JPH05109866A - Wafer transfer robot - Google Patents
Wafer transfer robotInfo
- Publication number
- JPH05109866A JPH05109866A JP26663991A JP26663991A JPH05109866A JP H05109866 A JPH05109866 A JP H05109866A JP 26663991 A JP26663991 A JP 26663991A JP 26663991 A JP26663991 A JP 26663991A JP H05109866 A JPH05109866 A JP H05109866A
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- fixed
- pulley
- shaft
- arm
- gear
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- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は半導体シリコンウェハの
移載に用いるロボットに関し、特に移載用のアームを２
本、ウォンドを２個備えたウェハ移載ロボットに関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a robot used for transferring semiconductor silicon wafers, and more particularly to a transfer arm having two arms.
The present invention relates to a wafer transfer robot having two books and two wands.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のウェハ移載ロボットは、
図５に示すように、第１ウェハカセット６０から第２ウ
ェハカセット６１にウェハを移載するのに対し、ウェハ
カセット移載ロボット６２には１個のウォンドを持つ１
本のアーム部６３のみしか有していなかった。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of wafer transfer robot is
As shown in FIG. 5, while the wafer is transferred from the first wafer cassette 60 to the second wafer cassette 61, the wafer cassette transfer robot 62 has one wand.
It had only the arm part 63 of the book.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のウェハ
移載ロボットは、アーム部が１本しかなかったので、第
１ウェハカセットから第２ウェハカセットにウェハを移
載する場合には、ウェハ移載ロボットは例えば２５スロ
ットのウェハカセットでは２５往復ハンドリングする必
要があり、ウェハの移載に時間がかかる欠点がある。Since the conventional wafer transfer robot described above has only one arm portion, when transferring a wafer from the first wafer cassette to the second wafer cassette, the wafer transfer robot is moved. For example, the loading robot needs to perform 25 reciprocating operations for a 25-slot wafer cassette, which has a drawback that it takes time to transfer the wafer.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明のウェハ移載ロボ
ットは、上下方向に移動可能なＺ軸可動ベースと、前記
Ｚ軸可動ベースに回転保持される第１中空シャフトと、
前記第１中空シャフト内で回転可能な第２中空シャフト
と、前記第２中空シャフト内で回転可能な第３中空シャ
フトと、前記第３中空シャフト内で回転可能な第４シャ
フトと、前記第１中空シャフトに固定される第１プーリ
と、前記第２中空シャフトに固定される第１アームと、
前記第１アームに回転保持される第５シャフトと、前記
第５シャフトと同軸で第１タイミングベルトにより前記
第１プーリと連結され前記第１プーリの半分の歯数の第
２プーリと、前記第５シャフトに固定される第２アーム
と、前記第２アーム内で前記第５シャフトに固定され前
記第２プーリと同歯数の第３プーリと、前記第５シャフ
トに対し前記第１中空シャフトとの軸間距離に等しく第
２アーム内に回転保持される第６シャフトと、前記第６
シャフトと同軸で前記第３プーリと第２タイミングベル
トで連結され前記第１プーリと同歯数の第４プーリと、
前記第６シャフトに固定される第３アームと、前記第３
アームに固定される第１ウォンドと、前記第３中空シャ
フトに固定される第５プーリと、前記第４シャフトに固
定される第４アームと、前記第４アームに回転保持され
る第７シャフトと、前記第７シャフトと同軸で第３タイ
ミングベルトにより前記第５プーリと連結され前記第５
プーリの半分の歯数の第６プーリと、前記第７シャフト
に固定される第５アームと、前記第５アーム内で前記第
７シャフトに固定され前記第６プーリと同歯数の第７プ
ーリと、前記第７シャフトに対し前記第３中空シャフト
との軸間距離に等しく第５アーム内に回転保持される第
８シャフトと、前記第８シャフトと同軸で前記第７プー
リと第４タイミングベルトで連結され前記第５プーリと
同歯数の第８プーリと、前記第８シャフトに固定される
第６アームと、前記第６アームに固定される第２ウォン
ドと、前記第１中空シャフトの下部に固定される第１歯
車と、前記第１歯車とかみ合う第２歯車と、前記Ｚ軸可
動ベースに固定され前記第２歯車を駆動する第１モータ
と、前記第２中空シャフトの下部に固定される第３歯車
と、前記第３歯車とかみ合う第４歯車と、前記第１歯車
に固定され前記第４歯車を駆動する第２モータと、前記
第３中空シャフトの下部に固定される第５歯車と、前記
第５歯車とかみ合う第６歯車と、前記Ｚ軸可動ベースに
固定され前記第６歯車を駆動する第３モータと、前記第
４シャフトの下部に固定される第７歯車と、前記第７歯
車とかみ合う第８歯車と、前記第５歯車に固定され前記
第８歯車を駆動する第４モータと、前記Ｚ軸可動ベース
が摺動する固定ベースと、前記固定ベースに固定され前
記Ｚ軸可動ベースを駆動するボールねじおよび第５モー
タとを備えている。A wafer transfer robot according to the present invention comprises a Z-axis movable base which is vertically movable, and a first hollow shaft which is rotatably held by the Z-axis movable base.
A second hollow shaft rotatable in the first hollow shaft; a third hollow shaft rotatable in the second hollow shaft; a fourth shaft rotatable in the third hollow shaft; A first pulley fixed to the hollow shaft, and a first arm fixed to the second hollow shaft,
A fifth shaft that is rotatably held by the first arm; a second pulley that is coaxial with the fifth shaft and that is connected to the first pulley by a first timing belt and that has half the number of teeth of the first pulley; A second arm fixed to the fifth shaft, a third pulley fixed to the fifth shaft in the second arm and having the same number of teeth as the second pulley, and a first hollow shaft with respect to the fifth shaft. A sixth shaft which is rotated and held in the second arm by an amount equal to the inter-axis distance of
A fourth pulley which is coaxial with the shaft and which is connected to the third pulley by a second timing belt and has the same number of teeth as the first pulley;
A third arm fixed to the sixth shaft;
A first wand fixed to the arm, a fifth pulley fixed to the third hollow shaft, a fourth arm fixed to the fourth shaft, and a seventh shaft rotatably held by the fourth arm. , The fifth shaft being coaxial with the seventh shaft and connected to the fifth pulley by a third timing belt.
A sixth pulley having half the number of teeth of the pulley, a fifth arm fixed to the seventh shaft, and a seventh pulley fixed to the seventh shaft in the fifth arm and having the same number of teeth as the sixth pulley. An eighth shaft rotatably held in the fifth arm, which is equal to the axial distance between the seventh shaft and the third hollow shaft, and the seventh pulley and the fourth timing belt which are coaxial with the eighth shaft. An eighth pulley having the same number of teeth as the fifth pulley, a sixth arm fixed to the eighth shaft, a second wand fixed to the sixth arm, and a lower portion of the first hollow shaft. A first gear fixed to the first gear, a second gear meshing with the first gear, a first motor fixed to the Z-axis movable base to drive the second gear, and fixed to a lower portion of the second hollow shaft. Third gear, and the third gear A fourth gear that meshes with the second gear, a second motor that is fixed to the first gear and drives the fourth gear, a fifth gear that is fixed to a lower portion of the third hollow shaft, and a sixth gear that meshes with the fifth gear. A third motor fixed to the Z-axis movable base to drive the sixth gear, a seventh gear fixed to a lower portion of the fourth shaft, an eighth gear meshing with the seventh gear, A fourth motor fixed to five gears to drive the eighth gear, a fixed base on which the Z-axis movable base slides, a ball screw fixed to the fixed base to drive the Z-axis movable base, and a fifth motor It has and.
【０００５】[0005]
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings.
【０００６】図１は本発明の一実施例の斜視図、図２は
本実施例を詳細に示す断面図、図３は本実施例の片方の
アーム部を示す平面図、図４は本実施例によってウェハ
をハンドリングする動作を示す平面図でる。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing this embodiment in detail, FIG. 3 is a plan view showing one arm of this embodiment, and FIG. 4 is this embodiment. It is a top view which shows the operation which handles a wafer by an example.
【０００７】本実施例は次のように構成される。上下方
向に移動可能なＺ軸可動ベース１に回転保持される第１
中空シャフト２には、その中で回転可能な第２中空シャ
フト３が内蔵される。第２中空シャフト３の中には同じ
く回転可能な第３中空シャフト４が、また、第３中空シ
ャフト４の中には同じく回転可能な第４シャフト５が内
蔵される。第１中空シャフト２には第１プーリ６が固定
される。第２中空シャフト３には第１アーム７が固定さ
れる。第１アーム７には第５シャフト８が回転保持され
る。第５シャフト８には同軸で第１タイミングベルト９
により第１プーリ６と連結され第１プーリ６の半分の歯
数の第２プーリ１０が固定される。また、第５シャフト
８には第２アーム１１と第２プーリ１０と同歯数の第３
プーリ１２が固定される。第２アーム１１内には、第５
シャフト８に対し、第１中空シャフト２との軸間距離を
等しくして、第６シャフト１４が回転保持される。ま
た、第６シャフト１４には同軸で第３プーリ１２と第２
タイミングベルト１３で連結され第１プーリ６と同歯数
の第４プーリ１５が固定される。第６シャフト１４には
第３アーム１６が固定され、また、第３アーム１６には
第１ウォンド１７が固定される。This embodiment is constructed as follows. The first that is rotatably held by the Z-axis movable base 1 that is vertically movable
The hollow shaft 2 contains a second hollow shaft 3 rotatable therein. In the second hollow shaft 3, a similarly rotatable third hollow shaft 4 is incorporated, and in the third hollow shaft 4, a similarly rotatable fourth shaft 5 is incorporated. A first pulley 6 is fixed to the first hollow shaft 2. The first arm 7 is fixed to the second hollow shaft 3. The fifth shaft 8 is rotatably held by the first arm 7. The fifth shaft 8 is coaxial with the first timing belt 9
Thus, the second pulley 10 that is connected to the first pulley 6 and has half the number of teeth of the first pulley 6 is fixed. The fifth shaft 8 has a third arm having the same number of teeth as the second arm 11 and the second pulley 10.
The pulley 12 is fixed. In the second arm 11, the fifth
The axial distance between the shaft 8 and the first hollow shaft 2 is made equal, and the sixth shaft 14 is rotationally held. The sixth shaft 14 is coaxial with the third pulley 12 and the second shaft 12.
The fourth pulley 15 having the same number of teeth as the first pulley 6 is fixed by being connected by the timing belt 13. The third arm 16 is fixed to the sixth shaft 14, and the first wand 17 is fixed to the third arm 16.
【０００８】第３中空シャフト４には第５プーリ２１が
固定される。第４シャフト５には第４アーム２２が固定
される。第４アーム２２には第７シャフト２３が回転保
持される。第７シャフト２３には同軸で第３タイミング
ベルト２４により第５プーリ２１と連結され第５プーリ
２１の半分の歯数の第６プーリ２５が固定される。ま
た、第７シャフト２３には第５アーム２６と第６プーリ
２５と同歯数の第７プーリ２７が固定される。第５アー
ム２６内には、第７シャフト２３に対し、第３中空シャ
フト４との軸間距離を等しくして、第８シャフト２８が
回転保持される。また、第８シャフト２８には同軸で第
７プーリ２７と第４タイミングベルト２９で連結され第
５プーリ２１と同歯数の第８プーリ３０が固定される。
第８シャフト２８には第６アーム３１が固定され、ま
た、第６アーム３１には第２ウォンド３２が固定され
る。A fifth pulley 21 is fixed to the third hollow shaft 4. The fourth arm 22 is fixed to the fourth shaft 5. The seventh shaft 23 is rotatably held by the fourth arm 22. A sixth pulley 25, which is coaxially connected to the fifth pulley 21 by a third timing belt 24 and has half the number of teeth of the fifth pulley 21, is fixed to the seventh shaft 23. Further, a seventh arm 23 and a seventh pulley 27 having the same number of teeth as the sixth pulley 25 are fixed to the seventh shaft 23. In the fifth arm 26, the eighth shaft 28 is rotatably held with the seventh shaft 23 having the same axial distance from the third hollow shaft 4. Further, an eighth pulley 30 having the same number of teeth as the fifth pulley 21 is fixed to the eighth shaft 28 coaxially by a seventh pulley 27 and a fourth timing belt 29.
A sixth arm 31 is fixed to the eighth shaft 28, and a second wand 32 is fixed to the sixth arm 31.
【０００９】第１中空シャフト２の下部には第１歯車３
３が固定され、第１歯車３３とかみ合う第２歯車３４
は、Ｚ軸可動ベース１に固定される第１モータ３５に固
定される。第２中空シャフト３の下部には第３歯車３６
が固定され、第３歯車３６とかみ合う第４歯車３７は第
１歯車３３に固定される第２モータ３８に固定される。
第３中空シャフト４の下部には第５歯車３９が固定さ
れ、第５歯車３９とかみ合う第６歯車４０は、Ｚ軸可動
ベース１に固定される第３モータ４１に固定される。第
４シャフト５の下部には第７歯車４２が固定され、第７
歯車４２とかみ合う第８歯車４３は第５歯車３９に固定
される第４モータ４４に固定される。Ｚ軸可動ベース１
は固定ベース４５を摺動可能であり、Ｚ軸可動ベース１
を駆動するボールねじ４６と第５モータ４７は固定ベー
ス４５に固定される。A first gear 3 is provided below the first hollow shaft 2.
3 is fixed and the second gear 34 meshes with the first gear 33.
Is fixed to the first motor 35 fixed to the Z-axis movable base 1. A third gear 36 is provided below the second hollow shaft 3.
Is fixed, and the fourth gear 37 that meshes with the third gear 36 is fixed to the second motor 38 fixed to the first gear 33.
A fifth gear 39 is fixed to the lower portion of the third hollow shaft 4, and a sixth gear 40 meshing with the fifth gear 39 is fixed to a third motor 41 fixed to the Z-axis movable base 1. The seventh gear 42 is fixed to the lower portion of the fourth shaft 5,
The eighth gear 43 meshing with the gear 42 is fixed to the fourth motor 44 fixed to the fifth gear 39. Z-axis movable base 1
Can slide on the fixed base 45, and the Z-axis movable base 1
The ball screw 46 and the fifth motor 47 for driving are fixed to the fixed base 45.
【００１０】次に、本実施例の動作を説明する。Ｚ軸可
動ベース１は、第５モータ４７及びボールねじ４６によ
り、上下方向に動作し本実施例のウェハカセット移載ロ
ボット５０のＺ軸となる。ウェハカセット移載ロボット
５０の半径（Ｒ）方向と回転（θ）方向の動作について
は、ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部
５１（第４アーム２２と第５アーム２６と第６アーム３
１）を示した図３と本実施例の断面図の図２を用いて説
明する。先に、半径（Ｒ）方向の動作について説明す
る。第５プーリ２１の中心と第８プーリ３０の中心を結
んだ直線をＬとする。第４モータ４４が回転し、第８歯
車４３及び第７歯車４２により、第４アーム２２が直線
Ｌよりα度回転したとき、第５プーリ２１と第６プーリ
２５の歯数比は２：１なので第５アーム２６は第４アー
ム２２に対し−２α度回転する。また、第６アーム３１
は第７プーリ２７と第８プーリ３０の歯数比が１：２な
のでα度回転する。よって、第６アーム３１は、第４モ
ータ４４の回転により、直線Ｌ上を動き、ウェハカセッ
ト移載ロボット５０の片方のアーム部５１の半径（Ｒ）
方向の動作となる。同様に、他方のアーム部５２（第１
アーム７と第２アーム１１と第３アーム１６）も、第２
モータ３８の回転により、半径（Ｒ）方向の動作を行な
う。Next, the operation of this embodiment will be described. The Z-axis movable base 1 moves in the vertical direction by the fifth motor 47 and the ball screw 46, and becomes the Z-axis of the wafer cassette transfer robot 50 of this embodiment. Regarding the operation of the wafer cassette transfer robot 50 in the radius (R) direction and the rotation (θ) direction, one arm portion 51 (the fourth arm 22, the fifth arm 26, and the sixth arm 3) of the wafer cassette transfer robot 50 is described.
1) and FIG. 2 which is a sectional view of the present embodiment. First, the operation in the radius (R) direction will be described. A straight line connecting the center of the fifth pulley 21 and the center of the eighth pulley 30 is defined as L. When the fourth motor 44 rotates and the fourth gear 22 is rotated α degrees from the straight line L by the eighth gear 43 and the seventh gear 42, the tooth number ratio of the fifth pulley 21 and the sixth pulley 25 is 2: 1. Therefore, the fifth arm 26 rotates −2α degrees with respect to the fourth arm 22. Also, the sixth arm 31
Has a tooth number ratio of the seventh pulley 27 and the eighth pulley 30 of 1: 2, and therefore rotates by α degrees. Therefore, the sixth arm 31 moves on the straight line L by the rotation of the fourth motor 44, and the radius (R) of one arm portion 51 of the wafer cassette transfer robot 50.
It becomes the operation of the direction. Similarly, the other arm portion 52 (first
The arm 7, the second arm 11, and the third arm 16) are also the second
The rotation of the motor 38 causes the operation in the radius (R) direction.
【００１１】次に、回転（θ）方向の動作について説明
する。第１モータ３５が回転すると、第１歯車３３と第
２歯車３４により、第１アーム７が回転し、これが、ウ
ェハカセット移載ロボット５０の他方のアーム部５２の
回転（θ）方向の動作となる。なお、第２モータ３８は
第１歯車３３に固定されているので第１モータ３５が回
転しても、半径（Ｒ）方向に他方のアーム部５２は動作
しない。第３モータ４１が回転すると、第５歯車３９と
第６歯車４０により、第４アーム２２が回転し、これ
が、ウェハカセット移載ロボット５０の片方のアーム部
５１の回転（θ）方向の動作となる。なお、第４モータ
４４は第５歯車３９に固定されているので第３モータ４
１が回転しても、半径（Ｒ）方向に片方のアーム部５１
は動作しない。Next, the operation in the rotation (θ) direction will be described. When the first motor 35 rotates, the first gear 33 and the second gear 34 cause the first arm 7 to rotate, which causes the other arm 52 of the wafer cassette transfer robot 50 to move in the rotation (θ) direction. Become. Since the second motor 38 is fixed to the first gear 33, even if the first motor 35 rotates, the other arm portion 52 does not operate in the radius (R) direction. When the third motor 41 rotates, the fourth gear 22 rotates due to the fifth gear 39 and the sixth gear 40, which is the movement of one arm portion 51 of the wafer cassette transfer robot 50 in the rotation (θ) direction. Become. Since the fourth motor 44 is fixed to the fifth gear 39, the third motor 4
Even if 1 rotates, one arm portion 51 in the radius (R) direction
Does not work.
【００１２】以上により、ウェハカセット移載ロボット
５０の片方のアーム部５１と他方のアーム部５２は個々
に、半径（Ｒ）方向と回転（θ）方向に動作可能であ
る。よって、図４に示すように、第１ウェハカセット６
０から第２ウェハカセット６１にウェハを移載する場合
には、ウェハカセット移載ロボット５０は例えば２５ス
ロットのウェハカセットでは１２．５往復分でハンドリ
ングすることができる。As described above, one arm portion 51 and the other arm portion 52 of the wafer cassette transfer robot 50 can individually move in the radius (R) direction and the rotation (θ) direction. Therefore, as shown in FIG. 4, the first wafer cassette 6
When a wafer is transferred from 0 to the second wafer cassette 61, the wafer cassette transfer robot 50 can handle, for example, 12.5 reciprocations for a 25-slot wafer cassette.
【００１３】[0013]
【発明の効果】以上説明したように本発明は、移載用の
アーム部を２本とウォンドを２個設けることにより、ウ
ェハを移載する場合に、ウェハカセットのスロット数の
２分の１の往復分でハンドリングすることができ、ウェ
ハの移載が迅速に行える効果がある。As described above, according to the present invention, by providing two transfer arms and two wands, when transferring a wafer, one half of the number of slots in the wafer cassette is transferred. It is possible to handle the wafer in a reciprocating manner, and there is an effect that the wafer can be transferred quickly.
【図１】本発明の一実施例の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the present invention.
【図２】本実施例を詳細に示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing details of the present embodiment.
【図３】本実施例の片方のアーム部を示す平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view showing one arm portion of the present embodiment.
【図４】本実施例によってウェハをハンドリングする動
作を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing an operation of handling a wafer according to the present embodiment.
【図５】従来のウェハ移載ロボットがウェハをハンドリ
ングする動作を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an operation in which a conventional wafer transfer robot handles a wafer.
１ Ｚ軸可動ベース ２ 第１中空シャフト ３ 第２中空シャフト ４ 第３中空シャフト ５ 第４シャフト ６ 第１プーリ ７ 第１アーム ８ 第５シャフト ９ 第１タイミングベルト １０ 第２プーリ １１ 第２アーム １２ 第３プーリ １３ 第２タイミングベルト １４ 第６シャフト １５ 第４プーリ １６ 第３アーム １７ 第１ウォンド ２１ 第５プーリ ２２ 第４アーム ２３ 第７シャフト ２４ 第３タイミングベルト ２５ 第６プーリ ２６ 第５アーム ２７ 第７プーリ ２８ 第８シャフト ２９ 第４タイミングベルト ３０ 第８プーリ ３１ 第６アーム ３２ 第２ウォンド ３３ 第１歯車 ３４ 第２歯車 ３５ 第１モータ ３６ 第３歯車 ３７ 第４歯車 ３８ 第２モータ ３９ 第５歯車 ４０ 第６歯車 ４１ 第３モータ ４２ 第７歯車 ４３ 第８歯車 ４４ 第４モータ ４５ 固定ベース ４６ ボールねじ ４７ 第５モータ ５０ ウェハカセット移載ロボット ５１ ウェハカセット移載ロボットの片方のアーム部 ５２ ウェハカセット移載ロボットの他方のアーム部 ６０ 第１ウェハカセット ６１ 第２ウェハカセット ６２ 従来のウェハカセット移載ロボット ６３ アーム部 Ｒ ウェハカセット移載ロボットの半径方向 θ ウェハカセット移載ロボットの回転方向 Ｌ 第５プーリ２１の中心と第８プーリ３０の中心を
結んだ直線 α 第４アーム２２が直線Ｌより回転したときの角度1 Z-axis movable base 2 1st hollow shaft 3 2nd hollow shaft 4 3rd hollow shaft 5 4th shaft 6 1st pulley 7 1st arm 8 5th shaft 9 1st timing belt 10 2nd pulley 11 2nd arm 12 3rd pulley 13 2nd timing belt 14 6th shaft 15 4th pulley 16 3rd arm 17 1st wand 21 5th pulley 22 4th arm 23 7th shaft 24 3rd timing belt 25 6th pulley 26 5th arm 27 7th pulley 28 8th shaft 29 4th timing belt 30 8th pulley 31 6th arm 32 2nd wand 33 1st gear 34 2nd gear 35 1st motor 36 3rd gear 37 4th gear 38 2nd motor 39th 5 gear 40 6th gear 41 3rd motor 42 7th gear 43 8th gear 44 4th model 45 fixed base 46 ball screw 47 fifth motor 50 wafer cassette transfer robot 51 one arm part of wafer cassette transfer robot 52 other arm part of wafer cassette transfer robot 60 first wafer cassette 61 second wafer cassette 62 Conventional wafer cassette transfer robot 63 Arm part R Radius direction of wafer cassette transfer robot θ Rotation direction of wafer cassette transfer robot L Straight line connecting center of fifth pulley 21 and center of eighth pulley 30 α Fourth arm Angle when 22 rotates from the straight line L
Claims (1)
と、前記Ｚ軸可動ベースに回転保持される第１中空シャ
フトと、前記第１中空シャフト内で回転可能な第２中空
シャフトと、前記第２中空シャフト内で回転可能な第３
中空シャフトと、前記第３中空シャフト内で回転可能な
第４シャフトと、前記第１中空シャフトに固定される第
１プーリと、前記第２中空シャフトに固定される第１ア
ームと、前記第１アームに回転保持される第５シャフト
と、前記第５シャフトと同軸で第１タイミングベルトに
より前記第１プーリと連結され前記第１プーリの半分の
歯数の第２プーリと、前記第５シャフトに固定される第
２アームと、前記第２アーム内で前記第５シャフトに固
定され前記第２プーリと同歯数の第３プーリと、前記第
５シャフトに対し前記第１中空シャフトとの軸間距離に
等しく第２アーム内に回転保持される第６シャフトと、
前記第６シャフトと同軸で前記第３プーリと第２タイミ
ングベルトで連結され前記第１プーリと同歯数の第４プ
ーリと、前記第６シャフトに固定される第３アームと、
前記第３アームに固定される第１ウォンドと、前記第３
中空シャフトに固定される第５プーリと、前記第４シャ
フトに固定される第４アームと、前記第４アームに回転
保持される第７シャフトと、前記第７シャフトと同軸で
第３タイミングベルトにより前記第５プーリと連結され
前記第５プーリの半分の歯数の第６プーリと、前記第７
シャフトに固定される第５アームと、前記第５アーム内
で前記第７シャフトに固定され前記第６プーリと同歯数
の第７プーリと、前記第７シャフトに対し前記第３中空
シャフトとの軸間距離に等しく第５アーム内に回転保持
される第８シャフトと、前記第８シャフトと同軸で前記
第７プーリと第４タイミングベルトで連結され前記第５
プーリと同歯数の第８プーリと、前記第８シャフトに固
定される第６アームと、前記第６アームに固定される第
２ウォンドと、前記第１中空シャフトの下部に固定され
る第１歯車と、前記第１歯車とかみ合う第２歯車と、前
記Ｚ軸可動ベースに固定され前記第２歯車を駆動する第
１モータと、前記第２中空シャフトの下部に固定される
第３歯車と、前記第３歯車とかみ合う第４歯車と、前記
第１歯車に固定され前記第４歯車を駆動する第２モータ
と、前記第３中空シャフトの下部に固定される第５歯車
と、前記第５歯車とかみ合う第６歯車と、前記Ｚ軸可動
ベースに固定され前記第６歯車を駆動する第３モータ
と、前記第４シャフトの下部に固定される第７歯車と、
前記第７歯車とかみ合う第８歯車と、前記第５歯車に固
定され前記第８歯車を駆動する第４モータと、前記Ｚ軸
可動ベースが摺動する固定ベースと、前記固定ベースに
固定され前記Ｚ軸可動ベースを駆動するボールねじおよ
び第５モータとを含んだことを特徴とするウェハ移載ロ
ボット。1. A vertically movable Z-axis movable base, a first hollow shaft rotatably held by the Z-axis movable base, a second hollow shaft rotatable in the first hollow shaft, and Third rotatable in second hollow shaft
A hollow shaft; a fourth shaft rotatable in the third hollow shaft; a first pulley fixed to the first hollow shaft; a first arm fixed to the second hollow shaft; A fifth shaft rotatably held by the arm, a second pulley coaxial with the fifth shaft and connected to the first pulley by a first timing belt, and a second pulley having half the number of teeth of the first pulley; Between a fixed second arm, a third pulley fixed to the fifth shaft in the second arm and having the same number of teeth as the second pulley, and an axis between the fifth shaft and the first hollow shaft. A sixth shaft, which is equal to the distance and is rotationally held in the second arm,
A fourth pulley which is coaxial with the sixth shaft and which is connected to the third pulley by a second timing belt and has the same number of teeth as the first pulley; and a third arm which is fixed to the sixth shaft.
The first wand fixed to the third arm, and the third wand
A fifth pulley fixed to the hollow shaft, a fourth arm fixed to the fourth shaft, a seventh shaft rotatably held by the fourth arm, and a third timing belt coaxial with the seventh shaft. A sixth pulley which is connected to the fifth pulley and has half the number of teeth of the fifth pulley;
A fifth arm fixed to the shaft, a seventh pulley fixed to the seventh shaft in the fifth arm and having the same number of teeth as the sixth pulley, and the third hollow shaft with respect to the seventh shaft. An eighth shaft, which is equal to the distance between the axes and is rotatably held in the fifth arm, is coaxially connected to the eighth shaft and is coupled to the seventh pulley and a fourth timing belt.
An eighth pulley having the same number of teeth as the pulley, a sixth arm fixed to the eighth shaft, a second wand fixed to the sixth arm, and a first fixed to a lower portion of the first hollow shaft. A gear, a second gear that meshes with the first gear, a first motor that is fixed to the Z-axis movable base and drives the second gear, and a third gear that is fixed to a lower portion of the second hollow shaft. A fourth gear meshing with the third gear, a second motor fixed to the first gear to drive the fourth gear, a fifth gear fixed to a lower portion of the third hollow shaft, and a fifth gear. A sixth gear meshing with the third gear, a third motor fixed to the Z-axis movable base to drive the sixth gear, and a seventh gear fixed to a lower portion of the fourth shaft.
An eighth gear that meshes with the seventh gear, a fourth motor that is fixed to the fifth gear and drives the eighth gear, a fixed base on which the Z-axis movable base slides, and a fixed base that is fixed to the fixed base. A wafer transfer robot including a ball screw driving a Z-axis movable base and a fifth motor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26663991A JPH05109866A (en) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | Wafer transfer robot |
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|---|---|---|---|
| JP26663991A JPH05109866A (en) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | Wafer transfer robot |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05109866A true JPH05109866A (en) | 1993-04-30 |
Family
ID=17433627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26663991A Pending JPH05109866A (en) | 1991-10-16 | 1991-10-16 | Wafer transfer robot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05109866A (en) |
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