JPH0375515A - 駆動装置 - Google Patents

駆動装置

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JPH0375515A
JPH0375515A JP1212677A JP21267789A JPH0375515A JP H0375515 A JPH0375515 A JP H0375515A JP 1212677 A JP1212677 A JP 1212677A JP 21267789 A JP21267789 A JP 21267789A JP H0375515 A JPH0375515 A JP H0375515A
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JP
Japan
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axis
driven member
moving
workpiece
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JP1212677A
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Osamu Arai
荒井 治
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Nikon Corp
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Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ジョイスティック等の移動情報を発生する装
置からの移動情報に基づいて、被駆動部材を駆動する駆
動装置に関する。
〔従来の技術〕
この種の駆動装置の一例として被駆動部材としてのプロ
ーブを駆動する3次元座標測定機がある。
従来の代表的な3次元座標測定機は、機械座標系(直角
座標)の3つの座標軸(X軸、Y軸、Z軸)に沿って案
内部材、駆動部材等を有し、操作ボックスに設けられた
ジョイスティックの操作により被駆動部材としてのプロ
ーブの各軸方向への移動を指令する。ジョイスティック
は駆動指令を与えるための入力装置として良く使用され
ており、常時は中立位置にある操作レバーの傾斜方向と
傾斜角により、プローブの移動方向と移動速度を指令す
るのが通例である。3次元座標測定機では、通常2つの
ジョイスティックの操作レバーによって3軸の指令を行
っている。
すなわち、第1のジョイスティックの操作レバーによっ
てX軸、Y軸に沿った移動を、第2のジョイスティック
の操作レバーによってZ軸に沿った駆動を指令する。
例えば第1のジョイスティックの操作レバーを左右へ倒
せば、X軸に沿った駆動指令がプローブに与えられ、こ
のときの操作レバーの傾き角がプローブの移動速度に対
応する。また、第1のジョイスティックの操作レバーを
前後に倒せばY軸に沿った駆動指令がプローブに与えら
れる如くである。
そして、第1のジョイスティックの操作レバーを任意の
方向へ傾斜させれば、その傾斜角の左右、前後方向の収
骨がプローブの運動指令として用いられ、その結果、プ
ローブはX−Y平面の任意の方向へ移動することになる
このようにしてプローブを移動してワークに当接し、そ
の時々のプローブの座標値をエンコーダ等で読み取るこ
とによって、ワークの幾何学的形状を測定するわけであ
る。
ところが、ワークのなかには円柱などのように、機械座
標系によるプローブの動きでは測定しにくいものがある
そのために、特開昭62−69114号では、装置に固
有な少なくとも2軸以上の第1の種類の座標系の座標軸
に沿って被駆動部材を駆動する駆動手段と、手動操作に
より得られる駆動信号に基づいて前記駆動手段に駆動指
令を与える駆動指令手段と、を有する駆動装置において
、前記駆動信号を前記第1の種類の座標系とは異なる第
2の種類の座標系によるものと読み替えると共に、前記
被駆動部材を前記第2の種類の座標系によって移動せし
める駆動指令を前記駆動手段に与える読替手段を前記駆
動指令手段に設けたことを特徴とする異種座標系による
駆動装置を提案しており、それによって、例えば直角座
標系である第1の種類の座標系に基づく駆動装置であり
ながら、被駆動部材を第2の種類の座標系(例えば円柱
座標系)に沿って移動させている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、このような従来の技術では、円柱座標や
極座標のような座標系により表現することが適当でない
特殊形状のカムのようなワークの測定には不向きである
このようなワークの場合には、ワークの外形に沿ったプ
ローブの動きが1軸の操作でできることが望まれる。
〔課題を解決するための手段〕
そこで本発明は、装置に固有な少なくとも2軸の座標系
の各座標軸に沿って被駆動部材(11)を駆動する駆動
手段と(5,6,7,8,9,10)と、手動操作によ
り前記座標系の各軸に対応した速度及び方向を有する移
動情報(VIIX、V#Y、V tw )を発生する移
動情報発生手段(100,200,1a、2a、3a)
と、前記移動情報発生手段の移動情報に基づいて前記駆
動手段に駆動指令を与える駆動指令手段(4、tb、2
b、3b)と、を有する駆動装置において、前記駆動指
令手段に、前記座標系の各軸に対応した移動情報の各々
を、所定平面上におけるワークの外形に相似な形状に沿
って前記被駆動部材を移動させる第1の移動情報、およ
び、前記相似な形状から前記ワークへ向かう方向へ前記
被駆動部材を移動させる第2の移動情報に、少なくとも
対応させる変換手段(ステップ250〜258)と、前
記被駆動部材を前記ワークの外形に相似な形状に沿って
移動させるように前記第1の移動情報から前記各軸の速
度及び方向を演算すると共に、前記被駆動部材を前記相
似な形状から前記ワークへ向かう方向へ移動させるよう
に、前記第2の移動情報から前記各軸の速度及び方向を
演算する演算手段(ステップ259.260)と、を設
け、前記演算手段の演算結果を前記駆動手段に駆動指令
として与える駆動装置によって、上記課題を解決し、 また、前記駆動装置は、前記駆動手段が装置に固有の3
軸の座標系の各座標軸に沿って被駆動部材を駆動するよ
うに構成されると共に、前記移動情報発生手段が前記3
軸の座標系の各軸に対応した移動情報を発生するように
構成された3次元座標測定装置であって、前記変換手段
は、前記3軸のうちの1軸に対応した移動情報を前記ワ
ークの中心軸の方向へ前記被駆動部材を移動させる第3
の移動情報に、前記3軸のうちの他の1軸に対応した移
動情報を前記中心軸に直交する平面内にある前記ワーク
の外周形状に相似な形状の方向へ前記被駆動部材を移動
させる第4の移動情報に、前記3軸のうちの残りの1軸
に対応した移動情報を前記中心軸に直交する方向へ前記
被駆動部材を移動させる第5の移動情報に、それぞれ対
応させるように構成され、前記演算手段は、前記第3の
移動情報、前記第4の移動情報、前記第5の移動情報か
ら前記各軸の速度及び方向をそれぞれ演算するように構
成され、前記演算手段の演算結果を前記駆動手段に駆動
指令として与える駆動装置によって、3次元座標測定機
の駆動装置として上記課題を解決した。
〔作用〕
本発明においては、本来、装置に固有な少なくとも2軸
の座標系の各座標軸に対応した速度及び方向を有する移
動情報が、所定平面上におけるワークの外形に相似な形
状に沿って前記被駆動部材を移動させる第1の移動情報
、および、前記相似な形状から前記ワークへ向かう方向
へ前記被駆動部材を移動させる第2の移動情報に読替え
られるので、1軸の操作によりワークの外形に沿って被
駆動部材を移動させることができる。
特に、3次元座標測定機において、ワークの形状に応し
た簡単な駆動指令が行えるので、操作性が向上し、測定
時間が大幅に短縮できる。
〔実施例〕
以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明する
第1図は本発明の一実施例の駆動装置を3次元座標測定
機に応用したブロック図であって、ジョイスティック1
00.200は、夫々操作レバーを有し、この操作レバ
ーは、ばねの力によって起立した中立点を原点として操
作レバーを含む1つもしくは直交する2つの鉛直面内に
おいて、正負に60’程度傾は自在に軸支されており、
その回転軸がボテンシタメータ等に接続され、ボテジシ
ッメータによって操作レバーの傾は角度に対応した信号
を出力するように構成されている。ジョイスティック1
00から出力される2つの直交面内での操作レバー傾き
角度に対応した信号は、プローブのX軸方向及びY軸方
向の移動情報となり、ジョイスティック200から出力
される操作レバー傾き角度に対応した信号は、プローブ
のY軸方向の移動情報となる。これらの移動情報はA/
Dコンバータ1a、2a、3aにてデジタル信号に変換
するようになっている。このようにしてA/Dコンバー
タ、1a、2a、3aにてデジタル信号に変換された移
動情報vaXsvfY、■吃は、マイクロコンピュータ
4に入力される。マイクロコンピュータ4は、第2図の
如きフローチャートに基づき移動情報V、X、Vイ、V
アを移動部材の移動速度に対応した駆動信号V、 、V
v 、Vzに変換し出力する。駆動信号V、 、Vv 
、VzはD/Aコンバータ1b、2b、3bにてアナロ
グ信号に変換され、X方向ドライバ回路5、Y方向ドラ
イバ回路6、X方向ドライバ回路7に入力される。
各ドライバ回路5.6.7は、対応するモータ8.9.
10を駆動する。従って移動部材(被駆動部材)11は
、三次元移動されることになる。移動部材11の座標は
、装置原点からの移動量を測定する各軸のエンコーダ1
2.13.14で読み取られ、コンピュータ4に人力さ
れる。
駆動選択スイッチ15は、マイクロコンピュ−タ4が移
動情報V#X、Vff、■πにどのような意味を与える
か(どのような移動情報に変換するか)を選択するスイ
ッチであり、あらかしめ定められたいくつかのパターン
の中から使用時に選択するか、使用者の指定に応じてコ
ンピュータ4が以後移動情報VIIX s vIIY、
■、Zに与える意味を変更することを指示するものであ
る。
なお、説明が複雑になるのを避けるために、第2図、第
3図のフローチャートは2次元的な取扱いのできるワー
クの場合を例にしている。そして、第2図は概略的なフ
ローチャート、第3図は第2図の一部を詳細に示したフ
ローチャートである。
第2図において、マイクロコンピュータ4はまず第1ジ
ヨイステイツク100の傾は角度及び方向に対応した移
動情報vex、vrrを読込み(ステップ20)、これ
らがある値を持っているときは(ステップ21)、次に
駆動選択スイッチ15から選択指令が行なわれているか
否かを判断する(ステップ22)。
選択指令が行なわれていなければ、移動情報VaXを駆
動信号vXに変換すると共に、移動情報Vaを駆動信号
V7に変換しくステップ23)、出力する(ステップ2
4)。
選択指令があれば(ステップ22)、選択された形状に
応じて移動情報V #X % V 稈、を3次元座標測
定機のX−Y座標上での形状データに対応させ、移動情
報vaKに応じて駆動信号V、 、V、を変化させ、移
動情報vtYに応じて駆動信号V8、■、を変化させる
(ステップ25)。
すなわち、例えば第4図に示したように、ワークW1″
を考えると、移動情報vaxによって、例えば、ワーク
W1の外形に沿ってプローブが移動するように(右回り
、左回りは信号の正負による)、駆動信号V、、V、を
変化させ、移動情報vaによって例えば、プローブがワ
ークWIの外形の方向(近づいたり、遠ざかったりは信
号の正負による)へ向かって移動するように、駆動信号
Vヨ、V7、を変化させる。
ステップ25について第3図を用いて詳述するに、選択
指令がある場合には(ステップ22)、座標データのあ
らかじめ入力されている形状が選択されたのか、座標デ
ータのあらかじめ人力されていない形状が選択されたの
かを判断する(ステップ250)、座標データのあらか
じめ入力されている形状(例えば、第4図のワーク前1
゛の基になる形状Wlとする)の場合には、指定された
形状の座標データ(第4図の形状Wlの座標データが機
械座標系MX−MYと所定の関係にある座標系wx−w
yにて指定される)を不図示の外部メモリから読み込む
(ステップ251)、このデータは形状毎に定めた座標
系wx−wyに基づいた座標データである。
次いで、上記形状WlのワークW、°を被測定物として
ステージ上に置き(そのとき、第4図に示したように機
械座標系wx−wyに対する形状W、のデータとワーク
W1との機械座標系WX−WYでのデータは一部しない
)、ステージ上のワークの原点m+’ (これは形状毎
に決められている・・・・・・第4図のmI)及び傾き
(これも形状毎に基準の方向が決められている)のデー
タをプローブによってワークを測定することにより人力
する0通常はワーク上に基準となる2つの点(第4図m
とmz)が設けられており、プローブでその点を当たる
ことによりMX−MYIll系での座標値(MX、、M
Y、)、(MX2、MYz )を読み込めばよい(ステ
ップ252)、そして、第4図の場合には、点m1がワ
ークW+’の座標系WX−Wyの原点であり、方向ml
’mt’がwy軸の方向を示す。形状Wlの座標系WX
−WY(!:i械座標系MX−MYとの関係は、あらか
しめ形状Wlのデータを作成するときに原点m+  (
MXo 、MY。
ンとMX軸に対するwy軸の1頃きθ、がわかっている
から、指定された形状Wlの座標データを機械座標系(
MX−MY)における座標データに変換する(ステップ
254)。
そして、ステップ254で求めた形状WIの機械座標系
(MX−MY)での座標値と、ワークW、2つの基準点
m1°m2°の座標値(MX、 、MY、)、(MX、
 、MYt )とからワークW、°の機械座標系(MX
−MY)での座標データを求める(ステップ255)。
つぎに、ワークW1の外形に対する現在のプローブの位
?IfAのオフセットI(外形までの最短路M)を求め
、この位fAがワークW1゛の外形に相似な形状(全て
の点でほぼ同じオフセラ)Iを有している)の上にある
ようなワークW1゛の相似形状データを作成する(ステ
ップ256)。
第5図の拡大模式図に示したように、ワークW、°の外
形の一部をLoとし、ステップ256で求めた相似な形
状をり、とすれば、現在のプローブの位置Aから相似形
状を所定ステップで直線近似し、各基準となる座標値(
位置P+、Pt、・・・・・・・・・)の座標値と隣接
する位置間の単位ベクトル(e□・・・・・・exs・
・・・・・)を機械座標系MX−MYで求める(ステッ
プ257)。
また、基準となる位置(P+、Pt、・・・・・・)及
びその間において、ワークW、゛の外形に当接する方向
(最短路#)の単位ベクトル(eVl6、・・・・・・
eVl、・・・・・・eY3+、・・・・・・)を機械
座標系MX−MYで求める(ステップ25B)。
ついで、移動情報vexに応じてプローブがステップ2
56で求めた相似形状上を移動するように、プローブが
ステップ257で求めた基準位置を通り、各基準位置の
間では単位ベクトル(e□、−・・・・・)の方向とな
るように駆動信号V、、Vvを調整する(ステップ25
9)、具体的にはまず、移動情報vexの正負(ジョイ
スティックの操作レバーを中立点に対していずれの側に
倒したかによる)により、プローブの移動方向が決定さ
れ、プローブの倒す角度によってプローブの移動方向が
決まるのであるが、プローブが基準位置にくるまでは、
単位ベクトル(e□・・・・・・)のx、Y酸分に、プ
ローブの傾き角度に応した係数をかけた値に比例するよ
うに駆動信号V、、Vvを作成する。
また、移動情報v稈に応じてプローブがステップ258
で求めた方向(法線方向)へ移動するように、移動情報
V、に応じて駆動信号vlllYvを調整する(ステノ
ブ260)。
ところで、ステップ250において、座標データが人力
されていないと判断されると、ワークの座標データを測
定する必要がある。そのステップが261.262であ
り、プローブをワークにヒツトすることで、座標データ
を蓄積する。このようにして座標データが蓄積されれば
、あとはステップ256以降を行なうことになる。
以上のようにしてステップ25が終了すると、第2図に
示したように、駆動信号V、、V、が出力される(ステ
ップ24)。
その結果、作業者は、ジョイスティックの操作レバーを
倒す方向と角度とを調整して移動情報■、Xを出すと、
プローブは、プローブの初めの位置を基準位置として、
ワークW、゛と相似な形状上を倒した角度に応じた速度
で移動する。つぎに、操作レバーを倒す方向を90度変
えて移動情報VfYを出すと、プローブはワークW1゛
に近づいたり遠ざかったりするが、プローブをワークW
1゛に近づけてワークW1をヒツトすれば、その点での
ワークW、+の座標値が読み込まれることになる。
このようにして、簡単な操作によって、ワークW1”の
測定が行なえる。
以上のフローチャートは、2次元的な取扱いのできるワ
ークの場合を例にしたが、厚みのあるワ−りの場合には
、厚み方向を移動情報vftに対応させればよい。
具体的には、移動情報V、をワーク(例えば円筒)の中
心軸の方向へプローブを移動させるように、移動信号V
つ、Vy、V2を調整し、移動情報Vexを中心軸に直
交する平面内にあるワークの外周形状に相似な形状の方
向へプローブを移動させるように、移動信号V、 、V
v、V、を調整し、移動情報v#Yを中心軸に直交する
方向へプローブを移動させるように、移動信号V−lV
y−Vzを調整すればよい。
〔発明の効果] 以上のように本発明によれば、ワークの形状に合わせて
移動情報発生手段(ジョイスティック)の手動操作(操
作レバーの操作)が簡略化されるので、操作性がきわめ
て良くなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図は第1
図のマイクロコンピュータのフローチャート、第3は第
2図のフローチャートの一部を詳細に示したフローチャ
ート、第4図は本発明の実施例の座標関係を示す説明図
、第5図は本発明の実施例のデータの求め方を説明する
ための図、である。 〔主要部分の符号の説明〕 100.200・・・・・・・・・ジョイスティック、
Vex、 V#Y、 Vア・・・・・・移動情報、4・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・マイクロコンピュータ、V、、Vv、V2・・・・・
・駆動信号、11・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・移動部材。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)装置に固有な少なくとも2軸の座標系の各座標軸
    に沿って被駆動部材を駆動する駆動手段と、手動操作に
    より前記座標系の各軸に対応した速度及び方向を有する
    移動情報を発生する移動情報発生手段と、前記移動情報
    発生手段の移動情報に基づいて前記駆動手段に駆動指令
    を与える駆動指令手段と、を有する駆動装置において、 前記駆動指令手段に、 前記座標系の各軸に対応した移動情報の各々を所定平面
    上におけるワークの外形に相似な形状に沿って前記被駆
    動部材を移動させる第1の移動情報、および、前記相似
    な形状から前記ワークへ向かう方向へ前記被駆動部材を
    移動させる第2の移動情報に、少なくとも対応させる変
    換手段と、前記被駆動部材を前記ワークの外形に相似な
    形状に沿って移動させるように前記第1の移動情報から
    前記各軸の速度及び方向を演算すると共に、前記被駆動
    部材を前記相似な形状から前記ワークへ向かう方向へ移
    動させるように、前記第2の移動情報から前記各軸の速
    度及び方向を演算する演算手段と、 を設け、前記演算手段の演算結果を前記駆動手段に駆動
    指令として与えることを特徴とする駆動装置。
  2. (2)前記駆動装置は、前記駆動手段が装置に固有の3
    軸の座標系の各座標軸に沿って、被駆動部材を駆動する
    ように構成されると共に、前記移動情報発生手段が前記
    3軸の座標系の各軸に対応した移動情報を発生するよう
    に構成された3次元座標測定装置であって、前記変換手
    段は、前記3軸のうちの1軸に対応した移動情報を前記
    ワークの中心軸の方向へ前記被駆動部材を移動させる第
    3の移動情報に、前記3軸のうちの他の1軸に対応した
    移動情報を前記中心軸に直交する平面内にある前記ワー
    クの外周形状に相似な形状の方向へ前記被駆動部材を移
    動させる第4の移動情報に、前記3軸のうちの残りの1
    軸に対応した移動情報を前記中心軸に直交する方向へ前
    記被駆動部材を移動させる第5の移動情報に、それぞれ
    対応させるように構成され、 前記演算手段は、前記第3の移動情報、前記第4の移動
    情報、前記第5の移動情報から前記各軸の速度及び方向
    をそれぞれ演算するように構成され、 前記演算手段の演算結果を前記駆動手段に駆動指令とし
    て与えることを特徴とする請求項(1)記載の駆動装置
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Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05257514A (ja) * 1991-12-02 1993-10-08 General Electric Co <Ge> 機械補償方法、並びにコンピュータ数値制御機械用の機械補償システム及びプログラム
JP2008085718A (ja) * 2006-09-28 2008-04-10 Fujitsu Ltd 無線通信システム,基地局装置及び移動端末装置

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