JPH01162182A - Supersonic transducer for high temperatures - Google Patents
Supersonic transducer for high temperaturesInfo
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- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 60
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 8
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は高温用トランスジューサ、特に不透明な物質
である液体ナトリウムで満された原子炉容器内における
構造物及び炉内の各種機器の位置及び形状の認識を行う
ために用いられるものに関する。Detailed Description of the Invention [Industrial Application Field] This invention relates to high-temperature transducers, particularly structures within a nuclear reactor vessel filled with liquid sodium, which is an opaque substance, and the position and shape of various equipment within the reactor. Concerning what is used to perform recognition.
［従来の技術］
第２図は従来の高温用超音波トランスジューサを示す断
面図である。図において、（１）は円筒形をした面状の
ステンレスケース、（２）はステンレスケース（１）の
開口部を密閉するステンレスケースカバーで、ステンレ
スケース（１）に溶接で組み付けられて密封容器が構成
される。（３）はステンレスケース（１）の底部内面に
配設されたニオブ酸リチウムからなる円板状の高温用超
音波振動子で、キューり点が１２００℃、電気機械結合
係数Ｋ ｔ（Ｋ を−機械出力エネルギー／電気入力エ
ネルギー）が０．１７、周波数的２．５ ＭＨｚ 、パ
ルス巾約５０μｓｅｃのものである。（４）は８００℃
で焼成された接合部材である銀ペースト（８）で、高温
用超音波振動子（３）をステンレスケース（１）の底部
内面に接合している。（５）はステンレスケースカバー
（２）を貫通して取り付けられたハーメチックタイプの
シールコネクタ、（６）はシリコーンゴムチューブで被
覆された電線で、シールコネクタ（５）と高温用超音波
振動子（３）とを接続している。（７）はシールコネク
タ（５）に接続されたＭ１ケーブル（ＭｌｎｅｒａｌＩ
ｎｓｕｌａｔｅｄ Ｃａｂｌｅ）、（８）はステンレス
ケースカバー（２）に取り付けられた支柱である。[Prior Art] FIG. 2 is a sectional view showing a conventional high-temperature ultrasonic transducer. In the figure, (1) is a cylindrical planar stainless steel case, and (2) is a stainless steel case cover that seals the opening of the stainless steel case (1), which is assembled to the stainless steel case (1) by welding and is a sealed container. is configured. (3) is a disc-shaped high-temperature ultrasonic transducer made of lithium niobate disposed on the bottom inner surface of the stainless steel case (1), and has a cue point of 1200°C and an electromechanical coupling coefficient K t (K - Mechanical output energy/electrical input energy) is 0.17, frequency is 2.5 MHz, and pulse width is approximately 50 μsec. (4) is 800℃
The high-temperature ultrasonic vibrator (3) is bonded to the bottom inner surface of the stainless steel case (1) using a silver paste (8), which is a bonding member baked in the above-mentioned method. (5) is a hermetic type seal connector that is installed through the stainless steel case cover (2), and (6) is an electric wire covered with a silicone rubber tube. 3) is connected. (7) is the M1 cable (Mlneral I) connected to the sealed connector (5).
(8) is a support that is attached to the stainless steel case cover (2).
従来の高温用超音波トランスジューサは上記のように構
成され、キューり点が１２００℃のニオブ酸リチウムか
らなる高温用超音波振動子（８）を内蔵する密封容器は
ステンレスケース（１）とステンレスケースカバー（２
）とからなるから、使用条件が温度２００℃〜２５０℃
、放射線１．ＯＸ １０６Ｒａｄオーダーの原子炉容器
内であっても、耐食性を有し、長期に亘って使用するこ
とができる。また、ステンレスケース（１）とステンレ
スケースカバー（２）によって密封された高温用超音波
振動子（３）に所定の電圧が印加されたときには、周波
数が２．５ＭＨｚでパルス巾５０μｓｅｃの超音波を発
振し、その超音波はステンレスケース（１）の底部を透
過してステンレスケース（２）外に送り出される。この
ときの指向角は１．３ （−８ｄＢ）で、Ｓ／Ｎ比は
せいぜい２０ｄＢであった。A conventional high-temperature ultrasonic transducer is constructed as described above, and the sealed container containing the high-temperature ultrasonic transducer (8) made of lithium niobate with a cue point of 1200°C is comprised of a stainless steel case (1) and a stainless steel case. Cover (2)
), the usage conditions are 200℃~250℃.
, radiation 1. It has corrosion resistance even in a nuclear reactor vessel of the order of OX 106 Rad and can be used for a long period of time. Furthermore, when a predetermined voltage is applied to the high-temperature ultrasonic transducer (3) sealed by the stainless steel case (1) and the stainless steel case cover (2), it emits ultrasonic waves with a frequency of 2.5 MHz and a pulse width of 50 μsec. The ultrasonic waves are transmitted through the bottom of the stainless steel case (1) and sent out to the outside of the stainless steel case (2). The directivity angle at this time was 1.3 (-8 dB), and the S/N ratio was at most 20 dB.
〔発明が解決しようとする問題点］
上記のような従来の高温用超音波トランスジューサでは
高温用超音波振動子（３）がキューリ点が１２００℃で
電気機械結合係数が０．１７のニオブ酸リチウムからな
るため、耐湿という点では優れているが、電気機械結合
係数が小さく、電気・超音波相互の変換効率が良好でな
く、超音波エネルギーが小さいことからＳ／Ｎ比が悪い
という問題点があった。[Problems to be solved by the invention] In the conventional high-temperature ultrasonic transducer as described above, the high-temperature ultrasonic transducer (3) is made of lithium niobate, which has a Curie point of 1200°C and an electromechanical coupling coefficient of 0.17. Since it is made of there were.
更に、高温用超音波振動子（３）が接合材である銀ペー
スト（４）でステンレスケース（１）の底部内面に接合
され、高温用超音波振動子（３）とステンレスケース（
１）の熱膨張率が異なるから、使用環境温度と保管場所
の温度差及びその繰り返し温度変化によって生じる高温
用超音波振動子（３）或いはステンレスケース（１）の
底部のソリによる指向性の悪化及び高温用超音波振動子
（３）のステンレスケース（１）からの部分的或いは全
面的な剥離を生じ、その結果、高温用超音波振動子（３
）で発生。Furthermore, the high-temperature ultrasonic transducer (3) is bonded to the bottom inner surface of the stainless steel case (1) using silver paste (4) as a bonding material, and the high-temperature ultrasonic transducer (3) and the stainless steel case (
1) Due to the difference in thermal expansion coefficient, directivity may deteriorate due to warping of the bottom of the high-temperature ultrasonic transducer (3) or the stainless steel case (1) caused by the temperature difference between the usage environment and the storage location and repeated temperature changes. The high-temperature ultrasonic vibrator (3) is partially or completely peeled off from the stainless steel case (1), and as a result, the high-temperature ultrasonic vibrator (3) is separated from the stainless steel case (1).
) occurred.
した超音波エネルギーは一部分或いは全部がステンレス
ケース（１）に伝搬せず、Ｓ／Ｎ比の劣化や、指向角の
変化、パルス巾の広がりといった性能劣化が生じるとい
う問題点があった。Part or all of the ultrasonic energy is not propagated to the stainless steel case (1), resulting in problems such as performance deterioration such as deterioration of S/N ratio, change in directivity angle, and widening of pulse width.
この発明はかかる問題点を解消するためになされたもの
で、Ｓ／Ｎ比が良好で、しかも初期性能の劣化のない耐
久性の優れた高温用超音波トランスジューサを得ること
を目的としている。The present invention has been made to solve these problems, and aims to provide a high-temperature ultrasonic transducer with a good S/N ratio and excellent durability without deterioration in initial performance.
［問題点を解決するための手段］
この発明に係る高温用超音波トランスジューサは、ステ
ンレスで形成された容器と、容器の底部内面に配設され
た電気機械結合係数の大きい高温用超音波振動子と、容
器の底部内面と高温用超音波振動子との間に介在させら
れた耐熱性を有する液体と、該高温用超音波振動子を容
器の底部内面に固定する固定部材とを備えるように構成
したものである。[Means for Solving the Problems] A high-temperature ultrasonic transducer according to the present invention includes a container made of stainless steel and a high-temperature ultrasonic transducer with a large electromechanical coupling coefficient disposed on the inner surface of the bottom of the container. and a heat-resistant liquid interposed between the bottom inner surface of the container and the high-temperature ultrasonic vibrator, and a fixing member for fixing the high-temperature ultrasonic vibrator to the bottom inner surface of the container. It is composed of
［作 用］
この発明においては、高温用超音波振動子は電気機械結
合係数の大きいもので形成されているから、電気・超音
波相互の変換効率が良好となり、超音波エネルギーが大
きい。また、高温用超音波振動子はステンレスで形成さ
れた容器の底部内面に耐熱性を有する液体を介して固定
されているから、高温用超音波振動子の熱膨張係数がス
テンレスケースと異なっても、両者の熱膨張係数が異な
ることによる使用環境と保管場所の温度変化及びその繰
返し温度変化によって生じる高温用超音波振動子或いは
ステンレスケースの底部のソリによる指向性の悪化及び
高温用超音波振動子のステンレスケースからの部分的或
いは全面的な剥離という問題はなくなった。[Function] In the present invention, since the high-temperature ultrasonic transducer is formed of a material having a large electromechanical coupling coefficient, the mutual conversion efficiency between electricity and ultrasonic waves is good, and the ultrasonic energy is large. In addition, since the high-temperature ultrasonic vibrator is fixed to the bottom inner surface of the container made of stainless steel via a heat-resistant liquid, even if the thermal expansion coefficient of the high-temperature ultrasonic vibrator is different from that of the stainless steel case. , Deterioration of directivity due to warping of the bottom of the high-temperature ultrasonic vibrator or stainless steel case caused by temperature changes in the usage environment and storage location due to different thermal expansion coefficients of the two, and repeated temperature changes, and high-temperature ultrasonic vibrator The problem of partial or complete peeling off from the stainless steel case has disappeared.
［実施例］
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図である。図に
おいて、従来例と同一の構成は同一符号を付して重複し
た構成の説明を省略する。（１）はステンレスケースで
、その底部内面は鏡面に形成されている。（２）はステ
ンレスケース（１）の開口部を密閉するステンレスケー
スカバーで、ステンレスケース（１）に溶接で組み付け
られて密封容器が構成される。（１３）はチタン酸鉛系
セラミックスからなる円板状の高温用超音波振動子で、
ステンレスケース（１）の底部内面と接触させられるケ
ース接触面は鏡面に形成されている。この高温用超音波
振動子（１３）はキューリ点が３６０℃、電気機械結合
係数が０．４５、周波数が約２．５ Ｍ）Ｉｚ 、パル
ス巾が２０μＳｅｃのもので、熱膨張係数が６ Ｘ １
ｏ−６である。（１４）は複数のネジ穴を互いに等間隔
に有する固定部材の一部を構成する円板状の押さえ部材
保持板で、その外周縁がステンレスケース（１）の内周
面部に形成された段部にネジ（９）で固定されていいる
。（１５）は押さえ部材保持板（１４）の各ネジ穴に螺
合される固定部材の一部を構成する振動子押さえネジ、
（１Ｂ）は振動子押さえネジ（１６）の先端に螺着され
たステンレスの押さえ片、（１７）は絶縁部材である柔
軟性を有するポリイミドで、２５０℃の耐熱性、ｌＯΩ
／ａｓの絶縁性、Ｉ Ｘ １０７Ｒａｄオーダ以上の耐
放射性を有する。（１８）は液体であるシリコーンオイ
ルで、ステンレスケース（１）の底部内面と高温用超音
波振動子（１３）との間に介在させられている。[Embodiment] FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention. In the figure, components that are the same as those of the conventional example are given the same reference numerals, and explanations of duplicated components will be omitted. (1) is a stainless steel case, the bottom inner surface of which is formed into a mirror surface. (2) is a stainless steel case cover that seals the opening of the stainless steel case (1), and is assembled to the stainless steel case (1) by welding to form a sealed container. (13) is a disc-shaped high-temperature ultrasonic vibrator made of lead titanate-based ceramics.
A case contact surface that is brought into contact with the bottom inner surface of the stainless steel case (1) is formed into a mirror surface. This high-temperature ultrasonic transducer (13) has a Curie point of 360°C, an electromechanical coupling coefficient of 0.45, a frequency of approximately 2.5 M), a pulse width of 20 μSec, and a thermal expansion coefficient of 6 1
It is o-6. (14) is a disc-shaped holding member holding plate that constitutes a part of the fixing member and has a plurality of screw holes at equal intervals, and its outer peripheral edge is a step formed on the inner peripheral surface of the stainless steel case (1). It is fixed in place with screws (9). (15) is a vibrator holding screw that constitutes a part of the fixing member that is screwed into each screw hole of the holding member holding plate (14);
(1B) is a stainless steel holding piece screwed onto the tip of the vibrator holding screw (16), and (17) is an insulating material made of flexible polyimide, heat resistant to 250°C, lOΩ
It has an insulation property of /as and a radiation resistance of the order of I x 107 Rad or more. (18) is a liquid silicone oil, which is interposed between the bottom inner surface of the stainless steel case (1) and the high-temperature ultrasonic vibrator (13).
高温用超音波振動子（１３）のステンレスケース（１）
への取り付けは、まず、ステンレスケース（１）の底部
内面にシリコーンオイル（ｌＢ）を塗布し、しかる後に
高温用超音波振動子（１３）をシリコーンオイル（１８
）が塗布されたステンレスケース（１）の底部内面に配
設する。その高温超音波振動子（１３）のケース接触面
とは反対側の面に柔軟性を有する耐熱シートであるポリ
イミドシート（１７）を載置する。次に、各ネジ穴に振
動子押さえネジ（１５）が螺合された押さえ部材保持板
（１４）の外周縁をステンレスケース（１）の内周面部
に形成された段部にネジ（９）で固定する。しかる後、
各振動子押さえネジ（１５）を螺回し、振動子押さえネ
ジ（１５）の先端に取り付けられている押さえ片（１Ｂ
）によってポリイミドシート（１７）を押圧し、これら
振動子押さえネジ（１５）の押圧力によって高温用超音
波振動子（１３）はステンレスケース（１）の底部内面
に押圧固定される。最後に、ステンレスケース（１）に
ステンレスケースカバー（２）を溶接で取り付ける。Stainless steel case (1) of high temperature ultrasonic transducer (13)
To install the high-temperature ultrasonic transducer (13), first apply silicone oil (1B) to the bottom inner surface of the stainless steel case (1).
) is placed on the bottom inner surface of the stainless steel case (1) coated with. A polyimide sheet (17), which is a flexible heat-resistant sheet, is placed on the surface of the high-temperature ultrasonic transducer (13) opposite to the case contact surface. Next, attach the outer periphery of the holding member retaining plate (14) with the vibrator holding screws (15) screwed into each screw hole to the stepped portion formed on the inner circumferential surface of the stainless steel case (1). Fix it with. After that,
Screw each transducer cap screw (15), and then
) presses the polyimide sheet (17), and the high-temperature ultrasonic vibrator (13) is pressed and fixed to the bottom inner surface of the stainless steel case (1) by the pressing force of these vibrator holding screws (15). Finally, attach the stainless steel case cover (2) to the stainless steel case (1) by welding.
上記のように構成された高温用超音波トランスジューサ
においては、チタン酸鉛系セラミックスからなる高温用
超音波振動子（１３）はキューり点が３６０℃でトラン
スジューサ使用条件が温度２００℃〜２５０℃であるか
ら、温度の影響を受けることなく、正常に動作し、電気
的機械結合係数が０．４５と従来例のニオブ酸リチウム
からなる高温用超音波振動子（３）の電気機械結合係数
０．１７に比べて高く、電気・超音波相互の変換効率が
良好であり、超音波エネルギーが大きくなってＳ／Ｎ比
が向上した。In the high-temperature ultrasonic transducer configured as described above, the high-temperature ultrasonic transducer (13) made of lead titanate-based ceramics has a cue point of 360°C and the transducer operating conditions are 200°C to 250°C. Therefore, it operates normally without being affected by temperature, and has an electromechanical coupling coefficient of 0.45, which is the electromechanical coupling coefficient of the conventional high-temperature ultrasonic transducer (3) made of lithium niobate. 17, the conversion efficiency between electricity and ultrasonic waves was good, and the ultrasonic energy was increased, resulting in an improved S/N ratio.
また、チタン酸鉛系セラミックスからなる高温用超音波
振動子（１３）はその熱膨張係数が６ Ｘ １Ｏ−６で
あり、ステンレスケース（１）の熱膨張係数がｔｅｘ
ｔｏ＝であって、ステンレススケース（１）と一部も違
う。従って、この実施例の高温用超音波振動子（１５）
をステンレスケース（１）の底部内面に従来のように銀
ペースト（４）でハンダ付けしたときには、低温時に高
温用超音波振動子（１３）をステンレスケース（１）に
ハンダ付けしても、使用状態が高温であれば、両者の膨
張係数の違いから、高温用超音波振動子（１５）或いは
ステンレスケース（１）がソリを起こして指向性が悪化
し、高温用超音波振動子（１５）のステンレスケース（
１）からの部分的或いは全体的な剥離を生じさせ、実用
に供しえない、ところが、この実施例ではステンレスケ
ース（１）の底部内面と高温用超音波振動子（１３）と
の間にシリコーンオイル（１８）を介在させ、その高温
用超音波振動子（Ｉ５）をステンレスケース（１）の底
部に押さえ部材保持板（４）と振動子押さえネジ（１５
）からなる固定部材で押圧固定しているから、ステンレ
スケース（１）と高温用超音波振動子（１３）との熱膨
張係数が大きく異なっても、振動子保管時と使用時の温
度変化及びその繰返し温度変化にょって生じる高温用超
音波振動子（１３）のソリをシリコーンオイル（１８）
で吸収し、従来のハンダ付けによって生じるソリによる
指向性の悪化及び剥離という問題も起らない。従って、
初期性能の劣化のない耐久性の優れた高温用超音波トラ
ンスジューサとなった。Further, the high temperature ultrasonic transducer (13) made of lead titanate ceramics has a thermal expansion coefficient of 6 x 1O-6, and the thermal expansion coefficient of the stainless steel case (1) is tex.
to=, and is partially different from the stainless steel case (1). Therefore, the high temperature ultrasonic vibrator (15) of this embodiment
is soldered to the bottom inner surface of the stainless steel case (1) with silver paste (4) as in the past, even if the high temperature ultrasonic transducer (13) is soldered to the stainless steel case (1) at low temperatures, it cannot be used. If the state is high, the high-temperature ultrasonic vibrator (15) or the stainless steel case (1) will warp due to the difference in expansion coefficient between the two, resulting in poor directivity. stainless steel case (
However, in this embodiment, silicone is not used between the bottom inner surface of the stainless steel case (1) and the high-temperature ultrasonic transducer (13). The high-temperature ultrasonic transducer (I5) is held at the bottom of the stainless steel case (1) by the oil (18) and the transducer holding plate (4) and the transducer holding screw (15).
), even if the thermal expansion coefficients of the stainless steel case (1) and the high-temperature ultrasonic transducer (13) differ greatly, temperature changes and changes during storage and use of the transducer will be avoided. Silicone oil (18) prevents warping of the high-temperature ultrasonic vibrator (13) caused by repeated temperature changes.
This eliminates the problems of poor directivity and peeling caused by warping that occur with conventional soldering. Therefore,
The result is a high-temperature ultrasonic transducer with excellent durability and no deterioration in initial performance.
更に、シリコーンオイル（１８）が高温用超音波振動（
１５）とステンレスケース（１）の底部との間に介在す
ることにより、両者が直接接触すなわち空気層を介在す
る場合に比べて音響の伝播効率は格段に向上し、従来の
ように銀ペースト（４）で両者を接合した場合と同様の
音響の伝播効率を有する。Furthermore, the silicone oil (18) is subjected to high-temperature ultrasonic vibration (
15) and the bottom of the stainless steel case (1), the sound propagation efficiency is greatly improved compared to when the two are in direct contact, that is, with an air layer interposed between them. It has the same sound propagation efficiency as the case where the two are joined in 4).
また、ステンレスケース（１）の底部内面と高温用超音
波振動子（１３）のケース接触面とを鏡面に形成してい
るから、ステンレスケース（１）の底部と高温用超音波
振動子（１５）との間に介在させられるシリコーンオイ
ル（１Ｂ）の層は極めて薄くなり、音響の伝播効率が向
上する。従って、Ｓ／Ｎ比も向上する。In addition, since the inner surface of the bottom of the stainless steel case (1) and the case contact surface of the high-temperature ultrasonic transducer (13) are mirror-finished, the bottom inner surface of the stainless steel case (1) and the high-temperature ultrasonic transducer (15) ) The layer of silicone oil (1B) interposed between the two becomes extremely thin, improving sound propagation efficiency. Therefore, the S/N ratio is also improved.
更にまた、チタン酸鉛系セラミックスからなる高温用超
音波振動子（１５）はニオブ酸リチウムのような襞間性
がないから、割れに＜＜、熱衝撃にも強い。従って、超
音波振動子製造時の製造歩留りが良好になると共に寿命
も向上した。Furthermore, since the high-temperature ultrasonic transducer (15) made of lead titanate ceramics does not have interfolding properties like lithium niobate, it is resistant to cracking and thermal shock. Therefore, the manufacturing yield during the manufacture of the ultrasonic transducer was improved, and the life span was also improved.
なお、この実施例では、高温用超音波振動子（１３）が
キューり点３００℃以上のチタン酸鉛系セラミックスで
形成されているが、これに限るものではなく、ステンレ
スケース（１）と熱膨張係数が異なっても、電気機械結
合係数が大きく、高温用のものであれば、この発明を適
用しえることは勿論である。例えば、チタン酸鉛系セラ
ミックス以外のものとしてシリコン酸チタン酸鉛系セラ
ミックスがある。また、この実施例では音響を伝播させ
るためにシリコーンオイル（１８）を用いているが、オ
イル、液体金属等の液体を用いても、シリコーンオイル
と同様の機能を発揮することはいうまでもない。In this embodiment, the high-temperature ultrasonic transducer (13) is made of lead titanate-based ceramics with a cue point of 300°C or higher; however, the material is not limited to this; Even if the expansion coefficients are different, the present invention can of course be applied as long as the electromechanical coupling coefficient is large and the material is used for high temperatures. For example, there are lead silicate titanate ceramics other than lead titanate ceramics. Furthermore, although silicone oil (18) is used in this example to propagate sound, it goes without saying that liquids such as oil and liquid metal can also be used to achieve the same function as silicone oil. .
［発明の効果］
この発明は以上説明したとおり、電気機械結合係数の大
きい高温用超音波振動子がステンレスで形成された容器
の底部内面に耐熱性を有する液体を介して固定部材によ
って固定されているので、電気・超音波相互の変換効率
が良好となり、超音波エネルギーが大きくなって従来の
ものに比べてＳ／Ｎ比が向上し、また、高温用超音波振
動子の熱膨張係数がステンレスケースと異なっても、振
動子保管時と使用の温度変化によって生じる高温用超音
波振動子或いは容器の底部のソリを容器の底部内面と高
温用超音波振動子間に介在する耐熱性を有する液体で吸
収し、ソリによる指向性の悪化及び高温用超音波振動子
のステンレスケースからの部分的或いは全面的な剥離と
いう問題も解決されて初期性能の劣化のない耐久性の優
れた高温用超音波トランスジューサを得ることができる
という効果がある。[Effects of the Invention] As explained above, in the present invention, a high-temperature ultrasonic transducer with a large electromechanical coupling coefficient is fixed to the bottom inner surface of a container made of stainless steel by a fixing member via a heat-resistant liquid. As a result, the mutual conversion efficiency between electricity and ultrasonic waves is improved, the ultrasonic energy is increased, the S/N ratio is improved compared to conventional ones, and the thermal expansion coefficient of the high-temperature ultrasonic transducer is lower than that of stainless steel. Even if it is different from the case, warping of the bottom of the high-temperature ultrasonic transducer or container that occurs due to temperature changes during storage and use of the transducer may be caused by heat-resistant liquid interposed between the inner surface of the bottom of the container and the high-temperature ultrasonic transducer. This solves the problems of deterioration of directivity due to warping and partial or complete peeling of the high-temperature ultrasonic transducer from the stainless steel case, and provides highly durable high-temperature ultrasonic waves with no deterioration in initial performance. This has the advantage that a transducer can be obtained.
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図は従
来の高温用超音波トランスジューサを示す断面図である
。
図において、（１）はステンレスケース（容器）、（２
）はステンレスケースカバー（容器） 、（１３）は高
温用超音波振動子、（１４）は押さえ部材保持板（固定
部材） 、（１５）は振動子押さえネジ（固定部材）
、（１７）はポリイミドシート（絶縁部材）、（ｌＢ）
はシリコーンオイル（液体）である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view showing a conventional high-temperature ultrasonic transducer. In the figure, (1) is a stainless steel case (container), (2)
) is the stainless steel case cover (container), (13) is the high-temperature ultrasonic transducer, (14) is the holding member holding plate (fixing member), (15) is the transducer holding screw (fixing member)
, (17) is a polyimide sheet (insulating member), (lB)
is silicone oil (liquid).
Claims (4)
に配設された電気機械結合係数の大きい高温用超音波振
動子と、容器の底部内面と高温用超音波振動子との間に
介在させられた耐熱性を有する液体と、該高温用超音波
振動子を容器の底部内面に固定する固定部材とを備えた
ことを特徴とする高温用超音波トランスジューサ。(1) A container made of stainless steel, a high-temperature ultrasonic vibrator with a large electromechanical coupling coefficient disposed on the inner surface of the bottom of the container, and a high-temperature ultrasonic vibrator interposed between the inner surface of the bottom of the container and the high-temperature ultrasonic vibrator. 1. A high-temperature ultrasonic transducer comprising: a heat-resistant liquid; and a fixing member for fixing the high-temperature ultrasonic transducer to the bottom inner surface of a container.
のチタン酸鉛系セラミックスであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の高温用超音波トランスジュー
サ。(2) The high-temperature ultrasonic transducer according to claim 1, wherein the high-temperature ultrasonic transducer is made of lead titanate-based ceramics having a Curie point of 300° C. or higher.
特許請求の範囲第１項又は第２項記載の高温用超音波ト
ランスジューサ。(3) The high temperature ultrasonic transducer according to claim 1 or 2, wherein the liquid is silicone oil.
触面を鏡面に形成したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項、第２項又は第３項記載の高温用超音波トランス
ジューサ。(4) The high-temperature ultrasonic transducer according to claim 1, 2, or 3, characterized in that the bottom inner surface of the container and the container contact surface of the high-temperature ultrasonic vibrator are mirror-finished. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62319045A JPH0754353B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ultrasonic transducer for high temperature |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62319045A JPH0754353B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ultrasonic transducer for high temperature |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01162182A true JPH01162182A (en) | 1989-06-26 |
| JPH0754353B2 JPH0754353B2 (en) | 1995-06-07 |
Family
ID=18105894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62319045A Expired - Lifetime JPH0754353B2 (en) | 1987-12-18 | 1987-12-18 | Ultrasonic transducer for high temperature |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0754353B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005029912A1 (en) * | 2003-09-18 | 2005-03-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic vibrator and ultrasonic flowmeter using the same |
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| JPS6214325U (en) * | 1985-07-11 | 1987-01-28 |
-
1987
- 1987-12-18 JP JP62319045A patent/JPH0754353B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0754353B2 (en) | 1995-06-07 |
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