JPH02253818A - Method and apparatus for recovery of gas - Google Patents

Method and apparatus for recovery of gas

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JPH02253818A
JPH02253818A JP1076089A JP7608989A JPH02253818A JP H02253818 A JPH02253818 A JP H02253818A JP 1076089 A JP1076089 A JP 1076089A JP 7608989 A JP7608989 A JP 7608989A JP H02253818 A JPH02253818 A JP H02253818A
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mixed
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久保田 仁士
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明 土井
Zenichi Takano
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  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

PURPOSE:To miniaturize the apparatus by adsorbing the target gas in a mixed gas with activated carbon and heating the activated carbon adsorbing the gas to desorb the adsorbed gas. CONSTITUTION:In the case freon R113 is recovered from the air contg. freon R113, the mixed gas is sent from a gas supply opening 3 into gas adsorption units 2. The activated carbon 23 in the adsorption unit 2 is cooled by the coolant which is supplied from a cooler 27 and circulated through a coil 22 and a jacket 21, and the freon R113 in the mixed gas is adsorbed by the activated carbon 23. Then, a valve 5 is operated to close an inlet 11 and an outlet 11a, and a three-way valve 26 is changed over so that heated coolant sent from a heater 28 is supplied into the jacket 21 instead of the coolant sent from the cooler 27. Thus, the activated carbon is heated, and the adsorbed gas is desorbed.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明はガスの回収方法及び回収装置に関する。[Detailed description of the invention] Industrial applications The present invention relates to a gas recovery method and a gas recovery device.

更に1t−t <はフロン・ガス、アlレコーlレガス
、トリクロロエチレン、I・リクロルエタ〉゛、パーク
ロルエチレンその池の通常のガスと空気等との混合気体
から、それらのガスを回収する、ガスの回収方法及び回
収装置に関する。
In addition, 1t-t is chlorofluorocarbon gas, alcoholic acid, trichlorethylene, alcoholic acid, perchlorethylene, and gases that are recovered from a mixture of ordinary gas and air in the pond. The present invention relates to a collection method and a collection device.

従来の技術 従来上記のような混合気体から各種のガスを回収する場
合、−aに活性炭が用いられる。そして該活性炭に吸着
されたガス、例えば、それがフロンR113であるとす
ると、同ガスの活性炭からの脱着は、同活性炭に水蒸気
を与えることによって行われる。
2. Description of the Related Art Conventionally, when recovering various gases from a gas mixture as described above, activated carbon is used for -a. If the gas adsorbed on the activated carbon is, for example, Freon R113, the gas is desorbed from the activated carbon by applying water vapor to the activated carbon.

発明が解決しようとする課題 しかし、上記のようなガスの回収方法によると7水蒸気
発生装置、及び高温蒸気配管等が必要となるため設備が
大型となることが避けられない、又水蒸気により脱着し
た後の活性炭は長時間の風乾を要し、かつ又この風乾の
際に活性炭中に残存していたフロンR113が大気中に
多量に放出され、公害を起す。
Problems to be Solved by the Invention However, the above-mentioned gas recovery method requires a steam generator, high-temperature steam piping, etc., so it is unavoidable that the equipment becomes large-sized. The activated carbon requires a long time to be air-dried, and during this air-drying, a large amount of Freon R113 remaining in the activated carbon is released into the atmosphere, causing pollution.

この発明は上記のような各種の問題を解決するためにな
されたもので、その目的は、比較的小型で、公害を起す
恐れのないガス回収装置を提供することである。
This invention was made to solve the various problems mentioned above, and its purpose is to provide a gas recovery device that is relatively small and does not cause pollution.

課題を解決するための手段 上記の目的を達成するこの発明を、まず回収方法につい
て述べるとそれは、活性炭に複数のガスから成る混合気
体を供給して、該活性炭に、前記混合気体中の目的とす
るガスを吸着せしめ、ガスを吸着した該活性炭を加熱し
て、吸着したガスを脱着せしめ、脱着した該ガスを、加
熱したキャリヤエヤにより回収するガスの回収方法であ
る9 又、キャリヤエヤは活性炭に対して前記混合気体の供給
方向と逆らう方向から供給する前記ガスの回収方法であ
る。
Means for Solving the Problems The present invention, which achieves the above object, will first be described in terms of a recovery method.It involves supplying activated carbon with a gas mixture consisting of a plurality of gases, and causing the activated carbon to meet the purpose in the gas mixture. This is a gas recovery method in which the activated carbon that has adsorbed the gas is heated, the adsorbed gas is desorbed, and the desorbed gas is recovered using a heated carrier air9. In this method, the gas is supplied from a direction opposite to the direction in which the mixed gas is supplied.

又複数のガスから成る混成気体を、該混成気体中の目的
とするガスのみをその沸点以下に冷却して液fヒせる冷
却装置に導入して前記ガスの一部を液化して分離させ、
更に前記混成気体を。
Further, a mixed gas consisting of a plurality of gases is introduced into a cooling device that cools only the target gas in the mixed gas below its boiling point and liquefies it, so that a part of the gas is liquefied and separated,
Furthermore, the above-mentioned mixed gas.

前記冷却装置の下流に接続した液化装置に導入し、該液
化装置において、前記ガスの残余を、その凝固点以下に
冷却して凝固させ、該凝固したガスを、該ガスの凝固点
以上で、かつ沸点以下の温度に加熱して液化分離せしめ
るガスの回収方法である。
The remainder of the gas is introduced into a liquefaction device connected downstream of the cooling device, and in the liquefaction device, the remainder of the gas is cooled to a temperature below its freezing point to solidify, and the solidified gas is cooled to a temperature above the freezing point of the gas and a boiling point. This is a gas recovery method that involves heating the gas to the following temperature to liquefy and separate it.

又、混成気体は活性炭により吸着され、かつ脱着されて
濃縮されたガ不を含む空気である。前記ガスの回収方法
である。
Further, the mixed gas is air containing gas which is concentrated by being adsorbed and desorbed by activated carbon. This is a method for recovering the gas.

又、複数のガスの混成した混成気体を5液化装置により
、該混成気体中の目的とするガスの凝固点以下に冷却し
て目的とするガスを凝固せしめ、次に凝固した該ガスを
、該ガスの凝固点以上で、かつ沸点以下の温度に加熱し
て渣(ヒせしめ1回収するガスの回収方法である。
In addition, a mixed gas consisting of a plurality of gases is cooled to below the freezing point of the target gas in the mixed gas using a 5-liquefaction device to solidify the target gas, and then the solidified gas is This is a gas recovery method in which gas is recovered by heating it to a temperature above the freezing point and below the boiling point.

又混成気1本は活性炭により吸着され、かつ脱着されて
濃縮されたガスを含む空気である前記ガスの回収方法で
ある。
In addition, one mixed gas is a method for recovering the gas, which is air containing concentrated gas that is adsorbed and desorbed by activated carbon.

又、液fヒ装置から排出された混成気体は前記活性炭に
供給される前記ガスの回収方法である。
Further, the mixed gas discharged from the liquid fusing device is a method for recovering the gas supplied to the activated carbon.

次に、前記の目的を達成するこの発明の装置について述
べると、それは、ヒータを有する、活性炭を収容した吸
着装置と、該吸着装置に設けた。複数のガスから成る混
合気体の入口及び出口と、前記吸着装置に設けたキャリ
ヤエヤの入口及び出口と、該キャリヤエヤの入口に接続
したキャリヤエヤの通路に加熱器を設けたガスの回収装
置である。
Next, the apparatus of the present invention which achieves the above object will be described. It includes an adsorption apparatus containing activated carbon and equipped with a heater, and an adsorption apparatus provided in the adsorption apparatus. This gas recovery device is provided with a heater in an inlet and an outlet of a mixed gas consisting of a plurality of gases, an inlet and an outlet of a carrier air provided in the adsorption device, and a passage of the carrier air connected to the inlet of the carrier air.

又、吸着装置におけるキャリヤエヤの入口は、前記混合
気体の入口の反対側に形成されている前記ガスの回収装
置である、 又、複数のガスの混成した混成気体を収容する。
Further, the inlet of the carrier air in the adsorption device is the gas recovery device formed on the opposite side of the inlet of the mixed gas, and also accommodates a mixed gas in which a plurality of gases are mixed.

f71 (ヒ装置のハウジングと、該ハウジングに設け
られた、前記混成気体中の目的とするガスを。
f71 (A housing of the device and a target gas in the mixed gas provided in the housing.

該ガスの凝固点以下に冷却する冷却器と、凝固した前記
ガスを、該ガスの凝固点より高くてかつ沸点より低い温
度に加熱する加熱装置から成るガスの回収装置である。
This gas recovery device includes a cooler that cools the gas to a temperature below its freezing point, and a heating device that heats the solidified gas to a temperature higher than its freezing point and lower than its boiling point.

又、液化装置のハウジングは該ハウジングの上流に設け
た複数のガスから成る混合気体中の前記ガスを吸着し、
かつ脱着させて濃縮させる活性炭による吸着装置に接続
されている前記ガスの回収装置である。
Further, the housing of the liquefaction device adsorbs the gas in a mixed gas consisting of a plurality of gases provided upstream of the housing,
The gas recovery device is connected to an adsorption device using activated carbon for desorption and concentration.

又、複数のガスの混成した混成気体を収容するゲージン
グと、該ケーシングに設けられた、前記混成気1本中の
目的とするガスを、該ガスの沸点以下に冷却して液化さ
せる冷却装置と、該冷却装置の下流に、該冷却装置と接
続して設けられた液化装置のハウジングと、該ハウジン
グに設けられた。前記混成気体中の目的とするガスを、
該ガスの凝固点以下に冷却する冷却器と、凝固した前記
ガスを、該ガスの凝固点より高くてかつ沸点より低い温
度に加熱する加熱装置から成るガスの回収装置である。
Also, a gauging device for accommodating a mixed gas consisting of a plurality of gases, and a cooling device provided in the casing for cooling and liquefying a target gas in one of the mixed gases to a temperature below the boiling point of the gas. , a housing of a liquefaction device provided downstream of the cooling device and connected to the cooling device; and a housing of the liquefaction device provided in the housing. The target gas in the mixed gas,
This gas recovery device includes a cooler that cools the gas to a temperature below its freezing point, and a heating device that heats the solidified gas to a temperature higher than its freezing point and lower than its boiling point.

又、ケーシングは、該ケーシングの上流に設けた。 t
V数のガスから成る混合気障中の前記ガスを吸着し、か
つ脱着させて濃縮させる、活性炭による吸着装置に接続
されている前記ガスの回収装置である4 又、吸着装置は前記ハウジングに形成された混成気体の
排出口に接続されている前記ガスの回収装置である。
Moreover, the casing was provided upstream of the casing. t
4. The gas recovery device is connected to an activated carbon adsorption device that adsorbs, desorbs, and concentrates the gas in a mixed gas mixture consisting of gases having a number of V.4 The adsorption device is formed in the housing. The gas recovery device is connected to the discharge port of the mixed gas.

又、内部に活性炭を収容した容器状の吸着装置であって
、気体の入口及び出口を有し、この両日のうち少なくと
も入口に、リニアアクチエータに設けた蓋部材が設けら
れているガスの吸着装置である。
Further, the adsorption device is a container-shaped adsorption device containing activated carbon inside, and has a gas inlet and an outlet, and at least the inlet is provided with a lid member provided on a linear actuator. It is a device.

又、内部に活性炭を収容する容器状の吸着装置であって
、気体の入口及び出口を有し、この両口のうち少なくと
も入口にロータリーダンパが設けられているガスの吸着
装置である。
The present invention is also a container-shaped adsorption device that houses activated carbon therein, and has a gas inlet and an outlet, and a rotary damper is provided at least at the inlet of the two ports.

実施例 第1図において1は吸着ユニットであり、第2図及び第
7図に示すような吸着装置2が、−例として4111が
夫々第1図に示す気体供給口3に接続されている。4は
混合気体管を示す、第1図及び第2図において5は夫々
弁であり、例としてリニヤアクチエータを用いた弁が用
いられ具体的にはエアシリンダが用いられた。第2図に
おいて6はAボート、7はBボート、8はピストン、9
はピストンロッド、lOは蓋部材、11は吸着装置2の
入口、llaは同出口を示す、そしてこのようにリニヤ
アクチエータを用いた弁5を使用することにより、吸着
装置2の入口、出口1.1.Haを大きく形成した場合
に、それに対応して蓋部材を大きくすることが容易であ
る。そして前記入口、出口11. Ilaを比較的大き
く形成することにより、吸着装置、2内の活性炭に対す
る混合気体の供給の速度を比較的緩やかにすることがで
き、このためガスの吸着を効果的にすることができる。
Embodiment In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an adsorption unit, and an adsorption device 2 as shown in FIGS. 2 and 7 is connected to the gas supply port 3 shown in FIG. 1, as an example, 4111. Reference numeral 4 designates a mixed gas pipe, and in FIGS. 1 and 2, 5 represents a valve. As an example, a valve using a linear actuator was used, and specifically, an air cylinder was used. In Figure 2, 6 is the A boat, 7 is the B boat, 8 is the piston, and 9
is the piston rod, lO is the lid member, 11 is the inlet of the adsorption device 2, and lla is the outlet. By using the valve 5 using a linear actuator in this way, the inlet and the outlet 1 of the adsorption device 2 are .1. When Ha is made large, it is easy to make the lid member large correspondingly. and said inlet and outlet 11. By forming Ila relatively large, the rate of supply of the mixed gas to the activated carbon in the adsorption device 2 can be made relatively slow, and therefore gas adsorption can be made effective.

又電磁弁等を設けた場合よりも高さその他全本を小型に
することができる。
Moreover, the height and other dimensions can be made smaller than when a solenoid valve or the like is provided.

なお上記弁5は又第4図〜第6図に示すように形成され
てもよい、同図においては吸着装置2が4明示され、そ
の上下部に一個所だけ穴12を形成した板状のロータリ
ーダンパ13が回転自在に設けられている。
The valve 5 may also be formed as shown in FIGS. 4 to 6, in which the suction device 2 is clearly shown and is formed of a plate-like structure with only one hole 12 formed at the top and bottom. A rotary damper 13 is rotatably provided.

そしてこのロータリーダンパ13は夫々フード14を有
し、かつギヤ15.16、駆動装置17により間欠的に
、制御装置18(第1図)により回動させられ、ロータ
リーダンパ13の穴12と前記入口11及び出口11a
とが、上下において合致した吸着装置2に前記混合気体
が流入し、かつ排出するようになっている。そしてその
池の三つの吸着装置2は流入、排出が行われない、なお
前記フード14端部は図示しない連通管に対し気密に回
動するようになっている。
Each of the rotary dampers 13 has a hood 14, and is intermittently rotated by a control device 18 (FIG. 1) using gears 15, 16 and a drive device 17, so that the hole 12 of the rotary damper 13 and the inlet 11 and exit 11a
The mixed gas flows into and is discharged from the adsorption device 2 whose upper and lower sides coincide with each other. The three adsorption devices 2 in the pond do not allow inflow or evacuation, and the end portion of the hood 14 is configured to rotate in an airtight manner with respect to a communicating pipe (not shown).

なお第2図において19はファン、20は除湿器を示す
In FIG. 2, 19 represents a fan, and 20 represents a dehumidifier.

次に前記第7図において吸着装置2は熱交換ジャク・、
1−21を有し、かつ内部に蛇管22が設けられている
。23は活性炭である。又24はステンレス製金網を示
す。
Next, in FIG. 7, the adsorption device 2 includes a heat exchanger jack,
1-21, and a flexible pipe 22 is provided inside. 23 is activated carbon. Further, 24 indicates a stainless steel wire mesh.

次に25は前記ジャクツ1−21.蛇管22に接続する
管路であり、これに三方弁26が設けられており、この
管路25は第1図に示すクーラ27及びヒータ28に夫
々分岐して連通させられている。
Next, 25 is the above-mentioned jack 1-21. This is a conduit connected to the flexible pipe 22, and is provided with a three-way valve 26, and this conduit 25 is branched and communicated with a cooler 27 and a heater 28 shown in FIG. 1, respectively.

なお29.30は夫々ボン1.11は混合気体の入口、
 llaは同出口を示す、又、蛇管22及びジャゲット
21には熱冷媒が、クーラ27により冷却させてW!環
させられ、或は又三方弁26の操作により、ヒータ28
により加熱されて循環させられるようになっている。
In addition, 29.30 is the inlet of the mixed gas, and 1.11 is the inlet of the mixed gas.
lla indicates the same outlet, and the thermal refrigerant is in the flexible pipe 22 and the jugget 21, and is cooled by the cooler 27, and W! The heater 28 can be turned on or off by operating the three-way valve 26
It is heated and circulated.

次に第1図において31は吸着装置2に洪給される空気
、キャリヤエヤの加熱器であり、ここにおいてキャリヤ
エヤが加熱され、キャリヤエヤの入口32から吸着装置
2に洪給されるようになっている、33はキャリヤエヤ
の出口、34はキャリヤエヤの通路、35は清浄気体の
排出口、36は弁通路である0次に、第1図において、
37は冷却装置であり、第8図において38はそのゲー
ジング、39は蛇管であり、冷凍機40に接続さり、内
部にフロン等の冷媒が循環させられている。41は一例
としてステンレススチールにより形成されたスチールウ
ールであり、気体の接触する面積を増大させる接触部材
である。そしてこの接触部材41は、このほかステンレ
ス製鋼球、その曲目的とするガスに対して化学反応を起
さない材質を選び形成される。42はステンレススチー
ル製パンチングプレートを示す、又43はキャリヤエヤ
とガス、−例としてフロンR113との混成気体の供給
口であり、44は液面センサであり、制御n装置18に
接続されている。
Next, in FIG. 1, reference numeral 31 is a heater for the carrier air, which is the air that is flooded into the adsorption device 2. The carrier air is heated here, and the air is flooded into the adsorption device 2 from the inlet 32 of the carrier air. , 33 is the carrier air outlet, 34 is the carrier air passage, 35 is the clean gas outlet, and 36 is the valve passage.
37 is a cooling device, in FIG. 8, 38 is a gauging device, and 39 is a flexible pipe, which is connected to a refrigerator 40, and a refrigerant such as fluorocarbon is circulated inside. Reference numeral 41 is steel wool made of stainless steel, as an example, and is a contact member that increases the area with which gas comes into contact. The contact member 41 is formed of a stainless steel ball or a material that does not cause a chemical reaction with the intended gas. 42 is a punching plate made of stainless steel; 43 is a supply port for a mixed gas of carrier air and gas, such as Freon R113; and 44 is a liquid level sensor connected to the control device 18.

次に46は上部連通管、47は上部連通管、48は上部
弁、49は下部弁、5(1は真空ポンプ、51は液化装
置を示す。そして該液fヒ装置51は第二冷凍機52に
接続されており、その冷却へラド53は一例として銅に
より形成され、上記第二冷凍機52により一例として一
60゛Cに冷却されている。なおこの液化装置51は第
二冷凍機52により、目的とするガスをその凝固点以下
に冷却することができるようになっている。
Next, 46 is an upper communication pipe, 47 is an upper communication pipe, 48 is an upper valve, 49 is a lower valve, 5 (1 is a vacuum pump, 51 is a liquefaction device, and the liquefaction device 51 is a second refrigerator. 52, and its cooling head 53 is made of copper, for example, and is cooled to, for example, 160°C by the second refrigerator 52.The liquefaction device 51 is connected to the second refrigerator 52. This allows the target gas to be cooled below its freezing point.

又54はハウジング、55は冷却器、56は側壁であり
、−例として同心円状に設けられた多数の銅製円筒から
成っている。そして該円筒状の側壁56には第10図に
示すように隣り合うm156において、互いに反対側に
通口57を形成し、これにより気体の通路が長くなるよ
うに形成されている。なお同III壁56は又第11図
に示すように渦巻状に形成してもよい2次に第8図及び
第9図に示す、58.59は夫々頂壁及び底壁であり、
いづれも銅板によりjtられ、底壁59には液体の流下
口61)が形成されている。
Further, 54 is a housing, 55 is a cooler, and 56 is a side wall, which is composed of, for example, a number of concentric copper cylinders. In the cylindrical side wall 56, as shown in FIG. 10, holes 57 are formed on opposite sides of adjacent m156, thereby making the gas passage longer. Note that the same III wall 56 may also be formed in a spiral shape as shown in FIG. 11. As shown in FIG. 8 and FIG.
Both are connected by a copper plate, and a liquid flow port 61) is formed in the bottom wall 59.

次に、61は加熱装置であり、−例として面状ヒータが
用いられ、同ヒータ61は前記冷却へ・・Iドラ3に巻
きつけられ、前記制411装置18に接続されている0
次に63は液f4cを比重により分離する分離室であり
、64は回収口、65は弁を示す。
Next, 61 is a heating device, for example a planar heater is used, and the heater 61 is wound around the I-driver 3 and connected to the control 411 device 18.
Next, 63 is a separation chamber that separates the liquid f4c based on specific gravity, 64 is a collection port, and 65 is a valve.

次に上記実施例の作用について、−例としてフロンR1
13ガスを約3.QOOP、P、M  含有する空気か
ら成る混合気体から、フロンR113を回収する場合に
ついて述べると、まず上記混合気体は気体供給口3から
、一つの吸着装置2に送入される。この場合リニヤアク
チエータを用いた弁5が1%動し、蓋部材lOが開き、
又はロータリーダンパ13が回動して、その穴12が前
記入口11及び出口11aと合致し、混合気体は入口1
1がら吸着装置2に送入される。そしてその際吸着装置
2内の活性炭23は、蛇管22、シャケll・21中を
循環する、クーラ27がら供給される熱冷媒により、−
例としてほぼ一り℃〜−10″Cに冷却されており、こ
のなめ混合気体中のフロンR113は効果的に、活性炭
23に吸着される。そしてこの吸着は一例としてほぼ1
5分間行われる。
Next, regarding the effect of the above embodiment, as an example, Freon R1
13 gas about 3. QOOP, P, M To describe the case where Freon R113 is recovered from a mixed gas containing air, the mixed gas is first fed into one adsorption device 2 from the gas supply port 3. In this case, the valve 5 using the linear actuator moves by 1%, the lid member lO opens,
Alternatively, the rotary damper 13 rotates so that its hole 12 matches the inlet 11 and the outlet 11a, and the mixed gas flows through the inlet 1.
1 is fed into the adsorption device 2. At that time, the activated carbon 23 in the adsorption device 2 is heated by -
For example, the Freon R113 in this mixed gas is effectively adsorbed by the activated carbon 23.This adsorption is, for example, approximately 1℃ to -10''C.
It is held for 5 minutes.

なおこの吸着時間の長短は気体供給口3に設けた図示し
ないガス濃度センサにより制御装置18により判断され
、実施される。ス前記弁5の1114動も同様である1
次に前記弁5が「を動され、前記入口11及び出口11
aが閉止され、それと共に前記三方弁2.6が切替えら
れ、前記蛇管22、ジヤケツト2Iにはクーラ27から
の熱冷媒に代り、ヒータ28からの加熱された熱冷媒が
供給され、前記活性炭23は一例として+21)’Cに
加熱される。
The length of this adsorption time is determined by the control device 18 using a gas concentration sensor (not shown) provided at the gas supply port 3, and is executed. The same applies to the 1114 movement of the valve 5.
Then said valve 5 is actuated, said inlet 11 and outlet 11
a is closed, and at the same time, the three-way valve 2.6 is switched, and heated thermal refrigerant from the heater 28 is supplied to the flexible pipe 22 and jacket 2I instead of the thermal refrigerant from the cooler 27, and the activated carbon 23 is heated to +21)'C, for example.

又それと共に前記真空ボ〉′プ50が作動し、前記吸着
装置2内は一例として101−口程度の亜真空状態とな
る。そして、この状態において前記キャリヤエヤの入口
32から加熱器31を経て、−例としてほぼ120℃に
加熱されたキャリヤエヤが供給される。この場合活性炭
23はフロンR113を脱着しており、脱着されたフロ
ンR113はキャリヤエヤにより運ばれ、冷却袋M37
に供給される。又この場合他の吸着装置2の入口11及
び出口11aが開口させられ、その吸着装置2において
フロンR1+3の吸着が行われる、そしてこれらの制御
は制御装置18によって行われる。
At the same time, the vacuum valve 50 is operated, and the inside of the suction device 2 is brought into a sub-vacuum state of, for example, about 101 vacuum points. In this state, carrier air heated to approximately 120 DEG C., for example, is supplied from the carrier air inlet 32 through the heater 31. In this case, the activated carbon 23 has desorbed Freon R113, and the desorbed Freon R113 is carried by the carrier air and placed in the cooling bag M37.
supplied to In this case, the inlet 11 and outlet 11a of the other adsorption device 2 are opened, and the Freon R1+3 is adsorbed in that adsorption device 2, and these controls are performed by the control device 18.

なお前記エヤの入口32は弁b6が設けられ、勿論外部
かららエヤを採り入ノLることかできるがこの場合は向
弁66を閉止させ、キャリヤエヤはクローズドサイクル
として吸着装置2、冷却装置37.液化装置51をつな
ぎ循環させるのである。
Note that the air inlet 32 is provided with a valve b6, and of course air can be taken in from the outside, but in this case, the opposite valve 66 is closed and the carrier air is connected to the adsorption device 2 and the cooling device 37 in a closed cycle. .. The liquefaction device 51 is connected and circulated.

次に、フロンR113を含有するキャリヤエヤは第8図
に示ず冷却装置37の供給口43がら供給される、この
場合前記真空ボンフ゛5oは1ヤ動さぜられており、こ
れにより吸引されている7そして冷却装置37内は一例
としてフロンR113の沸点以下の温度である0゛C程
度に保たれており、このため混合気体中のフロンR11
3は蛇管39及び接触部材41に接触して冷却されて液
「ヒし、ゲージング38の底部に滴下し、そこにフロン
液として溜められる。そして同フロン液がセンサ44に
達すると前記制御装置18がらの出力により上部弁・1
8は閉止し、下部弁49が開放し、前記フロン液は下部
連通管47を通り液化装3751の比重分離装置163
に入り、そこに溜められる。
Next, the carrier air containing Freon R113 is supplied from the supply port 43 of the cooling device 37 (not shown in FIG. 8). In this case, the vacuum cylinder 5o is stirred by one wheel, thereby causing the air to be sucked. 7. The inside of the cooling device 37 is maintained at a temperature of about 0°C, which is below the boiling point of Freon R113, for example, so that the Freon R11 in the mixed gas
3 comes into contact with the corrugated pipe 39 and the contact member 41, is cooled, and drips onto the bottom of the gauging 38, where it is stored as a fluorocarbon liquid.When the fluorocarbon liquid reaches the sensor 44, the control device 18 Upper valve 1 depending on the output of the
8 is closed, the lower valve 49 is opened, and the fluorocarbon liquid passes through the lower communication pipe 47 to the specific gravity separation device 163 of the liquefaction equipment 3751.
enters and is stored there.

なお前記冷却装置37は、その入口においては一例とし
てほぼ20万P、P、+4程であったものが、その出口
においては一例としてほぼ4万P、P、Mとなっている
The cooling device 37 has, for example, approximately 200,000 P, P, +4 at its inlet, but has, for example, approximately 40,000 P, P, M at its outlet.

次に前記冷却装置37内の混合気体は真空ポンプ511
により液化装置51に送入され、そこにおいて−例とし
て−60’Cに冷却され、側壁56、加熱装置61上等
に凝固する、この凝固のための(ヤ動時間は一例として
15分程度である。なおフロンR1、13を失った清浄
空気は再び混合気体の供給〇3の、除湿器20の下流に
供給され1、吸着装置2に送られる。
Next, the mixed gas in the cooling device 37 is transferred to the vacuum pump 511.
The liquid is sent to the liquefaction device 51, where it is cooled to, for example, -60'C, and solidified on the side wall 56, heating device 61, etc. Note that the clean air that has lost the Freon R1 and R13 is again supplied downstream of the dehumidifier 20 in the mixed gas supply 03, and then sent to the adsorption device 2.

そして、前記凝固したフロンR113は、加熱装置61
により前記冷却器55を、フロンR113の沸点以下の
温度、−Mとして0“Cにすることにより凝固していた
フロンR113は液化し、流下口60から流下し、分離
室63に入り、比重分離により分離されて回収される。
Then, the solidified Freon R113 is transferred to the heating device 61.
By setting the cooler 55 to a temperature below the boiling point of Freon R113 (-M) to 0"C, the solidified Freon R113 is liquefied, flows down from the flow outlet 60, enters the separation chamber 63, and undergoes specific gravity separation. is separated and recovered.

次に、この発明の装置は又−例として第12[2Iに示
すように形成された。即ち吸着装置2はそのニー)がユ
ニットとして設けられた、なお同図では各一方の吸着装
置2に夫々活性炭の冷却及び加熱装置を接続したもの、
及び活性炭から脱着したガスを冷却して回収する装置を
接続したものが示されているが、これは図示が複雑とな
るために省略されたらので、実際は夫々両方が接続され
ていることは勿論である。
Next, the device of the invention was also formed as shown in example No. 12 [2I]. That is, the adsorption device 2 is provided as a unit (its knee), and in the figure, each one of the adsorption devices 2 is connected to an activated carbon cooling and heating device, respectively.
and a device that cools and recovers the gas desorbed from the activated carbon are shown connected, but this was omitted because it would complicate the illustration, so it goes without saying that both are actually connected. be.

同図において、第1図と異る部分は、真空ポンプ50が
、冷却装置37の上流に設けられていること、及び冷却
器rIt37に再生器68を設置tたらのである。
The difference between this figure and FIG. 1 is that the vacuum pump 50 is provided upstream of the cooling device 37, and that a regenerator 68 is installed in the cooler 37.

69はヒータ、70は冷却器である。次に、前記接触部
材4Kについて述べると、これは、ステンレスの熱伝導
率が、鉄、銅等より低く、このため蓄冷効果があり、温
度が安定する効果があり、又フロンR113、又は通常
の有機溶剤等に冒されないのである。又吸着装置2につ
いて述べると本発明は10トロ程度の亜真空としておき
、そこに120℃程度に加熱したキャリヤエヤを供給す
ることにより効果的にガスの脱着が行われる。又キャリ
ヤエヤは加熱されているなめ、活性炭23を冷却せしめ
ず、従って効果的に脱着ができる。又液化装置51は外
側から内方に移るに従い温度が低下するように形成され
たことにより各部分が良好に冷却効果を上げられる。
69 is a heater, and 70 is a cooler. Next, regarding the contact member 4K, stainless steel has a lower thermal conductivity than iron, copper, etc., so it has a cold storage effect and has the effect of stabilizing the temperature. It is not affected by organic solvents, etc. Regarding the adsorption device 2, in the present invention, gas is effectively desorbed by creating a sub-vacuum of about 10 Toro and supplying carrier air heated to about 120°C. Furthermore, since the carrier air is heated, the activated carbon 23 is not cooled down, so that it can be effectively desorbed. Furthermore, since the liquefier 51 is formed so that the temperature decreases from the outside to the inside, each part can be effectively cooled.

なお前記冷却装置37は、内側に蛇管22を設けて冷却
しているが、これに代えて、外側に蛇管等を巻きつける
ようにしてもよい。
Although the cooling device 37 is provided with a flexible pipe 22 on the inside for cooling, a flexible pipe or the like may be wound around the outside instead of this.

又前記液化装置51を出た消浄気木は吸着装置の入口1
1に供給することにより効率よくクローズドサイクルを
形成できる。なお第4図において71は吸着装置2に設
けた通口であり、図示しない弁が設けられている。そし
てその弁を開くことにより、吸着装置2内の亜真空状態
を解く。
In addition, the purified air leaving the liquefaction device 51 is sent to the inlet 1 of the adsorption device.
1, a closed cycle can be efficiently formed. In FIG. 4, 71 is a port provided in the adsorption device 2, and is provided with a valve (not shown). By opening the valve, the sub-vacuum state inside the adsorption device 2 is released.

これによりロータリーダンパが作動できるのである。This allows the rotary damper to operate.

なお、活性炭23によりフロンR113を吸着されて、
(Jト出された前記混合気体は一例として7P、P、M
であった。
Note that Freon R113 is adsorbed by the activated carbon 23,
(For example, the mixed gas discharged is 7P, P, M
Met.

発明の効果 この発明は前記のように構成され、加熱して活性炭から
脱着させたガスを、加熱したキャリヤエヤに上り運ぶた
め、その際該活性炭を殆ど冷却させないです/y、#e
っで前記脱着及び搬送を効果的に行うことができろう 又キャリヤエヤは活性炭に対して混合気体のU(給方向
に逆らう方向から供給されるため5いわゆる逆洗に傾度
した現象となり、活性炭のガスの脱着を効果的に行わせ
ることができる。
Effects of the Invention This invention is constructed as described above, and the gas desorbed from the heated activated carbon is carried up to the heated carrier air, so that the activated carbon is hardly cooled at that time.
In addition, since the carrier air is supplied from a direction opposite to the supply direction of the mixed gas (U) against the activated carbon, the phenomenon tends to be so-called backwashing, and the gas of the activated carbon is can be effectively attached and detached.

又混成気体中のガスを凝固させ、これを該ガスの凝固点
以上でかつ沸点以下の温度に加熱することにより混成気
体中のガスを完全に近く回収する4二とができる。
Further, by solidifying the gas in the mixed gas and heating it to a temperature above the freezing point and below the boiling point of the gas, the gas in the mixed gas can be nearly completely recovered.

又冷却装置を、iifヒ装置の上流に接続したものは、
冷却装置において、ガスの大部分を回収できると共に、
液化装置における凝固を浦助することができ、従ってこ
の両者により効率よくガスを回収することができる。・
又活性炭による吸着と、その脱着した混成気体中のガス
を凝固し、かつ凝固点以上で、沸点以「の温度に加熱す
るものは、ガスの回収をほぼ完全に行うことができる。
Also, if the cooling device is connected upstream of the IIF device,
In the cooling device, most of the gas can be recovered, and
Solidification in the liquefaction device can be assisted, and gas can therefore be efficiently recovered by both.・
Furthermore, by adsorbing activated carbon, solidifying the gas in the desorbed mixed gas, and heating it to a temperature above the freezing point and above the boiling point, almost complete recovery of the gas can be achieved.

又活性炭により吸着したガスを、冷却装置で、冷却回収
し、その余りを液化装置で回収するものはほぼ完全にガ
スを回収できる。
Furthermore, when the gas adsorbed by activated carbon is cooled and recovered using a cooling device, and the remainder is recovered using a liquefaction device, the gas can be almost completely recovered.

又液化装置から排出された混成気体を前記活性炭に供給
するものは、回収のクローズドサイクルを形成すること
ができ、このためガスを充分に回収することができる。
Further, the device that supplies the mixed gas discharged from the liquefaction device to the activated carbon can form a closed cycle of recovery, and therefore the gas can be sufficiently recovered.

又吸着装置の気体の入口に少なくともリニアアクチエー
タに設けた蓋部材を設けたものは、を磁弁等によって開
閉するものと異り、少なくとも入口を大径にすることが
容易にでき、このため流速を下げることができる。又乱
流を防ぐことができる。電磁弁等を用いると、あたかも
ノズルにより流入されるようになってしまい、全体を良
好に使用できないのである。又リニアアクチエータを用
いると、tFa弁等を用いるものに較べ、装置を小型に
形成することができる。
In addition, in the case where the gas inlet of the adsorption device is provided with at least a lid member provided on the linear actuator, unlike the case where the gas inlet is opened and closed by a magnetic valve, etc., it is possible to easily make at least the inlet a large diameter. The flow rate can be lowered. Also, turbulence can be prevented. If a solenoid valve or the like is used, it will be as if the water is flowing through a nozzle, and the entire system cannot be used properly. Furthermore, when a linear actuator is used, the device can be made smaller than when a tFa valve or the like is used.

スロータリーダンパを用いたものら上記リニアアクチエ
ータを用いたものと同様の効果を奏することかできる。
A rotary damper using a rotary damper can produce the same effect as the linear actuator described above.

又、この発明は装置全体を比較的小型に形成することが
でき、前記従来例に述べたような公害を[Rぐことかで
きる、
In addition, the present invention allows the entire device to be made relatively compact, and can reduce the pollution described in the prior art example.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

図面はこの発明の実施例を示すもので、第1図はガスの
回収装置の概略を示す配管図、第2図はガスの回収装置
の概略を示す側面断面図、第3図は同平面図、第4図は
第5図の上面図、第5図はガスの回収装置の部分の側面
図、第6図は第5図の下面図、第7図はガスの回収装置
の、吸着装置の断面図、第8図はガスの回収装置の要部
の断面図、第9図は第8図の部分の拡大詳細図、第1O
図は第9図の横断面図、第11図はこの発明の池の実施
例を示し、第1+)図に相当する部分の図、第12[2
はこの発明の池の実施例を示すガスの回収装置の概略断
面図である。 2 ・・・ 吸着装置 5・・・弁 l(・・ 入口 1a 23  ・・ 27  ・・・ 31  ・・・ 32  ・・・ 37  ・・ 38  ・・・ 51  ・・ 54  ・・・ 55  ・・・ 61  ・・ 出口 ロータリーダンパ 活性炭 クーラ ヒータ 加熱器 キャリヤエヤの入口 キャリヤエヤの出口 冷却装置 ゲージング ン^ jヒ装αj ハウジング 冷却器 加熱器π 第2図 1υ 第3図
The drawings show an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a piping diagram showing an outline of a gas recovery device, FIG. 2 is a side sectional view showing an outline of the gas recovery device, and FIG. 3 is a plan view of the same. , Fig. 4 is a top view of Fig. 5, Fig. 5 is a side view of the gas recovery device, Fig. 6 is a bottom view of Fig. 5, and Fig. 7 is a view of the adsorption device of the gas recovery device. 8 is a sectional view of the main part of the gas recovery device, and FIG. 9 is an enlarged detailed view of the part shown in FIG.
The figure is a cross-sectional view of FIG. 9, FIG. 11 shows an embodiment of the pond of the present invention, and FIG.
1 is a schematic cross-sectional view of a gas recovery device showing an embodiment of a pond according to the present invention. 2 ... Adsorption device 5 ... Valve l (... Inlet 1a 23 ... 27 ... 31 ... 32 ... 37 ... 38 ... 51 ... 54 ... 55 ... 61 ... Outlet rotary damper Activated carbon cooler Heater heater Carrier air inlet Carrier air outlet Cooling device Gauging ^ j Heating αj Housing cooler heater π Fig. 2 1 υ Fig. 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、活性炭に複数のガスから成る混合気体を供給して、
該活性炭に、前記混合気体中の目的とするガスを吸着せ
しめ、ガスを吸着した該活性炭を加熱して吸着したガス
を脱着せし め、脱着した該ガスを、加熱したキャリヤエヤにより回
収することを特徴とするガスの回収方法。 2、キャリヤエヤは活性炭に対して前記混合気体の供給
方向と逆らう方向から供給される請求項1記載のガスの
回収方法。 3、複数のガスの混成した混成気体を、該混成気体中の
目的とするガスの凝固点以下に冷却して目的とするガス
を凝固せしめ、次に凝固した該ガスを、該ガスの凝固点
以上で、か つ、沸点以下の温度に加熱して液化せしめ、回収するこ
とを特徴とするガスの回収方法。 4、複数のガスから成る混成気体を、該混成気体中の目
的とするガスのみをその沸点以下に冷却して液化させる
冷却装置に導入して前記ガスの一部を液化して分離させ
、更に前記混成気体を前記冷却装置の下流に接続した液
化装置に導入し、該液化装置において、前記ガスの残余
を、その凝固点以下に冷却して凝固させ、該凝固したガ
スを、該ガスの凝固点以上で、かつ沸点以下の温度に加
熱して液化分離せしめるガスの回収方法、 5、混成気体は活成炭により吸着されかつ脱着されて濃
縮された、ガスを含む空気である請求項3記載のガスの
回収方法。 6、混成気体は活性炭により吸着され、かつ脱着されて
濃縮されたガスを含む空気である請求項4記載のガスの
回収方法。 7、液化装置から排出された混成気体は前記活性炭に供
給される請求項6記載のガスの回収方法、 8、ヒータを有する、活性炭を収容した吸着装置と、該
吸着装置に設けた、複数のガスから成る混合気体の入口
及び出口と、該吸着装置に設けたキャリヤエヤの入口及
び出口と、 該キャリヤエヤの入口に接続したキャリヤエヤ通路に加
熱器を設けたことを特徴とする ガスの回収装置。 9、吸着装置におけるキャリヤエヤの入口は、前記混合
気体の入口の反対側に形成されている請求項8記載のガ
スの回収装置。 10、複数のガスの混成した混成気体を収容する液化装
置のハウジングと、該ハウジングに設けられた、前記混
成気体中の目的とするガスを、該ガスの凝固点以下に冷
却する冷却器 と、凝固した前記ガスを、該ガスの凝固点より高くてか
つ沸点より低い温度に加熱する加熱装置から成るガスの
回収装置。 11、複数のガスの混成した混成気体を収容するケーシ
ングと、該ケーシングに設けられた、前記混成気体中の
目的とするガスを、該ガスの沸点以下に冷却して液化さ
せる冷却装置 と、該冷却装置の下流に、該冷却装置と接続して設けら
れた液化装置のハウジングと、該ハウジングの中に設け
られた、前記混成気体中の目的とするガスを、該ガスの
凝固点以下に冷却する冷却器と、凝固した前記ガスを、
該ガスの凝固点より高くてかつ沸点より低い温度に加熱
する加熱装置から成るガスの回収装置 12、ハウジングは該ハウジングの上流に設けた、複数
のガスから成る混合気体中の前記ガスを吸着し、かつ脱
着させて濃縮させる活性炭による吸着装置に接続されて
いる請求項10記載のガスの回収装置。 13、ケーシングは、該ケーシングの上流に設けた、複
数のガスから成る混合気体中の前記ガスを吸着し、かつ
脱着させて濃縮させる、活性炭による吸着装置に接続さ
れている請求項11記載のガス回収装置。 14、吸着装置は前記ハウジングに形成された混成気体
の排出口に接続されている請求項13記載のガスの回収
装置。 15、内部に活性炭を吸収した容器状の吸着装置であっ
て、気体の入口及び出口を有し、この両口のうち少なく
とも入口に、リニアアクチエータに設けた蓋部材が設け
られていることを特徴とするガスの吸着装置。 16、内部に活性炭を収容する容器状の吸着装置であつ
て、気体の入口及び出口を有し、この両口のうち少くと
も入口にロータリーダンパが設けられているガスの吸着
装置。
[Claims] 1. Supplying a mixed gas consisting of a plurality of gases to activated carbon,
The activated carbon is made to adsorb the target gas in the gas mixture, the activated carbon that has adsorbed the gas is heated to desorb the adsorbed gas, and the desorbed gas is recovered by a heated carrier air. gas recovery method. 2. The gas recovery method according to claim 1, wherein the carrier air is supplied to the activated carbon from a direction opposite to the direction in which the mixed gas is supplied. 3. A mixture of multiple gases is cooled to a temperature below the freezing point of the target gas in the mixture to solidify the target gas, and then the solidified gas is cooled to a temperature above the freezing point of the gas. , and a method for recovering gas, characterized by heating it to a temperature below its boiling point to liquefy it and recovering it. 4. Introducing a mixed gas consisting of a plurality of gases into a cooling device that cools only the target gas in the mixed gas to below its boiling point and liquefying it, liquefying and separating a part of the gas, and further The mixed gas is introduced into a liquefaction device connected downstream of the cooling device, in the liquefaction device, the remainder of the gas is cooled to below its freezing point and solidified, and the solidified gas is cooled to a temperature above the freezing point of the gas. 5. The gas according to claim 3, wherein the mixed gas is air containing gas that has been adsorbed and desorbed by activated carbon and concentrated. collection method. 6. The gas recovery method according to claim 4, wherein the mixed gas is air containing a gas adsorbed and desorbed by activated carbon and concentrated. 7. The gas recovery method according to claim 6, wherein the mixed gas discharged from the liquefaction device is supplied to the activated carbon. 8. An adsorption device containing activated carbon and having a heater, and a plurality of A gas recovery device characterized in that a heater is provided in an inlet and an outlet of a mixed gas consisting of gas, an inlet and an outlet of a carrier air provided in the adsorption device, and a carrier air passage connected to the inlet of the carrier air. 9. The gas recovery device according to claim 8, wherein the inlet of the carrier air in the adsorption device is formed on the opposite side of the inlet of the mixed gas. 10. A housing of a liquefaction device that accommodates a mixed gas that is a mixture of a plurality of gases, a cooler provided in the housing that cools a target gas in the mixed gas to a temperature below the freezing point of the gas, and A gas recovery device comprising a heating device that heats the gas to a temperature higher than the freezing point and lower than the boiling point of the gas. 11. A casing that accommodates a mixed gas consisting of a plurality of gases, a cooling device provided in the casing that cools and liquefies a target gas in the mixed gas to a temperature below the boiling point of the gas; A housing of a liquefaction device provided downstream of the cooling device and connected to the cooling device, and a target gas in the mixed gas provided in the housing are cooled to below the freezing point of the gas. a cooler, and the solidified gas,
A gas recovery device 12 consisting of a heating device that heats the gas to a temperature higher than the freezing point and lower than the boiling point; The gas recovery device according to claim 10, wherein the gas recovery device is connected to an adsorption device using activated carbon for desorption and concentration. 13. The gas according to claim 11, wherein the casing is connected to an adsorption device using activated carbon, which is provided upstream of the casing and which adsorbs, desorbs, and concentrates the gas in a gas mixture consisting of a plurality of gases. Collection device. 14. The gas recovery device according to claim 13, wherein the adsorption device is connected to a mixed gas outlet formed in the housing. 15. It is a container-shaped adsorption device that absorbs activated carbon inside, and has an inlet and an outlet for gas, and at least the inlet of these two ports is provided with a lid member provided on the linear actuator. Characteristic gas adsorption device. 16. A gas adsorption device which is a container-shaped adsorption device containing activated carbon therein, which has a gas inlet and an outlet, and a rotary damper is provided at least at the inlet of both the ports.
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