JPH04343307A - Laser adjusting device - Google Patents
Laser adjusting deviceInfo
- Publication number
- JPH04343307A JPH04343307A JP14380291A JP14380291A JPH04343307A JP H04343307 A JPH04343307 A JP H04343307A JP 14380291 A JP14380291 A JP 14380291A JP 14380291 A JP14380291 A JP 14380291A JP H04343307 A JPH04343307 A JP H04343307A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide unit
- base
- laser
- adjustment
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
Abstract
Description
【０００１】0001
【技術分野】本発明は、レーザー調整装置に関し、より
詳細には、光ディスクの原盤露光機におけるレーザー調
整装置に関する。例えば、干渉系等の光学実験装置に適
用されるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser adjustment device, and more particularly to a laser adjustment device for an optical disc master exposure machine. For example, it is applied to optical experimental equipment such as an interference system.
【０００２】0002
【従来技術】図４〜図６は、従来のレーザー調整装置を
示す図で、図４（ａ）はレーザー調整装置全体の側面図
、図４（ｂ）は図（ａ）の正面図、図４（ｃ）は図（ａ
）の裏面図、図５（ａ）は調整部の側面図、図５（ｂ）
は図（ａ）の正面図、図６（ａ）はプレートの平面図、
図６（ｂ）は図（ａ）の側面図である。図中、２１はレ
ーザー本体、２２はレーザ出射口、２３，２３ａ〜２３
ｄは調整足、２４は足部、２５はプレート、２６，２７
はねじ、２８は定盤である。4 to 6 are diagrams showing a conventional laser adjustment device. FIG. 4(a) is a side view of the entire laser adjustment device, and FIG. 4(b) is a front view of FIG. 4(c) is the figure (a
), Figure 5(a) is a side view of the adjustment section, Figure 5(b)
is a front view of figure (a), figure 6 (a) is a plan view of the plate,
FIG. 6(b) is a side view of FIG. 6(a). In the figure, 21 is the laser main body, 22 is the laser exit port, 23, 23a to 23
d is an adjustment foot, 24 is a foot portion, 25 is a plate, 26, 27
28 is a screw, and 28 is a surface plate.
【０００３】レーザー本体２１を設置するための足部２
４を、図６に示すプレート２５と２本のねじ２６，２７
で図５に示すようなテコ式により、レーザーについてい
る各調整足２３ａ〜２３ｄを定盤２８に固定して、レー
ザー本体２１を定盤２８に固定する方式のものである。
レーザー本体２１についている４本の調整足２３ａ〜２
３ｄで、レーザー光出射光軸の調整をして固定すること
は、４本の調整足２３ａ〜２３ｄの長さを均等に調整す
ることはむずかしく、特に、１本もしくは前後のななめ
に対する２本の調整足の長さに差があるにもかかわらず
、固定した場合はレーザー本体２１にねじり方向の力が
加わり、レーザー本体２１からの出射光に軸変動や光量
変動が生じる。[0003] Leg section 2 for installing the laser main body 21
4 with the plate 25 and two screws 26, 27 shown in FIG.
This is a system in which the adjustment legs 23a to 23d attached to the laser are fixed to the surface plate 28 by a lever type as shown in FIG. 5, and the laser main body 21 is fixed to the surface plate 28. Four adjustment legs 23a to 2 attached to the laser main body 21
3d, it is difficult to adjust and fix the laser beam emitting optical axis evenly by adjusting the lengths of the four adjustment legs 23a to 23d. Even though there is a difference in the length of the adjustment legs, if they are fixed, a force in a torsional direction is applied to the laser body 21, causing axis fluctuations and light intensity fluctuations in the light emitted from the laser body 21.
【０００４】例えば、レーザーチューブ寿命によりレー
ザーチューブを交換した場合、既設の光学系に合うよう
にレーザー本体を調整することが常であるが、調整の際
にレーザー本体を手で動かして移動調整を行なう。移動
調整とは、以下のような調整手段がある。
■前部のみ動かして角度調整（Ｘ方向）する。
■後部のみ動かして角度調整（Ｘ方向）する。
■前後部ともに平行に動かして位置調整（Ｘ方向）する
。
■前部の調整足の長さを変えて角度調整（Ｙ方向）する
。
■後部の調整足の長さを変えて角度調整（Ｙ方向）する
。
■前後部の調整足の長さを均一に変えて位置調整（Ｙ方
向）する。
■出射光の偏光方向を光学系に合わすため前後の足の左
右の長さを変えて（θ方向）調整する。
このような調整をそれぞれ独立して調整することは難し
く、また固定時にずれる可能性がある。For example, when the laser tube is replaced due to its lifespan, the laser body is usually adjusted to match the existing optical system. Let's do it. Movement adjustment includes the following adjustment means. ■Adjust the angle (X direction) by moving only the front part. ■Adjust the angle (X direction) by moving only the rear part. ■Adjust the position by moving both the front and rear in parallel (X direction). ■Adjust the angle (Y direction) by changing the length of the front adjustment leg. ■Change the length of the rear adjustment leg to adjust the angle (Y direction). ■Adjust the position by changing the length of the front and rear adjustment legs evenly (in the Y direction). ■Adjust the polarization direction of the emitted light by changing the left and right lengths of the front and rear legs (in the θ direction) to match the polarization direction of the emitted light to the optical system. It is difficult to make these adjustments independently, and there is a possibility that the parts may shift when fixed.
【０００５】[0005]
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、レーザー調整時の調整を容易にして、レーザー
本体に余分なストレスを与えることなく、しっかりとレ
ーザー本体を固定するようにしたレーザー調整装置を提
供することを目的としてなされたものである。[Purpose] The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and is designed to facilitate adjustment during laser adjustment and securely fix the laser body without putting extra stress on the laser body. This was made for the purpose of providing a laser adjustment device.
【０００６】[0006]
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
レーザー本体をスペーサを介して一体化されたベースと
、前記レーザー本体の前部に位置するベースに設けられ
た前部スライドユニットと、該前部スライドユニットと
前記ベースとの間に設けられ、前記前部スライドユニッ
トを上下方向に調整するためのシャフトと、前記前部ス
ライドユニットを横方向に調整するための第１の調整ね
じと、前記レーザー本体の後部に位置するベースに設け
られた後部スライドユニットと、該後部スライドユニッ
トと前記ベースとを連結し、該ベースを上下方向に調整
するための第２の調整ねじと、前記後部スライドユニッ
トを横方向に調整するための第３の調整ねじとから成り
、前記ベースを前部スライドユニット及び後部スライド
ユニットにより上下方向及び横方向に独立して調整・固
定すること、更には、（２）前記前部スライドユニット
と前記ベースの連結部をピローボールジョイント構造と
し、前記後部スライドユニットの第２の調整ねじによっ
て３点支持とし、レーザー本体を傾斜・回転させること
を特徴としたものである。以下、本発明の実施例に基づ
いて説明する。[Structure] In order to achieve the above objects, the present invention provides (1)
a base into which the laser main body is integrated via a spacer; a front slide unit provided on the base located at the front of the laser main body; and a front slide unit provided between the front slide unit and the base; a shaft for adjusting the front slide unit in the vertical direction; a first adjustment screw for adjusting the front slide unit in the lateral direction; and a rear slide provided on a base located at the rear of the laser main body. a second adjustment screw for connecting the rear slide unit and the base and adjusting the base in the vertical direction; and a third adjustment screw for adjusting the rear slide unit in the lateral direction. (2) adjusting and fixing the base independently in the vertical and lateral directions by a front slide unit and a rear slide unit; and (2) connecting the front slide unit and the base with a pillow ball. It has a joint structure, is supported at three points by the second adjusting screw of the rear slide unit, and is characterized in that the laser main body can be tilted and rotated. Hereinafter, the present invention will be explained based on examples.
【０００７】図１（ａ），（ｂ）は、本発明によるレー
ザ調整装置の一実施例を説明するための構成図で、図（
ａ）は側面図、図（ｂ）は正面図である。図中、１はレ
ーザー本体、１ａはレーザー出射口、２はスペーサ、３
はベース、４，６はスライドユニット、５は固定ベース
、７ａは第１の調整ねじ、７ｂは第３の調整ねじ、８ａ
，８ｂは固定ねじ、９ａ，９ｂは第２の調整ねじ、１０
はシャフトである。レーザー本体１は既設の調整足のか
わりに４個同一寸法のスペーサ２を介してベース３に固
定することで、レーザー本体１に加わるねじれのストレ
スをなくし、剛性の高い構造となっている。また、ベー
ス３は前後のスライドユニット４，６で固定ベース５に
固定される構成となる。FIGS. 1(a) and 1(b) are configuration diagrams for explaining one embodiment of a laser adjustment device according to the present invention.
Figure a) is a side view, and figure (b) is a front view. In the figure, 1 is the laser body, 1a is the laser exit, 2 is the spacer, and 3
is a base, 4 and 6 are slide units, 5 is a fixed base, 7a is a first adjustment screw, 7b is a third adjustment screw, 8a
, 8b are fixing screws, 9a, 9b are second adjusting screws, 10
is the shaft. By fixing the laser main body 1 to the base 3 through four spacers 2 of the same size instead of the existing adjustment legs, torsional stress applied to the laser main body 1 is eliminated, resulting in a highly rigid structure. Further, the base 3 is configured to be fixed to a fixed base 5 by front and rear slide units 4 and 6.
【０００８】第１の調整ねじ７ａは、前部スライドユニ
ット６を横方向に調整するためのもので、第３の調整ね
じ７ｂは、後部スライドユニット４を横方向に調整する
ためのものである。第２の調整ねじ９ａ，９ｂは、ベー
ス３を上下方向に調整するためのもので、固定ねじ８ａ
，８ｂによりベース３は後部スライドユニット４と固定
される。シャフト１０は前部スライドユニット６とベー
ス３の間に設れられ、該ベース３を上下方向に調整する
。The first adjustment screw 7a is for adjusting the front slide unit 6 in the lateral direction, and the third adjustment screw 7b is for adjusting the rear slide unit 4 in the lateral direction. . The second adjustment screws 9a and 9b are for adjusting the base 3 in the vertical direction, and the fixing screw 8a
, 8b fix the base 3 to the rear slide unit 4. A shaft 10 is installed between the front slide unit 6 and the base 3, and adjusts the base 3 in the vertical direction.
【０００９】図２（ａ），（ｂ）は、後部スライドユニ
ットの構成図で、図２（ａ）は図１（ｂ）を背部より見
た部分図、図２（ｂ）は図２（ａ）の側面図である。後
部スライドユニット４とベース３は２本の調整ねじ９ａ
，９ｂによってベース３を上下し、固定ねじ８ａ，８ｂ
によって固定される。２本の調整ねじ９ａ，９ｂによっ
て上下調整を行なうため、同じ量を動かせば平行に上下
し、左右の調整量を変えればベース３すなわちレーザー
本体１を傾けることができる。次に後部スライドユニッ
ト４は固定ベース５と調整ねじ７ｂで連結されており、
調整ねじ７ｂによって後部スライドユニット４を横方向
へ移動させる構造となっている。横方向への調整は、平
行移動とレーザー出射口１ａを中心にした回転移動であ
るので、後部スライドユニット４と固定ベース５の固定
は後部スライドユニット４に長穴を設けて（図示せず）
固定する方式としている。これらの構成によりレーザー
本体の後部を上下方向と横方向を独立で調整し、固定す
ることが可能となる。2(a) and 2(b) are configuration diagrams of the rear slide unit, FIG. 2(a) is a partial view of FIG. 1(b) seen from the back, and FIG. 2(b) is a partial view of FIG. FIG. The rear slide unit 4 and base 3 have two adjustment screws 9a.
, 9b to raise and lower the base 3, and fixing screws 8a, 8b.
Fixed by Since the vertical adjustment is performed using the two adjusting screws 9a and 9b, the base 3, that is, the laser main body 1, can be tilted by changing the horizontal adjustment amount, and by changing the amount of horizontal adjustment, the base 3, that is, the laser main body 1 can be tilted. Next, the rear slide unit 4 is connected to the fixed base 5 with an adjustment screw 7b.
The structure is such that the rear slide unit 4 is moved laterally by an adjustment screw 7b. Since the adjustment in the lateral direction involves parallel movement and rotational movement around the laser exit port 1a, the rear slide unit 4 and the fixed base 5 can be fixed by providing an elongated hole in the rear slide unit 4 (not shown).
The system is fixed. These configurations make it possible to independently adjust and fix the rear part of the laser body in the vertical and lateral directions.
【００１０】図３は、前部スライドユニットの構成図で
、前部スライドユニット６とベース３はユニバーサルジ
ョイント構造とし、レーザー本体１が傾いてもジョイン
ト部で角度を吸収するようになっている。前部スライド
ユニット６の上下方向の調整は、前部スライドユニット
６にねじ止めとなっているシャフト１０を回わして行な
う。上下方向の調整が終了したらナットで固定する（図
示せず）。次に横方向の調整は後部スライドユニット４
と同様の構造で行なう。以上の構成によれば、レーザー
本体にねじれの力を与えずに調整し、固定する事が可能
となる。また、前部スライドユニット６とベース３の連
結部をピローボールジョイント構造とし、後部スライド
ユニット４の調整ねじ９によって３点支持とし、レーザ
ー本体１を傾けたり、ロールさせたりすることも可能で
ある。FIG. 3 is a configuration diagram of the front slide unit. The front slide unit 6 and the base 3 have a universal joint structure, so that even if the laser main body 1 is tilted, the angle is absorbed by the joint portion. The vertical adjustment of the front slide unit 6 is performed by turning a shaft 10 screwed to the front slide unit 6. Once the vertical adjustment is complete, secure with nuts (not shown). Next, for lateral adjustment, rear slide unit 4
This is done using the same structure as . According to the above configuration, it is possible to adjust and fix the laser body without applying twisting force to the laser body. In addition, the connecting part between the front slide unit 6 and the base 3 has a pillow ball joint structure, and the adjustment screw 9 of the rear slide unit 4 supports the laser body 1 at three points, so that the laser main body 1 can be tilted or rolled. .
【００１１】[0011]
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。
（１）請求項１に対応する効果；レーザー本体を１枚の
ベースに固定しているので、前後のスライドユニットで
調整しても、レーザー本体にストレスがかからないので
調整後、ねじれによる光軸ズレがなくなる。
（２）請求項２に対応する効果；本体内部のレーザーチ
ューブから出射するレーザー光の偏光方向が本体とずれ
ている場合、レーザー本体をロールさせて固定すること
ができる。[Effects] As is clear from the above description, the present invention has the following effects. (1) Effect corresponding to claim 1: Since the laser body is fixed to a single base, even if it is adjusted with the front and rear slide units, no stress is applied to the laser body, so the optical axis shift due to twisting after adjustment. disappears. (2) Effect corresponding to claim 2: If the polarization direction of the laser light emitted from the laser tube inside the main body is shifted from the main body, the laser main body can be rolled and fixed.
【図１】 本発明によるレーザー調整装置の一実施例
を説明するための構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram for explaining an embodiment of a laser adjustment device according to the present invention.
【図２】 後部スライドユニットの構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of the rear slide unit.
【図３】 前部スライドユニットの構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of the front slide unit.
【図４】 従来のレーザー調整装置全体の構成図であ
る。FIG. 4 is an overall configuration diagram of a conventional laser adjustment device.
【図５】 調整部の構成図である。FIG. 5 is a configuration diagram of the adjustment section.
【図６】 プレートの構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of the plate.
１…レーザー本体、１ａ…レーザー出射口、２…スペー
サ、３…ベース、４，６…スライドユニット、５…固定
ベース、７ａ…第１の調整ねじ、７ｂ…第３の調整ねじ
、８ａ，８ｂ…固定ねじ、９ａ，９ｂ…第２の調整ねじ
、１０…シャフト。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Laser body, 1a...Laser exit port, 2...Spacer, 3...Base, 4, 6...Slide unit, 5...Fixed base, 7a...First adjustment screw, 7b...Third adjustment screw, 8a, 8b ...Fixing screw, 9a, 9b...Second adjustment screw, 10...Shaft.
Claims (2)
化されたベースと、前記レーザー本体の前部に位置する
ベースに設けられた前部スライドユニットと、該前部ス
ライドユニットと前記ベースとの間に設けられ、前記前
部スライドユニットを上下方向に調整するためのシャフ
トと、前記前部スライドユニットを横方向に調整するた
めの第１の調整ねじと、前記レーザー本体の後部に位置
するベースに設けられた後部スライドユニットと、該後
部スライドユニットと前記ベースとを連結し、該ベース
を上下方向に調整するための第２の調整ねじと、前記後
部スライドユニットを横方向に調整するための第３の調
整ねじとから成り、前記ベースを前部スライドユニット
及び後部スライドユニットにより上下方向及び横方向に
独立して調整・固定することを特徴とするレーザー調整
装置。1. A base into which a laser body is integrated via a spacer, a front slide unit provided on the base located at the front of the laser body, and a space between the front slide unit and the base. a shaft for adjusting the front slide unit in the vertical direction; a first adjustment screw for adjusting the front slide unit in the lateral direction; and a base located at the rear of the laser main body. a second adjustment screw for connecting the rear slide unit and the base and adjusting the base in the vertical direction; and a second adjustment screw for adjusting the rear slide unit in the lateral direction. 3 adjustment screws, and the base is independently adjusted and fixed vertically and laterally by a front slide unit and a rear slide unit.
スの連結部をピローボールジョイント構造とし、前記後
部スライドユニットの第２の調整ねじによって３点支持
とし、レーザー本体を傾斜・回転させることを特徴とす
る請求項１記載のレーザー調整装置。2. The connecting portion between the front slide unit and the base has a pillow ball joint structure, and is supported at three points by a second adjustment screw of the rear slide unit, so that the laser main body can be tilted and rotated. The laser adjustment device according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14380291A JPH04343307A (en) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | Laser adjusting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14380291A JPH04343307A (en) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | Laser adjusting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04343307A true JPH04343307A (en) | 1992-11-30 |
Family
ID=15347323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14380291A Pending JPH04343307A (en) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | Laser adjusting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04343307A (en) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006080513A1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-08-03 | Nikon Corporation | Laser light source control method, laser light source device, and exposure apparatus |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| CN104656221A (en) * | 2015-02-12 | 2015-05-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Screw-type precise leveling mechanism for optical equipment |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| JP6486447B1 (en) * | 2017-11-27 | 2019-03-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | Laser oscillator support base |
-
1991
- 1991-05-20 JP JP14380291A patent/JPH04343307A/en active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9678437B2 (en) | 2003-04-09 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having distribution changing member to change light amount and polarization member to set polarization in circumference direction |
| US9885959B2 (en) | 2003-04-09 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus having deflecting member, lens, polarization member to set polarization in circumference direction, and optical integrator |
| US9423698B2 (en) | 2003-10-28 | 2016-08-23 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US9760014B2 (en) | 2003-10-28 | 2017-09-12 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus and projection exposure apparatus |
| US10281632B2 (en) | 2003-11-20 | 2019-05-07 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical member with optical rotatory power to rotate linear polarization direction |
| US9885872B2 (en) | 2003-11-20 | 2018-02-06 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method with optical integrator and polarization member that changes polarization state of light |
| US10234770B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-19 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10007194B2 (en) | 2004-02-06 | 2018-06-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US20130271945A1 (en) | 2004-02-06 | 2013-10-17 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| US10241417B2 (en) | 2004-02-06 | 2019-03-26 | Nikon Corporation | Polarization-modulating element, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and exposure method |
| WO2006080513A1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-08-03 | Nikon Corporation | Laser light source control method, laser light source device, and exposure apparatus |
| US9891539B2 (en) | 2005-05-12 | 2018-02-13 | Nikon Corporation | Projection optical system, exposure apparatus, and exposure method |
| US10101666B2 (en) | 2007-10-12 | 2018-10-16 | Nikon Corporation | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9341954B2 (en) | 2007-10-24 | 2016-05-17 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9857599B2 (en) | 2007-10-24 | 2018-01-02 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US9678332B2 (en) | 2007-11-06 | 2017-06-13 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| CN104656221A (en) * | 2015-02-12 | 2015-05-27 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | Screw-type precise leveling mechanism for optical equipment |
| CN104656221B (en) * | 2015-02-12 | 2017-06-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | A kind of spiral accurate levelling gear for optical device |
| JP6486447B1 (en) * | 2017-11-27 | 2019-03-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | Laser oscillator support base |
| WO2019102632A1 (en) * | 2017-11-27 | 2019-05-31 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | Laser oscillator support base |
| JP2019096813A (en) * | 2017-11-27 | 2019-06-20 | 馬鞍山市明珠電子科技有限公司 | Laser oscillator support pedestal |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04343307A (en) | Laser adjusting device | |
| JPH06507026A (en) | Improved optical mounting device | |
| US5257051A (en) | Method and apparatus for adjusting the optical alignment of a film projection system | |
| CN107490868A (en) | It is a kind of that there is the medical image of height and angular adjustment to see sheet devices | |
| TWI311391B (en) | Laser module for projecting a linear laser beam | |
| JP2808094B2 (en) | Laser device for ink marking | |
| US2612818A (en) | Attachment for projectors for projecting stereoscopic pictures | |
| CN210219100U (en) | Stereo projector | |
| JP2002221416A (en) | Line generator marking device | |
| JP4591642B2 (en) | Laser line projector | |
| JP2000019380A (en) | Mirror holding and adjustment device | |
| JP2007307072A (en) | Wheelchair | |
| JP2900131B2 (en) | Laser light emitting device | |
| JPH10268752A (en) | Mirror device for lecture class | |
| JPH0415930B2 (en) | ||
| JPH0624808Y2 (en) | Eyeglasses with adjustable temples | |
| JPH024646Y2 (en) | ||
| US1830596A (en) | Adjustable mounting for picture projection apparatus | |
| US6554435B2 (en) | Image display device and adjusting mechanism | |
| JPS59111614A (en) | Adjusting device for angle of 90× deflecting mirror | |
| JPH1115076A (en) | Video display mechanism and video display device using the same | |
| JPS58199980A (en) | Hinge | |
| JPS59177988A (en) | Mounting and adjusting mechanism of semiconductor laser | |
| JPS61105890U (en) | ||
| US1323377A (en) | Stand for projecting apparatus |