JPH02173914A - Magnetic head and its production - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野コ
本発明は、フェライトからなる磁気コアの磁気ギャップ
を形成する衝き合わせ面にセンゲス１−薄膜を設けた磁
気ヘッドに関し、更に詳しくは、センダス！・薄膜の下
地にチタン及び／又はルテニウム層を形成した磁気ヘッ
ドに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a magnetic head in which a Sendas 1 thin film is provided on the abutting surfaces of a magnetic core made of ferrite that form a magnetic gap. - This relates to a magnetic head in which a titanium and/or ruthenium layer is formed on a thin film base.
［従来の技術］
フェライ）ｌスコアの磁気ギャップを形成する衝き合わ
せ面に強磁性金属薄膜を設けた磁気ヘッドはＭＩＧ （
メタル・イン・ギャップ）型ヘッドと呼ばれ既に実用化
されている。[Prior art] A magnetic head in which a ferromagnetic metal thin film is provided on the abutting surfaces that form a magnetic gap with a ferrite l score is the MIG (
It is called a metal-in-gap (metal-in-gap) type head and is already in practical use.
従来のこの種の磁気ヘッドの一例について、その磁気ギ
ャップ近傍の拡大図を第３図に示す。FIG. 3 shows an enlarged view of the vicinity of the magnetic gap of an example of a conventional magnetic head of this type.
磁気ヘッドは、フェライトからなる２個の磁気コア１０
．１２の磁気ギャップを形成する衝き合わせ面の少なく
とも一方にセンダスト薄膜１４をスパッタリング法ある
いは蒸着法等により形成し、ギャップガラス１６により
所定の磁気ギャップとなるように組み合わせ、ボンディ
ングガラス１８により結合した構造である。ここで符号
Ｓで示す面は磁気記録媒体との摺動面である。この例で
はセンダスト薄膜１４は磁気コア１２側に形成されてい
るが、磁気コア１０側に形成してもよいし、磁気コア１
０．１２の両方に形成してもよい。The magnetic head has two magnetic cores 10 made of ferrite.
．． A sendust thin film 14 is formed on at least one of the abutting surfaces forming a magnetic gap of 12 by sputtering or vapor deposition, combined with a gap glass 16 to form a predetermined magnetic gap, and bonded with a bonding glass 18. be. Here, the surface indicated by the symbol S is the sliding surface with respect to the magnetic recording medium. In this example, the sendust thin film 14 is formed on the magnetic core 12 side, but it may be formed on the magnetic core 10 side, or it may be formed on the magnetic core 10 side.
0.12 may be formed.
このようなＭＩＧヘッドは、磁気ギャップ部に磁束が集
中し、記録磁界が大きく且つ急峻となるため、高保磁力
の磁気記録媒体に対する記録・再生に適している。Such a MIG head is suitable for recording and reproducing from a high coercive force magnetic recording medium because the magnetic flux concentrates in the magnetic gap and the recording magnetic field becomes large and steep.
［発明が解決しようとする課題］
第３図に示すような従来のギャップ構造の磁気ヘッドで
は、第４図に示すような孤立再生波形が得られる。つま
り本来の信号（符号ａで示す）の他に、余分な信号（符
号すで示す）が発生する。[Problems to be Solved by the Invention] In a magnetic head having a conventional gap structure as shown in FIG. 3, an isolated reproduction waveform as shown in FIG. 4 is obtained. That is, in addition to the original signal (indicated by the symbol a), an extra signal (indicated by the symbol a) is generated.
この余分な信号が発生する理由は、従来の磁気ヘッドの
場合、フェライト磁気コアとセンダスト薄膜との間に界
面反応が起こり、センダスト中のＡＩが界面側に移動し
フェライト中の酸素が界面側に移動して磁気劣化層２０
（第３図参照）が形成され、それが擬似ギャップにな
るためと考えられる。The reason why this extra signal is generated is that in the case of conventional magnetic heads, an interfacial reaction occurs between the ferrite magnetic core and the sendust thin film, and the AI in the sendust moves to the interface side, and the oxygen in the ferrite moves to the interface side. The magnetic deterioration layer 20 moves
(See Figure 3) is formed, which becomes a pseudo gap.
フェライト上に単にセンダスト薄膜をスパッタリング法
あるいは蒸着法により形成する過程ではこのような磁気
劣化層の発生は殆ど見られない、しかし磁気ヘッドを構
成する場合、前述のように２個の磁気コア１０．１２を
ボンディングガラス１日により結合する工程が入る。ボ
ンディングガラスの作業温度は５００〜８ｏ。In the process of simply forming a sendust thin film on ferrite by sputtering or vapor deposition, the occurrence of such a magnetically degraded layer is almost never seen.However, when constructing a magnetic head, two magnetic cores 10. There is a step of bonding 12 with bonding glass. The working temperature of bonding glass is 500-8o.
℃程度である。このガラスボンディング作業によって、
前記のようなフェライトとセンダストの界面反応が発生
し、センダスト薄膜側には約４００人もの磁気劣化１１
２０ができ、それが擬似ギャップとなり余分な信号すの
発生につながる。It is about ℃. Through this glass bonding work,
The above-mentioned interfacial reaction between ferrite and sendust occurs, and about 400 magnetic deteriorations occur on the sendust thin film side.
20, which becomes a pseudo gap and leads to the generation of an extra signal.
ガラスボンディング作業温度を下げ、且つ作業時間を短
くすることは界面反応の低減に有効であるが、磁気コア
同士の強固な結合を実現するためには自ずから限度があ
る。Lowering the glass bonding work temperature and shortening the work time is effective in reducing interfacial reactions, but there are limits to achieving strong bonding between magnetic cores.
このようなことから、従来の磁気ヘッドにおいて擬似ギ
ャップ信号の発生を防止することは困難であった。For this reason, it has been difficult to prevent the generation of pseudo gap signals in conventional magnetic heads.
本発明の目的は、上記のような従来技術の欠点を解消し
、擬似ギャップ信号のない綺麗な孤立再生波形を得るこ
とができるＭＩＧ磁気ヘッド及びその製造方法を提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an MIG magnetic head and a method for manufacturing the same, which can eliminate the above-mentioned drawbacks of the prior art and provide a clean isolated reproduced waveform free of pseudo-gap signals.
［課題を解決するための手段］
上記のような技術的課題を解決できる本発明は、フェラ
イトからなる磁気コアの磁気ギャップを形成する衝き合
わせ面に、まずチタン及び／又はルテニウムの下地層を
形成し、その上にセンダスト薄膜を設けた磁気ヘッドで
ある。チタン下地層やルテニウム下地層の形成は、スパ
ッタリング法あるいは蒸着法によって行う。[Means for Solving the Problems] The present invention, which can solve the above technical problems, first forms a titanium and/or ruthenium underlayer on the abutting surfaces forming the magnetic gap of a magnetic core made of ferrite. This is a magnetic head on which a thin Sendust film is provided. The titanium base layer and the ruthenium base layer are formed by sputtering or vapor deposition.
ここでチタン及び／又はルテニウム下地層は、その全膜
厚を５０〜２００人程度とし、センダスト薄膜の膜厚は
１〜３μｍ程度とするのが望ましい。Here, the total thickness of the titanium and/or ruthenium underlayer is preferably about 50 to 200, and the thickness of the sendust thin film is preferably about 1 to 3 μm.
［作用コ
フェライト磁気コアとセンダスト薄膜との間に設けたチ
タン及び／又はルテニウムの下地層はガラスボンディン
グ工程でバリヤー（酸化防止層）として働き、センダス
ト中のＡＩの界面側への移動及びフェライト中の酸素の
界面側への移動を防ぐ。これによって磁気劣化層の形成
を防止する。[Operation] The titanium and/or ruthenium underlayer provided between the coferrite magnetic core and the sendust thin film acts as a barrier (antioxidation layer) during the glass bonding process, allowing the AI in the sendust to migrate to the interface side and the ferrite. This prevents oxygen from migrating to the interface side. This prevents the formation of a magnetically degraded layer.
また下地層を形成しているチタンやルテニウムの一部は
ガラスボンディング作業中にセンダスト中へ拡散してい
くが、これらはセンダストの特性を向上させる働きをす
る。つまりチタンの場合にはセンダスト中に拡散するこ
とによってそれを微細構造にし耐摩耗性を向上させる。Also, some of the titanium and ruthenium that form the base layer diffuse into the sendust during the glass bonding process, and these work to improve the properties of the sendust. In other words, in the case of titanium, by diffusing it into sendust, it forms a fine structure and improves wear resistance.
ルテニウムの場合には耐食性を高める。これらは極く僅
かな量の添加で効果が生じるから、拡散によって良好な
特性を発現させることができる。In the case of ruthenium, it increases corrosion resistance. Since the effect is produced even when added in a very small amount, good characteristics can be expressed by diffusion.
ところでチタンやルテニウムの下地層は非磁性材料であ
るから擬似ギャップ信号が生じることが考えられるが、
膜厚を２００Å以下にしておけば擬似ギャップ信号を充
分小さくできる。By the way, since the titanium and ruthenium underlayers are non-magnetic materials, pseudo-gap signals may occur.
If the film thickness is set to 200 Å or less, the pseudo gap signal can be sufficiently reduced.
特にｌＯＯ人程度にしておくと、その後のセンダスト中
への拡散も考慮すると擬似ギャップ信号は殆ど認められ
なくなる。In particular, if the amount is set to about 100 people, the pseudo gap signal will hardly be recognized if the subsequent diffusion into the sendust is taken into consideration.
［実施例］
第１図は本発明に係る磁気ヘッドのギヤノブ部構成の一
実施例を示す詳細図である９この磁気ヘッドも、基本的
には従来技術と同様、フェライトからなる磁気コア１０
．１２の磁気ギャップを形成する衝き合わせ面にセンダ
スト薄膜１４を設けた構成である。磁気コア１０とセン
ダスト薄膜１４とのギャップ部分にはギャップガラス１
６が位置し、ボンディングガラス１８により結合される
。[Embodiment] FIG. 1 is a detailed diagram showing an embodiment of the gear knob configuration of a magnetic head according to the present invention.9 This magnetic head is also basically similar to the prior art, having a magnetic core 10 made of ferrite.
．． In this configuration, a sendust thin film 14 is provided on the abutting surfaces forming 12 magnetic gaps. A gap glass 1 is placed in the gap between the magnetic core 10 and the Sendust thin film 14.
6 is positioned and bonded by bonding glass 18.
さて本発明が従来技術と顕著に相違する点は、フェライ
ト磁気コア１２とセンダスト薄膜１４との間にチタン及
び／又はルテニウムの下地層２２を形成した点である。Now, the present invention is significantly different from the prior art in that a titanium and/or ruthenium underlayer 22 is formed between the ferrite magnetic core 12 and the Sendust thin film 14.
チタン及び／又はルテニウムの下地層２２はフェライト
磁気コア１２の」二に５０〜２００人程度の厚さで、例
えばスパッタリング法により形成する。そして、その上
にセンダスト薄膜１４を１〜３．５μｍ程度の厚さとな
るように、同じくスパッタリング法により形成する。勿
論、スパッタリング法に代えて蒸着法を用いてもよい。The underlayer 22 of titanium and/or ruthenium is formed to a thickness of about 50 to 200 times the thickness of the ferrite magnetic core 12 by, for example, a sputtering method. Then, a sendust thin film 14 is formed thereon to a thickness of about 1 to 3.5 μm by the same sputtering method. Of course, a vapor deposition method may be used instead of the sputtering method.
フェライト」二に直接センダスト薄膜を形成した場合、
その後のガラスボンディング処理において加熱されるた
め、センダスト中のＡＩやＳｌがフェライト中の酸素を
取り込み４００人程度の磁気劣化層を生成する。しかし
本発明のようにフェライト磁気コアとセンダスト薄膜と
の間にチタン及び／又はルテニウム下地層２２を形成し
ておくと、それがバリヤーとして働き酸化防止機能を果
たす。そのため磁気劣化層は生じない。When a sendust thin film is formed directly on ferrite,
Since it is heated in the subsequent glass bonding process, the AI and Sl in the sendust take in the oxygen in the ferrite and create a magnetically degraded layer of approximately 400 mm. However, if a titanium and/or ruthenium underlayer 22 is formed between the ferrite magnetic core and the sendust thin film as in the present invention, it acts as a barrier and performs an oxidation prevention function. Therefore, no magnetically degraded layer is generated.
ガラスボンディング作業において下地材料であるチタン
やルテニウムは、その一部がセンダスト中に拡散してい
く。これらはセンダストの特性を向上さ」ム・る、チタ
ンが若干量大ると微細構造になり耐摩耗性が向上する。During glass bonding work, some of the base materials titanium and ruthenium diffuse into the sendust. These improve the properties of sendust, and a slightly larger amount of titanium creates a fine structure and improves wear resistance.
磁気ギャップ部は磁気記録媒体に摺接するから耐摩耗性
の向上は磁気ヘッドの特性の向」二に大きく貢献する。Since the magnetic gap portion slides into contact with the magnetic recording medium, improving wear resistance greatly contributes to improving the characteristics of the magnetic head.
またルテニウムを用いた場合には、その若干量の混入に
よって耐食性が向」−する、センダス１−は５５０℃程
度のアニーリング処理によって磁気的安定性が良好にな
るが、チタンやルテニウムを入れると、好ましいアニー
リング処理温度が６５０℃程度まで高くなる。従って６
００℃程度のボンディング作業温度はセンダスｉ−の磁
気的安定性の向上に貢献する。In addition, when ruthenium is used, the corrosion resistance is improved by adding a small amount of ruthenium.Sendas 1 improves its magnetic stability by annealing at about 550℃, but when titanium or ruthenium is added, The preferred annealing temperature is as high as about 650°C. Therefore 6
The bonding temperature of approximately 00°C contributes to improving the magnetic stability of Sendas i-.
前述のようにチタン及び／又はルテニウムの下地［２２
の膜厚は全部で５０〜２００人程度がよい。下地層が薄
過ぎると酸素バリヤーとしての機能が不足するし、逆に
厚くなり過ぎるとそれらの材料は非磁性材であるから擬
似ギャップとなり余分な信号が発生するからである。そ
こで実際ζこ磁気ヘッドを製造する場合には１００人程
度が最も好ましい、前述した２００人程度以下の膜厚に
すると、ガラスボンディング作業においてチタンやルテ
ニウムの−・部がセンジス１−中に拡散し７、実際に残
存する下地層は形成直後の下地層の膜厚よりも薄くなる
から、擬似ギヤノブ信号を殆ど無くすことができる。As mentioned above, titanium and/or ruthenium base [22
The thickness of the film should be approximately 50 to 200 people in total. If the underlayer is too thin, its function as an oxygen barrier will be insufficient, and if it is too thick, the material is non-magnetic, so it will create a pseudo gap and generate an extra signal. Therefore, in the case of actually manufacturing this magnetic head, it is most preferable to employ around 100 people, but if the film thickness is made to be less than about 200 people as mentioned above, the parts of titanium and ruthenium will diffuse into the Senges 1 during the glass bonding process. 7. Since the underlying layer that actually remains is thinner than the thickness of the underlying layer immediately after formation, pseudo gear knob signals can be almost eliminated.
この実施例に示す磁気ヘッドにより得られる孤立再生波
形を第２図に示す。従来技術で生じていた余分な信号（
第４図の符号すで示す信号）は本発明では生じないこと
が判る。FIG. 2 shows an isolated reproduction waveform obtained by the magnetic head shown in this embodiment. Eliminate the extra signals (
It can be seen that the signal indicated by the reference numeral in FIG. 4 does not occur in the present invention.
以」二、本発明の好ましい一実施例について詳述したが
、本発明はこのような構成のみに限定されるものではな
い。センダスト薄膜を（ｎスコア１０側に形成する場合
には、その間にチタンやルテニウムの下地層を形成する
。勿論、磁気コア１０側及び磁気コア１２側の両方に下
地層及びセンダスト′ＦＲ膜を形成してもよい。Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention has been described in detail, but the present invention is not limited to only such a configuration. When forming a Sendust thin film (on the n-score 10 side), a titanium or ruthenium base layer is formed in between. Of course, the base layer and the Sendust' FR film are formed on both the magnetic core 10 side and the magnetic core 12 side. You may.
チタンとルテニウムを組み合わせた下地層とする場合に
は２層構造等にしてもよい。If the base layer is a combination of titanium and ruthenium, it may have a two-layer structure.
［発明の効果］
本発明は上記のようにフェライト磁気コアとセンダス）
］膜の間にチタン及び／又はルテニウムの下地層を形成
した磁気ヘッドであるから、この下地層がバリヤーとし
て働き両者の間での界面反応の発生を防止し、そのため
擬似ギャップが形成されず、余分な信号の発生を防止で
きる。[Effect of the invention] The present invention has a ferrite magnetic core and a sender as described above.
] Since this is a magnetic head with a titanium and/or ruthenium underlayer formed between the films, this underlayer acts as a barrier and prevents the occurrence of an interfacial reaction between the two, thereby preventing the formation of a pseudo gap. Generation of extra signals can be prevented.
また下地材料であるチタンやルテニウムはガラスボンデ
ィング工程においてセンダスト中に幾分拡散し、センダ
ストの材料特性を向上させる。更にそれらの拡散によっ
てセンダストのアニーリング温度が高くなり、ガラスボ
ンディング温度を極度に下げたリボンディング時間を掻
端に短くする必要がなくなり作業性も向上する。Furthermore, the base materials, such as titanium and ruthenium, are somewhat diffused into the sendust during the glass bonding process, improving the material properties of the sendust. Further, due to their diffusion, the annealing temperature of the sendust is increased, and there is no need to shorten the rebonding time at an extremely low glass bonding temperature, thereby improving workability.
第１図は本発明に係る磁気ヘッドの一実施例のギャップ
部分の拡大図、第２図はその磁気ヘッドにより得られる
孤立再生波形図、第３図は従来技術におけるギヤ・ノブ
部分の一例を示す拡大図、第４図は従来技術により得ら
れる孤立再生波形図である。
１０．１２・・・磁気コア、１４・・・センダスト薄膜
、１６・・・ギャップガラス、１８・・・ボンディング
ガラス、２０・・・磁気劣化層、２２・・・チタ〉・及
び／又はルテニウムの下地層。
特許出願人 富士電気化学株式会社
代 理 人 茂 見 穣第１図
第３図
第２図
第４図
時間
時間FIG. 1 is an enlarged view of the gap portion of an embodiment of the magnetic head according to the present invention, FIG. 2 is an isolated reproduction waveform diagram obtained by the magnetic head, and FIG. 3 is an example of the gear knob portion in the prior art. The enlarged view shown in FIG. 4 is an isolated reproduction waveform diagram obtained by the conventional technique. 10.12... Magnetic core, 14... Sendust thin film, 16... Gap glass, 18... Bonding glass, 20... Magnetic deterioration layer, 22... Titanium and/or Ruthenium Base layer. Patent Applicant Fuji Electrochemical Co., Ltd. Representative Minoru Shigeru Figure 1 Figure 3 Figure 2 Figure 4 Time Time
Claims (1)
する衝き合わせ面にセンダスト薄膜を設けた磁気ヘッド
において、フェライト磁気コアとセンダスト薄膜との間
にチタン下地層を形成したことを特徴とする磁気ヘッド
。 ２、フェライトからなる磁気コアの磁気ギャップを形成
する衝き合わせ面にセンダスト薄膜を設けた磁気ヘッド
において、フェライト磁気コアとセンダスト薄膜との間
にルテニウム下地層を形成したことを特徴とする磁気ヘ
ッド。 ３、フェライトからなる磁気コアの磁気ギャップを形成
する衝き合わせ面にセンダスト薄膜を設けた磁気ヘッド
において、フェライト磁気コアとセンダスト薄膜との間
にチタンとルテニウムの下地層を形成したことを特徴と
する磁気ヘッド。 ４、フェライトからなる磁気コアの磁気ギャップを形成
する衝き合わせ面にチタン及び／又はルテニウムの下地
膜をスパッタリング法または蒸着法で形成し、その上に
センダスト薄膜をスパッタリング法または蒸着法で形成
することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ５、チタン及び／又はルテニウム下地膜の全膜厚を５０
〜２００Åとし、センダスト薄膜の膜厚を１〜３μｍと
する請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。[Claims] 1. In a magnetic head in which a sendust thin film is provided on the abutting surfaces forming a magnetic gap of a magnetic core made of ferrite, a titanium underlayer is formed between the ferrite magnetic core and the sendust thin film. Features a magnetic head. 2. A magnetic head in which a sendust thin film is provided on the abutting surfaces forming a magnetic gap of a magnetic core made of ferrite, characterized in that a ruthenium underlayer is formed between the ferrite magnetic core and the sendust thin film. 3. A magnetic head in which a sendust thin film is provided on the abutting surfaces forming a magnetic gap of a magnetic core made of ferrite, characterized in that an underlayer of titanium and ruthenium is formed between the ferrite magnetic core and the sendust thin film. magnetic head. 4. Forming a titanium and/or ruthenium base film by sputtering or vapor deposition on the abutting surfaces that form the magnetic gap of the magnetic core made of ferrite, and forming a sendust thin film thereon by sputtering or vapor deposition. A method for manufacturing a magnetic head characterized by: 5. The total thickness of the titanium and/or ruthenium base film is 50
5. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 4, wherein the Sendust thin film has a thickness of 1 to 3 μm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32980988A JPH02173914A (en) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | Magnetic head and its production |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP32980988A JPH02173914A (en) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | Magnetic head and its production |
Publications (1)
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| JPH02173914A true JPH02173914A (en) | 1990-07-05 |
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|---|---|
| JP (1) | JPH02173914A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5756201A (en) * | 1995-04-10 | 1998-05-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic thin film for magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic head |
| CN1332292C (en) * | 2001-12-07 | 2007-08-15 | 株式会社Ntt都科摩 | Mobile communication terminal, method for controlling execution state of application program, application program, and recording medium wherein application program has been recorded |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP32980988A patent/JPH02173914A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5756201A (en) * | 1995-04-10 | 1998-05-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic thin film for magnetic head, method of manufacturing the same, and magnetic head |
| CN1332292C (en) * | 2001-12-07 | 2007-08-15 | 株式会社Ntt都科摩 | Mobile communication terminal, method for controlling execution state of application program, application program, and recording medium wherein application program has been recorded |
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