the magnet 28, it suffices not to pass a current through the coil 2. In this embodiment, the container 21 is provided with only two outlets, but for example, the magnet 28 has 90
An output port may be provided at each rotation position, and the number of magnets to be used may be one regardless of the number of deflection directions.

【0029】実施例3の図6、及び7では容器21は固
定されていて、磁石28のみが回転するようにしている
が容器21は磁石28とつれ回りする構造であっても、
軸受29及び入出射口の気密が保持される構造となって
おればよい。又容器21は磁石28の外部をおおう様に
図示しているが容器21を使用せずに、磁極間隙5に左
ダクト23を設けて図5に示すベローズ25、ベローズ
26を用いて軌道の眞空を保つようにする事も出来る。
この場合磁石28の移動範囲はベローズ25、ベローズ
26の長さが足りる範囲内に制約される。磁石28の曲
りの方向は図6に示すものと逆のものでもよい。
In FIGS. 6 and 7 of the third embodiment, the container 21 is fixed and only the magnet 28 is rotated. However, even if the container 21 rotates around the magnet 28,
It is sufficient that the bearing 29 and the inlet / outlet port are kept airtight. Although the container 21 is illustrated as covering the outside of the magnet 28, the left duct 23 is provided in the magnetic pole gap 5 without using the container 21, and the bellows 25 and 26 shown in FIG. You can also keep it.
In this case, the movement range of the magnet 28 is restricted within the range in which the length of the bellows 25 and 26 is sufficient. The bending direction of the magnet 28 may be opposite to that shown in FIG.

【0030】実施例4.図8、図9は本発明の実施例4
を示し、図8は構造を示す分解図、図9は磁極の大きさ
を説明する図である。図に於て33は磁極1を継鉄3の
表面を回転移動させる磁極回転軸である。磁極1は継鉄
3に接して、磁極回転軸33を中心として、右出射口8
に対応する位置から、左出射口10に対応する位置まで
左右に振れ動く構造であり、このときコイル2も磁極1
と共に回転移動する。34は磁極回転軸33を介して磁
極1を回転移動させる駆動装置である。図8では磁極1
は左出射口10に対応する位置にある場合を示してい
る。
Example 4. 8 and 9 show Embodiment 4 of the present invention.
FIG. 8 is an exploded view showing the structure, and FIG. 9 is a diagram for explaining the size of magnetic poles. In the figure, numeral 33 is a magnetic pole rotating shaft for rotating the magnetic pole 1 on the surface of the yoke 3. The magnetic pole 1 is in contact with the yoke 3, and the magnetic pole rotation shaft 33 is the center, and the right emission port 8
The structure is such that the coil 2 swings left and right from the position corresponding to the position 1 to the position corresponding to the left emission port 10.
Rotate and move with. Reference numeral 34 is a drive device for rotating the magnetic pole 1 via the magnetic pole rotation shaft 33. In FIG. 8, magnetic pole 1
Shows the case where the position is corresponding to the left emission port 10.

【0031】図9により実施例4の磁極1の大きさにつ
いて説明する。実施例4では1個の磁極1が右曲り偏向
と左曲り偏向の両方向の偏向を行うが、それによって磁
極1の面積が増えないように、前記両方向の軌道が磁極
1の上で重なるようにする、軌道の重ね方は重なった全
ての軌道を包む包絡線内の面積が最小となるようにす
る。即ち図9に於て右出射ビーム軌道12と左出射ビー
ム軌道14とが交差する中央部分の距離35と、前記両
軌道が出射する側の磁極1の端部での距離36と、前記
両偏向に際して、入射ビーム11が磁極1の入射端部で
とる距離37との3つの距離がほぼ等しくなるように重
ね合わせた場合に、磁極1の巾を最も狭くすることが出
来る。
The size of the magnetic pole 1 of the fourth embodiment will be described with reference to FIG. In the fourth embodiment, one magnetic pole 1 deflects in both the right-deflecting deflection and the left-deflecting deflection. To prevent the area of the magnetic pole 1 from increasing, the trajectories in both directions overlap on the magnetic pole 1. The overlapping of trajectories is such that the area within the envelope that encloses all overlapping trajectories is minimized. That is, in FIG. 9, the distance 35 at the central portion where the right output beam orbit 12 and the left output beam orbit 14 intersect, the distance 36 at the end of the magnetic pole 1 on the side where both the outputs are output, and both the deflections At this time, the width of the magnetic pole 1 can be minimized when the incident beam 11 and the distance 37 at the incident end of the magnetic pole 1 are overlapped so that the three distances are substantially equal.

【0032】磁極1が図8に示す位置にある場合には、
左出射ビーム軌道14が用いられており、右出射ビーム
軌道12を用いる場合には磁極1を右出射口8に対応す
る位置へ移動させ、更にコイル2に流す電流の方向を逆
にする。
When the magnetic pole 1 is at the position shown in FIG.
The left emission beam orbit 14 is used, and when the right emission beam orbit 12 is used, the magnetic pole 1 is moved to a position corresponding to the right emission port 8 and the direction of the current flowing through the coil 2 is reversed.

【0033】本実施例では、左右の偏向軌道が重ねられ
たものに対応する狭い巾の磁極が用いられているので、
磁極面積が小さく、これに応じて継鉄3の断面積も小さ
いもので足り、又コイルも小形でよいので小形、軽量化
及び電力消費の低減を行うことが出来る。
In this embodiment, since the magnetic poles having a narrow width corresponding to the one in which the left and right deflection trajectories are overlapped are used,
Since the magnetic pole area is small and the cross-sectional area of the yoke 3 is small accordingly, and the coil may be small, the size, weight and power consumption can be reduced.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上のように、この第1の発明によれ
ば、電磁石の移動装置により、電磁石の出射口を偏向に
必要な位置へ移動出来るので、磁極は1本の軌道を含む
小面積のものとすることが出来、磁極面積が直進軌道ま
でも含むと言う事がないので、偏向電磁石全体としての
磁極面積は小さく、それに応じて継鉄断面積も小さくな
って小形、軽量化されコイルも小形となる上、必要な偏
向方向のコイルのみを励磁すればよいので、コイル消費
電力が少くてすむと言う効果を有する。
As described above, according to the first aspect of the present invention, the moving device for the electromagnet can move the exit of the electromagnet to the position necessary for deflection, so that the magnetic pole has a small area including one orbit. Since the magnetic pole area does not necessarily include a straight track, the total magnetic pole area of the deflection electromagnet is small, and the yoke cross-sectional area is correspondingly small, which is small and lightweight. In addition, the coil is small, and since only the coil in the necessary deflection direction needs to be excited, there is an effect that the coil power consumption can be small.

【0035】又、使用する偏向方向に一致した磁極を有
する磁石を必要な出射口へ移動する必要があるが、この
際ビーム軌道は常に眞空容器によりその眞空が保たれて
いるので、移動に際して眞空が破れる事がない。
Further, it is necessary to move the magnet having the magnetic poles matching the deflection direction to be used to the required exit port. At this time, since the beam orbit is always maintained by the empty container, the beam trajectory is kept empty. Never breaks.

【0036】この第2の発明によれば、磁極面積が小さ
いので第1の発明と同様に電磁石の小形、軽量化及びコ
イルの省電力化が出来る。更に、移動させる部分が磁極
の部分のみであるため、移動が容易ですむ事と、眞空容
器に可動部分が無いため眞空容器の構造が簡単になり製
造が容易であると言う効果を有する。
According to the second invention, since the magnetic pole area is small, it is possible to reduce the size and weight of the electromagnet and reduce the power consumption of the coil as in the first invention. Further, since the portion to be moved is only the magnetic pole portion, there is an effect that the movement is easy and the structure of the empty container is simple because the empty container has no movable part, and the manufacturing is easy.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例1の側面断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of a first embodiment of the present invention.

【図2】この発明の実施例1の上面図である。FIG. 2 is a top view of the first embodiment of the present invention.

【図3】この発明の実施例1の部分分解図である。FIG. 3 is a partially exploded view of the first embodiment of the present invention.

【図4】この発明の実施例2の上面図である。FIG. 4 is a top view of the second embodiment of the present invention.

【図5】この発明の実施例2の側面図である。FIG. 5 is a side view of a second embodiment of the present invention.

【図6】この発明の実施例3の上面図である。FIG. 6 is a top view of the third embodiment of the present invention.

【図7】この発明の実施例3の側面図である。FIG. 7 is a side view of a third embodiment of the present invention.

【図8】この発明の実施例4の分解図である。FIG. 8 is an exploded view of a fourth embodiment of the present invention.

【図9】この発明の実施例4の説明図である。FIG. 9 is an explanatory diagram of Embodiment 4 of the present invention.

【図10】従来のビーム方向振り分け用電磁石装置の一
例を示す上面図である。
FIG. 10 is a top view showing an example of a conventional beam direction distribution electromagnet device.

【図11】図10の従来の電磁石装置の正面図である。11 is a front view of the conventional electromagnet device of FIG.

【図12】図10の従来の電磁石装置の分解図である。12 is an exploded view of the conventional electromagnet device of FIG.

【図13】粒子ビームの振り分けについての説明であ
る。
FIG. 13 is a diagram for explaining distribution of particle beams.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 磁極 2 コイル 3 継鉄 7 入射口 8 右出射口 9 直進出射口 10 左出射口 11 入射ビーム軌道 12 右出射ビーム軌道 13 直進ビーム軌道 14 左出射ビーム軌道 20 ジャッキ 21 眞空容器 33 磁極回転軸 1 Magnetic pole 2 Coil 3 Yoke 7 Entrance 8 Right exit 9 Straight exit 10 Left exit 11 Incident beam orbit 12 Right exit beam orbit 13 Straight ahead beam orbit 14 Left exit beam orbit 20 Jack 21 Empty container 33 Magnetic pole rotation axis

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松崎 輝治 神戸市兵庫区和田崎町1丁目1番2号 三 菱電機株式会社神戸製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Teruji Matsuzaki 1-2-1 Wadazakicho, Hyogo-ku, Kobe Sanritsu Electric Co., Ltd. Kobe Works

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 荷電粒子が入射される軌道をはさんで、
両側に配置された磁極と、この両磁極を互いに磁気的に
結合する継鉄と、前記磁極及び継鉄を磁化するコイル
と、前記磁極間にあって前記荷電粒子が入射する粒子入
射口及び出射する粒子出射口を有し粒子軌道を構成する
眞空の容器とにより構成され、前記荷電粒子を前記出射
口から所定の出射位置へ出射し、振り分けるビーム方向
振り分け用偏向電磁石装置に於て、前記出射口を前記所
定の出射位置へ移動させる移動機構と、この移動によっ
て生じる全ての粒子軌道の眞空を保つ容器とを備えてな
るビーム方向振り分け用偏向電磁石装置。
1. An orbit across which charged particles are incident,
Magnetic poles arranged on both sides, a yoke that magnetically couples the magnetic poles to each other, a coil that magnetizes the magnetic pole and the yoke, a particle entrance that is between the magnetic poles and that the charged particles enter, and a particle that exits In a deflecting electromagnet device for beam direction distribution, which is composed of a hollow container having an emission port and forming a particle orbit and which emits the charged particles from the emission port to a predetermined emission position, A deflection electromagnet device for beam direction distribution, comprising a moving mechanism for moving to a predetermined emission position, and a container for keeping all the particle trajectories generated by this movement empty.
【請求項2】 荷電粒子が入射される軌道をはさんで、
両側に配置された磁極と、この両磁極を互いに磁気的に
結合する継鉄と、前記磁極及び継鉄を磁化するコイル
と、前記磁極間にあって前記荷電粒子が入射する粒子入
射口及び出射する粒子出射口を有し粒子軌道を構成する
眞空の容器とにより構成され、前記荷電粒子を前記出射
口から所定の出射位置へ出射し振り分けるビーム方向振
り分け用偏向電磁石装置に於て、前記磁極を前記継鉄の
表面で移動させるようにしたビーム方向振り分け用偏向
電磁石装置。
2. across the orbit where charged particles are incident,
Magnetic poles arranged on both sides, a yoke that magnetically couples the magnetic poles to each other, a coil that magnetizes the magnetic pole and the yoke, a particle entrance that is between the magnetic poles and that the charged particles enter, and a particle that exits In a deflection electromagnet device for beam direction distribution, which is composed of a hollow container having an emission port and forming a particle orbit, and ejects and distributes the charged particles from the emission port to a predetermined emission position, the magnetic poles are connected to each other. A deflection electromagnet device for beam direction distribution, which is designed to move on the surface of iron.
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