JPH04351200A - Piezoelectric ceramic actuator drive circuit - Google Patents
Piezoelectric ceramic actuator drive circuitInfo
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は圧電セラミックアクチュ
エータ等の容量性負荷を駆動する回路のうち、特に繰り
返し駆動するための駆動回路に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit for driving a capacitive load such as a piezoelectric ceramic actuator, and particularly to a driving circuit for repeatedly driving the piezoelectric ceramic actuator.
【0002】0002
【従来の技術】圧電セラミックアクチュエータ(以下、
圧電アクチュエータと略称する)は、電圧を印加すると
セラミックの厚さ寸法が変化する圧電逆効果を利用した
アクチュエータであり、印加電圧に応じて高速でかつ高
精細な伸び量を制御することができるため、ガス流量弁
の開閉,X−Yテーブルの位置制御,射出成形機の樹脂
厚み調整,圧電式ドットプリンタヘッド等に使用されて
いる。[Prior art] Piezoelectric ceramic actuator (hereinafter referred to as
A piezoelectric actuator (abbreviated as a piezoelectric actuator) is an actuator that utilizes the piezoelectric inverse effect in which the thickness of ceramic changes when voltage is applied, and the amount of elongation can be controlled at high speed and with high precision according to the applied voltage. It is used for opening and closing gas flow valves, controlling the position of X-Y tables, adjusting the resin thickness of injection molding machines, piezoelectric dot printer heads, etc.
【0003】アクチュエータの動作としては、一定の伸
び量を長時間保持する場合と、伸縮の繰り返し動作をさ
せる場合の2通りに大別される。前者の場合、動作の最
初に充電電荷を供給すれば、その後の電荷供給はほとん
ど不要であり、直流電源回路が利用できる。一方、後者
の場合、繰り返し動作時のアクチュエータの充放電回路
を必要とする。[0003] The operation of the actuator can be roughly divided into two types: one in which a constant amount of expansion is maintained for a long time, and one in which the actuator is repeatedly expanded and contracted. In the former case, if charge is supplied at the beginning of operation, there is almost no need to supply charge thereafter, and a DC power supply circuit can be used. On the other hand, the latter requires a charging/discharging circuit for the actuator during repeated operations.
【0004】アクチュエータの駆動回路としては、本出
願人が先に出願した実開昭61−64619号に開示し
た図5(a)および図5(b)に示すスイッチング素子
を用いた駆動回路が一般的である。これらの例において
は、アクチュエータを充電するためのスイッチング素子
5,11に制御信号を加えることで、アクチュエータ9
には電流I1 が流れて充電され、アクチュエータ9は
その充電電荷量に応じた厚さ方向の歪を発生する。As a drive circuit for an actuator, a drive circuit using a switching element shown in FIGS. 5(a) and 5(b) disclosed in Utility Model Application No. 64619/1983 previously filed by the present applicant is generally used. It is true. In these examples, the actuator 9 is charged by applying a control signal to the switching elements 5, 11 for charging the actuator.
A current I1 flows through and charges the actuator 9, and the actuator 9 generates strain in the thickness direction according to the amount of charge.
【0005】一方、アクチュエータの充電電荷を放電し
、歪量を低減するためには、充電用スイッチング素子5
,11を切り、代わって放電用スイッチング素子6,1
2に制御信号を加えることで、電流I2 を流して実現
される。On the other hand, in order to discharge the charge of the actuator and reduce the amount of distortion, the charging switching element 5
, 11 and replace them with discharge switching elements 6, 1.
This is achieved by adding a control signal to 2 to cause current I2 to flow.
【0006】アクチュエータ9を繰り返し動作させる場
合は、充放電用スイッチング素子5,11,6,12に
制御信号を交互に繰り返し加えれば実現することができ
る。If the actuator 9 is to be operated repeatedly, this can be achieved by alternately and repeatedly applying control signals to the charging/discharging switching elements 5, 11, 6, and 12.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図5(b)
に示した駆動回路は、アクチュエータに印加する電圧を
変化させ、機械的変位を連続的に可変する用途には適し
ているが、スイッチング素子5,6内部で消費される電
力が大きいため、駆動電力の効率は低い。[Problem to be solved by the invention] By the way, Fig. 5(b)
The drive circuit shown in Fig. 1 is suitable for continuously varying mechanical displacement by changing the voltage applied to the actuator, but because the power consumed inside the switching elements 5 and 6 is large, the drive power is low. efficiency is low.
【0008】一方、図5(a)に示した駆動回路は、電
流駆動が低入力インピーダンス動作で、印加電圧が一定
であるが、放電によるエネルギ損失が大きい。On the other hand, in the drive circuit shown in FIG. 5A, the current drive is a low input impedance operation and the applied voltage is constant, but the energy loss due to discharge is large.
【0009】また、いずれの駆動回路も、充放電時に多
大な充放電電流が流れるため、許容電流の大きなスイッ
チング素子を使用する必要があった。さらに、放電時の
電流を制限しスイッチング素子を保護するための放電抵
抗10を接続していた。Furthermore, in both drive circuits, a large amount of charging and discharging current flows during charging and discharging, so it is necessary to use a switching element with a large allowable current. Furthermore, a discharge resistor 10 was connected to limit the current during discharge and protect the switching element.
【0010】0010
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために提案するものである。本発明は圧電アクチュ
エータとリアクトルを直列に接続し、それからなる直列
共振回路の共振周波数が駆動周波数よりも高くなるよう
にリアクトルのインダクタンスを設定したこと,また圧
電アクチュエータの充放電スイッチング素子を遮断する
タイミングを、圧電アクチュエータに流れる電流が零に
なった時点とすること,さらに圧電アクチュエータに並
列にダイオードを接続し放電時に圧電アクチュエータに
負極性電圧が印加されないように印加電圧を既略零ボル
トにクランプすることを特徴とする。[Means for Solving the Problems] The present invention is proposed to solve the above problems. The present invention is characterized in that a piezoelectric actuator and a reactor are connected in series, and the inductance of the reactor is set so that the resonant frequency of the series resonant circuit made up of the piezoelectric actuator is higher than the drive frequency, and the timing of cutting off the charging/discharging switching element of the piezoelectric actuator. Let be the point at which the current flowing through the piezoelectric actuator becomes zero, and furthermore, connect a diode in parallel to the piezoelectric actuator and clamp the applied voltage to approximately zero volts so that negative polarity voltage is not applied to the piezoelectric actuator during discharge. It is characterized by
【0011】[0011]
【作用】上記の構成によると、圧電アクチュエータの静
電容量をC,充電電圧をVcとすれば、圧電アクチュエ
ータ充電時に電源から供給されるエネルギは、リアクト
ルを使用しない場合、P1 =CVc2 であるのに対
し、リアクトル使用の場合、P2 =1/2CVc2
にでき、計算上半分のエネルギを供給すればよい。さら
に、充放電時に充放電回路に流れる最大電流Ipc,I
pdは、スイッチング素子のインピーダンスをZswと
すれば、リアクトルを使用しない場合Ip=Vc/Zs
wであるのに対し、リアクトル使用の場合、[Operation] According to the above configuration, if the capacitance of the piezoelectric actuator is C and the charging voltage is Vc, the energy supplied from the power source when charging the piezoelectric actuator is P1 = CVc2 when a reactor is not used. On the other hand, when using a reactor, P2 = 1/2CVc2
Calculated, it is only necessary to supply half the energy. Furthermore, the maximum current Ipc,I flowing through the charging and discharging circuit during charging and discharging
If the impedance of the switching element is Zsw, pd is Ip=Vc/Zs when a reactor is not used.
w, whereas when using a reactor,
【式1】になる。Zswは一般的に小さいため、リアク
トルを使用しない場合、スイッチング素子を流れる電流
が非常に大きくなるが、リアクトルを使用することによ
りスイッチング素子を流れる最大電流値を低くすること
ができるので、許容電流の小さいスイッチング素子を使
用することができる。It becomes [Formula 1]. Since Zsw is generally small, the current flowing through the switching element will be very large if a reactor is not used. However, by using a reactor, the maximum current value flowing through the switching element can be lowered, so the allowable current can be reduced. Small switching elements can be used.
【0012】一方、上記構成において、負極性の電圧が
印加されてしまう。圧電アクチュエータの印加電圧−変
位特性を図3に示す。On the other hand, in the above configuration, a voltage of negative polarity is applied. Figure 3 shows the applied voltage-displacement characteristics of the piezoelectric actuator.
【0013】図3は、圧電アクチュエータの端子間に、
0ボルト→正極性電圧→0ボルト→負極性電圧→0ボル
ト→正極性電圧の順に電圧を印加した場合の、印加電圧
−変位特性を示している。FIG. 3 shows that between the terminals of the piezoelectric actuator,
It shows applied voltage-displacement characteristics when voltages are applied in the order of 0 volts → positive polarity voltage → 0 volts → negative polarity voltage → 0 volts → positive polarity voltage.
【0014】未分極の圧電アクチュエータは、印加電圧
を0ボルトから上げていくと抗電界までは変位しない(
図3■)。抗電界以上の電圧を印加すると、■のような
電圧−変位特性を示す。次に電圧を最高値から下げてい
くと■のような特性を示し、さらに負極性電圧を印加す
ると■→■のような特性を示す。このように、圧電アク
チュエータに正負両極性電圧を印加して動作させると、
電圧−変位特性に変曲点が生じ、動作を制御する上で不
都合である。圧電アクチュエータの一般的な電圧印加方
法は、片極性電圧を印加するものがほとんどであり、そ
の場合の電圧−変位特性は図3で、■→■→■のように
なり、印加電圧により変位量を制御しやすい。[0014] When the applied voltage is increased from 0 volts to an unpolarized piezoelectric actuator, the displacement does not reach the coercive electric field (
Figure 3 ■). When a voltage higher than the coercive electric field is applied, voltage-displacement characteristics as shown in (■) are exhibited. Next, when the voltage is lowered from the maximum value, a characteristic like ■ appears, and when a negative polarity voltage is further applied, a characteristic like ■→■ appears. In this way, when a piezoelectric actuator is operated by applying a voltage with both positive and negative polarities,
An inflection point occurs in the voltage-displacement characteristics, which is inconvenient in controlling the operation. Most of the general voltage application methods for piezoelectric actuators apply a unipolar voltage, and the voltage-displacement characteristic in that case is as shown in Figure 3 as ■→■→■, and the amount of displacement changes depending on the applied voltage. Easy to control.
【0015】そこで、本発明では前記構成において圧電
アクチュエータに並列にダイオードを接続し、放電時に
圧電アクチュエータに加わる負極性電圧を0ボルトにク
ランプすることで、上記の問題が解決される。また、ダ
イオードを接続した場合でも、充電時の電圧−変位特性
は、ダイオードなしの場合と全く同一に正常に動作する
。Therefore, in the present invention, the above problem is solved by connecting a diode in parallel to the piezoelectric actuator in the above configuration and clamping the negative polarity voltage applied to the piezoelectric actuator at 0 volts during discharge. Furthermore, even when a diode is connected, the voltage-displacement characteristics during charging operate normally, exactly the same as when no diode is used.
【0016】[0016]
【実施例】以下、この発明について図面を参照して説明
する。図1は本発明の実施例である駆動回路のブロック
図、図2は出力電圧,出力電流のタイミングチャート図
である。図1は電源端子1と、電源端子1の入力電圧を
圧電アクチュエータ9が必要とする動作電圧に変換する
DC−DCコンバータ2,圧電アクチュエータ9の繰り
返し周波数を決定する発振回路3,圧電アクチュエータ
9の充放電時間をコントロールするタイミング制御回路
4,タイミング制御回路4からの制御信号によってON
,OFFを交互に繰り返す充電スイッチング素子5,放
電スイッチング素子6と圧電アクチュエータ9に直列に
接続されたリアクトル7および並列に接続されたダイオ
ード8から構成される。16,17は逆流防止用ダイオ
ードである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be explained below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of a drive circuit according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a timing chart of output voltage and output current. FIG. 1 shows a power supply terminal 1, a DC-DC converter 2 that converts the input voltage of the power supply terminal 1 into the operating voltage required by the piezoelectric actuator 9, an oscillation circuit 3 that determines the repetition frequency of the piezoelectric actuator 9, and a Timing control circuit 4 that controls charging and discharging time, turned on by a control signal from timing control circuit 4
, a reactor 7 connected in series to a discharge switching element 6 and a piezoelectric actuator 9, and a diode 8 connected in parallel. 16 and 17 are backflow prevention diodes.
【0017】次に、この回路の動作原理を、図1と図2
のタイミングチャートとを参照して詳述する。なお、図
2において、4aおよび4bは充電スイッチング素子5
,放電スイッチング素子6を制御する信号であり、上レ
ベルはON,下レベルはOFFであり、図2(a)(b
)に示すT1 ,T2 のタイミングになっている。Next, the operating principle of this circuit will be explained as shown in FIGS. 1 and 2.
This will be explained in detail with reference to the timing chart. In addition, in FIG. 2, 4a and 4b are charge switching elements 5.
, is a signal that controls the discharge switching element 6, and the upper level is ON and the lower level is OFF, as shown in FIGS.
) are the timings of T1 and T2 shown in FIG.
【0018】今、仮に図2に示す時刻T0 のタイミン
グであったとすると、図1で充電スイッチング素子5は
ONとなるので、DC−DCコンバータ2−充電スイッ
チング素子5−リアクトル7−圧電アクチュエータ9−
GNDの回路が構成され、圧電アクチュエータ9の端子
電圧9tは図2(c)に示す電圧値まで充電される。こ
のとき、圧電アクチュエータ9に流れる電流は、図2(
e)に示すIpcのようになる。次に、圧電アクチュエ
ータ9の電流が負になろうとすると、ダイオード16に
より阻止され、結果的に時刻T1 で、充電スイッチン
グ素子5をOFFすることになり、圧電アクチュエータ
9とDC−DCコンバータ2は切り離されるから、圧電
アクチュエータ9の端子電圧は図2(c)に示すように
最高電圧を維持する。Now, if the timing is time T0 shown in FIG. 2, the charging switching element 5 is turned on in FIG.
A GND circuit is constructed, and the terminal voltage 9t of the piezoelectric actuator 9 is charged to the voltage value shown in FIG. 2(c). At this time, the current flowing through the piezoelectric actuator 9 is as shown in FIG.
The Ipc shown in e) is obtained. Next, when the current of the piezoelectric actuator 9 tries to become negative, it is blocked by the diode 16, and as a result, the charging switching element 5 is turned off at time T1, and the piezoelectric actuator 9 and the DC-DC converter 2 are disconnected. Therefore, the terminal voltage of the piezoelectric actuator 9 maintains the highest voltage as shown in FIG. 2(c).
【0019】次に、時刻T2 のタイミングで放電スイ
ッチング素子6をONすると、圧電アクチュエータ9−
リアクトル7−放電スイッチング素子6−GNDの回路
が構成され、圧電アクチュエータ9に充電されていた電
荷は放電される。このとき、圧電アクチュエータ9に流
れる電流は図2(e)に示すIpdのようになる。また
、もしダイオード8が接続されていなければ、放電時に
負極性電圧が発生する。その様子を図2(d)に示す。
ダイオード8を図1のように圧電アクチュエータ9に並
列に接続することにより、負極性電圧は既略0ボルトに
クランプされて、圧電アクチュエータ9には負極性電圧
が印加されない。よって圧電アクチュエータ9の変位−
電圧特性は図3の0ボルト以上の印加電圧特性を示すこ
とになり、特性が安定する。Next, when the discharge switching element 6 is turned on at time T2, the piezoelectric actuator 9-
A circuit of reactor 7-discharge switching element 6-GND is configured, and the electric charge stored in piezoelectric actuator 9 is discharged. At this time, the current flowing through the piezoelectric actuator 9 becomes Ipd shown in FIG. 2(e). Furthermore, if the diode 8 is not connected, a negative polarity voltage will be generated during discharge. The situation is shown in FIG. 2(d). By connecting the diode 8 in parallel to the piezoelectric actuator 9 as shown in FIG. 1, the negative voltage is clamped to approximately 0 volts, and no negative voltage is applied to the piezoelectric actuator 9. Therefore, the displacement of piezoelectric actuator 9 -
The voltage characteristics show the applied voltage characteristics of 0 volts or more as shown in FIG. 3, and the characteristics are stable.
【0020】[0020]
【実施例2】図4は本発明の第2実施例である駆動回路
のブロック図である。この実施例は前記図1に示した第
1の実施例の充電スイッチング素子5に代えて、サイリ
スタ13を用いた点を除いて第1の実施例と同様である
。この実施例ではサイリスタ13の基本動作をPNPト
ランジスタ14とNPNトランジスタ15の組合せで実
現している。次に、この駆動回路の動作を説明する。
タイミング制御回路4からサイリスタ13にターンオン
信号4t0が印加されると、サイリスタ13はターンオ
ンし、DC−DCコンバータ2−サイリスタ13−リア
クトル7−圧電アクチュエータ9−GNDの回路が構成
される。Embodiment 2 FIG. 4 is a block diagram of a drive circuit according to a second embodiment of the present invention. This embodiment is similar to the first embodiment except that a thyristor 13 is used in place of the charging switching element 5 of the first embodiment shown in FIG. In this embodiment, the basic operation of the thyristor 13 is realized by a combination of a PNP transistor 14 and an NPN transistor 15. Next, the operation of this drive circuit will be explained. When the turn-on signal 4t0 is applied from the timing control circuit 4 to the thyristor 13, the thyristor 13 is turned on, and a circuit of the DC-DC converter 2, the thyristor 13, the reactor 7, the piezoelectric actuator 9, and the GND is configured.
【0021】このとき、圧電アクチュエータ9に流れる
電流は、図2(e)を参照するとIpcのようになるが
、電流が最大値から減少しほぼ零になると同時に、サイ
リスタ13はその動作原理によりオフするため、圧電ア
クチュエータ9とDC−DCコンバータ2は切り離され
る。よって圧電アクチュエータ9の充電完了時点でタイ
ミング制御回路4によりサイリスタ13をオフする必要
がない。そのため、第2実施例の構成によれば、タイミ
ング制御回路の設計が簡単になり、また圧電アクチュエ
ータ9の静電容量が変動し、充電時間が変動しても、タ
イミング制御回路の時定数を調整する必要がない。At this time, the current flowing through the piezoelectric actuator 9 becomes Ipc as shown in FIG. Therefore, the piezoelectric actuator 9 and the DC-DC converter 2 are separated. Therefore, it is not necessary to turn off the thyristor 13 by the timing control circuit 4 when charging of the piezoelectric actuator 9 is completed. Therefore, the configuration of the second embodiment simplifies the design of the timing control circuit, and even if the capacitance of the piezoelectric actuator 9 fluctuates and the charging time fluctuates, the time constant of the timing control circuit can be adjusted. There's no need to.
【0022】[0022]
【発明の効果】本発明のように、圧電アクチュエータに
直列にリアクトルを接続し、それらの直列共振回路の共
振周波数が駆動周波数よりも高くなるようにリアクトル
のインダクタンスを設定し、かつ圧電アクチュエータの
充放電電流が零になった時点で充放電スイッチを開くよ
うにし、さらに圧電アクチュエータに並列にダイオード
を接続することにより、圧電アクチュエータ充電時の電
源からの供給エネルギが半減され、充放電スイッチング
素子の許容電流値が小さくでき、かつ圧電アクチュエー
タを正極性で安定に動作することができる。また、静電
容量の大きな圧電アクチュエータでも効率よく容易に動
作させることが可能となる。Effects of the Invention According to the present invention, a reactor is connected in series with a piezoelectric actuator, the inductance of the reactor is set so that the resonance frequency of the series resonant circuit is higher than the drive frequency, and the piezoelectric actuator is charged. By opening the charge/discharge switch when the discharge current reaches zero and further connecting a diode in parallel to the piezoelectric actuator, the energy supplied from the power supply when charging the piezoelectric actuator is halved, reducing the tolerance of the charge/discharge switching element. The current value can be reduced, and the piezoelectric actuator can operate stably with positive polarity. Furthermore, even a piezoelectric actuator with a large capacitance can be operated efficiently and easily.
【図1】 この発明の第1の実施例を示す駆動回路の
ブロック図[Fig. 1] Block diagram of a drive circuit showing a first embodiment of the present invention
【図2】 駆動回路の出力電圧および圧電セラミック
アクチュエータに流れる電流の時間的推移を示す波形図
[Figure 2] Waveform diagram showing the time course of the output voltage of the drive circuit and the current flowing through the piezoelectric ceramic actuator
【図3】 圧電セラミックアクチュエータの印加電圧
−変位特性図[Figure 3] Applied voltage-displacement characteristic diagram of piezoelectric ceramic actuator
【図4】 この発明の第2実施例を示す駆動回路のブ
ロック図[Fig. 4] Block diagram of a drive circuit showing a second embodiment of the present invention
【図5】 従来の一般的な駆動回路図[Figure 5] Conventional general drive circuit diagram
1 電源端子 2 DC−DCコンバータ 3 発振回路 4 タイミング制御回路 5 充電用スイッチ 6 放電用スイッチ 7 リアクトル 8 ダイオード 9 圧電セラミックアクチュエータ 10 放電抵抗 11 充電用増幅素子 12 放電用増幅素子 13 サイリスタ 14 PNPトランジスタ 15 NPNトランジスタ 1 Power terminal 2 DC-DC converter 3 Oscillation circuit 4 Timing control circuit 5 Charging switch 6 Discharge switch 7 Reactor 8 Diode 9 Piezoelectric ceramic actuator 10 Discharge resistance 11 Charging amplifier element 12 Discharge amplification element 13 Thyristor 14 PNP transistor 15 NPN transistor
Claims (4)
動パルスに変換し、圧電セラミックアクチュエータを駆
動する回路において、圧電セラミックアクチュエータに
リアクトルを直列に接続し、前記リアクトルのインダク
タンスを圧電セラミックアクチュエータの静電容量とリ
アクトルのインダクタンスによる直列共振周波数が駆動
周波数よりも高くなるように設定したことを特徴とする
圧電セラミックアクチュエータ駆動回路。1. In a circuit that converts a DC power output into a drive pulse using a switching element to drive a piezoelectric ceramic actuator, a reactor is connected in series with the piezoelectric ceramic actuator, and the inductance of the reactor is determined by the capacitance of the piezoelectric ceramic actuator. A piezoelectric ceramic actuator drive circuit characterized in that the series resonance frequency due to the inductance of the reactor is set to be higher than the drive frequency.
ラミックアクチュエータの充放電スイッチング素子を遮
断するタイミングを、圧電セラミックアクチュエータに
流れる電流が零になった時点とすることを特徴とする圧
電セラミックアクチュエータ駆動回路。2. The piezoelectric ceramic actuator according to claim 1, wherein the charging/discharging switching element of the piezoelectric ceramic actuator is cut off at a point in time when the current flowing through the piezoelectric ceramic actuator becomes zero. drive circuit.
ラミックアクチュエータに並列にダイオードを接続し、
放電時に圧電セラミックアクチュエータに負極性電圧が
印加されないよう電圧をクランプすることを特徴とする
圧電セラミックアクチュエータ駆動回路。3. In the drive circuit according to claim 1, a diode is connected in parallel to the piezoelectric ceramic actuator,
A piezoelectric ceramic actuator drive circuit characterized by clamping a voltage so that a negative polarity voltage is not applied to the piezoelectric ceramic actuator during discharge.
ラミックアクチュエータの充電スイッチング素子がサイ
リスタで構成されることを特徴とする圧電セラミックア
クチュエータ駆動回路。4. The piezoelectric ceramic actuator drive circuit according to claim 1, wherein the charging switching element of the piezoelectric ceramic actuator is comprised of a thyristor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3124237A JPH04351200A (en) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | Piezoelectric ceramic actuator drive circuit |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP3124237A JPH04351200A (en) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | Piezoelectric ceramic actuator drive circuit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH04351200A true JPH04351200A (en) | 1992-12-04 |
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ID=14880366
Family Applications (1)
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JP3124237A Pending JPH04351200A (en) | 1991-05-29 | 1991-05-29 | Piezoelectric ceramic actuator drive circuit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04351200A (en) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204591B1 (en) | 1998-01-16 | 2001-03-20 | Nec Corporation | Piezoelectric driving circuit |
WO2001071899A3 (en) * | 2000-03-23 | 2002-06-13 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motor and method of making and using same |
US6488652B1 (en) | 1998-02-02 | 2002-12-03 | Medtronic, Inc. | Safety valve assembly for implantable benefical agent infusion device |
US6664714B2 (en) | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7070577B1 (en) | 1998-02-02 | 2006-07-04 | Medtronic, Inc | Drive circuit having improved energy efficiency for implantable beneficial agent infusion or delivery device |
US7187102B2 (en) | 2002-02-06 | 2007-03-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
JP2007097337A (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Brother Ind Ltd | Drive circuit of electromechanical conversion element, and retina scanning/display apparatus therewith |
US7342347B2 (en) | 2001-09-21 | 2008-03-11 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezomotor with a guide |
US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
RU2666191C1 (en) * | 2017-11-03 | 2018-09-10 | Владимир Борисович Комиссаренко | Device for excitation of piezoelectric cells of electro-acoustic converters |
-
1991
- 1991-05-29 JP JP3124237A patent/JPH04351200A/en active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6204591B1 (en) | 1998-01-16 | 2001-03-20 | Nec Corporation | Piezoelectric driving circuit |
US7070577B1 (en) | 1998-02-02 | 2006-07-04 | Medtronic, Inc | Drive circuit having improved energy efficiency for implantable beneficial agent infusion or delivery device |
US6488652B1 (en) | 1998-02-02 | 2002-12-03 | Medtronic, Inc. | Safety valve assembly for implantable benefical agent infusion device |
US6870304B2 (en) | 2000-03-23 | 2005-03-22 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6690101B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-02-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6825592B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-11-30 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6664714B2 (en) | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
WO2001071899A3 (en) * | 2000-03-23 | 2002-06-13 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motor and method of making and using same |
US7173362B2 (en) | 2000-03-23 | 2007-02-06 | Bjoern Magnussen | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7342347B2 (en) | 2001-09-21 | 2008-03-11 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezomotor with a guide |
US7187102B2 (en) | 2002-02-06 | 2007-03-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
JP2007097337A (en) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Brother Ind Ltd | Drive circuit of electromechanical conversion element, and retina scanning/display apparatus therewith |
RU2666191C1 (en) * | 2017-11-03 | 2018-09-10 | Владимир Борисович Комиссаренко | Device for excitation of piezoelectric cells of electro-acoustic converters |
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