JPH01259226A - Fourier transform spectroscope - Google Patents

Fourier transform spectroscope

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JPH01259226A
JPH01259226A JP8770388A JP8770388A JPH01259226A JP H01259226 A JPH01259226 A JP H01259226A JP 8770388 A JP8770388 A JP 8770388A JP 8770388 A JP8770388 A JP 8770388A JP H01259226 A JPH01259226 A JP H01259226A
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Abstract

PURPOSE:To eliminate stray light due to Fourier transformation by interpolation from a discrete spectrum data sequence of each equal wave number interval after the Fourier transformation to a discrete spectrum data sequence of each wavelength of a desired equal wavelength interval. CONSTITUTION:An interferometer 1 form an interference graphic form on the photodetection surface of a photodiode array detector 2 as a spatial light-shade distribution. The light-shade distribution of this interference graphic pattern is converted by the photodiode array detector 2 into an electric signal, which is inputted to a microcomputer 4 through an A/D converter 3. This signal is processed by a fast Fourier transforming program 5 stored in the microcomputer 4 into the discrete spectrum data sequence of each equal wave number interval. This spectrum data sequence is processed by an equal wavelength interval conversion program 6. This program 6 correct a sensitivity difference of each wavelength after converting lateral axis data intervals into equal wavelengths.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はフーリエ変換分光器に係り、特に可視域のスペ
クトル測定に好適なフーリエ変換分光器に関するもので
ある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a Fourier transform spectrometer, and particularly to a Fourier transform spectrometer suitable for measuring spectra in the visible range.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

従来、可視域のフーリエ変換分光器については、アプラ
イド・オプティックス 23,269(1984年)第
269頁から第273頁(Appi。
Conventionally, regarding Fourier transform spectrometers in the visible range, Applied Optics 23, 269 (1984), pp. 269 to 273 (Appi.

Opt、23,269 (1984)pp269〜27
3)及びアプライド・スペクl−ロスコピー 40゜6
91 (1986年)第691頁から第695頁(Ap
pl、、5pectrosc、40 、691  (1
986) pp691〜695)において論じられてい
る。
Opt, 23, 269 (1984) pp269-27
3) and Applied Spec-Roscopy 40°6
91 (1986) pp. 691-695 (Ap
pl,, 5pectrosc, 40, 691 (1
986) pp. 691-695).

フーリエ変換分光器でフーリエ変換の結果として得られ
る離散的なスペクトルデータ列は、第3図に示すように
、被測定対象のスペクトル分布を一定の波数間隔毎にサ
ンプリングしたものとなる。
As shown in FIG. 3, the discrete spectral data string obtained as a result of Fourier transform by a Fourier transform spectrometer is a sample of the spectral distribution of the object to be measured at regular wave number intervals.

一方、従来の可視域のスペクトルは、横軸を波長として
測定することが一般的であるため、これらのデータと互
換性をもたせるためには、フーリエ変換の結果として得
られるスペク1−ルの横軸を波長に変換する必要がある
。等波数間隔Δヤ毎、すなわち、 シ1=ΔシXi             ・・・(1
)ここに、j;0,1,2.・・・の数列なる波数シム
毎にサンプリングされた離散的スペクトルデータ列を(
aい1))とするとき、各ν1に対応する波長λiを横
軸にとり、a(、、)を縦軸にとって第4図のように横
軸を波長とするスペクトル曲線を描くことは、従来より
行われてきた。しかし、上記従来技術で得られるスペク
トル曲線は、見かけ上横軸を波長として測定されたよう
に見えるが、その実体であるスペクトル曲線タは、 Δ λ1=λ1+1−λ工 ν++1  ヤ1  ν1+Δ乍 乍1で表わされる各
波長(波数)毎に一定ではない波長間隔Δλiをもつデ
ータ列となっている。このため、描かれたスペクトル曲
線が短波長側と長波長側でのサンプリング点数の密度に
差があることから、長波長側で滑らかさを欠く折れ線と
しての表現が目立ち、また、微分スペクトル等のデータ
処理を行う際にデータ列が等波長間隔でないため、従来
の回折格子分光器で横軸を波長として等波長間隔で測定
されたスペクトルデータ列と同等に扱うことができず、
データの互換性の上で問題があった。
On the other hand, conventional spectra in the visible range are generally measured with the horizontal axis as the wavelength, so in order to be compatible with these data, the horizontal axis of the spectrum obtained as a result of Fourier transform must be We need to convert the axis to wavelength. For every equal wave number interval ΔY, that is, SI1=ΔSIXi...(1
) Here, j; 0, 1, 2. A discrete spectral data sequence sampled for each wavenumber shim, which is a sequence of...
a1)), it is conventional to draw a spectral curve with the wavelength λi corresponding to each ν1 on the horizontal axis, a(,,) on the vertical axis, and the horizontal axis as the wavelength as shown in Figure 4. It has been done since then. However, although the spectral curve obtained by the above-mentioned conventional technique appears to be measured with the horizontal axis as the wavelength, the actual spectral curve is Δ λ1 = λ1 + 1 − λω ν++1 ya1 ν1 + Δ乍 乍1 The data string has non-constant wavelength intervals Δλi for each wavelength (wave number) represented by . For this reason, there is a difference in the density of the number of sampling points on the short wavelength side and long wavelength side of the drawn spectral curve, so the expression as a polygonal line that lacks smoothness on the long wavelength side is noticeable, and differential spectra, etc. During data processing, because the data strings are not at equal wavelength intervals, they cannot be treated in the same way as spectrum data strings measured at equal wavelength intervals using a conventional diffraction grating spectrometer, with the horizontal axis being the wavelength.
There was a problem with data compatibility.

また、回折格子分光器では、入射及び出射スリットの幅
が有限であることから、出射スリットを通過して出てく
る光の波長も単一ではなく、有限な拡がりを持つ。この
波長幅はバンドパスと呼ばれるが、一般に可視域の回折
格子分光器では、スリット幅を固定して波長スキャンを
行うため、全測定波長域にわたって波長を単位としたバ
ンドパスはほぼ一定である。これに対し、フーリエ変換
分光器においてフーリエ変換の結果として得られるスペ
クトルでは、全測定波長域にわたって波数を単位とした
バンドパスが一定となる。いま、波数を単位としたバン
ドパスをΔダとし、単位を波長に換算したときのバンド
パスをΔλ、考える光の波数をシ、波長をλとすると、 ・・・(3) が得られ、Δy2を微小量として無視すると、が成立し
、全測定波数域において、Δダが一定のとき単位を波長
に換算したΔλは、考えている光の波長λ毎に変化する
ことがわかる。そこで、蛍光スペク1ヘルや発光スペク
トル等、縦軸をエネルギー強度とするスペクトルにおい
ては、波数を単位としてバンドパス一定の条件のもとで
測定したスペクトルと、波長を単位としてバンドパス一
定の条件のもとで測定したスペクトルとでは、横軸の波
数と波長の逆数関係を換算しただけでは、縦軸の強度を
一致させることはできず、等しい波形とはならない。例
えば、(4)式によれば、Δνが一定のもとで、λ=3
50nmの場合と、λ=700nmの場合でΔλは4倍
異なることになり、装置の分解能が被測定スペクトルに
対して十分小さい場合、これは、350nmと700n
mで4倍の感度差があることを意味する。
Furthermore, in a diffraction grating spectrometer, since the width of the input and output slits is finite, the wavelength of the light that passes through the output slit and comes out is not uniform but has a finite spread. This wavelength width is called a bandpass, but in general, visible-range diffraction grating spectrometers perform wavelength scanning with a fixed slit width, so the bandpass in units of wavelength is approximately constant over the entire measurement wavelength range. On the other hand, in the spectrum obtained as a result of Fourier transform in a Fourier transform spectrometer, the bandpass in units of wave numbers is constant over the entire measurement wavelength range. Now, let Δda be the bandpass in wavenumber units, Δλ be the bandpass when the unit is converted to wavelength, shi be the wavenumber of the light to be considered, and λ be the wavelength. ...(3) is obtained, If Δy2 is ignored as a minute quantity, then the following holds true, and it can be seen that in the entire measurement wave number range, when Δda is constant, Δλ, which is converted into a wavelength, changes for each wavelength λ of the light being considered. Therefore, in spectra where the vertical axis is the energy intensity, such as fluorescence spectra and emission spectra, there are two types of spectra: one measured under conditions where the bandpass is constant using the wavenumber as a unit, and the other when the bandpass is constant using the wavelength as the unit. With the originally measured spectrum, it is not possible to match the intensity on the vertical axis by simply converting the reciprocal relationship between the wave number and wavelength on the horizontal axis, and the waveforms are not equal. For example, according to equation (4), when Δν is constant, λ=3
Δλ differs by a factor of 4 between 50nm and λ=700nm, and if the resolution of the instrument is sufficiently small for the measured spectrum, this will be different between 350nm and 700nm.
This means that there is a sensitivity difference of 4 times in m.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記従来技術では、これらの点について配慮がなされて
おらず、測定スペクトルの縦軸強度情報についても回折
格子分光器で測定されたスペクトルとの互換性が得られ
ないという問題があった。
The above-mentioned conventional technology does not take these points into consideration, and there is a problem in that the vertical axis intensity information of the measured spectrum is not compatible with the spectrum measured with a diffraction grating spectrometer.

本発明の目的は、フーリエ変換の結果として得られる等
波数間隔毎の離散的なスペク1〜ルデータ列から等波長
間隔毎の離散的なスペクトルデータ列に変換するととも
に、波長を単位として表わしたバンドパスが各波長毎に
変化することに起因する各波長毎の感度差を補正する手
段を設けることによって、従来の回折格子分光器による
測定長スペクトルデータ列−タ性のあるフーリエ変換分
光器を提供することにある。
An object of the present invention is to convert a discrete spectral data string at equal wave number intervals obtained as a result of Fourier transform into a discrete spectral data string at equal wavelength intervals, and to convert By providing a means for correcting the sensitivity difference for each wavelength caused by the path changing for each wavelength, we provide a Fourier transform spectrometer that is compatible with the measurement length spectral data string by a conventional diffraction grating spectrometer. It's about doing.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的は、フーリエ変換の結果として得られる等波数
間隔毎の離散的スペクトルデータ列から所望の等波長間
隔毎の各波長における離散的スペクトルデータ列に内挿
関数を用いて内挿によって変換する手段を設けた構成し
て達成するようにした。また、波長製単位として表わし
たバンドパスが各波長毎に変化することに起因する各波
長毎の感度差は、上記等波長間隔毎のスペクトルデータ
列の各波長における要素にその波長の2乗に反比例する
係数を乗じて補正する手段を設けて達成するようにした
The above object is a means of converting a discrete spectral data string at equal wave number intervals obtained as a result of Fourier transform into a discrete spectral data string at each wavelength at each desired equal wavelength interval by interpolation using an interpolation function. I tried to achieve this by configuring the following. In addition, the sensitivity difference for each wavelength due to the bandpass expressed as a wavelength unit changing for each wavelength is expressed as the square of the wavelength. This is achieved by providing a means for correcting by multiplying by an inversely proportional coefficient.

〔作用〕[Effect]

本発明の機能を達成するコンピュータプログラムの処理
フローを第2図に示す。フーリエ変換分光器において、
フーリエ変換の結果として得られる離散的なスペクトル
データ列を(a、)とし、alを波数型1における測光
値であるとし、ν1+1〉ν、とする。波数データ間隔
を次式のようにΔヤとし。
FIG. 2 shows a processing flow of a computer program that achieves the functions of the present invention. In a Fourier transform spectrometer,
Let (a,) be the discrete spectral data string obtained as a result of the Fourier transform, let al be the photometric value in wave number type 1, and let ν1+1>ν. Let the wave number data interval be Δy as shown in the following formula.

A%l:V++1  ’l’t           
・・(5)シl−ΔヤX]−(6) の関係にあるものとする。これから得ようとする等波長
間隔毎のスペクトルデータ列を(bz )とし、b、は
長波λ、における測光値であるとし、λ、+1〉λ、と
する。また、求めたい波長範囲をλ1からλNまでとす
る。波長データ間隔を次式のようにΔλとする。Δλも
Jによらない定数であり、 Δλ=λJ+1−λ4(7) とし、内挿関数としては、例えば、5ine関数を用い
る。5ine関数は、次式f (x)の形をした関数で
ある。
A%l:V++1 'l't
. . (5) It is assumed that the following relationship exists. The spectral data string to be obtained at equal wavelength intervals is assumed to be (bz), b is the photometric value at the long wavelength λ, and λ, +1>λ. Further, the desired wavelength range is from λ1 to λN. Let the wavelength data interval be Δλ as shown in the following equation. Δλ is also a constant that does not depend on J, and is set as follows: Δλ=λJ+1−λ4 (7) For example, a 5ine function is used as the interpolation function. The 5ine function is a function in the form of the following formula f (x).

ここでは5xがOを除く整数のときに関数の値がOとな
るような次式のg(X)を内挿関数とする。
Here, when 5x is an integer other than O, the value of the function is O, and g(X) of the following equation is used as an interpolation function.

まず、第2図の処理フローの前半において、内挿による
横軸の変換を行う。λlがらλNまでの各λ量について
対応する波数ν、を 乍j−17λ1            ・・・(10
)として求める。次に、 ヤ1≦V J< v ++s            
−(11)なるヤ1 を見つけ、 とする。次に内挿関数g(x)を用い、ν、における測
光値a’Jを次式の積の和を計算することにより得る。
First, in the first half of the processing flow shown in FIG. 2, the horizontal axis is transformed by interpolation. For each λ quantity from λl to λN, the corresponding wave number ν is j−17λ1...(10
). Next, Y1≦V J< v ++s
−(11) Find Ya1, and set it to . Next, using the interpolation function g(x), the photometric value a'J at ν is obtained by calculating the sum of the products of the following equation.

g(x)はIXIの増加とともに振動しながら減衰する
ので、Ig(x)lが十分小さくなるXの値から(13
)式の積の和を求める範囲(−m、m)のmの値は、あ
らかじめ定めておくものとする。このようにして等波数
間隔毎のスペク)−ルデータ列(a′j)が得られる。
Since g(x) oscillates and attenuates as IXI increases, from the value of X at which Ig(x)l becomes sufficiently small, (13
) The value of m in the range (-m, m) for calculating the sum of the products of the equations shall be determined in advance. In this way, a spectrum data string (a'j) for each equal wave number interval is obtained.

次に、(4)式の関係から波長毎の感度差を補正したス
ペクトルデータ列(bJ>を、 b J ” a ’ J /λJ2         
 ・・・(14)として求める。
Next, from the relationship in equation (4), the spectrum data string (bJ> corrected for the sensitivity difference for each wavelength is expressed as b J '' a ' J /λJ2
...It is obtained as (14).

これによって、従来、回折格子分光器で測定していたも
のと互換性のある等波長間隔毎のスペクトルデータ列が
得られる。
As a result, a spectral data string at equal wavelength intervals can be obtained, which is compatible with that conventionally measured with a diffraction grating spectrometer.

〔実施例〕〔Example〕

以下本発明を第1図、第2図に示した実施例を用いて詳
細に説明する。
The present invention will be explained in detail below using the embodiments shown in FIGS. 1 and 2.

第1図は本発明のフーリエ変換分光器の一実施例を示す
ブロック図である。第1図において、干渉計1は、フ第
1〜ダイオードアレイ検知器2の受光面に空間的な明暗
の分布として干渉図形を生じさせる。この干渉図形の明
暗分布は、フォトダイオードアレイ検知器2によって電
気信号に変換され、A/D変換器3を通してマイクロコ
ンピュータ4に取り込まれる。この信号はマイクロコン
ピュータ4に内蔵された高速フーリエ変換プログラム5
によって処理され、等波数間隔毎の離散的なスペクトル
データ列となる。このスペクトルデータ列は、次に、等
波長間隔変換プログラム6によって処理される。この等
波長間隔プログラム6は、第2図の処理フロー図にした
がって横軸データ間隔を等波数から等波長に変換した後
、波長毎の感度差の補正を行う。この結果間られるスペ
ク1−ルデータ列は、スペクトル表示部7に表示される
かまたは外部記憶装置8に保存される。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the Fourier transform spectrometer of the present invention. In FIG. 1, an interferometer 1 generates an interferogram as a spatial distribution of brightness and darkness on the light-receiving surfaces of the first to diode array detectors 2. In FIG. The brightness/darkness distribution of this interferogram is converted into an electrical signal by the photodiode array detector 2 and input into the microcomputer 4 through the A/D converter 3. This signal is a fast Fourier transform program 5 built into the microcomputer 4.
is processed, resulting in a discrete spectral data string at equal wave number intervals. This spectral data string is then processed by the equal wavelength interval conversion program 6. This equal wavelength interval program 6 converts the horizontal axis data interval from equal wave number to equal wavelength according to the processing flow diagram of FIG. 2, and then corrects the sensitivity difference for each wavelength. The resulting spectrum data string is displayed on the spectrum display section 7 or stored in the external storage device 8.

本実施例によれば、フーリエ変換分光器特有の迷光がな
く、光学系が明るい等の利点を活かしながら、かつ、従
来の回折格子分光器で測定していた等波長間隔のスペク
トルと互換性のあるスペクトルを得られるという効果が
ある。
According to this example, while taking advantage of the advantages of a Fourier transform spectrometer, such as the absence of stray light and a bright optical system, it is also compatible with spectra with equal wavelength intervals measured with conventional grating spectrometers. This has the effect of obtaining a certain spectrum.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明によれば、フーリエ変換の
結果として得られる等波数間隔毎の離散的なスペクトル
データ列から内挿によって等波長間隔毎のスペクトルデ
ータ列に変換するとともに、波長を単位として表したバ
ンドパスが各波長毎に変化することに起因する各波長毎
の感度差を補正することかできるので、従来回折格子分
光器で測定していたものとの互換性のあるスペクトルが
得られるという効果がある。
As explained above, according to the present invention, a discrete spectral data string at equal wave number intervals obtained as a result of Fourier transform is converted into a spectral data string at equal wavelength intervals by interpolation, and the wavelength is set as a unit. Since it is possible to correct the sensitivity difference for each wavelength due to the bandpass expressed as changing for each wavelength, it is possible to obtain a spectrum that is compatible with that measured with a conventional diffraction grating spectrometer. It has the effect of being

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明のフーリエ変換分光器の一実施例を示す
ブロック図、第2図は第1図の高速フーリエ変換プログ
ラムと等波長間隔変換プログラムの一実施例を示すフロ
ー図、第3図は等波数間隔毎にサンプリングされたスペ
クトルデータ列を示す図、第4図は第3図のデータ列を
横軸を波長としてプロットした図である。 1 干渉計、2・・フォトダイオードアレイ検知器、3
・A/D変換器、4・マイクロコンピュータ、5 高速
フーリエ変換プログラム、6 ・等波長間隔変換プログ
ラム、7・・・スペクトル表示部、8外部記憶装置。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the Fourier transform spectrometer of the present invention, FIG. 2 is a flow diagram showing an embodiment of the fast Fourier transform program and equal wavelength interval conversion program of FIG. 1, and FIG. 4 is a diagram showing a spectral data string sampled at equal wave number intervals, and FIG. 4 is a diagram in which the data string of FIG. 3 is plotted with the horizontal axis as the wavelength. 1 Interferometer, 2...Photodiode array detector, 3
・A/D converter, 4. Microcomputer, 5. High-speed Fourier transform program, 6. Equal wavelength interval conversion program, 7... Spectrum display unit, 8. External storage device.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、干渉計と、該干渉計からの干渉図形を電気信号に変
換する検知器とを備え、該検知器からの、電気信号をデ
ィジタル信号に変換してマイクロコンピュータに取り込
むようにしてなるフーリエ変換分光器において、フーリ
エ変換の結果として得られる等波数間隔毎の離散的スペ
クトルデータ列から所望の等波長間隔毎の各波長におけ
る離散的スペクトルデータ列に内挿関数を用いて内挿に
よつて変換する手段を設けたことを特徴とするフーリエ
変換分光器。 2、干渉計と、該干渉計からの干渉図形を電気信号に変
換する検知器とを備え、該検知器からの電気信号をディ
ジタル信号に変換してマイクロコンピュータに取り込む
ようにしてなるフーリエ変換分光器において、波長を単
位として表わしたバンドパスが各波長毎に変化すること
に起因する各波長毎の感度差は、等波長間隔毎のスペク
トルデータ別の各波長における要素にその波長の2乗に
反比例する係数を乗じて補正する手段を設けたことを特
徴とするフーリエ変換分光器。
[Claims] 1. Comprising an interferometer and a detector that converts an interference pattern from the interferometer into an electrical signal, and converts the electrical signal from the detector into a digital signal and inputs it into a microcomputer. In the Fourier transform spectrometer constructed as follows, an interpolation function is used to convert the discrete spectral data string at each equal wave number interval obtained as a result of Fourier transform to the discrete spectral data string at each wavelength at each desired equal wavelength interval. A Fourier transform spectrometer, characterized in that it is provided with means for performing transformation by interpolation. 2. Fourier transform spectroscopy, which is equipped with an interferometer and a detector that converts the interference pattern from the interferometer into an electrical signal, and which converts the electrical signal from the detector into a digital signal and inputs it into a microcomputer. In the instrument, the sensitivity difference for each wavelength due to the bandpass expressed in units of wavelength changing for each wavelength is expressed as the square of the wavelength by the element at each wavelength of the spectrum data at equal wavelength intervals. A Fourier transform spectrometer, characterized in that it is provided with means for correcting by multiplying by an inversely proportional coefficient.
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