JPH01149299A - Non-volatile semiconductor storage - Google Patents

Non-volatile semiconductor storage

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JPH01149299A
JPH01149299A JP62307937A JP30793787A JPH01149299A JP H01149299 A JPH01149299 A JP H01149299A JP 62307937 A JP62307937 A JP 62307937A JP 30793787 A JP30793787 A JP 30793787A JP H01149299 A JPH01149299 A JP H01149299A
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JP
Japan
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voltage
output
oscillation
boosting
control signal
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JP62307937A
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Japanese (ja)
Inventor
Keizo Inukai
犬飼 慶三
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Abstract

PURPOSE:To suppress energy consumption by detecting the size of the output voltage of a high pressure generating means and changing a voltage rising rate according to the size. CONSTITUTION:When a control signal CNT1 is outputted to instruct a writing from a CPU4 and a high voltage VPP for writing does not achieve a prescribed value for a control signal CNT4 of a comparator 14, a control signal CNT2 is outputted and an oscillating means 1 starts oscillation. A booster means 6 receives the output of the oscillating means 1 and boosts an external power source voltage VCC and the boosted voltage VPP is detected by a voltage detecting means 12 in a constant voltage means 10. When a reference voltage VR1 to be outputted from the voltage detecting means 12 goes to be larger than a reference voltage VR2, the output of the CNT2 is prohibited by an output CNT4 of the comparator 14 and the oscillation of the oscillating means 1 is stopped. Then, the maximum value of the voltage VPP is limited and a constant voltage is obtained. Thus, the energy consumption can be suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 外部から供給される電源電圧を昇圧してEEFROMセ
ル等に対する書込み電圧を発生する書込回路を有する不
揮発性半導体記憶装置に関し、出力される書込電圧の大
きさに応じて昇圧回路の能力を可変して消費電力を制御
し、且つそれをより少ない回路素子で実現することを目
的とし、発振手段と、該発振手段の出力を受け、外部か
ら供給される電源電圧を昇圧してデータの書込み用電圧
を出力する昇圧手段と、該昇圧手段の出力端に接続され
、該昇圧手段により出力された書込み用電圧を分圧して
複数の出力端に出力する電圧検出手段と、該電圧検出手
段における複数の出力端の電圧を受け、上記昇圧手段か
ら出力する書込み用電圧の上昇にともない、上記発振手
段の発振周波数と上記昇圧手段の電圧上昇率を低下する
ように制御する遅延手段と、上記電圧検出手段の出力端
のうちの1つの電圧と基準電圧とを比較し、上記書込み
用電圧が所定値に達したときに昇圧を停止せしめる定電
圧化手段とを有する書込み回路を含み構成する。
[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a nonvolatile semiconductor memory device having a write circuit that boosts an externally supplied power supply voltage to generate a write voltage for an EEFROM cell or the like, the output write voltage is The purpose is to control power consumption by varying the capacity of the booster circuit according to its size, and to achieve this with fewer circuit elements. step-up means for boosting a power supply voltage to output a data write voltage; A voltage detecting means receives voltages at a plurality of output terminals of the voltage detecting means, and as a write voltage outputted from the boosting means increases, an oscillation frequency of the oscillation means and a voltage increase rate of the boosting means are reduced. and a constant voltage means that compares the voltage of one of the output terminals of the voltage detection means with a reference voltage and stops boosting when the write voltage reaches a predetermined value. The write circuit includes a write circuit having the following configuration.

〔産業上の利用分野〕[Industrial application field]

本発明は、不揮発性半導体記憶装置、より詳しくは、外
部から供給される電源電圧をチップ内で昇圧してEEF
ROMセル等への書込みに必要な電圧を発生させる書込
回路を備えた不揮発性半導体記憶装置に関する。
The present invention relates to a non-volatile semiconductor memory device, more specifically, to an EEF system in which an externally supplied power supply voltage is boosted within a chip.
The present invention relates to a nonvolatile semiconductor memory device equipped with a write circuit that generates a voltage necessary for writing into a ROM cell or the like.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

フローティングゲート型EEFROMセルにデータを書
込む場合には、例えば20V程度の比較的高い電圧振幅
と、2〜3+wsのパルス幅とを有する矩形状パルスを
加えるが、外部から供給される電源電圧が5v程度の電
圧電源を使用している不揮発性半導体記憶装置、あるい
はそれを内蔵したマイクロプロセッサにおいては、デー
タ書込の際に電源電圧をチップ内で昇圧して書込み用電
圧を発生させる必要がある。このため、例えば第5図に
見られるような書込回路30が一般に使用されている。
When writing data to a floating gate type EEFROM cell, a rectangular pulse having a relatively high voltage amplitude of, for example, about 20V and a pulse width of 2 to 3+ws is applied, but when the externally supplied power supply voltage is 5V. In a nonvolatile semiconductor memory device that uses a voltage power supply of about 100 MHz, or a microprocessor incorporating the same, when writing data, it is necessary to boost the power supply voltage within the chip to generate a write voltage. For this reason, a write circuit 30 such as that shown in FIG. 5, for example, is commonly used.

そして、この書込回路30においては、発振手段21か
らパルス波を入力することによって電圧を上昇させる昇
圧手段32(チャージポンプ)が設けられていて、この
昇圧手段32により昇圧した直流電圧を、CPU33の
制御によって所定の書込用パルスとなるように制御し、
さらに、これによって得た書込用パルスを定電圧手段3
4と、パルスオーバシュート消去用の波形整形手段35
を介してEEPROMセルアυイ36に出力するように
している。
The write circuit 30 is provided with a booster 32 (charge pump) that increases the voltage by inputting a pulse wave from the oscillator 21, and the DC voltage boosted by the booster 32 is transferred to the CPU 33. control so that it becomes a predetermined writing pulse,
Furthermore, the write pulse obtained by this is applied to the constant voltage means 3.
4, and waveform shaping means 35 for eliminating pulse overshoot.
The signal is output to the EEPROM cell array 36 via the EEPROM cell array 36.

尚、第5図はEEFROMをマイラクロプロセッサ37
に内蔵した例を示している。
In addition, Fig. 5 shows how the EEFROM is connected to the Myracro processor 37.
An example is shown below.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problem that the invention seeks to solve]

しかし、昇圧手段32を、例えばコツククロフト・ウオ
ルトン回路のような回路で構成すると、発振手段31の
出力周波数に比例して、昇圧手段32の電流供給能力が
増大するため、周波数が低く、かつ負荷が重い場合に、
電流が不足して正常に作動しなくなるといった不都合が
ある。
However, if the boosting means 32 is configured with a circuit such as a Kotscroft-Walton circuit, the current supply capacity of the boosting means 32 increases in proportion to the output frequency of the oscillation means 31, so the frequency is low and the load is low. If it is heavy,
There is an inconvenience that the current is insufficient and the device does not operate properly.

このため、発振手段31の発振周線数を予め高めに設定
し、昇圧し過ぎた場合には、昇圧しすぎた分の電圧を定
電圧手段34によって制限するようにしているが、大容
量のEEPROMを使用すると、周波数を高くした分だ
け発振手段21における消費電力が一層増えてしまうと
いった問題が生じる。
For this reason, the number of oscillation cycles of the oscillation means 31 is set high in advance, and if the voltage is increased too much, the voltage that has been increased too much is limited by the constant voltage means 34. When an EEPROM is used, a problem arises in that the power consumption in the oscillation means 21 increases further as the frequency increases.

そこで本発明は、負荷の大きさあるいは出力電圧の値に
応じて昇圧能力を変化させることにより、電力の消費を
抑制するとともに、それをより少ない回路素子で実行を
図ることを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to suppress power consumption by changing the boosting capability according to the size of the load or the value of the output voltage, and to achieve this with fewer circuit elements.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

上記問題点は、第1図に示す原理図において、発振手段
1と、該発振手段1の出力を受け、外部から供給される
電源電圧を昇圧してデータの書込み用電圧を出力する昇
圧手段6と、該昇圧手段6の出力端に接続され、該昇圧
手段6により出力された書込み用電圧を分圧して複数の
出力端に出力する電圧検出手段12と、該電圧検出手段
12における複数の出力端の電圧を受け、上記昇圧手段
6から出力する書込み用電圧の上昇にともない、上記発
振手段1の発振周波数と上記昇圧手段6の電圧上昇率と
を低下するように制御する遅延手段17と、上記電圧検
出手段12の出力端のうちの1つの電圧と基準電圧とを
比較し、上記書込み用電圧が所定値に達したときに昇圧
を停止せしめる定電圧化手段11とを有する書込み回路
を具備することを特徴とする不揮発性半導体記憶装置に
よって達成される。
In the principle diagram shown in FIG. 1, the above problem is solved by the oscillation means 1 and the boosting means 6 which receives the output of the oscillation means 1, boosts the power supply voltage supplied from the outside, and outputs the data writing voltage. , a voltage detecting means 12 connected to the output terminal of the boosting means 6 and dividing the write voltage outputted by the boosting means 6 and outputting the divided voltage to a plurality of output terminals; and a plurality of outputs of the voltage detecting means 12. a delay means 17 for controlling the oscillation frequency of the oscillation means 1 and the voltage increase rate of the boosting means 6 to decrease as the write voltage output from the boosting means 6 increases; A write circuit includes a constant voltage means 11 that compares the voltage of one of the output terminals of the voltage detection means 12 with a reference voltage and stops boosting when the write voltage reaches a predetermined value. This is achieved by a nonvolatile semiconductor memory device characterized by the following.

〔作 用〕[For production]

CPU4からの書込みを指示する制御信号CNT +が
出力され且つコンパレータ14の制御信号CNT。
A control signal CNT + instructing writing from the CPU 4 is output, and a control signal CNT of the comparator 14.

が書込み用の高電圧v1が所定値に達していないことを
示すとき制御信号CNTtが出力され発振手段1が発振
を開始する。
When indicates that the write high voltage v1 has not reached a predetermined value, the control signal CNTt is output and the oscillation means 1 starts oscillating.

昇圧手段6は、発振手段1の出力を受け、外部電源電圧
VCCを昇圧する。昇圧された電圧V□は定電圧化手段
lO内の電圧検出手段12によって検出される。この電
圧検出手段12は、昇圧手段6から出力する電圧VPP
の上昇に併ない制御信号CNTsによって発振手段1の
発振周波数を低めて、昇圧手段6の昇圧能力を低下せし
めて電圧V□の立ち上がりをゆるやかにする。
Boosting means 6 receives the output of oscillation means 1 and boosts external power supply voltage VCC. The boosted voltage V□ is detected by the voltage detection means 12 in the constant voltage means IO. This voltage detecting means 12 detects the voltage VPP output from the boosting means 6.
As V increases, the oscillation frequency of the oscillation means 1 is lowered by the control signal CNTs, thereby reducing the boosting ability of the boosting means 6 and making the rise of the voltage V□ gradual.

さらに、電圧検出手段12から出力される基準電圧v1
が基準電圧v、I!より大となると、コンパレータ14
の出力CM?、により、CNTzの出力を禁止して発振
手段lの発振を停止させる。これによって電圧V□の最
大値を制限して定電圧化を図る。
Furthermore, the reference voltage v1 output from the voltage detection means 12
is the reference voltage v, I! If it is larger, comparator 14
output commercial? , inhibits the output of CNTz and stops the oscillation of the oscillation means l. This limits the maximum value of the voltage V□ to achieve constant voltage.

〔実施例〕〔Example〕

(a)一実施例の説明 第2図は、本発明の一実施例を示すものであって、図中
符号lは、MO3抵抗3を介してインバータ2を直列に
奇数個接続するとともに、インバータ2最終段の出力を
、アンドゲートG、を介して初段イバータ2に帰還する
ループ発振手段で、この発振手段1の入力端には、CP
U4の指令信号CNT、を入力したアントゲ−)Gzの
出力信号CNT2によりON、OFFするスイッチ5(
MOS)ランジスタ)が取付けられていて、スイッチ5
がONした際に、アンドゲートG、の一方の入力をハイ
レベル(Hレベル)とすることにより帰還ループが形成
され、発振を開始するように構成されている。
(a) Description of an Embodiment FIG. 2 shows an embodiment of the present invention, in which the reference numeral 1 indicates an odd number of inverters 2 connected in series via an MO3 resistor 3. 2 is a loop oscillation means that feeds back the output of the final stage to the first stage inverter 2 via an AND gate G.
The switch 5 (which is turned ON and OFF by the output signal CNT2 of the anime game)
MOS) transistor) is installed, switch 5
When G is turned on, one input of AND gate G is set to a high level (H level), thereby forming a feedback loop and starting oscillation.

6は、CPU4の制御信号CNT3によってオン、オフ
するMOS)ランジスタフを介して発振手段1のパルス
波を受けることにより電源電圧V ccを昇圧する昇圧
手段で、この昇圧手段6には、直列に接続された複数の
ダイオード8a・・がアノード側を電源電圧VCCに接
続して取付けられ、また、これらのダイオード8a・・
の各接続点には、発振手段1からパルス波を入力するコ
ンデンサ8bと、このパルス波をインバータ9を介して
入力するコンデンサ8cとが1つおきに交互に接続した
チャージポンプを有しており、発振手段1からパルス波
を入力した場合に、パルス波の電圧を汲上げるようにし
て昇圧しつつ直流電圧に変換し、書込電圧としてEEF
ROMセルアレイ10に出力し、CPU4の指令信号に
よりEEPROMセルアレイ10内の所定のワード線、
ビット線に電圧を印加するように構成されている。
Reference numeral 6 denotes a boosting means for boosting the power supply voltage Vcc by receiving the pulse wave of the oscillation means 1 via a MOS transistor (MOS) that is turned on and off by the control signal CNT3 of the CPU 4. A plurality of diodes 8a... are installed with their anodes connected to the power supply voltage VCC, and these diodes 8a...
Each connection point has a charge pump in which a capacitor 8b for inputting a pulse wave from the oscillation means 1 and a capacitor 8c for inputting this pulse wave via an inverter 9 are connected alternately to every other capacitor. , when a pulse wave is input from the oscillation means 1, the voltage of the pulse wave is pumped up and converted into a DC voltage, and the EEF is used as the write voltage.
output to the ROM cell array 10 and select a predetermined word line in the EEPROM cell array 10 according to a command signal from the CPU 4;
The bit line is configured to apply a voltage to the bit line.

11は、昇圧手段6からEEPROMセルアレイlOに
出力する電圧の大きさを検出し、昇圧手段6の過大な出
力電圧を制限する定電圧化手段で、電圧検出手段12と
、抵抗分圧回路により構成した基準電圧発生手段13と
、コンパレータ14とから構成されている。
Reference numeral 11 denotes a constant voltage means for detecting the magnitude of the voltage output from the boosting means 6 to the EEPROM cell array IO and limiting an excessive output voltage of the boosting means 6, which is composed of a voltage detecting means 12 and a resistive voltage divider circuit. The reference voltage generation means 13 and a comparator 14 are provided.

上記した電圧検出手段12は、ゲートとドレインを共通
接続したNチャネルエンハンスメント・オフセット・ゲ
ートトランジスタ(高耐圧トランジスタ)Q、〜Q11
++を直列に複数接続した一種の分圧回路からなるもの
で、この電圧検出手段16のドレイン側の一端は、昇圧
手段6の出力電圧VPPを受け、また、ソース側の他端
は、Nチャネルエンハンスメント・トランジスタ1.と
、ソースとベースとを短絡したNチャネルデイプレッシ
ョン・トランジスタt2を介して接地され、さらにNチ
ャネルエンハンスメント・トランジスタt、はCPU4
からアンドゲートG、に出力するHレベルの信号CNT
 +を受けてオン、オフするように構成されている。こ
の電圧検出手段12は、一種の分圧回路であり、この様
な分圧が必要なのはコンパレータ14の基準電圧■。を
外部電源電圧V ccを基に作るためである。
The voltage detection means 12 described above is an N-channel enhancement offset gate transistor (high voltage transistor) Q, ~Q11 whose gate and drain are commonly connected.
++ connected in series, one end on the drain side of this voltage detecting means 16 receives the output voltage VPP of the boosting means 6, and the other end on the source side receives the output voltage VPP of the boosting means 6. Enhancement transistor 1. is grounded via an N-channel depletion transistor t2 whose source and base are short-circuited, and an N-channel enhancement transistor t is connected to the CPU 4.
H level signal CNT output from to AND gate G.
It is configured to turn on and off in response to +. This voltage detection means 12 is a kind of voltage dividing circuit, and such a voltage division is necessary for the reference voltage (2) of the comparator 14. This is because Vcc is created based on the external power supply voltage Vcc.

また、上記したコンパレータ14は、電圧検出手段12
に接続したNチャネルデイブレジョン・トランジスタt
2にかかる電圧V□1と基準電圧発生手段13の出力電
圧v、l!とを比較し、電圧V+t1が基準電圧■。よ
りも上昇した場合に、アンドゲートG、にロウレベル(
Lレベル)に反転した信号CNT、を出力して、スイッ
チ5をオフするように構成さ°れている。なお、基準電
圧発生手段13から出力される電圧V。は、昇圧手段6
の出力電圧V□が所定値まで昇圧されたときにコンパレ
ータ14の出力CNTaが反転する様に設定されている
Further, the above-mentioned comparator 14 is connected to the voltage detection means 12.
N-channel dayvision transistor connected to t
2 and the output voltage v, l! of the reference voltage generating means 13. The voltage V+t1 is the reference voltage ■. When the rise is higher than , the low level (
The switch 5 is configured to turn off the switch 5 by outputting an inverted signal CNT to (L level). Note that the voltage V output from the reference voltage generating means 13. is the boosting means 6
It is set so that the output CNTa of the comparator 14 is inverted when the output voltage V□ of the comparator 14 is increased to a predetermined value.

17は、上記した発振回路lにおけるインバータ2の第
1段目と第2段目との間に並列に接続した遅延手段で、
この遅延手段17は、MO3電界効果トランジスタ(F
ET)18+〜18、の各々にコンデンサ(MOSキャ
パシタ)191〜1911をそれぞれ直列に接続した複
数のCR回路20.〜207をさらに並列に接続して構
成したものであって、各CR回路20.〜207内の各
FETI L 〜1 B、は、電圧検出手段16の各高
耐圧トランジスタQ、〜Qa++間に接続した制御端子
T+〜Ttの制御信号CNT、が閾値を越えた際にそれ
ぞれがオンするように構成されている。
17 is a delay means connected in parallel between the first stage and the second stage of the inverter 2 in the oscillation circuit I,
This delay means 17 is an MO3 field effect transistor (F
ET) A plurality of CR circuits 20.ET) in which capacitors (MOS capacitors) 191 to 1911 are connected in series to each of 18+ to 18, respectively. 207 are further connected in parallel, and each CR circuit 20. Each FET I L ~1B in ~207 is turned on when the control signal CNT of the control terminal T+~Tt connected between each high voltage transistor Q and ~Qa++ of the voltage detection means 16 exceeds a threshold value. is configured to do so.

なお、符号t2、t4はNチャネルエンハンスメント・
トランジスタで、電圧検出手段12に接続したNチャネ
ルエンハスメント・トランジスタt2を制御するCPU
4の制御信号CNT 、により制御されていて、コンパ
レータ14と基準電圧発生手段13をオン、オフするも
のである。また、T−4、LSはPチャネルエンハンス
メント・トランジスタ、L6〜t、はNチャネルエンハ
ンスメント・トランジスタで、それぞれコンパレータ1
4を構成している。
Note that symbols t2 and t4 indicate N-channel enhancement.
A CPU controlling an N-channel enhancement transistor t2, which is a transistor and is connected to the voltage detection means 12.
4, which turns on and off the comparator 14 and the reference voltage generating means 13. In addition, T-4 and LS are P-channel enhancement transistors, L6 to t are N-channel enhancement transistors, and each comparator 1
4.

さらに、Lq、tloは、基準電圧発生手段13の分圧
回路を構成するNチャネルエンハンスメント・トランジ
スタである。
Further, Lq and tlo are N-channel enhancement transistors forming a voltage dividing circuit of the reference voltage generating means 13.

次に、上述した実施例の動作について説明する。Next, the operation of the above embodiment will be explained.

上記した実施例において、EEFROMセルアレイ10
にデータDを書き込む場合、CPU4は書込みを指示す
る制御信号CNT、をHレベルとする。
In the embodiment described above, the EEFROM cell array 10
When writing data D to , the CPU 4 sets the control signal CNT, which instructs writing, to H level.

これによって電圧安定化手段11内のトランジスタt+
、t、s、Lmがオンし、電圧検出手段12、コンパレ
ータ14、基準電圧発生手段13が作動可能な状態とな
る。
As a result, the transistor t+ in the voltage stabilizing means 11
, t, s, and Lm are turned on, and the voltage detection means 12, the comparator 14, and the reference voltage generation means 13 become operable.

この状態において、昇圧手段6の出力電圧Vlll+は
ま−だ低電圧であり、トランジスタt、かかる電圧V□
はコンパレータ14に入力する基準電圧voよりも小さ
いため、コンパレータ14の出力制御信号CNT、はH
レベルになる。
In this state, the output voltage Vllll+ of the boosting means 6 is still a low voltage, and the voltage V□
is smaller than the reference voltage vo input to the comparator 14, so the output control signal CNT of the comparator 14 is H
become the level.

したがって、CPU4とコンパレータ14の制御信号C
NT I、CNT、を入力するアンドゲートGtの出力
はHレベルとなり、これを受けるトランジスタ5がオン
する。
Therefore, the control signal C of the CPU 4 and the comparator 14
The output of the AND gate Gt inputting NT I and CNT becomes H level, and the transistor 5 receiving this turns on.

この結果アンドゲートG、の一方の入力がHとなり、発
振回路1内に(i還ループが形成されて発振が開始され
るが、昇圧手段6の出力電圧V□はまだ低レベルである
ため、電圧検出手段12の端子T、〜T7の制御電圧は
、トランジスタ18゜〜181.のいずれもオンさせる
に至らない。
As a result, one input of the AND gate G becomes H, and an (i-return loop is formed in the oscillation circuit 1 to start oscillation. However, since the output voltage V□ of the boosting means 6 is still at a low level, The control voltages at the terminals T, -T7 of the voltage detection means 12 do not turn on any of the transistors 18.about.181.

この状態では、発振手段1の発振周波数は最大値となる
In this state, the oscillation frequency of the oscillation means 1 reaches its maximum value.

CPU4の制御信号CNT+がHレベルとなりトランジ
スタ7がオンすると昇圧手段6はチャージポンプ作用に
より、外部電源電圧V ccを徐々に昇圧して電圧V□
を出力する。
When the control signal CNT+ of the CPU 4 becomes H level and the transistor 7 is turned on, the booster 6 uses a charge pump action to gradually boost the external power supply voltage Vcc to the voltage V□.
Output.

このため、電圧検出手段12には電圧VPPが印加され
て電流が流れ、制御信号CNT、を端子T、〜T11か
ら出力すると共にトランジスタt1のソース側から検出
電圧Vl11を出力する。
Therefore, the voltage VPP is applied to the voltage detection means 12, a current flows, and the control signal CNT is outputted from the terminals T, .about.T11, and the detected voltage Vl11 is outputted from the source side of the transistor t1.

ところで、発振開始時は発振手段lの出力周波数が高い
ために昇圧手段6の電圧V、は急速に上昇する。そして
電圧V□が上昇を開始すると、まず電圧検出手段12の
端子T、の電圧がトランジスタ1B+の闇値電圧に達す
るとトランジスタ18、がオンしてMOSキャパシタ1
9.が発振手段1に接続されて発振周波数が低下する。
By the way, since the output frequency of the oscillation means 1 is high at the start of oscillation, the voltage V of the boosting means 6 rises rapidly. When the voltage V□ starts to rise, first, when the voltage at the terminal T of the voltage detection means 12 reaches the dark value voltage of the transistor 1B+, the transistor 18 is turned on and the MOS capacitor 1 is turned on.
9. is connected to the oscillation means 1, and the oscillation frequency is lowered.

その結果、昇圧回路6の昇圧能力が低下して、出力電圧
V□の電圧上昇率が低下する。
As a result, the boosting ability of the booster circuit 6 decreases, and the rate of increase in the output voltage V□ decreases.

昇圧回路6の出力電圧VPPが更に上昇し、電圧検出回
路12の端子T2にかかる電圧がトランジスタ183の
闇値電圧に達すると、MOSキャパシタ19.は発振回
路1に接続される。この結果、発振周波数は更に低下し
てV□の上昇率も更に下がる。
When the output voltage VPP of the booster circuit 6 further increases and the voltage applied to the terminal T2 of the voltage detection circuit 12 reaches the dark value voltage of the transistor 183, the MOS capacitor 19. is connected to the oscillation circuit 1. As a result, the oscillation frequency is further reduced and the rate of increase in V□ is also further reduced.

この樺にして昇圧回路6の出力電圧V□の上昇にともな
って、トランジスタ1Bt〜18.、が順次オンして発
振周波数(電圧V□の上昇率)を徐々に低下せしめるこ
とで、第3図の如きV ppの立ち上がり波形が得られ
る。
As the output voltage V□ of the booster circuit 6 increases, transistors 1Bt to 18. , are turned on one after another to gradually lower the oscillation frequency (rate of increase in voltage V□), thereby obtaining a rising waveform of Vpp as shown in FIG.

昇圧回路6の電圧v9.が更に上昇して所定値に達する
と、電圧検出手段12に接続したトランジスタt!にが
がる電圧■□が、基準電圧V@t  よりも大きくなっ
てVR,>VR,となるため、コンパレータ14からの
制御信号CN↑4がLレベルとなってアンドゲートGt
の出力CN↑、をLレベルにする。
Voltage v9 of booster circuit 6. When t! further increases and reaches a predetermined value, the transistor t! connected to the voltage detection means 12! Since the bitter voltage ■□ becomes larger than the reference voltage V@t and becomes VR,>VR, the control signal CN↑4 from the comparator 14 becomes L level and the AND gate Gt
The output CN↑ of is set to L level.

このため、トランジスタ5がオフして、発振回路1の発
振が停止する。従って、昇圧回路6の出力電圧v1は必
要以上に高くなることな(、定電圧化される。
Therefore, the transistor 5 is turned off and the oscillation of the oscillation circuit 1 is stopped. Therefore, the output voltage v1 of the booster circuit 6 does not become higher than necessary (it is kept at a constant voltage).

なお、上記した実施例は、EEFROMのチップと一体
的に形成することができるし、別部材にすることもでき
る。
Note that the above embodiment can be formed integrally with the EEFROM chip, or can be formed as a separate member.

(b)他の実施例 上記した実施例では、ループ回路により発振手段1を構
成したが、周波数可変発振器(VFO)21を備えたマ
イコン等においては、第4図に見られるように、このV
FO21を発振器として使用するとともに、電圧検出手
段12の出力をその制御端に接続して発振周波数を調整
するようにすることもできる。
(b) Other Embodiments In the above-mentioned embodiments, the oscillation means 1 was constructed by a loop circuit, but in a microcomputer etc. equipped with a variable frequency oscillator (VFO) 21, as shown in FIG.
It is also possible to use the FO 21 as an oscillator and to adjust the oscillation frequency by connecting the output of the voltage detection means 12 to its control terminal.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上述べたように本発明は、高圧発生手段の出力電圧の
大きさを検出し、その大きさによって電圧上昇率を変化
させる様にしたので、発振器における余分な電力が消費
されないばかりでなく、EEFROMを破壊する書込電
圧のオーバシュートをなくすることができ、波形整形回
路を省略するとかできる。
As described above, the present invention detects the magnitude of the output voltage of the high voltage generating means and changes the voltage increase rate depending on the magnitude, so that not only no extra power is consumed in the oscillator, but also the EEFROM It is possible to eliminate the overshoot of the write voltage that destroys the circuit, and it is possible to omit the waveform shaping circuit.

且つ、電圧検出手段を兼用して制御信号及び、電圧検出
力両方を出力させるようにしたので回路の筒素化がはか
れる。
In addition, since the voltage detection means is also used to output both the control signal and the voltage detection force, the circuit can be made into a cylinder.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の原理図、 第2図は、本発明の一実施例を示す回路図、第3図は、
本発明の一実施例によって得られる書込パルスの波形図
、 第4図は、本発明の他の実施例を示すブロック図、 第5図は、従来装置の一例を示すブロック図である。 (符号の説明) l・・・発振手段、 〜          4・・・CP U。 6・・・昇圧手段、 10・・・EEP/ROMセルアレイ、11・・・定電
圧化手段、 12・・・電圧検出手段、 13・・・基準電圧発生手段、 14・・・コンパレータ、 17・・・遅延手段、 20・・・CR回路、 21・・・周波数可変発振器。 杢′杷絹の一宸さ邑匈j1てよ、1耳→名)暦凶パルス
の瓜形母第3図 栗 4 図
FIG. 1 is a principle diagram of the present invention, FIG. 2 is a circuit diagram showing an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing the principle of the present invention.
FIG. 4 is a block diagram showing another embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a block diagram showing an example of a conventional device. (Explanation of symbols) l...Oscillation means, ~4...CPU. 6... Boosting means, 10... EEP/ROM cell array, 11... Constant voltage means, 12... Voltage detection means, 13... Reference voltage generation means, 14... Comparator, 17. ...delay means, 20...CR circuit, 21...variable frequency oscillator.杢′Loquat Silk Ichishinsa 匑匈j1 teyo, 1 ear → name) Calendar evil pulse 3rd figure chestnut 4 figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】 発振手段(1)と、 該発振手段(1)の出力を受け、外部から供給される電
源電圧を昇圧してデータの書込み用電圧を出力する昇圧
手段(6)と、 該昇圧手段(6)の出力端に接続され、該昇圧手段(6
)により出力された書込み用電圧を分圧して複数の出力
端に出力する電圧検出手段(12)と、 該電圧検出手段(12)における複数の出力端の電圧を
受け、上記昇圧手段(6)から出力する書込み用電圧の
上昇にともない、上記発振手段(1)の発振周波数と上
記昇圧手段(6)の電圧上昇率とを低下するように制御
する遅延手段(17)と、 上記電圧検出手段(12)の出力端のうちの1つの電圧
と基準電圧とを比較し、上記書込み用電圧が所定値に達
したときに昇圧を停止せしめる定電圧化手段(11)と
を有する書込み回路を具備することを特徴とする不揮発
性半導体記憶装置。
[Claims] Oscillating means (1); Boosting means (6) receiving the output of the oscillating means (1) and boosting an externally supplied power supply voltage to output a data writing voltage; connected to the output end of the boosting means (6);
) voltage detecting means (12) that divides the write voltage outputted by the voltage detecting means (12) and outputs the divided voltage to a plurality of output terminals; delay means (17) for controlling the oscillation frequency of the oscillation means (1) and the voltage increase rate of the boosting means (6) to decrease as the write voltage output from the voltage detection means increases; (12) Compares the voltage of one of the output terminals with a reference voltage, and includes a constant voltage means (11) that stops boosting when the write voltage reaches a predetermined value. A nonvolatile semiconductor memory device characterized by:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04132088A (en) * 1990-09-25 1992-05-06 Samsung Electron Co Ltd High voltage generation circuit for semiconductor memory element and eeprom
KR100312140B1 (en) * 1997-02-27 2001-12-12 니시무로 타이죠 Semiconductor integrated circuit and semiconductor memory
JP2007080478A (en) * 2005-08-19 2007-03-29 Toshiba Corp Semiconductor integrated circuit device

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