JPH0519473A - Crosslinked curing resin - Google Patents

Crosslinked curing resin

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Publication number
JPH0519473A
JPH0519473A JP3263818A JP26381891A JPH0519473A JP H0519473 A JPH0519473 A JP H0519473A JP 3263818 A JP3263818 A JP 3263818A JP 26381891 A JP26381891 A JP 26381891A JP H0519473 A JPH0519473 A JP H0519473A
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JP
Japan
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weight
group
carbon atoms
meth
acrylate
Prior art date
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Pending
Application number
JP3263818A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Kushi
憲治 串
Kenichi Inukai
健一 犬飼
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Publication date
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain the crosslinked curing resin for a solder resist which can be developed by an alkaline developer and is excellent in various kinds of the performance of a cured film by using a specific photosensitive resin compsn. and further, curing the resin to >=5H pencil hardness in the stage after the final curing. CONSTITUTION:The photosensitive resin consisting of (a) 40 to 70 pts.wt. copolymer of 15 to 30wt.% carboxylic acid type monomer, 2 to 25wt.% styrene type monomer expressed by formula I, 10 to 40% acrylate type monomer, and 30 to 65wt.% methacrylate type monomer, (b) 25 to 60 pts.wt. crosslinkable monomer mixture contg. 20 to 80wt.% compd. expressed by formula II and having >=1.3 pieces in average of ethylenic unsatd. groups in one molecule and (c) 0.01 to 10 pts.wt. photopolymn. initaitor is cured to >=5H pencil hardness. In the formula, R<1> denotes hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 pieces of carbon atoms; R<2> denotes hydrogen or methyl group; R<3> denotes an alkyl group having 1 to 8 pieces of carbon atoms.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、配線パターンを形成し
たプリント配線板上に用いられるソルダーレジスト用の
架橋硬化樹脂に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cross-linking cured resin for a solder resist used on a printed wiring board having a wiring pattern formed thereon.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、印刷配線板製造業界において印刷
配線板の永久保護被膜として、ソルダーレジスト(半田
マスク)が広く用いられている。ソルダーレジストは、
半田付け時の半田ブリッジの防止および使用時の導体部
の腐食防止と電気絶縁性の保持等を目的として使用され
るものである。この使用目的からも明白なように、ソル
ダーレジストは過酷な条件下で使用されるため、下記の
ような厳しい条件下での性能が要求される。
2. Description of the Related Art Conventionally, a solder resist (solder mask) has been widely used as a permanent protective film for printed wiring boards in the printed wiring board manufacturing industry. The solder resist is
It is used for the purpose of preventing solder bridges during soldering, preventing corrosion of conductors during use, and maintaining electrical insulation. As is clear from this purpose of use, since the solder resist is used under severe conditions, performance under the severe conditions described below is required.

【0003】(イ)半田浸漬時(240〜280℃)に
おける密着性の保持、(ロ)永久的な密着性の保持、
(ハ)溶剤、薬品等に対する優れた耐性、(ニ)高湿度
条件下での高い電気絶縁性の保持、これらの要求を満た
すため、従来より熱硬化性インクあるいは光硬化性イン
クをスクリーン印刷することによりソルダーレジストを
形成する方法が広く用いられてきた。しかしながら、近
年印刷配線の高密度化の進行に伴ない、スクリーン印刷
方式によるソルダーレジストの形成では、精度および厚
みの問題から対応しきれなくなってきた。
(A) Retaining adhesiveness during solder immersion (240 to 280 ° C.), (b) Permanently retaining adhesiveness,
(C) Excellent resistance to solvents, chemicals, etc. (d) Retention of high electric insulation under high humidity conditions. To meet these requirements, thermosetting inks or photocurable inks are screen printed than before. Therefore, a method of forming a solder resist has been widely used. However, with the recent increase in the density of printed wiring, the solder resist formation by the screen printing method has been unable to cope with the problems of accuracy and thickness.

【0004】すなわち、スクリーン印刷法では、スクリ
ーンメッシュの伸びに伴なう位置ずれ、インクの「にじ
み」や「かすれ」の問題で精度の向上に限界があり、他
方無理に精度を上げようとすると膜厚が薄くなってしま
うといった矛盾が内在しており、スクリーン印刷法では
厚膜でかつ精度の高いものは得られなかった。
That is, in the screen printing method, there is a limit to the improvement in accuracy due to the problems of positional displacement due to the elongation of the screen mesh, ink "bleeding" and "blurring", and on the other hand, if the accuracy is attempted to be increased. Since there is an inherent contradiction that the film thickness becomes thin, it was not possible to obtain a thick film with high accuracy by the screen printing method.

【0005】このため、近年スクリーン印刷法に代り、
フォトレジスト法が採用されつつある。このフォトレジ
スト法は、基板上に感光性樹脂膜を形成した後、この感
光性樹脂膜を選択的露光により硬化した後、未硬化部を
現像工程により除去するものであり、特に精度の面では
スクリーン印刷法に比較して極めて優位にある。
For this reason, in recent years, instead of the screen printing method,
The photoresist method is being adopted. In this photoresist method, after forming a photosensitive resin film on a substrate, the photosensitive resin film is cured by selective exposure, and then the uncured portion is removed by a developing process. Particularly, in terms of accuracy. It is extremely superior to the screen printing method.

【0006】かかるフォトレジスト法による感光性樹脂
膜形成法に関しては、現在までにいくつかの提案がなさ
れている。例えば特開昭51−15733号公報には、
感光性樹脂を有機溶剤の溶液として、基板上に塗布した
後、熱により溶剤を揮散させて感光性樹脂膜を形成する
方法が開示されている。しかし、この方法では、部品の
半田づけをしない小径のスルーホールにテンティングが
できないことや、パターン上の膜厚を充分に確保できな
いといった問題点があった。
Several proposals have been made to date regarding the method of forming a photosensitive resin film by the photoresist method. For example, JP-A-51-15733 discloses that
A method of forming a photosensitive resin film by applying a photosensitive resin as a solution of an organic solvent on a substrate and then volatilizing the solvent by heat is disclosed. However, this method has problems that it is not possible to perform tenting on a small-diameter through hole that is not used for soldering components, and that the film thickness on the pattern cannot be sufficiently secured.

【0007】このため、特開昭54−1018号公報に
提案されているようなドライフィルムレジストを用い、
特開昭52−52703号公報で提案されているような
減圧下での加熱圧着を行なうことが好ましい方法と考え
られていた。しかし、パターン形成段階でアルカリ性現
像液で現像でき、かつ最終硬化物がソルダーレジストと
しての必要性能、例えば密着性、表面硬度、耐熱性等を
充分に満足させるものは未だ得られていなかった。
Therefore, a dry film resist as proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 54-1018 is used,
It has been considered that a preferable method is to perform thermocompression bonding under reduced pressure as proposed in JP-A-52-52703. However, there has not yet been obtained a product that can be developed with an alkaline developer in the pattern formation stage and that the final cured product sufficiently satisfies the required performance as a solder resist, such as adhesion, surface hardness and heat resistance.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、アル
カリ現像液で現像可能で、かつ硬化被膜の各種性能が優
れたソルダーレジスト用の架橋硬化樹脂を提供すること
にある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cross-linking curable resin for a solder resist, which can be developed with an alkaline developer and which has various properties of a cured film.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意検討を重ねた結果、バインダー用
熱可塑性重合体の共重合成分としてスチレン型モノマー
を特定量使用し、かつ架橋性単量体混合物中にN−アル
コキシメチル(メタ)アクリルアミドを使用した感光性
樹脂組成物を用い、更に最終硬化後の段階で、鉛筆硬度
が5H以上に硬化することにより、優れた性能の架橋硬
化樹脂が得られることを見い出した。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies for achieving the above-mentioned object, the present inventors have used a specific amount of a styrene type monomer as a copolymerization component of a thermoplastic polymer for a binder, and By using a photosensitive resin composition using N-alkoxymethyl (meth) acrylamide in a crosslinkable monomer mixture, and further curing the pencil hardness to 5H or more at a stage after final curing, excellent performance can be obtained. It has been found that a crosslinked cured resin is obtained.

【0010】すなわち本発明は、(a)3〜15個の炭
素原子を有するα,β−不飽和カルボキシル基含有単量
体の1種以上の化合物から成る第1重合性物質15〜3
0重量%、一般式(I)
That is, the present invention relates to (a) first polymerizable substances 15 to 3 which are composed of one or more compounds of an α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer having 3 to 15 carbon atoms.
0% by weight, general formula (I)

【0011】[0011]

【化3】 (式中、R1 は水素、1〜6個の炭素原子を有するアル
キル基を表わす)で示される化合物およびその環置換誘
導体より成る群から選ばれる1種以上の化合物から成る
第2重合性物質2〜25重量%、アルキル基が1〜8個
の炭素原子を有するアルキルアクリレートより成る群か
ら選ばれる1種以上の化合物から成る第3重合性物質1
0〜40重量%、およびアルキル基が1〜8個の炭素原
子を有するアルキルメタクリレートより成る群から選ば
れる1種以上の化合物から成る第4重合性物質30〜6
5重量%、を共重合して成るバインダー用熱可塑性重合
体40〜70重量部、(b)一般式(II)で示される化
合物を20〜80重量%含有し、かつ平均して一分子中
に1.3個以上のエチレン性不飽和基を有する架橋性単
量体混合物25〜60重量部、
[Chemical 3] (Wherein R 1 represents hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms) and a second polymerizable substance composed of one or more compounds selected from the group consisting of ring-substituted derivatives thereof. Third polymerizable substance 1 comprising 2 to 25% by weight of one or more compounds selected from the group consisting of alkyl acrylates in which the alkyl group has 1 to 8 carbon atoms
Fourth polymerizable substance 30 to 6 consisting of 0 to 40% by weight, and one or more compounds selected from the group consisting of alkyl methacrylates in which the alkyl group has 1 to 8 carbon atoms.
5 to 50% by weight of a thermoplastic polymer for a binder obtained by copolymerizing 5% by weight, (b) 20 to 80% by weight of the compound represented by the general formula (II), and averaging in one molecule. 25 to 60 parts by weight of a crosslinkable monomer mixture having 1.3 or more ethylenically unsaturated groups,

【0012】[0012]

【化4】 (式中、R2 は水素またはメチル基、R3 は1〜8個の
炭素原子を有するアルキル基を表わす)および(c)光
重合開始剤0.01〜10重量部、を主成分としてな
り、(a)〜(c)成分の合計量が100重量部となる
ように配合されてなる感光性樹脂組成物を硬化して得ら
れる鉛筆硬度が5H以上の架橋硬化樹脂である。
[Chemical 4] (Wherein R 2 represents hydrogen or a methyl group, R 3 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) and (c) 0.01 to 10 parts by weight of a photopolymerization initiator as a main component. , A cross-linking curable resin having a pencil hardness of 5H or more, which is obtained by curing a photosensitive resin composition in which the total amount of components (a) to (c) is 100 parts by weight.

【0013】[0013]

【作用】以下、本発明を更に詳細に説明する。The present invention will be described in more detail below.

【0014】本発明に使用する感光性樹脂組成物を構成
するバインダー用熱可塑性重合体(a)中には、炭酸ナ
トリウム等のアルカリ希薄水溶液で現像できるよう、3
〜15個の炭素原子を有するα,β−不飽和カルボキシ
ル基含有単量体の1種以上を第1重合性物質として、1
5〜30重量%の割合で共重合させることが必要であ
る。
In the thermoplastic polymer (a) for the binder which constitutes the photosensitive resin composition used in the present invention, 3 is added so that it can be developed with a dilute aqueous alkali solution such as sodium carbonate.
One or more kinds of α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomers having ˜15 carbon atoms as the first polymerizable substance, 1
It is necessary to copolymerize at a ratio of 5 to 30% by weight.

【0015】バインダー用熱可塑性重合体中のα,β−
不飽和カルボキシル基含有体の量が15重量%未満のも
のでは、アルカリ現像液によって現像できないかまたは
現像できても極めて長い現像時間が必要となる。一方、
30重量%を超えるものでは、硬化後の架橋硬化樹脂の
吸水率が大きくなり、高湿度条件下での電気絶縁性が大
幅に低下する。
Α, β-in the thermoplastic polymer for the binder
When the amount of the unsaturated carboxyl group-containing compound is less than 15% by weight, it cannot be developed with an alkaline developer or, even if it can be developed, an extremely long development time is required. on the other hand,
If it exceeds 30% by weight, the water absorption of the cross-linked cured resin after curing becomes large, and the electrical insulating property under high humidity conditions is significantly reduced.

【0016】この第1重合性物質(カルボン酸型単量
体)の例としては、アクリル酸、メタクリル酸、ケイ皮
酸、クロトン酸、ソルビン酸、イタコン酸、プロピオー
ル酸、マレイン酸およびフマル酸などが挙げられ、これ
らの半エステル類または無水物も使用可能である。これ
らのうち最も好ましい化合物はアクリル酸およびメタク
リル酸である。
Examples of the first polymerizable substance (carboxylic acid type monomer) include acrylic acid, methacrylic acid, cinnamic acid, crotonic acid, sorbic acid, itaconic acid, propiolic acid, maleic acid and fumaric acid. And these half-esters or anhydrides can also be used. The most preferred of these are acrylic acid and methacrylic acid.

【0017】本発明のバインダー用熱可塑性重合体
(a)には、硬化後の架橋硬化樹脂に耐溶剤性および高
湿度下での高い電気絶縁性を付与する目的で一般式
(I)
The thermoplastic polymer (a) for binder of the present invention has the general formula (I) for the purpose of imparting solvent resistance and high electrical insulation under high humidity to the crosslinked cured resin after curing.

【0018】[0018]

【化5】 (式中、R1 は水素、1〜6個の炭素原子を有するアル
キル基を表わす)で示される化合物およびその環置換誘
導体より成る群から選ばれる1種以上の化合物から成る
第2重合性物質が2〜25重量%とも重合されている。
[Chemical 5] (Wherein R 1 represents hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms) and a second polymerizable substance composed of one or more compounds selected from the group consisting of ring-substituted derivatives thereof. Is polymerized with 2 to 25% by weight.

【0019】一般式(I)の化合物の共重合量が、2重
量%未満のものでは、硬化後の架橋硬化樹脂の耐溶剤性
や、高湿度下での電気絶縁性が低下する。一方、共重合
量が25重量%を超えるものでは、アルカリ現像液を用
いた現像に必要な時間が大幅に長くなり、工業上使用で
きない範囲となる。
When the copolymerization amount of the compound of the general formula (I) is less than 2% by weight, the solvent resistance of the crosslinked cured resin after curing and the electric insulating property under high humidity are deteriorated. On the other hand, when the copolymerization amount exceeds 25% by weight, the time required for the development using the alkali developing solution becomes significantly long, which is in the industrially unusable range.

【0020】一般式(I)で示される化合物のベンゼン
環の置換基としては、ニトロ基、アルコキシ基、アシル
基、カルボキシル基、スルホン基、ヒドロキシル基およ
びハロゲン等が挙げられ、置換基の数は5個までのいず
れであってもよい。好ましい置換基は、メチル基、t−
ブチル基等の単一のアルキル基であり、一般式(I)で
示される化合物として最も好ましいのはスチレンであ
る。
Examples of the substituents on the benzene ring of the compound represented by formula (I) include nitro group, alkoxy group, acyl group, carboxyl group, sulfone group, hydroxyl group and halogen, and the number of substituents is Any of up to 5 may be used. Preferred substituents are methyl, t-
A single alkyl group such as a butyl group, and styrene is most preferable as the compound represented by the general formula (I).

【0021】バインダー用熱可塑性重合体(a)中に含
有される第3重合性物質は、炭素原子数が1〜8のアル
キル基を有するアルキルアクリレートの少なくとも一種
である。
The third polymerizable substance contained in the thermoplastic polymer (a) for binder is at least one kind of alkyl acrylate having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms.

【0022】これらの第3重合性物質(アクリレート型
成分)は、本発明に使用する感光性樹脂組成物に適度な
柔軟性を付与するため、バインダー用熱可塑性重合体に
10〜40重量%、好ましくは15〜35重量%の範囲
となるように共重合させることが必要である。アクリレ
ート型成分の含有量が10重量%未満のものでは十分に
柔軟性のあるドライフィルムレジストが得られず、基材
への密着性、基材表面の凹凸へのドライフィルムレジス
トの埋まり込み性が低下する。一方、第3重合性物質の
共重合量が40重量%を超えたものでは逆にレジストが
柔らかすぎて、得られるドライフィルムレジストをロー
ルに巻いて保存する際にレジスト樹脂が支持フィルムの
間から経時的ににじみ出るいわゆるコールドフロー現像
の原因となり、また、硬化後の架橋硬化樹脂の耐溶剤性
の低下を引き起こす。
The third polymerizable substance (acrylate type component) is added to the thermoplastic polymer for binder in an amount of 10 to 40% by weight in order to impart appropriate flexibility to the photosensitive resin composition used in the present invention. It is necessary to copolymerize it so that it is preferably in the range of 15 to 35% by weight. If the content of the acrylate-type component is less than 10% by weight, a sufficiently flexible dry film resist cannot be obtained, resulting in poor adhesion to the base material and embedding of the dry film resist in the unevenness of the base material surface. descend. On the other hand, if the copolymerization amount of the third polymerizable substance exceeds 40% by weight, the resist is too soft and the resulting dry film resist is rolled up between rolls and stored when the resist resin is removed from between the support films. This causes so-called cold flow development that oozes out with time, and also causes a decrease in solvent resistance of the crosslinked cured resin after curing.

【0023】これらの化合物の例としては、メチルアク
リレート、エチルアクリレート、n−プロピルアクリレ
ート、iso −プロピルアクリレート、n−ブチルアクリ
レート、sec −ブチルアクリレート、t−ブチルアクリ
レート、2−エチルヘキシルアクリレート等が挙げられ
る。これらの化合物のうち最も好ましい化合物は、メチ
ルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルア
クリレートおよび2−エチルヘキシルアクリレートであ
る。
Examples of these compounds include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, iso-propyl acrylate, n-butyl acrylate, sec-butyl acrylate, t-butyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate and the like. .. The most preferred of these compounds are methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate and 2-ethylhexyl acrylate.

【0024】バインダー用熱可塑性重合体(a)を構成
する第4重合性物質は、アクリレート型成分(第3重合
性物質)と相まってバインダー用熱可塑性重合体に適度
なTg(ガラス転移温度)を与えるために共重合される
ものであり、炭素原子数1〜8のアルキル基を有するア
ルキルメタクリレートの少なくとも一種である。
The fourth polymerizable substance constituting the thermoplastic polymer for binder (a), together with the acrylate-type component (third polymerizable substance), has an appropriate Tg (glass transition temperature) for the thermoplastic polymer for binder. It is copolymerized to give, and is at least one kind of alkyl methacrylate having an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms.

【0025】これらの第4重合性物質(メタアクリレー
ト型成分)は、バインダー用熱可塑性重合体中30〜6
5重量%、好ましくは35〜65重量%の範囲となるよ
うに共重合させることが必要である。
These fourth polymerizable substances (methacrylate type components) are contained in the thermoplastic polymer for binder in an amount of 30 to 6
It is necessary to perform copolymerization in the range of 5% by weight, preferably 35 to 65% by weight.

【0026】これらの化合物の例としては、ブチルメタ
クリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルメタ
クリレート、iso −プロピルメタクリレート、n−ブチ
ルメタクリレート、sec −ブチルメタクリレート、t−
ブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレ
ート等が挙げられる。これらの化合物のうち最も好まし
い化合物はメチルメタクリレートである。
Examples of these compounds are butyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, iso-propyl methacrylate, n-butyl methacrylate, sec-butyl methacrylate, t-butyl methacrylate.
Butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate and the like can be mentioned. The most preferred of these compounds is methyl methacrylate.

【0027】バインダー用熱可塑性重合体(a)は、重
量平均分子量が50,000〜200,000の範囲の
ものが好ましい。重量平均分子量が50,000未満の
ものは、ドライフィルムレジストとした際にコールドフ
ロー現像を起しやすく、また、重量平均分子量が20
0,000を超えるものでは未露光部のアルカリ現像液
に対する溶解性が不足し、その現像性が劣り、現像時間
が極めて長くかかりすぎ、解像度の低下、および回路パ
ターンの生産性の低下を引き起しがちである。
The thermoplastic polymer (a) for binder preferably has a weight average molecular weight of 50,000 to 200,000. When the weight average molecular weight is less than 50,000, cold flow development is likely to occur when it is used as a dry film resist, and the weight average molecular weight is 20.
If it exceeds 50,000, the solubility of the unexposed area in an alkaline developer is insufficient, the developability is poor, the developing time is too long, the resolution is lowered, and the circuit pattern productivity is lowered. It tends to be.

【0028】本発明において使用するバインダー用熱可
塑性重合体(a)は、感光性樹脂組成物100重量部中
に40〜70重量部を含有される。バインダー用熱可塑
性重合体の含有量が40重量部未満の感光性樹脂組成物
では、得られるドライフィルムレジストの感光層のフィ
ルム形成性が損われ十分な膜強度が得られずコールドフ
ローが発生しやすく、耐熱密着性も低い。一方、熱可塑
性重合体の含有量が70重量部を超えたものは耐溶剤性
が低下する。
The thermoplastic polymer for binder (a) used in the present invention is contained in an amount of 40 to 70 parts by weight per 100 parts by weight of the photosensitive resin composition. When the content of the thermoplastic polymer for binder is less than 40 parts by weight, the film forming property of the photosensitive layer of the obtained dry film resist is impaired and sufficient film strength cannot be obtained, causing cold flow. Easy and has low heat resistance. On the other hand, if the content of the thermoplastic polymer exceeds 70 parts by weight, the solvent resistance decreases.

【0029】本発明に使用する感光性樹脂組成物は、
(b)成分として架橋性単量体混合物を含有している
が、架橋性単量体混合物のうち、20〜80重量%は、
下記一般式(II)
The photosensitive resin composition used in the present invention is
Although it contains a crosslinkable monomer mixture as the component (b), 20 to 80% by weight of the crosslinkable monomer mixture is
The following general formula (II)

【0030】[0030]

【化6】 (式中、R2 は水素またはメチル基、R3 は1〜8個の
炭素原子を有するアルキル基を表わす)で表わされるN
−アルコキシメチル(メタ)アクリルアミドで構成され
ていることが必要である。
[Chemical 6] (Wherein R 2 represents hydrogen or a methyl group, and R 3 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms)
It must consist of alkoxymethyl (meth) acrylamide.

【0031】このN−アルコキシメチル(メタ)アクリ
ルアミドを、スチレン型モノマー(第2重合性物質)を
含有するバインダー用熱可塑性重合体と併用した場合、
従来の知見では予期できなかったような高度な耐熱密着
性および高温高湿度下の高度な電気絶縁性を有するソル
ダーレジスト用硬化物が得られる。
When this N-alkoxymethyl (meth) acrylamide is used in combination with a thermoplastic polymer for a binder containing a styrene type monomer (second polymerizable substance),
It is possible to obtain a cured product for a solder resist, which has a high degree of heat-resistant adhesion and a high degree of electrical insulation under high temperature and high humidity, which could not have been predicted by conventional knowledge.

【0032】N−アルコキシメチル(メタ)アクリルア
ミド型単量体の含有量が20重量%未満の場合には、上
記の効果を充分に与えることができなくなり、一方、8
0重量%を超える場合には、硬化後の耐溶剤性が低下す
る。
When the content of the N-alkoxymethyl (meth) acrylamide type monomer is less than 20% by weight, the above effect cannot be sufficiently exerted, while 8
If it exceeds 0% by weight, the solvent resistance after curing is lowered.

【0033】一般式(II)で示されるN−アルコキシメ
チル(メタ)アクリルアミドの例としては、N−メトキ
シメチル(メタ)アクリルアミド、N−エトキシ(メ
タ)アクリルアミド、N−n−プロポキシ(メタ)アク
リルアミド、N−i−プロポキシ(メタ)アクリルアミ
ド、N−n−ブトキシ(メタ)アクリルアミド、N−i
−ブトキシ(メタ)アクリルアミド、N−t−ブトキシ
(メタ)アクリルアミド、N−n−ヘキシルオキシ(メ
タ)アクリルアミド、N−2−エチルヘキシルオキシ
(メタ)アクリルアミド等があげられる。
Examples of the N-alkoxymethyl (meth) acrylamide represented by the general formula (II) include N-methoxymethyl (meth) acrylamide, N-ethoxy (meth) acrylamide, Nn-propoxy (meth) acrylamide. , N-i-propoxy (meth) acrylamide, Nn-butoxy (meth) acrylamide, N-i
-Butoxy (meth) acrylamide, Nt-butoxy (meth) acrylamide, Nn-hexyloxy (meth) acrylamide, N-2-ethylhexyloxy (meth) acrylamide and the like can be mentioned.

【0034】架橋硬化樹脂に耐溶剤性を確保するために
は、架橋性単量体混合物は、平均して一分子中に1.3
個以上のエチレン性不飽和基を有することが必要であ
る。このため、一般式(II)で示されるN−アルコキシ
メチル(メタ)アクリルアミドとともに併用される架橋
性単量体としては、一分子中に2個以上のエチレン性不
飽和基を有する架橋性単量体を使用することが必要であ
る。
In order to ensure the solvent resistance of the crosslinked cured resin, the crosslinkable monomer mixture has an average of 1.3 per molecule.
It is necessary to have at least one ethylenically unsaturated group. Therefore, the crosslinkable monomer used in combination with the N-alkoxymethyl (meth) acrylamide represented by the general formula (II) is a crosslinkable monomer having two or more ethylenically unsaturated groups in one molecule. It is necessary to use the body.

【0035】一分子中に2個以上のエチレン性不飽和基
を有する架橋性単量体としては、例えばポリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリ
コールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブタンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオール
ジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ
(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−(メタ)ア
クリロイルオキシポリエトキシフェニル]プロパン、
2,2−ビス[4−(メタ)アクリロイルオキシポリプ
ロピレンオキシフェニル]プロパン、ヒドロキシピバリ
ン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
グリセリンジ(メタ)アクリレート、グリセリントリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールエタンジ(メ
タ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)
アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アク
リレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリ
レート、トリメチロールプロパントリス[エトキシ(メ
タ)アクリレート]、トリメチロールプロパントリス
[プロピレンオキシ(メタ)アクリレート]、トリメチ
ロールプロパントリス[ポリエトキシ(メタ)アクリレ
ート]、トリメチロールプロパントリス[ポリプロピレ
ンオキシ(メタ)アクリレート]、イソシアヌル酸トリ
エチロールジ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸ト
リエチロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテ
トラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールト
リ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテト
ラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ(メタ)アクリレート等の多価アルコールのポリ(メ
タ)アクリレート類、エポキシ(メタ)アクリレート類
およびウレタン(メタ)アクリレート類などが挙げら
れ、これらは1種あるいは混合して使用することができ
る。
The crosslinkable monomer having two or more ethylenically unsaturated groups in one molecule is, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 1,3-butanediol di. (Meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 2,2-bis [4- (meth) acryloyloxypolyethoxyphenyl] propane,
2,2-bis [4- (meth) acryloyloxypolypropyleneoxyphenyl] propane, hydroxypivalic acid neopentyl glycol di (meth) acrylate,
Glycerin di (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolethane di (meth) acrylate, trimethylolethane tri (meth)
Acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tris [ethoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [propyleneoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [ Polyethoxy (meth) acrylate], trimethylolpropane tris [polypropyleneoxy (meth) acrylate], isocyanuric acid triethylol di (meth) acrylate, isocyanuric acid triethylol tri (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri ( (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol tri (meth) acrylate Poly (meth) acrylates, epoxy (meth) acrylates and urethanes of polyhydric alcohols such as Examples thereof include (meth) acrylates, and these can be used alone or in combination.

【0036】また、架橋性単量体混合物中のエチレン性
不飽和基量を、平均して一分子中に1.3個以上に保つ
範囲内において、一分子に1個のエチレン性不飽和基を
有する単量体を使用してもよい。このような単量体の例
としては、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フ
ェノキシジエトキシ(メタ)アクリレート、3−フェノ
キシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、
メトキシトリエトキシ(メタ)アクリレート等が挙げら
れる。
Within the range in which the average amount of ethylenically unsaturated groups in the crosslinkable monomer mixture is maintained at 1.3 or more in one molecule, one ethylenically unsaturated group per molecule is used. You may use the monomer which has. Examples of such a monomer include phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxydiethoxy (meth) acrylate, 3-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate,
Methoxytriethoxy (meth) acrylate and the like can be mentioned.

【0037】本発明において使用する架橋性単量体混合
物(b)は、本発明に使用する感光性樹脂組成物100
重量部中に25〜60重量部、好ましくは25〜45重
量部含有される。架橋性単量体混合物の含有量が25重
量部未満のものは感光性樹脂組成物が光によって十分に
硬化せず耐溶剤性が低下し、一方、架橋性単量体混合物
の含有量が60重量部を超えて多いものをドライフィル
ムレジストとした場合は、コールドフローが発生しやす
くなり、耐溶剤性も低下する。
The crosslinkable monomer mixture (b) used in the present invention is the photosensitive resin composition 100 used in the present invention.
The content is 25 to 60 parts by weight, preferably 25 to 45 parts by weight. When the content of the crosslinkable monomer mixture is less than 25 parts by weight, the photosensitive resin composition is not sufficiently cured by light and the solvent resistance is lowered, while the content of the crosslinkable monomer mixture is 60%. If a large amount of the dry film resist is used in excess of parts by weight, cold flow is likely to occur and solvent resistance is also reduced.

【0038】本発明に使用する感光性樹脂組成物を光重
合させるための光重合開始剤(c)としては、ベンゾフ
ェノン、ミヒラーズケトン、4,4−ビス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、2
−エチルアントラキノン、チオキサントン類、ベンゾイ
ンアルキルエーテル類、ベンジルケタール類等公知のも
のを用いることができ、これらは1種以上を併用でき
る。
As the photopolymerization initiator (c) for photopolymerizing the photosensitive resin composition used in the present invention, benzophenone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, t-butylanthraquinone, 2
Known ones such as -ethylanthraquinone, thioxanthones, benzoin alkyl ethers and benzyl ketals can be used, and these can be used alone or in combination.

【0039】本発明において使用する光重合開始剤は、
感光性樹脂組成物100重量部中に0.1〜10重量部
含有される。0.1重量部未満の場合には十分に光硬化
せず、一方10重量部を超える場合には熱的に不安定に
なる。
The photopolymerization initiator used in the present invention is
0.1 to 10 parts by weight is contained in 100 parts by weight of the photosensitive resin composition. If it is less than 0.1 part by weight, it is not sufficiently photo-cured, while if it exceeds 10 parts by weight, it becomes thermally unstable.

【0040】本発明に使用する感光性樹脂組成物には、
金属表面への密着力をより一層向上させるためにテトラ
ゾールまたはその誘導体を含有させるのが好ましい。テ
トラゾールまたはその誘導体は、少量の添加で金属面へ
の密着性を向上させることができ、その例としては1−
フェニルテトラゾール、5−フェニルテトラゾール、5
−アミノテトラゾール、5−アミノ−1−メチルテトラ
ゾール、5−アミノ−2−フェニルテトラゾール、5−
メルカプト−1−フェニルテトラゾール、5−メルカプ
ト−1−メチルテトラゾール等が挙げられ、これらは1
種以上を併用できる。
The photosensitive resin composition used in the present invention includes
It is preferable to contain tetrazole or its derivative in order to further improve the adhesion to the metal surface. Tetrazole or its derivative can improve adhesion to a metal surface by adding a small amount, and as an example thereof, 1-
Phenyltetrazole, 5-phenyltetrazole, 5
-Aminotetrazole, 5-amino-1-methyltetrazole, 5-amino-2-phenyltetrazole, 5-
Examples thereof include mercapto-1-phenyltetrazole and 5-mercapto-1-methyltetrazole.
More than one species can be used together.

【0041】テトラゾールまたはその誘導体の使用量
は、バインダー樹脂、架橋性単量体混合物および光重合
開始剤の合計100重量部に対し0.005〜5重量部
の範囲であることが好ましい。0.005重量部未満で
は金属表面への密着力の向上が明確には認められず、一
方、5重量部を超えると溶解に長時間を要し、また感光
性樹脂組成物の感度も低下する。
The amount of tetrazole or its derivative used is preferably 0.005 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the binder resin, the crosslinkable monomer mixture and the photopolymerization initiator. If it is less than 0.005 parts by weight, the improvement of the adhesion to the metal surface is not clearly recognized, while if it exceeds 5 parts by weight, it takes a long time to dissolve it and the sensitivity of the photosensitive resin composition is also lowered. ..

【0042】また、上記テトラゾール類以外の化合物例
えばベンゾトリアゾール、ベンズイミダゾール等も密着
促進剤として使用可能である。
Compounds other than the above tetrazoles such as benzotriazole and benzimidazole can also be used as adhesion promoters.

【0043】本発明に使用する感光性樹脂組成物は、必
要に応じて熱重合禁止剤、染料、可塑剤および充填剤の
ような成分を添加することもできる。
The photosensitive resin composition used in the present invention may optionally contain components such as a thermal polymerization inhibitor, a dye, a plasticizer and a filler.

【0044】本発明の目的とする架橋硬化樹脂を得るた
めには、前記特定の感光性樹脂組成物を使用し、さらに
最終硬化後の段階で鉛筆硬度5H以上の性能を与えるよ
うに硬化を充分に進めることが必要である。すなわち、
鉛筆硬度5H以上となるまで、硬化を進行させて初めて
ソルダーレジストとして必要とされる基材への密着性、
半田耐熱性、耐溶剤性が確保できる。一方、鉛筆硬度5
H以下での硬化状態では、前記感光性樹脂組成物を使用
してもソルダーレジストとして要求される各種性能を満
足させることはできない。
In order to obtain the crosslinked cured resin which is the object of the present invention, the above specific photosensitive resin composition is used, and the curing is sufficient so as to give a pencil hardness of 5H or more at the stage after the final curing. It is necessary to proceed to. That is,
Adhesion to the base material required as a solder resist only after curing proceeds until the pencil hardness reaches 5H or higher,
Solder heat resistance and solvent resistance can be secured. On the other hand, pencil hardness is 5
In the cured state below H, various performances required as a solder resist cannot be satisfied even if the above-mentioned photosensitive resin composition is used.

【0045】鉛筆硬度が5H以上となるように硬化を充
分に進めるための方法としては、従来、塗料等の分野
で、公知である各種の方法を用いることができる。使用
できる方法の例としては、紫外線照射、電子線照射、加
熱処理等があげられる。これらを単独であるいは二種以
上を組合せて実施することができるが、工業上容易に実
施でき最も効果の上がる方法は、紫外線照射と加熱処理
との組合せである。
As a method for sufficiently promoting the curing so that the pencil hardness is 5H or more, various methods known in the field of paints and the like can be used. Examples of methods that can be used include ultraviolet irradiation, electron beam irradiation, heat treatment and the like. These can be carried out singly or in combination of two or more kinds, and the method which can be carried out industrially easily and which is most effective is a combination of ultraviolet irradiation and heat treatment.

【0046】紫外線照射は、エチレン性不飽和基の付加
反応を充分に進めるのに効果があり、例えば高圧水銀灯
を用いて実施できる。なお、この時の紫外線照射エネル
ギーとしては、0.5J/cm2 〜10J/cm2の範囲で
使用することが好ましいが、紫外線照射により基材およ
びソルダーレジストの温度が過度に上昇する場合には、
数回に分割して照射することが好ましい。
The irradiation with ultraviolet rays is effective in sufficiently promoting the addition reaction of the ethylenically unsaturated group, and can be carried out by using, for example, a high pressure mercury lamp. As the ultraviolet irradiation energy at this time, when it is preferably used in a range of 0.5J / cm 2 ~10J / cm 2 , the temperature of the substrate and the solder resist by ultraviolet irradiation is excessive rise ,
Irradiation is preferably divided into several times.

【0047】一方、加熱は、重合収縮によるひずみの緩
和などに効果がある。加熱方法としては例えば遠赤外線
加熱や加熱炉等が使用できるが、加熱炉を用いる場合に
は、100℃〜180℃の範囲で、2時間以下の範囲で
実施することが好ましい。
On the other hand, heating is effective in alleviating strain due to polymerization shrinkage. As a heating method, for example, far-infrared heating, a heating furnace, or the like can be used, but when a heating furnace is used, it is preferably performed in the range of 100 ° C. to 180 ° C. for 2 hours or less.

【0048】本発明に使用する感光性樹脂組成物を用い
て、ソルダーレジスト用架橋硬化樹脂を形成するには、
先ず基体上に感光性樹脂組成物からなる感光層を形成す
る。感光層の形成方法としては、上述したように感光性
樹脂組成物の有機溶剤溶液として塗布した後に溶剤を揮
散させる方法、および感光性樹脂組成物を2枚のフィル
ムの間にはさんだドライフィルムレジストとし、一方の
フィルムを剥離した後、熱的に圧着させる方法の2種が
あるが、ドライフィルムレジストを用いる方法が工業的
にはより好ましい。また、ドライフィルムレジストの熱
圧着の際、配線パターンによる凹凸のある面への追従性
をより向上させるため、減圧条件下での熱圧着を行なう
ことがより好ましい。
To form a crosslinked cured resin for a solder resist using the photosensitive resin composition used in the present invention,
First, a photosensitive layer made of a photosensitive resin composition is formed on a substrate. As the method for forming the photosensitive layer, a method of applying the photosensitive resin composition as an organic solvent solution and then volatilizing the solvent as described above, and a dry film resist sandwiching the photosensitive resin composition between two films Then, there are two types of methods in which one film is peeled off and then thermally pressed, but the method using a dry film resist is industrially preferable. Further, in thermocompression bonding of the dry film resist, it is more preferable to perform thermocompression bonding under a reduced pressure condition in order to further improve the conformability to the uneven surface due to the wiring pattern.

【0049】次に、パターンを形成させるための感光層
の露光を行なう。露光の方法としては、既に公知である
各種の方法を用いることができるが、例えば紫外線露光
法、可視光露光法、レーザー露光法等を用いることがで
き、また、露光を選択的に行なう方法としては、フォト
マスクを使用する方法やダイレクトイミージング法等を
用いうる。
Next, the photosensitive layer is exposed to form a pattern. As the exposure method, various known methods can be used, and for example, an ultraviolet exposure method, a visible light exposure method, a laser exposure method or the like can be used, and as a method for selectively performing the exposure Can use a method using a photomask, a direct imaging method, or the like.

【0050】次にアルカリ現像液を用いた未硬化部分
(未露光部分)の除去を行なう。アルカリ現像液として
は、例えば炭酸ナトリウム水溶液、リン酸ナトリウム水
溶液、炭酸カリウム水溶液を用いることができ、これら
の水溶液に少量の消泡剤や界面活性剤を添加することも
可能である。また、除去方法としては、最も一般的には
スプレー法が使用されるが、その一部を浸漬法で代替さ
せることも可能である。
Next, the uncured portion (unexposed portion) is removed using an alkali developing solution. As the alkaline developer, for example, an aqueous solution of sodium carbonate, an aqueous solution of sodium phosphate, an aqueous solution of potassium carbonate can be used, and a small amount of a defoaming agent or a surfactant can be added to these aqueous solutions. Further, as a removing method, a spray method is most commonly used, but a part thereof can be replaced by a dipping method.

【0051】[0051]

【実施例】以下、本発明を実施例によりさらに詳しく説
明する。 合成例 [バインダー用熱可塑性重合体の合成]窒素導入口、撹
拌機、コンデンサーおよび温度計を備えた1000ml
の4つ口フラスコに、窒素雰囲気下でイソプロピルアル
コール100ml、メチルエチルケトン100gおよび
表1に記載した単量体の混合物200gを添加し、撹拌
しながら湯浴の温度を80℃に上げた。次いでアソビス
イソブチロニトリル1.0gを10gのイソプロピルア
ルコールに溶解して添加し、4時間重合した。次いで
1.0gのアゾビスイソブチロニトリルを10gのイソ
プロピルアルコールに溶解したものを30分おきに5回
に分けて添加した後、フラスコ内温を溶剤の沸点まで上
昇させ、その温度で2時間重合させた。重合終了後、イ
ソプロピルアルコール100gを添加して重合反応物を
フラスコより取り出し、バインダー用熱可塑性重合体溶
液を調製した。なお、各組成における単量体混合物の重
合率はいずれも99.5%以上であった。また、バイン
ダー用熱可塑性重合体溶液中の固型分量はいずれも3
8.7%であった。
EXAMPLES The present invention will now be described in more detail by way of examples. Synthesis example [Synthesis of thermoplastic polymer for binder] 1000 ml equipped with nitrogen inlet, stirrer, condenser and thermometer
100 ml of isopropyl alcohol, 100 g of methyl ethyl ketone and 200 g of the mixture of the monomers shown in Table 1 were added to a four-necked flask under a nitrogen atmosphere, and the temperature of the water bath was raised to 80 ° C. with stirring. Next, 1.0 g of asobisisobutyronitrile was dissolved in 10 g of isopropyl alcohol and added, and the mixture was polymerized for 4 hours. Then, 1.0 g of azobisisobutyronitrile dissolved in 10 g of isopropyl alcohol was added every 30 minutes in 5 batches, and then the temperature inside the flask was raised to the boiling point of the solvent for 2 hours at that temperature. Polymerized. After the completion of the polymerization, 100 g of isopropyl alcohol was added and the polymerization reaction product was taken out from the flask to prepare a thermoplastic polymer solution for a binder. The polymerization rate of the monomer mixture in each composition was 99.5% or more. In addition, the solid content in the thermoplastic polymer solution for binder is 3
It was 8.7%.

【0052】[0052]

【表1】 [アルカリ現像性ドライフィルムレジストの作製]表2
に記載したようにバインダー用熱可塑性重合体溶液、架
橋性単量体混合物、光重合開始剤およびその他の成分を
添加し、充分に撹拌し、感光性樹脂組成物の均一溶液を
作製した。得られた組成物を8時間減圧下静置して消泡
した後、厚み25μmのポリエステル上に乾燥後の厚み
が75μmとなるように塗工し、トンネル型乾燥炉(4
0℃×3m、60℃×3m、90℃×3m)の中を1m
/min の速度で通して溶剤を揮散させ、さらにその上に
30μmのポリエチレンフィルムを重ねた後、両端をス
リットし、幅300mm、長さ100mをロールに巻き取
り、ドライフィルムレジストを作製した。
[Table 1] [Preparation of Alkali Developable Dry Film Resist] Table 2
The thermoplastic polymer solution for the binder, the crosslinkable monomer mixture, the photopolymerization initiator and other components were added as described in 1. and sufficiently stirred to prepare a uniform solution of the photosensitive resin composition. The obtained composition was allowed to stand for 8 hours under reduced pressure to defoam, and then coated on a polyester having a thickness of 25 μm so that the thickness after drying would be 75 μm, and the resulting mixture was dried in a tunnel-type drying oven (4
1m in 0 ℃ × 3m, 60 ℃ × 3m, 90 ℃ × 3m)
The solvent was volatilized at a speed of / min, a 30 μm polyethylene film was further laminated thereon, both ends were slit, and a width of 300 mm and a length of 100 m were wound on a roll to prepare a dry film resist.

【0053】なお、DFR−(a)〜DFR−(g)は
本発明に使用される範囲にある感光性樹脂組成物であ
り、DFR−(h)〜DFR−(r)は本発明の範囲か
らはずれた感光性樹脂組成物である。
DFR- (a) to DFR- (g) are photosensitive resin compositions in the range used in the present invention, and DFR- (h) to DFR- (r) are in the range of the present invention. It is a photosensitive resin composition that is disengaged.

【0054】[0054]

【表2】 実施例1〜9および比較例1〜13 前項の方法で作製したアルカリ現像性ドライフィルムレ
ジストを用いて下記の方法にて、架橋性硬化樹脂を形成
し、その性能について評価を行なった。
[Table 2] Examples 1 to 9 and Comparative Examples 1 to 13 A crosslinkable cured resin was formed by the following method using the alkali developable dry film resist prepared by the method described in the preceding paragraph, and its performance was evaluated.

【0055】使用したDFR、後硬化方法、鉛筆硬度及
び性能評価結果を表3に示した。
Table 3 shows the DFR used, post-curing method, pencil hardness and performance evaluation results.

【0056】[0056]

【表3】 [テスト用プリント配線基板]ソルダーレジストとして
の性能評価用として、下記のプリント配線基板を用い
た。
[Table 3] [Test Printed Wiring Board] The following printed wiring board was used for performance evaluation as a solder resist.

【0057】 ・銅スルーホール両面基板 ・基材1.6mmガラスエポキシ ・銅パターンの高さ、55μm ・配線密度、ピン間2本通し ・5cm×5cm以上の銅ベタ部分のあるもの。 [架橋硬化樹脂の形成方法] [ラミネート]真空ラミネータHLM−V570(日
立コンデンサー(株)製)を用い、上記のプリント配線
基板上にドライフィルムレジストを下記のラミネート条
件下でラミネートした。
-Copper through-hole double-sided board-Base material 1.6 mm glass epoxy-Copper pattern height, 55 μm-Wiring density, 2 through pins-A copper solid part of 5 cm x 5 cm or more. [Method of Forming Crosslinked Cured Resin] [Lamination] Using a vacuum laminator HLM-V570 (manufactured by Hitachi Capacitor Co., Ltd.), a dry film resist was laminated on the above printed wiring board under the following laminating conditions.

【0058】 基板余熱ローラー温度 120℃ ヒートシュー温度 100℃ ラミネート圧力(シリンダー圧) 5kgf /cm2 真空チャンバー内の圧力 100mmHg ラミネート速度 0.8m/min [露光]ドライフィルムレジストをラミネートした基
板の両面にソルダーレジスト用フォトマスクを重ね、D
FR用露光機HTE−106((株)ハイテック製)を
用い、25段ステップタブレット(三菱レイヨン(株)
製)で、15段残りとなるように露光した。 [現像]露光後の基板から、支持フィルムを剥離し、
コンベア式現像機にて、30℃、1%炭酸ナトリウム水
溶液でスプレー現像を行なった。この際の未露光部分が
完全に現像除去できる時間を「最少現像時間」として表
2に示した。
Substrate residual heat roller temperature 120 ° C. Heat shoe temperature 100 ° C. Laminating pressure (cylinder pressure) 5 kgf / cm 2 Pressure in vacuum chamber 100 mmHg Laminating speed 0.8 m / min [Exposure] Both sides of substrate laminated with dry film resist Overlay the photomask for the solder resist, D
Using a FR exposure machine HTE-106 (manufactured by Hitec Co., Ltd.), a 25-step step tablet (Mitsubishi Rayon Co., Ltd.)
Exposure was performed so that 15 steps remained. [Development] Release the support film from the exposed substrate,
Spray development was performed with a 1% sodium carbonate aqueous solution at 30 ° C. on a conveyor type developing machine. The time during which the unexposed portion can be completely removed by development is shown in Table 2 as "minimum development time".

【0059】なお、その後の処理および評価は最少現像
時間の1.5倍の時間現像したものを用いた。 [水洗・乾燥]現像後の基板に室温で、市水を1分間
スプレーした後、エアーナイフで基板上の水を除去しさ
らに70℃で5分間乾燥した。 [後硬化]下記(イ)〜(ホ)のいずれかの方法によ
り、後硬化を行なった。 (イ)高圧水銀ランプによる紫外線照射、1J/cm2 ×
3回の後、150℃1時間の熱処理。 (ロ)高圧水銀ランプによる紫外線照射、1回当り1.
5J/cm2 で4回実施。 (ハ)160℃1.3時間の熱処理。 (ニ)高圧水銀ランプによる紫外線照射、0.35J/
cm2 1回。 (ホ)紫外線照射および熱処理なし。 [評価方法] [鉛筆硬度の測定]JIS K5400の6.14に記
載の方法に従い、鉛筆硬度を測定した。
For the subsequent processing and evaluation, a product developed for 1.5 times the minimum development time was used. [Washing / Drying] The developed substrate was sprayed with city water at room temperature for 1 minute, the water on the substrate was removed with an air knife, and further dried at 70 ° C. for 5 minutes. [Post-curing] Post-curing was performed by any of the following methods (a) to (e). (B) Ultraviolet irradiation with a high-pressure mercury lamp, 1 J / cm 2 ×
After 3 times, heat treatment at 150 ° C for 1 hour. (B) Ultraviolet irradiation by a high pressure mercury lamp, 1.
Conducted 4 times at 5 J / cm 2 . (C) Heat treatment at 160 ° C. for 1.3 hours. (D) Ultraviolet irradiation by high pressure mercury lamp, 0.35J /
cm 2 once. (E) No UV irradiation or heat treatment. [Evaluation Method] [Measurement of Pencil Hardness] The pencil hardness was measured according to the method described in JIS K5400, 6.14.

【0060】[コールドフロー性]幅300mm、長さ1
00mのロールに巻き取ったドライフィルムレジスト
を、23℃、60%RHの暗所に5日間放置した後端面
からの樹脂のにじみ出し(コールドフロー)の有無を目
視で調べた。
[Cold flow property] width 300 mm, length 1
The dry film resist wound on a 00 m roll was left in a dark place at 23 ° C. and 60% RH for 5 days, and the presence or absence of resin oozing (cold flow) from the end face was visually examined.

【0061】 〇…コールドフローなし ×…コールドフローあり [うまり込み性]架橋硬化樹脂形成後の基板を実体顕微
鏡にて観察し、架橋硬化樹脂と基板との間の空気だまり
の有無を調べた。
○: No cold flow ×: Cold flow [Holding property] The substrate after the formation of the cross-linking curable resin was observed with a stereoscopic microscope to check for the presence of air pockets between the cross-linking curable resin and the substrate. ..

【0062】 〇…空気だまりなし ×…空気だまりあり [密着性]銅上に形成されたソルダーレジストにカッタ
ーナイフにて2mmのごばん目100個(10×10)を
つくり、テープの一端を基板面に直角に保ち、瞬間的に
引き離した後、銅上に残留したソルダーレジスト面積を
調べた。
◯ ... No air accumulation × ... Air accumulation [Adhesion] 100 pieces (2 × 10) of 2 mm squares are made with a cutter knife on the solder resist formed on copper, and one end of the tape is used as a substrate. The area of the solder resist remaining on the copper was examined after the film was kept perpendicular to the surface and was momentarily separated.

【0063】 ◎…95%以上残留 〇…90%以上、95%未満残留 ×…残留90%未満 [半田耐熱性]260℃の共晶点半田中にソルダーレジ
ストを形成させた基板を10秒間浸漬し、ソルダーレジ
ストの「ふくれ」「はがれ」の有無を調べた。
⊚: 95% or more remained ◯: 90% or more, less than 95% residual ×: Residual less than 90% [Solder heat resistance] A substrate on which a solder resist was formed was immersed in eutectic point solder at 260 ° C for 10 seconds. Then, the presence or absence of "blister" or "peeling" of the solder resist was examined.

【0064】 〇…ふくれ・はがれ なし ×…ふくれ・はがれ あり [半田処理後の密着性]上記のように半田処理した後の
基板について密着性を同様の方法にて調べた。
◯ ... No swelling / peeling X: Swelling / stripping [Adhesion after soldering] The adhesion of the substrate after soldering as described above was examined by the same method.

【0065】 ◎…95%以上残留 〇…90%以上95%未満残留 ×…残留90%未満 [耐溶剤性]ソルダーレジストを形成した基板を室温に
て塩化メチレン中に浸漬し、ソルダーレジストの「ふく
れ」「はがれ」の有無を調べた。
⊚: 95% or more remains ∘: 90% or more and less than 95% residual × ... Residue less than 90% [solvent resistance] The substrate on which the solder resist is formed is dipped in methylene chloride at room temperature, and the " I checked for blister and peeling.

【0066】 ◎…10分浸漬 ふくれ・はがれ なし 〇…5分浸漬 ふくれ・はがれ なし ×…5分浸漬 ふくれ・はがれ あり [高湿度条件下の電気絶縁性]IPC−SM840A記
載の、IPC−B−25多目的用テストパターンにソル
ダーレジストを形成させた後、くし型パターンBに配線
を行なってClass 3の条件下7日間100V直流を通じ
た後、電気絶縁計にて印加電圧500VDCにて1分後
の絶縁抵抗値の測定を行なった。
◎… 10 minutes immersion No blistering / peeling 〇… 5 minutes immersion No blistering / peeling ×… 5 minutes immersion Blistering / peeling [electrical insulation under high humidity conditions] IPC-SM840A, IPC-B- 25 After forming a solder resist on the multi-purpose test pattern, wiring was performed on the comb pattern B and 100 V DC was applied for 7 days under the condition of Class 3, and after 1 minute at an applied voltage of 500 VDC with an electrical insulation tester. The insulation resistance value was measured.

【0067】Class 3条件 8時間サイクル全期間湿度90%以上 1時間45分かけて25℃から65℃に昇温 4時間30分、65℃で一定 1時間45分かけて、65℃から25℃に降温 ◎…5×109 Ω以上 〇…5×108 〜5×109 Ω ×…5×108 Ω未満 [現像必要時間]前記アルカリ現像液による現像工程に
おいて、必要とされる秒数から求めた。
Class 3 conditions: 8 hours cycle, humidity 90% or more over the entire period 1 hour 45 minutes to increase from 25 ° C. to 65 ° C. 4 hours 30 minutes, constant at 65 ° C. 1 hour 45 minutes, 65 ° C. to 25 ° C. Temperature drop ◎ ... 5 × 10 9 Ω or more ◯ ... 5 × 10 8 to 5 × 10 9 Ω × ... less than 5 × 10 8 Ω [Required development time] The number of seconds required in the development step with the alkaline developer. I asked from.

【0068】 ◎…90秒未満 〇…90秒〜120秒 ×…120秒以上◎ ... less than 90 seconds ◯ ... 90 seconds to 120 seconds × ... 120 seconds or more

フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027 H05K 3/28 D 6736−4E Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI Technical display location H01L 21/027 H05K 3/28 D 6736-4E

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 (a)3〜15個の炭素原子を有する
α,β−不飽和カルボキシル基含有単量体の1種以上の
化合物から成る第1重合性物質15〜30重量%、 一般式(I) 【化1】 (式中、R1 は水素、1〜6個の炭素原子を有するアル
キル基を表わす)で示される化合物およびその環置換誘
導体より成る群から選ばれる1種以上の化合物から成る
第2重合性物質2〜25重量%、 アルキル基が1〜8個の炭素原子を有するアルキルアク
リレートより成る群から選ばれる1種以上の化合物から
成る第3重合性物質10〜40重量%、およびアルキル
基が1〜8個の炭素原子を有するアルキルメタクリレー
トより成る群から選ばれる1種以上の化合物から成る第
4重合性物質30〜65重量%、を共重合して成るバイ
ンダー用熱可塑性重合体40〜70重量部、(b)一般
式(II)で示される化合物を20〜80重量%含有し、
かつ平均して一分子中に1.3個以上のエチレン性不飽
和基を有する架橋性単量体混合物25〜60重量部、 【化2】 (式中、R2 は水素またはメチル基、R3 は1〜8個の
炭素原子を有するアルキル基を表わす)および(c)光
重合開始剤0.01〜10重量部、を主成分としてな
り、(a)〜(c)成分の合計量が100重量部となる
ように配合されてなる感光性樹脂組成物を硬化して得ら
れる鉛筆硬度が5H以上の架橋硬化樹脂。
Claims: (a) A first polymerizable substance 15 to 15 comprising at least one compound of an α, β-unsaturated carboxyl group-containing monomer having 3 to 15 carbon atoms. 30% by weight of general formula (I) (Wherein R 1 represents hydrogen, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms) and a second polymerizable substance composed of one or more compounds selected from the group consisting of ring-substituted derivatives thereof. 2 to 25% by weight, 10 to 40% by weight of a third polymerizable substance consisting of one or more compounds selected from the group consisting of alkyl acrylates in which the alkyl group has 1 to 8 carbon atoms, and 1 to 30% by weight of the alkyl group. 40-70 parts by weight of a thermoplastic polymer for a binder obtained by copolymerizing 30 to 65% by weight of a fourth polymerizable substance consisting of one or more compounds selected from the group consisting of alkyl methacrylates having 8 carbon atoms , (B) containing the compound represented by the general formula (II) in an amount of 20 to 80% by weight,
And 25 to 60 parts by weight of a crosslinkable monomer mixture having an average of 1.3 or more ethylenically unsaturated groups in one molecule, embedded image (Wherein R 2 represents hydrogen or a methyl group, R 3 represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms) and (c) 0.01 to 10 parts by weight of a photopolymerization initiator as a main component. , A cross-linking curable resin having a pencil hardness of 5H or more, which is obtained by curing a photosensitive resin composition in which the total amount of the components (a) to (c) is 100 parts by weight.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7439005B2 (en) 2004-02-26 2008-10-21 Nec Corporation Styrene derivative, styrene polymer, photosensitive resin composition, and method for forming pattern

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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