JPH05283766A - Laser oscillation tube device and mounting method thereof - Google Patents
Laser oscillation tube device and mounting method thereofInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、アライメントや各種測
定の光源として用いられるレーザ発振管装置およびその
取付け方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser oscillator tube device used as a light source for alignment and various measurements, and a method of mounting the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、各種の半導体製造装置に用いられ
る露光装置において、ウエハとマスクとを光学的に位置
合わせをする際の検出光学系では、光源としてレーザ発
振管が使用されている。2. Description of the Related Art Conventionally, in an exposure apparatus used in various semiconductor manufacturing apparatuses, a laser oscillation tube has been used as a light source in a detection optical system for optically aligning a wafer and a mask.
【０００３】レーザ発振管は、露光装置等に組込む場合
に熱の発生やその発生熱の大きさなどの点から、検出光
学系に直接取付けずに光ファイバーにより出射光軸を検
出光学系の所定の位置に導く場合がある。その場合にお
いては、光ファイバーによるレーザ発振管の出射光の光
量損失が少なくなるようにしなければならない。そのた
めには、レーザ発振管の出射光軸の光ファイバーに対す
る入射位置と角度を調整しなければならない。When the laser oscillation tube is incorporated into an exposure apparatus or the like, it is not directly attached to the detection optical system from the viewpoint of generation of heat and the magnitude of the generated heat, but the emission optical axis of the laser oscillation tube is determined by an optical fiber. May lead to position. In that case, it is necessary to reduce the loss of the amount of light emitted from the laser oscillation tube by the optical fiber. For that purpose, it is necessary to adjust the incident position and the angle of the emission optical axis of the laser oscillation tube with respect to the optical fiber.
【０００４】しかし、レーザ発振管の出射光軸は、レー
ザ発振管の外形に対して各々出射方向が異なっている。
このため、レーザ発振管の出射光を光ファイバーに効率
よく入射するためには、従来次のようにして各部の調整
を行っている。However, the emission optical axis of the laser oscillation tube has a different emission direction with respect to the outer shape of the laser oscillation tube.
Therefore, in order to efficiently enter the light emitted from the laser oscillator tube into the optical fiber, the respective parts are conventionally adjusted as follows.
【０００５】図４は、上記光ファイバーを用いたレーザ
発振管装置の従来例を説明するための図、図５は、上記
レーザ発振管の出射光を光ファイバーに効率よく入射す
る方法を説明するためのもので、図５（ａ）は平面図、
図５（ｂ）は図５（ａ）の矢視ＡーＡ断面図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional example of a laser oscillation tube device using the above-mentioned optical fiber, and FIG. 5 is a diagram for explaining a method for making the light emitted from the laser oscillation tube into the optical fiber efficiently. Fig. 5 (a) is a plan view,
5B is a sectional view taken along the line AA of FIG. 5A.
【０００６】まず、レーザ発振管１を支持フレーム２の
筒状部に、それぞれ３本の調整ネジ４を介して取付け
る。また、微動機構５にピンホール１９を取付ける。こ
の状態でレーザ発振管１を動作させ、レーザ発振管１か
らの出射光１１がピンホール１９を通過するように、３
本の調整ネジ４を使用してレーザ発振管１の傾きを調整
する。First, the laser oscillating tube 1 is attached to the tubular portion of the support frame 2 via the three adjusting screws 4, respectively. Further, the pinhole 19 is attached to the fine movement mechanism 5. In this state, the laser oscillation tube 1 is operated so that the emitted light 11 from the laser oscillation tube 1 passes through the pinhole 19 and
The tilt of the laser oscillation tube 1 is adjusted using the adjusting screw 4 of the book.
【０００７】次いで、ピンホール１９を取り外し、光フ
ァイバー６を取付ける。この状態でレーザ発振管１を動
作させ、光ファイバー６からの出射光の光量が最大にな
るように微動機構５を調整し、光ファイバー６の位置の
調整を行う。Then, the pinhole 19 is removed and the optical fiber 6 is attached. In this state, the laser oscillation tube 1 is operated, the fine movement mechanism 5 is adjusted so that the amount of light emitted from the optical fiber 6 is maximized, and the position of the optical fiber 6 is adjusted.
【０００８】以上の方法でレーザ発振管の出射光１１
は、効率よく光ファイバー６に導入され、光ファイバー
６は検出光学系ベース１０の所定の位置にホルダー１８
を介して取付けられる。そして、この光ファイバーから
の出射光１２を基準光として、後段の検出光学系の各光
学部品（ミラー、レンズ等）を基準光に対して傾きや所
定間隔等を調整する方法が行われていた。The light emitted from the laser oscillation tube 11 by the above method
Are efficiently introduced into the optical fiber 6, and the optical fiber 6 is held at a predetermined position of the detection optical system base 10 by the holder 18
Mounted via. Then, using the light 12 emitted from the optical fiber as the reference light, a method of adjusting the inclination or predetermined intervals of each optical component (mirror, lens, etc.) of the detection optical system in the subsequent stage with respect to the reference light has been performed.
【０００９】しかしながら、この種の方法にあっては次
のような問題があった。即ち、レーザ発振管１は、一般
に３ケ月から１年程度で定格出力が得られなくなり、交
換する必要がある。また、故障等により交換する場合も
ある。However, this type of method has the following problems. That is, the laser oscillator tube 1 generally cannot obtain the rated output in about 3 months to 1 year and needs to be replaced. Also, it may be replaced due to a failure or the like.
【００１０】レーザ発振管１を交換する場合は、新しい
レーザ発振管１と古いレーザ発振管１とを入れ替え、新
しいレーザ発振管１の出射光軸を高精度に再現しなけれ
ばならないが、この調整が非常に困難であった。この理
由について、以下に詳しく説明する。When exchanging the laser oscillation tube 1, it is necessary to replace the new laser oscillation tube 1 with the old laser oscillation tube 1 and reproduce the emission optical axis of the new laser oscillation tube 1 with high accuracy. Was very difficult. The reason for this will be described in detail below.
【００１１】露光装置の検出光学系は、ウエハとマスク
との高精度な位置合わせのものである。即ち、レーザ光
が、マスクに設けられた第１の位置合わせマークに入射
し透過回折され、ウエハに設けられた第２の位置合わせ
マークに入射し反射回折される。この反射回折光の強度
又は位相が検出されることにより、ウエハとマスクの位
置ずれ量が求められ、この位置ずれ量に基づいてウエハ
とマスクとの位置合わせが行われている。The detection optical system of the exposure apparatus is for highly accurate alignment between the wafer and the mask. That is, the laser light is incident on the first alignment mark provided on the mask and is transmitted and diffracted, and is incident on the second alignment mark provided on the wafer and is reflected and diffracted. By detecting the intensity or phase of the reflected diffracted light, the amount of positional deviation between the wafer and the mask is obtained, and the wafer and the mask are aligned based on the amount of positional deviation.
【００１２】ところで、この位置合わせマークの大きさ
は通常約０．３ｍｍ角、レーザ光の直径は約Φ０．５ｍ
ｍ程度であり、アライメントを正確に行うには、位置合
わせマークがレーザ光によって８０％以上照らされなけ
ればならない。したがって、位置合わせマークとレーザ
光の中心ずれは、０．１ｍｍ以内に抑えなければならな
い。By the way, the size of the alignment mark is usually about 0.3 mm square, and the diameter of the laser beam is about Φ0.5 m.
It is about m, and the alignment mark must be illuminated by 80% or more by the laser beam in order to perform the alignment accurately. Therefore, the center deviation between the alignment mark and the laser beam must be suppressed within 0.1 mm.
【００１３】また、検出光学系の全光路長は、通常の露
光装置では約１０００ｍｍ程度であり、レーザ光の中心
ずれを０．１ｍｍ以内に抑えるには光ファイバー出射光
の傾きを０．１ｍｒａｄ（０．０５７度）以内程度に調
整する必要がある。また、光ファイバー出射光の位置と
傾きがレーザ発振管１の出射光の光ファイバー６に対す
る入射角度に起因することから、レーザ発振管１の傾き
を上記精度範囲に調整する必要がある。Further, the total optical path length of the detection optical system is about 1000 mm in a normal exposure apparatus, and in order to suppress the center deviation of the laser light within 0.1 mm, the inclination of the light emitted from the optical fiber is 0.1 mrad (0). It is necessary to adjust it within about (057 degrees). Further, since the position and the inclination of the light emitted from the optical fiber are caused by the incident angle of the light emitted from the laser oscillation tube 1 to the optical fiber 6, it is necessary to adjust the inclination of the laser oscillation tube 1 within the above accuracy range.
【００１４】しかし、レーザ発振管１をレーザ発振管ベ
ースに取付けた状態で、３本の調整ネジ４を使用して、
上記のように高精度に再現させることは非常に手間と時
間がかかり困難である。このため従来では、光ファイバ
ー６からの出射光の位置と傾きがレーザ発振管１の交換
毎に変わるため、検出光学系全体の調整を再度行ってい
た。However, with the laser oscillation tube 1 attached to the laser oscillation tube base, the three adjusting screws 4 are used to
It is very troublesome, time-consuming and difficult to reproduce with high accuracy as described above. For this reason, conventionally, the position and inclination of the light emitted from the optical fiber 6 change each time the laser oscillation tube 1 is replaced, and the entire detection optical system is readjusted.
【００１５】したがって、レーザ発振管１を交換した場
合、検出光学系の光学調整に時間がかかり、露光装置全
体が停止していることになるため、ＬＳＩの生産効率が
低下するという問題があった。Therefore, when the laser oscillating tube 1 is replaced, it takes time for the optical adjustment of the detection optical system and the whole exposure apparatus is stopped, so that there is a problem that the production efficiency of the LSI is lowered. ..
【００１６】[0016]
【発明が解決しようとする課題】このように従来、検出
光学系の光源等として用いられるレーザ発振管は、その
交換が面倒であり、また一旦交換すると検出光学系全体
の調整を再度行う必要があり、これが露光装置等の稼働
率低下を招く要因となっていた。As described above, the laser oscillation tube conventionally used as the light source of the detection optical system is troublesome to replace, and once replaced, the entire detection optical system needs to be adjusted again. However, this has been a factor in lowering the operating rate of the exposure apparatus and the like.
【００１７】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、レーザ発振管の交換を容易に行うことがで
き、且つ光ファイバー出射光軸の調整を高精度で簡易に
行うことのできるレーザ発振管装置およびその取付け方
法を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and it is possible to easily replace the laser oscillation tube and easily adjust the optical axis of the optical fiber to be emitted with high precision. An object of the present invention is to provide an oscillator tube device and a method for mounting the oscillator tube device.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るレーザ発振管装置は、レーザ発振管
と、このレーザ発振管の出射光を所定の位置まで導く光
ファイバーと、この光ファイバーの出射光軸を調整可能
な光学素子とから構成されることを特徴としている。In order to achieve the above object, a laser oscillation tube device according to the present invention comprises a laser oscillation tube, an optical fiber for guiding light emitted from the laser oscillation tube to a predetermined position, and an optical fiber for the optical fiber. It is characterized in that it is composed of an optical element whose output optical axis can be adjusted.
【００１９】また、本発明に係るレーザ発振管装置の取
付け方法は、レーザ発振管と、このレーザ発振管の出射
光を所定の位置まで導く光ファイバーと、この光ファイ
バーの出射光軸を調整可能な光学素子とを備え、前記光
ファイバーの出射光端側および前記光学素子を調整用ベ
ースに取付けて前記光ファイバーの出射光軸を調整し、
調整が完了した状態でレーザ発振管装置のベースに取付
けることを特徴としている。Further, the method of mounting the laser oscillation tube device according to the present invention is a laser oscillation tube, an optical fiber for guiding the light emitted from the laser oscillation tube to a predetermined position, and an optical system capable of adjusting the emission optical axis of the optical fiber. An element, the exit light end side of the optical fiber and the optical element are attached to an adjustment base to adjust the exit optical axis of the optical fiber,
It is characterized in that it is attached to the base of the laser oscillation tube device after the adjustment is completed.
【００２０】[0020]
【作用】上記のように構成した本発明のレーザ発振管装
置によれば、レーザ発振管の故障や寿命により定格出力
が得られなくなったときにレーザ発振管を交換する場
合、予め新しいレーザ発振管を支持フレームに取付けた
状態で、光ファイバーに対するレーザ光の入射位置と角
度の光軸調整を行う。次に、光ファイバーの光量が最大
になるように微動機構を調整し、光ファイバーの位置の
調整を行う。According to the laser oscillating tube device of the present invention configured as described above, when the laser oscillating tube is replaced when the rated output cannot be obtained due to failure or life of the laser oscillating tube, a new laser oscillating tube is previously prepared. The optical axis of the incident position and the angle of the laser light with respect to the optical fiber is adjusted in a state where the is attached to the support frame. Next, the fine movement mechanism is adjusted so that the light amount of the optical fiber is maximized, and the position of the optical fiber is adjusted.
【００２１】また、光学素子（コンペンセータ等）によ
り光ファイバーの出射光軸の調整を行う。そして、位置
決め手段に従って検出光学系ベースの所定の位置に光フ
ァイバー支持装置を取付けるように交換すれば、光ファ
イバーの出射光軸の位置の再現性が簡単に高精度に得ら
れる。したがって、レーザ発振管の交換時に露光装置等
の停止している時間を短縮することができ、生産効率の
向上をはかることが可能となる。Further, the emission optical axis of the optical fiber is adjusted by an optical element (compensator or the like). Then, if the optical fiber supporting device is exchanged so as to be attached to a predetermined position of the detection optical system base according to the positioning means, the reproducibility of the position of the emission optical axis of the optical fiber can be easily obtained with high accuracy. Therefore, it is possible to shorten the time during which the exposure apparatus or the like is stopped when the laser oscillation tube is replaced, and it is possible to improve the production efficiency.
【００２２】[0022]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２３】図１は、本発明の第１実施例を示すもの
で、レーザ発振管装置の概略構成を説明するための概略
構成図である。なお、この図１は本実施例のレーザ発振
管装置を検出光学系ベースの所定の位置に取付けた状態
を示しており、従来の図５、図６と同一部分について
は、同一符号を付してその詳細な説明は省略する。FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention and is a schematic configuration diagram for explaining a schematic configuration of a laser oscillation tube device. 1 shows a state in which the laser oscillation tube device of the present embodiment is attached to a predetermined position of the detection optical system base, and the same parts as those of the conventional FIGS. 5 and 6 are designated by the same reference numerals. The detailed description thereof will be omitted.
【００２４】図中１はレーザ発振管であり、このレーザ
発振管１は２つの筒状部を有する支持フレーム２の筒状
部内に挿入され、各々の筒状部に３本の調整ネジ４にて
取付けられている。ここで、調整ネジ４を締め付けるこ
とにより、レーザ発振管１を支持フレーム２に固定する
と共に、調整ネジ４を調整することで出射光軸を一定の
方向に調整することが可能である。In the figure, reference numeral 1 denotes a laser oscillation tube. This laser oscillation tube 1 is inserted into a tubular portion of a support frame 2 having two tubular portions, and three adjusting screws 4 are attached to each tubular portion. Installed. Here, it is possible to fix the laser oscillation tube 1 to the support frame 2 by tightening the adjusting screw 4, and to adjust the emission optical axis in a fixed direction by adjusting the adjusting screw 4.
【００２５】また、図中６は光ファイバーであり、一端
側が微動機構５に取付けられている。これらの部品は、
レーザ発振管ベース３に固定されている。また、光ファ
イバー６の他端側は、ホルダー７に取付けられている。
ホルダー７には、光ファイバー６の出射光軸の角度と方
向を調整する光学素子（例えばコンペンセータ）８が取
付けられている。ホルダー７の底部には、ホルダー７を
ベース１０に位置決めするための位置決めピン９が取付
けられている。Reference numeral 6 in the drawing denotes an optical fiber, one end of which is attached to the fine movement mechanism 5. These parts are
It is fixed to the laser oscillation tube base 3. The other end of the optical fiber 6 is attached to the holder 7.
An optical element (for example, compensator) 8 for adjusting the angle and direction of the outgoing optical axis of the optical fiber 6 is attached to the holder 7. Positioning pins 9 for positioning the holder 7 on the base 10 are attached to the bottom of the holder 7.
【００２６】一方、検出光学系のベース１０には、位置
決めピン９に対応する基準穴が設けられている。そし
て、ホルダー７に取付けられた位置決めピン９はベース
１０の基準穴に嵌め込まれている。なお、ホルダー７に
取付けられた光ファイバー６の出射光軸の調整は、後述
するようにホルダー７をベース１０に取付ける前に行わ
れている。On the other hand, the base 10 of the detection optical system is provided with a reference hole corresponding to the positioning pin 9. The positioning pin 9 attached to the holder 7 is fitted in the reference hole of the base 10. The emission optical axis of the optical fiber 6 attached to the holder 7 is adjusted before attaching the holder 7 to the base 10 as described later.
【００２７】図２は、レーザ発振管装置の光ファイバー
からの出射光軸の調整方法を説明するためのもので、図
２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の矢視Ａー
Ａ断面図である。まず、従来例の欄で説明したものと同
様に光ファイバーの出射光の光量が最大となるように、
レーザ発振管１および光ファイバー６の位置調整を行
う。2A and 2B are for explaining a method of adjusting the optical axis of light emitted from the optical fiber of the laser oscillation tube device. FIG. 2A is a plan view and FIG. 2B is a plan view of FIG. 2A. It is an arrow AA sectional view. First, in the same way as described in the section of the conventional example, in order to maximize the amount of light emitted from the optical fiber,
The positions of the laser oscillation tube 1 and the optical fiber 6 are adjusted.
【００２８】次いで、検出光学系のベース１０に相当す
る調整用ベース１６を用意し、この調整用ベース１６の
基準穴に対して、光ファイバー支持装置のホルダー７の
位置決めピン９を合わせて取付ける。この調整用ベース
１６には、ピンホール１３ａを有する２個の板体１３と
平行平面ミラー１５を取付けたホルダー１４が固定され
ている。Next, an adjusting base 16 corresponding to the base 10 of the detection optical system is prepared, and the positioning pin 9 of the holder 7 of the optical fiber supporting device is attached to the reference hole of the adjusting base 16 together. A holder 14 to which two plate bodies 13 each having a pinhole 13a and a plane parallel mirror 15 are attached is fixed to the adjusting base 16.
【００２９】このように、２個のピンホール１３ａおよ
び平行平面ミラー１５が取付けられた状態で、レーザ発
振管１を動作させる。そして、光ファイバー６からの出
射光１２がピンホール１３ａを２箇所通過し、平行平面
ミラー１５で反射され、この反射光が再びピンホール１
３ａを２箇所通過するように、光学素子（コンペンセー
タ）８を調整する。In this way, the laser oscillation tube 1 is operated with the two pinholes 13a and the parallel plane mirror 15 attached. Then, the light 12 emitted from the optical fiber 6 passes through the pinhole 13a at two positions and is reflected by the parallel plane mirror 15, and the reflected light is again reflected by the pinhole 1a.
The optical element (compensator) 8 is adjusted so as to pass through 3a at two positions.
【００３０】このような調整方法によれば、光ファイバ
ー支持装置と第１のピンホール１３ａとの間隔を５００
ｍｍとれば往復で１０００ｍｍとなり、実際の露光装置
の検出光学系の全光路長と同等となる。そして、光学素
子８を調整することで、光ファイバー６からの出射光１
２の中心ずれを容易に０．１ｍｍ以内に調整でき、ま
た、光ファイバー６からの出射光１２の傾きを０．１ｍ
ｒａｄ（０．０５７度）以内に合わせることが容易に可
能となる。According to such an adjusting method, the distance between the optical fiber supporting device and the first pinhole 13a is set to 500.
If it is mm, it will be 1000 mm in a reciprocating manner, which is equivalent to the total optical path length of the detection optical system of the actual exposure apparatus. Then, the light emitted from the optical fiber 6 is adjusted by adjusting the optical element 8.
The center deviation of 2 can be easily adjusted within 0.1 mm, and the inclination of the outgoing light 12 from the optical fiber 6 is 0.1 m.
It is easily possible to adjust within rad (0.057 degrees).
【００３１】次いで、上記のように調整された光ファイ
バー支持装置を、調整用ベース１６から取り外して、レ
ーザ発振管ベース３の基準穴に合わせて所定の位置に取
付ける。光ファイバー支持装置を初めて取付けた場合
は、その取付けられた光ファイバー支持装置からの出射
光１２を基準にして後段の検出光学系の各光学部品（ミ
ラー、レンズ等）を、その基準光に対しての傾きや所定
間隔等の調整を行う。Next, the optical fiber supporting device adjusted as described above is removed from the adjusting base 16 and attached at a predetermined position in alignment with the reference hole of the laser oscillation tube base 3. When the optical fiber support device is attached for the first time, each optical component (mirror, lens, etc.) of the detection optical system in the subsequent stage is set to the reference light with reference to the emitted light 12 from the attached optical fiber support device. Adjust the inclination and the predetermined interval.
【００３２】また、レーザ発振管１の交換時には、予め
調整用ベース１６上で光ファイバー６からの出射光１２
の中心ずれを０．１ｍｍ以内に、かつ傾きを０．１ｍｒ
ａｄ（０．００５７度）以内に調整することにより、光
ファイバー支持装置からの出射光１２の位置は上記範囲
で再現するので、後段の検出光学系を再調整する必要が
ない。When the laser oscillator tube 1 is replaced, the emitted light 12 from the optical fiber 6 is previously set on the adjustment base 16.
Center deviation within 0.1 mm and tilt of 0.1 mr
By adjusting within ad (0.0057 degrees), the position of the emitted light 12 from the optical fiber supporting device is reproduced within the above range, and it is not necessary to readjust the detection optical system in the subsequent stage.
【００３３】なお、この実施例では、光ファイバー支持
装置をベース１０に位置決めするために位置決めピン９
を用いたが、図３に示すように、位置決めブロック１７
を用いるようにしてもよい。In this embodiment, the positioning pin 9 is used to position the optical fiber supporting device on the base 10.
However, as shown in FIG. 3, the positioning block 17
May be used.
【００３４】また、図４に示すようにレーザ発振管１を
支持フレーム２ごとレーザ発振管ベース３に位置決めピ
ン５にて取り付けられるように構成しても良い。つま
り、レーザ発振管１の放射光軸の調整は、レーザ発振管
１を支持フーム２と共に、別に設けられた調整用のベー
スに取り付けた状態で、前述したようにピンホールや平
行平面ミラー等を利用して放射光軸を調整し、調整が終
了した後、支持フレーム２と共にレーザ発振管ベース３
に取り付けるようにすれば、レーザ発振管１の放射光軸
の調整を簡単に行うことができる。Further, as shown in FIG. 4, the laser oscillation tube 1 may be attached to the laser oscillation tube base 3 together with the support frame 2 by the positioning pin 5. That is, the adjustment of the emission optical axis of the laser oscillation tube 1 is performed by attaching the laser oscillation tube 1 together with the support frame 2 to a separately provided adjustment base, as described above, using a pinhole, a parallel plane mirror, or the like. The emission optical axis is adjusted by using the laser oscillation tube base 3 together with the support frame 2 after the adjustment is completed.
If it is attached to, the emission optical axis of the laser oscillation tube 1 can be easily adjusted.
【００３５】以上のように本発明によれば、図２に示す
ような出射光軸調整装置を用いることにより、光ファイ
バー６をホルダー７に取付けた状態で光ファイバー６か
らの出射光軸１２の調整を検出光学系とは独立して行う
ことができる。このため、光軸調整をした光ファイバー
支持装置を検出光学系のベース１０に取付ければ、後段
の検出光学系を再調整する必要がない。したがって、レ
ーザ発振管１を交換しても、露光装置の停止している時
間を短縮することができ、露光装置の稼働率向上に寄与
することができる。As described above, according to the present invention, the output optical axis adjusting device as shown in FIG. 2 is used to adjust the output optical axis 12 from the optical fiber 6 with the optical fiber 6 attached to the holder 7. It can be performed independently of the detection optical system. Therefore, if the optical fiber supporting device with the optical axis adjusted is attached to the base 10 of the detection optical system, it is not necessary to readjust the detection optical system in the subsequent stage. Therefore, even if the laser oscillation tube 1 is replaced, the time during which the exposure apparatus is stopped can be shortened, which can contribute to the improvement of the operating rate of the exposure apparatus.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
光ファイバーの出射光の位置調整を、簡単に且つ高精度
に行うことができる。また、レーザ発振管を交換する場
合に、予め調整されたレーザ発振管と支持フレームとを
ユニット化した装置毎交換し、また、光ファイバーの出
射光の位置も予め調整することにより、光ファイバーの
出射光の位置の再現性が得られるため、検出光学系の再
調整の必要がなくなる。このことにより、装置全体の稼
働率の向上をはかることができる。As described in detail above, according to the present invention,
The position of the light emitted from the optical fiber can be easily adjusted with high accuracy. Further, when the laser oscillation tube is replaced, the laser oscillation tube and the support frame that have been adjusted in advance are exchanged for each unitized device, and the position of the emission light of the optical fiber is also adjusted in advance, so that the emission light of the optical fiber is changed. Since the reproducibility of the position is obtained, it is not necessary to readjust the detection optical system. As a result, it is possible to improve the operating rate of the entire device.
【図１】 本発明のレーザ発振管装置の一実施例を示す
概略構成図。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of a laser oscillation tube device of the present invention.
【図２】 光ファイバー支持装置の出射光軸の調整方法
を示す模式図。FIG. 2 is a schematic diagram showing a method of adjusting an outgoing optical axis of an optical fiber supporting device.
【図３】 本発明のレーザ発振管装置の変形例を示す概
略構成図。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a modified example of the laser oscillation tube device of the present invention.
【図４】 本発明のレーザ発振管装置の変形例を示す概
略構成図。FIG. 4 is a schematic configuration diagram showing a modified example of the laser oscillation tube device of the present invention.
【図５】 従来例のレーザ発振管装置の例を示す概略構
成図FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing an example of a conventional laser oscillation tube device.
【図６】 従来例のレーザ発振管の出射光軸の調整方法
を示す模式図。FIG. 6 is a schematic diagram showing a method of adjusting an emission optical axis of a conventional laser oscillation tube.
１ レーザ発振管 ２ 支持フレーム ３ レーザ発振管ベース ４ 調整ネジ ５ 微動機構 ６ 光ファイバー ７ ホルダー ８ 光学素子（コンペンセータ） ９ 位置決めピン １０ 検出光学系ベース １６ 調整用ベース 1 Laser oscillation tube 2 Support frame 3 Laser oscillation tube base 4 Adjustment screw 5 Fine movement mechanism 6 Optical fiber 7 Holder 8 Optical element (compensator) 9 Positioning pin 10 Detection optical system base 16 Adjustment base
Claims (2)
光を所定の位置まで導く光ファイバーと、この光ファイ
バーの出射光軸を調整可能な光学素子とから構成される
ことを特徴とするレーザ発振管装置。1. A laser oscillation tube comprising: a laser oscillation tube; an optical fiber for guiding light emitted from the laser oscillation tube to a predetermined position; and an optical element capable of adjusting an emission optical axis of the optical fiber. Tube device.
光を所定の位置まで導く光ファイバーと、この光ファイ
バーの出射光軸を調整可能な光学素子とを備え、前記光
ファイバーの出射光端側および前記光学素子を調整用ベ
ースに取付けて前記光ファイバーの出射光軸を調整し、
調整が完了した状態でレーザ発振管装置のベースに取付
けることを特徴とするレーザ発振管装置の取付け方法。2. A laser oscillating tube, an optical fiber for guiding light emitted from the laser oscillating tube to a predetermined position, and an optical element capable of adjusting an outgoing optical axis of the optical fiber. The optical element is attached to the adjustment base to adjust the output optical axis of the optical fiber,
A method of mounting a laser oscillation tube device, characterized in that the laser oscillation tube device is attached to the base of the laser oscillation tube device after the adjustment is completed.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP7678492A JPH05283766A (en) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | Laser oscillation tube device and mounting method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP7678492A JPH05283766A (en) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | Laser oscillation tube device and mounting method thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05283766A true JPH05283766A (en) | 1993-10-29 |
Family
ID=13615234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7678492A Pending JPH05283766A (en) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | Laser oscillation tube device and mounting method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05283766A (en) |
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- 1992-03-31 JP JP7678492A patent/JPH05283766A/en active Pending
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