JPH05126517A - Scanning mechanism and scanning-type microscope using it and recording reproduction device using it - Google Patents
Scanning mechanism and scanning-type microscope using it and recording reproduction device using itInfo
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- JPH05126517A JPH05126517A JP3317532A JP31753291A JPH05126517A JP H05126517 A JPH05126517 A JP H05126517A JP 3317532 A JP3317532 A JP 3317532A JP 31753291 A JP31753291 A JP 31753291A JP H05126517 A JPH05126517 A JP H05126517A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、走査機構及びこれを用
いた走査型顕微鏡及び記録再生装置に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning mechanism, a scanning microscope using the same, and a recording / reproducing apparatus.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、導体の表面原子の電子構造を直接
観察できる走査型トンネル顕微鏡（以下、ＳＴＭと云
う）が開発され［G.Binning et al.Phys.Rev.Lett,49,5
7(1982)]、単結晶、非晶質を問わず実空間像の高い分解
機能の測定ができるようになり、しかも試料に電流によ
る損傷を与えずに低電力で観測できる利点も有し、更に
大気中でも作動し、種々の材料に対して用いることがで
きるため広範囲な応用が期待されている。2. Description of the Related Art In recent years, a scanning tunneling microscope (hereinafter referred to as STM) has been developed which allows direct observation of the electronic structure of surface atoms of a conductor [G. Binning et al. Phys. Rev. Lett, 49, 5].
7 (1982)], it becomes possible to measure high resolution function of real space image regardless of single crystal or amorphous, and also has the advantage that it can be observed with low power without damaging the sample with current, Furthermore, since it operates in the atmosphere and can be used for various materials, it is expected to have a wide range of applications.
【０００３】ＳＴＭは金属製の探針から成るプローブ電
極と導電性物質間に電圧を加えて１ｎｍ程度の距離まで
近付けると、トンネル電流が流れることを利用してい
る。この電流は両者の距離変化に非常に敏感であり、ト
ンネル電流を一定に保つように探針を走査することによ
り、実空間の全電子雲に関する種々の情報をも読取るこ
とができる。このとき、面内方向の分解能は０．１ｎｍ
程度である。The STM makes use of the fact that a tunnel current flows when a voltage is applied between a probe electrode made of a metal probe and a conductive material to bring the material closer to a distance of about 1 nm. This current is very sensitive to changes in the distance between the two, and by scanning the probe so as to keep the tunnel current constant, it is possible to read various types of information regarding all electron clouds in real space. At this time, the resolution in the in-plane direction is 0.1 nm.
It is a degree.
【０００４】また、ＳＴＭの原理を応用してサブｎｍの
原子オーダでの高密度記録再生を行うことも可能であ
る。例えば、特開昭６１−８０５３６号に開示されてい
る記録再生装置では、電子ビーム等によって媒体表面に
吸着した原子粒子を取り除いて書き込みを行い、ＳＴＭ
によりこのデータを再生している。It is also possible to apply the principle of STM to perform high-density recording / reproduction in the atomic order of sub-nm. For example, in the recording / reproducing apparatus disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-80536, the atomic particles adsorbed on the medium surface by an electron beam or the like are removed to perform writing, and
This data is reproduced by.
【０００５】記録層として電圧電流のスイッチンング特
性に対してメモリ効果を持つ材料、例えばπ電子系有機
化合物やカルコゲン化合物類の薄膜層を用いて、記録・
再生をＳＴＭにより行う方法が、例えば特開昭６３−１
６１５５２号公報、特開昭６３−１６１５５３号公報に
提案されている。この方法によれば、記録のビットサイ
ズを１０ｎｍとすれば、１０12ビット／ｃｍ2 もの大容
量の記録再生が可能である。As a recording layer, a material having a memory effect with respect to switching characteristics of voltage and current, for example, a thin film layer of π-electron type organic compound or chalcogen compound is used for recording / recording.
A method of performing reproduction by STM is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-1
No. 61552 and Japanese Patent Laid-Open No. 63-161553. According to this method, if the recording bit size is 10 nm, a large capacity recording / reproducing of 10 12 bits / cm 2 is possible.
【０００６】ところで、実際の装置として走査型トンネ
ル顕微鏡或いは記録再生装置を構成する場合に、試料と
プローブ電極或いは記録層とプローブ電極との間の間隔
をトンネル電流が流れる距離に維持し、プローブ電極を
走査する機構が必要である。従来からプローブ電極の走
査機構として、平行板ばねと積層型ピエゾ素子で構成し
たステージや、分割電極を有した円筒型のピエゾ素子等
が用いられている。By the way, when a scanning tunneling microscope or a recording / reproducing apparatus is configured as an actual apparatus, the distance between the sample and the probe electrode or the recording layer and the probe electrode is maintained at a distance at which the tunnel current flows, and the probe electrode Need a mechanism to scan. Conventionally, as a scanning mechanism of a probe electrode, a stage including a parallel leaf spring and a laminated piezo element, a cylindrical piezo element having a divided electrode, and the like have been used.
【０００７】一方、最近では走査周波数の高速化が要求
されている。即ち、ＳＴＭにおいては短時間で像観察を
行ってステージ温度ドリフトの影響による像歪を除去し
たり、試料の表面状態の反応現象をリアルタイムで高速
に観察するなどの要求があり、記録再生装置においては
データの記録再生速度を高速化する上で必要である。On the other hand, recently, it has been required to increase the scanning frequency. That is, in the STM, there is a demand for observing an image in a short time to remove the image distortion due to the influence of the stage temperature drift, and observing the reaction phenomenon of the surface condition of the sample in real time at high speed. Is necessary for increasing the recording / reproducing speed of data.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の走
査機構を用いて、そのまま走査周波数を上げると走査機
構が持つ共振点での共振現象の影響が無視できなくな
る。特に、ＸＹ方向二次元走査を行う場合に、走査周波
数の高いＸ軸方向の往復走査の折り返して生ずる高次の
周波数成分が走査機構の共振を引き起こし、この振動が
走査変位を変調してＳＴＭ像を乱したり、記録再生エラ
ーを発生したりする。However, if the conventional scanning mechanism is used and the scanning frequency is increased as it is, the influence of the resonance phenomenon at the resonance point of the scanning mechanism cannot be ignored. In particular, when two-dimensional scanning in the XY directions is performed, a high-order frequency component generated by folding back of reciprocating scanning in the X-axis direction having a high scanning frequency causes resonance of the scanning mechanism, and this vibration modulates the scanning displacement and the STM image. Disturbs or causes a recording / playback error.
【０００９】例えば、平行ばねと積層ピエゾ素子を用い
た走査機構では、共振周波数は通常のＳＴＭで用いられ
ている構成で１〜８ｋHz程度の値を持っている。このと
き、ＳＴＭの画像に共振点の影響なく動作できる最大の
走査周波数は約１０Hz程度である。また、可動部分を軽
量化できる円筒型ピエゾ素子を用いた走査機構では、共
振周波数は１０〜５０ｋHzであり、このときのＳＴＭに
おける最大走査周波数は１００Hz程度である。For example, in a scanning mechanism using a parallel spring and a laminated piezo element, the resonance frequency has a value of about 1 to 8 kHz in the structure used in a normal STM. At this time, the maximum scanning frequency at which the image of the STM can operate without being affected by the resonance point is about 10 Hz. Further, in the scanning mechanism using the cylindrical piezo element capable of reducing the weight of the movable part, the resonance frequency is 10 to 50 kHz, and the maximum scanning frequency in the STM at this time is about 100 Hz.
【００１０】一方、リアルタイムでＳＴＭ像を観察する
場合には、試料の反応現象等の時間変化を測定する要求
から、走査周波数は１ｋHz以上は必要とされる。また、
記録再生装置に応用する場合は、応用する製品により異
なるが１Ｍbps のビットレートを得るためには５ｋHz以
上の走査周波数が必要である。On the other hand, when observing the STM image in real time, the scanning frequency is required to be 1 kHz or higher because of the requirement of measuring the time change such as the reaction phenomenon of the sample. Also,
When it is applied to a recording / reproducing apparatus, a scanning frequency of 5 kHz or higher is required to obtain a bit rate of 1 Mbps, although it depends on the product to which it is applied.
【００１１】この問題点を解決するため、走査機構を小
型化及び軽量化して剛性を高くすることにより、共振周
波数を上げることが行われている。また、往復走査の折
り返しで生ずる高次の周波数成分を無くするため、折り
返し点で滑らかな走査をすることが行われている。In order to solve this problem, the resonance frequency is increased by reducing the size and weight of the scanning mechanism to increase the rigidity. Further, smoothing is performed at the folding point in order to eliminate high-order frequency components generated by the folding of the reciprocal scanning.
【００１２】しかし、上述の走査速度を得るためには、
走査機構の共振点の近傍の周波数で駆動することにな
り、このような状況では走査駆動波形の僅かな歪でも共
振周波数での不整振動を起こすことになる。即ち、非常
に歪率の小さい正弦波で駆動を行っても、ピエゾ素子の
ヒステリシス或いはクリープ現象のため完全な正弦波駆
動は行えず走査に乱れが生ずる。However, in order to obtain the above scanning speed,
The scanning mechanism is driven at a frequency near the resonance point, and in such a situation, even a slight distortion of the scanning drive waveform causes irregular vibration at the resonance frequency. That is, even if driving is performed with a sine wave having a very small distortion, perfect sine wave driving cannot be performed due to hysteresis or creep phenomenon of the piezo element, and scanning is disturbed.
【００１３】更に、外部から混入する振動性の雑音が走
査機構の共振点での振動を引き起こすため、走査機構の
共振周波数近傍において特に減衰の大きい除震機構が必
要となる。Further, since vibrational noise mixed from the outside causes vibration at the resonance point of the scanning mechanism, it is necessary to use a seismic removal mechanism which has a particularly large attenuation in the vicinity of the resonance frequency of the scanning mechanism.
【００１４】本発明の目的は、振動体が安定な共振振動
を行い、走査機構の装置構成及び構成部材の特性から得
られる最高の周波数で走査し得る走査機構及びこれを用
いた走査型顕微鏡及び記録再生装置を提供することにあ
る。An object of the present invention is to provide a scanning mechanism capable of performing a stable resonant vibration of a vibrating body and performing scanning at the highest frequency obtained from the device configuration of the scanning mechanism and the characteristics of the constituent members, and a scanning microscope using the same. It is to provide a recording / reproducing apparatus.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの第１発明に係る走査機構は、一軸方向に運動を拘束
した振動体と、該振動体の運動方向の変位又は速度を検
出する検出手段と、該検出手段の検出信号を増幅し前記
振動体を加振する手段とから成ることを特徴とするもの
である。A scanning mechanism according to a first aspect of the present invention for achieving the above object detects a vibrating body whose movement is constrained in a uniaxial direction, and a displacement or speed in the moving direction of the vibrating body. It is characterized by comprising a detection means and a means for amplifying a detection signal of the detection means to vibrate the vibrating body.
【００１６】上述の目的を達成するための第２発明に係
る走査型顕微鏡は、試料表面をプローブで相対的にＸＹ
走査し、前記試料表面とプローブとの間の物理的相互作
用により試料表面の形状或いは電子状態を検知する走査
型顕微鏡において、前記ＸＹ走査の少なくとも一方の軸
の走査機構を、一軸方向に運動を拘束した振動体と、該
振動体の共振周波数で発振する駆動回路とにより構成し
たことを特徴とするものである。A scanning microscope according to a second aspect of the present invention for achieving the above-mentioned object is that a sample surface is relatively XY probed.
In a scanning microscope that scans and detects the shape or electronic state of the sample surface by the physical interaction between the sample surface and the probe, the scanning mechanism of at least one axis of the XY scanning is moved in one axis direction. It is characterized in that it is constituted by a restrained vibrating body and a drive circuit which oscillates at the resonance frequency of the vibrating body.
【００１７】上述の目的を達成するための第３発明に係
る記録再生装置は、記録媒体をプローブで相対的にＸＹ
走査し、前記記録媒体の表面とプローブとの間の物理的
相互作用により記録媒体上にデータを記録及び／又は再
生する記録再生装置において、前記ＸＹ走査の少なくと
も一方の軸の走査機構を、一軸方向に運動を拘束した振
動体と、該振動体の共振周波数で発振する駆動回路とに
より構成したことを特徴とするものである。A recording / reproducing apparatus according to a third aspect of the present invention for achieving the above-mentioned object is to perform XY relative to a recording medium with a probe.
In a recording / reproducing apparatus which scans and records and / or reproduces data on a recording medium by a physical interaction between a surface of the recording medium and a probe, a scanning mechanism of at least one axis of the XY scanning is uniaxial. It is characterized by comprising a vibrating body whose movement is restricted in a direction and a drive circuit which oscillates at the resonance frequency of the vibrating body.
【００１８】[0018]
【作用】上述の構成を有する走査機構及びこれを用いた
走査型顕微鏡及び記録再生装置は、振動体を用いて、走
査機構が持つ固有振動数を利用して高速な走査を行う。The scanning mechanism and the scanning microscope and the recording / reproducing apparatus using the scanning mechanism having the above-described structure use a vibrating body to perform high-speed scanning by utilizing the natural frequency of the scanning mechanism.
【００１９】[0019]
【実施例】本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明
する。本発明に係る走査機構は共振Ｑ値の高い振動体
と、該振動体の共振振動に位相同期した発振器とで構成
している。この構成により、振動体が安定な共振振動を
行い、走査機構の装置構成及び構成部材の特性から得ら
れる最高の周波数で走査することができる。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail based on the illustrated embodiments. The scanning mechanism according to the present invention includes a vibrating body having a high resonance Q value and an oscillator that is phase-locked with the resonant vibration of the vibrating body. With this configuration, the vibrating body performs stable resonant vibration, and scanning can be performed at the highest frequency obtained from the device configuration of the scanning mechanism and the characteristics of the constituent members.
【００２０】図１は走査機構の構成図を示し、支持部材
１に支持されＸ方向のみ運動が許されるように、運動方
向が拘束されていて共振Ｑ値が高くなるように構成され
た振動体２の先端に、プローブ電極３が先端を振動方向
と直交する方向に向けて固定されている。発振器４は振
動体２の共振周波数近傍の周波数の発振を行い、この発
振エネルギを振動体２に伝達し駆動する。検出器５は振
動体２のＸ方向の変位又は速度を検出し、発振器４の駆
動波形と位相の比較を行い、発振器４の発振周波数と振
動体２の共振周波数との偏差を計測する。この装置の外
容器６は、除震機構７を介して内部の構成部品を支持し
ている。なお、８は外来振動の雑音源である。FIG. 1 is a block diagram of the scanning mechanism. The vibrating body is supported by the supporting member 1 and is constrained in the movement direction so that the movement is allowed only in the X direction and the resonance Q value is increased. The probe electrode 3 is fixed to the tip of 2 with its tip oriented in a direction orthogonal to the vibration direction. The oscillator 4 oscillates at a frequency in the vicinity of the resonance frequency of the vibrating body 2 and transfers the oscillation energy to the vibrating body 2 to drive it. The detector 5 detects the displacement or speed of the vibrating body 2 in the X direction, compares the drive waveform of the oscillator 4 and the phase, and measures the deviation between the oscillation frequency of the oscillator 4 and the resonance frequency of the vibrating body 2. The outer container 6 of this device supports internal components via a vibration isolation mechanism 7. Reference numeral 8 is a noise source of external vibration.
【００２１】振動体２は発振器４から送られるエネルギ
により振動を起こす。検出器５は振動の変位又は速度を
検知し、発振周波数と振動体２の共振周波数の偏差を零
とするように発振器４の発振周波数を調整することによ
り、振動体２は自己の固有振動数で最大振幅の振動を起
こす。このとき、発振器４が振動体２に注入するエネル
ギに対するプローブ電極３の変位量つまり走査振幅の比
が最大であり、最も駆動効率の高い状態となる。The vibrator 2 vibrates due to the energy sent from the oscillator 4. The detector 5 detects the displacement or speed of the vibration and adjusts the oscillation frequency of the oscillator 4 so that the deviation between the oscillation frequency and the resonance frequency of the oscillator 2 becomes zero, whereby the oscillator 2 has its own natural frequency. Causes vibration of maximum amplitude. At this time, the ratio of the displacement amount of the probe electrode 3, that is, the scanning amplitude to the energy injected by the oscillator 4 into the vibrating body 2 is the maximum, and the driving efficiency is the highest.
【００２２】上記の一連の動作は個別の機能ブロックを
構成して実現することができる。また、振動体２を回路
ループに含ませ、振動体２、発振器４、検出器５が１つ
の共振回路となるように構成してもよい。The series of operations described above can be realized by forming individual functional blocks. Further, the vibrating body 2 may be included in the circuit loop, and the vibrating body 2, the oscillator 4, and the detector 5 may be configured as one resonance circuit.
【００２３】外容器６に対しこれらの構成部品を支持す
る除震機構７は、振動体２のＱ値の分だけ見掛け上の除
震利得を向上する。即ち、外来雑音源Ｎの発生する雑音
のうち、問題となるのは振動体２の共振周波数以下の周
波数であり、更に振動体２がこの雑音により摂動を受け
る感度は走査周波数での感度の１／Ｑである。The seismic isolation mechanism 7 for supporting these components with respect to the outer container 6 improves the apparent seismic isolation gain by the Q value of the vibrating body 2. That is, of the noise generated by the external noise source N, the problem is a frequency below the resonance frequency of the vibrating body 2, and the sensitivity to which the vibrating body 2 is perturbed by this noise is one of the sensitivity at the scanning frequency. / Q.
【００２４】図２、図３及び図４は第２の実施例による
走査機構を示している。図２はＸＹステージのＸ方向の
駆動機構部分の平面図を表し、図３は図２のＡ−Ａ’に
沿った断面図である。試料を設置する試料台１０は、支
持部材１１に一端を固定された平行ヒンジ１２により運
動方向を拘束された振動体であるステージ１３上に固定
され、ステージ１３に振動エネルギを与えるピエゾ素子
１４を介して錘１５ａに結合され、ステージ１３の変位
を検知するピエゾ素子１６を介して錘１５ｂに結合され
ている。2, 3 and 4 show a scanning mechanism according to the second embodiment. 2 is a plan view of a drive mechanism portion of the XY stage in the X direction, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA ′ in FIG. A sample table 10 on which a sample is placed is fixed on a stage 13 which is a vibrating body whose movement direction is restricted by a parallel hinge 12 whose one end is fixed to a supporting member 11, and a piezo element 14 which gives vibration energy to the stage 13. It is coupled to the weight 15a via the piezo element 16 for detecting the displacement of the stage 13, and is coupled to the weight 15b via the piezo element 16.
【００２５】ステージ１３はピエゾ素子１４が伸張と収
縮を反復することにより振動する。錘１５ａはステージ
１３よりも大きな慣性質量を持っており、ピエゾ素子１
４の伸張・収縮振動のエネルギは殆どステージ１３に伝
達する。また、ステージ１３の振動は同時にピエゾ素子
１６に伝えられる。ピエゾ素子１６も一端を錘１５ｂで
支持されているので、慣性質量の大きな差によりこのス
テージ１３の振動は殆どピエゾ素子１６を伸張・収縮さ
せることに使用される。The stage 13 vibrates as the piezo element 14 repeats expansion and contraction. The weight 15a has a larger inertial mass than the stage 13, and the piezo element 1
Most of the energy of the stretching / contracting vibration of 4 is transmitted to the stage 13. Further, the vibration of the stage 13 is simultaneously transmitted to the piezo element 16. Since one end of the piezo element 16 is also supported by the weight 15b, most of the vibration of the stage 13 is used for expanding and contracting the piezo element 16 due to a large difference in inertial mass.
【００２６】この走査機構を最初に起動する時は錘１５
ａ、１５ｂは静止している。ピエゾ素子１４に発振電圧
を加えると、上述したようにステージ１３が振動を始め
る。ピエゾ素子１６を用いてステージ１３の振動状態を
検出し、ピエゾ素子１４の駆動位相とピエゾ素子１６の
検出位相の位相差が振動体ステージ１３の共振条件とな
るように駆動の発振周波数を制御する。この走査機構が
共振動作状態になると錘１５ａ、１５ｂも振動を始め、
ステージ１３と錘１５ａ、１５ｂは殆ど同相で変位する
ようになる。このときの振動は非常に安定で、ピエゾ素
子１４から供給される振動エネルギは最小となる。When the scanning mechanism is first activated, the weight 15
a and 15b are stationary. When an oscillating voltage is applied to the piezo element 14, the stage 13 starts vibrating as described above. The vibration state of the stage 13 is detected using the piezo element 16, and the drive oscillation frequency is controlled so that the phase difference between the drive phase of the piezo element 14 and the detected phase of the piezo element 16 becomes the resonance condition of the vibrating body stage 13. .. When the scanning mechanism enters a resonance operation state, the weights 15a and 15b also start to vibrate,
The stage 13 and the weights 15a and 15b are displaced in almost the same phase. The vibration at this time is very stable, and the vibration energy supplied from the piezo element 14 is minimized.
【００２７】図４はこの走査機構を制御する回路のブロ
ック構成図を示し、図示しないピエゾ素子１６の出力は
検出増幅器２０に入力され、検出増幅器２０の出力は位
相調節器２１の入力に接続されている。位相調節器２１
の出力は位相検波器２２に入力され、その出力はローパ
スフィルタ２３を介して電圧制御型発振器２４の発振周
波数制御入力端に接続されている。発振出力調整回路２
５には検出増幅器２０の出力がダイオードＤ、抵抗Ｒ、
コンデンサＣで構成された整流回路２６を介して接続さ
れ、発振器２４の出力側に接続された可変抵抗２７を調
節するようになっている。また、発振器２４の出力は可
変抵抗２７を介してドライバ２８に入力され、ドライバ
２８の出力はピエゾ素子１４と位相検波器２２の他方の
入力に接続されている。FIG. 4 shows a block diagram of a circuit for controlling the scanning mechanism. The output of the piezo element 16 (not shown) is input to the detection amplifier 20, and the output of the detection amplifier 20 is connected to the input of the phase adjuster 21. ing. Phase adjuster 21
Is output to the phase detector 22, and its output is connected to the oscillation frequency control input terminal of the voltage controlled oscillator 24 via the low pass filter 23. Oscillation output adjustment circuit 2
5, the output of the detection amplifier 20 is a diode D, a resistor R,
The variable resistor 27 connected to the output side of the oscillator 24 is connected via a rectifying circuit 26 composed of a capacitor C to adjust the variable resistor 27. The output of the oscillator 24 is input to the driver 28 via the variable resistor 27, and the output of the driver 28 is connected to the other inputs of the piezo element 14 and the phase detector 22.
【００２８】ここで、発振器２４で発振した出力は可変
抵抗２７でレベル調整された後に、ドライバ２８を介し
てピエゾ素子１４を駆動する。一方、ピエゾ素子１６で
検出された電圧は検出増幅器２０で増幅された後に、位
相調節器２１において共振条件となる位相差が得られる
ように移相する。移相された信号は位相検波器２２によ
りピエゾ素子１４の駆動信号の位相とで位相検波が行わ
れ、検波出力はローパスフィルタ２３を介して発振器２
４の発振周波数制御端に入力する。Here, the output oscillated by the oscillator 24 is level-adjusted by the variable resistor 27 and then drives the piezo element 14 through the driver 28. On the other hand, the voltage detected by the piezo element 16 is amplified by the detection amplifier 20 and then phase-shifted so that the phase adjuster 21 obtains a phase difference which is a resonance condition. The phase-shifted signal is subjected to phase detection with the phase of the drive signal of the piezo element 14 by the phase detector 22, and the detection output is passed through the low pass filter 23 to the oscillator 2
Input to the oscillation frequency control end of 4.
【００２９】このような回路ループにより発振器２４は
走査機構の振動体の共振条件となるように、ピエゾ素子
１４、１６の駆動／検出の位相差を検知して、振動体で
あるステージ１３の共振周波数に同期した発振を行う。
更に、ステージ１３の振動の振幅を安定させるために振
動振幅安定化回路が構成されている。つまり、ピエゾ素
子１６で検出した振動電圧は整流回路２６によりステー
ジ１３の振動振幅に変換される。この振動振幅を表す電
圧を基準電圧Vstdと比較し、これらの差がなくなるよう
に発振調整回路２５を用いて抵抗２７を変化させる。With such a circuit loop, the oscillator 24 detects the phase difference between the driving / detection of the piezoelectric elements 14 and 16 so that the resonance condition of the vibrating body of the scanning mechanism is satisfied, and the resonance of the stage 13 which is the vibrating body is detected. It oscillates in synchronization with the frequency.
Further, a vibration amplitude stabilizing circuit is configured to stabilize the vibration amplitude of the stage 13. That is, the oscillating voltage detected by the piezo element 16 is converted into the vibration amplitude of the stage 13 by the rectifier circuit 26. The voltage representing the vibration amplitude is compared with the reference voltage Vstd, and the resistance 27 is changed by using the oscillation adjusting circuit 25 so that the difference therebetween is eliminated.
【００３０】本実施例の構成によると、次のような効果
が生ずる。 (1) ピエゾ素子１４が運動エネルギを蓄積する錘１５ａ
と弾性体であるヒンジ付きステージ１３との間に挟持さ
れているため、振動の位相制御が正確に行える。 (2) 錘１５ａに蓄積された運動エネルギと平行ヒンジ１
２に蓄えられたポテンシャルエネルギとの間のエネルギ
交換の損失が小さい。従って、共振動作状態では駆動ピ
エゾ素子１４に供給する電力は小さくて済む。 (3) 駆動／検出素子を取り付けてもステージ１３のＱ値
が下がらない。According to the configuration of this embodiment, the following effects are produced. (1) Weight 15a in which the piezo element 14 stores kinetic energy
Since it is sandwiched between the elastic stage and the hinged stage 13, the vibration phase control can be performed accurately. (2) Kinetic energy accumulated in the weight 15a and parallel hinge 1
The loss of energy exchange with the potential energy stored in 2 is small. Therefore, in the resonance operation state, the power supplied to the drive piezo element 14 can be small. (3) The Q value of the stage 13 does not decrease even if the drive / detection element is attached.
【００３１】図５、図６及び図７は第３の実施例による
走査機構を示し、図５はプローブ電極をＸ方向に往復走
査する機構の平面図、図６は図５のＢ−Ｂ’に沿った断
面図である。プローブ電極３は一端が支持部材３０に固
定支持されてＸ方向に振動ができるような片持ち梁３１
の先端に取り付けられている。片持ち梁３１の先端近傍
に永久磁石３２が取り付けられており、その磁極近傍で
検出コイル３３が支持部材１１に固定され、振動体であ
る片持ち梁３１が変位すると検出コイル３３の磁界が変
化する。また、同様にこの永久磁石３２は駆動コイル３
４のコアにもなっており、駆動コイル３４に電流を流す
ことによって片持ち梁３１に運動エネルギを与えること
ができる。FIGS. 5, 6 and 7 show a scanning mechanism according to the third embodiment, FIG. 5 is a plan view of a mechanism for reciprocally scanning the probe electrode in the X direction, and FIG. 6 is BB ′ of FIG. It is sectional drawing which followed. One end of the probe electrode 3 is fixedly supported by the support member 30 and cantilevers 31 that can vibrate in the X direction.
It is attached to the tip of. A permanent magnet 32 is attached near the tip of the cantilever 31, the detection coil 33 is fixed to the support member 11 near its magnetic pole, and the magnetic field of the detection coil 33 changes when the cantilever 31 that is a vibrating body is displaced. To do. Similarly, the permanent magnet 32 is connected to the drive coil 3
It also serves as the core of No. 4 and can give kinetic energy to the cantilever 31 by passing an electric current through the drive coil 34.
【００３２】この走査機構を駆動するには、検出コイル
３３に発生する電流を増幅してその出力を駆動コイル３
４に戻す閉回路を用いる。閉回路の増幅の位相遅れ及び
時定数を片持ち梁３１の共振周波数での発振条件とする
ことで安定な発振が行える。To drive this scanning mechanism, the current generated in the detection coil 33 is amplified and the output is amplified by the drive coil 3.
A closed circuit returning to 4 is used. Stable oscillation can be performed by setting the phase delay and time constant of amplification of the closed circuit as oscillation conditions at the resonance frequency of the cantilever 31.
【００３３】図７は図５の走査機構を駆動する回路を示
し、正電圧Vcc は駆動コイル３４のセンタタップに接続
され、駆動コイル３４の両端はそれぞれエミッタ接地さ
れたトランジスタQ1、Q2のコレクタに、また検出コイル
３３の両端はそれぞれベースに接続され、検出コイル３
３のセンタタップはバイアス用の抵抗Ｒを介して正電圧
Vcc に接続されている。この回路は所謂ロイヤーの回路
とほぼ同じ構成になっているが、違いは発振トランスの
コアが振動体となっていることである。FIG. 7 shows a circuit for driving the scanning mechanism shown in FIG. 5. The positive voltage Vcc is connected to the center tap of the drive coil 34, and both ends of the drive coil 34 are connected to the collectors of the transistors Q1 and Q2 whose emitters are grounded. , Both ends of the detection coil 33 are respectively connected to the base, and the detection coil 3
The center tap of 3 has a positive voltage via the bias resistor R.
Connected to Vcc. This circuit has almost the same configuration as the so-called Royer circuit, but the difference is that the oscillation transformer core is a vibrating body.
【００３４】このトランスのコアは永久磁石３２であ
り、駆動コイル３４に電流を流すことによって永久磁石
３２を変位させると、その変位量により検出コイル３３
に起電力が発生する。この起電力により、トランジスタ
Q1、Q2のうち起電力の極性で決まる何れか一方にベース
電流が流れ、それが増幅されて駆動コイル３４に電流が
流れる。永久磁石３２は片持ち梁３１の固有振動数で動
くので、この回路を用いることにより片持ち梁３１の共
振周波数に同期した発振をさせることができる。The core of this transformer is a permanent magnet 32. When the permanent magnet 32 is displaced by passing a current through the drive coil 34, the detection coil 33 is displaced by the displacement amount.
Electromotive force is generated. This electromotive force causes the transistor
A base current flows in one of Q1 and Q2, which is determined by the polarity of the electromotive force, is amplified, and a current flows in the drive coil 34. Since the permanent magnet 32 moves at the natural frequency of the cantilever 31, it is possible to oscillate in synchronization with the resonance frequency of the cantilever 31 by using this circuit.
【００３５】発振の周波数を決定しているのは片持ち梁
３１の共振周波数であり、駆動コイル３４のコアは振動
する永久磁石３２であるため、一度安定な発振状態にな
るとこの回路は殆ど電力を消費しなくなる。The oscillation frequency is determined by the resonance frequency of the cantilever 31, and the core of the drive coil 34 is the vibrating permanent magnet 32. Therefore, once a stable oscillation state is reached, this circuit consumes almost no power. No longer consume.
【００３６】本実施例によると、次のような効果があ
る。 (1) 簡単な回路構成及び機構により構成されているので
小型にできる。 (2) 振動体の機構が単純であるので、共振点を高く設計
することが容易である。 (3) 電力を殆ど消費しない。According to this embodiment, there are the following effects. (1) It can be miniaturized because it has a simple circuit configuration and mechanism. (2) Since the mechanism of the vibrating body is simple, it is easy to design a high resonance point. (3) It consumes almost no electric power.
【００３７】図８は第２の実施例の走査機構を用いたＳ
ＴＭの実施例を示す。バイアス電源Vbが接続されている
試料４０は第１の実施例と同等の構成のＸ軸方向の走査
ステージ４１に取り付けられ、走査ステージ４１にはＸ
走査回路４２が接続されている。走査ステージ４１を支
持しＹ軸方向に走査するＹ走査機構４３はＹ走査回路４
４により駆動される。これらの走査手段はプローブ電極
３を試料４０のＸＹ面内で相対的に二次元走査させるた
めに用いられる。FIG. 8 shows S using the scanning mechanism of the second embodiment.
An example of TM is shown. The sample 40 to which the bias power source Vb is connected is attached to the scanning stage 41 in the X-axis direction having the same configuration as that of the first embodiment, and the scanning stage 41 has an X-axis.
The scanning circuit 42 is connected. The Y scanning mechanism 43 that supports the scanning stage 41 and scans in the Y-axis direction is the Y scanning circuit 4
Driven by 4. These scanning means are used to relatively two-dimensionally scan the probe electrode 3 in the XY plane of the sample 40.
【００３８】アクチュエータ４６にＺ方向に移動自在に
支持され、試料４０に対向したプローブ電極３に、電流
増幅器４７の入力端が接続され、電流増幅器４７の出力
にはローパスフィルタ４８を介してコンパレータ４９の
正入力が接続されている。コンパレータ４９の負入力に
は基準電圧Vrefの正極が接続され、コンパレータ４９の
出力は位相補償用のＲＣ回路５０及びドライバ５１を介
してアクチュエータ４６に入力されている。Ｘ走査回路
４２及びＹ走査回路４４の出力は画像表示装置５２にも
入力され、画像表示装置５２にはまたスイッチSWを介し
て電流増幅器４７又はＲＣ回路５０の出力が接続されて
いる。The input end of the current amplifier 47 is connected to the probe electrode 3 facing the sample 40, which is supported by the actuator 46 so as to be movable in the Z direction. The output of the current amplifier 47 is connected to the comparator 49 via the low-pass filter 48. The positive input of is connected. The positive input of the reference voltage Vref is connected to the negative input of the comparator 49, and the output of the comparator 49 is input to the actuator 46 via the phase compensating RC circuit 50 and the driver 51. The outputs of the X scanning circuit 42 and the Y scanning circuit 44 are also input to the image display device 52, and the image display device 52 is also connected to the output of the current amplifier 47 or the RC circuit 50 via the switch SW.
【００３９】Ｚ位置制御はプローブ電極３が検出するト
ンネル電流の平均値が一定値となるように以下の手順で
行われる。即ち、プローブ電極３が試料４０の表面にｎ
ｍオーダまで近付くと、バイアス電源Vbにより試料４０
の表面とプローブ電極３との間にトンネル電流が流れ
る。このトンネル電流を電流増幅器４７で増幅し電圧に
変換する。更に、この電圧からローパスフィルタ４８で
低域信号を抽出し、コンパレータ４９において基準電圧
Vrefと比較する。トンネル電流値が基準電圧Vrefを越え
た場合には、プローブ電極３が試料４０の表面から離れ
る方向にアクチュエータ４６が駆動される。トンネル電
流が基準電圧Vrefより減少した場合には、プローブ電極
３が試料４０表面に接近する方向にアクチュエータ４６
が駆動される。このとき、コンパレータ４９の出力側に
あるＲＣ回路５０はフィードバックの位相を補償する。The Z position control is performed by the following procedure so that the average value of the tunnel current detected by the probe electrode 3 becomes a constant value. That is, the probe electrode 3 is n
When approaching m order, sample 40 is generated by bias power supply Vb.
A tunnel current flows between the surface of the probe electrode and the probe electrode 3. This tunnel current is amplified by the current amplifier 47 and converted into a voltage. Further, a low pass signal is extracted from this voltage by a low pass filter 48, and a reference voltage is extracted by a comparator 49.
Compare with Vref. When the tunnel current value exceeds the reference voltage Vref, the actuator 46 is driven in the direction in which the probe electrode 3 moves away from the surface of the sample 40. When the tunnel current decreases below the reference voltage Vref, the actuator 46 moves in the direction in which the probe electrode 3 approaches the surface of the sample 40.
Is driven. At this time, the RC circuit 50 on the output side of the comparator 49 compensates the feedback phase.
【００４０】画像表示装置５２はＸ方向走査ステージ４
１及びＹ走査機構４３により試料４０を二次元走査した
とき、トンネル電流像と呼ばれるトンネル電流の変化、
或いはプローブ電極３のＺ方向の変位量を示すトポグラ
フ像の何れかを二次元画像として表示する。何れの情報
を表示するかは切換スイッチSWにより選択する。The image display device 52 is the X-direction scanning stage 4
When the sample 40 is two-dimensionally scanned by the 1 and Y scanning mechanism 43, a change in tunnel current called a tunnel current image,
Alternatively, one of the topographic images showing the displacement amount of the probe electrode 3 in the Z direction is displayed as a two-dimensional image. Which information is displayed is selected by the changeover switch SW.
【００４１】本発明による高速走査機構はトンネル電流
像の観察を行う場合のＳＴＭに特に有用である。即ち、
平滑な試料の原子配列状態を高速で観察することがで
き、表面の吸着の過程、結晶成長過程などの観察に適し
ている。The high-speed scanning mechanism according to the present invention is particularly useful for STM when observing a tunnel current image. That is,
The atomic arrangement state of a smooth sample can be observed at high speed, and it is suitable for observation of surface adsorption process, crystal growth process, etc.
【００４２】本実施例のＳＴＭは次のような長所を有す
る。 (1) 高速な走査を行い、かつ広い走査領域を観察するこ
とができる。 (2) ＸＹＺ各軸の走査機構に高速走査による寄生振動を
発生することがないので、鮮明な観察画像が得られる。 (3) プローブ電極３の折返し走査が正確な正弦波となる
ので、折返し点におけるノイズ等によるフィールドバッ
クの乱れから生ずる観察像の歪がない。The STM of this embodiment has the following advantages. (1) High-speed scanning can be performed and a wide scanning area can be observed. (2) Since a parasitic vibration due to high-speed scanning does not occur in the scanning mechanism of XYZ axes, a clear observation image can be obtained. (3) Since the folded scan of the probe electrode 3 is an accurate sine wave, there is no distortion of the observed image caused by the disturbance of the field back due to noise or the like at the folded point.
【００４３】図９は第３の実施例の走査機構をＸ軸走査
機構６０及びＸ走査回路６１に用いた記録再生装置の実
施例を示し、Ｘ軸走査機構６０にはＺ軸方向の駆動アク
チュエータ４６を介してプローブ電極３が取り付けられ
ている。記録媒体６２上には複数個のトラッキングパタ
ーン６３が形成されており、それぞれトラック番号によ
り識別されるようになっている。記録媒体６２をＹ軸方
向に走査するＹ走査機構６４は、プローブ電極３とトラ
ッキングパターン６３とのＸ方向の相対位置を制御す
る。つまり、トラッキング位置を補正するステージ６５
を下から支持しており、ステージ６５に支持された基台
６６により記録媒体６２が支持されている。Ｙ走査機構
６４はＹ走査回路４４の出力により駆動される。FIG. 9 shows an embodiment of a recording / reproducing apparatus using the scanning mechanism of the third embodiment for the X-axis scanning mechanism 60 and the X-scanning circuit 61. The X-axis scanning mechanism 60 has a Z-axis drive actuator. The probe electrode 3 is attached via 46. A plurality of tracking patterns 63 are formed on the recording medium 62, each of which is identified by a track number. The Y scanning mechanism 64 that scans the recording medium 62 in the Y axis direction controls the relative position in the X direction between the probe electrode 3 and the tracking pattern 63. That is, the stage 65 that corrects the tracking position
The recording medium 62 is supported by a base 66 supported by a stage 65. The Y scanning mechanism 64 is driven by the output of the Y scanning circuit 44.
【００４４】Ｘ走査回路６１の出力はＸ軸走査機構６０
及びステージ６５を駆動するトラッキング制御回路６７
に接続されている。電流増幅器４７の出力はデータ読出
し回路６８、コンパレータ６９の正入力にも接続され、
コンパレータ６９の負入力は基準電圧Vtに接続されてお
り、コンパレータ６９の出力はトラッキング制御回路６
７及びデータ読出し回路６８、データ書込み回路７０に
入力されている。また、データ書込み回路７０の出力は
書込み変調器７１及びコンデンサCiを介してプローブ電
極３に出力する。The output of the X scanning circuit 61 is the X axis scanning mechanism 60.
And a tracking control circuit 67 for driving the stage 65
It is connected to the. The output of the current amplifier 47 is also connected to the data read circuit 68 and the positive input of the comparator 69.
The negative input of the comparator 69 is connected to the reference voltage Vt, and the output of the comparator 69 is the tracking control circuit 6
7 and the data read circuit 68 and the data write circuit 70. The output of the data writing circuit 70 is output to the probe electrode 3 via the writing modulator 71 and the capacitor Ci.
【００４５】プローブ電極３と記録媒体６２の表面との
間の間隔制御は第４の実施例のＳＴＭと同様に行う。即
ち、電流増幅器４７、ローパスフィルタ４８、コンパレ
ータ４９、ＲＣ回路５０及びドライバ５１で形成される
フィードバック回路により、プローブ電極３と記録媒体
６２間に流れるトンネル電流の平均値が一定となるよう
な制御が行われる。The distance between the probe electrode 3 and the surface of the recording medium 62 is controlled in the same manner as in the STM of the fourth embodiment. That is, the feedback circuit formed by the current amplifier 47, the low-pass filter 48, the comparator 49, the RC circuit 50, and the driver 51 controls the average value of the tunnel current flowing between the probe electrode 3 and the recording medium 62 to be constant. Done.
【００４６】データの記録再生は記録媒体６２上のトラ
ッキングパターン６３を基準にして行われる。プローブ
電極３で検出され、電流増幅器４７で電圧に変換された
トンネル電流信号はコンパレータ６９により基準電圧Vt
と比較される。プローブ電極３がトラッキングパターン
６３上を走査すると基準電圧Vtよりも小さいトンネル電
流信号を発生し、コンパレータ６９の出力からプローブ
電極３がトラッキングパターン６３を通過したときのタ
イミングを検知する。このタイミング信号とトンネル電
流信号とからデータ読出し動作を行い、このタイミング
信号を基準にデータの書込み動作を行う。また、このタ
イミング信号を用いてトラッキング制御回路６７によ
り、プローブ電極３の記録媒体６２上のＸ走査領域が正
しくトラッキングパターン６３上を追跡するように制御
する。Data recording / reproduction is performed with reference to the tracking pattern 63 on the recording medium 62. The tunnel current signal detected by the probe electrode 3 and converted into a voltage by the current amplifier 47 is converted by the comparator 69 into the reference voltage Vt.
Compared to. When the probe electrode 3 scans the tracking pattern 63, a tunnel current signal smaller than the reference voltage Vt is generated, and the timing when the probe electrode 3 passes the tracking pattern 63 is detected from the output of the comparator 69. A data read operation is performed from this timing signal and the tunnel current signal, and a data write operation is performed based on this timing signal. Further, using this timing signal, the tracking control circuit 67 controls so that the X scanning region of the probe electrode 3 on the recording medium 62 correctly follows the tracking pattern 63.
【００４７】図１０は記録媒体６２上のプローブ走査の
軌跡を示し、トラッキングパターン６３はＹ軸に平行に
直線状に形成され、プローブ電極３の軌跡TrはＸ軸方向
の振動の端部近くでトラッキングパターン６３上を通っ
ている。トラッキングパターン６３上に複数のデータビ
ットDbが形成されている。プローブ電極３は記録媒体６
２上に形成されたトラッキングパターン６３に沿ってＸ
方向に往復走査しながらＹ方向に走査してゆく。即ち、
Ｘ走査の左端がトラッキングパターン６３となるよう
に、ステージ６５を制御しながらＹ方向に進み記録再生
を行う。FIG. 10 shows the locus of probe scanning on the recording medium 62. The tracking pattern 63 is formed linearly parallel to the Y axis, and the locus Tr of the probe electrode 3 is near the end of vibration in the X axis direction. It passes over the tracking pattern 63. A plurality of data bits Db are formed on the tracking pattern 63. The probe electrode 3 is a recording medium 6
X along the tracking pattern 63 formed on
Scanning is performed in the Y direction while reciprocally scanning in the Y direction. That is,
The stage 65 is controlled in the Y direction so that the left end of the X scan becomes the tracking pattern 63, and recording / reproduction is performed.
【００４８】本実施例の記録再生装置によると、次のよ
うな効果がある。 (1) Ｘ方向の高速走査によりデータの記録再生のビット
レートが向上する。 (2) 正弦波駆動となるためＸ走査の折返し点でのノイズ
の発生がなくなり、トラッキングパターンの追跡動作が
容易となる。The recording / reproducing apparatus of this embodiment has the following effects. (1) High-speed scanning in the X direction improves the bit rate for recording / reproducing data. (2) Since the sine wave drive is used, noise is not generated at the turning point of the X scan, and the tracking operation of the tracking pattern is facilitated.
【００４９】[0049]
【発明の効果】以上説明したように本発明によると、歪
無く高速にプローブと記録媒体又は試料を相対的に走査
することができ、また走査機構が持つ固有振動数を利用
するので極めて高速な走査が可能となる。As described above, according to the present invention, the probe and the recording medium or the sample can be relatively scanned at high speed without distortion, and since the natural frequency of the scanning mechanism is used, the scanning speed is extremely high. Scanning is possible.
【図１】第１の実施例の走査機構の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a scanning mechanism according to a first embodiment.
【図２】第２の実施例の走査機構の平面図である。FIG. 2 is a plan view of a scanning mechanism according to a second embodiment.
【図３】図２のＡ−Ａ’断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line A-A ′ of FIG.
【図４】図２の走査機構を駆動する回路のブロック回路
構成図である。FIG. 4 is a block circuit configuration diagram of a circuit that drives the scanning mechanism of FIG.
【図５】第３の実施例の走査機構の平面図である。FIG. 5 is a plan view of a scanning mechanism according to a third embodiment.
【図６】図５のＢ−Ｂ’断面図である。6 is a cross-sectional view taken along the line B-B ′ of FIG.
【図７】図５の走査機構を駆動する回路の回路図であ
る。FIG. 7 is a circuit diagram of a circuit that drives the scanning mechanism of FIG.
【図８】第２の実施例の走査機構を用いたＳＴＭ装置の
ブロック回路構成図である。FIG. 8 is a block circuit configuration diagram of an STM device using the scanning mechanism of the second embodiment.
【図９】第３の実施例の走査機構を用いた記録再生装置
のブロック回路構成図である。FIG. 9 is a block circuit configuration diagram of a recording / reproducing apparatus using the scanning mechanism of the third embodiment.
【図１０】図９における記録媒体上のプローブ電極の軌
道を表す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a trajectory of a probe electrode on the recording medium in FIG.
２ 振動体 ３ プローブ電極 ４ 発振器 ５ 検出器 １０ 試料台 １３、６５ ステージ １４、１６ ピエゾ素子 １５ａ、１５ｂ 錘 ３１ 片持ち梁 ３２ 永久磁石 ３３ 検出コイル ３４ 駆動コイル ４０ 試料 ６２ 記録媒体 2 Vibrating body 3 Probe electrode 4 Oscillator 5 Detector 10 Sample stage 13, 65 Stage 14, 16 Piezo element 15a, 15b Weight 31 Cantilever beam 32 Permanent magnet 33 Detection coil 34 Drive coil 40 Sample 62 Recording medium
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山野 明彦 東京都大田区下丸子三丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 紫藤 俊一 東京都大田区下丸子三丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── (72) Inventor Akihiko Yamano 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Inventor Shunichi Shito 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Within the corporation
Claims (3)
振動体の運動方向の変位又は速度を検出する検出手段
と、該検出手段の検出信号を増幅し前記振動体を加振す
る手段とから成ることを特徴とする走査機構。1. A vibrating body whose movement is restricted in one axis direction, a detecting means for detecting a displacement or a velocity of the vibrating body in a moving direction, and a means for amplifying a detection signal of the detecting means to vibrate the vibrating body. And a scanning mechanism comprising:
し、前記試料表面とプローブとの間の物理的相互作用に
より試料表面の形状或いは電子状態を検知する走査型顕
微鏡において、前記ＸＹ走査の少なくとも一方の軸の走
査機構を、一軸方向に運動を拘束した振動体と、該振動
体の共振周波数で発振する駆動回路とにより構成したこ
とを特徴とする走査型顕微鏡。2. A scanning microscope that relatively scans the sample surface with an XY probe and detects the shape or electronic state of the sample surface by the physical interaction between the sample surface and the probe. A scanning microscope, wherein a scanning mechanism for at least one axis is constituted by a vibrating body whose movement is restricted in one axis direction and a drive circuit which oscillates at a resonance frequency of the vibrating body.
し、前記記録媒体の表面とプローブとの間の物理的相互
作用により記録媒体上にデータを記録及び／又は再生す
る記録再生装置において、前記ＸＹ走査の少なくとも一
方の軸の走査機構を、一軸方向に運動を拘束した振動体
と、該振動体の共振周波数で発振する駆動回路とにより
構成したことを特徴とする記録再生装置。3. A recording / reproducing apparatus which relatively XY scans a recording medium with a probe and records and / or reproduces data on the recording medium by a physical interaction between a surface of the recording medium and the probe. A recording / reproducing apparatus characterized in that a scanning mechanism for at least one of the XY scanning axes comprises a vibrating body whose movement is constrained in one axial direction and a drive circuit which oscillates at a resonance frequency of the vibrating body.
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|---|---|---|---|
| JP31753291A JP3289929B2 (en) | 1991-11-05 | 1991-11-05 | Scanning mechanism, scanning microscope and recording / reproducing apparatus using the same |
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